JP5249289B2

JP5249289B2 - 回転位置センサ

Info

Publication number: JP5249289B2
Application number: JP2010155882A
Authority: JP
Inventors: 祐一真鍋; 鉄治井上
Original assignee: Aisan Industry Co Ltd
Current assignee: Aisan Industry Co Ltd
Priority date: 2010-07-08
Filing date: 2010-07-08
Publication date: 2013-07-31
Anticipated expiration: 2030-07-08
Also published as: JP2012018086A

Description

この発明は、ロータ平板とステータ平板が対向して設けられ、前記ロータ平板の回転動作変位を検出する電磁誘導式の回転位置センサに関する。

従来、この種の技術として、各分野で広く用いられている回転位置センサが挙げられる。自動車用エンジンでは、その回転速度や回転位相を検出するために、回転位置センサの一つであるクランク角センサが使われている。この種のクランク角センサとして、下記の特許文献１にその一例が記載されている。
クランク角センサの代表的なものとして、マグネチックピックアップを用いたものが知れている。その代表的な使われ方は、回転軸に設けられたギア状の磁性材に対向して磁石とコイルで構成されたマグネチックピックアップを置き、このピックアップと磁性材との空隙距離が変化することでマグネチックピックアップから電圧波形を出力するようになっている。この方式の問題点は、マグネチックピックアップの先端の磁束の先鋭化に限界があり、ギア状磁性材の歯数を増やすことにも限界があって、角度分解能が制限されることであった。

一方近年、クランク角センサにおいては、排ガス規制等の環境問題に対応する必要から、クランク角によりエンジンを高い精度で制御することが望まれている。そのため、クランク角の相対的な位置のみならず、絶対的な基準位置（Ｚ相信号）を検出するが望まれている。
特許文献２には、基準位置（Ｚ相信号）を検出するために、励磁コイルと検出コイルの内側に指標パターンを設けることが記載されている。

特開２００１−０４１０９２号公報特開平０４−２７６５１７号公報

しかしながら、特許文献２の技術では、基準位置（Ｚ相信号）を検出することはできるが、内側に指標パターンを設ける必要があるため、励磁コイルや検出コイルを小さくすることができず、全体としてクランク角センサを小型化できない問題があった。

この発明は上記事情に鑑みてなされたものであって、その目的は、基準位置（Ｚ相信号）を検出することができると同時に、小型化した回転位置センサを提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の回転位置センサは、次のような構成を有している。
（１）ロータ平板とステータ平板が対向して設けられ、前記ロータ平板の回転動作変位を検出する電磁誘導式の回転位置センサにおいて、ロータ平板の外周部につづら折り状の励磁コイルが形成され、内周部にロータ側ロータリィトランスが形成されていること、ステータ平板の外周部に、つづら折り状の検出コイルが形成され、内周部にステータ側ロータリィトランスが形成されていること、励磁コイルのつづら折りパターンが、欠歯部を有すること、検出コイルの一部に切欠き部を形成し、切欠き部に基準信号検出コイルを設けていること、ステータ側ロータリィトランス及び前記ロータ側ロータリィトランスを介して、前記励磁コイルに高周波信号を励磁する高周波励磁回路を有すること、を特徴とする。

（２）（１）に記載する回転位置センサにおいて、前記欠歯部は、前記つづら折りパターンの１周期分であること、前記基準信号検出コイルが、前記つづら折りパターンの半周期分であること、を特徴とする。
（３）（１）または（２）に記載する回転位置センサにおいて、前記基準信号検出コイルが、渦巻き状パターンを有していること、を特徴とする。
（４）（１）乃至（３）に記載する回転位置センサのいずれか１つにおいて、前記高周波信号が、５００ｋＨｚ以上であること、を特徴とする。

上記構成を有する回転位置センサは、次のように、作用及び効果を奏する。
（１）ロータ平板とステータ平板が対向して設けられ、ロータ平板の回転動作変位を検出する電磁誘導式の回転位置センサにおいて、ロータ平板の外周部につづら折り状の励磁コイルが形成され、内周部にロータ側ロータリィトランスが形成されていること、ステータ平板の外周部に、つづら折り状の検出コイルが形成され、内周部にステータ側ロータリィトランスが形成されていること、励磁コイルのつづら折りパターンが、欠歯部を有すること、検出コイルの一部に切欠き部を形成し、切欠き部に基準信号検出コイルを設ていること、ステータ側ロータリィトランス及びロータ側ロータリィトランスを介して、励磁コイルに高周波信号を励磁する高周波励磁回路を有すること、を特徴とするので、励磁コイルや検出コイルの内側に指標パターン等を設けなくても、基準位置（Ｚ相信号）を検出することができるため、回転位置センサ全体を小型化することができる。
ここで、例えば、全周に渡って、つづら折りパターンが４５周期分のコイルを有する場合、１、２個分を欠歯させて欠歯部を設けたときに、通常の回転位置センサとしての機能は、わずかに誘起電流の発生が低下するのみであり、ほとんど影響を受けることがない。
検出コイルについても、１、２個分を欠歯させて切欠き部を形成しても、通常の回転位置センサとしての機能は、わずかに誘起電流の発生が低下するのみであり、ほとんど影響を受けることがない。

（２）（１）に記載する回転位置センサにおいて、前記欠歯部は、前記つづら折りパターンの１周期分であること、前記基準信号検出コイルが、前記つづら折りパターンの半周期分であること、を特徴とする。例えば、全周に渡って、つづら折りパターンが４５周期分のコイルを有する場合、欠歯部が１周期分であれば、通常の回転位置センサとしての機能は、わずかに誘起電流の発生が低下するのみであり、ほとんど影響を受けることがない。同時に、基準信号検出コイルが、丁度半周期分なので、信号処理が容易である。すなわち、半周期より大きいか、または小さいと、複数のコンパレータで処理する等の複雑な信号処理を必要とすることになる。

（３）（１）または（２）に記載する回転位置センサにおいて、前記基準信号検出コイルが、渦巻き状パターンを有していること、を特徴とするので、基準信号検出コイルが半周期分の面積しかなくても、大きな検出出力を得ることができる。
（４）（１）乃至（３）に記載する回転位置センサのいずれか１つにおいて、前記高周波信号が、５００ｋＨｚ以上であること、を特徴とするので、高周波信号を利用することにより、検出コイルの巻線数を少なくすることができ、ロータ平板やステータ平板上につづら折りパターンを形成することで、導線を巻きつけることなく、励磁コイルや検出コイルを形成することができる。これにより、回転位置センサを小型化することができる。

第１実施形態に係り、ロータリィエンコーダ１の外観を示す概略構成図である。ロータ平板１３上の励磁コイル１４、ロータ側ロータリィトランス７の形状、配置を示す図である。ステータ平板１１上の検出コイル１２、ステータ側ロータリィトランス８の形状、配置を示す図である。ロータリィエンコーダ１の制御的構成を示すブロック図である。検出コイル１２の検出信号の変化を示す図である。基準信号検出コイル１９の検出信号の変化を示す図である。

以下、この発明の回転位置センサを「電磁誘導式ロータリィエンコーダ」に具体化した第１実施形態につき図面を参照して詳細に説明する。
図１に、この実施形態のロータリィエンコーダ１を概略構成図により示す。このロータリィエンコーダ１は、一例として、エンジン２のクランクシャフト３に対応して設けられ、本発発明の可動体に相当するクランクシャフト３の動作位置（回転角）を検出するために使用される。
ロータリィエンコーダ１は、表面に検出コイル１２等が形成され、ハウジング５に固定されているステータ平板１１と、ステータ平板１１に対向してクランクシャフト３に固定され、クランクシャフト３と共に回転する、表面に励磁コイル１４等が形成されたロータ平板１３と、励磁コイル１４に励磁信号を出力すると共に、検出コイル１２から出力される検出信号を処理するためのコントローラ２０とを備える。
ステータ平板１１とロータ平板１３とは、互いにほぼ同じ大きさの円板形状をなし、所定の間隔で対向している。ロータ平板１３には、励磁コイル１４等が形成されているのと反対の面の中心に、入力軸１５が一体に設けられ、この入力軸１５がハウジング５から突出して設けられる。入力軸１５が、カップリング１６を介してクランクシャフト３に一体回転可能に固定されている。

図２に、ロータ平板１３の一側面である平面に形成された励磁コイル１４、ロータ側ロータリィトランス７を示す。励磁コイル１４は、ロータ平板１３の一側面の外周縁に沿って円環状に設けられる。励磁コイル１４は、矩形に折れ曲がる「つづら折り形状のコイルパターン」により形成される。この実施形態で、「つづら折り形状のコイルパターン」は、図２に示すように、ロータ平板１３の外側へ向いた、例えば「４４個」の矩形部６ａ（鎖線楕円の中に示す。）と、隣り合う矩形部６ａの間をつなぐ連結部６ｂとを含む。そして、図２に示すように、隣り合う１つの矩形部６ａと１つの連結部６ｂとにより１つ分の折れ曲がりパターン６が構成される。
ここで、折れ曲がりパターン６（矩形部６ａ）は、本来ならば４５個で構成されるのであるが、本実施の形態では１箇所、欠歯部１７が設けられているため、折れ曲がりパターン６（矩形部６ａ）が４４個となり、連結部６ｂが３個分連続された欠歯連結部１７ａが形成されている。

本実施の形態のつづら折り形状のコイルパターンは、欠歯部１７が設けられている点を除けば、本来の４５個で構成される「つづら折り形状のコイルパターン」と同じ形状をしている。すなわち、折れ曲がりパターン６が配置されているピッチは、機械角では円周方向に、３６０度／４５＝８度分のピッチである言い換えると、折れ曲がりパターン６の幅は、機械角で８度分の幅である。
励磁コイル１４の一端１４ｂは、中央部に５周の渦巻状に形成されたロータ側ロータリィトランス７の一端７ａに接続している。ロータリィトランス７の他端７ｂは、ロータ平板１３の裏面において、励磁コイル１４の他端１４ａに接続されている。すなわち、ロータ側ロータリィトランス７と励磁コイル１４とは、連続するコイルとして一体に形成されている。
本実施の形態では、コイルパターンは、幅が０．３ｍｍ、厚さ０．０３ｍｍの銅製である。製造方法としては、エッチングで製造しているが、プレス打ち抜き等により製造してもよい。その場合には、厚みを適宜増加させても良い。

図３に、ステータ平板１１の一表面に形成された、検出コイル１２、及びステータ側ロータリィトランス８を示す。
検出コイル１２は、ステータ平板１１の一側面の外周縁に沿って円環状に設けられる。検出コイル１２は、矩形に折れ曲がる「つづら折り形状のコイルパターン」により形成される。この実施形態で、「つづら折り形状のコイルパターン」は、図３に示すように、ステータ平板１１の外側へ向いた、例えば「４３個」の矩形部９ａ（鎖線楕円の中に示す。）と、隣り合う矩形部９ａの間をつなぐ連結部９ｂとを含む。そして、図３に示すように、隣り合う１つの矩形部９ａと１つの連結部９ｂとにより１つ分の折れ曲がりパターン９が構成される。
検出コイル１２の形状、寸法、ピッチは、励磁コイル１４と基本的に同じであり、１つ分の折れ曲がりパターン９は、機械角では円周方向に、８度分の位置を占めている。
検出コイル１２の一端は、外部端子１２ａに接続し、他端は、外部端子１２ｂに接続している。

本来、４５個で構成される「つづら折り形状のパターン」の数を４３個と２個減らしているのは、減らした部分に基準信号検出コイル１９を設けるためである。基準信号検出コイル１９は、渦巻き状パターンであり、２巻きされている。基準信号検出コイル１９の外周に位置する一端は、外部端子１８ａに接続している。また、内周に位置する他端は、裏面を介して端子１９ａに接続され、外部端子１８ｂに接続されている。基準信号検出コイル１９の外周寸法は、１つの「つづら折り形状パターン」の矩形部９ａと同じ寸法である。
中央部には、ロータ平板１３に形成されたロータ側ロータリィトランス７に対向して、５周の渦巻状にステータ側ロータリィトランス８が形成されている。ステータ側ロータリィトランス８の一端８ａは、外部端子１１に接続しており、他端８ｂは、裏面を介して端子１０ａに接続している。端子１０ａは、外部端子１０に接続している。

図４に、ロータリィエンコーダ１の電気制御的構成をブロック図により示す。コントローラ２０は、励磁回路２１、高周波発生回路２２、２個の差動アンプ２３Ａ、２３Ｂ、２個のアンプ２４Ａ、２４Ｂ、２個の同期検波回路２５Ａ、２５Ｂ、２個のローパスフィルタ２６Ａ、２６Ｂ、及び２個のコンパレータ２７Ａ、２７Ｂを備える。
励磁回路２１は、励磁コイル１４を高周波信号で励磁するようになっている。高周波発生回路２２は、励磁回路２１に高周波信号を供給するようになっている。この高周波信号として、本実施の形態では、「２ＭＨｚ」の周波数を用いている。５００ｋＨｚ以上の高周波信号で励磁することにより、つづら折り形状のコイルパターンのように巻線数の少ない検出回路でも、十分な誘起電圧を確保することができる。すなわち、高周波信号の各周期において発生する誘起電圧（電流）は小さいが、高い周波数により、それらが総計されるため、結果として、十分な誘起電圧を得ることができる。本出願人が実験により確認したところ、５００ｋＨｚ以上の高周波信号を用いると、周辺ノイズに対して十分なＳ／Ｎ比を得ることができた実用に適した誘起電圧を得ることができる。
検出コイル１２には、差動アンプ２３Ａ、アンプ２４Ａを介して、同期検波回路２５Ａが接続している。基準信号検出コイル１９には、差動アンプ２３Ｂ、アンプ２４Ｂを介して、同期検波回路２５Ｂが接続している。同期検波回路２５Ａ、２５Ｂには、高周波発生器２２から２ＭＨｚの高周波信号が入力されている。

次に、上記構成を有するコントローラ２０の作用について説明する。
高周波発生器２２は、２ＭＨｚの高周波信号を励磁回路２１に入力する。励磁回路２１は、ステータ側ロータリィトランス８に２ＭＨｚの励磁信号を供給する。ステータ側ロータリィトランス８は、２ＭＨｚの高周波信号により交番磁界を発生し、発生した交番磁界により、ロータ側ロータリィトランス７に、２ＭＨｚの誘起電圧が発生する。ロータ側ロータリィトランス７に発生した誘起電圧は、励磁コイル１４に流れ、励磁コイル１４のコイルパターンの周囲に、２ＭＨｚの交番磁界を発生させる。同時に、全周のうち、欠歯部１７においては、発生する交番磁界の分布が他の部分と異なっている。
励磁コイル１４で発生した交番磁界により、検出コイル１２に２ＭＨｚの誘起電圧が発生する。

図５に、角度信号の、各制御手段における出力信号の波形を示す。
検出コイル１２で発生した誘起電圧は、差動アンプ２３Ａに送られる。差動アンプ２３Ａの出力信号を図５にＳ１で示す。検出コイル１２の矩形部６ａ毎に、上下に大きな振幅を有する振幅波形が出力されている。この振幅波形の周波数は、ロータ平板１３の回転数に比例している。アンプ２４Ａの出力Ｓ２は、差動アンプ２３Ａの出力Ｓ１を単純に増幅したものである。
同期検波回路２５Ａの出力Ｓ３は、基準搬送波である高周波信号（２ＭＨｚ）に基づく所定の周期で、出力波形Ｓ２を読み取ったものである。所定の周期でＳ２の波形を読み取ると、Ｓ３に示すように、正弦波状の波形となる。
次に、ローパスフィルタ２６Ａを通すことにより、出力Ｓ４は、高周波成分である搬送波成分が除かれる。
次に、コンパレータ２７Ａにより、パルス状の信号Ｓ５に変換される。

次に、基準位置（Ｚ相信号）を示すＺ信号の、各制御手段における出力信号の波形を、図６に示す。
検出コイル１９で発生した誘起電圧は、差動アンプ２３Ｂに送られる。差動アンプ２３Ｂの出力信号を図６にＳ１１で示す。検出コイル１９の矩形部６ａ毎に、上下に大きな振幅を有する振幅波形が出力されている。この振幅波形の周波数は、ロータ平板１３の回転数に比例している。ここで、欠歯部１７を検出したときの出力波形をＳ１１ａに示す。Ｓ１１ａに示すように、欠歯部１７の出力波形は、時間軸として長い信号として現れる。
アンプ２４Ｂの出力Ｓ１２は、差動アンプ２３Ｂの出力Ｓ１１を単純に増幅したものである。欠歯部１７の出力波形も、単純に増幅されたものである。
同期検波回路２５Ｂの出力Ｓ１３は、基準搬送波である高周波信号（２ＭＨｚ）に基づく所定の周期で、出力波形Ｓ１２を読み取ったものである。所定の周期でＳ１２の波形を読み取ると、Ｓ１３に示すように、正弦波状の波形となる。
欠歯部１７の出力波形Ｓ１３ａは、時間軸として長い信号として現れている。
次に、ローパスフィルタ２６Ｂを通すことにより、出力Ｓ１４は、高周波成分である搬送波成分が除かれる。
次に、コンパレータ２７Ｂにより、パルス状の信号Ｓ１５に変換される。欠歯部１４の出力波形Ｓ１５ａは、パルスが１つ欠けた状態の信号となる。
このパルスが１つ欠けた信号を検知することにより、基準位置を検知することができる。

次に、上記構成を有する本実施の形態のロータリィエンコーダ１の作用について説明する。ロータリィエンコーダ１では、クランクシャフト３が回転することで、ロータ平板１３がクランクシャフト３と共に回転し、励磁コイル１４がステータ平板１１の検出コイル１２と隙間６を介して対向しながら回転する。
このとき、高周波発生回路２２及び励磁回路２１により、ステータ側ロータリィトランス８、及びロータ側ロータリィトランス７を介して、励磁コイル１４が一定振幅の高周波（２ＭＨｚ）で励磁される。これにより、励磁コイル１４に周期的に磁力線が発生し、励磁コイル１４に対向して設けられた検出コイル１２に誘起電圧が発生する。
発生した誘起電圧が振幅を変化させる検出信号として検出コイル１２から出力される。そして、この検出信号が、差動アンプ２３Ａ、アンプ２４Ａ、及び同期検波器２５Ａにより増幅され、復調されることにより、クランクシャフト３の回転角の変化（回転位相の変化）を反映した低周波の復調信号Ｓ３が得られる。この復調信号Ｓ３が、コンパレータ２７Ａにてパルス状信号に整形される。

一方、基準信号検出コイルにおいては、通常は、励磁コイル１４の４３個のつづら折り形状パターンにより発生する磁束を受けているため、基準信号検出コイル１９は、図６に示すＳ１１の誘起電圧による検出信号を出している。そして、欠歯部１７の位置が、基準信号検出コイル１９の位置と一致したときには、図６に示すＳ１１ａの検出信号が出される。すなわち、欠歯部１７は、発生する磁束の分布が他の部分と異なっているため、基準信号検出コイル１９が検出する誘起電圧の変動が他の部分と異なるからである。
この検出信号Ｓ１１ａが、アンプ２４Ｂ、及び同期検波器２５Ｂにより増幅され、復調されることにより、クランクシャフト３の回転角の所定の位置を示す復調信号Ｓ１４ａが得られる。この復調信号Ｓ１４ａが、コンパレータ２７Ｂにてパルス状信号に整形される。この場合、Ｓ１５ａの領域には、パルス信号Ｓ１５が存在しないことにより、ロータ平板１３の欠歯部１７の位置が、ステータ平板１１の基準信号検出コイル１９の位置と一致していることがわかる。これにより原点を検出することができ、原点検出信号であるＺ信号Ｓ１５ａを出力する。

以上詳細に説明したように、本実施の形態のロータリィエンコーダ１によれば、ロータ平板１３とステータ平板１１が対向して設けられ、ロータ平板１３の回転動作変位を検出する電磁誘導式のロータリィエンコーダ１において、ロータ平板１３の外周部につづら折り状の励磁コイル１４が形成され、内周部にロータ側ロータリィトランス７が形成されていること、ステータ平板１１の外周部に、つづら折り状の検出コイル１２が形成され、内周部にステータ側ロータリィトランス８が形成されていること、励磁コイル１４のつづら折りパターンが、欠歯部１７を有すること、検出コイル１２の両端子間に、基準信号検出コイル１９が設けられていること、ステータ側ロータリィトランス７及びロータ側ロータリィトランス８を介して、励磁コイル１４に高周波信号を励磁する高周波励磁回路２２、２１を有すること、を特徴とするので、励磁コイル１４や検出コイル１２の内側に指標パターン等を設けなくても、基準位置（Ｚ相信号Ｓ１５ａ）を検出することができるため、ロータリィエンコーダ１全体を小型化することができる。
ここで、例えば、全周に渡って、つづら折りパターンが４５周期分のコイルを有する場合、１個分を欠歯させて欠歯部１７を設けたときに、通常のロータリィエンコーダ１としての機能は、わずかに誘起電流の発生が低下するのみであり、ほとんど影響を受けることがない。

また、欠歯部１７は、つづら折りパターンの１周期分であること、基準信号検出コイル１９が、つづら折りパターン９の半周期分であること、を特徴とする。例えば、全周に渡って、つづら折りパターン９が４５周期分のコイルを有する場合、欠歯部１７が１周期分であれば、通常のロータリィエンコーダ１としての機能は、わずかに誘起電流の発生が低下するのみであり、ほとんど影響を受けることがない。同時に、基準信号検出コイル１９が、丁度半周期分なので、信号処理が容易である。
すなわち、半周期より大きいか、または小さいと、基準信号検出コイル１９が検出した信号を、複数のコンパレータで処理する等の複雑な信号処理を必要とするからである。

また、基準信号検出コイル１９が、渦巻き状パターンを有していること、を特徴とするので、基準信号検出コイル１９が半周期分の面積しかなくても、大きな検出出力を得ることができる。
また、高周波信号が、５００ｋＨｚ以上であること、を特徴とするので、高周波信号を利用することにより、検出コイル１２の巻線数を少なくすることができ、ロータ平板１３やステータ平板１１上につづら折りパターン９、６を形成することで、導線を巻きつけることなく、励磁コイル１４や検出コイル１２を形成することができる。これにより、ロータリィエンコーダ１を小型化することができる。

なお、この発明は前記各実施形態に限定されるものではなく、発明の趣旨を逸脱することのない範囲で以下のように実施することもできる。
本実施の形態では、高周波信号として、２ＭＨｚの高周波を用いているが、５００ｋＨｚ以上の高周波であれば良い。
本実施の形態では、エンジンのクランクシャフトの回転角度を計測するロータリィエンコーダについて説明したが、計測する対象物は、クランクシャフトに限らず、計測可能である。
本実施の形態では、基準信号検出コイル１９を、検出コイル１２の端子間に空間（切欠き部）を形成し、その箇所に設けているが、検出コイル１２の端子間でなくて、検出コイルの中間に切欠き部を形成して、その箇所に基準信号検出コイル１９を形成しても良い。
本実施の形態では、基準信号検出コイル１９として、大きな検出出力を得るため、複数巻きの渦巻き状パターンのコイルを用いたが、十分な検出出力が得られるならば、巻き数１のループ形状やコの字型のコイルを用いても良い。

本発明は、電磁誘導式ロータリィエンコーダや電磁誘導式リニアエンコーダに利用することができる。

７ロータ側ロータリィトランス
８ステータ側ロータリィトランス
１１ステータ平板
１２検出コイル
１３ロータ平板
１４励磁コイル
１７欠歯部
１９基準信号検出コイル
２１励磁回路
２２高周波発生器

Claims

ロータ平板とステータ平板が対向して設けられ、前記ロータ平板の回転動作変位を検出する電磁誘導式の回転位置センサにおいて、
前記ロータ平板の外周部につづら折り状の励磁コイルが形成され、内周部にロータ側ロータリィトランスが形成されていること、
前記ステータ平板の外周部に、つづら折り状の検出コイルが形成され、内周部にステータ側ロータリィトランスが形成されていること、
前記励磁コイルのつづら折りパターンが、欠歯部を有すること、
前記検出コイルの一部に切欠き部を形成し、前記切欠き部に基準信号検出コイルを設けていること、
前記ステータ側ロータリィトランス及び前記ロータ側ロータリィトランスを介して、前記励磁コイルに高周波信号を励磁する高周波励磁回路を有すること、
を特徴とする回転位置センサ。
請求項１に記載する回転位置センサにおいて、
前記欠歯部は、前記つづら折りパターンの１周期分であること、
前記基準信号検出コイルが、前記つづら折りパターンの半周期分であること、
を特徴とする回転位置センサ。
請求項１または請求項２に記載する回転位置センサにおいて、
前記基準信号検出コイルが、渦巻き状パターンを有していること、
を特徴とする回転位置センサ。
請求項１乃至請求項３に記載する回転位置センサのいずれか１つにおいて、
前記高周波信号が、５００ｋＨｚ以上であること、
を特徴とする回転位置センサ。