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JP5834458B2 - 光学素子の製造方法および光学素子 - Google Patents

光学素子の製造方法および光学素子 Download PDF

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JP5834458B2 JP2011089203A JP2011089203A JP5834458B2 JP 5834458 B2 JP5834458 B2 JP 5834458B2 JP 2011089203 A JP2011089203 A JP 2011089203A JP 2011089203 A JP2011089203 A JP 2011089203A JP 5834458 B2 JP5834458 B2 JP 5834458B2
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Description

本発明は、光学素子およびその製造方法に関する。
光学素子の製造には、成形加工がよく用いられる(例えば、特許文献1を参照)。例え
ば、密着複層型の回折光学素子である位相フレネルレンズの成形加工を行う場合、円盤状
のガラス基板と該ガラス基板に近接させた成形型との間隙に第1の樹脂材を充填し、回折
格子を有する1層目の樹脂層を成形する。さらに、1層目の樹脂層の上に滴下された第1
の樹脂材と屈折率の異なる第2の樹脂材に対して成形型を押圧させ、2層目の樹脂層を成
形する。これにより、密着複層型の回折光学素子を成形することができる。
特許第4029208号公報
しかしながら、上述した方法で複数の層を成形する際、2層目の層の外径が1層目の層
の外径よりも大きいと、1層目の層からはみ出した2層目の層の外周部で気体を内側に巻
き込みやすく、光学素子に気泡が混入して見映えが劣るおそれがあった。
本発明は、このような問題に鑑みてなされたものであり、気泡の混入を防止した光学素
子の製造方法および光学素子を提供することを目的とする。
このような目的達成のため、第1の発明に係る光学素子の製造方法は、基材の上に複数の樹脂層を各層ごとに重ねて成形する光学素子の製造方法であって、前記複数の樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目以降の樹脂層を成形する際、成形を行う樹脂層の外周部が該樹脂層より前記基材側に位置する樹脂層の外周部よりも内側に位置するように前記成形を行い、前記複数の樹脂層のうち少なくともいずれかの樹脂層を成形する際に用いられる樹脂材料の粘度が3000mPa・s以上7000mPa・s以下となっている。
なお、上述の製造方法では、前記複数の樹脂層が2つの樹脂層であり、前記2つの樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目の樹脂層を成形する際、前記2層目の樹脂層の外周部が前記2層目の樹脂層より前記基材側に位置する1層目の樹脂層の外周部よりも内側に位置するように前記成形を行うことが好ましい。
また、上述の製造方法では、前記基材の上に回折格子を有する前記1層目の樹脂層を成形し、前記1層目の樹脂層の上に前記2層目の樹脂層を前記回折格子に密着させるように重ねて成形し、前記1層目の樹脂層を成形する際に用いられる樹脂材料の粘度が200mPa・s以上800mPa・s以下とし、前記2層目の樹脂層を成形する際に用いられる樹脂材料の粘度が3000mPa・s以上7000mPa・s以下とすることができる。
また、第2の発明に係る光学素子の製造方法は、基材の上に複数の樹脂層を各層ごとに重ねて成形する光学素子の製造方法であって、前記複数の樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目以降の樹脂層を成形する際、成形を行う樹脂層の外周部が該樹脂層より前記基材側に位置する樹脂層の外周部よりも内側に位置するように前記成形を行い、前記複数の樹脂層における各層の厚さがそれぞれ50μm以上400μm以下となっている。
また、上述の製造方法では、前記複数の樹脂層が2つの樹脂層であり、前記2つの樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目の樹脂層を成形する際、前記2層目の樹脂層の外周部が前記2層目の樹脂層より前記基材側に位置する1層目の樹脂層の外周部よりも内側に位置するように前記成形を行い、前記基材の上に回折格子を有する前記1層目の樹脂層を成形し、前記1層目の樹脂層の上に前記2層目の樹脂層を前記回折格子に密着させるように重ねて成形し、前記2層目の樹脂層を成形する成形型の転写面には回折格子が形成されないようにすることができる。
また、上述の製造方法では、前記成形型として第2の基材を用いて前記2層目の樹脂層を成形し、成形した前記2層目の樹脂層に前記第2の基材を接合してもよい。
また、第1の本発明に係る光学素子は、基材と、前記基材の上に重ねて成形された複数の樹脂層とを備え、前記複数の樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目以降の樹脂層の外周部は、該樹脂層より前記基材側に位置する樹脂層の外周部よりも内側に位置し、前記複数の樹脂層のうち少なくともいずれかの樹脂層の成形に用いられる樹脂材料の粘度が3000mPa・s以上7000mPa・s以下となっている。
なお、上述の光学素子において、前記複数の樹脂層が2つの樹脂層であり、前記2つの樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目の樹脂層の外周部は、前記2層目の樹脂層より前記基材側に位置する1層目の樹脂層の外周部よりも内側に位置することが好ましい。
また、上述の光学素子において、前記基材の上に回折格子を有する前記1層目の樹脂層が成形され、前記1層目の樹脂層の上に前記2層目の樹脂層が前記回折格子に密着するように重ねて成形され、前記1層目の樹脂層の成形に用いられる樹脂材料の粘度が200mPa・s以上800mPa・s以下とし、前記2層目の樹脂層の成形に用いられる樹脂材料の粘度が3000mPa・s以上7000mPa・s以下とすることができる。
また、第2の本発明に係る光学素子は、基材と、前記基材の上に重ねて成形された複数の樹脂層とを備え、前記複数の樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目以降の樹脂層の外周部は、該樹脂層より前記基材側に位置する樹脂層の外周部よりも内側に位置し、前記複数の樹脂層における各層の厚さがそれぞれ50μm以上400μm以下となっている。
また、上述の光学素子において、前記複数の樹脂層が2つの樹脂層であり、前記2つの樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目の樹脂層の外周部は、前記2層目の樹脂層より前記基材側に位置する1層目の樹脂層の外周部よりも内側に位置し、前記基材の上に回折格子を有する前記1層目の樹脂層が成形され、前記1層目の樹脂層の上に前記2層目の樹脂層が前記回折格子に密着するように重ねて成形され、前記2層目の樹脂層を成形する成形型の転写面には回折格子が形成されないようにすることができる。
また、上述の光学素子において、前記2層目の樹脂層に接合される前記第2の基材を備え、前記成形型として前記第2の基材を用いて前記2層目の樹脂層が成形されてもよい。
本発明によれば、光学素子に気泡が混入するのを防止することができる。
(a)〜(e)は第1実施形態に係る位相フレネルレンズの成形工程をこの順に示す模式図であり、(f)は位相フレネルレンズの変形例を示す模式図である。 第1実施形態に係る位相フレネルレンズの側断面図である。 位相フレネルレンズの製造方法を示すフローチャートである。 第2実施形態に係る位相フレネルレンズの側断面図である。 第2実施形態に係る位相フレネルレンズの成形工程について(a)〜(d)へ順に示す模式図である。
以下、図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。第1実施形態にお
ける光学素子の一例として密着複層型の回折光学素子である位相フレネルレンズ(以下、
PFレンズ1と称する)が図2に示されている。第1実施形態のPFレンズ1は、ガラス
基板2と、ガラス基板2の上に成形された1層目の樹脂層4と、1層目の樹脂層4の上に
重ねて成形された2層目の樹脂層6とを有して構成される。ガラス基板2は、透明のガラ
ス材料を用いて円盤状に成形され、ガラス基板2の一方の面(1層目の樹脂層4と接合す
る方の面)には、シランカップリング剤からなるプライマー層3が形成されている。
ガラス基板2の方から数えて1層目の樹脂層4は、透明の樹脂材料を用いて円盤状に成
形され、1層目の樹脂層4の一方の面(2層目の樹脂層6と接合する方の面)には、複数
の輪帯が同心円状に並ぶ回折格子5が形成されている。1層目の樹脂層4の径は、ガラス
基板2の径よりも若干小さく(且つ、PFレンズ1の有効径よりも大きく)、1層目の樹
脂層4の外周部がガラス基板2の外周部よりも内側に位置するようになっている。また、
1層目の樹脂層4の厚さは、例えば、50μm〜400μmである。なお、各図において
、説明容易化のため、回折格子5の輪帯の数を少なく記載しているが、実際の輪帯数は使
用可能な程度に十分多いものとする。また、各図において、説明容易化のため、断面図の
ハッチングを省略している。
ガラス基板2の方から数えて2層目の樹脂層6は、1層目の樹脂層4と屈折率が異なる
透明の樹脂材料を用いて円盤状に成形される。2層目の樹脂層6の径は、1層目の樹脂層
4の径よりも若干小さく(且つ、PFレンズ1の有効径よりも大きく)、2層目の樹脂層
6の外周部が1層目の樹脂層4の外周部よりも内側に位置するようになっている。また、
2層目の樹脂層6の厚さは、例えば、50μm〜400μmである。
以上のように構成されるPFレンズ1の製造方法について、図3に示すフローチャート
を参照しながら説明する。まず、ガラス基板2の上に1層目の樹脂層4を成形し接合させ
る(ステップS101)。1層目の樹脂層4を成形する際、図1(a)に示すように、ガ
ラス基板2の一方の面にシランカップリング剤/エチルアルコール/水(酢酸でやや酸性
にした水)の混合液をスピンコートにより全面的に塗布し、ベーキングしてプライマー層
3を形成する。プライマー層3を形成したガラス基板2の一方の面に所定の格子形状を有
する第1の成形型(金型)10を近接させ、図1(b)に示すように、その間隙に1層目
の樹脂層4を成形するための未硬化の樹脂材4aを充填する。この状態で、ガラス基板2
の他方の面から樹脂材4aに向けて紫外線を所定の照射量(例えば、2000〜4000
mJ/cm2)だけ照射し、未硬化の樹脂材4aを硬化させた後、離型する。
これにより、第1の成形型10の格子形状が樹脂材4aに転写されて回折格子5を有す
る1層目の樹脂層4が成形されるとともに、当該1層目の樹脂層4がプライマー層3を介
してガラス基板2の一方の面に接合される。なお、1層目の樹脂層4に用いられる樹脂材
料(樹脂材4a)は紫外線硬化樹脂であり、未硬化状態での粘度は200mPa・s〜8
00mPa・sである。また成形の際、1層目の樹脂層4の外周部がガラス基板2の外周
部の内側に位置するように樹脂材4aの充填を行う。
次に、1層目の樹脂層4の上に2層目の樹脂層6を重ねて成形し接合させる(ステップ
S102)。2層目の樹脂層6を成形する際、図1(c)に示すように、1層目の樹脂層
4の上に2層目の樹脂層6を成形するための未硬化の樹脂材6aを滴下し、図1(d)に
示すように、滴下した樹脂材6aに第2の成形型(金型)12を当接させて成形した後、
1層目と同様に紫外線硬化させて離型する。なお、第2の成形型12の表面(転写面)は
平面となるように形成される。また、第2の成形型12の表面(転写面)は、球面や非球
面であってもよく、2層目の樹脂層6の形状に応じて決定される。
これにより、図1(e)に示すように、他方の面で回折格子5に密着するように2層目
の樹脂層6が成形されるとともに、当該2層目の樹脂層6が1層目の樹脂層4の一方の面
に接合される。なお、2層目の樹脂層6に用いられる樹脂材料(樹脂材6a)は紫外線硬
化樹脂であり、未硬化状態での粘度は3000mPa・s〜7000mPa・sである。
また成形の際、2層目の樹脂層6の外周部が1層目の樹脂層4の外周部の内側に位置する
ように第2の成形型12を樹脂材6aに当接させる。このようにして、ガラス基板2の上
に2つの樹脂層4,6が成形されたPFレンズ1が製造される。
この結果、第1実施形態によれば、2層目の樹脂層6の外周部が該2層目の樹脂層6よ
りガラス基板2側に位置する1層目の樹脂層4の外周部よりも内側に位置するため、成形
の際に2層目の樹脂材6aの外周部が1層目の樹脂層4からはみ出して内側に気体を巻き
込むことがなく、PFレンズ1に気泡が混入するのを防止することができる。
また、2層目の樹脂層6を成形する際に用いられる樹脂材料(樹脂材6a)の粘度が3
000mPa・s〜7000mPa・sであり、このような比較的粘度の高い樹脂材料を
2層目の樹脂層6に用いた場合、成形の際に2層目の樹脂材6aの外周部が1層目の樹脂
層4からはみ出すと内側に気体を巻き込みやすいため、PFレンズ1に気泡が混入するの
を効果的に防止することができる。なお、2層目の樹脂層6を成形する際に用いられる樹
脂材料(樹脂材6a)の粘度の範囲を4600mPa・s〜5400mPa・sにするこ
ともできる。
また、1層目の樹脂層4を成形する際に用いられる樹脂材料(樹脂材4a)の粘度が2
00mPa・s〜800mPa・sであり、2層目の樹脂層6よりも粘度が低い樹脂材料
を1層目の樹脂層4に用いることで、1層目の樹脂層4で気泡が混入するのを防止するこ
とができる。なお、1層目の樹脂層4を成形する際に用いられる樹脂材料(樹脂材4a)
の粘度の範囲を400mPa・s〜600mPa・sにすることもできる。
また、1層目の樹脂層4および2層目の樹脂層6の厚さがそれぞれ50μm〜400μ
mであり、各層の厚さがこのような範囲で、2つの樹脂層を適切に成形することができる
次に、PFレンズの第2実施形態について図4を参照しながら説明する。第2実施形態
のPFレンズ21は、第1のガラス基板22と、第1のガラス基板22の上に成形された
1層目の樹脂層24と、1層目の樹脂層24の上に重ねて成形された2層目の樹脂層26
と、2層目の樹脂層26の上に重ねて接合された第2のガラス基板28とを有して構成さ
れる。第1のガラス基板22は、透明のガラス材料を用いて円盤状に成形され、第1のガ
ラス基板22の一方の面(1層目の樹脂層24と接合する方の面)には、シランカップリ
ング剤からなるプライマー層23が形成されている。
第1のガラス基板22の方から数えて1層目の樹脂層24は、透明の樹脂材料を用いて
円盤状に成形され、1層目の樹脂層24の一方の面(2層目の樹脂層26と接合する方の
面)には、複数の輪帯が同心円状に並ぶ回折格子25が形成されている。1層目の樹脂層
24の径は、第1のガラス基板22の径よりも若干小さく(且つ、PFレンズ21の有効
径よりも大きく)、1層目の樹脂層24の外周部が第1のガラス基板22の外周部よりも
内側に位置するようになっている。また、1層目の樹脂層24の厚さは、例えば、50μ
m〜400μmである。
第1のガラス基板22の方から数えて2層目の樹脂層26は、1層目の樹脂層24と屈
折率が異なる透明の樹脂材料を用いて円盤状に成形される。2層目の樹脂層26の径は、
1層目の樹脂層24の径よりも若干小さく(且つ、PFレンズ21の有効径よりも大きく
)、2層目の樹脂層26の外周部が1層目の樹脂層24の外周部よりも内側に位置するよ
うになっている。また、2層目の樹脂層26の厚さは、例えば、50μm〜400μmで
ある。
第2のガラス基板28は、透明のガラス材料を用いて円盤状に成形され、第2のガラス
基板28の他方の面(2層目の樹脂層26と接合する方の面)には、シランカップリング
剤からなるプライマー層29が形成されている。
以上のように構成されるPFレンズ21の製造方法について説明する。第2実施形態に
係るPFレンズ21の製造方法は、第1実施形態の場合と同様のフローであり、図3に示
すフローチャートを用いて説明を行う。まず、第1のガラス基板22の上に1層目の樹脂
層24を成形し接合させる(ステップS101)。第1のガラス基板22の上に1層目の
樹脂層24を成形する際、図5(a)に示すように、第1のガラス基板22の一方の面に
シランカップリング剤/エチルアルコール/水(酢酸でやや酸性にした水)の混合液をス
ピンコートにより全面的に塗布し、ベーキングしてプライマー層23を形成する。プライ
マー層23を形成した第1のガラス基板22の一方の面に所定の格子形状を有する成形型
(金型)30を近接させ、図5(b)に示すように、その間隙に1層目の樹脂層24を成
形するための未硬化の樹脂材24aを充填する。この状態で、第1のガラス基板22の他
方の面から樹脂材24aに向けて紫外線を所定時間(例えば、2分間)だけ照射し、未硬
化の樹脂材24aを硬化させた後、離型する。
これにより、成形型30の格子形状が樹脂材24aに転写されて回折格子25を有する
1層目の樹脂層24が成形されるとともに、当該1層目の樹脂層24がプライマー層23
を介してガラス基板22の一方の面に接合される。なお、1層目の樹脂層24に用いられ
る樹脂材料(樹脂材24a)は紫外線硬化樹脂であり、未硬化状態での粘度は200mP
a・s〜800mPa・sである。また成形の際、1層目の樹脂層24の外周部が第1の
ガラス基板22の外周部の内側に位置するように樹脂材24aの充填を行う。
次に、1層目の樹脂層24の上に2層目の樹脂層26を重ねて成形し接合させる(ステ
ップS102)。2層目の樹脂層26を成形する際、図5(c)に示すように、1層目の
樹脂層24の上に2層目の樹脂層26を成形するための未硬化の樹脂材26aを滴下し、
図5(d)に示すように、滴下した樹脂材26aに第2のガラス基板28を当接させて成
形した後、1層目と同様に紫外線硬化させる。なおこのとき、第1のガラス基板22と同
様に第2のガラス基板28の他方の面にプライマー層29を形成し、このプライマー層2
9を樹脂材26aに当接させることにより、2層目の樹脂層26の成形と2層目の樹脂層
26に対する第2のガラス基板28の接合を同時に行うことができる。
これにより、他方の面で回折格子25に密着するように2層目の樹脂層26が成形され
るとともに、当該2層目の樹脂層26が1層目の樹脂層24の一方の面に接合され、また
同時に、2層目の樹脂層26の一方の面にプライマー層29を介して第2のガラス基板2
8が接合される。なお、2層目の樹脂層26に用いられる樹脂材料(樹脂材26a)は紫
外線硬化樹脂であり、未硬化状態での粘度は3000mPa・s〜7000mPa・sで
ある。また成形の際、2層目の樹脂層26の外周部が1層目の樹脂層24の外周部の内側
に位置するように第2のガラス基板28を樹脂材26aに当接させる。このようにして、
2つのガラス基板22,28の間に2つの樹脂層24,26が成形されたPFレンズ21
が製造される。
この結果、第2実施形態によれば、第1実施形態の場合と同様の効果を得ることができ
る。また、第2実施形態によれば、プライマー層29が形成された第2のガラス基板28
を樹脂材26aに当接させて2層目の樹脂層26を成形するため、2層目の樹脂層26の
成形と2層目の樹脂層26に対する第2のガラス基板28の接合を同時に行うことができ
る。そのため、2つのガラス基板22,28の間に2つの樹脂層24,26が成形された
PFレンズ21を製造する場合に、成形型により2層目の樹脂層26を成形する必要が無
く、PFレンズ21の製造工程を簡略化することができる。
なお、上述の第2実施形態において、プライマー層29が形成された第2のガラス基板
28を樹脂材26aに当接させて2層目の樹脂層26を成形しているが、これに限られる
ものではない。例えば、図1(a)〜(e)に示すように、上述の第1実施形態と同様に
して、(第1の)ガラス基板2の上に2つの樹脂層4,6を成形した後、図1(f)に示
すように、接着剤9を用いて第2のガラス基板8を2層目の樹脂層6の上に重ねて接着(
接合)するようにしてもよい。このようにすれば、接着剤9を用いて第2のガラス基板8
を接着するので、2つのガラス基板2,8の間に2つの樹脂層4,6が成形されたPFレ
ンズ41を製造する場合に、第2のガラス基板8にプライマー層を形成する必要がなく、
PFレンズ41の製造工程を簡略化することができる。
また、上述の各実施形態において、(第1の)ガラス基板の上に2つの樹脂層を成形し
ているが、これに限られるものではなく、例えば、3層以上の樹脂層を成形するようにし
てもよく、基材の上に複数の層を各層ごとに重ねて成形する場合に、本発明を適用するこ
とができる。この場合、複数の層のうち少なくともいずれかの層を成形する際に用いられ
る樹脂材料の粘度を、3000mPa・s〜7000mPa・sにすることができる。な
お、樹脂材料の粘度を、4600mPa・s〜5400mPa・sにすることもできる。
また、上述の各実施形態において、基材としてガラス基板を用いているが、これに限ら
れるものではなく、例えば、プラスチック製の基板であってもよく、透明な材料であれば
よい。
また、上述の各実施形態において、ガラス基板、1層目の樹脂層、および2層目の樹脂
層がそれぞれ円盤状に形成されているが、これに限られるものではなく、ガラス基板、1
層目の樹脂層、および2層目の樹脂層の少なくともいずれかの面(一方もしくは他方の面
)が球面もしくは非球面であってもよい。また、ガラス基板に1層目の樹脂層および2層
目の樹脂層を成形した後、外周部をカットして所望の形状に仕上げるようにしてもよい。
なお、2層目の樹脂層が非球面を有する場合、2層目の樹脂層の厚さを50μm〜100
0μmにすることができる。
また、上述の各実施形態において、回折光学素子の一種であるPFレンズを例に説明し
たが、これに限られるものではなく、一般的なフレネルレンズや、非球面レンズ、マイク
ロレンズアレイ等の光学素子であっても、本発明を適用可能である。
1 PFレンズ(第1実施形態) 2 ガラス基板(基材)
4 1層目の樹脂層 5 回折格子
6 2層目の樹脂層
21 PFレンズ(第2実施形態) 22 第1のガラス基板(基材)
24 1層目の樹脂層 25 回折格子
26 2層目の樹脂層
41 PFレンズ(変形例)

Claims (12)

  1. 基材の上に複数の樹脂層を各層ごとに重ねて成形する光学素子の製造方法であって、
    前記複数の樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目以降の樹脂層を成形する際、成形を行う樹脂層の外周部が該樹脂層より前記基材側に位置する樹脂層の外周部よりも内側に位置するように前記成形を行い、
    前記複数の樹脂層のうち少なくともいずれかの樹脂層を成形する際に用いられる樹脂材料の粘度が3000mPa・s以上7000mPa・s以下であることを特徴とする光学素子の製造方法。
  2. 前記複数の樹脂層が2つの樹脂層であり、
    前記2つの樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目の樹脂層を成形する際、前記2層目の樹脂層の外周部が前記2層目の樹脂層より前記基材側に位置する1層目の樹脂層の外周部よりも内側に位置するように前記成形を行うことを特徴とする請求項1に記載の光学素子の製造方法。
  3. 前記基材の上に回折格子を有する前記1層目の樹脂層を成形し、
    前記1層目の樹脂層の上に前記2層目の樹脂層を前記回折格子に密着させるように重ねて成形し、
    前記1層目の樹脂層を成形する際に用いられる樹脂材料の粘度が200mPa・s以上800mPa・s以下であり、
    前記2層目の樹脂層を成形する際に用いられる樹脂材料の粘度が3000mPa・s以上7000mPa・s以下であることを特徴とする請求項2に記載の光学素子の製造方法。
  4. 基材の上に複数の樹脂層を各層ごとに重ねて成形する光学素子の製造方法であって、
    前記複数の樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目以降の樹脂層を成形する際、成形を行う樹脂層の外周部が該樹脂層より前記基材側に位置する樹脂層の外周部よりも内側に位置するように前記成形を行い、
    前記複数の樹脂層における各層の厚さがそれぞれ50μm以上400μm以下であることを特徴とする光学素子の製造方法。
  5. 前記複数の樹脂層が2つの樹脂層であり、
    前記2つの樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目の樹脂層を成形する際、前記2層目の樹脂層の外周部が前記2層目の樹脂層より前記基材側に位置する1層目の樹脂層の外周部よりも内側に位置するように前記成形を行い、
    前記基材の上に回折格子を有する前記1層目の樹脂層を成形し、
    前記1層目の樹脂層の上に前記2層目の樹脂層を前記回折格子に密着させるように重ねて成形し、
    前記2層目の樹脂層を成形する成形型の転写面には回折格子が形成されないことを特徴とする請求項4に記載の光学素子の製造方法。
  6. 前記成形型として第2の基材を用いて前記2層目の樹脂層を成形し、成形した前記2層目の樹脂層に前記第2の基材を接合することを特徴とする請求項5に記載の光学素子の製造方法。
  7. 基材と、前記基材の上に重ねて成形された複数の樹脂層とを備え、
    前記複数の樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目以降の樹脂層の外周部は、該樹脂層より前記基材側に位置する樹脂層の外周部よりも内側に位置し、
    前記複数の樹脂層のうち少なくともいずれかの樹脂層の成形に用いられる樹脂材料の粘度が3000mPa・s以上7000mPa・s以下であることを特徴とする光学素子。
  8. 前記複数の樹脂層が2つの樹脂層であり、
    前記2つの樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目の樹脂層の外周部は、前記2層目の樹脂層より前記基材側に位置する1層目の樹脂層の外周部よりも内側に位置することを特徴とする請求項7に記載の光学素子。
  9. 前記基材の上に回折格子を有する前記1層目の樹脂層が成形され、
    前記1層目の樹脂層の上に前記2層目の樹脂層が前記回折格子に密着するように重ねて成形され、
    前記1層目の樹脂層の成形に用いられる樹脂材料の粘度が200mPa・s以上800mPa・s以下であり、
    前記2層目の樹脂層の成形に用いられる樹脂材料の粘度が3000mPa・s以上7000mPa・s以下であることを特徴とする請求項8に記載の光学素子。
  10. 基材と、前記基材の上に重ねて成形された複数の樹脂層とを備え、
    前記複数の樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目以降の樹脂層の外周部は、該樹脂層より前記基材側に位置する樹脂層の外周部よりも内側に位置し、
    前記複数の樹脂層における各層の厚さがそれぞれ50μm以上400μm以下であることを特徴とする光学素子。
  11. 前記複数の樹脂層が2つの樹脂層であり、
    前記2つの樹脂層のうち前記基材の方から数えて2層目の樹脂層の外周部は、前記2層目の樹脂層より前記基材側に位置する1層目の樹脂層の外周部よりも内側に位置し、
    前記基材の上に回折格子を有する前記1層目の樹脂層が成形され、
    前記1層目の樹脂層の上に前記2層目の樹脂層が前記回折格子に密着するように重ねて成形され、
    前記2層目の樹脂層を成形する成形型の転写面には回折格子が形成されないことを特徴とする請求項10に記載の光学素子。
  12. 前記2層目の樹脂層に接合される前記第2の基材を備え、
    前記成形型として前記第2の基材を用いて前記2層目の樹脂層が成形されることを特徴とする請求項11に記載の光学素子。
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