JP5210617B2 - Resin sealing device provided with resin transport mechanism, and resin transport method in resin seal device - Google Patents
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Description
本発明は、半導体チップ等を樹脂にて封止する樹脂封止装置の技術分野に関する。 The present invention relates to a technical field of a resin sealing device that seals a semiconductor chip or the like with a resin.
樹脂封止装置では、その運転に伴って金型表面に封止材料である樹脂などが付着物として堆積する等により、高品質な樹脂封止が阻害される場合がある。そこで定期的にまたは不定期にこれら金型表面の付着物を取り除くべく、金型表面のクリーニングが必要となる。クリーニングの手法としては、種々考えられる。例えば、特許文献1に記載される樹脂封止装置においては、通常の樹脂封止に使用される樹脂ではなく、クリーニング専用の樹脂を用いてクリーニングが行われている。ここでは必要となるタイミングで、これらクリーニング用樹脂を搬送機構(ローダ)によって金型へと搬送した上で金型のプレス作業を行い、金型表面の付着物を当該クリーニング用樹脂側に再付着させるという手法によりクリーニングが行われている。また、このクリーニング用樹脂の金型への搬送は、通常の封止用樹脂を金型へと搬送する搬送機構に頼っている(即ち、1つの搬送機構によって封止用樹脂とクリーニング用樹脂を適宜持ち替えて搬送している。)。
In the resin sealing device, there is a case where high-quality resin sealing is hindered due to deposition of a resin or the like, which is a sealing material, on the mold surface as an adhering substance. Therefore, it is necessary to clean the mold surface in order to remove deposits on the mold surface regularly or irregularly. Various cleaning methods are conceivable. For example, in the resin sealing device described in
特許文献1に記載されている樹脂封止装置のように、1つの搬送機構によって異なる種類の樹脂を適宜持ち替えて搬送した場合には、樹脂の混入が生じるといった問題があった。即ち、ある種類の樹脂の搬送の際に搬送機構に付着残存した僅かな樹脂が、他の種類の樹脂の搬送の際に剥離し、金型内に供給されてしまうという問題である。具体的には、例えば、クリーニング作業を行った後の樹脂封止作業において、搬送機構に付着残存したクリーニング用樹脂のカスが本来の封止用樹脂に混入して金型内に供給されるような場合である。このような樹脂の混入が起これば、必然的に樹脂封止品質が低下してしまう。
As in the resin sealing device described in
出願人は、既にかかる問題点を解消する発明を提案済みである(特願2007−191956号)。ここでは、搬送機構によって直接樹脂を保持するのではなく、樹脂の種類毎に専用の樹脂ホルダ(搬送機構に対して着脱・交換可能な樹脂ホルダ)を用意し、当該樹脂ホルダを介して搬送することによって(樹脂の種類が変更される場合は樹脂ホルダごと交換する)樹脂の混入を防止するというものである。 The applicant has already proposed an invention for solving such problems (Japanese Patent Application No. 2007-191956). Here, instead of directly holding the resin by the transport mechanism, a dedicated resin holder (resin holder that can be attached to and detached from the transport mechanism) is prepared for each type of resin, and transported through the resin holder. In this way (when the resin type is changed, the entire resin holder is replaced) to prevent resin contamination.
しかしながら、樹脂ホルダに対する樹脂の供給(空き樹脂ホルダに対する樹脂の供給)にはある程度の時間を要するため、当該樹脂ホルダへの樹脂の供給が搬送機構の搬送能力を律してしまう場合があった。即ち、空き樹脂ホルダに対しての樹脂の供給(収容)は、一旦搬送機構から樹脂ホルダを取り外した上で、樹脂供給機構によって当該空き樹脂ホルダに対して樹脂を供給した後、再度搬送機構に装着するという手順にて行われるため、搬送機構が空き樹脂ホルダを持ち帰ってから次回の搬送に入るまでの間に相応の時間を要するためである。なお、搬送機構に保持されている樹脂ホルダに対して直接樹脂を供給することも理論的には可能であるが、設計上の不自由度が大きい。 However, since a certain amount of time is required for supplying the resin to the resin holder (supplying the resin to the empty resin holder), the supply of the resin to the resin holder may limit the transfer capability of the transfer mechanism. That is, the supply (accommodation) of the resin to the empty resin holder is performed by once removing the resin holder from the conveyance mechanism, supplying the resin to the empty resin holder by the resin supply mechanism, and then again supplying the resin to the conveyance mechanism. This is because it is performed according to the procedure of mounting, and it takes a certain amount of time from when the transport mechanism brings back the empty resin holder until the next transport starts. Although it is theoretically possible to supply the resin directly to the resin holder held by the transport mechanism, the degree of design inconvenience is large.
本発明は、この問題点を解決するべくなされたものであって、複数の樹脂ホルダを予め用意した上で、搬送の都度、空き樹脂ホルダと既に樹脂が収容されている収容済み樹脂ホルダとを交換することによって、搬送機構が空き樹脂ホルダを持ち帰ってから次回の搬送に入るまで時間の短縮を図ることで搬送能力の向上を図り、全体としてサイクルタイムに優れた樹脂封止装置を提供するものである。 The present invention has been made to solve this problem. After preparing a plurality of resin holders in advance, an empty resin holder and a resin holder that already contains resin are provided each time it is transported. By exchanging, the transport mechanism improves the transport capacity by shortening the time from when the empty resin holder is brought back to the next transport, and provides a resin sealing device with excellent cycle time as a whole It is.
本発明は、金型に対して樹脂を搬送する搬送機構を備えた樹脂封止装置であって、前記樹脂を収容可能且つ前記搬送機構に着脱・交換可能とされた複数の樹脂ホルダを備え、前記搬送機構が、該搬送機構に装着された前記樹脂ホルダを介して該樹脂ホルダに収容されている前記樹脂を搬送可能とされ、更に、前記搬送機構が前記樹脂を前記金型へと搬送するサイクル毎に、空き樹脂ホルダと収容済み樹脂ホルダとを着脱・交換することにより、上記課題を解決するものである。 The present invention is a resin sealing device provided with a transport mechanism for transporting resin to a mold, comprising a plurality of resin holders capable of containing the resin and detachable / replaceable in the transport mechanism, The transport mechanism can transport the resin contained in the resin holder via the resin holder attached to the transport mechanism, and the transport mechanism transports the resin to the mold. The above-described problems are solved by attaching and detaching and replacing the empty resin holder and the accommodated resin holder for each cycle.
即ち、予め複数の樹脂ホルダを用意した上で、搬送機構に装着されていない樹脂ホルダ(即ち、現在進行形で金型に対して樹脂を搬送している樹脂ホルダ以外の樹脂ホルダ)に対して、次回の搬送時までに必要な樹脂を供給(収容)しておく。更にその上で、搬送機構が空き樹脂ホルダ(金型に樹脂を投入後の樹脂ホルダ)を持ち帰った際に、(この空き樹脂ホルダを取り外して当該空き樹脂ホルダに樹脂を供給(収容)し、再度搬送機構に装着するのではなく)予め樹脂が収容された別個の樹脂ホルダと「ホルダ自体」を交換し、直ちに次回の搬送を行うことを可能としている。 That is, with a plurality of resin holders prepared in advance, a resin holder that is not mounted on the transport mechanism (that is, a resin holder other than the resin holder that is currently traveling and transports resin to the mold) The necessary resin is supplied (accommodated) until the next conveyance. Furthermore, when the transport mechanism brings back an empty resin holder (resin holder after charging the mold), the resin is supplied (accommodated) by removing the empty resin holder and supplying the resin to the empty resin holder, It is possible to replace the “resin holder itself” with a separate resin holder in which the resin is accommodated in advance (without being attached to the transport mechanism again), and to perform the next transport immediately.
このような構成とすることによって、持ち帰った樹脂ホルダに対して樹脂を供給(収容)する間の時間を待つ必要がなく、搬送機構の搬送能力を向上させることが可能となった。 By adopting such a configuration, it is not necessary to wait for the time during which the resin is supplied (accommodated) to the resin holder brought back, and the transport capability of the transport mechanism can be improved.
なお、本発明は、樹脂ホルダを介して樹脂を搬送するという形式を採用する搬送機構を有している限り「搬送機構の搬送能力の向上」という効果を発揮でき、必ずしも、搬送する樹脂の種類が複数である必要はない。 In addition, as long as it has the conveyance mechanism which employ | adopts the form of conveying resin through a resin holder, this invention can exhibit the effect of "the improvement of the conveyance capability of a conveyance mechanism", and is not necessarily the kind of resin to convey. There is no need to have more than one.
また、前記樹脂が、使用目的に応じて複数種類用意され、前記樹脂ホルダが、前記複数種類の樹脂毎にそれぞれ複数用意すれば、搬送機構の搬送能力の向上と同時に、複数種類の樹脂の混入を防止するという効果を発揮でき、1つの搬送機構によって異なる種類の樹脂が搬送される場合においても、樹脂の混入を効果的に防止することが可能となる。 Further, if a plurality of types of the resin are prepared according to the purpose of use and a plurality of the resin holders are prepared for each of the plurality of types of resins, mixing of a plurality of types of resins can be performed at the same time as improving the conveyance capability of the conveyance mechanism. In the case where different types of resin are transported by one transport mechanism, it is possible to effectively prevent the resin from being mixed.
また本発明は、見方を変えると、金型に対して樹脂を搬送する搬送機構を備えた樹脂封止装置における樹脂の搬送方法であって、前記搬送機構が前記樹脂を前記金型へと搬送するサイクル毎に、前記樹脂を収容可能な樹脂ホルダを介して保持した前記樹脂を前記金型へと搬送する工程と、前記金型に対して保持する前記樹脂を投入する工程と、投入後の空き樹脂ホルダを持ち帰る工程と、前記空き樹脂ホルダと、前記樹脂が収容されている収容済み樹脂ホルダとを着脱・交換する工程と、を含むことを特徴とする樹脂封止装置における樹脂の搬送方法として捉えることも可能である。 In another aspect, the present invention relates to a resin transport method in a resin sealing device having a transport mechanism for transporting resin to a mold, and the transport mechanism transports the resin to the mold. A step of transporting the resin held via the resin holder capable of containing the resin to the mold, a step of charging the resin held against the mold, and A method for transporting a resin in a resin sealing device, comprising: bringing back an empty resin holder; and a step of attaching and detaching and replacing the empty resin holder and a stored resin holder in which the resin is stored It can also be understood as
またこれらの場合、空き樹脂ホルダ内には、次回の搬送までに樹脂が収容される。 In these cases, the resin is accommodated in the empty resin holder until the next conveyance.
本発明を適用することにより、樹脂搬送機構の搬送能力を向上させることができ、樹脂封止装置全体のサイクルタイムが向上する。 By applying the present invention, the transfer capability of the resin transfer mechanism can be improved, and the cycle time of the entire resin sealing device is improved.
以下、添付図面を参照しつつ、本発明の実施形態の一例について詳細に説明する。 Hereinafter, an example of an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
図1は、本発明の実施形態の一例である樹脂封止装置100の概略構成図である。図2は、ローダ130の側断面図である。図3は、図2における矢示IV‐IV線に沿う断面図である。図4は、チャック部の拡大正面図である。図5乃至図13は、チャック部の樹脂ホルダ着脱・交換の工程を示した図である。 FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a resin sealing device 100 which is an example of an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a side sectional view of the loader 130. FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. FIG. 4 is an enlarged front view of the chuck portion. FIG. 5 thru | or FIG. 13 is the figure which showed the process of the resin holder attachment / detachment / exchange of a chuck | zipper part.
なお説明の都合上、図1における紙面左右方向をX方向、同上下方向をY方向、これらX方向及びY方向のいずれにも直交する方向をZ方向(高さ方向)として説明する。 For convenience of explanation, the left and right direction in FIG. 1 is described as the X direction, the up and down direction is defined as the Y direction, and the direction perpendicular to both the X direction and the Y direction is defined as the Z direction (height direction).
<樹脂封止装置の構成>
樹脂封止装置100は、当該装置の基台となるベース部101上に、樹脂封止前の被成形品が供給される基板供給部102と、樹脂封止後の成形品が収納される成形品収納部104と、これら基板供給部102及び成形品収納部104との間に並んで配置される2つの金型106とが直線的に配置されている。本実施形態における基盤供給部102は、通常の樹脂封止に使用される被成形品(リードフレームや基板)の供給の他に、指示により、クリーニングに使用されるクリーニング用の被成形品(ダミーフレーム、ダミー基板)を供給することが可能とされている。更に基板供給部102の近傍には、基板供給部102から取り出された被成形品を旋回させて向きを整える旋回テーブル103、旋回テーブル103によって向きが整えられた後に被成形品を所定の温度にまで加熱し保温するプレヒータ部105が配置されている。更にこれら旋廻テーブル103およびプレヒータ部105と並んで、封止材料としての樹脂タブレットが供給される樹脂タブレット供給部(樹脂供給部)109が配置されている。樹脂タブレット供給部109においては、樹脂ホルダ170内に樹脂タブレットが収容される。また、樹脂タブレット供給部109にはリフタ109Aが備わっており(図1においては図示していない)、樹脂ホルダ170をリフトしてローダ130に受け渡すことが可能とされている。なお、本実施形態においては、当該樹脂供タブレット供給部109によって、通常の樹脂封止に使用される樹脂の他に、金型クリーニングに使用するクリーニング用樹脂が供給可能とされている。また、クリーニング用樹脂の供給は、クリーニング用樹脂専用の樹脂ホルダ170に対して行われる構成とされている。
<Configuration of resin sealing device>
The resin sealing device 100 includes a substrate supply unit 102 to which a product to be molded before resin sealing is supplied and a molded product in which a molded product after resin sealing is stored on a
一方、成形品収納部104の近傍には、樹脂封止後の成形品が冷却される冷却ステージ(冷却部)107、冷却ステージ107にて冷却された成形品の不要部分(カル部)が取り出されるゲートブレーク部108が配置されている。 On the other hand, in the vicinity of the molded product storage unit 104, a cooling stage (cooling unit) 107 in which the molded product after resin sealing is cooled, and an unnecessary part (cull unit) of the molded product cooled by the cooling stage 107 are taken out. A gate break portion 108 is disposed.
また、ベース部101には基板供給部102、成形品収納部104、金型106の並びと平行して、X方向ガイド120が設置されている。このX方向ガイド120上には、ローダ130及びアンローダ140が当該ガイドに沿って自由に移動することが可能に配置されている。これらローダ130及びアンローダ140は、複数配置された金型106に対する搬送機構として機能する。即ち、ローダ130は、基板供給部102から供給される樹脂封止前の被成形品および樹脂タブレット供給部109から供給される樹脂タブレットを所定のタイミングで金型106へと搬入する。一方、アンローダ140は、それぞれの金型106にて樹脂封止された成形品を搬出し成形品収納部104へと収納する機能を有している。
Further, an
なお、本実施形態においては、前述したように金型106が2つ配置されているが、必ずしも2つに限定されるものではなく、1つまたは3つ以上の金型が配置されていてもよい。更に、基板供給部102と成形品収納部104とが同じ側に配置されていたり、更にローダ130及びアンローダ140が単一の搬送機構によって実現されていてもよい。 In the present embodiment, two molds 106 are arranged as described above. However, the number of molds 106 is not necessarily limited to two, and one or three or more molds may be arranged. Good. Furthermore, the substrate supply unit 102 and the molded product storage unit 104 may be arranged on the same side, and the loader 130 and the unloader 140 may be realized by a single transport mechanism.
次に、図2乃至図4を用いて搬送機構としてのローダ130について詳細に説明する。なお、ここではローダ130について説明するが、アンローダ140についても略同様の機構が採用されている。 Next, the loader 130 as a transport mechanism will be described in detail with reference to FIGS. Although the loader 130 will be described here, a substantially similar mechanism is also adopted for the unloader 140.
ローダ130は、ベース部101に設けられた2本のX方向ガイド120の上に配置されている。即ち、このローダ130は、X方向ガイド120に沿ってベース部101上を自在に移動することが可能とされている。ローダ130のローダ本体(本体部)131は、側面(X方向)から見ると略L字形状に構成されている。このL字形状の長辺部分(図2において左右方向)に沿って、ローダ本体131にはスライドレール(ガイド部)134が設けられている。このスライドレール134には、1本のスライドレール134に対して2つのスライド体133が嵌合している。更にこの2つのスライド体133は、アーム部132に連結固定されている。即ち、ローダ本体131内に収容されているアーム部132は、このスライドレール134及びスライド体133を介してローダ本体131に対してスライド可能に支持されている。なお、本実施形態ではアーム部132がローダ本体131に対してスライド可能に構成されているが、スライドすること自体は本発明の必須の構成要素ではない。更に、アーム部132におけるスライド体133の連結位置よりも金型106側(即ちスライド先側)には、スライドレール134に当接するように1つのスライドレール134に対して4つの支持ローラ135が設けられている。更にこの支持ローラ135よりも金型106側(即ちスライド先側)には上下機構137を介してチャック部136が垂設されている。なお、図2および図3ではチャック部136を簡略化して示しているため、図4を参照しつつその構造を詳細に説明する。
The loader 130 is disposed on the two
<チャック部の構成>
チャック部136は、上下機構137を介してアーム部132から垂設されており、上下機構137を作動させることによって、適宜上下に(Z方向に)昇降させることが可能とされている。チャック部136は、上下機構137と連結されたチャック部本体150と、このチャック部本体150の下面に第1スライドガイド151を介してスライド可能に連結されたスライドプレート152と、更に、このスライドプレートに第2スライドガイド153を介してスライド可能に連結された爪プレート154と、当該爪プレート154に固定されたチャック爪155とを有した構成とされている。なお、第1スライドガイド151および第2スライドガイド153はいずれもX方向(図4における左右方向)にスライド可能である。これらスライドプレート152、第2スライドガイド153、爪プレート154、チャック爪155によって、1つのチャック機構139を構成している。チャック部本体150には、このようなチャック機構139がX方向に位置を異ならせて合計2つ配置構成されている(第1、第2のチャック機構139A、139B)。その結果2つのチャック機構(第1、第2のチャック機構)139が、それぞれ第1スライドガイド151に沿って相対的にスライドすることで、お互いの距離を広げたり狭めたりすること(当接・離間)が可能とされている。即ち、この第1スライドガイド151が、第1、第2のチャック機構139A、139Bを相対的に水平方向へ移動させることが可能な「水平移動機構」として機能する。また、スライドプレート152には、ホルダフック部156が設けられている。このホルダフック部156は、スライドプレート152における「隣接するチャック機構側」に設けられている。即ち、第1のチャック機構139Aに備わるスライドプレート152においては第2のチャック機構139B側に、一方、第2のチャック機構139Bに備わるスライドプレート152においては第1のチャック機構側139A側に設けられている。
<Configuration of chuck part>
The
また、チャック部本体150の上面にはクランプアクチュエータ157が設置固定されており、当該クランプアクチュエータ157のロッド157Aがチャック部本体150の下面側に突出可能に配置されている。
Further, a
また、樹脂タブレット180を収容可能な樹脂ホルダ170には、複数の樹脂タブレット収容部170Aが設けられており、1つの樹脂タブレット収容部170Aに対してそれぞれ1つ以上の樹脂タブレット180が収納可能に構成されている(図11(B)を合わせて参照)。また、樹脂ホルダ170には、(Y方向)前後にそれぞれ1つずつ張出部170Bが形成されている。
Further, the
なお、図5乃至図13においては、便宜上、上下機構137を省略し図示している。 5 to 13, the vertical mechanism 137 is omitted for convenience.
<樹脂封止装置全体の作用>
続いて樹脂封止装置100の作用について説明する。
<Operation of the entire resin sealing device>
Next, the operation of the resin sealing device 100 will be described.
最初に、基板供給部102から樹脂封止前の一枚の被成形品が旋廻テーブル103へと搬送される。この搬送は図示せぬ搬送ハンドによって行われる。旋廻テーブル103に一枚の被成形品が搬送されると旋廻テーブル103が回転する。その後もう1枚の被成形品が旋廻テーブル103へと搬送され、計2枚の被成形品が旋廻テーブル103上に配置される。その後ローダ130によって2枚の被成形品が同時にプレヒータ105部に搬送される。ここでは、ローダ130のアーム部132がY方向にスライドした上で、チャック部136における爪プレート154のスライドによりチャック爪155が開き、被成形品をクランプし保持し搬送する。プレヒータ部105では、被成形品が所定の温度にまで加熱され保温される。プレヒータ105部は本実施形態では2つ設けられており、そのうちのいずれか(空いている側)に搬送される。
First, a single molded product before resin sealing is conveyed from the substrate supply unit 102 to the turning table 103. This conveyance is performed by a conveyance hand (not shown). When one molded product is conveyed to the turning table 103, the turning table 103 rotates. Thereafter, the other molded product is conveyed to the turning table 103, and a total of two molded products are arranged on the turning table 103. Thereafter, the two molded articles are simultaneously conveyed to the
一方、樹脂タブレット供給部109においては、封止材料としての樹脂タブレット180が樹脂ホルダ170の収容部170Aへと供給される。その後、プレヒータ部105にて保温されている被成形品が、チャック爪155によって保持される。更に、樹脂タブレット180が収容された樹脂ホルダ170がリフタ109Aによってリフトされ、チャック部136に保持される。この保持は、2つのチャック機構139(139A、139B)が第1スライドガイド151によってX方向にスライドすることによって行われる(詳細は後述する)。即ち、ローダ130によって、被成形品および樹脂タブレット180が収容された樹脂ホルダ170が同時に金型106へと搬送される。
On the other hand, in the resin
ローダ130によって搬送された被成形品および樹脂タブレット180は、所定のタイミングで金型106へと投入される。その後、ローダ130は、金型106から退避し、空になった樹脂ホルダ(空き樹脂ホルダ)170を装着した状態のまま、樹脂タブレット供給部109側へと移動する。
The molded product and the
金型106において樹脂封止が完了すると、今後はアンローダ140によって樹脂封止後のワークが冷却ステージ107へと搬送される。冷却ステージ107では、樹脂封止後のワークが所定の温度にまで冷却される。その後再びアンローダ140によって、ワークが冷却ステージ107からゲートブレーク部108へと搬送される。ここではワークの不要部分、即ち、カル部に相当する樹脂がゲートブレークされて取り除かれる。不要部分は破棄され、残ったワークが製品収納部104へとアンローダ140によって搬送される。 When the resin sealing in the mold 106 is completed, the work after the resin sealing is transferred to the cooling stage 107 by the unloader 140 in the future. In the cooling stage 107, the workpiece after resin sealing is cooled to a predetermined temperature. Thereafter, the work is again transferred from the cooling stage 107 to the gate break unit 108 by the unloader 140. Here, an unnecessary portion of the work, that is, a resin corresponding to the cull portion is removed by gate break. Unnecessary parts are discarded, and the remaining work is conveyed to the product storage unit 104 by the unloader 140.
このような手順が繰り返されることによって樹脂封止が連続して行われる。 Resin sealing is continuously performed by repeating such a procedure.
樹脂封止装置100では、ローダ130による樹脂タブレット180の搬送の都度(ローダ130が樹脂タブレット180を金型106へと搬送するサイクル毎に)、樹脂ホルダ170の、着脱・交換が行われる。即ち、金型106に対して樹脂タブレット180を投入することによって「空」になった樹脂ホルダ(空き樹脂ホルダ)170を一旦取り外し、この空き樹脂ホルダ170に対して樹脂タブレット180を供給(収容)するのではなく、予め樹脂タブレット180が収容されている樹脂ホルダ(収容済み樹脂ホルダ)とのホルダ自体の交換が搬送の都度行われる。このような構成とすることによって、持ち帰った樹脂ホルダに対して樹脂を供給(収容)する間の時間を待たずに次回の搬送へと入ることが可能となり、ローダ130の搬送能力を向上させることが可能となっている。
In the resin sealing device 100, each time the
<樹脂ホルダの着脱・交換作業>
樹脂ホルダ170の着脱・交換作業について図5乃至図13を参照しつつ詳細に説明する。ここではローダ130の一部であるチャック部136のみを取り出して説明している。
<Removal / replacement of resin holder>
The attachment / detachment / exchange operation of the
現在保持している樹脂ホルダ170‐1(即ち、ローダ130が持ち帰った空の樹脂ホルダ170)の取り外しは以下のように行なわれる。
The resin holder 170-1 currently held (that is, the
最初に、図5に示したように、クランプアクチュエータ157のロッド157Aが上昇し、樹脂ホルダ170‐1への押圧(固定)が解除される。続いて2つ1組で構成されているリフタ109Aのうちの一方(樹脂ホルダ170が載置されていない側のリフタ109A‐1)が上昇して空き樹脂ホルダ170‐1の底面に当接する。更に、当該空き樹脂ホルダ170‐1の張出部170Bとホルダフック部156との当接が解かれる程度にまで樹脂ホルダ170‐1が持ち上がる(図6参照)。その状態で、チャック機構139が外側へとスライドする(即ち、スライドプレート152が第1スライドガイド151に沿ってスライドし、2つのチャック機構139が離間する。)。その結果、ホルダフック部156が樹脂ホルダ170‐1の張出部170Bの下側の位置から退避する(図7参照)。その後、図8に示したように、クランプアクチュエータ157のロッド157Aが再度突出し、樹脂ホルダ170‐1を押し下げると共に、リフタ109A‐1が下降することによって、樹脂ホルダ170‐1がチャック部136、即ちローダ130から取り外されることとなる(図9参照)。
First, as shown in FIG. 5, the
この段階において、もう一方のリフタ109A‐2に載置されている樹脂ホルダ170‐2には、既に次回搬送されるべき樹脂タブレット180が収容されている。
At this stage, the
次に、樹脂タブレット180が収容された樹脂ホルダ(収容済み樹脂ホルダ)170‐2の装着が行われる。
Next, the mounting of the resin holder (accommodated resin holder) 170-2 in which the
最初に、ローダ130が、樹脂ホルダ170‐2の真上の位置にまで移動する。この時点でも、2つのチャック機構139はそれぞれ外側(図10において左右に)に開いた状態となっている(このとき、それぞれのチャック機構139におけるチャック爪155によって次回搬送される被成形品が保持されていてもよい。)。この状態で、リフタ109A‐2が上昇し、樹脂ホルダ170‐2を2つのチャック機構139の間に搬送してくる(図10参照)。なお、本実施形態ではリフタ109A−2側が上昇しているが、代わりに、チャック部136側が下降するような構成を採用することも可能である。
First, the loader 130 moves to a position directly above the resin holder 170-2. Even at this time, the two
続いて、図11に示したように、それぞれのチャック機構139のスライドプレート152が第1スライドガイド151に沿って内側へとスライドする。この動作によって、スライドプレート152に備わるホルダフック部156が樹脂ホルダ170‐2における張出部170Bの下側へと進入する。なお、図11(B)にて示したように、上昇した樹脂ホルダ170‐2は、チャック部本体150から下方向に突出した位置決めピン158によってのXY方向の位置決めが行われる。
Subsequently, as shown in FIG. 11, the
続いて、図12に示したように、クランプアクチュエータ157のロッド157Aが突出し、樹脂ホルダ170‐2の上面を押圧する。これにより、図13に示したように、樹脂ホルダ170−2の張出部170Bがホルダフック部156に当接する。即ち、樹脂ホルダ170‐2がホルダフック部156によって確実に固定された状態で保持されることとなる。続いてリフタ109A‐2が下降する。このような一連の工程を経て、空き樹脂ホルダ170‐1と収容済み樹脂ホルダ170‐2との着脱・交換作業が完了する。
Subsequently, as shown in FIG. 12, the
本実施形態では、このように、予め複数の樹脂ホルダ170を用意した上で、ローダ130に装着されていない樹脂ホルダ(即ち、現在進行形で金型に対して樹脂を搬送している樹脂ホルダ以外の樹脂ホルダ)170−2に対して、次回の搬送時までに必要な樹脂タブレット180を供給(収容)しておく。更にその上で、ローダ130が空き樹脂ホルダ(金型に樹脂を投入後の樹脂ホルダ)170‐1を持ち帰った際に、(この空き樹脂ホルダ170‐1を取り外して当該空き樹脂ホルダ170‐1に樹脂タブレット180を供給(収容)し、再度ローダ130に装着するのではなく)予め樹脂タブレット180が収容された別個の樹脂ホルダ170‐2と「ホルダ自体」を交換し、直ちに次回の搬送を行うことを可能としている。
In this embodiment, after preparing a plurality of
このような構成とすることによって、持ち帰った樹脂ホルダ170‐1に対して樹脂タブレット180を供給(収容)する間の時間を待つ必要がなく、ローダ130の搬送能力を向上させることが可能となっている。
By adopting such a configuration, it is not necessary to wait for the time during which the
<クリーニング作業について>
また、所定のタイミングで、金型106のクリーニングが行われる。このタイミングは、樹脂封止の回数や、時間等により自動的に、若しくは作業者の操作によって行われる。クリーニング作業の指示がなされると、基盤供給部102からはクリーニング用の被成形品(ダミーフレーム)が供給され、一方、樹脂タブレット供給部109からは、クリーニング用樹脂タブレットが供給される。このクリーニング用樹脂タブレットは、専用の樹脂ホルダ(クリーニング用樹脂タブレット専用の樹脂ホルダ)170に収容される形で供給される。
<About cleaning work>
Further, the mold 106 is cleaned at a predetermined timing. This timing is performed automatically by the number of times of resin sealing, time, or the like, or by an operator's operation. When an instruction for the cleaning operation is given, a molded product (dummy frame) for cleaning is supplied from the substrate supply unit 102, while a cleaning resin tablet is supplied from the resin
その後、ローダ130がこれらクリーニング用の被成形品およびクリーニング用樹脂タブレットを金型106へと搬送することとなるが、当該搬送は、通常の封止用樹脂を収容していた樹脂ホルダ170とクリーニング用樹脂を収容している樹脂ホルダ170を着脱・交換した上で行なわれる。樹脂ホルダ170の着脱・交換作業は上記手順と同様である。
After that, the loader 130 conveys the molded article for cleaning and the cleaning resin tablet to the mold 106. The conveyance is performed by cleaning with the
その後ローダ130によって、クリーニング用の被成形品(ダミーフレーム)およびクリーニング用樹脂が金型へと搬送・投入され、クリーニング作業が行われる。また、クリーニング作業が終了した際には、再度樹脂ホルダの着脱・交換が行われ、封止用樹脂専用の樹脂ホルダ170を用いて、封止用樹脂の搬送が行われる。
After that, the loader 130 conveys and puts the molding object (dummy frame) and the cleaning resin into the mold for cleaning work. When the cleaning operation is completed, the resin holder is attached / detached / replaced again, and the sealing resin is conveyed using the
なお、樹脂ホルダ170からの樹脂タブレット180の放出、並びに、樹脂ホルダへのタブレット樹脂の収容は、例えば図14に示すように、外部に配置されたシリンダ190等によって、タブレットシャッタ170Cを開閉することにより行われる。
Note that the release of the
また、本実施形態では、単一のローダ130よって樹脂および被成形品の搬送が実現されており、装置のコンパクト化に寄与している。また、ローダ130には被成形品を保持可能な2組のチャック機構139が備わっており、当該2組のチャック機構139を水平移動させることにより樹脂ホルダ170の着脱・交換を実現している。このような構成を採用した結果、当該スライドによってチャック機構139の間隔を金型における被成形品の配置間隔に合わせて調整することが可能となる。
In this embodiment, the single loader 130 realizes the transfer of the resin and the molded product, which contributes to the compactness of the apparatus. In addition, the loader 130 includes two sets of
また、複数の樹脂ホルダ170をその種類に応じて(収容する樹脂の種類に応じて)特定の場所に(当該樹脂封止装置100上の定められた場所)に予め配置しておき、当該特定の場所において、配置された樹脂ホルダ170の有無を検知することにより、ローダ130による樹脂の保持・非保持を検出したり、更に、この特定の位置に応じて保持する樹脂の種類を識別してもよい。即ち、ある特定の場所に在るべき樹脂ホルダ170が無くなれば、その場所に対応した種類の樹脂がローダ130によって保持されていると判断することが可能となる。
In addition, a plurality of
また、ローダ130が、樹脂ホルダ170の着脱により該樹脂ホルダに収容された前記樹脂の保持・非保持を検出可能としたり、樹脂ホルダ170に、樹脂の種類に応じた識別標識を設け、該識別標識(例えば樹脂ホルダ170の少なくとも一部の形状、模様、色彩またはこれらの組み合わせ)により樹脂の種類を識別可能とすれば、当該識別情報を樹脂封止装置の制御等に利用することが可能となる。
In addition, the loader 130 can detect holding / non-holding of the resin accommodated in the resin holder by attaching or detaching the
なお、本実施形態では、「封止用樹脂」と「クリーニング用樹脂」という2種類の樹脂を例に説明しているが、これに限られるものではない。例えば、製品に応じて性質の異なる複数種類の樹脂が用いられる場合にも適用可能である。 In the present embodiment, two types of resins, ie, “sealing resin” and “cleaning resin” are described as examples. However, the present invention is not limited to this. For example, the present invention can also be applied when a plurality of types of resins having different properties are used depending on the product.
また、樹脂としてタブレット形状の樹脂を例に説明しているが、その他、粉状、粒状等の樹脂であっても同様の効果を発揮し得る。 Moreover, although the tablet-shaped resin is demonstrated to resin as an example, the same effect can be exhibited even if it is other resin such as powder or granule.
トランスファ成形、圧縮成形等の封止形式を問わず、広く樹脂封止装置に利用することが可能である。特に、複数の金型を並列的に配置した複数プレス型の樹脂封止装置に好適である。 Regardless of the sealing type such as transfer molding or compression molding, it can be widely used in a resin sealing device. In particular, it is suitable for a multi-press type resin sealing apparatus in which a plurality of dies are arranged in parallel.
100…樹脂封止装置
101…ベース部
102…基板供給部
103…旋回テーブル
104…成形品収納部
105…プレヒータ
106…金型
107…冷却ステージ
108…ゲートブレーク
109…樹脂タブレット供給部
109A…リフタ
120…X方向ガイド
130…ローダ
131…ローダ本体
132…アーム部
133…スライド体
134…スライドレール
136…チャック部
137…上下機構
140…アンローダ
150…チャック部本体
151…第1スライドガイド
152…スライドプレート
153…第2スライドガイド
154…爪プレート
155…チャック爪
156…ホルダフック部
157…クランプアクチュエータ
157A…ロッド
158…位置決めピン
170…樹脂ホルダ
170A…樹脂タブレット収容部
170B…張出部
180…樹脂タブレット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ...
155 ...
Claims (4)
前記樹脂を収容可能且つ前記搬送機構に着脱・交換可能とされた複数の樹脂ホルダを備え、
前記搬送機構が、該搬送機構に装着された前記樹脂ホルダを介して該樹脂ホルダに収容されている前記樹脂を搬送可能とされ、
更に、前記搬送機構が前記樹脂を前記金型へと搬送するサイクル毎に、空き樹脂ホルダと収容済み樹脂ホルダとを着脱・交換する
ことを特徴とする樹脂封止装置。 A resin sealing device including a transport mechanism for transporting resin to a mold,
A plurality of resin holders capable of accommodating the resin and being detachable / replaceable in the transport mechanism;
The transport mechanism can transport the resin contained in the resin holder via the resin holder mounted on the transport mechanism,
Furthermore, the empty resin holder and the accommodated resin holder are attached and detached and exchanged for each cycle in which the transport mechanism transports the resin to the mold.
前記樹脂が、使用目的に応じて複数種類用意され、
前記樹脂ホルダが、前記複数種類の樹脂毎にそれぞれ複数用意されている
ことを特徴とする樹脂封止装置。 In claim 1,
A plurality of types of resins are prepared according to the purpose of use,
A plurality of the resin holders are prepared for each of the plurality of types of resins.
前記搬送機構が前記樹脂を前記金型へと搬送するサイクル毎に、
前記樹脂を収容可能な樹脂ホルダを介して保持した前記樹脂を前記金型へと搬送する工程と、
前記金型に対して保持する前記樹脂を投入する工程と、
投入後の空き樹脂ホルダを持ち帰る工程と、
前記空き樹脂ホルダと、前記樹脂が収容されている収容済み樹脂ホルダとを着脱・交換する工程と、を含む
ことを特徴とする樹脂封止装置における樹脂の搬送方法。 A resin transport method in a resin sealing device having a transport mechanism for transporting resin to a mold,
For each cycle in which the transport mechanism transports the resin to the mold,
Transporting the resin held through a resin holder capable of containing the resin to the mold;
Introducing the resin to be held against the mold;
The process of bringing back the empty resin holder after the injection,
A method for transporting resin in a resin sealing device, comprising: a step of attaching and detaching and replacing the empty resin holder and a stored resin holder in which the resin is stored.
前記空き樹脂ホルダ内には、次回の搬送までに前記樹脂が収容される
ことを特徴とする樹脂封止装置における樹脂の搬送方法。 In claim 3,
The resin is accommodated in the empty resin holder before the next conveyance. A method for conveying a resin in a resin sealing device.
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