JP5811807B2 - 照明装置、投影型表示装置、直視型表示装置 - Google Patents

Description

本技術は、レーザダイオード（ＬＤ）などの固体発光素子を用いた照明装置、ならびにそれを備えた投影型表示装置および直視型表示装置に関する。

近年、オフィスだけでなく、家庭でも、スクリーンに映像を投影するプロジェクタが広く利用されている。プロジェクタは、光源からの光をライトバルブで変調することにより画像光を生成し、スクリーンに投射して表示を行うものである。最近では、手のひらサイズの超小型プロジェクタや、超小型プロジェクタ内蔵の携帯電話機などが普及し始めている（例えば特許文献１参照）。

特開２００８−１３４３２４号公報 特開昭５５−６５９４０号公報 特開平６−２０８０８９号公報

ところで、プロジェクタに用いられる光源としては、高輝度の放電ランプが主流である。しかし、放電ランプでは、サイズが比較的大きく、消費電力も大きいことから、放電ランプに代わる光源として、近年では、発光ダイオード（ＬＥＤ）や、レーザダイオード（ＬＤ）、有機ＥＬ（ＯＬＥＤ）などの固体発光素子が注目されている。これらの固体発光素子は、サイズや消費電力だけでなく、高信頼性という点でも、放電ランプよりも有利である。

プロジェクタの光源としてレーザダイオードを用いた場合には、レーザ光がコヒーレントであるために、スクリーン上においてスペックルが表示画像に重畳される。スペックルは人間の眼には強度のランダムノイズとして認識され、表示画質の低下につながる。

そこで、特許文献２では、スペックルの発生を低減するために、スクリーンを微小振動させることが提案されている。一般に、人間の眼および脳は、約２０〜５０ｍｓ内の画像のちらつきは判別できない。つまり、その時間内の画像は眼の中で積分され、平均化される。したがって、この時間内に、スクリーン上において独立のスペックルパターンを多数重量させることにより、スペックルを人間の眼の中で気にならない程度に平均化することが可能である。しかし、この手法では、スクリーンを微小振動させる必要があるので、装置構成が大型化してしまうという問題があった。

また、特許文献３では、拡散素子を機械的に回転させることにより、スペックルパターンの位置をスクリーン上で高速に変位させ、スペックルノイズが人の眼に検知されないようにすることが提案されている。しかし、この手法では、拡散素子を用いて光を拡散させているので、光の利用効率が低下してしまうという問題があった。

本技術はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その第１の目的は、小型化および光の利用効率向上を図りつつ、スペックルの発生を低減することの可能な照明装置を提供することにある。また、第２の目的は、そのような照明装置を用いた投影型表示装置および直視型表示装置を提供することにある。

本技術の照明装置は、単一もしくは複数の発光スポットからなる光射出領域から光を発する第１の固体発光素子を含む第１の光源を備えている。この照明装置は、また、第１の光源側から入射した光の指向角を変換する第１の指向角変換素子と、第１の指向角変換素子を透過した光が照明する所定の照明範囲における光の照度分布を均一化するインテグレータとを備えている。この照明装置は、さらに、第１の光源と第１の指向角変換素子との間、または第１の指向角変換素子とインテグレータとの間に、照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第１の微小振動素子を備えている。ここで、第１の固体発光素子は、レーザダイオードを含んでいる。インテグレータは、第１の指向角変換素子側からの光が入射する第１のフライアイレンズと、第１のフライアイレンズ側からの光が入射する第２のフライアイレンズとにより構成されている。第１のフライアイレンズの各セルによって第２のフライアイレンズに形成される各光源像のサイズが第２のフライアイレンズの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、第１の指向角変換素子と、第１および第２のフライアイレンズとからなる光学系の光学倍率、および第１の微小振動素子の形状が設定されている。さらに、各光源像が、第２のフライアイレンズの複数のセルにまたがって形成されることがないように、第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量が設定されている。

本技術の投射型表示装置は、照明光学系と、入力された映像信号に基づいて照明光学系からの光を変調することにより、画像光を生成する空間変調素子と、空間変調素子で生成された画像光を投射する投影光学系とを備えたものである。この投射型表示装置に搭載された照明光学系は、上記の照明装置と同一の構成要素を有している。

本技術の直視型表示装置は、照明光学系と、入力された映像信号に基づいて照明光学系からの光を変調することにより、画像光を生成する空間変調素子と、空間変調素子で生成された画像光を投射する投影光学系と、投影光学系から投射された画像光を映し出す透過型スクリーンとを備えたものである。この直視型表示装置に搭載された照明光学系は、上記の照明装置と同一の構成要素を有している。

本技術の照明装置、投射型表示装置および直視型表示装置では、インテグレータを透過した光が照明する範囲における照明状態を時間的に変化させる第１の微小振動素子が、第１の光源とインテグレータとの間に設けられている。これにより、スペックルを人間の眼の中で気にならない程度に平均化することが可能となる。また、本技術では、第１のフライアイレンズの各セルによって第２のフライアイレンズに形成される各光源像のサイズが第２のフライアイレンズの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、第１の指向角変換素子と、第１および第２のフライアイレンズとからなる光学系の光学倍率、および第１の微小振動素子の形状が設定されている。さらに、上記の各光源像が、第２のフライアイレンズの複数のセルにまたがって形成されることがないように、第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量が設定されている。これにより、第２のフライアイレンズに入射した光が効率良く照明範囲にまで到達する。なお、第１の微小振動素子は照明範囲における照明状態を時間的に変化させることができる程度に振動するだけなので、第１の微小振動素子が照明装置の小型化を阻害することはない。

本技術において、第１の固体発光素子が、所定の波長帯の光を発する単一のチップ、または同一の波長帯もしくは互いに異なる波長帯の光を発する複数のチップからなっていてもよい。この場合に、第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量が以下の関係式を満たすことが好ましい。
ｈ＋ｄ≦ｈ_FEL2
ｈ：光源像のサイズ
ｄ：第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量
ｈ_FEL2：第２のフライアイレンズの１セルのサイズ

本技術において、第１および第２のフライアイレンズの各セルが１以外の縦横比を有していてもよい。この場合には、以下の式に示したように、その縦横比を考慮して、第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量が設定されていることが好ましい。
ｈ_x＋ｄ_x≦ｈ_FEL2x
ｈ_y＋ｄ_y≦ｈ_FEL2y
ｈ_x：光源像の第１の方向（前記第１および第２のフライアイレンズの各セルの長手方向またはそれに対応する方向）のサイズ
ｈ_y：光源像の、第１の方向と直交する第２の方向（前記第１および第２のフライアイレンズの各セルの短手方向またはそれに対応する方向）のサイズ
ｈ_FEL2x：第２のフライアイレンズの１セルの第１の方向のサイズ
ｈ_FEL2y：第２のフライアイレンズの１セルの第２の方向のサイズ
ｄ_x：第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量のうち、第１の方向の成分（ｄ_x≧０、ただしｄ_y＝０のときはｄ_x＞０）
ｄ_y：第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量のうち、第２の方向の成分（ｄ_y≧０、ただしｄ_x＝０のときはｄ_y＞０）

また、本技術において、単一もしくは複数の発光スポットからなる光射出領域から光を発する第２の固体発光素子を含む第２の光源がさらに設けられていてもよい。この場合に、第２の光源側から入射した光の指向角を変換する第２の指向角変換素子と、第１および第２の指向角変換素子を透過した光を合成し、その合成光をインテグレータに向けて出力する光路合成素子とがさらに設けられていてもよい。このとき、第１の微小振動素子は、光路合成素子とインテグレータとの間に配置されていることが好ましい。

また、本技術において、第２の光源、第２の指向角変換素子および光路合成素子が設けられている場合に、第２の光源と第２の指向角変換素子との間、または第２の指向角変換素子と光路合成素子との間に、照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第２の微小振動素子が設けられていてもよい。この場合に、第１の微小振動素子は、第１の光源と第１の指向角変換素子との間、または第１の指向角変換素子と光路合成素子との間に配置されていることが好ましい。さらに、第１のフライアイレンズの各セルによって第２のフライアイレンズに形成される各光源像のサイズが第２のフライアイレンズの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、第２の指向角変換素子と、第１および第２のフライアイレンズとからなる光学系の光学倍率、および第２の微小振動素子の形状が設定されていることが好ましい。加えて、各光源像が、第２のフライアイレンズの複数のセルにまたがって形成されることがないように、第２の微小振動素子の形状と、第２の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量が設定されていることが好ましい。

また、本技術において、第１の指向角変換素子の焦点距離ならびに第１および第２のフライアイレンズの各セルが１以外の縦横比を有している場合に、第１の指向角変換素子の縦横の焦点距離の比と、第２のフライアイレンズの各セルの縦横比の逆数とが、互いに等しくなっていてもよい。

本技術の照明装置、投射型表示装置および直視型表示装置によれば、第１の微小振動素子を第１の光源の光路上に設けるとともに、第１の微小振動素子を振動させた状態でも、各光源像が複数のセルにまたがって形成されることがないようにしたので、小型化および光の利用効率向上を図りつつ、スペックルの発生を低減することができる。

また、本技術の照明装置、投射型表示装置および直視型表示装置において、第１および第２のフライアイレンズの各セルが１以外の縦横比を有している場合に、その縦横比を考慮して、第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量を設定するようにした場合には、光利用効率をさらに改善することができる。

本技術の第１の実施の形態に係るプロジェクタの概略構成を表す図である。 図１のプロジェクタ内の光路の一例を示す図である。 図１の光源の上面構成および断面構成の一例を示す図である。 図１の光源の上面構成および断面構成の他の例を示す図である。 図１の光源の上面構成および断面構成のその他の例を示す図である。 図１の光源の発光スポットの一例を示す図である。 図１のフライアイレンズの概略構成を表す図である。 図１の照明範囲のサイズについて説明するための模式図である。 図１のプロジェクタにおいて、後段のフライアイレンズに現れる光源像の一例を表す模式図である。 図１の微小振動素子の断面構成の一例を示す図である。 図１のプロジェクタの構成の一変形例を示す図である。 図１のプロジェクタの構成の他の変形例を示す図である。 本技術の第２の実施の形態に係るプロジェクタの概略構成を表す図である。 図１３のプロジェクタ内の光路の一例を示す図である。 図１３のプロジェクタの構成の一変形例を示す図である。 図１３のプロジェクタの構成の他の変形例を示す図である。 本技術の第３の実施の形態に係るプロジェクタの概略構成を表す図である。 図１７のプロジェクタ内の光路の一例を示す図である。 図１７のプロジェクタの構成の一変形例を示す図である。 本技術の第４の実施の形態に係るプロジェクタの概略構成を表す図である。 図２０の偏光分離素子の断面構成の一例を示す図である。 図２０の位相差板アレイの上面構成の一例を示す図である。 図２０のプロジェクタ内の光路の一例を示す図である。 図２０のプロジェクタにおいて、後段のフライアイレンズに現れる光源像の一例を表す模式図である。 図２０のプロジェクタの構成の他の変形例を示す図である。 第１ないし第３の実施の形態の実施例における設計値を示す図である。 第４の実施の形態の実施例における設計値を示す図である。 （Ａ）図１の光源の一変形例の断面構成の一例を示す図である。（Ｂ）図２８（Ａ）の光源に含まれる固体発光素子を光射出面側から見たときの図である。 （Ａ）図２８（Ａ）の光源の断面構成の他の例を示す図である。（Ｂ）図２９（Ａ）の光源に含まれる固体発光素子を光射出面側から見たときの図である。 （Ａ）図２８（Ａ）の光源の断面構成のその他の例を示す図である。（Ｂ）図３０（Ａ）の光源に含まれる固体発光素子を光射出面側から見たときの図である。 （Ａ）図２８の光源をＸＹ平面で９０度回転させたときの断面構成の一例を示す図である。（Ｂ）図３１（Ａ）の光源に含まれる固体発光素子を光射出面側から見たときの図である。 （Ａ）図２９の光源をＸＹ平面で９０度回転させたときの断面構成の一例を示す図である。（Ｂ）図３２（Ａ）の光源に含まれる固体発光素子を光射出面側から見たときの図である。 （Ａ）図３０の光源をＸＹ平面で９０度回転させたときの断面構成の一例を示す図である。（Ｂ）図３３（Ａ）の光源に含まれる固体発光素子を光射出面側から見たときの図である。 上記各実施の形態およびそれらの変形例に係る照明光学系を用いたリアプロジェクション表示装置の概略構成を表す図である。 一変形例に係る微小振動素子に含まれるパワー素子の一例を示す平面図および断面図である。 図３５（Ｂ）のパワー素子の拡大図である。 図３６（Ｂ）のパワー素子をインテグレータと共に示す断面図である。

以下、発明を実施するための形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、説明は以下の順序で行う。

１．第１の実施の形態（図１〜図１２）
各光源の光をカップリングレンズで平行光化したのちに合成する例
２．第２の実施の形態（図１３〜図１６）
各光源の光を合成した後にカップリングレンズで平行光化する例
３．第３の実施の形態（図１７〜図１９）
単一のパッケージから各波長帯の光を射出させ、光路の合成を不要とした例
４．第４の実施の形態（図２０〜図２５）
偏光分離素子および位相差板アレイを設けた例
５．実施例（図２６、図２７）
６．変形例（図２８〜図３７）

＜１．第１の実施の形態＞
[構成]
図１（Ａ），（Ｂ）は、本技術の第１の実施の形態に係るプロジェクタ１の概略構成を表すものである。なお、プロジェクタ１が本技術の「投射型表示装置」の一具体例に相当する。図１（Ａ）はプロジェクタ１を上から（ｙ軸方向から）見たときの構成例を表し、図１（Ｂ）はプロジェクタ１を横から（ｘ軸方向から）見たときの構成例を表す。図２（Ａ），（Ｂ）は、図１のプロジェクタ１内の光路の一例を表すものである。図２（Ａ）は、プロジェクタ１を上から（ｙ軸方向から）見たときの光路の一例を表し、図２（Ｂ）はプロジェクタ１を横から（ｘ軸方向から）見たときの光路の一例を表す。

典型的には、ｙ軸は垂直方向を向き、ｘ軸は水平方向を向いているが、その逆に、ｙ軸が水平方向を向き、ｘ軸が垂直方向を向いていてもよい。なお、以下では、便宜的に、ｙ軸は垂直方向を向き、ｘ軸は水平方向を向いているものとして説明するものとする。また、以下において、「横方向」とはｘ軸方向を指しており、「縦方向」とはｙ軸方向を指しているものとする。

プロジェクタ１は、例えば、照明光学系１Ａ、空間変調素子６０および投影光学系７０を備えたものである。空間変調素子６０は、入力された映像信号に基づいて照明光学系１Ａからの光を変調することにより画像光を生成するものである。投影光学系７０は、空間変調素子６０で生成された画像光を反射型のスクリーン２に投射するものである。なお、照明光学系１Ａが本技術の「照明装置」の一具体例に相当する。

照明光学系１Ａは、空間変調素子６０の照明範囲６０Ａ（被照射面）を照射する光束を供給するものである。なお、必要に応じて、照明光学系１Ａの光が通過する領域上に、何らかの光学素子が設けられていてもよい。例えば、照明光学系１Ａの光が通過する領域上に、照明光学系１Ａからの光のうち可視光以外の光を減光するフィルタなどが設けられていてもよい。

照明光学系１Ａは、例えば、図１（Ａ），（Ｂ）に示したように、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃと、光路合成素子３０と、インテグレータ４０と、コンデンサレンズ５０と、微小振動素子１００とを有している。なお、光源１０Ａが本技術の「第１の光源」の一具体例に相当し、光源１０Ｂまたは光源１０Ｃが本技術の「第２の光源」の一具体例に相当する。カップリングレンズ２０Ａが本技術の「第１の指向角変換素子」の一具体例に相当し、カップリングレンズ２０Ｂまたはカップリングレンズ２０Ｃが本技術の「第２の指向角変換素子」の一具体例に相当する。微小振動素子１００が本技術の「第１の微小振動素子」の一具体例に相当する。

光路合成素子３０は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃからの光を合成するものであり、例えば、２つのダイクロイックミラー３０Ａ，３０Ｂからなる。インテグレータ４０は、照明範囲６０Ａにおける光の照度分布を均一化するものであり、例えば、一対のフライアイレンズ４０Ａ、４０Ｂからなる。光源１０Ａの光軸上には、カップリングレンズ２０Ａと、光路合成素子３０と、インテグレータ４０と、コンデンサレンズ５０とが光源１０Ａ側からこの順に配列されている。光源１０Ｂの光軸は、光源１０Ａの光軸とダイクロイックミラー３０Ａにおいて直交しており、光源１０Ｂの光軸上には、カップリングレンズ２０Ｂおよびダイクロイックミラー３０Ａが光源１０Ｂ側からこの順に配列されている。光源１０Ｃの光軸は、光源１０Ａの光軸とダイクロイックミラー３０Ｂにおいて直交しており、光源１０Ｃの光軸上には、カップリングレンズ２０Ｃおよびダイクロイックミラー３０Ｂが光源１０Ｃ側からこの順に配列されている。

なお、図１（Ａ），（Ｂ）では、プロジェクタ１の各構成要素（光源１０Ｂ，１０Ｃ、カップリングレンズ２０Ｂ，２０Ｃを除く）がｚ軸と平行な線分上に配列されている場合が例示されているが、プロジェクタ１の各構成要素の一部がｚ軸と非平行な線分上に配列されていてもよい。例えば、図示しないが、照明光学系１Ａ全体を図１（Ａ），（Ｂ）の状態から９０°回転させて照明光学系１Ａの光軸がｚ軸と直交する方向を向くように照明光学系１Ａがレイアウトされていてもよい。ただし、このようにした場合には、照明光学系１Ａから出力された光を空間変調素子６０に導く光学素子（例えばミラー）を設けることが必要である。また、例えば、光源１０Ａ、カップリングレンズ２０Ａおよび光路合成素子３０を図１（Ａ），（Ｂ）の状態から９０°回転させて、これらの光軸をｚ軸と直交する方向を向くように光源１０Ａ、カップリングレンズ２０Ａおよび光路合成素子３０がレイアウトされていてもよい。ただし、このようにした場合にも、光路合成素子３０から出力された光をインテグレータ４０に導く光学素子（例えばミラー）を設けることが必要である。

光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃは、それぞれ、例えば、図３（Ａ），（Ｂ）〜図５（Ａ），（Ｂ）に示したように、固体発光素子１１と、固体発光素子１１を支持するとともに覆うパッケージ１２とを有している。固体発光素子１１は、単一もしくは複数の点状、または単一もしくは複数の非点状の発光スポットからなる光射出領域から光を発するようになっている。固体発光素子１１は、例えば、図３（Ａ），（Ｂ）に示したように、所定の波長帯の光を発する単一のチップ１１Ａからなっていてもよいし、例えば、図４（Ａ），（Ｂ）、図５（Ａ），（Ｂ）に示したように、同一の波長帯もしくは互いに異なる波長帯の光を発する複数のチップ１１Ａからなっていてもよい。固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、それらのチップ１１Ａは、例えば、図４（Ａ），（Ｂ）に示したように、横方向に一列に配置されていたり、例えば、図５（Ａ），（Ｂ）に示したように、横方向および縦方向に格子状に配置されていたりする。固体発光素子１１に含まれるチップ１１Ａの数は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃごとに異なっていてもよいし、全ての光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃで互いに等しくなっていてもよい。

固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、固体発光素子１１としてのサイズ（Ｗ_V×Ｗ_H）は、例えば、図３（Ａ）に示したように、単一のチップ１１Ａのサイズ（Ｗ_V1×Ｗ_H1）に等しい。一方、固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、固体発光素子１１としてのサイズは、例えば、図４（Ａ），図５（Ａ）に示したように、全てのチップ１１Ａをひとまとまりとしたときのサイズに等しい。複数のチップ１１Ａが横方向に一列に配置されている場合には、固体発光素子１１としてのサイズ（Ｗ_V×Ｗ_H）は、図４（Ａ）の例では、Ｗ_V1×２Ｗ_H1となる。また、複数のチップ１１Ａが、横方向および縦方向に格子状に配置されている場合には、固体発光素子１１としてのサイズ（Ｗ_V×Ｗ_H）は、図５（Ａ）の例では、２Ｗ_V1×２Ｗ_H1となる。

チップ１１Ａは、発光ダイオード（ＬＥＤ）、有機ＥＬ発光素子（ＯＬＥＤ）、またはレーザダイオード（ＬＤ）からなる。ＬＥＤおよびＯＬＥＤは無偏光の光であって、かつインコヒーレントな光を射出するものである。一方のＬＤは偏光光であって、かつコヒーレントな光（またはほぼコヒーレントな光）を射出するものである。

固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合に、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃのそれぞれに含まれるチップ１１Ａが全て、ＬＤであってもよい。また、固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合に、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃのうち少なくとも１つの光源に含まれるチップ１１ＡがＬＤであり、それ以外のチップ１１ＡがＬＥＤやＯＬＥＤであってもよい。

固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合に、固体発光素子１１に含まれる各チップ１１Ａは、例えば、互いに同一の波長帯の光を発するようになっていてもよいし、互いに異なる波長帯の光を発するようになっていてもよい。各光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃに含まれるチップ１１Ａは、例えば、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃごとに互いに異なる波長帯の光を発するようになっている。光源１０Ａに含まれるチップ１１Ａは、例えば、波長４００ｎｍ〜５００ｎｍ程度の波長の光（青色光）を発するものである。光源１０Ｂに含まれるチップ１１Ａは、例えば、波長５００ｎｍ〜６００ｎｍ程度の波長の光（緑色光）を発するものである。光源１０Ｃに含まれるチップ１１Ａは、例えば、波長６００ｎｍ〜７００ｎｍ程度の波長の光（赤色光）を発するものである。なお、光源１０Ａに含まれるチップ１１Ａが、青色光以外の光（緑色光または赤色光）を発するものであってもよい。また、光源１０Ｂに含まれるチップ１１Ａが、緑色光以外の光（青色光または赤色光）を発するものであってもよい。また、光源１０Ｃに含まれるチップ１１Ａが、赤色光以外の光（緑色光または青色光）を発するものであってもよい。

チップ１１Ａは、例えば、図３（Ａ），（Ｂ）〜図６（Ａ）〜（Ｃ）に示したように、チップ１１Ａサイズ（Ｗ_V×Ｗ_H）よりも小さなサイズ（Ｐ_V1×Ｐ_H1）の発光スポット１１Ｂを有している。発光スポット１１Ｂは、チップ１１Ａに電流を注入してチップ１１Ａを駆動したときにチップ１１Ａから光が発せられる領域（光射出領域）に相当する。チップ１１ＡがＬＥＤまたはＯＬＥＤである場合には、発光スポット１１Ｂは非点状（面状）となるが、チップ１１ＡがＬＤである場合には、発光スポット１１ＢはＬＥＤまたはＯＬＥＤの発光スポット１１Ｂよりも小さな点状である。

固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、発光スポット１１Ｂの数は、例えば、図６（Ａ）に示したように１つである。一方、固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、発光スポット１１Ｂの数は、例えば、図６（Ｂ），（Ｃ）に示したようにチップ１１Ａの数と等しい。ここで、固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、固体発光素子１１としての光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、発光スポット１１Ｂのサイズ（Ｐ_V1×Ｐ_H1）に等しい。一方、固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、固体発光素子１１としての光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いのサイズに等しい。複数のチップ１１Ａが横方向に一列に配置されている場合には、光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、図６（Ｂ）の例では、Ｐ_V1×２Ｐ_H1よりも大きく、Ｗ_V×Ｗ_Hよりも小さい。また、複数のチップ１１Ａが、横方向および縦方向に格子状に配置されている場合には、光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、図６（Ｃ）の例では、２Ｐ_V1×２Ｐ_H1よりも大きく、Ｗ_V×Ｗ_Hよりも小さい。

カップリングレンズ２０Ａは、例えば、図２（Ａ），（Ｂ）に示したように、光源１０Ａから発せられた光を略平行光化するものであり、光源１０Ａから発せられた光の指向角（θ_H，θ_V）を、平行光の指向角と等しくなるように、またはそれに近づくように変換するものである。カップリングレンズ２０Ａは、光源１０Ａから発せられた光のうち指向角内の光が入射する位置に配置されている。カップリングレンズ２０Ｂは、例えば、図２（Ａ），（Ｂ）に示したように、光源１０Ｂから発せられた光を略平行光化するものであり、光源１０Ｂから発せられた光の指向角（θ_H，θ_V）を、平行光の指向角と等しくなるように、またはそれに近づくように変換するものである。カップリングレンズ２０Ｂは、光源１０Ｂから発せられた光のうち指向角内の光が入射する位置に配置されている。カップリングレンズ２０Ｃは、例えば、図２（Ａ），（Ｂ）に示したように、光源１０Ｃから発せられた光を略平行光化するものであり、光源１０Ｃから発せられた光の指向角（θ_H，θ_V）を、平行光の指向角と等しくなるように、またはそれに近づくように変換するものである。カップリングレンズ２０Ｃは、光源１０Ｃから発せられた光のうち指向角内の光が入射する位置に配置されている。つまり、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃごとに（パッケージごとに）１つずつ配置されている。なお、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃは、それぞれ、単一のレンズによって構成されていてもよいし、複数のレンズによって構成されていてもよい。

ダイクロイックミラー３０Ａ，３０Ｂは、波長選択性を持つ１枚のミラーを含むものである。なお、上記のミラーは、例えば、多層の干渉膜を蒸着して構成されたものである。ダイクロイックミラー３０Ａは、例えば、図２（Ａ），（Ｂ）に示したように、ミラーの裏面側から入射した光（光源１０Ａ側から入射した光）をミラーの表面側に透過させるとともに、ミラーの表面側から入射した光（光源１０Ｂ側から入射した光）をミラーで反射するようになっている。一方、ダイクロイックミラー３０Ｂは、図２（Ａ），（Ｂ）に示したように、ミラーの裏面側から入射した光（ダイクロイックミラー３０Ａ側から入射した光源１０Ａ，１０Ｂの光）をミラーの表面側に透過させるとともに、ミラーの表面側から入射した光（光源１０Ｃ側から入射した光）をミラーで反射するようになっている。従って、光路合成素子３０は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから発せられた個々の光束を単一の光束に合成するようになっている。

フライアイレンズ４０Ａ、４０Ｂは、それぞれ、所定の配列状態（ここでは、縦×横＝４×３のマトリクス状）に配置された複数のレンズ（セル）によって構成されたものである。フライアイレンズ４０Ｂに含まれる複数のセル４２は、フライアイレンズ４０Ａのセル４１ごとに１つずつ対向して配置されている。フライアイレンズ４０Ａは、フライアイレンズ４０Ｂの焦点位置（または略焦点位置）に配置されており、フライアイレンズ４０Ｂは、フライアイレンズ４０Ａの焦点位置（または略焦点位置）に配置されている。従って、インテグレータ４０は、フライアイレンズ４０Ａで分割形成された光束がフライアイレンズ４０Ｂの像側のレンズ面近傍に焦点を結び、ここに２次光源面（光源像）を形成するようになっている。この２次光源面は投影光学系７０の入射瞳と共役な面の位置に位置している。ただし、この２次光源面は、必ずしも厳密に投影光学系７０の入射瞳と共役な面の位置に位置している必要はなく、設計上の許容範囲内に位置していればよい。フライアイレンズ４０Ａ、４０Ｂは、一体に形成されたものであってもよい。

一般に光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから射出された光束は、その進行方向に垂直な面において不均一な強度分布をもっている。そのため、これら光束をそのまま照明範囲６０Ａ（被照射面）に導くと、照明範囲６０Ａでの照度分布が不均一になるが、上記のように光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから射出された光束をインテグレータ４０によって複数の光束に分割してそれぞれを照明範囲６０Ａに重畳的に導くようにすれば、照明範囲６０Ａ上の照度分布を均一にすることができる。

コンデンサレンズ５０は、インテグレータ４０により形成された多光源からの光束を集光して照明範囲６０Ａを重畳的に照明するものである。空間変調素子６０は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの各波長成分に対応した色画像信号に基づいて、照明光学系１Ａからの光束を２次元的に変調し、これにより画像光を生成するものである。空間変調素子６０は、例えば、図２（Ａ），（Ｂ）に示したように、透過型の素子であり、例えば、透過型の液晶パネルによって構成されている。なお、図示しないが、空間変調素子６０が反射型の素子、例えば、反射型の液晶パネルもしくはデジタルマイクロミラーデバイスによって構成されていてもよい。ただし、その場合には、空間変調素子６０で反射された光が投影光学系７０に入射するようになっていることが必要である。

微小振動素子１００は、例えば、図１（Ａ），（Ｂ）に示したように、光路合成素子３０とインテグレータ４０との間に配置されている。微小振動素子１００は、照明範囲６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させるものであり、例えば、図１０に示したように、光学素子１１０と、光学素子１１０を微小振動させる駆動部１２０とを有している。光学素子１１０は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ側から発せられた光が通過する領域に配置されている。駆動部１２０は、光路とは異なる箇所に配置されている。

光学素子１１０は、例えば、光射出側に傾斜面Ａ₁〜Ａ_nを有するプリズムアレイを含んで構成されている。プリズムアレイは、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ側から発せられた光を傾斜面Ａ₁〜Ａ_nごとに微小な光束Ｌ₁〜Ｌ_nに分割するものである。

駆動部１２０は、光学素子１１０とインテグレータ４０との相対位置を変位させるものである。駆動部１２０は、例えば、プリズムアレイの傾斜面Ａ₁〜Ａ_nの配列方向（図１０の上下方向）に振動させることにより、光学素子１１０とインテグレータ４０との相対位置を変位させるようになっている。これにより、インテグレータ４０の入射面内において、光束Ｌ₁〜Ｌ_nの入射位置が変化するので、照明領域６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させることができる。なお、微小振動素子１００による光束の走査は、連続周期的であってもよいし、離散的繰り返しであってもよい。いずれの場合であっても、照明領域６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させることができる。また、光学素子１１０の傾斜面Ａ₁〜Ａ_nは、光束Ｌ₁〜Ｌ_nのフライアイレンズ４０Ａへの入射角がフライアイレンズ４０Ａの許容角以内となるように構成されていることが好ましい。また、駆動部１２０は、光束Ｌ₁〜Ｌ_nのフライアイレンズ４０Ａへの入射角がフライアイレンズ４０Ａの許容角以内となるように、微小振動素子１００を振動させるようになっていることが好ましい。許容角とは、フライアイレンズ４０Ｂ近傍に形成される各光源像がフライアイレンズ４０Ｂに含まれる複数のセル４２にまたがって形成されることのない、フライアイレンズ４０Ａへの入射角の最大値を指す。なお、許容角より大きな入射角で入射した光はフライアイレンズ４０Ａを透過しても照明範囲６０Ａを照明できないか、または、非常に低い効率でしか照明範囲６０Ａを照明できない。駆動部１２０は、小型化の容易な構成となっており、例えば、コイルおよび永久磁石（例えば、ネオジム（Ｎｄ）や鉄（Ｆｅ）、ホウ素（ボロン；Ｂ）等の材料からなる永久磁石）等を含んで構成されている。

次に、本実施の形態のプロジェクタ１の特徴部分について説明する。

（特徴部分その１）
本実施の形態では、フライアイレンズ４０Ａの各セル４１によってフライアイレンズ４０Ｂに形成される各光源像Ｓのサイズがフライアイレンズ４０Ｂの１つのセル４２のサイズを超えない大きさとなるように、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの焦点距離と、フライアイレンズ４０Ａ、４０Ｂの焦点距離と、微小振動素子１００の形状が設定されている。さらに、各光源像Ｓが、フライアイレンズ４０Ｂの複数のセル４２にまたがって形成されることがないように、微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓが変位する量が設定されている。

これを式で表すと、以下のようになる。
ｈ₁＋ｄ₁＝Ｐ₁×（ｆ_FEL／ｆ_CL1）＋ｄ₁≦ｈ_FEL2…（１）
ｈ₂＋ｄ₂＝Ｐ₂×（ｆ_FEL／ｆ_CL2）＋ｄ₂≦ｈ_FEL2…（２）
ｈ₃＋ｄ₃＝Ｐ₃×（ｆ_FEL／ｆ_CL3）＋ｄ₃≦ｈ_FEL2…（３）
ｈ₁：光源１０Ａの光によって形成される光源像Ｓ（光源像Ｓ₁）のサイズ
ｈ₂：光源１０Ｂの光によって形成される光源像Ｓ（光源像Ｓ₂）のサイズ
ｈ₃：光源１０Ｃの光によって形成される光源像Ｓ（光源像Ｓ₃）のサイズ
Ｐ₁：光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１の光射出領域のサイズ
Ｐ₂：光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１の光射出領域のサイズ
Ｐ₃：光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１の光射出領域のサイズ
ｆ_FEL：フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離
ｆ_CL1：カップリングレンズ２０Ａの焦点距離
ｆ_CL2：カップリングレンズ２０Ｂの焦点距離
ｆ_CL3：カップリングレンズ２０Ｃの焦点距離
ｈ_FEL2：フライアイレンズ４０Ｂの１つのセル４２のサイズ
ｄ₁：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ₁が変位する量
ｄ₂：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ₂が変位する量
ｄ₃：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ₃が変位する量

なお、光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ₁は、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂのサイズに等しい。同様に、光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ₂は、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂのサイズに等しく、光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ₃は、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂのサイズに等しい。光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ₁は、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いのサイズに等しい。同様に、光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ₂は、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いのサイズに等しい。光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ₃は、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いのサイズに等しい。また、カップリングレンズ２０Ａが複数のレンズによって構成されている場合には、ｆ_CL1は、各レンズの合成焦点距離とする。同様に、カップリングレンズ２０Ｂが複数のレンズによって構成されている場合には、ｆ_CL2は、各レンズの合成焦点距離とする。カップリングレンズ２０Ｃが複数のレンズによって構成されている場合には、ｆ_CL3は、各レンズの合成焦点距離とする。

上記の式（１）〜（３）とおおよそ等価な式として、以下の式（４）〜（６）を挙げることができる。式（４）〜（６）は、固体発光素子１１の光射出領域のサイズが固体発光素子１１のサイズと概ね等しい場合に特に有益である。
ｈ₁＋ｄ₁＝Ｗ₁×（ｆ_FEL／ｆ_CL1）＋ｄ₁≦ｈ_FEL2…（４）
ｈ₂＋ｄ₂＝Ｗ₂×（ｆ_FEL／ｆ_CL2）＋ｄ₂≦ｈ_FEL2…（５）
ｈ₃＋ｄ₃＝Ｗ₃×（ｆ_FEL／ｆ_CL3）＋ｄ₃≦ｈ_FEL2…（６）
Ｗ₁：光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１のサイズ
Ｗ₂：光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１のサイズ
Ｗ₃：光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１のサイズ

なお、固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｗは、そのチップ１１Ａのサイズに等しい。また、固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｗは、全てのチップ１１Ａを単一のチップとしてみたときの、そのチップのサイズに等しい。

ところで、本実施の形態において、例えば、図７（Ａ），（Ｂ）に示したように、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの各セル４１，４２が１以外の縦横比（アスペクト比）を有している場合には、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの焦点距離と、フライアイレンズ４０Ａ、４０Ｂの焦点距離とが以下の６つの関係式を満たしていることが好ましい。このとき、微小振動素子１００は、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの各セル４１，４２の長手方向および短手方向のうち少なくとも長手方向に振幅成分を有する振動をするようになっていることが好ましい。さらに、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの縦横の焦点距離の比（ｆ_CL1H／ｆ_CL1V，ｆ_CL2H／ｆ_CL2V，ｆ_CL3H／ｆ_CL3V）（アナモフィック比）と、フライアイレンズ４０Ｂの各セル４２のサイズの縦横比の逆数（ｈ_FEL2V／ｈ_FEL2H）とを互いに等しくし、照明光学系１Ａをアナモフィック光学系とすることがより好ましい。例えば、フライアイレンズ４０Ｂの各セル４２が第１の方向（例えば横方向）に長い形状となっている場合には、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃとして、焦点距離ｆ_CL1V，ｆ_CL2V，ｆ_CL3Vが焦点距離ｆ_CL1H，ｆ_CL2H，ｆ_CL3Hよりも長いものを用いる。以下の式（７）〜（１２）を模式的に表すと、図９（Ａ）〜（Ｃ）のようになる。ここで、図９（Ａ）は、微小振動素子１００の振動により光源像Ｓ（光源像Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃）が第１の方向（例えば横方向）またはそれに対応する方向に振動している様子を表したものである。図９（Ｂ）は、微小振動素子１００の振動により光源像Ｓ（光源像Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃）が第２の方向（例えば縦方向）またはそれに対応する方向に振動している様子を表したものである。図９（Ｃ）は、微小振動素子１００の振動により光源像Ｓ（光源像Ｓ₁，Ｓ₂，Ｓ₃）が第１の方向および第２の方向を含む面内で振動している様子を表したものである。
ｈ_1H＋ｄ_1H＝Ｐ_1H×（ｆ_FELH／ｆ_CL1H）＋ｄ_1H≦ｈ_FEL2H…（７）
ｈ_2H＋ｄ_2H＝Ｐ_2H×（ｆ_FELH／ｆ_CL2H）＋ｄ_2H≦ｈ_FEL2H…（８）
ｈ_3H＋ｄ_3H＝Ｐ_3H×（ｆ_FELH／ｆ_CL3H）＋ｄ_3H≦ｈ_FEL2H…（９）
ｈ_1V＋ｄ_1V＝Ｐ_1V×（ｆ_FELV／ｆ_CL1V）＋ｄ_1V≦ｈ_FEL2V…（１０）
ｈ_2V＋ｄ_2V＝Ｐ_2V×（ｆ_FELV／ｆ_CL2V）＋ｄ_2V≦ｈ_FEL2V…（１１）
ｈ_3V＋ｄ_3V＝Ｐ_3V×（ｆ_FELV／ｆ_CL3V）＋ｄ_3V≦ｈ_FEL2V…（１２）
ｈ_1H：光源１０Ａの光によって形成される光源像Ｓ（光源像Ｓ₁）の第１の方向（例えば横方向）のサイズ
ｈ_2H：光源１０Ｂの光によって形成される光源像Ｓ（光源像Ｓ₂）の第１の方向（例えば横方向）のサイズ
ｈ_3H：光源１０Ｃの光によって形成される光源像Ｓ（光源像Ｓ₃）の第１の方向（例えば横方向）のサイズ
ｈ_1V：光源１０Ａの光によって形成される光源像Ｓ（光源像Ｓ₁）の、第１の方向と直交する第２の方向（例えば縦方向）のサイズ
ｈ_2V：光源１０Ｂの光によって形成される光源像Ｓ（光源像Ｓ₂）の、第１の方向と直交する第２の方向（例えば縦方向）のサイズ
ｈ_3V：光源１０Ｃの光によって形成される光源像Ｓ（光源像Ｓ₃）の、第１の方向と直交する第２の方向（例えば縦方向）のサイズ
Ｐ_1H：光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１の光射出領域の、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズ
Ｐ_2H：光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１の光射出領域の、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズ
Ｐ_3H：光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１の光射出領域の、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズ
Ｐ_1V：光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１の光射出領域の、第２の方向またはそれに対応する方向のサイズ
Ｐ_2V：光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１の光射出領域の、第２の方向またはそれに対応する方向のサイズ
Ｐ_3V：光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１の光射出領域の、第２の方向またはそれに対応する方向のサイズ
ｆ_FELH：フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの第１の方向の焦点距離
ｆ_FELV：フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの第２の方向の焦点距離
ｆ_CL1H：カップリングレンズ２０Ａの、第１の方向またはそれに対応する方向の焦点距離
ｆ_CL2H：カップリングレンズ２０Ｂの、第１の方向またはそれに対応する方向の焦点距離
ｆ_CL3H：カップリングレンズ２０Ｃの、第１の方向またはそれに対応する方向の焦点距離
ｆ_CL1V：カップリングレンズ２０Ａの、第２の方向またはそれに対応する方向の焦点距離
ｆ_CL2V：カップリングレンズ２０Ｂの、第２の方向またはそれに対応する方向の焦点距離
ｆ_CL3V：カップリングレンズ２０Ｃの、第２の方向またはそれに対応する方向の焦点距離
ｈ_FEL2H：フライアイレンズ４０Ｂの１つのセル４２の第１の方向のサイズ
ｈ_FEL2V：フライアイレンズ４０Ｂの１つのセル４２の第２の方向のサイズ
ｄ_1H：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ₁が変位する量のうち、第１の方向またはそれに対応する方向の成分（ｄ_1H≧０、ただしｄ_1V＝０のときはｄ_1H＞０）
ｄ_2H：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ₂が変位する量のうち、第１の方向またはそれに対応する方向の成分（ｄ_2H≧０、ただしｄ_2V＝０のときはｄ_2H＞０）
ｄ_3H：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ₃が変位する量のうち、第１の方向またはそれに対応する方向の成分（ｄ_3H≧０、ただしｄ_3V＝０のときはｄ_3H＞０）
ｄ_1V：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ₁が変位する量のうち、第２の方向またはそれに対応する方向の成分（ｄ_1V≧０、ただしｄ_1H＝０のときはｄ_1V＞０）
ｄ_2V：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ₂が変位する量のうち、第２の方向またはそれに対応する方向の成分（ｄ_2V≧０、ただしｄ_2H＝０のときはｄ_2V＞０）
ｄ_3V：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ₃が変位する量のうち、第２の方向またはそれに対応する方向の成分（ｄ_3V≧０、ただしｄ_3H＝０のときはｄ_3V＞０）

ここで、「第１の方向またはそれに対応する方向」は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃがインテグレータ４０の光軸上に配置されている場合には第１の方向を指している。また、「第１の方向またはそれに対応する方向」は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃがインテグレータ４０の光軸から外れた光路上に配置されている場合には、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃからインテグレータ４０までの光路上に配置された光学素子のレイアウトの関係から第１の方向に対応する方向を指している。

また、「第２の方向またはそれに対応する方向」は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃがインテグレータ４０の光軸上に配置されている場合には第２の方向を指している。また、「第２の方向またはそれに対応する方向」は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃがインテグレータ４０の光軸から外れた光路上に配置されている場合には、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃからインテグレータ４０までの光路上に配置された光学素子のレイアウトの関係から第２の方向に対応する方向を指している。

なお、光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_1Hは、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂの第１の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。同様に、光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_2Hは、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂの第１の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_3Hは、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂの第１の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。また、光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_1Hは、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いの、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。同様に、光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_2Hは、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いの、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_3Hは、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いの、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。一方、光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_1Vは、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂの第２の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。同様に、光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_2Vは、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂの第２の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_3Vは、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂの第２の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。また、光源１０Ａに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_1Vは、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いの、第２の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。同様に、光源１０Ｂに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_2Vは、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いの、第２の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。光源１０Ｃに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_3Vは、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いの、第２の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。

また、本実施の形態において、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの各セル４１，４２が１以外の縦横比を有している場合には、フライアイレンズ４０Ａの各セル４１のサイズの縦横比と、照明範囲６０Ａの縦横比とが以下の関係式を満たしていることが好ましい。ここで、照明範囲６０Ａの縦横比Ｈ／Ｖ（図８）は、空間変調素子６０の解像度と相関を有しており、例えば、空間変調素子６０の解像度がＶＧＡ（６４０×４８０）である場合には６４０／４８０となっており、例えば、空間変調素子６０の解像度がＷＶＧＡ（８００×４８０）である場合には８００／４８０となっている。
ｈ_FEL1H／ｈ_FEL1V＝Ｈ／Ｖ…（１３）
ｈ_FEL1H：フライアイレンズ４０Ａの１セルの第１の方向のサイズ
ｈ_FEL1V：フライアイレンズ４０Ａの１セルの第２の方向のサイズ
Ｈ：照明範囲６０Ａの第１の方向のサイズ
Ｖ：照明範囲６０Ａの第２の方向のサイズ

（特徴部分その２）
また、本実施の形態では、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃに入射する光のビームサイズが２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃのサイズを超えない大きさとなるように、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの焦点距離および開口数が設定されている。これを式で表すと、以下のようになる。
φ_CL1＝２×ｆ_CL1×ＮＡ₁≦ｈ_CL1…（１４）
φ_CL2＝２×ｆ_CL2×ＮＡ₂≦ｈ_CL2…（１５）
φ_CL3＝２×ｆ_CL3×ＮＡ₃≦ｈ_CL3…（１６）
φ_CL1：カップリングレンズ２０Ａに入射する光のビームサイズ
φ_CL2：カップリングレンズ２０Ｂに入射する光のビームサイズ
φ_CL3：カップリングレンズ２０Ｃに入射する光のビームサイズ
ＮＡ₁：カップリングレンズ２０Ａの開口数
ＮＡ₂：カップリングレンズ２０Ｂの開口数
ＮＡ₃：カップリングレンズ２０Ｃの開口数
ｈ_CL1：カップリングレンズ２０Ａのサイズ
ｈ_CL2：カップリングレンズ２０Ｂのサイズ
ｈ_CL3：カップリングレンズ２０Ｃのサイズ

ところで、本実施の形態において、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃが１以外の縦横比（アスペクト比）を有している場合には、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの焦点距離および開口数が以下の６つの関係式を満たしていることが好ましい。
φ_CL1H＝２×ｆ_CL1H×ＮＡ_1H≦ｈ_CL1H…（１７）
φ_CL2H＝２×ｆ_CL2H×ＮＡ_2H≦ｈ_CL2H…（１８）
φ_CL3H＝２×ｆ_CL3H×ＮＡ_3H≦ｈ_CL3H…（１９）
φ_CL1V＝２×ｆ_CL1V×ＮＡ_1V≦ｈ_CL1V…（２０）
φ_CL2V＝２×ｆ_CL2V×ＮＡ_2V≦ｈ_CL2V…（２１）
φ_CL3V＝２×ｆ_CL3V×ＮＡ_3V≦ｈ_CL3V…（２２）
φ_CL1H：カップリングレンズ２０Ａに入射する光の、第３の方向（カップリングレンズ２０Ａの短手方向またはそれに対応する方向）のビームサイズ
φ_CL2H：カップリングレンズ２０Ｂに入射する光の、第５の方向（カップリングレンズ２０Ｂの短手方向またはそれに対応する方向）のビームサイズ
φ_CL3H：カップリングレンズ２０Ｃに入射する光の、第７の方向（カップリングレンズ２０Ｃの短手方向またはそれに対応する方向）のビームサイズ
φ_CL1V：カップリングレンズ２０Ａに入射する光の、第３の方向と直交する第４の方向（カップリングレンズ２０Ａの長手方向またはそれに対応する方向）のビームサイズ
φ_CL2V：カップリングレンズ２０Ｂに入射する光の、第５の方向と直交する第６の方向（カップリングレンズ２０Ｂの長手方向またはそれに対応する方向）のビームサイズ
φ_CL3V：カップリングレンズ２０Ｃに入射する光の、第７の方向と直交する第８の方向（カップリングレンズ２０Ｃの長手方向またはそれに対応する方向）のビームサイズ
ＮＡ_1H：カップリングレンズ２０Ａの、第３の方向の開口数
ＮＡ_2H：カップリングレンズ２０Ｂの、第５の方向の開口数
ＮＡ_3H：カップリングレンズ２０Ｃの、第７の方向の開口数
ＮＡ_1V：カップリングレンズ２０Ａの、第４の方向の開口数
ＮＡ_2V：カップリングレンズ２０Ｂの、第６の方向の開口数
ＮＡ_3V：カップリングレンズ２０Ｃの、第８の方向の開口数
ｈ_CL1H：カップリングレンズ２０Ａの、第３の方向のサイズ
ｈ_CL2H：カップリングレンズ２０Ｂの、第５の方向のサイズ
ｈ_CL3H：カップリングレンズ２０Ｃの、第７の方向のサイズ
ｈ_CL1V：カップリングレンズ２０Ａの、第４の方向のサイズ
ｈ_CL2V：カップリングレンズ２０Ｂの、第６の方向のサイズ
ｈ_CL3V：カップリングレンズ２０Ｃの、第８の方向のサイズ

なお、第３の方向が、第１の方向（例えば横方向）またはそれに対応する方向であることが好ましい。第４の方向が、第２の方向（例えば縦方向）またはそれに対応する方向であることが好ましい。第５の方向が、第１の方向（例えば横方向）またはそれに対応する方向であることが好ましい。第６の方向が、第２の方向（例えば縦方向）またはそれに対応する方向であることが好ましい。第７の方向が、第１の方向（例えば横方向）またはそれに対応する方向であることが好ましい。第８の方向が、第２の方向（例えば縦方向）またはそれに対応する方向であることが好ましい。

[作用・効果]
次に、本実施の形態のプロジェクタ１の作用・効果について説明する。本実施の形態では、インテグレータ４０を透過した光が照明する照明範囲６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させる微小振動素子１００が、光路合成素子３０とインテグレータ４０との間に設けられている。これにより、スペックルを人間の眼の中で気にならない程度に平均化することが可能となる。また、本実施の形態では、フライアイレンズ４０Ａの各セル４１によってフライアイレンズ４０Ｂに形成される各光源像Ｓのサイズがフライアイレンズ４０Ｂの１つのセル４２のサイズを超えない大きさとなるように、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの焦点距離ｆ_CL1，ｆ_CL2，ｆ_CL3と、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離ｆ_FELと、微小振動素子１００の形状が設定されている。さらに、各光源像Ｓが、フライアイレンズ４０Ｂの複数のセル４２にまたがって形成されることがないように、微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓが変位する量が設定されている。これにより、フライアイレンズ４０Ｂに入射した光が効率良く照明範囲６０Ａにまで到達する。なお、微小振動素子１００は照明範囲６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させることができる程度に振動するだけなので、微小振動素子１００が照明光学系１Ａの小型化を阻害することはない。以上のことから、本実施の形態では、小型化および光の利用効率向上を図りつつ、スペックルの発生を低減することができる。

また、本実施の形態において、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの各セルが１以外の縦横比を有している場合に、その縦横比を考慮して、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの焦点距離ｆ_CL1H，ｆ_CL2H，ｆ_CL3H，ｆ_CL1V，ｆ_CL2V，ｆ_CL3Vと、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離ｆ_FELH，ｆ_FELVとを設定するようにした場合には、照明光学系１Ａにおける光利用効率をさらに改善することができる。また、本実施の形態において、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃが１以外の縦横比を有している場合に、その縦横比を考慮して、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの焦点距離ｆ_CL1H，ｆ_CL2H，ｆ_CL3H，ｆ_CL1V，ｆ_CL2V，ｆ_CL3Vおよび開口数ＮＡ_1H，ＮＡ_2H，ＮＡ_3H，ＮＡ_1V，ＮＡ_2V，ＮＡ_3Vを設定するようにした場合には、照明光学系１Ａにおける光利用効率をさらに改善することができる。また、本実施の形態において、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの指向角がそれぞれ異なる場合に、それぞれの指向角を考慮して、カップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃの焦点距離ｆ_CL1H，ｆ_CL2H，ｆ_CL3H，ｆ_CL1V，ｆ_CL2V，ｆ_CL3Vおよび開口数ＮＡ_1H，ＮＡ_2H，ＮＡ_3H，ＮＡ_1V，ＮＡ_2V，ＮＡ_3Vをそれぞれ設定するようにした場合には、照明光学系１Ａにおける光利用効率をさらに改善することができる。

上記実施の形態において、ＬＤからなるチップ１１Ａが光源１０Ａだけに含まれており、それ以外の光源（光源１０Ｂ，１０Ｃ）には含まれていない場合には、例えば、図１１に示したように、微小振動素子１００が光源１０Ａとカップリングレンズ２０Ａとの間に設けられていてもよい。また、例えば、図１２に示したように、微小振動素子１００がカップリングレンズ２０Ａと光路合成素子３０との間に設けられていてもよい。また、上記実施の形態において、ＬＤからなるチップ１１Ａが光源１０Ａ，１０Ｂだけに含まれており、それ以外の光源（光源１０Ｃ）には含まれていない場合には、図示しないが、微小振動素子１００が光源１０Ａとカップリングレンズ２０Ａとの間に設けられるとともに、光源１０Ｂとカップリングレンズ２０Ｂとの間に設けられていてもよい。このとき、光源１０Ａとカップリングレンズ２０Ａとの間に設けられた微小振動素子１００が本技術の「第１の微小振動素子」の一具体例に相当し、光源１０Ｂとカップリングレンズ２０Ｂとの間に設けられた微小振動素子１００が本技術の「第２の微小振動素子」の一具体例に相当する。また、上記実施の形態において、ＬＤからなるチップ１１Ａが光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃの全てに含まれている場合に、図示しないが、微小振動素子１００が、光源１０Ａとカップリングレンズ２０Ａとの間、光源１０Ｂとカップリングレンズ２０Ｂとの間、さらに光源１０Ｃとカップリングレンズ２０Ｃとの間に設けられていてもよい。このとき、光源１０Ａとカップリングレンズ２０Ａとの間に設けられた微小振動素子１００が本技術の「第１の微小振動素子」の一具体例に相当する。また、光源１０Ｂとカップリングレンズ２０Ｂとの間に設けられた微小振動素子１００、または光源１０Ｃとカップリングレンズ２０Ｃとの間に設けられた微小振動素子１００が本技術の「第２の微小振動素子」の一具体例に相当する。なお、本技術の「第２の微小振動素子」の一具体例に相当する微小振動素子１００の構成は、光源１０Ａとカップリングレンズ２０Ａとの間に設けられた微小振動素子１００の構成と同様である。

＜２．第２の実施の形態＞
[構成]
図１３（Ａ），（Ｂ）は、本技術の第２の実施の形態に係るプロジェクタ３の概略構成を表すものである。なお、プロジェクタ３が本技術の「投射型表示装置」の一具体例に相当する。図１３（Ａ）はプロジェクタ３を上から（ｙ軸方向から）見たときの構成例を表し、図１３（Ｂ）はプロジェクタ３を横から（ｘ軸方向から）見たときの構成例を表す。図１４（Ａ），（Ｂ）は、図１３のプロジェクタ３内の光路の一例を表すものである。図１４（Ａ）は、プロジェクタ３を上から（ｙ軸方向から）見たときの光路の一例を表し、図１４（Ｂ）はプロジェクタ３を横から（ｘ軸方向から）見たときの光路の一例を表す。

プロジェクタ３は、照明光学系３Ａを備えている点で、照明光学系１Ａを備えたプロジェクタ１の構成と相違する。そこで、以下では、プロジェクタ１との相違点について主に説明、プロジェクタ１との共通点についての説明を適宜省略するものとする。

照明光学系３Ａでは、照明光学系１Ａのカップリングレンズ２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃと、ダイクロイックミラー３０Ａ，３０Ｂとが省略され、その代わりに、カップリングレンズ２０Ｄと、ダイクロイックミラー３０Ｃとが設けられている。ダイクロイックミラー３０Ｃは、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃのそれぞれの光軸が互いに交差する箇所に配置されている。カップリングレンズ２０Ｄは、ダイクロイックミラー３０Ｃの光射出側に配置されており、ダイクロイックミラー３０Ｃとインテグレータ４０との間に配置されている。微小振動素子１００は、カップリングレンズ２０Ｄとインテグレータ４０との間に配置されている。

ダイクロイックミラー３０Ｃは、波長選択性を持つ２枚のミラーを含むものである。なお、上記のミラーは、例えば、多層の干渉膜を蒸着して構成されたものである。２枚のミラーは互いに直交して配置されており、ミラーの表面がダイクロイックミラー３０Ｃの光射出側を向くように配置されている。ダイクロイックミラー３０Ｃは、例えば、図１４（Ａ）に示したように、一方のミラー（以下、便宜的にミラーＡと称する）の裏面側から入射した光（光源１０Ａ，１０Ｂ側から入射した光）をミラーＡの表面側に透過させるとともに、ミラーＡの表面側から入射した光（光源１０Ｃ側から入射した光）をミラーＡで反射するようになっている。また、ダイクロイックミラー３０Ｃは、例えば、図１４（Ａ）に示したように、他方のミラー（以下、便宜的にミラーＢと称する）の裏面側から入射した光（光源１０Ａ，１０Ｃ側から入射した光）をミラーＢの表面側に透過させるとともに、ミラーＢの表面側から入射した光（光源１０Ｂ側から入射した光）をミラーＢで反射するようになっている。従って、光路合成素子３０は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃから発せられた個々の光束を単一の光束に合成するようになっている。

カップリングレンズ２０Ｄは、例えば、図１４（Ａ），（Ｂ）に示したように、ダイクロイックミラー３０Ｃ側から入射してきた光を略平行光化するものであり、ダイクロイックミラー３０Ｃ側から入射してきた光の指向角を、平行光の指向角と等しくなるように、またはそれに近づくように変換するものである。

[作用・効果]
次に、本実施の形態のプロジェクタ３の作用・効果について説明する。本実施の形態では、インテグレータ４０を透過した光が照明する照明範囲６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させる微小振動素子１００が、カップリングレンズ２０Ｄとインテグレータ４０との間に設けられている。これにより、スペックルを人間の眼の中で気にならない程度に平均化することが可能となる。また、本実施の形態では、フライアイレンズ４０Ａの各セル４１によってフライアイレンズ４０Ｂに形成される各光源像Ｓのサイズがフライアイレンズ４０Ｂの１つのセル４２のサイズを超えない大きさとなるように、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4と、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離ｆ_FELと、微小振動素子１００の形状が設定されている。さらに、各光源像Ｓが、フライアイレンズ４０Ｂの複数のセル４２にまたがって形成されることがないように、微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓが変位する量が設定されている。これにより、フライアイレンズ４０Ｂに入射した光が効率良く照明範囲６０Ａにまで到達する。なお、微小振動素子１００は照明範囲６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させることができる程度に振動するだけなので、微小振動素子１００が照明光学系３Ａの小型化を阻害することはない。以上のことから、本実施の形態では、小型化および光の利用効率向上を図りつつ、スペックルの発生を低減することができる。

また、本実施の形態において、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの各セルが１以外の縦横比を有している場合に、その縦横比を考慮して、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4H，ｆ_CL4Vと、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離ｆ_FELH，ｆ_FELVとを設定するようにした場合には、照明光学系３Ａにおける光利用効率をさらに改善することができる。また、本実施の形態において、カップリングレンズ２０Ｄが１以外の縦横比を有している場合に、その縦横比を考慮して、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4H，ｆ_CL4Vおよび開口数ＮＡ_4H，ＮＡ_4Vを設定するようにした場合には、照明光学系３Ａにおける光利用効率をさらに改善することができる。

なお、本実施の形態では、第１の実施の形態のｆ_CL1，ｆ_CL2，ｆ_CL3が、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4となる。同様に、第１の実施の形態のｆ_CL1H，ｆ_CL2H，ｆ_CL3Hが、カップリングレンズ２０Ｄの、第１の方向またはそれに対応する方向の焦点距離ｆ_CL4Hとなる。第１の実施の形態のｆ_CL1V，ｆ_CL2V，ｆ_CL3Vが、カップリングレンズ２０Ｄの、第２の方向またはそれに対応する方向の焦点距離ｆ_CL4Vとなる。第１の実施の形態のφ_CL1，φ_CL2，φ_CL3が、カップリングレンズ２０Ｄに入射する光のビームサイズφ_CL4となる。第１の実施の形態のＮＡ₁，ＮＡ₂，ＮＡ₃，が、カップリングレンズ２０Ｄの開口数ＮＡ₄となる。第１の実施の形態のｈ_CL1，ｈ_CL2，ｈ_CL3が、カップリングレンズ２０Ｄのサイズｈ_CL4となる。第１の実施の形態のφ_CL1H，φ_CL2H，φ_CL3Hが、カップリングレンズ２０Ｄに入射する光の、第１の方向（例えば横方向）またはそれに対応する方向のビームサイズφ_CL4Hとなる。第１の実施の形態のφ_CL1V，φ_CL2V，φ_CL3Vが、カップリングレンズ２０Ｄに入射する光の、第２の方向（例えば縦方向）またはそれに対応する方向のビームサイズφ_CL4Vとなる。第１の実施の形態のＮＡ_1H，ＮＡ_2H，ＮＡ_3Hが、カップリングレンズ２０Ｄの、第１の方向またはそれに対応する方向の開口数ＮＡ_4Hとなる。第１の実施の形態のＮＡ_1V，ＮＡ_2V，ＮＡ_3Vが、カップリングレンズ２０Ｄの、第２の方向またはそれに対応する方向の開口数ＮＡ_4Vとなる。第１の実施の形態のｈ_CL1H，ｈ_CL2H，ｈ_CL3Hが、カップリングレンズ２０Ｄの、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズｈ_CL4Hとなる。第１の実施の形態のｈ_CL1V，ｈ_CL2V，ｈ_CL3Vが、カップリングレンズ２０Ｄの、第２の方向またはそれに対応する方向のサイズｈ_CL4Vとなる。なお、これらの読み替えは、以降の各実施の形態においても同様に行われる。

上記第２の実施の形態において、微小振動素子１００が、例えば、図１５に示したように、光路合成素子３０（ダイクロイックミラー３０Ｃ）とカップリングレンズ２０Ｄとの間に設けられていてもよい。

また、上記第２の実施の形態において、ＬＤからなるチップ１１Ａが光源１０Ａだけに含まれており、それ以外の光源（光源１０Ｂ，１０Ｃ）には含まれていない場合には、例えば、図１６に示したように、微小振動素子１００が光源１０Ａと光路合成素子３０（ダイクロイックミラー３０Ｃ）との間に設けられていてもよい。

＜３．第３の実施の形態＞
[構成]
図１７（Ａ），（Ｂ）は、本技術の第３の実施の形態に係るプロジェクタ４の概略構成を表すものである。なお、プロジェクタ４が本技術の「投射型表示装置」の一具体例に相当する。図１７（Ａ）はプロジェクタ４を上から（ｙ軸方向から）見たときの構成例を表し、図１７（Ｂ）はプロジェクタ４を横から（ｘ軸方向から）見たときの構成例を表す。図１８（Ａ），（Ｂ）は、図１７のプロジェクタ４内の光路の一例を表すものである。図１８（Ａ）は、プロジェクタ４を上から（ｙ軸方向から）見たときの光路の一例を表し、図１８（Ｂ）はプロジェクタ４を横から（ｘ軸方向から）見たときの光路の一例を表す。

プロジェクタ４は、照明光学系４Ａを備えている点で、照明光学系３Ａを備えたプロジェクタ３の構成と相違する。そこで、以下では、プロジェクタ３との相違点について主に説明、プロジェクタ３との共通点についての説明を適宜省略するものとする。

照明光学系４Ａでは、照明光学系３Ａの光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃと、ダイクロイックミラー３０Ｃとが省略され、その代わりに、光源１０Ｄが設けられている。光源１０Ｄは、カップリングレンズ２０Ｄの光軸上に配置されており、照明光学系４Ａは、光源１０Ｄから発せられた光が直接、カップリングレンズ２０Ｄに入射するように構成されている。微小振動素子１００は、光源１０Ｄとカップリングレンズ２０Ｄとの間に配置されている。

光源１０Ｄは、例えば、固体発光素子１１と、固体発光素子１１を支持するとともに覆うパッケージ１２とを有している。光源１０Ｄに含まれる固体発光素子１１は、単一もしくは複数の点状、または単一もしくは複数の非点状の発光スポットからなる光射出領域から光を発するようになっている。光源１０Ｄに含まれる固体発光素子１１は、例えば、所定の波長帯の光を発する単一のチップ１１Ａからなっていてもよいし、例えば、同一の波長帯もしくは互いに異なる波長帯の光を発する複数のチップ１１Ａからなっていてもよい。光源１０Ｄに含まれる固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、それらのチップ１１Ａは、例えば、横方向に一列に配置されていたり、例えば、横方向および縦方向に格子状に配置されていたりする。

チップ１１Ａは、発光ダイオード（ＬＥＤ）、有機ＥＬ発光素子（ＯＬＥＤ）、またはレーザダイオード（ＬＤ）からなる。光源１０Ｄに複数のチップ１１Ａが含まれている場合に、光源１０Ｄに含まれるチップ１１Ａが全て、ＬＤであってもよい。光源１０Ｄに複数のチップ１１Ａが含まれている場合に、一部のチップ１１ＡがＬＤであり、他のチップ１１ＡがＬＥＤやＯＬＥＤであってもよい。

光源１０Ｄに複数のチップ１１Ａが含まれている場合に、光源１０Ｄに含まれるチップ１１Ａが全て、互いに等しい波長帯の光を発するようになっていてもよいし、互いに異なる波長帯の光を発するようになっていてもよい。光源１０Ｄに複数のチップ１１Ａが含まれている場合に、全てのチップ１１Ａが、波長４００ｎｍ〜５００ｎｍ程度の波長の光（青色光）を発するもので構成されていてもよいし、波長５００ｎｍ〜６００ｎｍ程度の波長の光（緑色光）を発するもので構成されていてもよいし、波長６００ｎｍ〜７００ｎｍ程度の波長の光（赤色光）を発するもので構成されていてもよい。また、光源１０Ｄに複数のチップ１１Ａが含まれている場合に、光源１０Ｄに含まれる複数のチップ１１Ａが、例えば、波長４００ｎｍ〜５００ｎｍ程度の波長の光（青色光）を発するものと、波長５００ｎｍ〜６００ｎｍ程度の波長の光（緑色光）を発するものと、例えば、波長６００ｎｍ〜７００ｎｍ程度の波長の光（赤色光）を発するものとで構成されていてもよい。

[作用・効果]
次に、本実施の形態のプロジェクタ４の作用・効果について説明する。本実施の形態では、インテグレータ４０を透過した光が照明する照明範囲６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させる微小振動素子１００が、光源１０Ｄとカップリングレンズ２０Ｄとの間に設けられている。これにより、スペックルを人間の眼の中で気にならない程度に平均化することが可能となる。また、本実施の形態では、フライアイレンズ４０Ａの各セル４１によってフライアイレンズ４０Ｂに形成される各光源像Ｓのサイズがフライアイレンズ４０Ｂの１つのセル４２のサイズを超えない大きさとなるように、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4と、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離ｆ_FELと、微小振動素子１００の形状が設定されている。さらに、各光源像Ｓが、フライアイレンズ４０Ｂの複数のセル４２にまたがって形成されることがないように、微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓが変位する量が設定されている。これにより、フライアイレンズ４０Ｂに入射した光が効率良く照明範囲６０Ａにまで到達する。なお、微小振動素子１００は照明範囲６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させることができる程度に振動するだけなので、微小振動素子１００が照明光学系４Ａの小型化を阻害することはない。以上のことから、本実施の形態では、小型化および光の利用効率向上を図りつつ、スペックルの発生を低減することができる。

また、本実施の形態において、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの各セルが１以外の縦横比を有している場合に、その縦横比を考慮して、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4H，ｆ_CL4Vと、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離ｆ_FELH，ｆ_FELVとを設定するようにした場合には、照明光学系４Ａにおける光利用効率をさらに改善することができる。また、本実施の形態において、カップリングレンズ２０Ｄが１以外の縦横比を有している場合に、その縦横比を考慮して、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4H，ｆ_CL4Vおよび開口数ＮＡ_4H，ＮＡ_4Vを設定するようにした場合には、照明光学系４Ａにおける光利用効率をさらに改善することができる。

上記第３の実施の形態において、微小振動素子１００が、例えば、図１９に示したように、カップリングレンズ２０Ｄとインテグレータ４０との間に設けられていてもよい。

＜４．第４の実施の形態＞
[構成]
図２０（Ａ），（Ｂ）は、本技術の第４の実施の形態に係るプロジェクタ５の概略構成を表すものである。なお、プロジェクタ５が本技術の「投射型表示装置」の一具体例に相当する。図２０（Ａ）はプロジェクタ５を上から（ｙ軸方向から）見たときの構成例を表し、図２０（Ｂ）はプロジェクタ５を横から（ｘ軸方向から）見たときの構成例を表す。

プロジェクタ５は、照明光学系５Ａを備えている点で、照明光学系４Ａを備えたプロジェクタ４の構成と相違する。そこで、以下では、プロジェクタ４との相違点について主に説明、プロジェクタ４との共通点についての説明を適宜省略するものとする。

照明光学系５Ａでは、照明光学系４Ａの光源１０Ｄおよびカップリングレンズ２０Ｄの光軸がインテグレータ４０の光軸と交差する方向に傾けられている。光源１０Ｄおよびカップリングレンズ２０Ｄの光軸は、図２０（Ａ）に示したように、横方向に傾いていることが好ましい。なお、光源１０Ｄおよびカップリングレンズ２０Ｄの光軸が、図示しないが、縦方向に傾いていてもよいし、傾いていない構成となっていてもよい。

照明光学系５Ａは、さらに、偏光分離素子８０と、位相差板アレイ９０とを備えている。偏光分離素子８０は、カップリングレンズ２０Ｄとインテグレータ４０との間に設けられており、位相差板アレイ９０は、インテグレータ４０とコンデンサレンズ５０（または照明範囲６０Ａ）との間に設けられている。本実施の形態では、フライアイレンズ４０Ｂは、フライアイレンズ４０Ａの焦点位置の手前に配置されており、位相差板アレイ９０が、フライアイレンズ４０Ａの焦点位置（または略焦点位置）に配置されている。なお、微小振動素子１００は、光源１０Ｄとカップリングレンズ２０Ｄとの間に配置されている。

偏光分離素子８０は、入射する光の偏光に対して異方性を有する光学素子であり、カップリングレンズ２０Ｄ側から入射する光を、Ｓ偏光成分とＰ偏光成分との進行方向が異なるように分離（例えば回折）するものである。偏光の分離方向は、横方向となっていることが好ましいが、縦方向となっていてもよい。偏光分離素子８０は、例えば、図２１（Ａ），（Ｂ）に示したように、一方の表面に、ブレーズ状またはステップ状の複数の帯状の凸部が並列配置された凹凸形状を有する偏光回折素子であることが好ましい。なお、偏光分離素子８０は、図示しないが、バイナリ型の偏光回折素子であってもよい。なお、図２１において、ｎ₀は、偏光分離素子８０の屈折率であり、ｎ₁は、偏光分離素子８０の光出射側の表面に接する領域の屈折率である。Ｐ_Aは、偏光分離素子８０の凸部のピッチであり、θは、偏光分離素子８０の光出射側の表面から出射される光の回折角である。λは入射光の波長である。

偏光分離素子８０は、例えば、カップリングレンズ２０Ｄ側から入射した光に含まれるＳ偏光成分の光を、入射角と射出角とが互いに等しく（またはほぼ等しく）なるように透過させるようになっている。さらに、偏光分離素子８０は、例えば、カップリングレンズ２０Ｄ側から入射した光に含まれるＰ偏光成分の光を、入射角と射出角とが互いに異なるように回折透過させるようになっている。なお、偏光分離素子８０は、上記の例とは逆に、例えば、カップリングレンズ２０Ｄ側から入射した光に含まれるＰ偏光成分の光を、入射角と射出角とが互いに等しく（またはほぼ等しく）なるように透過させるようになっていてもよい。この場合に、偏光分離素子８０は、さらに、例えば、カップリングレンズ２０Ｄ側から入射した光に含まれるＳ偏光成分の光を、入射角と射出角とが互いに異なるように回折透過させるようになっていてもよい。偏光分離素子８０から射出されたＳ偏光の進行方向と、偏光分離素子８０から射出されたＰ偏光の進行方向とは、偏光分離素子８０の法線（光軸）との関係で互いに反対方向を向いており、偏光分離素子８０の法線（光軸）との関係で互いに線対称となる方向を向いていることが好ましい。

位相差板アレイ９０は、例えば、図２２に示したように、位相差の互いに異なる第１領域９０Ａおよび第２領域９０Ｂを有している。第１領域９０Ａは、偏光分離素子８０で分離されたＳ偏光成分およびＰ偏光成分のいずれか一方の偏光成分が入射する位置に配置されており、第１領域９０Ａへの入射光を、偏光方向を維持したまま透過するようになっている。一方、第２領域９０Ｂは、偏光分離素子８０で分離されたＳ偏光成分およびＰ偏光成分のうち第１領域９０Ａに入射する偏光成分とは異なる偏光成分が入射する位置に配置されており、第２領域９０Ｂへの入射光を、第１領域９０Ａに入射する光の偏光と等しい偏光の光に変換するようになっている。第１領域９０Ａおよび第２領域９０Ｂは、ともに、偏光分離素子８０における分離（回折）方向と直交する方向に延在する帯状の形状となっており、かつ偏光分離素子８０における分離（回折）方向と平行な方向に交互に配置されている。ここで、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの各セルが１以外の縦横比（アスペクト比）を有している場合には、第１領域９０Ａおよび第２領域９０Ｂはともに、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの長手方向と垂直な方向に延在していることが好ましい。

互いに隣り合う第１領域９０Ａおよび第２領域９０Ｂの合計の幅Λ_arrayは、例えば、フライアイレンズ４０Ｂの１つのセル４２の幅と等しくなっている。第１領域９０Ａおよび第２領域９０Ｂが、例えば、図２２に示したように、横方向に配列されている場合には、幅Λ_arrayは、例えば、セル４２の横方向の幅（ｈ_FEL2H）と等しくなっている。第１領域９０Ａおよび第２領域９０Ｂが、図示しないが、縦方向に配列されている場合には、幅Λ_arrayは、例えば、セル４２の縦方向の幅（ｈ_FEL2V）と等しくなっている。第１領域９０Ａの幅ｈ_AWP1と、第２領域９０Ｂの幅ｈ_AWP2とは、例えば、互いに等しくなっている。

ところで、本実施の形態では、例えば、図２３（Ａ）〜（Ｃ）に示したように、偏光分離素子８０には、カップリングレンズ２０Ｄ側からの光が斜め方向から入射するようになっている。なお、図２３（Ａ）は、偏光分離素子８０に入射した光のうちＳ偏光成分またはＰ偏光成分の光路だけを模式的に表したものであり、図２３（Ｂ）は、偏光分離素子８０に入射した光のうち図２３（Ａ）に示した偏光成分とは異なる偏光成分の光路だけを模式的に表したものである。図２３（Ｃ）は、偏光成分によらず光路が共通となっている様子を模式的に表したものである。

例えば、偏光分離素子８０には、位相差板アレイ９０内の配列方向と平行な方向（例えば横方向）に光軸が傾いた光が偏光分離素子８０に入射するようになっている。そのため、例えば、図２３（Ａ），（Ｂ）に示したように、偏光分離素子８０に入射した光のうち一方の偏光成分の光が、入射光の光軸と平行な方向に射出され、偏光分離素子８０に入射した光のうち他方の偏光成分の光が、入射光の光軸と交差する方向に射出される。このとき、入射光の光軸と平行な方向に射出された光の光軸と、入射光の光軸と交差する方向に射出された光の光軸との二等分線が、偏光分離素子８０の法線（ｚ軸）と平行（またはほぼ平行）となっていることが好ましい。

入射光の光軸と平行な方向に射出された光は、インテグレータ４０で複数の微小光束となり、例えば、図２３（Ａ）に示したように、位相差板アレイ９０の第１領域９０Ａに入射するようになっている。また、入射光の光軸と交差する方向に射出された光は、例えば、図２３（Ｂ）に示したように、インテグレータ４０で複数の微小光束となり、例えば、位相差板アレイ９０の第２領域９０Ｂに入射するようになっている。なお、図示しないが、入射光の光軸と平行な方向に射出された光が、位相差板アレイ９０の第２領域９０Ｂに入射するとともに、入射光の光軸と交差する方向に射出された光が、位相差板アレイ９０の第１領域９０Ａに入射するようになっていてもよい。いずれにしても、位相差板アレイ９０からは、Ｐ偏光およびＳ偏光のいずれか一方の偏光光が主として射出されるようになっている。

入射光の光軸と平行な方向に射出された光は、フライアイレンズ４０Ａで微小光束に分割され、分割された各光束が位相差板アレイ９０の第１領域９０Ａの近傍に焦点を結び、ここに２次光源面（光源像Ｓ_A）を形成する（図２４参照）。同様に、入射光の光軸と交差する方向に射出された光は、フライアイレンズ４０Ａで微小光束に分割され、分割された各光束が位相差板アレイ９０の第２領域９０Ｂの近傍に焦点を結び、ここに２次光源面（光源像Ｓ_B）を形成する（図２４参照）。

本実施の形態では、フライアイレンズ４０Ａの各セル４１によって位相差板アレイ９０に形成される各光源像Ｓ_A、各光源像Ｓ_Bのサイズが第１領域９０Ａ、第２領域９０Ｂの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4と、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離ｆ_FELと、微小振動素子１００の形状が設定されている。さらに、光源像Ｓ_Aおよび光源像Ｓ_Bが、第１領域９０Ａ、第２領域９０Ｂにまたがって形成されることがないように、微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ_A，Ｓ_Bが変位する量が設定されている。

微小振動素子１００は、第１領域９０Ａ，第２領域９０Ｂの長手方向および短手方向のうち少なくとも一方の方向に振幅成分を有する振動をするようになっている。微小振動素子１００による光束の走査の方向は、例えば、位相差板アレイ９０の配列方向（つまり、第１領域９０Ａ，第２領域９０Ｂの短手方向）またはその方向と対応する方向となっている。微小振動素子１００による光束の走査の方向は、位相差板アレイ９０の配列方向と直交する方向（つまり、第１領域９０Ａ，第２領域９０Ｂの長手方向）またはその方向と対応する方向であってもよい。

ここで、微小振動素子１００による光束の走査の方向が、位相差板アレイ９０の配列方向またはその方向と対応する方向となっている場合には、光源像Ｓ_A，Ｓ_Bの変位量が以下の式（２３），（２４）を満たしていることが好ましい。式（２３），（２４）を模式的に表すと図２４のようになる。ここで、図２４は、微小振動素子１００の振動により光源像Ｓ_A，Ｓ_Bが第１の方向（例えば横方向）またはそれに対応する方向に振動している様子を表したものである。
ｈ_H1＋ｄ_H1＝Ｐ_4H×（ｆ_FEL／ｆ_CL4H）＋ｄ_H1≦ｈ_AWP1…（２３）
ｈ_H2＋ｄ_H2＝Ｐ_4H×（ｆ_FEL／ｆ_CL4H）＋ｄ_H2≦ｈ_AWP2…（２４）
ｈ_H1：光源像Ｓ_Aの、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズ
ｈ_H2：光源像Ｓ_Bの、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズ
Ｐ_4H：光源１０Ｄに含まれる固体発光素子１１の光射出領域の、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズ
ｆ_CL4H：カップリングレンズ２０Ｄの、第１の方向またはそれに対応する方向の焦点距離
ｈ_AWP1：第１領域９０Ａの配列方向のサイズ
ｈ_AWP2：第２領域９０Ｂの配列方向のサイズ
ｄ_H1：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ_Aが変位する量
ｄ_H2：微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ_Bが変位する量

なお、固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_4Hは、そのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂの、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｐ_4Hは、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いの、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズに等しい。また、カップリングレンズ２０Ｄが、複数のレンズによって構成されている場合には、ｆ_CL4Hは、各レンズの、第１の方向またはそれに対応する方向の合成焦点距離とする。

上記の式（２３），（２４）とおおよそ等価な式として、以下の式（２５），（２６）を挙げることができる。式（２５），（２６）は、固体発光素子１１の光射出領域のサイズが固体発光素子１１のサイズと概ね等しい場合に特に有益である。
ｈ_H1＋ｄ_H1＝Ｗ_4H×（ｆ_FEL／ｆ_CL4H）＋ｄ_H1≦ｈ_AWP1…（２５）
ｈ_H2＋ｄ_H2＝Ｗ_4H×（ｆ_FEL／ｆ_CL4H）＋ｄ_H2≦ｈ_AWP2…（２６）
Ｗ_4H：光源１０Ｄに含まれる固体発光素子１１の、第１の方向またはそれに対応する方向のサイズ

なお、固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、Ｗ_4Hは、そのチップ１１Ａのサイズに等しい。また、固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、Ｗ_4Hは、全てのチップ１１Ａを単一のチップとしてみたときの、そのチップのサイズに等しい。

[作用・効果]
次に、本実施の形態のプロジェクタ５の作用・効果について説明する。本実施の形態では、インテグレータ４０を透過した光が照明する照明範囲６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させる微小振動素子１００が、光源１０Ｄとカップリングレンズ２０Ｄとの間に設けられている。これにより、スペックルを人間の眼の中で気にならない程度に平均化することが可能となる。また、本実施の形態では、フライアイレンズ４０Ａの各セル４１によって位相差板アレイ９０に形成される各光源像Ｓ_A、各光源像Ｓ_Bのサイズが第１領域９０Ａ、第２領域９０Ｂの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4と、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離ｆ_FELと、微小振動素子１００の形状が設定されている。さらに、光源像Ｓ_Aおよび光源像Ｓ_Bが、第１領域９０Ａ、第２領域９０Ｂにまたがって形成されることがないように、微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓ_A，Ｓ_Bが変位する量が設定されている。これにより、位相差板アレイ９０に入射した光が効率良く照明範囲６０Ａにまで到達する。なお、微小振動素子１００は照明範囲６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させることができる程度に振動するだけなので、微小振動素子１００が照明光学系５Ａの小型化を阻害することはない。以上のことから、本実施の形態では、小型化および光の利用効率向上を図りつつ、スペックルの発生を低減することができる。

また、本実施の形態において、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの各セルが１以外の縦横比を有している場合に、その縦横比を考慮して、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4H，ｆ_CL4Vと、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの焦点距離ｆ_FELH，ｆ_FELVとを設定するようにした場合には、照明光学系５Ａにおける光利用効率をさらに改善することができる。また、本実施の形態において、カップリングレンズ２０Ｄが１以外の縦横比を有している場合に、その縦横比を考慮して、カップリングレンズ２０Ｄの焦点距離ｆ_CL4H，ｆ_CL4Vおよび開口数ＮＡ_4H，ＮＡ_4Vを設定するようにした場合には、照明光学系５Ａにおける光利用効率をさらに改善することができる。

また、本実施の形態では、偏光分離素子８０をインテグレータ４０の手前に配置し、位相差板アレイ９０をインテグレータ４０の後ろに配置した上で、カップリングレンズ２０Ｄからの光を偏光分離素子８０に斜めに入射させるようにした。これにより、空間変調素子６０の光入射側などに偏光板が用いられている場合に、光源１０Ｄから射出された光を、上記の偏光板の透過軸と平行な偏光成分を主として含む偏光光に変換することができる。その結果、空間変調素子６０の光入射側などに設けられた偏光板で生じる光のロスを小さくすることができるので、プロジェクタ５全体の光利用効率を大幅に改善することができる。

上記第４の実施の形態において、微小振動素子１００が、例えば、図２５に示したように、カップリングレンズ２０Ｄとインテグレータ４０との間に設けられていてもよい。

＜５．実施例＞
次に、上記各実施の形態のプロジェクタ１，３，４，５に用いられる照明光学系１Ａ，３Ａ，４Ａ，５Ａの実施例について説明する。図２６は、第１ないし第３の実施の形態の実施例の設計値を表したものであり、図２７は、第４の実施の形態の実施例の設計値を表したものである。図中の実施例１〜３は、照明光学系１Ａ，３Ａ，４Ａに共通の設計値であり、図中の実施例４は、照明光学系５Ａの設計値である。図２６の一番下に記載の「条件式」とは、上述の式（７）〜（１２）においてＰ_1H，Ｐ_2H，Ｐ_3H，Ｐ_1V，Ｐ_2V，Ｐ_3VをＷ_1H，Ｗ_2H，Ｗ_3H，Ｗ_1V，Ｗ_2V，Ｗ_3Vに置き換えたものと、上述の式（１７）〜（２２）とを以下の式（２７）〜（２９），（３１）〜（３３）にまとめたものに、設計値を代入することにより得られたものである。図２７の「条件式」も同様の方法で以下の式（３０），（３４）にまとめたものに、設計値を代入することにより得られたものである。なお、図２６、図２７では、ｆ_CL1H，ｆ_CL2H，ｆ_CL3H，ｆ_CL4Hを便宜的にｆ_CLHと記載し、ｆ_CL1V，ｆ_CL2V，ｆ_CL3V，ｆ_CL4Vを便宜的にｆ_CLVと記載した。また、図２６、図２７では、開口数ＮＡ_1H，ＮＡ_2H，ＮＡ_3H，ＮＡ_4Hを便宜的にＮＡ_Hと記載し、開口数ＮＡ_1V，ＮＡ_2V，ＮＡ_3V，ＮＡ_4Vを便宜的にＮＡ_Vと記載した。
（ｗ_1H／ｈ_FEL2H）×ｆ_FELH≦ｆ_CL1H≦ｈ_CL1H／（２×ＮＡ_1H）…（２７）
（ｗ_2H／ｈ_FEL2H）×ｆ_FELH≦ｆ_CL2H≦ｈ_CL2H／（２×ＮＡ_2H）…（２８）
（ｗ_3H／ｈ_FEL2H）×ｆ_FELH≦ｆ_CL3H≦ｈ_CL3H／（２×ＮＡ_3H）…（２９）
（ｗ_4H／ｈ_FEL2H）×ｆ_FELH≦ｆ_CL4H≦ｈ_CL4H／（２×ＮＡ_4H）…（３０）
（ｗ_1V／ｈ_FEL2V）×ｆ_FELV≦ｆ_CL1V≦ｈ_CL1V／（２×ＮＡ_1V）…（３１）
（ｗ_2V／ｈ_FEL2V）×ｆ_FELV≦ｆ_CL2V≦ｈ_CL2V／（２×ＮＡ_2V）…（３２）
（ｗ_3V／ｈ_FEL2V）×ｆ_FELV≦ｆ_CL3V≦ｈ_CL3V／（２×ＮＡ_3V）…（３３）
（ｗ_4V／ｈ_FEL2V）×ｆ_FELV≦ｆ_CL4V≦ｈ_CL4V／（２×ＮＡ_4V）…（３４）

図２６、図２７から、いずれの設計値においても、式（２７）〜（３４）を満たす焦点距離ｆ_CL1H，ｆ_CL2H，ｆ_CL3H，ｆ_CL4H，ｆ_CL1V，ｆ_CL2V，ｆ_CL3V，ｆ_CL4Vに設定することができることがわかる。

＜６．変形例＞
以上、複数の実施の形態を挙げて本技術を説明したが、本技術は各実施の形態に限定されるものではなく、種々の変形が可能である。

（変形例１）
例えば、上記実施の形態では、図３（Ａ），（Ｂ）〜図６（Ａ），（Ｂ）に示したように、チップ１１Ａが上面発光型の素子となっている場合が例示されていたが、端面発光型の素子であってもよい。その場合には、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄは、それぞれ、例えば、図２８（Ａ），（Ｂ）〜図３３（Ａ），（Ｂ）に示したように、ステム１３とキャップ１４とによって囲まれた内部空間に、１または複数の端面発光型のチップ１１Ａからなる固体発光素子１１が収容されたキャンタイプの形態となっている。

ステム１３は、キャップ１４とともに光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄのパッケージを構成するものであり、例えば、サブマウント１５を支持する支持基板１３Ａと、支持基板１３Ａの裏面に配置された外枠基板１３Ｂと、複数の接続端子１３Ｃとを有している。サブマウント１５は導電性および放熱性を有する材料からなる。支持基板１３Ａおよび外枠基板１３Ｂは、それぞれ、導電性および放熱性を有する基材に、１または複数の絶縁性のスルーホールと、１または複数の導電性のスルーホールとが形成されたものである。支持基板１３Ａおよび外枠基板１３Ｂは、例えば、円板形状となっており、双方の中心軸（図示せず）が互いに重なり合うように積層されている。外枠基板１３Ｂの直径は、支持基板１３Ａの直径よりも大きくなっている。外枠基板１３Ｂの外縁は、外枠基板１３Ｂの中心軸を法線とする面内において外枠基板１３Ｂの中心軸から放射方向に張り出した環状のフランジとなっている。フランジは、製造過程においてキャップ１４を支持基板１３Ａに嵌合させるときの基準位置を規定する役割を有している。複数の接続端子１３Ｃは、少なくとも支持基板１３Ａを貫通している。複数の接続端子１３Ｃのうち少なくとも１つの端子を除いた端子（以下、便宜的に「端子α」とする。）は、個々のチップ１１Ａの電極（図示せず）に１つずつ電気的に接続されている。端子αは、例えば、外枠基板１３Ｂ側に長く突出しており、かつ支持基板１３Ａ側に短く突出している。また、複数の接続端子１３Ｃのうち上記の端子α以外の端子（以下、便宜的に「端子β」とする。）は、全てのチップ１１Ａの他の電極（図示せず）に電気的に接続されている。端子βは、例えば、外枠基板１３Ｂ側に長く突出しており、端子βの支持基板１３Ａ側の端縁は、例えば、支持基板１３Ａ内に埋め込まれている。各接続端子１３Ｃのうち外枠基板１３Ｂ側に長く突出している部分が、例えば基板などに嵌め込まれる部分に相当する。一方、複数の接続端子１３Ｃのうち支持基板１３Ａ側に短く突出している部分が、ワイヤ１６を介して個々のチップ１１Ａと１つずつ電気的に接続される部分に相当する。複数の接続端子１３Ｃのうち支持基板１３Ａ内に埋め込まれている部分が、例えば、支持基板１３Ａおよびサブマウント１５を介して全てのチップ１１Ａと電気的に接続される部分に相当する。端子αは、支持基板１３Ａおよび外枠基板１３Ｂに設けられた絶縁性のスルーホールによって支持されており、そのスルーホールによって支持基板１３Ａおよび外枠基板１３Ｂから絶縁分離されている。さらに、個々の端子αは、上記の絶縁部材によって互いに絶縁分離されている。一方、端子βは、支持基板１３Ａおよび外枠基板１３Ｂに設けられた導電性のスルーホールによって支持されており、そのスルーホールと電気的に接続されている。

キャップ１４は、固体発光素子１１を封止するものである。キャップ１４は、例えば、上端および下端に開口が設けられた筒部１４Ａを有している。筒部１４Ａの下端が、例えば、支持基板１３Ａの側面に接しており、筒部１４Ａの内部空間に、固体発光素子１１が位置している。キャップ１４は、筒部１４Ａの上端側の開口を塞ぐようにして配置された光透過窓１４Ｂを有している。光透過窓１４Ｂは、固体発光素子１１の光射出面と対向する位置に配置されており、固体発光素子１１から出力された光を透過する機能を有している。

本変形例において、固体発光素子１１は、単一もしくは複数の点状、または単一もしくは複数の非点状の発光スポットからなる光射出領域から光を発するようになっている。固体発光素子１１は、例えば、所定の波長帯の光を発する単一のチップ１１Ａからなっていてもよいし、同一の波長帯の光を発する複数のチップ１１Ａからなっていてもよいし、互いに異なる波長帯の光を発する複数のチップ１１Ａからなっていてもよい。固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、それらのチップ１１Ａは、例えば、図２８（Ａ），（Ｂ）、図２９（Ａ），（Ｂ）に示したように、横方向に一列に配置されていたり、例えば、図３１（Ａ），（Ｂ）、図３２（Ａ），（Ｂ）に示したように、縦方向に一列に配置されていたりする。固体発光素子１１に含まれるチップ１１Ａの数は、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄごとに異なっていてもよいし、全ての光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄで互いに等しくなっていてもよい。

固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、固体発光素子１１としてのサイズ（Ｗ_V×Ｗ_H）は、例えば、図３０（Ｂ）、図３３（Ｂ）に示したように、単一のチップ１１Ａのサイズ（Ｗ_V1×Ｗ_H1）に等しい。一方、固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、固体発光素子１１としてのサイズは、例えば、図２８（Ｂ），図２９（Ｂ），図３１（Ｂ），図３２（Ｂ）に示したように、全てのチップ１１Ａをひとまとまりとしたときのサイズに等しい。複数のチップ１１Ａが横方向に一列に配置されている場合には、固体発光素子１１としてのサイズ（Ｗ_V×Ｗ_H）は、図２８（Ｂ）の例では、Ｗ_V1×３Ｗ_H1より大きく、図２９（Ｂ）の例では、Ｗ_V1×２Ｗ_H1より大きい。また、複数のチップ１１Ａが縦方向に一列に配置されている場合には、固体発光素子１１としてのサイズ（Ｗ_V×Ｗ_H）は、図３１（Ｂ）の例では、３Ｗ_V1×Ｗ_H1より大きく、図３２（Ｂ）の例では、２Ｗ_V1×Ｗ_H1より大きい。

チップ１１Ａは、例えば、レーザダイオード（ＬＤ）からなる。光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄのそれぞれに含まれるチップ１１Ａが全て、ＬＤによって構成されていてもよい。また、光源１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ，１０Ｄのうち少なくとも１つの光源に含まれるチップ１１Ａが、ＬＤによって構成され、それ以外のチップ１１Ａが、ＬＥＤまたはＯＬＥＤによって構成されていてもよい。

チップ１１Ａは、例えば、図２８（Ａ），（Ｂ）〜図３３（Ａ），（Ｂ）に示したように、チップ１１Ａサイズ（Ｗ_V×Ｗ_H）よりも小さなサイズ（Ｐ_V1×Ｐ_H1）の発光スポット１１Ｂを有している。発光スポット１１Ｂは、チップ１１Ａに電流を注入してチップ１１Ａを駆動したときにチップ１１Ａから光が発せられる領域（光射出領域）に相当する。チップ１１ＡがＬＤからなる場合には、発光スポット１１ＢはＬＥＤまたはＯＬＥＤの発光スポットよりも小さな点状となっている。

固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、発光スポット１１Ｂの数は、例えば、図３０（Ｂ）、図３３（Ｂ）に示したように１つである。一方、固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、発光スポット１１Ｂの数は、例えば、図２８（Ｂ），図２９（Ｂ），図３１（Ｂ）、図３２（Ｂ）に示したようにチップ１１Ａの数と等しい。ここで、固体発光素子１１が単一のチップ１１Ａからなる場合には、固体発光素子１１としての光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、発光スポット１１Ｂのサイズ（Ｐ_V1×Ｐ_H1）に等しい。一方、固体発光素子１１が複数のチップ１１Ａからなる場合には、固体発光素子１１としての光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、最小面積で全てのチップ１１Ａの発光スポット１１Ｂを囲ったときのその囲いのサイズに等しい。複数のチップ１１Ａが横方向に一列に配置されている場合には、光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、図２８（Ｂ）の例では、Ｐ_V1×３Ｐ_H1よりも大きく、Ｗ_V×Ｗ_Hよりも小さい。同様に、図２９（Ｂ）の例では、光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、Ｐ_V1×２Ｐ_H1よりも大きく、Ｗ_V×Ｗ_Hよりも小さい。また、複数のチップ１１Ａが縦方向に一列に配置されている場合には、光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、図３１（Ｂ）の例では、３Ｐ_V1×Ｐ_H1よりも大きく、Ｗ_V×Ｗ_Hよりも小さい。同様に、図３２（Ｂ）の例では、光射出領域のサイズ（Ｐ_V×Ｐ_H）は、２Ｐ_V1×Ｐ_H1よりも大きく、Ｗ_V×Ｗ_Hよりも小さい。

（変形例２）
また、上記実施の形態およびその変形例では、照明光学系１Ａ，３Ａ，４Ａ，５Ａが、平行光をフライアイレンズ４０Ａに入射させる無限光学系を含んで構成されていたが、収束光（または発散光）をフライアイレンズ４０Ａに入射させる有限光学系を含んで構成されていてもよい。この場合には、上記実施の形態およびその変形例において、カップリングレンズ２０Ａ〜２０Ｄの代わりに、光源１０Ａ〜１０Ｄから発せられた光を収束するか、または発散する機能を有する指向角変換素子を配置すればよい。ただし、この場合には、フライアイレンズ４０Ａの各セル４１によってフライアイレンズ４０Ｂに形成される各光源像Ｓのサイズがフライアイレンズ４０Ｂの１つのセル４２のサイズを超えない大きさとなるように、上記の指向角変換素子と、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂとからなる光学系の光学倍率、および微小振動素子１００の形状が設定されていることが好ましい。この場合、光源像Ｓのサイズは、以下の式を満たしていることが好ましい。
ｈ＝Ｐ×ｍ
ｈ：光源像Ｓのサイズ
Ｐ：光源１０Ａ〜１０Ｄに含まれる固体発光素子１１の発光スポット１１Ｂのサイズ
ｍ：上記の指向角変換素子と、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂとからなる光学系の光学倍率
さらに、各光源像Ｓが、フライアイレンズ４０Ｂの複数のセル４２にまたがって形成されることがないように、微小振動素子１００の振動振幅により光源像Ｓが変位する量が設定されていることが好ましい。

また、本変形例においても、フライアイレンズ４０Ａ，４０Ｂの各セル４１，４２が１以外の縦横比（アスペクト比）を有している場合には、照明光学系１Ａ，３Ａ，４Ａ，５Ａが、アナモフィック光学系となっていることが好ましい。

（変形例３）
また、上記実施の形態およびその変形例では、本技術を、投射型表示装置に適用した場合について説明されていたが、他の表示装置に適用することももちろん可能である。例えば、図３４に示したように、本技術を、リアプロジェクション表示装置６に適用することが可能である。リアプロジェクション表示装置６は、図３４に示したように、照明光学系１Ａ，３Ａ，４Ａ，５Ａを含むプロジェクタ１，３，４，５と、プロジェクタ１，３，４，５（投影光学系７０）から投射された画像光を映し出す透過型スクリーン７とを備えている。このように、リアプロジェクション表示装置６の照明光学系として、照明光学系１Ａ，３Ａ，４Ａ，５Ａを用いることにより、光利用効率を改善することができる。

（変形例４）
また、上記実施の形態およびその変形例では、微小振動素子１００は、光学素子１１０と、光学素子１１０を微小振動させる駆動部１２０とを有していたが、それらの代わりに、例えば、入射光の一部を収束させると共に入射光の一部を発散させるパワー素子と、そのパワー素子を微小振動させる駆動部とを有していてもよい。

本変形例において、駆動部は、パワー素子とインテグレータ４０との相対位置を変位させるものである。駆動部は、例えば、パワー素子の面内の一の方向に振動させることにより、パワー素子とインテグレータ４０との相対位置を変位させるようになっている。これにより、インテグレータ４０の入射面内において、収束光の入射位置と、発散光の入射位置が変化するので、照明領域６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させることができる。なお、駆動部による光束の走査は、連続周期的であってもよいし、離散的繰り返しであってもよい。いずれの場合であっても、照明領域６０Ａにおける照明状態を時間的に変化させることができる。駆動部は、パワー素子から出射された光のフライアイレンズ４０Ａへの入射角がフライアイレンズ４０Ａの許容角以内となるように、パワー素子を制御することが好ましい。

図３５（Ａ）は、上記パワー素子の一例を表す平面構成図である。図３５（Ｂ）は、図３５（Ａ）のＡ−Ａ矢視方向の断面構成図である。図３６は、図３５（Ｂ）において一点鎖線で囲んだ部分の拡大図であり、図３７は、図３６のパワー素子をインテグレータ４０と共に表す断面構成図である。

図３５（Ａ）に記載のパワー素子２００は、凸シリンダー面２１０（第１光学面）と凹シリンダー面２２０（第２光学面）が交互に配列された凹凸面２００Ａをインテグレータ４０側に有しており、さらに、平坦面２００Ｂをインテグレータ４０とは反対側に有している。凸シリンダー面２１０および凹シリンダー面２２０は、横方向と４５度の角度で交差する方向に延在しており、さらに、これらの延在方向と直交する方向に交互に配列されている。凸シリンダー面２１０は、曲率半径Ｒ（＋）の凸状曲面であり、平坦面２００Ｂ側から入射した光を収束光束に変換するようになっている。凹シリンダー面２２０は、曲率半径Ｒ（−）の凹状曲面であり、平坦面２００Ｂ側から入射した光を発散光束に変換するようになっている。凸シリンダー面２１０の曲率半径Ｒ（＋）は、凹シリンダー面２２０の曲率半径Ｒ（−）よりも大きくなっている。さらに、凸シリンダー面２１０の幅Ｐ（＋）（配列方向の幅）は、凹シリンダー面２２０の幅Ｐ（−）（配列方向の幅）よりも広くなっている。

ここで、図３７中のＦ（＋）は、凸シリンダー面２１０の焦点距離である。また、Ｆ（−）は、凹シリンダー面２２０の焦点距離である。θ（＋）は、収束光束を構成する光線の進行方向と、インテグレータ４０の光軸とのなす角度の最大値である。θ（−）は、発散光束を構成する光線の進行方向と、インテグレータ４０の光軸とのなす角度の最大値である。ＬＰは、凸シリンダー面２１０収束光束幅と、凹シリンダー面２２０の発散光束幅が互いに等しくなる箇所を含む面と、パワー素子２００との距離である。Ｐは、凸シリンダー面２１０収束光束幅と、凹シリンダー面２２０の発散光束幅が互いに等しくなる箇所における両光束の幅である。Ｌは、パワー素子２００とインテグレータ４０との距離であり、具体的には、各凸シリンダー面２１０の頂部を含む面と、フライアイレンズ４０Ａの各セル４１の頂部を含む面との距離である。なお、パワー素子２００の各パラメータの値の一例を以下の表１に示す。

（変形例５）
また、上記実施の形態およびその変形例では、微小振動素子１００は、光学素子１１０と、光学素子１１０を微小振動させる駆動部１２０とを有していたが、それらの代わりに、回折効果を利用した回折分岐素子と、回折分岐素子を微小振動させる駆動部とを有していてもよい。回折分岐素子は、入射光を回折させることにより複数の回折次数の光束に分岐して、各々異なる角度で射出させるものである。ただし、回折分岐素子は、当該回折分岐素子から出射された光のフライアイレンズ４０Ａへの入射角が、フライアイレンズ４０Ａの許容角以内となるように構成されていることが好ましい。また、駆動部は、回折分岐素子から出射された光のフライアイレンズ４０Ａへの入射角がフライアイレンズ４０Ａの許容角以内となるように、回折分岐素子を振動させることが好ましい。

（変形例６）
また、上記実施の形態およびその変形例では、微小振動素子１００は、光学素子１１０と、光学素子１１０を微小振動させる駆動部１２０とを有していたが、それらの代わりに、拡散板と、拡散板を微小振動させる駆動部とを有していてもよい。ただし、拡散板は、当該拡散板から出射された光のフライアイレンズ４０Ａへの入射角が、フライアイレンズ４０Ａの許容角以内となるように構成されていることが好ましい。また、駆動部は、拡散板から出射された光のフライアイレンズ４０Ａへの入射角がフライアイレンズ４０Ａの許容角以内となるように、拡散板を振動させることが好ましい。

また、例えば、本技術は以下のような構成を取ることができる。
（１）
単一もしくは複数の発光スポットからなる光射出領域から光を発する第１の固体発光素子を含む第１の光源と、
前記第１の光源側から入射した光の指向角を変換する第１の指向角変換素子と、
前記第１の指向角変換素子を透過した光が照明する所定の照明範囲における光の照度分布を均一化するインテグレータと、
前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記インテグレータとの間に配置され、かつ前記照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第１の微小振動素子と
を備え、
前記第１の固体発光素子は、レーザダイオードを含み、
前記インテグレータは、前記第１の指向角変換素子側からの光が入射する第１のフライアイレンズと、前記第１のフライアイレンズ側からの光が入射する第２のフライアイレンズとからなり、
前記第１のフライアイレンズの各セルによって前記第２のフライアイレンズに形成される各光源像のサイズが前記第２のフライアイレンズの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、前記第１の指向角変換素子と、前記第１および第２のフライアイレンズとからなる光学系の光学倍率、および第１の微小振動素子の形状が設定され、
各光源像が、前記第２のフライアイレンズの複数のセルにまたがって形成されることがないように、第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量が設定されている
照明装置。
（２）
前記第１の固体発光素子は、所定の波長帯の光を発する単一のチップ、または同一の波長帯もしくは互いに異なる波長帯の光を発する複数のチップからなり、
前記第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量が以下の関係式を満たす
（１）に記載の照明装置。
ｈ＋ｄ≦ｈ_FEL2
ｈ：前記光源像のサイズ
ｄ：前記第１の微小振動素子の振動により光源像が変位する量
ｈ_FEL2：前記第２のフライアイレンズの１セルのサイズ
（３）
前記第１および第２のフライアイレンズの各セルが１以外の縦横比を有しており、
前記第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量が以下の関係式を満たす
（２）に記載の照明装置。
ｈ_x＋ｄ_x≦ｈ_FEL2x
ｈ_y＋ｄ_y≦ｈ_FEL2y
ｈ_x：前記光源像の第１の方向（前記第１および第２のフライアイレンズの各セルの長手方向またはそれに対応する方向）のサイズ
ｈ_y：前記光源像の、第１の方向と直交する第２の方向（前記第１および第２のフライアイレンズの各セルの短手方向またはそれに対応する方向）のサイズ
ｈ_FEL2x：前記第２のフライアイレンズの１セルの第１の方向のサイズ
ｈ_FEL2y：前記第２のフライアイレンズの１セルの第２の方向のサイズ
ｄ_x：前記第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量のうち、第１の方向の成分（ｄ_x≧０、ただしｄ_y＝０のときはｄ_x＞０）
ｄ_y：前記第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量のうち、第２の方向の成分（ｄ_y≧０、ただしｄ_x＝０のときはｄ_y＞０）
（４）
単一もしくは複数の発光スポットからなる光射出領域から光を発する第２の固体発光素子を含む第２の光源と、
前記第２の光源側から入射した光の指向角を変換する第２の指向角変換素子と、
前記第１および第２の指向角変換素子を透過した光を合成し、その合成光を前記インテグレータに向けて出力する光路合成素子と
をさらに備え、
前記第２の固体発光素子は、レーザダイオードを含み、
前記第１の微小振動素子は、前記光路合成素子と前記インテグレータとの間に配置されている
（１）ないし（３）のいずれか１つに記載の照明装置。
（５）
前記第１の微小振動素子が、前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記光路合成素子との間に配置され、
当該照明装置は、前記第２の光源と前記第２の指向角変換素子との間、または前記第２の指向角変換素子と前記光路合成素子との間に配置され、かつ前記照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第２の微小振動素子をさらに備え、
各光源像が、前記第２のフライアイレンズの複数のセルにまたがって形成されることがないように、前記第２の微小振動素子の形状と、前記第２の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量が設定されている
（４）に記載の照明装置。
（６）
前記第１の指向角変換素子の焦点距離が１以外の縦横比を有し、
前記第１および第２のフライアイレンズの各セルが１以外の縦横比を有し、
前記第１の指向角変換素子の縦横の焦点距離の比と、前記第２のフライアイレンズの各セルの縦横比の逆数とが、互いに等しくなっている
（１）ないし（５）のいずれか１つに記載の照明装置。
（７）
前記第１のフライアイレンズは、前記第２のフライアイレンズの略焦点位置に配置されており、
前記第２のフライアイレンズは、前記第１のフライアイレンズの略焦点位置に配置されている
（１）ないし（６）のいずれか１つに記載の照明装置。
（８）
前記第１の指向角変換素子と前記インテグレータとの間に設けられた偏光分離素子と、
前記インテグレータと前記照明範囲との間に設けられた位相差板アレイと
を備え、
前記第１の微小振動素子は、前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記偏光分離素子との間に配置されており、
前記偏光分離素子は、前記第１の指向角変換素子側から入射する光を、Ｓ偏光成分とＰ偏光成分との進行方向が異なるように分離し、
前記位相差板アレイは、位相差の互いに異なる第１領域および第２領域を有し、
前記第１領域は、前記偏光分離素子で分離されたＳ偏光成分およびＰ偏光成分のいずれか一方の偏光成分が入射する位置に配置されており、当該第１領域への入射光を、偏光方向を維持したまま透過し、
前記第２領域は、前記偏光分離素子で分離されたＳ偏光成分およびＰ偏光成分のうち前記第１領域に入射する偏光成分とは異なる偏光成分が入射する位置に配置されており、当該第２領域への入射光を、前記第１領域に入射する光の偏光と等しい偏光の光に変換する
（１）ないし（７）のいずれか１つに記載の照明装置。
（９）
前記第１領域および前記第２領域はともに、前記偏光分離素子における分離方向と直交する方向に延在する帯状の形状となっており、かつ前記偏光分離素子における分離方向と平行な方向に交互に配置されている
（８）に記載の照明装置。
（１０）
前記第１および第２のフライアイレンズの各セルが１以外の縦横比を有し、
前記第１領域および前記第２領域はともに、前記第１および第２のフライアイレンズの長手方向と垂直な方向に延在する帯状の形状となっている
（８）に記載の照明装置。
（１１）
前記位相差板アレイは、前記第１のフライアイレンズの略焦点位置に配置されており、
前記第２のフライアイレンズは、前記第１のフライアイレンズの焦点位置よりも手前に配置されている
（８）に記載の照明装置。
（１２）
照明光学系と、
入力された映像信号に基づいて前記照明光学系からの光を変調することにより、画像光を生成する空間変調素子と、
前記空間変調素子で生成された画像光を投射する投影光学系と、
を備え、
前記照明光学系は、
レーザダイオードを含む第１の光源と、
前記第１の光源側から入射した光の指向角を変換する第１の指向角変換素子と、
前記第１の指向角変換素子を透過した光が照明する所定の照明範囲における光の照度分布を均一化するインテグレータと、
前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記インテグレータとの間に配置され、かつ前記照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第１の微小振動素子と
を備え、
前記インテグレータは、前記第１の指向角変換素子側からの光が入射する第１のフライアイレンズと、前記第１のフライアイレンズ側からの光が入射する第２のフライアイレンズとからなり、
前記第１のフライアイレンズの各セルによって前記第２のフライアイレンズに形成される各光源像のサイズが前記第２のフライアイレンズの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、前記第１の指向角変換素子と、前記第１および第２のフライアイレンズとからなる光学系の光学倍率と、前記第１の微小振動素子の形状と、前記第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量とが設定されている
投射型表示装置。
（１３）
照明光学系と、
入力された映像信号に基づいて前記照明光学系からの光を変調することにより、画像光を生成する空間変調素子と、
前記空間変調素子で生成された画像光を投射する投影光学系と、
前記投影光学系から投射された画像光を映し出す透過型スクリーンと
を備え、
前記照明光学系は、
レーザダイオードを含む第１の光源と、
前記第１の光源側から入射した光の指向角を変換する第１の指向角変換素子と、
前記第１の指向角変換素子を透過した光が照明する所定の照明範囲における光の照度分布を均一化するインテグレータと、
前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記インテグレータとの間に配置され、かつ前記照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第１の微小振動素子と
を備え、
前記インテグレータは、前記第１の指向角変換素子側からの光が入射する第１のフライアイレンズと、前記第１のフライアイレンズ側からの光が入射する第２のフライアイレンズとからなり、
前記第１のフライアイレンズの各セルによって前記第２のフライアイレンズに形成される各光源像のサイズが前記第２のフライアイレンズの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、前記第１の指向角変換素子と、前記第１および第２のフライアイレンズとからなる光学系の光学倍率と、前記第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量とが設定されている
直視型表示装置。

１，３，４，５…プロジェクタ、１Ａ，３Ａ，４Ａ，５Ａ…照明光学系、２…スクリーン、６…リアプロジェクション表示装置、７…透過型スクリーン、１０Ａ，１０Ｂ，１０Ｃ、１０Ｄ…光源、１１…固体発光素子、１１Ａ…チップ、１１Ｂ…発光スポット、１２…パッケージ、１３…ステム、１３Ａ…支持基板、１３Ｂ…外枠基板、１３Ｃ…接続端子、１４…キャップ、１４Ａ…筒部、１４Ｂ…光透過部、１５…サブマウント、１６…ワイヤ、２０Ａ，２０Ｂ，２０Ｃ，２０Ｄ…カップリングレンズ、３０…光路合成素子、３０Ａ，３０Ｂ，３０Ｃ…ダイクロイックミラー、４０…インテグレータ、４０Ａ，４０Ｂ…フライアイレンズ、４１，４２…セル、５０…コンデンサレンズ、６０…空間変調素子、６０Ａ…照明範囲、７０…投影光学系、８０…偏光分離素子、９０…位相差板アレイ、９０Ａ…第１領域、９０Ｂ…第２領域、１００…微小振動素子、２００…パワー素子。

Claims (13)

1. 単一もしくは複数の発光スポットからなる光射出領域から光を発する第１の固体発光素子を含む第１の光源と、
   前記第１の光源側から入射した光の指向角を変換する第１の指向角変換素子と、
   前記第１の指向角変換素子を透過した光が照明する所定の照明範囲における光の照度分布を均一化するインテグレータと、
   前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記インテグレータとの間に配置され、かつ前記照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第１の微小振動素子と
   を備え、
   前記第１の固体発光素子は、レーザダイオードを含み、
   前記インテグレータは、前記第１の指向角変換素子側からの光が入射する第１のフライアイレンズと、前記第１のフライアイレンズ側からの光が入射する第２のフライアイレンズとからなり、
   前記第１のフライアイレンズの各セルによって前記第２のフライアイレンズに形成される各光源像のサイズが前記第２のフライアイレンズの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、前記第１の指向角変換素子と、前記第１および第２のフライアイレンズとからなる光学系の光学倍率、および第１の微小振動素子の形状が設定され、
   各光源像が、前記第２のフライアイレンズの複数のセルにまたがって形成されることがないように、第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量が設定されている
   照明装置。
2. 前記第１の固体発光素子は、所定の波長帯の光を発する単一のチップ、または同一の波長帯もしくは互いに異なる波長帯の光を発する複数のチップからなり、
   前記第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量が以下の関係式を満たす
   請求項１に記載の照明装置。
   ｈ＋ｄ≦ｈ_FEL2
   ｈ：前記光源像のサイズ
   ｄ：前記第１の微小振動素子の振動により光源像が変位する量
   ｈ_FEL2：前記第２のフライアイレンズの１セルのサイズ
3. 前記第１および第２のフライアイレンズの各セルが１以外の縦横比を有しており、
   前記第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量が以下の関係式を満たす
   請求項２に記載の照明装置。
   ｈ_x＋ｄ_x≦ｈ_FEL2x
   ｈ_y＋ｄ_y≦ｈ_FEL2y
   ｈ_x：前記光源像の第１の方向（前記第１および第２のフライアイレンズの各セルの長手方向またはそれに対応する方向）のサイズ
   ｈ_y：前記光源像の、第１の方向と直交する第２の方向（前記第１および第２のフライアイレンズの各セルの短手方向またはそれに対応する方向）のサイズ
   ｈ_FEL2x：前記第２のフライアイレンズの１セルの第１の方向のサイズ
   ｈ_FEL2y：前記第２のフライアイレンズの１セルの第２の方向のサイズ
   ｄ_x：前記第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量のうち、第１の方向の成分（ｄ_x≧０、ただしｄ_y＝０のときはｄ_x＞０）
   ｄ_y：前記第１の微小振動素子の振動振幅により光源像が変位する量のうち、第２の方向の成分（ｄ_y≧０、ただしｄ_x＝０のときはｄ_y＞０）
4. 単一もしくは複数の発光スポットからなる光射出領域から光を発する第２の固体発光素子を含む第２の光源と、
   前記第２の光源側から入射した光の指向角を変換する第２の指向角変換素子と、
   前記第１および第２の指向角変換素子を透過した光を合成し、その合成光を前記インテグレータに向けて出力する光路合成素子と
   をさらに備え、
   前記第２の固体発光素子は、レーザダイオードを含み、
   前記第１の微小振動素子は、前記光路合成素子と前記インテグレータとの間に配置されている
   請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の照明装置。
5. 前記第１の微小振動素子が、前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記光路合成素子との間に配置され、
   当該照明装置は、前記第２の光源と前記第２の指向角変換素子との間、または前記第２の指向角変換素子と前記光路合成素子との間に配置され、かつ前記照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第２の微小振動素子をさらに備え、
   各光源像が、前記第２のフライアイレンズの複数のセルにまたがって形成されることがないように、前記第２の微小振動素子の形状と、前記第２の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量が設定されている
   請求項４に記載の照明装置。
6. 前記第１の指向角変換素子の焦点距離が１以外の縦横比を有し、
   前記第１および第２のフライアイレンズの各セルが１以外の縦横比を有し、
   前記第１の指向角変換素子の縦横の焦点距離の比と、前記第２のフライアイレンズの各セルの縦横比の逆数とが、互いに等しくなっている
   請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の照明装置。
7. 前記第１のフライアイレンズは、前記第２のフライアイレンズの略焦点位置に配置されており、
   前記第２のフライアイレンズは、前記第１のフライアイレンズの略焦点位置に配置されている
   請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載の照明装置。
8. 前記第１の指向角変換素子と前記インテグレータとの間に設けられた偏光分離素子と、
   前記インテグレータと前記照明範囲との間に設けられた位相差板アレイと
   を備え、
   前記第１の微小振動素子は、前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記偏光分離素子との間に配置されており、
   前記偏光分離素子は、前記第１の指向角変換素子側から入射する光を、Ｓ偏光成分とＰ偏光成分との進行方向が異なるように分離し、
   前記位相差板アレイは、位相差の互いに異なる第１領域および第２領域を有し、
   前記第１領域は、前記偏光分離素子で分離されたＳ偏光成分およびＰ偏光成分のいずれか一方の偏光成分が入射する位置に配置されており、当該第１領域への入射光を、偏光方向を維持したまま透過し、
   前記第２領域は、前記偏光分離素子で分離されたＳ偏光成分およびＰ偏光成分のうち前記第１領域に入射する偏光成分とは異なる偏光成分が入射する位置に配置されており、当該第２領域への入射光を、前記第１領域に入射する光の偏光と等しい偏光の光に変換する
   請求項１ないし請求項７のいずれか一項に記載の照明装置。
9. 前記第１領域および前記第２領域はともに、前記偏光分離素子における分離方向と直交する方向に延在する帯状の形状となっており、かつ前記偏光分離素子における分離方向と平行な方向に交互に配置されている
   請求項８に記載の照明装置。
10. 前記第１および第２のフライアイレンズの各セルが１以外の縦横比を有し、
    前記第１領域および前記第２領域はともに、前記第１および第２のフライアイレンズの長手方向と垂直な方向に延在する帯状の形状となっている
    請求項８に記載の照明装置。
11. 前記位相差板アレイは、前記第１のフライアイレンズの略焦点位置に配置されており、
    前記第２のフライアイレンズは、前記第１のフライアイレンズの焦点位置よりも手前に配置されている
    請求項８に記載の照明装置。
12. 照明光学系と、
    入力された映像信号に基づいて前記照明光学系からの光を変調することにより、画像光を生成する空間変調素子と、
    前記空間変調素子で生成された画像光を投射する投影光学系と、
    を備え、
    前記照明光学系は、
    レーザダイオードを含む第１の光源と、
    前記第１の光源側から入射した光の指向角を変換する第１の指向角変換素子と、
    前記第１の指向角変換素子を透過した光が照明する所定の照明範囲における光の照度分布を均一化するインテグレータと、
    前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記インテグレータとの間に配置され、かつ前記照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第１の微小振動素子と
    を備え、
    前記インテグレータは、前記第１の指向角変換素子側からの光が入射する第１のフライアイレンズと、前記第１のフライアイレンズ側からの光が入射する第２のフライアイレンズとからなり、
    前記第１のフライアイレンズの各セルによって前記第２のフライアイレンズに形成される各光源像のサイズが前記第２のフライアイレンズの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、前記第１の指向角変換素子と、前記第１および第２のフライアイレンズとからなる光学系の光学倍率と、前記第１の微小振動素子の形状と、前記第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量とが設定されている
    投射型表示装置。
13. 照明光学系と、
    入力された映像信号に基づいて前記照明光学系からの光を変調することにより、画像光を生成する空間変調素子と、
    前記空間変調素子で生成された画像光を投射する投影光学系と、
    前記投影光学系から投射された画像光を映し出す透過型スクリーンと
    を備え、
    前記照明光学系は、
    レーザダイオードを含む第１の光源と、
    前記第１の光源側から入射した光の指向角を変換する第１の指向角変換素子と、
    前記第１の指向角変換素子を透過した光が照明する所定の照明範囲における光の照度分布を均一化するインテグレータと、
    前記第１の光源と前記第１の指向角変換素子との間、または前記第１の指向角変換素子と前記インテグレータとの間に配置され、かつ前記照明範囲における照明状態を時間的に変化させる第１の微小振動素子と
    を備え、
    前記インテグレータは、前記第１の指向角変換素子側からの光が入射する第１のフライアイレンズと、前記第１のフライアイレンズ側からの光が入射する第２のフライアイレンズとからなり、
    前記第１のフライアイレンズの各セルによって前記第２のフライアイレンズに形成される各光源像のサイズが前記第２のフライアイレンズの１セルのサイズを超えない大きさとなるように、前記第１の指向角変換素子と、前記第１および第２のフライアイレンズとからなる光学系の光学倍率と、前記第１の微小振動素子の形状と、前記第１の微小振動素子の振動振幅により前記光源像が変位する量とが設定されている
    直視型表示装置。

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