JP6433153B2 - 液体吐出ヘッド及び該ヘッドのクリーニング方法、並びに該ヘッドを備える記録装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体吐出方式によりインクを吐出して記録媒体に記録を行うための液体吐出ヘッド及び該ヘッドのクリーニング方法に関するものである。また、本発明は、該ヘッドを備える記録装置に関する。

液体吐出方式（インクジェット記録方式）は、液体吐出ヘッドに設けられた吐出口から液体（例えばインク）を吐出させ、これを紙などの被記録材に付着させて記録を行うものである。電気熱変換素子が発生する熱エネルギーにより生ずる液体の発泡を利用して液体を吐出する方式のインクジェット記録方式は、高画質及び高速記録が可能である。

この種の液体吐出ヘッドの一般的な構成は、複数の吐出口と、この吐出口に連通する流路と、インクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する複数の電気熱変換素子とを有する。そして、電気熱変換素子は発熱抵抗体及びこれに電力を供給するための電極によって構成され、この電気熱変換素子が、例えば窒化珪素などの絶縁性をもつ下部保護層により被覆されることで、インクと電気熱変換素子間での絶縁性が確保される。

液体吐出時における電気熱変換素子の発熱部は、高温に曝されるとともに、液体の発泡、収縮に伴うキャビテーション衝撃やインクによる化学的作用を複合的に受けることになる。このため発熱部には、キャビテーションによる衝撃やインクによる化学的作用から発熱抵抗体を保護するため、上部保護層が設けられる。この上部保護層の表面は７００℃付近まで昇温し、かつインクに接する為、耐熱性、機械的特性、化学的安定性、耐アルカリ性等に優れた膜特性が要求される。

また、インクに含まれる色材及び添加物などが高温加熱により分子レベルで分解され、「コゲ」と呼ばれる難溶解性の物質に変化する現象が生じる。このコゲが上部保護層上に物理吸着すると、発熱抵抗体からインクへの熱伝導が不均一になり、吐出したインクの速度が低下する、発泡が不安定になる、吐出に必要なエネルギーが増加するといった問題が生じる。

そこで、特許文献１には、上部保護層の表面をイリジウムやルテニウムなどの電気化学反応によって溶出可能な材料で構成することで、コゲを除去する技術が開示されている。

特開２００８−１０５３６４号公報

特許文献１に示される、コゲ除去のクリーニング方法は、液体中で電気化学反応によって溶出可能な材料に正の電位を印加することにより、液体中へ該材料を溶出させると同時にコゲを除去している。当該材料層は、吐出時のキャビテーション衝撃やインクによる化学的作用から発熱抵抗体を守るため、ある一定値以上の膜厚である必要がある。クリーニングによる当該材料層の溶出に伴い、当該材料層の残存量が規定値を下回ったところでヘッド交換ができるよう、コゲ除去による当該材料層の溶出量は管理されなければならない。

一般的に、当該材料層の溶出量は当該材料を通過する電気量（クーロン量）に依存しており、液体の導電率が変わらなければ、一定電圧での当該材料層の溶出量も変わらないため、当該材料層の残存量はコゲ除去の回数により算出可能である。しかしながら、クリーニング時の液体としてインクそのものを用いる場合、隣接ノズルからのインクの混色などにより導電率が変わってしまうと、同じ電圧を印加しても当該材料層の溶出量が変わってしまう。その他にも、インクロットによる製造ばらつきにより導電率が異なり、インクタンク交換による導電率の変化や、長時間のインクの保存などによるインク変質による導電率の変化など、導電率が変化してしまう原因は様々である。

このような導電率の変化による当該材料層の溶出量のばらつきにより、クリーニングを行っても十分にコゲが除去されず、印字品位が回復しない場合や、また過剰なクリーニングになってしまい想定より早くヘッド寿命に達する場合がある。つまり、あらかじめ設定した条件でのクリーニング方法では、当該材料層の溶出量を十分に管理できない場合がある。

本発明は、クリーニング時の液体、特にインクの導電率にばらつきがあっても、コゲ除去のクリーニングによる当該材料層の溶出量を、正確に把握することができるようにすることを目的とする。また、本発明は、インクの導電率にばらつきがあっても適切なクリーニング条件を設定できるクリーニング方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明の一形態に係る液体吐出ヘッドは、
液体吐出口と
前記液体吐出口に連通する液室と
前記液室内に配置された電気熱変換部と、
前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、
前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、
前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、
を備えた液体吐出ヘッドであって、以下の何れかの構成を有する。
（Ａ）前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対の一方の電極が前記第２電極であり、他方の電極が前記第１電極及び第２電極とは別に設けられた電極であることを特徴とする。
（Ｂ）前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対の少なくとも一方の電極は、前記第１電極及び前記第２電極とは別に設けられており、前記第１電極及び第２電極とは別に設けられた前記電極対の電極は、前記第１電極を電気化学反応により溶出させる電位において、前記第１電極よりも溶出量の少ない材料で形成されていることを特徴とする。
（Ｃ）前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対の少なくとも一方の電極は、前記第１電極及び前記第２電極とは別に設けられており、前記電極対は、前記第１電極と同じ材料で形成されており、前記第１電極を電気化学反応により溶出させる電位よりも低い電位で前記液体の導電率を測定することを特徴とする。
（Ｄ）前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対は、前記第１電極の近傍に、前記第１電極を挟んで対峙して配置させることを特徴とする。
（Ｅ）前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対の少なくとも一方の電極は、前記第１電極及び前記第２電極とは別に設けられており、前記液体吐出ヘッドは、一つの液室と連通する複数の前記液体吐出口を有し、前記電極対の少なくとも一方の電極は、複数の前記液体吐出口の配列方向において、該配列方向の外郭に設けられていることを特徴とする。

また、本発明の別の形態に係る液体吐出ヘッドのクリーニング方法は、
液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室内に配置された電気熱変換部と、前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、を備えた液体吐出ヘッドに対して、前記発熱部を覆う前記第１電極の表面に付着する前記液体の熱による不純物を、前記第１電極の表面に付着する前記液体の熱による不純物を、前記第１電極の電気化学反応による溶出と共に除去するクリーニング動作を含む液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
前記クリーニング動作の前に、前記液体の導電率を測定する工程を有し、測定された前記液体の導電率に基づいて、前記クリーニング動作におけるクリーニング条件を設定することを特徴とする。

本発明のさらに別の実施形態に係る記録装置は、液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室内に配置された電気熱変換部と、前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、を備えた液体吐出ヘッドを用いて記録を行う記録装置であって、前記第１電極と第２電極との間に電圧を印加することにより、前記第１電極の表面に付着する前記液体の熱による不純物を、前記第１電極の溶出と共に除去する処理を行うクリーニング手段を有する記録装置において、
前記液室内の液体に接する電極対を用いて前記液体の導電率を測定する導電率測定手段をさらに有し、
前記クリーニング手段は、前記測定された導電率に基づいて、前記第１電極と第２電極との間に印加する電圧値及び／又は印加時間を設定することを特徴とする。

本発明によると、吐出液体のロットばらつきや混色などにより液体の導電率が変化して
も、コゲ除去のクリーニングによる第１電極（上部電極）の溶出量を所定値に確実に制御することができる。

この為、上部電極の残存量を正確に把握でき、液体吐出ヘッドの吐出特性を安定させ、信頼性のある高品位の画像記録を行うことが可能となる。

本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドにおけるクリーニング手段と導電率測定手段を説明する模式図である。 本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドの模式的平面図である。 本発明の別の実施形態に係る液体吐出ヘッドの模式的平面図である。 本発明の一実施形態例に係る液体吐出ヘッド用基板の模式的断面図である。 本発明の一実施形態例に係る液体吐出ヘッドの模式的な斜視図である。 本発明のインク中を流れる検出電流の時間的関係を示すタイミング図である。 本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成要素に含む記録装置の構成例を示す斜視図である。 本発明の一実施形態に係る液体吐出ヘッドを構成要素に含むヘッドユニットの構成例を示す斜視図である。 図７の記録装置の制御系の構成例を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る記録装置によって実施されるクリーニング動作手順の一例を示すフローチャートである。

本発明の特徴は、クリーニング前に、液室内の液体の導電率を測定することでクリーニング条件を判断し、上部電極の溶出量を制御することである。

以下、図面を参照して本発明を詳細に説明する。

（１．本発明の液体吐出ヘッドの説明）
図１は、本発明の実施形態に係る液体吐出ヘッドにおけるクリーニング手段１３０及び導電率測定手段１４０を模式的に示す図である。

半導体素子（不図示）の形成された液体吐出ヘッド用基板１００には、発熱抵抗体層１０３（不図示）の一部である電気熱変換部１０３’が設けられる。発熱抵抗体層１０３の上部には、配線層１０４（不図示）、保護層１０５（不図示）、密着層１１６（不図示）が形成され、電気配線層１０４に設けた一定のギャップより露出した発熱抵抗体層１０３により電気熱変換部１０３’が形成される。密着層１１６上の、電気熱変換部１０３’に対応する部分に、第１電極（以下、上部電極という）１３１が設けられている。上部電極１３１の電気熱変換部１０３’に対応する部分が熱作用部１０８となり、液室１１７内の液体（インク）に吐出エネルギーとなる熱を付加する。また、上部電極１３１と対になる電極として、第２電極（以下、対向電極という）１３２が設けられている。上部電極１３１は、インクの発泡に伴う化学的、物理的衝撃から電気熱変換部１０３’を守る保護層としての機能と、クリーニング処理に際してコゲを除去する役割を持つ。

また、上部電極１３１と対向電極１３２とは電源１３３，スイッチ１３４を経由する配線経路１３５により電気的に接続されており、液室１１７内の液体を介して電気的な閉回路を形成し得る。この閉回路を構成する構成要素をまとめてクリーニング手段１３０と呼ぶ。記録（印刷）動作中は、熱作用部１０８において所定回数の熱エネルギーを付与するが、その間はこの閉回路はスイッチ１３４が開放されているか、電源１３３からの電力供給を停止している。また、このクリーニング手段１３０は、液体吐出を検出する手段としても用いることができ、上部電極１３１での電気化学反応による溶出が生じない低い電圧を印加することで、熱作用部１０８での発泡の有無を確認することができる。熱作用部１０８となる上部電極１３１の表面にコゲがある程度溜まった後に、クリーニング処理（コゲ除去）を行う。コゲ除去は、この回路を閉じることで、上部電極１３１とインクとの界面で電気化学反応を生起する。この電気化学反応により、上部電極１３１の表面をインク中に溶出させることで、上部電極１３１の表面に付着したコゲを除去する。液体吐出ヘッド内には、上部電極１３１、対向電極１３２及び配線経路１３５の一部を構成する配線層が含まれ、液体吐出ヘッドの外部にスイッチ１３４、電源１３３が含まれる。スイッチ１３４は、場合よっては液体吐出ヘッドの内部に含まれることがある。液体吐出ヘッド内に含まれるクリーニング手段を内部クリーニング手段、液体吐出ヘッド外のクリーニング手段を外部クリーニング手段と呼ぶことがある。

本実施形態では、液体吐出ヘッド用基板１００には、液体の導電率を測定するための電極対１４１Ａ，１４１Ｂが配置されている。電極対１４１Ａ，１４１Ｂは、上部電極１３１と同じ液室１１７内に配置されている。この電極対１４１Ａ，１４１Ｂは、導電率測定用の電圧を印加する電源１４２、この回路内を流れる電流を検出する検出装置１４３、スイッチ１４４を経由する配線経路１４５により電気的に接続されており、液室１１７内の液体を介して電気的な閉回路を形成し得る。この閉回路を構成する構成要素をまとめて導電率測定手段１４０と呼ぶ。液体吐出ヘッド内には、電極対１４１Ａ，１４１Ｂと配線経路１４５の一部が含まれ、外部回路として、電源１４２、検出装置１４３、スイッチ１４４が含まれる。スイッチ１４４は、場合よっては液体吐出ヘッドの内部に含まれることがある。液体吐出ヘッド内に含まれる導電率測定手段を内部導電率測定手段、液体吐出ヘッド外の導電率測定手段を外部導電率測定手段と呼ぶことがある。本実施形態による構成では、クリーニング手段１３０の上部電極１３１及び対向電極１３２とは別に、液室内の液体に接する電極対１４１Ａ，１４１Ｂの両方が設けられ、液体吐出ヘッドに含まれる配線経路１４５の一部となる配線層、又、場合によって含まれるスイッチ１４４が、本実施形態例の液体吐出ヘッドにおける内部導電率測定手段となる。

液体の導電率を測定するために、上部電極１３１と対向電極１３２の間に流れる電流値を測定する方法もある。しかしながら、上部電極１３１の熱作用部１０８表面にはコゲが付着しており、コゲの付着度合いにより電極として作用する面積が不安定となるため、測定値にばらつきが生じやすい。液体の導電率を正しく把握するためには、図示するように、上部電極１３１とは別に、コゲが付着しない電極を配置することが好ましい。上部電極１３１と対向電極１３２を導電率測定用の電極対として使用しても問題がない場合、配線経路１３５が本実施形態の配線経路１４５を兼ねることになる。つまり、特許文献１に開示された液体吐出ヘッドを本発明の後述するクリーニング方法にそのまま使用することもできる。

一方、対向電極１３２にはコゲが付着することはないため、導電率測定手段の一部として利用することもできる。つまり、対向電極１３２を導電率測定用の電極対１４１Ａ，１４１Ｂの一方として利用することもできる。この場合、電極対の他方を上部電極１３１及び対向電極１３２と独立して有することになるので、当該液体吐出ヘッドは、本発明における導電率測定手段を有する液体吐出ヘッドとなる。また、対向電極１３２が一つの液室内に複数個存在する場合には、近接した２つの対向電極１３２を、導電率を測定するための電極対１４１Ａ，１４１Ｂとして利用することもできる。その場合、配線経路１３５の一部は配線経路１４５を兼ね、液体吐出ヘッドの内部又は外部において回路の切り換えを行う。液体吐出ヘッドの内部において回路の切り換えが可能となる場合は、当該液体吐出ヘッドは、本発明における導電率測定手段を有する液体吐出ヘッドとなる。このように、本発明において液体吐出ヘッドが導電率測定手段を有するとは、従来公知の液体吐出ヘッドにはなく、導電率測定のために設けられた部材、回路を有することを意味する。

電極対１４１Ａ，１４１Ｂは、上部電極１３１と同じ液室内であればどこに配置しても構わない。より好ましくは、コゲ除去を行う上部電極１３１の近傍に配置することであり、図２に示すように、上部電極１３１を挟んで対峙して配置させることもできる。また、図２のように配置することがレイアウト上の制約で難しい場合は、図３に示すように、一つの液室と連通する複数の液体吐出口１２１の配列方向において、該配列方向の外郭に、導電率測定用の電極対１４１Ａ，１４１Ｂを設けることもできる。

ここまでの構成を、液体吐出ヘッド用基板１００とする。液体吐出ヘッド用基板１００には、不図示の液体収容部（例えば、インクタンク）から液体を液室１１７内に導入するための液体供給口１０７が、液体吐出ヘッド用基板１００を貫通して設けられている。液体吐出ヘッド用基板１００上には、熱作用部１０８に対応する位置に液体吐出口１２１を有するとともに、液体供給口１０７から熱作用部１０８を経て液体吐出口１２１に連通する流路となる液室（液流路）１１７を形成するための流路形成部材１２０が形成され、液体吐出ヘッド１となる。

液体吐出ヘッド用基板１００には、図４に示すように、シリコンなどの基板１０１上にＳｉＯ_２，ＳｉＮなどの絶縁材料からなる蓄熱層１０２介して、発熱抵抗体層１０３が設けられている。発熱抵抗体層１０３は、ＴａＳｉＮ等の公知の材料で構成される。発熱抵抗体層１０３上にはＡｌ，Ａｌ−Ｓｉ，Ａｌ−Ｃｕ等の金属材料からなる配線としての配線層１０４が設けられる。配線層１０４の一部を除去したギャップ間に露出した発熱抵抗体層１０３部分が電気熱変換部１０３’となる。配線層１０４上にはＳｉＯ_２，ＳｉＮなどの絶縁材料からなり、電気熱変換部と液室内の液体の接触を遮断する絶縁性の保護層１０５が設けられ、保護層１０５上に密着層１１６が設けられる。保護層１０５を含む電気熱変換部１０３’の周辺を発熱部と称することがある。密着層１１６の一部は、保護層１０５に設けたスルーホール１１０を介して、電気熱変換部１０３’とは電気的に分離された配線層１０４に接続される。保護層上には、密着層１１６を介して、上部電極１３１、対向電極１３２、電極対１４１Ａ，１４１Ｂが設けられ、これらと電気的に接続された配線層１０４は、図１に示す配線経路１３５、１４５の一部となる。配線層１０４は、基板端部に設けた端子部１０６を介して、後述する記録装置内に設けた外部回路に接続される。本実施形態では、保護層下に設けた発熱抵抗体層１０３と配線層１０４の積層からなる配線のうち、配線層１０４にギャップを設けて電気熱変換部１０３’となる配線と、配線経路１３５、１４５の一部となる、電気熱変換部と電気的に分離された配線とが存在する。

密着層１１６は、上部電極１３１、対向電極１３２、電極対１４１Ａ，１４１Ｂと保護層１０５との密着性を向上させる層であり、また、導電性材料を用いることで、配線経路１３５，１４５の一部ともなる。また、電気熱変換部１０３’で発生した熱を液体と接する熱作用部１０８に熱損失なく伝達する良好な熱伝導性を示す材料であることが好ましい。密着層１１６は、これらの特性を満たす限りはいずれの材料も用いることができるが、部分的に液室内の液体と接触する場合には、耐液性を有する材料であることが好ましい。また、クリーニング時に上部電極１３１の電気化学反応による溶出を行う電圧で、上部電極１３１よりも溶出しにくい材料であり、表面に不動態膜を形成するバルブメタル、例えば、タンタルやニオブなどの金属材料が好ましく使用できる。

上部電極１３１は、電気化学反応によって液体中に溶出してコゲ除去するという本来的な機能のほかに、電気熱変換部１０３’を物理的・化学的衝撃からの保護する上部保護層としての機能を有する。また、電気熱変換部１０３’で発生した熱を液体に伝達する熱作用部１０８として良好な熱伝導性を示すことが要求される。電気化学反応による金属の溶出の有無は、一般に種々の金属の電位−ｐＨ図を見れば把握することが可能である。上部電極１３１の材料としては、好ましい溶出領域をもち、かつ７００℃程度の加熱により強固な酸化膜を形成しない材料が好ましく使用できる。このような材料として、ＩｒまたはＲｕの単体、あるいはＩｒと他の金属との合金もしくはＲｕと他の金属との合金を選定することが好ましい。特に、コゲ除去としての機能は、ＩｒまたはＲｕの含有率が多いほど電気化学反応が効率良く進行するので、それぞれの金属単体の場合が最も好ましいものである。しかしながら、Ｉｒ合金もしくはＲｕ合金の場合であっても、本発明の効果を得ることができるものである。このように、少なくとも、ＩｒまたはＲｕを含む材料であれば本発明の効果を得られるものである。

対向電極１３２、電極対１４１Ａ，１４１Ｂの材料は、上部電極１３１と同様に液室内の液体に接することから、液体に接しても電気的に安定な材料であれば、いずれの材料も使用できる。例えば、上部電極１３１と同じ金属材料を用いることができる。上部電極１３１と同じ金属材料を用いると、上部電極１３１と同時に、対向電極１３２、電極対１４１Ａ，１４１Ｂを形成することができる。また、電極対１４１Ａ，１４１Ｂは、クリーニング時に上部電極１３１の電気化学反応による溶出を行う電位と同じ電位で、上部電極１３１よりも溶出しにくい材料であれば、導電率測定時の電圧をクリーニング動作時の電圧に近づけることができる。このような材料として、不動態を形成することで、前記電位で電気化学反応による実質的な溶出が生じない金属を含む材料が挙げられる。

図５は、本発明の一実施形態例になる液体吐出ヘッド１の部分破断斜視図を示す。この液体吐出ヘッド１は、所定のピッチで熱作用部１０８（上部電極１３１）が形成された素子列を、供給口１０７を挟んで２列並列させてなる液体吐出ヘッド用基板１００を有している。この液体吐出ヘッド１は、図３に示すような配線レイアウトを採用することができる。本発明の液体吐出ヘッドは、図５に示す例に限定されず、多色に対応したヘッド、例えば、図５に示すような吐出口列を並列に配置したものや、吐出口列を直列に配置したものであっても良い。

（２．液体導電率測定及びクリーニング条件の設定）
本発明の特徴部分である、液体の導電率測定及びクリーニング条件の設定について図６を用いて詳細に説明を行う。

図６は、導電率測定用の所定の電圧を電極対１４１Ａ，１４１Ｂ間に印加したときに検出される電流値である。液体を介して電極対１４１Ａ，１４１Ｂ間に電流を流すため、図１に示す電源１４２より測定電圧Ｖ_ｍを印加する。このとき、検出装置１４３で検出される検出電流はＩ_１というピーク値を検出した後、徐々に低下しＩ_ｍの値で安定する。なお、電極対１４１Ａ，１４１Ｂが上部電極１３１と同じ材料である場合、ここで印加する測定電圧Ｖ_ｍは、電気化学反応によって電極材料が液体中に溶出しないか、溶出しても上部電極１３１の１回当たりの溶出量よりも少なくなる電圧である。

続いて、検出装置１４３により検出されたＩ_ｍの値より、液体の導電率σ_ｍを算出する。ここで、電極対１４１Ａ，１４１Ｂ間の距離と電極面積は一定であり、Ｉ_ｍは導電率σ_ｍと比例の関係にある。

ここで、一回のコゲ除去に十分な上部電極の溶出量を確保できる電気量をＱ_ｋとした場合、コゲ除去時の電流値Ｉ_ｋ、コゲ除去用の電圧を印加する時間Ｔ_ｋ、コゲ除去時の電圧値Ｖ_ｋとの間に、下記式（１）
Ｑ_ｋ＝Ｉ_ｋＴ_ｋ＝Ｖ_ｋ×σ_ｍ×Ｔ_ｋ×Ｃ （１）
の関係が存在する。式（１）中、Ｃは常数であり、上部電極１３１と対向電極１３２間の距離及び電極面積に依存する。上部電極１３１の溶出量を一定にする、つまりＱｋを一定にするため、例えば、導電率σ_ｍが２倍になった場合は、コゲ除去時の電圧値Ｖ_ｋを１／２倍にするか、印加時間Ｔ_ｋを１／２倍にするか、あるいはＶ_ｋ×Ｔ_ｋを１／２倍にすればよい。

本実施形態では、測定した導電率σ_ｍの値を、コゲ除去のために上部電極に印加する電圧値Ｖ_ｋ及び／又は印加時間Ｔ_ｋの設定にフィードバックする。こうすることで、１回あたりのコゲ除去における上部電極１３１へ与える電気量を、液体の導電率が変化しても一定に設定でき、溶出量を一定にしたクリーニングが可能となる。

（３．クリーニング動作（コゲ除去動作）の説明）
本発明のコゲ除去動作は、上部電極１３１をアノード電極、対向電極１３２をカソード電極とし、電解液である液体（インク）との電気化学反応を利用する。アノード電極である上部電極１３１を溶出させることで、堆積したコゲを上部電極１３１の溶出と共に除去することができる。なお、コゲ除去動作時に、特許文献１に開示されているように、上部電極１３１と対向電極１３２の極性を反転させると、コゲ除去動作時に電極表面に吸着ないしは引き寄せられた液体中の成分を液体中に再放出することが可能となる。

（４．記録装置の説明）
図７は本実施形態に係る記録装置５００の概略構成例を示すものである。
図示の記録装置５００において、キャリッジ５０５は無端ベルト５０１に固定され、かつガイドシャフト５０２に沿って移動可能になっている。無端ベルト５０１はプーリ５０３Ａ，５０３Ｂに巻回され、一方のプーリ５０３Ａにはキャリッジ駆動モータ５０４の駆動軸が連結されている。従って、キャリッジ５０５は、モータ５０４の回転駆動に伴いガイドシャフト５０２に沿って往復方向（Ａ方向）に主走査される。

キャリッジ５０５上には、カートリッジ形態のヘッドユニット４１０が搭載されている。ここで、ヘッドユニット４１０は、液体吐出ヘッド１の吐出口１２１が記録媒体としての用紙Ｐと対向し、かつ吐出口１２１の配列方向が主走査方向（Ａ方向）と異なる方向（例えば用紙Ｐの搬送方向である副走査方向（Ｂ方向））に一致するようにキャリッジ５０５に搭載される。なお、ヘッドユニット４１０は、例えば、図８に示す構成例を有することができる。図８中、４０２は液体吐出ヘッド１に電力を供給するための端子を有するＴＡＢ（Tape Automated Bonding）用のテープ部材である。このテープ部材４０２は、記録装置本体から接点４０３を介して電力や各種信号をやり取りすることができる。４０４は液体（インク）を液体吐出ヘッド１に供給するためのタンクである。すなわち、図８のヘッドユニット４１０は、図７の記録装置５００に装着可能なカートリッジの形態を有するものである。また、ヘッドユニット４１０は、液体吐出ヘッド１とタンク４０４とが別体となったタンク分離型であっても良い。また、液体吐出ヘッド１が複数色に対応したものであっても良い。タンク４０４は、キャリッジ５０５以外に配置し、チューブ等によりキャリッジ５０５に搭載の液体吐出ヘッド１に供給しても良い。液体吐出ヘッド１及びタンク４０４の組は、使用するインク色に対応した個数を設けることができ、図７に図示の例では４色（例えばブラック、イエロー、マゼンタ、シアン）に対応して４組設けられている。

また、図７の記録装置５００には、キャリッジ５０５の主走査方向上の移動位置を検出するなどの目的でリニアエンコーダ５０６が設けられている。リニアエンコーダ５０６の一方の構成要素としてはキャリッジ５０５の移動方向に沿って設けられたリニアスケール５０７があり、このリニアスケール５０７には所定密度で、等間隔にスリットが形成されている。一方、キャリッジ５０５には、リニアエンコーダ５０６の他方の構成要素として、例えば、発光部及び受光センサを有するスリットの検出系５０８及び信号処理回路が設けられている。従って、リニアエンコーダ５０６からは、キャリッジ５０５の移動に伴って、インク吐出タイミングを規定するための吐出タイミング信号及びキャリッジの位置情報が出力される。

記録媒体としての記録紙Ｐは、キャリッジ５０５のスキャン方向と直交する矢印Ｂ方向に間欠的に搬送される。記録紙Ｐは搬送方向上流側の一対のローラユニット５０９及び５１０と、下流側一対のローラユニット５１１及び５１２とにより支持され、一定の張力を付与されて液体吐出ヘッド１に対する平坦性を確保した状態で搬送される。各ローラユニットに対する駆動力は、ここでは図示しない搬送モータから伝達される。

以上のような構成によって、キャリッジ５０５の移動に伴い液体吐出ヘッド１の吐出口１２１の配列幅に対応した幅の記録と記録紙Ｐの搬送とを交互に繰り返しながら、記録紙Ｐ全体に対する記録が行われる。

なお、キャリッジ５０５は、記録開始時または記録中に必要に応じてホームポジションで停止する。このホームポジションには、各液体吐出ヘッド１の吐出口１２１が設けられた面（吐出口面）をキャッピングするキャップ部材５１３が設けられている。このキャップ部材５１３には、キャップ内に負圧を発生させ、吐出口１２１からインクを吸引して強制的に液室内の液体を排出させる機構（不図示）が接続されている。このような液体を吸引、排出させる機構は、一般に、吸引回復機構と呼ばれ、これによって行われる液体排出動作は吸引回復動作と呼ばれている。この吸引回復動作によって、吐出口１２１の目詰まり等が防止される。

図９は上記構成の記録装置５００における制御系の構成例を示すブロック図である。
図９において、１７００はインタフェースであり、コンピュータ，デジタルカメラ，スキャナ等適宜の形態を有するホスト装置１０００から送られてくるコマンドや画像データを含む記録信号を受信する。また、ホスト装置１０００に対しては必要に応じ記録装置のステータス情報を送出する。制御部９０内には、ＭＰＵ１７０１、ＲＯＭ１７０２、ＤＲＡＭ１７０３、ゲートアレイ（Ｇ．Ａ．）１７０４、エネルギーテーブル１７２５、ＥＥＰＲＯＭ等の不揮発性メモリ１７２６が含まれる。ＭＰＵ１７０１は、ＲＯＭ１７０２に記憶された図１０について後述するクリーニング処理及びエネルギー設定処理手順に対応した制御プログラムや所要のデータに従って記録装置５００内の各部を制御する。ＲＯＭ１７０２に記憶されるデータとしては、例えば電気熱変換部１０３’に印加する駆動パルスの形状や印加時間のほか、電極対１４１Ａ，１４１Ｂ間に印加する電圧など、液体吐出ヘッド１の定常的な駆動条件がある。また、記録媒体搬送の条件、さらにはキャリッジ速度等も含めることができる。

ＤＲＡＭ１７０３は各種データ（上記記録信号やヘッドに供給される記録データ等）を保存しておく。また、ＤＲＡＭ１７０３には後述する制御の過程で使用されるフラグ用の領域等を設けておくことができる。ゲートアレイ１７０４は、液体吐出ヘッド１に対する記録データの供給制御を行い、インタフェース１７００、ＭＰＵ１７０１及びＤＲＡＭ１７０３間のデータ転送制御も行う。エネルギーテーブル１７２５は、インク吐出に必要なエネルギーを決定するデータ、例えば吐出信号のパルス幅を格納する。不揮発性メモリ１７２６には所要のデータを記録装置の電源オフ時にも保存しておく。

５０４は図７に示すキャリッジ駆動モータ５０４である。１７１１は回復系モータであり、図７に示すキャップ部材５１３のキャッピング動作や、吸引回復を行うポンプ等の吸引回復手段の動作における駆動源として用いられる。１７０６、１７０７は、それぞれ、キャリッジ駆動モータ５０４及び回復系モータ１７１１を駆動するためのモータドライバである。１７０５は液体吐出ヘッド１の駆動や、クリーニング動作及び吐出エネルギー設定動作を行うためのヘッドドライバである。１７０８は検出装置で、液体（インク）を介して上部電極１３１と対向電極１３２に流れる電流値を検出している。これにより制御部９０は、インク吐出がなされたかどうかを検知することができる。また、検出装置１７０８は、後述するように、電極対１４１Ａ，１４１Ｂに印加する電圧に対する電流値を検出し、これを制御部９０にフィードバックして、液体（インク）の導電率を算出する。図１に示す外部クリーニング手段や外部導電率測定手段はこれらの制御系に含まれており、一部は共用することができる。

（５．クリーニングシーケンスの説明）
図１０は本発明の液体吐出ヘッド１を用いる記録装置５００が実施可能なクリーニング処理手順の一例を示す。

ホスト装置１０００等から記録指示が行われると本手順が開始され、まずホスト装置１０００から記録に係る画像データを受信し、これを記録装置に適合するデータとして展開する（ステップＳ１）。そして当該展開した記録データに基づき、記録用紙Ｐの搬送とキャリッジ５０５の主走査とを交互に行いながら、液体吐出ヘッド１による記録動作を実行する（ステップＳ３）。また、この際、記録ドット数（電気熱変換部１０３’の駆動パルス数）のカウントを実施する。

そして１単位（例えば記録用紙１枚分）の記録動作が終了すると、不揮発性メモリ１７２６に格納されているドットカウント値の累積データを読み出し（ステップＳ５）、これに今回カウントしたドット数を加算する（ステップＳ７）。次に、当該加算値が所定の値Ｔｈ（例えば１×１０^７）以上となった（Ｙｅｓ）か否（Ｎｏ）かを判定する（ステップＳ９）。

ここで肯定判定（Ｙｅｓ）であれば、図１に示す導電率測定手段１４０において電極対１４１Ａ，１４１Ｂに導電率測定用電圧を印加する（ステップＳ１１）。ステップＳ１１にて印加した電圧に対する電流値を検出することにより、液体の導電率を算出し、その値に基づいて、クリーニング条件を設定する（ステップＳ１３）。

上述したように、図１に示すクリーニング手段１３０において、上部電極１３１が電気化学反応において、アノード側となるように電圧を印加し、クリーニング動作を実施する（ステップＳ１５）。クリーニング動作では、熱作用部１０８上のコゲが上部電極１３１の表面の電気化学反応による溶出とともに除去される。係るクリーニング動作を行った後には、吐出口１２１付近には溶出した上部電極１３１の形成材料と剥離したコゲとを含む液体（インク）が滞留している。記録品位に影響を及ぼすものでなければ、このインクをそのまま次回の記録動作に用いることで吐出口１２１から吐出させてしまうこともできる。しかし本実施形態では、吸引回復等を実施することで（ステップＳ１７）、そのインクを積極的に排出するようにする。クリーニング動作に伴って、上部電極１３１の表面が溶出するため、熱作用部１０８の上部電極１３１の膜厚が減少する。このため、高い記録品位を保つためには、発泡に必要なパルス幅の閾値であるＰｔｈを再度測定し、これを記憶する（ステップＳ１９、Ｓ２１）その後、不揮発性メモリ１７２６に格納されているドットカウント値の累積データをリセットし（ステップＳ２３）、一連の記録処理を終了する。

一方、ステップＳ９にて否定判定（Ｎｏ）された場合には、上記加算値をもって不揮発性メモリ１７２６に格納されているドットカウント値の累積データを更新し（ステップＳ２５）、記録処理を終了する。

なお、以上の手順では記録動作後にコゲ除去処理ないし回復処理を実施するものとしたが、記録動作に先立って行うようにしてもよい。この場合には、ステップＳ１で展開した記録データに基づいてドットカウントを行い、これをドットカウントの累積値に加算し、その加算値に基づいてコゲ除去処理の実施の有無を判定するようにすることができる。また、所定量の記録動作毎（例えば液体吐出ヘッドの１または数スキャン毎）にコゲ除去処理が実施されるようにすることも可能である。回復処理は、導電率測定の前に行ってもよい。このとき、一つのキャップ部材で多色対応のヘッドに吸引回復処理を行うと、インクの混色が発生してインクの導電率が大きく変化することがある。本発明では、導電率を測定してから、クリーニング動作を行うため、安定したクリーニング動作が可能となる。

また、コゲ除去処理後に液体を排出させるための処理としては、上述したような吸引回復に限られない。吐出口に至るインク供給系を加圧することで排出を行わせるものでもよい。また、記録動作とは別に電気熱変換部１０３’を駆動してインクを吐出させる処理（予備吐出処理）により排出を行うものでもよい。この場合には、予備吐出のための駆動パルスも上記カウントに反映させることができる。

このように、本発明のクリーニング方法では、クリーニング動作は、上部電極１３１が所定の厚みに減少するまで複数回実施される。また、各回のクリーニング動作前に液体の導電率を測定し、測定された導電率に応じて、１回当たりの上部電極の溶出量が一定になるようにクリーニング条件を設定する。最終的な上部電極１３１の残膜量は、吐出状態の確認が可能で、キャビテーションに対する保護層としての機能が確保できる厚みであり、好ましくは５ｎｍ以上、より好ましくは１０ｎｍ以上である。最終クリーニング動作後は、ステップＳ９にて肯定判定（Ｙｅｓ）となる時点で液体吐出ヘッドの寿命と認定し、その後の導電率測定及びクリーニング動作を行う必要はない。

いずれにしても、本発明によれば、一連の記録処理過程においてコゲ除去処理を含むクリーニング処理を、記録装置に搭載したまま実施することが可能となる。従って、液体吐出ヘッドを取り外して行うような特別かつ煩雑なクリーニング処理が不要となり、液体吐出ヘッドが寿命に至るまで効率よく安定したクリーニング処理を実施することが可能となる。

以下、実施例を挙げて本発明を具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例のみに限定されるものでは無い。
（実施例１）
本実施例の液体吐出ヘッドとして、特許文献１に開示の方法と同様にして図２（又は図３）となるように、Ｓｉで形成された基板１０１上にＳｉＯ_２蓄熱層、ＴａＳｉＮ発熱抵抗体層１０３、Ａｌ配線層１０４、ＳｉＮ保護層１０５を順次形成した。なお、電気熱変換部１０３’はＡｌ配線層１０４の一部をエッチング除去して形成した。その後、保護層１０５上に、密着層１１６としてタンタルを１００ｎｍ形成した後、イリジウム膜を５０ｎｍ成膜した。イリジウム膜をパターニングし、上部電極１３１、対向電極１３２、電極対１４１Ａ，１４１Ｂをそれぞれ形成した。その後は、特許文献１と同様に、インク供給口１０７の形成、流路形成部材１２０の形成、その他必要な端子部の形成等を経て液体吐出ヘッドを完成した。なお、本実施例では、図８に示したようなインクタンク一体型のヘッドユニットではなく、インクタンク分離型とした。

（コゲ除去実験）
上記の液体吐出ヘッドを用いて、コゲ除去実験を実施した。
インクは染料マゼンダインクを用いた。実験方法は、まず、新規のインクタンクを液体吐出ヘッドにセットし、熱作用部１０８上にコゲが堆積するように所定条件で電気熱変換部１０３’を駆動してコゲ付けをした。表面状態を観察すると、熱作用部１０８には、ほぼ均一にコゲＫと呼ばれる不純物が堆積していた。この状態の液体吐出ヘッドを用いた記録を行うと、コゲＫの堆積により記録品位が低下していることが確認された。その後、電極対１４１Ａ、１４１Ｂに１ＶのＤＣ電圧を印加し、液体の導電率を測定した。その導電率の値に基づいて、クリーニング条件を設定しクリーニングを行った。クリーニング終了後、印字品位を確認した。
この一連の流れ、「新規インクタンクセット、コゲ付け駆動、導電率測定、クリーニング条件決定、クリーニング動作、印字品位確認」、を１シーケンスとし、このシーケンスを５サイクル行った。

各サイクルにおける導電率の測定結果と、それに基づいて決定したクリーニング条件、クリーニング後の印字品位を、表１に示す。
印字品位の評価基準は、以下の通りである。
○：初期とほぼ同等。
×：初期より低下。

それぞれのサイクルにおいてシーケンス終了後の熱作用部１０８の表面状態を観察すると、それまで堆積していたコゲＫが除去されていることが確認され、インクタンク交換後に記録を行うと、記録品位は初期とほぼ同等に回復していた。また、本実施例において、５サイクル目のシーケンス終了後に、上部電極１３１の残膜量を確認したところ、残膜は約４０ｎｍであり、ほぼ想定通りの残膜量であった。

（実施例２）
上記と同様にして、複数色対応の液体吐出ヘッドを作製した。この液体吐出ヘッドを用いて、コゲ除去実験を実施した。吐出及びコゲ除去を行うノズル列に染料マゼンダインク、それと隣接するノズル列には染料シアンインクを用いた。また、本実施例における導電率測定用電極は、図２に示すように、発熱部上方の上部電極１３１と、液体供給口１０７の間に、それぞれ配置されている。

実験方法は、まずマゼンダインクを用い、熱作用部１０８表面上にコゲＫが堆積するように所定条件で電気熱変換部１０３’を駆動してコゲ付けをした。表面状態を観察すると、熱作用部１０８表面には、ほぼ均一にコゲＫが堆積していた。この状態の液体吐出ヘッドを用いた記録を行うと、コゲＫの堆積により記録品位が低下していることが確認された。

その後、同一のキャッピング部材を用い吐出ノズル列と隣接ノズル列を同時に吸引した。その後、電極対１４１Ａ、１４１Ｂに１ＶのＤＣ電圧を印加して液体の導電率を測定し、その導電率の値に基づいて上部電極１３１の溶出量が一定となるクリーニング条件を設定しクリーニングを行った。クリーニング終了後、吐出を行い、印字品位を確認した。

この一連の流れ、「コゲ付け駆動、キャップ吸引、導電率測定、クリーニング条件決定、クリーニング動作、印字品位確認」、までを１シーケンスとし、このシーケンスを５サイクル行った。
各サイクルにおける導電率の測定結果と、それに基づいて決定したクリーニング条件、クリーニング後の印字品位を、表２に示す。

サイクル毎に導電率の変化がみられたが、これは、同一キャップによる吸引によりインクの混色が生じたためと考えられる。
それぞれのサイクルにおいてシーケンス終了後の熱作用部１０８表面を観察すると、それまで堆積していたコゲＫが除去されていることが確認された。また印字品位の確認を行うと、初期とほぼ同等に回復していた。また、４サイクル目のクリーニング終了後の残膜量が約１０ｎｍであり、５サイクル目の吐出確認が可能であった。

（比較例１）
比較例１では、実施例１における新規インクタンクへの交換後、導電率測定を行わずに、１０．０Ｖ、１０ｓｅｃという毎サイクル同じクリーニング条件にてクリーニングを行った。それ以外は、実施例１と同じである。
それぞれのサイクルにおけるシーケンス終了後の印字品位を、表３に示す。

３、４、５サイクル目のシーケンス終了後に熱作用部１０８表面を観察すると、コゲが十分に除去されておらず、印字品位は初期ほどには回復されていなかった。

（比較例２）
比較例２では、導電率測定を行わずに、１０．０Ｖ、３０ｓｅｃという毎サイクル同じクリーニング条件にてクリーニングを行った以外は、実施例２と同じである。
それぞれのサイクルにおけるシーケンス終了後の印字品位を、表４に示す。

４サイクル目のシーケンス終了後に熱作用部１０８表面を観察すると、上部電極１３１はほぼ残っておらず、密着層１１６がむき出しになっていた。この状態で５サイクル目を開始したところ、コゲ付けのための吐出を開始してすぐの段階で断線が起こった。熱作用部１０８付近を観察すると、キャビテーションにより断線が生じていた。
以上の結果より、本発明によれば、コゲ除去時の上部電極の溶出量を一定量に制御することができるため、確実にコゲ除去ができ、良好な吐出特性を維持することが可能となる。

本件によると、適切なコゲ除去条件を決めることが可能となり、液体吐出ヘッドの寿命に影響する上部電極の残存量を確実に算出することができる。また、十分なコゲ除去により液体吐出ヘッドの吐出特性を安定させ、信頼性のある高品位の画像記録を行うことが可能となる。したがって、本発明の産業上の利用可能性は極めて高い。
以上の説明では、液体として吐出用の液体（インク）を用いる場合を説明したが、本発明はこれに限定されず、液体吐出ヘッドのリサイクル時の洗浄液などについても適用することができる。

１ 液体吐出ヘッド
１００ 液体吐出ヘッド用基板
１０１ Ｓｉ基板
１０２ 蓄熱層
１０３ 発熱抵抗体層
１０３’ 電気熱変換部
１０４ 配線層
１０５ 保護層
１０６ 端子部
１０７ 液体供給口
１０８ 熱作用部
１１０ スルーホール
１１６ 密着層
１１７ 液室
１２０ 流路形成部材
１２１ 液体吐出口
１３０ クリーニング手段
１３１ 上部電極
１３２ 対向電極
１３３ 電源
１３４ スイッチ
１３５ 配線経路
１４０ 導電率測定手段
１４１Ａ，１４１Ｂ 電極対
１４２ 電源
１４３ 検出装置
１４４ スイッチ
１４５ 配線経路

Claims (15)

1. 液体吐出口と、
   前記液体吐出口に連通する液室と、
   前記液室に配置された電気熱変換部と、
   前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、
   前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、
   前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、
   を備えた液体吐出ヘッドであって、
   前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対の一方の電極が前記第２電極であり、他方の電極が前記第１電極及び第２電極とは別に設けられた電極であることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
2. 液体吐出口と、
   前記液体吐出口に連通する液室と、
   前記液室に配置された電気熱変換部と、
   前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、
   前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、
   前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、
   を備えた液体吐出ヘッドであって、
   前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対の少なくとも一方の電極は、前記第１電極及び前記第２電極とは別に設けられており、前記第１電極及び第２電極とは別に設けられた前記電極対の電極は、前記第１電極を電気化学反応により溶出させる電位において、前記第１電極よりも溶出量の少ない材料で形成されていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
3. 液体吐出口と、
   前記液体吐出口に連通する液室と、
   前記液室に配置された電気熱変換部と、
   前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、
   前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、
   前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、
   を備えた液体吐出ヘッドであって、
   前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対の少なくとも一方の電極は、前記第１電極及び前記第２電極とは別に設けられており、前記電極対は、前記第１電極と同じ材料で形成されており、前記第１電極を電気化学反応により溶出させる電位よりも低い電位で前記液体の導電率を測定することを特徴とする、液体吐出ヘッド。
4. 液体吐出口と、
   前記液体吐出口に連通する液室と、
   前記液室に配置された電気熱変換部と、
   前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、
   前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、
   前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、
   を備えた液体吐出ヘッドであって、
   前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対は、前記第１電極の近傍に、前記第１電極を挟んで対峙して配置させることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
5. 液体吐出口と、
   前記液体吐出口に連通する液室と、
   前記液室に配置された電気熱変換部と、
   前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、
   前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、
   前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、
   を備えた液体吐出ヘッドであって、
   前記液室内の液体と接触する電極対を含む前記液体の導電率測定手段を有しており、前記電極対の少なくとも一方の電極は、前記第１電極及び前記第２電極とは別に設けられており、前記液体吐出ヘッドは、一つの液室と連通する複数の前記液体吐出口を有し、前記電極対の少なくとも一方の電極は、複数の前記液体吐出口の配列方向において、該配列方向の外郭に設けられていることを特徴とする、液体吐出ヘッド。
6. 前記第１電極、第２電極及び電極対は、導電性の密着層を介して前記保護層上に配置され、前記第１電極、第２電極及び電極対は、それぞれ独立して前記密着層と前記保護層に設けたスルーホールを介して前記保護層下に設けた配線経路に電気的に接続されている請求項１乃至５のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッド。
7. 前記保護層下に発熱抵抗体層と配線層の積層からなる配線が設けられており、該配線のうち、前記電気熱変換部は、前記配線層にギャップを設けて形成され、前記配線経路は、前記電気熱変換部と電気的に分離された前記配線である請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
8. 液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室内に配置された電気熱変換部と、前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、を備えた液体吐出ヘッドに対して、前記発熱部を覆う前記第１電極の表面に付着する前記液体の熱による不純物を、前記第１電極の電気化学反応による溶出と共に除去するクリーニング動作を含む液体吐出ヘッドのクリーニング方法であって、
   前記クリーニング動作の前に、前記液体の導電率を測定する工程を有し、測定された前記液体の導電率に基づいて、前記クリーニング動作におけるクリーニング条件を設定することを特徴とするクリーニング方法。
9. 前記クリーニング動作は、前記第１電極が所定の厚みに減少するまで複数回実施され、各回のクリーニング動作前に液体の導電率を測定し、各回の測定された液体の導電率に基づいて、１回当たりの前記第１電極の溶出する量が一定になるようにクリーニング条件を設定する請求項８に記載のクリーニング方法。
10. 前記クリーニング条件の設定は、前記測定した導電率の値に基づいて、前記第１電極に印加する電圧値及び／又は印加時間を設定する請求項９に記載のクリーニング方法。
11. 前記導電率を測定する工程の前及びクリーニング動作の後の少なくとも一方に、前記液室内に滞留する液体を吸引する工程をさらに有する請求項８乃至１０のいずれか１項に記載のクリーニング方法。
12. 前記液体吐出ヘッドは、一つの液室内に複数の前記第２電極を有し、２つの隣接する前記第２電極を用いて前記液体の導電率を測定する請求項８乃至１１のいずれか１項に記載のクリーニング方法。
13. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドに対して、前記第１電極の表面に付着する前記液体の熱による不純物を、前記第１電極の電気化学反応による溶出と共に除去するクリーニング動作を含む液体吐出ヘッドのクリーニング方法において、
    前記導電率測定手段によって前記液室内の液体の導電率を測定し、測定された前記液体の導電率に基づいて、前記クリーニング動作におけるクリーニング条件を設定するクリーニング方法。
14. 液体吐出口と、前記液体吐出口に連通する液室と、前記液室内に配置された電気熱変換部と、前記電気熱変換部と前記液室内の液体との接触を遮断する絶縁性の保護層と、前記保護層の前記電気熱変換部によって加熱される発熱部を少なくとも覆い、前記液体との電気化学反応によって溶出する金属を含む材料で構成された第１電極と、前記液体を介して前記第１電極と電気的に接続可能に設けられ、前記第１電極と前記液体との前記電気化学反応を生起するための第２電極と、を備えた液体吐出ヘッドを用いて記録を行う記録装置であって、前記第１電極と第２電極との間に電圧を印加することにより、前記第１電極の表面に付着する前記液体の熱による不純物を、前記第１電極の溶出と共に除去する処理を行うクリーニング手段を有する記録装置において、
    前記液室内の液体に接する電極対を用いて前記液体の導電率を測定する導電率測定手段をさらに有し、
    前記クリーニング手段は、前記測定された導電率に基づいて、前記第１電極と第２電極との間に印加する電圧値及び／又は印加時間を設定することを特徴とする記録装置。
15. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドを用いて記録を行う記録装置であって、前記第１電極と第２電極との間に電圧を印加することにより、前記第１電極の表面に付着する前記液体の熱による不純物を、前記第１電極の溶出と共に除去する処理を行うクリーニング手段を有する記録装置において、
    前記クリーニング手段は、前記導電率測定手段で測定された導電率に基づいて、前記第１電極と第２電極との間に印加する電圧値及び／又は印加時間を設定することを特徴とする記録装置。

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