JP5570225B2 - 照明光学系、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、照明光学系、それを用いた露光装置及びデバイスの製造方法に関するものである。

露光装置は、半導体デバイスや液晶表示装置等の製造工程であるリソグラフィ工程において、原版（レチクル、又はマスク）のパターンを、投影光学系を介して感光性の基板（表面にレジスト層が形成されたウエハやガラスプレート等）に転写する装置である。例えば、液晶表示装置にパターンを転写する投影露光装置では、近年、マスク上のより大きな面積パターンを基板上に一括露光する露光装置が求められている。この要求に対応するために、高解像力が得られ、かつ、大画面を露光することができるステップ・アンド・スキャン方式の走査型投影露光装置が提案されている。この走査型露光装置は、スリット光束により照明されたパターンを、投影光学系を介してスキャン動作により基板上に露光転写するものである。

このような走査型露光装置として、円弧形状の光を用いて走査させる方式が存在する。この方式は、転写するパターンを持つ第１の物体と、転写される対象物である第２の物体との間に投影光学系が存在し、該投影光学系の特定の軸外像点のみを利用した円弧形状の露光域で露光処理を行うものである。このとき、第１の物体を円弧形状で照明するための照明光学系として、例えば、特許文献１は、矩形形状に照明した領域から円弧形状の開口部材を用いて円弧を切り出す照明光学系を開示している。

特公平４−７８００２号公報

しかしながら、技術文献１に示す円弧切り出し方式は、円弧開口部以外の光を露光に用いることができず、光の利用効率（照明効率）が低い。

本発明は、このような状況を鑑みてなされたものであり、特殊な光源を用いず、通常の超高圧水銀灯の放電管やレーザー光源を用いつつ、照明効率が良い照明光学系を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために、本発明は、光源から導入した光を照射対象物に照射する照明光学系であって、インテグレータを有し、光源からの光を前記インテグレータを介して照射対象物に照射する第１光学系と、インテグレータから出射して第１光学系における照射対象物と共役な面に入射した光の一部の第１光学系から取り出された光を、照射対象物と共役な面であるインテグレータの入射面に導く、第１光学系とは異なる循環光学系とを有し、循環光学系からインテグレータに入射した光を第１光学系における照射対象物と共役な面に導くことを特徴とする。

本発明によれば、循環光学系により、従来ならば所望の照射位置まで到達せず、本来、照明光として利用できない光を取得し、再度照明光として利用するので、照明効率が良い照明光学系を提供することができる。

本発明の第１実施形態に係る照明光学系の構成を示す概略図である。 本発明の第２実施形態に係る照明光学系の構成を示す概略図である。 フライアイレンズ光学系の構成を示す概略図である。 スリット板の構成を示す概略図である。 本発明の第３実施形態に係る照明光学系の構成を示す概略図である。 スリット板の構成を示す概略図である。 バンドルファイバーの射出側断面を示す概略図である。 本発明の実施形態に係る露光装置の構成を示す概略図である。

以下、本発明を実施するための形態について図面等を参照して説明する。

（第１実施形態）
まず、本発明の第１実施形態に係る照明光学系の構成について説明する。以下、本実施形態の照明光学系は、例えば、露光装置に搭載されるものであり、光源からの光を照射対象物であるパターンが形成されたマスク（原版）へ導くための装置である。図１は、本実施形態に係る照明光学系の構成を示す概略図である。照明光学系１０は、第１光学系１１と、インテグレータ１３と、第２光学系１５と、第３光学系１７とを備える。

第１光学系１１は、光源１８から照射された光を第１照射面１２に導く光学系であり、照射光の進行方向を偏向するミラー１９と、該ミラー１９からの光を集光するレンズ２０とを備える。ミラー１９は、本実施形態では、上記の作用に加え、後述する第３光学系１７からの光をレンズ２０に導く作用を有するため、２方向から導入される光を同一方向へ導出させるような三角柱として形成される。なお、このミラー１９の代替部材として、上記の作用が得られるものであれば、例えば、ビームスプリッタ、若しくはプリズム等を採用することもあり得る。また、レンズ２０は、説明上１つの光学素子としているが、複数の光学素子で構成される場合もある。また、本実施形態の照明光学系１０に適用される光源１８は、例えば、波長約１９３ｎｍのＡｒＦエキシマレーザー、波長約２４８ｎｍのＫｒＦエキシマレーザー、波長約１５７ｎｍのＦ２エキシマレーザー等のレーザー光源を使用する。但し、レーザーの種類は、エキシマレーザーに限定されず、例えば、ＹＡＧレーザーを使用しても良いし、レーザーの個数も限定されない。更に、光源１８は、上記レーザー光源に限定されるものではなく、一又は複数の水銀ランプやキセノンランプ等のランプも使用可能である。

第１光学系１１からの光は、第１照射面１２を経て、２次光源を形成するインテグレータ１３へと導かれる。第１照明面１２は、インテグレータ１３の入射面に相当する。このインテグレータ１３は、第２照射面１６の照度均一性を高めるための光学系であり、例えば、ロット形状やシリンドリカル形状のフライアイレンズ光学系、若しくは光ファイバーを使用する光学系等が用いられる。インテグレータ１３からの光は、二次光源面１４を経て、第２光学系１５へと導かれる。例えば、インテグレータ１３にフライアイレンズ光学系を採用した場合、二次光源面１４には、光源１８と等価な多数の二次光源分布が形成される。第２光学系１５は、第２照射面１６が実質的に二次光源面１４のフーリエ変換面（瞳共役面）となるように配置された光学系である。以上のような構成を採用することにより、二次光源面１４は、第２照射面１６をケーラー照明しており、第２照射面１６での照度分布はほぼ均一となる。また、第１照射面１２と第２照射面１６とは、実質的に共役関係となる。第２照明面１６を透過した光は、第２照明面１６と共役な面に配置されたマスクを照明する。

第３光学系１７は、第２照射面１６に到達した光の一部を取得し、再度第１光学系１１に導く循環光学系である。第３光学系１７は、第２照射面１６の一部に設置されたミラー２１と、該ミラー２１から取得した光を再度第１光学系１１内のミラー１９に導く光学素子群２２とを備える。第１ミラー２１は、第２照射面１６に到達した光の一部を取得するための反射部である。なお、本実施形態では、この反射部をミラーとしているが、光の一部を取得する作用が得られるものであれば、ミラーに限定されない。光学素子群２２は、取得された光をミラー１９へと導く光学経路であり、例えば、複数のミラー及びレンズ等の光学素子で構成される。光学素子群２２の構成も、取得された光をミラー１９へと導く作用が得られるものであれば、特に限定するものではない。

次に、照明光学系１０の作用について説明する。まず、光源１８から射出された光は、第１光学系１１を介し第１照射面１２に導入され、インテグレータ１３、二次光源形成面１４、第２光学系１５を順次通過し、第２照射面１６の所望の照射位置に照射される。加えて、本実施形態では、ミラー２１、第３光学系１７により、第２照射面１６に到達した光の一部を取得して第１光学系１１内へと導き、再度照射光として利用する。第２照射面１６から取得する光は、例えば、第２照射面１６に所望の形状の開口が設けられた、照明領域を規定するスリット板（視野絞り）を配置した場合の、開口以外（非透過領域である遮光部）に入射する光とする。このとき、スリット板の開口を通過する照射光は、光源１８を出て最初に入射する光（第１照明光）と、第１照明光の一部が第３光学系１７を経て至る光（第２照明光）と、更にｎ−１回（ｎは自然数）、第３光学系１７を経て至る光（第ｎ照明光）との和となる。即ち、第２照射面１６における合計の照度は、第１照明光から第ｎ照明光までの和で表される。ここで、最初に第２照射面１６に至る光の照度をｐ、第２照射面１６における第１照明光のうちスリット板の開口部に入射する割合をｒ（０≦ｒ≦１）とそれぞれ仮定する。また、開口部以外に入射する光が第３光学系１７により回収された場合の、回収光の第３光学系１７における光のエネルギー効率をｆと仮定する。このとき、照明光学系１０を数秒以上使用することで、ｎは無限に大きい値をとるので、第２照射面１６の開口部における合計照度Ｗは、次式のように無限級数の和で表される。
Ｗ＝ｐｒ／（１−ｆ＋ｒｆ） （１）
ここで、一例として、ｒ＝０．２、ｆ＝０．６として（１）式に代入すると、照明光学系１０では、照明効率を約２倍にすることができる。

以上のように、例えば、第２照射面１６上に所望の形状のスリットを設けた視野絞りを配置した場合、スリット開口部以外に入射する光は、通常照明光として使用されないが、本発明の第１実施形態では、その光を捨てずに回収して再利用する。したがって、その開口を通過する光の照度を向上させてマスクを照明することができ、照明光学系の照明効率を向上させることができる。なお、第１照射面１２と第２照射面１６とは、上述のように実質的に共役関係にあるので、第３光学系１７の第１ミラー２１を第１照射面１２の近傍に設置しても、同様の効果が得られる。

（第２実施形態）
次に、本発明の第２実施形態に係る照明光学系の構成について説明する。図２は、本実施形態に係る照明光学系の構成を示す概略図である。照明光学系３０は、第１光学系３１と、フライアイレンズ光学系３２と、第２光学系３３と、第３光学系３５とを備える。第１光学系３１は、光源３６から照射された光をフライアイレンズ光学系３２の入射面に導く光学系であり、フライアイレンズ光学系３２の入射面が、後述の光源３６のランプ部３７の実質的にフーリエ変換面となるように配置されている。なお、第１光学系３１は、説明上１つの光学素子としているが、複数の光学素子で構成される場合もある。また、本実施形態の照明光学系３０に適用される光源３６は、例えば、水銀ランプや、キセノン−水銀ランプを使用する。光源３６は、ランプ部３７と集光ミラー３８とで構成され、ランプ部３７としては、水銀ランプ等を採用し、集光ミラー３８としては、例えば、楕円集光ミラーを採用する。ランプ部３７から発生した光は、集光ミラー３８により集光され、第１光学系３１を経てフライアイレンズ光学系３２に導かれる。

フライアイレンズ光学系３２は、第１照射面３４を矩形形状ではなく、円弧形状に照明するために、以下のような構成とする。図３は、フライアイレンズ光学系３２の構成を示す概略図であり、図３（ａ）は、側面図であり、図３（ｂ）は、光の入射側から見た平面図である。フライアイレンズ光学系３２は、図３（ａ）に示すように、多数の平凸レンズを平面状に張りあわせ、かつ、曲率面を向かい合わせ、各レンズの焦点位置に対となる第１フライアイレンズ３２ａ及び第２フライアイレンズ３２ｂとを備える。この場合、第１フライアイレンズ３２ａ及び第２フライアイレンズ３２ｂを構成する各平凸レンズの曲率面は、レンズ断面に対して方向により曲率半径を変えても良い。また、第１フライアイレンズ３２ａを構成する各平凸レンズは、図３（ｂ）に示すように、それぞれの入射面（光源側）の領域が、透過領域部５０と、反射領域部（反射部）５１とに分けられている。このとき、各平凸レンズは、入射面が第１照射面３４と共役面になっているので、各平凸レンズの透過領域部５０をそれぞれ円弧形状にすることで、第１照射面３４を照明する照明領域は、円弧形状となる。

第２光学系３３は、第１照射面３４が実質的にフライアイレンズ光学系３２の射出面のフーリエ変換面となるように配置された光学系である。このような構成を採用することにより、光源３６は、第１照射面３４をケーラー照明し、第１照射面３４での照度分布は、ほぼ均一となる。また、フライアイレンズ光学系３２の入射面と第１照射面３４とは、実質的に共役関係となる。更に、第１照射面３４は、使用する照明光の領域を抽出するためのスリット板５２を有する。図４は、スリット板５２を示す概略図（平面図）ある。スリット板５２は、第１照射面３４を矩形形状に照明する場合、矩形領域から円弧領域を切り出す視野絞りであり、円弧形状の開口部５３と、該開口部５３の外周部に位置する遮光部５４とを備える。

第３光学系３５は、フライアイレンズ光学系３２に入射する光のうち反射領域部５１に到達した光を取得し、再度フライアイレンズ光学系３２に導入させる循環光学系である。第３光学系３５は、フライアイレンズ光学系３２の反射領域部５１から取得した光を再度フライアイレンズ光学系３２に導く光学素子群３９と、平行平板４０とを備える。光学素子群３９は、取得された光をフライアイレンズ光学系３２へと導く光学経路であり、複数のミラー及びレンズ等の光学素子で構成される。なお、光学素子群３９の構成は、取得された光をフライアイレンズ光学系３２へと導く作用が得られるものであれば、特に限定するものではない。平行平板４０は、光軸に対して傾斜を有するよう設置された透過板であり、フライアイレンズ光学系３２に帰路した光を、反射領域部５１からシフトし、可能な限り透過領域部５０に入射させるものである。このとき、シフト量は、平行平板４０の傾斜角度、屈折率、若しくは厚みで調整することができる。この光学素子群３９及び平行平板４０は、反射領域部５１を反射した光と、フライアイレンズ光学系３２に帰路した光とがほぼ共役関係となるように配置する。

次に、照明光学系３０の作用について説明する。まず、光源３６から射出された光は、第１光学系３１を介してフライアイレンズ光学系３２に導入され、第２光学系３３、及び第１照射面３４を順次通過し、所望の照射位置に照射される。しかしながら、第１照射面３４に設置されたスリット板５２では、通常、光は開口部５３を通過するものの、遮光部５４に入射する光は捨てることになり、照明効率が低下する。そこで、本実施形態では、フライアイレンズ３２及び第３光学系３５により、反射領域部５１に到達した光を取得して再度フライアイレンズ光学系３２の入射面へと導き、照射光として利用する。このとき、第１照射面３４に到達する光は、最初に透過領域部５０に入射して至る光と、最初に反射領域部５１で反射して第３光学系３５を経てフライアイレンズ光学系３２に帰路した光のうち、透過領域部５０に入射して至る光の和で表される。ここで、最初にフライアイレンズ光学系３２を照射する光の照度をｐ、フライアイレンズ光学系３２において最初に透過領域部５０に入射した光の割合をｒ（０≦ｒ≦１）、第３光学系３５の光学ケラレを考慮した光のエネルギー効率をｆと仮定する。更に、フライアイレンズ光学系３２に帰路した光のうち、透過領域部５０に入射した光の割合をｇ（０≦ｇ≦１）とすると、第１照射面３４に到達する光の合計照度Ｗは、次式で表される。
Ｗ＝ｐ（ｒ＋ｆｇ−ｒｆｇ） （２）
ここで、一例として、ｒ＝０．２、ｆ＝０．５、ｇ＝０．５として（２）式に代入すると、照明光学系３０では、照明効率を約２倍にすることができる。

このように、本実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏する。なお、本実施形態では、円弧形状の開口に対する照明を例示したが、円弧形状以外の他の形状の開口を照明する場合でも、本発明は適用可能である。この場合、透過領域部５０及び反射領域部５１の領域形状をそれぞれ所望の領域に設定することで、同様の効果が得られる。また、本実施形態では、各フライアイレンズ３２ａ、３２ｂを構成する各レンズは、平凸レンズとし、曲率面を向かい合わせた一対のフライアイレンズ３２を採用したが、本発明は、これに限定されない。例えば、一対のフライアイレンズ３２の構成として、平凸レンズの平面を向かい合わせた形態や、各レンズが両凸レンズである形態を採用しても良い。更に、本実施形態では、反射領域部５１を反射した光とフライアイレンズ光学系３２に帰路した光がほぼ共役関係となるように第３光学系３５を配置するが、これは望ましい例の一つであり、共役関係から外れた場合でも、本発明の効果は得られる。

（第３実施形態）
次に、本発明の第３実施形態に係る照明光学系の構成について説明する。図５は、本実施形態に係る照明光学系の構成を示す概略図である。照明光学系６０は、第１光学系６１と、第２光学系６２と、フライアイレンズ光学系６３と、第３光学系６４と、スリット板６５と、第４光学系６６とを備える。まず、第１光学系６１は、２箇所の光源６７ａ、６７ｂから照射された光を第２光学系６２に導く光学系であり、２箇所のミラー６８ａ、６８ｂと、該ミラー６８ａ、６８ｂへ光源６７ａ、６７ｂからの光を導く１つまたは複数の光学素子６９ａ、６９ｂとを備える。２箇所のミラー６８ａ、６８ｂは、１つのミラーが一方向から導入される光を他方向へ導出させる三角柱として形成され、かつ、後述の第４光学系６６からの光を通過させるように光路を挟んで両側に設置される。第２光学系６２は、２箇所のミラー６８ａ、６８ｂからの光を集光する光学系である。なお、第２光学系６２は、説明上１つの光学素子としているが、複数の光学素子で構成される場合もある。また、本実施形態の照明光学系６０に適用される光源６７ａ、６７ｂは、第２実施形態と同様に、例えば、水銀ランプや、キセノン−水銀ランプを使用する。

フライアイレンズ光学系６３は、第１実施形態におけるインテグレータ１３と同様に、例えば、ロッド形状、若しくはシリンドリカル形状の複数のレンズを平面状に並べることにより形成される。第３光学系６４は、スリット板６５が実質的にフライアイレンズ光学系６３の射出面のフーリエ変換面（瞳共役面）となるように配置された光学系である。このような構成を採用することにより、フライアイレンズ光学系６３の射出面は、スリット板６５をケーラー照明しており、スリット板６５に入射する光の照度分布は、ほぼ均一となる。また、フライアイレンズ光学系６３の入射面とスリット板６５とは、実質的に共役な面となる。更に、スリット板６５は、使用する照明光の領域を抽出するための視野絞りであり、図６に、スリット板６５の構成概略図（平面図）を示す。スリット板６５は、矩形領域から円弧領域を切り出す作用を有し、円弧形状の開口部７０と、該開口部７０の外周部に位置する第４光学系導入部７１とを備える。

第４光学系６６は、スリット板６５に入射する光のうち第４光学系導入部７１に到達した光を取得し、上流側のフライアイレンズ光学系６３に再度導入させる光学系である。第４光学系６６は、バンドルファイバー７２と、該バンドルファイバー７２から出た光を第２光学系６２に導く光学素子７３とを備える。光学素子７３は、図５では一枚のレンズを表しているが、複数の光学素子群であってもよい。また、バンドルファイバー７２は、複数の光ファイバーからなる光伝達素子である。このとき、バンドルファイバー７２の入射側面は、図６に示すように、第４光学系導入部７１において平面状に敷き詰められる。この第４光学系導入部７１に入射した光は、バンドルファイバー７２により伝達され、図７に示す射出側面７２ａに到る。図７は、バンドルファイバー７２の射出側面７２ａを示す概略図である。図７に示すように、射出側面７２ａでは、バンドルファイバー７２を構成する各線は、円形状に束ねて配置される。この射出側面７２ａから射出された光は、２箇所のミラー６８ａ、６８ｂの間を通過して、再度第２光学系６２へ入射する。

次に、照明光学系６０の作用について説明する。まず、光源６７ａ、６７ｂから射出された光は、第１光学系６１を介して第２光学系６２に導入され、フライアイレンズ光学系６３、第３光学系６４を順次通過し、スリット板６５の所望の照射位置に照射される。しかしながら、スリット板６５では、通常、光は開口部７０を通過するものの、第４光学系導入部７１の非透過領域に相当する遮光部に入射する光は捨てることになり、照明効率が低下する。そこで、本実施形態では、第４光学系６６により、第４光学系導入部７１に到達した光を取得して再度第２光学系６２へと導き、照射光として利用する。ここで、最初にスリット板６５を照射する光の照度をｐ、開口部７０の面積をスリット板６５の全体の面積（開口部７０と第４光学系導入部７１との面積の合計）で割った値をｒとし、バンドルファイバー７２による光のエネルギー効率をｆと仮定する。このとき、最初にスリット板６５を照射する光を第１照明光として、バンドルファイバー７２をｎ度通過した後スリット板６５に帰路する光を第（ｎ＋１）照明光とすると、開口部７０における合計照度Ｗは、第１照明光から第（ｎ＋１）照明光の和となる。更に、本実施形態の照明光学系６０を数秒以上使用することで、ｎは無限に大きい値をとるので、合計照度Ｗは、次式のように無限級数の和で表される。
Ｗ＝ｐｒ／（１−ｆ＋ｒｆ) （３）
ここで、一例として、ｒ＝０．２、ｆ＝０．６として（３）式に代入すると、照明光学系６０では、照明効率を約２倍にすることができる。

このように、本実施形態によれば、第１実施形態と同様の効果を奏する。なお、本実施形態では、バンドルファイバー７２の射出側面７２ａを円形状に束ねて配置したが、光学素子７３を変化させることで、様々な形状とすることができる。また、本実施形態では、光源の設置数を２つとしたが、１つ、若しくは３つ以上でも構わない。なお、照射対象物と共役な面（照射面）に入射する光の一部は、上流側の別の照射面上に導いても、同一の照射面上に再度導いてもよい。

（露光装置）
次に、本発明の照明光学系を採用した露光装置について説明する。図８は、本発明の実施形態である露光装置の構成を示す概略図である。露光装置の露光方式は、レンズ、若しくは鏡を用いてマスク（原版）のパターンを基板上に投影露光するプロジェクション方式と、マスクと基板との間に微小な間隙を設けてマスクのパターンを基板へ転写するプロキシミティ方式とがある。一般に、プロジェクション方式は、プロキシミティ方式と比較して、パターン解像性能や基板の倍率補正等の精度が高く、生産に適している。そこで、本実施形態では、ガラス基板に対する反射型投影光学系を用いたプロジェクション方式の露光装置を採用するものとして説明する。露光装置９０は、マスクＭに形成されたパターン（例えば、ＴＦＴ回路）を、感光剤が塗布された基板Ｐ上へ投影転写するものである。この露光装置９０は、光源９１からの光を導入する照明光学系９２と、該照明光学系９２からの光をマスクＭ上に導く光学系９３と、マスクＭを載置する原版ステージ９４と、投影光学系９５と、基板Ｐを載置する基板ステージ９６とを備える。

この露光装置９０において、光源９１及び照明光学系９２は、上記実施形態に示す光源及び照明光学系が採用される。光学系９３は、照明光学系９２の不図示の照射面とマスク表面とをほぼ共役な関係に保つ光学系である。したがって、照明光学系９２は、該照明光学系９２の照射面を均一に照明することにより、ケラレが無ければ、マスク表面もほぼ均一、かつ、ほぼ照明光学系９２の照明形状と同じ形状に照明することが可能となる。原版ステージ９４は、マスクＭを載置し保持しつつ、ＸＹ方向に移動可能なステージ装置である。投影光学系９５は、該投影光学系９５の内部に設置された反射鏡９７で偏向特性を変化させつつ、マスクＭの照射領域に描画されたパターン像を基板Ｐ上に結像させるものである。基板ステージ９６は、基板Ｐを載置し保持しつつ、ＸＹＺの３次元方向に移動可能なステージ装置である。本実施形態の露光装置９０によれば、照明効率の良い照明光学系を採用するので、露光装置の省エネルギーに寄与する。

（デバイスの製造方法）
次に、本発明の一実施形態のデバイス（半導体デバイス、液晶表示デバイス等）の製造方法について説明する。半導体デバイスは、ウエハに集積回路を作る前工程と、前工程で作られたウエハ上の集積回路チップを製品として完成させる後工程を経ることにより製造される。前工程は、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたウエハを露光する工程と、ウエハを現像する工程を含む。後工程は、アッセンブリ工程（ダイシング、ボンディング）と、パッケージング工程（封入）を含む。液晶表示デバイスは、透明電極を形成する工程を経ることにより製造される。透明電極を形成する工程は、透明導電膜が蒸着されたガラス基板に感光剤を塗布する工程と、前述の露光装置を使用して感光剤が塗布されたガラス基板を露光する工程と、ガラス基板を現像する工程を含む。本実施形態のデバイス製造方法によれば、従来よりも高品位のデバイスを製造することができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。

１０ 照明光学系
１１ 第１光学系
１２ 第１照射面
１３ インテグレータ
１４ 二次光源面
１５ 第２光学系
１６ 第２照射面
１７ 第３光学系
１８ 光源
９０ 露光装置
９１ 光源
９２ 照明光学系
９４ 原版ステージ
９６ 基板ステージ

Claims (7)

1. 光源から導入した光を照射対象物に照射する照明光学系であって、
   インテグレータを有し、前記光源からの光を前記インテグレータを介して前記照射対象物に照射する第１光学系と、
   前記インテグレータから出射して前記第１光学系における前記照射対象物と共役な面に入射した光の一部の前記第１光学系から取り出された光を、前記照射対象物と共役な面である前記インテグレータの入射面に導く、前記第１光学系とは異なる循環光学系とを有し、
   前記循環光学系から前記インテグレータに入射した光を前記第１光学系における前記照射対象物と共役な面に導くことを特徴とする照明光学系。
2. 前記循環光学系は、前記照射対象物と共役な面に設けられ、前記照射対象物と共役な面に入射した光の一部を反射して前記第１光学系から取り出す反射部を有し、
   前記反射部で反射された光を前記照射対象物と共役な面に導くことを特徴とする請求項１に記載の照明光学系。
3. 前記第１光学系は、前記照射対象物と共役な面に配置された、前記照射対象物の照明領域を規定する視野絞りを有し、
   前記循環光学系は、前記視野絞りの非透過領域に入射して前記第１光学系から取り出された光を前記第１光学系に入射させ、
   前記循環光学系から前記第１光学系に入射した光を前記視野絞りに導くことを特徴とする請求項１又は２に記載の照明光学系。
4. 前記第１光学系は、前記照射対象物と共役な第１照射面と、前記第１照射面より前記照射対象物側であって前記第１照射面と共役な第２照射面とを有し、
   前記第１照射面は、前記インテグレータの入射面であり、
   前記第２照射面は、前記インテグレータの射出面とフーリエ変換の関係となる面であり、
   前記循環光学系は、前記第２照射面に入射した光の一部の前記第１光学系から取り出された光を、前記第１光学系とは別の光路を通して、前記第１照射面より前記光源側にある前記第１光学系の光学素子に入射させ、
   前記循環光学系から前記第１光学系の前記光学素子に入射した光を前記第１照射面に導くことを特徴とする請求項１に記載の照明光学系。
5. 前記循環光学系は、前記第２照射面に入射した光の一部を前記第１光学系から取り出して前記第１照射面に導くファイバーを有することを特徴とする請求項４に記載の照明光学系。
6. 光源からの光で原版を照明する照明光学系と、前記原版からの光を基板に導く投影光学系とを有する露光装置であって、
   前記照明光学系は、請求項１乃至５のいずれか１項に記載の照明光学系であることを特徴とする露光装置。
7. 請求項６に記載の露光装置を用いて基板を露光する工程と、
   露光された基板を現像する工程と、
   を備えることを特徴とするデバイス製造方法。

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