JP6490081B2 - 高粘性の液体含有材料を加圧分配する装置および方法 - Google Patents

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関連出願
本出願は２０１３年９月２０日に出願した米国特許仮出願第６１／８８０，３３０号の利益を主張するとともに、参照によりその全体を本明細書に援用する。

本開示はライナー式容器に入った内容物を分配が可能な流体操作と分配システムに関連する。より具体的には、本開示の様々な実施例は高粘性の液体含有材料（光学的に透明な樹脂等であるがこれに限定しない）の分配に関するもので、加圧気体を用いながらも泡の形成やこのような材料と周辺環境との接触を最小限に留める。特定の実施例はそのようなシステムの製作、使用、展開に関する。

多くの産業上の利用においては、化学試薬および化学組成を高純度の状態で供給することが求められており、供給される材料がパッケージ充填、貯蔵、輸送、分配作業を通して純粋かつ適切な状態に確実に保持できるようにするための特別なパッケージングが開発されてきた。

マイクロ電子装置およびディスプレイパネルの製造分野では、様々な液体または液体含有混合物のための、適切なパッケージングへの需要がとりわけ高くなっている。これは、パッケージされた材料の中の混入物質やパッケージの中に含まれる材料への環境汚染物質の進入が、そのような液体または液体含有混合物を使って製造されたマイクロ電子装置およびディスプレイパネル製品に悪影響を与え、目的とする用途のために製品に欠陥を生じたり、製品が使い物にならなかったりする可能性さえもあるためである。そのような液体または液体含有混合物に泡が存在する場合も、似たような弊害をもたらす結果となり得る。

これらを考慮した結果、フォトレジスト、エッチング液、化学蒸着試薬、溶剤、ウェハーおよび設備洗浄製剤、化学機械研磨混合物、色フィルタリングケミストリ、保護膜、液晶材料などのマイクロ電子装置およびディスプレイパネルの製造で用いられる液体または液体含有混合物のために多くのタイプの高純度パッケージングが開発されている。

従来タイプの高純度材料のためのパッケージングのひとつとして、剛性容器、略剛性容器、半剛性容器（オーバーパックとしても知られる）を含み、その中の所定位置に、液体や液体を主とする混合物を入れるための柔軟性のあるライナーまたは袋が蓋やカバーのような保持構造で固定されたものがある。このようなパッケージングは通例、「バッグ・イン・カン」（ＢＩＣ）、「バッグ・イン・ボトル」（ＢＩＢ）、「バッグ・イン・ドラム」（ＢＩＤ）のパッケージングと称される。このような一般的なタイプのパッケージングはアドバンスト・テクノロジー・マテリアルズ社（Advanced Technology Materials, Inc.、米コネチカット州ダンベリー）から（例えば、ＮＯＷＰａｋ（登録商標）の商標を付して）市販されている。

一実施例として、ライナーは柔軟な材料からなるものとし、その周囲（例えばオーバーパック）の容器はこの柔軟な材料よりも実質的に剛性の高い壁材からなる。パッケージングの剛性容器または半剛性容器は（例えば）高密度ポリエチレンなどの重合体や金属で形成することができ、ライナーは、例えばポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、ＰＴＦＥを主とする積層材料、ポリアミド、ポリエステル、ポリウレタンなど、ライナーに含まれる材料（例えば液体）に対して不活性なものが選択され、前洗浄されて無菌状態の萎み可能なポリエチレンフィルム材の袋として提供可能である。前述した材料のいずれかからなる多層ラミネートを使用することもできる。多層積層材料からなるライナーの例は、本出願の譲受人が名義を有する米国特許出願公開番号２００９／０２１２０７１Ａ１に開示されている。この米国特許出願は、そこに含まれる明示的な定義を除き、その全体を参照により本明細書に援用する。ライナーの構造の典型的な材料としてはさらに、メタライズされたフィルム、金属の薄片、重合物／共重合物、積層材料、押出成形品、共押出成形品、ブロー成形フィルムおよびキャストフィルムがある。

液体および液体含有混合物の分配にライナー式パッケージングを用いる場合、液体または液体含有混合物は通常、浸漬管を内容液中に浸した状態にしておき、ライナーの浸漬管または短いプローブを含む分配アセンブリに接続することにより、ライナーから分配される。流体（例えば気体）圧力をライナーの外側（すなわちライナーと周囲の容器との間の空間）にかけてライナーを徐々に潰していくことによって液体を隣接する流体回路へと強制的に排出し、分配アセンブリを通して最終使用設備または最終使用場所へと送る。分配する液体を入れるライナーを使用することにより、ライナーに対して圧力をかけるための加圧気体との直接的な接触を防ぎ、使用時に分配される液状化学品への気体の溶解を無くす、または十分に減少させることが可能となる。

電化装置やディスプレイ装置の製造で使用される特定の液体は高い粘性（２５０〜３５，０００センチポアズ以上）を有している。そのような液体の例として、光学的に透明な樹脂（ＯＣＲ）の材料や、ポリイミドなどの他の有用な樹脂（これはマイクロ電子の応用において保護膜や層間絶縁膜、または保護層として使用できる）がある。

米国特許出願公開第２００９／０２１２０７１号 米国特許出願公開第２０１０／０１１２８１５号 米国特許第７，０２５，２３４号 米国特許第５，４３５，４６０号 国際公開第２００９／０７６１０１号 国際公開第２０１１／００１６４６号

高粘性の処理液を分配する従来の方法は、特別な輸送ポンプと大径のチューブを必要としてきた。ポンプを使って供給容器から液体を取り出す場合、吸引ヘッドの必要条件を満たすために供給容器よりも低い位置にポンプを設置することが望ましいため、配管方法の柔軟性を制限してしまう。また、ポンプの使用は液体を著しく攪拌してしまうため、有害な泡の形成につながる可能性もある。

従来の装置に関する様々な制約を克服しつつ超純粋な液体含有材料の加圧分配を行うことができるシステムおよび方法を提供することが望まれる。本開示は流体と分配システムと分配方法に関するものであり、従来システムにある様々な問題を克服する。

本開示の様々な実施例により、内在する液体を分配する間、ライナー式液体分配システム内に液体に触れるエラストマー製の封止部（例えば濡らしたＯリング）の存在または必要性がなくなる。液体に触れるエラストマー製の封止部をなくすと、部品および機械加工された構成部品の数が減少するため、液体分配システムの製造、組立、メンテナンス（例えば洗浄）が簡素化し、信頼性が向上する。さらに、液体に触れるエラストマー製の封止部が無いと、微量金属が分配される液体中へ移動してしまう事態も減少する。このような微量金属は、液体に触れるエラストマー製の封止部の製造工程から存在する可能性があるためである。ここで開示する封止構造は、エラストマー製の封止部によるものよりも実質的により静的であるため、粒子の生成も低減する。

ここで開示している改善された流体操作装置および方法は、光学的に透明な樹脂など（これに限定しない）の高粘度材料と共に使用した場合に有利である。このような樹脂は、例えば、液晶ディスプレイなどの電子装置の様々な層状部材（例えば前面パネル、静電容量タッチパネル、および／またはＬＣＤパネルといった層などがあるがこれらに限定しない）を結合する上で有用である。ここで開示する高粘度材料は、約１，０００〜５０，０００センチポアズまたはこれ以上の粘度を有する。

実施例によっては、ここで開示する流体取り扱い装置および方法は、背圧を減らしたり、製造の簡素化を促進したり、完全性の高い機械接続を促進したり、ライナーに液状化学品が入ったライナー式加圧分配容器に浸漬管構成部品を内蔵したまま輸送することを可能にしたりすることができるような部品構成としたライナー式加圧分配容器を利用する。

背圧を減らすために採用できる方法としては、浸漬管およびコネクタ内の流路の流路断面積を増加させることや、加圧分配パッケージに含まれる異なる流体導管同士の間にできる移行部の数を減らすことや、異なる流体導管同士の間に生じる流路断面積の変化を減らすことなどがある。流体導管同士の間にできる移行部の数を減らす方法は、例えば、浸漬管とプローブとの間に配設しがちな浸漬管継手をなくすことで達成できる。異なる流体導管同士の間に生じる流路断面積の変化を減少させる方法は、隣接し合う構成部品の内径を一致させたり、密閉される境界面を（例えば面状密封部品を利用して）隣接する導管の内径まで可能な限り近づけたりすることで達成できる。例えば、プローブおよび浸漬管内に形成された流路の内部寸法を流路断面積について一致させる（例えば直径または流路断面積の変化が約５％未満、約３％未満、約２％未満、約１％未満、約０．５％未満、約０．１％未満となるようにする）ことができる。マイクロ電子装置を製造する設備に分配された場合に欠陥品につながり得る気泡の形成を防止するためには、液状化学品（ＯＣＲ材料などの高粘度液体を含む）を運んでいる流体導管同士の間の移行部における圧力降下を低減することが有利である。

拡散係数は粘度と反比例するので、たとえ高圧の気体（例えば加圧気体）に直接さらしても高粘度液体は特に溶存気体で飽和状態となるような受容性を持つわけではないことが出願人らによって観察されている。ライナー式加圧分配容器の使用と比べ、非ライナー式加圧分配容器内で加圧気体と液状化学品が直接接触することで、ライナーの摩擦によるエネルギーの消散が減少するため、加圧気体の必要な加圧量を低減することができる。必要な加圧量が減少することで、より薄い壁の分配容器を使用できるようになるため、容器のコストおよび輸送コストを削減できる。

本明細書で先に述べたように、加圧分配を行うにあたり背圧を低減する１つの方法として、浸漬管とコネクタにおける流路の流路断面積を増大させることがある。大径の浸漬管は圧力降下の低減には役立つが、分配を中断して液状化学品が浸漬管を通って容器内に（例えば重力により）戻った場合にこの逆流により液体中に気泡が導入されてしまい、こうした気泡は高粘度液体中に一度混入すると除去が難しい。この問題に取り組むために、ここで開示する特定の実施例は、浸漬管から容器（またはライナー）内へ液体が流れるのを阻止するために浸漬管に設けた逆流防止装置を利用している。実施例によっては、逆流防止装置は容器（またはライナー）内の液体取り出し口の付近に配設することもできる。逆流防止装置の例には、フロート弁、フラッパ弁、バタフライ逆止弁など、動作が受動的な逆止弁がある。

非ライナー式加圧分配容器が空状態に近づいた時点を様々な方法で検出することもできる。その方法には、液位の感知（例えば、静電容量的手段、導電的手段、超音波的手段、磁気的手段、またはサイトグラスなどの光学的な手段によるもの）や、加圧分配容器の重量（または重量変動）の感知や、分配された液体中の第１気泡の存在の感知や、または分配された液体の総量を感知するための積式流量計の使用などがあるがこれらに限定しない。

構造上は、様々な実施例において、コネクタプローブの下部を利用して、そこに浸漬管の上端部を受けることができるようにし、プローブの下端部で浸漬管の上部をライナー取り付け部の内面に押し当てる、または押し付けることで、浸漬管をプローブと取り付け部との間に密閉係合させるように配設されたできる。様々な実施例において、プローブは、浸漬管の材料（例えばポリエチレン、ＰＴＦＥなどのポリマー材料）よりも硬度が著しく高いという特徴をもった材料（例えばステンレス鋼などの適当な不活性金属）で構成し、コネクタを容器の首部に対して締め付けることで、プローブの下端部で取り付け部を塑性変形させ（例えば凹みを残し）て密閉状態を促進させるとともに、最初のライナーの流体内容物を使い切った後に新しいライナーを用いてプローブを再使用できるようにする。実施例によっては、プローブの下端部をその外半径に沿って面取りする。

様々な実施例において加圧分配装置を開示しているが、この加圧分配装置は、容器開口部を形成している首部をもつ剛性容器を備えており、孔が形成された取り付け部保持具がこの容器の首部内または首部に沿って配設されており、容器内に萎み可能ライナーが配設されており、萎み可能ライナーに孔が形成されたライナー取り付け部が設けられており、このライナー取り付け部が取り付け部保持具で保持されているものである。ライナー内には下方へ延びた浸漬管を配設することができ、また、流体流路が中を貫通するプローブを備えたコネクタを設ける。一実施例として、プローブの下部には、コネクタを剛性容器の首部に固定したときに浸漬管の上部と直接係合して液密状態を形成するようにした応力集中部分を設ける。この応力集中部分は、プローブから径方向外方へ突出した連続的なリブ部を含むものとしてもよい。プローブの応力集中部分は、浸漬管をプローブと取り付け部との間に密閉係合させるために、浸漬管の上部を取り付け部の内面に対して設置するように配設することができる。一実施例として、浸漬管には逆流防止装置を設ける。いくつかの実施例において、応力集中部分はプローブではなく浸漬管または取り付け部の位置に設ける。一実施例としては、浸漬管にプローブの下部と接触する応力集中部分を設ける。一実施例としては、浸漬管に取り付け部と接触する応力集中部分を設ける。一実施例として、取り付け部に浸漬管と接触する応力集中部分を設ける。

実施例によっては、プローブと浸漬管との接続がコネクタを液体の入った容器に取り付けた時点で為され、コネクタを浸漬管が入った容器に嵌め合わせる前に、液体と接触する浸漬管を容器内に入れた状態で使用場所へ輸送することが可能である。

外側容器またはオーバーパック（例えば略剛性、または必要に応じて半剛性のもの）の中にライナーを搭載したライナー式パッケージを流体材料の保管および分配に使用する場合、分配操作には、気体による圧力がライナーを徐々に圧縮し、ライナー内の流体材料をライナーの外へ流出させるため、この外側の入れ物内のライナーの外側にある空間に加圧分配用気体を流すことが必要となる。ライナー式パッケージは、ポンプ、圧縮機、圧縮気体タンクなどの適当な加圧気体源と結合できる。分配する流体材料は、直接あるいは配管、マニホルド、コネクタ、弁などを通して、流体を利用する処理設備などの使用場所まで流すことができる。

様々な実施例において、ライナー式分配システムからヘッドスペース気体を除去する方法を開示する。この方法は、オーバーパックおよびオーバーパック内に配置したライナーを提供する工程と、オーバーパックと結合させ、オーバーパック内に配置したライナーの内部容量と流体連通する第１ポートが形成され、オーバーパックの内部およびライナーの外部と流体連通する第２ポートが形成されたキャップを提供することと、有形媒体上に記した１組の操作指示を提供する工程とを備え、この操作指示は、ライナーを液体で充填する手順と、キャップをオーバーパックに固定する手順と、第１ポートを開放した状態で第２ポートを加圧することによりヘッドスペース気体を第１ポートを介してライナーから除去する手順とを含む。操作指示は、第１ポートを不活性気体の供給によって所定の圧力にまで加圧する手順と、第１ポートが所定の圧力にまで加圧されたら、第１ポートおよび第２ポートを閉鎖する手順とをさらに含む。一実施例として、操作指示において第１ポートを所定の圧力にまで加圧する手順における不活性気体の供給は、気体窒素の供給とする。キャップを提供する工程で提供されたキャップは、第１ポートに機能的に結合する第１接続具と、第２ポートに機能的に結合する第２接続具とを含むことができ、第１接続具と第２接続具のうち少なくとも一方はルアーキャップであってよい。さらに、ライナー式分配システムを提供する工程で提供されたオーバーパックは剛性オーバーパックとしてもよい。

いくつかの実施例において、ここで開示したライナー式分配システムからヘッドスペース気体を除去する方法は、オーバーパックおよびオーバーパック内に配置したライナーを提供する工程と、オーバーパックと結合させ、オーバーパック内に配置したライナーの内部と流体連通するための第１ポートおよび第２ポートが形成され、オーバーパックの内部およびライナーの外部と流体連通するための第３ポートが形成されたキャップを提供する工程と、有形媒体に記した１組の操作指示を提供する工程とを有するものであり、この操作指示は、加圧された不活性気体を所定の第１圧力にて第２ポートに付与する手順と、第２ポートに加圧した不活性気体を所定の第１圧力で注入しながら、その第１圧力よりも高い第２圧力にて第１ポートを介して液体をライナーに充填することであって、手順とを含む指示である。一実施例として、操作指示は、加圧された不活性気体を第２ポートに付与する工程の前に、ライナーを膨張させる手順をさらに有する。操作指示は、加圧された不活性気体を第２ポートから除去する手順と、第１ポート、第２ポート、第３ポートにキャップ被せる手順とをさらに有する。一実施例として、この方法は、加圧された不活性気体を第２ポートに付与する手順の前に、ライナーを萎ませる手順をさらに有する。ライナーを萎ませる手順は、第３ポートに圧力を付与する手順を含ませることができる。

様々な実施例において、ライナー式分配容器に結合させる輸送用キャップを開示する。この輸送用キャップは、ライナー式分配容器に機能的に結合することのできるコネクタを備えている。このコネクタには気体除去プローブが機能的に結合しており、この気体除去プローブは液体充填ポートと不活性気体ポートを形成しており、輸送用キャップの気体除去プローブは分配システムと直接結合できるように構成されている。輸送用キャップは、コネクタ内に配置された内部保持具をさらに備え、気体除去プローブはコネクタと内部保持具との間に挟まれており、さらに、上部コネクタ本体および下部コネクタ本体を備えてよく、気体除去プローブは上部コネクタ本体と内部保持具との間に挟まれている。基部キャップでコネクタをライナー式分配容器に接続することもできる。一実施例として、輸送用キャップは、プローブとライナーの取り付け部とを結合するためにコネクタ内に取り付け部保持具を配置してもよい。輸送用キャップのプローブには、ライナー式分配容器の浸漬管と係合するための応力集中部分をさらに設けてもよい。

ライナー式パッケージには、そこから材料を分配するためのライナーと連通した分配ポートを設けることができる。次にその分配ポートを適当な分配アセンブリに結合できる。分配アセンブリは、例えばライナー内の材料と接触し、外側の入れ物から材料が分配される際に通過する浸漬管の付いたプローブまたはコネクタを設けたアセンブリを含む様々な形態のうちの任意のものであってよい。パッケージは、ライナー容量が材料２，０００リットル以上までを入れることができる大型パッケージとしてもよい。

本開示の様々な実施例において、ライナーは、縁に沿って密閉（または溶着）できる１枚以上のフィルムなどの材料を使用して、任意の適当な方法で形成できる。一実施例として、複数の平坦なシートを重ね合わせ（積層し）、縁に沿って密閉してライナーを形成する。１枚以上のシートは、１つの面の上部に沿ってポートまたはキャップ構造を含んでよい。別の実施例として、ポートまたはキャップ構造に連結できる一体型の充填用開口部を、外側の入れ物の上端部に、管状ブロー成形を用いて形成することもできる。これにより、流体の導入または排出の各々関与した、充填または分配動作用の適当なコネクタにライナーを結合するための開口部がライナーに設けられる。こうした開口部は構造体によって補強でき、これは「取り付け部」と呼ばれる。通常、取り付け部は、薄膜が接合される側方へ延びたフランジ部と、このフランジ部に対して略垂直な方向へ延びた管状部とを含む。ライナー取り付け部は、容器ポート、容器キャップ、閉塞部などの適当な構造に嵌合、あるいは接触させることもできる。キャップまたは閉塞部は、流体を導入または分配するために浸漬管と結合するようにも配設できる。

様々な実施例において、押出成形された管状フィルムをスライスしてシートを形成し、これを溶着して平面形状の袋を形成することも、あるいは押出成形した管に上部と下部を溶着することもできる。フィルムは積層体とすることもできる。多様なフィルムのシート同士を溶着することによってライナーの構成部品、例えば側壁を形成することもできる。取り付け部は、継ぎ目などライナー表面の任意の箇所で平面形状および立体形状の袋に密閉接合させることができる。本出願の譲受人が名義を有する国際公開第２００９／０７６１０１号に記載されているように、可撓性ライナーをブロー成形することもできる。この公報はそこに含まれる明示的な定義を除いて本明細書に参照により援用する。さらに、本出願の譲受人が名義を有する国際公開第２０１１／００１６４６号に記載されているように、ライナーは略剛性または自立型（ブロー成形されたもの）であってもよい。この公報はそこに含まれる明示的な定義を除いて本明細書に参照により援用する。一実施例として、ライナーおよびオーバーパックは共ブロー成形することができる。様々な実施例において、略剛性のライナーは液溜めを形成している。

実施例によっては、ライナーは管状の素材から形成してもよい。管状素材（例えばブロー成形した管状ポリマーフィルム材）の使用により、ライナーの側部に沿って熱融着や溶着の継ぎ目ができるのを回避できる。側部の溶接継ぎ目がないと、ライナーを圧迫しがちな力および圧力に対し、外周で重ねて熱融着された平坦な面材からなるライナーよりも強い耐性が得られるため有利である。特定の実施例において、ライナーは、縦方向に切断され、次いで１つ以上の溶接継ぎ目を形成するように溶着された管状素材から成ってよい。

ライナーは使い捨ての薄膜ライナーとすることで、毎使用後に（例えば容器内の液体を使い切った後に）取り除き、洗浄済みの新品のライナーと交換して、外部容器を再使用できるようにすることもできる。このようなライナーは、可塑剤、抗酸化剤、紫外線安定剤、充填材など、汚染源であったり汚染源となり得るような成分を含まないものとすることもできる。このような成分は、例えばライナー内の液体内へ浸出したり、分解してライナー内でより大きな拡散率を有する分解生成物を生じ、表面へ移動して可溶化するなどしてライナー内の液体の汚染物質となる。

様々な実施例において、バージン（無添加）ポリエチレンフィルム、バージンポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）フィルム、またはこれ以外の適当なバージンポリマー材料、例えばポリビニルアルコール、ポリプロピレン、ポリウレタン、ポリ塩化ビニリデン、ポリ塩化ビニル、ポリアセタール、ポリスチレン、ポリアクリロニトリル、ポリブチレンなどの、略純粋なフィルムをライナーに利用する。より一般的には、ライナーは、積層体、共押出成形物、オーバーモールド押出成形物、複合材、共重合体、材料配合物で形成でき、これには金属被覆および金属箔を設けても設けなくてもよい。ライナー材料は、例えば約１ミル（０．００１インチ）〜約１２０ミル（０．１２０インチ）の範囲の任意の適当な厚みのものとすることができる。一実施例として、ライナーは厚み２０ミル（０．０２０インチ）である。

実施例によっては、ライナーは、可撓性および萎み可能な特徴を持つことができる適当な厚みのフィルム材から形成してもよい。一実施例として、ライナーは内部容量が定格の充填量（つまり、ハウジング１４内が完全に充填された場合にライナー内に含むことのできる液体容量）の約１０％以下に減るまで圧縮可能なものとする。様々な実施例として、ライナーの内部容量は定格の充填容量の約０．２５％以下まで、例えば４，０００ミリリットルパッケージにおいて１０ミリリットル未満、または約０．０５％以下（１９Ｌのパッケージにおいて残りが１０ｍＬ以下）、または０．００５％以下（２００Ｌのパッケージにおいて残りが１０ｍＬ以下）まで圧縮できるようなものとする。様々な実施例において、ライナーの材料は、交換ユニットとして輸送中に折り畳みまたは圧縮できるよう、十分に柔軟なものとする。ライナーは、中に液体が入っているときに粒子や微小気泡の形成に対して耐性があり、液体が温度および圧力の変化により拡大収縮できるようにするべく十分に柔軟であり、また、液体を使用する特定の最終用途（例えば半導体製造など、高純度が必須の液体供給用途）のために純度を維持するために有効な組成または特徴のものとしてもよい。

実施例によっては、剛性または略剛性の萎み可能なライナーを使用することもできる。ここでいう「剛性」または「略剛性」という用語は、物体または材料が第１圧力の環境内にある時にはその形状や容量をほぼ保持できるが、圧力が増減した環境内にある時にはその形状や容量が変化するという特徴も含むことを意味する。物体または材料の形状や容量を変更させるために要する圧力の増減量は、その材料または物体に望まれる用途によって異なり、また用途毎にも異なる。一実施例として、このようなライナーの少なくとも一部は剛性または略剛性とし、ライナーの少なくとも一部はその少なくとも一部に対して加圧流体を当てた加圧分配条件で萎むようにしてもよい。一実施例として、剛性または略剛性の萎み可能ライナーは、液体を充填したときに自立できるほどの十分な厚さと組成とを有する材料で製造することもできる。剛性または略剛性の萎み可能ライナーは、単層または複層のいずれを特徴とするものとしてもよく、またポリマー材料製とすることもできる。ポリマー材料などの材料を複数層重ねた積層複合材料（例えば、熱および／または圧力の付与により積層されたもの）を使用してもよい。剛性または略剛性の萎み可能ライナーは、積層、押出、成型、賦形、溶着工程のうちいずれか１つ以上によって形成できる。剛性または略剛性な萎み可能ライナーには、略剛性の開口部またはポートを一体成形することもでき、これにより別個の取り付け部を溶接などの密閉方法によってライナーに固定する必要がなくなる。ここで開示している分配アセンブリおよび分配装置は、剛性または略剛性の萎み可能ライナーと共に使用できる。

本開示の様々な実施例において、萎み可能ライナーは、全体的に円筒形、積み重ねが容易な直方体、またはその他適当な形状または構造の略剛性容器（ハウジングまたはオーバーパックとしても知られる）内に配置することができる。全体的に剛性のハウジングには、ライナーを収容している内部空間を形成するために、必要に応じてハウジングの壁に漏出防止可能に接合したオーバーパック蓋を設けることができる。ライナーとその周囲の容器との間に設けられた中間空間は加圧気体源と流体連通させ、この中間空間に加圧気体を加えるとライナーが圧縮されてライナーから液体が排出されるようにしてもよい。

実施例によっては、液体含有材料をライナー内に保存し、その上に不活性気体を入れたヘッドスペースを形成することもできる。別の実施例として、液体含有材料をヘッドスペースがゼロの状態、またはヘッドスペースがゼロに近い状態でライナー内に保存することもできる。ここでライナー内の流体について使用した「ヘッドスペースがゼロ」という用語は、ライナーが液体溶媒で完全に充填されており、ライナー内の液体溶媒を覆う気体が存在しないことを意味する。ここでライナー内の流体について使用した「ヘッドスペースがゼロに近い」という用語は、ライナー内の液体溶媒を覆う非常に少量の気体を除き、ライナーが液体溶媒でほぼ完全に充填されていることを意味し、例えば、この気体の量は、ライナー内の総流体量の５％未満、総流体量の３％未満、総流体量の２％未満、総流体量の１％未満、または総流体量の０．５％未満である（別の表現をすれば、ライナー内の液体または液体含有材料の量がライナーの総容量の９５％超、総容量の９７％超、総容量の９８％超、総容量の９９％超、または総容量の９９．５％超である）。実施例によっては、ライナーの内部容量に液体溶媒を完全に充填することで、ヘッドスペースを最小化または排除することもできる（つまり、ヘッドスペースがゼロまたはゼロに近い構造）。他の実施例として、輸送中、温度変動によるライナー内の材料の膨張に対応するためにヘッドスペースが必要であるが、このヘッドスペースは、使用場所にて、ライナーから液体含有材料の分配を行う前に、ライナーから除去することもできる。

ライナー式加圧分配容器が空状態に近づいていることを様々な方法を用いて検出することもできる。こうした方法には、加圧分配容器の重量（または重量変動）の感知、分配する液体中の最初の気泡の存在の感知、分配された液体の総量を感知するための積式流量計の使用、ライナーの歪みまたは変形の感知、分配された液体の圧力の減衰ないし「低下（droop）」などがあるがこれらに限定しない。圧力低下状態を感知するための圧力トランデューサまたは圧力スイッチの使用が、本出願の譲受人が名義を有する米国特許出願第２０１０／０１１２８１５Ａ１号に開示されている。この公報はそこに含まれる明示的な定義を除いてその全体を参照により本明細書に援用する。望ましくは、（ｉ）流体を利用した処理設備への流体供給の中断を防ぐために、ライナーの内容物を完全に使い切る前に確実に分配を終了することができ、（ｉｉ）流体を利用した処理設備まで気泡が分配されるのを防ぐことができ、（ｉｉｉ）使い尽くしたまたは「空」の容器内に残る残量を低減することができるとよい。上述した空状態の検出技術は、そのうちのどの１つ以上をここで開示しているライナー式加圧分配容器と併用することもできるが、特に分配する液体の圧力を感知する（すなわち圧力低下状態を識別する）方法は、その性質上液体への被害が無く、空状態が近づいていることを早期に警告でき、また、このような圧力感知はパッケージおよび関連構成部品の重量または容量が未知であってもよいため望ましい。さらに、高粘度液体を分配する際には、このような液体中に一度混入した気泡は除去が困難であるため、最初の気泡の検出は特に望ましくない。

半導体またはマイクロ電子装置製造用途では、本開示の加圧分配容器のライナー内の液体含有材料は、ライナー充填の場所において通常、直径０．２ミクロン以上の粒子、７５粒子／ミリリットル未満（５０粒子／ミリリットル未満、３５粒子／ミリリットル未満、２０粒子／ミリリットル未満）を有する。近年では、半導体製造業者は、直径０．１ミクロンの粒子で５粒子／ミリリットル未満、さらに、直径０．０４ミクロンの粒子で４０粒子／ミリリットル未満を仕様として指定している。米国半導体工業会（ＳＩＡ）、国際半導体技術ロードマップ（International Technology Roadmap for Semiconductors：ＩＴＲＳ）１９９９年版に規定されている仕様に準拠すると、ライナーは、液体中に１０億分の３０未満（いくつかのケースでは１５未満）の全有機炭素（ＴＯＣ）を有することができ、例えばカルシウム、コバルト、銅、クロム、鉄、モリブデン、マンガン、ナトリウム、ニッケル、タングステンのような重要な元素についての抽出可能金属レベルは１兆分の１０未満で、フッ化水素、過酸化水素、水酸化アンモニウムのライナーの容積に対する元素ごとの鉄および銅の抽出可能レベルは１兆分の１５０未満である。ここで開示する非ライナー式加圧分配容器内の液体含有材料もこれと同じ仕様に準拠する。

加圧分配装置は、様々な特性の化学試薬および化学組成物の格納および分配に利用できる。これ以降では本開示の実施例を主にマイクロ電子装置製品の製造に使用する液体または液体含有組成物の保管および分配に関連付けて説明するが、本発明の実用性がこれに限定されることなく、その他の幅広い用途および含有材料にわたりこれを包括するものであることは理解できるだろう。例えば、このような液体を入れるシステムは、医薬品、建築資材、飲食品、化石燃料および石油、農薬など、液体溶媒や液体材料のパッケージングが必要な多くの他の用途でも実用性を有する。

ここで使用している「マイクロ電子装置」という用語は、レジスト塗付半導体基板、フラットパネルディスプレイ、薄膜記録ヘッド、微小電気機械システム、およびその他の先進的なマイクロ電子部品を指す。マイクロ電子装置には、パターン化されたシリコンウェーハ、フラットパネルディスプレイ基板、ポリマー基板、または微多孔／メソ多孔の無機固体を含めてもよい。

実施例によっては、流体取り扱い装置に制御装置を設けて、１つ以上のセンサーから入力を受信するように設定し、１つ以上の弁などの流れ制御装置の動作を制御するように設定し、流体分配の開始および停止、流体流量の制御、使い切り時における加圧分配容器の交換、作業者への異常状態の通知、材料の必要な在庫量管理および／または液体を利用する処理設備の制御操作といった作業を制御するように設定してもよい（例えば、マイクロコントローラ、プログラマブルロジックコントローラ、パーソナルコンピュータ、分散型制御システムなどに実装されるような、機械が読み取り可能な指令を実行するように設定されたマイクロプロセッサを含む）。実施例によっては、制御装置は、第１加圧分配容器が空状態に近づいていることを知らせる信号を受信したときに第１加圧分配容器からの分配を終了して第２加圧分配容器からの分配を開始することにより、分配作業の第１加圧分配容器から第２加圧分配容器への切り替えを自動的に行うこともできる。特定の実施例において、制御装置は、分配容器と処理設備との間の地点において、混合、希釈などの液状化学品処理を制御することができる。

実施例によっては、ここで開示している加圧分配装置は、（例えば、容器や容器ライナーからの液状化学品の分配を促進するために液状化学品に圧力を直接または間接的にかけるべく）加圧気体源から加圧気体を受け取れるように配置でき、また必要に応じて流体ラインや他の構成装置（例えば、空状態検出センサー、貯留槽など）を介して下流に位置する液体を利用する処理設備に液体を供給できるように配置できる。非ライナー式加圧分配容器を使用する場合には、液体の直接加圧分配を促進するために、加圧気体を容器の内部へ連通させ、容器内に配設された液体と接触させるように気体入口ポートを配設することができる。ライナー式加圧分配容器を使用する場合、ライナーから液体を分配するべく、ライナーに圧力をかけてライナーを圧縮するために、加圧気体をライナーと剛性容器の壁との間の加圧空間内へ連通させるように気体入口ポートを配設することができる。

実施例によっては、ここで開示している流体取り扱い装置および方法は、加圧気体の圧力要求を低減し、背圧を低減し、簡素化された製造を促進し、液状化学品の逆流を減少させ、および／または、分配容器からの液状化学品のほぼ枯渇状態の検出を促進するように構成部品を配設した、非ライナー式加圧分配容器（すなわち加圧気体と液状化学品が直接接触するもの）を利用する。

実施例によっては、非ライナー式加圧分配容器は、幅狭の下部を備え、この幅狭の下部に液体取り出し口をもつ浸漬管を備え、容器内の液体をほぼ使い切ったことの指標となる状態を知らせるために幅狭の下部内またはこれに沿って配設された少なくとも１つの液位センサーとを含む。幅狭の下部の断面積は、容器上部の公称幅の約５０％未満、約４０％未満、約３０％未満、約２０未満、約１０％未満とすることができる。容器の幅狭の下部を設けることの利点は、向上した液位感知機能が得られたり、液体分配の完了時に容器内の回収不能な残余液状化学品の量を減らせたりすることである。液位感知装置は、容器の外に配設（例えば、幅狭の下部付近の液位を感知するように配設）することも、あるいは実施例によっては液位感知装置の少なくとも一部を容器の内部に設けるか、または内部と流体連通するように配設することもできる。必要に応じて重量計などの重量測定装置をさらに配設し、容器の重量を感知して、容器内の液体がほぼ枯渇状態であることを判断する上で役立つ情報を提供するようにしてもよい。浸漬管には、その液体取り出し口の付近に逆流防止装置をさらに配設することもできる。

実施例によっては、加圧分配容器と使用場所（例えば液体を利用する処理設備）との間に貯留槽を配設することにより、使い切った加圧分配容器を新品の加圧分配容器と交換する間も分配作業を継続できるようにしたり、貯留槽の底部から液体を取り出して貯留槽の頂部から気体を抜くことによって液体に混入した気体の除去（例えば気泡）を促進したりすることもできる。

実施例によっては、加圧分配装置は、容器開口部を形成する首部を有する剛性容器を備えており、容器内に萎み可能ライナーが配設されており、この萎み可能ライナーに孔が形成されたライナー取り付け部が設けられており、このライナー取り付け部が剛性容器の首部内または首部に沿って配設されており、ライナー内に下方へ延びる浸漬管が配設されており、剛性容器の首部に係合するコネクタを備えており、このコネクタが内部に流体流路が形成されたプローブを含んでいるものとすることができる。プローブの下部は浸漬管の上端部を受けることができるようにすることもでき、またプローブの下端部は浸漬管の上部を取り付け部の内面に押し当てて浸漬管をプローブと取り付け部との間に密閉係合させることができるようにすることもできる。

実施例によっては、取り付け部保持具を剛性容器の首部に沿って配置し、ライナーの取り付け部がこの取り付け部保持具によって容器の首部内に保持されるようにすることができる。実施例によっては、プローブの外壁に沿って周辺密閉部品を配設して、取り付け部保持具を密閉係合することができる。実施例によっては、浸漬管の上端部は取り付け部保持具の上端部またはそれよりも下に位置決めする。実施例によっては、コネクタは、萎み可能ライナーと剛性容器との間の加圧空間と流体連通できるように配設された少なくとも１本の気体流路を形成してよい。実施例によっては、第１気体流路を、外部の加圧気体源からの加圧気体を加圧空間内に流入させるように配設でき、第２気体流路を、加圧空間の過剰加圧を防止するべく、圧力解放弁と流体連通させるように配設できる。実施例によっては、浸漬管には第１内径の内部流路を形成し、プローブの流体流路は第２内径を有するものとし、この第２内径は第１内径と実質的に等しくする。実施例によっては、浸漬管に逆流防止装置を設けることもできる。

実施例によっては、プローブの下部はその外半径に沿って面取りされている。実施例によっては、プローブは、浸漬管の材料（例えばポリエチレン、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）などのポリマー材料）よりも硬度が大幅に大きいという特徴をもつ材料（例えばステンレス鋼）を備えているため、コネクタを容器首部に対して締め付けると、プローブの下端部が取り付け部を塑性変形させ（例えば、取り付け部に凹みを残し）、これにより確実な密閉が促進され、最初のライナーの流体内容物を使い切った後に新品のライナーを用いてプローブを再利用できるようになる。

特定の実施例として、剛性容器内に萎み可能ライナーが配置されており、剛性容器の首部に沿って取り付け部保持具が配置されており、ライナーの取り付け部がこの取り付け部保持具と協働するように設けられており、ライナー内に下方へ延びる浸漬管が配設されたライナー式加圧分配装置に用いるためののコネクタを含む。このコネクタは、剛性容器の首部の外側にねじ山のついた部分と協働するように配設された内部にねじ山のついた側壁を含んだ本体構造部を備え、内部にねじ山のついた側壁の付近に内部凹所を備えたものとすることができる。コネクタには、内部に流体流路が形成されたプローブをさらに設け、プローブの下部が内部凹所の中へと延びるようにし、浸漬管の上端部を受けることができるように配設することもできる。プローブの下部は、その外半径に沿って面取りして（例えば太さを先細りさせて）もよい。プローブ下部の上側の外壁に沿って周辺密閉部品を配設して、コネクタをライナー式加圧分配装置と嵌め合わせる際に取り付け部保持具と係合させることができる。少なくとも１本の気体流路を配設することにより、コネクタをライナー式加圧分配装置に嵌め合わせた時に、萎み可能ライナーと剛性容器との間の加圧空間に流体連通させることが可能となるようにしてもよい。面取りされたプローブの下端部は、コネクタをライナー式加圧分配装置に嵌め合わせた時に浸漬管の上部を取り付け部の内面に押し当てて浸漬管をプローブと取り付け部との間に密閉状態で係合させるようにしてもよい。

特定の実施例において、プローブの少なくとも下部はステンレス鋼材料製としてもよく、浸漬管の少なくとも上部はポリマー材料製としてもよい。特定の実施例において、第１気体流路は外部の加圧気体源からの加圧気体を加圧空間内に流入させるように配設してもよく、第２気体流路は、加圧空間の過剰加圧を防止するべく、圧力解放弁と流体連通するように配設してもよい。特定の実施例において、浸漬管の上端部を取り付け部保持具の上端部またはその下に配置できる。

特定の実施例は、加圧分配装置を利用して液体含有材料を分配する方法に関するものであり、その加圧分配装置は、容器開口部が形成された首部のある剛性容器を備えており、この容器内に萎み可能ライナーが配設されており、この萎み可能ライナーに孔が形成されたライナー取り付け部が設けられており、このライナー取り付け部が剛性容器の首部内または首部に沿って配列されており、ライナー内に下方へ延びる浸漬部が配設されており、内部に流体流路が形成されたプローブを含むコネクタを備えたものである。この方法は、コネクタを剛性容器の首部にねじ込んで、プローブの下端部で浸漬管の上部を浸漬管の内面に押し当て、浸漬管をプローブと取り付け部との間に密閉状態で係合させる工程と、加圧気体をコネクタを通って萎み可能ライナーと剛性容器との間の加圧空間へ供給して萎み可能ライナーを圧縮する工程とを含めることができる。実施例によっては、この方法は、コネクタを剛性容器の首部にねじ込む前に、剛性容器の首部からキャップを除去してライナー取り付け部の一部を露出させるとともに浸漬管のうちライナー取り付け部に保持された部分を露出させる工程をさらに含めてもよい。実施例によっては、前述のキャップ除去工程とコネクタ係合工程はクリーンルーム環境内で実施してもよい。様々な実施例において、この方法の各工程は、紙文書や電子ファイルまたはコンピュータ可読ファイルのような有形媒体上に記した指示として提供する。

特定の実施例において、加圧分配装置は、容器開口部が形成された首部を設けた剛性容器を備えており、孔が形成された取り付け部保持具が容器の首部内または首部に沿って配設されており、容器内に萎み可能ライナーが配設されており、この萎み可能ライナーに孔が形成されたライナー取り付け部が設けられており、このライナー取り付け部が取り付け部保持具によって保持されており、ライナー内に下方へ延びる浸漬管が配設されており、内部に流体流路が形成されたプローブを含むコネクタを備えたものである。プローブの下部は、コネクタを剛性容器の首部に係合する時に、浸漬管継手を用いずに浸漬管の上部と直接係合できるようにすることもできる。加圧分配装置は、次の（ａ）、（ｂ）のうち少なくとも一方の特徴を含むようにしてもよい。（ａ）プローブ内に形成された流路の内径は、取り付け部保持具の孔内に配設されたライナー取り付け部の一部の直径の少なくとも約６５％である。（ｂ）プローブおよび浸漬管の各々の内部に形成された流路の内径は少なくとも０．６２インチである。実施例によっては、加圧分配装置は特徴（ａ）、（ｂ）の両方を含む。このような寸法閾値にすると、装置が特に高粘度液体（例えば実施例によって１，０００〜５０，０００センチポアズ、または３，０００〜３０，０００センチポワズの範囲の粘度を有するもの）を分配するのに適したものとなる。実施例によっては、プローブの下端部（ステンレス鋼材料製とすることができる）で浸漬管の上部（ポリマー材料製とすることができる）を取り付け部の内面に押し当てて浸漬管をプローブと取り付け部との間に密閉状態で係合させるようにすることもできる。特定の実施例において、密閉係合は、プローブの下端部による浸漬管の上部の塑性変形を含んでよい。特定の実施例において、逆流防止装置を浸漬管に設けてもよい。

実施例によっては、容器開口部を形成する首部を設けた剛性容器を備えており、この容器内に萎み可能ライナーが配設されており、この萎み可能ライナーに孔が形成されたライナー取り付け部が設けられており、このライナー取り付け部が剛性容器の首部内または首部に沿って配設されており、ライナー内に下方へ延びる浸漬管が配設されており、内部に流体流路が形成されたプローブを含むコネクタを備えている加圧分配装置を利用する方法を含む。この方法の工程には、コネクタを剛性容器の首部にねじ込んで、浸漬管継手を介在させることなくプローブの下端部を浸漬管の上部と直接係合させる工程と、加圧気体をコネクタを通して萎み可能ライナーと剛性容器との間の加圧空間へ供給して萎み可能ライナーを圧縮する工程とを含めることができる。実施例によっては、本方法は、キャップで容器内が密閉された浸漬管を輸送した後、コネクタを剛性容器の首部にねじ込む前に、剛性容器の首部からキャップを除去してライナー取り付け部の一部を露出させ、ライナー取り付け部に保持された浸漬管の一部を露出させる工程をさらに含めてもよい。様々な実施例において、本方法の工程は、紙文書や電子ファイルまたはコンピュータ可読ファイルなどの有形媒体上に指示として提供する。

実施例によっては、加圧分配装置は、頂面に沿って口部、第１幅を有する上部、第１幅よりも短い第２幅を有する下部を備えた容器と、容器の下部に配設された液体取り出し口を含む下方へ延びた浸漬管とを含み、加圧分配装置は、さらに、次の（ａ）、（ｂ）の特徴のうち少なくとも１つを含むことができる。すなわち、（ａ）浸漬管から容器内への液体の流れを阻止するために、逆流防止装置を液体取り出し口の付近に配設できる、（ｂ）容器の下部内における液体の欠乏または低液位を示す条件を感知するために、容器の下部内またはその付近にセンサーを設けることができる。特定の実施例において、加圧分配装置は特徴（ａ）、（ｂ）の両方を含んでよい。特定の実施例において、逆流防止装置はフロート弁またはバタフライ逆止弁を含むことができる。特定の実施例において、容器の下部内における液体の欠乏または低液位を示す条件を感知するために、容器の下部内またはその付近にセンサーを設けてよい。特定の実施例において、このようなセンサーは液位センサーまたは任意の適当なタイプのものとすることができる。特定の実施例において、このようなセンサーは容量センサー、導電センサー、超音波センサー、磁気センサー、または光学センサーであってよい。実施例によっては、このようなセンサーは容器の外に配設することができる。実施例によっては、センサーの少なくとも一部を容器の内部と流体連通して、または流体連通状態にあるように配設できる。実施例によっては、加圧分配装置は、容器の下部内における液体の欠乏または低液位を示す状態の感知に応じて、別の容器からの液体の分配を開始するようにもできる。実施例によっては、液体の無ライナー式加圧分配を促進するために、加圧分配容器には、加圧気体を容器内部へ送り込んで容器内の液体と接触させることができるようにした気体入口ポートを設けてもよい。

特定の実施例は加圧分配容器から分配される流体の流れの中における気泡を減少させる方法に関連したものであり、その方法は、剛性容器内部に加圧気体を供給して加圧気体を剛性容器内に配設された液状化学品と直接接触させ、容器上部に対して幅が短い容器下部内に配設された浸漬管の取り出し開口部内に液状化学品が流れ込むようにする工程と、（ａ）浸漬管に設けられた逆流防止装置を利用して液状化学品の浸漬管内への逆流を阻止するステップと（ｂ）容器下部内における液状化学品の欠乏または低液位の指標となる状態を感知するステップのうち少なくとも一方を行う工程とを含むものである。実施例によってはステップ（ａ）、（ｂ）の両方を実行することもできる。

実施例によっては、加圧分配装置は頂面に沿って口部を設けた容器と、容器下部に配設された液体取り出し口を含む下方へ延びた浸漬管と、加圧気体を容器内に配設された液体と接触するように、容器内部へ連通するように配列された気体入口ポートと、浸漬管から容器内への液体の流れを阻止するために液体取り出し口の付近に配設された逆流防止装置とを設けてよい。

実施例によっては、容器内への周囲環境の気体または蒸気の移入を最小化または排除するために、剛性容器（ライナーを内蔵しているかいないかに関係なく）は非多孔性金属（特定のポリマーのように潜在的に多孔性の材料とは異なる）で製造することができる。実施例によっては、ここで開示しているコネクタは、同様に周囲環境の気体または蒸気の移動を最小化または排除するために、金属（例えばステンレス鋼）で製造された本体および／またはプローブを有することができる。

実施例によっては、液体含有材料は、フォトレジスト、エッチング液、化学蒸着試薬、溶剤、ウェハー洗浄製剤、設備洗浄製剤、化学機械的研磨組成物、色フィルタケミストリ、オーバーコート、液晶材料、および光学的に透明な樹脂のうちいずれかとする。

例示的な実施例のさらなる詳細を、以下に図面に関連して説明する。

構造的には、様々な実施例において加圧分配装置は、容器開口部が形成された首部を有する剛性容器を備えており、容器内に萎み可能ライナーが配設されており、この萎み可能ライナーに孔が形成されたライナー取り付け部が設けられており、このライナー取り付け部が剛性容器の首部内または首部に沿って配設されており、ライナー内に下方へ延びる浸漬管が配設されており、剛性容器の首部に係合するコネクタを備えており、このコネクタに内部を通る流体流路が形成されたプローブが設けられており、プローブの下部が浸漬管の上端部を受けられるようになっており、プローブの下端部で浸漬管の上部を取り付け部の内面に押しあてて設置する浸漬管をプローブと取り付け部との間に密閉係合させるようになっているコネクタとを備えている。

いくつかの実施例において、ライナー式加圧分配装置用のコネクタは、剛性容器内に萎み可能ライナーが配設されており、剛性容器の首部に沿って取り付け部保持具が配置されており、ライナーの取り付け部がこの取り付け部保持具と協働するように配設されており、ライナー内に下方へ延びる浸漬管が配設されているようなライナー式加圧分配装置に用いるためのコネクタであって、剛性容器の首部の外側にねじ山のついた部分と協働するように配設された内部にねじ山のついた側壁がありこの内部にねじ山のついた側壁の付近に内部凹所がある本体構造部を備えており、内部を通る液体流路が形成されたプローブを備えており、プローブの下部が内部凹所内に延びて浸漬管の上端部を受けられるようになっており、プローブの下部がその外半径に沿って面取りされており、プローブの下部よりも上の外壁に沿って周辺密閉部品が配設され、コネクタがライナー式加圧分配装置と嵌め合わされるとこの周辺密閉部品が取り付け部保持具と係合するようになっており、コネクタがライナー式加圧分配装置に嵌め合わされたときに萎み可能ライナーと剛性容器との間の加圧空間と流体連通できるように配設された少なくとも１本の気体流路を備えており、コネクタがライナー式加圧分配装置と嵌め合わされた時に面取りされたプローブの下端部で浸漬管の上部を取り付け部の内面に押し当てて、浸漬管をプローブと取り付け部との間に係合させられるようになっているものである。

様々な実施例において、加圧分配装置を利用して液体含有材料を分配する方法は、（ａ）容器開口部を形成する首部を含んだ剛性容器を備えており、（ｂ）この容器内に萎み可能ライナーが配設されており、この萎み可能ライナーに孔が形成されたライナー取り付け部が設けられており、このライナー取り付け部が剛性容器の首部内または首部に沿って配設されており、（ｃ）ライナー内に下方へ延びる浸漬管が配設されており、（ｄ）貫通する流体流路が形成されたプローブを含むコネクタを備えているような加圧分配装置を利用するものであって、コネクタをこの剛性容器の首部にねじ込んでプローブの下端部で浸漬管の上部を浸漬管の内面に対して押し当て、浸漬管をプローブと取り付け部との間に密閉状態で係合させる工程と、加圧気体をコネクタを通して萎み可能ライナーと剛性容器との間の加圧空間へ供給して萎み可能ライナーを圧縮する工程とを備えたものである。様々な実施例において、本方法の工程は、紙文書や電子ファイルまたはコンピュータ可読ファイルのような有形媒体に記した指示として提供する。

いくつかの実施例において、加圧分配装置は、容器開口部を形成している首部を備えた剛性容器を備えており、孔が形成された取り付け部保持具がこの容器の首部内または首部に沿って配設されており、容器内に萎み可能ライナーが配設されており、この萎み可能ライナーに孔が形成されたライナー取り付け部が設けられており、このライナー取り付け部が取り付け部保持具により保持されており、ライナー内に下方へ延びる浸漬管が配置されており、内部を通る流体流路が形成されたプローブを含むコネクタを備えており、コネクタが剛性容器の首部と係合するとプローブの下部が浸漬管継手を介在させることなく浸漬管の上部に直接係合できるようになっており、さらに、（ａ）プローブ内に形成された流路の内径は、取り付け部保持具の孔内に配設されたライナー取り付け部の一部の内径の少なくとも約６５％であるという特徴と、（ｂ）プローブおよび浸漬管の各々の内部に形成された流路の内径は少なくとも０．６２インチであるという特徴のうち少なくとも一方を備えたものである。

様々な実施例において、加圧分配装置を使用する方法は、（ａ）容器開口部を形成する首部を含む剛性容器と、（ｂ）容器内に配設されており、剛性容器の首部内またはこれに沿って配設された孔を形成しているライナー取り付け部を備える萎み可能ライナーと、（ｃ）ライナー内に配設された下方へ延びる浸漬管と、（ｄ）プローブ内部を通る流体流路を形成しているプローブを含むコネクタとを備えた加圧分配装置に対し、コネクタをこの剛性容器の首部にねじ込むことで浸漬管継手を介在させることなくプローブの下端部を浸漬管の上部に直接係合させる工程と、コネクタを通して萎み可能ライナーと剛性容器との間の加圧空間に加圧気体を供給し萎み可能ライナーを圧縮する工程とを備えたものである。

実施例によっては、加圧分配装置は、頂面に沿った口部、第１幅を有する上部、第１幅よりも小さい第２幅を有する下部を含んでいる容器と、容器の下部内に配設された液体取り出し口を含む下方へ延びた浸漬管とを備え、加圧分配装置はさらに次のうち少なくとも１つの特徴を有する。（ａ）浸漬管から容器内への液体の流れを阻止するために、逆流防止装置が液体取り出し口の付近に配設されている特徴と、（ｂ）容器の下部内における液体の欠乏または低液位を示す状態を感知するために、容器の下部内または付近にセンサーが設けられている特徴。

様々な実施例において、加圧分配容器から分配される流体の流れの中の気泡の存在量を減少させる方法は、剛性容器内部に加圧気体を供給して容器内部の液状化学品と直接接触させ、容器上部と比べて狭幅の容器下部内に配設されており浸漬管の取り出し開口部内に液状化学品を流入させる工程と、（ａ）浸漬管に関連した逆流防止装置を利用して、浸漬管内での液状化学品の逆流を阻止するステップと（ｂ）容器下部内における液状化学品の欠乏または低液位を示す状態を感知するステップのうち少なくとも１つを実行する工程とを有するものである。

いくつかの実施例において、加圧分配装置は、頂面に沿って口部を含む容器と、容器の下部内に配設された液体取り出し口を含む下方へ延びた浸漬管と、加圧気体を、容器内に配設された液体と接触させるべく、容器内部内へ連通させるように配設された気体入口ポートと、浸漬管から容器内への液体の流れを阻止するために、液体取り出し口の付近に配設された逆流防止装置とを備えたものである。

前述の実施例の任意の１つ以上の特徴や、それ以外の任意のここで開示している実施例および特徴を組み合わせることで、さらなる利点を得ることができる。

本開示のその他の態様、特徴、実施例は、以降の開示内容と添付の請求の範囲からより明白となる。

図１Ａは米国特許第７，０２５，２３４号に開示されている、再循環コネクタを付属したライナー式加圧分配パッケージを含む従来の流体貯蔵・分配装置の側部断面図である。 図１Ｂ、図１Ｃは図１Ａの流体貯蔵・分配装置の部分拡大図である。 図２は米国特許第５，４３５，４６０号に開示されている、ライナー式加圧分配パッケージを含む別の従来型の流体貯蔵・分配装置の一部の側部断面図である。 図３Ａは本開示の一実施例としてのライナー式加圧分配パッケージとコネクタとを備えた流体貯蔵・分配装置の側部断面図である。 図３Ｂは図３Ａのコネクタの拡大側部断面図である。 図３Ｃは図３Ａのコネクタの透視図である。 図３Ｄは図３Ａの流体貯蔵・分配装置の上部の拡大側部断面図である。 図３Ｅは本開示の一実施例としての図３Ｄの部分拡大図である。 図３Ｆはコネクタプローブ、浸漬管、ライナー取り付け部の間の境界面を描いた、図３Ａおよび図３Ｄの装置をさらに拡大した拡大側部断面図である。 図３Ｇは本開示の一実施例としてのプローブ上に設置された応力集中部分の拡大側部断面図である。 図３Ｈおよび図３Ｉは本開示の実施例における代替の応力集中部分配置の拡大側部断面図である。 図４は流体貯蔵・分配装置から液体含有材料を分配するための流体取扱いシステムの簡略図である。なお、流体貯蔵・分配装置は図３Ａにおけるライナー式加圧分配パッケージを含む。 図５は流体貯蔵・分配装置から液体含有材料を分配するための流体取扱いシステムの簡略図である。この流体取扱いシステムは、非ライナー式で下部が幅狭の分配容器、逆流防止装置、そして容器下部の液体が欠乏状態または少ない状態を感知する、少なくとも１つのセンサー部品を含む。 図６Ａ、図６Ｂは逆流防止装置の側部概略断面図であり、それぞれフロート弁が開位置と閉位置にある状態で示してある。 図７Ａ、図７Ｂは逆流防止装置の側部概略断面図であり、それぞれバタフライ逆止弁が開位置と閉位置にある状態で示してある。 図７Ｃは図７Ａ、図７Ｂにおいて閉位置にあるバタフライ逆止弁の平面図である。 図８は本開示の一実施例としての組み立てた状態の２ポート式キャップの部分断面図である。 図９は本開示の一実施例としての組み立てた状態の３ポート式キャップの部分断面図である。 図１０は本開示の一実施例としての輸送プローブアセンブリの部分断面図である。

図１Ａ〜図１Ｃ（米国特許第７，０２５，２３４号の図２より抜粋）は、再循環プローブを含むライナー式加圧分配パッケージの一例を示す。高粘性の液体を分配および再循環するため、このようなライナー式容器がこれまで開発されてきた。しかし、液体取り出しポートおよび液体戻りポートの両方を設ける必要があるため、取り出し流路断面積の可能な大きさが取り付け部開口部に対して小さな割合に制限されてしまう。パッケージ１０は外側容器４２を備え、ライナー４３（液状化学品４８を含む）を容器４２の内側に有し、そのライナー４３は取り付け部保持具３９に支持される取り付け部３２を備えている。さらにパッケージ１０は容器４２の首部４１と結合するように配置された再循環コネクタ４０を有している。取り付け部保持具３９は気体流路３８を形成する。気体流路３８はコネクタ４０を通して容器４２とライナー４３との間の加圧空間３６に加圧気体を流入させることができる。コネクタ４０の上部にはプローブ６５を備え、プローブ６５はコネクタ本体５６に挿通される（そしてナット５３により保持される）。また、コネクタ４０の上部には（浸漬管５０から来る液状化学品を受けるための）排出流路５２を形成する排出ポート５４と、排出ライン（図示せず）を受けるための保持カラー４９とを含む。プローブ６５の内側面はコネクタ本体５６を密閉するためのＯリング５１を有し、プローブ６５の下部は、プローブ６５とコネクタ本体５６との間に配置された浸漬管５０の、幅広上部５５内に挿入される。コネクタ５６の下部４４に容器４２の首部４１と結合できるように内部にねじ山のついた表面を含む。コネクタ本体５６の側面部には再循環ポート５８を備え、この再循環ポート５８は再循環ライン（図示せず）を受けるために本体５６に対してナット４７と保持カラー４５とで固定されている。コネクタ本体５６は浸漬管５０の外周に配置された再循環流路６０を形成するが、これは再循環させた液状化学品が浸漬管と取り付け部３２の間にある開口部４６を通り、浸漬管５０の外側表面に沿ってライナー４３内に流れ込むようにするためである。米国特許７，０２５，２３４号の開示によれば、浸漬管の内径を０．３５〜０．４５インチの大きさに、浸漬管の外径を０．４５〜０．５５インチの大きさに、そして再循環流路６０の内径を０．６０〜０．６５インチの大きさにすべきであり、再循環流路６０の流路断面積は浸漬管５０内の流路５２の流路断面積と同じとすべきである（それぞれ約０．１１０４平方インチ）。

浸漬管５０の外周の周りに再循環流路６０を設ける必要があるため、浸漬管５０の最大流路断面積は制限される。これによって特に高粘性の液状化学品を分配する場合、圧力降下が大きくなり、浸漬管５０を通る可能な流量を減少させてしまう。それに加えて、図１Ａ〜図１Ｃによれば、装置１０はプローブ６５と浸漬管５０との接続部がコネクタ本体５６の内側でかつ容器の口部の外側に現れるようにする必要があるため、密閉された容器内に浸漬管を入れた状態で輸送することはできない。

しかしながら、低粘性材料で従来使用されたライナー式加圧分配容器は、高粘性材料の分配には適切でない可能性がある。これは、分配流路の相対的に低い流路断面積および／または流路断面積にある多数の移行部とが存在し、それによって背圧の上昇および非実用的な高圧気体の潜在的必要性へとつながる（そしてさらに圧力封じ込めのために容器材料を肉厚にする必要性が増す）ためである。

図２（米国特許第５４３５４６０号の図６を抜粋）は、このような従来の低粘性材料のためのライナー式加圧分配パッケージの一例を示している。このパッケージは萎み可能なライナー１２０を備える外側容器１１２を含む。萎み可能なライナー１２０は容器１１２の口部１３０に対して保持具１１９で据え付けられた取り付け部１１８を有する。保持具１１９は気体流路１７２を形成する。ライナー１２０が液状化学品で満たされたあと、浸漬管１２２（液体流路１９４を形成する）および浸漬管連結器１２４（液体流路１８０を形成する）は取り付け部１１８に挿入される。輸送に備えてキャップと破くことのできる膜（図示せず）を（例えば浸漬管１２２と取り付け部保持具１１９に）設けて容器１１２を密閉することもできる。使用場所では、コネクタ１１４が容器１１２に取り付けられる。そのコネクタ１１４は本体下部１４１、保持具１４３、本体上部１４８、接続部１４９、プローブ１４６を備え、プローブ１４６には流路１４４とＯリング１２５を受ける溝とが形成されている。シャフト部１５０を含むプローブ１４６は容器口部１３０を覆う破くことのできる膜（図示せず）を通して挿入される。この動作はライナー１２０内のヘッドスペース気体を放出する役目をする。プローブの下端部は取り付け部１１８内にある浸漬管連結器１２４の空洞１７６に挿入される。この浸漬管連結器１２４は上縁１８７を備え、その周囲にＯリング１５２を有している。加圧気体（例えば空気または窒素）が気体流路１６２、１４２、１０４、１７２、１９０（流路１９０は環状の凹所を形成している）を通してライナー１２０と容器１１２の間にある加圧空間１３９に供給されることにより、液状化学品が浸漬管１２２、浸漬管連結器１２４、プローブ１４６を通して強制的に使用場所まで運ぶための接続ライン（図示せず）にまで押し上げられる。

図２に示したように、浸漬管連結器１２４はプローブ１４６と浸漬管１２２との間を接続し、これらの構成部品間には移行部が形成されている。ライナーからコネクタを通る液状化学品の流路は、浸漬管１２２によって形成される流路１９４から浸漬管連結器１２４およびプローブ１４６によってそれぞれ形成される流路１８０、１４４までの間で流路断面積が縮小する。このような流路断面積の縮小は、図２のパッケージを高粘性の液状化学品の分配に用いた場合、著しい圧力降下を発生させる。結果として、図２のパッケージに関する従来のパッケージの実用性は限定的となる。

本開示は従来の再循環および低粘性材料の分配システムの様々な問題を克服することのできる流体および分配システムおよび分配方法に関するものである。

図３Ａ〜図３Ｆには、ライナー式加圧分配パッケージ（容器３３０、ライナー３４０、コネクタ３６０を含む）を含む流体貯蔵・分配装置３００が本開示の一実施例として示されている。図３Ｂ〜図３Ｆはコネクタ３６０を容器３００から分離した状態で示している。図３Ｄは分配装置３００の拡大図である。図３Ｅはライナー３４０の取り付け部３４１への取り付け部に接近して示す。そして図３Ｆは図３Ａおよび図３Ｄの分配装置３００をさらに拡大した部分拡大側部断面図である（例えばコネクタプローブ３８０、浸漬管３５０、ライナー取り付け部３４１との間の接合部を示す）。

主に図３Ａおよび図３Ｄに示したように、流体貯蔵・分配装置３００は剛性容器または略剛性容器３３０を含む。剛性容器または略剛性容器３３０は萎み可能なライナー３４０を有しており、容器３３０とこのライナー３４０との間に加圧空間３３９が形成される。一実施例として、加圧空間３３９は下側凹所の環状領域で占めてられており、その環状領域は本体構造およびプローブにより形成される。

容器３３０は性質上、剛性または略剛性であってもよく、内容積部３３２の境界を成す下側空洞壁３３３および上側空洞壁３３４を含む。下側空洞壁３３３および上側空洞壁３３４にはこれらを超えて拡がる下側外面支持壁３３５および上側外面支持壁３３６を設け、上側外面支持壁には必要に応じて取手として使用できる孔３３７を設ける。上側外面支持壁３３６の終端は必要に応じて巻かれたへり上部３３８としてもよい。ライナー３４０は液体含有材料を入れることが可能な内容積部３４３（例えば必要に応じてその上にヘッドスペースを設けそこに不活性気体を入れることもできる）の境界を成す。ライナー３４０の上側の開口部には孔形成取り付け部３４１を連結し、浸漬管３５０と容器の首部３３１との間に介在して設けられた取り付け部保持具３５６によってこの上側取り付け部３４１の端部を保持する。取り付け部保持具３５６は一段高い取り付け部保持具首部３５７を含む。さらに取り付け部保持具３５６には内部のプローブ保持具３６６によって気体流路３５８、３５９が形成されており、それぞれ気体流路３６８、３６９と流体連通するように設けられている。取り付け部３４１の上端部は、フレアー状であってよく、一段高い位置にある取り付け部保持具首部３５７の上側表面３５４に接触するように配置されている。浸漬管３５０はライナー３４０の内側まで延び、内部に液体流路３５２を有し、フレアー状に拡大可能な上部３５５、下端部３５１および必要に応じて液体進入下側開口部３５３（下端部３５１に最も近い）を含む。

主に図３Ａから図３Ｄに描いたように、コネクタ３６０は内部にねじ山のついたコネクタ３６０の側壁３６３を容器の首部３３１に固定することで容器３３０に連結する。コネクタ３６０は上側コネクタ本体３７０、プローブ３８０を保持するのに備えられた内部（プローブ）保持具３６６、そして下側コネクタ本体３６２を含む。上側コネクタ本体３７０は頂面３７１で形成される孔を含み、そこに圧力逃し弁３７６および加圧気体管継手３７７を受けることができるようになっている。さらに上側コネクタ本体３７０は圧力逃し弁３７６と加圧気体管継手３７７とに流体連通する気体流路３７８、３７９をそれぞれ形成する。上側コネクタ本体３７０は留め具３８９で下側コネクタ本体３６２に連結することができる。プローブ３８０には中心軸３７５と同軸の内部流路３８２が形成される。またプローブ３８０は、接合面３８８に沿ってプローブ３８０と内部保持具３６６との間に設けられたＯリングなどの密閉部品３７２で上側コネクタ本体３７０と内部保持具３６６との間に保持されている。内部保持具３６６には、上側コネクタ本体３７０で形成される流路３７８、３７９の延長となる気体流路３６８、３６９が形成される。Ｏリングなどの密閉部品３７３は対を成す気体流路３６８〜３７８と気体流路３６９〜３７９それぞれの間に設けられている。内部保持具３６６にはさらにプローブ３８０の一部を受ける凹所３６７が形成されている。下側コネクタ本体３６２は上側コネクタ本体３７０に接しており、内部保持具３６６の側壁３６５を取り囲んでおり、下側コネクタ本体３６２と内部保持具３６６との間にＯリングなどの密閉部品３７４が設けられている。下側コネクタ本体３６２の下側凹所３６４は側壁３６３の内面にねじ山がつけられている。下側コネクタ本体３６２の下側凹所３６４は内部保持具３６６の凹所３６７と連続している。下側コネクタ本体３６２の下端部３６１は下側凹所３６４の開き口に結合する。プローブ３８０の下部は凹所３６７、３６４内に突出しており、プローブ３８０の下端部３８１は下側コネクタ本体３６２の下端部３６１の上にある下側凹所３６４に備えられる。プローブ３８０の下側先端３８１はその外曲面が境界となっており、プローブ３８０の中央軸３７５に対して傾いたテーパ面３８４を形成している。一実施例として、テーパ面３８４には面取り面を形成する。プローブ３８０の外壁３８９にはＯリングなどの密閉部品３８６を受けることができる凹所３８５が形成され、この凹所３８５は局部的に太くなった止め部３８７が下側の境界となっている。

主に図３Ｄ〜図３Ｆに示したように、浸漬管３５０の上側部３５５は取り付け部３４１が取り付け部保持具３５６によって保持された状態で、取り付け部３４１の内側に設けられる。一実施例として、容器３３０のライナー３４０が取り付け部３４１を通して液状化学品で満たされた後、浸漬管３５０は取り付け部３４１に挿入され、ねじ山のついたキャップ（例えば図８から図１０に付随して記載されているキャップ８００、８５０または輸送プローブアセンブリ８７０）を容器首部３３１に取り付け、輸送のためにライナー３４０および容器３３０の内部にある液状化学品および浸漬管３４０を密閉する。その後、キャップされた容器は使用場所（例えば電子装置の製造施設）へと輸送される。そこですぐに、あらかじめ固定してあったキャップは実施例によっては取り外され、コネクタ３６０が容器３３０に連結される（下で図１０に付随して述べるが、輸送プローブアセンブリ８７０を用いるような他の実施例においてはキャップの除去が不要である）。コネクタ３６０の内部にねじ山をもつ側壁３６３を容器首部３３１に結合していくと、壁厚を薄くしたプローブ３８０の下（雄）端部３８１が浸漬管３５０の上（雌）部分３５５に挿入される。浸漬管３５０の上部３５５は拡張することができる（例えばフレアー状）。浸漬管３５０の上部３５５がプローブ３８０の下端部３８１に入っていくと、プローブ３８０のテーパ面が取り付け部３４１の内面に対して浸漬管３５０の上部３５５の表面を押し付け、または押し当て、浸漬管をプローブ３６０と取り付け部３４１との間に密閉状態で係合するようになっている。

一実施例として、浸漬管の上端部と取り付け部３４１の内壁面との間にわずかな間隙「G」を設ける。機能的には、この間隙「G」があると浸漬管３５０を上部３５５の直円筒部の内面に密接せずに設置できるようになり、取り付け部３４１内の浸漬管３５０の上部３５５の支持部が増強される。

使用の際は、コネクタ３６０の内部にねじ山をもつ側壁３６３を容器首部３３１に結合し、プローブ３８０の下端部３８１は浸漬管３５０の上部３５５と接触するようにする。一実施例として、コネクタ３６０を容器首部３３１に対して締め付けて固定することにより、プローブ３８０のテーパ面３８４を下方向に移動させ、浸漬管３５０の上部３５５に対して力がかかるようにする。この力によって取り付け部３４１を塑性変形（例えば刻み目を残して）させ、確実に密閉できるようにすることもできる。プローブ３８０の外壁３８９と取り付け部３４０の内壁との間の側方密閉も同様にＯリングなどの密閉部品３８６により促進される。

図３Ｇ〜図３Ｉには、本開示の実施例においてプローブ３８０、浸漬管３５０および取り付け部３４１の間の密閉状態を強めるための応力集中構造が示されている。図３Ｇでは必要に応じてテーパ面３８４から突出させることのできるリブ部３９２が示されている。リブ部３９２は中央軸３７５の周りに連続して設けられており、浸漬管３５０の上部３５５と係合できるように、テーパ面３８４に対して垂直方向にある距離３９４だけ突出している。図３Ｈには、浸漬管３５０の上部３５５に設けたリブ部３９６、３９７のうち片方または両方を利用する別の構造が描かれている。それぞれのリブ部はテーパ状の係合面に対して垂直にある距離３９４だけ突き出ている点を特徴とする。

機能的に見ると、図３Ｇのリブ部３９２を設けると、テーパ面３８４と浸漬管３５０の上部３５５との間の密閉の完全性を高める応力集中部分が形成される。本質的には、この応力集中部分は浸漬管のフレアー状の上部３５５に対する締りばめであり、確実に密閉できるようになる。応力集中部分は浸漬管３５０の上部３５５のフレアー状の係合面の角度／平坦性の違いを克服することにより密閉の完全性を高め、結果的に両方の部材の間の密閉性を改善することができる。また、上部３５５の内面で起こる局部変形は上部３５５の外面変形を引き起こし、それによって上部３５５と取り付け部３４１との間の密閉の完全性を高めることができる。

容器３３０にコネクタ３６０を固定した後、加圧気体を加圧気体管継手３７７、コネクタ３６０で形成される気体流路３７９、３６９、取り付け部保持具３５６で形成される気体流路３５９に通し、容器３３０とライナー３４０との間に設けられた加圧空間３３９を加圧することでライナー３４０内の液体の分配を行う。加圧空間３３９に対する加圧はライナー３４０を圧縮し（そして徐々に萎ませ）、これによってライナー３４０内に含まれる液状化学品を加圧するように作用する。この作用により、液状化学品が押されてライナー３４０から浸漬管３５０の液体進入口３５３を通って内部の液体流路３５２を上側に向けて進み、プローブ３８０の液体流路３８２に入って進み、プローブ３８０の上端部３８３に接続する出口配管（図示せず）に排出され、使用場所（例えば液体を利用する処理設備）へと運ばれる。加圧空間３３９内の気体の圧力が事前に決められた圧力逃し弁３７６の圧力設定値を越えると圧力逃し弁３７６が自動的に開き、加圧空間３３９から加圧気体が開放されて取り付け部保持具３５６で形成される気体流路３５８とコネクタ３６０で形成される気体流路３６８、３７８を通して圧力逃し弁３７６から排出されるようになっている。

一実施例として、浸漬管３５０およびプローブ３８０で形成される流路３５２、３８２の内径はそれぞれ少なくとも０．６２インチである。浸漬管３５０およびプローブ３８０でそれぞれ形成される流路３５２、３８２の内寸は流路断面積について一致（直径または流路断面積のばらつきは例えば約５％未満、約３％未満、約１％未満、約０．５％未満、または約０．１％未満）させることができる。これは浸漬管３５０とプローブ３８０との間の移行部を通る際に起きうる圧力降下を減らし、分配される液体中に泡が形成されるのを防ぐためである。

空の状態または空の状態に近いことがセンサーにより感知された（ライナー式容器中の液体がほぼ枯渇した状態）後は、コネクタ３６０（プローブ３８０を含む）を容器首部３３１から外し、他の容器から使用場所に引き続き液体を分配するために容器３３０とほぼ同じタイプの別のライナー式容器（液体で満たされたもの）に接続させることができる。実施例によっては、分配作業のための新しいライナー式加圧分配容器を用意している間に、必要に応じて設けられる下流の貯留槽から液体含有材料を液体を利用する過程へと継続して供給してもよい。

プローブ３８０は金属製として示しているが、ポリマー材料の使用も可能であることに留意されたい。同様に、図面中の様々な他の構成部材もポリマー材料製として示しているが、必要に応じて金属製の材料とすることも可能である。例えば、上側コネクタ本体３７０および下側コネクタ本体３６２はしばしば金属製（例えばアルミニウム合金またはステンレス鋼）であるし、容器３３０もしばしば金属製（ステンレス鋼）である。

図４には、本開示の一実施例として、流体容器および分配装置４００から液体含有材料（例えば液状化学品）を分配するための流体取扱いシステム４０１が模式的に示されている。図示している実施例では、分配装置は容器４３０と萎み可能なライナー４４０を備えている。浸漬管４５０はライナー取り付け部４４１からライナー４４０の内部へと下方向に延びており、ライナー４４０に含まれる液体４８０と接触している。浸漬管４５０は性格上細長形状をしており、液体流路４５２を有し、ライナー４４０の底部付近に液体取り出し箇所となる下端部４５１を含む。ライナー４４０と容器４３０との間の加圧空間４３９は、（ｉ）コネクタ４６０内の第１気体流路４７９を経由して加圧気体源４１２と流体連通させるとともに、（ｉｉ）コネクタ４６０内の第２気体流路４７８を経由して圧力逃し弁４７６（と過圧ベント４６７Ａ）と流体連通させる。コネクタ４６０はさらに液体流路４８２が形成されたプローブ４８０を備えており、この液体流路４８２を浸漬管４５０に形成された液体流路４５２と流体連通するように設けるとともに、一実施例として、その液体流路４５２と同じ流路断面積を有するようにする。プローブ４８０に形成される液体流路４８２の下流では、制御弁４１３、空状態検知センサー４１４、貯留槽４１５を液体利用工程（または処理設備）４１６の上流に設けてもよい。空状態検知センサー４１４は、分配される液体の圧力を感知して、空の状態に近づいていることの指標となる圧力低下状態（ライナー式加圧分配に特有の状態）を検知できるようにした圧力変換器とすることもできる。そうする代わりに、空状態検知センサー４１４は、ライナー４４０と液体利用過程または処理設備４１６との間に（必要に応じて）組み入れられる貯留槽４１５の液位を感知できるように構成した１つ以上の液位センサーとして具現化することもできる。貯留槽４１５は液体を取り出すための底部排出口、および気体を通気する頂部排出口を含んでもよい。前述の空状態検知装置を補う、または置き換えるために容器４３０とその内容物の重量を測定する重量計４１１を設けることができる。重量変化はライナー４４０の液体内容物が枯渇またはほとんど枯渇した時点を判断するのに便利である。制御部４１０は、１つ以上のセンサーからの入力を受信することができ、１つ以上の弁などの流量制御装置の制御ができ、加圧気体源の制御ができ、液体分配の開始および停止や、流体流量の調整や、枯渇状態の加圧分配容器の交換や、作業者への異常事態の通知や、材料の必要在庫量の管理や、液体を利用する処理設備の動作の制御・作用などの作業の制御ができるように設定してもよい。

図５には、液体または液体含有材料５４８を非ライナー式流体容器および分配装置５００から分配するための流体操作システム５０１が、本開示の実施例に概略的に示されている。非ライナー式流体容器および分配装置５００には、下部５３２の幅狭の容器５３０、浸漬管５５２に取り付けられた逆流防止装置５９０、容器５３０の下部５３２で低液位状態または欠乏状態の指標となる状況を感知するように配置された少なくとも１つのセンサー部品５１８、５１８Ａを設けることができる。特定の実施例において、センサー部品５１８は容器５３０の外側のみに（例えば幅狭の部分５３２に隣接して）配置される。他の実施例として、少なくとも１つのセンサー部品５１８Ａまたはその一部を容器５２０の幅狭の部分５３２の内側に（または流体連通させて）配置してもよい。浸漬管５５０は容器５２０の内部に向かって下方に延び、容器５２０に含まれる液体または液体含有材料５４８と接触している。浸漬管５５０はその性格上細長形状であり、液体流路５５２を有し、容器５４０の幅狭の下部５３２の底部付近に液体取り出し点として機能する下端部５５１を備える。一実施例として、浸漬管５５２には逆流防止素子５９０（例えばフロート弁、バタフライ逆止弁などの弁装置）を下端部５５１にある液体取り出し口に隣接した位置に設け、浸漬管５５０から容器５３０への液体の流れを阻止する役割をさせる。

容器５３０の内部は（ｉ）コネクタ５６０にある第１気体流路５７９を通って加圧気体源と流体連通し、（ｉｉ）コネクタ５６０にある第２気体流路５７８を通って圧力逃し弁５７６（および過圧ベント５７６Ａ）と流体連通している。コネクタ５６０にはさらに液体流路５８２が形成されたプローブ５８０を設け、この液体流路５８２は浸漬管５５０で形成される液体流路５５２と流体連通するように配置するとともに、その液体流路５５２と同じ流路断面積とすることができる。プローブ５８０に形成された液体流路５８２の下流には、制御弁５１３および貯留槽５１５（必要に応じて液位センサーなどの空状態検知センサーを一つ以上設けてもよい）液体利用工程（または処理設備）５１６の上流に備えることができる。容器５３０と液体利用過程または処理設備５１６との間には貯留槽５１５を介在させてもよい。このような貯留槽５１５には液体取り出しのための底部排出口と気体の排気ができる頂部排出口とを設けてもよい。貯留槽５１５には必要に応じて貯留槽中の液位を感知するための１つ以上の液位センサーを設けてもよい。これらの空状態検知装置の補助または代替として、容器５３０およびその内容物の重量を測定する重量計５１１を設けることもできる。重量変化は容器５３０の液体内容物が枯渇またはほとんど枯渇した時点を判断するのに便利である。制御装置５１０を設け、１つ以上のセンサーからの入力を受信でき、１つ以上の弁などの流量制御装置の制御ができ、加圧気体源の制御ができ、液体分配の開始および停止や、流体流量の制御や、枯渇状態の加圧分配容器の交換や、操作者への異常事態の通知や、材料の必要在庫量の管理や、液体を利用する処理設備の動作に対する制御・作用などの作業の制御ができるようにしてもよい。

図６Ａ〜図６Ｂには、本開示の一実施例としての逆流防止素子の側部概略断面図が示されている。図示している実施例では、逆流防止装置は開位置と閉位置それぞれの状態におけるフロートバルブ６９０の形にある。液体流路６５２内部にある浮遊部品６９１は幅狭の下部６９３および幅広の上部６９２を含み、これらは浸漬管６５０またはその延長部と一体となった弁座部品６９５と協働するように配置される。必要に応じて、浮遊部品６９２が外に出ていくのを防止するための繋留部品６９６を設けることができる。図６Ａに示したとおり、液体が液体流路６５２を上向きに流れるときは、浮遊部品６９１は弁座部品６９５に対して上向きに浮き上がる。これにより、浮遊部品６９１の下側および周囲に隙間が開き、液体がその隙間を通って容器内部から浸漬管６５０を通過して液体が取り出される。逆に、液体の上向きの流れが止まると、重力（または液体の逆流）によって液体流路６５２内で浮遊部品６９１が下向きに引っ張られて幅広の上部６９２が弁座部品６９５に接触し、浸漬管６５０から連結容器への下向きの（すなわち逆流方向の）液体の流れが阻止されて、容器内の液体への泡の導入が減少する。

図７Ａ〜図７Ｃには、本開示の一実施例としての逆流防止装置が示されている。この図では逆流防止装置はバタフライ逆止弁７９０の形で示してあり、図７Ａと図７Ｂにはそれぞれ開位置と閉位置にある状態を、図７Ｃには閉位置の状態を描いている。水平支持部７９７が浸漬管７５０の幅にわたって架け渡してあり、浸漬管７５０の壁面と協働するように配置された回動可能な第１および第２の半円形フラップ部品７９８Ａ〜７９８Ｂを支持している。図７Ａに示したように、液体が液体流路７５２を上方向に流れているとき、フラップ部品７９８Ａ〜７９８Ｂは開位置に向けて上方向に振れる。それによって液体を通す隙間が開き、浸漬管７５０を通して容器の内部から液体が取り出される。逆に、液体の上向きの流れが止まると、重力（または液体の逆流）によってフラップ７９８Ａ〜７９８Ｂが下向きに引っ張られて浸漬管７５０の内部壁に接触し、浸漬管７５０から容器への下方向の（すなわち逆流方向の）液体の流れが阻止されて、容器内の液体への泡の導入が減少する。

図８には、本開示の一実施例としての２ポート式キャップ８００が示されている。２ポート式キャップ８００は頂部８０２と、そこから垂れ下がるスカート部８０４とを有する。スカート部８０４は内面８０６と外面８０８を有し、その表面には容器首部３３１と連結するためにねじ山８１２を形成することができる。頂部８０２はさらに分配ポート８１４および加圧ポート８１６を形成している。分配ポート８１４はライナー３４０の内部容積３４３と流体連通している。加圧ポート８１６は容器３３０の内部容積３３２およびライナー３４０の外面３４２と流体連通している。

分配ポート８１４と加圧ポート８１６はそれぞれ頂部８０２の終端にそれぞれ接続具８１８と８２２を設けることもできる。この接続具８１８と８２２には、例えばルアーフィットのような必要に応じてアクセスできるようにするための取り付けおよび取り外し可能なキャップやプラグを収容することができる。実施例によっては、この接続具８１８と８２２のうち片方または両方に、分配ポート８１４および加圧ポート８１６の一つ以上を必要に応じて遮断するための弁を収容することもできる。一実施例として、頂部８０２から軸部８２４を垂下させ、浸漬管３５０と係合またはほぼ係合させる。軸部８２４には分配ポート８１４を形成することができ、また先端部近くには、例えば適当な大きさの溝の中にＯリングを設置するなど、軸部８２４と取り付け部保持具３５６の保持具首部３５７との間を密閉するエラストマー製の封止部８２５を設けてもよい。

一実施例として、２ポート式キャップ８００は基部８００ａと閉止部８００ｂの二部構成とし、各々が独自の頂部８０２ａ、８０２ｂを有している。図８に示している実施例では、このように二部構成となっている。この実施例では、基部８００ａは閉止部８００ｂ内に上方向に延びる首部８２６を含み、首部８２６は加圧ポート８１６と容器の内部容積３３２との間での流体連通を可能とするバイパス８２８を同様に形成している。閉止部８００ｂは、例えばねじ込みにより基部８００ａと連結可能である（図示せず）。エラストマー製の封止部８３２は、例えば図示したようにパッキン押さえの中にＯリングを設置することで、閉止部８００ｂと基部の頂部８０２ａとの間に配置できる。

機能的には、２ポート式キャップ８００は貯蔵または輸送に際して、液体で満たされたライナー３４０からヘッドスペース気体を除去すること、およびヘッドスペース気体と窒素などの不活性気体との置換に利用可能である。軸部８２４によって封止部８２５は取り付け部３４１の中まで下ろされ、分配ポート８１４と浸漬管３５０とを軸部８２４の外部領域から隔離できるようにする。二部構成とすることで小さな容器用にデザインされたキャップをより大きな容器に適合させることが可能となる。例えば図３Ａ〜図３Ｇのコネクタ３６０のような小さな容器用にデザインされたキャップを、適当なサイズの基部キャップ８００ａを設けることにより、より大きな容器に適合させることが可能となる。

操作に際しては、容器３３０内に設置されたライナー３４０を液体で満たし、浸漬管３５０をこの液体で満たされたライナー３４０の中に挿入し、取り付け部３４１に連結する。２ポート式キャップ８００を容器首部３３１に固定する。分配ポート８１４を開けた状態で加圧ポート８１６を加圧すると、液体で満たされたライナー３４０の一部が収縮し、ヘッドスペース気体が分配ポート８１４を通って外側に押し出される。加圧ポート８１６を加圧するのに用いる気体は任意の適当な気体、例えば空気または不活性気体としてもよい。なお実施例によっては、軸部８２４が浸漬管３５０の垂直方向の動きに接触したり動きを妨げたりすることはない点に留意されたい。ゆえに浸漬管３５０の外側にヘッドスペース気体があっても、取り付け部保持具３５６の首部３５７に逃がし、分配ポート８１４から除去することができる。

その後、不活性気体供給は分配ポート８１４に接続されて、外気と接する加圧ポート８１６に接続される。加圧ポートを外気にさらすことで不活性気体供給部から不活性気体を分配ポート８１４に引き込むことができる。一実施例として、不活性気体供給部は、周囲の圧力を超える所定の圧力、例えば１または２ｐｓｉｇの圧力に調整される。この技術により、充填操作後にライナーにもともと存在していたヘッドスペース気体はすべてまたはほとんどが不活性気体に置換される。その後、分配ポート８１４と必要があれば加圧ポート８１６とには輸送または貯蔵のためにキャップをすることもできる。

図９には、３ポート式キャップ８５０が本開示の一実施例として示されている。３ポート式キャップには２ポート式キャップと同様の特徴および特性を多く含めることができ、これらは同じ参照符号で示している。加えて、３ポート式キャップ８５０はライナー３４０の内容積部３４３と流体連通する独立した不活性気体ポート８５２を含む。軸部８２４を利用する実施例に関しては、不活性気体ポート８５２は図９に描かれているように軸部８２４の中に形成できる。不活性気体ポート８５２の頂部８０２の終端は、ルアーフィットなど、被せることのできる接続具８５４を設けることもできる。この接続具８５４には、ライナー３４０の内容積部３４３に必要に応じてアクセスできるようにするための取り付けや取り外しが可能なキャップまたはプラグを収容する。

使用の際、ライナー３４０は空の状態で容器３３０内に設置されている。浸漬管３５０を空のライナー３４０に挿入し、取り付け部３４１に結合する。３ポート式キャップ８５０を容器首部３３１に固定する。その後、浸漬管３５０の周囲のライナーを萎ませるため、加圧ポート８１６に対してまず加圧し、次に加圧ポート８１６から圧力を抜き、不活性気体ポート８５２を介してライナーを膨らませて、ライナー３４０を一度循環させる（萎ませて膨らませる）ことができる。通常、膨張は不活性気体を用いて行われる。不活性気体は同様に、例えば１または２ｐｓｉｇの低圧力の陽圧で不活性気体ポート８５２に注入することも可能である。一実施例として、不活性気体供給部をこの陽圧になるように制御し、確実にライナーが気体で完全に満たされるようにする。ライナー３４０をその低圧力になるまで加圧した後、分配ポート８１４を通して注いだ液体でライナー３４０を満たす。一実施例として、液体充填のための圧力を外部よりも高圧でかけ、充填の間にライナー３４０において確実に陽圧が保たれるようにすることによって、ライナー３４０への外気の侵入を少なくする。充填操作が完了した後、分配ポート８１４と、不活性気体ポート８５２と、必要に応じて加圧ポート８１６に輸送または貯蔵のためにキャップをすることができる。

図１０には、本開示の一実施例として、ライナー３４０由来の非不活性気体の充填および除去のための輸送プローブアセンブリ８７０が示されている。充填のための輸送プローブアセンブリ８７０はここに開示している他の実施例と類似した構成を含む。すなわち、２ポート式キャップ８００および３ポート式キャップ８５０のベースキャップ８００ａ、コネクタ３６０（上側コネクタ本体３７０および下側コネクタ本体３６２の両方）、および内部保持具３６６を含む。これらの構成部材は前述したのと同じ特徴や特性の多く（必ずしも全てではない）を含み、それらは図１０において同じ参照符号で示している。

加えて、輸送プローブアセンブリ８７０は気体除去プローブ８７２を含み、これは分配装置３００（例えば図３Ｄ）のプローブ３８０の代わりとして用いることが可能である。気体除去プローブ８７２には液体充填ポート８７４および不活性気体ポート８７６が形成され、これらの外側の終端にはコネクタ８７８および８８２を設けることができる。図３Ｂのコネクタ３６０内にプローブ３８０を挟んでいたのと同様に、輸送プローブアセンブリ８７０にも気体除去プローブ８７２を挟んで固定する。この気体除去プローブ８７２にも図３Ｇに描かれているような応力集中部分（例えばリブ部３９２）を設けることができる。

機能的には、輸送プローブアセンブリ８７０によって、上記した３ポート式キャップと同じか似た方法でライナーへの充填を行い、ヘッドスペース気体を除去または不活性気体に置換することが可能となる。さらに、気体除去プローブ８７２は、設備または分配システムに対する流体分配に利用されるプローブと同様のものとし、設備または分配システムに迅速に接続できるようにしてもよい。

キャップ８００および８５０、輸送プローブアセンブリ８７０の各々は容器３３０とのアセンブリおよび取り付け部３４１とライナー３４０と組み付けた状態で示している。しかしながら、キャップ８００および８５０、そして輸送プローブアセンブリ８７０の各々は交換可能であり、それぞれが容器３３０、取り付け部３４１およびライナー３４０とは別に提供可能な独立型の構成またはシステムの構成要素を成すものと理解されたい。

ここに開示した実施例によれば次に挙げる有益な技術的効果を１つ以上得ることができる。特に高粘性の液体を分配する際の圧力降下（または背圧）を小さくできる。コネクタとライナー式容器との機械的接続の完全性を改良できる。分配装置の製造を簡略化できる。ライナーに液状化学品を含んだ状態で、内側に浸漬管の構成部品が設置されたライナー式加圧分配容器の輸送が可能になる。浸漬管からの液状化学品の逆流が減る（これによって泡の形成を阻止できる）。加圧気体に必要な圧力を小さくできる（例えば非ライナー式の実施例において）。分配容器内の液状化学品がほぼ枯渇した状態の検知が改善される。

特定の態様、特徴、および例示となる実施例と関連付けて本発明を説明してきたが、発明の利用方法がこの限りでなく、本開示の分野における当業者であればおのずと思い付くような他の多数の変形形態、修正形態、代替形態にわたり、これらをも包含することは理解できるであろう。特に本願中にこれと反対の指示がない限り、１つ以上の実施例について示した任意の１つ以上の特徴を他の任意の（複数の）実施例の１つ以上の特徴と組み合わせることも考えられる。したがって、下で特許を請求する発明は広義に解釈され、あらゆる変形形態、修正形態、代替形態を矛盾しない範囲で含むことを意図している。

本願で開示している追加の図および方法はそれぞれ単独で用いることもできるが、他の特徴や方法と併せて用いて改良された装置を提供したり、その装置の製造方法および使用方法を提供したりすることもできる。それゆえここに開示した特徴および方法の組合せは、最も広い意味での開示内容を実施するものである必要はなく、ただ単に代表的な実施例を詳細に記述するために開示している。

本開示内容を読めば、実施例に対する様々な修正は当業者にとって自明となるであろう。例えば、当業者であれば異なる実施例として説明されている様々な特徴を適当に組み合わせたり、分離したり、他の特徴と再度組み合わせたり、単独で用いたり、異なる組合せで用いたりすることも可能であることは認識できるであろう。同様に、上記した様々な特徴はすべて、本開示の範囲および趣旨を限定するものではなく、例示的な実施例とみなすべきである。

当業者であれば、様々な実施例において、以上の個々の実施例で説明したものよりも少ない特徴とすることもできることは理解できるであろう。ここに説明した実施例は、様々な特徴の組み合わせ方を網羅的に提示するものではない。したがって当業者であれば当然理解しているはずであるが、実施例は相互に排他的な特徴の組合せではない。むしろ、請求項は異なる個々の実施例から選ばれた個々の異なる特徴の組合せを含むことができる。

以上に含めた参照による文献援用はいずれもここで明示的に開示したものと相容れない主題を援用しないよう制限する。さらに、以上に含めた参照による文献援用はいずれも、その明細書に含まれる請求項を本明細書に参照により援用しないように制限する。さらに、以上に含めた参照による文献援用はいずれも、本願に明示的に含めていない限り、そこに規定されているいかなる定義も本明細書に参照により援用しないように制限する。

本願において「実施例」「開示」「本開示」「本開示の実施例」「開示された実施例」などと言っている部分は、本特許出願の明細書（特許請求の範囲を含む文章、および図面）のうち先行技術であると自認したもの以外のことを指している。

特許請求の範囲を解釈するにあたっては、「〜する手段」または「〜する段階」という特定の用語がそれぞれの特許請求の範囲に記載していない限り、米国特許法第１１２条（ｆ）は適用されないことを意図している。

Claims (4)

1. 加圧分配装置であって、
   容器開口部が形成された首部を有する剛性容器と、
   容器内に配設され、剛性容器の首部内または首部に沿って配設された孔形成ライナー取り付け部を備える萎み可能ライナーと、
   ライナー内に配設された下方へ延びる浸漬管と、
   剛性容器の首部に係合し、内部を通る流体流路が形成されたプローブを含むコネクタとを備えており、
   浸漬管の上部でプローブの下部を受けることができるようになっており、プローブの下部でその浸漬管の上部の外表面を取り付け部の内面に押し当てることで、前記浸漬管が前記プローブの下部と前記取り付け部とに直接接触して前記プローブと前記取り付け部との間に前記浸漬管を密閉状態で係合させられるようになっていることを特徴とする加圧分配装置。
2. ライナー式加圧分配装置用のコネクタであって、
   剛性容器の首部外側のねじ山部と共働するように内側にねじ山をもつ側壁を含み、この内側にねじ山をもつ側壁の付近に下部凹所が形成されている本体構造と、
   内部に流体流路が形成され、下部が浸漬管の上部の内表面と機能的に結合できるように下部凹所内に突き出し、下部に中心軸に対して傾斜した先細り面が形成されているプローブと、
   コネクタの外面と下部凹所との間の流体連通を可能にするように配設された少なくとも１つの気体流路が形成された構造とを備えており、
   前記コネクタが前記ライナー式加圧分配装置に嵌め合わされるとき、前記プローブの下部が前記浸漬管の上部と直接接触し、前記浸漬管の上部を取り付け部の内面に押し当てて前記プローブと前記取り付け部との間に前記浸漬管を密閉状態で係合させられるようになっていることを特徴とするライナー式加圧分配装置用のコネクタ。
3. 液体含有材料を分配する方法であって、
   加圧分配装置を提供する工程を含み、
   その加圧分配装置は（ａ）容器開口部を形成する首部を含む剛性容器と、（ｂ）容器内に配設され、前記剛性容器の首部内または首部に沿って配設された孔形成ライナー取り付け部を備える萎み可能ライナーと、（ｃ）前記ライナー内に配設された下方へ延びる浸漬管と、（ｄ）内部に流体流路を形成するプローブを含むコネクタと、（ｅ）１組の指示を記録可能な有形媒体とを有しており、
   その指示が、前記プローブの下部に前記浸漬管の上部の外表面を前記取り付け部の内面に押し当てて設置させ、前記浸漬管を前記プローブと前記取り付け部との間に密閉係合させるべく、前記コネクタを前記剛性容器の前記首部にねじ込む手順と、前記萎み可能ライナーを圧縮するために前記コネクタを介し、加圧気体を前記萎み可能ライナーおよび前記剛性容器と流体連通する加圧空間へ供給する手順とを含む指示であることを特徴とする方法。
4. 加圧分配装置を利用する方法であって、
   その加圧分配装置が（ａ）容器開口部を形成する首部を備えた剛性容器と、（ｂ）容器内に配設され、前記剛性容器の首部内またはこれに沿って配設された孔形成ライナー取り付け部を有する萎み可能ライナーと、（ｃ）前記ライナー内に配設されている下方へ延びる浸漬管と、（ｄ）内部を通る流体流路が形成されているプローブを備えたコネクタとを有しており、
   前記コネクタを前記剛性容器の首部にねじ込んで前記プローブの下端部を前記浸漬管の上部と直接係合させる工程と、
   前記萎み可能ライナーを圧縮するために、前記コネクタを通して前記萎み可能ライナーと前記剛性容器との間の加圧空間へ加圧気体を供給する工程を含むことを特徴とする方法。

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