JP6233757B2 - 漏れ検出システムを検査する方法 - Google Patents
漏れ検出システムを検査する方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6233757B2 JP6233757B2 JP2015540150A JP2015540150A JP6233757B2 JP 6233757 B2 JP6233757 B2 JP 6233757B2 JP 2015540150 A JP2015540150 A JP 2015540150A JP 2015540150 A JP2015540150 A JP 2015540150A JP 6233757 B2 JP6233757 B2 JP 6233757B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- leak
- leak detection
- detection device
- cavity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 55
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 21
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000009455 aseptic packaging Methods 0.000 description 1
- 238000009530 blood pressure measurement Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000009512 pharmaceutical packaging Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/007—Leak detector calibration, standard leaks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Description
a) 周囲大気圧に相当する内部圧力P1が空洞の内部に行き渡るまで、漏れ検出装置の空洞を外気で満し、
b) そして、試験用標本の外側の領域の圧力を、内部圧力P1より低い外部圧力P2に設定し、
c) その後、テストリークを通して内部から外側へ流れる空気の漏れ速度を測定し、
d) 最後に、漏れ検出装置を囲む領域の外部圧力P2を、周囲大気圧まで増加させる。
そのため、テストリークだけにより圧力P2が増加するように、漏れ検出装置は気密検査室内に収容される。
Claims (12)
- 気体で充填される空洞(12)及びテストリーク(16)を備える漏れ検出装置(10)を用いて漏れ検出システムを検査する方法であって、
(ステップa)前記空洞(12)内部の内部圧力(P1)が周囲大気圧に相当するまで前記空洞(12)を外気で充填し、
(ステップb)前記漏れ検出装置(10)を囲む領域の外部圧力(P2)を前記内部圧力(P1)より低く設定し、
(ステップc)前記漏れ検出装置(10)の前記テストリーク(16)を通して内側から外側へ流れる空気の漏れ速度を測定し、
(ステップd)前記漏れ検出装置(10)を囲む前記領域の前記外部圧力(P2)を、前記周囲大気圧を有する外気からなる大気の圧力に設定する、
ことを特徴とする方法。 - 前記ステップaにおいて前記漏れ検出装置(10)は、前記外部圧力(P2)としての前記周囲大気圧にて充填されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記テストリーク(16)を通して前記漏れ検出装置(10)が充填されることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 前記周囲大気圧は、980〜1050mbarの範囲内の圧力であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記周囲大気圧は、1000〜1020mbarの範囲内の圧力であることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記周囲大気圧は、1013mbar程度であることを特徴とする請求項4又は5に記載の方法。
- 前記ステップbにおいて前記外部圧力(P2)は真空圧力であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ステップdにおいて前記内部圧力(P1)が前記外部圧力(P2)より低いことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも前記ステップc及びdが実行される間、前記テストリーク(16)が開口していることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記漏れ検出装置(10)は、前記外部圧力(P2)が前記内部圧力(P1)を超えると自動的に開いて再充填する圧力制御バルブ(18)を備えることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の方法。
- 前記漏れ検出装置(10)が検査室内に配置され、前記ステップcにおける前記漏れ速度が前記検査室内の前記外部圧力(P2)の増加によって測定されることを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ステップa〜dを少なくとももう1回反復し、既に行われた前記ステップdを利用して前記ステップaにしたがい前記空洞(12)を充填することを特徴とする請求項1〜11のいずれか一項に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102012220108.4 | 2012-11-05 | ||
DE102012220108.4A DE102012220108A1 (de) | 2012-11-05 | 2012-11-05 | Verfahren zur Prüfung einer Dichtheitsprüfanlage |
PCT/EP2013/072955 WO2014068118A2 (de) | 2012-11-05 | 2013-11-04 | Verfahren zur prüfung einer dichtheitsprüfanlage |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015537209A JP2015537209A (ja) | 2015-12-24 |
JP6233757B2 true JP6233757B2 (ja) | 2017-11-22 |
Family
ID=49551596
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015540150A Active JP6233757B2 (ja) | 2012-11-05 | 2013-11-04 | 漏れ検出システムを検査する方法 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9733147B2 (ja) |
EP (1) | EP2914944B1 (ja) |
JP (1) | JP6233757B2 (ja) |
CN (1) | CN104797916B (ja) |
DE (1) | DE102012220108A1 (ja) |
RU (1) | RU2650843C2 (ja) |
WO (1) | WO2014068118A2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20150323408A1 (en) * | 2012-11-21 | 2015-11-12 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Reference leak generating device and ultra-fine leak testing device using same |
DE102013216450A1 (de) * | 2013-08-20 | 2015-02-26 | Inficon Gmbh | Pico-Prüfleck |
CN105632963A (zh) * | 2016-03-11 | 2016-06-01 | 上海华力微电子有限公司 | 监控hdp腔室漏率的方法及系统 |
JP6857179B2 (ja) | 2016-05-31 | 2021-04-14 | 株式会社フクダ | リークテスト方法およびリークテスト用疑似漏れ器 |
JP7404931B2 (ja) * | 2020-02-26 | 2023-12-26 | 住友電気工業株式会社 | ガラス母材の製造装置 |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
LU55734A1 (ja) * | 1967-04-17 | 1968-06-04 | ||
DE2926112A1 (de) * | 1979-06-28 | 1981-01-08 | Bosch Gmbh Robert | Testleck-sonde |
DE3613694A1 (de) * | 1986-04-23 | 1987-10-29 | Leybold Heraeus Gmbh & Co Kg | Vorrichtung zur kalibrierung des detektors eines lecksuchgeraetes |
JPH02113145U (ja) * | 1989-02-27 | 1990-09-11 | ||
JP2772478B2 (ja) * | 1989-03-31 | 1998-07-02 | マツダ株式会社 | クラッチピストンのリークテスト方法 |
JPH02140439U (ja) * | 1989-04-27 | 1990-11-26 | ||
US4991426A (en) * | 1989-08-22 | 1991-02-12 | Oakland Engineering, Inc. | Calibration of air leak detection apparatus |
US5386717A (en) * | 1991-02-08 | 1995-02-07 | Yamaha Corporation | Gas leakage testing method |
US5363689A (en) * | 1992-09-11 | 1994-11-15 | Intertech Development Company | Calibration device for leak detecting instruments |
JPH07286928A (ja) * | 1994-04-15 | 1995-10-31 | Anelva Corp | ヘリウムリークディテクタ |
JP3181199B2 (ja) * | 1995-07-20 | 2001-07-03 | トヨタ自動車株式会社 | 圧力洩れ測定方法 |
US6082184A (en) * | 1997-05-27 | 2000-07-04 | Martin Lehmann | Method for leak testing and leak testing apparatus |
EP0791814A3 (en) * | 1997-05-26 | 1997-11-26 | Martin Lehmann | Method for leak testing and leak testing apparatus |
DE19906941A1 (de) * | 1999-02-19 | 2000-08-24 | Leybold Vakuum Gmbh | Testleck |
JP4277351B2 (ja) * | 1999-03-31 | 2009-06-10 | ヤマハ株式会社 | 漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法 |
DE19963073A1 (de) * | 1999-12-24 | 2001-06-28 | Leybold Vakuum Gmbh | Testleck |
DE10118085A1 (de) * | 2001-04-11 | 2002-10-17 | Inficon Gmbh | Lecksuchgerät mit Prüfleck und Prüfleck für den Einbau in ein Lecksuchgerät |
DE10124260A1 (de) * | 2001-05-18 | 2002-12-05 | Boehringer Ingelheim Pharma | System zur Überprüfung von Systemen, die ihrerseits zur Überprüfung der Dichtigkeit eines Hohlkörpers dienen |
DE10154467B4 (de) * | 2001-11-08 | 2004-05-27 | Nuclear Cargo + Service Gmbh | Anordnung zum Überprüfen eines Hohlraums |
WO2005054806A1 (en) * | 2003-12-05 | 2005-06-16 | Sensistor Technologies Ab | System and method for determining the leakproofness of an object |
DE102007057944A1 (de) * | 2007-12-01 | 2009-06-04 | Inficon Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung |
JP5386319B2 (ja) * | 2009-11-19 | 2014-01-15 | 株式会社アルバック | 漏洩検知システム |
JP5292261B2 (ja) * | 2009-11-19 | 2013-09-18 | 株式会社アルバック | リークディテクタ |
CN101726396A (zh) * | 2009-12-17 | 2010-06-09 | 中国航天科技集团公司第五研究院第五一○研究所 | 一种航天用o型橡胶密封圈的漏率检测装置及方法 |
DE102010014377A1 (de) * | 2010-04-01 | 2011-10-06 | Martin Fähnrich | Vordruckunabhängiges Testleck |
DE102012210040A1 (de) * | 2012-06-14 | 2013-12-19 | Inficon Gmbh | Prüfvorrichtung mit einem Prüfgasbehälter |
US9074959B2 (en) * | 2012-08-24 | 2015-07-07 | Gm Global Technology Operations, Llc | Method for evaluating the accuracy and repeatability of leak testing instruments |
US20150323408A1 (en) * | 2012-11-21 | 2015-11-12 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Reference leak generating device and ultra-fine leak testing device using same |
DE102013215278A1 (de) * | 2013-08-02 | 2015-02-05 | Inficon Gmbh | Prüfleckvorrichtung mit integriertem Drucksensor |
DE102014213426A1 (de) | 2014-07-10 | 2016-01-14 | Inficon Gmbh | Prüfvorrichtung für flexible, langgestreckte Prüflinge |
-
2012
- 2012-11-05 DE DE102012220108.4A patent/DE102012220108A1/de not_active Withdrawn
-
2013
- 2013-11-04 RU RU2015121319A patent/RU2650843C2/ru active
- 2013-11-04 CN CN201380056971.1A patent/CN104797916B/zh active Active
- 2013-11-04 JP JP2015540150A patent/JP6233757B2/ja active Active
- 2013-11-04 US US14/440,464 patent/US9733147B2/en active Active
- 2013-11-04 EP EP13786658.8A patent/EP2914944B1/de active Active
- 2013-11-04 WO PCT/EP2013/072955 patent/WO2014068118A2/de active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2014068118A3 (de) | 2014-09-04 |
RU2650843C2 (ru) | 2018-04-17 |
CN104797916B (zh) | 2018-05-01 |
DE102012220108A1 (de) | 2014-05-22 |
EP2914944A2 (de) | 2015-09-09 |
US20150276541A1 (en) | 2015-10-01 |
US9733147B2 (en) | 2017-08-15 |
JP2015537209A (ja) | 2015-12-24 |
WO2014068118A2 (de) | 2014-05-08 |
EP2914944B1 (de) | 2020-02-12 |
RU2015121319A (ru) | 2016-12-27 |
CN104797916A (zh) | 2015-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8448498B1 (en) | Hermetic seal leak detection apparatus | |
JP6233757B2 (ja) | 漏れ検出システムを検査する方法 | |
US10816434B2 (en) | Apparatus and method for leak testing | |
ES2638793T3 (es) | Métodos y sistemas para el ensayo de fugas | |
JP6457813B2 (ja) | 検査ガスの添加無しの、寸法的に安定な/緩んだパッケージの漏れの迅速な検出 | |
JP6556226B2 (ja) | 漏洩検知用フィルムチャンバを較正する装置および方法 | |
US9810600B2 (en) | Method for detecting a leak on a non-rigid test specimen | |
US9097609B1 (en) | Hermetic seal leak detection apparatus with variable size test chamber | |
KR20090003195A (ko) | 배관로의 누설 검사 방법 및 누설 검사 장치 | |
US10900862B2 (en) | Gross leak measurement in an incompressible test item in a film chamber | |
CN105651464A (zh) | 用于大型航天器检漏的检漏灵敏度后标定方法 | |
JP2017528725A5 (ja) | ||
CN107076636A (zh) | 具有用于粗泄漏测试的测量体积的薄膜腔 | |
JP6522143B2 (ja) | 容器の密閉性検査をするための構造および方法 | |
WO2014080798A1 (ja) | 参照リーク発生装置およびそれを用いた超微小リーク試験装置 | |
JPH10185749A (ja) | リーク検査方法及びその装置 | |
Vinogradov et al. | How to choose a leak detection method | |
WO2019216243A1 (ja) | 密封性評価方法等及び標準疑似漏れ素子 | |
US10352815B2 (en) | Leakage testing device for attachment to a flexible wall of an item to be tested | |
JP2017129477A (ja) | 漏れ検査装置及び方法 | |
JP2023043985A (ja) | 欠陥検査方法 | |
RU2716474C1 (ru) | Способ определения негерметичности изделий, работающих под внешним давлением и внутренним избыточным давлением | |
RU2538420C2 (ru) | Устройство контроля герметичности микроструктур | |
RU2441212C2 (ru) | Способ определения негерметичности изделий | |
JP2018179821A (ja) | エアリークテスト装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160929 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170425 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170522 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170926 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171013 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6233757 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |