JP6147125B2 - 光式圧力センサ - Google Patents

Description

本発明は、ファイバブラックグレーティング（ＦＢＧ）を用いた光式圧力センサに関し、特に、管路内を流れる流体中に配設される光式圧力センサに関する。

従来、ＦＢＧを利用した圧力センサとしては、図７（ａ）に示すように、ケース１０１内に光ケーブル１０２およびダイヤフラム１０３を配設し、圧力によるダイヤフラム１０３の弾性変形量をＦＢＧ１０４で検出する方式が実用化されている（特許文献１）。ＦＢＧ１０４は歪量により反射する波長がシフトする特性があるため、ダイヤフラム１０３にＦＢＧ１０４を固定することで、圧力による弾性変形量をＦＢＧ１０４の波長シフト量に変換することができ、圧力センサとしての機能をもたせることができる。

また、ダイヤフラムへのＦＢＧの固定方法としては、図７（ｂ）に示すように、ダイヤフラム１１１から垂直配置された高張力線１１２に、ＦＢＧ１１３を固定する形態が開示されている（特許文献２）。

特許第４６１５０７６号公報 特許第３５７１９３６号公報

上記のように、一般的なＦＢＧを利用した光式圧力センサでは、略円筒形容器の一端面にダイヤフラムを配置し、他端面から光ファイバを導出する構成となっている。そして、ダイヤフラムの弾性変形量を検出するために、光ファイバの一部に形成されたＦＢＧをダイヤフラム面に直接または間接的に固定している。

一方、光ファイバでは、ガラスの脆性破壊を防ぐために最小曲げ半径が規定されており、一般的な光ファイバでは最小曲げ半径はＲ３０ｍｍとなっている。よって、光ファイバが圧力センサの外部に導出される経路でＲ３０ｍｍを確保した上で、当該経路を構成する光ファイバを、ダイヤフラム面に対して略直角に配置させる必要がある（図７（ａ）参照）。

このため、圧力センサの容器体積は、ダイヤフラム直径と該ダイヤフラムに直角な方向（鉛直方向）に関する光ファイバ収納寸法との双方の積に応じた値となり、センサ全体の体積を大きくせざるを得ない。

しかしながら、河川や下水道等、水流のある環境で水位を測定する場合には、流れを阻害しないように、圧力センサの体積は小さい程よく、特に、細径の管渠内の水位を計測する場合には、圧力検知の精度低下や、管渠内で詰まりなどの不具合が生じないよう、流れに対する影響を極力小さくする必要があることから、センサの小型化が切望されている。

本発明の目的は、ＦＢＧを用いた信頼性の高い測定を実現しつつ、流れに対する影響を極力小さくすることができ、設置場所を選ばない利便性の高い光式圧力センサを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の光式圧力センサは、流路に配置され、前記流路を流れる流体の圧力を光ファイバにて検知する光式圧力センサであって、上壁および底壁を有する扁平型の密閉容器と、前記密閉容器の底壁に取り付けられ、該底壁と略平行に配置されたダイヤフラムと、前記密閉容器内に配置され、前記ダイヤフラムの膜に略平行となるように取り付けられたファイバブラックグレーティングと、前記ファイバブラックグレーティングと一体的に接続され、前記ダイヤフラムの膜と略平行となるように敷設された光ファイバと、前記密閉容器の側壁に設けられ、前記光ファイバを介して外部と光学的に接続するための導入出口とを備え、前記密閉容器の側面視において、前記導入出口に挿通される光ファイバの中心軸が、前記ダイヤフラムの膜面よりも低い位置に配置されることを特徴とする。

また、前記密閉容器は、樹脂で形成されるのが好ましい。

また、前記光ファイバが、前記ファイバブラックグレーティングの上流側に配置された第１光ファイバと、前記ファイバブラックグレーティングの下流側に配置された第２光ファイバとを有し、前記第１光ファイバおよび前記第２光ファイバの双方が、前記ダイヤフラムの膜と略平行に敷設される。

また、前記ファイバブラックグレーティングの中心軸が、前記導入出口に挿通された光ファイバの中心軸と略平行であるのが好ましい。

また好ましくは、前記密閉容器の底壁の一部が、内側に凹んだ凹部を形成している。

さらに、前記密閉容器内に形成される密閉空間は、前記ダイヤフラムの直上に形成された第１空間と、前記ダイヤフラムの側方に形成された第２空間とで構成され、前記第２空間が、前記凹部によって扁平形状となっているのが好ましい。

さらに、前記密閉容器に連結され、前記密閉容器内に形成される密閉空間の圧力を補正する圧力補正ユニットが、前記光式圧力センサに取り付けられる。
また、上記目的を達成するために、流路に配置され、前記流路を流れる流体の圧力を光ファイバにて検知する光式圧力センサであって、上壁および底壁を有する扁平型の密閉容器と、前記密閉容器の底壁に取り付けられ、該底壁と略平行に配置されたダイヤフラムと、前記密閉容器内に配置され、前記ダイヤフラムの膜に略平行となるように取り付けられたファイバブラックグレーティングと、前記ファイバブラックグレーティングと一体的に接続され、前記ダイヤフラムの膜と略平行となるように敷設された光ファイバと、前記密閉容器の側壁に設けられ、前記光ファイバを介して外部と光学的に接続するための導入出口と、を備え、前記密閉容器の底壁の一部が、内側に凹んだ凹部を有し、前記密閉容器内に形成される密閉空間は、前記ダイヤフラムの直上に形成された第１空間と、前記ダイヤフラムの側方に形成された第２空間とで構成され、前記第２空間が、前記凹部によって扁平形状となっていることを特徴とする。

本発明によれば、密閉容器が扁平形状をなし、ファイバブラックグレーティングおよび光ファイバが、ダイヤフラムの膜に略平行となるように取り付けられている。また、導入出口が密閉容器の側壁に設けられている。これにより、光式圧力センサ内部の光ファイバ配線を、最小曲げ半径Ｒ３０ｍｍを確保した上で、ダイヤフラムの膜と略平行な面内に収めることができる。また、光式圧力センサの体積は、ダイヤフラムの直径と該ダイヤフラムに略平行な方向における光ファイバの収納寸法との双方の積に応じた値となり、光式圧力センサの体積を大幅に小型化することが可能となる。

本発明の実施形態に係る光式圧力センサの構成を概略的に示す図であり、（ａ）は上面図、（ｂ）は幅方向側面図である。 （ａ）は図１の光式圧力センサの底面図、（ｂ）は長手方向側面図である。 （ａ）は、図２（ａ）の線Ａ−Ａに沿う光式圧力センサの長手方向断面図であり、（ｂ）は、図２（ａ）の線Ｂ−Ｂに沿う光式圧力センサの長手方向断面図である。 図１の光式圧力センサ内に敷設される光ファイバを示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は長手方向側面図である。 図１の光式圧力センサに接続される大気圧補正ユニットの構成を示す図である。 図１の光式圧力センサを管渠内に設置する場合の設置例を示す図である。 （ａ）は従来の光式圧力センサの構成を示す図であり、（ｂ）は他の従来の光式圧力センサの構成を示す図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照しながら詳細に説明する。

図１（ａ）は、本実施形態に係る光式圧力センサの構成を概略的に示す上面図、（ｂ）は幅方向側面図、図２（ａ）は底面図、図２（ｂ）は長手方向側面図である。また、図３（ａ）は、図２（ａ）の線Ａ−Ａに沿う光式圧力センサの長手方向断面図、図３（ｂ）は、図２（ａ）の線Ｂ−Ｂに沿う光式圧力センサの長手方向断面図である。図４（ａ）は、図１の光式圧力センサ内に敷設される光ファイバを示す平面図、図４（ｂ）は長手方向側面図である。なお、図１〜図４の光式圧力センサは、その一例を示すものであり、本発明の光式圧力センサは、図１〜図４のものに限られないものとする。

本実施形態の光式圧力センサは、流路に配置され、該流路を流れる流体の圧力をシングルモード型光ファイバにて検知するものであり、ＦＢＧを用いた波長検出方式が採用されている。使用波長は、例えば１．５５μｍ帯である。

具体的には、光式圧力センサ１は、底壁２ａおよび上壁２ｂを有する扁平型の密閉容器２と、該密閉容器の底壁２ａに取り付けられ、底壁２ａと略平行に配置されたダイヤフラム３と、密閉容器２内に配置され、ダイヤフラム３の薄膜３１に略平行となるように取り付けられたファイバブラックグレーティング（ＦＢＧ）４と、該ファイバブラックグレーティングと一体的に接続され、ダイヤフラム３の薄膜３１と略平行となるように敷設された光ファイバ５と、密閉容器２の幅方向における側壁２ｃに設けられ、光ファイバ５を介して外部装置（例えば、クロージャ）と光学的に接続するための導入出口６とを備えている。

この光式圧力センサ１は、まずその形状が特徴的であり、具体的には、密閉容器２が長手方向側面視にてアスペクト比約５：１の扁平形状であり、かつ平面視にてアスペクト比が約２：１の縦長構造を有している。このような形状によれば、管渠や側溝などの流路に光式圧力センサ１を設置する場合であっても、流体の流れ方向と略平行にセンサを配置することで、光式圧力センサ１近傍における流れの状態を極力変化させずに圧力測定を行うことが可能となっている。

密閉容器２は、ベース部２１および蓋部２２とで構成されており（図１（ｂ））、ベース部２１が底壁２ａを、蓋部２２が上壁２ｂを有している。ベース部２１および蓋部２２は、シール部材２３を介して向かい合わせに嵌め合わされ（図３（ａ））、ボルト２４で固定される。これにより、略扁平型の密閉空間が、密閉容器２内に形成される。この気密性の密閉空間は、ダイヤフラム３の直上に形成された密閉空間Ｘ（第１空間）と、ダイヤフラム３の側方に形成された密閉空間Ｙ（第２空間）とで構成されている。

底壁２ａは、長手方向断面視において、ダイヤフラム３および固定部材３２を支持する底壁部２１ａと、光ファイバ５をダイヤフラム３から外部に導くための底壁部２１ｂ’とで構成される（図３（ａ））。底壁部２１ａの直上に密閉空間Ｘが、底壁部２１ｂ’の直上に密閉空間Ｙが、それぞれ形成されている。

密閉容器２の材質は、ポリプロピレンなどの樹脂で形成されており、より好ましくは耐食性を有する樹脂で形成される。これにより、光式圧力センサ１の大部分を樹脂でモールド形成することができ、金属製の密閉容器と比較して、光式圧力センサ１を軽量かつ低コストで作製することができる。また、光式圧力センサ１を複数設置する際に、作業者の負担が軽減され、設置効率を向上することが可能となる。

ダイヤフラム３は、密閉容器２の底壁部２１ａに、リング状の固定部材３２を介して支持されている（図３（ａ））。このダイヤフラム３は略円筒形状の金属製部材であり、その中心部に薄膜３１が張着されている。そして薄膜３１の内面３１ａであってかつ該薄膜の中央部に、ＦＢＧ４が取り付けられている。流路の水位が変動すると、ダイヤフラム３に加わる圧力が変化し、薄膜３１が変形することで、ＦＢＧ４が伸縮する。このＦＢＧ４の伸縮により、該ＦＢＧで反射する光の中心波長がシフトする。この原理を利用して、中心波長のシフト量から水位、すなわち圧力が測定される。

ＦＢＧ４は、図４（ａ）に示すように、薄膜３１の中央部に、密閉容器２の長手方向に略平行となるように配置された圧力検出用のＦＢＧ４ａと、密閉容器２に固定され、ＦＢＧ４ａと略平行に配置された温度検出用のＦＢＧ４ｂとで構成される。ＦＢＧ４ａ，４ｂは、光ファイバ５を介して互いに接続され、かつ外部装置と接続されている。

ＦＢＧ４ａは、不図示の外部装置と光ファイバ５ａで光学的に接続されており、外部の光源から出力された光が、光ファイバ５ａを介してＦＢＧ４ａに導入され、また、ＦＢＧ４ａで反射した光が光ファイバ５ａを介して外部に導出される。ＦＢＧ４ａを透過した光は光ファイバ５ｂを介してＦＢＧ４ｂに導入され、さらに、ＦＢＧ４ｂを透過した光が、光ファイバ５ｃを介して外部へ導出される。

光ファイバ５は、ＦＢＧ４ａの上流側に配置された光ファイバ５ａ（第１光ファイバ）と、ＦＢＧ４ａの下流側に配置された光ファイバ５ｂ，５ｃ（第２光ファイバ）とを有している。光ファイバ５ｂ，５ｃ間にはＦＢＧ４ｂが配置されている。

光ファイバ５ａ，５ｂ，５ｃは、密閉空間Ｘ，Ｙ内でこの順に配置されており、これらのいずれも、ダイヤフラム３の薄膜３１と略平行に敷設されている（図４（ｂ））。このような敷設により、光ファイバ５の最小曲げ半径Ｒ３０ｍｍを確保しつつ、密閉空間全体を扁平形状とすることができ、従来と比較して空間体積を大幅に小さくすることが可能となっている。

また光ファイバ５ｃは、その一部又は全部が、曲げ強度の高いいわゆる曲げ強ファイバで構成されてもよい。曲げ強ファイバは、例えば「ＩＴＵ−Ｔ Ｇ．６５７ Ａ１」に準拠したものが選定され、最小曲げ半径がＲ１５ｍｍまで許容される。光ファイバ５ｃは、本センサ内で最も曲げ半径が小さくなる部分であることから、密閉容器２の幅方向寸法に応じて、曲げ強ファイバ（小径曲げ対応ファイバ）を使用することで、光ファイバ５の脆性破壊を確実に防止することができる。

なお、図４のファイバ配線は、説明の便宜上簡略化して記載しているが、導入出口６を介して外部と接続された光ファイバ５ａが、密閉空間内で１回あるいは複数巻回されてＦＢＧ４ａに接続されてもよい。同様に、光ファイバ５ｂは、１回あるいは複数巻回されてＦＢＧ４ｂに接続されてもよく、光ファイバ５ｃも、１回あるいは複数巻回されて導入出口６を介して外部に接続されてもよい。

密閉容器２の幅方向の側壁２ｃには導入出口６が形成されており、該導入出口には、光式圧力センサ１と外部装置とを接続するための管状接続部材６１が略同軸で嵌入されている。そして密閉容器２の長手方向断面視において、導入出口６に挿通される光ファイバ５ａ，５ｃの中心軸は、ダイヤフラム３の内面３１ａよりも低くなっている（図３（ｂ）：Ｈ１＜Ｈ２）。これにより、側壁２ｃでの管状接続部材６１の取り付けスペースを確実に確保しつつ、密閉容器２を扁平形状とすることができる。

管状接続部材６１は、その中心軸がダイヤフラム３の薄膜３１と略平行となるように配置されている。管状接続部材６１内には、光ファイバ５ａ，５ｃが挿通されており、各光ファイバの端部が外部装置に接続される。よって、管状接続部材６１に挿通された光ファイバ５ａ，５ｃの中心軸も、ダイヤフラム３の薄膜３１と略平行となっている。

また、本実施形態では、ＦＢＧ４ａ，４ｂの中心軸がそれぞれ、導入出口６に挿通された光ファイバ５ａ，５ｂの中心軸と略平行となるように配置されている（図４（ａ））。さらに、平面視においては、ＦＢＧ４ａの中心軸が、導入出口６の中心軸と略同軸で配置されている（図４（ａ））。

密閉空間Ｘ，Ｙは、例えば図５に示すような圧力補正ユニットにて大気圧に調整されている。圧力補正ユニット７０は、密閉空間Ｘ，Ｙと連通し、かつ管状接続部材６１に光ファイバと略同軸で接続されたチューブ７１と、チューブ７１に接続された接続ボックス７２と、該接続ボックスに空気を導入するチューブ７３と、チューブ７３と継ぎ手７４を介して連結された弾性体からなる膨縮部７５と、膨縮部７５を収容すると共に、大気導入口７６ａが設けられた膨縮部収容箱７６とを有している。膨縮部７５は、大気導入口７６ａから導入される空気の圧力（大気圧）によって膨張あるいは収縮し、膨縮部７５の内圧が大気圧と平衡状態に保たれる。よって、光式圧力センサ１の密閉空間Ｘ，Ｙと膨縮部７５を接続することで、密閉空間Ｘ，Ｙの圧力が大気圧に保たれる。本構成により、ダイヤフラム３の薄膜３１に加えられる圧力が、流体から受ける圧力のみとなるため、圧力検知を正確に行うことが可能となっている。

また、上述のように、密閉空間Ｘ，Ｙの体積が非常に小さいため、膨縮部７５と密閉空間Ｘ，Ｙとの間で移動する空気量が大幅に少なくなる。よって、経年劣化による不具合を低減することが可能となり、メンテナンス作業を少なくすることができる。

密閉空間Ｙの体積を更に小さくするべく、図３（ａ）に示すように、ダイヤフラム３の側方に位置する底壁部２１ｂ’が、長手方向断面略矩形の凹部２５を形成してもよい。凹部２５が内側に凹むように形成されることで、密閉容器２は上げ底形状となり、密閉空間Ｙの体積がより小さくなる。

但し、光ファイバ５の敷設部分では、該光ファイバの最小曲げ半径を考慮し、長手方向断面略三角形状の凹部２６が形成される（図３（ｂ））。具体的には、ベース部２１の幅方向略中央部に、ダイヤフラム３の内面３１ａから導入出口６に向かって緩傾した底壁部２１ｂ”が設けられる。これにより、図４（ａ），（ｂ）に示すように、光ファイバ５ａ，５ｃが底壁部２１ｂ”の傾斜面に敷設される。したがって、密閉空間Ｙ内で光ファイバ５ａ，５ｃが最小曲げ半径Ｒ３０ｍｍ以下になることがなく、脆性破壊が生じない敷設を容易に実行することができる。

上記のように構成される光式圧力センサ１は、例えば水路となる管渠内に設置される。図６に示すように、光式圧力センサ１は、管渠８１の管底８１ａに、円環状の固定バンド９１にて固定される。また、光式圧力センサ１とクロージャ９３とを接続する光ファイバケーブル９２が、固定バンド９１にて管渠８１の管底８１ａに固定され、これにより、光ファイバケーブル９２が、管渠８１内およびマンホール８２内に敷設される。クロージャ９３は、マンホール８２内の側壁８１ａにサドルなどの固定具（不図示）にて固定される。

このような管渠内に圧力センサを設置する際には、圧力検知の精度低下や、管渠内で詰まりなどの不具合が生じないよう配慮する必要がある。本実施形態では、小型かつ扁平形状の光式圧力センサ１を、管渠８１の水流方向Ｆに平行に設置し、内周面８１ａに固定するので、水流方向Ｆと垂直な方向に関するセンサ断面積を小さくすることができ、水流に対する影響を極力小さくすることが可能である。また、光式圧力センサ１から導出される光ファイバケーブル９２を水流方向Ｆと略平行に敷設できるので、水流に対する影響を更に小さくすることができる。

また、管渠内に可燃性ガスが充満する可能性があることから、管渠内に機器類を設置する際、金属線などの電線の敷設が制限される場合がある。本実施形態では光式圧力センサ１とクロージャ９３が光ファイバケーブル９２で接続されるため、管渠内での敷設制限を受けることがなく、自由度の高いセンサ設置を実現できる。

上述したように、本実施形態によれば、密閉容器２が扁平形状をなし、ＦＢＧ４ａ，４ｂおよび光ファイバ５が、ダイヤフラム３の薄膜３１に略平行となるように取り付けられている。また、導入出口６が密閉容器２の側壁２ｃに設けられている。これにより、光式圧力センサ１内部の光ファイバ配線を、最小曲げ半径Ｒ３０ｍｍを確保した上で、ダイヤフラム３の薄膜３１と略平行な面内に収めることができる。また、光式圧力センサ１の体積は、ダイヤフラム３の直径とダイヤフラム３に略平行な方向における光ファイバ５の収納寸法との双方の積に応じた値となり、光式圧力センサ１の体積を大幅に小型化することが可能となる。したがって、信頼性の高い測定を実現しつつ、水流に対する影響を極力小さくすることができ、設置場所を選ばない利便性の高い光式圧力センサ１を提供できる。

また、光式圧力センサ１の体積が小さくできることから、水位検出時にセンサ内部の圧力と大気圧の補正を行うための密閉空間Ｘ，Ｙ、すなわち圧力補償部を小さくすることが可能となる。

更に、管渠８１の管底８１ａに設置した場合に、水流方向に対して垂直なセンサ断面積を大幅に小さくすることができ、またセンサ外部に導出された光ファイバケーブル９２も、水流と略平行に敷設できるため、水流への影響を大幅に低減することが可能となる。

以上、本実施形態に係る光式圧力センサについて述べたが、本発明は記述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術思想に基づいて各種の変形および変更が可能である。

１ 光式圧力センサ
２ 密閉容器
２ａ 底壁
２ｂ 上壁
２ｃ 側壁
３ ダイヤフラム
４ ＦＢＧ
４ａ，４ｂ ＦＢＧ
５ 光ファイバ
５ａ，５ｂ，５ｃ 光ファイバ
６ 導入出口
２１ ベース部
２１ａ 底壁部
２１ｂ’ 底壁部
２１ｂ” 底壁部
２２ 蓋部
２３ シール部材
２４ ボルト
２５ 凹部
２６ 凹部
３１ 薄膜
３１ａ 内面
３２ 固定部材
６１ 管状接続部材
７１ チューブ
７２ 接続ボックス
７３ チューブ
７４ 継ぎ手
７５ 膨縮部
７６ 膨縮部収容箱
７６ａ 大気導入口
８１ 管渠
８２ マンホール
８１ａ 管底
９１ 固定バンド
９２ 光ファイバケーブル
９３ クロージャ

Claims (8)

1. 流路に配置され、前記流路を流れる流体の圧力を光ファイバにて検知する光式圧力センサであって、
   上壁および底壁を有する扁平型の密閉容器と、
   前記密閉容器の底壁に取り付けられ、該底壁と略平行に配置されたダイヤフラムと、
   前記密閉容器内に配置され、前記ダイヤフラムの膜に略平行となるように取り付けられたファイバブラックグレーティングと、
   前記ファイバブラックグレーティングと一体的に接続され、前記ダイヤフラムの膜と略平行となるように敷設された光ファイバと、
   前記密閉容器の側壁に設けられ、前記光ファイバを介して外部と光学的に接続するための導入出口と、を備え、
   前記密閉容器の側面視において、前記導入出口に挿通される光ファイバの中心軸が、前記ダイヤフラムの膜面よりも低い位置に配置されることを特徴とする光式圧力センサ。
2. 前記密閉容器が樹脂で形成されることを特徴とする、請求項１記載の光式圧力センサ。
3. 前記光ファイバが、前記ファイバブラックグレーティングの上流側に配置された第１光ファイバと、前記ファイバブラックグレーティングの下流側に配置された第２光ファイバとを有し、
   前記第１光ファイバおよび前記第２光ファイバの双方が、前記ダイヤフラムの膜と略平行に敷設されることを特徴とする、請求項１記載の光式圧力センサ。
4. 前記ファイバブラックグレーティングの中心軸が、前記導入出口に挿通された光ファイバの中心軸と略平行であることを特徴とする、請求項１記載の光式圧力センサ。
5. 前記密閉容器の底壁の一部が、内側に凹んだ凹部を構成することを特徴とする、請求項１記載の光式圧力センサ。
6. 前記密閉容器内に形成される密閉空間は、前記ダイヤフラムの直上に形成された第１空間と、前記ダイヤフラムの側方に形成された第２空間とで構成され、
   前記第２空間が、前記凹部によって扁平形状となっていることを特徴とする、請求項５記載の光式圧力センサ。
7. 前記密閉容器に連結され、前記密閉容器内に形成される密閉空間の圧力を補正する圧力補正ユニットが取り付けられることを特徴とする、請求項１記載の光式圧力センサ。
8. 流路に配置され、前記流路を流れる流体の圧力を光ファイバにて検知する光式圧力センサであって、
   上壁および底壁を有する扁平型の密閉容器と、
   前記密閉容器の底壁に取り付けられ、該底壁と略平行に配置されたダイヤフラムと、
   前記密閉容器内に配置され、前記ダイヤフラムの膜に略平行となるように取り付けられたファイバブラックグレーティングと、
   前記ファイバブラックグレーティングと一体的に接続され、前記ダイヤフラムの膜と略平行となるように敷設された光ファイバと、
   前記密閉容器の側壁に設けられ、前記光ファイバを介して外部と光学的に接続するための導入出口と、を備え、
   前記密閉容器の底壁の一部が、内側に凹んだ凹部を有し、
   前記密閉容器内に形成される密閉空間は、前記ダイヤフラムの直上に形成された第１空間と、前記ダイヤフラムの側方に形成された第２空間とで構成され、
   前記第２空間が、前記凹部によって扁平形状となっていることを特徴とする、光式圧力センサ。

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