JP6219197B2 - シート貼付装置および貼付方法 - Google Patents

Description

本発明は、シート貼付装置および貼付方法に関する。

従来、半導体製造工程において、半導体ウエハ（以下、単にウエハという場合がある）に接着シートを貼付するシート貼付装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。
特許文献１に記載のシート貼付装置は、シート供給装置（供給手段）によって帯状の接着シートを供給し、下部ケース側の第１空間と上部ケース側の第２空間との圧力差により、押圧手段の変形許容部をウエハ（被着体）側に変形させて中央から外周に向かって当該接着シートを被着体に貼付するように構成されている。

特開２００８−６６５９７号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の装置では、真空雰囲気を作り出す機構や押圧手段を挟んだ第２空間にエアを供給したり排出したりする機構を設ける必要があり、装置が大型化したり、制御が複雑化したりするという不都合がある。
そこで、このような不都合を解消するために、被着体に点接触可能または線接触可能な頂部を有するテーパ部が接着面の長手方向に沿って複数形成された帯状の接着シートを採用し、１のテーパ部の頂部を被着体に当接させた状態から、そのまま接着シートを被着体に押圧して貼付することが考えられる。
しかしながら、このようなテーパ部を設けた帯状の接着シートでは、当該テーパ部を被着体の所定の位置に位置決めして貼付することができないという不都合がある。

本発明の目的は、テーパ部が接着面の長手方向に沿って複数形成された帯状の接着シートであっても、１の当該テーパ部を確実に被着体に対して位置決めして貼付することができるシート貼付装置および貼付方法を提供することにある。

前記目的を達成するために、本発明のシート貼付装置は、第１接着面を備えて帯状に形成され、第１被着体に点接触可能または線接触可能な第１頂部を有する第１テーパ部が前記第１接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給する供給手段と、前記供給手段で供給された接着シートの前記第１頂部を第１被着体に当接させ、押圧面によって前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する押圧手段と、前記第１頂部を検知可能な検知手段とを備え、前記供給手段は、前記検知手段で検知した１の前記第１頂部を前記第１被着体の所定の位置に位置決め可能に設けられている、という構成を採用している。

この際、本発明のシート貼付装置では、前記接着シートにおける前記第１接着面の反対側の第２接着面には、第２被着体に点接触可能または線接触可能な第２頂部を有する第２テーパ部が当該接着シートの長手方向に沿って複数設けられ、前記押圧手段の前記押圧面には、前記第２テーパ部の形状を維持可能なテーパ形状維持手段が設けられている、ことが好ましい。
また、本発明のシート貼付装置では、前記押圧手段の前記押圧面には、前記接着シートにおける前記第１接着面の反対側の第２接着面を変形させ、第２被着体に点接触可能または線接触可能な第２頂部を有する第２テーパ部を形成可能なテーパ形状形成手段が設けられている、ことが好ましい。
さらに、本発明のシート貼付装置では、前記第２接着面における前記第２テーパ部と前記押圧面とで形成される領域を減圧可能な減圧手段を備えている、ことが好ましい。

一方、本発明のシート貼付方法は、第１接着面を備えて帯状に形成され、第１被着体に点接触可能または線接触可能な第１頂部を有する第１テーパ部が前記第１接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給する工程と、前記第１頂部を検知する工程と、検知した１の前記第１頂部を前記第１被着体の所定の位置に位置決めし、押圧面によって前記第１被着体方向に押圧力を付与して前記接着シートを前記第１被着体に貼付する工程とを備えている、という構成を採用している。

以上のような本発明によれば、（第１）テーパ部が（第１）接着面の長手方向に沿って複数形成された帯状の接着シートであっても、１の当該（第１）テーパ部を確実に（第１）被着体に対して位置決めして貼付することができる。

この際、テーパ形状維持手段または、テーパ形状形成手段を押圧手段の押圧面に設ければ、第２テーパ部を保護しながらまたは、第２テーパ部を形成しながら接着シートを被着体に貼付することができる。
また、第２テーパ部と押圧面とで形成される領域を減圧可能な減圧手段を設ければ、第２接着面の接着剤をテーパ形状維持手段やテーパ形状形成手段内に引き込むことができる。

本発明の第１実施形態に係るシート貼付装置の側面図。 本発明の第２実施形態に係るシート貼付装置の要部の側面図。 本発明の第３実施形態に係るシート貼付装置の動作説明図。

［第１実施形態］
以下、本発明の第１実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、各実施形態での同様の構成および動作については、詳細な説明を省略する。
また、以下において、基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、手前、奥といった方向を示した場合は、全て図１を正規の方向（付した番号が適切な向きとなる方向）から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥側方向とする。

図１において、シート貼付装置１０は、第１接着面ＦＡ１を備えて帯状に形成され、第１被着体ＷＦ１に点接触可能または線接触可能な第１頂部ＴＴ１を有する第１テーパ部ＴＫ１が第１接着面ＦＡ１の長手方向に沿って複数設けられた接着シートＡＳを供給する供給手段２０と、供給手段２０で供給された接着シートＡＳの第１頂部ＴＴ１を第１被着体ＷＦ１の被着面ＷＡ１に当接させ、押圧面４２によって第１被着体ＷＦ１方向に押圧力を付与して当該接着シートＡＳを第１被着体ＷＦ１に貼付する押圧手段４０と、接着シートＡＳを所定形状に切断することで貼付用シートＡＳ１（図３（Ｃ）参照）を形成する切断手段５０と、光学センサや超音波センサや磁力センサや赤外線センサ等の非接触型センサ、リミットスイッチ等の接触型センサ、圧力センサ、カメラ等の撮像手段により構成され、第１頂部ＴＴ１を検知可能な検知手段６０とを備え、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって第１被着体ＷＦ１を支持する支持面７２を有するテーブル７１を備えた支持手段７０の上方に配置されている。
なお、第１接着面ＦＡ１を形成する接着剤ＡＤ層の反対側の面は、第２接着面ＦＡ２とされ、当該第２接着面ＦＡ２には、基材シートまたは剥離シートとなる基材ＢＳが仮着されている。また、第１テーパ部ＴＫ１は、底面視で円形形状とされ、当該第１テーパ部ＴＫ１間には、第１平坦部ＴＦ１が形成されている。

供給手段２０は、接着シートＡＳの第１接着面ＦＡ１が帯状の剥離シートＲＬ上に仮着された原反ＲＳを支持する支持ローラ２１と、原反ＲＳを案内する複数のガイドローラ２２と、剥離シートＲＬを折り返し当該剥離シートＲＬから接着シートＡＳを剥離する剥離手段としての剥離板２３と、駆動機器としての回動モータ２４によって駆動する駆動ローラ２５との間に剥離シートＲＬを挟み込むピンチローラ２６と、図示しない駆動機器によって駆動し、剥離シートＲＬを回収する第１回収ローラ２７と、駆動機器としてのリニアモータ２８のスライダ２８Ａに支持された駆動機器としての回動モータ２９によって回動する駆動ローラ３０と、駆動ローラ３０との間に接着シートＡＳを挟み込むピンチローラ３１と、ガイドローラ３２と、駆動機器としての回動モータ３３によって回動し、貼付用シートＡＳ１の形成により生じた不要接着シートＵＳを回収する第２回収ローラ３４とを備え、検知手段６０で検知した第１頂部ＴＴ１を第１被着体ＷＦ１の所定の位置に位置決め可能に設けられている。
ここで、剥離シートＲＬには、図１中符号ＡＡで示すように、第１テーパ部ＴＫ１の形状に対応した凹部ＲＲが設けられている。

基材ＢＳ、接着剤ＡＤ層および剥離シートＲＬとしては、何ら制限はなく、基材ＢＳは、例えば紙、樹脂、ゴム、木材、金属、陶器、硝子、石材などが例示でき、接着剤ＡＤ層は、アクリル系、ゴム系、シリコーン系の粘着剤などが例示できる。
剥離シートＲＬは、帯状または枚葉状に形成されていてもよく、上記基材ＢＳで例示したものや、上記基材ＢＳで例示したものに、シリコーン系剥離剤、アルキルペンダント系剥離剤、縮合ワックス系剥離剤、フッ素系剥離剤、ポリエステル系剥離剤などの剥離剤を積層したものや、シリコーン樹脂、アルキルペンダント樹脂、縮合ワックス樹脂、フッ素樹脂、ポリエステル樹脂などそのものからなるものが例示できる。
なお、これら基材ＢＳ、接着剤ＡＤ層および剥離シートＲＬの厚みは、技術常識に照らし合わせてどのような厚みでもよい。また、第１テーパ部ＴＫ１の第１頂部ＴＴ１から第１平坦部ＴＦ１までの高低差や、凹部ＲＲの深さは、１μｍ〜５ｍｍのものが例示できるが、剥離シートＲＬの厚みを考慮してそれ以上でもよいしそれ以下でもよい。
また、接着剤ＡＤ層は、第１被着体ＷＦ１や第２被着体に押圧するときに流動性があることが好ましく、押圧するときに、当該接着剤ＡＤ層のテーパ形状が押し均されて厚みが略一様（略均等）になるとよい。なお、接着剤ＡＤ層は、加熱や冷却等の外力を加えることで流動性を発揮するものや流動性が向上するものでもよい。また、被着面側が変形可能なものである場合、接着剤ＡＤ層は、被着体に押圧するときに流動性が低くてもよいし流動性がなくてもよい。

押圧手段４０は、駆動機器としての直動モータ４３の出力軸４３Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段に接続された押圧面４２を有する押圧プレート４１を備えている。

切断手段５０は、押圧プレート４１の側面に沿って設けられたレール５１上を図示しない駆動機器によって移動するスライダ５２と、スライダ５２に設けられ、図示しない駆動機器によって昇降可能に設けられた切断刃５３とを備えている。

以上のシート貼付装置１０において、第１被着体ＷＦ１に接着シートＡＳを貼付する手順を説明する。
先ず、図１に示すように、スライダ２８Ａが右方の二点鎖線で示す初期位置にある状態で、作業者が原反ＲＳを同図に示すようにセットした後、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して運転開始の信号を入力すると、シート貼付装置１０がスタンバイ状態となる。

次いで、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段が支持手段７０の支持面７２上に第１被着体ＷＦ１を載置すると、支持手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、第１被着体ＷＦ１を吸着保持した後、供給手段２０が回動モータ２４および図示しない駆動機器を駆動し、原反ＲＳを繰り出し、それに同期させて回動モータ２９をロックさせた状態で、リニアモータ２８および回動モータ３３を駆動し、スライダ２８Ａを左方へ移動させる。これにより、第２回収ローラ３４で不要接着シートＵＳを巻き取りつつ、接着シートＡＳが剥離シートＲＬから剥離されて引き出される。そして、接着シートＡＳの第１接着面ＦＡ１の第１頂部ＴＴ１が検知手段６０に検知されると、その検知結果を基に、供給手段２０が回動モータ２４、図示しない駆動機器、リニアモータ２８および回動モータ３３の駆動時間や移動距離をカウントし、所定のカウントが完了した時点でそれらの駆動を停止する。これにより、第１頂部ＴＴ１が第１被着体ＷＦ１中央の上方所定位置で停止する。
次に、押圧手段４０が直動モータ４３を駆動し、図１中実線で示す初期位置にある押圧プレート４１を下降させ、当該押圧プレート４１で接着シートＡＳを第１被着体ＷＦ１に押圧して貼付する。この際、第１頂部ＴＴ１を第１被着体ＷＦ１に当接させ、そのまま接着シートＡＳを第１被着体ＷＦ１に押圧するという１の動作によって、第１接着面ＦＡ１と第１被着体ＷＦ１との貼付領域を第１頂部ＴＴ１から徐々に外縁側に広げ、空気を押し出すようにして第１接着面ＦＡ１と第１被着体ＷＦ１との接着界面に気泡が形成されないように貼付することができる。

その後、切断手段５０が図示しない駆動機器を駆動し、図１中符号ＢＢで示すように、切断刃５３を下降させた後、図示しない駆動機器を駆動し、スライダ５２をレール５１に沿って移動させることで接着シートＡＳを第１被着体ＷＦ１の外縁に沿って切断し、貼付用シートＡＳ１を形成する。次いで、切断手段５０が図示しない駆動機器を駆動し、切断刃５３を上昇させるとともに、押圧手段４０が直動モータ４３を駆動し、押圧プレート４１を初期位置に復帰させる。

次に、供給手段２０が回動モータ２９およびリニアモータ２８を駆動し、駆動ローラ３０を回転させながらスライダ２８Ａを初期位置に移動させることで、不要接着シートＵＳを支持面７２から剥離する。その後、支持手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、人手または図示しない搬送手段が支持手段７０の支持面７２上から貼付用シートＡＳ１が貼付された第１被着体ＷＦ１を取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような実施形態によれば、第１テーパ部ＴＫ１が第１接着面ＦＡ１の長手方向に沿って複数形成された帯状の接着シートＡＳであっても、１の当該第１テーパ部ＴＫ１を確実に第１被着体ＷＦ１に対して位置決めして貼付することができる。

［第２実施形態］
次に、本発明の第２実施形態について説明する。
図２において、シート貼付装置１０Ａは、第１実施形態のシート貼付装置１０に対し、接着シートＡＳの代わりに接着シートＡＳＡを貼付する点と、押圧手段４０の代わりに押圧手段８０を設けた点と、減圧手段９０を新たに設けた点とが相違する。

接着シートＡＳＡは、第１接着面ＦＡ１と第２接着面ＦＡ１２とを備えて帯状に形成され、第１接着面ＦＡ１は、第１実施形態と同様に帯状の剥離シートＲＬ上に仮着されるとともに、第２接着面ＦＡ１２は、第１頂部ＴＴ１および第１テーパ部ＴＫ１に表裏の位置関係においてそれぞれ対応する位置に、図示しない第２被着体に点接触可能または線接触可能な第２頂部ＴＴ２を有する第２テーパ部ＴＫ２が当該接着シートＡＳＡの長手方向に沿って複数設けられている。第２テーパ部ＴＫ２は、上面視で円形形状とされ、当該第２テーパ部ＴＫ２間には、第２平坦部ＴＦ２が形成され、その上面にカバーシートＣＳが仮着されている。

押圧手段８０は、第１実施形態の押圧手段４０に対し、押圧面４２に第２テーパ部ＴＫ２の形状を維持可能なテーパ形状維持手段８５を備えている。
テーパ形状維持手段８５は、第２テーパ部ＴＫ２の形状に対応し、第２頂部ＴＴ２および第２テーパ部ＴＫ２それぞれの形状を維持する頂部維持部８５Ａおよびテーパ維持部８５Ｂを備えている。テーパ形状維持手段８５の高低差は、１μｍ〜５ｍｍのものが例示できるが、それ以上でもよいしそれ以下でもよい。また、テーパ形状維持手段８５は、第２テーパ部ＴＫ２の形状を維持可能であればよいので、当該第２テーパ部ＴＫ２の形状に対応した形状（同じ形状）でもよいし、対応しない形状（異なる形状）であってもよい。テーパ形状維持手段８５が第２テーパ部ＴＫ２の形状に対応しない形状の場合、接着シートＡＳＡを第１被着体ＷＦ１に押圧する際、第２テーパ部ＴＫ２と押圧面４２とで形成される領域を加圧する加圧ポンプやタービン等の加圧手段を設けてもよい。
減圧手段９０は、第２テーパ部ＴＫ２と押圧面４２とで形成される領域を減圧可能に構成され、テーパ形状維持手段８５の頂部維持部８５Ａに設けられた孔９０Ａだけで構成されてもよいし、当該孔９０Ａを介して強制的に減圧する減圧ポンプや真空エジェクタ等の減圧装置９０Ｂを含んで構成されてもよい。なお、減圧手段９０を孔９０Ａだけで構成する場合、当該孔は、有り底でも底なしでもよい。

以上のシート貼付装置１０Ａにおいて、第１被着体ＷＦ１に接着シートＡＳＡを貼付する手順は、第１実施形態と同様の動作によって、第１頂部ＴＴ１が第１被着体ＷＦ１中央の上方で停止すると、押圧手段８０が減圧手段９０と直動モータ４３とを駆動し、押圧プレート４１を下降させ、テーパ形状維持手段８５内に第２テーパ部ＴＫ２を強制的に引き込む。その後も押圧手段８０が直動モータ４３を駆動し、第１実施形態と同様の動作によって接着シートＡＳＡを第１被着体ＷＦ１に貼付し、貼付用シートＡＳ１が貼付された第１被着体ＷＦ１を取り去り、以降上記同様の動作が繰り返される。なお、減圧手段９０を設けない場合は、テーパ形状維持手段８５内に第２テーパ部ＴＫ２を強制的に引き込むことなく、押圧プレート４１の下降に追従して第２テーパ部ＴＫ２がテーパ形状維持手段８５内に入り込み、上記と同様の貼付が行われる。これにより、第２テーパ部ＴＫ２を保護しながら貼付用シートＡＳ１を第１被着体ＷＦ１に貼付することができる。なお、第２テーパ部ＴＫ２は、カバーシートＣＳを剥離した後、第２頂部ＴＴ２を図示しない第２被着体に当接させ、そのまま接着シートＡＳＡまたは貼付用シートＡＳ１を第２被着体に押圧するという１の動作によって、第２接着面ＦＡ１２と第２被着体との貼付領域を第２頂部ＴＴ２から徐々に外縁側に広げ、空気を押し出すようにして第２接着面ＦＡ１２と第２被着体との接着界面に気泡が形成されないように貼付することができる。
以上のような第２実施形態でも、第１実施形態と同様の効果を得ることができる。

［第３実施形態］
次に、本発明の第３実施形態について説明する。
図３（Ａ）において、シート貼付装置１０Ｂは、第２実施形態のシート貼付装置１０Ａに対し、接着シートＡＳＡの代わりに接着シートＡＳを貼付する点と、押圧手段８０の代わりに押圧手段１００を設けた点とが相違する。
押圧手段１００は、第２実施形態のテーパ形状維持手段８５の代わりに、接着シートＡＳにおける第２接着面ＦＡ２を変形させ、図示しない第２被着体に点接触可能または線接触可能な第２頂部ＴＴ２を有する第２テーパ部ＴＫ１２を形成可能なテーパ形状形成手段１０５を設けた点と、押圧プレート４１の内部に設けられ接着シートＡＳの接着剤ＡＤ層の変形を促進させる変形促進手段１０６を新たに設けた点とが相違する。なお、第２テーパ部ＴＫ１２は、上面視で円形形状とされる。

テーパ形状形成手段１０５は、基本的にテーパ形状維持手段８５と同等である。
変形促進手段１０６としては、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、光照射手段、マイクロ波照射手段、紫外線照射手段、赤外線照射手段、マイクロ波照射手段、Ｘ線照射手段、超音波振動装置や偏心モータ等の振動付与装置等、接着剤ＡＤ層の特性によって適宜選択することができ、接着剤ＡＤを軟化させたり寄せ集めたりすることで、当該接着剤ＡＤが所定形状に変形することを促進させるものであり、本実施形態では、加熱手段が採用されている。なお、変形促進手段１０６は、押圧プレート４１の外部に設けてもよい。

以上のシート貼付装置１０Ｂにおいて、第１被着体ＷＦ１に接着シートＡＳを貼付する手順は、基本的に第２実施形態と同様に行われ、テーパ形状形成手段１０５内に接着シートＡＳを強制的に引き込んだときや、接着シートＡＳを第１被着体ＷＦ１に押圧したときに、押圧手段１００が変形促進手段１０６を駆動し、接着シートＡＳの接着剤ＡＤ層の変形を促進させて第２接着面ＦＡ２に第２頂部ＴＴ２を有する第２テーパ部ＴＫ２を形成するようになっている。これにより、第２テーパ部ＴＫ２を形成しながら貼付用シートＡＳ１を第１被着体ＷＦ１に貼付することができる。
以上のような第３実施形態でも、第１、第２実施形態と同様の効果を得ることができる。

以上のように、本発明を実施するための最良の構成、方法等は、前記記載で開示されているが、本発明は、これに限定されるものではない。すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示され、かつ説明されているが、本発明の技術的思想および目的の範囲から逸脱することなく、以上述べた実施形態に対し、形状、材質、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。また、上記に開示した形状、材質などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状、材質などの限定の一部もしくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれる。

例えば、検知手段６０は、接着シートＡＳ、ＡＳＡの下方、側方、上方または斜め方向から第１頂部ＴＴ１を検知する構成とりたり、それら複数の方向から第１頂部ＴＴ１を検知する構成としたり、上記で例示した各センサや撮像手段等を適宜組み合わせて第１頂部ＴＴ１を検知する構成としたりしてもよい。
また、検知手段は、第２実施形態における第２頂部ＴＴ２を検知可能とし、当該検知手段で検知した第２頂部ＴＴ２を供給手段２０が第１被着体ＷＦ１の所定の位置に位置決め可能に設けてもよい。
さらに、第１〜第３実施形態において、押圧プレート４１の押圧面４２に、接着シートＡＳ、ＡＳＡを吸着保持したり、メカ的に保持したりする保持手段を設けてもよい。
また、検知手段は、接着シートＡＳ、ＡＳＡ上に第１頂部ＴＴ１や第２頂部ＴＴ２に対応して設けられた所定の印字や孔、刻印等の印を検知することで、間接的に第１頂部ＴＴ１や第２頂部ＴＴ２を検知するように構成してもよい。
また、切断手段５０は、レーザカッタや圧縮エア切断、圧縮水切断等の他の切断手段でもよいし、押圧プレート４１の側面に沿わせて回転させることなく、当該押圧プレート４１から独立して自由に移動可能な例えば駆動機器としての多関節ロボット等によって切断刃５３やレーザカッタ等の切断部材を移動させる構成でもよい。
また、第１、第２実施形態において、変形促進手段１０６を設けてもよいし、第２、第３実施形態において、減圧手段９０を設けなくてもよい。
また、第１〜第３実施形態において、接着シートＡＳ、ＡＳＡを第１被着体ＷＦ１に貼付する際、図示しない駆動機器を介してテーブル７１を上昇させてもよいし、押圧プレート４１とテーブル７１との両方を移動させて貼付するように構成してもよい。
さらに、第１、第２テーパ部ＴＫ１、ＴＫ２またはＴＫ１２は、底面視または上面視で円形形状でなく例えば、多角形、楕円形等どのような形状であってもよいし、第１被着体ＷＦ１または第２被着体の外形に沿う形状であってもよいし、当該外形に沿わない形状であってもよい。
また、接着シートＡＳ、ＡＳＡに、第１、第２平坦部ＴＦ１、ＴＦ２が形成されていなくてもよい。
さらに、第２テーパ部ＴＫ２、ＴＫ１２の高低差は、１μｍ〜５ｍｍのものが例示できるが、それ以上でもよいしそれ以下でもよい。
さらに、第１頂部ＴＴ１の形状と第２頂部ＴＴ２との形状は同じであってもよいし、異なっていてもよいし、これらのような構成において一方の面に点接触可能な頂部を設け、他方の面に線接触可能な頂部を設けてもよい。
また、本発明における点接触可能または線接触可能な第１、第２頂部の位置は、第１、第２テーパ部の中心でもよいし、当該中心からずれていてもよい。
さらに、各実施形態において、剥離手段は、丸棒やローラ等で構成してもよい。
また、第１被着体ＷＦ１に貼付された接着シートＡＳを他の切断装置や人手で所定形状に切断する場合、切断手段５０は設けなくてもよい。
また、支持手段７０は、第１被着体ＷＦ１をメカチャック等で挟み込んで当該第１被着体ＷＦ１を保持する構成でもよい。
さらに、第１頂部ＴＴ１を停止させる位置は、第１被着体ＷＦ１の中心や当該中心から外れた位置でもよい。
また、第２テーパ部ＴＫ２の第２頂部ＴＴ２は、１の第２被着体に対して１でもよいし複数でもよい。
さらに、第１頂部ＴＴ１および第１テーパ部ＴＫ１の位置は、表裏の位置関係において第２頂部ＴＴ２および第２テーパ部ＴＫ２の位置とずれていてもよい。
また、第１、第２頂部ＴＴ１、ＴＴ２の位置は、第１、第２被着体に対して何れの位置に当接するものでもよい。
さらに、貼付用シートＡＳ１は、第１被着体ＷＦ１の外縁に沿った形状でなく、例えば、第１被着体ＷＦ１の外縁よりも内側や外側で切断されてもよく、例えば、円形、多角形、楕円形等どのような形状であってもよい。
また、第１、第２テーパ部ＴＫ１、ＴＫ２またはＴＫ１２は、２つの面が所定の角度で繋がり、当該繋がり部によって第１被着体ＷＦ１に線接触可能な第１頂部ＴＴ１を形成してもよく、それら２つの面は側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよいし、円錐形状や角錐形状などの頂点によって第１被着体ＷＦ１に点接触可能な第１頂部ＴＴ１を形成してもよく、それら錐面は側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよい。
さらに、テーパ形状維持手段やテーパ形状形成手段は、２つの面が所定の角度で繋がり、当該繋がり部によって頂部維持部８５Ａを形成してもよく、それら２つの面は側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよいし、円錐形状や角錐形状などの頂点によって頂部維持部８５Ａを形成してもよく、それら錐面は側面視で湾曲したり、折れ曲がったりした形状でもよい。

さらに、本発明における接着シートおよび被着体の材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、貼付用シートＡＳ１は、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性の接着シートが採用された場合は、当該接着シートを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプ等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、このような接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、両面接着シートは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体としては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂板等、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートを機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意の形状の任意のシート、フィルム、テープ等を前述のような任意の被着体に貼付することができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、供給手段は、第１接着面を備えて帯状に形成され、第１被着体に点接触可能または線接触可能な第１頂部を有する第１テーパ部が前記第１接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給するものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（他の手段および工程についての説明は省略する）。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる（実施形態で例示したものと重複するものもある）。

１０、１０Ａ、１０Ｂ…シート貼付装置
２０…供給手段
４０、８０、１００…押圧手段
４２…押圧面
６０…検知手段
８５…テーパ形状維持手段
９０…減圧手段
１０５…テーパ形状形成手段
ＡＳ、ＡＳＡ…接着シート
ＦＡ１…第１接着面
ＦＡ２、ＦＡ１２…第２接着面
ＴＫ１、ＴＫ２、ＴＫ１２…第１、第２、第２テーパ部
ＴＴ１、ＴＴ２…第１、第２頂部
ＷＡ１…被着面
ＷＦ１…第１被着体

Claims (5)

1. 第１接着面を備えて帯状に形成され、第１被着体に点接触可能または線接触可能な第１頂部を有する第１テーパ部が前記第１接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給する供給手段と、
   前記供給手段で供給された接着シートの前記第１頂部を第１被着体に当接させ、押圧面によって前記第１被着体方向に押圧力を付与して当該接着シートを前記第１被着体に貼付する押圧手段と、
   前記第１頂部を検知可能な検知手段とを備え、
   前記供給手段は、前記検知手段で検知した１の前記第１頂部を前記第１被着体の所定の位置に位置決め可能に設けられていることを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記接着シートにおける前記第１接着面の反対側の第２接着面には、第２被着体に点接触可能または線接触可能な第２頂部を有する第２テーパ部が当該接着シートの長手方向に沿って複数設けられ、
   前記押圧手段の前記押圧面には、前記第２テーパ部の形状を維持可能なテーパ形状維持手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
3. 前記押圧手段の前記押圧面には、前記接着シートにおける前記第１接着面の反対側の第２接着面を変形させ、第２被着体に点接触可能または線接触可能な第２頂部を有する第２テーパ部を形成可能なテーパ形状形成手段が設けられていることを特徴とする請求項１に記載のシート貼付装置。
4. 前記第２接着面における前記第２テーパ部と前記押圧面とで形成される領域を減圧可能な減圧手段を備えていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載のシート貼付装置。
5. 第１接着面を備えて帯状に形成され、第１被着体に点接触可能または線接触可能な第１頂部を有する第１テーパ部が前記第１接着面の長手方向に沿って複数設けられた接着シートを供給する工程と、
   前記第１頂部を検知する工程と、
   検知した１の前記第１頂部を前記第１被着体の所定の位置に位置決めし、押圧面によって前記第１被着体方向に押圧力を付与して前記接着シートを前記第１被着体に貼付する工程とを備えていることを特徴とするシート貼付方法。

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