JP6260869B2 - ガラスフィルムの製造方法、及びこのガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、ガラスフィルムの製造方法、及びこのガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法に関する。

近年、省スペース化の観点から、従来普及していたＣＲＴ型ディスプレイに替わり、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、有機ＥＬディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等のフラットパネルディスプレイが普及している。そして、これらのフラットパネルディスプレイにおいては、更なる薄型化が求められている。

特に、有機ＥＬディスプレイや有機ＥＬ照明においては、その厚み寸法が非常に小さい（薄い）ことを利用して、折り畳んだり、巻き取ったりできるといった機能を持たせ得る。これにより、持ち運びが容易になるだけでなく、従来の平面状態に加えて曲面状態での使用が可能になるため、様々な用途への活用が期待されている。従って、これらの電子デバイスに使用されるガラス基板やカバーガラスには、更なる可撓性の向上が要求されている。

ガラス基板に可撓性を付与するには、ガラス基板を薄肉化するのが有効である。ここで、例えば特許文献１には、厚み寸法２００μｍ以下のガラスフィルムが提案されており、これにより、曲面状態での使用が可能な程度の高い可撓性をガラス基板に付与可能としている。

一方、フラットパネルディスプレイや太陽電池等の電子デバイスに使用されるガラス基板には、二次加工や洗浄など、様々な電子デバイス製造関連の処理が施される。ところが、これら電子デバイスに使用されるガラス基板を薄肉化すると、ガラスが脆性材料であるため、多少の応力変化によっても破損に至る場合が生じ、電子デバイス製造関連処理を行う際に、取扱いが非常に困難になるといった問題がある。加えて、厚み寸法２００μｍ以下のガラスフィルムは可撓性に富むため、各種製造関連処理を施す際に位置決めを行うことが難しい（例えばパターニング時にずれが生じる）といった問題もある。

上記問題に関し、例えば特許文献２に示すように、支持ガラス上にガラスフィルムと、このガラスフィルムを支持する支持ガラスとを積層して互いに固定してなる積層体が提案されている。このように構成したものに対して各種製造関連処理を施すようにすれば、単体では強度や剛性に乏しいガラスフィルムを用いた場合であっても、支持ガラスが補強材として作用するため、各処理の際に積層体として位置決めを容易に行うことができる。また、処理終了後に、支持ガラスをガラスフィルムから剥離させることにより、所要の処理が施されたガラスフィルムのみを最終的に取得することが可能となる。さらにいえば、ガラスフィルムを含む積層体の厚み寸法を、従来（既存）のガラス基板の厚み寸法と同一にすることで、従来のガラス基板用の製造ラインを電子デバイス用製造ラインとして使用（共用）できるメリットが期待できる。

一方、各種製造関連処理の中には、透明な導電膜の成膜処理や、封止処理など、加熱を伴うものもある。上述した如き構造の積層体に加熱を伴う処理を施した場合、直接に又は樹脂層や無機薄膜層等を介して間接的に密着した状態にある支持ガラスとガラスフィルムとの固定力が増すため、支持ガラスからガラスフィルムを剥離することが困難になる、といった問題が生じる。

上記問題を解決するため、例えば特許文献３には、ガラス基板に、支持ガラス基板に固定された易剥離性を有する樹脂層が密着している支持体付き電子デバイスから、支持ガラス基板及び樹脂層からなる支持体を剥離するに際し、支持体の樹脂層とガラス基板との界面にナイフを挿入して、ガラス基板を含む電子デバイスから支持体を剥離する方法が提案されている。

また、上記問題を解決するために、例えば特許文献４には、支持ガラスがガラスフィルムから食み出して積層され、支持ガラスの端辺に薄肉部が設けられ、ガラスフィルムの端辺の少なくとも一部が、薄肉部上で支持ガラスから離間しているガラスフィルム積層体が提案されている。

特開２０１０−１３２５３１号公報 国際公開２０１１／０４８９７９号 特開２０１３−１４７３２５号公報 特開２０１２−１３１６６４号公報

特許文献３では、ガラスフィルムと支持体との間にナイフを差し込むことで剥離を開始させようとしているが、ガラスフィルムと支持体とがその端部に至るまで相互に密着している場合には、ガラスフィルムと支持体との界面にナイフを差し込む隙間がなく、界面にナイフを強い力で押込む必要が生じる。このようにナイフを界面に押込んだ場合、ガラスフィルムに作用した押込み力により、ガラスフィルムの端部が破損するおそれがあり、好ましくない。

一方、特許文献４では、支持ガラスの端部に薄肉部を設けて、この薄肉部上でガラスフィルムの端辺の一部が支持ガラスから離間するように構成しているため、ガラスフィルムを容易に把持することができ、ガラスフィルムを破損させることなく比較的容易に剥離させることが可能と思われる。しかしながら、この方法だと、予め支持ガラスの一部に特殊な加工を施す必要が生じ、加工コストが嵩む。また、電子デバイスの製造関連処理の中には薬液などの溶媒を用いるものもあり、積層体の状態でガラスフィルムと支持ガラスとの間に隙間が存在すると、溶媒が当該隙間に浸入して固着することにより、支持ガラスからガラスフィルムを剥離する際にガラスフィルムが破損する、などの問題があるため、適用できる範囲が限られる、といった問題がある。

以上の事情に鑑み、本明細書では、製造関連処理の種類によらず、容易にかつ低コストにガラスフィルムを支持体から剥離することを、本発明により解決すべき技術的課題とする。

前記課題の解決は、本発明に係るガラスフィルムの製造方法により達成される。すなわち、この製造方法は、ガラスフィルムと、ガラスフィルムを支持する支持体とを積層して剥離可能な程度に固定することで、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、積層体に対して製造関連処理を施す製造関連処理工程と、製造関連処理工程の後、ガラスフィルムから支持体を剥離することにより、積層体を、ガラスフィルムと、支持体とに分離する分離工程とを備えたガラスフィルムの製造方法であって、分離工程において、支持体のみに外力を付与して、ガラスフィルムから離反する向きに支持体を曲げる点をもって特徴付けられる。なお、ここでいう「支持体のみ」とは、支持体を曲げるための外力が付与される対象が支持体のみであるとの意味であり、支持体を曲げる以外の目的で付与される外力の作用点が支持体以外にあることを妨げるものではない。また、ここでいう「製造関連処理」には、ガラスフィルムに直接何らかの加工を施す処理はもちろん、他部材の取付けや、ガラスフィルム表面の洗浄など、間接的にガラスフィルム又はガラスフィルムを含むデバイスを最終製品（出荷状態）に近づけるための処理を広く含むものとする。

このように、ガラスフィルムとこれを支持する支持体との分離に際して、支持体に外力を付与して、ガラスフィルムから離反する向きに支持体を曲げることにより、支持体は平坦な状態から外力の向きに従って曲がる。その一方で、ガラスフィルムは、支持体に固定されているので、平坦な状態から支持体と共に曲がろうとする。この際、支持体は外力により平坦状態へ戻ろうとする向きの移動が規制されるのに対し、ガラスフィルムにはその様な規制力が働かないため、平坦状態に戻ろうとする力（復元力）のみが作用する。すなわち、この規制力と復元力とが協働して、ガラスフィルムと支持体とを互いに離反させる向きの力として作用するので、支持体をそれほど大きく曲げずとも比較的容易にガラスフィルムの端部と支持体との間に、剥離開始の起点となる隙間を形成することが可能となる。また、支持体のみに外力を付与して当該支持体を曲げるようにしたので、ガラスフィルムに接触することなく、剥離開始の起点を形成することができる。これにより従来のようにナイフをガラスフィルムと支持体との界面に押込んで剥離開始の起点を形成する場合と比べて、安全に剥離開始の起点を形成することができる。また、支持体がガラスフィルムとその全面で接触するよう当該支持体を平坦に形成することができ、特殊な二次加工を施さずに済むため、加工コストの増加を避けることができる。もちろん、ガラスフィルムの全面を支持体で支持するように積層体を構成すれば、薬液等の溶媒が隙間に浸入するような事態も回避できるので、製造関連処理の別を問わず、広範な用途に係るガラスフィルムの製造に際して本発明を適用することができる。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、積層体を平面視した状態で、支持体がガラスフィルムから食み出ており、分離工程において、支持体のうちガラスフィルムからの食み出し部のみに外力を付与して、ガラスフィルムから離反する向きに支持体を曲げるものであってもよい。

このように、支持体のうちガラスフィルムから食み出した部分に外力を付与することで、外力の作用点がガラスフィルムとの固定面（界面）から離れた場所に位置することになる。そのため、支持体とガラスフィルムとの界面端部においてより大きな曲げモーメントを発生させることができ、より小さな曲げ量で剥離開始の起点となる隙間を形成することができる。また、支持体とガラスフィルムとが厚み方向で重複する領域に外力を付与する場合であれば、たとえ支持体のガラスフィルムと反対側の表面に外力を付与したとしても、当該外力の影響がその真裏に位置するガラスフィルムに集中荷重として及ぶことを完全に排除することは難しいが、食み出し部に外力を付与するのであれば、上述のような心配もないため好適である。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、ガラスフィルムと支持体が共にコーナー部を有するもので、かつ積層体において、支持体はコーナー部でガラスフィルムから食み出ており、分離工程において、支持体のコーナー部における食み出し部のみに外力を付与して、ガラスフィルムから離反する向きに支持体を曲げるものであってもよい。

このようにすることで、ガラスフィルムのコーナー部の頂部に対して剥離開始の起点を形成するための力（上述した規制力としての外力と復元力）を優先的かつ集中的に付与することができる。また、剥離が進展するにつれてその剥離面積が漸次増大することになるので、よりスムーズに剥離開始の起点を形成することが可能となる。すなわち、剥離開始の起点とはいっても、当該起点を形成した後のスムーズな剥離動作を考慮すれば、ある程度の範囲にわたってガラスフィルムと支持体との間に隙間が形成されることが肝要となる。このような理由から、上述のようにコーナー部の頂部から隙間が順次形成されていく形態が望ましい。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、コーナー部を構成する支持体の２辺縁に等価な外力を付与して、支持体を曲げるものであってもよい。

このようにすれば、支持体のコーナー部を、平面視した状態で二等辺三角形の如く曲げることができる。よって、この支持体に支持されるガラスフィルムのコーナー部も二等辺三角形の如く均等に剥離開始の起点となる隙間を形成することができ、ガラスフィルムを無理なくスムーズに剥離させることが可能となる。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、外力として、支持体のガラスフィルムと反対側の表面に、ガラスフィルムから離反する向きの吸着力を付与するものであってもよい。あるいは、外力として、支持体の食み出し部のガラスフィルムの側の表面に、ガラスフィルムから離反する向きの押圧力を付与するものであってもよい。

このように、外力として、支持体のガラスフィルムと反対側の表面に吸着力を付与するようにすれば、食み出し部がなくても、適当な大きさの外力を支持体のみに簡易に付与して支持体を所定の向きに曲げることができる。また、食み出し部があれば、支持体の食み出し部のガラスフィルムの側の表面に押圧力を付与することで、より簡易に適当な大きさの外力を支持体のみに付与して支持体を所定の向きに曲げることができる。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、分離工程において、ガラスフィルムを支持体と反対の側から吸着部材で吸着した状態で、支持体のみに外力を付与して、ガラスフィルムから離反する向きに支持体を曲げるものであってもよい。

このようにすれば、支持体を曲げた際、ガラスフィルムには、支持体と共に曲がろうとするのを元に戻そうとする力（復元力）の他、吸着部材により復元力と同じ方向への吸着力が付与された状態となる。これにより、支持体をガラスフィルムから離反する向きに曲げた状態にあっても、ガラスフィルムを極力平坦な状態に維持することができる。よって、ガラスフィルム自体をほとんど曲げることなく、より安全に剥離開始の起点となる隙間を形成することが可能となる。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、ガラスフィルムを吸着部材で吸着した状態でかつ支持体を曲げた状態で、吸着部材を支持体から離間する向きに移動させるものであってもよい。

このようにすれば、ガラスフィルムを吸着した状態で支持体を曲げることにより、たとえその時点で剥離開始の起点が十分に形成されていなくても（その後の公知の主剥離動作で容易に剥離できる程度の大きさの隙間が形成されなくても）、その状態から更に吸着部材を支持体から離間する向きに移動させることで、ガラスフィルムに支持体から離間する向きの引張り力を付与することができる。これにより、ガラスフィルムと支持体との間に剥離開始の起点を確実に形成することが可能となる。なお、既にガラスフィルムと吸着状態にある吸着部材を移動させて、平坦な状態のガラスフィルムに上記離間させる向きの引張り力を付与するため、ガラスフィルムに対して極力無理なくかつ偏りなく引張り力を付与できる。また、既にガラスフィルムには復元力が働いているため、それほど大きな引張り力を作用させずとも、剥離開始の起点となる適当な大きさの隙間を形成できる。以上の理由より、ガラスフィルムの破損を招くおそれは非常に小さい。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、ガラスフィルムと吸着部材の吸着部が共にコーナー部を有し、分離工程において、吸着部のコーナー部をガラスフィルムのコーナー部に合わせた状態で、ガラスフィルムを吸着部材で吸着するものであってもよい。

このようにすれば、最も効果的にガラスフィルムに吸着力を付与して、ガラスフィルムをその端部に至るまで極力平坦な状態を維持することができる。よって、ガラスフィルムをなるべく曲げることなく剥離開始の起点となる隙間を形成することが可能となる。

また、本発明に係るガラスフィルムの製造方法は、支持体が、板状ガラスであってもよい。また、この場合、積層体において、板状ガラスとガラスフィルムとは直接密着しているものであってもよい。

このように支持体を板状ガラスとすることで、面精度に優れた支持体を低コストに製造できる。また、このように面精度に優れた板状ガラスとガラスフィルムとを直接密着させることで、ガラスフィルムを位置ずれなく支持体に固定できつつも、本発明により確実かつ安全にガラスフィルムを支持体としての板状ガラスから剥離させることが可能となる。

また、前記課題の解決は、本発明に係る電子デバイスの製造方法によっても達成される。すなわち、この製造方法は、ガラスフィルムと、ガラスフィルムを支持する支持体とを積層して剥離可能な程度に固定することで、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、積層体のガラスフィルムに電子デバイス要素を取付ける取付け工程と、取付け工程の後、ガラスフィルムから支持体を剥離することにより、積層体に電子デバイス要素を取付けてなる支持体付き電子デバイスを、ガラスフィルムを含む電子デバイスと、支持体とに分離する分離工程とを備えた電子デバイスの製造方法であって、分離工程において、支持体のみに外力を付与して、ガラスフィルムから離反する向きに支持体を曲げる点をもって特徴付けられる。

このように、ガラスフィルムを含む電子デバイスとこれを支持する支持体との分離に際しても、本発明によれば、上述した規制力（外力）と復元力とが協働して、ガラスフィルムと支持体とを互いに離反させる向きの力として作用するので、支持体をそれほど大きく曲げずとも比較的容易にガラスフィルムの端部と支持体との間に、剥離開始の起点となる隙間を形成することが可能となる。また、支持体のみに外力を付与して当該支持体を曲げるようにしたので、ガラスフィルムに接触することなく、剥離開始の起点を形成することができる。これによりナイフをガラスフィルムと支持体との隙間に差し込んで剥離開始の起点を形成する場合と比べて、安全に剥離開始の起点を形成することができる。また、支持体がガラスフィルムとその全面で接触するよう当該支持体を平坦に形成することができ、特殊な二次加工を施さずに済むため、加工コストの増加を避けることができる。もちろん、ガラスフィルムの全面を支持体で支持するように積層体を構成すれば、薬液等の溶媒が隙間に浸入するような事態も回避できるので、電子デバイス要素の取付け内容の別を問わず、広範な用途に係る電子デバイスの製造に際して本発明を適用することができる。

以上に述べたように、本発明によれば、製造関連処理の種類によらず、容易にかつ低コストに支持体とガラスフィルムとの剥離を開始することが可能となる。

本発明の第一実施形態に係る電子デバイスの製造方法の手順を示すフローチャートである。 ガラスフィルムを含む積層体の断面図である。 図２に示す積層体の平面図である。 図２に示す積層体に電子デバイス要素を取付けてなる支持体付き電子デバイスの断面図である。 ガラスフィルムと支持体との剥離開始の起点を形成するための起点形成装置の平面図である。 外力付与部を構成する係止部の斜視図である。 図５に示す起点形成装置の要部断面図である。 図５に示す起点形成装置を用いて剥離開始の起点を形成する動作を説明するための要部断面図である。 図５に示す起点形成装置を用いて剥離開始の起点を形成する動作を説明するための要部斜視図である。 本発明の第二実施形態に係る起点形成装置の要部断面図である。 図１０に示す起点形成装置を用いて剥離開始の起点を形成する動作を説明するための要部断面図である。 図１０に示す起点形成装置の吸着部材の他の配置態様を示す要部平面図である。 図１０に示す起点形成装置の吸着部材の他の配置態様を示す要部断面図である。 本発明の第三実施形態に係る起点形成装置の要部断面図である。 本発明の第四実施形態に係る起点形成装置の要部断面図である。 本発明の適用対象である電子デバイスとして液晶パネルを製造する際の支持体付き液晶パネルの断面図である。

以下、本発明に係る電子デバイスの製造方法の第一実施形態を、図１〜図９を参照して説明する。なお、本実施形態では、電子デバイスとしての有機ＥＬパネルを製造する際に、支持体が付いた状態の有機ＥＬパネルを、ガラスフィルムと支持体との剥離により、有機ＥＬパネルと支持体とに分離する場合を例にとって以下説明する。

本発明の一実施形態に係る電子デバイスの製造方法は、図１に示すように、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程Ｓ１と、ガラスフィルムへの加熱を伴ってガラスフィルムに電子デバイス要素を取付ける取付け工程Ｓ２と、電子デバイス要素を取付けた積層体を電子デバイスと支持体とに分離する分離工程Ｓ３とを備える。以下、各工程を詳細に説明する。

（Ｓ１）積層体形成工程
まず、図２に示すように、支持体１上にガラスフィルム２を積層して積層体３を形成する。

ここで、ガラスフィルム２は、例えばケイ酸塩ガラス、シリカガラスなどで形成され、好ましくはホウ珪酸ガラスで形成され、より好ましくは無アルカリガラスで形成される。ガラスフィルム２にアルカリ成分が含まれていると、表面において陽イオンの脱落が発生し、いわゆるソーダ吹きの現象が起こり得る。その場合、ガラスフィルム２に構造的に粗となる部分が生じるため、このガラスフィルム２を湾曲させた状態で使用していると、経年劣化により粗となった部分を起点として破損を招くおそれがある。以上の理由より、非平坦状態でガラスフィルム２を使用する可能性がある場合、無アルカリガラスでガラスフィルム２を形成するのが好適である。

なお、ここでいう無アルカリガラスとは、アルカリ成分（アルカリ金属酸化物）が実質的に含まれていないガラスを指し、具体的には、アルカリ成分が３０００ｐｐｍ以下のガラスを指す。もちろん、上述した理由による経年劣化を少しでも防止又は軽減する観点からは、１０００ｐｐｍ以下のガラスが好ましく、５００ｐｐｍ以下のガラスがより好ましく、３００ｐｐｍ以下のガラスがさらに好ましい。

ガラスフィルム２の厚み寸法は、３００μｍ以下に設定され、好ましくは２００μｍ以下に設定され、より好ましくは１００μｍ以下に設定される。厚み寸法の下限値については特段の制約なく設定可能であるが、成形後の取り扱い性（支持体１との積層時、あるいは剥離時など）などを考慮すると、１μｍ以上、好ましくは５μｍ以上に設定される。

支持体１は、本実施形態では板状ガラスであって、ガラスフィルム２と同様、ケイ酸塩ガラス、シリカガラス、ホウ珪酸ガラス、無アルカリガラス等、公知のガラスで形成される。ただし、加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理（本実施形態では取付け工程Ｓ２）において、熱変形の差に起因するガラスフィルム２の不要な変形や破損を可及的に防止する観点から、３０℃〜３８０℃の間における支持体１とガラスフィルム２との線膨張係数の差が、５×１０^-7／℃以内となるよう、ガラスの種類を選択するのがよい。この場合、同一種類のガラスで支持体１とガラスフィルム２を形成することが好ましい。

支持体１の厚み寸法は、ガラスフィルム２の取り扱い性を向上させ得る限りにおいて特に制限はなく、ガラスフィルム２の厚み寸法と同一レベル又はそれ以上に設定される。具体的には、支持体１の厚み寸法は、４００μｍ以上に設定され、好ましくは５００μｍ以上に設定される。厚み寸法の上限値については特段の制約なく設定可能であるが、後述する支持体１の曲げに耐え得る程度の厚み寸法に留めておくのが好ましい。具体的には１０００μｍ以下に設定されるのがよく、好ましくは７００μｍ以下に設定されるのがよい。

また、これら支持体１とガラスフィルム２は、ダウンドロー法など公知の成形方法で成形され、好ましくはオーバーフローダウンドロー法で成形される。また、フロート法やスロットダウンドロー法、ロールアウト法、アップドロー法などによって成形することも可能である。なお、必要に応じて二次加工を施して（リドローによりガラス一次成形体を引き伸ばして）、１００μｍ未満の厚み寸法に設定することも可能である。

積層体３を構成した状態において、支持体１とガラスフィルム２とは、剥離可能な程度に固定されている。固定手段としては任意の手段が採用可能であり、本実施形態では、支持体１としての板状ガラスとガラスフィルム２とを、接着剤などを介在させることなく直接密着させることにより、相互固定を実現している。

この際、ガラスフィルム２の支持体１の側の表面２ａ（図２でいえば下側の表面）と、支持体１のガラスフィルム２の側の表面１ａ（図２でいえば上側の表面）の表面粗さＲａは共に２．０ｎｍ以下に設定される。各表面１ａ，２ａの表面粗さＲａを上述した範囲に設定することで、支持体１とガラスフィルム２とを位置ずれなく相互に固定した状態で積層する（積層体３を形成する）ことが可能となる。もちろん、密着性向上の観点からは、１．０ｎｍ以下とするのが好ましく、０．２ｎｍ以下とするのがより好ましい。

一方、ガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂの表面粗さＲａの大きさは特に限定されないが、後述する取付け工程Ｓ２において、成膜等の電子デバイス関連処理を施す対象面となることから、その表面粗さＲａは２．０ｎｍ以下であることが好ましく、１．０ｎｍ以下であることがより好ましく、０．２ｎｍ以下であることがさらに好ましい。

また、ガラスフィルム２の端部を保護する観点から、ガラスフィルム２と支持体１とを積層した状態において、支持体１がガラスフィルム２から食み出している（図２）。この場合、支持体１のガラスフィルム２からの食み出し量は、例えば０．５ｍｍ以上でかつ１０ｍｍ以下に設定され、好ましくは０．５ｍｍ以上でかつ１．０ｍｍ以下に設定される。上述のように支持体１の食み出し量を小さく（最大でも１０ｍｍ程度に）することで、相対的に大面積のガラスフィルム２を全面で効率よく支持することができる。

本実施形態では、図３に示すように、積層体３の全周縁において、支持体１がガラスフィルム２から食み出ており、これにより支持体１のコーナー部４において支持体１がガラスフィルム２から食み出ている。なお、本実施形態では積層体３の４辺縁全てにおいて、支持体１がガラスフィルム２から食み出ている形態を例示したが、もちろん、３辺縁ないし１辺縁で支持体１がガラスフィルム２から食み出ている形態を採ることも可能である。この場合、食み出ていない側の辺縁では、ガラスフィルム２の端面と支持体１の端面とが一致していることが望ましい。

なお、上記した積層体３の形成に際して、減圧下で積層作業を行うようにしてもよい。これにより、ガラスフィルム２を支持体１上に積層した際にガラスフィルム２と支持体１との間に生じる（残存する）気泡を低減もしくは消失させることが可能となる。

（Ｓ２）取付け工程
上述のようにガラスフィルム２を含む積層体３を形成した後、この積層体３に対して加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理、具体的には、電子デバイス要素としての有機ＥＬ素子５の取付けを行う。これにより、図４に示すように、積層体３の一部をなすガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ上に有機ＥＬ素子５が形成される。そして、カバーガラス６を有機ＥＬ素子５上に載置して、カバーガラス６の周縁をガラスフィルム２に固定することで、有機ＥＬ素子５を封止する。これにより、有機ＥＬパネル７に支持体１が固定された状態の支持体付き有機ＥＬパネル８が形成される。

カバーガラス６の厚み寸法は、例えば３００μｍ以下に設定され、好ましくは２００μｍ以下に設定され、より好ましくは１００μｍ以下に設定される。このように、カバーガラス６の厚み寸法を設定することで、カバーガラス６に適当な可撓性をもたせることが可能となる。

また、ガラスフィルム２上への有機ＥＬ素子５の取付け態様は任意であり、例えばガラスフィルム２の支持体１とは反対側の表面２ｂ上、ＣＶＤ法やスパッタリング等の公知の成膜方法により、陽極層、正孔輸送層、発光層、電子輸送層、陰極層などを順に成膜形成することで有機ＥＬ素子５を形成するようにしてもよい（詳細な図示は省略）。また、カバーガラス６のガラスフィルム２への固定手段についても任意であり、例えば公知のレーザー封止技術を用いてカバーガラス６をガラスフィルム２に固定するようにしてもよい。この場合、ＣＶＤ法やスパッタリング等による成膜処理が、加熱を伴う電子デバイスの製造関連処理に該当する。従って、上述のように有機ＥＬ素子５をガラスフィルム２の支持体１と反対側の表面２ｂ上に形成することで、ガラスフィルム２が加熱される。また、この加熱に起因してガラスフィルム２と支持体１との間に新たな結合が形成され、積層時（積層体３を形成した際）に比べて、ガラスフィルム２と支持体１との固定力が高まる。

なお、図４に示す形態では、カバーガラス６とガラスフィルム２とを直接固定しているが、適宜公知のガラスフリットやスペーサ等（図示は省略）を利用してカバーガラス６をガラスフィルム２に接着固定してもよい。

（Ｓ３）分離工程
このようにして、支持体付き有機ＥＬパネル８を形成した後、支持体付き有機ＥＬパネル８を構成するガラスフィルム２から支持体１を剥離することで、支持体付き有機ＥＬパネル８を、有機ＥＬパネル７と支持体１とに分離する。図５は、上記分離に際して、分離の開始起点を形成するための起点形成装置１０の平面図を示している。この装置１０は、ガラスフィルム２を含む積層体３を保持する保持台１１と、支持体１のみに外力を付与する外力付与部１２とを主に備える。なお、図５以降においては、有機ＥＬ素子５及びカバーガラス６を省略している。

保持台１１は、積層体３を平坦状態で保持可能とするもので、本実施形態では、支持体１のガラスフィルム２と反対側の表面１ｂを載置する載置面１３と、載置面１３上に設けれられ、支持体１の辺縁部を載置面１３との間で厚み方向に挟持する挟持部１４とを有する。本実施形態では、挟持部１４は、支持体１のコーナー部４を構成し、互いに隣り合う支持体１の２辺縁を載置面１３との間で挟持可能な位置に配設されている。

外力付与部１２は、保持台１１の一のコーナー部１５に設けられる。本実施形態では、この外力付与部１２は、保持台１１の一のコーナー部１５を構成するもので、載置面１３の法線方向に沿って昇降可能な昇降部１６と、昇降部１６の上部に設けられ、昇降部１６の下降に伴い、載置面１３上に載置された支持体１のコーナー部４と係止する係止部１７とを有する。

係止部１７は支持体１のコーナー部４を構成する２辺縁と等距離分ずつ当接するように構成されている（図５を参照）。また、本実施形態では、係止部１７は傾斜面１７ａを有している（図６を参照）。この傾斜面１７ａは、後述するように支持体１を曲げた際のコーナー部４の曲率（半径）を調整するためのもので、この傾斜面１７ａの傾斜角度及び昇降部１６の下降量を調整することで、コーナー部４の曲率（半径）が所定の大きさに制御される。本図示例では、傾斜面１７ａは、支持体１のコーナー部４の２辺縁とそれぞれ当接するよう二ヶ所に設けられており、コーナー部４が所定の曲率（半径）で曲がった際にコーナー部４の上面（ガラスフィルム２の側の表面１ａ）が二ヶ所の傾斜面１７ａに沿って接するように、各傾斜面１７ａが対応する傾斜角度に設定される。もちろん、傾斜面１７ａは図示の如きテーパ面であってもよいし、上述の理由から所定曲率の曲面であってもよい。

次に、上記構成の起点形成装置１０を用いた分離動作の一例を主に図５〜図９に基づき説明する。

まず、図５に示すように、支持体付き有機ＥＬパネル８を起点形成装置１０の載置面１３上に載置する。この際、支持体１のコーナー部４を、保持台１１のうち外力付与部１２が設けられる一のコーナー部１５（図５中、左下）に合わせて載置する。この状態では、図７に示すように、支持体１の端面は係止部１７の側面と当接し、これにより支持体１及びこれを備えた支持体付き有機ＥＬパネル８が平面方向に位置決めされる。また、載置面１３上に設けた挟持部１４と載置面１３との間に支持体１の２辺縁を挿入することで、当該２辺縁が厚み方向に挟持され、これにより支持体１が載置面１３上で保持される。なお、支持体付き有機ＥＬパネル８を載置面１３上に載置し、保持した状態では、支持体１とガラスフィルム２の何れも平坦状態にある（図７）。また、昇降部１６の上面１６ａは、保持台１１のコーナー部１５において、載置面１３と面一に配置される。

そして、昇降部１６を下降させて、係止部１７を支持体１の表面１ａに押し当てる。押し当てた後も引き続き昇降部１６を下降させることで、支持体１には、係止部１７との接点において下向きの外力Ｆが付与され（図８）、これにより、支持体１がガラスフィルム２から離反する向きに曲がる（図９）。一方で、ガラスフィルム２は、支持体１に固定されているので、平坦な状態から支持体１と共に曲がろうとする（図８中実線で示す形態から鎖線で示す形態に変形しようとする）。この際、支持体１は外力Ｆにより平坦状態へ戻ろうとする向きの移動が規制されるのに対し、ガラスフィルム２にはその様な規制力が働かないため、平坦状態に戻ろうとする力（復元力Ｇ）のみが作用する。すなわち、この規制力（外力Ｆ）と復元力Ｇとが協働して、ガラスフィルム２と支持体１とを互いに離反させる向きの力として作用するので、支持体１をそれほど大きく曲げずとも比較的容易にガラスフィルム２の端部と支持体１との間に、剥離開始の起点となる隙間１８を形成することが可能となる（図８、図９）。相応の大きさを有する隙間１８さえ形成されれば、あとは支持体１もしくはガラスフィルム２を把持して一方を他方から離反する向きに引っ張るだけで、あるいはエア等を隙間１８に向けて吹き付けるだけで、容易にガラスフィルム２と支持体１をその全域にわたって剥離することができる。また、支持体１のみに外力Ｆを付与して支持体１を曲げるようにしたので、ガラスフィルム２に接触することなく、剥離開始の起点（隙間１８）を形成することができる。これにより従来の如くナイフをガラスフィルム２と支持体１との界面に押込んで剥離開始の起点を形成する場合と比べて、安全に剥離開始の起点を形成することができる。

また、本実施形態では、支持体１のうちガラスフィルム２から食み出した部分に外力を付与することで支持体１を曲げるようにした。このように外力Ｆを付与することで、外力Ｆの作用点がガラスフィルム２との固定面（界面）端部から離れた場所に位置することになる。そのため、支持体１とガラスフィルム２との界面端部においてより大きな曲げモーメントを発生させることができ、より小さな曲げ量で剥離開始の起点となる隙間１８を形成することができる。また、支持体１とガラスフィルム２とが厚み方向で重複する領域に外力Ｆを付与する場合であれば、たとえ支持体１のガラスフィルム２と反対側の表面１ｂに外力Ｆを付与したとしても、当該外力Ｆの影響がその真裏に位置するガラスフィルム２に集中荷重として及ぶことを完全に排除することは難しいが、食み出し部に外力Ｆを付与するのであれば、上述のような心配もないため好ましい。

また、本実施形態では、支持体１のコーナー部４における食み出し部のみに外力Ｆを付与して、ガラスフィルム２から離反する向きに支持体１を曲げるようにしたので、ガラスフィルム２のコーナー部９の頂部に対して剥離開始の起点を形成するための力（上述した規制力としての外力Ｆと復元力Ｇ）を優先的かつ集中的に付与することができる。また、剥離が進展するにつれてその剥離面積が漸次増大することになるので、無理なくかつスムーズに剥離開始の起点となる隙間１８を形成することが可能となる。

以上、本発明に係るガラスフィルムを含む電子デバイスの製造方法の一実施形態（第一実施形態）を説明したが、この製造方法は、当然に本発明の範囲内において任意の形態を採ることができる。

図１０は、本発明の第二実施形態に係る起点形成装置１０の要部断面図を示している。この起点形成装置１０は、保持台１１と外力付与部１２に加えて、ガラスフィルム２を支持体１と反対の側から吸着可能な吸着部材１９をさらに備えている。この吸着部材１９は、その先端に設けたパッド状の吸着部２０をガラスフィルム２の支持体１と反対側の表面２ｂに吸着させ得るもので、この吸着動作により、ガラスフィルム２に支持体１から離反する向きの力（吸着力Ｈ）を付与し得る。

よって、まず支持体付き有機ＥＬパネル８を保持台１１の載置面１３上にセットし、然る後、図１０に示すように、吸着部２０をガラスフィルム２の表面２ｂ上に当接させて真空引き等により吸着部２０を表面２ｂに吸着させる。この状態で、昇降部１６を下降させて、係止部１７を支持体１の表面１ａに押し当てて、支持体１に下向きの外力Ｆを付与する（図１１）。これにより、支持体１がガラスフィルム２から離反する向きに曲がる。この際、ガラスフィルム２には、支持体１と共に曲がろうとするのを元に戻そうとする力（復元力Ｇ）の他、吸着部材１９による復元力Ｇと同じ向きの吸着力Ｈが付与された状態となる。よって、支持体１をガラスフィルム２から離反する向きに曲げた状態にあっても、ガラスフィルム２を極力平坦な状態に維持しつつも、安全かつ効果的に剥離開始の起点となる隙間１８を形成することが可能となる。

なお、この際、図１２及び図１３に示すように、吸着部２０は平面視した状態で略矩形をなすもので、かつ吸着部２０のコーナー部２０ａとガラスフィルム２のコーナー部９とを合わせた状態で吸着することが好ましい。このように吸着することで、吸着力Ｈがガラスフィルム２のコーナー部９の頂部、すなわちガラスフィルム２と支持体１との界面の端部にまで実質的に及ぶことになる。そのため、より容易に剥離開始の起点となる隙間１８を形成することができる。また、硬度が５０Ｈｖ以上の吸着部２０を用いることで。支持体１の曲げ時にもガラスフィルム２の保持状態を維持して、容易に剥離開始の起点となる隙間１８を形成することができる。

図１４は、本発明の第三実施形態に係る起点形成装置１０の要部断面図を示している。本実施形態では、載置面１３の一部が吸着プレート２１に置換されており、この吸着プレート２１に接続した真空ポンプ（図示は省略）の駆動で真空引きを行うことで、支持体１のガラスフィルム２と反対側の表面１ｂが吸着プレート２１に吸着保持される。この際、昇降部１６との境界にまで吸着プレート２１を配設すると、昇降部１６を下降させて係止部１７で支持体１のコーナー部４を押し曲げた際、支持体１がコーナー部４において自然に曲がる（湾曲する）ことができない場合が起こり得る。よって、図１０のように、昇降部１６との境界から一定の距離（例えば５０ｍｍ程度）を空けて吸着プレート２１を配設することで、コーナー部４を不要に拘束することなく所要の曲率（半径）で曲げることが可能となる。このように支持体１を吸着保持するのであれば、挟持部１４は設けなくてもよい。

図１５は、本発明の第四実施形態に係る起点形成装置１０の要部断面図を示している。本実施形態では、昇降部１６の上面１６ａの一部が吸着プレート２２に置換されており、この吸着プレート２２に接続した真空ポンプ（図示は省略）の駆動で真空引きを行うことで、支持体１のコーナー部４における表面１ｂが吸着プレート２１に吸着保持される。これによれば、係止部１７で支持体１を押し下げることなく支持体１を曲げることができるので、支持体１への負担は小さい（破損のおそれが小さい）。なお、この場合、支持体１の曲げに伴い吸着プレート２２も追従して変形する必要があるが、もし吸着プレート２２の変形追従性が不足しているのであれば、図１０に示す如きパッド状の吸着部２０を支持体１のガラスフィルム２と反対側に配置し、当該反対側の表面１ｂを吸着するようにしてもよい。

あるいは、図示は省略するが、吸着プレート２１，２２に代えて、載置面１３や昇降部１６の上面１６ａに吸着用の溝または穴を設けて真空引きを行うことで、支持体１を載置面１３あるいは昇降部１６の上面１６ａに吸着保持するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、支持体１として板状ガラスを採用し、かつこの支持体１とガラスフィルム２とを直接密着で相互に固定した場合を例示したが、もちろんこれ以外の手段でガラスフィルム２と支持体１とを固定してなる積層体３に対しても本発明を適用することは可能である。例えば、アクリル粘着層、シリコーン薄膜層、無機薄膜層（ＩＴＯ、酸化物、金属、カーボン）など非ガラス材からなる層と板状ガラスとで支持体１を構成し、非ガラス材層とガラスフィルム２を密着させてなる積層体（図示は省略）に対しても本発明を適用することが可能である。

また、以上の説明において、支持体１を曲げる前の段階で、例えばガラスフィルム２と支持体１との界面端部（コーナー部９における界面の頂部）に、剥離開始の起点となる隙間１８が形成されるきっかけ程度に鋭利な刃先を界面頂部に当てるようにしてもよい。あるいは、支持体１の曲げにより剥離開始の起点となる隙間１８を形成した後、この隙間１８に上記鋭利な刃先を差し込むようにしてもよい。何れの場合も、実質的な剥離開始の起点となる隙間１８を形成する場合と比べて非常に僅かな力を加えるだけで足り、ガラスフィルム２の破損を招くおそれが非常に小さいためである。

また、以上の説明では、電子デバイスとして有機ＥＬパネル７を製造する場合を例示したが、もちろんこれ以外の電子デバイスの製造方法に対しても本発明を適用することが可能である。図１６はその一例に係る支持体付き液晶パネル２３の断面図を示している。このパネル２３は、最終製品としての液晶パネル２４の両側に一対の支持体１，１を固定してなるもので、例えば以下のようにして形成される。すなわち、まずそれぞれ支持体１とガラスフィルム２とを積層してなる一対の積層体３，３を形成する（積層体形成工程Ｓ１）。然る後、一方の積層体３のガラスフィルム２の表面２ｂ上に、図示しない液晶を封入するための空間を区画形成するスペーサ２５を形成し、このスペーサ２５上に他方の積層体３のガラスフィルム２を固定する（取付け工程Ｓ２）。このようにして支持体付きの液晶パネル２３を形成した後、上述した剥離方法で支持体１を一枚ずつ剥離し、２枚の支持体１，１と、液晶パネル２４とを分離する（分離工程Ｓ３）。よって、液晶パネル２４を製造する場合にあっても本発明を適用して、ガラスフィルム２を破損させることなく、安全かつ容易に支持体１を液晶パネル２４と分離させることが可能となる。

もちろん、ガラスフィルム２自体を最終製品として取得（製造）する場合においても、本発明を適用することにより、ガラスフィルム２を破損させることなく、安全かつ容易に支持体１をガラスフィルム２と分離させることが可能となる。

１ 支持体
２ ガラスフィルム
３ 積層体
４ コーナー部（支持体）
５ 有機ＥＬ素子
６ カバーガラス
７ 有機ＥＬパネル
８ 支持体付き有機ＥＬパネル
９ コーナー部（ガラスフィルム）
１０ 起点形成装置
１１ 保持台
１２ 外力付与部
１３ 載置面
１４ 挟持部
１５ コーナー部（保持台）
１６ 昇降部
１７ 係止部
１８ 隙間
１９ 吸着部材
２０ 吸着部
２１，２２ 吸着プレート
２３ 支持体付き液晶パネル
２４ 液晶パネル
２５ スペーサ
Ｆ 外力
Ｇ 復元力
Ｈ 吸着力

Claims (12)

1. ガラスフィルムと、該ガラスフィルムを支持する支持体とを積層して剥離可能な程度に固定することで、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、
   前記積層体に対して製造関連処理を施す製造関連処理工程と、
   前記製造関連処理工程の後、前記ガラスフィルムから前記支持体を剥離することにより、前記積層体を、前記ガラスフィルムと、前記支持体とに分離する分離工程とを備えたガラスフィルムの製造方法であって、
   前記分離工程において、前記支持体のみに外力を付与して、前記ガラスフィルムから離反する向きに前記支持体を曲げることを特徴とするガラスフィルムの製造方法。
2. 前記積層体を平面視した状態で、前記支持体が前記ガラスフィルムから食み出ており、
   前記分離工程において、前記支持体のうち前記ガラスフィルムからの食み出し部のみに外力を付与して、前記ガラスフィルムから離反する向きに前記支持体を曲げることを特徴とする請求項１に記載のガラスフィルムの製造方法。
3. 前記ガラスフィルムと前記支持体は共にコーナー部を有するもので、かつ前記積層体において、前記支持体は前記コーナー部で前記ガラスフィルムから食み出ており、
   前記分離工程において、前記支持体のコーナー部における前記食み出し部のみに外力を付与して、前記ガラスフィルムから離反する向きに前記支持体を曲げる請求項１又は２に記載のガラスフィルムの製造方法。
4. 前記コーナー部を構成する前記支持体の２辺縁に等価な外力を付与して、前記支持体を曲げる請求項２又は３に記載のガラスフィルムの製造方法。
5. 前記外力として、前記支持体の前記ガラスフィルムと反対側の表面に、前記ガラスフィルムから離反する向きの吸着力を付与する請求項１〜４の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。
6. 前記外力として、前記支持体の食み出し部の前記ガラスフィルムの側の表面に、前記ガラスフィルムから離反する向きの押圧力を付与する請求項２〜４の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。
7. 前記分離工程において、前記ガラスフィルムを前記支持体と反対の側から吸着部材で吸着した状態で、前記支持体のみに外力を付与して、前記ガラスフィルムから離反する向きに前記支持体を曲げる請求項１〜６の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。
8. 前記ガラスフィルムを前記吸着部材で吸着した状態でかつ前記支持体を曲げた状態で、前記吸着部材を前記支持体から離間する向きに移動させる請求項７に記載のガラスフィルムの製造方法。
9. 前記ガラスフィルムと前記吸着部材の吸着部は共にコーナー部を有し、
   前記分離工程において、前記吸着部のコーナー部を前記ガラスフィルムのコーナー部に合わせた状態で、前記ガラスフィルムを前記吸着部材で吸着する請求項７又は８に記載のガラスフィルムの製造方法。
10. 前記支持体は、板状ガラスである請求項１〜９の何れかに記載のガラスフィルムの製造方法。
11. 前記積層体において、前記板状ガラスと前記ガラスフィルムとは直接密着している請求項１０に記載のガラスフィルムの製造方法。
12. ガラスフィルムと、該ガラスフィルムを支持する支持体とを積層して剥離可能な程度に固定することで、ガラスフィルムを含む積層体を形成する積層体形成工程と、
    前記積層体の前記ガラスフィルムに電子デバイス要素を取付ける取付け工程と、
    前記取付け工程の後、前記ガラスフィルムから前記支持体を剥離することにより、前記積層体に前記電子デバイス要素を取付けてなる支持体付き電子デバイスを、前記ガラスフィルムを含む電子デバイスと、前記支持体とに分離する分離工程とを備えた電子デバイスの製造方法であって、
    前記分離工程において、前記支持体のみに外力を付与して、前記ガラスフィルムから離反する向きに前記支持体を曲げることを特徴とする電子デバイスの製造方法。

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