JP6376178B2 - 歯車、減速装置、ロボットおよび移動体 - Google Patents

Description

本発明は、歯車、減速装置、ロボットおよび移動体に関するものである。

粉末冶金法では、金属粉末とバインダーとを含む組成物を、所望の形状に成形して成形体を得た後、成形体を脱脂・焼結することにより、焼結体を製造する。このような焼結体の製造過程では、金属粉末の粒子同士の間で原子の拡散現象が生じ、これにより成形体が徐々に緻密化することによって焼結に至る。

例えば、特許文献１には、ＺｒおよびＳｉを含み、残部がＦｅ、ＣｏおよびＮｉからなる群から選択される少なくとも１種と不可避元素とで構成された粉末冶金用金属粉末が提案されている。このような粉末冶金用金属粉末によれば、Ｚｒの作用によって焼結性が向上し、高密度の焼結体を容易に製造することができる。

このようにして得られた焼結体は、近年、各種機械部品や構造部品等に幅広く用いられるようになってきている。

例えば、特許文献２には、析出硬化型ステンレス鋼の粉末を用いて製造された焼結部品を浸炭焼き入れ・焼き戻しの熱処理に供することにより、歯車を作製することが開示されている。

特開２０１２−８７４１６号公報 特開２０１３−１７０２９５号公報

しかしながら、浸炭焼き入れ・焼き戻しのような熱処理は、一般に９００℃以上の高温で、かつ数時間にわたって行われる。このため、焼結部品が変形し易く、歯車の寸法精度の低下を招く。

本発明の目的は、寸法精度および機械的特性の高い歯車、ならびに、信頼性の高い減速装置、ロボットおよび移動体を提供することにある。

上記目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の歯車は、Ｆｅが主成分であり、
Ｎｉが２質量％以上２０質量％以下の割合で含まれ、
Ｓｉが０．３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
Ｃが０．００５質量％以上０．３質量％以下の割合で含まれ、
Ｃｕが０．１２質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
前記第１元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれ、
前記第２元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする。
本発明の歯車は、Ｆｅが主成分であり、
Ｎｉが２．５質量％以上１９．５質量％以下の割合で含まれ、
Ｓｉが０．４質量％以上４．５質量％以下の割合で含まれ、
Ｃが０．００８質量％以上０．１５質量％以下の割合で含まれ、
Ｃｕが０．１２質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
前記第１元素が０．０３質量％以上０．６５質量％以下の割合で含まれ、
前記第２元素が０．０３質量％以上０．５５質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする。
本発明の歯車は、Ｆｅが主成分であり、
Ｎｉが３質量％以上１９質量％以下の割合で含まれ、
Ｓｉが０．５質量％以上４質量％以下の割合で含まれ、
Ｃが０．０１質量％以上０．０８質量％以下の割合で含まれ、
Ｃｕが０．１２質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
前記第１元素が０．０５質量％以上０．６質量％以下の割合で含まれ、
前記第２元素が０．０５質量％以上０．４５質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする。
本発明の歯車は、Ｆｅが主成分であり、
Ｎｉが２質量％以上２０質量％以下の割合で含まれ、
Ｓｉが０．３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
Ｃが０．００５質量％以上０．３質量％以下の割合で含まれ、
Ａｌが０．０３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
前記第１元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれ、
前記第２元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする。
本発明の歯車は、Ｆｅが主成分であり、
Ｎｉが２．５質量％以上１９．５質量％以下の割合で含まれ、
Ｓｉが０．４質量％以上４．５質量％以下の割合で含まれ、
Ｃが０．００８質量％以上０．１５質量％以下の割合で含まれ、
Ａｌが０．０３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
前記第１元素が０．０３質量％以上０．６５質量％以下の割合で含まれ、
前記第２元素が０．０３質量％以上０．５５質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする。
本発明の歯車は、Ｆｅが主成分であり、
Ｎｉが３質量％以上１９質量％以下の割合で含まれ、
Ｓｉが０．５質量％以上４質量％以下の割合で含まれ、
Ｃが０．０１質量％以上０．０８質量％以下の割合で含まれ、
Ａｌが０．０３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
前記第１元素が０．０５質量％以上０．６質量％以下の割合で含まれ、
前記第２元素が０．０５質量％以上０．４５質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする。
本発明の歯車は、Ｆｅが主成分であり、
Ｎｉが２質量％以上２０質量％以下の割合で含まれ、
Ｃｏが６質量％以上１４質量％以下の割合で含まれ、
Ｓｉが０．３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
Ｃが０．００５質量％以上０．３質量％以下の割合で含まれ、
Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
前記第１元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれ、
前記第２元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする。
これにより、寸法精度および機械的特性の高い歯車が得られる。

本発明の歯車では、前記第２元素の含有率を前記第２元素の原子量で除した値Ｘ２に対する前記第１元素の含有率を前記第１元素の原子量で除した値Ｘ１の比率Ｘ１／Ｘ２は、０．３以上３以下であることが好ましい。
本発明の歯車では、前記第２元素の含有率を前記第２元素の原子量で除した値Ｘ２に対する前記第１元素の含有率を前記第１元素の原子量で除した値Ｘ１の比率Ｘ１／Ｘ２は、０．５以上２以下であることが好ましい。
本発明の歯車では、前記第２元素の含有率を前記第２元素の原子量で除した値Ｘ２に対する前記第１元素の含有率を前記第１元素の原子量で除した値Ｘ１の比率Ｘ１／Ｘ２は、０．７５以上１．３以下であることが好ましい。

これにより、焼結体を得るために粉末冶金用金属粉末が焼成されるとき、第１元素の炭化物等の析出と第２元素の炭化物等の析出のタイミングのずれを最適化することができる。その結果、成形体中に残存する空孔を内側から順次掃き出すようにして排出することができるので、焼結体中に生じる空孔を最小限に抑えることができる。したがって、高密度で焼結体特性に優れた焼結体（歯車）が得られる。

本発明の歯車では、前記第１元素の含有率と前記第２元素の含有率の合計が０．０５質量％以上０．８質量％以下であることが好ましい。
本発明の歯車では、前記第１元素の含有率と前記第２元素の含有率の合計が０．１０質量％以上０．７質量％以下であることが好ましい。
本発明の歯車では、前記第１元素の含有率と前記第２元素の含有率の合計が０．１２質量％以上０．６質量％以下であることが好ましい。
これにより、製造される焼結体（歯車）の高密度化が必要かつ十分なものとなる。

本発明の歯車では、前記焼結体は、さらに、Ｃｒを９質量％以上１９質量％以下の割合で含むことが好ましい。
本発明の歯車では、前記焼結体は、さらに、Ｃｒを９．５質量％以上１８質量％以下の割合で含むことが好ましい。
本発明の歯車では、前記焼結体は、さらに、Ｃｒを１０質量％以上１７．５質量％以下の割合で含むことが好ましい。
これにより、長期にわたって高い機械的特性を維持し得る焼結体（歯車）が得られる。

本発明の歯車では、前記焼結体は、さらに、Ｃｏを６質量％以上１４質量％以下の割合で含むことが好ましい。
本発明の歯車では、前記焼結体は、さらに、Ｃｏを７質量％以上１３質量％以下の割合で含むことが好ましい。
本発明の歯車では、前記焼結体は、さらに、Ｃｏを７．５質量％以上１２．５質量％以下の割合で含むことが好ましい。

これにより、製造される焼結体の密度の大幅な低下を招くことなく、焼結体（歯車）の耐熱性をより強化することができる。

本発明の減速装置は、本発明の歯車を備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い減速装置が得られる。

本発明のロボットは、本発明の歯車を備える動力伝達部を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高いロボットが得られる。

本発明の移動体は、本発明の歯車を備える動力伝達部を有することを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。

本発明の歯車の実施形態を模式的に示す平面図である。 本発明の減速装置の実施形態を模式的に示す断面図である。 本発明のロボットの第１実施形態を模式的に示す正面図である。 本発明のロボットの第２実施形態を模式的に示す正面図である。 本発明の移動体の実施形態である自動車の構成を示す斜視図である。

以下、本発明の歯車、減速装置、ロボット、移動体、粉末冶金用金属粉末および焼結体について詳細に説明する。
［歯車］
まず、本発明の歯車の実施形態について説明する。
図１は、本発明の歯車の実施形態を模式的に示す平面図である。
図１に示す歯車１は、芯部２と、芯部２の周囲に設けられている歯部３と、を備えている。

このうち、芯部２は円板状をなしており、中央には芯部２を厚さ方向に丸孔２ａが形成されている。そして、この丸孔２ａに軸４が挿入されることにより、軸４の回転に応じて歯車１を回転させることができる。

一方、歯部３は、芯部２よりも厚い円環状をなしており、芯部２と一体形成されている。そして、歯部３は、その外側に向かって突出するように設けられた複数の歯３ａを備えている。複数の歯３ａは等間隔に設けられており、歯部３の外周を取り囲むように配置されている。

また、丸孔２ａには略四角形の第１凹部２ｂが形成されている。一方、軸４の側面には第２凹部４ａが形成されている。これらの第１凹部２ｂと第２凹部４ａとを合わせると略四角形の孔が形成される。図１ではこの孔にキー５が挿入されている。これにより、芯部２と軸４とが互いに固定される。

なお、図１に示す歯車１は、その全体が粉末冶金法で作製された焼結体で構成されているが、本発明はこれに限定されず、例えば歯車１の少なくとも一部に焼結体が用いられていればよい。すなわち、本発明の歯車は、焼結体を備えていればよい。このとき、焼結体で構成される部位は、特に限定されないものの、好ましくは歯部３が焼結体で構成されているのが好ましい。これにより、歯部３の寸法精度を高めることができ、信頼性の高い歯車１が得られる。

また、歯車１が備える焼結体は、Ｆｅが主成分であり、Ｎｉが２質量％以上２０質量％以下の割合で含まれ、Ｓｉが０．３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、Ｃが０．００５質量％以上０．３質量％以下の割合で含まれ、後述する第１元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれ、後述する第２元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれている焼結体である。このような焼結体は、その硬度等の機械的特性を高めるための熱処理を比較的低温で、または高温であっても比較的短時間で行うことができるので、熱処理に伴う変形量が抑えられ、寸法精度の高いものとなる。このため、寸法精度および機械的特性が高い歯車１が得られる。なお、この機械的特性には、いわゆるトライボロジーと呼ばれる、相対運動しながら互いに影響を及ぼし合う２つの表面の間に生じる現象、例えば、摩擦、摩耗、潤滑等を含む。したがって、機械的特性が高いとは、これらの現象が良好であること、例えば、摩擦や摩耗が少ない、潤滑が良好といった状態を指す。

また、図１に示す歯車１は、いわゆる平歯車であるが、本発明はこれに限定されず、他の形状の歯車、例えば、はすば歯車、やまば歯車、ウォームギア、ハイポイドギア、スプロケット、ラチェット等であってもよい。

＜歯車の製造方法＞
次に、粉末冶金用金属粉末を用いて焼結体（歯車）を製造する方法について説明する。

焼結体を製造する方法は、［Ａ］焼結体製造用の組成物を用意する組成物調製工程と、［Ｂ］成形体を製造する成形工程と、［Ｃ］脱脂処理を施す脱脂工程と、［Ｄ］焼成を行う焼成工程と、を有する。以下、各工程について順次説明する。

［Ａ］組成物調製工程
まず、粉末冶金用金属粉末とバインダーとを用意し、これらを混練機により混練し、混練物を得る。

この混練物中では、粉末冶金用金属粉末が均一に分散している。
粉末冶金用金属粉末は、例えば、アトマイズ法（例えば、水アトマイズ法、ガスアトマイズ法、高速回転水流アトマイズ法等）、還元法、カルボニル法、粉砕法等の各種粉末化法により製造される。

このうち、粉末冶金用金属粉末は、アトマイズ法により製造されたものであるのが好ましく、水アトマイズ法または高速回転水流アトマイズ法により製造されたものであるのがより好ましい。アトマイズ法は、溶融金属（溶湯）を、高速で噴射された流体（液体または気体）に衝突させることにより、溶湯を微粉化するとともに冷却して、金属粉末を製造する方法である。粉末冶金用金属粉末をこのようなアトマイズ法によって製造することにより、極めて微小な粉末を効率よく製造することができる。また、得られる粉末の粒子形状が表面張力の作用により球形状に近くなる。このため、成形した際に充填率の高いものが得られる。すなわち、高密度な焼結体を製造可能な粉末を得ることができる。

一方、バインダーとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン、ポリメチルメタクリレート、ポリブチルメタクリレート等のアクリル系樹脂、ポリスチレン等のスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエーテル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドンまたはこれらの共重合体等の各種樹脂や、各種ワックス、パラフィン、高級脂肪酸（例：ステアリン酸）、高級アルコール、高級脂肪酸エステル、高級脂肪酸アミド等の各種有機バインダーが挙げられ、これらのうち１種または２種以上を混合して用いることができる。

また、バインダーの含有率は、混練物全体の２質量％以上２０質量％以下程度であるのが好ましく、５質量％以上１０質量％以下程度であるのがより好ましい。バインダーの含有率が前記範囲内であることにより、成形性よく成形体を形成することができるとともに、密度を高め、成形体の形状の安定性等を特に優れたものとすることができる。また、これにより、成形体と脱脂体との大きさの差、いわゆる収縮率を最適化して、最終的に得られる焼結体の寸法精度の低下を防止することができる。すなわち、高密度でかつ寸法精度の高い焼結体を得ることができる。

また、混練物中には、必要に応じて、可塑剤が添加されていてもよい。この可塑剤としては、例えば、フタル酸エステル（例：ＤＯＰ、ＤＥＰ、ＤＢＰ）、アジピン酸エステル、トリメリット酸エステル、セバシン酸エステル等が挙げられ、これらのうちの１種または２種以上を混合して用いることができる。

さらに、混練物中には、粉末冶金用金属粉末、バインダー、可塑剤の他に、例えば、滑剤、酸化防止剤、脱脂促進剤、界面活性剤等の各種添加物を必要に応じ添加することができる。

また、後述する成形方法によっては、混練物に代えて、造粒粉末を製造するようにしてもよい。これらの混練物および造粒粉末等が、後述する成形工程に供される組成物の一例である。

造粒粉末は、粉末冶金用金属粉末に造粒処理を施すことにより、複数個の金属粒子同士をバインダーで結着してなるものである。

造粒粉末の製造に用いられるバインダーとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体等のポリオレフィン、ポリメチルメタクリレート、ポリブチルメタクリレート等のアクリル系樹脂、ポリスチレン等のスチレン系樹脂、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、ポリアミド、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート等のポリエステル、ポリエーテル、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドンまたはこれらの共重合体等の各種樹脂や、各種ワックス、パラフィン、高級脂肪酸（例：ステアリン酸）、高級アルコール、高級脂肪酸エステル、高級脂肪酸アミド等の各種有機バインダーが挙げられ、これらのうち１種または２種以上を混合して用いることができる。

このうち、バインダーとしては、ポリビニルアルコールまたはポリビニルピロリドンを含むものが好ましい。これらのバインダー成分は、結着性が高いため、比較的少量であっても効率よく造粒粉末を形成することができる。また、熱分解性も高いことから、脱脂および焼成の際に、短時間で確実に分解、除去することが可能になる。

また、バインダーの含有率は、造粒粉末全体の０．２質量％以上１０質量％以下程度であるのが好ましく、０．３質量％以上５質量％以下程度であるのがより好ましく、０．３質量％以上２質量％以下であるのがさらに好ましい。バインダーの含有率が前記範囲内であることにより、著しく大きな粒子が造粒されたり、造粒されていない金属粒子が大量に残存してしまうのを抑制しつつ、造粒粉末を効率よく形成することができる。また、成形性が向上するため、成形体の形状の安定性等を特に優れたものとすることができる。また、バインダーの含有率を前記範囲内としたことにより、成形体と脱脂体との大きさの差、いわゆる収縮率を最適化して、最終的に得られる焼結体の寸法精度の低下を防止することができる。

さらに、造粒粉末中には、必要に応じて、可塑剤、滑剤、酸化防止剤、脱脂促進剤、界面活性剤等の各種添加物が添加されていてもよい。

一方、造粒処理としては、例えば、スプレードライ（噴霧乾燥）法、転動造粒法、流動層造粒法、転動流動造粒法等が挙げられる。

［Ｂ］成形工程
次に、混練物または造粒粉末を成形して、目的の焼結体と同形状の成形体を製造する。

成形体の製造方法（成形方法）としては、特に限定されず、例えば、圧粉成形（圧縮成形）法、金属粉末射出成形（ＭＩＭ：Metal Injection Molding）法、押出成形法等の各種成形法を用いることができる。

このうち、圧粉成形法が好ましく用いられる。圧粉成形法によれば、バインダーの濃度分布が比較的に均一になり易い。これにより、後述する焼成工程において、成形体が均等に収縮し易くなる。このため、最終的により寸法精度の高い焼結体が得られる。

圧粉成形法の場合の成形条件は、用いる粉末冶金用金属粉末の組成や粒径、バインダーの組成、およびこれらの配合量等の諸条件によって異なるが、成形圧力が２００ＭＰａ以上１０００ＭＰａ以下（２ｔ／ｃｍ^２以上１０ｔ／ｃｍ^２以下）程度であるのが好ましい。

また、金属粉末射出成形法の場合の成形条件は、諸条件によって異なるものの、材料温度が８０℃以上２１０℃以下程度、射出圧力が５０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下（０．５ｔ／ｃｍ^２以上５ｔ／ｃｍ^２以下）程度であるのが好ましい。

また、押出成形法の場合の成形条件は、諸条件によって異なるものの、材料温度が８０℃以上２１０℃以下程度、押出圧力が５０ＭＰａ以上５００ＭＰａ以下（０．５ｔ／ｃｍ^２以上５ｔ／ｃｍ^２以下）程度であるのが好ましい。

このようにして得られた成形体は、金属粉末の複数の粒子の間隙に、バインダーが一様に分布した状態となる。

なお、作製される成形体の形状寸法は、以降の脱脂工程および焼成工程における成形体の収縮分を見込んで決定される。

［Ｃ］脱脂工程
次に、得られた成形体に脱脂処理（脱バインダー処理）を施し、脱脂体を得る。

具体的には、成形体を加熱して、バインダーを分解することにより、成形体中からバインダーを除去して、脱脂処理がなされる。

この脱脂処理は、例えば、成形体を加熱する方法、バインダーを分解するガスに成形体を曝す方法等が挙げられる。

成形体を加熱する方法を用いる場合、成形体の加熱条件は、バインダーの組成や配合量によって若干異なるものの、温度１００℃以上７５０℃以下×０．１時間以上２０時間以下程度であるのが好ましく、１５０℃以上６００℃以下×０．５時間以上１５時間以下程度であるのがより好ましい。これにより、成形体を焼結させることなく、成形体の脱脂を必要かつ十分に行うことができる。その結果、脱脂体の内部にバインダー成分が多量に残留してしまうのを確実に防止することができる。

また、成形体を加熱する際の雰囲気は、特に限定されず、水素のような還元性ガス雰囲気、窒素、アルゴンのような不活性ガス雰囲気、大気のような酸化性ガス雰囲気、またはこれらの雰囲気を減圧した減圧雰囲気等が挙げられる。
一方、バインダーを分解するガスとしては、例えば、オゾンガス等が挙げられる。

なお、このような脱脂工程は、脱脂条件の異なる複数の過程（ステップ）に分けて行うことにより、成形体中のバインダーをより速やかに、そして、成形体に残存させないように分解・除去することができる。

また、必要に応じて、脱脂体に対して切削、研磨、切断等の機械加工を施すようにしてもよい。脱脂体は、硬度が比較的低く、かつ比較的可塑性に富んでいるため、脱脂体の形状が崩れるのを防止しつつ、容易に機械加工を施すことができる。このような機械加工によれば、最終的に寸法精度の高い焼結体を容易に得ることができる。

［Ｄ］焼成工程
前記工程［Ｃ］で得られた脱脂体を、焼成炉で焼成して焼結体（歯車）を得る。

この焼結により、粉末冶金用金属粉末は、粒子同士の界面で拡散が生じ、焼結に至る。この際、前述したようなメカニズムによって、脱脂体が速やかに焼結される。その結果、全体的に緻密な高密度の焼結体が得られる。

焼成温度は、成形体および脱脂体の製造に用いた粉末冶金用金属粉末の組成や粒径等によって異なるが、一例として９８０℃以上１３３０℃以下程度とされる。また、好ましくは１０５０℃以上１２６０℃以下程度とされる。

また、焼成時間は、０．２時間以上７時間以下とされるが、好ましくは１時間以上６時間以下程度とされる。

また、焼成の際の雰囲気は、特に限定されないが、金属粉末の著しい酸化を防止することを考慮した場合、水素のような還元性ガス雰囲気、アルゴンのような不活性ガス雰囲気、またはこれらの雰囲気を減圧した減圧雰囲気等が好ましく用いられる。

なお、追加処理を施さなくても、焼結体は十分に高い密度と機械的特性とを有しているが、さらなる高密度化および機械的特性の向上を図るために、各種の追加処理を施すようにしてもよい。

この追加処理としては、例えば、前述したＨＩＰ処理のような高密度化を図る追加処理であってもよく、各種焼き入れ処理、各種サブゼロ処理、各種焼き戻し処理、各種硬化処理等であってもよい。これらの追加処理は単独で行われてもよく、複数が組み合わされて行われてもよい。

このうち、硬化処理は、例えば、１０２０℃以上１０６０℃以下の温度から急冷する固溶化熱処理の後、４７０℃以上６３０℃以下の温度から空冷する析出硬化熱処理を施す処理、あるいは、析出硬化熱処理のみを施す処理等が挙げられる。また、かかる硬化処理は、必要に応じて行えばよく、例えば焼成工程の結果、上述した硬化処理と同等の熱処理が施された状態になっている場合等には、省略されてもよい。

なお、上述したような粉末冶金用金属粉末によれば、このような硬化処理を比較的低温で、あるいは、高温であっても比較的短時間で行ったとしても、機械的特性の向上において十分な効果を得ることができる。このため、硬化処理に伴う機械的特性の向上を図りつつ、硬化処理に伴う焼結体の変形を最小限に抑えることができ、焼結体の寸法精度を狙い値により近づけることができる。

また、上述した焼成工程や各種追加処理においては、金属粉末中（焼結体中）の軽元素が揮発し、最終的に得られる焼結体の組成は、金属粉末中の組成から若干変化している場合もある。

例えば、Ｃについては、工程条件や処理条件に応じて異なるものの、最終的な焼結体における含有率が、粉末冶金用金属粉末における含有率の５％以上１００％以下の範囲内（好ましくは３０％以上１００％以下の範囲内）で変化する可能性がある。したがって、その減少分を踏まえて、粉末冶金用金属粉末の他にＣを別途添加したり、粉末冶金用金属粉末のＣを増やしたりしてもよい。

また、Ｏについても、工程条件や処理条件に応じて異なるものの、最終的な焼結体における含有率が、粉末冶金用金属粉末における含有率の１％以上５０％以下の範囲内（好ましくは３％以上５０％以下の範囲内）で変化する可能性がある。

一方、前述したように、製造された焼結体は、必要に応じて行われる追加処理の一環でＨＩＰ処理に供されてもよいが、ＨＩＰ処理を行っても十分な効果が発揮されない場合も多い。ＨＩＰ処理では、焼結体のさらなる高密度化を図ることができるが、そもそも本発明で得られる焼結体は、焼成工程の終了時点ですでに十分な高密度化が図られている。このため、さらにＨＩＰ処理を施したとしても、それ以上の高密度化は進み難い。

加えて、ＨＩＰ処理では、圧力媒体を介して被処理物を加圧する必要があるため、被処理物が汚染されたり、汚染に伴って被処理物の組成や物性が意図しない変化を生じたり、汚染に伴って被処理物が変色したりするおそれがある。また、加圧されることにより被処理物内において残留応力が発生あるいは増加し、これが経時的に解放されるのに伴って変形や寸法精度の低下といった不具合の発生を招くおそれがある。

これに対し、上述した粉末冶金用金属粉末を用いることにより、このようなＨＩＰ処理を施すことなく、十分に密度の高い焼結体を製造可能であるため、ＨＩＰ処理を施した場合と同様の高密度化および高強度化が図られた焼結体を得ることができる。そして、このような焼結体は、汚染や変色、意図しない組成や物性の変化等が少なく、変形や寸法精度の低下といった不具合の発生も少ないものとなる。よって、本発明によれば、機械的強度および寸法精度が高く、耐久性に優れた焼結体（歯車）を効率よく製造することができる。

また、このような焼結体は、組成や結晶組織が焼結体全体で均一になり易い。このため、構造的な等方性が高く、形状によらず全方位からの荷重に対する耐久性に優れた歯車が得られる。

＜粉末冶金用金属粉末＞
次に、上述したような歯車の製造に用いられる粉末冶金用金属粉末について説明する。

この粉末冶金用金属粉末は、Ｆｅが主成分であり、Ｎｉが２質量％以上２０質量％以下の割合で含まれ、Ｓｉが０．３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、Ｃが０．００５質量％以上０．３質量％以下の割合で含まれ、後述する第１元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれ、後述する第２元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれている金属粉末である。このような金属粉末によれば、合金組成の最適化が図られた結果、焼結時の緻密化を特に高めることができる。その結果、追加処理を施すことなく、高密度で寸法精度の高い焼結体（歯車）を製造することができる。

なお、第１元素とは、Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａの７元素からなる群から選択される１種の元素であり、第２元素とは、前記７元素からなる群から選択される１種の元素であって、かつ、元素周期表における族が第１元素よりも大きい元素、または、前記７元素からなる群から選択される１種の元素であるとともに第１元素として選択された元素と元素周期表における族が同じ元素であってかつ元素周期表における周期が第１元素よりも大きい元素である。

以下、粉末冶金用金属粉末の合金組成についてさらに詳述する。なお、以下の説明では、粉末冶金用金属粉末を単に「金属粉末」ということもある。

（Ｎｉ）
Ｎｉは、製造される焼結体に耐食性や耐熱性を付与する元素である。

金属粉末におけるＮｉの含有率は、２質量％以上２０質量％以下とされるが、好ましくは２．５質量％以上１９．５質量％以下とされ、より好ましくは３質量％以上１９質量％以下とされる。Ｎｉの含有率を前記範囲内に設定することで、長期にわたって機械的特性に優れた焼結体が得られる。

Ｎｉの含有率が前記下限値を下回ると、全体の組成によっては、製造される焼結体の耐食性や耐熱性を十分に高められないおそれがあり、一方、Ｎｉの含有率が前記上限値を上回ると、かえって耐食性や耐熱性が低下するおそれがある。

なお、Ｎｉの含有率は、後述するＳｉおよびＣｒの含有率に応じて特に好ましい範囲が適宜設定される。
例えば、金属粉末中におけるＳｉの含有率が３質量％未満であり、かつ、Ｃｒの含有率が１３質量％未満である場合には、Ｎｉの含有率が１６質量％以上２０質量％以下であるのが好ましく、１７質量％以上１９質量％以下であるのがより好ましい。

一方、金属粉末中におけるＳｉの含有率が３質量％未満であり、かつ、Ｃｒの含有率が１３質量％以上１９質量％以下である場合には、Ｎｉの含有率が２質量％以上１０質量％以下であるのが好ましく、２．５質量％以上９質量％以下であるのがより好ましい。

また、金属粉末中におけるＳｉの含有率が３質量％以上である場合には、Ｎｉの含有率が５質量％以上８質量％以下であるのが好ましく、６質量％以上７質量％以下であるのがより好ましい。

（Ｓｉ）
Ｓｉ（ケイ素）は、製造される焼結体に耐食性および高い機械的特性を付与する元素であり、Ｓｉを含む金属粉末を用いることで、長期にわたって高い機械的特性を維持し得る焼結体が得られる。

金属粉末におけるＳｉの含有率は、０．３質量％以上５質量％以下とされるが、好ましくは０．４質量％以上４．５質量％以下とされ、より好ましくは０．５質量％以上４質量％以下とされる。Ｓｉの含有率が前記下限値を下回ると、全体の組成によっては、Ｓｉを添加する効果が希薄になるため、製造される焼結体の耐食性や機械的特性が低下する。一方、Ｓｉの含有率が前記上限値を上回ると、全体の組成によっては、Ｓｉが多くなり過ぎるため、かえって耐食性や機械的特性が低下する。

（Ｃ）
Ｃ（炭素）は、後述する第１元素や第２元素と併用されることで、焼結性を特に高めることができる。具体的には、第１元素や第２元素は、それぞれがＣと結合することにより、炭化物を生成する。この炭化物が分散して析出することにより、結晶粒の著しい成長を防止する効果が生じる。このような効果が得られる明確な理由は不明であるが、理由の１つとして、分散した析出物が障害となって結晶粒の著しい成長を阻害するため、結晶粒のサイズのバラツキが抑えられることが考えられる。これにより、焼結体中に空孔が生じ難くなるとともに、結晶粒の肥大化が防止されるため、高密度でかつ機械的特性の高い焼結体が得られる。

金属粉末におけるＣの含有率は、０．００５質量％以上０．３質量％以下とされるが、好ましくは０．００８質量％以上０．１５質量％以下とされ、より好ましくは０．０１質量％以上０．０８質量％以下とされる。Ｃの含有率が前記下限値を下回ると、全体の組成によっては、結晶粒が成長し易くなり、焼結体の機械的特性が不十分になる。一方、Ｃの含有率が前記上限値を上回ると、全体の組成によっては、Ｃが多くなり過ぎるため、かえって焼結性が低下する。

（Ａｌ）
粉末冶金用金属粉末は、Ａｌ（アルミニウム）またはＣｕ（銅）のいずれか一方を含んでいてもよく、双方を含んでいてもよい。

Ａｌは、製造される焼結体に金属間化合物を析出させ、焼結体の機械的特性を高める元素である。また、金属粉末中にＣｕが含まれている場合には、さらにＡｌが含まれていてもよい。

金属粉末におけるＡｌの含有率は、特に限定されないが、０．０３質量％以上５質量％以下であるのが好ましく、０．０４質量％以上３質量％以下であるのがより好ましく、０．７５質量％以上２質量％以下であるのがさらに好ましい。Ａｌの含有率を前記範囲内に設定することで、製造される焼結体の密度の大幅な低下を招くことなく、焼結体の機械的特性をより強化することができる。

なお、Ａｌの含有率が前記下限値を下回ると、金属間化合物の析出が制限されるため、全体の組成によっては焼結体の機械的特性を十分に高めることができないおそれがある。一方、Ａｌの含有率が前記上限値を上回ると、金属間化合物が過剰に析出するおそれがあるため、全体の組成によっては焼結体の密度が低下するとともに、焼結体の機械的特性がかえって低下するおそれがある。

（Ｃｕ）
Ｃｕは、製造される焼結体に金属間化合物を析出させ、焼結体の機械的特性を高める元素である。また、金属粉末中にＡｌが含まれている場合には、さらにＣｕが含まれていてもよい。

金属粉末におけるＣｕの含有率は、特に限定されないが、０．０３質量％以上５質量％以下であるのが好ましく、０．５質量％以上４質量％以下であるのがより好ましく、０．７５質量％以上４．２質量％以下であるのがさらに好ましい。Ｃｕの含有率を前記範囲内に設定することで、製造される焼結体の密度の大幅な低下を招くことなく、焼結体の機械的特性をより強化することができる。

なお、Ｃｕの含有率が前記下限値を下回ると、金属間化合物の析出が制限されるため、全体の組成によっては焼結体の機械的特性を十分に高めることができないおそれがある。一方、Ｃｕの含有率が前記上限値を上回ると、金属間化合物が過剰に析出するおそれがあるため、全体の組成によっては焼結体の密度が低下するとともに、焼結体の機械的特性がかえって低下するおそれがある。

（Ｃｒ）
粉末冶金用金属粉末は、Ｃｒ（クロム）を含んでいてもよい。

Ｃｒは、製造される焼結体に耐食性を付与する元素であり、Ｃｒを含む金属粉末を用いることで、長期にわたって高い機械的特性を維持し得る焼結体（歯車）が得られる。

金属粉末におけるＣｒの含有率は、特に限定されないが、９質量％以上１９質量％以下とされるが、好ましくは９．５質量％以上１８質量％以下とされ、より好ましくは１０質量％以上１７．５質量％以下とされる。Ｃｒの含有率が前記下限値を下回ると、全体の組成によっては、製造される焼結体の耐食性が不十分になる。一方、Ｃｒの含有率が前記上限値を上回ると、全体の組成によっては、焼結性が低下し、焼結体の高密度化が困難になる。

なお、Ｃｒの含有率は、後述するＳｉの含有率に応じて特に好ましい範囲が適宜設定される。

例えば、金属粉末中におけるＳｉの含有率が３質量％未満である場合には、Ｃｒの含有率が特に１３質量％以上１９質量％以下であるのが好ましく、１４質量％以上１８質量％以下であるのがより好ましい。

一方、金属粉末中におけるＳｉの含有率が３質量％以上５質量％以下である場合には、Ｃｒの含有率が特に９質量％以上１４質量％未満であるのが好ましく、１０質量％以上１３質量％以下であるのがより好ましい。

（Ｃｏ）
粉末冶金用金属粉末は、Ｃｏ（コバルト）を含んでいてもよい。
Ｃｏは、製造される焼結体の耐熱性を強化する元素である。

金属粉末におけるＣｏの含有率は、特に限定されないが、６質量％以上１４質量％以下であるのが好ましく、７質量％以上１３質量％以下であるのがより好ましく、７．５質量％以上１２．５質量％以下であるのがさらに好ましい。Ｃｏの含有率を前記範囲内に設定することで、製造される焼結体の密度の大幅な低下を招くことなく、焼結体（歯車）の耐熱性をより強化することができる。

なお、Ｃｏの含有率および前述したＣｒの含有率は、前述したＮｉの含有率に応じて特に好ましい範囲が適宜設定される。

例えば、金属粉末中におけるＮｉの含有率が１０質量％以上である場合には、上述した範囲内でＣｏを含むことが好ましく、Ｃｒについては後述する不純物程度またはそれ未満の含有率であることが好ましい。

一方、金属粉末中におけるＮｉの含有率が１０質量％未満である場合には、上述した範囲内でＣｒを含むことが好ましく、Ｃｏについては後述する不純物程度またはそれ未満の含有率であることが好ましい。

（Ｍｏ）
粉末冶金用金属粉末は、Ｍｏ（モリブデン）を含んでいてもよい。
Ｍｏは、製造される焼結体の耐食性を強化する元素である。

金属粉末におけるＭｏの含有率は、特に限定されないが、０．１質量％以上６質量％以下であるのが好ましく、０．３質量％以上５．２質量％以下であるのがより好ましく、０．５質量％以上５質量％以下であるのがさらに好ましい。Ｍｏの含有率を前記範囲内に設定することで、製造される焼結体の密度の大幅な低下を招くことなく、焼結体の耐食性をより強化することができる。

（第１元素および第２元素）
第１元素および第２元素は、炭化物や酸化物（以下、まとめて「炭化物等」ともいう。）を析出させる。そして、この析出した炭化物等は、金属粉末が焼結するとき、結晶粒の著しい成長を阻害すると考えられる。その結果、前述したように、焼結体中に空孔が生じ難くなるとともに、結晶粒の肥大化が防止され、高密度でかつ機械的特性の高い焼結体が得られる。

加えて、詳しくは後述するが、析出した炭化物等が結晶粒界において酸化ケイ素の集積を促進し、その結果、結晶粒の肥大化を抑えつつ、焼結の促進と高密度化とが図られる。

ところで、第１元素および第２元素は、Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａの７元素からなる群から選択される２種の元素であるが、長周期型元素周期表の３Ａ族または４Ａ族に属する元素（Ｔｉ、Ｙ、Ｚｒ、Ｈｆ）を含むことが好ましい。第１元素および第２元素の少なくとも一方として３Ａ族または４Ａ族に属する元素を含むことにより、金属粉末中に酸化物として含まれている酸素を除去し、金属粉末の焼結性を特に高めることができる。

また、第１元素は、前述したように、Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａの７元素からなる群から選択される１種の元素であればよいが、好ましくは前記７元素からなる群のうち、長周期型元素周期表の３Ａ族または４Ａ族に属する元素とされる。３Ａ族または４Ａ族に属する元素は、金属粉末中に酸化物として含まれている酸素を除去し、金属粉末の焼結性を特に高めることができる。これにより、焼結後に結晶粒内に残存する酸素濃度の低減を図ることができる。その結果、焼結体の酸素含有率の低減を図り、高密度化を図ることができる。また、これらの元素は、活性が高い元素であるため、速やかな原子拡散をもたらすと考えられる。このため、この原子拡散が駆動力となって金属粉末の粒子間距離が効率よく縮まり、粒子間にネックを形成することによって成形体の緻密化が促進される。その結果、焼結体のさらなる高密度化を図ることができる。

一方、第２元素は、前述したように、Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａの７元素からなる群から選択される１種の元素であって、かつ、第１元素とは異なる元素であればよいが、好ましくは前記７元素からなる群のうち、長周期型元素周期表の５Ａ族に属する元素とされる。５Ａ族に属する元素は、特に、前述した炭化物等を効率よく析出させるため、焼結時の結晶粒の著しい成長を効率よく阻害することができる。その結果、微細な結晶粒の生成を促進させ、焼結体の高密度化と機械的特性の向上とを図ることができる。

なお、上述したような元素からなる第１元素と第２元素との組み合わせでは、それぞれの効果が互いに阻害し合うことなく発揮される。このため、このような第１元素および第２元素を含む金属粉末は、とりわけ高密度な焼結体を製造可能なものとなる。

また、より好ましくは、第１元素が４Ａ族に属する元素であり、第２元素がＮｂである組み合わせが採用される。

また、さらに好ましくは、第１元素がＺｒまたはＨｆであり、第２元素がＮｂである組み合わせが採用される。
このような組み合わせが採用されることにより、上述した効果がより顕著になる。

また、これらの元素のうち、Ｚｒはフェライト生成元素であるため、体心立方格子相を析出させる。この体心立方格子相は、他の結晶格子相に比べて焼結性に優れているため、焼結体の高密度化に寄与する。

金属粉末における第１元素の含有率は、０．０１質量％以上０．７質量％以下とされるが、好ましくは０．０３質量％以上０．６５質量％以下とされ、より好ましくは０．０５質量％以上０．６質量％以下とされる。第１元素の含有率が前記下限値を下回ると、全体の組成によっては、第１元素を添加する効果が希薄になるため、製造される焼結体の高密度化が不十分になる。一方、第１元素の含有率が前記上限値を上回ると、全体の組成によっては、第１元素が多くなり過ぎるため、前述した炭化物等の比率が多くなり過ぎて、かえって高密度化が損なわれる。

金属粉末における第２元素の含有率は、０．０１質量％以上０．７質量％以下とされるが、好ましくは０．０３質量％以上０．５５質量％以下とされ、より好ましくは０．０５質量％以上０．４５質量％以下とされる。第２元素の含有率が前記下限値を下回ると、全体の組成によっては、第２元素を添加する効果が希薄になるため、製造される焼結体の高密度化が不十分になる。一方、第２元素の含有率が前記上限値を上回ると、全体の組成によっては、第２元素が多くなり過ぎるため、前述した炭化物等の比率が多くなり過ぎて、かえって高密度化が損なわれる。

また、前述したように、第１元素および第２元素は、それぞれ炭化物等を析出させるが、第１元素として前述したように３Ａ族または４Ａ族に属する元素を選択し、第２元素として前述したように５Ａ族に属する元素を選択した場合、金属粉末を焼結する際に、第１元素の炭化物等が析出するタイミングと第２元素の炭化物等が析出するタイミングとが互いにずれると推測される。このように炭化物等が析出するタイミングがずれることにより、焼結が徐々に進行することになるため、空孔の生成が抑えられ、緻密な焼結体が得られるものと考えられる。すなわち、第１元素の炭化物等と第２元素の炭化物等の双方が存在していることにより、高密度化を図りつつ、結晶粒の肥大化を抑制することが可能になると考えられる。

なお、金属粉末には、前記７元素からなる群から選択される２種の元素が含まれていればよいが、この群から選択される元素であって、この２種の元素とは異なる元素がさらに含まれていてもよい。すなわち、金属粉末には、前記７元素からなる群から選択される３種以上の元素が含まれていてもよい。これにより、組み合わせ方によって多少異なるものの、前述した効果をさらに増強することができる。

また、第１元素の含有率と第２元素の含有率の比率は、第１元素として選択された元素の原子量および第２元素として選択された元素の原子量を考慮して設定されるのが好ましい。

具体的には、第１元素の含有率Ｅ１（質量％）を第１元素の原子量で除した値を指数Ｘ１とし、第２元素の含有率Ｅ２（質量％）を第２元素の原子量で除した値を指数Ｘ２としたとき、指数Ｘ２に対する指数Ｘ１の比率Ｘ１／Ｘ２は０．３以上３以下であるのが好ましく、０．５以上２以下であるのがより好ましく、０．７５以上１．３以下であるのがさらに好ましい。Ｘ１／Ｘ２を前記範囲内に設定することにより、焼結体を得るために粉末冶金用金属粉末が焼成されるとき、第１元素の炭化物等の析出のタイミングと第２元素の炭化物等の析出のタイミングとのずれを最適化することができる。これにより、成形体中に残存する空孔を内側から順次掃き出すようにして排出することができるので、焼結体中に生じる空孔を最小限に抑えることができる。したがって、Ｘ１／Ｘ２を前記範囲内に設定することで、高密度で機械的特性に優れた焼結体（歯車）を製造可能な金属粉末を得ることができる。また、第１元素の原子数と第２元素の原子数とのバランスが最適化されるため、第１元素によってもたらされる効果と第２元素によってもたらされる効果とが相乗的に発揮され、とりわけ高密度の焼結体を得ることができる。

ここで、第１元素および第２元素の具体的な組み合わせの例について、上述した比率Ｘ１／Ｘ２の範囲に基づき、含有率Ｅ１（質量％）と含有率Ｅ２（質量％）の比率Ｅ１／Ｅ２についても算出する。

例えば、第１元素がＺｒであり、第２元素がＮｂである場合、Ｚｒの原子量が９１．２であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．２９以上２．９５以下であるのが好ましく、０．４９以上１．９６以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＨｆであり、第２元素がＮｂである場合、Ｈｆの原子量が１７８．５であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．５８以上５．７６以下であるのが好ましく、０．９６以上３．８４以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＴｉであり、第２元素がＮｂである場合、Ｔｉの原子量が４７．９であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．１５以上１．５５以下であるのが好ましく、０．２６以上１．０３以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＮｂであり、第２元素がＴａである場合、Ｎｂの原子量が９２．９であり、Ｔａの原子量が１８０．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．１５以上１．５４以下であるのが好ましく、０．２６以上１．０３以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＹであり、第２元素がＮｂである場合、Ｙの原子量が８８．９であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．２９以上２．８７以下であるのが好ましく、０．４８以上１．９１以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＶであり、第２元素がＮｂである場合、Ｖの原子量が５０．９であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．１６以上１．６４以下であるのが好ましく、０．２７以上１．１０以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＴｉであり、第２元素がＺｒである場合、Ｔｉの原子量が４７．９であり、Ｚｒの原子量が９１．２であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．１６以上１．５８以下であるのが好ましく、０．２６以上１．０５以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＺｒであり、第２元素がＴａである場合、Ｚｒの原子量が９１．２であり、Ｔａの原子量が１８０．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．１５以上１．５１以下であるのが好ましく、０．２５以上１．０１以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＺｒであり、第２元素がＶである場合、Ｚｒの原子量が９１．２であり、Ｖの原子量が５０．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．５４以上５．３８以下であるのが好ましく、０．９０以上３．５８以下であるのがより好ましい。

なお、上述する組み合わせ以外についても、上記と同様にしてＥ１／Ｅ２を算出することができる。

また、第１元素の含有率Ｅ１と第２元素の含有率Ｅ２の合計（Ｅ１＋Ｅ２）については０．０５質量％以上０．８質量％以下であるのが好ましく、０．１０質量％以上０．７質量％以下であるのがより好ましく、０．１２質量％以上０．６質量％以下であるのがさらに好ましい。第１元素の含有率と第２元素の含有率の合計を前記範囲内に設定することで、製造される焼結体の高密度化が必要かつ十分なものとなる。

また、Ｓｉの含有率に対する第１元素の含有率と第２元素の含有率の合計の比率を（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｓｉとしたとき、（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｓｉは０．０１以上０．７以下であるのが好ましく、０．０１５以上０．６以下であるのがより好ましく、０．０２以上０．５以下であるのがさらに好ましい。（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｓｉを前記範囲内に設定することで、Ｓｉを添加した場合の靭性の低下等が、第１元素および第２元素の添加によって十分に補われる。その結果、高密度であるにもかかわらず、靭性といった機械的特性に優れ、かつ、Ｓｉに由来する耐食性にも優れた焼結体を製造可能な金属粉末が得られる。

加えて、第１元素および第２元素が適量添加されることにより、焼結体中の結晶粒界において、第１元素の炭化物等および第２元素の炭化物等が「核」となり、酸化ケイ素の集積が起こると考えられる。酸化ケイ素が結晶粒界に集積することにより、結晶粒内の酸化物濃度が低下するため、焼結の促進が図られる。その結果、焼結体の高密度化がさらに促進されるものと考えられる。

さらには、析出した酸化ケイ素は、集積する過程において結晶粒界の三重点に移動し易いので、この点での結晶成長が抑制される（ピン留め効果）。その結果、結晶粒の著しい成長が抑制され、より微細な結晶を有する焼結体が得られる。このような焼結体は、機械的特性が特に高いものとなる。

また、集積した酸化ケイ素は、前述したように結晶粒界の三重点に位置し易く、そのため、粒状に成形される傾向にある。したがって、焼結体には、このような粒状をなし、酸化ケイ素の含有率が相対的に高い第１領域と、第１領域よりも酸化ケイ素の含有率が相対的に低い第２領域と、が形成され易くなる。第１領域が存在することで、前述したような、結晶内部の酸化物濃度の低下と、結晶粒の著しい成長の抑制とが図られる。

なお、第１領域および第２領域について、それぞれ電子線マイクロアナライザー（ＥＰＭＡ）による定性定量分析を行うと、第１領域では、Ｏ（酸素）が主元素となっている一方、第２領域では、Ｆｅが主元素となることが多い。前述したように、第１領域は、主に結晶粒界に存在する一方、第２領域は、主に結晶粒内に存在する傾向がある。そこで、第１領域において、ＯおよびＳｉの２元素の含有率の和とＦｅの含有率とを比較すると、２元素の含有率の和はＦｅの含有率より多くなっていることが多い。一方、第２領域では、ＯおよびＳｉの２元素の含有率の和は、Ｆｅの含有率より圧倒的に小さいことが多い。これらのことから、第１領域では、ＳｉおよびＯの集積が図られ易い傾向がある。具体的には、第１領域では、Ｓｉの含有率とＯの含有率との和は、Ｆｅの含有率の１．５倍以上１００００倍以下になっているのが好ましい。また、第１領域におけるＳｉの含有率は、第２領域におけるＳｉの含有率の３倍以上１００００倍以下になっているのが好ましい。

さらに、組成比によって異なる場合もあるが、第１元素の含有率および第２元素の含有率の少なくとも一方は、第２領域における含有率よりも第１領域における含有率の方が大きいという関係を満足することが多い。このことから、第１領域において、前述した第１元素の炭化物等や第２元素の炭化物等が、酸化ケイ素が集積する際の核になっている傾向がある。具体例としては、第１領域における第１元素の含有率は、第２領域における第１元素の含有率の３倍以上１００００倍以下になっているのが好ましい。同様に、第１領域における第２元素の含有率は、第２領域における第２元素の含有率の３倍以上１００００倍以下になっているのが好ましい。

なお、上述したような酸化ケイ素の集積は、焼結体の緻密化の原因の１つと考えられる。したがって、本発明により高密度化が図られた焼結体であっても、組成比によっては、酸化ケイ素が集積していない場合もあると考えられる。すなわち、組成比によっては、第１領域および第２領域が含まれていなくてもよい。

また、粒状をなす第１領域の直径は、焼結体全体におけるＳｉ含有率に応じて異なるものの、０．５μｍ以上１５μｍ以下程度とされ、好ましくは１μｍ以上１０μｍ以下程度とされる。これにより、酸化ケイ素の集積に伴う焼結体の機械的特性の低下を抑えつつ、焼結体の高密度化を十分に促進させることができる。

なお、第１領域の直径は、焼結体の断面の電子顕微鏡写真において、濃淡から特定される第１領域の面積と同じ面積を持つ円の直径（円相当径）の平均値として求めることができる。平均値を求める際には１０個以上の測定値が用いられる。

さらには、Ｃの含有率に対する第１元素の含有率と第２元素の含有率の合計の比率を（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｃとしたとき、（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｃは１以上１６以下であるのが好ましく、２以上１３以下であるのがより好ましく、３以上１０以下であるのがさらに好ましい。（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｃを前記範囲内に設定することで、Ｃを添加した場合の硬度の上昇および靭性の低下と、第１元素および第２元素の添加によってもたらされる高密度化とを両立させることができる。その結果、引張強さや靭性といった機械的特性に優れた焼結体を製造可能な金属粉末が得られる。

（ＮｉおよびＣｒの含有率が所定の範囲内にあって、かつ、第１元素または第２元素がＮｂである場合）

次に、ＮｉおよびＣｒの含有率が所定の範囲内にあって、かつ、第１元素または第２元素がＮｂである場合について特に説明する。なお、以下に説明した事項以外は、上述した第１元素および第２元素について説明した事項と同様である。

具体的には、Ｎｉの含有率が２質量％以上７質量％以下であり、Ｃｒの含有率が１５質量％以上１８質量％以下であって、かつ、第１元素または第２元素としてＮｂが選択された場合には、特に、Ｎｂの含有率が０．１質量％以上０．７質量％以下であるのが好ましく、０．１５質量％以上０．４５質量％以下であるのがより好ましい。

また、この場合も、第１元素の含有率と第２元素の含有率の比率は、第１元素として選択された元素の原子量および第２元素として選択された元素の原子量を考慮して設定されるのが好ましい。

具体的には、第１元素の含有率Ｅ１（質量％）を第１元素の原子量で除した値を指数Ｘ１とし、第２元素の含有率Ｅ２（質量％）を第２元素の原子量で除した値を指数Ｘ２とし、第２元素としてＮｂが選択されたときには、指数Ｘ２に対する指数Ｘ１の比率Ｘ１／Ｘ２は０．１以上１以下であるのが好ましく、０．１２以上０．８以下であるのがより好ましく、０．１５以上０．６以下であるのがさらに好ましい。Ｘ１／Ｘ２を前記範囲内に設定することにより、第１元素の炭化物等の析出のタイミングと第２元素の炭化物等の析出のタイミングとのずれを最適化することができる。これにより、成形体中に残存する空孔を内側から順次掃き出すようにして排出することができるので、焼結体中に生じる空孔を最小限に抑えることができる。したがって、Ｘ１／Ｘ２を前記範囲内に設定することで、高密度で機械的特性に優れた焼結体を製造可能な金属粉末を得ることができる。また、第１元素の原子数と第２元素の原子数とのバランスが最適化されるため、第１元素によってもたらされる効果と第２元素によってもたらされる効果とが相乗的に発揮され、とりわけ高密度の焼結体を得ることができる。

ここで、第１元素および第２元素の具体的な組み合わせの例について、上述した比率Ｘ１／Ｘ２の範囲に基づき、含有率Ｅ１（質量％）と含有率Ｅ２（質量％）の比率Ｅ１／Ｅ２について算出する。

例えば、第１元素がＺｒであり、第２元素がＮｂである場合、Ｚｒの原子量が９１．２であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．１以上０．９８以下であるのが好ましく、０．１２以上０．７９以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＨｆであり、第２元素がＮｂである場合、Ｈｆの原子量が１７８．５であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．１９以上１．９２以下であるのが好ましく、０．２３以上１．５４以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＴｉであり、第２元素がＮｂである場合、Ｔｉの原子量が４７．９であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．０５以上０．５２以下であるのが好ましく、０．０６以上０．４１以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＹであり、第２元素がＮｂである場合、Ｙの原子量が８８．９であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．１以上０．９６以下であるのが好ましく、０．１１以上０．７７以下であるのがより好ましい。

また、第１元素がＶであり、第２元素がＮｂである場合、Ｖの原子量が５０．９であり、Ｎｂの原子量が９２．９であることから、Ｅ１／Ｅ２は０．０５以上０．５５以下であるのが好ましく、０．０７以上０．４４以下であるのがより好ましい。

なお、上述する組み合わせ以外についても、上記と同様にしてＥ１／Ｅ２を算出することができる。

また、第１元素の含有率Ｅ１と第２元素の含有率Ｅ２の合計（Ｅ１＋Ｅ２）については０．０５質量％以上０．８質量％以下であるのが好ましく、０．１０質量％以上０．７質量％以下であるのがより好ましく、０．１２質量％以上０．６質量％以下であるのがさらに好ましい。第１元素の含有率と第２元素の含有率の合計を前記範囲内に設定することで、製造される焼結体の高密度化が必要かつ十分なものとなる。

また、Ｓｉの含有率に対する第１元素の含有率と第２元素の含有率の合計の比率を（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｓｉとしたとき、（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｓｉは０．２以上０．９以下であるのが好ましく、０．２５以上０．８以下であるのがより好ましく、０．３以上０．７以下であるのがさらに好ましい。（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｓｉを前記範囲内に設定することで、Ｓｉを添加した場合の靭性の低下等が、第１元素および第２元素の添加によって十分に補われる。その結果、高密度であるにもかかわらず、靭性といった機械的特性に優れ、かつ、Ｓｉに由来する耐食性にも優れた焼結体を製造可能な金属粉末が得られる。

さらには、Ｃの含有率に対する第１元素の含有率と第２元素の含有率の合計の比率を（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｃとしたとき、（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｃは２以上３６以下であるのが好ましく、１０以上３０以下であるのがより好ましく、１５以上２６以下であるのがさらに好ましい。（Ｅ１＋Ｅ２）／Ｃを前記範囲内に設定することで、Ｃを添加した場合の硬度の上昇および靭性の低下と、第１元素および第２元素の添加によってもたらされる高密度化とを両立させることができる。その結果、引張強さや靭性といった機械的特性に優れた焼結体を製造可能な金属粉末が得られる。

（その他の元素）
粉末冶金用金属粉末は、上述した元素の他、必要に応じてＭｎ、Ｗ、ＮおよびＳのうちの少なくとも１種を含んでいてもよい。なお、これらの元素は、不可避的に含まれる場合もある。

Ｍｎは、Ｓｉと同様、製造される焼結体に耐食性および高い機械的特性を付与する元素である。

金属粉末におけるＭｎの含有率は、特に限定されないが、０．０５質量％以上１．５質量％以下であるのが好ましく、０．１質量％以上１質量％以下であるのがより好ましい。Ｍｎの含有率を前記範囲内に設定することで、高密度で機械的特性に優れた焼結体が得られる。また、伸びの低減を抑えつつ、機械的強度を高めることができる。さらに、高温時（赤熱時）の脆性の増大を抑制することができる。

なお、Ｍｎの含有率が前記下限値を下回ると、全体の組成によっては、製造される焼結体の耐食性や機械的特性を十分に高められないおそれがあり、一方、Ｍｎの含有率が前記上限値を上回ると、かえって耐食性や機械的特性が低下するおそれがある。

Ｗは、製造される焼結体の耐熱性を強化する元素である。
金属粉末におけるＷの含有率は、特に限定されないが、１質量％以上４質量％以下であるのが好ましく、２質量％以上３質量％以下であるのがより好ましい。Ｗの含有率を前記範囲内に設定することで、製造される焼結体の密度の大幅な低下を招くことなく、焼結体の耐熱性をより強化することができる。

Ｎは、製造される焼結体の耐力等の機械的特性を高める元素である。
金属粉末におけるＮの含有率は、特に限定されないが、０．０３質量％以上１質量％以下であるのが好ましく、０．０８質量％以上０．５質量％以下であるのがより好ましく、０．１質量％以上０．３質量％以下であるのがさらに好ましい。Ｎの含有率を前記範囲内に設定することで、製造される焼結体の密度の大幅な低下を招くことなく、焼結体の耐力等の機械的特性をより高めることができる。

なお、Ｎが添加された金属粉末を製造するには、例えば、窒化した原料を用いる方法、溶融金属に対して窒素ガスを導入する方法、製造された金属粉末に窒化処理を施す方法等が用いられる。

Ｓは、製造される焼結体の被削性を高める元素である。
金属粉末におけるＳの含有率は、特に限定されないが、０．５質量％以下であるのが好ましく、０．０１質量％以上０．３質量％以下であるのがより好ましい。Ｓの含有率を前記範囲内に設定することで、製造される焼結体の密度の大幅な低下を招くことなく、製造される焼結体の被削性をより高めることができる。

この他、粉末冶金用金属粉末には、Ｂ、Ｓｅ、Ｔｅ、Ｐｄ等が添加されていてもよい。その場合、これらの元素の含有率は、特に限定されないが、それぞれ０．１質量％未満であるのが好ましく、合計でも０．２質量％未満であるのが好ましい。なお、これらの元素は、不可避的に含まれる場合もある。

さらに、粉末冶金用金属粉末には、不純物が含まれていてもよい。不純物としては、上述した元素以外の全ての元素が挙げられ、具体的には、例えば、Ｌｉ、Ｂｅ、Ｎａ、Ｍｇ、Ｐ、Ｋ、Ｃａ、Ｓｃ、Ｚｎ、Ｇａ、Ｇｅ、Ａｇ、Ｉｎ、Ｓｎ、Ｓｂ、Ｏｓ、Ｉｒ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｂｉ等が挙げられる。これらの不純物の混入量は、各々の元素がＦｅ、Ｎｉ、Ｓｉ、Ｃ、第１元素および第２元素の各含有量よりも少なくなるように設定されているのが好ましい。また、これらの不純物の混入量は、各々の元素が０．０３質量％未満となるように設定されるのが好ましく、０．０２質量％未満となるように設定されるのがより好ましい。また、合計でも０．３質量％未満とされるのが好ましく、０．２質量％未満とされるのがより好ましい。なお、これらの元素は、その含有率が前記範囲内であれば、前述したような効果が阻害されないので、意図的に添加されていてもよい。

一方、Ｏ（酸素）も、意図的に添加されたり不可避的に混入したりしてもよいが、その量は０．８質量％以下程度であるのが好ましく、０．５質量％以下程度であるのがより好ましい。金属粉末中の酸素量をこの程度に収めることで、焼結性が高くなり、高密度で機械的特性に優れた焼結体が得られる。なお、下限値は特に設定されないが、量産容易性等の観点から０．０３質量％以上であるのが好ましい。

Ｆｅは、粉末冶金用金属粉末を構成する合金のうち含有率が最も高い成分（主成分）であり、焼結体の特性に大きな影響を及ぼす。Ｆｅの含有率は、特に限定されないが、５０質量％以上であるのが好ましい。

また、粉末冶金用金属粉末の組成比は、例えば、ＪＩＳ Ｇ １２５７（２０００）に規定された鉄及び鋼−原子吸光分析法、ＪＩＳ Ｇ １２５８（２００７）に規定された鉄及び鋼−ＩＣＰ発光分光分析法、ＪＩＳ Ｇ １２５３（２００２）に規定された鉄及び鋼−スパーク放電発光分光分析法、ＪＩＳ Ｇ １２５６（１９９７）に規定された鉄及び鋼−蛍光Ｘ線分析法、ＪＩＳ Ｇ １２１１〜Ｇ １２３７に規定された重量・滴定・吸光光度法等により特定することができる。具体的には、例えばＳＰＥＣＴＲＯ社製固体発光分光分析装置（スパーク放電発光分光分析装置、モデル：ＳＰＥＣＴＲＯＬＡＢ、タイプ：ＬＡＶＭＢ０８Ａ）や、（株）リガク製ＩＣＰ装置（ＣＩＲＯＳ１２０型）が挙げられる。
なお、ＪＩＳ Ｇ １２１１〜Ｇ １２３７は、下記の通りである。

ＪＩＳ Ｇ １２１１（２０１１） 鉄及び鋼−炭素定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２１２（１９９７） 鉄及び鋼−けい素定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２１３（２００１） 鉄及び鋼中のマンガン定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２１４（１９９８） 鉄及び鋼−りん定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２１５（２０１０） 鉄及び鋼−硫黄定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２１６（１９９７） 鉄及び鋼−ニッケル定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２１７（２００５） 鉄及び鋼−クロム定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２１８（１９９９） 鉄及び鋼−モリブデン定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２１９（１９９７） 鉄及び鋼−銅定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２０（１９９４） 鉄及び鋼−タングステン定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２１（１９９８） 鉄及び鋼−バナジウム定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２２（１９９９） 鉄及び鋼−コバルト定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２３（１９９７） 鉄及び鋼−チタン定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２４（２００１） 鉄及び鋼中のアルミニウム定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２５（２００６） 鉄及び鋼−ひ素定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２６（１９９４） 鉄及び鋼−すず定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２７（１９９９） 鉄及び鋼中のほう素定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２８（２００６） 鉄及び鋼−窒素定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２２９（１９９４） 鋼−鉛定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２３２（１９８０） 鋼中のジルコニウム定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２３３（１９９４） 鋼−セレン定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２３４（１９８１） 鋼中のテルル定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２３５（１９８１） 鉄及び鋼中のアンチモン定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２３６（１９９２） 鋼中のタンタル定量方法
ＪＩＳ Ｇ １２３７（１９９７） 鉄及び鋼−ニオブ定量方法

また、Ｃ（炭素）およびＳ（硫黄）の特定に際しては、特に、ＪＩＳ Ｇ １２１１（２０１１）に規定された酸素気流燃焼（高周波誘導加熱炉燃焼）−赤外線吸収法も用いられる。具体的には、ＬＥＣＯ社製炭素・硫黄分析装置、ＣＳ−２００が挙げられる。

さらに、Ｎ（窒素）およびＯ（酸素）の特定に際しては、特に、ＪＩＳ Ｇ １２２８（２００６）に規定された鉄および鋼の窒素定量方法、ＪＩＳ Ｚ ２６１３（２００６）に規定された金属材料の酸素定量方法も用いられる。具体的には、ＬＥＣＯ社製酸素・窒素分析装置、ＴＣ−３００／ＥＦ−３００が挙げられる。

以上のような粉末冶金用金属粉末を用いて製造された焼結体は、Ｆｅが主成分であり、Ｎｉが２質量％以上２０質量％以下の割合で含まれ、Ｓｉが０．３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、Ｃが０．００５質量％以上０．３質量％以下の割合で含まれ、第１元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれ、第２元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれている焼結体である。すなわち、粉末冶金用金属粉末の組成を有する焼結体となる。

このような焼結体は、高密度で機械的特性に優れたものとなる。すなわち、粉末冶金用金属粉末とバインダーとを含む組成物を、成形した後、脱脂・焼結して製造された焼結体は、従来の金属粉末を焼結してなる焼結体に比べて相対密度が高くなる。よって、本発明であれば、ＨＩＰ処理を施さなければ到達し得なかった高密度の焼結体を、ＨＩＰ処理なしに実現することができる。

また、表面の硬化処理についても、より低温での硬化処理、または、高温であっても短時間での硬化処理によって十分な硬度（機械的特性）を得ることができる。このため、硬化処理に伴う寸法変化が抑えられ、最終的に寸法精度の高い焼結体（歯車）が得られる。

なお、このようにして製造された焼結体では、その表面近傍における空孔率が内部における空孔率よりも相対的に小さくなることが多いことが認められる。このようになる理由は明確ではないが、第１元素および第２元素が添加されることにより、成形体の内部よりも表面近傍において、焼結反応がより進み易くなっているということが挙げられる。

具体的には、焼結体の表面近傍の空孔率Ａ１とし、焼結体の内部の空孔率をＡ２としたとき、Ａ２−Ａ１は０．５％以上１０％以下であるのが好ましく、１％以上５％以下であるのがより好ましい。Ａ２−Ａ１がこのような範囲にある焼結体は、必要かつ十分な機械的強度を有する一方、表面を容易に平坦化することを可能にする。すなわち、かかる焼結体の表面を研磨することにより、鏡面性の高い表面を得ることができる。これにより、歯面が滑らかで伝達損失の小さい歯車が得られる。

なお、焼結体の表面近傍の空孔率Ａ１とは、焼結体の断面のうち、表面から５０μｍの深さの位置を中心に半径２５μｍの範囲内の空孔率のことをいう。また、焼結体の内部の空孔率Ａ２とは、焼結体の断面のうち、表面から３００μｍの深さの位置を中心に半径２５μｍの範囲内の空孔率のことをいう。これらの空孔率は、焼結体の断面を走査型電子顕微鏡で観察し、前記範囲内に存在する空孔の面積を前記範囲の面積で除して得られた値である。

［減速装置］
次に、本発明の減速装置の実施形態について説明する。

図２は、本発明の減速装置の実施形態を模式的に示す断面図である。なお、図２において前記実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図２に示す減速装置３０は、支持台３１を備えている。この支持台３１には、互いに対向する位置に設けられ一対で１組となる軸受け３１ａが２組設けられている。
そして、一方の組の軸受け３１ａには、その一対の軸受け３１ａを貫通するように入力軸３２が設けられている。この入力軸３２には、第１歯車３３が挿入され固定されている。

また、他方の組の軸受け３１ａには、その一対の軸受け３１ａを貫通するように出力軸３４が設けられている。この出力軸３４には、第２歯車３５が挿入され固定されている。

第１歯車３３と第２歯車３５とは互いに噛み合っており、第２歯車３５の歯数は第１歯車３３の歯数より多くなっている。したがって、入力軸３２を回転させたとき、出力軸３４には減速された回転が出力される。

これらの第１歯車３３および第２歯車３５のうち、少なくとも一方（本実施形態では双方）が歯車１である。すなわち、減速装置３０は歯車１を備えている。これにより、信頼性の高い減速装置３０が得られる。

なお、本発明の減速装置の形態は、上記のものに限定されない。例えば、本発明の減速装置は、上述したようないわゆるスパータイプの減速装置であってもよいが、遊星タイプの減速装置であってもよく、波動歯車を含む減速装置（波動歯車装置）であってもよい。さらには、ウォーム減速装置、ベベルギア減速装置、ヘリカル減速装置、ハイポイド減速装置、ボール減速装置、ローラー減速装置等であってもよい。

［ロボット］
次に、本発明のロボットの実施形態について説明する。

図３は、本発明のロボットの第１実施形態を模式的に示す正面図である。なお、図３において前記実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図３に示すロボット３８は、第１アーム３９を備えている。また、第１アーム３９には第２アーム４０が接続されている。

第１アーム３９には駆動源として駆動装置４１が設けられている。駆動装置４１は、モーターと、モーターの出力軸の回転速度を減速し出力する減速装置３０と、を備えている。そして、減速装置３０の出力軸が第２アーム４０に接続されている。これにより、駆動装置４１を駆動すると、第１アーム３９に対して第２アーム４０を回動させることができるようになっている。

図４は、本発明のロボットの第２実施形態を模式的に示す正面図である。なお、図４において前記実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図４に示すロボット４２は、アームを２つ備えた、いわゆる双腕ロボットである。このロボット４２は、本体部４３を備えている。また、本体部４３には一対の腕部４４が接続されている。これらの腕部４４は、それぞれ、肩関節部４５、第１リング４６、肘関節部４７、第２リング４８、手首関節部４９、および把持部５０がこの順で接続された構造を備えている。

また、肩関節部４５、肘関節部４７、手首関節部４９、および把持部５０には、それぞれ、駆動源として駆動装置５１が設けられている。駆動装置５１は、モーターと、モーターの出力軸の回転速度を減速し出力する減速装置３０と、を備えている。

すなわち、図３に示すロボット３８および図４に示すロボット４２は、それぞれ動力伝達部の一例である減速装置３０を有し、この減速装置３０は歯車１（図１参照）を備えている。これにより、信頼性の高いロボット３８、４２が得られる。

［移動体］
次に、本発明の移動体の実施形態について説明する。

図５は、本発明の移動体の実施形態である自動車の構成を示す斜視図である。なお、図５において前記実施形態と同様の構成部分については、先に説明したのと同様の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

図５に示す移動体１５００は、車体１５０１と、４つの車輪１５０２と、を有しており、車体１５０１に設けられた図示しない動力源（エンジン）によって車輪１５０２を回転させるように構成されている。

また、動力源と車輪１５０２との間には、トランスミッション１５０３（本発明の減速装置の実施形態）が設けられている。このトランスミッション１５０３は、動力源から出力された動力のトルクや回転数、回転方向を変えつつ車輪１５０２に伝達する。これにより、運転者が移動体１５００を自在に運転することができる。

すなわち、図５に示す移動体１５００は、動力伝達部の一例であるトランスミッション１５０３を有し、このトランスミッション１５０３は歯車１（図１参照）を備えている。

なお、本発明の移動体は、自動車に限定されず、例えば、航空機、ヘリコプター、船舶、列車、重機、二輪車、自転車等の各種移動体に適用可能である。

以上、本発明の歯車、減速装置、ロボット、移動体、粉末冶金用金属粉末および焼結体について、好適な実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではない。

また、本発明の歯車は、例えば、自動車用部品、自転車用部品、鉄道車両用部品、船舶用部品、航空機用部品、宇宙輸送機（例えばロケット等）用部品のような輸送機器用部品、パソコン用部品、携帯電話端末用部品のような電子機器用部品、冷蔵庫、洗濯機、冷暖房機のような電気機器用部品、工作機械、半導体製造装置のような機械用部品、原子力発電所、火力発電所、水力発電所、製油所、化学コンビナートのようなプラント用部品、時計用部品の他、あらゆる機械類に用いられる。

また、上述した焼結体は、歯車以外にも、プーリー（滑車）、軸、軸受、てこ、くさび、車輪、ねじ、ナット、リンク等の各種機械要素にも適用可能である。この場合にも歯車の場合と同様の効果が得られる。

次に、本発明の実施例について説明する。
１．焼結体（Ｚｒ−Ｎｂ系）の製造

（サンプルＮｏ．１）
［１］まず、水アトマイズ法により製造された表１に示す組成の金属粉末を用意した。

表１に示す粉末の組成は、誘導結合高周波プラズマ発光分析法（ＩＣＰ分析法）により同定、定量した。なお、ＩＣＰ分析には、（株）リガク製、ＩＣＰ装置（ＣＩＲＯＳ１２０型）を用いた。また、Ｃの同定、定量には、ＬＥＣＯ社製炭素・硫黄分析装置（ＣＳ−２００）を用いた。さらに、Ｏの同定、定量には、ＬＥＣＯ社製酸素・窒素分析装置（ＴＣ−３００／ＥＦ−３００）を用いた。

［２］次に、金属粉末と、ポリプロピレンおよびワックスの混合物（有機バインダー）とを、質量比で９：１となるよう秤量して混合し、混合原料を得た。
［３］次に、この混合原料を混練機で混練し、コンパウンドを得た。

［４］次に、このコンパウンドを、以下に示す成形条件で、射出成形機にて成形し、成形体を作製した。

＜成形条件＞
・材料温度：１５０℃
・射出圧力：１１ＭＰａ（１１０ｋｇｆ／ｃｍ^２）

［５］次に、得られた成形体に対して、以下に示す脱脂条件で熱処理（脱脂処理）を施し、脱脂体を得た。

＜脱脂条件＞
・脱脂温度 ：５００℃
・脱脂時間 ：１時間（脱脂温度での保持時間）
・脱脂雰囲気：窒素雰囲気

［６］次に、得られた脱脂体を、以下に示す焼成条件で焼成した。これにより、焼結体を得た。なお、焼結体の形状は、直径１０ｍｍ、厚さ５ｍｍの円筒形状とした。

＜焼成条件＞
・焼成温度 ：１２００℃
・焼成時間 ：３時間（焼成温度での保持時間）
・焼成雰囲気：アルゴン雰囲気

［７］次に、得られた焼結体に対し、以下に示す条件で固溶化熱処理と析出硬化熱処理とを順次施した。

＜固溶化熱処理条件＞
・加熱温度 ：１０５０℃
・加熱時間 ：１０分
・冷却方法 ：水冷

＜析出硬化熱処理条件＞
・加熱温度 ：６２０℃
・加熱時間 ：６０分
・冷却方法 ：空冷

（サンプルＮｏ．２〜２４）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表１に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、一部の焼結体については、焼成後、下記の条件でＨＩＰ処理を施した。また、別の一部の焼結体は、それぞれガスアトマイズ法により製造された金属粉末を用いて得られたものである。なお、表１には、備考欄に「ガス」と表記している。

＜ＨＩＰ処理条件＞
・加熱温度 ：１１００℃
・加熱時間 ：２時間
・加圧力 ：１００ＭＰａ

なお、表１では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。
また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表１への記載は省略した。

（サンプルＮｏ．２５）
［１］まず、表２に示す組成の金属粉末を、サンプルＮｏ．１の場合と同様、水アトマイズ法により製造した。

［２］次に、スプレードライ法により、金属粉末を造粒した。このとき使用したバインダーはポリビニルアルコールであり、金属粉末１００質量部に対して１質量部になる量を使用した。また、ポリビニルアルコール１質量部に対して５０質量部の溶媒（イオン交換水）を使用した。これにより、平均粒径５０μｍの造粒粉末を得た。

［３］次に、この造粒粉末を、以下に示す成形条件で圧粉成形した。なお、この成形には、プレス成形機を使用した。また、作製する成形体の形状は、２０ｍｍ角の立方体形状とした。

＜成形条件＞
・材料温度：９０℃
・成形圧力：６００ＭＰａ（６ｔ／ｃｍ^２）

［４］次に、得られた成形体に対して、以下に示す脱脂条件で熱処理（脱脂処理）を施し、脱脂体を得た。

＜脱脂条件＞
・脱脂温度 ：４５０℃
・脱脂時間 ：２時間（脱脂温度での保持時間）
・脱脂雰囲気：窒素雰囲気

［５］次に、得られた脱脂体を、以下に示す焼成条件で焼成した。これにより、焼結体を得た。

＜焼成条件＞
・焼成温度 ：１２００℃
・焼成時間 ：３時間（焼成温度での保持時間）
・焼成雰囲気：アルゴン雰囲気

［６］次に、得られた焼結体に対し、以下に示す条件で固溶化熱処理と析出硬化熱処理とを順次施した。

＜固溶化熱処理条件＞
・加熱温度 ：１０５０℃
・加熱時間 ：１０分
・冷却方法 ：水冷

＜析出硬化熱処理条件＞
・加熱温度 ：４８０℃
・加熱時間 ：６０分
・冷却方法 ：空冷

（サンプルＮｏ．２６〜４０）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表２に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．２５の場合と同様にして焼結体を得た。なお、一部の焼結体については、焼成後、下記の条件でＨＩＰ処理を施した。

＜ＨＩＰ処理条件＞
・加熱温度 ：１１００℃
・加熱時間 ：２時間
・加圧力 ：１００ＭＰａ

なお、表２においては、各サンプルＮｏ．の粉末冶金用金属粉末および焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。
また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表２への記載は省略した。

（サンプルＮｏ．４１）
［１］まず、水アトマイズ法により製造された表３に示す組成の金属粉末を用意した。なお、表３に示す金属粉末の組成比は、表１と同様のＺｒ−Ｎｂ系ではあるものの、ＺｒやＮｂ以外の元素の組成比が異なっている。

表３に示す粉末の組成は、誘導結合高周波プラズマ発光分析法（ＩＣＰ分析法）により同定、定量した。なお、ＩＣＰ分析には、（株）リガク製、ＩＣＰ装置（ＣＩＲＯＳ１２０型）を用いた。また、Ｃの同定、定量には、ＬＥＣＯ社製炭素・硫黄分析装置（ＣＳ−２００）を用いた。さらに、Ｏの同定、定量には、ＬＥＣＯ社製酸素・窒素分析装置（ＴＣ−３００／ＥＦ−３００）を用いた。

［２］次に、金属粉末と、ポリプロピレンおよびワックスの混合物（有機バインダー）とを、質量比で９：１となるよう秤量して混合し、混合原料を得た。
［３］次に、この混合原料を混練機で混練し、コンパウンドを得た。

［４］次に、このコンパウンドを、サンプルＮｏ．１と同様の成形条件で、射出成形機にて成形し、成形体を作製した。

［５］次に、得られた成形体に対して、サンプルＮｏ．１と同様の脱脂条件で熱処理（脱脂処理）を施し、脱脂体を得た。

［６］次に、得られた脱脂体を、サンプルＮｏ．１と同様の焼成条件で焼成した。これにより、焼結体を得た。

［７］次に、得られた焼結体に対し、サンプルＮｏ．１と同様の条件で固溶化熱処理と析出硬化熱処理とを順次施した。

（サンプルＮｏ．４２〜６５）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表３に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、一部の焼結体については、焼成後、下記の条件でＨＩＰ処理を施した。また、別の一部の焼結体は、それぞれガスアトマイズ法により製造された金属粉末を用いて得られたものである。なお、表３には、備考欄に「ガス」と表記している。

＜ＨＩＰ処理条件＞
・加熱温度 ：１１００℃
・加熱時間 ：２時間
・加圧力 ：１００ＭＰａ

なお、表３では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。
また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表３への記載は省略した。

（サンプルＮｏ．６６）
［１］まず、表４に示す組成の金属粉末を、サンプルＮｏ．２５の場合と同様、水アトマイズ法により製造した。なお、表４に示す金属粉末の組成比は、表２と同様のＺｒ−Ｎｂ系ではあるものの、ＺｒやＮｂ以外の元素の組成比が異なっている。

［２］次に、スプレードライ法により、金属粉末を造粒した。このとき使用したバインダーはポリビニルアルコールであり、金属粉末１００質量部に対して１質量部になる量を使用した。また、ポリビニルアルコール１質量部に対して５０質量部の溶媒（イオン交換水）を使用した。これにより、平均粒径５０μｍの造粒粉末を得た。
［３］次に、この造粒粉末を、サンプルＮｏ．２５と同様の成形条件で圧粉成形した。

［４］次に、得られた成形体に対して、サンプルＮｏ．２５と同様の脱脂条件で熱処理（脱脂処理）を施し、脱脂体を得た。

［５］次に、得られた脱脂体を、サンプルＮｏ．２５と同様の焼成条件で焼成した。これにより、焼結体を得た。

［６］次に、得られた焼結体に対し、サンプルＮｏ．２５と同様の条件で固溶化熱処理と析出硬化熱処理とを順次施した。

（サンプルＮｏ．６７〜８１）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表４に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．２５の場合と同様にして焼結体を得た。なお、一部の焼結体については、焼成後、下記の条件でＨＩＰ処理を施した。

＜ＨＩＰ処理条件＞
・加熱温度 ：１１００℃
・加熱時間 ：２時間
・加圧力 ：１００ＭＰａ

なお、表４においては、各サンプルＮｏ．の粉末冶金用金属粉末および焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。
また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表４への記載は省略した。

２．焼結体（Ｚｒ−Ｎｂ系）の評価
２．１ 相対密度の評価
表１〜４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２５０１（２０００）に規定された焼結金属材料の密度を測定する方法に準じて、焼結密度を測定するとともに、各焼結体を製造するのに用いた粉末冶金用金属粉末の真密度を参照して、各焼結体の相対密度を算出した。
算出結果を表５〜８に示す。

２．２ 硬度の評価
表１〜４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４４（２００９）に規定されたビッカース硬さ試験の試験方法に準じて、ビッカース硬さを測定した。
そして、測定した硬さについて、以下の評価基準にしたがって評価した。

＜ビッカース硬さの評価基準＞
Ａ：ビッカース硬さが特に高い
Ｂ：ビッカース硬さが高い
Ｃ：ビッカース硬さがやや高い
Ｄ：ビッカース硬さがやや低い
Ｅ：ビッカース硬さが低い
Ｆ：ビッカース硬さが特に低い
評価結果を表５〜８に示す。

２．３ 引張強さ、０．２％耐力および伸びの評価
表１〜４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４１（２０１１）に規定された金属材料引張試験方法に準じて、引張強さ、０．２％耐力および伸びを測定した。
そして、測定したこれらの物性値について、以下の評価基準にしたがって評価した。

＜引張強さの評価基準＞
Ａ：焼結体の引張強さが特に高い
Ｂ：焼結体の引張強さが高い
Ｃ：焼結体の引張強さがやや高い
Ｄ：焼結体の引張強さがやや低い
Ｅ：焼結体の引張強さが低い
Ｆ：焼結体の引張強さが特に低い

＜０．２％耐力の評価基準＞
Ａ：焼結体の０．２％耐力が特に高い
Ｂ：焼結体の０．２％耐力が高い
Ｃ：焼結体の０．２％耐力がやや高い
Ｄ：焼結体の０．２％耐力がやや低い
Ｅ：焼結体の０．２％耐力が低い
Ｆ：焼結体の０．２％耐力が特に低い

＜伸びの評価基準＞
Ａ：焼結体の伸びが特に高い
Ｂ：焼結体の伸びが高い
Ｃ：焼結体の伸びがやや高い
Ｄ：焼結体の伸びがやや低い
Ｅ：焼結体の伸びが低い
Ｆ：焼結体の伸びが特に低い
以上の評価結果を表５〜８に示す。

２．４ 疲労強度の評価
表１〜４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、疲労強度を測定した。

なお、疲労強度は、ＪＩＳ Ｚ ２２７３（１９７８）に規定された試験方法に準じて測定した。また、繰り返し応力に相当する荷重の印加波形は両振りの正弦波とし、最小最大応力比（最小応力／最大応力）は０．１とした。また、繰り返し周波数は３０Ｈｚとし、繰り返し数を１×１０^７回とした。
そして、測定した疲労強度について、以下の評価基準にしたがって評価した。

＜疲労強度の評価基準＞
Ａ：焼結体の疲労強度が特に高い
Ｂ：焼結体の疲労強度が高い
Ｃ：焼結体の疲労強度がやや高い
Ｄ：焼結体の疲労強度がやや低い
Ｅ：焼結体の疲労強度が低い
Ｆ：焼結体の疲労強度が特に低い
以上の評価結果を表５〜８に示す。

２．５ 耐食性の評価
表１〜４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、耐食性を測定した。
具体的には、まず、各サンプルＮｏ．の焼結体から切り出された試験片を用意した。

次いで、ＪＩＳ Ｚ ２３７１：２０００に規定されている塩水噴霧試験方法に準じて、試験片に対する塩水噴霧試験を行った。なお、試験時は、２４時間および４８時間とした。
そして、以下の評価基準に照らして試験後の試験片を評価した。

＜塩水噴霧試験の評価基準＞
Ａ：腐食が全く認められない
Ｂ：腐食が非常に少ない
Ｃ：腐食がやや少ない
Ｄ：腐食がやや多い
Ｅ：腐食が多い
Ｆ：腐食が特に多い
以上の評価結果を表５〜８に示す。

２．６ 耐摩耗性の評価
表１〜４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、耐摩耗性を測定した。
具体的には、まず、各サンプルＮｏ．の焼結体から切り出された円板状試験片を用意した。

次いで、試験片の表面にバフ研磨処理を施した。そして、研磨面について、ＪＩＳ Ｒ １６１３：２０１０に規定されたファインセラミックスのボールオンディスク法による摩耗試験方法に準じた摩耗試験を行い、円板状（円環状）試験片の摩耗量を測定した。なお、測定条件は以下の通りである。

＜比摩耗量の測定条件＞
・球形試験片の材質：高炭素クロム軸受鋼（ＳＵＪ２）
・球形試験片の大きさ：直径６ｍｍ
・円板状（円環状）試験片の材質：各サンプルＮｏ．の焼結体
・円板状（円環状）試験片の大きさ：直径１０ｍｍ
・荷重の大きさ：１０Ｎ
・摺動速度：０．１ｍ／ｓ
・摺動円直径：３０ｍｍ
・摺動距離：５０ｍ
以上のようにして測定された摩耗量を以下の評価基準に照らした評価した。

＜耐摩耗量の評価基準＞
Ａ：摩耗量が特に少ない
Ｂ：摩耗量が少ない
Ｃ：摩耗量がやや少ない
Ｄ：摩耗量がやや多い
Ｅ：摩耗量が多い
Ｆ：摩耗量が特に多い
以上の評価結果を表５〜８に示す。

２．７ 寸法精度の評価
表１〜４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、寸法精度を測定した。
具体的には、まず、各サンプルＮｏ．の寸法を測定した。

次いで、焼結体の寸法の狙い値と測定値との寸法差を算出し、得られた寸法差を以下の評価基準に照らして評価した。

＜寸法精度の評価基準＞
Ａ：寸法精度が特に高い（寸法差が特に小さい）
Ｂ：寸法精度が高い（寸法差が小さい）
Ｃ：寸法精度がやや高い（寸法差がやや小さい）
Ｄ：寸法精度がやや低い（寸法差がやや大きい）
Ｅ：寸法精度が低い（寸法差が大きい）
Ｆ：寸法精度が特に低い（寸法差が特に大きい）
以上の評価結果を表５〜８に示す。

表５〜８から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体（ＨＩＰ処理を施した焼結体を除く。）に比べて、相対密度が高いことが認められた。また、引張強さ、０．２％耐力および伸びといった特性についても、有意差があることが認められた。さらに、耐食性、耐摩耗性および寸法精度についても、有意差があることが認められた。したがって、本発明によれば、比較的低温の熱処理、または、高温であっても短時間の熱処理を施したときでも、十分な機械的特性を有するとともに寸法精度の高い歯車が得られることが明らかとなった。

一方、実施例に相当する焼結体と、ＨＩＰ処理を施した焼結体との間で、各物性値を比較したところ、いずれも同程度であることが認められた。

３．焼結体（Ｈｆ−Ｎｂ系）の製造
（サンプルＮｏ．８２〜１３０）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表９、１０に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、表１０に示す金属粉末の組成比は、表９と同様のＨｆ−Ｎｂ系ではあるものの、ＨｆやＮｂ以外の元素の組成比が異なっている。また、一部の焼結体については、焼成後、下記の条件でＨＩＰ処理を施した。

＜ＨＩＰ処理条件＞
・加熱温度 ：１１００℃
・加熱時間 ：２時間
・加圧力 ：１００ＭＰａ

なお、表９、１０では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。

また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表９、１０への記載は省略した。

４．焼結体（Ｈｆ−Ｎｂ系）の評価
４．１ 相対密度の評価
表９、１０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２５０１（２０００）に規定された焼結金属材料の密度を測定する方法に準じて、焼結密度を測定するとともに、各焼結体を製造するのに用いた粉末冶金用金属粉末の真密度を参照して、各焼結体の相対密度を算出した。
算出結果を表１１、１２に示す。

４．２ 硬度の評価
表９、１０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４４（２００９）に規定されたビッカース硬さ試験の方法に準じて、ビッカース硬さを測定した。

そして、測定した硬さについて、２．２に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１１、１２に示す。

４．３ 引張強さ、０．２％耐力および伸びの評価
表９、１０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４１（２０１１）に規定された金属材料引張試験方法に準じて、引張強さ、０．２％耐力および伸びを測定した。

そして、測定した物性値について、２．３に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１１、１２に示す。

４．４ 疲労強度の評価
表９、１０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．４と同様にして疲労強度を測定した。

そして、測定した疲労強度について、２．４に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１１、１２に示す。

４．５ 耐食性の評価
表９、１０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．５と同様にして耐食性を測定した。

そして、測定された耐食性について、２．５に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１１、１２に示す。

４．６ 耐摩耗性の評価
表９、１０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．６と同様にして耐摩耗性を測定した。

そして、測定された耐摩耗性について、２．６に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１１、１２に示す。

４．７ 寸法精度の評価
表９、１０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．７と同様にして寸法精度を測定した。

そして、測定された寸法精度について、２．７に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１１、１２に示す。

表１１、１２から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体（ＨＩＰ処理を施した焼結体を除く。）に比べて、相対密度が高いことが認められた。また、引張強さ、０．２％耐力および伸びといった特性についても、有意差があることが認められた。さらに、耐食性、耐摩耗性および寸法精度についても、有意差があることが認められた。したがって、本発明によれば、比較的低温の熱処理、または、高温であっても短時間の熱処理を施したときでも、十分な機械的特性を有するとともに寸法精度の高い歯車が得られることが明らかとなった。

一方、実施例に相当する焼結体と、ＨＩＰ処理を施した焼結体との間で、各物性値を比較したところ、いずれも同程度であることが認められた。

５．焼結体（Ｔｉ−Ｎｂ系）の製造
（サンプルＮｏ．１３１〜１４４、１４６〜１６０）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表１３、１４に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、表１４に示す金属粉末の組成比は、表１３と同様のＴｉ−Ｎｂ系ではあるものの、ＴｉやＮｂ以外の元素の組成比が異なっている。

（サンプルＮｏ．１４５）
平均粒径６．７７μｍの金属粉末と、平均粒径４０μｍのＴｉ粉末と、平均粒径２５μｍのＮｂ粉末と、を混合し、混合粉を調製した。なお、混合粉の調製にあたっては、混合粉の組成が表１３に示す組成になるように、金属粉末、Ｔｉ粉末およびＮｂ粉末の各混合量を調整した。

次いで、この混合粉を用い、サンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。

なお、表１３、１４では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。

また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表１３、１４への記載は省略した。

６．焼結体（Ｔｉ−Ｎｂ系）の評価
６．１ 相対密度の評価
表１３、１４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２５０１（２０００）に規定された焼結金属材料の密度を測定する方法に準じて、焼結密度を測定するとともに、各焼結体を製造するのに用いた粉末冶金用金属粉末の真密度を参照して、各焼結体の相対密度を算出した。
算出結果を表１５、１６に示す。

６．２ 硬度の評価
表１３、１４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４４（２００９）に規定されたビッカース硬さ試験の方法に準じて、ビッカース硬さを測定した。

そして、測定した硬さについて、２．２に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１５、１６に示す。

６．３ 引張強さ、０．２％耐力および伸びの評価
表１３、１４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４１（２０１１）に規定された金属材料引張試験方法に準じて、引張強さ、０．２％耐力および伸びを測定した。

そして、測定した物性値について、２．３に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１５、１６に示す。

６．４ 疲労強度の評価
表１３、１４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．４と同様にして疲労強度を測定した。

そして、測定した疲労強度について、２．４に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１５、１６に示す。

６．５ 耐食性の評価
表１３、１４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．５と同様にして耐食性を測定した。

そして、測定された耐食性について、２．５に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１５、１６に示す。

６．６ 耐摩耗性の評価
表１３、１４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．６と同様にして耐摩耗性を測定した。

そして、測定された耐摩耗性について、２．６に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１５、１６に示す。

６．７ 寸法精度の評価
表１３、１４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．７と同様にして寸法精度を測定した。

そして、測定された寸法精度について、２．７に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１５、１６に示す。

表１５、１６から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体に比べて、相対密度が高いことが認められた。また、引張強さ、０．２％耐力および伸びといった特性についても、有意差があることが認められた。さらに、耐食性、耐摩耗性および寸法精度についても、有意差があることが認められた。したがって、本発明によれば、比較的低温の熱処理、または、高温であっても短時間の熱処理を施したときでも、十分な機械的特性を有するとともに寸法精度の高い歯車が得られることが明らかとなった。

７．焼結体（Ｎｂ−Ｔａ系）の製造
（サンプルＮｏ．１６１〜１８２）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表１７、１８に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、表１８に示す金属粉末の組成比は、表１７と同様のＮｂ−Ｔａ系ではあるものの、ＮｂやＴａ以外の元素の組成比が異なっている。

なお、表１７、１８では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。

また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表１７、１８への記載は省略した。

８．焼結体（Ｎｂ−Ｔａ系）の評価
８．１ 相対密度の評価
表１７、１８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２５０１（２０００）に規定された焼結金属材料の密度を測定する方法に準じて、焼結密度を測定するとともに、各焼結体を製造するのに用いた粉末冶金用金属粉末の真密度を参照して、各焼結体の相対密度を算出した。
算出結果を表１９、２０に示す。

８．２ 硬度の評価
表１７、１８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４４（２００９）に規定されたビッカース硬さ試験の方法に準じて、ビッカース硬さを測定した。

そして、測定した硬さについて、２．２に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１９、２０に示す。

８．３ 引張強さ、０．２％耐力および伸びの評価
表１７、１８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４１（２０１１）に規定された金属材料引張試験方法に準じて、引張強さ、０．２％耐力および伸びを測定した。

そして、測定した物性値について、２．３に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１９、２０に示す。

８．４ 疲労強度の評価
表１７、１８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．４と同様にして疲労強度を測定した。

そして、測定した疲労強度について、２．４に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１９、２０に示す。

８．５ 耐食性の評価
表１７、１８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．５と同様にして耐食性を測定した。

そして、測定された耐食性について、２．５に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１９、２０に示す。

８．６ 耐摩耗性の評価
表１７、１８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．６と同様にして耐摩耗性を測定した。

そして、測定された耐摩耗性について、２．６に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１９、２０に示す。

８．７ 寸法精度の評価
表１７、１８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．７と同様にして寸法精度を測定した。

そして、測定された寸法精度について、２．７に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表１９、２０に示す。

表１９、２０から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体に比べて、相対密度が高いことが認められた。また、引張強さ、０．２％耐力および伸びといった特性についても、有意差があることが認められた。さらに、耐食性、耐摩耗性および寸法精度についても、有意差があることが認められた。したがって、本発明によれば、比較的低温の熱処理、または、高温であっても短時間の熱処理を施したときでも、十分な機械的特性を有するとともに寸法精度の高い歯車が得られることが明らかとなった。

９．焼結体（Ｙ−Ｎｂ系）の製造
（サンプルＮｏ．１８３〜２０８）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表２１、２２に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、表２２に示す金属粉末の組成比は、表２１と同様のＹ−Ｎｂ系ではあるものの、ＹやＮｂ以外の元素の組成比が異なっている。

なお、表２１、２２では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。

また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表２１、２２への記載は省略した。

１０．焼結体（Ｙ−Ｎｂ系）の評価
１０．１ 相対密度の評価
表２１、２２に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２５０１（２０００）に規定された焼結金属材料の密度を測定する方法に準じて、焼結密度を測定するとともに、各焼結体を製造するのに用いた粉末冶金用金属粉末の真密度を参照して、各焼結体の相対密度を算出した。
算出結果を表２３、２４に示す。

１０．２ 硬度の評価
表２１、２２に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４４（２００９）に規定されたビッカース硬さ試験の方法に準じて、ビッカース硬さを測定した。

そして、測定した硬さについて、２．２に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２３、２４に示す。

１０．３ 引張強さ、０．２％耐力および伸びの評価
表２１、２２に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４１（２０１１）に規定された金属材料引張試験方法に準じて、引張強さ、０．２％耐力および伸びを測定した。

そして、測定した物性値について、２．３に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２３、２４に示す。

１０．４ 疲労強度の評価
表２１、２２に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．４と同様にして疲労強度を測定した。

そして、測定した疲労強度について、２．４に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２３、２４に示す。

１０．５ 耐食性の評価
表２１、２２に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．５と同様にして耐食性を測定した。

そして、測定された耐食性について、２．５に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２３、２４に示す。

１０．６ 耐摩耗性の評価
表２１、２２に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．６と同様にして耐摩耗性を測定した。

そして、測定された耐摩耗性について、２．６に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２３、２４に示す。

１０．７ 寸法精度の評価
表２１、２２に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．７と同様にして寸法精度を測定した。

そして、測定された寸法精度について、２．７に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２３、２４に示す。

表２３、２４から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体に比べて、相対密度が高いことが認められた。また、引張強さ、０．２％耐力および伸びといった特性についても、有意差があることが認められた。さらに、耐食性、耐摩耗性および寸法精度についても、有意差があることが認められた。したがって、本発明によれば、比較的低温の熱処理、または、高温であっても短時間の熱処理を施したときでも、十分な機械的特性を有するとともに寸法精度の高い歯車が得られることが明らかとなった。

１１．焼結体（Ｖ−Ｎｂ系）の製造
（サンプルＮｏ．２０９〜２３４）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表２５、２６に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、表２６に示す金属粉末の組成比は、表２５と同様のＶ−Ｎｂ系ではあるものの、ＶやＮｂ以外の元素の組成比が異なっている。

なお、表２５、２６では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。

また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表２５、２６への記載は省略した。

１２．焼結体（Ｖ−Ｎｂ系）の評価
１２．１ 相対密度の評価
表２５、２６に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２５０１（２０００）に規定された焼結金属材料の密度を測定する方法に準じて、焼結密度を測定するとともに、各焼結体を製造するのに用いた粉末冶金用金属粉末の真密度を参照して、各焼結体の相対密度を算出した。
算出結果を表２７、２８に示す。

１２．２ 硬度の評価
表２５、２６に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４４（２００９）に規定されたビッカース硬さ試験の方法に準じて、ビッカース硬さを測定した。

そして、測定した硬さについて、２．２に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２７、２８に示す。

１２．３ 引張強さ、０．２％耐力および伸びの評価
表２５、２６に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４１（２０１１）に規定された金属材料引張試験方法に準じて、引張強さ、０．２％耐力および伸びを測定した。

そして、測定した物性値について、２．３に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２７、２８に示す。

１２．４ 疲労強度の評価
表２５、２６に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．４と同様にして疲労強度を測定した。

そして、測定した疲労強度について、２．４に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２７、２８に示す。

１２．５ 耐食性の評価
表２５、２６に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．５と同様にして耐食性を測定した。

そして、測定された耐食性について、２．５に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２７、２８に示す。

１２．６ 耐摩耗性の評価
表２５、２６に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．６と同様にして耐摩耗性を測定した。

そして、測定された耐摩耗性について、２．６に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２７、２８に示す。

１２．７ 寸法精度の評価
表２５、２６に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．７と同様にして寸法精度を測定した。

そして、測定された寸法精度について、２．７に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表２７、２８に示す。

表２７、２８から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体に比べて、相対密度が高いことが認められた。また、引張強さ、０．２％耐力および伸びといった特性についても、有意差があることが認められた。さらに、耐食性、耐摩耗性および寸法精度についても、有意差があることが認められた。したがって、本発明によれば、比較的低温の熱処理、または、高温であっても短時間の熱処理を施したときでも、十分な機械的特性を有するとともに寸法精度の高い歯車が得られることが明らかとなった。

１３．焼結体（Ｔｉ−Ｚｒ系）の製造
（サンプルＮｏ．２３５〜２６０）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表２９、３０に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、表３０に示す金属粉末の組成比は、表２９と同様のＴｉ−Ｚｒ系ではあるものの、ＴｉやＺｒ以外の元素の組成比が異なっている。

なお、表２９、３０では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。

また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表２９、３０への記載は省略した。

１４．焼結体（Ｔｉ−Ｚｒ系）の評価
１４．１ 相対密度の評価
表２９、３０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２５０１（２０００）に規定された焼結金属材料の密度を測定する方法に準じて、焼結密度を測定するとともに、各焼結体を製造するのに用いた粉末冶金用金属粉末の真密度を参照して、各焼結体の相対密度を算出した。
算出結果を表３１、３２に示す。

１４．２ 硬度の評価
表２９、３０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４４（２００９）に規定されたビッカース硬さ試験の方法に準じて、ビッカース硬さを測定した。

そして、測定した硬さについて、２．２に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３１、３２に示す。

１４．３ 引張強さ、０．２％耐力および伸びの評価
表２９、３０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４１（２０１１）に規定された金属材料引張試験方法に準じて、引張強さ、０．２％耐力および伸びを測定した。

そして、測定した物性値について、２．３に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３１、３２に示す。

１４．４ 疲労強度の評価
表２９、３０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．４と同様にして疲労強度を測定した。

そして、測定した疲労強度について、２．４に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３１、３２に示す。

１４．５ 耐食性の評価
表２９、３０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．５と同様にして耐食性を測定した。

そして、測定された耐食性について、２．５に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３１、３２に示す。

１４．６ 耐摩耗性の評価
表２９、３０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．６と同様にして耐摩耗性を測定した。

そして、測定された耐摩耗性について、２．６に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３１、３２に示す。

１４．７ 寸法精度の評価
表２９、３０に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．７と同様にして寸法精度を測定した。

そして、測定された寸法精度について、２．７に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３１、３２に示す。

表３１、３２から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体に比べて、相対密度が高いことが認められた。また、引張強さ、０．２％耐力および伸びといった特性についても、有意差があることが認められた。さらに、耐食性、耐摩耗性および寸法精度についても、有意差があることが認められた。したがって、本発明によれば、比較的低温の熱処理、または、高温であっても短時間の熱処理を施したときでも、十分な機械的特性を有するとともに寸法精度の高い歯車が得られることが明らかとなった。

１５．焼結体（Ｚｒ−Ｔａ系）の製造
（サンプルＮｏ．２６１〜２８２）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表３３、３４に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、表３４に示す金属粉末の組成比は、表３３と同様のＺｒ−Ｔａ系ではあるものの、ＺｒやＴａ以外の元素の組成比が異なっている。

なお、表３３、３４では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。

また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表３３、３４への記載は省略した。

１６．焼結体（Ｚｒ−Ｔａ系）の評価
１６．１ 相対密度の評価
表３３、３４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２５０１（２０００）に規定された焼結金属材料の密度を測定する方法に準じて、焼結密度を測定するとともに、各焼結体を製造するのに用いた粉末冶金用金属粉末の真密度を参照して、各焼結体の相対密度を算出した。
算出結果を表３５、３６に示す。

１６．２ 硬度の評価
表３３、３４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４４（２００９）に規定されたビッカース硬さ試験の方法に準じて、ビッカース硬さを測定した。

そして、測定した硬さについて、２．２に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３５、３６に示す。

１６．３ 引張強さ、０．２％耐力および伸びの評価
表３３、３４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４１（２０１１）に規定された金属材料引張試験方法に準じて、引張強さ、０．２％耐力および伸びを測定した。

そして、測定した物性値について、２．３に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３５、３６に示す。

１６．４ 疲労強度の評価
表３３、３４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．４と同様にして疲労強度を測定した。

そして、測定した疲労強度について、２．４に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３５、３６に示す。

１６．５ 耐食性の評価
表３３、３４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．５と同様にして耐食性を測定した。

そして、測定された耐食性について、２．５に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３５、３６に示す。

１６．６ 耐摩耗性の評価
表３３、３４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．６と同様にして耐摩耗性を測定した。

そして、測定された耐摩耗性について、２．６に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３５、３６に示す。

１６．７ 寸法精度の評価
表３３、３４に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．７と同様にして寸法精度を測定した。

そして、測定された寸法精度について、２．７に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３５、３６に示す。

表３５、３６から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体に比べて、相対密度が高いことが認められた。また、引張強さ、０．２％耐力および伸びといった特性についても、有意差があることが認められた。さらに、耐食性、耐摩耗性および寸法精度についても、有意差があることが認められた。したがって、本発明によれば、比較的低温の熱処理、または、高温であっても短時間の熱処理を施したときでも、十分な機械的特性を有するとともに寸法精度の高い歯車が得られることが明らかとなった。

１７．焼結体（Ｚｒ−Ｖ系）の製造
（サンプルＮｏ．２８３〜３０４）
粉末冶金用金属粉末の組成等を表３７、３８に示すように変更した以外は、それぞれサンプルＮｏ．１の焼結体の製造方法と同様にして焼結体を得た。なお、表３８に示す金属粉末の組成比は、表３７と同様のＺｒ−Ｖ系ではあるものの、ＺｒやＶ以外の元素の組成比が異なっている。

なお、表３７、３８では、各サンプルＮｏ．の焼結体のうち、本発明に相当するものを「実施例」とし、本発明に相当しないものを「比較例」としている。

また、各焼結体には、微量の不純物が含まれていたが、表３７、３８への記載は省略した。

１８．焼結体（Ｚｒ−Ｖ系）の評価
１８．１ 相対密度の評価
表３７、３８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２５０１（２０００）に規定された焼結金属材料の密度を測定する方法に準じて、焼結密度を測定するとともに、各焼結体を製造するのに用いた粉末冶金用金属粉末の真密度を参照して、各焼結体の相対密度を算出した。
算出結果を表３９、４０に示す。

１８．２ 硬度の評価
表３７、３８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４４（２００９）に規定されたビッカース硬さ試験の方法に準じて、ビッカース硬さを測定した。

そして、測定した硬さについて、２．２に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３９、４０に示す。

１８．３ 引張強さ、０．２％耐力および伸びの評価
表３７、３８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、ＪＩＳ Ｚ ２２４１（２０１１）に規定された金属材料引張試験方法に準じて、引張強さ、０．２％耐力および伸びを測定した。

そして、測定した物性値について、２．３に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３９、４０に示す。

１８．４ 疲労強度の評価
表３７、３８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．４と同様にして疲労強度を測定した。

そして、測定した疲労強度について、２．４に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３９、４０に示す。

１８．５ 耐食性の評価
表３７、３８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．５と同様にして耐食性を測定した。

そして、測定された耐食性について、２．５に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３９、４０に示す。

１８．６ 耐摩耗性の評価
表３７、３８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．６と同様にして耐摩耗性を測定した。

そして、測定された耐摩耗性について、２．６に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３９、４０に示す。

１８．７ 寸法精度の評価
表３７、３８に示す各サンプルＮｏ．の焼結体について、２．７と同様にして寸法精度を測定した。

そして、測定された寸法精度について、２．７に記載した評価基準にしたがって評価した。
評価結果を表３９、４０に示す。

表３９、４０から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体に比べて、相対密度が高いことが認められた。また、引張強さ、０．２％耐力および伸びといった特性についても、有意差があることが認められた。さらに、耐食性、耐摩耗性および寸法精度についても、有意差があることが認められた。したがって、本発明によれば、比較的低温の熱処理、または、高温であっても短時間の熱処理を施したときでも、十分な機械的特性を有するとともに寸法精度の高い歯車が得られることが明らかとなった。

１９．焼結体の鏡面性の評価
１９．１ 表面近傍と内部の空孔率の評価
まず、表４１に示すサンプルＮｏ．の焼結体を切断し、断面を研磨した。

次いで、表面近傍の空孔率Ａ１と、内部の空孔率Ａ２とを算出するとともに、Ａ２−Ａ１を算出した。
以上の算出結果を表４１に示す。

１９．２ 鏡面光沢度の評価
まず、表４１に示すサンプルＮｏ．の焼結体について、バレル研磨処理を施した。

次いで、ＪＩＳ Ｚ ８７４１（１９９７）に規定された鏡面光沢度の測定方法に準拠して焼結体の鏡面光沢度を測定した。なお、焼結体表面に対する光の入射角は６０°とし、鏡面光沢度を算出するための基準面には、鏡面光沢度９０、屈折率１．５００のガラスを用いた。そして、測定された鏡面光沢度を、以下の評価基準にしたがって評価した。

＜鏡面光沢度の評価基準＞
Ａ：表面の鏡面性が非常に高い（鏡面光沢度が２００以上）
Ｂ：表面の鏡面性が高い（鏡面光沢度が１５０以上２００未満）
Ｃ：表面の鏡面性がやや高い（鏡面光沢度が１００以上１５０未満）
Ｄ：表面の鏡面性がやや低い（鏡面光沢度が６０以上１００未満）
Ｅ：表面の鏡面性が低い（鏡面光沢度が３０以上６０未満）
Ｆ：表面の鏡面性が非常に低い（鏡面光沢度が３０未満）
以上の評価結果を表４１に示す。

表４１から明らかなように、実施例に相当する焼結体は、比較例に相当する焼結体に比べて、鏡面光沢度が高いことが認められた。これは、焼結体の表面近傍における空孔率が特に小さいことにより、光の散乱が抑制される一方、正反射の割合が多くなっていることに起因するものと考えられる。

１…歯車、２…芯部、２ａ…丸孔、２ｂ…第１凹部、３…歯部、３ａ…歯、４…軸、４ａ…第２凹部、５…キー、３０…減速装置、３１…支持台、３１ａ…軸受け、３２…入力軸、３３…第１歯車、３４…出力軸、３５…第２歯車、３８…ロボット、３９…第１アーム、４０…第２アーム、４１…駆動装置、４２…ロボット、４３…本体部、４４…腕部、４５…肩関節部、４６…第１リング、４７…肘関節部、４８…第２リング、４９…手首関節部、５０…把持部、５１…駆動装置、１５００…移動体、１５０１…車体、１５０２…車輪、１５０３…トランスミッション

Claims (22)

1. Ｆｅが主成分であり、
   Ｎｉが２質量％以上２０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｓｉが０．３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃが０．００５質量％以上０．３質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃｕが０．１２質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
   前記第１元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれ、
   前記第２元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする歯車。
2. Ｆｅが主成分であり、
   Ｎｉが２．５質量％以上１９．５質量％以下の割合で含まれ、
   Ｓｉが０．４質量％以上４．５質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃが０．００８質量％以上０．１５質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃｕが０．１２質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
   前記第１元素が０．０３質量％以上０．６５質量％以下の割合で含まれ、
   前記第２元素が０．０３質量％以上０．５５質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする歯車。
3. Ｆｅが主成分であり、
   Ｎｉが３質量％以上１９質量％以下の割合で含まれ、
   Ｓｉが０．５質量％以上４質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃが０．０１質量％以上０．０８質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃｕが０．１２質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
   前記第１元素が０．０５質量％以上０．６質量％以下の割合で含まれ、
   前記第２元素が０．０５質量％以上０．４５質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする歯車。
4. Ｆｅが主成分であり、
   Ｎｉが２質量％以上２０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｓｉが０．３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃが０．００５質量％以上０．３質量％以下の割合で含まれ、
   Ａｌが０．０３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
   前記第１元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれ、
   前記第２元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする歯車。
5. Ｆｅが主成分であり、
   Ｎｉが２．５質量％以上１９．５質量％以下の割合で含まれ、
   Ｓｉが０．４質量％以上４．５質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃが０．００８質量％以上０．１５質量％以下の割合で含まれ、
   Ａｌが０．０３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
   前記第１元素が０．０３質量％以上０．６５質量％以下の割合で含まれ、
   前記第２元素が０．０３質量％以上０．５５質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする歯車。
6. Ｆｅが主成分であり、
   Ｎｉが３質量％以上１９質量％以下の割合で含まれ、
   Ｓｉが０．５質量％以上４質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃが０．０１質量％以上０．０８質量％以下の割合で含まれ、
   Ａｌが０．０３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
   前記第１元素が０．０５質量％以上０．６質量％以下の割合で含まれ、
   前記第２元素が０．０５質量％以上０．４５質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする歯車。
7. Ｆｅが主成分であり、
   Ｎｉが２質量％以上２０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃｏが６質量％以上１４質量％以下の割合で含まれ、
   Ｓｉが０．３質量％以上５．０質量％以下の割合で含まれ、
   Ｃが０．００５質量％以上０．３質量％以下の割合で含まれ、
   Ｔｉ、Ｖ、Ｙ、Ｚｒ、ＮｂおよびＨｆからなる群から選択される１種の元素を第１元素とし、Ｖ、Ｚｒ、Ｎｂ、ＨｆおよびＴａからなる群から選択される１種の元素であって元素周期表における族が前記第１元素より大きい元素または元素周期表における族が前記第１元素と同じでかつ元素周期表における周期が前記第１元素より大きい元素を第２元素としたとき、
   前記第１元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれ、
   前記第２元素が０．０１質量％以上０．７質量％以下の割合で含まれている焼結体を備えることを特徴とする歯車。
8. 前記第２元素の含有率を前記第２元素の原子量で除した値Ｘ２に対する前記第１元素の含有率を前記第１元素の原子量で除した値Ｘ１の比率Ｘ１／Ｘ２は、０．３以上３以下である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の歯車。
9. 前記第２元素の含有率を前記第２元素の原子量で除した値Ｘ２に対する前記第１元素の含有率を前記第１元素の原子量で除した値Ｘ１の比率Ｘ１／Ｘ２は、０．５以上２以下である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の歯車。
10. 前記第２元素の含有率を前記第２元素の原子量で除した値Ｘ２に対する前記第１元素の含有率を前記第１元素の原子量で除した値Ｘ１の比率Ｘ１／Ｘ２は、０．７５以上１．３以下である請求項１ないし７のいずれか１項に記載の歯車。
11. 前記第１元素の含有率と前記第２元素の含有率の合計が０．０５質量％以上０．８質量％以下である請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の歯車。
12. 前記第１元素の含有率と前記第２元素の含有率の合計が０．１０質量％以上０．７質量％以下である請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の歯車。
13. 前記第１元素の含有率と前記第２元素の含有率の合計が０．１２質量％以上０．６質量％以下である請求項１ないし１０のいずれか１項に記載の歯車。
14. 前記焼結体は、さらに、Ｃｒを９質量％以上１９質量％以下の割合で含む請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の歯車。
15. 前記焼結体は、さらに、Ｃｒを９．５質量％以上１８質量％以下の割合で含む請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の歯車。
16. 前記焼結体は、さらに、Ｃｒを１０質量％以上１７．５質量％以下の割合で含む請求項１ないし１３のいずれか１項に記載の歯車。
17. 前記焼結体は、さらに、Ｃｏを６質量％以上１４質量％以下の割合で含む請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の歯車。
18. 前記焼結体は、さらに、Ｃｏを７質量％以上１３質量％以下の割合で含む請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の歯車。
19. 前記焼結体は、さらに、Ｃｏを７．５質量％以上１２．５質量％以下の割合で含む請求項１ないし１６のいずれか１項に記載の歯車。
20. 請求項１ないし１９のいずれか１項に記載の歯車を備えることを特徴とする減速装置。
21. 請求項１ないし１９のいずれか１項に記載の歯車を備える動力伝達部を有することを特徴とするロボット。
22. 請求項１ないし１９のいずれか１項に記載の歯車を備える動力伝達部を有することを特徴とする移動体。

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