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JP5687921B2 - Piezoelectric actuator - Google Patents

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Description

本発明は、圧電アクチュエータの改良に関する。   The present invention relates to an improvement of a piezoelectric actuator.

電圧の印加により変位する圧電素子を備えた圧電アクチュエータとしては、たとえば、中空のコイルばねと、コイルばねの表面を圧電素子で巻回したものがある(たとえば、特許文献1参照)。   As a piezoelectric actuator provided with a piezoelectric element that is displaced by application of a voltage, for example, there are a hollow coil spring and a coil spring whose surface is wound with a piezoelectric element (see, for example, Patent Document 1).

この圧電アクチュエータによれば、特に、特開平05−75173号公報に開示されているような変位拡大機構を用いずに、大きな変位を得られる。   According to this piezoelectric actuator, in particular, a large displacement can be obtained without using a displacement enlarging mechanism as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 05-75173.

特開平06−216424号公報(実施例欄)Japanese Patent Laid-Open No. 06-216424 (Example column)

しかしながら、上記した圧電アクチュエータは、上述したように、コイルばねの表面全部に圧電素子を巻き付ける必要があるので、圧電アクチュエータの変位量の変更や調整が難しく、変位量に対する要求にフレキシブルに対応することができず、量産性に乏しく、製造コストも高いという問題がある。   However, as described above, since the piezoelectric actuator described above needs to wrap the piezoelectric element around the entire surface of the coil spring, it is difficult to change or adjust the displacement amount of the piezoelectric actuator, and to flexibly meet the demand for the displacement amount. However, there is a problem that the mass production is poor and the manufacturing cost is high.

そこで、上記不具合を改善するために創案されたものであって、その目的とするところは、変位量の変更や調整が簡単であって、量産性を向上でき、製造コストを低減することが可能な圧電アクチュエータを提供することである。   Therefore, it was created to improve the above-mentioned problems, and its purpose is to easily change or adjust the amount of displacement, improve mass productivity, and reduce manufacturing costs. A piezoelectric actuator is provided.

上記した目的を達成するため、本発明の課題解決手段は、電圧印加により変形する圧電素子を備えた圧電アクチュエータにおいて、環状であって周方向に波打つように湾曲部を有するウェーブリングと、当該ウェーブリングの湾曲部にそれぞれ貼付された圧電素子とを備え、推力の出力方向を上記ウェーブリングの軸方向としたことを特徴とする。 In order to achieve the above-described object, the problem-solving means of the present invention is a piezoelectric actuator including a piezoelectric element that is deformed by applying a voltage, and includes a wave ring that is annular and has a curved portion so as to wave in the circumferential direction. and a piezoelectric element which is attached respectively to the curved portion of the ring, the output direction of the thrust, characterized in that the axial direction of the wave rings.

また、上記した目的を達成するため、本発明の他の課題解決手段は、電圧印加により変形する圧電素子を備えた圧電アクチュエータにおいて、環状であって周方向に波打つように所定数の湾曲部を有するウェーブリングを複数積層し、各ウェーブリングの湾曲部同士を凸側面を向けて接合してリングユニットを形成するとともに、当該各ウェーブリングの湾曲部にそれぞれ圧電素子を貼付け、推力の出力方向を上記ウェーブリングの軸方向としたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, another means for solving the problems of the present invention is to provide a piezoelectric actuator having a piezoelectric element that is deformed by applying a voltage, and having a predetermined number of curved portions that are annular and wave in the circumferential direction. A plurality of wave rings are laminated, and curved portions of each wave ring are joined with their convex sides facing each other to form a ring unit, and a piezoelectric element is attached to each curved portion of each wave ring, and the output direction of thrust is set. The axial direction of the wave ring is used.

また、上記した目的を達成するため、本発明の別の課題解決手段は、電圧印加により変形する圧電素子を備えた圧電アクチュエータにおいて、環状であって周方向に波打つように湾曲部を有するウェーブリングを複数積層し、ウェーブリング間にプレートを介装してリングユニットを形成するとともに、当該各ウェーブリングの湾曲部にそれぞれ圧電素子を貼付け、推力の出力方向を上記ウェーブリングの軸方向としたことを特徴とする。 In order to achieve the above-described object, another problem-solving means of the present invention is a piezoelectric actuator including a piezoelectric element that is deformed by application of a voltage. the plurality of stacked and interposed plate between the wave ring to form a ring unit, Paste piezoelectric elements respectively to the curved portions of the respective wave rings, the output direction of thrust to the axial direction of the wave ring It is characterized by.

本発明の圧電アクチュエータは、ウェーブリングの湾曲部に圧電素子を設けただけの簡単な構成であるから、量産性が向上し、製造コストも安価となる。   Since the piezoelectric actuator of the present invention has a simple configuration in which a piezoelectric element is simply provided on the curved portion of the wave ring, the mass productivity is improved and the manufacturing cost is reduced.

また、この圧電アクチュエータは、圧電素子へ電圧を印加することで、ウェーブリングの軸方向長さを変化させることで軸方向に変位するが、変位量を多くしたい場合には、圧電アクチュエータを複数積層させればよく、簡単に変位量を調節、変更することができる。   This piezoelectric actuator is displaced in the axial direction by changing the length of the wave ring in the axial direction by applying a voltage to the piezoelectric element. If you want to increase the amount of displacement, multiple piezoelectric actuators are stacked. The displacement amount can be easily adjusted and changed.

一実施の形態における圧電アクチュエータの側面図である。It is a side view of the piezoelectric actuator in one embodiment. 一実施の形態における圧電アクチュエータの斜視図である。It is a perspective view of the piezoelectric actuator in one embodiment. 他の実施の形態における圧電アクチュエータの側面図である。It is a side view of the piezoelectric actuator in other embodiment. 別の実施の形態における圧電アクチュエータの側面図である。It is a side view of the piezoelectric actuator in another embodiment.

以下、図に示した実施の形態に基づき、本発明を説明する。図1に示すように、一実施の形態における圧電アクチュエータは、環状であって周方向に波打つように湾曲部2,3を有するウェーブリング1と、当該ウェーブリング1の湾曲部2,3に設けた圧電素子4とを備えて構成されている。   The present invention will be described below based on the embodiments shown in the drawings. As shown in FIG. 1, the piezoelectric actuator according to one embodiment is provided in a wave ring 1 having an annular shape and curved portions 2 and 3 so as to wave in the circumferential direction, and the curved portions 2 and 3 of the wave ring 1. The piezoelectric element 4 is provided.

以下、各部について詳細に説明する。まず、ウェーブリング1は、図1および図2に示すように、弾性を備えるとともに環状であって、周方向に図2中上方へ凸となる湾曲部2と下方へ凸となる湾曲部3とが交互に現れるように形成されている。つまり、ウェーブリング1は、周方向に波打つように湾曲部2,3を備えている。   Hereinafter, each part will be described in detail. First, as shown in FIGS. 1 and 2, the wave ring 1 is elastic and is annular, and has a curved portion 2 that protrudes upward in FIG. 2 and a curved portion 3 that protrudes downward in the circumferential direction. Are formed alternately. That is, the wave ring 1 includes the curved portions 2 and 3 so as to wave in the circumferential direction.

上記湾曲部2,3の凹側面2a,3a、つまり湾曲部2の図1中下面と湾曲部3の図1中上面には、圧電素子4が設けられている。圧電素子4は、図外の電源からの電圧の印加によって伸縮する逆圧電効果を呈する圧電体であり、一端面と他端面にそれぞれ電極4a,4bを備えており、湾曲部2,3の凹側面2a,3aに貼付されている。より詳細には、この圧電素子4は、上記図外の電源から電極4a,4bを介して電圧を印加すると、ウェーブリング1の周方向あるいは貼付箇所における接線方向に沿うように伸縮するようにウェーブリング1に貼付してある。なお、圧電素子4は、この場合、接着によってウェーブリング1に貼付されているが、その他の方法によって圧電素子4をウェーブリング1に一体化してもよい。また、ウェーブリング1が導電体の場合には、当該ウェーブリング1を圧電素子4の電極として用いることもできる。 Piezoelectric elements 4 are provided on the concave side surfaces 2 a and 3 a of the bending portions 2 and 3, that is, on the lower surface in FIG. 1 of the bending portion 2 and the upper surface in FIG. The piezoelectric element 4 is a piezoelectric body that exhibits an inverse piezoelectric effect that expands and contracts when a voltage from a power source (not shown) is applied. The piezoelectric element 4 includes electrodes 4a and 4b on one end surface and the other end surface, respectively. It is affixed on the side surfaces 2a and 3a. More specifically, when a voltage is applied to the piezoelectric element 4 from the power source (not shown) via the electrodes 4a and 4b, the piezoelectric element 4 is waved so as to expand and contract along the circumferential direction of the wave ring 1 or the tangential direction at the pasting position. Affixed to ring 1. In this case, the piezoelectric element 4 is attached to the wave ring 1 by adhesion, but the piezoelectric element 4 may be integrated with the wave ring 1 by other methods. When the wave ring 1 is a conductor , the wave ring 1 can be used as an electrode of the piezoelectric element 4.

たとえば、圧電素子4を伸長させると、湾曲部2,3は、圧電素子4の伸長によって平坦となるように撓むので、圧電素子4へ電圧を全く印加していない状態のウェーブリング1に対してウェーブリング1の図1中上下方向長さとなる軸方向長さを短かくすることができる。反対に、圧電素子4を収縮させると、湾曲部2,3は、圧電素子4の収縮によってより湾曲を深めるように撓むので、圧電素子4へ電圧を全く印加していない状態のウェーブリング1に対してウェーブリング1の図1中上下方向長さとなる軸方向長さを長くすることができる。   For example, when the piezoelectric element 4 is extended, the bending portions 2 and 3 are bent so as to be flat due to the extension of the piezoelectric element 4, so that the wave ring 1 in a state where no voltage is applied to the piezoelectric element 4 is applied. Thus, the axial length of the wave ring 1 in the vertical direction in FIG. 1 can be shortened. On the contrary, when the piezoelectric element 4 is contracted, the bending portions 2 and 3 are bent to deepen the bending due to the contraction of the piezoelectric element 4, so that the wave ring 1 in a state where no voltage is applied to the piezoelectric element 4. On the other hand, the axial length of the wave ring 1 in the vertical direction in FIG. 1 can be increased.

つまり、このウェーブリング1と圧電素子4とでなる圧電アクチュエータの推力の出力方向は、ウェーブリング1の軸方向となる図1中上下方向となっている。なお、この実施の形態の場合、湾曲部2,3の凹側面2a,3aにのみ圧電素子4を設けたユニモルフ型とされているが、湾曲部2,3の凸側面2b,3bにも圧電素子を設けてバイモルフ型に設定されてもよい。   That is, the output direction of thrust of the piezoelectric actuator composed of the wave ring 1 and the piezoelectric element 4 is the vertical direction in FIG. In this embodiment, the piezoelectric element 4 is provided only on the concave side surfaces 2a and 3a of the curved portions 2 and 3, but the convex side surfaces 2b and 3b of the curved portions 2 and 3 are also piezoelectric. An element may be provided to set the bimorph type.

また、この圧電アクチュエータは、ウェーブリング1が外力によって、軸方向へ変位させられると、湾曲部2,3の撓み量が変化して圧電素子4も伸縮して発電するので、この電力を回収することも可能である。さらに、圧電素子4を図外の外部回路へ接続したり、圧電素子4に上記電源によって電圧を印加するようにしたりして、ウェーブリング1が外力によって軸方向変形する際に圧電素子4に当該変形を抑制する減衰力を発揮させることも可能である。   In addition, when the wave ring 1 is displaced in the axial direction by an external force, the piezoelectric actuator changes the amount of bending of the bending portions 2 and 3 and the piezoelectric element 4 expands and contracts to generate power. It is also possible. Further, the piezoelectric element 4 is connected to an external circuit (not shown), or a voltage is applied to the piezoelectric element 4 by the power source. When the wave ring 1 is deformed in the axial direction by an external force, the piezoelectric element 4 is It is also possible to exert a damping force that suppresses deformation.

以上のように、この圧電アクチュエータは、ウェーブリング1の湾曲部2,3に圧電素子4を設けただけの簡単な構成であるから、量産性が向上し、製造コストも安価となる。   As described above, since this piezoelectric actuator has a simple configuration in which the piezoelectric elements 4 are simply provided on the curved portions 2 and 3 of the wave ring 1, the mass productivity is improved and the manufacturing cost is reduced.

また、この圧電アクチュエータは、圧電素子4へ電圧を印加しウェーブリング1の軸方向長さを変化させることで軸方向に変位するが、変位量を多くしたい場合には、圧電アクチュエータを複数積層させればよく、簡単に変位量を調節、変更することができる。   This piezoelectric actuator is displaced in the axial direction by applying a voltage to the piezoelectric element 4 and changing the axial length of the wave ring 1, but in order to increase the amount of displacement, a plurality of piezoelectric actuators are laminated. The displacement amount can be easily adjusted and changed.

具体的には、図3に示すように、ウェーブリング1を複数積層し、ウェーブリング1間にプレート5を介装してリングユニットR1を形成して、一つの圧電アクチュエータを構成すればよい。プレート5の外形は円形状に限られるものではなく、また、プレート5は、環状であってもよいし孔の無い板でもよい。この場合、プレート5とウェーブリング1とが積層状態を保つことができる程度に径方向ずれを規制する必要があるが、双方の外周に対向して双方の径方向の相対ずれを規制する筒を設けたり、プレート5とウェーブリング1の積層高さ以上の長さを持ちプレート5とウェーブリング1との外周に対向して双方の径方向の相対ずれを規制する棒状等のガイドを設けたりして同様の規制を行ってもよい。また、プレート5が環状である場合、プレート5とウェーブリング1の径方向の相対ずれを内周側に挿入される筒やガイドを用いてこれらの内周側で規制するようにしてもよいし、内周側と外周側の双方で同様の規制を行ってもよい。この場合、圧電アクチュエータの変位量は、ウェーブリング1の積層数によって簡単に調節、変更することができる。   Specifically, as shown in FIG. 3, a plurality of wave rings 1 may be stacked, and a ring unit R <b> 1 may be formed by interposing a plate 5 between the wave rings 1 to constitute one piezoelectric actuator. The outer shape of the plate 5 is not limited to a circular shape, and the plate 5 may be a ring or a plate without a hole. In this case, it is necessary to regulate the radial deviation to such an extent that the plate 5 and the wave ring 1 can maintain the laminated state. However, a cylinder that opposes both outer circumferences and regulates the relative deviation in both radial directions is provided. Or a rod-shaped guide that has a length equal to or greater than the stacking height of the plate 5 and the wave ring 1 and that opposes the outer periphery of the plate 5 and the wave ring 1 and restricts the relative displacement in both radial directions. The same regulation may be performed. When the plate 5 is annular, the relative displacement in the radial direction between the plate 5 and the wave ring 1 may be regulated on the inner peripheral side by using a cylinder or a guide inserted on the inner peripheral side. The same regulation may be performed on both the inner peripheral side and the outer peripheral side. In this case, the displacement amount of the piezoelectric actuator can be easily adjusted and changed according to the number of wave rings 1 stacked.

さらに、図4に示すように、複数のウェーブリング1の湾曲部2,3同士を凸側面2b,3bを突き合わせて連結してリングユニットR2を形成して、一つの圧電アクチュエータを構成することもできる。   Furthermore, as shown in FIG. 4, the curved portions 2 and 3 of the plurality of wave rings 1 are connected to each other by abutting the convex side surfaces 2b and 3b to form a ring unit R2 to constitute one piezoelectric actuator. it can.

この場合、一のウェーブリング1の湾曲部2の凸側面2bをこのウェーブリング1の直上に積層された湾曲部3の凸側面3bとを突き合わせて溶接や接着によって、一のウェーブリング1と直上のウェーブリング1とが一体化され、また、一のウェーブリング1の湾曲部3の凸側面3bをこのウェーブリング1の直下に積層された湾曲部2の凸側面2bとを突き合わせて溶接や接着によって、一のウェーブリング1と直下のウェーブリング1とが一体化される。この場合は、各ウェーブリング1がばらばらにならないように一体化されているので、径方向への位置決めすることを要しない。そして、この圧電アクチュエータにあっても、圧電アクチュエータの変位量は、ウェーブリング1の積層数によって簡単に調節、変更することができる。   In this case, the convex side surface 2b of the curved portion 2 of one wave ring 1 is brought into contact with the convex side surface 3b of the curved portion 3 laminated immediately above the wave ring 1, and is directly above the one wave ring 1 by welding or bonding. The wave ring 1 is integrated, and the convex side surface 3b of the curved part 3 of one wave ring 1 is brought into contact with the convex side surface 2b of the curved part 2 laminated immediately below the wave ring 1 for welding or bonding. Thus, the one wave ring 1 and the wave ring 1 immediately below are integrated. In this case, since each wave ring 1 is integrated so as not to be separated, positioning in the radial direction is not required. Even in this piezoelectric actuator, the displacement amount of the piezoelectric actuator can be easily adjusted and changed by the number of wave rings 1 stacked.

そして、このように構成された、圧電アクチュエータを車両の車体と車軸との間に介装することで、ウェーブリング1が弾性を備えているので懸架ばねとして利用することができる一方で、圧電素子4への印加電圧を制御してやることで、アクチュエータとして機能させて車体振動を抑制するダンパとして利用することもできる。また、積極的に伸縮することができるので、アクティブサスペンションとして機能することもでき、さらに、懸架ばねとして油圧ダンパや電磁力で減衰力を発揮する電磁ダンパに並列させて使用することもでき、特に、本発明のアクチュエータは外力で伸縮する場合には発電するから、当該発電した電力を電磁ダンパへ供給することができ電磁ダンパと組み合わせての使用に適し、さらには、発電電力で車両のバッテリを充電することもできる。   And by interposing the piezoelectric actuator thus configured between the vehicle body and the axle of the vehicle, the wave ring 1 is elastic and can be used as a suspension spring. By controlling the voltage applied to 4, it can also be used as a damper that functions as an actuator and suppresses body vibration. In addition, since it can be actively expanded and contracted, it can function as an active suspension, and can also be used in parallel with a hydraulic damper or an electromagnetic damper that exhibits a damping force by an electromagnetic force as a suspension spring. Since the actuator of the present invention generates power when it expands and contracts by external force, it can supply the generated power to the electromagnetic damper and is suitable for use in combination with the electromagnetic damper. It can also be charged.

以上で、本発明の実施の形態についての説明を終えるが、本発明の範囲は図示されまたは説明された詳細そのものには限定されないことは勿論である。   This is the end of the description of the embodiment of the present invention, but the scope of the present invention is of course not limited to the details shown or described.

本発明は、圧電アクチュエータに利用することができる。   The present invention can be used for a piezoelectric actuator.

1 ウェーブリング
2,3 湾曲部
2a,3a 湾曲部の凹側面
2b,3b 湾曲部の凸側面
4 圧電素子
5 プレート
R1,R2 リングユニット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Wave ring 2, 3 Curved part 2a, 3a Concave side 2b of curved part 2b, Convex side 4 of curved part 4 Piezoelectric element 5 Plate R1, R2 Ring unit

Claims (4)

電圧印加により変形する圧電素子を備えた圧電アクチュエータにおいて、環状であって周方向に波打つように湾曲部を有するウェーブリングと、当該ウェーブリングの湾曲部にそれぞれ貼付された圧電素子とを備え、推力の出力方向を上記ウェーブリングの軸方向としたことを特徴とする圧電アクチュエータ。 A piezoelectric actuator having a piezoelectric element that is deformed by application of a voltage, comprising: a wave ring that is annular and has a curved portion so as to wave in the circumferential direction; and a piezoelectric element that is attached to the curved portion of the wave ring. the piezoelectric actuator, characterized in that the output direction is the axial direction of the wave rings. 電圧印加により変形する圧電素子を備えた圧電アクチュエータにおいて、環状であって周方向に波打つように所定数の湾曲部を有するウェーブリングを複数積層し、各ウェーブリングの湾曲部同士を凸側面を向けて接合してリングユニットを形成するとともに、当該各ウェーブリングの湾曲部にそれぞれ圧電素子を貼付け、推力の出力方向を上記ウェーブリングの軸方向としたことを特徴とする圧電アクチュエータ。 In a piezoelectric actuator equipped with a piezoelectric element that deforms when a voltage is applied, a plurality of wave rings having a predetermined number of curved parts are laminated so as to undulate in the circumferential direction, and the curved parts of each wave ring face each other with convex side surfaces the piezoelectric actuator so as to form a ring unit by bonding, characterized in that Paste piezoelectric elements respectively to the curved portions of the respective wave rings, the output direction of thrust to the axial direction of the wave ring Te. 電圧印加により変形する圧電素子を備えた圧電アクチュエータにおいて、環状であって周方向に波打つように湾曲部を有するウェーブリングを複数積層し、ウェーブリング間にプレートを介装してリングユニットを形成するとともに、当該各ウェーブリングの湾曲部にそれぞれ圧電素子を貼付け、推力の出力方向を上記ウェーブリングの軸方向としたことを特徴とする圧電アクチュエータ。 In a piezoelectric actuator having a piezoelectric element that is deformed by applying a voltage, a plurality of wave rings having a curved portion are laminated so as to undulate in the circumferential direction, and a ring unit is formed by interposing a plate between the wave rings. together with the piezoelectric actuator Paste piezoelectric elements respectively to the curved portions of the respective wave rings, the output direction of the thrust, characterized in that the axial direction of the wave rings. 上記圧電素子は、上記湾曲部の凹側面に貼付されていることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか一項に記載の圧電アクチュエータ。The piezoelectric actuator according to any one of claims 1 to 3, wherein the piezoelectric element is attached to a concave side surface of the curved portion.
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