JP6033915B2 - 流体制御・測定システムの電力供給装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えば半導体製造プロセスに用いられる材料ガスや薬液、洗浄液等の流体流量を制御するための流体制御・測定システムの電力供給装置に関するものである。

例えば、半導体プロセスのように複数のガスを用いる場合、各ガスの流量を制御すべく、ガスライン毎に流量制御装置が設けられている。また、これら流量制御装置に対する小型化の要請が高まりつつあるため、流量制御装置に電源装置を組み入れることなく、各流路制御装置を統括管理する電力供給装置から通信ケーブルを介して電力を供給する方式も用いられるようになってきている。

ところで、一般的に、起動時には電力供給ラインに通常運転時よりも大きな突入電流が流れるため、電流容量に余裕のある大き目の電源装置を電力供給装置に搭載する必要がある。

しかしながら、流量制御装置の数が多くなると、全体としての突入電流もそれに応じて大きくなり、電源装置が肥大化する。そして、例えば半導体プロセスシステムでは、電力供給装置の小型化をも求められることがあるため、電力供給装置の電源が肥大化すると、その要求に応じられないという不具合が生じ得る。

国際公開ＷＯ２００８／０６９２２７号公報

本発明は上述した問題に鑑みてなされたものであり、複数の流体機器を管理する電力供給装置における電源装置の肥大化を防止することを目的とする。

すなわち、本発明に係る電力供給装置は、流体を制御又は測定する複数の流体機器にそれぞれ電気接続線を介して接続されることにより、該電気接続線に設けられている電力供給ラインを介して前記各流体機器に電力を供給する電力供給装置であって、前記流体機器が接続された場合に、前記電力供給ラインとは別に前記電気接続線に設けられている断接監視用ラインに電源からの電力が供給されるように構成されているものにおいて、少なくとも一部の流体機器に対する電力供給開始タイミングをずらす電力供給制御部を具備し、前記電力供給制御部が、前記各流体機器に対する電力供給をＯＮ／ＯＦＦする電力供給・遮断部と、前記断接監視用ラインに電流が流れているかを判別することにより、前記電源と前記各流体機器とを接続する電気接続線の断接をそれぞれ監視する電気接続線断接監視部とを有し、前記電気接続線断接監視部が、前記電源と前記流体機器との接続が検知された場合に、前記電力供給・遮断部にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信し、接続が検知された電気接続線の前記電力供給ラインに電力を供給することを特徴とするものである。

このような構成によれば、電力供給制御部が少なくとも一部の流体機器に対する電力供給開始タイミングをずらすので、例えば、起動時に電力供給装置の電源から各流体機器に流れる突入電流を時間的に分散化することができる。そのため、従来のように流体機器の数に応じて電源の電流容量を大きくすることが不要となり、電力供給装置側における電源の飛躍的な小型化による電力供給装置の小型化や軽量化が可能となる。

電力供給制御部が、複数の電気接続線のうち、流体機器に接続されている電気接続線に対して確実に電力を供給するためには、前記電力供給制御部が、前記各流体機器に対する電力供給をＯＮ／ＯＦＦする電力供給・遮断部と、前記各流体機器との電気接続線の断接をそれぞれ監視する電気接続線断接監視部とを更に具備し、前記電気接続線断接監視部が、前記電力供給・遮断部にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信し、接続が検知された電気接続線の電力供給ラインに電力を供給することが好ましい。

ここで、流体機器と切断されているケーブルに電圧が発生している場合、このケーブルを流体機器に接続すると、その接続時にＬＣ共振などを原因とする過電流や過電圧が流体機器に作用し、流体機器が破損する恐れがある。
ケーブルの不測の挿脱や断線による破損防止を図るには、前記電気接続線断接監視部が、前記電力供給・遮断部にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信し、切断が検知された電気接続線の電力供給ラインに対する電力供給を停止させるが好ましい。
上述した構成であれば、流体機器と切断されているケーブルの電力供給ラインには電圧が発生しないので、仮にこのケーブルを流体機器に接続したとしても、流体機器への過電流や過電圧を抑制でき、流体機器を破損させにくくすることができる。
また、切断されているケーブルにゴミや埃等が付着したり、切断されているケーブルを誤った端子に接続したとしても、このケーブルの電力供給ラインには電圧が発生していないので、ショートや過電流や過電圧等を防ぐことができる。

突入電流の最小化を図るには、電力供給制御部が、各流体機器に対する電力供給開始タイミングを全てずらすように構成したものが好ましい。

具体的な実施態様としては、前記電力供給制御部が、前記各流体機器に対する電力供給開始タイミングを設定する電力供給開始タイミング設定部を更に具備するものを挙げることができる。

前記電力供給開始タイミング設定部の具体的な実施態様としては、所定の電力供給開始信号を受け付け、その受付タイミングを基準として各流体機器に対する電力供給開始タイミングを決定するものを挙げることができる。

このように構成した本発明によれば、複数の流量制御装置を管理する電力供給装置における電源装置の肥大化を防止することができる。

本発明の一実施形態に係る流体制御・測定システムの全体を模式的に示す図。 同実施形態における流量制御装置の全体を示す斜視図。 同実施形態における流量制御装置を模式的に示す図。 同実施形態における流量制御装置及び電力供給装置を説明する機能ブロック図。

本発明の一実施形態に係る流体制御・測定システムについて、図１乃至４を参照しながら説明する。

前記流体制御・測定システム１００は、図１に示すように、例えば、半導体製造システム成膜用の各種ガスをガス供給源からそれぞれ導入し、それらを混合して半導体の成膜チャンバ（図示しない）に供給するために用いられるものであり、各ガスの流路Ｌ（以下、ガス流路ともいう。）を形成する流路形成部材と、各ガス流路Ｌにそれぞれ設けられて該ガス流路Ｌを流れるガスの流量を独立して制御する流体機器たる流量制御装置１０１と、各流量制御装置１０１の動作を統括管理する電力供給装置１０２とを具備する。
なお、流体機器としては、流体の圧力、流量、温度粘性等の物性を制御する流体制御装置や、前記物性を測定する流体測定装置などが挙げられる。

次に、この流体制御・測定システム１００の各部をより具体的に説明する。

前記流路形成部材は、図示しないが、例えば、複数のブロック体を平面的に連設することでパネル上に構成されたものである。各ブロック体には、内部流路が設けてあり、それらを適宜連設して各ブロック体の内部流路を繋げることによって、上述したように、複数の並列したガス流路Ｌが形成されるようにしてある。ブロック体には、圧力センサやバルブ、あるいは後述する流量制御装置１０１等の流体関連機器を搭載可能なものや、分岐流路が形成されたものなど、種々のタイプが用意されている。このようなブロック体によって流路形成部材を構成しているのは、隙間なく密に配設できるうえ、その上部に一体的に前記流体関連機器を搭載できることから、小型化を図れ、その結果、流路を短くできてデッドスペースを小さくしたり応答性を向上させたりできるからである。なお、流路形成部材として、一般的な配管部材を用いても構わない。

前記流量制御装置１０１は、図２及び図３に示すように、流量制御装置搭載用ブロック体１（以下、単にブロック体ともいう。）に搭載された圧力センサ２Ａ、２Ｂ、流体抵抗素子３、流量調整バルブ４、電気回路基板５及びこれらを収容するカバー体６とを具備したものである。

ブロック体１は、細長い直方体状をなすものであり、その長手方向に対して直交するように形成された前後各端面１ｂには、それぞれガスの導入ポート及び導出ポートが設けられ、それら各ポートを繋ぐように、平面視、長手方向に沿ってガスが流れる内部流路１ａが設けてある。

そして、該内部流路１ａ上に、上流側から順に流量調整バルブ４、第１圧力センサ２Ａ、流体抵抗素子３、第２圧力センサ２Ｂが設けてある。また、このブロック体１の上面１ｃ（すなわち、このブロック体１の長手方向と平行で前記端面１ｂと垂直な面）は部品取付面として設定してあり、この部品取付面に後述する流量調整バルブ４や圧力センサ２Ａ、２Ｂのハウジングが設けてある。

流量調整バルブ４は、内部流路１ａ上に設けられた弁本体（図示しない）とこれを開閉するアクチュエータ（図示しない）とを具備したものである。このアクチュエータは、例えば厚み方向に伸縮する積層ピエゾ素子を利用したものであり、前記部品取付面に取り付けられた筒状ハウジングに収容されている。そして、該アクチュエータの伸縮動作によって弁本体の弁開度を調整できるようにしてある。

圧力センサ２Ａ、２Ｂは、扁平形状をなすハウジングと、そのハウジング内に内蔵した圧力検知素子とを具備するものである。そして、このハウジングを、その面板部（扁平面）が前記部品取付面から垂直でなおかつブロック体１の長手方向と平行、すなわち平面視、流体の流れ方向と略平行となるように、該部品取付面１ｃに取り付けてある。

流体抵抗素子３は、内部流路１ａに設けられた狭隘な通路部分を形成するものであり、ここでは、ブロック体１の内部に埋め込んである。

電気回路基板５は、前記ブロック体１の部品取付面１ｃと垂直かつその長手方向と平行に起立させたものであり、本実施形態では、該電気回路基板５の一部をなすコネクタ５１が、カバー体６の上板部６１に形成された例えば矩形状をなす貫通孔Ｈを介して、外部に延出するように設けられている。
この電気回路基板５には、ＣＰＵ、メモリ、通信回路などのデジタル回路、及び、増幅器、バッファなどのアナログ回路が形成されている。
そして、図４に示すように、各回路が協働することによって、機能的にいえばガス流路Ｌ（ブロック体１の内部流路１ａであるガス流路）を流れるガスの流量を測定する流量測定部７１及び該流量測定部７１で検知されたガス流量を所与の目標流量となるように制御する流量制御部７２としての機能を発揮する。

流量測定部７１は、ここでは、流体抵抗素子３の上流及び下流に設けられた圧力センサ２Ａ、２Ｂで測定されたガス流路Ｌの圧力に基づいて、当該ガス流路Ｌを流れるガス流量を算出するものである。このようにして算出したガス流量（以下、測定流量ともいう。）は、流量制御部７２に測定信号として出力される。

流量制御部７２は、目標流量信号及び前記測定信号を受け付け、それらが示す目標流量と前記測定流量とを比較し、その偏差が小さくなるように、流量調整バルブ４を駆動するための動作信号を出力するものである。なお、この流量制御部７２には、バルブ開閉信号も受け付けられるようになっており、バルブ開閉信号を受け付けた場合には、目標流量信号の値にかかわらず、流量調整バルブ４を強制的に全開または全閉させる。

なお、本実施形態では、流量測定部７１及び流量制御部７２は、通信部７３を介して上述した各種信号を電力供給装置と送受信するように構成されている。

次に、前記電力供給装置１０２について説明する。

この電力供給装置１０２は、ＣＰＵ、メモリ、Ｉ／Ｏポートなどを具備した情報処理装置であり、前記メモリに記憶されたプログラムにしたがってＣＰＵやその周辺機器が協働することにより、各流量制御装置１０１の通信部７３と電気接続線である電気ケーブル８を介して通信し、これらを管理する管理部２０としての機能を少なくとも発揮する。電気ケーブル８を介して電力供給装置１０２から各流量制御装置１０１に送信される信号としては、目標流量を示す前記目標流量信号の他、流量調整バルブ４を強制的に開閉させる前記バルブ開閉信号などがある。一方、各流量制御装置１０１から電力供給装置１０２に送信される信号としては、測定流量を示す前記測定信号、各圧力センサが測定した圧力を示す測定圧力信号、流量調整バルブ４の開度（バルブ４に印加している電圧）を示すバルブ開度信号などがある。

ところで、本実施形態の流体制御・測定システム１００において、前記電気回路に対する電力を供給する電源（より具体的には、例えば±１５Ｖを発生するＤＣ電源）は、上述した流量制御装置１０１には設けられておらず、その電力は、前記電気ケーブル８を介して、電力供給装置１０２に設けたＤＣ電源３０から供給されるように構成されている。

そのために、前記電気ケーブル８には、図４に示すように、通信ライン８１の他、前記ＤＣ電源３０に接続される電力供給ライン８２等の複数のラインが設けてあるとともに、電力供給装置１０２には、各流量制御装置１０１に対して供給される電力を制御するための電力供給制御部１０をさらに設けている。なお、図４中、符号５１及び符号９は、電気回路基板５及び各流量制御装置１０１にそれぞれ設けられた電気ケーブル接続用のコネクタである。

次に、前記電力供給制御部１０について詳述する。この電力供給制御部１０は、図４に示すように、電力供給・遮断部１２、電力供給タイミング設定部１１、電流測定部１３及び電気接続線断線監視部１４（以下、ケーブル断接監視部ともいう）を具備している。

電力供給・遮断部１２は、前記ＤＣ電源３０と電力供給ライン８２との間の電力ラインＥＬ（ここでは±１５Ｖライン）上に設けられたもので、具体的には、該電力ラインＥＬを断接するＦＥＴなどの半導体スイッチング素子（図示しない）を主体として構成されたものである。なお、この電力ラインＥＬは、コネクタ９を介して電気ケーブル８の電力供給ライン８２に接続され、各流量制御装置１０１に電力を供給させる。
上述した構成により、ＦＥＴなどの半導体スイッチング素子の応答性を制御することができるので、例えば前記半導体スイッチング素子の制御端子にキャパシタ成分を入力して応答性を遅くすることで、電気ケーブル８が接続された際に生じ得るＬＣ共振を制御することができる。

電力供給タイミング設定部１１は、例えば、オペレータが図示しない入力手段を用いて入力した電力供給開始信号を受け付け、その受付タイミングを基準として、複数の流量制御装置１０１に所定の順序で電力を供給すべく、電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信し、各流量制御装置１０１に対する電力供給開始タイミングを設定するものである。なお、このＯＮ／ＯＦＦ制御信号とは、例えば前記スイッチング素子の制御端子（ゲートやベース）に印加される２値信号のことである。
より詳細には、例えば前記メモリに予め記憶されている順序データに基づき、前記電力供給開始タイミングを全て所定時間（例えば、２ｍｓｅｃ以上１０ｓｅｃ以下の）ずらしながら各流量制御装置１０１に優先順位の高い順で電力を供給するように前記電力供給開始タイミングが設定されている。

電力供給・遮断部１２は、各流量制御装置１０１に対応して電力ラインＥＬ上に設けられており、対応する流量制御装置１０１に接続された電気ケーブル８の電力供給ライン８２に所定の電力を供給する又はその電力を遮断するものである。

電流測定部１３は、各流量制御装置１０１に対応して電力ラインＥＬ上に設けられており、電力供給装置１０２から流量制御装置１０１に流れる電流を測定するものである。
具体的にこの電流測定部１３は、例えば電流検出素子を有したものであり、本実施形態では、測定された測定電流が所定値以上である場合に、電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信して例えば半導体スイッチング素子（図示しない）を切り替え、電力供給ライン８２に供給する電力、つまりコネクタ９に設けられ、電力供給ライン８２が接続される電気端子ｘに発生させる電圧を遮断するように構成されている。

ケーブル断接監視部１４は、各流量制御装置１０１に対応して設けられており、対応する流量制御装置１０１に接続されている電気ケーブル８の断接を監視するものであり、本実施形態では、電気ケーブル８と流量制御装置１０１又は電力供給装置１０２との断接を監視している。
なお、ここでいう電気ケーブル８の断接とは、電気ケーブル８が装置に接続している状態又は電気ケーブル８が装置と切断している状態を示しており、切断されている状態には、電気ケーブル８が装置から取り外されている状態のほか、電気ケーブル８が途中で断線している状態も含まれる。

具体的にこのケーブル断接監視部１４は、上述した通信ライン８１及び電力供給ライン８２とは別に、電気ケーブル８に設けられた断接監視用ライン８３に接続されており、例えばこの断接監視用ライン８３に電流が流れているかを判別することにより、上述した断接を監視するように構成されたものである。

本実施形態のケーブル断接監視部１４は、電気ケーブル８が流量制御装置１０１又は電力供給装置１０２から切断されている状態、つまり断接監視用ライン８３に電流が流れていない状態を検知すると、電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信して例えば半導体スイッチング素子（図示しない）を切り替え、電力供給ライン８２に供給する電力、つまり上述した電気端子ｘに発生する電圧を遮断するように構成されている。

続いて、本実施形態の流体制御・測定システム１００の動作を説明する。

まず、全ての流量制御装置１０１が電気ケーブル８を介して電力供給装置１０２に接続されている状態において、例えば、オペレータにより電力供給開始信号が入力されると、電力供給タイミング設定部１１が、前記電力供給開始信号を受け付ける。

そして、この電力供給タイミング設定部１１は、その受付タイミングを基準として、各流量制御装置１０１に所定の順序で電力を供給すべく、各電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信する。
なお、電力供給タイミング設定部１１は、必ずしも前記受付タイミングを基準とする必要はなく、例えば、全ての流量制御装置１０１が電気ケーブル８を介して電力供給装置１０２に接続されたときを基準としても良いし、電力供給装置１０２の電源が入ったときを基準としても良い。

上述したように、各流量制御装置１０１に電力が供給されたあと、本実施形態では、ケーブル断接監視部１４が所定の時間間隔で各電気ケーブル８の断接を監視する。

前記ケーブル断接監視部１４は、電気ケーブル８の切断を検知すると、該電気ケーブル８への電力を遮断すべく、電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信する。

その後、例えばオペレータにより切断された電気ケーブル８が再び接続されると、前記ケーブル断接監視部１４は、電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信して、該電気ケーブル８に電力を供給させる。この際、ケーブル断接監視部１４は、例えばプログラムを変更することにより、接続を検知してから所定の時間経過後に電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信するようにしても良い。

ここで、仮に切断された複数の電気ケーブル８が、ほぼ同時に再び接続された場合は、前記電極供給タイミング設定部が、これらの電気ケーブル８に対応する流量制御装置１０１のうち、優先順位の高いものから順に電力を供給するように、対応する各電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信する。

このように構成された本実施形態に係る流体制御・測定システム１００によれば、電力供給タイミング設定部１１が、各電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送り、電力供給開始タイミングをずらしながら各流量制御装置１０１に所定の順序で電力を供給しているので、ＤＣ電源３０から各流量制御装置１０１に流れる突入電流を時間的に分散化して最小化することができる。
これにより、ＤＣ電源３０に必要とされる電流容量を抑えることができ、従来のように流量制御装置１０１の数に応じてＤＣ電源３０の電流容量を大きくすることが不要となり、ＤＣ電源３０の飛躍的な小型化による電力供給装置１０２の小型化や軽量化が可能となる。

また、ケーブル断接監視部１４は、電気ケーブル８の切断を検知されると、電力供給・遮断部１２にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信し、この電気ケーブル８の電力供給ライン８２への電力を遮断するので、仮にこの電気ケーブル８を流量制御装置１０１に接続したとしても、過電圧や過電流により流量制御装置１０１を破損させる恐れがない。

さらに、切断されている電気ケーブル８にゴミや埃等が付着したり、切断されている電気ケーブル８を誤ったコネクタに接続したとしても、この電気ケーブル８の電力供給ライン８２には電力が供給されていないので、ショートやや過電圧や過電流等を防ぐことができる。

加えて、種々のシーケンスを組むことにより、流量制御装置１０１に例えば＋１５Ｖの電力を供給し始め、１０ｍｓｅｃ後に−１５Ｖ供給するといった、供給タイミングを種々変更することができる。

なお、本発明は前記実施形態に限られるものではない。

例えば、前記実施形態では、電力供給タイミング設定部が、予め定められた順序で流量制御装置に電力を供給するものであったが、例えば、流量制御装置に電気ケーブルが接続された順序で電力を供給するものであっても良い。
さらに、電子供給タイミング設定部は、例えば、各流量制御装置に対応して設けられたバルブが開かれた順序や、各流量制御装置に対応して設けられたチャンバに流体が供給された順序で、各流量制御装置に電力を供給するように構成されたものであっても良い。

また、前記実施形態の電力供給タイミング設定部は、各流量制御装置に対する電力供給開始タイミングを全てずらすように構成されていたが、一部の流量制御装置に対する電力供給開始タイミングをずらすように構成されていても良い。

さらに、前記実施形態のケーブル断接監視部は、断接監視用ラインに電流が流れているかを判別することにより、電気ケーブルの断接を監視するように構成されていたが、例えば通信ラインや電力供給ライン等に電流が流れているかを判別することにより、電気ケーブルの断接を監視するように構成しても良い。
なお、上述した各ラインに電流が流れているかを判別する具体的な実施態様としては、ケーブル断接監視部が、フォトカプラを利用して各ラインと絶縁した状態で各ラインの電流を検出するように構成されたものや、電流検出素子等を利用して各ラインの電流を検出するように構成されたものが挙げられる。

そのうえ、本実施形態では、電気ケーブルが切断されると、該電気ケーブルへの電力を遮断するように構成されていたが、ある電気ケーブルが切断された際に、その他の全ての電気ケーブルへの電力を遮断するように構成しても良い。
この場合、ケーブル断接監視部は、電気ケーブルの切断を検知すると、該電気ケーブルへの電力を遮断すべく電力供給・遮断部にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信するとともに、その他の電気ケーブルに対応する電力供給・遮断部にもＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信するように構成されていれば良い。

さらに、流量制御装置に設けられたコネクタは、活線挿抜（ホットプラグ）に対応するものを用いても良い。この場合、コネクタの両端に位置する電気端子（サイドピン）に電源・ＣＯＭを配置することにより、電気ケーブルが脱抜される際、これら両端の電気端子よりも内側の電気端子が先に脱抜されることとなる。
このことから、ケーブル断接監視部が、断接監視用ラインの断接を検出し、両端の電気端子脱抜よりも先に流体制御装置への電力供給を止めることが可能となる。
すなわち、流体制御装置内でバイポーラ電源ＩＣを使用している場合、片電源状態を低減することが可能となる。

また、前記実施形態では、各流量制御装置と電力供給装置とが電気ケーブルにより接続されていたが、例えば流量制御装置と電力供給装置とのコネクタ同士を電気ケーブルを介すことなく接続するようにしても良い。

加えて、流量制御装置は、いわゆる差圧式のものであるが、熱式のものであっても構わない。

さらに、電力供給タイミング設定部、電力供給・遮断部及びケーブル断接監視部は、流量制御装置に設けても良い。ただし、前記実施形態のように、これらの電力供給タイミング設定部、電力供給・遮断部及びケーブル断接監視部を電力供給装置に設けているほうが、各流量制御装置を小型化する点で有利である。

その他、本発明の趣旨に反しない限りにおいて様々な変形や実施形態の組み合わせを行っても構わない。

１００・・・流体制御・測定システム
１０１・・・流量制御装置
１０２・・・電力供給装置
５ ・・・電気回路基板
８ ・・・電気ケーブル
８１ ・・・通信ライン
８２ ・・・電力供給ライン
８３ ・・・断接監視用ライン
１０ ・・・電力供給制御部
１１ ・・・電力供給タイミング設定部
１２ ・・・電力供給・遮断部
１３ ・・・電流測定部
１４ ・・・ケーブル断接監視部

Claims (5)

1. 流体を制御又は測定する複数の流体機器にそれぞれ電気接続線を介して接続されることにより、該電気接続線に設けられている電力供給ラインを介して前記各流体機器に電力を供給する電力供給装置であって、前記流体機器が接続された場合に、前記電力供給ラインとは別に前記電気接続線に設けられている断接監視用ラインに電源からの電力が供給されるように構成されているものにおいて、
   少なくとも一部の流体機器に対する電力供給開始タイミングをずらす電力供給制御部を具備し、
   前記電力供給制御部が、
   前記各流体機器に対する電力供給をＯＮ／ＯＦＦする電力供給・遮断部と、
   前記断接監視用ラインに電流が流れているかを判別することにより、前記電源と前記各流体機器とを接続する電気接続線の断接をそれぞれ監視する電気接続線断接監視部とを有し、
   前記電気接続線断接監視部が、前記電源と前記流体機器との接続が検知された場合に、前記電力供給・遮断部にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信し、接続が検知された電気接続線の前記電力供給ラインに電力を供給することを特徴とする電力供給装置。
2. 前記電気接続線断接監視部が、前記電力供給・遮断部にＯＮ／ＯＦＦ制御信号を送信し、切断が検知された電気接続線の電力供給ラインに対する電力供給を停止させることを特徴とする請求項１記載の電力供給装置。
3. 前記電力供給制御部が、前記各流体機器に対する電力供給開始タイミングを全てずらすように構成されていることを特徴とする請求項１又は２記載の電力供給装置。
4. 前記電力供給制御部が、前記各流体機器に対する電力供給開始タイミングを設定する電力供給開始タイミング設定部を更に具備することを特徴とする請求項１乃至３のうち何れか一項に記載の電力供給装置。
5. 前記電力供給開始タイミング設定部が、所定の電力供給開始信号を受け付け、その受付タイミングを基準として前記電力供給開始タイミングを決定する請求項４記載の電力供給装置。