JP5082622B2 - 分光特性測定装置、分光特性測定システム - Google Patents
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Description
なお、aは、特徴量Aの変化量に対する波長ずれ量の変化量の割合を示す定数である。
62 分光プロファイル生成部
63 モード設定部
64 特徴量算出部
65 波長ずれ量算出部
66 分光反射率記憶部
67 換算部
68 誤差算出部
69 表示制御部
70 表示部
M マスタ機
Claims (4)
- 光を発光する照明部と、
前記照明部の照明動作による測定試料からの反射光又は透過光を各波長の光に分光する分光部と、
前記分光部による波長分光方向に所定間隔で配列された複数の光電変換素子を有し、各光電変換素子がそれぞれ異なる波長の光を受光して光強度に応じた受光信号を出力する受光部と、
前記各光電変換素子から出力される受光信号に基づいて分光プロファイルを生成する分光プロファイル生成部とを備え、
前記分光プロファイル生成部により生成された分光プロファイルから前記測定試料の分光特性を算出する分光特性測定装置において、
当該分光特性測定装置で予め測定された色基準板の分光特性を予め記憶する第1の記憶部と、
予め定められた時点の前記受光部の分光感度特性に対する現在の前記受光部の分光感度特性の変化を波長ずれ量として算出する波長ずれ量算出部と、
前記波長ずれ量算出部により算出された波長ずれ量と前記第1の記憶部に記憶された分光特性とに基づき、前記現在の前記受光部の分光感度特性で前記色基準板の分光特性を測定した場合に得られる色基準板の分光特性を算出する算出部と、
前記算出部により算出された分光特性と、予め定められた他の分光特性測定装置で予め測定された前記色基準板の分光特性とを比較して両者の誤差を算出する誤差算出部と
を備える分光特性測定装置。 - 前記他の分光特性測定装置で予め測定された前記色基準板の分光特性を記憶する第2の記憶部をさらに備え、
前記誤差算出部は、前記第2の記憶部から前記他の分光特性測定装置で予め測定された前記色基準板の分光特性を読み出して前記誤差を算出する請求項1に記載の分光特性測定装置。 - 前記誤差算出部により算出された誤差を表示する表示部をさらに備える請求項1または2に記載の分光特性測定装置。
- 請求項1または2に記載の分光特性測定装置と、
前記誤差算出部により算出された誤差を表示する表示部とを備えてなる分光特性測定システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007170885A JP5082622B2 (ja) | 2007-06-28 | 2007-06-28 | 分光特性測定装置、分光特性測定システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007170885A JP5082622B2 (ja) | 2007-06-28 | 2007-06-28 | 分光特性測定装置、分光特性測定システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009008561A JP2009008561A (ja) | 2009-01-15 |
JP5082622B2 true JP5082622B2 (ja) | 2012-11-28 |
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ID=40323784
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JP2007170885A Active JP5082622B2 (ja) | 2007-06-28 | 2007-06-28 | 分光特性測定装置、分光特性測定システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5082622B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011259227A (ja) * | 2010-06-09 | 2011-12-22 | Canon Inc | 波長校正方法、印刷装置、及びコンピュータプログラム |
US10354929B2 (en) | 2012-05-08 | 2019-07-16 | Kla-Tencor Corporation | Measurement recipe optimization based on spectral sensitivity and process variation |
JP6733667B2 (ja) * | 2015-05-14 | 2020-08-05 | コニカミノルタ株式会社 | 分光測色装置、および分光反射率の算出方法 |
JP6520529B2 (ja) * | 2015-07-29 | 2019-05-29 | コニカミノルタ株式会社 | 分光装置を校正する方法および校正された分光装置を生産する方法 |
WO2017183567A1 (ja) * | 2016-04-19 | 2017-10-26 | コニカミノルタ株式会社 | 校正システム、校正方法、および校正プログラム |
JP2019105463A (ja) * | 2017-12-08 | 2019-06-27 | キヤノン株式会社 | 分光測色器及び画像形成装置 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0635947B2 (ja) * | 1990-01-26 | 1994-05-11 | 株式会社島津製作所 | 分光測定方法 |
US6043894A (en) * | 1998-07-10 | 2000-03-28 | Gretamacbeth Llc | Method for maintaining uniformity among color measuring instruments |
JP3925301B2 (ja) * | 2001-07-12 | 2007-06-06 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 分光特性測定装置および同装置の分光感度の波長シフト補正方法 |
JP2005189217A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Topcon Corp | 分光特性測定装置 |
JP2006214968A (ja) * | 2005-02-07 | 2006-08-17 | Dainichiseika Color & Chem Mfg Co Ltd | 波長シフトを検出する方法、分光測定データを補正する方法および記録媒体 |
JP4617438B2 (ja) * | 2006-01-20 | 2011-01-26 | コニカミノルタセンシング株式会社 | 分光特性測定装置 |
-
2007
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009008561A (ja) | 2009-01-15 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111111 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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