JP6238245B2

JP6238245B2 - Polymer foreign matter inspection method and power cable manufacturing method

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Publication number: JP6238245B2
Application number: JP2015041786A
Authority: JP
Inventors: 義路大木; 麻理奈小松; 智之井筒; 大祐小▲高▼; 隆志齊藤; 山崎　孝則; 孝則山崎
Original assignee: Waseda University; Sumitomo Electric Industries Ltd
Current assignee: Waseda University; Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date: 2015-03-03
Filing date: 2015-03-03
Publication date: 2017-11-29
Anticipated expiration: 2035-03-03
Also published as: JP2016161462A

Description

本発明は、高分子の異物検査方法、および電力ケーブルの製造方法に関する。 The present invention relates to a polymer foreign matter inspection method and a power cable manufacturing method.

エレクトロニクス分野、食料品分野、または医療分野などの製造工程において、様々な方法により異物検査が行われている。例えば、電力ケーブルとしての固体絶縁ケーブルの製造工程においても異物検査が行われている。 In the manufacturing process such as the electronics field, the food field, or the medical field, foreign matter inspection is performed by various methods. For example, foreign matter inspection is also performed in the manufacturing process of a solid insulated cable as a power cable.

電力ケーブルとしての固体絶縁ケーブルでは、ケーブル絶縁体として、例えば（架橋）ポリエチレンなどの高分子が用いられている。ケーブル絶縁体は、加熱され溶融した状態で、ケーブル導体の外周を覆うように押出被覆される。この際、ケーブル絶縁体に異物が混入すると、絶縁性能を損ね、商品価値を下げてしまうため、ケーブル絶縁体の異物検査を行うことが重要となる。ケーブル絶縁体のベース樹脂は加熱され溶融した状態では（可視域で）透明であるため、従来では、可視光による異物検査が行われていた。しかしながら、ベース樹脂に添加物が加えられた高分子の場合では、溶融時においても高分子は透明とならず、可視光による異物検査はできなかった。そこで、従来では、可視光による異物検査ができない場合には、Ｘ線による異物検査が行われてきた（例えば、特許文献１）。 In a solid insulated cable as a power cable, a polymer such as (crosslinked) polyethylene is used as a cable insulator. The cable insulator is extrusion-coated so as to cover the outer periphery of the cable conductor in a heated and melted state. At this time, if foreign matter enters the cable insulator, the insulation performance is impaired and the commercial value is lowered. Therefore, it is important to perform a foreign matter inspection on the cable insulator. Since the base resin of the cable insulator is transparent (in the visible region) when heated and melted, conventionally, foreign matter inspection using visible light has been performed. However, in the case of a polymer in which an additive is added to the base resin, the polymer is not transparent even when melted, and foreign matter inspection by visible light cannot be performed. Therefore, conventionally, when foreign matter inspection using visible light is not possible, foreign matter inspection using X-rays has been performed (for example, Patent Document 1).

特開平４−２６２４２７号公報JP-A-4-262427

ところで、ケーブル絶縁体には、「アンバー」と呼ばれる高分子の異物（高分子の熱老化、酸化劣化、または早期架橋）も生じうる。アンバーとは、ケーブル絶縁体を構成する高分子が部分的に過熱されたときに発生する、茶または茶褐色の半透明の異物である。アンバーは、主として、高分子が押出機の内部で滞留することで熱老化したり、加熱により酸化劣化したり、または高分子が押出機の内部で滞留することで架橋剤と反応して部分的に早期架橋したりすることにより生じうる。このようなアンバーも、ケーブル絶縁体の絶縁性能を損ねるため、異物検査によって検出することが望まれる。 By the way, in the cable insulator, a polymer foreign substance called “amber” (thermal aging of polymer, oxidative deterioration, or premature crosslinking) may also occur. Amber is a brown or brownish translucent foreign matter generated when the polymer constituting the cable insulator is partially heated. Amber is mainly partially aged by heat aging due to the polymer staying inside the extruder, oxidatively deteriorated by heating, or reacting with the cross-linking agent due to the polymer staying inside the extruder. Or may be caused by early crosslinking. Such an amber is also desired to be detected by a foreign substance inspection in order to impair the insulation performance of the cable insulator.

しかしながら、上記した従来のＸ線を用いた異物検査では、正常な高分子とアンバーとを区別することができず、アンバーを検出することはできなかった。 However, in the foreign substance inspection using the conventional X-ray described above, normal polymer and amber cannot be distinguished from each other, and amber cannot be detected.

本発明の目的は、アンバーを検出することができる高分子の異物検査方法、および電力ケーブルの製造方法を提供することである。 The objective of this invention is providing the polymeric foreign material inspection method which can detect amber, and the manufacturing method of a power cable.

本発明の一態様によれば、
所定の高分子を含む標準試料に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトルを用意する工程と、
前記標準試料と同じ前記高分子を含む検査対象に対して、テラヘルツ波を照射して、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定する工程と、
前記標準試料の吸収スペクトルと前記検査対象の吸収スペクトルとを比較し、前記検査対象の吸収スペクトルが前記標準試料の吸収スペクトルと異なっていたときに、前記検査対象内に異物があると判断する異物判断工程と、
を有する高分子の異物検査方法が提供される。 According to one aspect of the invention,
Preparing a terahertz wave absorption spectrum when a terahertz wave is irradiated to a standard sample containing a predetermined polymer;
Irradiating terahertz waves to an inspection object containing the same polymer as the standard sample, and measuring an absorption spectrum of the terahertz waves;
A foreign object that compares the absorption spectrum of the standard sample with the absorption spectrum of the inspection object and determines that there is a foreign object in the inspection object when the absorption spectrum of the inspection object is different from the absorption spectrum of the standard sample A decision process;
A polymer foreign matter inspection method having

本発明の他の態様によれば、
ケーブル導体と、前記ケーブル導体の外周を覆うように設けられ、所定の高分子を含む被覆層と、を有する電力ケーブルの製造方法であって、
前記被覆層の正常部に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトルを用意する工程と、
前記正常部と同じ前記高分子を含む前記被覆層の検査対象に対して、テラヘルツ波を照射して、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定する工程と、
前記正常部の吸収スペクトルと前記検査対象の吸収スペクトルとを比較し、前記検査対象の吸収スペクトルが前記正常部の吸収スペクトルと異なっていたときに、前記検査対象内に異物があると判断する異物判断工程と、
を有する電力ケーブルの製造方法が提供される。 According to another aspect of the invention,
A method for producing a power cable having a cable conductor and a coating layer provided so as to cover an outer periphery of the cable conductor and containing a predetermined polymer,
Preparing a terahertz wave absorption spectrum when the terahertz wave is irradiated to the normal part of the coating layer;
Irradiating terahertz waves to the inspection target of the coating layer containing the same polymer as the normal part, and measuring an absorption spectrum of the terahertz waves;
A foreign substance that compares the absorption spectrum of the normal part with the absorption spectrum of the inspection object and determines that there is a foreign substance in the inspection object when the absorption spectrum of the inspection object is different from the absorption spectrum of the normal part A decision process;
A method of manufacturing a power cable is provided.

本発明によれば、アンバーを検出することができる高分子の異物検査方法、および電力ケーブルの製造方法が提供される。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the polymeric foreign material inspection method which can detect amber, and the manufacturing method of a power cable are provided.

本発明の第１実施形態に係る高分子の異物検査装置を示す概略構成図である。It is a schematic block diagram which shows the polymeric foreign material inspection apparatus which concerns on 1st Embodiment of this invention. 本発明の第１実施形態に係る高分子の異物検査方法におけるフローを示す図である。It is a figure which shows the flow in the polymeric foreign material inspection method which concerns on 1st Embodiment of this invention. 標準試料、試料１および２におけるテラヘルツ波の吸収スペクトルである。It is an absorption spectrum of a terahertz wave in a standard sample and samples 1 and 2. 標準試料、および試料３におけるテラヘルツ波の吸収スペクトルである。2 is an absorption spectrum of terahertz waves in a standard sample and sample 3. FIG.

＜本発明の第１実施形態＞
（１）高分子の異物検査装置
まず、図１を用い、本発明の第１実施形態に係る異物検査装置１０について説明する。図１は、本実施形態に係る高分子の異物検査装置を示す概略構成図である。 <First Embodiment of the Present Invention>
(1) Polymer foreign matter inspection apparatus First, a foreign matter inspection apparatus 10 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing a polymer foreign matter inspection apparatus according to the present embodiment.

（検査対象）
本実施形態の異物検査が行われる検査対象（被検査試料）１００は、例えば、電力ケーブルのケーブル絶縁体を含んでいる。電力ケーブルは、例えば、固体絶縁ケーブルとして構成されている。具体的には、電力ケーブルは、中心に設けられたケーブル導体と、ケーブル導体の外周を覆うように設けられる被覆層（ケーブルシース）と、を備えている。被覆層は、例えば、内部半導電層、ケーブル絶縁体、および外部半導電層を有している。例えば、検査対象１００は、完成品の電力ケーブルからケーブル導体を除いた被覆層（内部半導電層および外部半導電層を含む）からなる円筒状の試料、または、完成品の電力ケーブルのうちのケーブル絶縁体の一部を（短手方向または軸方向に数ｍｍの厚さで）切り出した板状の試料として構成されている。なお、図１は、検査対象１００が板状の試料である場合を示している。 (Target of inspection)
The inspection object (inspected sample) 100 on which the foreign object inspection of the present embodiment is performed includes, for example, a cable insulator of a power cable. The power cable is configured as a solid insulation cable, for example. Specifically, the power cable includes a cable conductor provided at the center and a coating layer (cable sheath) provided so as to cover the outer periphery of the cable conductor. The covering layer has, for example, an internal semiconductive layer, a cable insulator, and an external semiconductive layer. For example, the inspection object 100 is a cylindrical sample made of a coating layer (including an inner semiconductive layer and an outer semiconductive layer) obtained by removing a cable conductor from a finished power cable, or a finished power cable. A part of the cable insulator is formed as a plate-like sample cut out (with a thickness of several mm in the short side direction or the axial direction). FIG. 1 shows a case where the inspection object 100 is a plate-like sample.

検査対象１００を構成するケーブル絶縁体は、所定の高分子を含んでいる。ケーブル絶縁体を構成する高分子としては、例えば、ポリエチレン、架橋ポリエチレン、ポリプロピレン、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−エチルアクリレート共重合体、エチレン−メタクリレート共重合体等のエチレン共重合体、エチレンプロピレンゴム、シリコーンゴム、天然ゴム、クロロプレンゴム等のゴムが挙げられる。 The cable insulator constituting the inspection object 100 includes a predetermined polymer. Examples of the polymer constituting the cable insulator include, for example, polyethylene, cross-linked polyethylene, polypropylene, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-ethyl acrylate copolymer, ethylene copolymer such as ethylene-methacrylate copolymer, ethylene, and the like. Examples thereof include rubbers such as propylene rubber, silicone rubber, natural rubber, and chloroprene rubber.

（異物検査装置）
図１に示されているように、本実施形態に係る異物検査装置１０は、例えば、テラヘルツ時間領域分光装置として構成されており、主に、レーザ５００、テラヘルツ波発生部３２０、および検出部（受光部）３４０を有している。 (Foreign substance inspection device)
As shown in FIG. 1, the foreign substance inspection apparatus 10 according to the present embodiment is configured as, for example, a terahertz time domain spectroscopic apparatus, and mainly includes a laser 500, a terahertz wave generation unit 320, and a detection unit ( Light receiving portion) 340.

レーザ５００は、例えば、発振波長１５５０ｎｍのフェムト秒パルスレーザとして構成されている。レーザ５００からのポンプ光は、ビームスプリッタ２８０およびミラー（平板ミラー）２９０を介して、テラヘルツ波発生部３２０に照射される。テラヘルツ波発生部３２０は、例えば、テラヘルツ波の発生源としての光伝導アンテナ（光伝導スイッチ）を有している。テラヘルツ波発生部３２０の光伝導アンテナの中央に設けられた微小ギャップに対して、直流電圧をかけた状態で、レーザ５００からのポンプ光が照射されることにより、テラヘルツ波が発生する。テラヘルツ波発生部３２０から発生するテラヘルツ波の周波数帯域は、例えば、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下である。 The laser 500 is configured as a femtosecond pulse laser having an oscillation wavelength of 1550 nm, for example. Pump light from the laser 500 is applied to the terahertz wave generation unit 320 via the beam splitter 280 and the mirror (flat plate mirror) 290. The terahertz wave generation unit 320 includes, for example, a photoconductive antenna (photoconductive switch) as a terahertz wave generation source. A terahertz wave is generated by irradiating pump light from the laser 500 with a direct current voltage applied to a minute gap provided at the center of the photoconductive antenna of the terahertz wave generating unit 320. The frequency band of the terahertz wave generated from the terahertz wave generation unit 320 is, for example, not less than 0.5 THz and not more than 4.0 THz.

テラヘルツ波発生部３２０から発生したテラヘルツ波は、曲面ミラー２２０を介して、検査対象１００に照射される。なお、検査対象１００に入射するテラヘルツ波を入射波（入射光）Ｌ１とする。テラヘルツ波は、光の直進性を有しつつ、高分子への透過性を有しているため、検査対象１００を挟んで入射波Ｌ１と反対側からはテラヘルツ波が透過する。なお、検査対象１００から透過するテラヘルツ波を透過波（透過光）Ｌ２とする。 The terahertz wave generated from the terahertz wave generation unit 320 is applied to the inspection object 100 via the curved mirror 220. A terahertz wave incident on the inspection object 100 is referred to as an incident wave (incident light) L1. Since the terahertz wave has the light straightness and the permeability to the polymer, the terahertz wave is transmitted from the side opposite to the incident wave L1 across the inspection object 100. A terahertz wave transmitted from the inspection object 100 is referred to as a transmitted wave (transmitted light) L2.

検査対象１００から透過した透過波Ｌ２は、曲面ミラー２４０を介して、テラヘルツ波を検出する検出部３４０に照射される。一方で、検出部３４０には、ビームスプリッタ２８０、ミラー２９０および時間遅延装置２６０を介して、レーザ５００からのプローブ光が照射される。レーザ５００からのプローブ光は、時間遅延装置２６０により、テラヘルツ波発生部３２０に入射したポンプ光よりも所定時間遅延させた状態で、検出部３４０に照射される。検出部３４０は、例えば、テラヘルツ波発生部３２０と同様に、受光素子としての光伝導アンテナ（光伝導スイッチ）を有している。検出部３４０の光伝導アンテナの中央に設けられた微小ギャップに対して、検査対象１００から透過した透過波Ｌ２が照射されるとともに、レーザ５００からのプローブ光が照射されることにより、透過波Ｌ２の振動電場に比例した電流が出力される。なお、検出部３４０は、さらにアンプを有しており、透過波Ｌ２の振動電場に比例した電流を増幅して、後述する制御部４００に送信するようになっている。 The transmitted wave L2 transmitted from the inspection object 100 is irradiated to the detection unit 340 that detects the terahertz wave through the curved mirror 240. On the other hand, the detection unit 340 is irradiated with probe light from the laser 500 via the beam splitter 280, the mirror 290, and the time delay device 260. The probe light from the laser 500 is irradiated to the detection unit 340 in a state delayed by a predetermined time from the pump light incident on the terahertz wave generation unit 320 by the time delay device 260. For example, like the terahertz wave generation unit 320, the detection unit 340 includes a photoconductive antenna (photoconductive switch) as a light receiving element. A transmitted wave L2 transmitted from the inspection object 100 and a probe light from the laser 500 are irradiated to a minute gap provided at the center of the photoconductive antenna of the detection unit 340, thereby transmitting the transmitted wave L2. A current proportional to the oscillating electric field is output. The detection unit 340 further includes an amplifier, which amplifies a current proportional to the oscillating electric field of the transmitted wave L2 and transmits the amplified current to the control unit 400 described later.

（制御部）
図１に示されているように、異物検査装置１０には、制御部（コンピュータ部）４００が設けられている。制御部４００は、上記したテラヘルツ波発生部３２０、検出部３４０、レーザ５００に対して、有線または無線により通信可能に接続されている。制御部４００は、検査対象１００の異物検査に必要な動作制御を行うためのものであり、具体的には、ＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）、ＲＡＭ（ＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）、ＲＯＭ（ＲｅａｄＯｎｌｙＭｅｍｏｒｙ）、ＨＤＤ（Ｈａｒｄｄｉｓｋｄｒｉｖｅ）として構成された記憶手段４２０、各種インタフェース等の組み合わせからなるものである。 (Control part)
As shown in FIG. 1, the foreign matter inspection apparatus 10 is provided with a control unit (computer unit) 400. The control unit 400 is connected to the above-described terahertz wave generation unit 320, detection unit 340, and laser 500 so as to be communicable by wire or wirelessly. The control unit 400 is for performing operation control necessary for the foreign object inspection of the inspection object 100. Specifically, the CPU (Central Processing Unit), the RAM (Random Access Memory), the ROM (Read Only Memory), The storage unit 420 is configured as an HDD (Hard disk drive), and includes various interfaces.

記憶手段４２０は、異物検査に係る各種データやプログラムを記憶するよう構成されている。例えば、記憶手段４２０は、所定の高分子を含む標準試料に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトルや、検査対象１００に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトル等を記憶するよう構成されている。 The storage means 420 is configured to store various data and programs related to foreign object inspection. For example, the storage unit 420 has an absorption spectrum of a terahertz wave when a standard sample including a predetermined polymer is irradiated with a terahertz wave, or an absorption spectrum of a terahertz wave when the inspection target 100 is irradiated with a terahertz wave. Etc. are stored.

また、制御部４００は、ＣＰＵがＲＯＭまたは記憶手段４２０に格納された所定プログラムを実行することにより、各種手段として機能するように構成されている。
測定制御手段４４０は、検査対象１００に対して、テラヘルツ波を照射して、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定するように、テラヘルツ波発生部３２０、検出部３４０、およびレーザ５００を制御するよう構成されている。
異物判断手段４６０は、標準試料の吸収スペクトルと検査対象１００の吸収スペクトルとを比較し、検査対象１００の吸収スペクトルが標準試料の吸収スペクトルと異なっていたときに、検査対象１００内に異物があると判断するよう構成されている。
上記した各手段による異物検査方法については、詳細を後述する。 The control unit 400 is configured to function as various units when the CPU executes a predetermined program stored in the ROM or the storage unit 420.
The measurement control unit 440 is configured to control the terahertz wave generation unit 320, the detection unit 340, and the laser 500 so as to irradiate the inspection target 100 with a terahertz wave and measure the absorption spectrum of the terahertz wave. ing.
The foreign matter judging means 460 compares the absorption spectrum of the standard sample with the absorption spectrum of the inspection object 100, and when the absorption spectrum of the inspection object 100 is different from the absorption spectrum of the standard sample, there is a foreign substance in the inspection object 100. It is comprised so that it may judge.
Details of the foreign matter inspection method using the above-described means will be described later.

これらの各機能を実現するための所定プログラムは、制御部４００にインストールして用いられるが、そのインストールに先立ち、制御部４００で読み取り可能な記憶媒体に格納されて提供されるものであってもよいし、あるいは制御部４００と接続する通信回線を通じて当該制御部４００へ提供されるものであってもよい。また、所定プログラムがインストールされる制御部４００は、異物検査装置１０の各部に対して動作制御指示を与え得るものであれば、必ずしも当該異物検査装置１０に搭載されていなくてもよく、当該異物検査装置１０に通信回線を介して接続されたものであってもよい。 The predetermined program for realizing each of these functions is installed and used in the control unit 400, but may be provided by being stored in a storage medium readable by the control unit 400 prior to the installation. Alternatively, it may be provided to the control unit 400 through a communication line connected to the control unit 400. Further, the control unit 400 on which the predetermined program is installed may not necessarily be mounted on the foreign matter inspection apparatus 10 as long as it can give an operation control instruction to each part of the foreign matter inspection apparatus 10. It may be connected to the inspection apparatus 10 via a communication line.

（２）高分子の異物検査方法
次に、図２を用い、本実施形態に係る高分子の異物検査方法について説明する。図２は、本実施形態に係る高分子の異物検査方法におけるフローを示す図である。 (2) Polymer foreign matter inspection method Next, a polymer foreign matter inspection method according to the present embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram showing a flow in the polymer foreign matter inspection method according to the present embodiment.

本実施形態の高分子の異物検査工程（後述Ｓ１１０〜Ｓ１８０）は、例えば、電力ケーブルの製造工程のうちの一工程として行われる。例えば、完成品の電力ケーブルからケーブル導体を除いた被覆層（内部半導電層および外部半導電層を含む）からなる円筒状の試料、または、完成品の電力ケーブルのうちのケーブル絶縁体の一部を（短手方向または軸方向に数ｍｍの厚さで）切り出した板状の試料を、検査対象１００とする。なお、以下において、ステップを「Ｓ」と略す。 The polymer foreign matter inspection process (described later in S110 to S180) of the present embodiment is performed, for example, as one process in the power cable manufacturing process. For example, a cylindrical sample made of a coating layer (including an inner semiconductive layer and an outer semiconductive layer) obtained by removing a cable conductor from a finished power cable, or a cable insulator of a finished power cable. A plate-like sample obtained by cutting out a portion (with a thickness of several mm in the short side direction or the axial direction) is set as an inspection object 100. In the following, step is abbreviated as “S”.

（Ｓ１１０：標準試料用意工程）
まず、検査対象１００の異物検査を行う前に、異物が混入していないことが分かっている所定の高分子を含む標準試料に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトルを用意する（Ｓ１１０）。例えば、電力ケーブルの被覆層の正常部を標準試料とする。なお、後述する検査対象測定工程Ｓ１２０と同じ工程によって標準試料を測定してもよいし、電子データとして標準試料の吸収スペクトルを用意しておいてもよい。 (S110: Standard sample preparation process)
First, before the foreign object inspection of the inspection object 100 is performed, an absorption spectrum of a terahertz wave when a terahertz wave is irradiated to a standard sample containing a predetermined polymer that is known not to contain foreign substances is prepared. (S110). For example, the normal part of the coating layer of the power cable is used as the standard sample. The standard sample may be measured by the same process as the inspection object measurement process S120 described later, or an absorption spectrum of the standard sample may be prepared as electronic data.

（Ｓ１２０：検査対象測定工程）
次に、標準試料と同じ高分子を含む検査対象１００を異物検査装置１０内に配置する。そして、測定制御手段４４０は、例えば以下のような時間領域分光法により、検査対象１００に対して、テラヘルツ波を照射して、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定する。 (S120: Inspection target measurement process)
Next, the inspection object 100 containing the same polymer as the standard sample is placed in the foreign object inspection apparatus 10. And the measurement control means 440 measures the absorption spectrum of a terahertz wave by irradiating the test object 100 with a terahertz wave by, for example, the following time domain spectroscopy.

図１に示されているように、レーザ５００からテラヘルツ波発生部３２０に対してポンプ光を照射することにより、テラヘルツ波発生部３２０からテラヘルツ波を発生させる。テラヘルツ波発生部３２０から検査対象１００に対してテラヘルツ波の入射波Ｌ１を入射させ、検査対象１００からテラヘルツ波の透過波Ｌ２を透過させる。一方で、レーザ５００から検出部３４０に対してポンプ光よりも所定時間遅延させたプローブ光を照射することにより、検出部３４０から透過波Ｌ２の振動電場に比例した電流を出力する。このとき、時間遅延装置２６０によりポンプ光に対するプローブ光の遅延時間を変化させることにより、透過波Ｌ２の振動電場の時間波形を計測する。そして、計測された透過波Ｌ２の時間波形をフーリエ変換することにより、透過波Ｌ２の周波数ごとの振幅および位相の情報を得る。そして、透過波Ｌ２と予め検査対象１００の無い状態で計測した透過波との比をとることにより、検査対象１００の透過スペクトルＴ（ｆ）（ｆ：周波数）を求め、以下の式（１）により検査対象１００の吸収スペクトルα（ｆ）を得る（以上、Ｓ１２０）。
α（ｆ）＝ｌｏｇ（１／Ｔ（ｆ））・・・（１） As shown in FIG. 1, terahertz waves are generated from the terahertz wave generation unit 320 by irradiating the terahertz wave generation unit 320 with pump light from the laser 500. The incident wave L1 of the terahertz wave is incident on the inspection object 100 from the terahertz wave generation unit 320, and the transmitted wave L2 of the terahertz wave is transmitted from the inspection object 100. On the other hand, a current proportional to the oscillating electric field of the transmitted wave L2 is output from the detection unit 340 by irradiating the detection light from the laser 500 to the detection unit 340 with probe light delayed by a predetermined time from the pump light. At this time, the time waveform of the oscillating electric field of the transmitted wave L2 is measured by changing the delay time of the probe light with respect to the pump light by the time delay device 260. And the information of the amplitude and phase for every frequency of transmitted wave L2 is obtained by carrying out Fourier transform of the time waveform of measured transmitted wave L2. And the transmission spectrum T (f) (f: frequency) of the test object 100 is calculated | required by taking the ratio of the transmitted wave L2 and the transmitted wave measured beforehand in the state without the test object 100, and the following formula | equation (1) Thus, the absorption spectrum α (f) of the inspection object 100 is obtained (S120).
α (f) = log (1 / T (f)) (1)

（Ｓ２００：異物判断工程）
次に、異物判断手段４６０は、標準試料の吸収スペクトルと検査対象１００の吸収スペクトルとを比較し、検査対象１００の吸収スペクトルが標準試料の吸収スペクトルと異なっていたときに、検査対象１００内に異物があると判断する（Ｓ２００）。異物判断工程Ｓ２００については、詳細を後述する。 (S200: Foreign matter determination step)
Next, the foreign matter determining means 460 compares the absorption spectrum of the standard sample with the absorption spectrum of the inspection object 100, and when the absorption spectrum of the inspection object 100 is different from the absorption spectrum of the standard sample, It is determined that there is a foreign object (S200). Details of the foreign matter determination step S200 will be described later.

（Ｓ１８０：検査終了判定工程）
その後、制御部４００は、異物判断工程Ｓ２００を終了するか否かを判定する（Ｓ１８０）。異物判断工程Ｓ２００を終了せず継続させるとき（Ｓ１８０でＮｏ）、別の検査対象１００、または検査対象１００内の別の検査位置において、再び検査対象測定工程Ｓ１２０から異物判断工程Ｓ２００までの工程を繰り返す。一方で、異物判断工程Ｓ２００を終了するとき（Ｓ１８０でＹｅｓ）、一連の異物検査工程を終了する。 (S180: Inspection end determination step)
Thereafter, the control unit 400 determines whether or not to end the foreign matter determination step S200 (S180). When the foreign matter determination step S200 is continued without being ended (No in S180), the steps from the inspection target measurement step S120 to the foreign matter determination step S200 are performed again at another inspection target 100 or another inspection position in the inspection target 100. repeat. On the other hand, when the foreign matter determination step S200 is finished (Yes in S180), a series of foreign matter inspection steps is finished.

（３）異物判断工程
次に、図２〜４を用い、本実施形態の異物判断工程Ｓ２００について説明する。図３は、標準試料、試料１および２におけるテラヘルツ波の吸収スペクトルである。図４は、標準試料、および試料３におけるテラヘルツ波の吸収スペクトルである。 (3) Foreign object determination process Next, the foreign object determination process S200 of the present embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 3 is an absorption spectrum of terahertz waves in the standard sample and samples 1 and 2. FIG. 4 is an absorption spectrum of a terahertz wave in the standard sample and the sample 3.

本実施形態の異物判断工程Ｓ２００では、例えば、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲で、標準試料の吸収スペクトルと検査対象の吸収スペクトルとを比較し、標準試料の吸収スペクトルと検査対象の吸収スペクトルとの違いに基づいて、検査対象１００に含まれる異物の種類を判別する。以下、具体例（試料１〜３の結果）を用いて、図２のフローに基づいて詳細を説明する。 In the foreign matter determination step S200 of the present embodiment, for example, the absorption spectrum of the standard sample is compared with the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz, and the absorption spectrum of the standard sample and the absorption of the inspection object are compared. Based on the difference from the spectrum, the type of foreign matter contained in the inspection object 100 is determined. Hereinafter, details will be described based on the flow of FIG. 2 using specific examples (results of samples 1 to 3).

（ｉ）試料１
図３を用い、検査対象１００が試料１である場合について説明する。なお、標準試料はポリエチレンからなり、試料１も標準試料と同様にポリエチレンからなっている。図３に示されているように、試料１に対する検査対象測定工程Ｓ１２０により、試料１の吸収スペクトルが測定されている。 (I) Sample 1
A case where the inspection object 100 is the sample 1 will be described with reference to FIG. The standard sample is made of polyethylene, and the sample 1 is also made of polyethylene in the same manner as the standard sample. As shown in FIG. 3, the absorption spectrum of the sample 1 is measured by the inspection object measurement step S <b> 120 for the sample 1.

（Ｓ２１０：条件１判定）
ここで、標準試料の吸収スペクトルと試料１の吸収スペクトルとを比較し、検査対象１００の吸収スペクトルが以下の条件１を満たすか否かを判断する（Ｓ２１０）。
［条件１］
（ａ）０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収強度が標準試料の吸収強度よりも増大している。
（ｂ）０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収スペクトルのピーク個数が標準試料の吸収スペクトルのピーク個数と等しい（または標準試料の吸収スペクトルのピーク個数以下である）。
（ｃ）検査対象１００の吸収スペクトルのピークが標準試料の吸収スペクトルのピークと同じ周波数に位置している。 (S210: Condition 1 determination)
Here, the absorption spectrum of the standard sample and the absorption spectrum of the sample 1 are compared, and it is determined whether or not the absorption spectrum of the inspection object 100 satisfies the following condition 1 (S210).
[Condition 1]
(A) The absorption intensity of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample.
(B) The number of peaks of the absorption spectrum of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is equal to the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample (or less than the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample).
(C) The peak of the absorption spectrum of the inspection object 100 is located at the same frequency as the peak of the absorption spectrum of the standard sample.

条件１は、例えば、検査対象１００に含まれる異物がアンバー（高分子の熱老化、酸化劣化、または早期架橋）であり、且つ、高分子の（熱老化等の）反応の進行具合が標準試料での高分子の反応の進行具合よりも大きく、後述するアンバーＢでの高分子の反応の進行具合よりも小さい場合（アンバーＡとする）を判断する条件である。アンバーＡでは、高分子の熱老化等の反応が標準試料よりも進行した結果、高分子の結晶性が低下するため、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収強度が標準試料の吸収強度よりも増大すると考えられる。また、アンバーＡでは、高分子の組成自体は標準試料と変わらず、高分子の結晶部が残存しているため、検査対象１００の吸収スペクトルのピークが標準試料の吸収スペクトルのピークと同じ周波数に位置すると考えられる。 Condition 1 is, for example, that the foreign matter contained in the test object 100 is amber (polymer thermal aging, oxidative degradation, or premature crosslinking), and the progress of the polymer reaction (such as thermal aging) is a standard sample. It is a condition for judging a case where it is larger than the degree of progress of the polymer reaction at (1) and smaller than the degree of progress of the polymer reaction at Amber B (to be described later). In Amber A, the polymer crystallinity decreases as a result of the progress of polymer thermal aging and the like as compared with the standard sample. Therefore, the absorption intensity of the test object 100 is in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. It is considered that the absorption intensity of the standard sample increases. In Amber A, the polymer composition itself is the same as that of the standard sample, and the crystal part of the polymer remains, so that the peak of the absorption spectrum of the test object 100 has the same frequency as the peak of the absorption spectrum of the standard sample. It is considered to be located.

（Ｓ２４０：アンバーＡ判断）
図３において、標準試料の吸収スペクトルと試料１の吸収スペクトルとを比較すると、標準試料の吸収スペクトルでは、周波数が高くなるに従って吸収強度（吸光度）が緩やかに増加しており、また、２．１ＴＨｚ以上２．２ＴＨｚ以下において、ポリエチレンの結晶部由来のピークＰ₀が現れている。これに対して、試料１の吸収スペクトルでは、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での吸収強度が標準試料の吸収強度よりも増大し、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での吸収スペクトルのピーク個数が標準試料の吸収スペクトルのピーク個数と等しく、且つ、ポリエチレンの結晶部由来のピークＰ₁が標準試料のポリエチレンの結晶部由来のピークＰ₀と同じ周波数に位置している。したがって、試料１の吸収スペクトルは条件１を満たしている（Ｓ２１０でＹｅｓ）。このとき、異物判断手段４６０は、試料１内に異物があり、その異物がアンバーＡであると判断する（Ｓ２４０）。 (S240: Amber A judgment)
In FIG. 3, when the absorption spectrum of the standard sample and the absorption spectrum of the sample 1 are compared, in the absorption spectrum of the standard sample, the absorption intensity (absorbance) gradually increases as the frequency increases, and 2.1 THz. Above and below 2.2 THz, a peak P ₀ derived from the crystal part of polyethylene appears. On the other hand, in the absorption spectrum of sample 1, the absorption intensity in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is larger than the absorption intensity of the standard sample, and in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. The number of peaks in the absorption spectrum is equal to the number of peaks in the absorption spectrum of the standard sample, and the peak P ₁ derived from the polyethylene crystal part is located at the same frequency as the peak P ₀ derived from the polyethylene crystal part of the standard sample. . Therefore, the absorption spectrum of Sample 1 satisfies Condition 1 (Yes in S210). At this time, the foreign matter determination means 460 determines that there is a foreign matter in the sample 1 and that the foreign matter is amber A (S240).

（ｉｉ）試料２
次に、図３を用い、検査対象１００が試料２である場合について説明する。なお、試料２も標準試料と同様にポリエチレンからなっている。図３に示されているように、試料２に対する検査対象測定工程Ｓ１２０により、試料２の吸収スペクトルが測定されている。 (Ii) Sample 2
Next, the case where the inspection object 100 is the sample 2 will be described with reference to FIG. The sample 2 is also made of polyethylene like the standard sample. As shown in FIG. 3, the absorption spectrum of the sample 2 is measured by the inspection object measurement step S <b> 120 for the sample 2.

図３に示されているように、試料２の吸収スペクトルでは、標準試料のポリエチレンの結晶部由来のピークＰ₀と同じ周波数にピークが現れていない。したがって、試料２の吸収スペクトルは条件１の（ｃ）を満たしていない（Ｓ２１０でＮｏ）。 As shown in FIG. 3, in the absorption spectrum of sample 2, no peak appears at the same frequency as peak P ₀ derived from the crystal part of polyethylene of the standard sample. Therefore, the absorption spectrum of the sample 2 does not satisfy the condition 1 (c) (No in S210).

（Ｓ２２０：条件２判定）
試料２の吸収スペクトルが条件１を満たしていないとき（Ｓ２１０でＮｏ）、標準試料の吸収スペクトルと試料２の吸収スペクトルとを比較し、検査対象１００の吸収スペクトルが以下の条件２を満たすか否かを判断する（Ｓ２２０）。
［条件２］
（ａ）０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収強度が標準試料の吸収強度よりも増大している。
（ｂ）０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収スペクトルのピーク個数が標準試料の吸収スペクトルのピーク個数と等しい（または標準試料の吸収スペクトルのピーク個数以下である）。
（ｃ）０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収スペクトルの極大ピーク（極大点）が２．６ＴＨｚ以上２．９ＴＨｚ以下の範囲に位置している。 (S220: Condition 2 determination)
When the absorption spectrum of the sample 2 does not satisfy the condition 1 (No in S210), the absorption spectrum of the standard sample and the absorption spectrum of the sample 2 are compared, and whether or not the absorption spectrum of the inspection object 100 satisfies the following condition 2 Is determined (S220).
[Condition 2]
(A) The absorption intensity of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample.
(B) The number of peaks of the absorption spectrum of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is equal to the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample (or less than the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample).
(C) The maximum peak (maximum point) of the absorption spectrum of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is located in the range of 2.6 THz to 2.9 THz.

条件２は、例えば、検査対象１００に含まれる異物がアンバーであり、且つ、高分子の（熱老化等の）反応の進行具合が上述したアンバーＡでの高分子の反応の進行具合よりも大きい場合（大アンバーまたはアンバーＢとする）を判断する条件である。アンバーＢにおいても、高分子の熱老化等の反応が標準試料よりも進行した結果、高分子の結晶性が低下するため、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収強度が標準試料の吸収強度よりも増大すると考えられる。また、アンバーＢでは、高分子の熱老化等の反応により、酸化が大きく進行する。このため、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収スペクトルが緩やかな上に凸のスペクトルとなり、極大ピークが２．６ＴＨｚ以上２．９ＴＨｚ以下の範囲に位置すると考えられる。 Condition 2 is, for example, that the foreign matter contained in the test object 100 is amber, and the progress of the polymer reaction (such as thermal aging) is larger than the progress of the polymer reaction in the amber A described above. This is a condition for determining the case (large amber or amber B). Also in Amber B, the polymer crystallinity is lowered as a result of the progress of the polymer thermal aging reaction as compared with the standard sample, so that the absorption intensity of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. Is considered to increase more than the absorption intensity of the standard sample. In amber B, oxidation proceeds greatly due to a reaction such as thermal aging of the polymer. For this reason, it is considered that the absorption spectrum of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz becomes a gentle and convex spectrum, and the maximum peak is located in the range of 2.6 THz to 2.9 THz.

（Ｓ２５０：アンバーＢ判断）
図３において、標準試料の吸収スペクトルと試料２の吸収スペクトルとを比較すると、試料２の吸収スペクトルでは、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での吸収強度が標準試料の吸収強度よりも増大し、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での吸収スペクトルのピーク個数が標準試料の吸収スペクトルのピーク個数と等しく、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での試料２の吸収スペクトルの極大ピークＰ₂が２．６ＴＨｚ以上２．９ＴＨｚ以下の範囲に位置している。したがって、試料２の吸収スペクトルは条件２を満たしている（Ｓ２２０でＹｅｓ）。このとき、異物判断手段４６０は、試料２内に異物があり、その異物がアンバーＢであると判断する（Ｓ２４０）。 (S250: Amber B judgment)
In FIG. 3, when the absorption spectrum of the standard sample is compared with the absorption spectrum of the sample 2, in the absorption spectrum of the sample 2, the absorption intensity in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is higher than the absorption intensity of the standard sample. In addition, the peak number of the absorption spectrum in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is equal to the peak number of the absorption spectrum of the standard sample, and the sample 2 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is used. maximum peak P ₂ of the absorption spectrum is positioned 2.9THz following range of 2.6THz. Therefore, the absorption spectrum of Sample 2 satisfies Condition 2 (Yes in S220). At this time, the foreign matter determination means 460 determines that there is a foreign matter in the sample 2 and that the foreign matter is amber B (S240).

（ｉｉｉ）試料３
次に、図４を用い、検査対象１００が試料３である場合について説明する。なお、試料３も標準試料と同様に主にポリエチレンからなっている。図４に示されているように、試料３に対する検査対象測定工程Ｓ１２０により、試料３の吸収スペクトルが測定されている。 (Iii) Sample 3
Next, a case where the inspection object 100 is the sample 3 will be described with reference to FIG. Sample 3 is mainly made of polyethylene as in the standard sample. As shown in FIG. 4, the absorption spectrum of the sample 3 is measured by the inspection object measurement step S <b> 120 for the sample 3.

図４に示されているように、試料３の吸収スペクトルでは、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での吸収スペクトルのピーク個数が標準試料の吸収スペクトルのピーク個数と異なっている。したがって、試料３の吸収スペクトルは条件１の（ｂ）を満たしていない（Ｓ２１０でＮｏ）。また、試料３の吸収スペクトルでは、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での吸収スペクトルの極大ピークＰ₃₄が３．３ＴＨｚ以上３．７ＴＨｚ以下の範囲に位置し、２．６ＴＨｚ以上２．９ＴＨｚ以下の範囲に位置していない。したがって、試料３の吸収スペクトルは条件２の（ｃ）を満たしていない（Ｓ２２０でＮｏ）。 As shown in FIG. 4, in the absorption spectrum of sample 3, the number of peaks of the absorption spectrum in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is different from the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample. Therefore, the absorption spectrum of the sample 3 does not satisfy the condition 1 (b) (No in S210). Further, in the absorption spectrum of Sample 3, the maximum peak P ₃₄ of the absorption spectrum in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is located in the range of 3.3 THz to 3.7 THz, and 2.6 THz to 2.9 THz. It is not located in the following range. Therefore, the absorption spectrum of the sample 3 does not satisfy the condition 2 (c) (No in S220).

（Ｓ２３０：条件３判定）
試料３の吸収スペクトルが条件１を満たさず（Ｓ２１０でＮｏ）、条件２を満たしていないとき（Ｓ２２０でＮｏ）、標準試料の吸収スペクトルと試料３の吸収スペクトルとを比較し、検査対象１００の吸収スペクトルが以下の条件３を満たすか否かを判断する（Ｓ２２０）。
［条件３］
（ａ）０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収強度が標準試料の吸収強度よりも増大している。
（ｂ）０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収スペクトルのピーク個数が標準試料の吸収スペクトルのピーク個数よりも増加している。
（ｃ）検査対象１００の吸収スペクトルでの高分子の結晶部由来のピークが標準試料での吸収スペクトルでの高分子の結晶部由来のピークよりもブロードになっている（周波数方向に広がっている）。
なお、条件３において、少なくとも（ａ）および（ｂ）を満たすかを判断し、判断の信頼性を向上させるためにさらに（ｃ）を満たすかを判断する。 (S230: Condition 3 determination)
When the absorption spectrum of the sample 3 does not satisfy the condition 1 (No in S210) and does not satisfy the condition 2 (No in S220), the absorption spectrum of the standard sample and the absorption spectrum of the sample 3 are compared, and It is determined whether or not the absorption spectrum satisfies the following condition 3 (S220).
[Condition 3]
(A) The absorption intensity of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample.
(B) The number of peaks of the absorption spectrum of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample.
(C) The peak derived from the polymer crystal part in the absorption spectrum of the test object 100 is broader than the peak derived from the polymer crystal part in the absorption spectrum of the standard sample (spread in the frequency direction). ).
In condition 3, it is determined whether or not at least (a) and (b) are satisfied, and in order to improve the reliability of determination, it is further determined whether or not (c) is satisfied.

条件３は、例えば、検査対象１００内に含まれる異物が無機物を含む場合を判断する条件である。無機物としては、例えば、鉄、銅、ステンレス、クロム、ニッケル等の金属や、シリカ、クレー、タルク、マグネシア、アルミナ等の無機化合物が挙げられる。無機物では、テラヘルツ波が透過しない、またはテラヘルツ波の吸収強度が大きいため、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収強度が標準試料の吸収強度よりも増大すると考えられる。また、無機物では、テラヘルツ波が散乱されるため、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での検査対象１００の吸収スペクトルのピーク個数が標準試料の吸収スペクトルのピーク個数よりも増加すると考えられる。また、無機物では、テラヘルツ波が散乱されるため、検査対象１００の吸収スペクトルでの高分子の結晶部由来のピークが標準試料での吸収スペクトルでの高分子の結晶部由来のピークよりもブロードになると考えられる。 The condition 3 is a condition for determining, for example, a case where the foreign matter included in the inspection target 100 includes an inorganic substance. Examples of the inorganic substance include metals such as iron, copper, stainless steel, chromium, and nickel, and inorganic compounds such as silica, clay, talc, magnesia, and alumina. In inorganic substances, terahertz waves are not transmitted, or the absorption intensity of terahertz waves is large. Therefore, it is considered that the absorption intensity of the test object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is higher than the absorption intensity of the standard sample. In addition, since terahertz waves are scattered in an inorganic substance, it is considered that the number of peaks in the absorption spectrum of the inspection object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the number of peaks in the absorption spectrum of the standard sample. In addition, since the terahertz wave is scattered in the inorganic substance, the peak derived from the polymer crystal part in the absorption spectrum of the inspection object 100 is broader than the peak derived from the polymer crystal part in the absorption spectrum of the standard sample. It is considered to be.

（Ｓ２６０：無機物判断）
図４において、標準試料の吸収スペクトルと試料３の吸収スペクトルとを比較すると、試料３の吸収スペクトルでは、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での吸収強度が標準試料の吸収強度よりも増大し、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲で、４つ以上のピーク（Ｐ₃₁〜Ｐ₃₄）が現れており、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での試料３の吸収スペクトルのピーク個数が標準試料の吸収スペクトルのピーク個数よりも増加している。したがって、試料３の吸収スペクトルは条件３を満たしている（Ｓ２３０でＹｅｓ）。このとき、異物判断手段４６０は、試料３内に異物があり、その異物が無機物を含むと判断する（Ｓ２６０）。 (S260: Inorganic matter judgment)
In FIG. 4, when the absorption spectrum of the standard sample is compared with the absorption spectrum of the sample 3, in the absorption spectrum of the sample 3, the absorption intensity in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is higher than the absorption intensity of the standard sample. In addition, four or more peaks (P _{31 to} P ₃₄ ) appear in the range from 0.5 THz to 4.0 THz, and the absorption spectrum of Sample 3 in the range from 0.5 THz to 4.0 THz. The number of peaks is increased from the number of peaks in the absorption spectrum of the standard sample. Therefore, the absorption spectrum of the sample 3 satisfies the condition 3 (Yes in S230). At this time, the foreign matter determination means 460 determines that there is a foreign matter in the sample 3 and that the foreign matter contains an inorganic substance (S260).

さらに、試料３の吸収スペクトルでのポリエチレンの結晶部由来のピークＰ₃₂が、標準試料での吸収スペクトルでのポリエチレンの結晶部由来のピークＰ₀よりもブロードになっている。したがって、試料３の吸収スペクトルは、条件３の（ｃ）をさらに満たしている。これにより、試料３内に含まれる異物が無機物を含むとの判断の信頼性を向上させることができる。 Further, the peak P ₃₂ derived from the polyethylene crystal part in the absorption spectrum of the sample 3 is broader than the peak P ₀ derived from the polyethylene crystal part in the absorption spectrum of the standard sample. Therefore, the absorption spectrum of the sample 3 further satisfies the condition 3 (c). Thereby, the reliability of the judgment that the foreign material contained in the sample 3 contains an inorganic substance can be improved.

（ｉｖ）その他
検査対象１００の吸収スペクトルが条件１〜３を満たしていないとき（Ｓ２１０でＮｏ，Ｓ２２０でＮｏ，Ｓ２３０でＮｏ）、異物判断手段４６０は、試料３内に少なくともアンバーＡ、アンバーＢ、または無機物を含む異物は無いと判断する（Ｓ２７０）。 (Iv) Others When the absorption spectrum of the inspection object 100 does not satisfy the conditions 1 to 3 (No in S210, No in S220, No in S230), the foreign matter determination means 460 includes at least amber A and amber B in the sample 3. Or, it is determined that there is no foreign matter containing an inorganic substance (S270).

（４）本実施形態に係る効果
本実施形態によれば、以下に示す１つ又は複数の効果を奏する。 (4) Effects according to the present embodiment According to the present embodiment, the following one or more effects are achieved.

（ａ）本実施形態によれば、検査対象１００のテラヘルツ波の吸収スペクトルを測定する。検査対象１００内に無機物を含む異物がある場合だけでなく、検査対象１００内に異物としてアンバーがある場合であっても、検査対象１００のテラヘルツ波の吸収スペクトルは、標準試料のテラヘルツ波の吸収スペクトルから変化しうる。したがって、標準試料のテラヘルツ波の吸収スペクトルと検査対象１００のテラヘルツ波の吸収スペクトルとを比較し、両者の違いを検出することにより、検査対象１００内において、無機物を含む異物だけでなくアンバーも非破壊で検出することが可能となる。 (A) According to this embodiment, the absorption spectrum of the terahertz wave of the inspection object 100 is measured. The absorption spectrum of the terahertz wave of the inspection object 100 is the absorption of the terahertz wave of the standard sample, not only when the inspection object 100 includes a foreign substance containing an inorganic substance but also when the inspection object 100 has an amber as a foreign object. Can vary from spectrum. Therefore, by comparing the absorption spectrum of the terahertz wave of the standard sample with the absorption spectrum of the terahertz wave of the inspection object 100 and detecting the difference between them, not only the foreign matter including inorganic substances but also the amber is not detected in the inspection object 100. It can be detected by destruction.

なお、参考までに、従来の可視光を用いた異物検査では、高分子が可視域で透明である場合に限られていた。また、従来のＸ線を用いた異物検査では、正常な高分子とアンバーとを区別することができず、アンバーを検出することが出来なかった。これに対して、本実施形態によれば、テラヘルツ波を用いた異物検査により、検査対象１００が可視域で透明でない場合であっても、正常な高分子とアンバーとを区別し、検査対象１００内の異物としてアンバーを検出することができる。 For reference, the conventional foreign matter inspection using visible light is limited to the case where the polymer is transparent in the visible region. Further, in the conventional foreign matter inspection using X-rays, normal polymer and amber cannot be distinguished, and amber cannot be detected. On the other hand, according to the present embodiment, even when the inspection object 100 is not transparent in the visible region by the foreign substance inspection using the terahertz wave, the normal polymer and the amber are distinguished, and the inspection object 100 is detected. Amber can be detected as a foreign matter inside.

（ｂ）本実施形態によれば、異物判断工程Ｓ２００では、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲で、標準試料の吸収スペクトルと検査対象１００の吸収スペクトルとを比較する。０．５ＴＨｚ未満、または４．０ＴＨｚ超の範囲での吸収スペクトルでは異物の影響を判断することは困難である。これに対して、検査対象１００中に異物が存在する場合、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での吸収スペクトルにおいて特に顕著に変化が生じうる。したがって、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での吸収スペクトルを比較することにより、安定的に検査対象１００中の異物を検出することができる。 (B) According to the present embodiment, in the foreign matter determination step S200, the absorption spectrum of the standard sample is compared with the absorption spectrum of the inspection object 100 in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. It is difficult to determine the influence of a foreign substance with an absorption spectrum in a range of less than 0.5 THz or more than 4.0 THz. On the other hand, when a foreign substance is present in the inspection object 100, a particularly significant change can occur in the absorption spectrum in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. Therefore, by comparing absorption spectra in the range of 0.5 THz or more and 4.0 THz or less, the foreign matter in the inspection object 100 can be detected stably.

（ｃ）本実施形態によれば、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲で、標準試料の吸収スペクトルと検査対象の吸収スペクトルとを比較し、標準試料の吸収スペクトルと検査対象の吸収スペクトルとの違いに基づいて、検査対象１００に含まれる異物の種類を判別する。例えば、上記した条件１〜３のそれぞれを満たすか否かを判断することにより、異物がアンバーＡであるか、異物がアンバーＢであるか、或いは、異物が無機物を含んでいるかを判断することができる。 (C) According to the present embodiment, the absorption spectrum of the standard sample is compared with the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz, and the absorption spectrum of the standard sample and the absorption spectrum of the inspection object Based on the difference, the type of foreign matter contained in the inspection object 100 is determined. For example, by determining whether each of the above conditions 1 to 3 is satisfied, it is determined whether the foreign matter is amber A, the foreign matter is amber B, or the foreign matter contains an inorganic substance. Can do.

（ｄ）本実施形態によれば、検査対象１００の吸収スペクトルが条件１を満たす場合に、検査対象１００内の異物がアンバーＡであると判断し、検査対象１００の吸収スペクトルが条件２を満たす場合に、検査対象１００内の異物がアンバーＢであり、異物としてのアンバーＢでの高分子の反応の進行具合がアンバーＡでの高分子の反応の進行具合よりも大きいと判断する。このように、検査対象１００内の異物としてアンバーの有無を検出するだけでなく、アンバーにおける高分子の反応の進行具合も把握することができる。これにより、異物としてのアンバーにおける高分子の反応の進行具合に応じて、ケーブル絶縁体の絶縁性能への影響を予測することが可能となる。 (D) According to the present embodiment, when the absorption spectrum of the inspection object 100 satisfies the condition 1, it is determined that the foreign substance in the inspection object 100 is amber A, and the absorption spectrum of the inspection object 100 satisfies the condition 2. In this case, it is determined that the foreign matter in the inspection target 100 is amber B, and the progress of the polymer reaction in the amber B as the foreign matter is larger than the progress of the polymer reaction in the amber A. Thus, not only the presence / absence of amber as a foreign substance in the test object 100 can be detected, but also the progress of the polymer reaction in the amber can be grasped. This makes it possible to predict the influence on the insulation performance of the cable insulator according to the progress of the polymer reaction in the amber as a foreign substance.

＜本発明の第２実施形態＞
次に、本発明の第２実施形態について説明する。本実施形態では、異物検査工程を、ケーブル絶縁体を押出形成する際に行う点が第１実施形態と異なる。以下、第１実施形態と異なる要素についてのみ説明し、第１実施形態で説明した要素と実質的に同一の要素には、同一の符号を付してその説明を省略する。 <Second Embodiment of the Present Invention>
Next, a second embodiment of the present invention will be described. This embodiment is different from the first embodiment in that the foreign substance inspection process is performed when the cable insulator is formed by extrusion. Hereinafter, only elements different from those of the first embodiment will be described, and elements substantially the same as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted.

（異物検査装置）
本実施形態の異物検査装置１０は、例えば、ケーブル絶縁体を形成するための製造装置の一部に取り付けられている。具体的には、押出機と押出機の先端に設けられたクロスヘッドとの間のネック部分において、高分子（樹脂）の流路を挟んだ両側に、サファイアガラスが設けられている。サファイアガラスの一方にテラヘルツ波発生部３２０および曲面ミラー２２０が配置され、サファイアガラスの他方に検出部３４０および曲面ミラー２４０が配置されている。つまり、本実施形態における検査対象１００は、ケーブル絶縁体をケーブル導体の外周に押出形成する際に、溶融した状態で上記ネック部分に流れている高分子として構成されている。 (Foreign substance inspection device)
The foreign substance inspection apparatus 10 of this embodiment is attached to a part of manufacturing apparatus for forming a cable insulator, for example. Specifically, sapphire glass is provided on both sides of the polymer (resin) flow path at the neck portion between the extruder and the crosshead provided at the tip of the extruder. The terahertz wave generation unit 320 and the curved mirror 220 are arranged on one side of the sapphire glass, and the detection unit 340 and the curved mirror 240 are arranged on the other side of the sapphire glass. That is, the inspection object 100 in the present embodiment is configured as a polymer that flows in the neck portion in a molten state when the cable insulator is formed on the outer periphery of the cable conductor.

（異物検査方法）
標準試料用意工程Ｓ１１０では、例えば、ケーブル絶縁体を押出形成する際における初期の溶融状態の高分子を標準試料として、標準試料の吸収スペクトルを測定する。 (Foreign matter inspection method)
In the standard sample preparation step S110, for example, the absorption spectrum of the standard sample is measured using the polymer in the initial molten state when the cable insulator is formed by extrusion as the standard sample.

次に、検査対象測定工程Ｓ１２０では、ケーブル絶縁体を押出形成する際の溶融した高分子を検査対象１００として、検査対象１００の吸収スペクトルを測定する。ケーブル絶縁体が連続的に押し出された状態で、検査対象１００の吸収スペクトルを所定の測定周期で連続的に測定する。 Next, in the inspection object measurement step S120, the absorption spectrum of the inspection object 100 is measured using the polymer melted when the cable insulator is formed by extrusion as the inspection object 100. With the cable insulator continuously pushed out, the absorption spectrum of the inspection object 100 is continuously measured at a predetermined measurement period.

異物判断工程Ｓ２００では、所定の測定周期で検査対象１００の吸収スペクトルが測定される毎に、検査対象１００の吸収スペクトルと標準試料の吸収スペクトルとを比較して、検査対象１００内に異物があるかを連続的に判断する。 In the foreign object determination step S200, every time the absorption spectrum of the inspection object 100 is measured at a predetermined measurement cycle, the absorption spectrum of the inspection object 100 is compared with the absorption spectrum of the standard sample, and there is a foreign object in the inspection object 100. It is judged continuously.

（効果）
本実施形態によれば、検査対象１００としての高分子の状態によらず、検査対象１００のテラヘルツ波の吸収スペクトルを測定することができる。例えば、電力ケーブルの製造工程において、ケーブル絶縁体を押出形成する際の溶融した高分子を検査対象１００として、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定することができる。 (effect)
According to this embodiment, the absorption spectrum of the terahertz wave of the inspection object 100 can be measured regardless of the state of the polymer as the inspection object 100. For example, in the manufacturing process of a power cable, the absorption spectrum of a terahertz wave can be measured using the molten polymer at the time of extrusion forming a cable insulator as the inspection object 100.

また、本実施形態によれば、ケーブル絶縁体を押出形成する際において、検査対象１００内の異物を連続的に検査することができる。したがって、電力ケーブルの製造工程中に異物を検出することで、異物が混入した電力ケーブルが流出することを未然に防ぐことができる。 Moreover, according to this embodiment, when the cable insulator is formed by extrusion, the foreign matter in the inspection object 100 can be continuously inspected. Therefore, it is possible to prevent the power cable mixed with the foreign matter from flowing out by detecting the foreign matter during the manufacturing process of the power cable.

＜本発明の他の実施形態＞
以上、本発明の実施形態について具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。 <Other Embodiments of the Present Invention>
As mentioned above, although embodiment of this invention was described concretely, this invention is not limited to the above-mentioned embodiment, It can change variously in the range which does not deviate from the summary.

上述の実施形態では、ケーブル絶縁体を検査対象１００とする場合について説明したが、内部半導電層、外部半導電層、または防食層等を検査対象としてもよい。さらに言えば、電力ケーブル以外の試料を検査対象としてもよい。 In the above-described embodiment, the case where the cable insulator is the inspection object 100 has been described, but the internal semiconductive layer, the external semiconductive layer, the anticorrosion layer, or the like may be the inspection object. Furthermore, a sample other than the power cable may be the inspection target.

上述の実施形態では、テラヘルツ波発生部３２０が光伝導アンテナを有している場合について説明したが、テラヘルツ波発生部は、チェレンコフ型など他の発生原理による装置で構成されていてもよい。この場合、テラヘルツ波発生部は、光導波路を有する非線形結晶と、光導波路に接して設けられたプリズムと、を有している。テラヘルツ波発生部は、２つの波長成分を有するレーザ光を光導波路に導入することにより、２つの波長成分の波長差に相当するテラヘルツ波をプリズムから出射するよう構成されている。この場合、発生させるテラヘルツ波の周波数帯域は、例えば、０．５ＴＨｚ以上７ＴＨｚ以下である。 In the above-described embodiment, the case where the terahertz wave generation unit 320 includes a photoconductive antenna has been described. However, the terahertz wave generation unit may be configured by a device based on another generation principle such as a Cherenkov type. In this case, the terahertz wave generation unit includes a nonlinear crystal having an optical waveguide and a prism provided in contact with the optical waveguide. The terahertz wave generation unit is configured to emit a terahertz wave corresponding to the wavelength difference between the two wavelength components from the prism by introducing laser light having two wavelength components into the optical waveguide. In this case, the frequency band of the terahertz wave to be generated is, for example, not less than 0.5 THz and not more than 7 THz.

上述の実施形態では、レーザ５００が一つだけ設けられている場合について説明したが、ポンプ光を出射するレーザとプローブ光を出射するレーザとが別に設けられていても良い。 In the above-described embodiment, the case where only one laser 500 is provided has been described. However, a laser that emits pump light and a laser that emits probe light may be provided separately.

上述の実施形態では、異物判断工程Ｓ２００において、条件１〜３の順で判定していく場合について説明したが、条件１〜３の判定順はこれに限られず、例えば条件３〜１の順で判定してもよい。 In the above-described embodiment, the case where the determination is made in the order of the conditions 1 to 3 in the foreign matter determination step S200 has been described. However, the determination order of the conditions 1 to 3 is not limited to this, and for example, in the order of the conditions 3 to 1 You may judge.

上述の実施形態では、条件３判定Ｓ２３０において、検査対象１００の吸収スペクトルが条件３（ａ）〜（ｃ）の全てを満たすか否かを判断する場合について説明したが、条件３判定において、検査対象の吸収スペクトルが少なくとも条件３（ａ）および（ｂ）を満たすか否かを判断すれば、検査対象内に無機物を含む異物があるか否かを判断することができる。 In the above-described embodiment, the case where it is determined whether or not the absorption spectrum of the inspection object 100 satisfies all of the conditions 3 (a) to (c) in the condition 3 determination S230 has been described. If it is determined whether or not the absorption spectrum of the object satisfies at least the conditions 3 (a) and (b), it can be determined whether or not there is a foreign substance containing an inorganic substance in the inspection object.

次に、本発明に係る実施例について説明する。 Next, examples according to the present invention will be described.

（１）標準試料および検査対象
厚さ２ｍｍでポリエチレンからなる標準試料を準備した。また、標準試料と同じ厚さでポリエチレンからなる検査対象の試料１〜３を準備した。 (1) Standard sample and inspection object A standard sample made of polyethylene having a thickness of 2 mm was prepared. In addition, samples 1 to 3 to be inspected made of polyethylene with the same thickness as the standard sample were prepared.

（２）異物検査
上述の実施形態で示した異物検査装置を用い、標準試料および試料１〜３のテラヘルツ波の吸収スペクトルを測定した。そして、上述の実施形態で示した異物検査方法により、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲で、標準試料の吸収スペクトルと試料１〜３の吸収スペクトルとを比較し、試料１〜３内に異物があるか否かを判断した。なお、０．５ＴＨｚ未満、または４．０ＴＨｚ超の範囲での各吸収スペクトルを参照しても各吸収スペクトルの違いを判断することは困難であった。 (2) Foreign object inspection The absorption spectrum of the terahertz wave of the standard sample and samples 1 to 3 was measured using the foreign object inspection apparatus shown in the above embodiment. And by the foreign substance inspection method shown in the above-mentioned embodiment, the absorption spectrum of the standard sample and the absorption spectrum of the samples 1 to 3 are compared in the range of 0.5 THz or more and 4.0 THz or less. It was determined whether there was a foreign object. It should be noted that it was difficult to determine the difference between the absorption spectra by referring to the absorption spectra in the range of less than 0.5 THz or more than 4.0 THz.

（３）結果
図３および４に示されているように、標準試料および試料１〜３の吸収スペクトルを得た。 (3) Results As shown in FIGS. 3 and 4, absorption spectra of the standard sample and samples 1 to 3 were obtained.

試料１の吸収スペクトルは、上述の実施形態で示したように、条件１を満たしていたため、試料１には異物としてアンバーＡがあると判断した。実際に試料１の内部を拡大鏡で観察したところ、確かに試料１内にアンバーＡが存在することを確認した。 Since the absorption spectrum of Sample 1 satisfied Condition 1 as shown in the above-described embodiment, it was determined that Sample 1 has amber A as a foreign substance. When the inside of the sample 1 was actually observed with a magnifying glass, it was confirmed that the amber A was present in the sample 1.

試料２の吸収スペクトルは、上述の実施形態で示したように、条件２を満たしていたため、試料２には異物としてアンバーＢがあると判断した。実際に試料２の内部を拡大鏡で観察したところ、確かに試料２内にアンバーＢが存在することを確認した。 Since the absorption spectrum of sample 2 satisfied condition 2 as shown in the above-described embodiment, it was determined that sample 2 had amber B as a foreign substance. When the inside of the sample 2 was actually observed with a magnifier, it was confirmed that the amber B was present in the sample 2.

試料３の吸収スペクトルは、上述の実施形態で示したように、条件３を満たしていたため、試料３には無機物を含む異物があると判断した。実際に試料３の内部を拡大鏡で観察したところ、確かに試料３内に金属粉の異物が存在することを確認した。 Since the absorption spectrum of sample 3 satisfied condition 3 as shown in the above-described embodiment, it was determined that sample 3 had foreign matter containing an inorganic substance. When the inside of the sample 3 was actually observed with a magnifying glass, it was confirmed that there was indeed a metal powder foreign material in the sample 3.

以上のように、標準試料のテラヘルツ波の吸収スペクトルと検査対象のテラヘルツ波の吸収スペクトルとを比較し、両者の違いを検出することにより、検査対象内において、無機物を含む異物だけでなくアンバーも検出することができることを確認した。また、上記した条件１〜３のそれぞれを満たすか否かを判断することにより、異物がアンバーＡであるか、異物がアンバーＢであるか、或いは、異物が無機物を含んでいるかを判断することができることを確認した。 As described above, by comparing the absorption spectrum of the terahertz wave of the standard sample and the absorption spectrum of the terahertz wave of the inspection object, and detecting the difference between the two, not only the foreign matter containing inorganic substances but also the amber in the inspection object It was confirmed that it could be detected. Further, by determining whether or not each of the above conditions 1 to 3 is satisfied, it is determined whether the foreign matter is amber A, the foreign matter is amber B, or the foreign matter contains an inorganic substance. I confirmed that I was able to.

＜本発明の好ましい態様＞
以下、本発明の好ましい態様について付記する。 <Preferred embodiment of the present invention>
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be additionally described.

（付記１）
本発明の一態様によれば、
所定の高分子を含む標準試料に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトルを用意する工程と、
前記標準試料と同じ前記高分子を含む検査対象に対して、テラヘルツ波を照射して、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定する工程と、
前記標準試料の吸収スペクトルと前記検査対象の吸収スペクトルとを比較し、前記検査対象の吸収スペクトルが前記標準試料の吸収スペクトルと異なっていたときに、前記検査対象内に異物があると判断する異物判断工程と、
を有する高分子の異物検査方法が提供される。 (Appendix 1)
According to one aspect of the invention,
Preparing a terahertz wave absorption spectrum when a terahertz wave is irradiated to a standard sample containing a predetermined polymer;
Irradiating terahertz waves to an inspection object containing the same polymer as the standard sample, and measuring an absorption spectrum of the terahertz waves;
A foreign object that compares the absorption spectrum of the standard sample with the absorption spectrum of the inspection object and determines that there is a foreign object in the inspection object when the absorption spectrum of the inspection object is different from the absorption spectrum of the standard sample A decision process;
A polymer foreign matter inspection method having

（付記２）
好ましくは、付記１に記載の高分子の異物検査方法であって、
前記異物判断工程では、
０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲で、前記標準試料の吸収スペクトルと前記検査対象の吸収スペクトルとを比較する。 (Appendix 2)
Preferably, in the polymer foreign matter inspection method according to appendix 1,
In the foreign matter determination step,
The absorption spectrum of the standard sample is compared with the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz.

（付記３）
好ましくは、付記２に記載の高分子の異物検査方法であって、
前記異物判断工程では、
０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収強度が前記標準試料の吸収強度よりも増大し、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収スペクトルのピーク個数が前記標準試料の吸収スペクトルのピーク個数と等しく、且つ、前記検査対象の吸収スペクトルのピークが前記標準試料の吸収スペクトルのピークと同じ周波数に位置するときに、前記検査対象内の前記異物がアンバーであると判断する。 (Appendix 3)
Preferably, in the polymer foreign matter inspection method according to appendix 2,
In the foreign matter determination step,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. When the number of peaks of the standard sample is equal to the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample, and the peak of the absorption spectrum of the test object is located at the same frequency as the peak of the absorption spectrum of the standard sample, the It is determined that the foreign material is amber.

（付記４）
好ましくは、付記２又は３に記載の高分子の異物検査方法であって、
前記異物判断工程では、
０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収強度が前記標準試料の吸収強度よりも増大し、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収スペクトルのピーク個数が前記標準試料の吸収スペクトルのピーク個数と等しく、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収スペクトルの極大ピークが２．６ＴＨｚ以上２．９ＴＨｚ以下の範囲に位置するときに、前記検査対象内の前記異物がアンバーであると判断する。 (Appendix 4)
Preferably, it is a polymer foreign matter inspection method according to appendix 2 or 3,
In the foreign matter determination step,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. The peak number of the absorption spectrum is equal to the peak number of the absorption spectrum of the standard sample, and the maximum peak of the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is 2.6 THz to 2.9 THz. When it is located at the position, it is determined that the foreign matter in the inspection target is amber.

（付記５）
好ましくは、付記２〜４のいずれかに記載の高分子の異物検査方法であって、
前記異物判断工程では、
０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収強度が前記標準試料の吸収強度よりも増大し、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収スペクトルのピーク個数が前記標準試料の吸収スペクトルのピーク個数と等しく、且つ、前記検査対象の吸収スペクトルのピークが前記標準試料の吸収スペクトルのピークと同じ周波数に位置するときに、前記検査対象内の前記異物がアンバーであると判断し、
０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収強度が前記標準試料の吸収強度よりも増大し、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収スペクトルのピーク個数が前記標準試料の吸収スペクトルのピーク個数と等しく、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収スペクトルの極大ピークが２．６ＴＨｚ以上２．９ＴＨｚ以下の範囲に位置するときに、前記検査対象内の前記異物が、前記高分子の反応の進行具合が前記アンバーでの前記高分子の反応の進行具合よりも大きい大アンバーであると判断する。 (Appendix 5)
Preferably, in the polymer foreign matter inspection method according to any one of appendices 2 to 4,
In the foreign matter determination step,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. When the number of peaks of the standard sample is equal to the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample, and the peak of the absorption spectrum of the test object is located at the same frequency as the peak of the absorption spectrum of the standard sample, the Judge that the foreign object is amber,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. The peak number of the absorption spectrum is equal to the peak number of the absorption spectrum of the standard sample, and the maximum peak of the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is 2.6 THz to 2.9 THz. When it is located at the position, the foreign matter in the inspection object is determined to be a large amber in which the progress of the polymer reaction is larger than the progress of the polymer reaction in the amber.

（付記６）
好ましくは、付記２〜５のいずれかに記載の高分子の異物検査方法であって、
前記異物判断工程では、
０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収強度が前記標準試料の吸収強度よりも増大し、且つ、０．５ＴＨｚ以上４．０ＴＨｚ以下の範囲での前記検査対象の吸収スペクトルのピーク個数が前記標準試料の吸収スペクトルのピーク個数よりも増加しているときに、前記検査対象内の前記異物が無機物を含むと判断する。 (Appendix 6)
Preferably, in the polymer foreign matter inspection method according to any one of appendices 2 to 5,
In the foreign matter determination step,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. When the number of peaks is larger than the number of peaks in the absorption spectrum of the standard sample, it is determined that the foreign matter in the inspection object contains an inorganic substance.

（付記７）
好ましくは、付記６に記載の高分子の異物検査方法であって、
前記異物判断工程では、
さらに、前記検査対象の吸収スペクトルでの前記高分子の結晶部由来のピークが前記標準試料での吸収スペクトルでの前記前記高分子の結晶部由来のピークよりもブロードになっているときに、前記検査対象内の前記異物が前記無機物を含むと判断する。 (Appendix 7)
Preferably, the polymer foreign matter inspection method according to appendix 6,
In the foreign matter determination step,
Furthermore, when the peak derived from the crystal part of the polymer in the absorption spectrum of the test object is broader than the peak derived from the crystal part of the polymer in the absorption spectrum of the standard sample, It is determined that the foreign matter in the inspection target includes the inorganic substance.

（付記８）
本発明の他の態様によれば、
ケーブル導体と、前記ケーブル導体の外周を覆うように設けられ、所定の高分子を含む被覆層と、を有する電力ケーブルの製造方法であって、
前記被覆層の正常部に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトルを用意する工程と、
前記正常部と同じ前記高分子を含む前記被覆層の検査対象に対して、テラヘルツ波を照射して、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定する工程と、
前記正常部の吸収スペクトルと前記検査対象の吸収スペクトルとを比較し、前記検査対象の吸収スペクトルが前記正常部の吸収スペクトルと異なっていたときに、前記検査対象内に異物があると判断する異物判断工程と、
を有する電力ケーブルの製造方法が提供される。 (Appendix 8)
According to another aspect of the invention,
A method for producing a power cable having a cable conductor and a coating layer provided so as to cover an outer periphery of the cable conductor and containing a predetermined polymer,
Preparing a terahertz wave absorption spectrum when the terahertz wave is irradiated to the normal part of the coating layer;
Irradiating terahertz waves to the inspection target of the coating layer containing the same polymer as the normal part, and measuring an absorption spectrum of the terahertz waves;
A foreign substance that compares the absorption spectrum of the normal part with the absorption spectrum of the inspection object and determines that there is a foreign substance in the inspection object when the absorption spectrum of the inspection object is different from the absorption spectrum of the normal part A decision process;
A method of manufacturing a power cable is provided.

（付記９）
好ましくは、付記８に記載の電力ケーブルの製造方法であって、
前記検査対象の前記吸収スペクトルを測定する工程では、
前記電力ケーブルから前記ケーブル導体を除いた前記被覆層からなる試料、または前記電力ケーブルのうちの前記ケーブル絶縁体の一部を切り出した試料を前記検査対象とする。 (Appendix 9)
Preferably, the power cable manufacturing method according to appendix 8,
In the step of measuring the absorption spectrum of the inspection object,
A sample made of the covering layer obtained by removing the cable conductor from the power cable, or a sample obtained by cutting out a part of the cable insulator of the power cable is set as the inspection target.

（付記１０）
好ましくは、付記８に記載の電力ケーブルの製造方法であって、
前記検査対象の前記吸収スペクトルを測定する工程では、
前記被覆層を前記ケーブル導体の外周に押出形成する際の溶融した前記高分子を前記検査対象とする。 (Appendix 10)
Preferably, the power cable manufacturing method according to appendix 8,
In the step of measuring the absorption spectrum of the inspection object,
The polymer to be melted when the coating layer is formed on the outer periphery of the cable conductor is set as the inspection object.

（付記１１）
本発明の更に他の態様によれば、
所定の高分子を含む標準試料に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトルを記憶する記憶手段と、
前記標準試料と同じ前記高分子を含む検査対象に対して、テラヘルツ波を照射して、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定する測定制御手段と、
前記標準試料の吸収スペクトルと前記検査対象の吸収スペクトルとを比較し、前記検査対象の吸収スペクトルが前記標準試料の吸収スペクトルと異なっていたときに、前記検査対象内に異物があると判断する異物判断手段と、
を有する高分子の異物検査装置が提供される。 (Appendix 11)
According to yet another aspect of the invention,
Storage means for storing an absorption spectrum of the terahertz wave when the standard sample containing the predetermined polymer is irradiated with the terahertz wave;
A measurement control means for irradiating a terahertz wave to an inspection object containing the same polymer as the standard sample, and measuring an absorption spectrum of the terahertz wave;
A foreign object that compares the absorption spectrum of the standard sample with the absorption spectrum of the inspection object and determines that there is a foreign object in the inspection object when the absorption spectrum of the inspection object is different from the absorption spectrum of the standard sample Judgment means,
There is provided a polymer foreign matter inspection apparatus having

（付記１２）
本発明の更に他の態様によれば、
ケーブル導体と、前記ケーブル導体の外周を覆うように設けられ、所定の高分子を含む被覆層と、を有する電力ケーブルの異物検査装置であって、
前記被覆層の正常部に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトルを記憶する記憶手段と、
前記正常部と同じ前記高分子を含む前記被覆層の検査対象部に対して、テラヘルツ波を照射して、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定する測定制御手段と、
前記正常部の吸収スペクトルと前記検査対象部の吸収スペクトルとを比較し、前記検査対象部の吸収スペクトルが前記正常部の吸収スペクトルと異なっていたときに、前記検査対象内に異物があると判断する異物判断手段と、
を有する電力ケーブルの異物検査装置が提供される。 (Appendix 12)
According to yet another aspect of the invention,
A foreign matter inspection device for a power cable having a cable conductor and a coating layer provided so as to cover the outer periphery of the cable conductor and containing a predetermined polymer,
Storage means for storing the absorption spectrum of the terahertz wave when the terahertz wave is irradiated to the normal part of the coating layer;
Measurement control means for irradiating a terahertz wave to the inspection target part of the coating layer containing the same polymer as the normal part, and measuring an absorption spectrum of the terahertz wave;
The absorption spectrum of the normal part and the absorption spectrum of the inspection target part are compared, and when the absorption spectrum of the inspection target part is different from the absorption spectrum of the normal part, it is determined that there is a foreign substance in the inspection target. Foreign matter judgment means to
A foreign matter inspection device for a power cable is provided.

（付記１３）
本発明の更に他の態様によれば、
コンピュータを、
所定の高分子を含む標準試料に対してテラヘルツ波を照射したときのテラヘルツ波の吸収スペクトルを記憶する記憶手段と、
前記標準試料と同じ前記高分子を含む検査対象に対して、テラヘルツ波を照射して、テラヘルツ波の吸収スペクトルを測定する測定制御手段と、
前記標準試料の吸収スペクトルと前記検査対象の吸収スペクトルとを比較し、前記検査対象の吸収スペクトルが前記標準試料の吸収スペクトルと異なっていたときに、前記検査対象内に異物があると判断する異物判断手段
として機能させる高分子の異物検査プログラムが提供される。 (Appendix 13)
According to yet another aspect of the invention,
Computer
Storage means for storing an absorption spectrum of the terahertz wave when the standard sample containing the predetermined polymer is irradiated with the terahertz wave;
A measurement control means for irradiating a terahertz wave to an inspection object containing the same polymer as the standard sample, and measuring an absorption spectrum of the terahertz wave;
A foreign object that compares the absorption spectrum of the standard sample with the absorption spectrum of the inspection object and determines that there is a foreign object in the inspection object when the absorption spectrum of the inspection object is different from the absorption spectrum of the standard sample A polymer foreign matter inspection program functioning as a determination means is provided.

１０異物検査装置
１００検査対象（被検査試料）
２２０曲面ミラー
２４０曲面ミラー
２６０時間遅延装置
２８０ビームスプリッタ
２９０ミラー（平板ミラー）
３２０テラヘルツ波発生部
３４０検出部（受光部）
４００制御部（コンピュータ部）
４２０記憶手段
４４０測定制御手段
４６０異物判断手段
５００レーザ 10 Foreign object inspection apparatus 100 Inspection object (inspected sample)
220 curved mirror 240 curved mirror 260 time delay device 280 beam splitter 290 mirror (flat plate mirror)
320 terahertz wave generation unit 340 detection unit (light receiving unit)
400 Control unit (computer unit)
420 Storage Unit 440 Measurement Control Unit 460 Foreign Object Determination Unit 500 Laser

Claims

Preparing a terahertz wave absorption spectrum when a terahertz wave is irradiated to a standard sample containing a predetermined polymer;
Irradiating terahertz waves to an inspection object containing the same polymer as the standard sample, and measuring an absorption spectrum of the terahertz waves;
In the range of 0.5 THz or more and 4.0 THz or less, the absorption spectrum of the standard sample is compared with the absorption spectrum of the inspection object, and when the absorption spectrum of the inspection object is different from the absorption spectrum of the standard sample, A foreign matter determination step for determining that there is a foreign matter in the inspection target;
Have
In the foreign matter determination step,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. When the number of peaks of the standard sample is equal to the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample, and the peak of the absorption spectrum of the test object is located at the same frequency as the peak of the absorption spectrum of the standard sample, the Judge that the foreign object is amber,
In the foreign matter determination step,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. The peak number of the absorption spectrum is equal to the peak number of the absorption spectrum of the standard sample, and the maximum peak of the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is 2.6 THz to 2.9 THz. The foreign matter in the test object is determined to be a strong amber in which the progress of the reaction of the polymer is larger than the progress of the reaction of the polymer in the amber Inspection method.

In the foreign matter determination step ,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. 2. The polymer foreign matter inspection method according to claim 1, wherein the foreign matter in the inspection object is judged to contain an inorganic substance when the number of peaks of the reference sample is larger than the number of peaks in the absorption spectrum of the standard sample.

In the foreign matter determination step ,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the standard sample, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. The number of peaks of the standard sample increases more than the number of peaks of the absorption spectrum of the standard sample, and the peak derived from the crystal part of the polymer in the absorption spectrum of the inspection target is the high value in the absorption spectrum of the standard sample. The polymer foreign matter inspection method according to claim 2, wherein the foreign matter in the inspection target is judged to contain the inorganic substance when the peak is derived from a peak derived from a crystal part of the molecule.

A method for producing a power cable having a cable conductor and a coating layer provided so as to cover an outer periphery of the cable conductor and containing a predetermined polymer,
Preparing a terahertz wave absorption spectrum when the terahertz wave is irradiated to the normal part of the coating layer;
Irradiating terahertz waves to the inspection target of the coating layer containing the same polymer as the normal part, and measuring an absorption spectrum of the terahertz waves;
In the range of 0.5 THz or more and 4.0 THz or less, the absorption spectrum of the normal part is compared with the absorption spectrum of the inspection object, and when the absorption spectrum of the inspection object is different from the absorption spectrum of the normal part, A foreign matter determination step for determining that there is a foreign matter in the inspection target;
Have
In the foreign matter determination step,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the normal portion, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. When the number of peaks of the normal part is equal to the number of peaks of the absorption spectrum of the normal part, and the peak of the absorption spectrum of the inspection object is located at the same frequency as the peak of the absorption spectrum of the normal part, the Judge that the foreign object is amber,
In the foreign matter determination step,
The absorption intensity of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is greater than the absorption intensity of the normal portion, and the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz. The peak number of the absorption spectrum is equal to the peak number of the absorption spectrum of the normal part, and the maximum peak of the absorption spectrum of the inspection object in the range of 0.5 THz to 4.0 THz is 2.6 THz to 2.9 THz. Manufacture of a power cable that determines that the foreign matter in the inspection object is a strong amber in which the progress of the polymer reaction is greater than the progress of the polymer reaction at the amber Method.