JP5810113B2

JP5810113B2 - 弾性波共振器とこれを用いた弾性波フィルタおよびアンテナ共用器

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Publication number: JP5810113B2
Application number: JP2013029609A
Authority: JP
Inventors: 禎也小松; 哲也鶴成; 城二藤原
Original assignee: スカイワークス・パナソニックフィルターソリューションズジャパン株式会社
Priority date: 2013-02-19
Filing date: 2013-02-19
Publication date: 2015-11-11
Anticipated expiration: 2033-02-19
Also published as: JP2014160888A

Description

本発明は、各種電子機器に使用される弾性波共振器とこれを用いた弾性波フィルタおよびアンテナ共用器に関する。

従来から、例えば携帯電話端末などの移動体通信機器の送信フィルタ用途にラダー型の弾性波フィルタが用いられている。また、近年、特許文献１のようなＩＤＴ（ＩｎｔｅｒＤｉｇｉｔａｌＴｒａｎｓｄｕｃｅｒ）電極上にＳｉＯ₂を配し温度特性を改善した弾性波フィルタが多用されている。このような従来のラダー型の弾性波フィルタについて図を用いて説明する。図１１（ａ）は、従来の弾性波フィルタ１００の回路図であり、図１１（ｂ）は、弾性波フィルタ１００を構成する弾性波共振器１０１の上面模式図であり、図１１（ｃ）は、図１１（ｂ）におけるＣＣ´主要波伝搬方向断面の弾性波共振器１０１の断面模式図を示す。

従来の弾性波フィルタ１００は、直列腕に４つの弾性波共振器１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄを接続し、並列腕に３つの弾性波共振器１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃを接続した構成である。そして、それら弾性波共振器１１１ａ、１１１ｂ、１１１ｃ、１１１ｄ、１１２ａ、１１２ｂ、１１２ｃは、圧電基板１０２上に、主要弾性波を励振させるＩＤＴ電極１０３と、前記主要弾性波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極１０３の両側に配置された第１及び第２の反射器電極１０４ａ、１０４ｂと、ＩＤＴ電極１０３と第１及び第２の反射器電極１０４ａ、１０４ｂとを覆うように形成されたＳｉＯ₂よりなる誘電膜１０５とを備える。第１及び第２の反射器電極１０４ａ、１０４ｂは、第１及び第２の反射器電極１０４ａ、１０４ｂの電極ピッチ及び主要弾性波の音速によって決定される遮断周波数帯域内において主要弾性波を反射させる。第１及び第２の反射器電極１０４ａ、１０４ｂの遮断周波数の最小値を主要弾性波の共振周波数よりも低くなるように設定し、且つ、遮断周波数の最大周波数を主要弾性波の反共振周波数よりも高くなるように設定することで、共振及び反共振特性のＱ値を確保していた。

また、３６°〜４２°回転ＹカットＸ伝搬タンタル酸リチウムを圧電基板とし、ＳＨタイプ弾性表面波を用いたラダー型の弾性波フィルタの特性改善例として、特許文献２に直列腕共振器の反射器電極の周期を並列腕共振器の櫛形電極の周期と一致させて、直列腕共振器のスプリアスに起因する帯域外特性の劣化防止する技術が開示されている。

国際公開第２０１０／１４６８２６号特開平６−２６０８７８号公報

ＩＤＴ電極上にＳｉＯ₂を配し温度特性を改善した弾性波フィルタが多用されている背景として、近年の移動体通信においては、送受信帯の周波数間隔が狭くなっていく通信規格の増加がある。送受信帯の周波数間隔が狭い通信規格に対応したアンテナ共用器を実現するためには、急峻なスロープ特性と良好な温度特性が必要不可欠である。また、通信規格の大半は、送信帯よりも受信帯の周波数の方が高く設定されている。したがって、送信フィルタの高周波側遷移周波数帯における通過特性の急峻性が特に重要となる。送信フィルタがラダー型の弾性波フィルタの場合、直列腕共振器の反共振周波数を下げることで高周波側遷移周波数帯における通過特性の急峻性を向上させることができる。しかしながら、反共振周波数を下げる手法として、直列腕共振器の周波数を下げた場合、送信帯域の最大値付近の周波数での耐電力性の低下が問題となる。また、直列腕共振器の実効的な電気機械結合係数を低下させた場合、送信帯域内の挿入損失の増加が問題となる。

本発明は、スロープ特性が急峻で、且つ、挿入損失の小さいフィルタ特性を提供することのできる弾性波共振器、弾性波フィルタおよびアンテナ共用器を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために本発明の弾性波共振器は、圧電基板上において主要弾性波を励振させるＩＤＴ電極と、前記主要弾性波の伝搬方向に沿って前記ＩＤＴ電極の両側に配置された第１及び第２の反射器電極と、前記ＩＤＴ電極と、前記第１及び第２の反射器電極とを覆うように形成された第１の誘電膜とを備え、前記第１及び第２の反射器電極の少なくとも一方の反射器電極の遮断周波数帯域の最大周波数を前記主要弾性波の反共振周波数よりも低くしたことを特徴とする。

上記構成の弾性波共振器を用いることにより、ラダー型の弾性波フィルタにおいて、最も反共振周波数の低い直列腕共振器における第１及び第２の反射器電極の遮断周波数帯域の最大周波数で発生するスプリアスにより生成される減衰極を主要弾性波の反共振周波数より低い周波数に発生させることができ、それにより、弾性波フィルタの高周波側遷移周波数帯における通過特性の急峻性を向上させることができる。また、遮断周波数帯域の最大周波数よりも低い周波数においては、従来の弾性波共振器の電気特性から劣化しないため、通過帯域内の挿入損失増加を防ぐことができる。

（ａ）本発明の実施の形態１の弾性波共振器の上面図、（ｂ）同弾性波共振器の断面図同弾性波共振器の電極ピッチの分布図比較例の弾性波共振器の特性図本発明の実施の形態１における弾性波共振器の特性図同弾性波共振器のアドミタンス特性図本発明の実施の形態２の弾性波フィルタの回路図（ａ）、（ｂ）同弾性波フィルタの通過・アドミタンス特性図本発明の実施の形態２のアンテナ共用器の回路図（ａ）本発明の実施の形態３の弾性波共振器の上面図、（ｂ）同弾性波共振器の断面図同弾性波共振器の反射器電極の反射特性図（ａ）従来の弾性波フィルタの回路図、（ｂ）同弾性波共振器の上面図、（ｃ）同弾性波共振器の断面図

（実施の形態１）
以下、本発明の実施の形態１の弾性波共振器１について図を用いて説明する。

図１（ａ）は、弾性波共振器１の上面模式図であり、図１（ｂ）は図１（ａ）におけるＡＡ′断面における断面模式図である。図１（ａ）、（ｂ）において、弾性波共振器１は、圧電基板２上に、主要弾性波を励振させるＩＤＴ電極３と、前記主要弾性波の伝搬方向に沿ってＩＤＴ電極３の両側に配置された第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂと、ＩＤＴ電極３と第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂとを覆うように形成された第１の誘電膜５とを備える。

圧電基板２は、１２８±３°ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）の単結晶基板であり、レイリー波を主要波とする。

ＩＤＴ電極３は、膜厚０．０１λ〜０．２λ程度の櫛形電極が交差するように形成された金属電極であり、ＩＤＴ電極３の電極指本数は１２０本、第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの電極指本数はそれぞれ３０本である。なお、波長λは図１（ａ）におけるＩＤＴ電極３の隣り合う櫛形電極の中心間距離である電極ピッチの２倍である。

ＩＤＴ電極３および第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの電極材料はモリブデン、その膜厚は０．０５λである。ＩＤＴ電極３および第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの電極材料は、アルミニウム、銅、銀、金、チタン、タングステン、白金、クロム、若しくはモリブデンからなる単体金属、又は、これらを主成分とする合金、又は、それらの金属が積層された構成であってもよい。

第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂは、ＩＤＴ電極３と同じ金属、或いは、それよりも高密度な金属からなる単体金属、又は、これらを主成分とする合金、又は、それらの金属が積層された構成とすることが好ましい。

第１の誘電膜５の組成は酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）であり、その膜厚は０．２８λであるが、圧電基板２とは逆の温度特性を有する媒質であることが望ましい。

図２は、弾性波共振器１の各位置における電極ピッチの分布図である。図２において、実線は本発明の実施の形態１の弾性波共振器１の電極ピッチ、破線は比較例として示す従来の弾性波共振器の電極ピッチである。

弾性波共振器１において、ＩＤＴ電極３の電極ピッチは中央部が２．２μｍで等ピッチであり、反射器電極４ａ、４ｂに近い端部において２．２μｍから２．１５μｍまで徐々に反射器電極側に向かって電極ピッチが小さくなるように設定されている。反射器電極４ａ、４ｂは、電極ピッチが２．３μｍで等ピッチとなっている。ＩＤＴ電極３の等ピッチ部のピッチに対する反射器電極４ａ、４ｂの電極ピッチの比は１．０４５である。

比較例として示す従来の弾性波共振器は、図１（ａ）、（ｂ）に示す本発明の実施の形態１の弾性波共振器１と同様の構成を有するが、図２に示すように本発明の実施の形態１の弾性波共振器１とは電極ピッチのみが異なる。以下、比較例の弾性波共振器の構成部品は、対応する本発明の実施の形態１の弾性波共振器１の構成部品と同じ番号を付して説明する。

比較例の弾性波共振器は、ＩＤＴ電極３の電極ピッチは中央部が２．２μｍで等ピッチであり、反射器電極４ａ、４ｂに近い端部において２．２μｍから２．１７５μｍまで徐々に反射器電極側に向かって電極ピッチが小さくなるように設定されている。反射器電極４ａ、４ｂは、電極ピッチが２．２２μｍで等ピッチとなっている。ＩＤＴ電極３の等ピッチ部のピッチに対する反射器電極４ａ、４ｂの電極ピッチの比は１．０１である。

次に、弾性波共振器１と比較例の弾性波共振器の特性を図３、図４を用いて説明する。図３は比較例の弾性波共振器の特性図、図４は、本発明の実施の形態１の弾性波共振器１の特性図である。図３、図４において、左の縦軸は弾性波共振器のアドミタンス特性（ｄＢ）を示し、右の縦軸は、弾性波共振器の反射器電極の反射特性（ｄＢ）を示し、横軸は周波数（ＭＨｚ）を示す。図３において、Ｅ１は比較例の弾性波共振器のアドミタンス特性、Ｅ２は比較例の弾性波共振器の反射器電極の反射特性である。図４において、Ｆ１は本発明の実施の形態１の弾性波共振器１のアドミタンス特性、Ｆ２は本発明の実施の形態１の弾性波共振器１の反射器電極の反射特性である。

図３に示すように、比較例の弾性波共振器は、共振周波数と反共振周波数が第１及び第２の反射器電極の遮断周波数内に位置するように設定されており、第１及び第２の反射器電極の遮断周波数の最大値が、主要弾性波の反共振周波数よりも高い位置にあり、第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの電極ピッチとＩＤＴ電極３の定ピッチ領域における電極ピッチの比が小さい。これに対し、図４に示す本発明の実施の形態１の弾性波共振器１は、第１及び第２の反射器電極の遮断周波数の最大値を主要弾性波の反共振周波数よりも低い位置に配置し、主要弾性波の反共振周波数が第１及び第２の反射器電極の遮断周波数外に位置するように設計したもので、第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの電極ピッチは大きい。

図５は、比較例と本発明の実施の形態１における弾性波共振器の共振特性を比較したものであり、縦軸が弾性波共振器のアドミタンス特性（ｄＢ）を示し、横軸は周波数（ＭＨｚ）を示し、実線が本発明の実施の形態１における弾性波共振器１のアドミタンス特性Ｆ１、破線が比較例の弾性波共振器のアドミタンス特性Ｅ１である。

図５に示すように、第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの電極ピッチを広くした実施の形態１における弾性波共振器１では、遮断周波数の最大値よりやや高い周波数で発生するスプリアスにより、比較例の弾性波共振器における反共振周波数よりも低い周波数に減衰極を生成することができる。また、実施の形態１における弾性波共振器１の反射器電極の遮断周波数の最大値よりも低い共振周波数付近では、実施の形態１における弾性波共振器１は、従来の弾性波共振器１から比べ特性劣化がみられない。したがって、弾性波フィルタの直列共振器として実施の形態１における弾性波共振器１を用いる場合、フィルタの通過帯域の最大周波数に比べ、実施の形態１における弾性波共振器１の反射器電極の遮断周波数の最大周波数を一致させるか、またはより高くすることでフィルタの通過帯域損失を損なうことなく急峻なスロープ特性を得ることができる。

以上のように構成した弾性波共振器１は、反射器電極４ａ、４ｂの遮断周波数帯域の最大周波数が、弾性波共振器１の反共振周波数よりも低くなるように反射器電極４ａ、４ｂの電極周期を設定したことにより、反共振周波数以外に高インピーダンスの極を作ることができ、アドミタンス特性において低インピーダンスの極と高インピーダンスの極の周波数の差を小さくすることができる。そして、この弾性波共振器１をフィルタ回路の中に用いることによって、スロープ特性が急峻で、且つ、挿入損失の小さいフィルタ特性が得られる。

（実施の形態２）
以下、本発明の実施の形態２の弾性波フィルタ１０について説明する。

図６は、本発明の実施の形態２のラダー型の弾性波フィルタ１０の回路図である。図６において、弾性波フィルタ１０は、入力端子２１と出力端子２２を結ぶように直列腕共振器１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄが接続されている。直列腕共振器１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄを結ぶ信号ラインと基準電位部３１とを結ぶように並列腕共振器１２ａ、１２ｂ、１２ｃが接続されている。直列腕共振器１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄの共振周波数と並列腕共振器１２ａ、１２ｂ、１２ｃの反共振周波数は略一致するように設定されバンドパスフィルタ特性を有する。直列腕共振器１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄは同じ共振周波数を有していても良いが、異なる共振周波数を有していても良い。弾性波フィルタ１０において直列腕共振器１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄの内、最も共振周波数の低いものは直列腕共振器１１ａである。

そして弾性波フィルタ１０における最も共振周波数の低い直列腕共振器１１ａは、本発明の実施の形態１の弾性波共振器１と同様に、反射器電極の遮断周波数帯域の最大周波数が、直列腕共振器１１ａの反共振周波数よりも低くなるように反射器電極の電極周期を設定したものである。

ここで、直列腕共振器１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄおよび並列腕共振器１２ａ、１２ｂ、１２ｃは、図１に示す弾性波共振器１と類似の構成を有し、以下、対応する構成部品については図１に示す弾性波共振器１と同じ番号を付して説明する。

また、比較例の弾性波フィルタとして、従来の設計に基づく弾性波フィルタを併せて説明する。比較例の弾性波フィルタは、図１に示す本発明の実施の形態１の弾性波共振器１と同様の構成を有し、比較例の弾性波フィルタにおける個々の弾性波共振器は図１（ａ）、（ｂ）に示す弾性波共振器１と同様の構成を有するため、対応する構成部品は同じ番号を付して説明するが、従来の設計に基づく電極ピッチである点が本発明の実施の形態２の弾性波フィルタと異なる。

本発明の実施の形態２の弾性波フィルタ１０および比較例の弾性波フィルタはいずれも、圧電基板２は１２８±３°ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）であり、ＩＤＴ電極３と第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの電極材料はモリブデンであって、その膜厚は０．０５λであり、ＩＤＴ電極３の電極指本数は１２０本、第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの電極指本数はそれぞれ３０本であり、第１の誘電膜５は、酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）であって、その膜厚は０．２８λである。本発明の実施の形態２および比較例の弾性波フィルタはいずれも、直列腕共振器１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄの共振周波数が入力端子側の共振器から順に８３２．１９ＭＨｚ、８３２．５９ＭＨｚ、８４１．４４ＭＨｚ、８３２．５０ＭＨｚであり、並列腕共振器１２ａ、１２ｂ、１２ｃの反共振周波数が入力端子側の共振器から順に８３５．３３ＭＨｚ、８３７．９７ＭＨｚ、８３４．０６ＭＨｚである。

本発明の実施の形態２における弾性波フィルタ１０と比較例の弾性波フィルタで異なる点は、直列腕共振器の内、最も共振周波数の低い直列腕共振器１１ａの電極ピッチである。本発明の実施の形態２の弾性波フィルタ１０において、直列腕共振器の中で最も共振周波数の低い直列腕共振器１１ａは、ＩＤＴ電極３の等ピッチ部の電極ピッチに対する反射器電極４ａ、４ｂの電極ピッチの比を１．０４５としたものであり、これによって、反射器電極４ａ、４ｂの遮断周波数帯域の最大周波数を、直列腕共振器１１ａの反共振周波数よりも低くしたものである。これに対して、比較例の弾性波フィルタにおいて、直列腕共振器の中で最も共振周波数の低い直列腕共振器１１ａは、ＩＤＴ電極３の等ピッチ部の電極ピッチに対する反射器電極４ａ、４ｂの電極ピッチの比は１．０１であり、比較例の弾性波フィルタの直列腕共振器１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄは、いずれも、反射器電極４ａ、４ｂの遮断周波数帯域の最大周波数が、直列腕共振器１１ａの反共振周波数よりも高い。

次に、上記した本発明の実施の形態２の弾性波フィルタ１０の通過特性を図７（ａ）、（ｂ）に示す。図７（ａ）、（ｂ）において、本発明の実施の形態２の弾性波フィルタ１０の通過特性Ｇ１と直列腕共振器１１ａのアドミタンス特性Ｇ２を実線で示す。また、比較例の弾性波フィルタの通過特性Ｈ１を破線で示す。各弾性波フィルタの通過特性Ｇ１、Ｈ１の中心周波数は８３２ＭＨｚである。図７（ａ）は７９０ＭＨｚ〜８９０ＭＨｚにおける通過特性を示し、図７（ｂ）は同通過特性の８３０ＭＨｚ〜８８０ＭＨｚにおける拡大図である。

図７（ａ）、（ｂ）に示すように、本発明の実施の形態２の弾性波フィルタ１０は、直列腕共振器のうち最も周波数の低い直列腕共振器１１ａの第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの電極ピッチを広げ、遮断周波数の最大値よりも少し高い周波数で発生するスプリアスを反共振周波数よりも低い周波数にシフトさせることで、高周波側遷移周波数帯における通過特性の急峻性が向上している。また、最も周波数の低い直列腕共振器１１ａの第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの遮断周波数の最大値よりも低い周波数に位置する通過帯域内においては、比較例の弾性波フィルタに比べ特性劣化がみられない。すなわち、スロープ特性が急峻で、且つ、挿入損失の小さい弾性波フィルタを得られる。

なお、従来多用されてきた、回転ＹカットＸ伝搬のタンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ₃）基板や回転ＹカットＸ伝搬のニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）基板上を伝搬するＳＨ（Ｓｈｅａｒ−Ｈｏｒｉｚｏｎｔａｌ）タイプＳＡＷを主要波として用いる場合、第１及び第２の反射器電極の遮断周波数帯域の最大周波数よりも、基板中を伝搬する横波の周波数の方が低いため、第１及び第２の反射器電極の遮断周波数帯域の最大周波数を、主要弾性波の反共振周波数よりも低くなるように設定した場合、主要弾性波が基板中を伝搬する横波と結合し、バルク散乱が生じることにより共振周波数近傍の周波数において特性が劣化するため、フィルタの通過帯域損失を損なうことなく急峻なスロープ特性を得るという本発明と同等の効果は得られない。

次に、本発明の実施の形態２の弾性波フィルタ１０を送信フィルタとして用いたアンテナ共用器２００の回路図を図８に示す。アンテナ共用器２００は、送信端子２１と受信端子２４とアンテナ端子２３を有し、弾性波フィルタ１０の出力端子２２を受信フィルタ４０と接続し、アンテナ端子２３に対して弾性波フィルタ１０と受信フィルタ４０を並列接続したものである。このアンテナ共用器２００において、送信端子２１に最も近い直列腕共振器１１ａの共振周波数を直列腕共振器１１ａ〜１１ｄの中で最も周波数を低くし、かつ直列腕共振器１１ａの反射器電極の遮断周波数の最大周波数を直列腕共振器１１ａの反共振周波数より低く設定することが望ましい。このような構成にすることでスロープ特性が急峻で、且つ、挿入損失の小さい送信フィルタ特性を得られ、かつ受信フィルタの挿入損失の良好なアンテナ共用器が得られる。

（実施の形態３）
以下、本発明の実施の形態３の弾性波共振器７について図９（ａ）、（ｂ）を用いて説明する。図９（ａ）は、本発明の実施の形態３の弾性波共振器７を模式的に示す上面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）のＢＢ´断面における断面図である。本発明の実施の形態３の弾性波共振器７において、図１（ａ）、（ｂ）で示した実施の形態１における弾性波共振器１と同様の構成要素については同一番号を付しており、その説明は省略する。

本発明の実施の形態３の弾性波共振器７が、実施の形態１の弾性波共振器１と異なる点は、図９（ａ）、（ｂ）に示すように、第１の誘電膜５の上であって、第１及び第２の反射器電極４ａ、４ｂの上方のみに第２の誘電膜６を形成した点である。

この第２の誘電膜６の組成は酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）であり、その膜厚は０．１２λである。第２の誘電膜６の組成として他には、例えば、酸化タンタル（Ｔａ₂Ｏ₅）、酸化テルル（ＴｅＯ₂）又は酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）等を使用しても良いが、第２の誘電膜６中を伝搬する横波の音速が圧電基板２の表面を伝搬する主要弾性波の音速よりも遅い媒質であれば良い。第２の誘電膜６を成膜することにより、第１及び第２の反射器電極の遮断周波数帯をさらに低周波側にシフトさせることができ、この弾性波共振器７をラダー型の弾性波フィルタの直列腕共振器として用いることにより、実施の形態１の弾性波共振器１よりもさらに急峻性を高めることができる。

次に、弾性波共振器１、７の反射器電極の反射特性を図１０に示す。図１０において、実線は実施の形態３における弾性波共振器７の第１と第２の反射器電極の反射特性、破線は実施の形態１における弾性波共振器１の第１と第２の反射器電極の反射特性、縦軸は第１及び第２の反射器電極の反射特性（ｄＢ）、横軸は周波数（ＭＨｚ）を示す。

図１０に示すように、実施の形態３における弾性波共振器７の第１及び第２の反射器電極は、第２の誘電膜６による音速低下効果により、その遮断周波数帯が低周波側にシフトする。この弾性波共振器７を用いることにより、実施の形態１において説明した弾性波共振器１よりもさらに急峻性の高い弾性波フィルタを実現することができる。また、第２の誘電膜６として酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）を用いることで、温度特性を実施の形態１における弾性波共振器１から更に改善させることができる。

本発明にかかる弾性波共振器、弾性波フィルタおよびアンテナ共用器は、フィルタ特性の急峻性を向上させる効果を有し、携帯電話等の電子機器に適用可能である。

１、７弾性波共振器
２圧電基板
３ＩＤＴ電極
４ａ、４ｂ反射器電極
５第１の誘電膜
６第２の誘電膜
１０弾性波フィルタ
１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１１ｄ直列腕共振器
１２ａ、１２ｂ、１２ｃ並列腕共振器
２００アンテナ共用器

Claims

圧電基板上において主要弾性波を励振させるＩＤＴ電極と、
前記主要弾性波の伝搬方向に沿って前記ＩＤＴ電極の両側に配置された第１及び第２の反射器電極と、
前記ＩＤＴ電極と前記第１及び第２の反射器電極とを覆うように形成された第１の誘電膜と、
前記第１の誘電膜の上であって前記第１及び第２の反射器電極の上方のみに前記第１の誘電膜と異なる組成にした第２の誘電膜とを備え、
前記第２の誘電膜は、酸化タンタル又は酸化テルルを含み、
前記第１及び第２の反射器電極の少なくとも一方の反射器電極の遮断周波数帯域の最大周波数を前記主要弾性波の反共振周波数よりも低くしたことを特徴とする弾性波共振器。
前記少なくとも一方の反射器電極の電極ピッチを前記ＩＤＴ電極の電極ピッチよりも大きくした請求項１に記載の弾性波共振器。
前記圧電基板は、１２５°〜１３１°ＹカットＸ伝搬ニオブ酸リチウム系の圧電基板である請求項１に記載の弾性波共振器。
前記第１及び第２の反射器電極の少なくとも一方の電極ピッチが、
前記ＩＤＴ電極の電極ピッチの１．０４５倍以上１．０７倍以下であることを特徴とする請求項１に記載の弾性波共振器。
前記第１の誘電膜が酸化ケイ素を含む請求項１に記載の弾性波共振器。
前記第１の誘電膜の膜厚が０．２８λである請求項５に記載の弾性波共振器。
前記第２の誘電膜の膜厚が０．１２λである請求項６に記載の弾性波共振器。
圧電基板上において弾性波共振器からなる直列腕共振器と弾性波共振器からなる並列腕共振器とを有するラダー型の弾性波フィルタにおいて、
前記直列腕共振器の少なくとも１つが請求項１に記載の弾性波共振器である弾性波フィルタ。
圧電基板上において弾性波共振器を含む直列腕共振器と弾性波共振器を含む並列腕共振器とを有するラダー型の弾性波フィルタにおいて、
前記直列腕共振器の中で最も共振周波数の低い直列腕共振器が請求項１に記載の弾性波共振器である弾性波フィルタ。
請求項８または９記載の弾性波フィルタを送信フィルタとして有するアンテナ共用器。
前記ＩＤＴ電極の電極ピッチは、前記第１及び第２の反射器電極の少なくとも一方に近い端部において徐々に前記少なくとも一方の反射器電極に向かって小さくなる請求項２に記載の弾性波共振器。
前記ＩＤＴ電極の電極ピッチは、前記第１及び第２の反射器電極間の中央部において一定である請求項２に記載の弾性波共振器。
前記第１及び第２の反射器電極の少なくとも一方の電極ピッチは一定である請求項２に記載の弾性波共振器。
前記第２の誘電膜中を伝播する横波の音速が前記圧電基板の表面を伝播する前記主要弾性波の音速よりも遅い請求項１に記載の弾性波共振器。