JP6524579B2 - UV curable composition for inkjet etching resist - Google Patents
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Description
本発明は、インクジェットによって形成するエッチングレジスト用の紫外線硬化性組成物に関する。 The present invention relates to an ultraviolet curable composition for an etching resist formed by inkjet.
近年、希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクは、特にプリント配線板製造用インク、フレキシブルプリント配線板製造用インク等の分野において、盛んに利用されている。希アルカリ水溶液で現像可能なフォトレジストインクとしては、例えば、感光性硬化性組成物を用いることができる。ただし、このようなフォトレジストインクを用いてプリント配線板等を製造する場合、露光の際に所望のパターンを描いたマスクフィルムを準備する必要があり、また、露光した後、現像工程も必要であることから、工程が複雑であると共に操作も煩雑となることがある。そのため、より簡便にプリント配線板等を製造することを目的として、インクジェット方式を用いてレジスト用硬化性組成物を基板上に直接塗布し、レジストパターンを形成する方法も開発されている。このようなインクジェットエッチングレジスト用の組成物も種々提案されている。 In recent years, photoresist inks that can be developed with a dilute alkaline aqueous solution are actively used particularly in the fields of printed wiring board manufacturing inks, flexible printed wiring board manufacturing inks, and the like. For example, a photosensitive curable composition can be used as a photoresist ink that can be developed with a dilute alkaline aqueous solution. However, when manufacturing a printed wiring board etc. using such a photoresist ink, it is necessary to prepare the mask film which drew the desired pattern in the case of exposure, and the development process is also required after exposing. In some cases, the process is complicated and the operation may be complicated. Therefore, in order to manufacture a printed wiring board etc. more simply, the method of apply | coating the curable composition for resists directly on a board | substrate using an inkjet system, and forming a resist pattern is also developed. Various compositions for such inkjet etching resists have also been proposed.
インクジェットエッチングレジスト用の組成物で形成された塗膜の剥離は、膨潤剥離型、膨潤溶解型、溶解剥離型に分けられる。このうち、溶解剥離型のレジストは、塗膜を剥離液に溶解しながら剥離するため、他の方法に比べて残渣が残りにくいという特徴がある。例えば、特許文献1及び2は、溶解によって剥離を行うタイプのレジスト用組成物を開示している。しかしながら、溶解剥離型のレジストは、剥離液への溶解性が高くなると塗膜の親水性が高くなり、エッチング液への耐性が低くなる傾向にある。そこで、エッチング液への耐性を高くしようとすると、塗膜の疎水性が高くなり、今度は、剥離液への溶解性が低くなる傾向にある。このように、剥離液への溶解性とエッチング液への耐性とはトレードオフの関係にあり、両者を同時に高めることは難しい。この点に関しては、特許文献1及び2に開示された組成物でも十分とは言えない。 Peeling of the coating film formed of the composition for inkjet etching resist is divided into a swelling and peeling type, a swelling and dissolving type, and a dissolution and peeling type. Among these, the dissolution peeling type resist is characterized in that since the coating film is peeled while being dissolved in the peeling solution, the residue is less likely to remain as compared with other methods. For example, Patent Documents 1 and 2 disclose resist compositions of the type in which peeling is performed by dissolution. However, in the case of the dissolution and peeling type resist, when the solubility in the peeling liquid becomes high, the hydrophilicity of the coating film becomes high, and the resistance to the etching liquid tends to be lowered. Therefore, when it is intended to increase the resistance to the etching solution, the hydrophobicity of the coating film is increased, and in this case, the solubility in the stripping solution tends to be lowered. Thus, there is a trade-off between solubility in the stripping solution and resistance to the etching solution, and it is difficult to simultaneously enhance both. In this regard, even the compositions disclosed in Patent Documents 1 and 2 are not sufficient.
本開示の目的は、剥離液への溶解性とエッチング液への耐性との両方に優れるインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物を提供することである。 An object of the present disclosure is to provide a UV curable composition for an inkjet etching resist, which is excellent in both the solubility in a stripping solution and the resistance to an etching solution.
本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、(A)水に溶解するホモポリマーを形成可能な(メタ)アクリルアミド化合物と、(B)水に溶解しないホモポリマーを形成可能な(メタ)アクリルアミド化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)1分子中に1個のエチレン性不飽和基と少なくとも1個のカルボキシル基とを有するカルボキシル基含有化合物と、を含有する。 The ultraviolet curable composition for inkjet etching resist of the present disclosure comprises (A) a (meth) acrylamide compound capable of forming a homopolymer soluble in water, and (B) a homopolymer capable of not dissolving in water (meth) It contains a acrylamide compound, (C) a photopolymerization initiator, and (D) a carboxyl group-containing compound having one ethylenically unsaturated group and at least one carboxyl group in one molecule.
上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、(E)1分子中に1個のエチレン性不飽和基を有する疎水性の(メタ)アクリル酸エステルをさらに含有することが好ましい。 It is preferable that said ultraviolet curable composition for inkjet etching resists further contains the hydrophobic (meth) acrylic acid ester which has one ethylenic unsaturated group in 1 molecule (E).
前記(D)のカルボキシル基含有化合物は、2−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−アクリロイロキシエチルコハク酸、から選ばれる少なくとも1つを含むことが好ましい。 The carboxyl group-containing compound (D) preferably contains at least one selected from 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid and 2-acryloyloxyethyl succinic acid.
前記(C)の光重合開始剤は、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤を含むことが好ましい。 The photopolymerization initiator (C) preferably contains an acylphosphine oxide photopolymerization initiator.
前記(A)の(メタ)アクリルアミド化合物は、下記式(1)で表される化合物を含むことが好ましい。ただし、式(1)において、R1は水素原子又はメチル基を表す。また、式(1)において、R2は水素原子又はアルキル基を表し、R3は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表し、R2及びR3の炭素数の合計は0〜2である。 It is preferable that the (meth) acrylamide compound of said (A) contains the compound represented by following formula (1). However, in Formula (1), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. Further, in the formula (1), R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group, R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxyalkyl group, and the total carbon number of R 2 and R 3 is 0 to 2 .
前記(B)の(メタ)アクリルアミド化合物は、下記式(2)で表される化合物を含むことが好ましい。ただし、式(2)において、R4は水素原子又はメチル基を表す。R5は水素原子又はアルキル基を表し、R6は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表す。又は、R5及びR6は、酸素原子を介して2つのアルキレン基が繋がった環状エーテル構造を形成する。R5及びR6の炭素数の合計は3以上である。 It is preferable that the (meth) acrylamide compound of said (B) contains the compound represented by following formula (2). However, in Formula (2), R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 5 represents a hydrogen atom or an alkyl group, and R 6 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxyalkyl group. Alternatively, R 5 and R 6 form a cyclic ether structure in which two alkylene groups are connected via an oxygen atom. The total carbon number of R 5 and R 6 is 3 or more.
前記(A)の(メタ)アクリルアミド化合物は、(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミドから選ばれる少なくとも1つを含むことが好ましい。 The (meth) acrylamide compound of (A) preferably contains at least one selected from (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, and N-methyl (meth) acrylamide.
前記(B)の(メタ)アクリルアミド化合物は、N,N−ジエチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−n−ブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、4−(メタ)アクリロイルモルホリンから選ばれる少なくとも1つを含むことが好ましい。 The (meth) acrylamide compound of (B) is selected from N, N-diethyl (meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, N-n-butoxymethyl (meth) acrylamide, 4- (meth) acryloyl morpholine It is preferable to include at least one of
前記(A)の(メタ)アクリルアミド化合物と前記(B)の(メタ)アクリルアミド化合物との含有比率は、質量比で、1:1〜1:10であることが好ましい。 The content ratio of the (meth) acrylamide compound of (A) to the (meth) acrylamide compound of (B) is preferably 1: 1 to 1:10 by mass ratio.
上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、(F)染料をさらに含有することが好ましい。 It is preferable that the above-mentioned ultraviolet curable composition for inkjet etching resist further contains (F) dye.
前記(F)染料は、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料、から選ばれる少なくとも1つの染料を含むことが好ましい。 The (F) dye preferably includes at least one dye selected from a dye having an anthraquinone skeleton and an amino group, a dye having a naphthalene skeleton and an amino group, and a dye having a phthalocyanine skeleton.
本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、エッチング液に対する耐性に優れ、剥離液への溶解性がよい。 The ultraviolet curable composition for an ink jet etching resist of the present disclosure is excellent in resistance to an etching solution and has good solubility in a peeling solution.
本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物(以下「紫外線硬化性組成物」ともいう)は、(A)水に溶解するホモポリマーを形成可能な(メタ)アクリルアミド化合物と、(B)水に溶解しないホモポリマーを形成可能な(メタ)アクリルアミド化合物と、(C)光重合開始剤と、(D)1分子中に1個のエチレン性不飽和基と少なくとも1個のカルボキシル基とを有するカルボキシル基含有化合物と、を含有する。 The ultraviolet curable composition for inkjet etching resist (hereinafter also referred to as “ultraviolet curable composition”) of the present disclosure comprises (A) a (meth) acrylamide compound capable of forming a homopolymer soluble in water, and (B) water Containing a (meth) acrylamide compound capable of forming a homopolymer not soluble in water, (C) a photopolymerization initiator, and (D) one ethylenically unsaturated group and at least one carboxyl group in one molecule And a carboxyl group-containing compound.
(A)成分と(B)成分とは、ともに(メタ)アクリルアミド化合物である。しかしながら、それらは、ホモポリマーの水溶解性が異なる。ホモポリマーの水溶解性は、重合物水溶性と定義される。 Both component (A) and component (B) are (meth) acrylamide compounds. However, they differ in the water solubility of the homopolymers. The water solubility of homopolymers is defined as the polymer water solubility.
ここで、本明細書において、(メタ)アクリルとは、アクリルとメタクリルを総称している。例えば、(メタ)アクリルアミドは、アクリルアミドとメタクリルアミドとを総称している。すなわち、(メタ)アクリルアミドは、アクリルアミドとメタクリルアミドとの少なくとも一方を含むことを意味する。 Here, in the present specification, (meth) acrylic generally refers to acrylic and methacrylic. For example, (meth) acrylamide generically refers to acrylamide and methacrylamide. That is, (meth) acrylamide is meant to include at least one of acrylamide and methacrylamide.
(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、水に溶解するホモポリマーを形成することができる。すなわち、もし、(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物のみが重合したときには、その重合物は水に溶解する。(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、いわば、重合物水溶性の高い(メタ)アクリルアミド化合物である。ただし、紫外線硬化性組成物では、(A)成分は、単体では重合せず、他の成分と一緒に重合する。 The (meth) acrylamide compound of the component (A) can form a homopolymer soluble in water. That is, if only the (meth) acrylamide compound of the component (A) is polymerized, the polymer dissolves in water. The (meth) acrylamide compound of the component (A) is, as it were, a (meth) acrylamide compound having high polymer water solubility. However, in the ultraviolet curable composition, the component (A) does not polymerize alone but is polymerized together with other components.
一方、(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、水に溶解しないホモポリマーを形成することができる。すなわち、もし、(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物のみが重合したときには、水に溶解しない重合物を合成できる。(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、いわば、重合物水溶性の低い(メタ)アクリルアミド化合物である。ただし、紫外線硬化性組成物では、(B)成分は、単体では重合せず、他の成分と一緒に重合する。(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物自体は、水に溶解してもよい。 On the other hand, the (meth) acrylamide compound of the component (B) can form a homopolymer which is not soluble in water. That is, if only the (meth) acrylamide compound of the component (B) is polymerized, a polymer which is insoluble in water can be synthesized. The (meth) acrylamide compound of the component (B) is, as it were, a (meth) acrylamide compound having low polymer water solubility. However, in the ultraviolet curable composition, the component (B) is not polymerized alone, but is polymerized together with other components. The (meth) acrylamide compound itself of the component (B) may be dissolved in water.
ここで、(A)成分と(B)成分の重合物水溶性は、技術常識に基づいて判断される。特に、触媒下、80℃の水中で1時間熱重合したホモポリマーの20%水溶液が、温度20℃で均一な外観を維持するか否かで決められる。均一な外観とは沈殿を生じないことであり、白濁していても良い。または、該モノマーを光重合開始剤と混合し、膜厚約20μmになるように塗膜を形成後、積算光量400mJ/cm2で紫外線硬化したホモポリマー塗膜が20℃の水に全て溶解するか否かで決められる。 Here, the polymer water solubility of (A) component and (B) component is judged based on technical common sense. In particular, it is determined whether a 20% aqueous solution of a homopolymer thermally polymerized in water at 80 ° C. for 1 hour under a catalyst maintains a uniform appearance at a temperature of 20 ° C. A uniform appearance means that precipitation does not occur, and may be cloudy. Alternatively, the monomer is mixed with a photopolymerization initiator to form a coating film having a film thickness of about 20 μm, and then all of the homopolymer coating film cured by ultraviolet light with an integrated light quantity of 400 mJ / cm 2 dissolves in water at 20 ° C. It is decided by whether or not.
(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物と(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物とを併用することで、紫外線硬化性組成物から形成されるレジストは、エッチング液耐性と溶解剥離性とに優れる。従来、溶解剥離型のレジストでは、剥離液への溶解性とエッチング液への耐性とはトレードオフの関係にあり、両者を同時に高めることは難しかったが、本開示の紫外線硬化性組成物では、(A)成分と(B)成分との併用で、両者を同時に高めることができる。エッチング液は、一般的に、酸性であり、本開示の紫外線硬化性組成物のレジストは耐酸性に優れる。剥離液はアルカリ液が好ましく、本開示の紫外線硬化性組成物のレジストはアルカリ液への溶解性に優れる。 By using the (meth) acrylamide compound of the component (A) and the (meth) acrylamide compound of the component (B) in combination, the resist formed from the ultraviolet curable composition is excellent in etching solution resistance and dissolution peelability. . Conventionally, in the case of the dissolution and peeling type resist, there is a trade-off between the solubility in the peeling liquid and the resistance to the etching liquid, and it has been difficult to simultaneously enhance both, but in the UV curable composition of the present disclosure, Both the components (A) and (B) can be simultaneously enhanced. The etching solution is generally acidic, and the resist of the ultraviolet curable composition of the present disclosure is excellent in acid resistance. The stripping solution is preferably an alkaline solution, and the resist of the ultraviolet curable composition of the present disclosure is excellent in the solubility in an alkaline solution.
(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、下記式(1)で表される化合物を含むことが好ましい。 It is preferable that the (meth) acrylamide compound of (A) component contains the compound represented by following formula (1).
ここで、式(1)において、R1は水素原子又はメチル基を表す。R2は水素原子又はアルキル基を表し、R3は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表し、R2及びR3の炭素数の合計は0〜2である。 Here, in Formula (1), R 1 represents a hydrogen atom or a methyl group. R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group, R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxyalkyl group, and the total carbon number of R 2 and R 3 is 0 to 2.
式(1)の化合物で表される(メタ)アクリルアミド化合物において、R2及びR3の炭素数の合計が0〜2であると、そのホモポリマーの水溶性が高くなる。 In the compounds represented by (meth) acrylamide compound of formula (1), the total number of carbon atoms of R 2 and R 3 is a 0-2, a water-soluble homopolymer thereof is high.
(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物としては、例えば、(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミド、N−エチル(メタ)アクリルアミド、N−(メトキシメチル)(メタ)アクリルアミドが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。 Examples of the (meth) acrylamide compound as the component (A) include (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, N-methyl (meth) acrylamide, N-ethyl (meth) acrylamide, N- (methoxy) Methyl) (meth) acrylamide is mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.
(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミドから選ばれる少なくとも1つを含むことが好ましい。これらの成分を使用した場合、溶解剥離性の高いレジストが得られやすくなる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。 It is preferable that the (meth) acrylamide compound of (A) component contains at least 1 chosen from (meth) acrylamide, N, N- dimethyl (meth) acrylamide, and N- methyl (meth) acrylamide. When these components are used, it is easy to obtain a resist with high dissolution and releasability. These may be used alone or in combination of two or more.
(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、下記式(2)で表される化合物を含むことが好ましい。 It is preferable that the (meth) acrylamide compound of (B) component contains the compound represented by following formula (2).
ここで、式(2)において、R4は水素原子又はメチル基を表す。一の態様では、R5は水素原子又はアルキル基を表し、R6は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表す。他の態様では、R5及びR6は、酸素原子を介して2つのアルキレン基が繋がった環状エーテル構造を形成する。これらいずれの態様においても、R5及びR6の炭素数の合計は3以上である。 Here, in Formula (2), R 4 represents a hydrogen atom or a methyl group. In one aspect, R 5 represents a hydrogen atom or an alkyl group, and R 6 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxyalkyl group. In another aspect, R 5 and R 6 form a cyclic ether structure in which two alkylene groups are connected via an oxygen atom. In any of these embodiments, the total carbon number of R 5 and R 6 is 3 or more.
(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物としては、例えば、N,N−ジエチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−n−プロピル(メタ)アクリルアミド、N−シクロプロピル(メタ)アクリルアミド、N−n−ブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、N−イソブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、4−(メタ)アクリロイルモルホリン、N−ターシャリーブチル(メタ)アクリルアミド、N−ターシャリーオクチル(メタ)アクリルアミドが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。 Examples of the (meth) acrylamide compound as the component (B) include N, N-diethyl (meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, N-n-propyl (meth) acrylamide, N-cyclopropyl (meth) Acrylamide, N-n-butoxymethyl (meth) acrylamide, N-isobutoxymethyl (meth) acrylamide, 4- (meth) acryloyl morpholine, N-tertiary butyl (meth) acrylamide, N-tertiary octyl (meth) acrylamide Can be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.
(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、N,N−ジエチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−n−ブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、4−(メタ)アクリロイルモルホリンから選ばれる少なくとも1つを含むことが好ましい。これらの成分を使用した場合、耐酸性の高いレジストが得られやすくなる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。なお、4−(メタ)アクリロイルモルホリンは、式(2)のR5及びR6が環状エーテル構造を形成する化合物に該当する。 The (meth) acrylamide compound of the component (B) is selected from N, N-diethyl (meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, N-n-butoxymethyl (meth) acrylamide and 4- (meth) acryloyl morpholine It is preferable to include at least one of When these components are used, a resist having high acid resistance can be easily obtained. These may be used alone or in combination of two or more. Incidentally, 4- (meth) acryloyl morpholine, R 5 and R 6 of formula (2) corresponds to the compound to form a cyclic ether structure.
なお、紫外線硬化性組成物は、式(1)以外の(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物や、式(2)以外の(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物を含んでもよい。式(1)にも式(2)にも属さない(メタ)アクリルアミド化合物としては、たとえば、N−ヒドロキシエチル(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリルアミド、ジアセトン(メタ)アクリルアミド、N、N’−メチレンビスアクリルアミドが挙げられる。これらのうち、水に溶解するホモポリマーを形成可能な(メタ)アクリルアミド化合物は、(A)成分に属し、水に溶解しないホモポリマーを形成可能な(メタ)アクリルアミド化合物は、(B)成分に属する。 In addition, the ultraviolet curable composition may also contain the (meth) acrylamide compound of the (A) component other than Formula (1), and the (meth) acrylamide compound of the (B) component other than Formula (2). As a (meth) acrylamide compound which does not belong to Formula (1) or Formula (2), for example, N-hydroxyethyl (meth) acrylamide, N, N-dimethylaminopropyl (meth) acrylamide, diacetone (meth) acrylamide And N, N'-methylenebisacrylamide. Among these, the (meth) acrylamide compound capable of forming a homopolymer soluble in water belongs to the component (A), and the (meth) acrylamide compound capable of forming a homopolymer not soluble in water is a component (B) Belongs.
(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物よりも多いことが好ましい。それにより、良好な塗膜物性を保ったまま、溶解剥離性の高いレジストが得られやすくなる。 It is preferable that the (meth) acrylamide compound of (B) component is more than the (meth) acrylamide compound of (A) component. As a result, it is easy to obtain a resist having high dissolution and releasability while maintaining good coating film properties.
(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物と(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物との含有比率は、質量比で、1:1〜1:10であることが好ましい。この範囲の含有比率となることで、溶解剥離性と耐酸性とがバランスよく高まる。(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物と(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物との含有比率は、質量比で、1:2〜1:9であることがさらに好ましい。(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物の量は、(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物の量の3倍以上であってもよい。(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物の量は、(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物の量の8倍以下であってもよく、6倍以下であってもよい。 The content ratio of the (meth) acrylamide compound of the component (A) to the (meth) acrylamide compound of the component (B) is preferably 1: 1 to 1:10 by mass ratio. By having the content ratio in this range, the dissolution peelability and the acid resistance increase in a well-balanced manner. The content ratio of the (meth) acrylamide compound of the component (A) to the (meth) acrylamide compound of the component (B) is more preferably 1: 2 to 1: 9 in mass ratio. The amount of the (meth) acrylamide compound of the component (B) may be three or more times the amount of the (meth) acrylamide compound of the component (A). The amount of the (meth) acrylamide compound of the component (B) may be 8 times or less or 6 times or less the amount of the (meth) acrylamide compound of the component (A).
(A)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、紫外線硬化性組成物全量に対して、1〜20質量%であることが好ましい。(A)成分の含有量がこの範囲になることで、溶解剥離性の優れたレジストを得ることができる。(A)成分の重合性モノマーの含有量が少なくなりすぎると、溶解剥離性が十分でなくなる可能性がある。(A)成分の含有量が多くなりすぎると耐酸性が十分でなくなる可能性がある。(A)成分の含有量は、3〜15質量%であることがより好ましく、4〜10質量%であることがさらに好ましい。 It is preferable that the (meth) acrylamide compound of (A) component is 1-20 mass% with respect to the ultraviolet curable composition whole quantity. When the content of the component (A) falls within this range, it is possible to obtain a resist having excellent dissolution and releasability. If the content of the polymerizable monomer of the component (A) is too small, the dissolution and removability may not be sufficient. If the content of the component (A) is too large, the acid resistance may not be sufficient. The content of the component (A) is more preferably 3 to 15% by mass, and still more preferably 4 to 10% by mass.
(B)成分の(メタ)アクリルアミド化合物は、紫外線硬化性組成物全量に対して、10〜70質量%であることが好ましい。(B)成分の含有量がこの範囲になることで、耐酸性の優れたレジストを得ることができ、特にサテライトの発生を抑制するため、シャープなラインを形成できる。サテライトとはいわゆる塗料の飛び散りである。
(B)成分の重合性モノマーの含有量が少なくなりすぎると、耐酸性が十分でなくなる可能性がある。(B)成分の含有量が多くなりすぎると溶解剥離性が十分でなくなる可能性がある。(B)成分の含有量は、15〜60質量%であることがより好ましく、20〜55質量%であることがさらに好ましい。
It is preferable that it is 10-70 mass% with respect to the ultraviolet curable composition whole quantity of the (meth) acrylamide compound of (B) component. When the content of the component (B) falls within this range, a resist excellent in acid resistance can be obtained, and in particular, sharp lines can be formed because generation of satellites is suppressed. Satellites are so-called paint splashes.
If the content of the polymerizable monomer of the component (B) is too small, the acid resistance may be insufficient. If the content of the component (B) is too large, the removability may not be sufficient. The content of the component (B) is more preferably 15 to 60% by mass, and still more preferably 20 to 55% by mass.
なお、(A)成分と(B)成分とをあわせた(メタ)アクリルアミド化合物合計量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、20〜80質量%であることが好ましい。それにより、良好な硬化性が得られる。(A)成分と(B)成分とをあわせた(メタ)アクリルアミド化合物合計量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、30〜70質量%であることがさらに好ましい。 In addition, it is preferable that the (meth) acrylamide compound total amount which united (A) component and (B) component is 20-80 mass% with respect to the ultraviolet curable composition whole quantity. Thereby, good curability is obtained. It is more preferable that the (meth) acrylamide compound total amount which united (A) component and (B) component is 30-70 mass% with respect to the ultraviolet curable composition whole quantity.
(C)成分は光重合開始剤である。光重合開始剤として、たとえば、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤、アルキルフェノン系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤、オキシムエステル系光重合開始剤、カチオン系光重合開始剤が挙げられる。このうち、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤が好ましい。光重合開始剤として、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤を使用することにより、紫外線硬化性組成物における硬化性が特に向上し、塗膜物性が向上する。また、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤は、紫外線硬化性組成物が染料を含む場合にも好ましい。その場合に色抜けが効果的に抑制される。その理由は、着色した塗膜の硬化が良好に進行するため、光酸化による色抜けの原因物質であるオゾンへの耐性が向上し、耐侯性も向上するからと推測される。 Component (C) is a photopolymerization initiator. Examples of the photopolymerization initiator include acyl phosphine oxide photopolymerization initiator, alkylphenone photopolymerization initiator, titanocene photopolymerization initiator, oxime ester photopolymerization initiator, and cationic photopolymerization initiator. . Among these, an acyl phosphine oxide type photoinitiator is preferable. By using an acyl phosphine oxide type photoinitiator as a photoinitiator, the hardenability in a ultraviolet curable composition improves especially, and a coating film physical property improves. In addition, the acyl phosphine oxide type photopolymerization initiator is preferable also when the ultraviolet ray curable composition contains a dye. In that case, color loss is effectively suppressed. The reason for this is presumed to be that the curing of the colored coating proceeds well, so that the resistance to ozone, which is the causative substance of color loss due to photooxidation, is improved, and the weather resistance is also improved.
紫外線硬化性組成物は、光重合開始剤として、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤のみを含んでいてもよい。紫外線硬化性組成物は、光重合開始剤として、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤と、他の光重合開始剤とを含んでいてもよい。ただし、光重合開始剤が複数種を含む場合、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤の方が、それ以外の光重合開始剤よりも含有量が多いことが好ましい。 The ultraviolet curable composition may contain only an acyl phosphine oxide type photoinitiator as a photoinitiator. The ultraviolet curable composition may contain, as a photopolymerization initiator, an acyl phosphine oxide photopolymerization initiator and another photopolymerization initiator. However, when the photopolymerization initiator contains a plurality of types, it is preferable that the content of the acylphosphine oxide photopolymerization initiator is larger than that of the other photopolymerization initiators.
アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤としては、例えば、2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6−ジメトキシベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,6−ジクロロベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイルフェニルフォスフィン酸メチルエステル、2−メチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ピバロイルフェニルフォスフィン酸イソプロピルエステル等のモノアシルフォスフィンオキサイド系や、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−4−プロピルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジクロロベンゾイル)−1−ナフチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)フェニルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド、ビス−(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,5−ジメチルフェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−ジフェニルフォスフィンオキサイド、(2,5,6−トリメチルベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルフォスフィンオキサイド等のビスアシルフォスフィンオキサイド系が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。 Examples of acyl phosphine oxide photopolymerization initiators include 2,4,6-trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide, 2,6-dimethoxy benzoyl diphenyl phosphine oxide, 2,6-dichloro benzoyl diphenyl phosphine oxide, 2 Monoacyl phosphine oxides such as 2,4,6-trimethyl benzoyl phenyl phosphine acid methyl ester, 2-methyl benzoyl diphenyl phosphine oxide, pivaloyl phenyl phosphine acid isopropyl ester, and bis- (2,6-dichloro) Benzoyl) phenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -2,5-dimethylphenylphosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -4-pro Phenyl phosphine oxide, bis- (2,6-dichlorobenzoyl) -1-naphthyl phosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxy benzoyl) phenyl phosphine oxide, bis- (2, 6-dimethoxy benzoyl)- 2,4,4-trimethylpentyl phosphine oxide, bis- (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,5-dimethylphenyl phosphine oxide, bis (2,4,6-trimethyl benzoyl) -diphenyl phosphine oxide, Examples include bisacyl phosphine oxides such as (2,5,6-trimethyl benzoyl) -2,4,4-trimethylpentyl phosphine oxide. These may be used alone or in combination of two or more.
光重合開始剤の含有量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、1〜40質量%であることが好ましい。光重合開始剤の含有量がこの範囲になることで、良好な硬化塗膜を得ることができる。光重合開始剤の含有量が少なくなりすぎると、硬化性が十分でなくなる可能性がある。光重合開始剤の含有量が多くなりすぎるとインクジェット塗布が容易でなくなる可能性がある。光重合開始剤の含有量は、3〜30質量%であることがより好ましく、10〜25質量%であることがさらに好ましい。光重合開始剤の含有量は、さらに15質量%以上であってもよい。光重合開始剤の含有量は、さらに20質量%以下であってもよい。 The content of the photopolymerization initiator is preferably 1 to 40% by mass with respect to the total amount of the ultraviolet curable composition. When the content of the photopolymerization initiator is in this range, a good cured coating can be obtained. If the content of the photopolymerization initiator is too small, the curability may not be sufficient. If the content of the photopolymerization initiator is too large, the ink jet application may not be easy. The content of the photopolymerization initiator is more preferably 3 to 30% by mass, and further preferably 10 to 25% by mass. The content of the photopolymerization initiator may be 15% by mass or more. The content of the photopolymerization initiator may be 20% by mass or less.
(D)成分のカルボキシル基含有化合物は、1分子中に1個のエチレン性不飽和基を有する。エチレン性不飽和基により、(D)成分は光重合が可能である。また、(D)成分のカルボキシル基含有化合物は、1分子中に少なくとも1個のカルボキシル基を有する。カルボキシル基により、(D)成分は、アルカリに溶解し得る。(D)成分のカルボキシル基含有化合物は、1分子中にエチレン性不飽和基を1個のみ有することが好ましい。それにより、良好な溶解性が得られる。(D)成分のカルボキシル基含有化合物は、カルボキシル基を、1分子中に1個以上有しており、たとえば、1個のみ有してもよいし、2個有してもよいし、3個有してもよいし、それ以上有していてもよい。 The carboxyl group-containing compound of component (D) has one ethylenically unsaturated group in one molecule. The ethylenically unsaturated group allows the component (D) to be photopolymerized. In addition, the carboxyl group-containing compound of the component (D) has at least one carboxyl group in one molecule. The component (D) can be dissolved in alkali due to the carboxyl group. The carboxyl group-containing compound of component (D) preferably has only one ethylenically unsaturated group in one molecule. Thereby, good solubility is obtained. The carboxyl group-containing compound of the component (D) has one or more carboxyl groups in one molecule, and may have only one or two or three, for example. It may have or may have more.
(D)成分は、重合性モノマー(単量体)であり、重合に寄与する。本明細書において重合性モノマーとは、光重合するモノマーを意味する。不飽和炭素炭素結合は光重合性を発揮し得る。(D)成分のカルボキシル基含有化合物を使用することにより、アルカリへの溶解性が向上する。また、(D)成分は、染料の色抜けを効果的に抑制することができる。その理由は、染料の塩基性置換基と(D)成分のカルボキシル基が相互作用を有するからと推測される。カルボキシル基の存在が色抜けの抑制、耐酸性の向上に寄与していると考えられる。(D)成分の使用により、良好な塗膜が得られる。 The component (D) is a polymerizable monomer (monomer) and contributes to the polymerization. In the present specification, a polymerizable monomer means a monomer that is photopolymerized. Unsaturated carbon-carbon bonds can exhibit photopolymerizability. By using the carboxyl group-containing compound of component (D), the solubility in alkali is improved. In addition, the component (D) can effectively suppress the decoloring of the dye. The reason is presumed to be that the basic substituent of the dye and the carboxyl group of the component (D) have an interaction. It is thought that the presence of a carboxyl group contributes to the suppression of color loss and the improvement of acid resistance. By using the component (D), a good coating can be obtained.
(D)成分としては、フタル酸系の(メタ)アクリル酸エステル、コハク酸系の(メタ)アクリル酸エステルが例示される。このような(メタ)アクリル酸エステルとして、例えば、2−(メタ)アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチルコハク酸、2−(メタ)アクリロイロキシエチル−フタル酸、2−(メタ)アクリロイルオキシエチルテトラヒドロフタル酸が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。特に、これらのうちの2種以上を併用することにより、良好な紫外線硬化性組成物が得られる。フタル酸系の(メタ)アクリル酸エステルと、コハク酸系の(メタ)アクリル酸エステルとの併用は、良好な塗膜を形成するために特に好ましい。これ以外のカルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物としては、(メタ)アクリル酸、マレイン酸、ω−カルボキシ−ポリカプロラクトン(n≒2)モノアクリレート、クロトン酸、桂皮酸、β−カルボキシエチルアクリレート、マレイン酸モノ[2−(メタ)アクリロイロキシエチル]を挙げることができる。このように、カルボキシル基を有するエチレン性不飽和化合物は、カルボキシル基を有する(メタ)アクリル酸エステルであってもよいし、置換基の導入された(メタ)アクリル酸であってもよいし、その他の構造を有する化合物であってもよい。 Examples of the component (D) include phthalic acid-based (meth) acrylic acid esters and succinic acid-based (meth) acrylic acid esters. As such (meth) acrylic acid ester, for example, 2- (meth) acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl succinic acid, 2- (meth) acryloyloxyethyl-phthalic acid The acids include 2- (meth) acryloyloxyethyl tetrahydrophthalic acid. These may be used alone or in combination of two or more. In particular, a good ultraviolet curable composition can be obtained by using two or more of these in combination. The combined use of a phthalic acid-based (meth) acrylic acid ester and a succinic acid-based (meth) acrylic acid ester is particularly preferable in order to form a good coating film. As ethylenic unsaturated compounds having other carboxyl groups, (meth) acrylic acid, maleic acid, ω-carboxy-polycaprolactone (n ≒ 2) monoacrylate, crotonic acid, cinnamic acid, β-carboxyethyl acrylate, Maleic acid mono [2- (meth) acryloyloxyethyl] can be mentioned. Thus, the ethylenically unsaturated compound having a carboxyl group may be a (meth) acrylic acid ester having a carboxyl group, or may be a (meth) acrylic acid into which a substituent has been introduced, It may be a compound having another structure.
(D)成分のカルボキシル基含有化合物は、2−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、2−アクリロイロキシエチルコハク酸、から選ばれる少なくとも1つを含むことが好ましい。この場合、耐酸性と溶解剥離性の良好な塗膜が容易に得られる。 The carboxyl group-containing compound of component (D) preferably contains at least one selected from 2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid and 2-acryloyloxyethyl succinic acid. In this case, a coating film having good acid resistance and dissolution and removability can be easily obtained.
(D)成分のカルボキシル基含有化合物の含有量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、1〜50質量%であることが好ましい。(D)成分の含有量がこの範囲になることで、良好な硬化塗膜を得ることができる。(D)成分の含有量が少なくなりすぎると、エッチングレジストとして溶解剥離性を維持できなくなるおそれがある。(D)成分の含有量が多くなりすぎるとインクジェット塗布が容易でなくなる可能性がある。(D)成分の含有量は、5〜40質量%であることがより好ましく、8〜35質量%であることがさらに好ましい。インクジェット塗布を容易にするためには、(D)成分の含有量は、30質量%以下であることがさらに好ましく、25質量%以下であることがよりさらに好ましい。溶解剥離性を高めるためには、(D)成分の含有量は、10質量%以上であることがさらに好ましく、14質量%以上であることがよりさらに好ましい。 It is preferable that content of the carboxyl group-containing compound of (D) component is 1-50 mass% with respect to the ultraviolet curable composition whole quantity. When the content of the component (D) falls within this range, a good cured coating can be obtained. If the content of the component (D) is too small, there is a possibility that the dissolution and removability of the etching resist can not be maintained. If the content of the component (D) is too large, the ink jet application may not be easy. The content of the component (D) is more preferably 5 to 40% by mass, and still more preferably 8 to 35% by mass. In order to facilitate inkjet coating, the content of the component (D) is more preferably 30% by mass or less, and still more preferably 25% by mass or less. In order to enhance the dissolution and removability, the content of the component (D) is more preferably 10% by mass or more, and still more preferably 14% by mass or more.
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、(E)1分子中に1個のエチレン性不飽和基を有する疎水性のアクリル酸エステルをさらに含有することが好ましい。それにより、レジストの溶解剥離性を維持しつつ、レジストの耐酸性をさらに向上させることができる。 It is preferable that the ultraviolet curable composition for inkjet etching resists further contains the hydrophobic acrylic acid ester which has one ethylenically unsaturated group in 1 molecule of (E). Thereby, the acid resistance of the resist can be further improved while maintaining the dissolution and removability of the resist.
(E)成分の(メタ)アクリル酸エステルとしては、例えば、プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリレート、イソブチル(メタ)アクリレート、ターシャリーブチル(メタ)アクリート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、n−オクチル(メタ)アクリレート、n−デシル(メタ)アクリレート、イソデシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、ミリスチル(メタ)アクリレート、セチル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート等の直鎖、分岐或は脂環式アルキル系(メタ)アクリレート類;メトキシエチル(メタ)アクリレート、エトキシエチル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、べンジル(メタ)アクリレート等の芳香族系の(メタ)アクリレート類、ジエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート等のエチレングリーコール系の(メタ)アクリレート類;グリセロールモノ(メタ)アクリレート等のグリセロール系の(メタ)アクリレート類が挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。 Examples of the (meth) acrylate ester of the component (E) include propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, isobutyl (meth) acrylate, tertiary butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, n-octyl (meth) acrylate, n-decyl (meth) acrylate, isodecyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, myristyl (meth) acrylate, cetyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, isobonyl (meth) Straight-chain, branched or alicyclic alkyl (meth) acrylates such as acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate; methoxyethyl (meth) acrylate, ethoxyethyl (meth) acrylate ) Aromatic (meth) acrylates such as acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, and ethylene glycol-based (meth) acrylates such as diethylene glycol mono (meth) acrylate; Glycerol-based (meth) acrylates such as meta) acrylate may be mentioned. These may be used alone or in combination of two or more.
(E)成分の(メタ)アクリル酸エステルとしては、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、イソボニル(メタ)アクリレートから選ばれる1つ以上が特に好ましい。これらのアクリル酸エステルにより、塗膜硬度が良好な硬化塗膜がより形成されやすくなる。 As the (meth) acrylic acid ester of the component (E), one or more selected from phenoxyethyl (meth) acrylate and isobonyl (meth) acrylate is particularly preferable. These acrylic esters make it easier to form a cured coating having a good coating hardness.
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、(F)染料を含有することが好ましい。それにより、レジストに着色が付与されるため、レジストの視認性が高まる。染料により着色したインクが硬化して塗膜を形成し、レジストパターンが明瞭になる。染料は、着色剤として機能する。 It is preferable that the ultraviolet curable composition for inkjet etching resists contains (F) dye. As a result, the resist is colored, which enhances the visibility of the resist. The ink colored with the dye cures to form a coating, and the resist pattern becomes clear. Dyes function as colorants.
(F)成分の染料は、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料、から選ばれる少なくとも1つの染料を含むことが好ましい。アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料の使用により、色抜けが抑制される。これらの染料は骨格が比較的剛直である。そのため、色抜けの抑制効果が高いものと推測される。 The dye of the component (F) preferably contains at least one dye selected from a dye having an anthraquinone skeleton and an amino group, a dye having a naphthalene skeleton and an amino group, and a dye having a phthalocyanine skeleton. The use of a dye having an anthraquinone skeleton and an amino group, a dye having a naphthalene skeleton and an amino group, and a dye having a phthalocyanine skeleton suppresses color loss. These dyes are relatively rigid in backbone. Therefore, it is presumed that the effect of suppressing color loss is high.
アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料としては、例えば、ソルベントレッド122、ソルベントブルー35が挙げられる。 Examples of dyes having an anthraquinone skeleton and an amino group include Solvent Red 122 and Solvent Blue 35.
ソルベントレッド122の構造式を下記に示す。 The structural formula of the solvent red 122 is shown below.
ソルベントブルー35の構造式を下記に示す。 The structural formula of solvent blue 35 is shown below.
ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料としては、例えば、ソルベントブルー5、ベーシックブルー7が挙げられる。 Examples of the dye having a naphthalene skeleton and an amino group include Solvent Blue 5 and Basic Blue 7.
ソルベントブルー5の構造式を下記に示す。 The structural formula of Solvent Blue 5 is shown below.
ベーシックブルー7の構造式を下記に示す。 The structural formula of Basic Blue 7 is shown below.
フタロシアニン骨格を有する染料としては、例えば、ダイレクトブルー87が挙げられる。 Examples of the dye having a phthalocyanine skeleton include Direct Blue 87.
ダイレクトブルー87の構造式を下記に示す。 The structural formula of direct blue 87 is shown below.
上記の染料の含有量は、紫外線硬化性組成物全量に対して、0.01〜3質量%であることが好ましい。染料の含有量がこの範囲になることで、着色された良好な硬化塗膜を得ることができ、耐酸性が向上する。染料の含有量が少なくなると、着色性が十分でなくなる可能性がある。染料の含有量が多くなると硬化性が十分でなくなる可能性がある。染料の含有量は、0.03〜2質量%であることがより好ましく、0.05〜1質量%であることがさらに好ましい。染料の含有量は、さらに0.1質量%以上となってもよい。染料の含有量は、さらに0.5質量%以下となってもよい。 It is preferable that content of said dye is 0.01-3 mass% with respect to the ultraviolet curable composition whole quantity. When the content of the dye falls within this range, a colored cured film can be obtained and the acid resistance is improved. When the content of the dye decreases, the colorability may not be sufficient. When the content of the dye increases, the curability may not be sufficient. The content of the dye is more preferably 0.03 to 2% by mass, and still more preferably 0.05 to 1% by mass. The content of the dye may be 0.1% by mass or more. The content of the dye may be 0.5% by mass or less.
アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料のいずれにも該当しない染料としては、例えば、アシッドブルー9が挙げられる。アシッドブルー9のみを使用した塗膜では、色抜けが起こりやすいことが確認されている。 Examples of the dye that does not correspond to any of the dye having an anthraquinone skeleton and an amino group, the dye having a naphthalene skeleton and an amino group, and the dye having a phthalocyanine skeleton include Acid Blue 9 and the like. It has been confirmed that in a coating film using only Acid Blue 9, color loss is likely to occur.
なお、紫外線硬化性組成物は、染料として、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料以外の染料を含んでいてもよい。ただし、アントラキノン骨格とアミノ基とを有する染料、ナフタレン骨格とアミノ基とを有する染料、及び、フタロシアニン骨格を有する染料の方が、それ以外の染料よりも、含有量が多いことが好ましい。染料は一種類を単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。 The ultraviolet curable composition may contain, as a dye, a dye having an anthraquinone skeleton and an amino group, a dye having a naphthalene skeleton and an amino group, and a dye other than a dye having a phthalocyanine skeleton. However, it is preferable that the dye having an anthraquinone skeleton and an amino group, the dye having a naphthalene skeleton and an amino group, and the dye having a phthalocyanine skeleton have a larger content than the other dyes. The dyes may be used alone or in combination of two or more.
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、上記(A)〜(F)成分以外に、適宜の成分を含んでいてもよい。例えば、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、上記以外の重合性モノマー、添加剤、有機溶剤を含み得る。 The ultraviolet curable composition for inkjet etching resists may contain an appropriate component other than the said (A)-(F) component. For example, the ultraviolet curable composition for inkjet etching resist may contain polymerizable monomers, additives, and organic solvents other than the above.
重合性モノマーとしては、分子内に炭素炭素二重結合を有する化合物が用いられ得る。重合性モノマーとして、例えば、スチレン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビニルトルエン、α−メチルスチレン、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン、o−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、m−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン、p−ビニルベンジルアルコール等のビニル芳香族化合物類;マレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド等のマレイミド類;酢酸ビニル、ビニルエーテル類、(メタ)アリルアルコール、シアン化ビニリデン、塩化ビニル、塩化ビニリデン、ビニルピロリドン、(メタ)アクリロニトリルが挙げられる。これらは単独で用いてもよく、複数を併用してもよい。 As the polymerizable monomer, a compound having a carbon-carbon double bond in the molecule can be used. As a polymerizable monomer, for example, styrene, o-vinyltoluene, m-vinyltoluene, p-vinyltoluene, α-methylstyrene, o-hydroxystyrene, m-hydroxystyrene, p-hydroxystyrene, o-hydroxy-α- Vinyl aromatic compounds such as methylstyrene, m-hydroxy-α-methylstyrene, p-hydroxy-α-methylstyrene, p-vinylbenzyl alcohol, etc .; maleimide, N-benzyl maleimide, N-phenyl maleimide, N-cyclohexyl maleimide And maleimides; vinyl acetate, vinyl ethers, (meth) allyl alcohol, vinylidene cyanide, vinyl chloride, vinylidene chloride, vinyl pyrrolidone, (meth) acrylonitrile. These may be used alone or in combination of two or more.
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、1分子中にエチレン性不飽和基を2個以上有する化合物を含有しないことが好ましい。それにより、レジストの溶解剥離性が高まる。この場合、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、単官能のモノマーのみを含み、多官能のモノマーを含まないことになり得る。単官能とは、エチレン性不飽和基が分子中に1個あることを意味し、多官能とは、エチレン性不飽和基が分子中に2個以上あることを意味する。従来、単官能のモノマーのみから形成された塗膜は、硬化性が悪く、耐水性、耐酸性も悪くなる問題があったが、本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物では、(A)成分と(B)成分との併用により、これらの問題が改善される。 It is preferable that the ultraviolet curable composition for inkjet etching resist does not contain the compound which has 2 or more of ethylenic unsaturated groups in 1 molecule. Thereby, the dissolution and removability of the resist is enhanced. In this case, the UV curable composition for inkjet etching resist may contain only monofunctional monomers and may not contain polyfunctional monomers. Monofunctional means that there is one ethylenically unsaturated group in the molecule, and polyfunctional means that there are two or more ethylenically unsaturated groups in the molecule. Conventionally, a coating film formed only of a monofunctional monomer has a problem in that the curability is poor and the water resistance and acid resistance are also poor. However, in the ultraviolet curable composition for inkjet etching resist of the present disclosure, (A These problems are ameliorated by the combination of the component (B) and the component (B).
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、溶剤を含まないことが好ましい。それにより、揮発成分が存在しない。これによりVOCフリー(揮発性有機化合物なし)という特性を与え得る。上記の成分のいずれか1つ以上が液体であると、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、無溶剤でも液状になり得る。 It is preferable that the ultraviolet curable composition for inkjet etching resist does not contain a solvent. Thereby, no volatile component is present. This can give the property of being VOC free (without volatile organic compounds). When any one or more of the above components are liquid, the ultraviolet curable composition for an inkjet etching resist can be liquid even without a solvent.
なお、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、上記(A)〜(F)成分のみで構成されてもよいし、上記(A)〜(E)成分のみで構成されてもよいし、上記(A)〜(D)成分のみで構成されてもよい。 In addition, the ultraviolet curable composition for inkjet etching resists may be comprised only with said (A)-(F) component, and may be comprised only with said (A)-(E) component, and said You may be comprised only with (A)-(D) component.
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、液状であることが好ましい。それにより、インクジェット塗布機により容易に塗布を行うことができる。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、液体成分内に固体成分が溶解又は分散している状態であり得る。 It is preferable that the ultraviolet curable composition for inkjet etching resists is a liquid. Thus, the coating can be easily performed by the ink jet coater. The ultraviolet curable composition for inkjet etching resist may have a solid component dissolved or dispersed in a liquid component.
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、25℃での粘度が40mPa・s以下であることが好ましい。それにより、インクジェット塗布機で良好に塗布を行うことができる。インクジェット塗布では、通常、加温されてインクが吐出される。このとき、インクは粘度が10mPa・s程度になるような温度に加温される。25℃での粘度が40mPa・sを超えると、塗布時のインクの温度を高くすることが求められ、効率が低下するおそれがある。また、25℃での粘度が40mPa・sを超えると、インクジェット塗布によって形成された塗膜のパターンが不明瞭になりやすくなる。そのため、25℃での粘度が40mPa・s以下となるのが好適である。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、25℃での粘度が30mPa・s以下であることがより好ましく、25mPa・s以下であることがさらに好ましく、20mPa・s以下であることがよりさらに好ましい。 It is preferable that the ultraviolet curable composition for inkjet etching resists is 40 mPa * s or less in viscosity in 25 degreeC. Thereby, the coating can be satisfactorily performed by the ink jet coater. In ink jet coating, the ink is usually heated and discharged. At this time, the ink is heated to a temperature such that the viscosity is about 10 mPa · s. When the viscosity at 25 ° C. exceeds 40 mPa · s, it is required to raise the temperature of the ink at the time of application, which may lower the efficiency. In addition, when the viscosity at 25 ° C. exceeds 40 mPa · s, the pattern of the coating film formed by inkjet coating tends to be unclear. Therefore, it is preferable that the viscosity at 25 ° C. be 40 mPa · s or less. The ultraviolet curable composition for an inkjet etching resist preferably has a viscosity of 30 mPa · s or less at 25 ° C., more preferably 25 mPa · s or less, and still more preferably 20 mPa · s or less .
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、25℃での粘度が5mPa・s以上であることが好ましい。それより、インクジェット塗布の際に、吐出ノズルからインクがこぼれ落ちることが抑制される。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、25℃での粘度が8mPa・s以上であることがより好ましい。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物の粘度は、B型粘度計などで測定することができる。 It is preferable that the ultraviolet curable composition for inkjet etching resists is 5 mPa * s or more in viscosity in 25 degreeC. As a result, it is possible to suppress the spillage of the ink from the discharge nozzle during the inkjet application. It is more preferable that the ultraviolet curable composition for inkjet etching resists has a viscosity of 8 mPa · s or more at 25 ° C. The viscosity of the ultraviolet curable composition for inkjet etching resist can be measured with a B-type viscometer or the like.
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、非水系であることが好ましい。非水系とは、水を含有しないことを意味する。水は硬化性を阻害するため、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物が水を含有しないことで、硬化性の良好な塗膜を得ることができる。なお、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物が非水系であるとは、積極的に水が配合されていないことを意味しており、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、吸湿性を有する材料を原因として少量の水を含んでいる場合も、非水系となる。ただし、非水系の場合、紫外線硬化性組成物中に検出される水の含有量は、1質量%以下が好ましい。 The ultraviolet curable composition for inkjet etching resist is preferably non-aqueous. Non-aqueous means that it does not contain water. Water inhibits the curability, so that the ultraviolet curable composition for an ink jet etching resist does not contain water, whereby a coating film with good curability can be obtained. In addition, that the ultraviolet curable composition for inkjet etching resists is non-aqueous means that water is not mix | blended actively, and the ultraviolet curable composition for inkjet etching resists has hygroscopicity. It is also non-aqueous when it contains a small amount of water due to the material. However, in the case of a non-aqueous system, the content of water detected in the ultraviolet curable composition is preferably 1% by mass or less.
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、上記(A)〜(F)の成分、及び、その他必要に応じて添加される添加成分を、所定量配合させることで調製することができる。この配合時には必要に応じて、アルコール類、ケトン類等の希釈溶剤を添加してもよいし、添加しなくてもよい。液状の原料は、溶剤としての機能を兼ね備えることができる。無溶剤の場合、揮発成分が存在しない。これによりVOCフリー(揮発性有機化合物なし)という特性を与え得る。 The ultraviolet curable composition for inkjet etching resists can be prepared by mix | blending predetermined amounts the component of said (A)-(F), and the additional component added as needed. At the time of this blending, if necessary, a diluting solvent such as alcohols and ketones may be added or may not be added. The liquid raw material can have a function as a solvent. In the case of no solvent, no volatile component is present. This can give the property of being VOC free (without volatile organic compounds).
上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物を用いれば、例えば、導体パターンを形成することができる。導体パターンの形成により、プリント配線板を製造することができる。インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、直描方式にて基板上に塗布され得る。直描方式による塗布とは、ノズルからインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物(以下「レジストインク」ともいう)を吐出させて基板上にレジストインクを塗布することで、レジストインク層を所望の形状にあわせて形成させることをいう。所望の形状が配線形状であれば、パターン状の配線の形成が可能になる。 For example, a conductor pattern can be formed by using the above-described ultraviolet curable composition for an inkjet etching resist. A printed wiring board can be manufactured by formation of a conductor pattern. The ultraviolet curable composition for inkjet etching resist can be applied on a substrate by a direct writing method. With the direct drawing method, the resist ink layer has a desired shape by applying a resist ink onto a substrate by discharging an ultraviolet curable composition for inkjet etching resist (hereinafter, also referred to as “resist ink”) from a nozzle. It means to form according to. If the desired shape is a wiring shape, it becomes possible to form a pattern of wiring.
上記直描方式では、例えば、一般的に市販されているインクジェット塗布装置を用いることができる。具体的には、エッチングレジストインクとして調製された上記レジストインクを、ピエゾ型のインクジェットヘッドを用いて基板に向けて吐出し、基板上にレジストインク層を形成するようにすればよい。この場合、レジストインクを粘度が10mPa・s程度になるような温度に加温すれば、解像性がより向上するという点で好ましい。加温の温度は、例えば、25〜60℃の範囲内であってよい。 In the above-described direct drawing method, for example, a generally commercially available inkjet coating device can be used. Specifically, the resist ink prepared as the etching resist ink may be discharged toward the substrate using a piezoelectric inkjet head to form a resist ink layer on the substrate. In this case, it is preferable to heat the resist ink to such a temperature that the viscosity is about 10 mPa · s, in that the resolution is further improved. The heating temperature may be, for example, in the range of 25 to 60 ° C.
上記基板としては、適宜の基板を使用することができる。基板として、例えば、樹脂基板、セラミック基板、金属基板などが挙げられる。基板として、絶縁基板を用いてもよい。また、導電体を有する積層板を基板として用いてもよい。積層板として銅張り積層板が例示される。 An appropriate substrate can be used as the substrate. As a board | substrate, a resin substrate, a ceramic substrate, a metal substrate etc. are mentioned, for example. An insulating substrate may be used as the substrate. Alternatively, a laminate having a conductor may be used as the substrate. A copper-clad laminate is exemplified as the laminate.
レジストインクのインクジェット塗布を行ってパターン状のレジストインク層を形成した後、硬化処理を行う。例えば、レジストインク層に直接または間接的に紫外線を照射し、硬化塗膜を形成させるようにすればよい。紫外線の照射は、例えば、ケミカルランプ、低圧水銀灯、中圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ又はメタルハライドランプ、LED−UVランプ等を用いればよい。また、硬化工程においては紫外線の他、電子線なども採用することもでき、モノマー等の分子を重合又は架橋させ得る程度のエネルギー量子を有する活性エネルギー線であれば特に制限はない。紫外線照射量は特に限定されるものではないが、例えば、100〜1000mJ/cm2の範囲内であってよい。 After a resist ink is applied by inkjet coating to form a patterned resist ink layer, a curing process is performed. For example, the resist ink layer may be irradiated with ultraviolet light directly or indirectly to form a cured coating film. For irradiation with ultraviolet light, for example, a chemical lamp, a low pressure mercury lamp, a medium pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a xenon lamp or a metal halide lamp, an LED-UV lamp or the like may be used. Further, in the curing step, in addition to ultraviolet rays, electron beams and the like can also be adopted, and there is no particular limitation as long as it is an active energy ray having an energy quantum that can polymerize or crosslink molecules such as monomers. The ultraviolet irradiation dose is not particularly limited, but may be, for example, in the range of 100 to 1000 mJ / cm 2 .
なお、上記のように硬化塗膜を形成した後、さらに追加で紫外線を照射することが好ましく、この場合、より確実にレジストインクを硬化させることができ、未反応物も残りにくくすることができる。追加で紫外線を照射する場合、紫外線照射量の合計(元の照射量と追加の照射量を合わせた量)は、例えば、1000〜3000mJ/cm2の範囲内であってよい。 In addition, after forming a cured coating film as described above, it is preferable to additionally irradiate ultraviolet light, and in this case, the resist ink can be cured more reliably, and unreacted substances can be made less likely to remain. . In the case of additionally irradiating ultraviolet light, the total amount of ultraviolet irradiation (the sum of the original irradiation and the additional irradiation) may be, for example, in the range of 1000 to 3000 mJ / cm 2 .
金属などの導電層を有する基板を用いた場合、上記硬化処理を行った後、エッチング処理工程を経ることによって、基板上にパターン状の導電体を容易に形成することができる。エッチング工程では、例えば、エッチング液を用いて、導電層を部分的に除去する。それにより、レジストパターンと同様のパターンの導電層が形成される。 In the case of using a substrate having a conductive layer of metal or the like, after conducting the above-mentioned curing treatment, a patterned conductor can be easily formed on the substrate by passing through the etching treatment step. In the etching step, the conductive layer is partially removed using, for example, an etching solution. Thereby, a conductive layer having the same pattern as the resist pattern is formed.
本開示のレジストインク(インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物)は、溶解剥離型である。溶解剥離型では、レジストインク層が溶解しながら剥離する。溶解剥離型のレジストインクは、膨潤剥離型で生じ得る剥離片の再付着の問題がほとんどなくなる。また、溶解剥離型のレジストインクは、膨潤剥離型や膨潤溶解型で生じ得る、下地となる基材の凹凸部分で残渣が発生する問題が生じにくい。そのため、溶解剥離型のレジストインクは、剥離性の良好なレジストインク層を形成することができる。 The resist ink (ultraviolet curable composition for inkjet etching resist) of the present disclosure is a dissolution and release type. In the dissolution and peeling type, the resist ink layer is peeled while being dissolved. The dissolution and release type resist ink almost eliminates the problem of the reattachment of the exfoliation piece which can occur in the swelling and release type. In addition, the dissolution and release type resist ink is less likely to cause a problem that a residue is generated in the uneven portion of the base material which can be generated in the swelling and release type and the swelling and dissolution type. Therefore, the dissolution and release type resist ink can form a resist ink layer with good releasability.
レジストインク層は、レジスト溶解剥離液を用いて溶解剥離させることができる。溶解剥離工程では、レジストインク層、すなわち、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物が硬化されて形成された硬化塗膜が、レジスト溶解剥離液で溶解し、接着面から剥離し得る。 The resist ink layer can be dissolved and peeled using a resist dissolving and peeling liquid. In the dissolution and peeling step, the resist ink layer, that is, the cured coating film formed by curing the ultraviolet curable composition for inkjet etching resist is dissolved in the resist dissolution and peeling liquid and may be peeled from the adhesive surface.
レジスト溶解剥離液としては、アルカリ溶液であることが好ましい。アルカリ溶液は、アルカリ性の水溶液であることが好ましい。それにより、容易に溶解剥離を行うことができる。例えば、レジスト溶解剥離液として、水酸化ナトリウム水溶液を使用することができる。水酸化ナトリウムの濃度は0.01〜5%であることが好ましい。水酸化ナトリウムの濃度は特に0.5〜3%であることが好ましい。その場合、溶解剥離が良好になる。なお、アルカリ溶液として、アルカリ性の成分を含む有機溶剤を使用してもよいし、有機溶剤を含んだアルカリ性の水溶液を使用してもよい。 The resist dissolving and peeling liquid is preferably an alkaline solution. The alkaline solution is preferably an alkaline aqueous solution. Thereby, the dissolution and peeling can be easily performed. For example, an aqueous solution of sodium hydroxide can be used as a resist dissolving and peeling solution. The concentration of sodium hydroxide is preferably 0.01 to 5%. The concentration of sodium hydroxide is particularly preferably 0.5 to 3%. In that case, the dissolution and peeling will be good. As the alkaline solution, an organic solvent containing an alkaline component may be used, or an alkaline aqueous solution containing an organic solvent may be used.
硬化塗膜の溶解剥離の方法としては、浸漬させる方法、スプレー塗布により溶解剥離させる方法、浸漬後に超音波等を照射させる方法等を用いることができる。浸漬させる方法により溶解剥離を行う場合、例えば、20〜60℃のレジスト溶解剥離液に30秒〜10分間浸漬させるようにすればよい。このような操作は1回行うのみでもよいし、同じ操作を複数回実施してもよい。 As a method of dissolving and peeling the cured coating film, a method of immersing, a method of dissolving and peeling by spray coating, a method of irradiating ultrasonic waves after immersion, and the like can be used. In the case of dissolving and peeling by a method of immersion, for example, it may be immersed in a resist dissolving and peeling solution at 20 to 60 ° C. for 30 seconds to 10 minutes. Such an operation may be performed only once, or the same operation may be performed multiple times.
以上のように、レジストインク層が溶解剥離されることで、所望のパターンの導電層が得られる。このような工程を経て形成されるパターン状の導電層は、配線回路導体として使用され得る。 As described above, the resist ink layer is dissolved and peeled, whereby a conductive layer having a desired pattern can be obtained. The patterned conductive layer formed through such a process can be used as a wired circuit conductor.
レジストインク層は、優れた耐酸性を発揮し得る。例えば、レジストインク層は、金属エッチング液中で剥離が生じにくくなる。エッチング液は、一般的に、酸性である。レジストインク層は良好な硬度を有し得る。例えば、レジストインク層は、鉛筆硬度が高くなり得る。 The resist ink layer can exhibit excellent acid resistance. For example, the resist ink layer is less likely to peel off in the metal etching solution. The etchant is generally acidic. The resist ink layer may have a good hardness. For example, the resist ink layer can have a high pencil hardness.
上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、インクジェット塗布に適したものであるため、インクジェット塗布機による塗布で、良好なレジストパターンが形成され得る。そのため、微細な導体パターンを良好に形成することができる。上記のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物を硬化させて形成した塗膜は、アルカリ水溶液によって、容易に溶解剥離され得る。そのため、有用なレジストが提供される。 Since the above-mentioned ultraviolet curable composition for ink jet etching resist is suitable for ink jet coating, a good resist pattern can be formed by coating with an ink jet coater. Therefore, a fine conductor pattern can be formed well. The coating film formed by curing the above-mentioned ultraviolet curable composition for inkjet etching resist can be easily dissolved and peeled off by an aqueous alkaline solution. Thus, useful resists are provided.
このように、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、プリント配線板の製造に有用である。また、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、ガラスパターンの形成用として、あるいはセラミックパターンの形成用として、使用することも可能である。さらに、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、配線保護材としての使用が可能である。また、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、銘板の製造に有用である。この場合、加飾用途として、インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物が使用される。これらの製造では、例えば、金属層を有する基材の金属層の上にレジストインク層をパターン状に形成し、金属層をエッチングすることで、パターン状になった金属を形成することができる。上述のように、パターン状の金属の形成後、レジストインク層は溶解剥離される。 Thus, the ultraviolet curable composition for inkjet etching resist is useful for manufacture of a printed wiring board. The ultraviolet curable composition for inkjet etching resist can also be used for forming a glass pattern or for forming a ceramic pattern. Furthermore, the ultraviolet curable composition for inkjet etching resist can be used as a wiring protection material. Also, UV curable compositions for ink jet etching resists are useful in the manufacture of nameplates. In this case, a UV curable composition for inkjet etching resist is used as a decoration application. In these productions, for example, a resist ink layer is formed in a pattern on a metal layer of a substrate having a metal layer, and the metal layer is etched to form a patterned metal. As described above, after the formation of the pattern-like metal, the resist ink layer is dissolved and peeled off.
以下、実施例を説明する。本開示のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物は、これらの実施例に限定されるものではない。 Examples will be described below. The UV curable compositions for ink jet etching resists of the present disclosure are not limited to these examples.
(実施例1〜18、比較例1〜3)
表1に示す配合組成に従い、実施例及び比較例のインクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物(レジストインク)を調製した。原料の詳細を以下に示す。
(Examples 1 to 18, Comparative Examples 1 to 3)
According to the composition shown in Table 1, the ultraviolet curable composition (resist ink) for inkjet etching resists of Examples and Comparative Examples was prepared. Details of the raw materials are shown below.
[(A)成分:(メタ)アクリルアミド、ただしホモポリマーが水に溶解する]
・メタクリルアミド(三井化学製「メタクリルアミド」)
・N,N−ジメチルアクリルアミド(KJケミカル製「DMAA」)
[(B)成分:(メタ)アクリルアミド、ただしホモポリマーが水に溶解しない]
・N,N−ジエチルアクリルアミド(KJケミカル製「DEAA」)
・N−イソプロピルアクリルアミド(KJケミカル製「NIPAM」)
・4−アクリロイルモルホリン(KJケミカル製「ACMO」)
・N−n−ブトキシメチルアクリルアミド(MRCユニテック製「NBMA」)
[(C)成分:光重合開始剤]
・トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド(BASF製「イルガキュアTPO」、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤)
・ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(BASF製「イルガキュア819」、アシルフォスフィンオキサイド系光重合開始剤)
[(D)成分:カルボキシル基含有化合物]
・2−アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸(共栄社製「ライトアクリレートHOA−HH)
・2−アクリロイロキシエチルコハク酸(共栄社製「ライトアクリレートHOA−MS)
[(E)成分:疎水性アクリル酸エステル]
・フェノキシエチルアクリレート(大阪有機化学製「ビスコート192」)
・イソボニルアクリレート(共栄社製「ライトアクリレート IB−XA」)
[(F)成分:染料]
・ソルベントブルー5(オリエント化学製「オイルブルー613」)
・ベーシックブルー7(保土谷化学製「ビクトリアピュアブルーBOH」)
・ソルベントブルー35(オリエント化学製「オイルブルー2N」)
・ダイレクトブルー87(オリエント化学製「バリファストブルー1621」)
・ソルベントレッド122(BASF製「オラゾールレッド395」)
尚、表1の配合組成の数値は質量部を示している。
[(A) component: (meth) acrylamide, but the homopolymer is soluble in water]
・ Methacrylamide (Mitsui Chemical "Methacrylamide")
・ N, N-dimethyl acrylamide ("DMAA" made by KJ Chemical)
[(B) component: (meth) acrylamide, but the homopolymer does not dissolve in water]
・ N, N-diethyl acrylamide ("DEAA" made by KJ Chemical)
-N-isopropyl acrylamide ("NIPAM" made by KJ Chemical)
4-Acryloyl morpholine ("ACMO" manufactured by KJ Chemical)
・ N-n-butoxymethyl acrylamide (“NBMA” manufactured by MRC Unitech)
[(C) component: photopolymerization initiator]
・ Trimethyl benzoyl diphenyl phosphine oxide ("IRGACURE TPO" made by BASF, an acyl phosphine oxide type photoinitiator)
・ Bis (2,4,6-trimethyl benzoyl) -phenyl phosphine oxide ("IRGACURE 819" made by BASF, an acyl phosphine oxide type photoinitiator)
[(D) component: carboxyl group-containing compound]
-2-acryloyloxyethyl hexahydrophthalic acid (manufactured by Kyoeisha "Light Acrylate HOA-HH")
-2-acryloyloxyethyl succinic acid (manufactured by Kyoeisha "Light Acrylate HOA-MS")
[(E) component: hydrophobic acrylic ester]
・ Phenoxyethyl acrylate (Osaka Organic Chemical Co., Ltd. "Biscoat 192")
・ Isobonyl acrylate ("Light acrylate IB-XA" manufactured by Kyoeisha)
[(F) component: dye]
Solvent Blue 5 (Oil Blue 613, manufactured by Orient Chemical Co., Ltd.)
・ Basic Blue 7 (Hodotani Chemical "Victor Pure Blue BOH")
Solvent Blue 35 (Oil Blue 2N, manufactured by Orient Chemical Co., Ltd.)
・ Direct Blue 87 (Orient Chemical "Barifast Blue 1621")
・ Solvent Red 122 (BASF "Orazole Red 395")
In addition, the numerical value of the compounding composition of Table 1 has shown the mass part.
[調製]
上記原料を表1の配合割合で配合し、60℃まで加温し60分攪拌することでレジストインクを得た。
[Preparation]
The said raw material was mix | blended by the compounding ratio of Table 1, the resist ink was obtained by heating to 60 degreeC and stirring for 60 minutes.
[粘度]
B型粘度計(東京計器製BL型、No.1ローター、60rpm)にて、25℃でのレジストインクの粘度を測定した。また、レジストインクを加温し、粘度が10mPa・sになる温度を測定した。
[viscosity]
The viscosity of the resist ink at 25 ° C. was measured with a B-type viscometer (BL type, No. 1 rotor, 60 rpm, manufactured by Tokyo Keiki Co., Ltd.). Further, the resist ink was heated, and the temperature at which the viscosity became 10 mPa · s was measured.
[試験品の作製]
以下の方法により、試験基板を作製した。レジストインクの塗布には、インクジェット塗布装置(マイクロクラフト社製MJP2013KI−DU)を用いた。インクジェットタンクにレジストインクを投入した。次に、レジストインクの粘度が10mPa・sになるように温度を設定し、ステンレス板(SUS304)の上に、膜厚約20μmになるようにレジストインクを塗布した。塗布後、アイグラフィックス社製メタルハライドランプで、塗膜の紫外線硬化(積算光量400mJ/cm2(オーク製作所製UV−350測定))を行った。塗布パターンとしては、次の2つのパターンで行った。
・塗布パターン1:範囲20mm×70mmのベタ塗り。
・塗布パターン2:櫛形状(ライン幅120μm、スペース幅120μm)。
[Production of test article]
The test substrate was produced by the following method. The application of the resist ink was performed using an inkjet coater (MJP 2013 KI-DU manufactured by Microcrafts Co., Ltd.). The resist ink was charged into the ink jet tank. Next, the temperature was set so that the viscosity of the resist ink was 10 mPa · s, and the resist ink was applied on a stainless steel plate (SUS 304) so as to have a film thickness of about 20 μm. After coating, UV curing (total light intensity: 400 mJ / cm 2 (UV-350 measurement made by Oak Manufacturing Co., Ltd.)) was performed using a metal halide lamp made by Eye Graphics Co., Ltd. As an application | coating pattern, it carried out by the following two patterns.
-Application pattern 1: Solid coating of range 20 mm x 70 mm.
Application pattern 2: comb shape (line width 120 μm, space width 120 μm).
[色抜け]
塗布パターン1の試験基板について、塗膜色調を目視確認して、紫外線照射前の塗膜と比べて色が薄くなっているかどうかを確認した(400mJ/cm2での色抜け)。また、色調の確認後、追加で紫外線を1600mJ/cm2で照射(合計2000mJ/cm2)して、塗膜色調を確認した(2000mJ/cm2での色抜け)。次の基準により、色抜けを判定した。
○:色調変化なし。
△:やや薄くなる(色が抜ける)。
×:完全に色が抜けて無色になる。
[Color loss]
With respect to the test substrate of application pattern 1, the coating film color was visually confirmed to confirm whether the color was lighter than that of the coating before the ultraviolet irradiation (color loss at 400 mJ / cm 2 ). Further, after the color tone confirmation, by irradiating (total 2000 mJ / cm 2) with ultraviolet light added in 1600 mJ / cm 2, (decoloration at 2000 mJ / cm 2) it was confirmed coating color. The color loss was judged according to the following criteria.
○: No change in color tone.
Δ: Slightly faded (color disappears)
X: The color completely disappears and it becomes colorless.
[硬度]
塗布パターン1の試験基板について、塗膜硬度に関するJIS K5600−5−4の試験法に準じ、三菱ユニの鉛筆(三菱鉛筆社製)で傷がつかない最も高い硬度を塗膜硬度(鉛筆硬度)とした。
[hardness]
About the test substrate of application pattern 1, according to the test method of JIS K5600-5-4 on coating film hardness, the highest hardness not scratched by Mitsubishi Uni's pencil (Mitsubishi Pencil Co., Ltd.) is the coating hardness (pencil hardness) And
[耐酸性(エッチング液耐性)]
塗布パターン1の試験基板について、塩化第二鉄水溶液中に40℃で60分間浸漬させた後、水洗し、乾燥後、テープ密着性試験を行った。テープ密着性試験では、セロハン粘着テープによるピーリング試験後の塗膜の剥離の状態を目視により、次の基準に従い判定した。
◎:剥離を生じなかった。
○:剥離を生じなかったが、やや変色があった。
△:一部剥離を生じた。
×:全面に剥離を生じた。
[Acid resistance (etching solution resistance)]
The test substrate of application pattern 1 was immersed in an aqueous solution of ferric chloride at 40 ° C. for 60 minutes, washed with water, dried, and then subjected to a tape adhesion test. In the tape adhesion test, the state of peeling of the coating film after the peeling test with the cellophane adhesive tape was visually determined according to the following criteria.
◎: No peeling occurred.
○: No peeling occurred, but some discoloration occurred.
Δ: Partial peeling occurred.
X: Peeling occurred on the entire surface.
[アルカリ溶解剥離性]
塗布パターン1の試験基板について、30℃の1%水酸化ナトリウム水溶液中に浸漬し、塗膜の溶解剥離を目視により確認し、次の基準に従い判定した。
○:60秒未満で溶解剥離した。
△:60秒以上で溶解剥離した。
×:溶解剥離せずに、膨潤剥離した。
××:剥離しなかった。
[Alkali dissolution and removability]
The test substrate of application pattern 1 was immersed in a 1% aqueous solution of sodium hydroxide at 30 ° C., and the dissolution and peeling of the coating film were visually confirmed, and judged according to the following criteria.
○: Dissolving and peeling in less than 60 seconds.
Δ: Dissolving and peeling in 60 seconds or more.
X: Swelling and peeling were performed without dissolution and peeling.
× ×: did not peel off.
[インクジェット塗布性(ライン明瞭性)]
塗布パターン2の試験基板について、塗膜のライン形状をマイクロスコープで観察し、次の基準に従い判定した。
○:シャープなラインを形成し、サテライト等の飛び散りが発生していない。
△:ラインを形成した。ただし、ラインに僅かな太り細りや、僅かなサテライト等の飛び散りが見られる(パターン形成には影響しない程度)。
×:吐出はするものの、ニジミが大きくラインがつぶれている。
[Ink jet coatability (line clarity)]
With respect to the test substrate of application pattern 2, the line shape of the coating film was observed with a microscope and judged according to the following criteria.
○: Sharp lines are formed, and satellites and the like are not scattered.
Δ: A line was formed. However, slight thickening and thinning of the line, and scattering of slight satellites, etc. can be seen (about an extent that does not affect pattern formation).
X: Although discharge is performed, the line is largely crushed.
[結果]
表1に示すように、実施例のレジストインクから得られた塗膜は、比較例のレジストインクから得られた塗膜よりも、溶解剥離性に優れ、インクジェットエッチングレジストとしての物性が良好な結果が得られている。
[result]
As shown in Table 1, the coating obtained from the resist ink of the example is superior in dissolution and removability to the coating obtained from the resist ink of the comparative example, and the physical properties as an inkjet etching resist are better. Is obtained.
Claims (9)
(B)水に溶解しないホモポリマーを形成可能な(メタ)アクリルアミド化合物と、
(C)光重合開始剤と、
(D)1分子中に1個のエチレン性不飽和基と少なくとも1個のカルボキシル基とを有するカルボキシル基含有化合物と、
を含有し、
前記(A)の(メタ)アクリルアミド化合物は、(メタ)アクリルアミド、N,N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N−メチル(メタ)アクリルアミドから選ばれる少なくとも1つを含み、
前記(B)の(メタ)アクリルアミド化合物は、N,N−ジエチル(メタ)アクリルアミド、N−イソプロピル(メタ)アクリルアミド、N−n−ブトキシメチル(メタ)アクリルアミド、4−(メタ)アクリロイルモルホリンから選ばれる少なくとも1つを含む、
インクジェットエッチングレジスト用紫外線硬化性組成物。 (A) (meth) acrylamide compound capable of forming a homopolymer soluble in water,
(B) (meth) acrylamide compounds capable of forming homopolymers that are not soluble in water,
(C) a photopolymerization initiator,
(D) A carboxyl group-containing compound having one ethylenically unsaturated group and at least one carboxyl group in one molecule,
Contain,
The (meth) acrylamide compound of (A) contains at least one selected from (meth) acrylamide, N, N-dimethyl (meth) acrylamide, and N-methyl (meth) acrylamide.
The (meth) acrylamide compound of (B) is selected from N, N-diethyl (meth) acrylamide, N-isopropyl (meth) acrylamide, N-n-butoxymethyl (meth) acrylamide, 4- (meth) acryloyl morpholine Containing at least one of
UV curable composition for inkjet etching resist.
R2は水素原子又はアルキル基を表し、R3は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表し、R2及びR3の炭素数の合計は0〜2である。 The ultraviolet curable composition for inkjet etching resists of any one of Claims 1 to 4 in which the (meth) acrylamide compound of said (A) contains the compound represented by following formula (1).
R 2 represents a hydrogen atom or an alkyl group, R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxyalkyl group, and the total carbon number of R 2 and R 3 is 0 to 2.
R5は水素原子又はアルキル基を表し、R6は水素原子、アルキル基又はアルコキシアルキル基を表し、又は
R5及びR6は、酸素原子を介して2つのアルキレン基が繋がった環状エーテル構造を形成し、
R5及びR6の炭素数の合計は3以上である。 The ultraviolet curable composition for inkjet etching resists of any one of Claims 1-5 in which the (meth) acrylamide compound of said (B) contains the compound represented by following formula (2).
R 5 represents a hydrogen atom or an alkyl group, R 6 represents a hydrogen atom, an alkyl group or an alkoxyalkyl group, or R 5 and R 6 form a cyclic ether structure in which two alkylene groups are connected via an oxygen atom And
The total carbon number of R 5 and R 6 is 3 or more.
The dye according to claim 8 , wherein the dye (F) includes at least one dye selected from a dye having an anthraquinone skeleton and an amino group, a dye having a naphthalene skeleton and an amino group, and a dye having a phthalocyanine skeleton. UV curable composition for inkjet etching resist.
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