JP5088705B2 - 流体噴射ヘッド及び流体噴射装置 - Google Patents

Description

本発明は、例えばインクジェット式プリンタなどの流体噴射装置及び該流体噴射装置に備えられる流体噴射ヘッドに関する。

一般に、流体をターゲットに対して噴射させる流体噴射装置として、インクジェット式プリンタ（以下、「プリンタ」という。）が広く知られている。このプリンタは、インク（流体）を噴射する記録ヘッド（流体噴射ヘッド）にインクを供給し、そのインクを記録ヘッドに形成されたノズル開口からターゲットとしての記録用紙に噴射することにより印刷を行っている（例えば、特許文献１）。

すなわち、この特許文献１のプリンタの記録ヘッドは、複数のノズル開口と、該各ノズル開口にそれぞれ連通する複数の圧力発生室（圧力室）と、該各圧力発生室と複数のインク供給路（流体供給路）を介して連通する１つのインク室（流体貯留室）と、該インク貯留室にインクを供給するインク供給孔（流体供給口）と、各圧力発生室の一部を構成する振動板にそれぞれ接着された複数の圧電振動子（駆動素子）とを備えている。そして、この圧電振動子に駆動電圧を印加して圧電振動子を収縮、伸長させることにより圧力発生室内の圧力が変動すると、この圧力変動により圧力発生室内のインクがノズル開口から噴射されるようになっている。

そして、特許文献１のプリンタの記録ヘッドでは、通常、インク供給孔からインク室に供給されたインクはインク供給孔に対して近い位置よりも遠い位置での方が、淀みやすくなっている。このため、インク室内におけるインク供給孔に対して遠い位置において、インクが増粘しやすかったり、気泡が溜まったりしやすかった。そこで、特許文献１のプリンタでは、各ノズル開口から増粘したインクや気泡を吸引して排出するクリーニングを行う際に、インク供給孔に対して近い位置にある圧電振動子よりも遠い位置にある圧電振動子の駆動周波数を大きくして、インク室に溜まった増粘インクや気泡を効果的に排出するようにしている。

特開２００３−２９１３７０号公報

ところで、特許文献１のプリンタでは、インク供給孔に対する圧電振動子の相対位置によって該圧電振動子を駆動するための駆動パターンを圧電振動子毎に変化させているため、圧電振動子を駆動させる駆動パターンが複数必要となり、回路構成が複雑化してしまうという問題があった。

本発明は、このような従来技術に存在する問題点に着目してなされたものである。その目的とするところは、複雑な回路構成を必要とすることなく、内部に溜まった気泡を効果的に排出することが可能な流体噴射ヘッド及び流体噴射装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明の流体噴射ヘッドは、流体供給口から供給される流体を一次貯留する流体貯留室と、該流体貯留室に貯留された前記流体が複数の流体供給路を介してそれぞれ供給される複数の圧力室と、該各圧力室の圧力をそれぞれ変化させるための複数の駆動素子と、該各駆動素子の駆動に基づいて前記各圧力室に収容されている前記流体をそれぞれ噴射させるための複数のノズル開口とを備えた流体噴射ヘッドにおいて、前記各駆動素子のうちで前記流体供給口から最も遠い位置に配置された駆動素子である特定駆動素子を、前記流体中に含まれる気泡を前記ノズル開口から排出させる能力が前記各駆動素子のうちで最も高くなるように構成した。

通常、流体供給口から流体貯留室に供給された流体は流体供給口に対して近い位置よりも遠い位置での方が淀みやすいため、特に流体貯留室内における流体供給口に対して遠い位置において流体中に含まれる気泡が溜まりやすくなっている。この点、この発明によれば、各駆動素子のうちで流体供給口から最も遠い位置に配置された駆動素子である特定駆動素子を、流体中に含まれる気泡をノズル開口から排出させる能力が各駆動素子のうちで最も高くなるように構成しているため、複雑な回路構成を必要とすることなく、内部に溜まった気泡を効果的に排出することが可能となる。

本発明の流体噴射ヘッドにおいて、前記複数の流体供給路は互いに並列状に配置されており、前記特定駆動素子は前記各流体供給路の並列方向における幅が前記各駆動素子の中で最も大きい。

この発明によれば、各駆動素子に同じ駆動力が与えられた場合に、特定駆動素子と対応する圧力室の圧力の変化量を他の駆動素子と対応する圧力室の圧力の変化量よりも大きくすることが可能となる。

本発明の流体噴射ヘッドにおいて、前記特定駆動素子は、前記各流体供給路の並列方向及び前記各流体供給路の延びる方向の双方と直交する方向の高さが前記各駆動素子の中で最も高い。

この発明によれば、各駆動素子に同じ駆動力が与えられた場合であっても、特定駆動素子と対応する圧力室の圧力の変化量を他の駆動素子と対応する圧力室の圧力の変化量よりも大きくすることが可能となる。

本発明の流体噴射ヘッドにおいて、前記特定駆動素子と対応する、前記流体供給路の断面積、前記圧力室の断面積、及び前記ノズル開口の径は、前記各流体供給路の断面積、前記各圧力室の断面積、及び前記各ノズル開口の径のうちでそれぞれ最も大きい。

この発明によれば、特定駆動素子と対応する流体供給路、圧力室、及びノズル開口を流れる流体の流量が増加する。このため、特定駆動素子と対応するノズル開口からの気泡の排出性を向上することが可能となる。

本発明の流体噴射ヘッドにおいて、前記各駆動素子は、全て同一の駆動パターンによって駆動されるように構成されている。
この発明によれば、各駆動素子が全て同一の駆動パターンで駆動されることで、回路構成を簡単にすることが可能となる。

本発明の流体噴射装置は、上記構成の流体噴射ヘッドを備えた。
この発明によれば、複雑な回路構成を必要とすることなく、内部に溜まった気泡を効果的に排出することが可能となる。

実施形態のインクジェット式プリンタの斜視図。 実施形態の記録ヘッドの断面図。 実施形態の圧電素子の斜視図。 実施形態の流路形成板の平面図。 実施形態の記録ヘッドの要部拡大断面図。

以下、本発明に係る流体噴射装置をインクジェット式プリンタに具体化した一実施形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の説明において、「前後方向」、「上下方向」及び「左右方向」をいう場合は、特に説明がない限り、図１を基準とした場合の「前後方向」、「上下方向」及び「左右方向」と一致するものとする。

図１に示すように、流体噴射装置としてのインクジェット式プリンタ１１は、略矩形箱状をなすフレーム１２を備えている。フレーム１２内の下部には、その長手方向である左右方向に沿ってプラテン１３が延設されている。プラテン１３上には、フレーム１２の背面下部に設けられた紙送りモータ１４の駆動に基づき、図示しない紙送り機構により記録用紙Ｐが後方側から給送されるようになっている。

また、フレーム１２内におけるプラテン１３の上方には、該プラテン１３の長手方向に沿ってガイド軸１５が架設されている。ガイド軸１５には、キャリッジ１６が、該ガイド軸１５の軸線方向（左右方向）に沿って往復移動可能に支持されている。すなわち、キャリッジ１６は左右方向に貫通形成された支持孔１６ａにガイド軸１５が挿通されることにより、このガイド軸１５の長手方向に沿って往復移動自在に支持されている。

また、フレーム１２の後壁内面においてガイド軸１５の両端部と対応する位置には、駆動プーリ１７ａ及び従動プーリ１７ｂが回転自在に支持されている。駆動プーリ１７ａにはキャリッジ１６を往復移動させる際の駆動源となるキャリッジモータ１８の出力軸が連結されるとともに、これら一対のプーリ１７ａ，１７ｂ間には、キャリッジ１６に連結された無端状のタイミングベルト１７が掛装されている。従って、キャリッジ１６は、ガイド軸１５にガイドされながら、キャリッジモータ１８の駆動力により無端状のタイミングベルト１７を介して左右方向に往復移動可能となっている。

キャリッジ１６の下面側には流体噴射ヘッドとしての記録ヘッド１９が設けられる一方、キャリッジ１６上には記録ヘッド１９に対して流体としてのインクを供給するためのインクカートリッジ２０が着脱可能に搭載されている。そして、インクカートリッジ２０内のインクは、記録ヘッド１９に備えられた圧電素子２１（図２参照）の駆動により、インクカートリッジ２０から記録ヘッド１９へと供給され、該記録ヘッド１９に備えられた複数のノズル開口２２（図２参照）からプラテン１３上に給送された記録用紙Ｐに噴射されて印刷が行われるようになっている。

なお、フレーム１２内の右端部に位置する記録用紙Ｐが至らないホームポジション領域（非印刷領域）には、非印刷時に記録ヘッド１９のメンテナンスを行うためのメンテナンスユニット２３が設けられている。

次に、記録ヘッド１９について詳述する。
図２に示すように、記録ヘッド１９は、筒状の本体ケース３０を備えている。本体ケース３０における左寄りの位置には、該本体ケース３０を上下方向に貫通する第１インク供給路３１が形成されている。本体ケース３０内における右寄りの位置には、固定基板３２が立設されている。

本体ケース３０の下面には、該本体ケース３０の下端開口及び第１インク供給路３１の下端開口を覆うように、弾力性を有する矩形薄板状の振動板３３が固着されている。また、本体ケース３０内には前後方向に長い直方体状の圧電素子２１の右側面における上端部が固定基板３２の左側面に固着されており、圧電素子２１の下面は振動板３３の上面に固着されている。

図３に示すように、圧電素子２１における下側には、該圧電素子２１の左右方向の幅全体にわたって延びる切欠溝３４が、前後方向に間隔を置いて複数設けられている。各切欠溝３４の深さは、圧電素子２１の上下方向の高さの半分程度に設定されている。圧電素子２１における各切欠溝３４間に挟まれた部分は、振動部３５とされている。そして、本実施形態では、各振動部３５が駆動素子を構成している。

各振動部３５のうち圧電素子２１の前後方向における両端に位置する両振動部３５は、それぞれ他の振動部３５よりも前後方向の幅が大きい特定振動部３５Ａとされている。そして、本実施形態では、両特定振動部３５Ａが特定駆動素子を構成している。圧電素子２１において、両特定振動部３５Ａの前後方向における外側に位置する部分は、それぞれダミー振動部３６とされている。これら両ダミー振動部３６には、圧電素子２１に対してグランド線などが取り付けられる。なお、圧電素子２１は、前後方向及び左右方向において対称な形状になっている。

図２及び図５に示すように、振動板３３の上面における圧電素子２１を挟んだ両側には、前後方向に延びる縦溝３７がそれぞれ形成されている。一方、振動板３３の上面における圧電素子２１の各切欠溝３４と対応する位置には、両縦溝３７間を繋ぐように左右方向に延びる横溝３８が形成されている。振動板３３において両縦溝３７と各横溝３８とによって囲まれた部分はそれぞれアイランド部３９とされており、該各アイランド部３９は圧電素子２１の各振動部３５とそれぞれ対応している。各アイランド部３９のうち両特定振動部３５Ａと対応する両特定アイランド部３９Ａは、他のアイランド部３９よりも平面視における面積が広くなっている。

図２、図４及び図５に示すように、振動板３３の下面には矩形枠状をなす流路形成板４０が密着状態で固定され、該流路形成板４０の下面には矩形板状のノズルプレート４１が密着状態で固定されている。振動板３３とノズルプレート４１との間における左寄りの位置には、前後方向に長い流体貯留室としてのインク貯留室４２が形成されている。インク貯留室４２は、振動板３３に形成された流体供給口としての連通孔４３を介して第１インク供給路３１と連通しており、該第１インク供給路３１を介してインクカートリッジ２０（図１参照）から供給されるインクを一時貯留するようになっている。

連通孔４３はインク貯留室４２内の前後方向における中央部に開口しており、圧電素子２１の各振動部３５のうち、両特定振動部３５Ａは連通孔４３から最も遠い位置に配置されている。この場合、両特定振動部３５Ａは、連通孔４３からの距離が互いに同じになっている。

振動板３３とノズルプレート４１との間における右寄りの位置には、圧電素子２１の各振動部３５と上下方向においてそれぞれ対応するように複数の圧力室４４が前後方向に配列された状態で形成されている。この場合、圧電素子２１の両ダミー振動部３６は、どの圧力室４４とも対応していない。

また、振動板３３とノズルプレート４１との間におけるインク貯留室４２と各圧力室４４との間には、左右方向に延びる複数の流体供給路としての第２インク供給路４５が左右方向に並列状に形成されており、各第２インク供給路４５を介してインク貯留室４２と各圧力室４４とがそれぞれ連通している。したがって、インク貯留室４２内に一時貯留されたインクは、各第２インク供給路４５を介してそれぞれ各圧力室４４に供給されるようになっている。

この場合、各圧力室４４のうち両特定振動部３５Ａと対応する前後両端に位置する両特定圧力室４４Ａは、他の圧力室４４よりもインクの流れる方向と直交する方向に切断したときの断面積が大きくなっている。さらにこの場合、各第２インク供給路４５のうち両特定振動部３５Ａと対応する前後両端に位置する両特定第２インク供給路４５Ａは、他の各第２インク供給路４５よりもインクの流れる方向と直交する方向に切断したときの断面積が大きくなっている。

ノズルプレート４１には、各圧力室４４の右端部と対応する位置にそれぞれノズル開口２２が設けられている。すなわち、ノズルプレート４１には、各ノズル開口２２が前後方向に配列された状態で設けられている。この場合、各ノズル開口２２のうち両特定振動部３５Ａと対応する前後両端に位置する両特定ノズル開口２２Ａは、他の各ノズル開口２２よりも径が大きくなっている。

また、圧電素子２１の左側面における上端部には帯状のフレキシブル回路基板４６の一端部が接続されており、該フレキシブル回路基板４６の他端部はインクジェット式プリンタ１１（図１参照）の制御部（図示略）に接続されている。そして、制御部（図示略）で発生させた駆動信号を、フレキシブル回路基板４６を介して圧電素子２１に入力することで、該圧電素子２１の各振動部３５が上下方向に伸縮運動（駆動）するようになっている。この場合、各振動部３５は、全て同一の駆動パターンによって伸縮運動（駆動）されるようになっている。

そして、この各振動部３５の伸縮運動に基づいて振動板３３の各アイランド部３９が振動することで、各圧力室４４内の圧力が変化され、この各圧力室４４内の圧力変化により該各圧力室４４内のインクが各ノズル開口２２からそれぞれ噴射されるようになっている。

次に、記録ヘッド１９内に混入した気泡を排出する際の動作について説明する。
通常、記録ヘッド１９内に気泡が混入すると、この気泡はインク貯留室４２内における前後方向の両端部に滞留する。なぜなら、インク貯留室４２内においては、印刷時などにおけるインクの流量が、連通孔４３から近い前後方向の中央部分よりも連通孔４３から遠い前後方向の両端部の方が少ないからである。

さて、記録ヘッド１９内に混入した気泡を排出する場合、まず、制御部（図示略）が圧電素子２１に印刷とは関係のない駆動信号を入力すると、各振動部３５は、同じ一つの圧電素子２１によって一体に形成されているため、全て同一の駆動パターンによって上下方向にそれぞれ伸縮運動（駆動）する。すると、振動板３３の各アイランド部３９が上下に振動することで、各アイランド部３９と対応する各圧力室４４内が減圧状態と加圧状態との間で交互に変化し、各圧力室４４内のインクが気泡とともに各ノズル開口２２を介してそれぞれ外部へ排出される。

このとき、インク貯留室４２内における前後方向の両端部と対応する、両特定第２インク供給路４５Ａの断面積、両特定振動部３５Ａの前後方向の幅、両特定アイランド部３９Ａの面積、両特定圧力室４４Ａの断面積、及び両特定ノズル開口２２Ａの径は、それぞれ、他の各第２インク供給路４５の断面積、他の各振動部３５の前後方向の幅、他の各アイランド部３９の面積、他の各圧力室４４の断面積、及び他の各ノズル開口２２の径よりも大きくなっている。

すなわち、他の各振動部３５の前後方向の幅よりも大きい両特定振動部３５Ａによって、他の各アイランド部３９の面積よりも大きい面積を持つ両特定アイランド部３９Ａが上下に振動されるとともに、両特定第２インク供給路４５Ａ、両特定圧力室４４Ａ、及び両特定ノズル開口２２Ａを通る際のインクの抵抗は、他の各第２インク供給路４５、他の各圧力室４４、及び各ノズル開口２２を通る際のインクの抵抗よりも小さくなる。

このため、インク貯留室４２内から両特定第２インク供給路４５Ａ及び両特定圧力室４４Ａを介して両特定ノズル開口２２Ａから排出されるインク量が飛躍的に増加されるので、インク貯留室４２内における前後方向の両端部に滞留する気泡がインクとともに効果的に排出される。

以上、詳述した実施形態によれば以下の効果を得ることができる。
（１）連通孔４３から最も遠い位置に配置された両特定振動部３５Ａは、他の各振動部３５よりも前後方向の幅が大きいため、圧電素子２１を構成する全振動部３５に同じ駆動信号が与えられた場合であっても、両特定圧力室４４Ａ内の圧力の変化量を他の各圧力室４４内の圧力の変化量よりも大きくすることができる。このため、複雑な回路構成を必要とすることなく、特に気泡が滞留し易いインク貯留室４２内における前後方向の両端部に溜まった気泡を両特定ノズル開口２２Ａから効果的に排出することができる。

（２）インク貯留室４２内における前後方向の両端部と対応するように配置された両特定振動部３５Ａと対応する、両特定第２インク供給路４５Ａの断面積、両特定圧力室４４Ａの断面積、及び両特定ノズル開口２２Ａの径は、それぞれ、他の各第２インク供給路４５の断面積、他の各圧力室４４の断面積、及び他の各ノズル開口２２の径よりも大きくなっている。このため、両特定第２インク供給路４５Ａ、両特定圧力室４４Ａ、及び両特定ノズル開口２２Ａを流れるインクの流量を増加させることができるので、両特定ノズル開口２２Ａからの気泡の排出性を向上することができる。

（３）各振動部３５は全て同一の駆動パターンによって駆動されるため、インクジェット式プリンタ１１の制御部（図示略）やフレキシブル回路基板４６の回路構成を簡単にすることができる。

（変更例）
なお、上記実施形態は以下のように変更してもよい。
・両特定振動部３５Ａは、各第２インク供給路４５の並列方向及び各第２インク供給路４５の延びる方向の双方と直交する方向である上下方向の高さが各振動部３５の中で最も高くなるようにしてもよい。但し、両特定振動部３５Ａを、各振動部３５を有する圧電素子２１とは別の圧電素子で構成する必要がある。この場合、両特定振動部３５Ａの前後方向の幅は、他の各振動部３５の前後方向の幅と同じにしてもよいし、他の各振動部３５の前後方向の幅よりも大きくしてもよい。

このようにすれば、両特定振動部３５Ａ及び他の各振動部３５に同じ駆動力が与えられた場合に、両特定振動部３５Ａが伸縮する際の振幅が他の各振動部３５が伸縮する際の振幅よりも大きくなる。このため、両特定振動部３５Ａと対応する両特定圧力室４４Ａ内の圧力の変化量を他の振動部３５と対応する他の各圧力室４４の圧力の変化量よりも大きくすることができる。このため、複雑な回路構成を必要とすることなく、特に気泡が滞留し易いインク貯留室４２内における前後方向の両端部に溜まった気泡を両特定ノズル開口２２Ａから効果的に排出することができる。

・各振動部３５をそれぞれ個別の圧電素子によって構成してもよい。この場合、各圧電素子が駆動素子を構成する。
・各振動部３５は、各ノズル開口２２から気泡や増粘インクを吸引ポンプ（図示略）によって吸引排出する、いわゆるクリーニングを行う際に、補助的に駆動するようにしてもよい。

・前後方向に並列された各振動部３５のうち、両端部に位置する振動部３５の２つ分ずつ、あるいは３つ分以上ずつを特定振動部３５Ａとしてもよい。
・前後方向に並列された各振動部３５において、中央部から両端部に向かうほど各振動部３５の前後方向の幅が、１つ分ずつ段階的に大きくなるようにしてもよい。

・前後方向に並列された各振動部３５において、中央部から両端部に向かうほど各振動部３５の前後方向の幅が、複数個分ずつ段階的に大きくなるようにしてもよい。
・上記実施形態において、流体噴射装置を、記録用紙Ｐの搬送方向（前後方向）と交差する方向において記録ヘッド１９が記録用紙Ｐの幅方向（左右方向）の長さに対応した全体形状をなす、いわゆるフルラインタイプ（ラインヘッド方式）のプリンタに具体化してもよい。あるいは、流体噴射装置は、インクカートリッジをインクジェット式プリンタにおけるキャリッジ上以外の場所に設置し、該インクカートリッジのインクをインク供給チューブによって記録ヘッドに供給するようにした、いわゆるオフキャリッジタイプのプリンタであってもよい。

・上記実施形態では、流体噴射装置をインクジェット式プリンタ１１に具体化したが、この限りではなく、インク以外の他の流体（液体や、機能材料の粒子が液体に分散又は混合されてなる液状体、ゲルのような流状体を含む）を噴射したり吐出したりする流体噴射装置に具体化することもできる。例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材（画素材料）などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射する液状体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置であってもよい。さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置、ゲル（例えば物理ゲル）などの流状体を噴射する流状体噴射装置であってもよい。そして、これらのうちいずれか一種の流体噴射装置に本発明を適用することができる。なお、本明細書において「流体」とは、気体のみからなる流体を含まない概念であり、流体には、例えば液体（無機溶剤、有機溶剤、溶液、液状樹脂、液状金属（金属融液）等を含む）、液状体、流状体などが含まれる。

１１…流体噴射装置としてのインクジェット式プリンタ、１９…流体噴射ヘッドとしての記録ヘッド、２２…ノズル開口、３５…駆動素子としての振動部、３５Ａ…特定駆動素子としての特定振動部、４２…流体貯留室としてのインク貯留室、４３…流体供給口としての連通孔、４４…圧力室、４５…流体供給路としての第２インク供給路。

Claims (7)

1. 流体供給口から流体が供給される流体貯留室と、ノズル開口に接続された複数の圧力室と、前記流体貯留室から前記圧力室に流体を供給し、並列状に配置された流体供給路と、前記圧力室の圧力を変化させる複数の振動部と、を備えた流体噴射ヘッドであって、
   前記複数の振動部のうちで前記液体供給口から最も遠い位置に配置された特定振動部の前記流体供給路の並列方向における幅は、前記複数の振動部の中で最も大きく、
   前記特定振動部と対応する前記流体供給路の断面積は、前記複数の流体供給路のうちで最も大きいことを特徴とする流体噴射ヘッド。
2. 流体供給口から流体が供給される流体貯留室と、ノズル開口に接続された複数の圧力室と、前記流体貯留室から前記圧力室に流体を供給し、並列状に配置された流体供給路と、前記圧力室の圧力を変化させる複数の振動部と、を備えた流体噴射ヘッドであって、
   前記複数の振動部のうちで前記液体供給口から最も遠い位置に配置された振動部および該振動部に隣接する１つまたは２つの振動部からなる特定振動部の前記流体供給路の並列方向における幅は、前記複数の振動部の中で最も大きく、
   前記特定振動部と対応する前記ノズル開口の径は、前記複数のノズル開口の径のうちで最も大きいことを特徴とする流体噴射ヘッド。
3. 流体供給口から流体が供給される流体貯留室と、ノズル開口に接続された複数の圧力室と、前記流体貯留室から前記圧力室に流体を供給し、並列状に配置された流体供給路と、前記圧力室の圧力を変化させる複数の振動部と、を備えた流体噴射ヘッドであって、
   前記複数の振動部のうちで前記液体供給口から最も遠い位置に配置された振動部および該振動部に隣接する１つまたは２つの振動部からなる特定振動部の前記流体供給路の並列方向における幅は、前記複数の振動部の中で最も大きく、
   前記特定振動部と対応する前記流体供給路の断面積は、前記複数の流体供給路のうちで最も大きいことを特徴とする流体噴射ヘッド。
4. 流体供給口から流体が供給される流体貯留室と、ノズル開口に接続された複数の圧力室と、前記流体貯留室から前記圧力室に流体を供給し、並列状に配置された流体供給路と、前記圧力室の圧力を変化させる複数の振動部と、を備えた流体噴射ヘッドであって、
   前記複数の振動部のうちで前記液体供給口から最も遠い位置に配置された特定振動部の前記流体供給路の並列方向における幅は、前記複数の振動部の中で最も大きく、
   前記特定振動部と対応する前記ノズル開口の径は、前記複数のノズル開口の径のうちで最も大きいことを特徴とする流体噴射ヘッド。
5. 前記特定振動部と対応する前記流体供給路の断面積は、前記複数の流体供給路の断面積のうちで最も大きいことを特徴とする請求項１乃至４何れか一項に記載の流体噴射ヘッド。
6. 前記複数の振動部は、同一の駆動パターンによって駆動されることを特徴とする請求項１乃至５何れか一項に記載の流体噴射ヘッド。
7. 請求項１乃至６何れか一項に記載の流体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする流体噴射装置。

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