JP5162731B1 - ガス発生材及びマイクロポンプ - Google Patents

Abstract

単位時間あたりのガス発生量が多く、保存安定性が高いガス発生材を提供する。
本発明に係るガス発生材１１ａは、アゾ化合物またはアジド化合物であるガス発生剤、第三級アミン、光増感剤、及びバインダー樹脂を含む。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガス発生材及びそれを備えるマイクロポンプに関する。

近年、小型であり、かつ携帯性に優れる分析装置として、マイクロ流体デバイスを用いた分析装置が用いられるようになってきている。このマイクロ流体デバイスを用いた分析装置では、マイクロ流路内でサンプルの送液、希釈、濃縮及び分析などを行うことができる。

上記マイクロ流体デバイスでは、マイクロ流路内におけるサンプルの送液などのために、マイクロポンプが設けられている。例えば、特許文献１には、光応答性ガス発生材料を用いたマイクロポンプが開示されている。

また、特許文献２には、側鎖にアジドメチル基及び水酸基を有する脂肪族ポリエーテルを含むガス発生剤が開示されている。特許文献３には、グリシジルアジドポリマーを含む組成物が開示されている。非特許文献１には、末端水酸基ポリエーテルに関して、側鎖にメチルアジド基を有するグリシジルアジドポリマー（ＧＡＰ）及びその製造方法が開示されている。

また、特許文献４，５には、マイクロポンプの用途を開示していないが、気体発生剤を含む組成物が開示されている。

特許文献４には、気体発生剤を含む層が貼り付けられるガラス板の表面を、シランカップリング剤により表面処理することが記載されている。特許文献４では、ガス発生剤を含む層に、シランカップリング剤は配合されていない。

特許文献５には、気体発生剤を含む層と、アミノ系シランカップリング剤を含む層とを備える多層シートが開示されている。特許文献５では、多層シートの各層は異なる組成物を用いて形成されており、ガス発生剤とアミノ系シランカップリング剤とは異なる層において別々に用いられている。

特開２０１０−８９２５９号公報 特開平８−３１０８８８号公報 特開平８−１０９０９３号公報 特開２００５−１９７６３０号公報 特開２００６−１２８６２１号公報

工業火薬 Ｖｏｌ．５１，Ｎｏ．４，１９９０，Ｐ．２１６−２１７

近年、マイクロ流体デバイスの複雑化などに伴って、マイクロポンプの構造の簡略化及び小型化を進め、マイクロポンプを高密度に実装したいという要望がある。

本発明は、単位時間あたりのガス発生量が多く、保存安定性が高いガス発生材を提供することを主な目的とする。また、本発明は、上記ガス発生材を備えるマイクロポンプを提供する。

本発明のガス発生材は、アゾ化合物またはアジド化合物であるガス発生剤、第三級アミン、光増感剤、及びバインダー樹脂を含む。

上記第三級アミンは、環状アミン、トリアルキルアミン、及び芳香族アミンからなる群から選択された少なくとも１種を含むことが好ましい。

上記第三級アミンの含有量は、上記ガス発生剤１００質量部に対して、０．１質量部以上、５０質量部以下であることが好ましい。

上記アジド化合物は、スルフォニルアジド基またはアジドメチル基を有することが好ましい。

上記光増感剤の含有量は、上記ガス発生剤１００質量部に対して、０．１質量部以上、５０質量部以下であることが好ましい。

上記光増感剤は、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物、及びアクリドン化合物からなる群から選択された少なくとも１種を含むことが好ましい。

本発明のガス発生材は、シランカップリング剤をさらに含むことが好ましい。

本発明のマイクロポンプは、上記ガス発生材と、マイクロ流路が形成された基材とを備える。上記ガス発生材は、上記ガス発生材において発生した上記ガスがマイクロ流路に供給されるように配されている。

本発明によれば、単位時間あたりのガス発生量が多く、保存安定性が高いガス発生材を提供することができる。

図１は、本発明の第１の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。 図２は、変形例に係るマイクロポンプの略図的断面図である。 図３は、実施例１９及び比較例３〜５で作製したマイクロポンプのガス発生量（積算値）を示すグラフである。 図４は、実施例２０及び比較例６で作製したマイクロポンプのガス発生量（積算値）を示すグラフである。 図５は、実施例２１及び比較例７で作製したマイクロポンプのガス発生量（積算値）を示すグラフである。 図６は、実施例２２及び比較例８で作製したマイクロポンプのガス発生量（積算値）を示すグラフである。 図７は、実施例２３及び比較例９で作製したマイクロポンプのガス発生量（積算値）を示すグラフである。 図８は、実施例２４及び比較例１０で作製したマイクロポンプのガス発生量（積算値）を示すグラフである。 図９は、実施例２５及び比較例１１で作製したマイクロポンプのガス発生量（積算値）を示すグラフである。 図１０は、実施例２６及び比較例１２で作製したマイクロポンプのガス発生量（積算値）を示すグラフである。 図１１は、実施例２７及び比較例１３〜１５で作製したマイクロポンプのガス発生量（積算値）を示すグラフである。

以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。

また、実施形態において参照する図面は、模式的に記載されており、図面に描画された物体の寸法の比率などは、現実の物体の寸法の比率などとは異なる場合がある。具体的な物体の寸法の比率などは、以下の説明を参酌して判断されるべきである。

図１は、第１の実施形態に係るマイクロポンプの略図的断面図である。図１に示すように、マイクロポンプ１は、板状の基材１０を備えている。基材１０は、例えば、樹脂、ガラス及びセラミックスなどにより構成することができる。基材１０を構成する樹脂としては、例えば、有機シロキサン化合物、ポリメタクリレート樹脂及び環状ポリオレフィン樹脂などが挙げられる。上記有機シロキサン化合物の具体例としては、ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）及びポリメチル水素シロキサンなどが挙げられる。

基材１０には、主面１０ａに開口しているマイクロ流路１０ｂが形成されている。

「マイクロ流路」とは、マイクロ流路を流れる液体に所謂マイクロ効果が発現する形状寸法に形成されている流路をいう。具体的には、「マイクロ流路」とは、マイクロ流路を流れる液体が、表面張力と毛細管現象との影響を強く受け、通常の寸法の流路を流れる液体とは異なる挙動を示す形状寸法に形成されている流路をいう。

主面１０ａの上には、フィルム状のガス発生材１１ａが貼り付けられている。マイクロ流路１０ｂの開口は、このガス発生材１１ａにより覆われている。このため、ガス発生材１１ａに光又は熱などの外部刺激が加わることによりガス発生材１１ａから発生したガスは、マイクロ流路１０ｂに導かれる。

ガス発生材１１ａの厚みは、特に限定されず、例えば、好ましくは５μｍ以上、より好ましくは１０μｍ以上、好ましくは５ｍｍ以下、より好ましくは５００μｍ以下である。

ガス発生材１１ａは、ガスバリア層１２により覆われている。このガスバリア層１２により、ガス発生材１１ａにおいて発生したガスが、主面１０ａとは反対側に流出することが抑制され、マイクロ流路１０ｂに効率的に供給される。このため、ガスバリア層１２は、ガス発生材１１ａにおいて発生したガスの透過性が低い層であることが好ましい。

ガスバリア層１２は、例えば、ポリアクリル樹脂、ポリオレフィン樹脂、ポリカーボネート樹脂、塩化ビニル樹脂、ＡＢＳ樹脂、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）樹脂、ナイロン樹脂、ウレタン樹脂、ポリイミド樹脂及びガラスなどにより構成することができる。

なお、ガスバリア層１２の厚みは、ガスバリア層１２の材質などによって異なるが、例えば、好ましくは１０μｍ以上、より好ましくは２５μｍ以上、好ましくは１ｍｍ以下、より好ましくは１００μｍ以下である。ガスバリア層１２は、光を透過させる場合に、紫外線領域の光の減衰が起きにくい層であることが好ましい。

ガス発生材１１ａは、ガス発生剤を含む。上記ガス発生剤は、アゾ化合物またはアジド化合物である。上記ガス発生剤は、熱又は光などの外部刺激が加わった際にガスを発生させる。上記アゾ化合物または上記アジド化合物は、特に限定されず、公知のアゾ化合物またはアジド化合物であってもよい。上記ガス発生剤は、上記アゾ化合物であることが好ましく、上記アジド化合物であることも好ましい。上記ガス発生剤は、単独で用いられてもよく、２種以上併用されてもよい。

上記ガス発生剤として用いられる上記アゾ化合物の具体例としては、例えば、２，２’−アゾビス（Ｎ−シクロヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルプロピル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ブチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−メチルエチル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス（Ｎ−ヘキシル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−プロピル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス（Ｎ−エチル−２−メチルプロピオンアミド）、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［１，１−ビス（ヒドロキシメチル）−２−ヒドロキシエチル］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス｛２−メチル−Ｎ−［２−（１−ヒドロキシブチル）］プロピオンアミド｝、２，２’−アゾビス［２−メチル−Ｎ−（２−ヒドロキシエチル）プロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−プロペニル）−２−メチルプロピオンアミド］、２，２’−アゾビス［２−（５−メチル−２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］ジサルフェイトジハイドロレート、２，２’−アゾビス［２−（３，４，５，６−テトラハイドロピリミジン−２−イル）プロパン］ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス｛２−［１−（２−ヒドロキシエチル）−２−イミダゾイリン−２−イル］プロパン｝ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［２−（２−イミダゾイリン−２−イル）プロパン］、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミダイン）ハイドロクロライド、２，２’−アゾビス（２−アミノプロパン）ジハイドロクロライド、２，２’−アゾビス［Ｎ−（２−カルボキシアシル）−２−メチル−プロピオンアミダイン］、２，２’−アゾビス｛２−［Ｎ−（２−カルボキシエチル）アミダイン］プロパン｝、２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオンアミドオキシム）、ジメチル−２，２’−アゾビス（２−メチルプロピオネート）、ジメチル−２，２’−アゾビスイソブチレート、４，４’−アゾビス（４−シアンカルボニックアシッド）、４，４’−アゾビス（４−シアノペンタノイックアシッド）、及び２，２’−アゾビス（２，４，４−トリメチルペンタン）などが挙げられる。これらのアゾ化合物は、特定の波長域の光又は熱などの外部刺激を受けることにより窒素ガスを発生させる。

なお、上記アゾ化合物は、衝撃によっては気体を発生しないことから、取り扱いが極めて容易である。また、上記アゾ化合物は、連鎖反応を起こして爆発的に気体を発生させることもない。上記アゾ化合物を用いれば、光の照射を中断することで気体の発生を中断させることもできる。このため、上記アゾ化合物を上記ガス発生剤として用いることによりガス発生量の制御が容易となる。

上記ガス発生剤として用いられる上記アジド化合物としては、例えば、スルフォニルアジド基またはアジドメチル基を有するアジド化合物が挙げられる。上記アジド化合物は、スルフォニルアジド基またはアジドメチル基を有することが好ましい。上記アジド化合物は、スルフォニルアジド基を有することが好ましく、アジドメチル基を有することも好ましい。

上記スルフォニルアジド基を有する化合物の好ましい例としては、例えば、下記式（１）で表される化合物が挙げられる。

上記式（１）において、Ｒ^１〜Ｒ^５はそれぞれ、水素原子、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基、炭化水素基、炭化水素基に置換基が結合した基又はアルコキシ基である。上記式（１）中のＲ^１〜Ｒ^５は同一であってもよく、異なっていてもよい。上記炭化水素基は、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよく、環状であってもよい。上記炭化水素基は、飽和の炭化水素基であってもよく、不飽和の炭化水素基であってもよい。上記アルコキシ基は、置換基を有していてもよく、直鎖状であってもよく、分岐状であってもよい。

上記式（１）において、Ｒ^１〜Ｒ^５の内の少なくとも１つの基は、炭化水素基又は炭化水素基に置換基が結合した基であることが好ましく、炭化水素基であることがより好ましい。Ｒ^１〜Ｒ^５が炭化水素基又は炭化水素基に置換基が結合した基である場合に、該炭化水素基の炭素数は１以上、好ましく３以上、より好ましくは６以上、好ましくは３０以下、より好ましくは２０以下、更に好ましくは１８以下である。また、上記炭化水素基に置換基が結合した基における置換基としては、ハロゲン原子などが挙げられる。

上記式（１）のＲ^１〜Ｒ^５において、上記アルコキシ基の炭素数は１以上、好ましくは３以上、より好ましくは６以上、好ましくは２０以下、より好ましくは１６以下、更に好ましくは１２以下である。また、上記アルコキシ基が置換基を有する場合に、該置換基としては、ハロゲン原子などが挙げられる。

上記式（１）において、Ｒ^３は、アミド基、炭化水素基、炭化水素基に置換基が結合した基又はアルコキシ基であることが好ましい。また、上記式（１）において、Ｒ^１，Ｒ^２，Ｒ^４及びＲ^５はそれぞれ、水素原子であることが好ましい。

アジドメチル基を有するアジド化合物としては、例えば、グリシジルアジドポリマーが挙げられる。上記グリシジルアジドポリマーとしては、側鎖にアジドメチル基を有し、かつ末端に水酸基を有する脂肪族ポリエーテルが好ましい。

側鎖にアジドメチル基を有し、かつ末端に水酸基を有する脂肪族ポリエーテルの好ましい例としては、例えば、下記式（２−１）で表されるアジド化合物が挙げられる。

Ｈ（Ｂ）_ｑ（Ａ）_ｎＯＲ^１Ｏ（Ａ）_ｍ（Ｂ）_ｒＨ （２−１）
上記式（２−１）中、ｍ＋ｎ＝２〜２０、ｍ≧１、ｎ≧１、ｑ＋ｒ＝１０〜３５、ｑ≧５、ｒ≧５であり、Ａは、−ＯＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＯＣＨ_２ＣＨ_２−、または−ＯＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）−であり、Ｂは、−ＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_２Ｎ_３）Ｏ−であり、Ｒ^１は、−ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２−、−ＣＨ_２ＣＨ（ＣＨ_３）−、−［（ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｘＣＨ_２ＣＨ_２］−、または−［（ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２Ｏ）_ｙＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２ＣＨ_２］−である。上記Ｒ^１におけるｘは１０〜２５、ｙは５〜２０である。

また、側鎖にアジドメチル基を有し、かつ末端に水酸基を有する脂肪族ポリエーテルの好ましい他の例としては、例えば、下記式（２−２）で表されるアジド化合物が挙げられる。

上記式（２−２）において、ｍは、１〜２０の整数、ｌ＋ｎは、７〜５０の整数である。ｍは、好ましくは３以上、好ましくは１５以下である。ｌ＋ｎは、好ましくは１０以上、好ましくは３０以下である。

また、側鎖にアジドメチル基を有し、かつ末端に水酸基を有する脂肪族ポリエーテルの好ましい他の例としては、例えば、下記式（２−３）で表されるアジド化合物が挙げられる。

上記式（２−３）において、ｍ１、ｍ２及びｍ３はそれぞれ、１〜２０の整数であり、ｎ１、ｎ２及びｎ３はそれぞれ、１〜２０の整数である。

上記アジド化合物は、上記式（１）、（２−１）、（２−２）又は（２−３）で表されるアジド化合物であることが好ましい。上記アジド化合物は、上記式（１）で表されるアジド化合物であることが好ましく、上記式（２−１）、（２−２）又は（２−３）で表されるアジド化合物であることも好ましい。

上述したアジド化合物は、特定の波長域の光、熱、超音波又は衝撃などの外部刺激を受けることにより分解して、窒素ガスを発生させる。

ガス発生材１１ａにおいて、上記ガス発生剤の含有量は、好ましくは１０質量％以上、より好ましくは１５質量％以上、更に好ましくは２０質量％以上、好ましくは９０質量％以下、より好ましくは７０質量％以下、更に好ましくは６０質量％以下である。上記ガス発生剤の含有量が上記下限以上であると十分なガス発生量を得ることが可能となる。ガス発生材１１ａは、第三級アミン、光増感剤、及びバインダー樹脂を含む必要があるため、上記ガス発生剤の好ましい上限は、９０質量％程度である。

ガス発生材１１ａでは、上記第三級アミンと上記光増感剤とを含むことにより、上述の窒素ガスの発生がスムーズに行われ、ガス発生量を増加させることが可能となる。

ガス発生材１１ａは、第三級アミンを含む。上記第三級アミンの種類は、特に限定されない。上記第三級アミンとしては、環状アミン、トリアルキルアミン及び芳香族アミンなどが挙げられる。上記環状アミン及び上記芳香族アミンはそれぞれ、第三級アミンの構造を有する。

上記第三級アミンは、１種類のみ含まれていてもよいし、複数種類含まれていてもよい。ガス発生材１１ａは、環状アミン、トリアルキルアミン、及び芳香族アミンからなる群から選択された少なくとも１種を含むことが好ましい。上記第三級アミンは、環状アミンであることが好ましく、トリアルキルアミンであることが好ましく、芳香族アミンであることも好ましい。上記環状アミンは、芳香族骨格を除く環状骨格を有し、芳香族骨格を有さない。上記トリアルキルアミンは、環状骨格及び芳香族骨格を有さない。上記芳香族アミンは、芳香族骨格を有し、芳香族骨格を除く環状骨格を有さない。

上記環状アミンの炭素数は、好ましくは６以上、好ましくは２０以下である。上記環状アミンの具体例としては、１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン（ＤＡＢＣＯ）、ジアザビシクロウンデセン（ＤＢＵ）、及びジアザビシクロノネン（ＤＢＮ）などが挙げられる。

上記トリアルキルアミンの３つのアルキル基は、同一であってもよく、異なっていてもよい。上記トリアルキルアミンの３つのアルキル基の炭素数はそれぞれ１以上、好ましくは２以上、好ましくは２０以下、より好ましくは６以下である。上記トリアルキルアミンの具体例としては、トリメチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジエチルメチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルエチルアミン、トリエチルアミン、Ｎ，Ｎ−ジメチルプロピルアミン、トリプロピルアミン及びトリブチルアミンなどが挙げられる。

上記芳香族アミンの具体例としては、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノトルイジン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノトルイジン、Ｎ，Ｎ−ジメチルアミノベンゼン、Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノベンゼン、及びＮ，Ｎ、Ｎ’Ｎ’−テトラメチル−ｐ−フェニレンジアミンなどが挙げられる。

ガス発生材１１ａ中における溶解性を高くし、更に他の成分との混合性をより一層高くし、かつ均質なフィルム状のガス発生材を得る観点からは、上記第三級アミンは２３℃で液状であることが好ましい。

上記第三級アミンの含有量は、上記ガス発生剤１００質量部に対して、好ましくは０．１質量部以上、より好ましくは０．５質量部以上、更に好ましくは１質量部以上、好ましくは５０質量部以下、より好ましくは４０質量部以下、更に好ましくは３０質量部以下である。上記第三級アミンの含有量が上記下限以上及び上記上限以下であると、ガス発生材１１ａにおける単位時間あたりのガス発生量が効果的に多くなり、保存安定性が効果的に高くなる。

ガス発生材１１ａは、光増感剤を含む。上記光増感剤は、ガス発生剤への光による刺激を増幅する効果を有する。よって、ガス発生材１１ａが光増感剤を含むことにより、少ない光照射量によって、ガスを発生させ、放出させることができる。また、より広い波長領域の光によって、ガスを発生させ、放出させることができる。上記光増感剤は、単独で用いられてもよく、２種以上併用されてもよい。

上記光増感剤の種類は、特に限定されない。上記光増感剤として、公知の光増感剤を使用することができる。上記光増感剤としては、例えば、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物及びアクリドン化合物などが挙げられる。上記チオキサントン化合物は、チオキサントン骨格を有する。上記フェノチアジン化合物は、フェノチアジン骨格を有する。上記アントラセン化合物は、アントラセン骨格を有する。上記アクリドン化合物は、アクリドン骨格を有する。

上記チオキサントン化合物の具体例としては、チオキサントン、２−クロロチオキサントン、２，４−ジクロロチオキサントン、１−クロロ−４−プロポキシチオキサントン、２−イソプロピルチオキサントン、４−イソプロピルチオキサントン、及び２，４−ジエチルチオキサントンなどが挙げられる。

上記フェノチアジン化合物の具体例としては、フェノチアジン、２−クロロフェノチアジン、２−メチルチオフェノチアジン、２−メトキシフェノチアジン、及び２−（トリフルオロメチル）フェノチアジンなどが挙げられる。

上記アントラセン化合物の具体例としては、アントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９−カルボキシアントラセン、２−アントラセンカルボン酸、１−アントラセンカルボン酸、１，８−アントラセンジカルボン酸ジメチル、（１Ｒ，２Ｒ）−２−（アントラセン−２，３−ジカルボキシイミド）シクロヘキサンカルボン酸、１−アミノアントラセン、２−アントラセンボロン酸、９−クロロメチルアントラセン、９，１０−ジメトキシアントラセン−２−スルホン酸ナトリウム、ベンゾアントレン、ベンゾ［ａ］アントラセン−７，１２−ジオン、ジベンゾ［ａ，ｃ］アントラセン、１，２，３，４−ジベンゾアントラセン、９−ブロモアントラセン、９，１０−ビス（クロロメチル）アントラセン、７−ブロモベンゾ［ａ］アントラセン、１，８−ビス（ヒドロキシメチル）アントラセン、９，１０−ビス（３，５−ジヒドロキシフェニル）アントラセン、１−ブロモアントラセン、２−ブロモアントラセン、９，１０−ビス（ジエチルホスホノメチル）アントラセン、２−ブロモ−９，１０−ジフェニルアントラセン、２−ｔ−ブチルアントラセン、９−クロロメチルアントラセン、９−シアノアントラセン、１−クロロ−９，１０−ビス（フェニルエチニル）アントラセン、２−クロロアントラセン、ジベンゾ［ａ，ｈ］アントラセン、９，１０−ジブロモアントラセン、９，１０−ジメチルアントラセン、９，１０−ジヒドロアントラセン、７，１２−ジメチルベンゾ［ａ］アントラセン、９，１０−ジシアノアントラセン、９，１０−ジフェニルアントラセン、２，３−ジメチルアントラセン、２，６−ジブロモアントラセン、１，５−ジブロモアントラセン、（１１Ｒ，１２Ｒ）−９，１０−ジヒドロ−９，１０−エタノアントラセン−１１，１２−ジアミン、９，１０−ジヒドロ−９，１０−ビス（２−カルボキシエチル）−Ｎ−（４−ニトロフェニル）−１０，９−（エポキシイミノ）アントラセン−１２−カルボキサミド、９，１０−ジ（１−ナフチル）アントラセン、９，１０−ジ（２−ナフチル）アントラセン、１，８−ジヨードアントラセン、９−（ヒドロキシメチル）アントラセン、２−（ヒドロキシメチル）アントラセン、９−（２−ヒドロキシエチル）アントラセン、９−メチルアントラセン、７−メチルベンゾ［ａ］アントラセン、２，３−ベンゾアントラセン、ジベンゾ［ｄｅ，ｋｌ］アントラセン、９−フェニルアントラセン、９，１０−ビス（フェニルエチニル）アントラセン、１−アニリノアントラセン、２−アニリノアントラセン、１，４，９，１０−テトラヒドロキシアントラセン、１，８，９−トリヒドロキシアントラセン、（Ｒ）−（−）−α−（トリフルオロメチル）−９−アントラセンメタノール、（Ｓ）−（＋）−α−（トリフルオロメチル）−９−アントラセンメタノール、及び９，１０−ジヒドロ−９，１０−［１，２］ベンゼノアントラセンなどが挙げられる。

上記アクリドン化合物の具体例としては、１０−メチル−９（１０Ｈ）アクリドン、９（１０Ｈ）−アクリドン、及び１０−ブチル−２−クロロ−９（１０Ｈ）−アクリドンなどが挙げられる。

単位時間あたりのガス発生量を多くするために、上記光増感剤は、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物、及びアクリドン化合物からなる群から選択された少なくとも１種を含むことが好ましい。上記光増感剤は、チオキサントン化合物であることが好ましく、フェノチアジン化合物であることが好ましく、アントラセン化合物であることが好ましく、アクリドン化合物であることも好ましい。

また、上記光増感剤としては、アルコキシ基を有する多環芳香族化合物も挙げられる。上記多環芳香族化合物は、アルコキシ基を２つ以上有していてもよい。なかでも、グリシジル基または水酸基を含むアルコキシ基を有する多環芳香族化合物が好ましい。この多環芳香族化合物は、アルコキシ基の一部がグリシジル基または水酸基で置換されているアルコキシ基を有する置換アルコキシ多環芳香族化合物であることが好ましい。このような光増感剤は、高い耐昇華性を有し、高温下で使用することができる。また、アルコキシ基の一部がグリシジル基や水酸基で置換されることにより、ガス発生材１１ａ中における溶解性が高まり、ブリードアウトを抑制することができる。

上記光増感剤として用いられる上記多環芳香族化合物の好ましい例としては、アントラセン骨格を有する多環芳香族化合物などが挙げられる。上記アントラセン骨格を有する多環芳香族化合物は、アルコキシ基を有するアントラセン化合物であり、アントラセン誘導体などである。また、アルコキシ基を有する多環芳香族化合物のアルコキシ基の炭素数は１以上、好ましくは１８以下、より好ましくは８以下である。

上記アルコキシ基を有する多環芳香族化合物の具体例としては、９，１０−ジメトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジメトキシアントラセン、９−メトキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジエトキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジエトキシアントラセン、９−エトキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジプロポキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジプロポキシアントラセン、９−イソプロポキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジブトキシアントラセン、９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジベンジルオキシアントラセン、９−ベンジルオキシ−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２−エチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ−α−メチルベンジルオキシアントラセン、９−（α−メチルベンジルオキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシエトキシ）アントラセン、及び２−エチル−９，１０−ジ（２−カルボキシエトキシ）アントラセンなどが挙げられる。

上記グリシジル基または水酸基を含むアルコキシ基を有する多環芳香族化合物の具体例としては、９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（グリシジルオキシ）アントラセン、９−（グリシジルオキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（２−ビニルオキシエトキシ）アントラセン、９−（２−ビニルオキシエトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）アントラセン、９−（３−メチル−３−オキセタニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）アントラセン、９−（ｐ−エポキシフェニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２−エチル−９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２−ｔ−ブチル−９，１−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、２，３−ジメチル−９，１０−ジ（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）アントラセン、９−（ｐ−ビニルフェニルメトキシ）−１０−メチルアントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシエトキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシブトキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−ブトキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−（２−エチルヘキシルオキシ）プロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−アリロキシプロポキシ）アントラセン、９，１０−ジ（２−ヒドロキシ−３−フェノキシプロポキシ）アントラセン、及び９，１０−ジ（２，３−ジヒドロキシプロポキシ）アントラセンなどが挙げられる。

上記光増感剤は、光重合開始剤として一般に知られている材料であってもよい。このような光増感剤としては、例えば、２５０〜８００ｎｍの波長の光を照射することにより活性化される化合物が挙げられる。このような光増感剤の具体例としては、メトキシアセトフェノンなどのアセトフェノン化合物；ベンゾインプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテルなどのベンゾインエーテル化合物；ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジエチルケタールなどのケタール化合物；フォスフィンオキシド化合物；ビス（η５−シクロペンタジエニル）チタノセンなどのチタノセン化合物；ベンゾフェノン；ミヒラーケトン；クロロチオキサントン；ドデシルチオキサントン；ジメチルチオキサントン；ジエチルチオキサントン；α−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン；２−ヒドロキシメチルフェニルプロパンなどが挙げられる。上記光増感剤は、単独で用いられてもよく、２種以上併用されてもよい。

上記光増感剤の含有量は、上記ガス発生剤１００質量部に対して、好ましくは０．１質量部以上、より好ましくは０．５質量部以上、好ましくは５０質量部以下、より好ましくは３０質量部以下である。また、上記光増感剤の含有量は、後述のバインダー樹脂１００質量部に対して、好ましくは０．５質量部以上、より好ましくは１質量部以上、好ましくは３０質量部以下、より好ましくは１５質量部以下である。上記光増感剤の含有量が上記下限以上であると、充分な光増感効果が得られる。上記光増感剤の含有量が上記上限以下であると、光増感剤に由来する残存物が少なくなり、充分にガスが発生されやすくなる。

上記第三級アミンと上記光増感剤との配合量に関しては、上記光増感剤に対して上記第三級アミンが当モルとなるように配合することが好ましい。また、ガス発生に際して、上記第三級アミンは消費されないと考えられるため、上記第三級アミンは、上記ガス発生剤のモル当量よりも少ない量で配合することができる。ガス発生材１１ａにおいて、上記第三級アミンのモル当量は、上記ガス発生材のモル当量以下であることが好ましい。

なお、ここでいう当量とは、アミン中の窒素原子１個を１当量とし、光増感剤１分子を１当量とする。

ガス発生材１１ａは、バインダー樹脂をさらに含んでいてもよい。ガス発生材１１ａがバインダー樹脂を含む場合、ガス発生材１１ａを錠剤状、微粒子状及びフィルム状などの形態とすることが容易になる。また、ガス発生剤をガス発生材１１ａ中に強固に保持することができる。上記バインダー樹脂は、単独で用いられてもよく、２種以上併用されてもよい。

上記バインター樹脂は特に限定されない。上記バインダー樹脂として、上記ガス発生剤、上記第三級アミン及び上記光増感剤をガス発生材１１ａ中に保持することが可能である適宜のバインダー樹脂が用いられる。上記バインター樹脂として、例えば、ポリ（メタ）アクリレート、ポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリスチレン、ポリエーテル、ポリウレタン、ポリカーボネート、ポリアミド及びポリイミドなどの高分子材料を用いることができる。また、これらの高分子材料を構成するモノマーの共重合体を用いてもよく、これらの高分子材料を併用してもよい。なかでも、上記ポリ（メタ）アクリレートは、ガスの発生効率をより一層高めるため、バインダー樹脂として好ましい。すなわち、上記バインダー樹脂は、（メタ）アクリル重合体であることが好ましい。なお、上記（メタ）アクリル重合体には、（メタ）アクリル共重合体が含まれる。

上記バインダー樹脂のＳＰ値は好ましくは７以上、好ましくは１０．５以下である。上記バインダー樹脂のＳＰ値が上記下限以上及び上記上限以下であると、相溶性がより一層良好になる。

上記ＳＰ値（溶解度パラメータ）は、Ｆｅｄｏｒｓ法（Ｒ．Ｆ．Ｆｅｄｏｒｓ，Ｐｏｌｙｍ．Ｅｎｇ．Ｓｃｉ．，１４，１４７（１９７４））を用いて算出可能である。

上記ポリ（メタ）アクリレートを構成する（メタ）アクリレートモノマーは、鎖状化合物及び環状化合物のいずれであってもよい。上記鎖状化合物としては、（メタ）アクリル酸メチル、アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸ブチル、（メタ）アクリル酸２−メチルヘキシル、及び（メタ）アクリル酸ラウリルなどが挙げられる。上記環状化合物としては、（メタ）アクリル酸シクロヘキシル、及び（メタ）アクリル酸イソボロニルなどが挙げられる。これらのなかでも、（メタ）アクリル酸メチルが好ましい。

上記ポリ（メタ）アクリレートは、例えば、（メタ）アクリレートモノマーと、（メタ）アクリレートモノマーと共重合可能なビニルモノマーとの共重合体であってもよい。上記ビニルモノマーとしては、特に限定されず、例えば、（メタ）アクリル酸、イタコン酸、クロトン酸、（無水）マレイン酸、（無水）フマル酸、カルボキシアルキル（メタ）アクリレート類（カルボキシエチルアクリレートなど）のカルボキシル基含有ビニルモノマー；２−ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２−ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４−ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、カプロラクトン変性（メタ）アクリレート、ポリエチレングリコール（メタ）アクリレートなどの水酸基含有ビニルモノマー；（メタ）アクリロニトリル、Ｎ−ビニルピロリドン、Ｎ−ビニルカプロラクタム、Ｎ−ビニルラウリロラクタム、（メタ）アクリロイルモルホリン、（メタ）アクリルアミド、ジメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−メチロール（メタ）アクリルアミド、Ｎ−ブトキシメチル（メタ）アクリルアミド、Ｎ−イソプロピル（メタ）アクリルアミド、ジメチルアミノメチル（メタ）アクリレートなどの窒素含有ビニルモノマーなどが挙げられる。上記ビニルモノマーは単独で用いてもよく、２種以上で併用してもよい。

上記（メタ）アクリレートモノマーと上記ビニルモノマーとの組合せとしては、特に限定されず、例えば（メタ）アクリル酸ブチルと（メタ）アクリル酸、（メタ）アクリル酸ブチルと（メタ）アクリルアミド、及び（メタ）アクリル酸とＮ−イソプロピル（メタ）アクリルアミドとの組合せなどが挙げられる。（メタ）アクリレートモノマーとビニルモノマーとの共重合比（質量比）は、９８：２〜５１：４９の範囲内であることが好ましい。

ガスの発生効率をより一層高めるために、上記ポリ（メタ）アクリレートとしては、ポリメチル（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸ブチル・（メタ）アクリル酸共重合体、及び（メタ）アクリル酸ブチル・（メタ）アクリルアミド共重合体からなる群から選択された少なくとも１種が好ましい。また、ガスの発生効率をさらに高めるために、上記ポリ（メタ）アクリレートは、アミノ基またはカルボニル基を有することが好ましい。

上記バインダー樹脂は、紫外光吸収帯を有することが好ましい。上記バインダー樹脂の紫外光吸収帯は、ガス発生剤及び光増感剤の紫外光吸収帯よりも短波長であることが好ましい。

ガスの発生効率をより一層高めるために、上記バインダー樹脂は、光分解性を有してもよい。

上記バインダー樹脂の重量平均分子量は、好ましくは５万以上、より好ましくは６０万以上、好ましくは２００万以下、より好ましく１６０万以下である。上記バインダー樹脂の重量平均分子量が上記下限以上であると、バインダー樹脂自体の凝集力の低下が抑えられ、上記ガス発生剤、上記第三級アミン及び上記光増感剤をガス発生材１１ａ中に、強固に保持することができる。上記バインダー樹脂の重量平均分子量が上記上限以下であると、ガス発生材１１ａを各種の形態に加工することが容易になる。

上記バインダー樹脂は、粘接着性を有することが好ましい。上記バインダー樹脂が粘接着性を有する場合、ガス発生材１１ａに粘接着性を付与することができる。このため、マイクロポンプ１にガス発生材１１ａを容易に配置することができる。例えば、粘接着性を有するフィルム状のガス発生材１１ａは、マイクロポンプ１の基板面または基板内部の壁面に容易に貼り付けることができる。

ガス発生材１１ａが上記バインダー樹脂を含む場合、上記バインダー樹脂の含有量は、例えば、上記ガス発生剤１００質量部に対して、好ましくは１０質量部以上、より好ましくは２０質量部以上、更に好ましくは３０質量部以上、好ましくは３００質量部以下、より好ましくは２００質量部以下、更に好ましくは１５０質量部以下である。

ガス発生材１１ａは、上記ガス発生剤１００質量部と、上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記第三級アミン０．１質量部以上、５０質量部以下、上記光増感剤０．１質量部以上、５０質量部以下、上記バインダー樹脂１１質量部以上、３００質量部以下とを含み、かつ、ガス発生材１１ａは、該ガス発生材１１ａ１００質量％中、上記ガス発生剤を１０質量％以上、９０質量％以下で含むことが好ましい。

ガス発生材１１ａは、シランカップリング剤を含むことが好ましい。上記シランカップリング剤の使用により、ガス発生材１１ａの接着対象部材に対する接着力がより一層高くなる。上記シランカップリング剤は、１種のみが用いられてもよく、２種以上が併用されてもよい。

ガス発生材１１ａは、アミノ基を有するシランカップリング剤を含むことがより好ましい。上記アミノ基を有するシランカップリング剤の使用により、ガス発生材１１ａの接着対象部材に対する接着力が更に一層高くなるだけでなく、シランカップリング剤を用いたことに伴うガス発生材１１ａから発生するガスの発生量の低下を抑えることもできる。すなわち、上記アミノ基を有するシランカップリング剤を用いた場合には、アミノ基を有さないシランカップリング剤を用いた場合と比べて、ガス発生材１１ａの接着対象部材に対する接着力が効果的に高くなり、更にガス発生材１１ａから発生するガスの発生量の低下が効果的に抑えられる。すなわち、上記アミノ基を有するシランカップリング剤を用いることで、上記ガス発生材がシランカップリング剤を含んでいても、単位時間あたりのガス発生量にほとんど影響しなくなる。このことは、本発明者らにより初めて見出された。上記第三級アミンは、珪素原子を含まないことが好ましく、シランカップリング剤ではないことが好ましい。上記アミノ基を有するシランカップリング剤は、上記第三級アミンではないことが好ましい。

上記アミノ基を有するシランカップリング剤の具体例としては、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリメトキシシラン、Ｎ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ，Ｎ’−ビス［（３−トリメトキシシリル）プロピル］エチレンジアミン、３−アミノプロピルトリメトキシシラン、３−アミノプロピルトリエトキシシラン及びＮ−フェニル−３−アミノプロピルトリメトキシシランなどが挙げられる。これら以外のアミノ基を有するシランカップリング剤を用いてもよい。上記アミノ基を有するシランカップリング剤は、単独で用いられてもよく、２種以上併用されてもよい。

上記アミノ基を有さないシランカップリング剤としては、３−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、３−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン等のエポキシ基を有するシランカップリング剤、３−イソシアネートプロピルトリエトキシシラン等のイソシアネート基を有するシランカップリング剤、及び３−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン等の（メタ）アクリロイル基を有するシランカップリング剤等が挙げられる。

ガス発生材１１ａにおいて、上記ガス発生剤１００質量部に対して、上記シランカップリング剤の含有量及び上記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量はそれぞれ、好ましくは０．０００１質量部以上、より好ましくは０．０００３質量部以上、好ましくは１質量部以下、より好ましくは０．３質量部以下である。上記シランカップリング剤及び上記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量が上記下限以上であると、ガス発生材１１ａの接着対象部材に対する接着力がより一層高くなる。上記シランカップリング剤及び上記アミノ基を有するシランカップリング剤の含有量が上記上限以下であると、余剰の上記シランカップリング剤及び上記アミノ基を有するシランカップリング剤によるガス発生量の低下がより一層抑えられる。

また、ガス発生材１１ａは、架橋剤、粘着剤及び無機充填材などを含んでもいてもよい。ガス発生材１１ａは、上記架橋剤を含むことがより好ましい。但し、ガス発生材１１ａは、上記架橋剤を含んでいなくてもよい。上記架橋剤の使用により、ガス発生材１１ａの粘着力がより一層高くなる。

（変形例）
図２は、上記の実施形態の変形例に係るマイクロポンプの略図的断面図である。

本変形例に係るマイクロポンプ２は、ガス発生材１１ｂの形状及び基材１０の形状において、上記の実施形態に係るマイクロポンプ１と異なる。

本変形例では、マイクロ流路１０ｂは、基材１０内に形成されたポンプ室１０ｃに接続されている。ガス発生材１１ｂは、ブロック状に形成されており、ポンプ室１０ｃ内に配されている。

本実施形態に係るマイクロポンプ２においても、上記マイクロポンプ１と同様に、高出力かつ長駆動時間を実現することができる。

以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明する。本発明は、以下の実施例に何ら限定されず、要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。

（バインダー樹脂の合成例）
以下のようにして、実施例及び比較例で使用したバインダー樹脂を合成した。ｎ−ブチルアクリレート（日本触媒社製）９７質量部と、アクリル酸（日本触媒社製）３質量部と、イルガキュア９０７（長瀬産業社製）０．０５質量部と、酢酸エチル２００質量部とを混合して、混合物を得た。次に、この混合物に、紫外線を４時間照射して、アクリル共重合体であるバインダー樹脂Ａを作製した。バインダー樹脂Ａの重量平均分子量は、約７０万であった。得られたバインダー樹脂ＡのＳＰ値は７以上、１０．５以下の範囲内である。

（実施例１）
バインダー樹脂Ａ１９０質量部と溶剤である酢酸エチル３８０重量部とを配合した。バインダー樹脂Ａ１９０質量部（但し、溶剤である酢酸エチル３８０質量部をバインダー樹脂Ａと共に配合してある）と、ガス発生剤であるＧＡＰ４００６（グリシジルアジドポリマー、日油社製）１００質量部と、第三級アミンであるトリプロピルアミン（トリｎ−プロピルアミン）１０質量部と、光増感剤である２，４−ジエチルチオキサントン（日本化薬社製のＤＥＴＸ−Ｓ）３．５質量部と、架橋剤であるテトラッドＸ（三菱ガス化学社製）１質量部とを混合し、フィルム状に加工した。このフィルムを１１０℃で５分間加熱して、溶剤である酢酸エチルを除去した。これを離型ＰＥＴフィルムで保護し、常温で一日（２４時間）保管して、フィルム状のガス発生材を得た。なお、実施例１において架橋剤として用いたテトラッドＸは、下記式（Ｘ）で表される。

得られたフィルム状のガス発生材を用いて、上記第１の実施形態のマイクロポンプ１と実質的に同様の構成を有するマイクロポンプを作製した。

なお、マイクロ流路１０ｂの断面形状は、０．５ｍｍ角の矩形状とした。マイクロ流路１０ｂの長さは、８００ｍｍとした。マイクロ流路１０ｂの先端は大気に開放した状態とした。ガス発生材は、直径０．６ｃｍサイズで、厚み５０μｍのフィルム状とした。

次に、得られたマイクロポンプについて、それぞれ、２４時間経過後及び１０日経過後のガス発生量（μＬ）を測定した。２４時間経過後のガス発生量（μＬ）を基準（１００％）として、１０日経過後の相対的なガス発生量（ガス発生量の増減）（％）を求めた。後述の実施例及び比較例でも、同様の評価を行った。

なお、ガス発生量の測定では、３８０ｎｍの紫外線ＬＥＤ（ナイトレイドセミコンダクター社製のＮＳ３７５Ｌ−５ＲＦＳ）で２分間照射したときのガスの発生量を測定した。ガス発生量の測定方法は、マイクロ流路１０ｂとメスピペットとをシリコンチューブでつなぎ、この中を水で充填し、その後、ガス発生材に紫外線を照射し、発生したガスによるメスピペットの体積変化を読み取る方法とした。

（実施例２〜１８及び比較例１，２）
配合成分の種類及び配合量（単位は質量部）を下記の表１，２に示すように変更したこと以外は実施例１と同様にして、マイクロポンプを作製した。なお、比較例１では、第三級アミンを用いなかった。比較例２では、第三級アミンと架橋剤とを用いなかった。

また、用いた第三級アミンの種類は、以下の通りである。
トリプロピルアミン（トリｎ−プロピルアミン）
１，４−ジアザビシクロ［２．２．２］オクタン（ＤＡＢＣＯ）
ジアザビシクロウンデセン（ＤＢＵ）
ジアザビシクロノネン（ＤＢＮ）
Ｎ，Ｎ−ジエチルアミノ−ｐ−トルイジン

配合組成及び評価結果を下記の表１，２に示す。

（実施例１９）
実施例１と同様にして作製したマイクロポンプにおいて、紫外線ＬＥＤ（ナイトレイドセミコンダクター社製のＮＳ３７５Ｌ−５ＲＦＳ）から３８０ｎｍの光を照射して、ガス発生量（μＬ）を測定した。

（比較例３）
比較例１と同様にして作製したマイクロポンプについて、実施例１９と同様にして、紫外線ＬＥＤからの３８０ｎｍの光を照射して、ガス発生量（μＬ）を測定した。

（実施例２０〜２６及び比較例４，５）
下記の表３，４に示す種類の光増感剤及びアミンを用いたこと以外は実施例１９と同様にして作製したマイクロポンプにおいて、実施例１９と同様にして、紫外線ＬＥＤからの３８０ｎｍの光を照射して、ガス発生量（μＬ）を測定した。

（比較例６〜１２）
下記の表４に示す種類の光増感剤を用いたこと、並びにアミンを用いなかったこと以外は実施例１９と同様にして作製したマイクロポンプにおいて、実施例１９と同様にして、紫外線ＬＥＤからの３８０ｎｍの光を照射して、ガス発生量（μＬ）を測定した。

実施例１９〜２６の結果を下記の表３に示し、比較例３〜１２の結果を下記の表４に示す。また、実施例１９及び比較例３，４，５の結果を図３に示し、実施例２０及び比較例６の結果を図４に示し、実施例２１及び比較例７の結果を図５に示し、実施例２２及び比較例８の結果を図６に示し、実施例２３及び比較例９の結果を図７に示し、実施例２４及び比較例１０の結果を図８に示し、実施例２５及び比較例１１の結果を図９に示し、実施例２６及び比較例１２の結果を図１０に示す。なお、表３、４及び図３〜１０に示すガス発生量は、積算値である。

（実施例２７）
実施例１と同様にして作製した６つのマイクロポンプについて、それぞれ、作製してから１日経過後、３日経過後、６日経過後、９日経過後、１６日経過後及び３０日経過後に、紫外線ＬＥＤからの３８０ｎｍの光を２分間照射したときのガス発生量（μＬ）を測定した。

（比較例１３）
比較例４と同様にして作製した６つのマイクロポンプについて、それぞれ、作製してから１日経過後、３日経過後、６日経過後及び９日経過後に、紫外線ＬＥＤからの３８０ｎｍの光を２分間照射したときのガス発生量（μＬ）を測定した。

（比較例１４）
比較例５と同様にして作製した６つのマイクロポンプについて、それぞれ、作製してから１日経過後、３日経過後、６日経過後及び９日経過後に、紫外線ＬＥＤからの３８０ｎｍの光を２分間照射したときのガス発生量（μＬ）を測定した。

（比較例１５）
トリプロピルアミンの代わりにドデシルアミンを用いたこと以外は実施例１と同様にして作製した６つのマイクロポンプについて、それぞれ、作製してから１日経過後、３日経過後、６日経過後及び９日経過後に、紫外線ＬＥＤからの３８０ｎｍの光を２分間照射したときのガス発生量（μＬ）を測定した。

実施例２７及び比較例１３，１４，１５の結果を下記の表５及び図１１に示す。なお、表５及び１１に示すガス発生量は、積算値である。実施例２７と比較例１３〜１５との対比から明らかなとおり、第三級アミンを含むガス発生材は、第１級アミン及び第２級アミンを含むガス発生材に比べて、保存安定性に優れることが分かる。

（実施例２８）
バインダー樹脂Ａ１００質量部と溶剤である酢酸エチル５６７重量部とを配合した。バインダー樹脂Ａ１００質量部（但し、溶剤である酢酸エチル５６７質量部をバインダー樹脂Ａと共に配合してある）と、ガス発生剤であるＤＢＳＮ（４−ドデシルベンゼンスルフォニルアジド 東洋紡社製）５０質量部と、第三級アミンであるトリプロピルアミン（トリｎ−プロピルアミン）３．５質量部と、光増感剤である（ＤＫＳＨジャパン社製のＩＰＸ）２質量部と、架橋剤である（綜研化学社製のＥ−ＡＸ トルエン５％液）０．５質量部とを混合し、フィルム状に加工した。このフィルムを１１０℃で５分間加熱して、溶剤である酢酸エチルを除去した。これを離型ＰＥＴフィルムで保護し、常温で一日（２４時間）保管して、フィルム状のガス発生材を得た。得られたガス発生材を用いて、実施例１と同様にしてマイクロポンプを得た。

（実施例２９〜３１）
配合成分の種類及び配合量（単位は質量部）を下記の表６に示すように変更したこと以外は実施例２８と同様にして、ガス発生材を得て、マイクロポンプを作製した。実施例３０，３１では、ガス発生剤として、ＧＡＰ５００３（グリシジルアジドポリマー、日油社製）を用いた。

実施例２８〜３１で得られたマイクロポンプについて、実施例１と同様の評価を行った。評価結果を下記の表６に示す。なお、実施例２８〜３１のガス発生材でも、実施例１〜２７と同様に、第三級アミンを用いていることから、２４時間経過後及び１０日経過後でも、ガスの発生量の低下は少なく、また２４時間経過後のガス発生量（μＬ）を基準（１００％）として、１０日経過後の相対的なガス発生量（ガス発生量の増減）（％）は９５％以上、１０５％以下の範囲内であり、保存安定性に優れていた。

（実施例３２）
バインダー樹脂Ａ１００質量部と溶剤である酢酸エチル５６７重量部とを配合した。バインダー樹脂Ａ１００質量部（但し、溶剤である酢酸エチル５６７質量部をバインダー樹脂Ａと共に配合してある）と、ガス発生剤であるＧＡＰ４００６（グリシジルアジドポリマー、日油社製）１１０質量部と、アミノ基を有するシランカップリング剤であるＮ−２−（アミノエチル）−３−アミノプロピルメチルジメトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＭ−６０２）０．００１質量部と、第三級アミンであるトリプロピルアミン（トリｎ−プロピルアミン）２質量部と、光増感剤である（ＤＫＳＨジャパン社製のＩＰＸ）３．５質量部と、架橋剤である（綜研化学社製のＥ−ＡＸ トルエン５％液）０．５質量部とを混合し、フィルム状に加工した。このフィルムを１１０℃で５分間加熱して、溶剤である酢酸エチルを除去した。これを離型ＰＥＴフィルムで保護し、常温で一日（２４時間）保管して、フィルム状のガス発生材を得た。得られたガス発生材を用いて、実施例１と同様にしてマイクロポンプを得た。

（実施例３３〜３８）
配合成分の種類及び配合量（単位は質量部）を下記の表７に示すように変更したこと以外は実施例３２と同様にして、ガス発生材を得て、マイクロポンプを作製した。なお、実施例３３〜３５では、アミノ基を有するシランカップリング剤を用いた。実施例３６，３７では、アミノ基を有さないシランカップリング剤を用いた。実施例３８では、シランカップリング剤を用いなかった。

また、用いたシランカップリング剤の種類は、以下の通りである。
Ｎ，Ｎ−ビス［（３−トリメトキシシリル）プロピル］エチレンジアミン（Ｇｅｌｅｓｔ社製）
３−アミノプロピルトリメトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＭ−９０３）
３−アミノプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＥ−９０３）
３−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＥ−４０３）
３−メタクリロキシプロピルメチルジエトキシシラン（信越化学工業社製のＫＢＥ−５０２）

実施例３２〜３８について、以下の評価項目について評価した。

（１）ガス発生量
ガス発生量の測定では、３８０ｎｍの紫外線ＬＥＤ（ナイトレイドセミコンダクター社製のＮＳ３７５Ｌ−５ＲＦＳ）で１２０秒間照射したときのガスの発生量を測定した。なお、ガス発生量の測定方法は、実施例１と同じである。

（２）接着力
引張試験機（島津製作所製：ＡＧ−ＩＳ）を用いて、１８０度ピール剥離を行うことにより接着力を評価した。測定条件は、剥離速度３００ｍｍ／分、剥離幅２５ｍｍ及び測定温度２３℃の条件である。

（３）アンカー
セロファンテープの糊面と得られたフィルム状のガス発生材の糊面とを互いに貼り合わせ、９０度剥離を行い、剥離強度を測定した。測定方法は接着力の測定に準じる。

結果を下記の表７に示す。なお、実施例３２〜３８のガス発生材では、第三級アミンを用いていることから、２４時間経過後及び１０日経過後でも、ガスの発生量の低下は少なく、また２４時間経過後のガス発生量（μＬ）を基準（１００％）として、１０日経過後の相対的なガス発生量（ガス発生量の増減）（％）は９０％以上、１０５％以下の範囲内であり、保存安定性に優れていた。

１，２…マイクロポンプ
１０…基材
１０ａ…主面
１０ｂ…マイクロ流路
１０ｃ…ポンプ室
１１ａ、１１ｂ…ガス発生材
１２…ガスバリア層

Claims (13)

1. アゾ化合物またはアジド化合物であるガス発生剤、第三級アミン、光増感剤、及びバインダー樹脂を含む、ガス発生材。
2. 前記第三級アミンが、環状アミン、トリアルキルアミン、及び芳香族アミンからなる群から選択された少なくとも１種を含む、請求項１に記載のガス発生材。
3. 前記第三級アミンの含有量は、前記ガス発生剤１００質量部に対して、０．１質量部以上、５０質量部以下である、請求項１または２に記載のガス発生材。
4. 前記アジド化合物は、スルフォニルアジド基またはアジドメチル基を有する、請求項１または２に記載のガス発生材。
5. 前記光増感剤の含有量は、前記ガス発生剤１００質量部に対して、０．１質量部以上、５０質量部以下である、請求項１または２に記載のガス発生材。
6. 前記光増感剤が、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物、及びアクリドン化合物からなる群から選択された少なくとも１種を含む、請求項１または２に記載のガス発生材。
7. シランカップリング剤をさらに含む、請求項１または２に記載のガス発生材。
8. 請求項１または２のいずれか１項に記載のガス発生材と、
   マイクロ流路が形成された基材と、
   を備え、
   前記ガス発生材は、前記ガス発生材において発生したガスが前記マイクロ流路に供給されるように配されている、マイクロポンプ。
9. 前記ガス発生材において、前記第三級アミンの含有量は、前記ガス発生剤１００質量部に対して、０．１質量部以上、５０質量部以下である、請求項８に記載のマイクロポンプ。
10. 前記アジド化合物は、スルフォニルアジド基またはアジドメチル基を有する、請求項８に記載のマイクロポンプ。
11. 前記ガス発生材において、前記光増感剤の含有量は、前記ガス発生剤１００質量部に対して、０．１質量部以上、５０質量部以下である、請求項８に記載のマイクロポンプ。
12. 前記光増感剤が、チオキサントン化合物、フェノチアジン化合物、アントラセン化合物、及びアクリドン化合物からなる群から選択された少なくとも１種を含む、請求項８に記載のマイクロポンプ。
13. 前記ガス発生材が、シランカップリング剤をさらに含む、請求項８に記載のマイクロポンプ。

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