JP5606838B2 - 切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態確認方法 - Google Patents

Description

本発明は、半導体ウエーハ等の被加工物を切削する切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態確認方法に関する。

半導体デバイス製造工程においては、略円板形状である半導体ウエーハの表面に格子状に配列されたストリートと呼ばれる分割予定ラインによって複数の領域が区画され、この区画された領域にＩＣ、ＬＳＩ等のデバイスを形成する。そして、半導体ウエーハをストリートに沿って切断することによりデバイスが形成された領域を分割して個々の半導体デバイスを製造している。

上述した半導体ウエーハのストリートに沿った切断は、通常、ダイサーと呼ばれる切削装置によって行われている。この切削装置は、ウエーハ等の被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削するための切削ブレードを備えた切削手段と、チャックテーブルを切削送り方向(X軸方向)に切削送りする切削送り手段と、切削手段をX軸方向と直交する割り出し送り方向(Y軸方向)に割り出し送りする割り出し送り手段と、切削手段をチャックテーブルの保持面に対して垂直な方向(Ｚ軸方向)に切り込み送りする切り込み送り手段を具備している。上記切削手段は、切削ブレードを装着する回転スピンドルおよび回転スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングを具備し、このスピンドルハウジングがY軸方向に平行に配設されるとともにチャックテーブルの保持面に対して垂直なＺ軸方向に直交して配設される。（例えば、特許文献１参照。）

特開２００６−２０２８９０号公報

而して、切削ブレードを装着する回転スピンドルがY軸方向に対して傾いて配設されていたり、Z軸方向と直交する方向に対して傾斜して配設されていると、切削ブレードによる切削幅が増大する。ウエーハの表面に形成されるストリートの幅は略５０μmと狭く、切れ刃の厚みが略３０μmの切削ブレードを装着した回転スピンドルがY軸方向に対して傾いて配設されていると、ウエーハの表面に形成されるストリートの幅を超えて切削され、デバイスを損傷させるという問題がある。

本発明は上記事実に鑑みてなされたものであり、その主たる技術的課題は、切削ブレードを装着する回転スピンドルがY軸方向に対して平行に配設されているか、また回転スピンドルがZ軸方向と直交する方向に配設されているかを確認するための切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態確認方法を提供することにある。

上記主たる技術課題を解決するため、本発明によれば、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向に切削送りする切削送り手段と、該切削手段を切削送り方向と直交する割り出し送り方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向に切り込み送りする切り込み送り手段とを具備し、
該切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され先端部中心に雌ネジ穴を備えた回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端部に装着され該切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、該ブレードマウントを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された切削装置における回転スピンドルの取り付け状態確認治具であって、
該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている、
ことを特徴とする切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具が提供される。

被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向（X軸方向）に切削送りする切削送り手段と、該切削手段をX軸方向と直交する割り出し送り方向（Y軸方向）に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向（Z軸方向）に切り込み送りする切り込み送り手段とを具備し、
該切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され先端部中心に雌ネジ穴を備えた回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端部に装着され該切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、該ブレードマウントを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された切削装置における回転スピンドルの取り付け状態確認方法であって、
該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている回転スピンドルの取り付け状態確認治具を構成する該回動部材の雄ネジを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合して装着する取り付け状態確認治具装着工程と、
被検出平面を有する被測定治具を、該チャックテーブルの保持面に該被検出平面を該回転スピンドル側に向けて載置する被測定治具載置工程と、
該取り付け状態確認治具を構成する該マイクロメーターの検出端子を該チャックテーブルの保持面に載置された該被測定治具の該被検出平面に接触させた状態で該チャックテーブルをX軸方向に移動して該マイクロメーターによる計測値の変動を確認し、該マイクロメーターによる計測値が変動する場合には該マイクロメーターによる計測値が一定になるように該チャックテーブルを回動して該被測定治具の該被検出平面がX軸方向と平行になるように調整する被測定治具調整工程と、
該被測定治具調整工程を実施した後に、該取り付け状態確認治具を構成する該マイクロメーターの検出端子を該被測定治具の該被検出平面の第１の点に接触させるとともに、該取り付け状態確認治具が装着された該回転スピンドルを１８０度回動して該マイクロメーターの検出端子を該被測定治具の該被検出平面の第２の点に接触させ、該マイクロメーターの該第１の点における第１の値と該第２の点における第２の値が同一であるか否かを確認し、該第１の値と該第２の値が同一である場合には該回転スピンドルはY軸方向に対して平行に配設されており、該第１の値と該第２の値が同一でない場合には該回転スピンドルはY軸方向に対して傾斜して配設されていると判定する回転スピンドルの取り付け状態判定工程、とを含む、
ことを特徴とする回転スピンドルの取り付け状態確認方法が提供される。

更に、本発明によれば、被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向（X軸方向）に切削送りする切削送り手段と、該切削手段をX軸方向と直交する割り出し送り方向（Y軸方向）に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向（Z軸方向）に切り込み送りする切り込み送り手段とを具備し、
該切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され先端部中心に雌ネジ穴を備えた回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端部に装着され該切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、該ブレードマウントを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された切削装置における回転スピンドルの取り付け状態確認方法であって、
該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている回転スピンドルの取り付け状態確認治具を構成する該回動部材の雄ネジを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合して装着する取り付け状態確認治具装着工程と、
底面と該底面から直角に立設する外周面を有する円柱治具を、該チャックテーブルの保持面に該底面を載置する円柱治具載置工程と、
該取り付け状態確認治具を構成する該マイクロメーターの検出端子を該チャックテーブルの保持面に載置された該円柱治具の外周面に接触させた状態で該チャックテーブルをX軸方向に移動し、該マイクロメーターの値の第１の最大値を確認する第１の確認工程と、
該第１の確認工程を実施した後に該取り付け状態確認治具が装着された該回転スピンドルを１８０度回動し、該チャックテーブルをX軸方向に移動して該マイクロメーターの値の第２の最大値を確認する第２の確認工程と、
該第１の確認工程と該第２の確認工程によって確認された第１の最大値と第２の最大値が同一であるか否かを確認し、該第１の最大値と該第２の最大値が同一である場合には該回転スピンドルはZ軸方向と直交して配設されており、該第１の最大値と該第２の最大値が同一でない場合には該回転スピンドルはZ軸方向と直交する方向に対して傾斜して配設されていると判定する回転スピンドルの取り付け状態判定工程、とを含む、
ことを特徴とする回転スピンドルの取り付け状態確認方法が提供される。

本発明による切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具は、回転スピンドルに形成された雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられているので、雄ネジを回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴に螺合することにより、回転スピンドルに容易に装着することができる。
そして、マイクロメーターの検出端子をチャックテーブルの上面である保持面に載置された被測定治具の被検出平面の第１の点に接触させるとともに、取り付け状態確認治具を回転スピンドルを中心として１８０度回動してマイクロメーターの検出端子を被測定治具の被検出平面の第２の点に接触させ、第１の点の第１の値と第２の点の第２の値が同一であるか否かを確認することにより、回転スピンドルがY軸方向に対して平行であるか否かを容易に判定することができる。
また、回転スピンドルに装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具を構成するマイクロメーターの検出端子をチャックテーブルの上面である保持面に載置された円柱治具の外周面に接触させてマイクロメーターの値の第１の最大値を確認するとともに、取り付け状態確認治具を回転スピンドルを中心として１８０度回動して円柱治具の外周面に接触させマイクロメーターの値の第２の最大値を確認することにより、第１の最大値と第２の最大値が同一であるか否かに基づいて回転スピンドルがZ軸方向と直交して配設されているか否かを容易に判定することができる。

本発明による切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具を用いて回転スピンドルの取り付け状態を確認する方法を実施する切削装置の斜視図。 図１に示す切削装置に装備される切削手段を構成するスピンドルユニットの要部を示す斜視図。 図２に示すスピンドルユニットの分解斜視図。 本発明による切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具の斜視図。 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における取り付け状態確認治具装着工程の説明図。 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における被測定治具載置工程の説明図。 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における被測定治具調整工程の説明図。 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における回転スピンドルの取り付け状態判定工程の説明図。 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における円柱治具載置工程の説明図。 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における第１の最大値確認工程の説明図。 本発明による回転スピンドルの取り付け状態確認方法における第２の最大値確認工程の説明図。

以下、本発明によって構成された切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具および取り付け状態調整方法の好適な実施形態について、添付図面を参照して、更に詳細に説明する。

図１には、本発明による切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態調整方法が実施される切削装置の斜視図が示されている。
図１に示された切削装置１は、基台２を具備している。この基台２上には、被加工物を保持し矢印Xで示す切削送り方向(X軸方向)に移動せしめるチャックテーブル機構３が配設されている。

図示の実施形態におけるチャックテーブル機構３は、基台２の上面に配設された一対の案内レール３１、３１を備えている。この一対の案内レール３１、３１は、図１において矢印Xで示す切削送り方向(X軸方向)に沿って互いに平行に延設されている。この一対の案内レール３１、３１上には、チャックテーブル支持基台３２が移動可能に配設されている。即ち、チャックテーブル支持基台３２には一対の被案内溝３２１、３２１が設けられており、この被案内溝３２１、３２１を一対の案内レール３１、３１に嵌合することにより、チャックテーブル支持基台３２は一対の案内レール３１、３１に沿って移動可能に構成される。

チャックテーブル支持基台３２上には円筒部材３３が配設され、この円筒部材３３の上端にチャックテーブル３４が回転可能に配設されている。このチャックテーブル３４は、チャックテーブル本体３４１と該チャックテーブル本体３４１の上面に配設された吸着チャック３４２とからなっており、チャックテーブル本体３４１が円筒部材３３に回転可能に支持されている。吸着チャック３４２は多孔質セラミッックスの如き適宜の多孔性材料から構成されており、図示しない吸引手段に接続されている。従って、図示しない吸引手段を作動すると、吸着チャック３４２の上面である保持面に負圧が作用し、吸着チャック３４２の上面に載置された被加工物を吸引保持する。また、チャックテーブル３４は、円筒部材３３内に配設されたパルスモータ（図示せず）によって適宜回動せしめられるようになっている。なお、円筒部材３３の上端部には、チャックテーブル３４を挿通する穴を有しチャックテーブル支持基台３２を覆うカバー部材３５が配設されている。

図１に基づいて説明を続けると、図示の実施形態におけるチャックテーブル機構３は、チャックテーブル３４を一対の案内レール３１、３１に沿って図１において矢印Xで示す切削送り方向(X軸方向)に移動させるための切削送り手段３６を備えている。切削送り手段３６は、一対の案内レール３１、３１の間に平行に配設された雄ネジロッド３６１と、雄ネジロッド３６１の一端部を回転可能に支持する軸受３６２と、雄ネジロッド３６１の他端に連結され該雄ネジロッド３６１を正転または逆転駆動するサーボモータ３６３とからなっている。このように構成された切削送り手段３６は、雄ネジロッド３６１が上記チャックテーブル支持基台３２に形成された雌ネジ３２２に螺合される。従って、切削送り手段３６は、それぞれサーボモータ３６３を駆動して雄ネジロッド３６１を正転または逆転駆動することにより、上記チャックテーブル支持基台３２に配設されたチャックテーブル３４を一対の案内レール３１、３１に沿ってX軸方向に移動することができる。

図示の実施形態における切削装置１は、上記一対の案内レール３１、３１を跨いでX軸方向と直交する矢印Yで示す割り出し送り方向(Y軸方向)に沿って配設された門型の支持フレーム４を備えている。この支持フレーム４は、一対の案内レール３１、３１に沿って移動可能に配設されたチャックテーブル３４の移動を許容する開口４０が設けられており、その前面４aには一対の案内レール４１、４１がY軸方向に沿って配設されている。このように構成された支持フレーム４の前面４aの上部に切削手段５が配設されている。切削手段５は、割り出し移動基台５１と切り込み移動基台５２およびスピンドルユニット６を具備している。割り出し移動基台５１は、後面５１bに上記支持フレーム４に設けられた一対の案内レール４１、４１と嵌合する被案内溝５１１、５１１が設けられており、この被案内溝５１１、５１１を一対の案内レール４１、４１に嵌合することにより一対の案内レール４１、４１に沿ってY軸方向に移動可能に構成される。なお、割り出し移動基台５１の前面５１aには、上記チャックテーブル３４の保持面に対して垂直な矢印Zで示す切り込み送り方向(Z軸方向)に沿って一対の案内レール５１２、５１２が設けられている。このように構成された割り出し移動基台５１は、割り出し送り手段５３によって一対の案内レール４１、４１に沿ってY軸方向に移動せしめられる。割り出し送り手段５３は、一対の案内レール４１、４１の間に平行に配設された雄ネジロッド５３１と、雄ネジロッド５３１の一端部を回転可能に支持する軸受５３２と、雄ネジロッド５３１の他端に連結され該雄ネジロッド５３１を正転または逆転駆動するパルスモータ５３３とからなっている。このように構成された割り出し送り手段５３は、雄ネジロッド５３１が割り出し移動基台５１の後面に突出して設けられた突出部に形成された雌ネジ（図示せず）に螺合される。従って、割り出し送り手段５３は、パルスモータ５３３を駆動して雄ネジロッド５３１を正転または逆転駆動することにより、割り出し移動基台５１上を一対の案内レール４１、４１に沿ってY軸方向に移動することができる。

上記切り込み移動基台５２は、後面５２bに上記割り出し移動基台５１の前面５１aに設けられた一対の案内レール５１２、５１２と嵌合する被案内溝５２１、５２１が設けられており、この被案内溝５２１、５２１を一対の案内レール５１２、５１２に嵌合することにより一対の案内レール５１２、５１２に沿ってZ軸方向に移動可能に構成される。このように構成された切り込み移動基台５２は、切り込み送り手段５４によって一対の案内レール５１２、５１２に沿ってZ軸方向に移動せしめられる。切り込み送り手段５４は、一対の案内レール５１２、５１２の間に平行に配設された雄ネジロッド５４１と、雄ネジロッド５４１の一端部を回転可能に支持する軸受（図示せず）と、雄ネジロッド５４１の他端に連結され該雄ネジロッド５４１を正転または逆転駆動するパルスモータ５４３とからなっている。このように構成された切り込み送り手段５４は、雄ネジロッド５４１が切り込み移動基台５２の後面に突出して設けられた突出部に形成された雌ネジ（図示せず）に螺合される。従って、切り込み送り手段５４は、それぞれパルスモータ５４３を駆動して雄ネジロッド５４１を正転または逆転駆動することにより、切り込み移動基台５２上を一対の案内レール５１２、５１２に沿ってZ軸方向に移動することができる。

上記切り込み移動基台５２の前面５２a（YZ平面）には、スピンドルユニット６を支持するためのスピンドルユニット支持部材５５が装着されている。このスピンドルユニット支持部材５５はL字状に形成され、取り付け部５５１と、該取り付け部５５１の下端から直角に水平に延びる支持部５５２とからなっている。このように構成されたスピンドルユニット支持部材５５は、取り付け部５５１が切り込み移動基台５２の前面５２a（YZ平面）に取り付けられる。取り付け部５５１は、Z軸方向に長い４個の長穴５５１aが設けられており、この４個の長穴５５１aをそれぞれ挿通して配設された締結ボルト５５３によって切り込み移動基台５２の前面５２aに取り付けられる。また、スピンドルユニット支持部材５５を構成する支持部５５２にはX軸方向に長い４個の長穴５５２aが設けられており、この４個の長穴５５２aをそれぞれ挿通して配設された締結ボルト５５４によって支持部５５２の下面（XY平面）にスピンドルユニット６のユニットハウジング６１を装着する。

上述したようにスピンドルユニット支持部材５５を構成する支持部５５２の下面（XY平面）に装着されたスピンドルユニット６について、図２および図３を参照して説明する。
図示の実施形態におけるスピンドルユニット６は、上記支持部５５２の下面（XY平面）に装着されるスピンドルハウジング６１と、該スピンドルハウジング６１に回転自在に支持された回転スピンドル６２と、該回転スピンドル６２の前端部に装着されるブレードマウント６３と、該ブレードマウント６３を回転スピンドル６２の前端部に取り付ける締結ボルト６４と、ブレードマウント６３に装着される切削ブレード６５と、該切削ブレード６５をブレードマウント６３との間に挟持固定する挟持ナット６６とによって構成されている。なお、回転スピンドル６２は、サーボモータ６７（図１参照）によって回転駆動されるように構成されている。

上記回転スピンドル６２の前端面には雌ネジ穴４２１が形成されており、該雌ネジ穴４２１に締結ボルト６４を螺合することにより、ブレードマウント６３を回転スピンドル６２の前端に固定するようになっている。ブレードマウント６３は、円環状のフランジ部６３１と、該フランジ部６３１の中心部から側方に突出して形成され中心部に嵌合穴６３２aを備えた円柱状の装着部６３２とからなっている。このように形成されたブレードマウント６３は、円柱状の装着部６３２の嵌合穴６３２aを回転スピンドル６２の前端部に嵌合し、締結ボルト６４を嵌合穴６３２aに挿通して回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合することにより回転スピンドル６２の前端部に取り付けられる。なお、ブレードマウント６３を構成する装着部６３２の前端部外周面には、雄ネジ６３２bが形成されている。

上記切削ブレード６５は、円環状の基台６５１と、該円環状の基台６５１の外周部側面に装着された円環状の切れ刃６５２とからなっている。円環状の基台６５１は、中心部に上記ブレードマウント６３の装着部６３２に嵌合する嵌合穴６５１aが設けられており、外周側に切れ刃装着部６５１bが設けられている。この切れ刃装着部６５１bの側面に円環状の切れ刃６５２が切れ刃装着部６５１bの外周縁から突出して装着される。図示の実施形態においては円環状の基台６５１がアルミニウムによって形成されており、環状の切れ刃６５２は切れ刃装着部６５１bの側面に砥粒をニッケル等の金属メッキで結合した電鋳ブレードからなっている。

上述したように構成された切削ブレード６５は、円環状の基台６５１の嵌合穴６５１aを回転スピンドル６２に取付けられたブレードマウント６３の装着部６３２に嵌合し、装着部６３２に形成された雄ネジ６３２bに挟持ナット６６を螺合することによって挟持され固定される。

以上のように構成されたスピンドルユニット６は、切削ブレード６５を装着する回転スピンドル６２がX軸方向と直交するY軸方向に対して平行に配設されているとともに、回転スピンドル６２がチャックテーブル３４の上面である保持面に対して垂直なZ軸方向と直交して配設されていることが重要である。以下、切削ブレード６５を装着する回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行であるか否か、また回転スピンドル６２がZ軸方向と直交して配設されているか否かを容易に判定することができる回転スピンドルの取り付け状態確認治具について、図４を参照して説明する。

図４に示す回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０は、上記回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に装着される回動部材１１０と、該回動部材１１０に取り付けられたマイクロメーター１２０とからなっている。回動部材１１０は、図示の実施形態においては円柱状に形成され、その一端面に上記回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合する雄ネジ１１１が突出して設けられている。この回動部材１１０の外周には、径方向に突出するマイクロメーター取り付け部材１３０が設けられている。マイクロメーター１２０は、マイクロメーター取り付け部材１３０の先端に適宜の固定手段によって装着される。なお、マイクロメーター取り付け部材１３０の先端に装着されたマイクロメーター１２０は、検出端子１２１が回動部材１１０の雄ネジ１１１と反対側に向けて配設される。このようにして、マイクロメーター取り付け部材１３０に装着されたマイクロメーター１２０の検出端子１２１は、回動部材１１０の雄ネジ１１１の軸心から偏芯した位置に位置付けられる。

次に、上述した回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を用いて、上記スピンドルユニット６における切削ブレード６５を装着する回転スピンドル６２の取り付け状態を確認する方法について説明する。
先ず、回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行であるか否かを判定する方法について説明する。
回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行であるか否かを判定するには、先ず回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成する回動部材１１０の雄ネジ１１１を回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合して、図５に示すように回転スピンドル６２の先端に回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を装着する（取り付け状態確認治具装着工程）。このようにして、回転スピンドル６２の先端に装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０は、マイクロメーター１２０の検出端子１２１が回転スピンドル６２の軸心から偏芯した位置に位置付けられる。

次に、図６に示すようにチャックテーブル３４の上面である保持面に被測定治具１５を載置する。この被測定治具１５は、図示の実施形態においては四角柱体からなっており、その長さは上記マイクロメーター１２０の検出端子１２１が回転スピンドル６２を中心として１８０度旋回する範囲より長く設定されている。このように構成された被測定治具１５は、チャックテーブル３４の上面である保持面に長手方向がX軸方向に沿って載置される。従って、チャックテーブル３４の上面である保持面に載置された被測定治具１５は、被検出平面である一つの面１５１が回転スピンドル６２側に向けて位置付けられることになる（被測定治具載置工程）。

上述した被測定治具載置工程を実施したならば、上記割り出し送り手段５３を作動して切削手段５のスピンドルユニット６を前進させ、図７に示すように回転スピンドル６２の先端に装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成するマイクロメーター１２０の検出端子１２１をチャックテーブル３４の保持面に載置された被測定治具１５の被検出平面１５１に接触させる。次に、上記切削送り手段３６を作動してチャックテーブル３４を図７においてX1で示す方向に移動しつつマイクロメーター１２０による計測値の変動を確認する。そして、マイクロメーター１２０による計測値が変動する場合には、マイクロメーターによる計測値が一定になるようにチャックテーブル３４を回動して被測定治具１５の被検出平面１５１がX軸方向と平行になるように調整する（被測定治具調整工程）。

上述した被測定治具調整工程を実施したしたならば、図８において実線で示すように回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成するマイクロメーター１２０の検出端子１２１を被測定治具１５の被検出平面１５１の任意の第１の点に接触させるとともに、図８において２点鎖線で示すように回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を回転スピンドル６２を中心として１８０度回動してマイクロメーター１２０の検出端子１２１を被測定治具１５の被検出平面１５１の第２の点に接触させる。なお、回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０の回動は、回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０をもって回転スピンドル６２を回動することによって容易に実施することができる。そして、マイクロメーターによる計測値が第１の点（図８において実線で示す位置）における第１の値と第２の点（図８において２点鎖線で示す位置）における第２の値が同一であるか否かを確認し、第１の値と第２の値が同一である場合には回転スピンドル３４はY軸方向に対して平行に配設されており、第１の値と第２の値が同一でない場合には回転スピンドル６２はY軸方向に対して傾斜して配設されていると判定する（回転スピンドルの取り付け状態判定工程）。

上述した回転スピンドルの取り付け状態判定工程を実施した結果、上記第１の値と第２の値が同一でなく回転スピンドル６２がY軸方向に対して傾斜して配設されていると判定した場合には、上記スピンドルユニット支持部材５５を構成する支持部５５２の下面（XY平面）にスピンドルユニット６のユニットハウジング６１を装着している４個の締結ボルト５５４を弛め、スピンドルユニット６のユニットハウジング６１を支持部５５２に形成された４個の長穴５５２aに沿ってXY平面で微回動し、回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行となるように調整する（XY平面取り付け状態調整工程）。なお、XY平面取り付け状態調整工程と上記回転スピンドルの取り付け状態判定工程は、交互に実施して回転スピンドル６２をY軸方向に対して平行となるように位置付ける。

次に、回転スピンドル６２がチャックテーブル３４の上面である保持面に対して垂直なZ軸方向と直交して配設されているか否かを判定する方法について説明する。
回転スピンドル６２がZ軸方向と直交して配設されているか否かを判定する場合にも、先ず回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成する回動部材１１０の雄ネジ１１１を回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合して、図５に示すように回転スピンドル６２の先端に回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を装着する（取り付け状態確認治具装着工程）。

次に、図９に示すようにチャックテーブル３４の上面である保持面に円柱治具１６を載置する（円柱治具載置工程）。この円柱治具１６は円形の底面１６１と該底面１６１から直角に立設する外周面１６２を有する円柱体からなっており、その長さは上記マイクロメーター１２０の検出端子１２１が回転スピンドル６２を中心として１８０度旋回する範囲より長く設定されている。

上述した円柱治具載置工程を実施したならば、上記割り出し送り手段５３を作動して切削手段５のスピンドルユニット６を前進させ、図１０に示すように回転スピンドル６２の先端に装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成するマイクロメーター１２０の検出端子１２１をチャックテーブル３４の保持面に載置された円柱治具１６の外周面１６２に接触させる。次に、上記切削送り手段３６を作動してチャックテーブル３４を図１０において紙面垂直な方向に移動し、マイクロメーター１２０の値の第１の最大値を確認する（第１の最大値確認工程）。なお、マイクロメーター１２０の値の第１の最大値とは、円柱治具１６の外周面１６２に接触しているマイクロメーター１２０の検出端子１２１が接触した状態でチャックテーブル３４の保持面に載置された円柱治具１６が図１０において紙面垂直な方向に移動する際に、円柱治具１６の外周面１６２に接触している検出端子１２１が押されて後退する移動量が最大となるマイクロメーター１２０の値をいう。

上述した第１の最大値確認工程を実施したならば、図１１に示すように取り付け状態確認治具１５を回転スピンドル６２を中心として１８０度回動する。そして、上記切削送り手段３６を作動してチャックテーブル３４を図１１において紙面垂直な方向に移動し、マイクロメーター１２０の値の第２の最大値を確認する（第２の最大値確認工程）。なお、マイクロメーター１２０の値の第２の最大値とは、円柱治具１６の外周面１６２に接触しているマイクロメーター１２０の検出端子１２１が接触した状態でチャックテーブル３４の保持面に載置された円柱治具１６が図１０において紙面垂直な方向に移動する際に、円柱治具１６の外周面１６２に接触している検出端子１２１が押されて後退する移動量が最大となるマイクロメーター１２０の値をいう。

上記第１の最大値確認工程および第２の最大値確認工程を実施することにより上記第１の最大値と第２の最大値を確認したならば、第１の最大値と第２の最大値に基づいて回転スピンドル６２がZ軸方向と直交して配設されているか否かを判定する。即ち、上記第１の最大値と第２の最大値が同一である場合には回転スピンドル６２はZ軸方向と直交して配設されており、第１の最大値と第２の最大値が同一でない場合には回転スピンドル６２はZ軸方向と直交する方向に対して傾斜して配設されていると判定する（回転スピンドルの取り付け状態判定工程）。

上述した回転スピンドルの取り付け状態判定工程を実施した結果、上記第１の最大値と第２の最大値が同一でなく回転スピンドル６２がZ軸方向と直交する方向に対して傾斜して配設されていると判定した場合には、上記切り込み移動基台５２の前面５２a（YZ平面）に上記スピンドルユニット支持部材５５を構成する取り付け部５５１を装着している４個の締結ボルト５５３を弛め、取り付け部５５１に形成された４個の長穴５５１aに沿ってYZ平面で微回動し、回転スピンドル６２がZ軸方向と直交するように調整する（YZ平面取り付け状態調整工程）。なお、YZ平面取り付け状態調整工程と上記回転スピンドルの取り付け状態判定工程は、交互に実施して回転スピンドル６２をZ軸方向と直交するように位置付ける。

以上のように図示の実施形態における回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０は、上記回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合する雄ネジ１１１を備えた回動部材１１０と、該回動部材１１０に装着されたマイクロメーター１２０とからなり、該マイクロメーター１２０の検出端子１２１が雄ネジ１１１の軸心から偏芯した位置に位置付けられているので、雄ネジ１１１を回転スピンドル６２に形成された雌ネジ穴４２１に螺合することにより、回転スピンドル６２に容易に装着することができる。
そして、マイクロメーター１２０の検出端子１２１をチャックテーブル３４の上面である保持面に載置された被測定治具１５の被検出平面１５１の第１の点に接触させるとともに、取り付け状態確認治具１５を回転スピンドル６２を中心として１８０度回動してマイクロメーター１２０の検出端子１２１を被測定治具１５の被検出平面１５１の第２の点に接触させ、第１の点の第１の値と第２の点の第２の値が同一であるか否かを確認することにより、回転スピンドル６２がY軸方向に対して平行であるか否かを容易に判定することができる。

また、回転スピンドル６２に装着された回転スピンドルの取り付け状態確認治具１０を構成するマイクロメーター１２０の検出端子１２１をチャックテーブル３４の上面である保持面に載置された円柱治具１６の外周面１６２に接触させてマイクロメーター１２０の値の第１の最大値を確認するとともに、取り付け状態確認治具１５を回転スピンドル６２を中心として１８０度回動して円柱治具１６の外周面１６２に接触させマイクロメーター１２０の値の第２の最大値を確認することにより、第１の最大値と第２の最大値が同一であるか否かに基づいて回転スピンドル６２がZ軸方向と直交して配設されているか否かを容易に判定することができる。

１：切削装置
２：基台
３：チャックテーブル機構
３２：チャックテーブル支持基台
３４：チャックテーブル
３６：切削送り手段
４：支持フレーム
５：切削手段
５１：割り出し移動基台
５２：切り込み移動基台
５３：割り出し送り手段
５４：切り込み送り手段
５５：スピンドルユニット支持部材
６：スピンドルユニット
６１：ユニットハウジング
６２：回転スピンドル
６３：ブレードマウント
６４：締結ボルト
６５：切削ブレード
６６：挟持ナット
６７：サーボモータ
１０：回転スピンドルの取り付け状態確認治具
１１０：回動部材
１２０：マイクロメーター
１５：被測定治具
１６：円柱治具

Claims (3)

1. 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向に切削送りする切削送り手段と、該切削手段を切削送り方向と直交する割り出し送り方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向に切り込み送りする切り込み送り手段とを具備し、
   該切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され先端部中心に雌ネジ穴を備えた回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端部に装着され該切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、該ブレードマウントを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された切削装置における回転スピンドルの取り付け状態確認治具であって、
   該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている、
   ことを特徴とする切削ブレードを装着する回転スピンドルの取り付け状態確認治具。
2. 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向（X軸方向）に切削送りする切削送り手段と、該切削手段をX軸方向と直交する割り出し送り方向（Y軸方向）に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向（Z軸方向）に切り込み送りする切り込み送り手段とを具備し、
   該切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され先端部中心に雌ネジ穴を備えた回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端部に装着され該切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、該ブレードマウントを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された切削装置における回転スピンドルの取り付け状態確認方法であって、
   該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている回転スピンドルの取り付け状態確認治具を構成する該回動部材の雄ネジを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合して装着する取り付け状態確認治具装着工程と、
   被検出平面を有する被測定治具を、該チャックテーブルの保持面に該被検出平面を該回転スピンドル側に向けて載置する被測定治具載置工程と、
   該取り付け状態確認治具を構成する該マイクロメーターの検出端子を該チャックテーブルの保持面に載置された該被測定治具の該被検出平面に接触させた状態で該チャックテーブルをX軸方向に移動して該マイクロメーターによる計測値の変動を確認し、該マイクロメーターによる計測値が変動する場合には該マイクロメーターによる計測値が一定になるように該チャックテーブルを回動して該被測定治具の該被検出平面がX軸方向と平行になるように調整する被測定治具調整工程と、
   該被測定治具調整工程を実施した後に、該取り付け状態確認治具を構成する該マイクロメーターの検出端子を該被測定治具の該被検出平面の第１の点に接触させるとともに、該取り付け状態確認治具が装着された該回転スピンドルを１８０度回動して該マイクロメーターの検出端子を該被測定治具の該被検出平面の第２の点に接触させ、該マイクロメーターの該第１の点における第１の値と該第２の点における第２の値が同一であるか否かを確認し、該第１の値と該第２の値が同一である場合には該回転スピンドルはY軸方向に対して平行に配設されており、該第１の値と該第２の値が同一でない場合には該回転スピンドルはY軸方向に対して傾斜して配設されていると判定する回転スピンドルの取り付け状態判定工程、とを含む、
   ことを特徴とする回転スピンドルの取り付け状態確認方法。
3. 被加工物を保持する保持面を備えたチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ブレードを備えた切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向（X軸方向）に切削送りする切削送り手段と、該切削手段をX軸方向と直交する割り出し送り方向（Y軸方向）に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段を該チャックテーブルの保持面に対して垂直な切り込み送り方向（Z軸方向）に切り込み送りする切り込み送り手段とを具備し、
   該切削手段は、スピンドルハウジングと、該スピンドルハウジングに回転自在に支持され先端部中心に雌ネジ穴を備えた回転スピンドルと、該回転スピンドルの先端部に装着され該切削ブレードを支持するブレードマウントとを備え、該ブレードマウントを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する締結ボルトによって固定するように構成された切削装置における回転スピンドルの取り付け状態確認方法であって、
   該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合する雄ネジを備えた回動部材と、該回動部材に装着されたマイクロメーターとからなり、該マイクロメーターの検出端子が該雄ネジの軸心から偏芯した位置に位置付けられている回転スピンドルの取り付け状態確認治具を構成する該回動部材の雄ネジを該回転スピンドルに設けられた該雌ネジ穴に螺合して装着する取り付け状態確認治具装着工程と、
   底面と該底面から直角に立設する外周面を有する円柱治具を、該チャックテーブルの保持面に該底面を載置する円柱治具載置工程と、
   該取り付け状態確認治具を構成する該マイクロメーターの検出端子を該チャックテーブルの保持面に載置された該円柱治具の外周面に接触させた状態で該チャックテーブルをX軸方向に移動し、該マイクロメーターの値の第１の最大値を確認する第１の確認工程と、
   該第１の確認工程を実施した後に該取り付け状態確認治具が装着された該回転スピンドルを１８０度回動し、該チャックテーブルをX軸方向に移動して該マイクロメーターの値の第２の最大値を確認する第２の確認工程と、
   該第１の確認工程と該第２の確認工程によって確認された第１の最大値と第２の最大値が同一であるか否かを確認し、該第１の最大値と該第２の最大値が同一である場合には該回転スピンドルはZ軸方向と直交して配設されており、該第１の最大値と該第２の最大値が同一でない場合には該回転スピンドルはZ軸方向と直交する方向に対して傾斜して配設されていると判定する回転スピンドルの取り付け状態判定工程、とを含む、
   ことを特徴とする回転スピンドルの取り付け状態確認方法。
   

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