JP5932365B2 - 保持装置及び保持方法 - Google Patents

Description

本発明は、板状のワークと該ワークの上面を覆うシートを保持する保持装置に関する。

近年、ガラス基板やプリント基板等の各種基板の製造において低コスト化が要求されている。その対策として、安価な材料の開発または選択、ロボットの導入等による自動化、タクトタイムの短縮等が考えられる。

これらの対策の中で、タクトタイムの短縮、特に処理工程間のタクトタイムの短縮について着目する。基板の製造工程において、各処理工程の前または後において、基板（ワーク）を重ねて載置または運搬することがある。このとき、ワークに傷が付かないように合紙（シート）を間に入れて積み重ねる。

処理ラインで所定の処理が終了し搬出されてきたワークは、シートを間に入れて積層した状態でカート（載置部）に載せ、次の処理工程に移動させる（これを載置工程とする）。具体的には、ロボット（保持装置）が、（１）処理ラインまで移動し、（２）ワークを保持して載置部まで移動し、（３）ワークを載置した後、シート置き場まで移動してシートを保持し、（４）ワークを載置した位置まで移動し、載置されたワークの上にシートを重ねる。このシートの上に、次に搬送されてきたワークをさらに載置し、さらに、その上にシートを重ねる作業を交互に行う。

また、移動した先では、次の処理工程のために、積み重ねられたシートとワークとを分離し、ワークのみを処理ラインに投入する（これを投入工程とする）。具体的には、ロボットが、（１）シートとワークとが積み重ねられた載置部まで移動し、最上部のシートを保持し、（２）シート置き場まで移動して、ここでシートを載置する。次に、ロボットは（３）再び載置部まで移動してワークを保持し、（４）処理ラインまで移動して、ここでワークを解放する。

上記の通り載置工程及び投入工程はいずれも（１）〜（４）の４回にわたってロボットを移動させることになる。これらの工程のタクトタイムを短縮する方法として、例えば、ロボット（保持装置）にワーク及びシートを同時に保持させることが考えられる。ロボットがワーク及びシートを同時に保持できれば、上記の（１）〜（４）の工程を減らす、あるいは何れかを同時進行させることが可能である。

ワークとシートを同時に保持する装置として、特許文献１乃至３のような技術が提案されている。

実開平６−１４１５５号公報 特開平８−１６９５４４号公報 特開２００７−１１５７８８号公報

例えば、特許文献１及び２のようにワークとシートを同時に保持できる装置を用いて、保持装置の移動回数を減らすことが考えられる。

しかし、特許文献１及び２の装置では、構造上、シートの外形はワークの外形より大きいものでなくてはならない。さらに、これらの装置では、シートの上にワークを保持しているため、載置工程において、最上部のワークにシートを載置する場合、最上部のワークの上にシートを載置する工程が必要となる。また、投入工程においては、ワークの上にシートが重ねられている場合、まず一旦、最上部のシートを取り除くための工程が必要となる。

また、特許文献３の装置のように、ワークを保持する装置と、シートを保持する装置とを別々に設ける装置も考えられる。この場合、ワークを移動させる工程と、シートを移動させる工程とで、少なくとも一部を同時進行させることができる。しかし、この技術では、設備が大掛かりとなり、広いスペースが必要となるだけでなくコストの増加も大きなものとなる。

そこで、本発明は、設備の大型化を防止しつつ、ワーク部材、及び該ワーク部材の上方で該ワーク部材と同サイズのシート部材を同時に保持することを目的とする。

そこで、本発明によれば、板状のワーク部材と、前記ワーク部材に重ねられるシート状のシート部材と、を同時に保持する保持装置であって、前記シート部材の一方の端部と、該一方の端部の反対側の他方の端部と、が垂れ下がるように、これらの端部よりも内側をそれぞれ保持するシート保持部を有するシート保持手段と、それぞれの前記シート保持部の外側に設けられ、前記シート部材の前記一方の端部に重ねられる前記ワーク部材の一方の端部と、前記シート部材の前記他方の端部に重ねられる前記ワーク部材の他方の端部と、を保持するワーク保持部を有するワーク保持手段と、前記ワーク保持手段及び前記シート保持手段の少なくともいずれか一方を、前記重ねられる方向に向けて相対的に移動させる昇降手段と、を備えることを特徴とする保持装置が提供される。

また、本発明によれば、板状のワーク部材と、前記ワーク部材に重ねられたシート状のシート部材とを、保持装置によって同時に保持する方法であって、前記保持装置は、シート保持手段とワーク保持手段とを備え、前記保持装置が前記シート部材の上面に対向するように、第１移動手段が、前記保持装置及びワーク部材の少なくとも一方を移動させる第１工程と、前記ワーク保持手段を前記シート部材から離隔させた状態で、前記シート保持手段と前記シート部材とを接近させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させて、前記シート保持手段を、前記シート部材の一方の端部及び該一方の端部の反対側の他方の端部よりも内側に当接させる第２工程と、前記シート保持手段と前記シート部材とが当接した状態で、前記シート保持手段が、前記シート部材を保持する第３工程と、前記シート保持手段が前記シート部材を保持した状態で、前記シート保持手段を前記ワーク部材から離隔させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させて、前記シート部材の前記一方の端部及び前記他方の端部を垂れ下げさせた状態で前記シート保持手段によりシート部材を保持する第４工程と、前記ワーク保持手段と前記ワーク部材とを接近させるように、第２移動手段が、前記ワーク保持手段及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させて、前記ワーク保持手段を、前記シート部材の前記一方の端部に重ねられる前記ワーク部材の一方の端部と、前記シート部材の前記他方の端部に重ねられる前記ワーク部材の他方の端部とに当接させる第６工程と、前記ワーク保持手段と前記ワーク部材とが当接した状態で、前記ワーク保持手段により前記ワーク部材を保持する第７工程と、を含み、前記第４工程において、前記シート保持手段により前記シート部材の前記一方の端部及び前記他方の端部を垂れ下げさせた状態でシート部材を保持しつつ、前記第６工程における前記第２移動手段による前記ワーク保持手段の前記ワーク部材への当接、及び前記第７工程における前記ワーク保持手段による前記ワーク部材の保持を行う、ことを特徴とする方法。が提供される。

さらに、本発明によれば、板状のワーク部材と、前記ワーク部材と異なる位置に積み重ねられたシート状のシート部材とを、保持装置によって同時に保持する方法であって、前記保持装置は、シート保持手段とワーク保持手段とを備え、前記保持装置が前記シート部材の上面に対向するように、第１移動手段が、前記保持装置及び前記シート部材の少なくとも一方を移動させる第１工程と、前記ワーク保持手段を前記シート部材から離隔させた状態で、前記シート保持手段と前記シート部材とを接近させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記シート部材の少なくとも一方を移動させて、前記シート保持手段が、前記シート部材の一方の端部及び該一方の端部の反対側の他方の端部よりも内側に当接させる第２工程と、前記シート保持手段と前記シート部材とが当接した状態で、前記シート保持手段が、前記積み重ねられたシート部材のうち最上部のシート部材のみを保持する第３Ａ工程と、前記シート保持手段が前記最上部のシート部材を保持した状態で、前記シート保持手段を前記積み重ねられたシート部材から離隔させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記積み重ねられたシート部材の少なくとも一方を移動させて、前記シート部材の前記一方の端部及び前記他方の端部を垂れ下げさせた状態で前記シート保持手段によりシート部材を保持する第４Ａ工程と、前記保持装置が前記ワーク部材の上面に対向するように、前記第１移動手段が、前記保持装置及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させる第５工程と、前記ワーク保持手段と前記ワーク部材とを接近させるように、第２移動手段が、前記ワーク保持手段及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させて、前記ワーク保持手段を、前記シート部材の前記一方の端部に重ねられる前記ワーク部材の一方の端部と、前記シート部材の前記他方の端部に重ねられる前記ワーク部材の他方の端部とに当接させる第６工程と、前記ワーク保持手段と前記ワーク部材とが当接した状態で、前記ワーク保持手段により前記ワーク部材を保持する第７工程と、を含み、前記第４Ａ工程において、前記シート保持手段により前記シート部材の前記一方の端部及び前記他方の端部を垂れ下げさせた状態でシート部材を保持しつつ、前記第５工程における前記第１移動手段による前記保持装置及び前記ワーク部材の少なくとも一方の移動、前記第６工程における前記第２移動手段による前記ワーク保持手段の前記ワーク部材への当接、及び前記第７工程における前記ワーク保持手段による前記ワーク部材の保持を行う、ことを特徴とする方法。が提供される。

本発明により、設備の大型化を防止しつつ、ワーク部材、及び該ワーク部材の上方で該ワーク部材と同サイズのシート部材を同時に保持できる。

本発明の一実施形態に係る搬送装置を示す斜視図。 本発明の一実施形態に係る保持装置を示す平面図。 本発明の一実施形態に係る保持装置がシート部材を保持する構成を示す側面図。 本発明の一実施形態に係る保持装置がワーク部材を保持する構成を示す側面図。 保持装置により保持可能なワーク部材の形状の例を示す図。 本発明の一実施形態に係る搬送装置の制御ユニットのブロック図。 搬送装置が（ａ）シート部材及び（ｂ）ワーク部材を保持するために行われる処理の一例を示すフロー図。 本発明の一実施形態に係るワーク部材及びシート部材の保持方法を示す図。 本発明の他の実施形態に係るワーク部材及びシート部材の保持方法を示す図。 本発明の一実施形態に係るワーク部材及びシート部材の載置方法を示す図。 本発明の他の実施形態に係るワーク部材及びシート部材の載置方法を示す図。

以下、本発明の実施形態について図１乃至１０を参照しながら説明する。なお、これらの図面は概略図であり、各図面においてｘ軸、ｙ軸、ｚ軸の示す方向はそれぞれ同じ方向を示す。

＜搬送装置＞
図１は、本発明の一実施形態に係る搬送装置１００を示す斜視図である。搬送装置１００は、板状のワーク部材Ｗと、ワーク部材Ｗに重ねられるシート状のシート部材Ｓと、を保持する保持装置１と、保持装置１及び本体３に接続され、保持装置１を移動させるための移動ユニット２、保持装置１及び移動ユニット２を制御するための制御ユニット３１を搬送装置本体３に備える。移動ユニット２は、本実施形態では多関節ロボットであるが、例えば、上下方向をシリンダ、水平方向をコンベアまたは直交ロボットによって移動させるようなものでもよい。また、ワーク部材Ｗは、例えば、ガラス基板、プリント基板等であり、シート部材Ｓは、例えば、紙、ＰＥＴフィルム等の可とう性を有する材料からなる。本実施形態では、ワーク部材Ｗ及びシート部材Ｓは同一の矩形であるが、これに限らず、実施条件によっては、例えば円形でもよく、また、ワーク部材Ｗとシート部材Ｓの形は異なっていてもよい。

＜保持装置＞
保持装置１は、保持装置本体１０と、シート部材Ｓを保持するシート保持装置４と、ワーク部材Ｗを保持するワーク保持装置５と、ワーク保持装置５をシート部材Ｓ及びワークＷに対して垂直（本実施形態ではｚ方向）に移動させる昇降装置６とを備える。

＜シート保持装置＞
図２は、本発明の一実施形態に係る保持装置１を示す平面図である。シート保持装置４は、シート部材Ｓの一方の端部Ｓ１、及び反対側の他方の端部Ｓ２よりも内側でシート部材Ｓを保持する。そのため、図１に示すように、シート保持装置４が、シート部材Ｓを保持した場合、シート部材Ｓの一方の端部Ｓ１と他方の端部Ｓ２とが垂れ下がる。

さらに、シート保持装置４は、第１グループのシート保持部４１、第２グループのシート保持部４２、第３グループのシート保持部４３、第４グループのシート保持部４４からなる複数のシート保持部を備える。第１及び第２グループのシート保持部４１、４２は、シート部材Ｓの一辺側、（Ｓ_Ｌ１側）を保持する一辺側シート保持部を形成する。一方、第３及び第４グループのシート保持部４３、４４は、シート部材Ｓの一辺Ｓ_Ｌ１と対向する他辺側、（Ｓ_Ｌ２側）を保持する他辺側シート保持部を形成する。この配置により、シート保持装置４は、シート部材Ｓの重心の両側でシート部材Ｓを保持できるため、安定性が向上する。すなわち、シート部材Ｓの重心の両側のシート保持部の間は水平に保つことができる。加えて、端部Ｓ１またはＳ２の垂れ下がり量が小さくなるため、水平方向における空気抵抗や気流等の影響を軽減でき、保持、移動中においてシート部材Ｓの体勢が崩れることを防止できる。以上のことから、この構成ではシート部材Ｓの解放の際に、所定の位置にシート部材Ｓを載置しやすくなる。

第１グループのシート保持部４１は、一辺Ｓ_Ｌ１（ｙ方向）に沿って複数（本図においては４か所）配列されるシート保持体４１ａ〜ｄからなる（なお、これらのシート保持体を総称する場合はシート保持部４１とする）。第２グループのシート保持部４２は、一辺Ｓ_Ｌ１に沿って、かつ第１グループのシート保持部４１よりも一辺Ｓ_Ｌ１に近い位置に複数（本図においては４か所）配列されるシート保持体４２ａ〜ｄからなる（なお、これらのシート保持体を総称する場合はシート保持部４２とする）。第３グループのシート保持部４３は、他辺Ｓ_Ｌ２に沿って複数（本図においては４か所）配列されるシート保持体４３ａ〜ｄからなる（なお、これらのシート保持体を総称する場合はシート保持部４３とする）。第４グループのシート保持部４４は、他辺Ｓ_Ｌ２に沿って、かつ第３グループのシート保持部４３よりも他辺Ｓ_Ｌ２に近い位置に複数（本図においては４か所）配列されるシート保持体４４ａ〜ｄからなる（なお、これらのシート保持体を総称する場合はシート保持部４４とする）。このように、シート部材Ｓのｘ方向における両側にそれぞれｙ方向に沿って２列のシート保持部を配列することにより、シート保持装置４は、シート部材Ｓのｘ方向における両側に加えて中心側も保持できるため、シート部材Ｓの中心側が撓む（下方に垂れる）ことを防止できる。

さらに、図２からわかるように、これらのシート保持装置４における各グループのシート保持部４１〜４４は、一辺Ｓ_Ｌ１の中点と、他辺Ｓ_Ｌ２の中点とを通る第１直線Ｌ１に線対称かつ、第１直線Ｌ１の中点を通り第１直線Ｌ１に直交する第２直線Ｌ２に線対称に配置される。そのため、シート保持装置４は、より安定してシート部材Ｓを保持できる。また、第１及び第３グループのそれぞれのシート保持体４１ａ〜ｄ、及び４３ａ〜ｄは、第２及び第４グループの両端のシート保持体４２ａ、４２ｄ、及び４４ａ、４４ｄよりも第１直線Ｌ１に近い。中心側を保持する第１及び第３グループのシート保持体４１ａ〜ｄ、及び４３ａ〜ｄの列方向（ｙ方向）の広がりは、第２及び第４グループのシート保持体４２ａ〜ｄ、４４ａ〜ｄの列方向の広がりと比べて小さいが、シート部材Ｓの中心側の撓みを防止することはできる。したがって、この配置により、無駄なシート保持体を省略でき、シート保持体の数を抑えて、コスト削減を図れる。また、第２グループのシート保持部４２は、シート保持体４２ａ〜ｄと一辺Ｓ_Ｌ１との距離、及び各シート保持体４２ａ〜ｄ間の離間距離を、第４グループのシート保持部４４は、シート保持体４４ａ〜ｄと他辺Ｓ_Ｌ２との距離、及び各シート保持体４４ａ〜ｄ間の離間距離を、それぞれ調整できる構成としてもよい。これらの調整装置としては、例えば、ＬＭガイド（登録商標）などを用いたスライド機構が挙げられ、この他にも位置調整機構として周知慣用の技術が全て適用可能である。この構成によってシート部材Ｓの端部Ｓ１及びＳ２の垂れ具合を調節できる。

図３Ａは、本発明の一実施形態に係る保持装置１がシート部材Ｓを保持する構成を示す側面図である。図３Ａ（ａ）に示すように、本実施形態において各シート保持部４１〜４４は、共通の構造である。シート保持部４１〜４４は、例えばシリコーンゴム等の弾性材料からなり、下側が解放され、上側に円筒状の接続部を有する半球状の形状を有する。この接続部にコネクタ４５の下部４５１が差し込まれる。コネクタ４５は、下部４５１と上部４５２と枝部４５３それぞれに孔が開けられており、下部４５１の孔と枝部４５３の孔は通気可能につながっている。コネクタ４５の上部４５２は、保持装置本体１０の下面側に垂設される支持部材４６に取り付けられる。これによりシート保持部４１〜４４は、保持装置本体１０に固定される。コネクタ４５の枝部４５３は、弾性材料からなるホース４７の一端に接続される。ホース４７の他端は３方向に分岐するバルブ４８の一方の接続部４８１に接続される。バルブ４８のもう一方の接続部４８２は減圧ポンプ７に接続され、残りの一方の接続部４８３は外気を流入させるために大気解放状態とされる。バルブ４８は制御ユニット３１と電気的に接続され、制御ユニット３１からの信号により切り替え操作を行う。

この構造において、シート部材Ｓを保持する場合、図３Ａ（ａ）に示すように、シート保持部４１〜４４がシート部材Ｓに当接した状態で、制御ユニット３１がバルブ４８を操作して接続部４８１と４８２とを接続し、減圧ポンプ７とシート保持部４１〜４４の間で通気可能にする。このとき、減圧ポンプ７により、コネクタ４５及びホース４７を介して、シート保持部４１〜４４とシート部材Ｓによって閉ざされた部分の空気が吸引される。そのため、この部分の圧力が下がり、結果シート部材Ｓが、シート保持部４１〜４４に吸着される。一方、保持されているシート部材Ｓを解放する時は、図３Ａ（ｂ）に示すように、制御ユニット３１がバルブ４８を操作して接続部４８１と４８３とを接続し、外部とシート保持部４１〜４４の間で通気可能にする。このとき、外気がシート保持部４１〜４４に流入し、閉ざされた部分の圧力が上昇し、シート部材Ｓが解放される。

＜ワーク保持装置＞
再び図２を参照する。ワーク保持装置５は、シート部材Ｓの一方の端部Ｓ１に重ねられるワーク部材Ｗの一方の端部Ｗ１と、シート部材Ｓの他方の端部Ｓ２に重ねられるワーク部材Ｗの他方の端部Ｗ２と、を保持するワーク保持部５１、５２を備える。両ワーク保持部５１、５２は、ｙ方向に沿って複数（各４か所）配列されるワーク保持体５１ａ〜ｄ、５２ａ〜ｄからなる（なお、これらのワーク保持体を総称する場合はワーク保持部５１、５２とする）。ワーク保持装置５をこのように配置することにより、ワーク部材Ｗの両端部Ｗ１、Ｗ２でワーク部材Ｗを保持できるため、保持の安定性が向上する。

図３Ｂは、本発明の一実施形態に係る保持装置１がワーク部材Ｗを保持する構成を示す側面図である。図３Ｂ（ａ）に示すように、弾性部材からなるワーク保持部５１、５２は、シート保持部４１〜４４と同様、コネクタ５５の下部５５１に接続され、枝部５５３は、ホース５７の一端に接続される。ホース５７の他端は３方向に分岐するバルブ５８の一方の接続部５８１に接続される。バルブ５８のもう一方の接続部５８２は減圧ポンプ７に接続され、残りの一方の接続部５８３は外気を流入させるために大気解放状態とされる。バルブ５８は制御ユニット３１と電気的に接続され、制御ユニット３１からの信号により切り替え操作を行う。

ワーク保持装置５がワーク部材Ｗを保持する動作について、図３Ｂ（ａ）に示すように、シート部材Ｓは保持された状態でその端部Ｓ１及びＳ２が垂れ下がっている。この状態で、昇降装置６によってワーク保持部５１、５２を下降させて、図３Ｂ（ｂ）に示すように、ワーク部材Ｗに当接させる。次にバルブ５８の接続部５８１と５８２とを接続し、ワークＷを保持する。逆に、ワーク部材Ｗを解放する時は、接続部５８１と５８３とを接続する。

＜昇降装置＞
昇降装置６は、エアシリンダ式で、エアシリンダ６１は汎用のものを用いているため詳細な構造は省略する。保持装置本体１０に対してシリンダ軸６３が上下に伸縮するようエアシリンダ６１が取り付けられる。エアシリンダ６１のシリンダ軸６３の先端には、可動部６２が取り付けられる。可動部６２の下面側には支持部材５６が垂設され、この支持部材５６にコネクタ５５の上部５５２が取り付けられる。また、エアシリンダ６１は制御ユニット３１と電気的に接続されており、制御ユニット３１からの信号によって、可動部６２を、第１位置（上方）と第２位置（下方）の間で、ワーク部材Ｗに対して垂直に（ｚ方向に）動作させる。なお、昇降装置６は油圧シリンダ、モータ等を用いてもよい。

図３Ｂ（ａ）に示すように、エアシリンダ６１が収縮しているとき（可動部６２が第１位置にあるとき）は、ワーク保持部５１、５２は、シート保持部４１〜４４よりも上にあり、図３Ｂ（ｂ）に示すように、エアシリンダ６１が伸長しているとき（可動部６２が第２位置にあるとき）は、ワーク保持部５１、５２は、シート保持部４１〜４４よりも下にある。

なお、本実施形態では、ワーク保持装置５と昇降装置６とを接続することで、ワーク保持装置５及びシート保持装置４を相対的に移動させたが、シート保持装置４を移動させてもよく、また、両方を移動させてもよい。

＜保持装置の効果＞
保持装置１では、シート部材Ｓを先に保持し、シート部材Ｓの端部Ｓ１、Ｓ２を垂れ下げて、その端部に上からワーク部材Ｗを保持するためのスペース（Ｗ１、Ｗ２）を設けている。そのため、保持装置１は、ワーク部材Ｗ、及びワーク部材Ｗの上方でワーク部材Ｗと同サイズのシート部材Ｓを同時に保持できる。別の言い方をすれば、保持装置１は、ワーク部材Ｗと同サイズのシート部材Ｓを保持した状態で、上下二段にワーク部材Ｗを保持することができる。また、保持装置１によるワーク部材Ｗの保持領域は、シート部材Ｓの保持領域の下側に位置（シート部材Ｓの保持領域とオーバーラップ）していることから、両保持領域に要する保持装置１のスペースは小さくすることができる。また、ワーク部材Ｗ及びシート部材Ｓを保持するのは１つの保持装置１であることから、設備は必要以上に大きなものとはならず、設備の大型化を防止できる。

ここでは、ワーク部材Ｗ及びシート部材Ｓは水平に載置されたものを水平に保持しているが、シート部材Ｓの端部Ｓ１、Ｓ２を垂れ下げて、上からワーク部材Ｗを保持するためのスペースが確保できれば、各部材が載置、保持される角度は水平でなくてもよい。

＜本発明に係る保持装置の他の構成＞
まず、シート保持部の配置については、シート部材Ｓを保持した状態で、ワーク保持部が直接ワーク部材Ｗに当接できるように、シート部材Ｓの端部を垂れ下げられる配置であればよく、シート部材Ｓの中心のみを保持する例も考えられる。ワーク保持部については、シート部材Ｓの端部が垂れ下がることにより、ワーク保持部がワーク部材Ｗに当接できるようになる部分を保持する構造であればよい。

次に、シート部材Ｓ及びワーク部材Ｗの形状について、矩形のものに限らず、その他の多角形、または円形等であってもよい。

さらに、図４に、保持装置１により保持可能なワーク部材Ｗの形状の例を示す。図に示す通り、ワーク部材Ｗの形状は図４（ａ）のような瓦型、または図４（ｂ）のような波打つ形状でもよい。

＜制御ユニット＞
図５は、本発明の一実施形態に係る搬送装置１００の制御ユニット３１のブロック図である。制御ユニット３１は、ＣＰＵ等の処理部５０１と、ＲＡＭ、ＲＯＭ、ハードディスク等の記憶部５０２と、外部デバイスと処理部５０１とをインタフェースするインタフェース部５０３、とを備える。インタフェース部５０３には、ホストコンピュータ等、上位のコンピュータや周辺装置（不図示）との通信を行う通信インタフェースも含まれる。

制御ユニット３１は、移動ユニット２、バルブ４８、５８、昇降装置６、及び各種センサ５１０に接続されている。各種センサ５１０には、保持装置１と、シート部材Ｓ及びワーク部材Ｗとの位置関係を検出する位置センサ５１１と、シート保持部４１〜４４がシート部材Ｓに当接したこと及びワーク保持部５１、５２がワーク部材Ｗに当接したことを検知する感圧センサ５１２と、が含まれる。位置センサ５１１は、例えば、シート部材Ｓ及びワーク部材Ｗの角位置や、シート部材Ｓ及びワーク部材Ｗに印刷されたトンボ等の目印を、保持装置１に備えられたカメラで検出する。感圧センサ５１２は、シート保持部４１〜４４及びワーク保持部５１、５２の底面に取り付けられ、これらの保持部がシート部材Ｓ及びワーク部材Ｗを押す力を検知する。

＜制御例＞
図６は、搬送装置１００が（ａ）シート部材Ｓ及び（ｂ）ワーク部材Ｗを保持するために行われる処理の一例を示すフロー図である。これらの処理は、処理部５０１が記憶部５０２に記憶されたプログラムを実行することにより行われる。

シート部材Ｓの保持のための処理に関して、Ｓ６０１において、位置センサ５１１により検出された、保持装置１と、シート部材Ｓとの位置関係が所定の範囲内にあるか否かを判定する。保持装置１と、シート部材Ｓとの位置関係が所定の位置関係になければ（Ｓ６０１でＮｏ）、これらが所定の位置関係になるまで、Ｓ６０２において移動ユニット２により保持装置１を移動させる。

保持装置１と、シート部材Ｓとの位置関係が所定の位置関係であれば（Ｓ６０１でＹｅｓ）、Ｓ６０３において、ワーク保持部５１、５２が上昇しているか（可動部６２が第１の位置にあるか）否かを判定する。ワーク保持部５１、５２が下降していれば（可動部６２が第２の位置にあれば）、Ｓ６０３でＮｏとなり、Ｓ６０４で昇降装置６によってワーク保持部５１、５２を上昇させる。

ワーク保持部５１、５２が上昇していれば（Ｓ６０３でＹｅｓ）、Ｓ６０５で、感圧センサ５１２が、シート保持部４１〜４４とシート部材Ｓとが当接したことを検知するまで（Ｓ６０６でＹｅｓとなるまで）、移動ユニット２により保持装置１を下降させる。シート保持部４１〜４４がシート部材Ｓと接触すると（Ｓ６０６でＹｅｓ）、Ｓ６０７で、処理部５０１はバルブ４８に信号を送信し、上記のように、シート保持部４１〜４４側と減圧ポンプ７を通気可能に接続して、シート部材Ｓを保持する。

ワーク部材Ｗの保持のための処理に関して、Ｓ６１１において、位置センサ５１１により検出された、保持装置１と、ワーク部材Ｗとの位置関係が所定の範囲内にあるか否かを判定する。保持装置１と、ワーク部材Ｗとの位置関係が所定の位置関係になければ（Ｓ６１１でＮｏ）、これらが所定の位置関係になるまで、Ｓ６１２において移動ユニット２により保持装置１を移動させる。

保持装置１と、ワーク部材Ｗとの位置関係が所定の位置関係であれば（Ｓ６１１でＹｅｓ）、Ｓ６１３において、感圧センサ５１２が、ワーク保持部５１、５２とワーク部材Ｗとが当接したことを検知するまで（Ｓ６１４でＹｅｓとなるまで）、昇降装置６によりワーク保持部５１、５２を下降させる。ワーク保持部５１、５２がワーク部材Ｗと接触すると（Ｓ６１４でＹｅｓ）、Ｓ６１５で、処理部５０１はバルブ５８に信号を送信し、上記のように、ワーク保持部５１、５２側と減圧ポンプ７を通気可能に接続して、ワーク部材Ｗを保持する。

＜ワーク部材及びシート部材の保持方法１＞
図７は、本発明の一実施形態に係るワーク部材Ｗ及びシート部材Ｓの保持方法を示す図である。本実施形態では、載置部７００に載置されたワーク部材Ｗと、ワーク部材Ｗに重ねられたシート部材Ｓとを、保持装置１によって保持する。

第１工程では、保持装置１がシート部材Ｓの上面に対向するように、移動ユニット２が、保持装置１を載置部７００にあるシート部材Ｓの上方まで移動させる（矢印Ａ）。なお、このとき、移動ユニット２の水平方向の移動と独立して載置部７００を保持装置１に向かって自走できるよう、載置部７００にも移動ユニット（例えば、水平移動ユニット）を設けるようにしてもよい。

第２工程では、ワーク保持装置５をシート部材Ｓから離隔させた状態で、移動ユニット２が、保持装置１（シート保持装置４）をシート部材Ｓに向かって移動させ、シート保持装置４（シート保持部４１〜４４）と、シート部材Ｓとが当接するまで、これらを接近させる。なお、このとき、移動ユニット２の下方向の移動と独立して載置部７００が上方向等に移動できるよう、載置部７００にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。

第３工程では、シート保持装置４とシート部材Ｓとが当接した状態で、バルブ４８を操作して、シート保持装置４がシート部材Ｓを保持する。

第４工程では、シート保持装置４がシート部材Ｓを保持した状態で、移動ユニット２が、保持装置１（シート保持装置４）を上方に移動させ、シート保持装置４をワーク部材Ｗから離隔させる。ここで、シート部材Ｓの一方の端部Ｓ１及び他方の端部Ｓ２（図７中では左右方向の両端部）が垂れ下がる。ここでも第２工程のように、載置部７００を下方向等に移動させてもよい。

第６工程（後で述べる保持方法２と対応（区別）させるため、ここでは第５工程とはしない）では、昇降装置６が、ワーク保持装置５をワーク部材Ｗに向かって移動させ、ワーク保持装置５（ワーク保持部５１、５２）と、ワーク部材Ｗとが当接するまで、これらを接近させる。なお、このとき、載置部７００を上方向等に移動させてもよい。

第７工程では、ワーク保持装置５とワーク部材Ｗとが当接した状態で、バルブ５８を操作して、ワーク保持装置５がワーク部材Ｗを保持する。

その後、移動ユニット２により、保持装置１を上昇させてシート部材Ｓ及びワーク部材Ｗを搬送する。

＜ワーク部材及びシート部材の保持方法２＞
図８は、本発明の他の実施形態に係るワーク部材及びシート部材の保持方法を示す図である。本実施形態では、処理ライン８００にあるワーク部材Ｗと、シート載置部８１０に積み重ねられたシート部材とを、保持装置１によって保持する。

第１工程では、保持装置１がシート部材Ｓの上面に対向するように、移動ユニット２が、保持装置１をシート載置部８１０にあるシート部材Ｓの上方まで移動させる（矢印Ｂ）。なお、このとき、移動ユニット２の水平方向の移動と独立してシート載置部８１０を保持装置１に向かって自走できるよう、シート載置部８１０にも移動ユニット（例えば、水平移動ユニット）を設けるようにしてもよい。

第２工程では、ワーク保持装置５をシート部材Ｓから離隔させた状態で、移動ユニット２が、保持装置１（シート保持装置４）をシート部材Ｓに向かって移動させ、シート保持装置４（シート保持部４１〜４４）と、シート部材Ｓとが当接するまで、これらを接近させる。なお、このとき、移動ユニット２の下方向の移動と独立してシート載置部８１０が上方向等に移動できるよう、シート載置部８１０にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。

第３Ａ工程では、シート保持装置４とシート部材Ｓとが当接した状態で、バルブ４８を操作して、シート保持装置４が積み重ねられたシート部材Ｓｓｔのうち最上部のシート部材Ｓを保持する。

第４Ａ工程では、シート保持装置４が最上部のシート部材Ｓを保持した状態で、移動ユニット２が、保持装置１（シート保持装置４）を上方に移動させ、シート保持装置４を積み重ねられたシート部材Ｓｓｔから離隔させる。ここで、シート部材Ｓの一方の端部Ｓ１及び他方の端部Ｓ２（図８中では左右方向の両端部）が垂れ下がる。ここでも第２工程のように、シート載置部８１０を下方向等に移動させてもよい。

第５工程では、保持装置１がワーク部材Ｗの上面に対向するように、移動ユニット２が、保持装置１を処理ライン８００にあるワーク部材Ｗの上方まで移動させる（矢印Ｃ）。なお、このとき、処理ライン８００がワーク部材Ｗを、保持装置１に向かって搬送するようにすることもできる。

第６工程では、昇降装置６が、ワーク保持装置５をワーク部材Ｗに向かって移動させ、ワーク保持装置５（ワーク保持部５１、５２）と、ワーク部材Ｗとが当接するまで、これらを接近させる。なお、このとき、移動ユニット２の下方向の移動と独立して処理ライン８００がワーク部材を上方向等に移動させるよう、処理ライン８００にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。

第７工程では、ワーク保持装置５とワーク部材Ｗとが当接した状態で、バルブ５８を操作して、ワーク保持装置５がワーク部材Ｗを保持する。

その後、移動ユニット２により、保持装置１を上昇させてシート部材Ｓ及びワーク部材Ｗを搬送する。

＜ワーク部材及びシート部材の載置方法１＞
図９は、本発明の一実施形態に係るワーク部材及びシート部材の載置方法を示す図である。本実施形態では、保持装置１が保持しているワーク部材Ｗ及びシート部材Ｓを、所定の載置部９００に載置する。

第８工程では、保持装置１が載置部９００に対向するように、移動ユニット２が、保持装置１を載置部９００の上方まで移動させる（矢印Ｄ）。なお、このとき、移動ユニット２の水平方向の移動と独立して載置部９００を保持装置１に向かって自走できるよう、載置部９００にも移動ユニット（例えば、水平移動ユニット）を設けるようにしてもよい。

第９工程では、移動ユニット２が、ワーク保持装置５を載置部９００に向かって移動させ、ワーク保持装置５と、載置部９００とを接近させる。なお、このとき、移動ユニット２の下方向の移動と独立して載置部９００が上方向等に移動できるよう、載置部９００にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。

第１０工程では、バルブ５８を操作して、ワーク保持装置５がワーク部材Ｗを解放し、ワーク部材Ｗを載置部９００に載置する。

第１１工程では、昇降装置６が、ワーク保持装置５を上方に移動させ、ワーク保持装置５と、載置部９００とを離隔させる。なお、このとき、載置部９００を下方向等に移動させてもよい。

第１３工程（後で述べる載置方法２と対応（区別）させるため、ここでは第１２工程とはしない）では、移動ユニット２が、保持装置１（シート保持装置４）を載置されたワーク部材Ｗに向かって移動させ、シート保持装置４と、載置部９００に載置されたワーク部材Ｗとを接近させる。なお、このとき、載置部９００を上方向等に移動させてもよい。

第１４工程では、バルブ４８を操作して、シート保持装置４がシート部材Ｓを解放し、ワーク部材Ｗに重ねてシート部材Ｓを載置する。

第１５工程では、移動ユニット２が、保持装置１（シート保持装置４）を上方に移動させ、シート保持装置４と、シート部材Ｓとを離隔させる。なお、このとき、載置部９００を下方向等に移動させてもよい。

以上が本実施形態における一連の動作である。なお、実施条件によっては、第１０工程において、ワーク部材Ｗが載置部９００と離隔した状態で、ワーク部材Ｗを載置部９００に落下させるように解放してもよい。第１４工程においても、シート部材Ｓが載置されたワーク部材Ｗと離隔した状態で、シート部材Ｓをワーク部材Ｗ上に落下させるように解放してもよい。

＜ワーク部材及びシート部材の載置方法２＞
図１０は、本発明の他の実施形態に係るワーク部材及びシート部材の載置方法を示す図である。本実施形態では、保持装置１が保持しているワーク部材Ｗを処理ライン１０００に投入（またはワーク載置部に載置）し、シート部材Ｓをシート載置部１０１０に積み重ねるように（図中、積み重ねられたシート部材をＳｓｔとする）載置する。

第８Ａ工程では、保持装置１が処理ライン１０００に対向するように、移動ユニット２が、保持装置１を処理ライン１０００の上方まで移動させる（矢印Ｅ）。なお、処理ライン１０００がパレット等を保持装置１に向かって移動させてもよい。

第９Ａ工程では、移動ユニット２が、ワーク保持装置５を処理ライン１０００に向かって移動させ、ワーク保持装置５と、処理ライン１０００とを接近させる。なお、このとき、移動ユニット２の下方向の移動と独立して処理ライン１０００がパレット等を上方向等に移動できるよう、処理ライン１０００にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。

第１０Ａ工程では、バルブ５８を操作して、ワーク保持装置５がワーク部材Ｗを解放し、ワーク部材Ｗを処理ライン１０００に投入する。

第１１工程では、昇降装置６が、ワーク保持装置５を上方に移動させ、ワーク保持装置５と、処理ライン１０００とを離隔させる。なお、このとき、処理ライン１０００がパレット等を下方向等に移動させてもよい。

第１２工程では、保持装置１がシート載置部１０１０に対向するように、移動ユニット２が、保持装置１をシート載置部１０１０の上方まで移動させる（矢印Ｆ）。なお、このとき、移動ユニット２の水平方向の移動と独立してシート載置部１０１０を保持装置１に向かって自走できるよう、シート載置部１０１０にも移動ユニット（例えば、水平移動ユニット）を設けるようにしてもよい。

第１３Ａ工程では、移動ユニット２が、保持装置１（シート保持装置４）をシート載置部１０１０に向かって移動させ、シート保持装置４と、シート載置部１０１０とを接近させる。なお、このとき、移動ユニット２の下方向の移動と独立してシート載置部１０１０が上方向等に移動できるよう、シート載置部１０１０にも移動ユニット（例えば、昇降ユニット）を設けるようにしてもよい。

第１４Ａ工程では、バルブ４８を操作して、シート保持装置４がシート部材Ｓを解放し、シート部材Ｓをシート載置部１０１０に載置する。

第１５工程では、移動ユニット２が、保持装置１（シート保持装置４）を上方に移動させ、シート保持装置４と、シート部材Ｓとを離隔させる。なお、このとき、シート載置部１０１０を下方向等に移動させてもよい。

以上が本実施形態における一連の動作である。なお、実施条件によっては、第１０Ａ工程において、ワーク部材Ｗが処理ライン１０００と離隔した状態で、ワーク部材Ｗを処理ライン１０００に落下させるように解放してもよい。第１４Ａ工程においても、シート部材Ｓがシート載置部１０１０と離隔した状態で、シート部材Ｓをシート載置部１０１０に落下させるように解放してもよい。

＜ワーク部材及びシート部材の搬送方法＞
ここで、上記の保持方法及び載置方法の組み合わせによるワーク部材Ｗ及びシート部材Ｓの搬送方法について以下に説明する。

まず、ワーク部材Ｗ及びシート部材Ｓの保持方法２と、同載置方法１との組み合わせ（図８→図９の流れ）によって、処理ライン８００から搬出されてきたワーク部材Ｗに、シート部材Ｓを間に入れて積層して載置部９００に載置する載置工程について説明する。この工程では、１サイクルにおいて保持装置１が移動するのは、（図９の載置部９００から）シート載置部８１０までの移動（第１工程：図８の矢印Ｂ）、シート載置部８１０から処理ライン８００までの移動（第５工程：図８の矢印Ｃ）、処理ライン８００から載置部９００までの移動（第８工程：図９の矢印Ｄ）の３回である。

背景技術についての記載で述べたように、従来の搬送装置では、載置工程１サイクルにおける保持装置の移動は４回である。したがって、本実施形態の搬送装置１００によって、処理ライン８００から搬出されたワーク部材Ｗの載置部９００への載置工程において保持装置１の移動回数を減らすことができる。

次に、ワーク部材Ｗ及びシート部材Ｓの保持方法１と、同載置方法２との組み合わせ（図７→図１０の流れ）によって、載置部７００に積み重ねられたシート部材Ｓとワーク部材Ｗとを分離し、ワーク部材Ｗのみを処理ライン１０００に投入する投入工程について説明する。この工程では、１サイクルにおいて保持装置１が移動するのは、（図１０のシート載置部１０１０から）載置部７００までの移動（第１工程：図７の矢印Ａ）、載置部７００から処理ライン１０００までの移動（第８Ａ工程：図１０の矢印Ｅ）、処理ライン１０００からシート載置部１０１０までの移動（第１２工程：図１０の矢印Ｆ）の３回である。

背景技術についての記載で述べたように、従来の搬送装置では、投入工程１サイクルにおける保持装置の移動は４回である。したがって、本実施形態の搬送装置１００によって、ワーク部材Ｗの処置ライン８００への投入工程において保持装置１の移動回数を減らすことができる。

Claims (10)

1. 板状のワーク部材と、前記ワーク部材に重ねられるシート状のシート部材と、を同時に保持する保持装置であって、
   前記シート部材の一方の端部と、該一方の端部の反対側の他方の端部と、が垂れ下がるように、これらの端部よりも内側をそれぞれ保持するシート保持部を有するシート保持手段と、
   それぞれの前記シート保持部の外側に設けられ、前記シート部材の前記一方の端部に重ねられる前記ワーク部材の一方の端部と、前記シート部材の前記他方の端部に重ねられる前記ワーク部材の他方の端部と、を保持するワーク保持部を有するワーク保持手段と、
   前記ワーク保持手段及び前記シート保持手段の少なくともいずれか一方を、前記重ねられる方向に向けて相対的に移動させる昇降手段と、
   を備えることを特徴とする保持装置。
2. 前記昇降手段は、前記ワーク保持部が前記シート保持部より上方に位置する第１の位置と、前記ワーク保持部が前記シート保持部より下方に位置する第２の位置との間で前記ワーク保持部または前記シート保持部を相対的に移動させることを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
3. 前記ワーク部材及び前記シート部材は矩形であり、
   前記シート保持手段は、前記シート部材の一辺側を保持する一辺側シート保持部と、前記シート部材の前記一辺と対向する他辺側を保持する他辺側シート保持部と、において前記シート部材を保持することを特徴とする請求項１に記載の保持装置。
4. 前記一辺側シート保持部は、
   前記一辺に沿って複数のシート保持部が配列された第１グループと、
   前記一辺に沿って、かつ前記第１グループのシート保持部よりも前記一辺に近い位置で複数のシート保持部が配列された第２グループと、
   を含み、
   前記他辺側シート保持部は、
   前記他辺に沿って複数のシート保持部が配列された第３グループと、
   前記他辺に沿って、かつ前記第３グループのシート保持部よりも前記他辺に近い位置で複数のシート保持部が配列された第４グループと、
   を含むことを特徴とする請求項３に記載の保持装置。
5. 前記シート保持部は、前記一辺の中点と前記他辺の中点とを結ぶ第１直線について、対称に配置され、
   さらに、前記シート保持部は、前記第１直線の中点を通り前記第１直線に直交する前記シート部材に沿った第２直線に対して対称に配置され、
   前記第１グループのシート保持部は、前記第２グループの両端のシート保持部よりも前記第１直線に近く、
   前記第３グループのシート保持部は、前記第４グループの両端のシート保持部よりも前記第１直線に近い
   ことを特徴とする請求項４に記載の保持装置。
6. 請求項１乃至５のいずれか１項に記載の保持装置と、前記保持装置を移動させる移動手段と、を備えることを特徴とする搬送装置。
7. 板状のワーク部材と、前記ワーク部材に重ねられたシート状のシート部材とを、保持装置によって同時に保持する方法であって、
   前記保持装置は、シート保持手段とワーク保持手段とを備え、
   前記保持装置が前記シート部材の上面に対向するように、第１移動手段が、前記保持装置及びワーク部材の少なくとも一方を移動させる第１工程と、
   前記ワーク保持手段を前記シート部材から離隔させた状態で、前記シート保持手段と前記シート部材とを接近させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させて、前記シート保持手段を、前記シート部材の一方の端部及び該一方の端部の反対側の他方の端部よりも内側に当接させる第２工程と、
   前記シート保持手段と前記シート部材とが当接した状態で、前記シート保持手段が、前記シート部材を保持する第３工程と、
   前記シート保持手段が前記シート部材を保持した状態で、前記シート保持手段を前記ワーク部材から離隔させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させて、前記シート部材の前記一方の端部及び前記他方の端部を垂れ下げさせた状態で前記シート保持手段によりシート部材を保持する第４工程と、
   前記ワーク保持手段と前記ワーク部材とを接近させるように、第２移動手段が、前記ワーク保持手段及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させて、前記ワーク保持手段を、前記シート部材の前記一方の端部に重ねられる前記ワーク部材の一方の端部と、前記シート部材の前記他方の端部に重ねられる前記ワーク部材の他方の端部とに当接させる第６工程と、
   前記ワーク保持手段と前記ワーク部材とが当接した状態で、前記ワーク保持手段により前記ワーク部材を保持する第７工程と、
   を含み、
   前記第４工程において、前記シート保持手段により前記シート部材の前記一方の端部及び前記他方の端部を垂れ下げさせた状態でシート部材を保持しつつ、
   前記第６工程における前記第２移動手段による前記ワーク保持手段の前記ワーク部材への当接、及び前記第７工程における前記ワーク保持手段による前記ワーク部材の保持を行う、
   ことを特徴とする方法。
8. 板状のワーク部材と、前記ワーク部材と異なる位置に積み重ねられたシート状のシート部材とを、保持装置によって同時に保持する方法であって、
   前記保持装置は、シート保持手段とワーク保持手段とを備え、
   前記保持装置が前記シート部材の上面に対向するように、第１移動手段が、前記保持装置及び前記シート部材の少なくとも一方を移動させる第１工程と、
   前記ワーク保持手段を前記シート部材から離隔させた状態で、前記シート保持手段と前記シート部材とを接近させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記シート部材の少なくとも一方を移動させて、前記シート保持手段が、前記シート部材の一方の端部及び該一方の端部の反対側の他方の端部よりも内側に当接させる第２工程と、
   前記シート保持手段と前記シート部材とが当接した状態で、前記シート保持手段が、前記積み重ねられたシート部材のうち最上部のシート部材のみを保持する第３Ａ工程と、
   前記シート保持手段が前記最上部のシート部材を保持した状態で、前記シート保持手段を前記積み重ねられたシート部材から離隔させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記積み重ねられたシート部材の少なくとも一方を移動させて、前記シート部材の前記一方の端部及び前記他方の端部を垂れ下げさせた状態で前記シート保持手段によりシート部材を保持する第４Ａ工程と、
   前記保持装置が前記ワーク部材の上面に対向するように、前記第１移動手段が、前記保持装置及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させる第５工程と、
   前記ワーク保持手段と前記ワーク部材とを接近させるように、第２移動手段が、前記ワーク保持手段及び前記ワーク部材の少なくとも一方を移動させて、前記ワーク保持手段を、前記シート部材の前記一方の端部に重ねられる前記ワーク部材の一方の端部と、前記シート部材の前記他方の端部に重ねられる前記ワーク部材の他方の端部とに当接させる第６工程と、
   前記ワーク保持手段と前記ワーク部材とが当接した状態で、前記ワーク保持手段により前記ワーク部材を保持する第７工程と、
   を含み、
   前記第４Ａ工程において、前記シート保持手段により前記シート部材の前記一方の端部及び前記他方の端部を垂れ下げさせた状態でシート部材を保持しつつ、
   前記第５工程における前記第１移動手段による前記保持装置及び前記ワーク部材の少なくとも一方の移動、前記第６工程における前記第２移動手段による前記ワーク保持手段の前記ワーク部材への当接、及び前記第７工程における前記ワーク保持手段による前記ワーク部材の保持を行う、
   ことを特徴とする方法。
9. 請求項７または８の方法により保持されたワーク部材及びシート部材を、所定の載置部に載置する方法であって、
   前記保持装置が前記載置部に対向するように、前記第１移動手段が、前記保持装置を移動させる第８工程と、
   前記ワーク保持手段と前記載置部とを接近させるように、前記第１移動手段が、前記ワーク保持手段及び前記載置部の少なくとも一方を移動させる第９工程と、
   前記ワーク保持手段が前記ワーク部材を解放し、前記ワーク部材を前記載置部に載置する第１０工程と、
   前記ワーク保持手段と前記載置されたワーク部材とを離隔させるように、前記第２移動手段が、前記ワーク保持手段及び前記載置部の少なくとも一方を移動させる第１１工程と、
   前記シート保持手段と前記載置されたワーク部材とを接近させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記載置部の少なくとも一方を移動させる第１３工程と、
   前記シート保持手段が前記シート部材を解放し、前記載置されたワーク部材の上に前記シート部材を載置する第１４工程と、
   前記シート保持手段と前記載置されたシート部材とを離隔させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記載置部の少なくとも一方を移動させる第１５工程と、
   を含むことを特徴とする方法。
10. 請求項７または８の方法により保持されたワーク部材をワーク載置部に載置し、前記保持されたシート部材をシート載置部に載置する方法であって、
    前記保持装置が前記ワーク載置部に対向するように、前記第１移動手段が、前記保持装置を移動させる第８Ａ工程と、
    前記ワーク保持手段と前記ワーク載置部とを接近させるように、前記第１移動手段が、前記ワーク保持手段及び前記ワーク載置部の少なくとも一方を移動させる第９Ａ工程と、
    前記ワーク保持手段が前記ワーク部材を解放し、前記ワーク部材を前記ワーク載置部に載置する第１０Ａ工程と、
    前記ワーク保持手段と前記載置されたワーク部材とを離隔させるように、前記第２移動手段が、前記ワーク保持手段及び前記ワーク載置部の少なくとも一方を移動させる第１１工程と、
    前記保持装置が前記シート載置部に対向するように、前記第１移動手段が、前記保持装置及び前記シート載置部の少なくとも一方を移動させる第１２工程と、
    前記シート保持手段と前記シート載置部とを接近させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記シート載置部の少なくとも一方を移動させる第１３Ａ工程と、
    前記シート保持手段が前記シート部材を解放し、前記シート載置部に前記シート部材を載置する第１４Ａ工程と、
    前記シート保持手段と前記載置されたシート部材とを離隔させるように、前記第１移動手段が、前記シート保持手段及び前記シート載置部の少なくとも一方を移動させる第１５工程と、
    を含むことを特徴とする方法。

Images