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JP5187641B2 - Scanning light measurement device, image display control device, and image display control method - Google Patents

Scanning light measurement device, image display control device, and image display control method Download PDF

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JP5187641B2 JP2009222150A JP2009222150A JP5187641B2 JP 5187641 B2 JP5187641 B2 JP 5187641B2 JP 2009222150 A JP2009222150 A JP 2009222150A JP 2009222150 A JP2009222150 A JP 2009222150A JP 5187641 B2 JP5187641 B2 JP 5187641B2
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Description

本発明は、2次元走査系において走査光を測定する走査光測定装置、及び網膜走査ディスプレイ装置などの画像表示装置において、走査光を測定することで、画像の表示を制御する画像表示制御装置、並びに画像表示制御方法に関する。   The present invention relates to an image display control device that controls display of an image by measuring scanning light in an image display device such as a scanning light measuring device and a retinal scanning display device that measures scanning light in a two-dimensional scanning system, The present invention also relates to an image display control method.

従来より、画像情報に基づいた画像光による画像が外光による外景とともに観察者により視認されるように構成されたシースルー型ヘッドマウントディスプレイが知られている。その一例として、網膜走査型ディスプレイが存在する。網膜走査型ディスプレイは、観察者の頭部近傍に装着され、画像光を観察者の眼に導き、観察者の網膜上で2次元方向に走査することにより、コンテンツ情報に対応する画像が観察者により視認されるように構成されたものである。   2. Description of the Related Art Conventionally, a see-through type head mounted display configured such that an image by image light based on image information is visually recognized by an observer together with an outside scene by external light is known. One example is a retinal scanning display. The retinal scanning display is mounted in the vicinity of the observer's head, guides image light to the observer's eyes, and scans the observer's retina in a two-dimensional direction so that an image corresponding to the content information is displayed to the observer. It is comprised so that it may be visually recognized by.

図14は、特許文献1に開示されている網膜走査型ディスプレイの2次元走査系の構成を示す概略図である。図14に示すように、網膜走査ディスプレイ201は、伝送ケーブル250と、水平走査部260と、リレー光学系270と、垂直走査部280と、リレー光学系290とを備える。   FIG. 14 is a schematic diagram illustrating a configuration of a two-dimensional scanning system of a retinal scanning display disclosed in Patent Document 1. As shown in FIG. 14, the retinal scanning display 201 includes a transmission cable 250, a horizontal scanning unit 260, a relay optical system 270, a vertical scanning unit 280, and a relay optical system 290.

伝送ケーブル250は、画像光を水平走査部260に導く。水平走査部260は、画像光を画像表示のために水平方向に往復走査する。リレー光学系270は、水平走査部260と垂直走査部280との間に設けられ、水平走査部260により走査された画像光を、垂直走査部280に導く。垂直走査部280は、水平走査部260で水平方向に走査された画像光を垂直方向に往復走査する。リレー光学系290は、水平方向と垂直方向とに走査(2次元的に走査)された画像光を瞳孔Eaへ出射する。   The transmission cable 250 guides the image light to the horizontal scanning unit 260. The horizontal scanning unit 260 reciprocates the image light in the horizontal direction for image display. The relay optical system 270 is provided between the horizontal scanning unit 260 and the vertical scanning unit 280 and guides the image light scanned by the horizontal scanning unit 260 to the vertical scanning unit 280. The vertical scanning unit 280 reciprocates in the vertical direction the image light scanned in the horizontal direction by the horizontal scanning unit 260. The relay optical system 290 emits image light scanned (two-dimensionally scanned) in the horizontal direction and the vertical direction to the pupil Ea.

水平走査部260は、共振型偏向素子261と、水平走査制御回路262と、を備えている。共振型偏向素子261は、画像光を水平方向に走査するための反射面を有する。水平走査制御回路262は、共振型偏向素子261を共振させる。リレー光学系270は、水平走査部260と垂直走査部280との間で画像光を中継する。共振型偏向素子261によって水平方向に走査された光は、リレー光学系270によって垂直走査部280内の偏向素子281の反射面に収束される。   The horizontal scanning unit 260 includes a resonance type deflection element 261 and a horizontal scanning control circuit 262. The resonant deflection element 261 has a reflection surface for scanning the image light in the horizontal direction. The horizontal scanning control circuit 262 resonates the resonance type deflection element 261. The relay optical system 270 relays image light between the horizontal scanning unit 260 and the vertical scanning unit 280. The light scanned in the horizontal direction by the resonance type deflection element 261 is converged on the reflection surface of the deflection element 281 in the vertical scanning unit 280 by the relay optical system 270.

垂直走査部280は、偏向素子281と、垂直走査制御回路282と、を備えている。偏向素子281は、リレー光学系270により導かれた画像光を垂直方向に走査する。垂直走査制御回路282は、偏向素子281を揺動させる。共振型偏向素子261により水平方向に走査され、偏向素子281によって垂直方向に走査された画像光は、2次元的に走査された走査画像光としてリレー光学系290へ出射される。   The vertical scanning unit 280 includes a deflection element 281 and a vertical scanning control circuit 282. The deflection element 281 scans the image light guided by the relay optical system 270 in the vertical direction. The vertical scanning control circuit 282 swings the deflection element 281. The image light scanned in the horizontal direction by the resonance type deflection element 261 and scanned in the vertical direction by the deflection element 281 is emitted to the relay optical system 290 as scanning image light scanned two-dimensionally.

リレー光学系290は、垂直走査部280と装着者の瞳孔Eaとの間で画像光を中継する。共振型偏向素子261により水平方向に走査され、偏向素子281によって垂直方向に走査された画像光は、リレー光学系290によって装着者の瞳孔Eaに収束される。このようにして、装着者は画像情報に対応する画像を視認することができる。   The relay optical system 290 relays image light between the vertical scanning unit 280 and the wearer's pupil Ea. The image light scanned in the horizontal direction by the resonance type deflection element 261 and scanned in the vertical direction by the deflection element 281 is converged on the pupil Ea of the wearer by the relay optical system 290. In this way, the wearer can visually recognize an image corresponding to the image information.

特開2007−256419号公報JP 2007-256419 A

特許文献1に開示されている網膜走査型ディスプレイにおいて、水平走査部260による画像光の走査方向と垂直走査部280による画像光の走査方向とが直交しない場合、装着者により視認される画像の画質が低下してしまう。従って、走査光を測定することで、水平走査部260による画像光の水平走査方向と垂直走査部280による画像光の垂直走査方向とが直交しているか否かを判断することが必要となる。しかし、特許文献1に開示されている網膜走査ディスプレイに代表されるような2次元走査系において、画像光の水平走査方向と垂直走査方向とが直交しているか否かを判断するための走査光測定方法は現在まで確立されておらず、網膜走査型ディスプレイにおける画像の画質を一定以上に保つことができないという問題があった。   In the retinal scanning display disclosed in Patent Document 1, when the scanning direction of the image light by the horizontal scanning unit 260 and the scanning direction of the image light by the vertical scanning unit 280 are not orthogonal, the image quality of the image visually recognized by the wearer Will fall. Therefore, it is necessary to determine whether or not the horizontal scanning direction of the image light by the horizontal scanning unit 260 and the vertical scanning direction of the image light by the vertical scanning unit 280 are orthogonal by measuring the scanning light. However, in a two-dimensional scanning system represented by the retinal scanning display disclosed in Patent Document 1, scanning light for determining whether the horizontal scanning direction and the vertical scanning direction of image light are orthogonal to each other The measurement method has not been established so far, and there has been a problem that the image quality of the image in the retinal scanning display cannot be maintained above a certain level.

本発明は、上述した問題点を解決するためになされたものであり、網膜走査ディスプレイ装置などの画像表示装置において、画像の画質を保つよう、画像光の水平走査方向と垂直走査方向とを精度良く直交させるために、走査光を測定し、2次元走査系における2つの走査方向の間の位置関係を精度良く求めることができる走査光測定装置、並びに走査光を測定することで、画像の表示を制御する画像表示制御装置、及び画像表示制御方法を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made to solve the above-described problems. In an image display apparatus such as a retinal scanning display apparatus, the horizontal scanning direction and the vertical scanning direction of image light are accurately adjusted so as to maintain the image quality. In order to obtain a good orthogonality, the scanning light is measured, and the positional relationship between the two scanning directions in the two-dimensional scanning system can be accurately obtained. An object of the present invention is to provide an image display control apparatus and an image display control method for controlling the image.

上記目的を達成するために、請求項1記載の本発明は、走査されたビームを測定する走査光測定装置において、あらかじめ設定された所定の撮像範囲において、走査されたビームを撮像する撮像部と、第1方向に走査されたビームが前記撮像部により撮像されたときに、前記撮像部の出力信号から前記撮像範囲内における第1方向に走査されたビームの傾きを算出する第1算出部と、第2方向に走査されたビームが前記撮像部により撮像されたときに、前記撮像部の出力信号から前記撮像範囲内における第2方向に走査されたビームの傾きを算出する第2算出部と、前記第1算出部により算出された傾きと前記第2算出部により算出された傾きとから、前記第1方向と前記第2方向との間の角度を算出する角度算出部と、を備えることを特徴とするものである。   In order to achieve the above object, according to the present invention, there is provided a scanning light measuring device for measuring a scanned beam, an imaging unit for imaging a scanned beam in a predetermined imaging range set in advance. A first calculation unit that calculates an inclination of the beam scanned in the first direction within the imaging range from an output signal of the imaging unit when a beam scanned in the first direction is captured by the imaging unit; A second calculation unit that calculates an inclination of the beam scanned in the second direction within the imaging range from an output signal of the imaging unit when the beam scanned in the second direction is captured by the imaging unit; An angle calculation unit that calculates an angle between the first direction and the second direction from the inclination calculated by the first calculation unit and the inclination calculated by the second calculation unit. Features It is intended to.

請求項2記載の本発明は、請求項1に記載の発明において、前記撮像部は、前記撮像範囲の第1撮像基準方向及び前記第1撮像基準方向に直交する第2撮像基準方向において配設され、前記撮像範囲内で走査されたビームの強度を検出する複数の受光素子を有し、前記第1算出部は、前記複数の受光素子により検出された前記第1方向に走査されたビームの強度の前記第1撮像基準方向における第1強度分布において所定の第1強度を有する前記第1撮像基準方向における2つの第1位置の間の所定の位置の点を第1特徴点として決定し、前記第1撮像基準方向において決定された複数の前記第1特徴点を結ぶ近似的な第1直線関数の傾きから前記第1方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出し、前記第2算出部は、前記複数の受光素子により検出された前記第2方向に走査されたビームの強度の前記第2撮像基準方向における第2強度分布において所定の第2強度を有する前記第2撮像基準方向における2つの第2位置の間の所定の位置の点を第2特徴点として決定し、前記第2撮像基準方向において決定された複数の前記第2特徴点を結ぶ近似的な第2直線関数の傾きから前記第2方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出することを特徴とするものである。   According to a second aspect of the present invention, in the first aspect of the invention, the imaging unit is disposed in a first imaging reference direction of the imaging range and a second imaging reference direction orthogonal to the first imaging reference direction. And having a plurality of light receiving elements for detecting the intensity of the beam scanned within the imaging range, wherein the first calculator is configured to detect the beam scanned in the first direction detected by the plurality of light receiving elements. A point at a predetermined position between two first positions in the first imaging reference direction having a predetermined first intensity in the first intensity distribution in the first imaging reference direction of intensity is determined as a first feature point; Calculating an inclination within the imaging range of a beam scanned in the first direction from an inclination of an approximate first linear function connecting the plurality of first feature points determined in the first imaging reference direction; The second calculation unit Two second in the second imaging reference direction having a predetermined second intensity in the second intensity distribution in the second imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the second direction detected by the plurality of light receiving elements. A point at a predetermined position between the positions is determined as a second feature point, and the second characteristic point is determined based on an inclination of an approximate second linear function connecting the plurality of second feature points determined in the second imaging reference direction. The inclination in the imaging range of the beam scanned in the direction is calculated.

請求項3記載の本発明は、入射したビームを反射して、第1方向に走査する第1走査部と、入射したビームを反射して、第2方向に走査する第2走査部とを備えた画像表示制御装置において、あらかじめ設定された所定の撮像範囲において、走査されたビームを撮像する撮像部と、第1方向に走査されたビームが前記撮像部により撮像されたときに、前記撮像部の出力信号から前記撮像範囲内における第1方向に走査されたビームの傾きを算出する第1算出部と、第2方向に走査されたビームが前記撮像部により撮像されたときに、前記撮像部の出力信号から前記撮像範囲内における第2方向に走査されたビームの傾きを算出する第2算出部と、前記第1算出部により算出された傾きと前記第2算出部により算出された傾きとから前記第1方向と前記第2方向との間の角度を算出する角度算出部と、前記角度算出部により算出される角度が直角になるように前記両走査部の少なくとも一方の走査部を制御する制御部と、を備えることを特徴とするものである。   A third aspect of the present invention includes a first scanning unit that reflects an incident beam and scans in the first direction, and a second scanning unit that reflects the incident beam and scans in the second direction. In the image display control device, an imaging unit that captures a scanned beam in a predetermined imaging range that is set in advance, and the imaging unit when the beam scanned in the first direction is captured by the imaging unit A first calculation unit that calculates an inclination of a beam scanned in the first direction within the imaging range from the output signal of the imaging unit, and the imaging unit when the beam scanned in the second direction is imaged by the imaging unit A second calculation unit that calculates an inclination of the beam scanned in the second direction within the imaging range, an inclination calculated by the first calculation unit, and an inclination calculated by the second calculation unit From the first one And an angle calculation unit that calculates an angle between the second direction and a control unit that controls at least one of the scanning units so that the angle calculated by the angle calculation unit is a right angle; It is characterized by providing.

請求項4記載の本発明は、請求項3に記載の発明において、前記撮像部は、前記撮像範囲の第1撮像基準方向及び前記第1撮像基準方向に直交する第2撮像基準方向において配設され、前記撮像範囲内で走査されたビームの強度を検出する複数の受光素子を有し、前記第1算出部は、前記複数の受光素子により検出された前記第1方向に走査されたビームの強度の前記第1撮像基準方向における第1強度分布において所定の第1強度を有する前記第1撮像基準方向における2つの第1位置の間の所定の位置の点を第1特徴点として決定し、前記第1撮像基準方向において決定された複数の前記第1特徴点を結ぶ近似的な第1直線関数の傾きから前記第1方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出し、前記第2算出部は、前記複数の受光素子により検出された前記第2方向に走査されたビームの強度の前記第2撮像基準方向における第2強度分布において所定の第2強度を有する前記第2撮像基準方向における2つの第2位置の間の所定の位置の点を第2特徴点として決定し、前記第2撮像基準方向において決定された複数の前記第2特徴点を結ぶ近似的な第2直線関数の傾きから前記第2方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出することを特徴とするものである。   According to a fourth aspect of the present invention, in the invention according to the third aspect, the imaging unit is disposed in a first imaging reference direction of the imaging range and a second imaging reference direction orthogonal to the first imaging reference direction. And having a plurality of light receiving elements for detecting the intensity of the beam scanned within the imaging range, wherein the first calculator is configured to detect the beam scanned in the first direction detected by the plurality of light receiving elements. A point at a predetermined position between two first positions in the first imaging reference direction having a predetermined first intensity in the first intensity distribution in the first imaging reference direction of intensity is determined as a first feature point; Calculating an inclination within the imaging range of a beam scanned in the first direction from an inclination of an approximate first linear function connecting the plurality of first feature points determined in the first imaging reference direction; The second calculation unit Two second in the second imaging reference direction having a predetermined second intensity in the second intensity distribution in the second imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the second direction detected by the plurality of light receiving elements. A point at a predetermined position between the positions is determined as a second feature point, and the second characteristic point is determined based on an inclination of an approximate second linear function connecting the plurality of second feature points determined in the second imaging reference direction. The inclination in the imaging range of the beam scanned in the direction is calculated.

請求項5記載の本発明は、入射したビームを反射して、第1方向に走査する第1走査部と、入射したビームを反射して、第2方向に走査する第2走査部とを備えた画像表示装置に使用される画像表示制御方法において、あらかじめ設定された所定の撮像範囲において、走査されたビームを撮像する撮像ステップと、第1方向に走査されたビームが前記撮像ステップにより撮像されたときに、前記撮像ステップの撮像結果を示す信号から前記撮像範囲内における第1方向に走査されたビームの傾きを算出する第1算出ステップと、第2方向に走査されたビームが前記撮像ステップにより撮像されたときに、前記撮像ステップの撮像結果を示す信号から前記撮像範囲内における第2方向に走査されたビームの傾きを算出する第2算出ステップと、前記第1算出ステップにより算出された傾きと前記第2算出ステップにより算出された傾きとから前記第1方向と前記第2方向との間の角度を算出する角度算出ステップと、前記角度算出ステップにより算出される角度が直角になるように前記両走査部の少なくとも一方の走査部を制御する制御ステップと、を備えることを特徴とするものである。   The present invention according to claim 5 includes a first scanning unit that reflects an incident beam and scans in the first direction, and a second scanning unit that reflects the incident beam and scans in the second direction. In the image display control method used for the image display device, an imaging step for imaging a scanned beam in a predetermined imaging range set in advance, and a beam scanned in the first direction are imaged by the imaging step. A first calculation step for calculating an inclination of a beam scanned in the first direction within the imaging range from a signal indicating an imaging result of the imaging step, and a beam scanned in the second direction in the imaging step. A second calculation step of calculating the inclination of the beam scanned in the second direction within the imaging range from the signal indicating the imaging result of the imaging step when captured by the imaging step; An angle calculating step for calculating an angle between the first direction and the second direction from the inclination calculated by the first calculating step and the inclination calculated by the second calculating step, and the angle calculating step And a control step of controlling at least one of the scanning units so that the calculated angle is a right angle.

請求項6記載の本発明は、請求項5に記載の発明において、前記撮像ステップは、前記第1方向に走査されたビーム、及び前記第2方向に走査されたビームのうちのいずれかの強度を検出する強度検出ステップを有し、前記第1算出ステップは、前記強度検出ステップにより検出された前記第1方向に走査されたビームの強度の第1撮像基準方向における第1強度分布において所定の第1強度を有する前記第1撮像基準方向における2つの第1位置の間の所定の位置の点を第1特徴点として決定し、前記第1撮像基準方向において決定された複数の前記第1特徴点を結ぶ近似的な第1直線関数の傾きから前記第1方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出し、前記第2算出ステップは、前記強度検出ステップにより検出された前記第2方向に走査されたビームの強度の前記第1撮像基準方向に直交する第2撮像基準方向における第2強度分布において所定の第2強度を有する前記第2撮像基準方向における2つの第2位置の間の所定の位置の点を第2特徴点として決定し、前記第2撮像基準方向において決定された複数の前記第2特徴点を結ぶ近似的な第2直線関数の傾きから前記第2方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出することを特徴とするものである。   According to a sixth aspect of the present invention, in the invention according to the fifth aspect, the imaging step includes the intensity of any one of the beam scanned in the first direction and the beam scanned in the second direction. An intensity detecting step for detecting the intensity, and the first calculating step has a predetermined intensity distribution in the first imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the first direction detected by the intensity detecting step. A point at a predetermined position between two first positions in the first imaging reference direction having the first intensity is determined as a first feature point, and the plurality of first characteristics determined in the first imaging reference direction are determined. An inclination in the imaging range of the beam scanned in the first direction is calculated from an inclination of an approximate first linear function connecting points, and the second calculation step is detected by the intensity detection step. Further, two second in the second imaging reference direction having a predetermined second intensity in the second intensity distribution in the second imaging reference direction orthogonal to the first imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the second direction. A point at a predetermined position between two positions is determined as a second feature point, and the second feature point is determined based on an inclination of an approximate second linear function connecting the plurality of second feature points determined in the second imaging reference direction. The inclination in the imaging range of the beam scanned in two directions is calculated.

請求項1記載の走査光測定装置によれば、第1算出部により算出された傾きと第2算出部により算出された傾きとから、角度算出部により第1方向と第2方向との間の角度を算出することができる。従って、2次元走査系における2つの走査方向の間の位置関係を精度良く求めることができる。   According to the scanning light measurement device of claim 1, the angle calculation unit determines between the first direction and the second direction from the inclination calculated by the first calculation unit and the inclination calculated by the second calculation unit. The angle can be calculated. Therefore, the positional relationship between the two scanning directions in the two-dimensional scanning system can be obtained with high accuracy.

請求項2記載の走査光測定装置によれば、第1撮像基準方向における第1強度分布と第2撮像基準方向における第2強度分布とから、第1特徴点と第2特徴点とが各々決定され、撮像範囲内における第1方向に走査されたビームの傾きと第2方向に走査されたビームの傾きとが算出される。従って、第1方向と第2方向との間の角度を精度良く算出することができ、2次元走査系における2つの走査方向の間の位置関係を精度良く求めることができる。   According to the scanning light measuring apparatus of claim 2, the first feature point and the second feature point are respectively determined from the first intensity distribution in the first imaging reference direction and the second intensity distribution in the second imaging reference direction. Then, the inclination of the beam scanned in the first direction and the inclination of the beam scanned in the second direction within the imaging range are calculated. Therefore, the angle between the first direction and the second direction can be calculated with high accuracy, and the positional relationship between the two scanning directions in the two-dimensional scanning system can be determined with high accuracy.

請求項3記載の画像表示制御装置によれば、第1算出部により算出された傾きと第2算出部により算出された傾きとから、角度算出部により第1方向と第2方向との間の角度を算出することができる。そして、角度算出部により算出される角度が直角になるように両走査部の少なくとも一方の走査部が制御される。従って、該画像表示制御装置が網膜走査ディスプレイ装置などの画像表示装置に用いられた場合、画像光の水平走査方向と垂直走査方向とを精度良く直交させることができ、画像の画質を保つことができる。   According to the image display control device of the third aspect, the angle calculation unit between the first direction and the second direction is calculated from the inclination calculated by the first calculation unit and the inclination calculated by the second calculation unit. The angle can be calculated. Then, at least one of the scanning units is controlled so that the angle calculated by the angle calculating unit becomes a right angle. Therefore, when the image display control device is used in an image display device such as a retinal scanning display device, the horizontal scanning direction and the vertical scanning direction of image light can be accurately orthogonalized, and image quality can be maintained. it can.

請求項4記載の画像表示制御装置によれば、第1撮像基準方向における第1強度分布と第2撮像基準方向における第2強度分布とから、第1特徴点と、第2特徴点とが各々決定され、撮像範囲内における第1方向に走査されたビームの傾きと第2方向に走査されたビームの傾きとが算出される。従って、第1方向と第2方向との間の角度を精度良く算出することができ、2次元走査系における2つの走査方向の間の位置関係を精度良く求めることができる。よって、該画像表示制御装置が網膜走査ディスプレイ装置などの画像表示装置に用いられた場合、画像光の水平走査方向と垂直走査方向とを精度良く直交させることができ、画像の画質を保つことができる。   According to the image display control device of the fourth aspect, the first feature point and the second feature point are respectively determined from the first intensity distribution in the first imaging reference direction and the second intensity distribution in the second imaging reference direction. The inclination of the beam scanned in the first direction within the imaging range and the inclination of the beam scanned in the second direction are calculated. Therefore, the angle between the first direction and the second direction can be calculated with high accuracy, and the positional relationship between the two scanning directions in the two-dimensional scanning system can be determined with high accuracy. Therefore, when the image display control device is used in an image display device such as a retinal scanning display device, the horizontal scanning direction and the vertical scanning direction of image light can be accurately orthogonalized, and image quality can be maintained. it can.

請求項5記載の画像表示制御方法によれば、第1算出ステップにより算出された傾きと第2算出ステップにより算出された傾きとから、角度算出ステップにより第1方向と第2方向との間の角度を算出することができる。そして、角度算出ステップにより算出される角度が直角になるように両走査部の少なくとも一方の走査部が制御される。従って、該画像表示制御方法が網膜走査ディスプレイ装置などの画像表示装置に用いられた場合、画像光の水平走査方向と垂直走査方向とを精度良く直交させることができ、画像の画質を保つことができる。   According to the image display control method of the fifth aspect, from the inclination calculated by the first calculation step and the inclination calculated by the second calculation step, between the first direction and the second direction by the angle calculation step. The angle can be calculated. Then, at least one of the scanning units is controlled so that the angle calculated in the angle calculating step is a right angle. Therefore, when the image display control method is used for an image display device such as a retinal scanning display device, the horizontal scanning direction and the vertical scanning direction of the image light can be accurately orthogonalized, and the image quality of the image can be maintained. it can.

請求項6記載の画像表示制御方法によれば、第1撮像基準方向における第1強度分布と第2撮像基準方向における第2強度分布とから、第1特徴点と、第2特徴点とが各々決定され、撮像範囲内における第1方向に走査されたビームの傾きと第2方向に走査されたビームの傾きとが算出される。従って、第1方向と第2方向との間の角度を精度良く算出することができ、2次元走査系における2つの走査方向の間の位置関係を精度良く求めることができる。よって、該画像表示制御方法が網膜走査ディスプレイ装置などの画像表示装置に用いられた場合、画像光の水平走査方向と垂直走査方向とを精度良く直交させることができ、画像の画質を保つことができる。   According to the image display control method of the sixth aspect, the first feature point and the second feature point are respectively determined from the first intensity distribution in the first imaging reference direction and the second intensity distribution in the second imaging reference direction. The inclination of the beam scanned in the first direction within the imaging range and the inclination of the beam scanned in the second direction are calculated. Therefore, the angle between the first direction and the second direction can be calculated with high accuracy, and the positional relationship between the two scanning directions in the two-dimensional scanning system can be determined with high accuracy. Therefore, when the image display control method is used in an image display device such as a retinal scanning display device, the horizontal scanning direction and the vertical scanning direction of the image light can be accurately orthogonalized, and the image quality of the image can be maintained. it can.

本発明の一実施形態に係る画像表示制御装置1の外観を示す上面図である。It is a top view which shows the external appearance of the image display control apparatus 1 which concerns on one Embodiment of this invention. 本実施形態に係る第1走査部4の外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the 1st scanning part 4 which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る第2走査部5によるビームBMの走査を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the scanning of the beam BM by the 2nd scanning part 5 which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る撮像部6の構成を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the structure of the imaging part 6 which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る走査位置調整部8の外観を示す側面図である。It is a side view which shows the external appearance of the scanning position adjustment part 8 which concerns on this embodiment. 上記画像表示制御装置1の電気的構成を示す図である。It is a figure which shows the electrical constitution of the said image display control apparatus. メイン処理におけるステップS1からステップS6までの処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process from step S1 in a main process to step S6. メイン処理におけるステップS7からステップS13までの処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process from step S7 to step S13 in a main process. 図6に示したステップS5の処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process of step S5 shown in FIG. 図7に示したステップS11の処理を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the process of step S11 shown in FIG. 第1算出部71による撮像範囲IA内におけるビームBMの傾き算出処理を説明するために撮像範囲IAの一部を切り出して示す図である。It is a figure which cuts out and shows a part of imaging range IA in order to demonstrate the inclination calculation process of the beam BM within the imaging range IA by the 1st calculation part 71. FIG. 第2算出部72による撮像範囲IA内におけるビームBMの傾き算出処理を説明するために撮像範囲IAの一部を切り出して示す図である。It is a figure which cuts out and shows a part of imaging range IA in order to demonstrate the inclination calculation process of the beam BM within the imaging range IA by the 2nd calculation part 72. FIG. 走査位置調整部8により、第2走査部5がα方向に移動された場合のビームBMの撮像範囲IAにおける移動を示す図である。It is a figure which shows the movement in the imaging range IA of beam BM when the 2nd scanning part 5 is moved to (alpha) direction by the scanning position adjustment part 8. FIG. 走査位置調整部8により、第2走査部5がβ方向に移動された場合のビームBMの撮像範囲IAにおける移動を示す図である。It is a figure which shows the movement in the imaging range IA of the beam BM when the 2nd scanning part 5 is moved to (beta) direction by the scanning position adjustment part 8. FIG. 走査位置調整部8により、第2走査部5がγ方向に移動された場合のビームBMの撮像範囲IAにおける移動を示す図である。It is a figure which shows the movement in the imaging range IA of beam BM when the 2nd scanning part 5 is moved to (gamma) direction by the scanning position adjustment part 8. FIG. 走査位置調整部8による第2走査部5のβ方向への移動と第2走査部5が移動された際のビームBMの撮像画像SIの撮像範囲IA内における移動との対応関係を説明する説明図である。Explanation for explaining the correspondence between the movement of the second scanning unit 5 in the β direction by the scanning position adjusting unit 8 and the movement of the captured image SI of the beam BM in the imaging range IA when the second scanning unit 5 is moved. FIG. 第1方向DFに走査されたビームBMの横方向SDにおける位置SDXに対する光強度INTの分布を示す図である。It is a figure which shows distribution of the light intensity INT with respect to the position SDX in the horizontal direction SD of the beam BM scanned by the 1st direction DF. 網膜走査型ディスプレイの2次元走査系の構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows the structure of the two-dimensional scanning system of a retinal scanning display.

以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

[装置外観]
図1は、本実施形態の画像表示制御装置1の外観を示す上面図である。図1に示すように、画像表示制御装置1は、測定部2と、処理部3と、を備える。測定部2は、第1走査部4と、第2走査部5と、撮像部6と、算出部7と、走査位置調整部8と、撮像位置調整部9と、ワーク10と、を備える。処理部3は、第1走査部4と、第2走査部5と、撮像部6と、算出部7と、走査位置調整部8と、撮像位置調整部9と、に接続される。本実施形態における画像表示制御装置1が、本発明の画像表示制御装置の一例である。本実施形態における測定部2が、本発明の走査光測定装置の一例である。
[Appearance]
FIG. 1 is a top view showing an appearance of the image display control apparatus 1 of the present embodiment. As shown in FIG. 1, the image display control device 1 includes a measurement unit 2 and a processing unit 3. The measurement unit 2 includes a first scanning unit 4, a second scanning unit 5, an imaging unit 6, a calculation unit 7, a scanning position adjustment unit 8, an imaging position adjustment unit 9, and a work 10. The processing unit 3 is connected to the first scanning unit 4, the second scanning unit 5, the imaging unit 6, the calculation unit 7, the scanning position adjustment unit 8, and the imaging position adjustment unit 9. The image display control device 1 in the present embodiment is an example of the image display control device of the present invention. The measurement unit 2 in the present embodiment is an example of the scanning light measurement device of the present invention.

第1走査部4、及び第2走査部5は、各々、図2A、及び図2Bに示すような光走査装置により構成される。第1走査部4は、図2Aに示すように、反射ミラー部41と梁42と駆動部43とを備える。反射ミラー部41は、図2Aに示すように入射したビームBMを反射可能である。梁42は、図2Aに示すように反射ミラー部41に連結される。駆動部43は、梁42上に設けられる。駆動部43は、圧電体を備える。駆動部43の圧電体に周期的に変化する電圧の駆動信号が供給されることで、駆動部43は、駆動される。駆動部43が駆動されることで、梁42が揺動軸線AX1回りに振動される。梁42が揺動軸線AX1回りに振動することで、梁42に連結している反射ミラー部41が揺動軸線AX1回りに揺動する。このようにして、反射ミラー部41が揺動することで、第1走査部4は、反射ミラー部41の反射面41Aに入射したビームBMを反射して、第1方向に走査する。第2走査部5は、図2Bに示すように、第1走査部4と同様に、反射ミラー部51を備える。第2走査部5は、第1走査部4と同様にして駆動される。第2走査部5が駆動されると反射ミラー部51が揺動軸線AX2回りに揺動される。反射ミラー部51が揺動軸線AX2回りに揺動されると、反射ミラー部51は、反射面51Aに入射したビームBMを反射して、第2方向に走査する。なお、図1、図2Bに示すように、以後、揺動軸線AX2に平行な方向をZ軸、反射ミラー部51の反射面51Aに平行な面上で、且つZ軸に垂直な方向をX軸、反射面51Aに垂直な方向をY軸とする。また、以後、図2Bに示すように、X軸が回転軸となる回転方向をα方向、Y軸が回転軸となる回転方向をβ方向、Z軸が回転軸となる回転方向をγ方向とする。   The first scanning unit 4 and the second scanning unit 5 are each configured by an optical scanning device as shown in FIGS. 2A and 2B. As shown in FIG. 2A, the first scanning unit 4 includes a reflection mirror unit 41, a beam 42, and a drive unit 43. The reflection mirror unit 41 can reflect the incident beam BM as shown in FIG. 2A. The beam 42 is connected to the reflection mirror section 41 as shown in FIG. 2A. The drive unit 43 is provided on the beam 42. The drive unit 43 includes a piezoelectric body. The drive unit 43 is driven by supplying a drive signal having a periodically changing voltage to the piezoelectric body of the drive unit 43. By driving the drive unit 43, the beam 42 is vibrated around the swing axis AX1. As the beam 42 vibrates around the swing axis AX1, the reflection mirror 41 connected to the beam 42 swings around the swing axis AX1. In this way, as the reflection mirror unit 41 swings, the first scanning unit 4 reflects the beam BM incident on the reflection surface 41A of the reflection mirror unit 41 and scans in the first direction. As shown in FIG. 2B, the second scanning unit 5 includes a reflection mirror unit 51 as in the first scanning unit 4. The second scanning unit 5 is driven in the same manner as the first scanning unit 4. When the second scanning unit 5 is driven, the reflection mirror unit 51 is swung around the swing axis AX2. When the reflection mirror unit 51 is swung around the swing axis AX2, the reflection mirror unit 51 reflects the beam BM incident on the reflection surface 51A and scans in the second direction. As shown in FIGS. 1 and 2B, hereinafter, the direction parallel to the swing axis AX2 is the Z axis, the direction parallel to the reflecting surface 51A of the reflecting mirror 51 and the direction perpendicular to the Z axis is X A direction perpendicular to the axis and the reflecting surface 51A is taken as a Y axis. Further, as shown in FIG. 2B, the rotation direction in which the X axis is the rotation axis is the α direction, the rotation direction in which the Y axis is the rotation axis is the β direction, and the rotation direction in which the Z axis is the rotation axis is the γ direction. To do.

ビームBMは、図1に示すように、画像表示制御装置1の外部に設けられた光源から発せられ、画像表示制御装置1の外部に設けられた光ファイバFB、及びコリメート光学系CLなどを介して、第1走査部4に供給される。第1走査部4に供給されるビームBMは、コリメート光学系CLにより平行光化された平行光線束である。なお、ビームBMは、図2A、及び図2Bに示すようにビーム径を有する。第1走査部4に供給されたビームBMは、第1走査部4において反射される。第1走査部4により反射されたビームBMは、第2走査部5に供給される。第2走査部5に供給されたビームBMは、第2走査部5により反射される。第2走査部5により反射されたビームBMは、撮像部6に供給される。なお、ビームBMの中心線は、第1走査部4の反射ミラー部41の中心CTに供給され、且つ第1走査部4と第2走査部5とは、光学的に互いに共役な位置関係に配置されている。従って、第1走査部4、及び第2走査部5のうちのいずれかが駆動され、ビームBMがいずれかの走査部により走査される場合においても、ビームBMの中心線CBは、第1走査部4、及び第2走査部5の各々の反射ミラー部の中心を通る。   As shown in FIG. 1, the beam BM is emitted from a light source provided outside the image display control device 1, and passes through an optical fiber FB provided outside the image display control device 1, a collimating optical system CL, and the like. And supplied to the first scanning unit 4. The beam BM supplied to the first scanning unit 4 is a parallel light beam that has been collimated by the collimating optical system CL. The beam BM has a beam diameter as shown in FIGS. 2A and 2B. The beam BM supplied to the first scanning unit 4 is reflected by the first scanning unit 4. The beam BM reflected by the first scanning unit 4 is supplied to the second scanning unit 5. The beam BM supplied to the second scanning unit 5 is reflected by the second scanning unit 5. The beam BM reflected by the second scanning unit 5 is supplied to the imaging unit 6. The center line of the beam BM is supplied to the center CT of the reflection mirror unit 41 of the first scanning unit 4, and the first scanning unit 4 and the second scanning unit 5 are in an optically conjugate positional relationship. Has been placed. Therefore, even when one of the first scanning unit 4 and the second scanning unit 5 is driven and the beam BM is scanned by any one of the scanning units, the center line CB of the beam BM is scanned by the first scanning. It passes through the center of each reflection mirror part of the part 4 and the second scanning part 5.

撮像部6は、供給されたビームBMを撮像範囲IA内において撮像する。撮像部6は、図3に示すように、撮像範囲IA内において縦方向LD、及び横方向SDにそれぞれ配列された複数の受光素子LRを備えるCCDにより構成されている。撮像部6は、入射したビームBMの強度、及び位置を検出可能である。撮像部6が、複数の受光素子LRを備えるCCDにより構成されることから、第1走査部4、及び第2走査部5のいずれかにより走査されたビームBMを広範囲に撮像することが可能となる。算出部7は、撮像部6に接続される。算出部7は、撮像部6により撮像された光束から、第1方向、及び第2方向に走査された光束の傾き、並びに第1方向と第2方向との間の角度を算出する。本実施形態における第1走査部4が、本発明の第1走査部の一例である。本実施形態における第2走査部5が、本発明の第2走査部の一例である。本実施形態における撮像部6が、本発明の撮像部の一例である。本実施形態における受光素子LRが、本発明の受光素子の一例である。   The imaging unit 6 images the supplied beam BM within the imaging range IA. As shown in FIG. 3, the imaging unit 6 includes a CCD including a plurality of light receiving elements LR arranged in the vertical direction LD and the horizontal direction SD in the imaging range IA. The imaging unit 6 can detect the intensity and position of the incident beam BM. Since the imaging unit 6 is configured by a CCD including a plurality of light receiving elements LR, it is possible to capture a wide range of the beam BM scanned by either the first scanning unit 4 or the second scanning unit 5. Become. The calculation unit 7 is connected to the imaging unit 6. The calculation unit 7 calculates the inclination of the light beam scanned in the first direction and the second direction and the angle between the first direction and the second direction from the light beam imaged by the imaging unit 6. The 1st scanning part 4 in this embodiment is an example of the 1st scanning part of this invention. The 2nd scanning part 5 in this embodiment is an example of the 2nd scanning part of this invention. The imaging unit 6 in the present embodiment is an example of the imaging unit of the present invention. The light receiving element LR in the present embodiment is an example of the light receiving element of the present invention.

走査位置調整部8は、図4に示すように、把持部8Aと位置調整部8Bとを備え、画像表示制御装置1の装置フレームに固定される。把持部8Aは、第2走査部5を把持する。位置調整部8Bは、把持部8Aに連結される。位置調整部8Bは、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、α方向、β方向、及びγ方向の6軸方向に把持部8Aを動かすことができる。位置調整部8Bが把持部8Aを6軸方向に動かすことで、把持部8Aにより把持された第2走査部5が6軸方向に移動される。同様にして、撮像位置調整部9は、撮像部6に連結され、撮像部6を図1に示す撮像部6の3軸方向であるXX軸、YY軸、及びZZ軸に動かすことができる。   As shown in FIG. 4, the scanning position adjustment unit 8 includes a gripping unit 8 </ b> A and a position adjustment unit 8 </ b> B, and is fixed to the device frame of the image display control device 1. The gripping unit 8A grips the second scanning unit 5. The position adjustment unit 8B is connected to the gripping unit 8A. The position adjustment unit 8B can move the gripping unit 8A in the six-axis directions of the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, the α direction, the β direction, and the γ direction. When the position adjusting unit 8B moves the gripping unit 8A in the six-axis direction, the second scanning unit 5 gripped by the gripping unit 8A is moved in the six-axis direction. Similarly, the imaging position adjustment unit 9 is connected to the imaging unit 6 and can move the imaging unit 6 to the XX axis, the YY axis, and the ZZ axis that are the three axis directions of the imaging unit 6 illustrated in FIG.

ワーク10は、第1走査部4を固定し、第2走査部5を位置調整可能に支持する。ワーク10は、画像表示制御装置1の装置フレームに固定される。   The work 10 fixes the first scanning unit 4 and supports the second scanning unit 5 so that the position thereof can be adjusted. The workpiece 10 is fixed to the device frame of the image display control device 1.

[電気的構成]
本実施形態に係る画像表示制御装置1の電気的構成について、図5を参照して説明する。図5において、矢印付きの実線は、電気的な接続を示す。図5において、矢印なしの実線は、図1に示したような機械的な連結を示す。処理部3は、図5に示すように、撮像位置制御部31と、走査位置制御部32と、駆動制御部33とを備える。算出部7は、図5に示すように、第1算出部71と、第2算出部72と、角度算出部73とを備える。処理部3、及び算出部7は、CPU、ROM、RAMなどを含むコンピュータにより構成される。
[Electrical configuration]
The electrical configuration of the image display control apparatus 1 according to the present embodiment will be described with reference to FIG. In FIG. 5, a solid line with an arrow indicates an electrical connection. In FIG. 5, a solid line without an arrow indicates a mechanical connection as shown in FIG. As shown in FIG. 5, the processing unit 3 includes an imaging position control unit 31, a scanning position control unit 32, and a drive control unit 33. As shown in FIG. 5, the calculation unit 7 includes a first calculation unit 71, a second calculation unit 72, and an angle calculation unit 73. The processing unit 3 and the calculation unit 7 are configured by a computer including a CPU, a ROM, a RAM, and the like.

撮像位置制御部31は、撮像されたビームBMの強度、及び撮像部6の撮像範囲内における位置に関する情報を撮像部6から受け取る。撮像位置制御部31は、第1走査部4または第2走査部5により走査されたビームBMが撮像範囲内に入らなかった場合に、撮像位置調整部9に対し、調整指令信号を供給する。撮像位置調整部9は、供給された調整指令信号に基づき、撮像部6の位置を調整する。このように、撮像部6の位置が調整されることにより、第1走査部4または第2走査部5により走査されたビームBMが確実に撮像範囲IA内に入る。   The imaging position control unit 31 receives information regarding the intensity of the imaged beam BM and the position of the imaging unit 6 within the imaging range from the imaging unit 6. The imaging position control unit 31 supplies an adjustment command signal to the imaging position adjustment unit 9 when the beam BM scanned by the first scanning unit 4 or the second scanning unit 5 does not enter the imaging range. The imaging position adjustment unit 9 adjusts the position of the imaging unit 6 based on the supplied adjustment command signal. In this way, by adjusting the position of the imaging unit 6, the beam BM scanned by the first scanning unit 4 or the second scanning unit 5 surely enters the imaging range IA.

第1算出部71は、第1走査部4により走査されたビームBMの強度、及び撮像部6の撮像範囲IA内における位置に関する情報を撮像部6から受け取る。第1算出部71は、受け取った情報から、撮像範囲IA内における第1走査部4により走査されたビームBMの傾きを算出する。第2算出部72は、第2走査部5により走査されたビームBMの強度、及び撮像部6の撮像範囲IA内における位置に関する情報を撮像部6から受け取る。第2算出部72は、受け取った情報から、撮像範囲IA内における第2走査部5により走査されたビームBMの傾きを算出する。角度算出部73は、第1算出部71により算出された傾きと第2算出部72により算出された傾きとから撮像範囲IA内における第1方向と第2方向との間の角度を算出する。本実施形態における第1算出部71が、本発明の第1算出部の一例である。本実施形態における第2算出部72が、本発明の第2算出部の一例である。本実施形態における角度算出部73が、本発明の角度算出部の一例である。   The first calculation unit 71 receives information about the intensity of the beam BM scanned by the first scanning unit 4 and the position of the imaging unit 6 in the imaging range IA from the imaging unit 6. The first calculator 71 calculates the inclination of the beam BM scanned by the first scanner 4 within the imaging range IA from the received information. The second calculation unit 72 receives information regarding the intensity of the beam BM scanned by the second scanning unit 5 and the position of the imaging unit 6 in the imaging range IA from the imaging unit 6. The second calculator 72 calculates the inclination of the beam BM scanned by the second scanner 5 within the imaging range IA from the received information. The angle calculation unit 73 calculates an angle between the first direction and the second direction in the imaging range IA from the inclination calculated by the first calculation unit 71 and the inclination calculated by the second calculation unit 72. The 1st calculation part 71 in this embodiment is an example of the 1st calculation part of this invention. The 2nd calculation part 72 in this embodiment is an example of the 2nd calculation part of this invention. The angle calculation unit 73 in the present embodiment is an example of the angle calculation unit of the present invention.

走査位置制御部32は、角度算出部73により算出された第1方向と第2方向との間の角度に基づき、走査位置調整部8に所定の調整信号を供給する。走査位置調整部8は供給された調整信号に基づき駆動される。走査位置調整部8が駆動されることにより、第2走査部5が位置調整される。本実施形態における走査位置調整部8、及び走査位置制御部32が、本発明の制御部の一例である。   The scanning position control unit 32 supplies a predetermined adjustment signal to the scanning position adjustment unit 8 based on the angle between the first direction and the second direction calculated by the angle calculation unit 73. The scanning position adjustment unit 8 is driven based on the supplied adjustment signal. By driving the scanning position adjusting unit 8, the position of the second scanning unit 5 is adjusted. The scanning position adjustment unit 8 and the scanning position control unit 32 in the present embodiment are examples of the control unit of the present invention.

駆動制御部33は、第1走査部4、及び第2走査部5のいずれかの駆動部に駆動信号を供給する。第1走査部4、及び第2走査部5のいずれかの駆動部は、供給された駆動信号に基づき、駆動される。第1走査部4の駆動部、及び第2走査部5の駆動部が駆動されることにより、第1走査部4、及び第2走査部5は、図2A及び図2Bに示したように、各々、入射したビームBMを反射して、走査する。   The drive control unit 33 supplies a drive signal to any one of the first scanning unit 4 and the second scanning unit 5. Any one of the first scanning unit 4 and the second scanning unit 5 is driven based on the supplied driving signal. As the driving unit of the first scanning unit 4 and the driving unit of the second scanning unit 5 are driven, the first scanning unit 4 and the second scanning unit 5 are as shown in FIGS. 2A and 2B. In each case, the incident beam BM is reflected and scanned.

[動作制御]
次に、図面を参照して、画像表示制御装置1の動作制御について説明する。図6、及び図7は、画像表示制御装置1の動作制御を示すフローチャートである。一連の動作制御は処理部3、または算出部7のCPUにより実行される。
[Operation control]
Next, operation control of the image display control apparatus 1 will be described with reference to the drawings. 6 and 7 are flowcharts showing the operation control of the image display control apparatus 1. A series of operation control is executed by the CPU of the processing unit 3 or the calculation unit 7.

図6に示す処理では、使用者が画像表示制御装置1に設けられた画像表示制御スイッチをONすることで開始され、先ず、第1走査部4が駆動される(ステップS1、以後S1と記す)。この際、第2走査部5は、停止されている。ビームBMは、第1走査部4により走査された後、第2走査部5の反射ミラー部により反射される。第2走査部5の反射ミラー部により反射されたビームBMは、撮像部6により撮像される(S2)。S2において、ビームBMが撮像部6により撮像されることで、ビームBMの強度が検出される。本実施形態におけるステップS2が、本発明の撮像ステップ、及び強度検出ステップの一例である。   The process shown in FIG. 6 starts when the user turns on an image display control switch provided in the image display control apparatus 1, and first, the first scanning unit 4 is driven (step S1, hereinafter referred to as S1). ). At this time, the second scanning unit 5 is stopped. The beam BM is scanned by the first scanning unit 4 and then reflected by the reflection mirror unit of the second scanning unit 5. The beam BM reflected by the reflection mirror unit of the second scanning unit 5 is imaged by the imaging unit 6 (S2). In S <b> 2, the beam BM is imaged by the imaging unit 6, whereby the intensity of the beam BM is detected. Step S2 in the present embodiment is an example of an imaging step and an intensity detection step of the present invention.

ビームBMが撮像されると、ビームBMが撮像範囲IA内に入っているか否かが撮像位置制御部31により判断される(S3)。具体的には、撮像部6の撮像範囲IA内の受光素子LRのうち所定の数以上の受光素子によりビームBMが検知された場合に、ビームBMが撮像範囲IA内に入っていると判断される。撮像部6の撮像範囲IA内の受光素子LRのうち所定の数未満の受光素子によりビームBMが検知された場合に、ビームBMが撮像範囲IA内に入っていないと判断される。   When the beam BM is imaged, the imaging position control unit 31 determines whether or not the beam BM is within the imaging range IA (S3). Specifically, when the beam BM is detected by a predetermined number or more of the light receiving elements LR in the imaging range IA of the imaging unit 6, it is determined that the beam BM is within the imaging range IA. The When the beam BM is detected by less than a predetermined number of the light receiving elements LR in the imaging range IA of the imaging unit 6, it is determined that the beam BM is not within the imaging range IA.

ビームBMが撮像範囲IA内に入っていないと判断されると(S3:No)、撮像位置調整部9により、撮像部6がXX軸、YY軸、及びZZ軸方向の3軸方向に位置調整される(S4)。撮像部6が位置調整されると、処理がS2に移り、ビームBMが撮像される。S3において、ビームBMが撮像範囲IA内に入っていると判断されると(S3:Yes)、撮像部6の位置調整が終了され、撮像部6の位置が決定される。このように、ビームBMが撮像範囲IA内に入っていると判断されるまで、撮像部6が位置調整されることにより、確実にビームBMが撮像範囲IA内に入る。   When it is determined that the beam BM is not within the imaging range IA (S3: No), the imaging unit 6 adjusts the position of the imaging unit 6 in the three axis directions of the XX axis, the YY axis, and the ZZ axis. (S4). When the position of the imaging unit 6 is adjusted, the process proceeds to S2 and the beam BM is imaged. If it is determined in S3 that the beam BM is within the imaging range IA (S3: Yes), the position adjustment of the imaging unit 6 is terminated, and the position of the imaging unit 6 is determined. In this way, the position of the imaging unit 6 is adjusted until it is determined that the beam BM is within the imaging range IA, so that the beam BM is reliably within the imaging range IA.

撮像部6の位置が決定されると、第1算出部71により、撮像範囲IA内におけるビームBMの傾きが算出される(S5)。図8は、S5における第1算出部71によるビームBMの傾き算出処理を示すフローチャートである。図10は、第1走査部4により第1方向DFに走査され、撮像部6により撮像されたビームBMの撮像範囲IAの一部の範囲における撮像画像FIを示す図である。図8に示す傾き算出処理では、図10に示すように、先ず、所定の強度を有する横方向SDにおける位置1SA、2SA、・・、MSA、及び位置1SB、2SB、・・、MSBが決定される(SA1)。ここで、整数Mは、撮像部6が撮像範囲IA内において縦方向LDに有する受光素子LRの個数である。なお、図10は、撮像範囲IAの一部を拡大して示す図であり、整数Jは1から整数M内の範囲の任意の整数である。位置1SA、2SA、・・、MSA、及び位置1SB、2SB、・・、MSBが決定されると、横方向SDにおける特徴点1SC、2SC、・・、MSCが決定される(SA2)。横方向SDにおける特徴点1SC、2SC、・・、MSCが決定されると、最小二乗法により、特徴点1SC、2SC、・・、MSCを結ぶ近似的な一次関数の傾きGSが算出される。なお、当然のことであるが、「特徴点を結ぶ」との表現は、近似的な一次関数が厳密に全ての特徴点を通ることを意味している訳ではない。近似的な一次関数の傾きGSが算出されると、算出された一次関数の傾きGSがビームBMの撮像範囲IA内における傾きGSとして決定される。以上のようにして、ビームBMの撮像範囲IA内における傾きGSが算出される(SA3)。本実施形態におけるステップS5が、本発明の第1算出ステップの一例である。本実施形態における第1方向DFが、本発明における第1方向の一例である。本実施形態における横方向SDが、本発明における第1撮像基準方向の一例である。   When the position of the imaging unit 6 is determined, the first calculation unit 71 calculates the inclination of the beam BM within the imaging range IA (S5). FIG. 8 is a flowchart showing the beam BM tilt calculation processing by the first calculation unit 71 in S5. FIG. 10 is a diagram illustrating a captured image FI in a partial range of the imaging range IA of the beam BM scanned in the first direction DF by the first scanning unit 4 and captured by the imaging unit 6. In the inclination calculation process shown in FIG. 8, as shown in FIG. 10, first, the positions 1SA, 2SA,..., MSA and the positions 1SB, 2SB,. (SA1). Here, the integer M is the number of light receiving elements LR that the imaging unit 6 has in the vertical direction LD within the imaging range IA. FIG. 10 is an enlarged view showing a part of the imaging range IA, and the integer J is an arbitrary integer in the range from 1 to the integer M. When the positions 1SA, 2SA, ..., MSA and the positions 1SB, 2SB, ..., MSB are determined, the feature points 1SC, 2SC, ..., MSC in the lateral direction SD are determined (SA2). When the feature points 1SC, 2SC,..., MSC in the lateral direction SD are determined, an approximate linear function gradient GS connecting the feature points 1SC, 2SC,. As a matter of course, the expression “connecting feature points” does not mean that an approximate linear function strictly passes through all feature points. When the approximate slope GS of the linear function is calculated, the calculated slope GS of the linear function is determined as the slope GS within the imaging range IA of the beam BM. As described above, the inclination GS of the beam BM within the imaging range IA is calculated (SA3). Step S5 in the present embodiment is an example of a first calculation step of the present invention. The first direction DF in the present embodiment is an example of the first direction in the present invention. The horizontal direction SD in the present embodiment is an example of the first imaging reference direction in the present invention.

図6に示すS5において、ビームBMの傾きGSが算出されると、第1走査部4が停止される(S6)。図6に示すS6において第1走査部4が停止されると、図7に示すS7に処理が移り、第2走査部5が駆動される(S7)。第2走査部5が駆動されると、ビームBMは、第1走査部4により反射された後、第2走査部5の反射ミラー部により走査される。第2走査部5の反射ミラー部により走査されたビームBMは、撮像部6により撮像される(S8)。   When the slope GS of the beam BM is calculated in S5 shown in FIG. 6, the first scanning unit 4 is stopped (S6). If the 1st scanning part 4 is stopped in S6 shown in FIG. 6, a process will transfer to S7 shown in FIG. 7, and the 2nd scanning part 5 will be driven (S7). When the second scanning unit 5 is driven, the beam BM is reflected by the first scanning unit 4 and then scanned by the reflection mirror unit of the second scanning unit 5. The beam BM scanned by the reflection mirror unit of the second scanning unit 5 is imaged by the imaging unit 6 (S8).

ビームBMが撮像されると、ビームBMが撮像範囲IA内に入っているか否かが撮像位置制御部31により判断される(S9)。具体的には、撮像部6の撮像範囲IA内の受光素子LRのうち所定の数以上の受光素子によりビームBMが検知された場合に、ビームBMが撮像範囲IA内に入っていると判断される。撮像部6の撮像範囲IA内の受光素子LRのうち所定の数未満の受光素子によりビームBMが検知された場合に、ビームBMが撮像範囲IA内に入っていないと判断される。   When the beam BM is imaged, the imaging position control unit 31 determines whether or not the beam BM is within the imaging range IA (S9). Specifically, when the beam BM is detected by a predetermined number or more of the light receiving elements LR in the imaging range IA of the imaging unit 6, it is determined that the beam BM is within the imaging range IA. The When the beam BM is detected by less than a predetermined number of the light receiving elements LR in the imaging range IA of the imaging unit 6, it is determined that the beam BM is not within the imaging range IA.

ビームBMが撮像範囲IA内に入っていないと判断されると(S9:No)、撮像位置調整部9により、撮像部6の位置が調整される(S10)。撮像部6の位置が調整されると、処理がS8に移り、ビームBMが撮像される。S9において、ビームBMが撮像範囲IA内に入っていると判断されると(S9:Yes)、撮像部6の位置調整が終了され、撮像部6の位置が決定される。このように、ビームBMが撮像範囲IA内に入っていると判断されるまで、撮像部6の位置が調整されることにより、確実にビームBMが撮像範囲IA内に入る。   If it is determined that the beam BM is not within the imaging range IA (S9: No), the position of the imaging unit 6 is adjusted by the imaging position adjustment unit 9 (S10). When the position of the imaging unit 6 is adjusted, the process proceeds to S8, and the beam BM is imaged. In S9, when it is determined that the beam BM is within the imaging range IA (S9: Yes), the position adjustment of the imaging unit 6 is finished, and the position of the imaging unit 6 is determined. In this way, the position of the imaging unit 6 is adjusted until it is determined that the beam BM is within the imaging range IA, so that the beam BM is reliably within the imaging range IA.

撮像部6の位置が決定されると、第2算出部72により、撮像範囲IA内におけるビームBMの傾きが算出される(S11)。図9は、S11における第2算出部72によるビームBMの傾き算出処理を示すフローチャートである。図11は、第2走査部5により第2方向DSに走査され、撮像部6により撮像されたビームBMの撮像範囲IAの一部の範囲における撮像画像SIを示す図である。図9に示す傾き算出処理では、図11に示すように、先ず、所定の強度を有する縦方向LDにおける位置1LA、2LA、・・、NLA、及び位置1LB、2LB、・・、NLBが決定される(SB1)。ここで、整数Nは、撮像部6が撮像範囲IA内において横方向SDに有する受光素子LRの個数である。なお、図11は、撮像範囲IAの一部を拡大して示す図であり、整数Kは1から整数N内の範囲の任意の整数である。位置1LA、2LA、・・、NLA、及び位置1LB、2LB、・・、NLBが決定されると、縦方向LDにおける特徴点1LC、2LC、・・、NLCが決定される(SB2)。縦方向LDにおける特徴点1LC、2LC、・・、NLCが決定されると、最小二乗法により、特徴点1LC、2LC、・・、NLCを結ぶ近似的な一次関数の傾きGLが算出される。なお、当然のことであるが、「特徴点を結ぶ」との表現は、近似的な一次関数が厳密に全ての特徴点を通ることを意味している訳ではない。近似的な一次関数の傾きGLが算出されると、算出された一次関数の傾きGLがビームBMの撮像範囲IA内における傾きGLとして決定される。以上のようにして、ビームBMの撮像範囲IA内における傾きGLが算出される(SB3)。本実施形態におけるステップS11が、本発明の第2算出ステップの一例である。本実施形態における第2方向DSが、本発明における第2方向の一例である。本実施形態における縦方向LDが、本発明における第2撮像基準方向の一例である。   When the position of the imaging unit 6 is determined, the second calculation unit 72 calculates the inclination of the beam BM within the imaging range IA (S11). FIG. 9 is a flowchart showing the beam BM tilt calculation processing by the second calculation unit 72 in S11. FIG. 11 is a diagram illustrating a captured image SI in a partial range of the imaging range IA of the beam BM scanned in the second direction DS by the second scanning unit 5 and imaged by the imaging unit 6. In the inclination calculation process shown in FIG. 9, as shown in FIG. 11, first, the positions 1LA, 2LA,..., NLA and the positions 1LB, 2LB,. (SB1). Here, the integer N is the number of light receiving elements LR that the imaging unit 6 has in the horizontal direction SD within the imaging range IA. FIG. 11 is an enlarged view of a part of the imaging range IA, and the integer K is an arbitrary integer in the range from 1 to the integer N. When the positions 1LA, 2LA, ..., NLA and the positions 1LB, 2LB, ..., NLB are determined, the feature points 1LC, 2LC, ..., NLC in the vertical direction LD are determined (SB2). When the feature points 1LC, 2LC,..., NLC in the vertical direction LD are determined, an approximate linear function gradient GL connecting the feature points 1LC, 2LC,. As a matter of course, the expression “connecting feature points” does not mean that an approximate linear function strictly passes through all feature points. When the approximate slope GL of the linear function is calculated, the calculated slope GL of the linear function is determined as the slope GL within the imaging range IA of the beam BM. As described above, the inclination GL of the beam BM within the imaging range IA is calculated (SB3). Step S11 in the present embodiment is an example of a second calculation step of the present invention. The second direction DS in the present embodiment is an example of the second direction in the present invention. The vertical direction LD in the present embodiment is an example of the second imaging reference direction in the present invention.

図7に示すS11において、ビームBMの傾きGLが算出されると、角度算出部73により、第1算出部71により算出された傾きGSと第2算出部72により算出された傾きGLとから撮像範囲IA内における第1方向と第2方向との間の角度が算出される(S12)。角度が算出されると、走査位置制御部32により算出された角度が所定の角度範囲90±0.167度内の値か否かが判断される(S13)。算出された角度が所定の角度範囲内の値でないと判断されると(S13:No)、走査位置調整部8により第2走査部5の位置が調整される(S14)。本実施形態におけるステップS12が、本発明の角度算出ステップの一例である。本実施形態におけるステップS13、及びS14が、本発明の制御ステップの一例である。   When the inclination GL of the beam BM is calculated in S11 shown in FIG. 7, the angle calculation unit 73 captures an image from the inclination GS calculated by the first calculation unit 71 and the inclination GL calculated by the second calculation unit 72. An angle between the first direction and the second direction within the range IA is calculated (S12). When the angle is calculated, it is determined whether or not the angle calculated by the scanning position control unit 32 is a value within a predetermined angle range 90 ± 0.167 degrees (S13). When it is determined that the calculated angle is not a value within the predetermined angle range (S13: No), the position of the second scanning unit 5 is adjusted by the scanning position adjusting unit 8 (S14). Step S12 in this embodiment is an example of the angle calculation step of the present invention. Steps S13 and S14 in this embodiment are an example of the control step of the present invention.

S14の走査位置調整部8による第2走査部5の位置調整処理について図12A、図12B、及び図12Cなどを用いて詳細に説明する。走査位置調整部8は、図1、及び図2Bにおいて示したX軸方向、Y軸方向、Z軸方向、X軸回りのα方向、Y軸回りのβ方向、及びZ軸回りのγ方向の6軸方向に第2走査部5を移動させることができる。   The position adjustment processing of the second scanning unit 5 by the scanning position adjusting unit 8 in S14 will be described in detail with reference to FIGS. 12A, 12B, and 12C. The scanning position adjustment unit 8 is arranged in the X-axis direction, the Y-axis direction, the Z-axis direction, the α direction around the X axis, the β direction around the Y axis, and the γ direction around the Z axis shown in FIGS. The second scanning unit 5 can be moved in six axis directions.

図12A、図12B、及び図12Cを用いて、走査位置調整部8による第2走査部5の移動と第2走査部5が移動された際のビームBMの撮像画像SIの撮像範囲IA内における移動との対応関係を説明する。図12A、図12B、及び図12Cにおいて、撮像画像BI、及び撮像画像AIは、いずれも図11において示した第2走査部5により第2方向DSに走査され、撮像部6により撮像されたビームBMの撮像範囲IAの一部の範囲における撮像画像SIである。なお、図12A、及び図12Cにおいて双方向矢印付きの実線により示される第2方向DSは、第2走査部5が位置調整される前後の第2走査部5によるビームBMの走査方向を示す。また、図12Bにおいて、双方向矢印付きの二点鎖線により示される第2方向DSは、第2走査部5が位置調整される前の第2走査部5によるビームBMの走査方向を示す。図12Bにおいて、双方向矢印付きの実線により示される第2方向DSは、第2走査部5が位置調整された後の第2走査部5によるビームBMの走査方向を示す。   12A, 12B, and 12C, the movement of the second scanning unit 5 by the scanning position adjusting unit 8 and the captured image SI of the beam BM when the second scanning unit 5 is moved within the imaging range IA. The correspondence with movement will be described. 12A, 12B, and 12C, each of the captured image BI and the captured image AI is scanned in the second direction DS by the second scanning unit 5 illustrated in FIG. This is a captured image SI in a part of the BM imaging range IA. 12A and 12C, the second direction DS indicated by a solid line with a bidirectional arrow indicates the scanning direction of the beam BM by the second scanning unit 5 before and after the second scanning unit 5 is adjusted in position. In FIG. 12B, a second direction DS indicated by a two-dot chain line with a bidirectional arrow indicates a scanning direction of the beam BM by the second scanning unit 5 before the second scanning unit 5 is adjusted in position. In FIG. 12B, a second direction DS indicated by a solid line with a bidirectional arrow indicates the scanning direction of the beam BM by the second scanning unit 5 after the position of the second scanning unit 5 is adjusted.

図12Aは、走査位置調整部8により、第2走査部5がα方向に移動された場合のビームBMの撮像範囲IAにおける移動を示す図である。図12Aに示すように第2走査部5がα方向に移動されると、ビームBMは、撮像範囲IA内において、二点鎖線により示される撮像画像BIの位置から実線により示される撮像画像AIの位置への移動のように縦方向LDへ移動される。   FIG. 12A is a diagram illustrating movement of the beam BM in the imaging range IA when the second scanning unit 5 is moved in the α direction by the scanning position adjusting unit 8. As shown in FIG. 12A, when the second scanning unit 5 is moved in the α direction, the beam BM moves from the position of the captured image BI indicated by the two-dot chain line to the captured image AI indicated by the solid line within the imaging range IA. It is moved in the vertical direction LD like movement to a position.

図12Bは、走査位置調整部8により、第2走査部5がβ方向に移動された場合のビームBMの撮像範囲IAにおける移動を示す図である。図12Bに示すように第2走査部5がβ方向に移動されると、ビームBMは、撮像範囲IA内において、二点鎖線により示される撮像画像BIの位置から実線により示される撮像画像AIの位置への移動のように回転移動される。   FIG. 12B is a diagram illustrating movement of the beam BM in the imaging range IA when the second scanning unit 5 is moved in the β direction by the scanning position adjusting unit 8. As shown in FIG. 12B, when the second scanning unit 5 is moved in the β direction, the beam BM moves from the position of the captured image BI indicated by the two-dot chain line to the captured image AI indicated by the solid line within the imaging range IA. It is rotated like a movement to a position.

図12Cは、走査位置調整部8により、第2走査部5がγ方向に移動された場合のビームBMの撮像範囲IAにおける移動を示す図である。図12Cに示すように第2走査部5がγ方向に移動されると、ビームBMは、撮像範囲IA内において、二点鎖線により示される撮像画像BIの位置から実線により示される撮像画像AIの位置への移動のように横方向SDへ移動される。   FIG. 12C is a diagram illustrating movement of the beam BM in the imaging range IA when the second scanning unit 5 is moved in the γ direction by the scanning position adjusting unit 8. When the second scanning unit 5 is moved in the γ direction as shown in FIG. 12C, the beam BM moves from the position of the captured image BI indicated by the two-dot chain line to the captured image AI indicated by the solid line within the imaging range IA. It is moved in the horizontal direction SD like movement to a position.

図12A、図12B、及び図12Cを総括するに、本実施形態において、第1方向DFと第2方向DSとを直交させるためには、図12Bに示したような撮像範囲IA内の回転移動が行われる必要がある。従って、走査位置調整部8による第2走査部5の位置調整処理において、第2走査部5のβ方向への移動が主に行われる。しかし、このように第2走査部5のβ方向への移動だけで、第2走査部5の位置調整処理が完全に遂行されるには、図1、及び図2Bにおいて示したような第2走査部5の座標系と走査位置調整部8の座標系とが完全に一致している必要がある。よって、第2走査部5の座標系と走査位置調整部8の座標系とがわずかでもずれている可能性がある場合、走査位置調整部8により、β方向の移動だけでなく、X軸方向、Y軸方向、Z軸方向、α方向、及びγ方向の移動も行われる必要がある。このように、細かに走査位置調整部8により、第2走査部5が6軸方向に移動されることにより、第1方向と第2方向とを確実に直交させることができる。   To summarize FIGS. 12A, 12B, and 12C, in this embodiment, in order to make the first direction DF and the second direction DS orthogonal, the rotational movement within the imaging range IA as shown in FIG. 12B. Need to be done. Therefore, in the position adjustment process of the second scanning unit 5 by the scanning position adjusting unit 8, the second scanning unit 5 is mainly moved in the β direction. However, in order to complete the position adjustment process of the second scanning unit 5 only by moving the second scanning unit 5 in the β direction as described above, the second configuration as shown in FIGS. 1 and 2B is required. It is necessary that the coordinate system of the scanning unit 5 and the coordinate system of the scanning position adjustment unit 8 completely coincide. Therefore, when there is a possibility that the coordinate system of the second scanning unit 5 and the coordinate system of the scanning position adjusting unit 8 are slightly shifted, the scanning position adjusting unit 8 not only moves in the β direction but also moves in the X axis direction. , Movement in the Y-axis direction, Z-axis direction, α-direction, and γ-direction also needs to be performed. As described above, the second scanning unit 5 is finely moved in the six-axis directions by the scanning position adjusting unit 8, so that the first direction and the second direction can be reliably orthogonal to each other.

走査位置調整部8による第2走査部5のβ方向への移動について、図12Dを用いて更に詳細に説明する。図12Dにおいて、双方向矢印付きの実線により示される第1方向DFは、図6に示したS1における第1走査部4によるビームBMの走査方向を示す。図12Dにおいて、双方向矢印付きの二点鎖線により示される第2方向DSは、第2走査部5が位置調整される前の第2走査部5によるビームBMの走査方向を示す。図12Dにおいて、双方向矢印付きの実線により示される第2方向DSは、第2走査部5が位置調整された後の第2走査部5によるビームBMの走査方向を示す。図12Dにおいて、撮像画像FIは、第1走査部4により第1方向DFに走査され、S2において撮像部6により撮像されたビームBMの撮像範囲IAの一部の範囲における撮像画像を示す。撮像画像BI、及び撮像画像AIは、いずれも第2走査部5により第2方向DSに走査され、S8において撮像部6により撮像されたビームBMの撮像範囲IAの一部の範囲における撮像画像を示す。なお、図12Dに示すように、必ずしも撮像範囲IA内の同じ範囲に撮像画像FIと撮像画像BI、AIとが撮像されるとは限らない。また、第1走査部4、及び第2走査部5に走査範囲が存在することから、図12Dに示すように、撮像範囲IA内において、必ずしも撮像画像FIと撮像画像BI、AIとが交差するとは限らない。しかし、撮像されたビームBMの位置は、処理部3のRAMに逐次記憶されることから、上記のような場合においても、撮像範囲内における第1方向と第2方向との間の角度を算出することは可能である。   The movement of the second scanning unit 5 in the β direction by the scanning position adjusting unit 8 will be described in more detail with reference to FIG. 12D. In FIG. 12D, a first direction DF indicated by a solid line with a bidirectional arrow indicates the scanning direction of the beam BM by the first scanning unit 4 in S1 shown in FIG. In FIG. 12D, a second direction DS indicated by a two-dot chain line with a bidirectional arrow indicates a scanning direction of the beam BM by the second scanning unit 5 before the second scanning unit 5 is adjusted in position. In FIG. 12D, a second direction DS indicated by a solid line with a bidirectional arrow indicates the scanning direction of the beam BM by the second scanning unit 5 after the position of the second scanning unit 5 is adjusted. In FIG. 12D, the captured image FI indicates a captured image in a partial range of the imaging range IA of the beam BM scanned in the first direction DF by the first scanning unit 4 and captured by the imaging unit 6 in S2. The captured image BI and the captured image AI are both scanned in the second direction DS by the second scanning unit 5, and captured images in a part of the imaging range IA of the beam BM captured by the imaging unit 6 in S8. Show. As shown in FIG. 12D, the captured image FI and the captured images BI and AI are not necessarily captured in the same range within the imaging range IA. Further, since the scanning range exists in the first scanning unit 4 and the second scanning unit 5, as shown in FIG. 12D, when the captured image FI and the captured images BI and AI intersect each other in the imaging range IA. Is not limited. However, since the position of the imaged beam BM is sequentially stored in the RAM of the processing unit 3, the angle between the first direction and the second direction within the imaging range is calculated even in the above case. It is possible to do.

図12Dに示すように、撮像画像FIと撮像画像BIとが略直交していない場合、即ち、図7に示したS13において算出された角度が所定の角度範囲90±0.167度内の値でないと判断される場合、S14において走査位置調整部8により第2走査部5の位置が調整される。この調整の際に、走査位置調整部8により第2走査部5がβ方向に移動されると、ビームBMは、図12Dに示すように、撮像範囲IA内において、二点鎖線により示される撮像画像BIの位置から実線により示される撮像画像AIの位置への移動のように回転移動される。このようにビームBMが撮像範囲AI内において回転移動されることで、撮像画像FIと撮像画像AIとを直交させることができる。即ち、第1方向DFと第2方向DSとを直交させることができる。   As shown in FIG. 12D, when the captured image FI and the captured image BI are not substantially orthogonal, that is, the angle calculated in S13 shown in FIG. 7 is a value within a predetermined angular range 90 ± 0.167 degrees. If it is determined that it is not, the position of the second scanning unit 5 is adjusted by the scanning position adjusting unit 8 in S14. At the time of this adjustment, when the second scanning unit 5 is moved in the β direction by the scanning position adjusting unit 8, the beam BM is imaged as indicated by a two-dot chain line within the imaging range IA as shown in FIG. 12D. It is rotated and moved like a movement from the position of the image BI to the position of the captured image AI indicated by the solid line. As described above, the beam BM is rotated within the imaging range AI, so that the captured image FI and the captured image AI can be orthogonalized. That is, the first direction DF and the second direction DS can be orthogonal.

第2走査部5の位置が調整されると、処理がS11に移り、ビームBMの傾きGLが算出される。S13において、算出された角度が所定の角度範囲内の値であると判断されると(S13:Yes)、第2走査部5の位置が決定される。第2走査部5の位置が決定されると、画像表示制御スイッチがOFFにされ、処理が終了する。   When the position of the second scanning unit 5 is adjusted, the process proceeds to S11, and the inclination GL of the beam BM is calculated. If it is determined in S13 that the calculated angle is a value within a predetermined angle range (S13: Yes), the position of the second scanning unit 5 is determined. When the position of the second scanning unit 5 is determined, the image display control switch is turned off, and the process ends.

[使用例]
本実施形態に係る画像表示制御装置1は、網膜走査型ディスプレイやレーザプリンタ等の画像表示装置に適用可能である。画像表示制御装置1がこれらの装置に用いられることにより、画像の画質を一定以上に保つことが可能となる。
[Example of use]
The image display control apparatus 1 according to the present embodiment can be applied to an image display apparatus such as a retinal scanning display or a laser printer. By using the image display control device 1 in these devices, the image quality of the image can be kept above a certain level.

(変形例)
本実施形態において、第1方向DFに走査されたビームBMは、所定の強度を有する横方向SDにおける位置1SA、2SA、・・、MSA、及び位置1SB、2SB、・・、MSBが決定され、決定された位置から横方向SDにおける特徴点1SC、2SC、・・、MSCが決定され、決定された特徴点から最小二乗法によりビームBMの撮像範囲IA内における傾きGSが算出されていた。第2方向DSに走査されたビームBMの撮像範囲IA内における傾きGLも同様にして算出されていた。この算出方法は、ビームBMがいわゆるガウシアンビームであり、図13に示すようなガウシアン状の光強度分布を示す場合に特に有効と言える。図13は、第1方向DFに走査されたビームBMの横方向SDにおける位置SDXに対する光強度INTの分布を示す図である。本実施形態において先ず図13に示す所定の強度ITYを有する位置SX、及び位置SYが決定される。そして、位置SXと位置SYとの中間位置SIMが特徴点として決定される。特徴点として決定された中間位置SIにおけるビームBMの強度IMXは、ビームBMがガウシアンビームの場合、ビームBMの強度の最大値とほぼ一致する。従って、特徴点として決定された中間位置SIMは、ビームBMの特徴を示す点として適していると言える。本実施形態ではこのようにして特徴点の決定、及びビームの撮像範囲内における傾きの算出がなされていたが、これに限らず、例えば、単純に縦方向ビームの強度が最も高い位置が特徴点として決定され、決定された特徴点からビームの撮像範囲内における傾きの算出がなされもよい。
(Modification)
In this embodiment, the beam BM scanned in the first direction DF has positions 1SA, 2SA,..., MSA and positions 1SB, 2SB,. The feature points 1SC, 2SC,..., MSC in the horizontal direction SD are determined from the determined position, and the gradient GS of the beam BM in the imaging range IA is calculated from the determined feature points by the least square method. The inclination GL of the beam BM scanned in the second direction DS within the imaging range IA was calculated in the same manner. This calculation method is particularly effective when the beam BM is a so-called Gaussian beam and exhibits a Gaussian light intensity distribution as shown in FIG. FIG. 13 is a diagram illustrating the distribution of the light intensity INT with respect to the position SDX in the lateral direction SD of the beam BM scanned in the first direction DF. In the present embodiment, first, a position SX having a predetermined intensity ITY shown in FIG. 13 and a position SY are determined. Then, an intermediate position SIM between the position SX and the position SY is determined as a feature point. When the beam BM is a Gaussian beam, the intensity IMX of the beam BM at the intermediate position SI determined as the feature point substantially matches the maximum value of the intensity of the beam BM. Therefore, it can be said that the intermediate position SIM determined as the feature point is suitable as a point indicating the feature of the beam BM. In the present embodiment, the feature points are determined and the inclination in the imaging range of the beam is calculated in this way. However, the present invention is not limited to this. For example, the position where the intensity of the longitudinal beam is simply the highest is determined. The inclination in the imaging range of the beam may be calculated from the determined feature point.

本実施形態において、図10、及び図11に示すように、第1走査部4は、ビームBMをいわば垂直走査し、第2走査部5は、ビームBMを水平走査していた。しかし、これに限らず、第1走査部が水平走査をし、第2走査部が垂直走査をするようにしてもよい。この場合、本実施形態におけるSA1〜SA3に相当する処理は、縦方向における特徴点を決定することで、光束の傾きを算出する処理であり、SB1〜SB3に相当する処理は、横方向における特徴点を決定することで、光束の傾きを算出する処理である。   In this embodiment, as shown in FIGS. 10 and 11, the first scanning unit 4 performs vertical scanning of the beam BM, and the second scanning unit 5 performs horizontal scanning of the beam BM. However, the present invention is not limited to this, and the first scanning unit may perform horizontal scanning and the second scanning unit may perform vertical scanning. In this case, the processing corresponding to SA1 to SA3 in the present embodiment is processing for calculating the inclination of the luminous flux by determining the feature points in the vertical direction, and the processing corresponding to SB1 to SB3 is the feature in the horizontal direction. This is a process for calculating the inclination of the luminous flux by determining the point.

本実施形態において、第1走査部4は、駆動部43に圧電体が用いられる圧電駆動方式により駆動されていた。しかし、これに限らず、例えば、反射ミラーの裏側に設けられたコイルに周期的に変化する電流の駆動信号が供給され、反射ミラーの一方から他方に供給される磁界とコイルに供給された電流との相互作用により反射ミラーが揺動される周知のムービンコイル型式の電磁駆動により第1走査部が駆動されてもよい。また、第2走査部も、圧電駆動、及び電磁駆動のいずれにより駆動されてもよい。また、例えば、第1走査部は、圧電駆動され、第2走査部は、電磁駆動されるといったように、第1走査部と第2走査部とで駆動方式が異なっていてもよい。   In the present embodiment, the first scanning unit 4 is driven by a piezoelectric driving method in which a piezoelectric body is used for the driving unit 43. However, the present invention is not limited to this, for example, a drive signal of a periodically changing current is supplied to a coil provided on the back side of the reflection mirror, and a magnetic field supplied from one of the reflection mirrors to the other and a current supplied to the coil The first scanning unit may be driven by a known moving coil type electromagnetic drive in which the reflection mirror is swung by the interaction with the first scanning unit. The second scanning unit may also be driven by either piezoelectric driving or electromagnetic driving. Further, for example, the first scanning unit and the second scanning unit may have different driving methods such that the first scanning unit is piezoelectrically driven and the second scanning unit is electromagnetically driven.

本実施形態において、走査位置調整部8により第2走査部5の位置調整のみが行われていたが、これに限らず、第1走査部の位置調整が行われてもよい。しかし、本実施形態において示した画像表示制御方法によれば、第2走査部のみが位置調整されることで、第1方向と第2方向とを直交させることができる。従って、第1走査部と第2走査部とが位置調整される場合と比較して、簡易な工程で可及的に速やかに第1方向と第2方向とを直交させることができる   In the present embodiment, only the position adjustment of the second scanning unit 5 is performed by the scanning position adjusting unit 8, but the present invention is not limited to this, and the position adjustment of the first scanning unit may be performed. However, according to the image display control method shown in the present embodiment, the first direction and the second direction can be orthogonalized by adjusting the position of only the second scanning unit. Therefore, compared with the case where the positions of the first scanning unit and the second scanning unit are adjusted, the first direction and the second direction can be orthogonalized as quickly as possible with a simple process.

本実施形態において、画像表示制御は処理部3によりなされていたが、これに限らず、例えば、ユーザが算出された角度をもとに走査位置調整部を用い第2走査部の位置調整を行うことで画像表示制御がなされてもよい。   In the present embodiment, the image display control is performed by the processing unit 3, but is not limited thereto. For example, the position of the second scanning unit is adjusted using the scanning position adjusting unit based on the angle calculated by the user. Thus, image display control may be performed.

本実施形態において、走査位置制御部32により算出された角度が所定の角度範囲90±0.167度内の値か否かによって、第2走査部5の位置調整が必要か否かが判断されていたが、所定の角度範囲は90±0.167の範囲に限らず、撮像部の分解能を超えない範囲であれば、どのような範囲であってもよい。   In the present embodiment, whether or not the position adjustment of the second scanning unit 5 is necessary is determined based on whether or not the angle calculated by the scanning position control unit 32 is a value within a predetermined angle range of 90 ± 0.167 degrees. However, the predetermined angle range is not limited to the range of 90 ± 0.167, and may be any range as long as it does not exceed the resolution of the imaging unit.

本実施形態において、撮像位置調整部9は、撮像部6をXX軸、YY軸、及びZZ軸方向の3軸方向に位置調整していた。しかし、これに限らず、例えば、撮像位置調整部は、撮像部を6軸方向に位置調整してもよい。この場合、回転移動による撮像部の位置調整が行われた際には、撮像部がどの方向に何度回転されたかに関する位置調整情報が画像表示制御装置のRAMなどに記憶され、第1走査部または第2走査部の位置調整の際に、記憶されている撮像部の位置調整情報がフィードバックされる必要がある。   In the present embodiment, the imaging position adjustment unit 9 adjusts the position of the imaging unit 6 in the three axis directions of the XX axis, the YY axis, and the ZZ axis. However, the present invention is not limited thereto, and for example, the imaging position adjustment unit may adjust the position of the imaging unit in the six-axis directions. In this case, when the position of the image pickup unit is adjusted by rotational movement, position adjustment information regarding how many times the image pickup unit has been rotated is stored in the RAM or the like of the image display control device, and the first scanning unit Alternatively, when the position adjustment of the second scanning unit is performed, the stored position adjustment information of the imaging unit needs to be fed back.

1 画像表示制御装置
2 測定部
3 処理部
32 走査位置制御部
4 第1走査部
5 第2走査部
6 撮像部
7 算出部
71 第1算出部
72 第2算出部
73 角度算出部
8 走査位置調整部
9 撮像位置調整部
BM ビーム
IA 撮像範囲
LD 縦方向
SD 横方向
LR 受光素子
DF 第1方向
DS 第2方向
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Image display control apparatus 2 Measuring part 3 Processing part 32 Scan position control part 4 1st scanning part 5 2nd scanning part 6 Imaging part 7 Calculation part 71 1st calculation part 72 2nd calculation part 73 Angle calculation part 8 Scan position adjustment Unit 9 Imaging position adjustment unit BM Beam IA Imaging range LD Vertical direction SD Horizontal direction LR Light receiving element DF First direction DS Second direction

Claims (6)

走査されたビームを測定する走査光測定装置において、
あらかじめ設定された所定の撮像範囲において、走査されたビームを撮像する撮像部と、
第1方向に走査されたビームが前記撮像部により撮像されたときに、前記撮像部の出力信号から前記撮像範囲内における第1方向に走査されたビームの傾きを算出する第1算出部と、
第2方向に走査されたビームが前記撮像部により撮像されたときに、前記撮像部の出力信号から前記撮像範囲内における第2方向に走査されたビームの傾きを算出する第2算出部と、
前記第1算出部により算出された傾きと前記第2算出部により算出された傾きとから、前記第1方向と前記第2方向との間の角度を算出する角度算出部と、を備えることを特徴とする走査光測定装置。
In a scanning light measuring device for measuring a scanned beam,
An imaging unit for imaging a scanned beam in a predetermined imaging range set in advance;
A first calculation unit that calculates an inclination of the beam scanned in the first direction within the imaging range from an output signal of the imaging unit when a beam scanned in the first direction is captured by the imaging unit;
A second calculation unit that calculates an inclination of the beam scanned in the second direction within the imaging range from an output signal of the imaging unit when a beam scanned in the second direction is captured by the imaging unit;
An angle calculation unit that calculates an angle between the first direction and the second direction from the inclination calculated by the first calculation unit and the inclination calculated by the second calculation unit. A scanning light measuring device.
前記撮像部は、前記撮像範囲の第1撮像基準方向及び前記第1撮像基準方向に直交する第2撮像基準方向において配設され、前記撮像範囲内で走査されたビームの強度を検出する複数の受光素子を有し、
前記第1算出部は、前記複数の受光素子により検出された前記第1方向に走査されたビームの強度の前記第1撮像基準方向における第1強度分布において所定の第1強度を有する前記第1撮像基準方向における2つの第1位置の間の所定の位置の点を第1特徴点として決定し、前記第1撮像基準方向において決定された複数の前記第1特徴点を結ぶ近似的な第1直線関数の傾きから前記第1方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出し、
前記第2算出部は、前記複数の受光素子により検出された前記第2方向に走査されたビームの強度の前記第2撮像基準方向における第2強度分布において所定の第2強度を有する前記第2撮像基準方向における2つの第2位置の間の所定の位置の点を第2特徴点として決定し、前記第2撮像基準方向において決定された複数の前記第2特徴点を結ぶ近似的な第2直線関数の傾きから前記第2方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出することを特徴とする請求項1に記載の走査光測定装置。
The imaging unit is disposed in a first imaging reference direction of the imaging range and a second imaging reference direction orthogonal to the first imaging reference direction, and detects a plurality of beams that are scanned within the imaging range. Having a light receiving element,
The first calculator has the first intensity having a predetermined first intensity in the first intensity distribution in the first imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the first direction detected by the plurality of light receiving elements. A point at a predetermined position between two first positions in the imaging reference direction is determined as a first feature point, and an approximate first connecting the plurality of first feature points determined in the first imaging reference direction. Calculating a slope within the imaging range of the beam scanned in the first direction from the slope of the linear function;
The second calculation unit has the second intensity having a predetermined second intensity in a second intensity distribution in the second imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the second direction detected by the plurality of light receiving elements. A point at a predetermined position between two second positions in the imaging reference direction is determined as a second feature point, and an approximate second that connects the plurality of second feature points determined in the second imaging reference direction. The scanning light measuring apparatus according to claim 1, wherein the inclination of the beam scanned in the second direction within the imaging range is calculated from the inclination of a linear function.
入射したビームを反射して、第1方向に走査する第1走査部と、入射したビームを反射して、第2方向に走査する第2走査部とを備えた画像表示制御装置において、
あらかじめ設定された所定の撮像範囲において、走査されたビームを撮像する撮像部と、
第1方向に走査されたビームが前記撮像部により撮像されたときに、前記撮像部の出力信号から前記撮像範囲内における第1方向に走査されたビームの傾きを算出する第1算出部と、
第2方向に走査されたビームが前記撮像部により撮像されたときに、前記撮像部の出力信号から前記撮像範囲内における第2方向に走査されたビームの傾きを算出する第2算出部と、
前記第1算出部により算出された傾きと前記第2算出部により算出された傾きとから前記第1方向と前記第2方向との間の角度を算出する角度算出部と、
前記角度算出部により算出される角度が直角になるように前記両走査部の少なくとも一方の走査部を制御する制御部と、を備えることを特徴とする画像表示制御装置。
In an image display control device comprising: a first scanning unit that reflects an incident beam and scans in a first direction; and a second scanning unit that reflects an incident beam and scans in a second direction.
An imaging unit for imaging a scanned beam in a predetermined imaging range set in advance;
A first calculation unit that calculates an inclination of the beam scanned in the first direction within the imaging range from an output signal of the imaging unit when a beam scanned in the first direction is captured by the imaging unit;
A second calculation unit that calculates an inclination of the beam scanned in the second direction within the imaging range from an output signal of the imaging unit when a beam scanned in the second direction is captured by the imaging unit;
An angle calculation unit that calculates an angle between the first direction and the second direction from the inclination calculated by the first calculation unit and the inclination calculated by the second calculation unit;
An image display control device comprising: a control unit that controls at least one of the scanning units so that the angle calculated by the angle calculation unit is a right angle.
前記撮像部は、前記撮像範囲の第1撮像基準方向及び前記第1撮像基準方向に直交する第2撮像基準方向において配設され、前記撮像範囲内で走査されたビームの強度を検出する複数の受光素子を有し、
前記第1算出部は、前記複数の受光素子により検出された前記第1方向に走査されたビームの強度の前記第1撮像基準方向における第1強度分布において所定の第1強度を有する前記第1撮像基準方向における2つの第1位置の間の所定の位置の点を第1特徴点として決定し、前記第1撮像基準方向において決定された複数の前記第1特徴点を結ぶ近似的な第1直線関数の傾きから前記第1方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出し、
前記第2算出部は、前記複数の受光素子により検出された前記第2方向に走査されたビームの強度の前記第2撮像基準方向における第2強度分布において所定の第2強度を有する前記第2撮像基準方向における2つの第2位置の間の所定の位置の点を第2特徴点として決定し、前記第2撮像基準方向において決定された複数の前記第2特徴点を結ぶ近似的な第2直線関数の傾きから前記第2方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出することを特徴とする請求項3に記載の画像表示制御装置。
The imaging unit is disposed in a first imaging reference direction of the imaging range and a second imaging reference direction orthogonal to the first imaging reference direction, and detects a plurality of beams that are scanned within the imaging range. Having a light receiving element,
The first calculator has the first intensity having a predetermined first intensity in the first intensity distribution in the first imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the first direction detected by the plurality of light receiving elements. A point at a predetermined position between two first positions in the imaging reference direction is determined as a first feature point, and an approximate first connecting the plurality of first feature points determined in the first imaging reference direction. Calculating a slope within the imaging range of the beam scanned in the first direction from the slope of the linear function;
The second calculation unit has the second intensity having a predetermined second intensity in a second intensity distribution in the second imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the second direction detected by the plurality of light receiving elements. A point at a predetermined position between two second positions in the imaging reference direction is determined as a second feature point, and an approximate second that connects the plurality of second feature points determined in the second imaging reference direction. The image display control apparatus according to claim 3, wherein an inclination of the beam scanned in the second direction within the imaging range is calculated from an inclination of a linear function.
入射したビームを反射して、第1方向に走査する第1走査部と、入射したビームを反射して、第2方向に走査する第2走査部とを備えた画像表示装置に使用される画像表示制御方法において、
あらかじめ設定された所定の撮像範囲において、走査されたビームを撮像する撮像ステップと、
第1方向に走査されたビームが前記撮像ステップにより撮像されたときに、前記撮像ステップの撮像結果を示す信号から前記撮像範囲内における第1方向に走査されたビームの傾きを算出する第1算出ステップと、
第2方向に走査されたビームが前記撮像ステップにより撮像されたときに、前記撮像ステップの撮像結果を示す信号から前記撮像範囲内における第2方向に走査されたビームの傾きを算出する第2算出ステップと、
前記第1算出ステップにより算出された傾きと前記第2算出ステップにより算出された傾きとから前記第1方向と前記第2方向との間の角度を算出する角度算出ステップと、
前記角度算出ステップにより算出される角度が直角になるように前記両走査部の少なくとも一方の走査部を制御する制御ステップと、を備えることを特徴とする画像表示制御方法。
An image used in an image display device including a first scanning unit that reflects an incident beam and scans in the first direction, and a second scanning unit that reflects the incident beam and scans in the second direction. In the display control method,
An imaging step of imaging a scanned beam in a predetermined imaging range set in advance;
When a beam scanned in the first direction is imaged by the imaging step, a first calculation for calculating an inclination of the beam scanned in the first direction within the imaging range from a signal indicating an imaging result of the imaging step Steps,
Second calculation for calculating the inclination of the beam scanned in the second direction within the imaging range from the signal indicating the imaging result of the imaging step when the beam scanned in the second direction is captured by the imaging step. Steps,
An angle calculation step of calculating an angle between the first direction and the second direction from the inclination calculated by the first calculation step and the inclination calculated by the second calculation step;
And a control step for controlling at least one of the scanning units so that the angle calculated by the angle calculating step is a right angle.
前記撮像ステップは、前記第1方向に走査されたビーム、及び前記第2方向に走査されたビームのうちのいずれかの強度を検出する強度検出ステップを有し、
前記第1算出ステップは、前記強度検出ステップにより検出された前記第1方向に走査されたビームの強度の第1撮像基準方向における第1強度分布において所定の第1強度を有する前記第1撮像基準方向における2つの第1位置の間の所定の位置の点を第1特徴点として決定し、前記第1撮像基準方向において決定された複数の前記第1特徴点を結ぶ近似的な第1直線関数の傾きから前記第1方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出し、
前記第2算出ステップは、前記強度検出ステップにより検出された前記第2方向に走査されたビームの強度の前記第1撮像基準方向に直交する第2撮像基準方向における第2強度分布において所定の第2強度を有する前記第2撮像基準方向における2つの第2位置の間の所定の位置の点を第2特徴点として決定し、前記第2撮像基準方向において決定された複数の前記第2特徴点を結ぶ近似的な第2直線関数の傾きから前記第2方向に走査されたビームの前記撮像範囲内における傾きを算出することを特徴とする請求項5に記載の画像表示制御方法。
The imaging step includes an intensity detection step of detecting an intensity of one of the beam scanned in the first direction and the beam scanned in the second direction,
In the first calculation step, the first imaging reference having a predetermined first intensity in the first intensity distribution in the first imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the first direction detected by the intensity detection step. An approximate first linear function that determines a point at a predetermined position between two first positions in the direction as a first feature point and connects the plurality of first feature points determined in the first imaging reference direction Calculating the inclination within the imaging range of the beam scanned in the first direction from the inclination of
In the second calculation step, a predetermined first in the second intensity distribution in the second imaging reference direction orthogonal to the first imaging reference direction of the intensity of the beam scanned in the second direction detected in the intensity detection step. A point at a predetermined position between two second positions in the second imaging reference direction having two intensities is determined as a second feature point, and the plurality of second feature points determined in the second imaging reference direction 6. The image display control method according to claim 5, wherein an inclination in the imaging range of a beam scanned in the second direction is calculated from an inclination of an approximate second linear function connecting the two.
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