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JP5055711B2 - Method for manufacturing organic EL element, organic EL element - Google Patents

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JP5055711B2 JP2005116769A JP2005116769A JP5055711B2 JP 5055711 B2 JP5055711 B2 JP 5055711B2 JP 2005116769 A JP2005116769 A JP 2005116769A JP 2005116769 A JP2005116769 A JP 2005116769A JP 5055711 B2 JP5055711 B2 JP 5055711B2
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Description

本発明は、面光源やディスプレイパネル等として利用される有機EL(エレクトロ・ルミネッセンス)素子の製造方法及びこの方法で作製された有機EL素子に関する。   The present invention relates to a method for producing an organic EL (electroluminescence) element used as a surface light source, a display panel, and the like, and an organic EL element produced by this method.

近年、有機物質を使用した有機EL素子は、固体発光型の安価な大面積フルカラー表示素子や書き込み光源アレイとしての用途が有望視されており、活発な研究開発が進められている。有機EL素子は、基板上に形成された第1電極(陽極又は陰極)と、その上に積層された有機発光物質を含有する有機化合物層(単層部又は多層部)即ち発光層と、この発光層上に積層された第2電極(陰極又は陽極)とを有する薄膜型の素子である。この様な有機EL素子に電圧を印加すると、有機化合物層に陰極から電子が注入され陽極から正孔が注入される。この電子と正孔が発光層において再結合し、エネルギー準位が伝導帯から価電子帯に戻る際にエネルギーを光として放出することにより発光が得られることが知られている。   In recent years, organic EL elements using organic substances have been promising for use as solid light-emitting inexpensive, large-area full-color display elements and writing light source arrays, and active research and development have been promoted. The organic EL device includes a first electrode (anode or cathode) formed on a substrate, an organic compound layer (single layer portion or multilayer portion) containing an organic light emitting material laminated thereon, that is, a light emitting layer, It is a thin film type element having a second electrode (cathode or anode) laminated on the light emitting layer. When a voltage is applied to such an organic EL element, electrons are injected from the cathode and holes are injected from the anode into the organic compound layer. It is known that light is obtained by releasing energy as light when the electrons and holes recombine in the light emitting layer and the energy level returns from the conduction band to the valence band.

この様に、有機EL素子は薄膜型の素子であるため、1個又は複数個の有機EL素子を基板上に形成した有機ELパネルをバックライト等の面光源として利用した場合には、面光源を備えた装置を容易に薄型にすることが出来る。又、画素としての有機EL素子を基板上に所定個数形成した有機ELパネルをディスプレイパネルとして用いて表示装置を構成した場合には視認性が高い、視野角依存性がないなど、液晶表示装置では得られない利点がある。   As described above, since the organic EL element is a thin film type element, when an organic EL panel in which one or a plurality of organic EL elements are formed on a substrate is used as a surface light source such as a backlight, a surface light source. It is possible to easily make a device equipped with In addition, when a display device is configured using an organic EL panel in which a predetermined number of organic EL elements as pixels are formed on a substrate as a display panel, the liquid crystal display device has high visibility and no viewing angle dependency. There are benefits that cannot be obtained.

一方、有機EL素子の有機化合物層を形成する際には、特開平9−102393号公報、特開2002−170676号公報に記載されている様に、蒸着法、スパッタ法、CVD、PVD、溶剤を用いた塗布法等の様々な方法が使用出来るが、これらの方法の中で、製造工程の簡略化、製造コストの低減、加工性の改善、バックライトや照明光源等のフレキシブルな大面積素子への応用等の観点からは塗布法等の湿式成膜法が有利であることが知られている。例えば、特開2002−170676号公報に枚葉のガラス基板上にスピンコート法により有機化合物層を形成する方法が記載されている。特開2003−142260号公報に枚葉の基板上にインクジェット方式で順次有機化合物層を形成する方法が記載されている。これらの方式は何れも基板として枚葉基板を使用しているため大面積フルカラー表示素子を作製するのは装置が大きくなり、コストも高くなるという欠点を有しているため、固体発光型の大面積フルカラー表示素子や書き込み光源アレイとしての用途が有望視されている有機EL素子について安価な製造方法が検討されている。例えば、透光性基板としてプラスチックフィルムを使用し、このプラスチックフィルム上に陰極と、有機物質からなる一つ又は複数の発光層と、陽極層を設けた有機ELディスプレイを製造する方法として、有機物質からなる一つ又は複数の発光層のパターニング及び陰極のパターニングを真空蒸着方式でロールツーロール方式により作製する方法が知られている(例えば、特許文献1を参照。)。又、有機発光層にポリスチレン、ポリメチルメタクリレート、ポリビニルカルバゾール等の高分子材料中に低分子の発光色素を分散又は溶解させたものや、ポリフェニレンビニレン誘導体、ポリアルキルフルオレン誘導体等の高分子材料を使用し、適当な溶媒を用いることで塗布法により巻き取り生産をする方法が知られている(例えば、特許文献2を参照。)。   On the other hand, when forming an organic compound layer of an organic EL element, as described in JP-A-9-102393 and JP-A-2002-170676, vapor deposition, sputtering, CVD, PVD, solvent Various methods, such as coating methods using a glass, can be used. Among these methods, manufacturing processes are simplified, manufacturing costs are reduced, workability is improved, flexible large-area elements such as backlights and illumination light sources, etc. It is known that a wet film forming method such as a coating method is advantageous from the standpoint of application to the above. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2002-170676 describes a method of forming an organic compound layer on a single wafer glass substrate by spin coating. Japanese Patent Application Laid-Open No. 2003-142260 describes a method of sequentially forming an organic compound layer on a single wafer substrate by an ink jet method. Since all of these methods use a single-wafer substrate as the substrate, the production of large-area full-color display elements has the disadvantage that the apparatus is large and the cost is high. Inexpensive manufacturing methods are being studied for organic EL elements that are promising for use as area full-color display elements and writing light source arrays. For example, as a method of manufacturing an organic EL display in which a plastic film is used as a light-transmitting substrate and a cathode, one or a plurality of light emitting layers made of an organic material, and an anode layer are provided on the plastic film, an organic material is used. A method is known in which patterning of one or a plurality of light-emitting layers made of and patterning of a cathode is made by a roll-to-roll method using a vacuum deposition method (see, for example, Patent Document 1). Also, organic light-emitting layer is made of a polymer material such as polystyrene, polymethyl methacrylate, polyvinyl carbazole or the like in which a low-molecular luminescent dye is dispersed or dissolved, or a polymer material such as polyphenylene vinylene derivative or polyalkylfluorene derivative. And the method of winding-up production by the apply | coating method by using a suitable solvent is known (for example, refer patent document 2).

しかしながら、特許文献1、特許文献2に記載のロールツーロール方式による有機EL素子の作製は生産効率の向上の点からは好ましい方法であるが次の欠点を有している。有機EL素子の膜面はわずかなゴミの付着や傷等が付いた場合、ゴミの付着や傷が付いた箇所がリーク、短絡し発光不良の原因となるため、巻き取り時に有機EL素子の膜面と支持面が擦れ有機EL素子の膜面に傷が付かないように、巻き取り張力、巻き取り速度等を管理しながら行うため生産効率が上がらない原因の一つになっている。   However, the production of the organic EL element by the roll-to-roll method described in Patent Document 1 and Patent Document 2 is a preferable method from the viewpoint of improving production efficiency, but has the following drawbacks. If the surface of the organic EL element is attached with a slight amount of dust or scratches, the part where the dust is attached or scratched leaks and short-circuits, causing a light emission failure. This is one of the reasons why the production efficiency does not increase because the winding tension and the winding speed are controlled so that the surface and the supporting surface are rubbed and the film surface of the organic EL element is not scratched.

この様な状況から、ロールツーロール方式により有機EL素子を作製する際、有機EL素子の膜面に傷が付くことを防止し、煩雑な巻き取り管理が必要としない有機EL素子の製造方法の開発が望まれている。
国際公開第01/5194号パンフレット 特開2003−77669号公報
From such a situation, when producing an organic EL element by a roll-to-roll method, the film surface of the organic EL element is prevented from being scratched, and no complicated winding management is required. Development is desired.
International Publication No. 01/5194 Pamphlet JP 2003-77669 A

本発明は上記状況に鑑みなされたものであり、その目的は、ロールツーロール方式により有機EL素子を作製する際、有機EL素子の膜面に傷が付くことを防止し、煩雑な巻き取り管理を必要としない有機EL素子の製造方法を提供することである。   The present invention has been made in view of the above situation, and its purpose is to prevent the film surface of the organic EL element from being scratched when the organic EL element is produced by a roll-to-roll method, and to perform complicated winding management. It is providing the manufacturing method of the organic EL element which does not require.

本発明の上記目的は、以下の構成により達成された。   The above object of the present invention has been achieved by the following constitution.

(請求項1)
帯状可撓性支持体の上に、少なくとも第1電極と、正孔輸送層と、発光層と、電子注入層と、第2電極と、封止層又は封止フィルムをこの順番で有する有機EL素子の製造方法であって、
少なくとも、前記帯状可撓性支持体の供給工程と、
A)前記第1電極を形成する第1電極形成工程と、
B)前記正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成工程と、
C)前記発光層を形成する発光層形成工程と、
D)前記電子注入層を形成する電子注入層形成工程と、
E)前記第2電極を形成する第2電極形成工程と、
F)前記封止層を形成する封止層形成工程又は前記封止フィルムを貼着する封止フィルム貼着工程と、
G)前記有機EL素子の回収工程とを有する有機EL素子の製造方法において、
前記A)からG)の何れかの工程のうち、少なくとも一つの工程を経た前記帯状可撓性支持体を巻き取る時、前記帯状可撓性支持体の幅方向の両端に、巻き取り補助部材として所定幅の可撓性高分子フィルムを付与し巻き取ることを特徴とする有機EL素子の製造方法。
(Claim 1)
An organic EL having at least a first electrode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron injection layer, a second electrode, and a sealing layer or a sealing film in this order on the belt-like flexible support. A method for manufacturing an element, comprising:
At least the step of supplying the strip-shaped flexible support;
A) a first electrode forming step for forming the first electrode;
B) a hole transport layer forming step of forming the hole transport layer;
C) a light emitting layer forming step of forming the light emitting layer;
D) an electron injection layer forming step of forming the electron injection layer;
E) a second electrode forming step for forming the second electrode;
F) a sealing layer forming step for forming the sealing layer or a sealing film attaching step for attaching the sealing film;
G) In the manufacturing method of the organic EL element which has the collection | recovery process of the said organic EL element,
When winding the belt-like flexible support that has undergone at least one of the steps of A) to G), a winding auxiliary member is provided at both ends in the width direction of the belt-like flexible support. A method for producing an organic EL device, wherein a flexible polymer film having a predetermined width is applied and wound.

(請求項2)
前記巻き取り補助部材は、清掃手段と帯電防止手段とにより処理されていることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の製造方法。
(Claim 2)
The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein the winding assisting member is processed by a cleaning unit and an antistatic unit.

(請求項3)
前記帯電防止手段が非接触式帯電防止装置と接触式帯電防止装置とを有していることを特徴とする請求項2に記載の有機EL素子の製造方法。
(Claim 3)
3. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 2, wherein the antistatic means includes a non-contact type antistatic device and a contact type antistatic device.

(請求項
前記巻き取り補助部材は、JIS P 8127に準じて測定した含水量が1〜10質量%であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法。
(Claim 4 )
The method for manufacturing an organic EL element according to any one of claims 1 to 3, wherein the winding assisting member has a water content measured according to JIS P 8127 of 1 to 10 mass%.

(請求項
前記巻き取り補助部材は、厚さが有機EL素子の総厚に対して10〜200%であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法。
(Claim 5 )
The method for manufacturing an organic EL element according to any one of claims 1 to 4, wherein the winding assisting member has a thickness of 10 to 200% with respect to a total thickness of the organic EL element.

(請求項6)
前記巻き取り補助部材を付与し巻き取る際、露点温度−90〜−20、JIS B 9920に準じて測定した清浄度クラスが5以下の環境条件で行われることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法。
(Claim 6)
When taking imparted by winding the winding auxiliary member, according to claim 1, characterized in that the dew point temperature -9 0 to -20 ° C., cleanliness class measured according to JIS B 9920 is performed in 5 following environmental conditions The manufacturing method of the organic EL element of any one of -5.

(請求項
前記巻き取り補助部材を付与し巻き取られた有機EL素子は、酸素濃度1〜100ppm、水分濃度1〜100ppmの環境下に保管されることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法。
(Claim 7 )
The organic EL element wound with the winding assisting member is stored in an environment having an oxygen concentration of 1 to 100 ppm and a water concentration of 1 to 100 ppm. The manufacturing method of the organic EL element of description.

(請求項
請求項1〜7の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法により製造されたことを特徴とする有機EL素子。
(Claim 8 )
An organic EL device manufactured by the method for manufacturing an organic EL device according to claim 1.

ロールツーロール方式により有機EL素子を作製する際、有機EL素子の膜面に傷が付くことを防止し、煩雑な巻き取り管理を必要としない有機EL素子の製造方法を提供することが出来、高品質の有機EL素子の製造が可能となり、作業効率の向上も可能となり生産効率向上も可能となった。   When producing an organic EL element by a roll-to-roll method, the film surface of the organic EL element can be prevented from being damaged, and a method for producing an organic EL element that does not require complicated winding management can be provided. High-quality organic EL elements can be manufactured, work efficiency can be improved, and production efficiency can be improved.

本発明に係る実施の形態を図1〜図7を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されるものではない。   Embodiments according to the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 7, but the present invention is not limited thereto.

図1は有機EL素子の層構成の一例を示す概略断面図である。図1の(a)は封止膜が形成された有機EL素子の構成層を示す概略断面図である。図1の(b)は接着剤を介して封止フィルムを貼着することで形成された有機EL素子の構成層を示す概略断面図である。   FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an example of a layer structure of an organic EL element. FIG. 1A is a schematic cross-sectional view showing a constituent layer of an organic EL element on which a sealing film is formed. FIG. 1B is a schematic cross-sectional view showing a constituent layer of an organic EL element formed by attaching a sealing film via an adhesive.

図1の(a)に示される有機EL素子の層構成に付き説明する。図中、1aは有機EL素子を示す。有機EL素子1aは、基材101上に、第1電極102と、正孔輸送層103と、発光層104と、電子注入層105と、第2電極106と、封止層107とをこの順番に有している。   The layer structure of the organic EL element shown in FIG. In the figure, 1a represents an organic EL element. The organic EL element 1a includes a first electrode 102, a hole transport layer 103, a light emitting layer 104, an electron injection layer 105, a second electrode 106, and a sealing layer 107 in this order on a substrate 101. Have.

図1の(b)に示される有機EL素子の層構成に付き説明する。   The layer structure of the organic EL element shown in FIG. 1B will be described.

図中、1bは有機EL素子を示す。有機EL素子1bは、基材101上に、第1電極102と、正孔輸送層103と、発光層104と、電子注入層105と、第2電極106と、接着剤層108と、封止フィルム109とをこの順番に有している。本図に示される有機EL素子において、第1電極102と正孔輸送層103の間に正孔注入層(不図示)を設けてもよい。又、発光層104と電子注入層105との間に電子輸送層(不図示)を設けてもよい。本図に示される有機EL素子1a及び有機EL素子1bでは、第1電極102と基材101との間にガスバリア膜(不図示)を設けてもかまわない。   In the figure, 1b represents an organic EL element. The organic EL element 1b includes a first electrode 102, a hole transport layer 103, a light emitting layer 104, an electron injection layer 105, a second electrode 106, an adhesive layer 108, and a sealing material on a substrate 101. The film 109 is provided in this order. In the organic EL element shown in this figure, a hole injection layer (not shown) may be provided between the first electrode 102 and the hole transport layer 103. Further, an electron transport layer (not shown) may be provided between the light emitting layer 104 and the electron injection layer 105. In the organic EL element 1a and the organic EL element 1b shown in this figure, a gas barrier film (not shown) may be provided between the first electrode 102 and the substrate 101.

本発明は、図1の(a)、図1の(b)に示される有機EL素子1a(1b)の製造方法及びこれらの製造方法により作製された有機EL素子に関するものである。   The present invention relates to a method for producing the organic EL element 1a (1b) shown in FIGS. 1A and 1B and an organic EL element produced by these production methods.

本図に示す有機EL素子の層構成は一例を示したものであるが、他の代表的な有機EL素子の層構成としては次の構成が挙げられる。   The layer configuration of the organic EL element shown in this figure shows an example, but the following configuration can be given as a layer configuration of another typical organic EL element.

(1)基材/陽極/発光層/電子輸送層/陰極/封止層
(2)基材/陽極/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極/封止層
(3)基材/陽極/正孔輸送層(正孔注入層)/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極/封止層
(4)基材/陽極/陽極バッファー層(正孔注入層)/正孔輸送層/発光層/正孔阻止層/電子輸送層/陰極バッファー層(電子注入層)/陰極/封止層
有機EL素子を構成している各層については後に説明する。
(1) Base material / anode / light emitting layer / electron transport layer / cathode / sealing layer (2) Base material / anode / hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode / sealing layer (3) substrate / anode / hole transport layer (hole injection layer) / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / cathode / sealing layer (4) substrate / Anode / anode buffer layer (hole injection layer) / hole transport layer / light emitting layer / hole blocking layer / electron transport layer / cathode buffer layer (electron injection layer) / cathode / sealing layer Each layer is described later.

図2は有機EL素子を作製する製造装置の一例を示す模式図である。   FIG. 2 is a schematic view showing an example of a production apparatus for producing an organic EL element.

図2の(a)は有機EL素子を作製する工程の一例を示す模式図である。図2の(b)は図2の(a)のGで示される部分の拡大模式図である。尚、本図で示す製造装置の説明は、有機EL素子の一例として、帯状可撓性支持体上にガスバリア層、第1電極、正孔輸送層、発光層、電子注入層、第2電極、封止層の順番に形成されている照明用(面発光)有機EL素子の場合について行う。本図では、帯状可撓性支持体上にガスバリア層、第1電極が既に形成されたものを使用するため、第1電極形成工程は省略してある。   FIG. 2A is a schematic diagram showing an example of a process for producing an organic EL element. FIG. 2B is an enlarged schematic view of a portion indicated by G in FIG. In the description of the manufacturing apparatus shown in the figure, as an example of an organic EL element, a gas barrier layer, a first electrode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron injection layer, a second electrode, The case of the organic EL element for illumination (surface emitting) formed in the order of the sealing layers is performed. In this figure, since the gas barrier layer and the first electrode already formed on the belt-like flexible support are used, the first electrode forming step is omitted.

図中、2aは有機EL素子の製造装置を示す。製造装置2aは、帯状可撓性支持体の供給工程3と、正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成工程4と、発光層を形成する発光層形成工程5と、電子注入層を形成する電子注入層形成工程6と、第2電極を形成する第2電極形成工程7と、封止層を形成する封止層形成工程8と、回収工程9とを有している。本図で示される製造装置は、供給工程3〜発光層形成工程5迄を連続して大気圧条件下で行い、一旦巻き取った後、電子注入層形成工程6〜回収工程9迄を連続して減圧条件下で行う場合を示している。   In the figure, reference numeral 2a denotes an organic EL device manufacturing apparatus. The manufacturing apparatus 2a includes a strip-shaped flexible support supplying step 3, a hole transport layer forming step 4 for forming a hole transport layer, a light emitting layer forming step 5 for forming a light emitting layer, and an electron injection layer. An electron injection layer forming step 6, a second electrode forming step 7 for forming a second electrode, a sealing layer forming step 8 for forming a sealing layer, and a recovery step 9. The manufacturing apparatus shown in the figure continuously performs a supply process 3 to a light emitting layer formation process 5 under atmospheric pressure conditions, and after winding up, continuously performs an electron injection layer formation process 6 to a recovery process 9. This shows the case of performing under reduced pressure conditions.

供給工程3は、繰り出し部301と表面処理部302とを有している。繰り出し部301では、ガスバリア膜と第1電極を含む陽極層とがこの順番で既に形成された帯状可撓性支持体301a(以下、帯状可撓性支持体Aとする)が巻き芯に巻き取られロール状態で供給される様になっている。301a1は帯状可撓性支持体301aの元巻きロールを示す。表面処理部302は洗浄表面改質処理装置302aと、第1帯電防止手段302bとを有している。洗浄表面改質処理装置302aは、正孔輸送層形成用塗布液を塗布する前に供給工程301から送られてきた帯状可撓性支持体Aの第1電極(不図示)表面を洗浄改質を行うため、例えば、低圧水銀ランプ、エキシマランプ、プラズマ洗浄装置等を使用することが好ましい。低圧水銀ランプによる洗浄表面改質処理の条件としては、例えば、波長184.2nmの低圧水銀ランプを、照射強度5〜20mW/cm2で、距離5〜15mmで照射し洗浄表面改質処理を行う条件が挙げられる。プラズマ洗浄装置による洗浄表面改質処理の条件としては、例えば、大気圧プラズマが好適に使用される。洗浄条件としてはアルゴンガスに酸素1〜5体積%含有ガスを用い、周波数100KHz〜150MHz、電圧10V〜10KV、照射距離5〜20mmで洗浄表面改質処理を行う条件が挙げられる。 The supply process 3 includes a feeding unit 301 and a surface treatment unit 302. In the feeding portion 301, a strip-shaped flexible support 301a (hereinafter referred to as strip-shaped flexible support A) in which the gas barrier film and the anode layer including the first electrode are already formed in this order is wound around the winding core. Supplied in a roll state. 301a1 shows the former roll of the strip | belt-shaped flexible support body 301a. The surface treatment unit 302 includes a cleaning surface modification apparatus 302a and first antistatic means 302b. The cleaning surface modification processing device 302a cleans and modifies the surface of the first electrode (not shown) of the strip-shaped flexible support A sent from the supply step 301 before applying the hole transport layer forming coating solution. For example, it is preferable to use a low-pressure mercury lamp, an excimer lamp, a plasma cleaning apparatus, or the like. As conditions for the cleaning surface modification treatment using a low-pressure mercury lamp, for example, a cleaning surface modification treatment is performed by irradiating a low-pressure mercury lamp with a wavelength of 184.2 nm at an irradiation intensity of 5 to 20 mW / cm 2 and a distance of 5 to 15 mm. Conditions are mentioned. For example, atmospheric pressure plasma is preferably used as the condition for the cleaning surface modification treatment by the plasma cleaning apparatus. Examples of the cleaning conditions include conditions in which a gas containing oxygen of 1 to 5% by volume is used for argon gas, and the cleaning surface modification treatment is performed at a frequency of 100 KHz to 150 MHz, a voltage of 10 V to 10 KV, and an irradiation distance of 5 to 20 mm.

第1帯電防止手段302bは、非接触式除電防止装置302b1と接触式除電防止装置302b2とを有している。非接触式除電防止装置302b1としては例えば、非接触式のイオナイザーが挙げられイオナイザーの種類については特に制限はなく、イオン発生方式はAC方式、DC方式どちらでも構わない。ACタイプ、ダブルDCタイプ、パルスACタイプ、軟X線タイプが用いることが出来るが、特に精密除電の観点から、ACタイプが好ましい。ACタイプの使用の際に必要となる噴射気体については、空気かN2が用いられるが、十分に純度が高められたN2で行うことが好ましい。又、インラインで行う観点より、ブロワータイプもしくはガンタイプより選ばれる。 The first antistatic means 302b has a non-contact type static elimination prevention device 302b1 and a contact type static elimination prevention device 302b2. Examples of the non-contact type static elimination preventing device 302b1 include a non-contact type ionizer, and the type of ionizer is not particularly limited, and the ion generation method may be either an AC method or a DC method. An AC type, a double DC type, a pulsed AC type, and a soft X-ray type can be used, but the AC type is particularly preferable from the viewpoint of precise static elimination. Air or N 2 is used as the injection gas required when using the AC type, but it is preferable to use N 2 with sufficiently high purity. From the viewpoint of in-line operation, the blower type or the gun type is selected.

接触式除電防止装置302b2としては、除電ロール又はアース接続した導電性ブラシを用いて行われる。除電器としての除電ロールは、接地されており、除電された表面に回転自在に接触して表面電荷を除去する。この様な除電ロールとしては、アルミニウム、銅、ニッケル、ステンレス等の金属製ロールの他に、カーボンブラック、金属粉、金属繊維等の導電性材料を混合した弾性のあるプラスチックやゴム製のロールが使用される。特に、帯状可撓性連続シートとの接触をよくするため、弾性のあるものが好ましい。アース接続した導電性ブラシとは、一般には、線状に配列した導電性繊維からなるブラシ部材や線状金属製のブラシを有する除電バー又は除電糸構造のものを挙げることが出来る。除電バーについては、特に限定はないが、コロナ放電式のものが好ましく用いられ、例えば、キーエンス社製のSJ−Bが用いられる。除電糸についても、特に限定はないが、通常フレキシブルな糸状のものが好ましく用いられ、例えば、ナスロン社製の12/300×3をその一例として挙げることが出来る。   The contact type static elimination preventing device 302b2 is performed using a static elimination roll or a conductive brush connected to the ground. The static elimination roll as the static eliminator is grounded and removes the surface charge by rotatingly contacting the neutralized surface. Such static elimination rolls include rolls made of elastic plastic or rubber mixed with conductive materials such as carbon black, metal powder, and metal fibers in addition to rolls made of metal such as aluminum, copper, nickel, and stainless steel. used. In particular, an elastic material is preferable in order to improve contact with the belt-like flexible continuous sheet. Examples of the conductive brush connected to the earth include a neutralizing bar or a neutralizing yarn structure having a brush member made of conductive fibers arranged in a line or a linear metal brush. The neutralization bar is not particularly limited, but a corona discharge type is preferably used. For example, SJ-B manufactured by Keyence Corporation is used. There is no particular limitation on the static elimination yarn, but usually a flexible yarn is preferably used. For example, 12/300 × 3 manufactured by Naslon can be cited as an example.

非接触式帯電防止装置302b1は帯状可撓性支持体Aの第1電極面側に使用し、接触式帯電防止装置302b2は帯状可撓性支持体Aの裏面側に使用することが好ましい。第1帯電防止手段により基材の帯電除去が図られ、ゴミの付着や絶縁破壊が防止されるため、素子の歩留まりの向上が図られる。   The non-contact type antistatic device 302b1 is preferably used on the first electrode surface side of the belt-like flexible support A, and the contact-type antistatic device 302b2 is preferably used on the back surface side of the belt-like flexible support A. The first antistatic means removes the charge of the base material and prevents the adhesion of the dust and the dielectric breakdown, thereby improving the yield of the elements.

正孔輸送層形成工程4は、帯状可撓性支持体Aを保持するバックアップロール401aと、バックアップロール401aに保持された帯状可撓性支持体Aに正孔輸送層形成用塗布液を塗布する第1湿式塗布機401bと、帯状可撓性支持体A上の第1電極(不図示)上に形成された正孔輸送層aの溶媒を除去する第1乾燥装置401cと、溶媒が除去された正孔輸送層aを加熱する第1加熱処理装置401dと、第2帯電防止手段401eとを有している。   In the hole transport layer forming step 4, a backup roll 401a holding the strip-shaped flexible support A and a coating solution for forming a hole transport layer are applied to the strip-shaped flexible support A held by the backup roll 401a. The first wet coater 401b, the first drying device 401c for removing the solvent of the hole transport layer a formed on the first electrode (not shown) on the strip-shaped flexible support A, and the solvent are removed. A first heat treatment device 401d for heating the hole transport layer a and a second antistatic means 401e.

第1湿式塗布機401bによる正孔輸送層形成用塗布液は、既に形成されている第1電極の片方の端部の一部を除いて第1電極上に塗布される。   The coating liquid for forming a hole transport layer by the first wet coater 401b is applied onto the first electrode except for a part of one end of the already formed first electrode.

第2帯電防止手段401eは、非接触式帯電防止装置401e1と接触式帯電防止装置401e2とを有している。非接触式帯電防止装置401e1は正孔輸送層側に使用し、接触式帯電防止装置401e2は帯状可撓性支持体の裏面側に使用することが好ましい。第2帯電防止手段により、正孔輸送層面及び帯状可撓性支持体の裏面の帯電除去が図られ、ゴミの付着や絶縁破壊が防止されるため、素子の歩留まりの向上が図られる。第2帯電防止手段401eに使用される非接触式帯電防止装置401e1と接触式帯電防止装置401e2は第1帯電防止手段302bに使用した非接触式帯電防止装置302b1、接触式帯電防止装置302b2と同じものが好ましい。   The second antistatic means 401e has a non-contact type antistatic device 401e1 and a contact type antistatic device 401e2. The non-contact type antistatic device 401e1 is preferably used on the hole transport layer side, and the contact type antistatic device 401e2 is preferably used on the back side of the belt-like flexible support. The second antistatic means removes the charge on the hole transport layer surface and the back surface of the belt-like flexible support, and prevents dust adhesion and dielectric breakdown, thereby improving the device yield. The non-contact type antistatic device 401e1 and the contact type antistatic device 401e2 used for the second antistatic unit 401e are the same as the non-contact type antistatic device 302b1 and the contact type antistatic device 302b2 used for the first antistatic unit 302b. Those are preferred.

第1乾燥装置401cは、乾燥風を吐出する吐出口401c3と、乾燥風の供給口401c2とを有する乾燥風供給ヘッダー401c1と、排気口401c4と、搬送用ロール401c5とを有している。第1加熱処理装置401dは装置本体401d1と、正孔輸送層aが形成された帯状可撓性支持体の裏面側から正孔輸送層aを裏面伝熱方式で加熱する複数の加熱ローラ401d2とを有している。   The first drying device 401c includes a dry air supply header 401c1 having a discharge port 401c3 for discharging dry air, a dry air supply port 401c2, an exhaust port 401c4, and a transport roll 401c5. The first heat treatment apparatus 401d includes an apparatus main body 401d1, a plurality of heating rollers 401d2 for heating the hole transport layer a from the back surface side of the belt-like flexible support on which the hole transport layer a is formed, by a back surface heat transfer method, have.

発光層形成工程5は、バックアップロール502aに保持された正孔輸送層aを有する帯状可撓性支持体に発光層形成用塗布液を塗布する第2湿式塗布機502bと、正孔輸送層a上に形成された発光層bの溶媒を除去する第2乾燥装置502cと、溶媒が除去された発光層cを加熱する第2加熱処理装置502dと、第3帯電防止手段502eと、第1巻き取り部502fとを有している。   The light emitting layer forming step 5 includes a second wet coater 502b for applying a light emitting layer forming coating solution to a belt-like flexible support having the hole transport layer a held by the backup roll 502a, and a hole transport layer a. The second drying device 502c for removing the solvent of the light emitting layer b formed thereon, the second heat treatment device 502d for heating the light emitting layer c from which the solvent has been removed, the third antistatic means 502e, and the first winding And a take-up portion 502f.

第2湿式塗布機502bは第1湿式塗布機401bと同じ型式のものが好ましい。尚、本図は照明用に使用する有機EL素子を1例にしているため第2湿式塗布機402bは全面塗工タイプとなっているが、有機EL素子がフルカラー方式の場合は、パターン化されて形成されている第1電極のパターンに合わせて第1電極上に発光層をパターン塗布するため、例えば、インクジェット方式、フレキソ印刷方式、オフセット印刷方式、グラビア印刷方式、スクリーン印刷方式、マスクを用いたスプレー塗布方式等に使用する各種塗布装置を使用することが可能である。   The second wet coater 502b is preferably of the same type as the first wet coater 401b. In this figure, since the organic EL element used for illumination is taken as an example, the second wet coater 402b is of a full-surface coating type. However, when the organic EL element is a full color system, it is patterned. For example, an inkjet method, a flexographic printing method, an offset printing method, a gravure printing method, a screen printing method, and a mask are used to apply a light emitting layer on the first electrode in accordance with the pattern of the first electrode formed It is possible to use various coating devices used for conventional spray coating methods.

第2乾燥装置502cは第1乾燥装置501cと同じ構造をしている。第2加熱処理装置502dは第1加熱処理装置501dと同じ構造をしており、正孔輸送層b上に形成された、発光層bを帯状可撓性支持体の裏面側から裏面伝熱方式で加熱する様になっている。   The second drying device 502c has the same structure as the first drying device 501c. The second heat treatment apparatus 502d has the same structure as the first heat treatment apparatus 501d, and the light emitting layer b formed on the hole transport layer b is transferred from the back surface side of the belt-like flexible support to the back surface heat transfer method. It is supposed to be heated with.

第3帯電防止手段502eは、非接触式帯電防止装置502e1と接触式帯電防止装置502e2とを有している。非接触式帯電防止装置502e1は発光層側に使用し、接触式帯電防止装置502b2は帯状可撓性支持体の裏面側に使用することが好ましい。第3帯電防止手段により、発光層面及び帯状可撓性支持体の裏面の帯電除去が図られ、第1巻き取り部502fで巻き取る時、ゴミの付着等による故障が防止されるため素子の歩留まりの向上が図られる。第3帯電防止手段502eに使用される非接触式帯電防止装置502e1と接触式帯電防止装置502e2は第1帯電防止手段302bに使用した非接触式帯電防止装置302b1、接触式帯電防止装置302b2と同じものが好ましい。   The third antistatic means 502e has a non-contact type antistatic device 502e1 and a contact type antistatic device 502e2. The non-contact type antistatic device 502e1 is preferably used on the light emitting layer side, and the contact type antistatic device 502b2 is preferably used on the back surface side of the belt-like flexible support. The third antistatic means removes the charge on the light emitting layer surface and the back surface of the belt-like flexible support, and when the first winding portion 502f winds up, failure due to dust adhering or the like is prevented, so that the device yield. Is improved. The non-contact type antistatic device 502e1 and the contact type antistatic device 502e2 used for the third antistatic unit 502e are the same as the noncontact type antistatic device 302b1 and the contact type antistatic device 302b2 used for the first antistatic unit 302b. Those are preferred.

本図に示される、正孔輸送層形成工程4は湿式塗布装置、乾燥装置、加熱処理装置がそれぞれ1台の場合を示しているが、必要に応じて増加することが可能となっている。又、発光層形成工程5も、湿式塗布装置、乾燥装置、加熱処理装置がそれぞれ1台の場合を示しているが、必要に応じて増加することが可能となっている。   The hole transport layer forming step 4 shown in this figure shows a case where there is one wet coating apparatus, one drying apparatus, and one heat treatment apparatus, but it can be increased as necessary. The light emitting layer forming step 5 also shows the case where there is one wet coating apparatus, one drying apparatus, and one heat treatment apparatus, but it can be increased as necessary.

第1巻き取り部502fでは発光層bが形成された帯状可撓性支持体を、発光層bを内側にして巻き芯に巻き取りロール状の帯状可撓性支持体502g(以下、帯状可撓性支持体Bとする)とする。   In the first winding portion 502f, the belt-like flexible support body on which the light emitting layer b is formed is wound on the winding core with the light emitting layer b inside, and the belt-like flexible support body 502g (hereinafter referred to as the belt-like flexible carrier). It is referred to as a support B).

電子注入層形成工程6は、供給部601と、電子注入層形成部602とを有している。供給部601では、前工程で作製された帯状可撓性支持体Bが繰り出され電子注入層形成部602へ供給される。電子注入層形成部602では、発光層b上に電子注入層cが形成される。602aは蒸着装置を示し、602bは蒸発源容器を示す。電子注入層cが形成された帯状可撓性支持体は、引き続き、第2電極形成工程7へ送られる。   The electron injection layer formation step 6 includes a supply unit 601 and an electron injection layer formation unit 602. In the supply unit 601, the strip-shaped flexible support B produced in the previous step is fed out and supplied to the electron injection layer forming unit 602. In the electron injection layer forming unit 602, the electron injection layer c is formed on the light emitting layer b. Reference numeral 602a denotes a vapor deposition apparatus, and 602b denotes an evaporation source container. The belt-like flexible support on which the electron injection layer c is formed is subsequently sent to the second electrode forming step 7.

第2電極形成工程7は、第2電極形成部701で電子注入層形成部602で形成された電子注入層c上に第2電極dが形成される。701aは蒸着装置を示し、701bは蒸発源容器を示す。第2電極dが形成された帯状可撓性支持体は、引き続き、封止層形成工程8に送られる。   In the second electrode formation step 7, the second electrode d is formed on the electron injection layer c formed by the electron injection layer formation unit 602 in the second electrode formation unit 701. Reference numeral 701a denotes a vapor deposition apparatus, and 701b denotes an evaporation source container. The strip-shaped flexible support on which the second electrode d is formed is subsequently sent to the sealing layer forming step 8.

封止層形成工程8は、第2電極形成工程7で形成された第2電極dの端部を除いて第2電極d上に封止層形成装置801aに封止層eが形成された帯状可撓性支持体C(照明用(面発光)有機EL素子)が作製される。封止層形成工程8は、封止層形成装置801aと、第4帯電防止手段801bとを有している。第4帯電防止手段801bは、非接触式帯電防止装置801b1と接触式帯電防止装置801be2とを有している。非接触式帯電防止装置801b1は封止層d側に使用し、接触式帯電防止装置801b2は帯状可撓性支持体の裏面側に使用することが好ましい。第4帯電防止手段801bにより、封止層面及び帯状可撓性支持体の裏面の帯電除去が図られ、回収部10で巻き取る時、ゴミの付着等による故障が防止されるため素子の歩留まりの向上が図られる。第4帯電防止手段801bに使用される非接触式帯電防止装置801b1と接触式帯電防止装置801b2は第1帯電防止手段302bに使用した非接触式帯電防止装置302b1、接触式帯電防止装置302b2と同じものが好ましい。   The sealing layer forming step 8 is a band shape in which the sealing layer e is formed on the sealing layer forming apparatus 801a on the second electrode d except for the end of the second electrode d formed in the second electrode forming step 7. A flexible support C (illumination (surface emitting) organic EL element) is produced. The sealing layer forming step 8 includes a sealing layer forming device 801a and a fourth antistatic means 801b. The fourth antistatic means 801b has a non-contact type antistatic device 801b1 and a contact type antistatic device 801be2. The non-contact type antistatic device 801b1 is preferably used on the sealing layer d side, and the contact type antistatic device 801b2 is preferably used on the back side of the belt-like flexible support. The fourth antistatic means 801b removes the charge on the sealing layer surface and the back surface of the belt-like flexible support member, and when the collecting unit 10 winds up, failure due to adhesion of dust or the like is prevented, so that the yield of elements can be reduced. Improvement is achieved. The non-contact type antistatic device 801b1 and the contact type antistatic device 801b2 used for the fourth antistatic unit 801b are the same as the non-contact type antistatic device 302b1 and the contact type antistatic device 302b2 used for the first antistatic unit 302b. Those are preferred.

回収工程9は、巻き取り補助部材供給部9aと、巻き取り部9bとを有している。
巻き取り補助部材供給部9aは、巻き取り部9bで帯状可撓性支持体C(照明用(面発光)有機EL素子)を巻き取る際、巻き取り部9bへ巻き取り補助部材902を供給する工程であり、巻き取り補助部材の繰り出し部9a1と、清掃手段9a2と、第5帯電防止手段9a3とを有している。903は巻き取り補助部材902の元巻きロールを示す。巻き取り補助部材供給部9aは図3で詳細に説明する。
The recovery process 9 includes a winding assisting member supply unit 9a and a winding unit 9b.
The winding assisting member supply unit 9a supplies the winding assisting member 902 to the winding unit 9b when the strip-shaped flexible support C (illumination (surface emitting) organic EL element) is wound by the winding unit 9b. It is a process and has a take-up assisting member feeding portion 9a1, a cleaning means 9a2, and a fifth antistatic means 9a3. Reference numeral 903 denotes an original winding roll of the winding auxiliary member 902. The winding assisting member supply unit 9a will be described in detail with reference to FIG.

第4帯電防止手段801bで処理された帯状可撓性支持体Cに、巻き取り補助部材の供給部9aから供給された巻き取り補助部材902が帯状可撓性支持体Cに付与され、帯状可撓性支持体Cと共に巻き取られロール状の帯状可撓性支持体901が作製される。   The belt-like flexible support C treated by the fourth antistatic means 801b is provided with the winding auxiliary member 902 supplied from the take-up assisting member supply portion 9a to the belt-like flexible support C. A roll-shaped strip-like flexible support 901 is produced by being wound together with the flexible support C.

回収工程9で帯状可撓性支持体C(照明用(面発光)有機EL素子)に巻き取り補助部材9a4を付与し巻き取る時の、巻き取り張力は、巻き崩れ、搬送時、取り扱い時による有機EL素子面と帯状可撓性支持体の裏面とのコスレによる有機EL素子の膜面の擦り傷の発生、巻き締めによる有機EL素子の膜面の擦り傷の発生等を考慮し、10〜1,000N/m幅が好ましい。   The winding tension when the winding auxiliary member 9a4 is applied to the belt-shaped flexible support C (illumination (surface emitting) organic EL element) in the collecting step 9 and wound is depending on the collapse, transportation, and handling. Considering the occurrence of scratches on the film surface of the organic EL element due to the rust between the organic EL element surface and the back surface of the belt-like flexible support, the occurrence of scratches on the film surface of the organic EL element due to winding, etc. A width of 000 N / m is preferred.

回収されたロール状の帯状可撓性支持体C(照明用(面発光)有機EL素子)は、性能維持、ダークスポット(未発光部分)等を考慮し、酸素濃度1〜100ppm、水分濃度1〜100ppmの環境下に保管することが好ましい。   The collected roll-shaped strip-shaped flexible support C (illumination (surface emitting) organic EL element) is considered to maintain performance, dark spots (non-light emitting portions), etc., and has an oxygen concentration of 1 to 100 ppm and a moisture concentration of 1 It is preferable to store in an environment of ˜100 ppm.

本図では、電子注入層形成工程6、第2電極形成工程7、が蒸着装置の場合を示したが、電子注入層及び第2電極の形成方法については、特に限定はなく、例えばスパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法などを用いることが出来る。   In this figure, the case where the electron injection layer forming step 6 and the second electrode forming step 7 are vapor deposition apparatuses is shown, but the method for forming the electron injection layer and the second electrode is not particularly limited. Reactive sputtering method, molecular beam epitaxy method, cluster ion beam method, ion plating method, plasma polymerization method, atmospheric pressure plasma polymerization method, plasma CVD method, laser CVD method, thermal CVD method, coating method, etc. may be used. I can do it.

又、本図に示す封止層の代わりに、封止フィルムを貼着する方式であってもかまわない。但し、この場合は封止フィルムの供給部と、貼着部と、回収部とは大気圧条件下で連続的に行われる様にすることが好ましい。   Further, instead of the sealing layer shown in the figure, a method of sticking a sealing film may be used. However, in this case, it is preferable that the supply portion, the sticking portion, and the recovery portion of the sealing film are continuously performed under atmospheric pressure conditions.

図3は図2のHで示される部分の拡大概略斜視図である。   FIG. 3 is an enlarged schematic perspective view of a portion indicated by H in FIG.

清掃手段9a2としては、巻き取り補助部材の供給工程9が減圧条件下に配設されているため、粘着ロール、掻き取りブレード等の接触式清掃手段が好ましく、特に、巻き取り補助部材にダメージを与え難く、管理が容易な粘着ロールが好ましい。本図は、巻き取り補助部材902の表を粘着ロール9a21、裏を粘着ロール9a22で挟持した場合を示している。第5帯電防止手段9a3としては、非接触式帯電防止装置9a31と、接触式帯電防止装置9a32とを有している。第1帯電防止手段302b(図2を参照)と同じものを使用することが好ましい。巻き取り補助部材902に対しては非接触式帯電防止装置、接触式帯電防止装置の何れも使用可であり、使用する巻き取り補助部材902の特性に合わせ適宜使用することが可能である。他の符号は図2と同義である。   The cleaning means 9a2 is preferably contact-type cleaning means such as an adhesive roll and a scraping blade since the supply process 9 of the take-up auxiliary member is disposed under reduced pressure conditions. Particularly, the take-up auxiliary member is damaged. An adhesive roll that is difficult to give and easy to manage is preferred. This figure has shown the case where the front surface of the winding auxiliary member 902 is sandwiched between the adhesive rolls 9a21 and the back is sandwiched between the adhesive rolls 9a22. The fifth antistatic means 9a3 includes a non-contact type antistatic device 9a31 and a contact type antistatic device 9a32. It is preferable to use the same as the first antistatic means 302b (see FIG. 2). For the winding auxiliary member 902, either a non-contact type antistatic device or a contact type antistatic device can be used, and can be appropriately used in accordance with the characteristics of the winding auxiliary member 902 to be used. Other symbols are the same as those in FIG.

図4は有機EL素子を作製する製造装置の他の一例を示す模式図である。尚、本図で示す製造装置と図2で示される製造装置2aとの違いは、1)発光層形成工程の後の第1巻き取り部で巻き取る際、巻き取り補助部材を付与し巻き取るために、巻き取り補助部材の供給部の配設、2)電子注入層形成工程の供給部に巻き取り補助部材の回収部の配設、3)第2電極形成工程で第2電極が形成された後、巻き取り補助部材を付与し巻き取る巻き取り部の配設、4)封止層形成工程に代わり封止フィルム貼着工程の配設、5)封止フィルム貼着工程の供給部に巻き取り補助部材の回収部の配設、6)回収部で清掃手段の異なる方式で清掃された巻き取り補助部材付与でありその他は図2と同じであるため説明は省略し、図2と異なった部分についてのみ説明する。   FIG. 4 is a schematic view showing another example of a manufacturing apparatus for producing an organic EL element. In addition, the difference between the manufacturing apparatus shown in this figure and the manufacturing apparatus 2a shown in FIG. 2 is as follows: 1) When winding at the first winding part after the light emitting layer forming step, a winding auxiliary member is provided and wound. For this purpose, the supply of the take-up auxiliary member is provided, 2) the recovery part of the take-up auxiliary member is provided in the supply part of the electron injection layer forming step, and 3) the second electrode is formed in the second electrode forming step. 4) Arrangement of the winding part for applying and winding the winding auxiliary member 4) Arrangement of the sealing film attaching process instead of the sealing layer forming process 5) In the supply part of the sealing film attaching process Arrangement of the collecting part of the winding assisting member, 6) Application of the winding assisting member cleaned by a different method of the cleaning means in the collecting part, and the others are the same as in FIG. Only those parts will be described.

図中、2bは有機EL素子の製造装置を示す。図中、502f1は巻き取り部502fに設けられた第1巻き取り補助部材供給部を示す。503は巻き取り補助部材を示し、503aは巻き取り補助部材の元巻きロールを示す。第1巻き取り補助部材供給部502f1は第1清掃手段502f11と、帯電防止手段502f12とを有している。第1巻き取り部502fで、発光層bが形成された帯状可撓性支持体Bが巻き取り補助部材503と共に巻き取られロール状の帯状可撓性支持体Bが作製される。   In the figure, reference numeral 2b denotes an organic EL device manufacturing apparatus. In the drawing, reference numeral 502f1 denotes a first winding assisting member supply unit provided in the winding unit 502f. Reference numeral 503 denotes a winding auxiliary member, and 503a denotes an original winding roll of the winding auxiliary member. The first winding assisting member supply unit 502f1 includes a first cleaning unit 502f11 and an antistatic unit 502f12. In the first winding portion 502f, the belt-like flexible support B on which the light emitting layer b is formed is taken up together with the take-up auxiliary member 503 to produce a roll-like belt-like flexible support B.

601aは、供給部601で帯状可撓性支持体Bを巻き出す際、共に巻かれていた巻き取り補助部材503を回収する回収部を示す。   Reference numeral 601a denotes a collection unit that collects the winding auxiliary member 503 that has been wound together when the belt-like flexible support B is unwound by the supply unit 601.

第2電極形成工程7は、第2電極形成部701と、帯電防止手段702と、第2巻き取り部703とを有している。第2巻き取り部703は、清掃手段703b1と、帯電防止手段703b2とを有する第2巻き取り補助部材供給部703bを有している。703c1は巻き取り補助部材703cの元巻きロールを示す。第2巻き取り部703では、第2電極dが形成された帯状可撓性支持体と巻き取り補助部材703cとが共に巻き取られロール状の帯状可撓性支持体703a(以下、帯状可撓性支持体Dとする)が作製される。   The second electrode forming step 7 includes a second electrode forming portion 701, an antistatic means 702, and a second winding portion 703. The second winding unit 703 includes a second winding assisting member supply unit 703b having a cleaning unit 703b1 and an antistatic unit 703b2. Reference numeral 703c1 denotes an original winding roll of the winding auxiliary member 703c. In the second winding portion 703, the belt-shaped flexible support body on which the second electrode d is formed and the winding auxiliary member 703c are wound together to form a roll-shaped belt-shaped flexible support body 703a (hereinafter referred to as a belt-shaped flexible substrate). A support D).

11は封止フィルム貼着工程を示す。封止フィルム貼着工程11は、帯状可撓性支持体Dの供給部11aと、貼着部11bとを有している。11a1は、供給部11aで第2電極dが形成された帯状可撓性支持体Dを巻き出す際、共に巻かれていた巻き取り補助部材703cを回収する回収部を示す。貼着部11bは第2電極上に接着剤を塗工する塗工装置11b1と、封止フィルム供給部11b2と、圧着ロール11b3と、硬化処理部11b4とを有している。11b5は封止フィルム11b6の元巻きロールを示す。   11 shows a sealing film sticking process. The sealing film sticking process 11 has the supply part 11a of the strip | belt-shaped flexible support body D, and the sticking part 11b. Reference numeral 11a1 denotes a collection unit that collects the winding auxiliary member 703c wound together when the belt-shaped flexible support D on which the second electrode d is formed is unwound by the supply unit 11a. The sticking part 11b has a coating device 11b1 for applying an adhesive on the second electrode, a sealing film supply part 11b2, a pressure-bonding roll 11b3, and a curing processing part 11b4. 11b5 shows the former roll of the sealing film 11b6.

供給部11aから巻き出され、塗工装置11b1で帯状可撓性支持体703aの第2電極の端部の一部を除いて第2電極上に接着剤が連続的に塗工された後、封止フィルム11b6が連続的に貼合され圧着ロール11b3を通過することで第2電極上に封止フィルムが接着剤を介して連続的に貼着される。封止フィルム11b6が接着剤を介して貼着された後、硬化処理部11b4により接着剤の硬化処理が行われる。接着剤の硬化処理が終了した段階で封止フィルム11b6で保護された帯状可撓性支持体D(照明用(面発光)有機EL素子)が作製され、回収工程12に送られる。   After being unwound from the supply unit 11a and the adhesive is continuously applied on the second electrode except for a part of the end of the second electrode of the strip-shaped flexible support 703a by the coating device 11b1, The sealing film 11b6 is continuously bonded and passes through the pressure-bonding roll 11b3, whereby the sealing film is continuously bonded onto the second electrode via an adhesive. After the sealing film 11b6 is pasted via an adhesive, the curing process of the adhesive is performed by the curing unit 11b4. A strip-like flexible support D (illumination (surface emitting) organic EL element) protected by the sealing film 11b6 is produced at the stage where the adhesive curing process is completed, and is sent to the recovery step 12.

回収工程12は帯電防止手段12a、第3巻き取り補助部材供給部12bと、巻き取り部12cとを有している。第3巻き取り補助部材供給部12bは、巻き取り部12cで帯状可撓性支持体D(照明用(面発光)有機EL素子)を巻き取る際、巻き取り部12cへ巻き取り補助部材を供給する工程であり、巻き取り補助部材の繰り出し部12b1と、清掃手段12b2と、帯電防止手段12b3とを有している。巻き取り補助部材供給部12bは図5で詳細に説明する。帯電防止手段12aで処理された帯状可撓性支持体Dに、繰り出し部12b1から供給された巻き取り補助部材12b4が帯状可撓性支持体Cに付与され、帯状可撓性支持体Dと共に巻き取られロール状の帯状可撓性支持体1201(ロール状の照明用(面発光)有機EL素子)が作製される。12b5は巻き取り補助部材12b4の元巻きロールを示す。   The collection process 12 includes an antistatic means 12a, a third winding assisting member supply unit 12b, and a winding unit 12c. The third winding auxiliary member supply unit 12b supplies the winding auxiliary member to the winding unit 12c when the belt-shaped flexible support D (illumination (surface emitting) organic EL element) is wound by the winding unit 12c. And includes a take-up assisting member feeding portion 12b1, a cleaning means 12b2, and an antistatic means 12b3. The winding assisting member supply unit 12b will be described in detail with reference to FIG. A winding auxiliary member 12b4 supplied from the feeding portion 12b1 is applied to the band-shaped flexible support C on the band-shaped flexible support D processed by the antistatic means 12a, and the belt-shaped flexible support D is wound together with the band-shaped flexible support D. A roll-shaped strip-shaped flexible support 1201 (roll-shaped lighting (surface emitting) organic EL element) is produced. 12b5 shows the former roll of winding auxiliary member 12b4.

回収工程12で帯状可撓性支持体C(照明用(面発光)有機EL素子)に巻き取り補助部材12b4を付与し巻き取る時の、巻き取り張力は、図2に示した回収工程9における場合と同じである。他の符号は図2と同義である。   The winding tension when the winding auxiliary member 12b4 is applied to the belt-shaped flexible support C (illumination (surface emitting) organic EL element) in the collecting step 12 and wound is the same as that in the collecting step 9 shown in FIG. Same as the case. Other symbols are the same as those in FIG.

本図に示される第1巻き取り補助部材供給部502f1には、図3、図5、図6、に示される巻き取り補助部材供給部の適用が可能であり、適宜選択し使用することが好ましい。第2巻き取り補助部材供給部703bには、図3に示される巻き取り補助部材供給部の適用が好ましい。   The first winding assisting member supply unit 502f1 shown in this figure can be applied to the winding assisting member supplying unit shown in FIGS. 3, 5, and 6, and is preferably selected and used as appropriate. . It is preferable to apply the winding assisting member supply unit shown in FIG. 3 to the second winding assisting member supply unit 703b.

図5は図4のIで示される部分の拡大概略斜視図である。   FIG. 5 is an enlarged schematic perspective view of a portion indicated by I in FIG.

図中、12b11は巻き取り補助部材12b4の元巻きロールを示す。巻き取り補助部材12b4は封止フィルムが貼着された帯状可撓性支持体(照明用(面発光)有機EL素子)と同じ幅を有しており、供給部12b1から封止フィルム面に接触する様に供給され、重ね合わされ、封止フィルムが貼着された帯状可撓性支持体(照明用(面発光)有機EL素子)と一緒に巻き取られる。清掃手段12b2は、気体吹き付け部12b21と、吸引部12b22とを有している。12b23は気体供給管を示し、気体供給管12b23から供給された気体は気体吹き付け部12b21の巻き取り補助部材12b4側と対向する面に設けたスリット(不図示)から巻き取り補助部材12b4に向けて噴出される。噴出される気体の圧力は、巻き取り補助部材の清浄度、厚さ、種類、幅等を考慮し、1〜20kPaが好ましい。   In the figure, reference numeral 12b11 denotes a former winding roll of the winding auxiliary member 12b4. The winding assisting member 12b4 has the same width as the band-like flexible support (illumination (surface emitting) organic EL element) to which the sealing film is attached, and contacts the sealing film surface from the supply unit 12b1. Then, it is wound up together with a belt-like flexible support (illumination (surface emitting) organic EL element) on which the sealing film is attached. The cleaning means 12b2 has a gas blowing part 12b21 and a suction part 12b22. Reference numeral 12b23 denotes a gas supply pipe. The gas supplied from the gas supply pipe 12b23 is directed toward the take-up auxiliary member 12b4 from a slit (not shown) provided on the surface of the gas blowing portion 12b21 facing the take-up auxiliary member 12b4 side. Erupted. The pressure of the gas to be ejected is preferably 1 to 20 kPa in consideration of the cleanliness, thickness, type, width and the like of the winding assist member.

吸引部12b22は、気体吹き付け部12b21で供給され、ゴミ等を含んだ気体を吸引するため吸引量は、膜面への再付着、飛散等を考慮して、気体の供給量に対して100〜105%が好ましい。尚、吸引は吸引部12b22に取り付けた吸引ポンプに繋がっている吸引管(付図示)を介して行われる。清掃手段12b2は、ゴミの飛散、膜面への再付着を避けるため外部と閉鎖した室(不図示)で行うことが好ましい。   The suction unit 12b22 is supplied by the gas blowing unit 12b21, and sucks the gas containing dust, so that the suction amount is 100 to the gas supply amount in consideration of reattachment to the film surface, scattering, and the like. 105% is preferred. Note that suction is performed via a suction pipe (illustrated) connected to a suction pump attached to the suction portion 12b22. The cleaning means 12b2 is preferably performed in a chamber (not shown) closed from the outside in order to avoid scattering of dust and reattachment to the film surface.

帯電防止手段12b3としては、第1帯電防止手段302b(図2を参照)と同じものを使用することが好ましい。非接触式帯電防止装置、接触式帯電防止装置の何れも使用可であり、使用する巻き取り補助部材12b4の特性に合わせ適宜使用することが可能である。本図に示される巻き取り補助部材の供給部12bの代わりに、図3に示される巻き取り補助部材の供給部の使用も可能である。   It is preferable to use the same antistatic means 12b3 as the first antistatic means 302b (see FIG. 2). Either a non-contact type antistatic device or a contact type antistatic device can be used, and can be appropriately used in accordance with the characteristics of the winding assisting member 12b4 to be used. Instead of the take-up assisting member supply portion 12b shown in this figure, it is possible to use the take-up assisting member supply portion shown in FIG.

図6は図5の広幅巻き取り補助部材に代わり、細幅の巻き取り補助部材を両端に巻き込む場合の概略斜視図である。   FIG. 6 is a schematic perspective view when a narrow winding auxiliary member is wound around both ends instead of the wide winding auxiliary member of FIG.

図中、12b12は細幅の巻き取り補助部材12b5の元巻きロールを示す。その他の符号は図5同義である。本図に示す様に、細幅の巻き取り補助部材を使用する時は、左右均等の位置に巻き込むことが必要である。   In the drawing, reference numeral 12b12 denotes an original winding roll of the narrow winding auxiliary member 12b5. Other symbols are synonymous with FIG. As shown in this figure, when using a narrow winding assisting member, it is necessary to wind it in the left and right positions.

図7は図5、図6のロール状帯状可撓性支持体(照明用(面発光)有機EL素子)の拡大概略部分断面図である。図7の(a)は、図5のA−A′に沿った拡大概略部分断面図である。図7の(b)は、図6のB−B′に沿った拡大概略部分断面図である。   FIG. 7 is an enlarged schematic partial cross-sectional view of the roll-like belt-like flexible support (illumination (surface emitting) organic EL element) of FIGS. 5 and 6. FIG. 7A is an enlarged schematic partial sectional view taken along the line AA ′ of FIG. FIG. 7B is an enlarged schematic partial sectional view taken along the line BB ′ of FIG.

図中、13は帯状可撓性支持体を示し、14は帯状可撓性支持体13の上に形成された有機EL素子を構成している構成層を示す。13aは帯状可撓性支持体13の有機EL素子を構成している構成層14が設けられていない端部を示し、帯状可撓性支持体13の両端に設けられている。このため、図7の(a)の場合は、巻き取り補助部材12b4と帯状可撓性支持体13の両端には構成層14の厚さ分の空隙が出来る。図7の(b)の場合は、巻き取り補助部材12b5が帯状可撓性支持体14の両端に巻き取られるため、巻き取り補助部材12b5の厚さから構成層14の厚さを差し引いた分の空隙15が構成層14の表面と帯状可撓性支持体13の裏側の間に出来る。細幅巻き取り補助部材12b5を使用する場合の巻き込み位置は特に限定はなく、有機EL素子を構成している構成層14が形成された帯状可撓性支持体の幅方向の中心から同じ位置にすることが好ましい。図5の(a)、図5の(b)で示される方式は、必要に応じて適宜選択することが可能である。   In the figure, reference numeral 13 denotes a belt-like flexible support, and reference numeral 14 denotes a constituent layer constituting an organic EL element formed on the belt-like flexible support 13. Reference numeral 13 a denotes an end portion where the constituent layer 14 constituting the organic EL element of the strip-shaped flexible support 13 is not provided, and is provided at both ends of the strip-shaped flexible support 13. For this reason, in the case of (a) in FIG. 7, a gap corresponding to the thickness of the constituent layer 14 is formed at both ends of the winding assisting member 12 b 4 and the strip-like flexible support 13. In the case of FIG. 7B, since the winding auxiliary member 12b5 is wound around both ends of the belt-like flexible support 14, the thickness of the constituent layer 14 is subtracted from the thickness of the winding auxiliary member 12b5. Are formed between the surface of the constituent layer 14 and the back side of the belt-like flexible support 13. The winding position in the case of using the narrow winding assisting member 12b5 is not particularly limited, and is the same position from the center in the width direction of the band-shaped flexible support on which the constituent layer 14 constituting the organic EL element is formed. It is preferable to do. The method shown in (a) of FIG. 5 and (b) of FIG. 5 can be appropriately selected as necessary.

巻き取り補助部材としては、有機EL素子を構成している構成層と巻き取り補助部材との密着性、巻き取り性、巻き出し性、有機EL素子を構成している構成層への擦り傷防止等を考慮し、JIS P 8147に準じて測定した静摩擦係数は、0.1〜0.5を有していることが好ましい。   As a winding auxiliary member, adhesion between the constituent layer constituting the organic EL element and the winding auxiliary member, winding property, unwinding property, prevention of scratches on the constituent layer constituting the organic EL element, etc. In consideration of the above, the static friction coefficient measured according to JIS P 8147 preferably has a value of 0.1 to 0.5.

巻き取り補助部材は、巻き取り補助部材のシワの発生に伴う巻き取り均一性、均一な供給性、巻き締まりの防止、巻き取りトルクの安定化、有機EL素子の膜面及び裏面に傷発生防止等を考慮し、クラーク柔軟度が10〜300を有していることが好ましい。   The winding auxiliary member is uniform in winding, uniform supply, prevention of tightening, stabilization of winding torque, and prevention of scratches on the film surface and the back surface of the organic EL element. In view of the above, it is preferable that the Clark flexibility is 10 to 300.

巻き取り補助部材は、静電気が発生、巻き取り時、巻き出し時のスタチックの発生、有機EL素子の品質安定化等を考慮し、JIS P 8127に準じて測定した含水量が1〜10質量%であることが好ましい。   The take-up auxiliary member has a water content measured according to JIS P 8127 in consideration of generation of static electricity, generation of static at the time of winding and unwinding, stabilization of the quality of the organic EL element, and the like. It is preferable that

巻き取り補助部材は、取り扱い性、巻き取り径の肥大化防止、巻き取り時のトルク安定化を考慮し、厚さが有機EL素子の総厚に対して10〜200%であることが好ましい。   The winding assisting member preferably has a thickness of 10 to 200% with respect to the total thickness of the organic EL element in consideration of handleability, prevention of enlargement of the winding diameter, and stabilization of torque during winding.

本発明に係わる巻き取り補助部材としては、帯状可撓性連続シートの有機EL素子の構成層を好適に保護出来、且つ、その形成面(塗布膜)からの剥離性が良好であれば、具体的な構成は特に限定されるものではなく、安価な材質で構成されていてもかまわない。例えば、合成紙、クラフト紙、上質紙、ポリプロピレン、ポリエチレン(PE)、ポリエステル、塩化ビニル、PEラミネート紙等など特に制限はないが、含水量を低く抑えることが出来るPEラミネート紙、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル、塩化ビニル等の可撓性高分子フィルムが好ましい。   As the winding assisting member according to the present invention, if the constituent layer of the organic EL element of the belt-like flexible continuous sheet can be suitably protected and the peelability from the forming surface (coating film) is good, The general configuration is not particularly limited, and may be made of an inexpensive material. For example, there is no particular limitation such as synthetic paper, kraft paper, fine paper, polypropylene, polyethylene (PE), polyester, vinyl chloride, PE laminated paper, etc., but PE laminated paper, polypropylene, polyethylene, A flexible polymer film such as polyester or vinyl chloride is preferred.

巻き取り補助部材の芯となる原紙に樹脂を被覆させたものであってもかまわない。樹脂被覆に適用される樹脂としては、例えば、高密度ポリエチレン、低密度ポリエチレン、中密度ポリエチレン、直鎖状低密度ポリエチレン等のポリエチレン;アイソタクチック、シンジオタクチック、アタクチック、それらの混合物、エチレンとのランダム共重合体又はブロック共重合体等のポリプロピレン;その他ポリ−3−メチルペンテン−1、ポリエチレングリコールテレフタレート、ポリ塩化ビニル、ポリ塩化ビニリデン、エバール、ポリイソブチレン、エチレン酢酸ビニル共重合体等を単独、或いは混合して使用出来る。   The base paper that becomes the core of the winding assisting member may be a resin coated with a resin. Examples of the resin applied to the resin coating include polyethylene such as high density polyethylene, low density polyethylene, medium density polyethylene, and linear low density polyethylene; isotactic, syndiotactic, atactic, mixtures thereof, ethylene, and the like Polypropylene such as random copolymer or block copolymer of the above; other poly-3-methylpentene-1, polyethylene glycol terephthalate, polyvinyl chloride, polyvinylidene chloride, eval, polyisobutylene, ethylene vinyl acetate copolymer alone Or it can be used in combination.

図2〜図4に示す製造装置を使用し、巻き取り補助部材と封止層が形成された帯状可撓性支持体(照明用(面発光)有機EL素子)を一緒に巻き取り、図5に示す断面形状を有するロール状帯状可撓性支持体(照明用(面発光)有機EL素子)とすることで次の効果が得られる。
1)有機EL素子の膜面を保護することが可能となり、安定した品質の有機EL素子の製造が可能となった。
2)有機EL素子を構成している各層の形成段階で巻き取り補助部材を付与し巻き取ることで膜面の保護及び次工程へ安定した品質の搬送が出来、生産効率の向上が可能となった。
3)巻き取り時の張力、速度等の煩雑な厳密な巻き取り管理が不要となり生産効率の向上が可能となった。
4)巻き取り補助部材を付与し、巻き取ったロール体は、取り扱い時振動、外圧等の外乱に対しても耐性が付与されるので製造方法の幅を広げることが可能となった
以下、本発明に係わる有機EL素子を構成しているガスバリア層、第1電極、正孔輸送層、発光層、電子注入層、第2電極、封止層等に付き説明する。
Using the manufacturing apparatus shown in FIG. 2 to FIG. 4, the belt-like flexible support (illumination (surface emitting) organic EL element) on which the winding auxiliary member and the sealing layer are formed is wound together. The following effects can be obtained by forming a roll-like strip-shaped flexible support (illumination (surface emitting) organic EL element) having the cross-sectional shape shown in FIG.
1) The film surface of the organic EL element can be protected, and a stable quality organic EL element can be manufactured.
2) By applying a winding auxiliary member at the formation stage of each layer constituting the organic EL element and winding it, the film surface can be protected and the quality can be stably conveyed to the next process, and the production efficiency can be improved. It was.
3) Complex and strict winding management such as tension and speed during winding is not required, and production efficiency can be improved.
4) A roll auxiliary member is provided, and the wound roll body is given resistance to disturbances such as vibration during handling and external pressure, so that the width of the manufacturing method can be expanded. The gas barrier layer, the first electrode, the hole transport layer, the light emitting layer, the electron injection layer, the second electrode, the sealing layer and the like constituting the organic EL device according to the invention will be described.

本発明に係わるガスバリア層と第1電極が既に形成された帯状可撓性支持体に使用する帯状可撓性支持体としては、透明樹脂フィルムが挙げられる。樹脂フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン、セロファン、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、セルロースアセテートプロピオネート(CAP)、セルロースアセテートフタレート(TAC)、セルロースナイトレート等のセルロースエステル類又はそれらの誘導体、ポリ塩化ビニリデン、ポリビニルアルコール、ポリエチレンビニルアルコール、シンジオタクティックポリスチレン、ポリカーボネート、ノルボルネン樹脂、ポリメチルペンテン、ポリエーテルケトン、ポリイミド、ポリエーテルスルホン(PES)、ポリフェニレンスルフィド、ポリスルホン類、ポリエーテルイミド、ポリエーテルケトンイミド、ポリアミド、フッ素樹脂、ナイロン、ポリメチルメタクリレート、アクリル或いはポリアリレート類、アートン(商品名JSR社製)或いはアペル(商品名三井化学社製)といったシクロオレフィン系樹脂等が挙げられる。   A transparent resin film is mentioned as a strip | belt-shaped flexible support body used for the strip | belt-shaped flexible support body in which the gas barrier layer concerning this invention and the 1st electrode were already formed. Examples of the resin film include polyesters such as polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene naphthalate (PEN), polyethylene, polypropylene, cellophane, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, cellulose acetate propionate (CAP), Cellulose esters such as cellulose acetate phthalate (TAC) and cellulose nitrate or derivatives thereof, polyvinylidene chloride, polyvinyl alcohol, polyethylene vinyl alcohol, syndiotactic polystyrene, polycarbonate, norbornene resin, polymethylpentene, polyether ketone, polyimide , Polyethersulfone (PES), polyphenylene sulfide, polysulfones, Cycloolefin resins such as polyether imide, polyether ketone imide, polyamide, fluororesin, nylon, polymethyl methacrylate, acrylic or polyarylate, Arton (trade name, manufactured by JSR) or Appel (trade name, manufactured by Mitsui Chemicals) Is mentioned.

帯状可撓性支持体として使用する樹脂フィルムの表面にはガスバリア膜が必要に応じて形成されることが好ましい。ガスバリア膜としては無機物、有機物の被膜又はその両者のハイブリッド被膜が挙げられる。ガスバリア膜の特性としては、水蒸気透過度が0.01g/m2・day・atm以下であることが好ましい。更には、酸素透過度10-3ml/m2/day以下、水蒸気透過度10-5g/m2/day以下の高バリア性フィルムであることが好ましい。 A gas barrier film is preferably formed on the surface of the resin film used as the belt-like flexible support, if necessary. Examples of the gas barrier film include an inorganic film, an organic film, or a hybrid film of both. As a characteristic of the gas barrier film, the water vapor permeability is preferably 0.01 g / m 2 · day · atm or less. Furthermore, a high barrier film having an oxygen permeability of 10 −3 ml / m 2 / day or less and a water vapor permeability of 10 −5 g / m 2 / day or less is preferable.

バリア膜を形成する材料としては、水分や酸素など素子の劣化をもたらすものの浸入を抑制する機能を有する材料であればよく、例えば、酸化珪素、二酸化珪素、窒化珪素などを用いることが出来る。更に該膜の脆弱性を改良するためにこれら無機層と有機材料からなる層の積層構造を持たせることがより好ましい。無機層と有機層の積層順については特に制限はないが、両者を交互に複数回積層させることが好ましい。バリア膜の形成方法については、特に限定はなく、例えば真空蒸着法、スパッタリング法、反応性スパッタリング法、分子線エピタキシー法、クラスタ−イオンビーム法、イオンプレーティング法、プラズマ重合法、大気圧プラズマ重合法、プラズマCVD法、レーザーCVD法、熱CVD法、コーティング法などを用いることが出来るが、特開2004−68143号に記載されているような大気圧プラズマ重合法によるものが特に好ましい。   As a material for forming the barrier film, any material may be used as long as it has a function of suppressing intrusion of elements such as moisture and oxygen that cause deterioration of the element. For example, silicon oxide, silicon dioxide, silicon nitride, or the like can be used. Further, in order to improve the brittleness of the film, it is more preferable to have a laminated structure of these inorganic layers and layers made of organic materials. Although there is no restriction | limiting in particular about the lamination | stacking order of an inorganic layer and an organic layer, It is preferable to laminate | stack both alternately several times. The method for forming the barrier film is not particularly limited. For example, the vacuum deposition method, the sputtering method, the reactive sputtering method, the molecular beam epitaxy method, the cluster ion beam method, the ion plating method, the plasma polymerization method, the atmospheric pressure plasma weighting. A combination method, a plasma CVD method, a laser CVD method, a thermal CVD method, a coating method, and the like can be used, but an atmospheric pressure plasma polymerization method as described in JP-A-2004-68143 is particularly preferable.

第1電極としては、仕事関数の大きい(4eV以上)金属、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが好ましく用いられる。この様な電極物質の具体例としてはAu等の金属、CuI、インジウムチンオキシド(ITO)、SnO2、ZnO等の導電性透明材料が挙げられる。又、IDIXO(In23・ZnO)等非晶質で透明導電膜を作製可能な材料を用いてもよい。陽極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により、薄膜を形成させ、フォトリソグラフィ法で所望の形状のパターンを形成してもよく、或いはパターン精度をあまり必要としない場合は(100μm以上程度)、上記電極物質の蒸着やスパッタリング時に所望の形状のマスクを介してパターンを形成してもよい。或いは、有機導電性化合物のように塗布可能な物質を用いる場合には、印刷方式、コーティング方式など湿式成膜法を用いることも出来る。この陽極より発光を取り出す場合には、透過率を10%より大きくすることが望ましく、又陽極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましい。更に膜厚は材料にもよるが、通常10〜1000nm、好ましくは10〜200nmの範囲で選ばれる。 As the first electrode, an electrode material made of a metal, an alloy, an electrically conductive compound, or a mixture thereof having a high work function (4 eV or more) is preferably used. Specific examples of such an electrode substance include metals such as Au, and conductive transparent materials such as CuI, indium tin oxide (ITO), SnO 2 , and ZnO. Alternatively, an amorphous material such as IDIXO (In 2 O 3 .ZnO) capable of forming a transparent conductive film may be used. For the anode, these electrode materials may be formed into a thin film by a method such as vapor deposition or sputtering, and a pattern of a desired shape may be formed by photolithography, or if the pattern accuracy is not so high (about 100 μm or more) ), A pattern may be formed through a mask having a desired shape when the electrode material is deposited or sputtered. Or when using the substance which can be apply | coated like an organic electroconductive compound, wet film-forming methods, such as a printing system and a coating system, can also be used. When light emission is taken out from the anode, it is desirable that the transmittance is greater than 10%, and the sheet resistance as the anode is preferably several hundred Ω / □ or less. Further, although the film thickness depends on the material, it is usually selected in the range of 10 to 1000 nm, preferably 10 to 200 nm.

第1電極と発光層又は正孔輸送層の間、正孔注入層(陽極バッファー層)を存在させてもよい。正孔注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123−166頁)に詳細に記載されている。陽極バッファー層(正孔注入層)は、特開平9−45479号公報、同9−260062号公報、同8−288069号公報等にもその詳細が記載されており、具体例として、銅フタロシアニンに代表されるフタロシアニンバッファー層、酸化バナジウムに代表される酸化物バッファー層、アモルファスカーボンバッファー層、ポリアニリン(エメラルディン)やポリチオフェン等の導電性高分子を用いた高分子バッファー層等が挙げられる。   A hole injection layer (anode buffer layer) may be present between the first electrode and the light emitting layer or the hole transport layer. The hole injection layer is a layer provided between the electrode and the organic layer in order to lower the driving voltage and improve the luminance of light emission. “The organic EL element and the forefront of industrialization (November 30, 1998, NTS) The details are described in the second volume, Chapter 2, “Electrode Materials” (pages 123 to 166) of “The Company”. The details of the anode buffer layer (hole injection layer) are described in JP-A-9-45479, JP-A-9-260062, JP-A-8-288069 and the like. As a specific example, copper phthalocyanine is used. Examples thereof include a phthalocyanine buffer layer represented by an oxide, an oxide buffer layer represented by vanadium oxide, an amorphous carbon buffer layer, and a polymer buffer layer using a conductive polymer such as polyaniline (emeraldine) or polythiophene.

第1湿式塗布機401bにより塗布され形成される正孔輸送層とは、正孔を輸送する機能を有する正孔輸送材料からなり、広い意味で正孔注入層、電子阻止層も正孔輸送層に含まれる。正孔輸送層は単層又は複数層設けることが出来る。
正孔輸送材料としては、正孔の注入又は輸送、電子の障壁性の何れかを有するものであり、有機物、無機物の何れであってもよい。例えば、トリアゾール誘導体、オキサジアゾール誘導体、イミダゾール誘導体、ポリアリールアルカン誘導体、ピラゾリン誘導体及びピラゾロン誘導体、フェニレンジアミン誘導体、アリールアミン誘導体、アミノ置換カルコン誘導体、オキサゾール誘導体、スチリルアントラセン誘導体、フルオレノン誘導体、ヒドラゾン誘導体、スチルベン誘導体、シラザン誘導体、アニリン系共重合体、又導電性高分子オリゴマー、特にチオフェンオリゴマー等が挙げられる。
The hole transport layer applied and formed by the first wet coater 401b is made of a hole transport material having a function of transporting holes, and in a broad sense, the hole injection layer and the electron blocking layer are also hole transport layers. include. The hole transport layer can be provided as a single layer or a plurality of layers.
The hole transport material has any one of hole injection or transport and electron barrier properties, and may be either organic or inorganic. For example, triazole derivatives, oxadiazole derivatives, imidazole derivatives, polyarylalkane derivatives, pyrazoline derivatives and pyrazolone derivatives, phenylenediamine derivatives, arylamine derivatives, amino-substituted chalcone derivatives, oxazole derivatives, styrylanthracene derivatives, fluorenone derivatives, hydrazone derivatives, Examples include stilbene derivatives, silazane derivatives, aniline copolymers, and conductive polymer oligomers, particularly thiophene oligomers.

正孔輸送材料としては上記のものを使用することが出来るが、ポルフィリン化合物、芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物、特に芳香族第3級アミン化合物を用いることが好ましい。芳香族第3級アミン化合物及びスチリルアミン化合物の代表例としては、N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノフェニル;N,N′−ジフェニル−N,N′−ビス(3−メチルフェニル)−〔1,1′−ビフェニル〕−4,4′−ジアミン(TPD);2,2−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)プロパン;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)シクロヘキサン;N,N,N′,N′−テトラ−p−トリル−4,4′−ジアミノビフェニル;1,1−ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)−4−フェニルシクロヘキサン;ビス(4−ジメチルアミノ−2−メチルフェニル)フェニルメタン;ビス(4−ジ−p−トリルアミノフェニル)フェニルメタン;N,N′−ジフェニル−N,N′−ジ(4−メトキシフェニル)−4,4′−ジアミノビフェニル;N,N,N′,N′−テトラフェニル−4,4′−ジアミノジフェニルエーテル;4,4′−ビス(ジフェニルアミノ)クオードリフェニル;N,N,N−トリ(p−トリル)アミン;4−(ジ−p−トリルアミノ)−4′−〔4−(ジ−p−トリルアミノ)スチリル〕スチルベン;4−N,N−ジフェニルアミノ−(2−ジフェニルビニル)ベンゼン;3−メトキシ−4′−N,N−ジフェニルアミノスチルベンゼン;N−フェニルカルバゾール、更には米国特許第5,061,569号明細書に記載されている2個の縮合芳香族環を分子内に有するもの、例えば、4,4′−ビス〔N−(1−ナフチル)−N−フェニルアミノ〕ビフェニル(NPD)、特開平4−308688号公報に記載されているトリフェニルアミンユニットが3つスターバースト型に連結された4,4′,4″−トリス〔N−(3−メチルフェニル)−N−フェニルアミノ〕トリフェニルアミン(MTDATA)等が挙げられる。   The above-mentioned materials can be used as the hole transport material, but it is preferable to use a porphyrin compound, an aromatic tertiary amine compound and a styrylamine compound, particularly an aromatic tertiary amine compound. Representative examples of aromatic tertiary amine compounds and styrylamine compounds include N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminophenyl; N, N'-diphenyl-N, N'- Bis (3-methylphenyl)-[1,1′-biphenyl] -4,4′-diamine (TPD); 2,2-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) propane; 1,1-bis (4-di-p-tolylaminophenyl) cyclohexane; N, N, N ′, N′-tetra-p-tolyl-4,4′-diaminobiphenyl; 1,1-bis (4-di-p-tolyl) Aminophenyl) -4-phenylcyclohexane; bis (4-dimethylamino-2-methylphenyl) phenylmethane; bis (4-di-p-tolylaminophenyl) phenylmethane; N, N'-diphenyl-N, N ' − (4-methoxyphenyl) -4,4'-diaminobiphenyl; N, N, N ', N'-tetraphenyl-4,4'-diaminodiphenyl ether; 4,4'-bis (diphenylamino) quadriphenyl; N, N, N-tri (p-tolyl) amine; 4- (di-p-tolylamino) -4 '-[4- (di-p-tolylamino) styryl] stilbene; 4-N, N-diphenylamino- (2-diphenylvinyl) benzene; 3-methoxy-4′-N, N-diphenylaminostilbenzene; N-phenylcarbazole, and also two of those described in US Pat. No. 5,061,569. Having a condensed aromatic ring in the molecule, for example, 4,4'-bis [N- (1-naphthyl) -N-phenylamino] biphenyl (NPD), JP-A-4-3086 4,4 ', 4 "-tris [N- (3-methylphenyl) -N-phenylamino] triphenylamine in which three triphenylamine units described in Japanese Patent No. 8 are linked in a starburst type ( MTDATA) and the like.

更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。又、p型−Si、p型−SiC等の無機化合物も正孔注入材料、正孔輸送材料として使用することが出来る。   Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used. In addition, inorganic compounds such as p-type-Si and p-type-SiC can also be used as the hole injection material and the hole transport material.

又、特開平11−251067号公報、J.Huang et.al.著文献(Applied Physics Letters 80(2002),p.139)に記載されているような所謂p型正孔輸送材料を用いることも出来る。本発明においては、より高効率の発光素子が得られることから、これらの材料を用いることが好ましい。   JP-A-11-251067, J. Org. Huang et. al. A so-called p-type hole transport material described in a book (Applied Physics Letters 80 (2002), p. 139) can also be used. In the present invention, it is preferable to use these materials because a light-emitting element with higher efficiency can be obtained.

正孔輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。この正孔輸送層は上記材料の1種又は2種以上からなる一層構造であってもよい。又、不純物をドープしたp性の高い正孔輸送層を用いることも出来る。その例としては、特開平4−297076号、特開2000−196140号、特開2001−102175号、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)などに記載されたものが挙げられる。この様なp性の高い正孔輸送層を用いることが、より低消費電力の有機EL素子を作製することが出来るため好ましい。   Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of a positive hole transport layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. This hole transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials. A hole transport layer having a high p property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J.A. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like. It is preferable to use such a hole transport layer having a high p property because an organic EL element with lower power consumption can be produced.

第2湿式塗布機402bにより形成される発光層が多層の場合は、積層する数に合わせて塗布・乾燥部のユニットを配設する必要がある。例えば、発光層を多層にすることで白色素子の作製が可能である。本発明において、発光層とは青色発光層、緑色発光層、赤色発光層を指す。発光層を積層する場合の積層順としては、特に制限はなく、又各発光層間に非発光性の中間層を有していてもよい。本発明においては、少なくとも一つの青発光層が、全発光層中最も陽極に近い位置に設けられていることが好ましい。又、発光層を4層以上設ける場合には、陽極に近い順から、例えば青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層、青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層/緑色発光層、青色発光層/緑色発光層/赤色発光層/青色発光層/緑色発光層/赤色発光層のように青色発光層、緑色発光層、赤色発光層を順に積層することが、輝度安定性を高める上で好ましい。   In the case where the light emitting layer formed by the second wet coater 402b is a multilayer, it is necessary to arrange the units of the coating / drying unit according to the number of layers to be stacked. For example, a white element can be manufactured by forming a light emitting layer in multiple layers. In the present invention, the light emitting layer refers to a blue light emitting layer, a green light emitting layer, and a red light emitting layer. There is no restriction | limiting in particular as a lamination order in the case of laminating | stacking a light emitting layer, You may have a nonluminous intermediate | middle layer between each light emitting layer. In the present invention, it is preferable that at least one blue light emitting layer is provided at a position closest to the anode in all the light emitting layers. Also, when four or more light emitting layers are provided, for example, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting layer, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting from the order close to the anode. Layered / green light emitting layer, blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer / blue light emitting layer / green light emitting layer / red light emitting layer, etc. It is preferable for improving luminance stability.

発光層の膜厚の総和は特に制限はないが、膜の均質性、発光に必要な電圧等を考慮し、通常2nm〜5μm、好ましくは2〜200nmの範囲で選ばれる。更に10〜20nmの範囲にあるのが好ましい。膜厚を20nm以下にすると電圧面のみならず、駆動電流に対する発光色の安定性が向上する効果があり好ましい。個々の発光層の膜厚は、好ましくは2〜100nmの範囲で選ばれ、2〜20nmの範囲にあるのが更に好ましい。青、緑、赤の各発光層の膜厚の関係については、特に制限はないが、3発光層中、青発光層(複数層ある場合はその総和)が最も厚いことが好ましい。   The total thickness of the light emitting layer is not particularly limited, but is usually selected in the range of 2 nm to 5 μm, preferably 2 to 200 nm in consideration of the uniformity of the film and the voltage required for light emission. Furthermore, it is preferable that it exists in the range of 10-20 nm. A film thickness of 20 nm or less is preferable because it has the effect of improving the stability of the emission color with respect to the driving current as well as the voltage surface. The film thickness of each light emitting layer is preferably selected in the range of 2 to 100 nm, and more preferably in the range of 2 to 20 nm. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness relationship of each light emitting layer of blue, green, and red, It is preferable that the blue light emitting layer (the sum total when there are two or more layers) is the thickest among three light emitting layers.

発光層は発光極大波長が各々430〜480nm、510〜550nm、600〜640nmの範囲にある発光スペクトルの異なる少なくとも3層以上の層を含む。3層以上であれば、特に制限はない。4層より多い場合には、同一の発光スペクトルを有する層が複数層あってもよい。発光極大波長が430〜480nmにある層を青発光層、510〜550nmにある層を緑発光層、600〜640nmの範囲にある層を赤発光層と言う。又、前記の極大波長を維持する範囲において、各発光層には複数の発光性化合物を混合してもよい。例えば、青発光層に、極大波長430〜480nmの青発光性化合物と、同510〜550nmの緑発光性化合物を混合して用いてもよい。   The light emitting layer includes at least three layers having different emission spectra, each having an emission maximum wavelength in the range of 430 to 480 nm, 510 to 550 nm, and 600 to 640 nm. If it is three or more layers, there will be no restriction | limiting in particular. When there are more than four layers, there may be a plurality of layers having the same emission spectrum. A layer having an emission maximum wavelength in the range of 430 to 480 nm is referred to as a blue light emitting layer, a layer in the range of 510 to 550 nm is referred to as a green light emitting layer, and a layer in the range of 600 to 640 nm is referred to as a red light emitting layer. Moreover, in the range which maintains the said maximum wavelength, you may mix a several luminescent compound in each light emitting layer. For example, the blue light emitting layer may be used by mixing a blue light emitting compound having a maximum wavelength of 430 to 480 nm and a green light emitting compound having the same wavelength of 510 to 550 nm.

発光層に使用する材料は特に限定はなく、例えば、株式会社 東レリサーチセンター フラットパネルディスプレイの最新動向 ELディスプレイの現状と最新技術動向 228〜332頁に記載されている如き各種材料が挙げられる。   The material used for the light emitting layer is not particularly limited, and examples thereof include the latest trends of Toray Research Center, Inc. flat panel displays, the current state of EL displays and the latest technological trends, and various materials as described on pages 228-332.

第2湿式塗布機206bで発光層形成用塗布液を塗布し、乾燥することで形成された発光層は、電極又は電子注入層、正孔輸送層から注入されてくる電子及び正孔が再結合して発光する層であり、発光する部分は発光層の層内であっても発光層と隣接層との界面であってもよい。   The light emitting layer formed by applying the coating liquid for forming the light emitting layer with the second wet coater 206b and drying is recombined with the electrons and holes injected from the electrode or the electron injection layer and the hole transport layer. The light emitting portion may be in the light emitting layer or at the interface between the light emitting layer and the adjacent layer.

第1湿式塗布機203bと、第2湿式塗布機206bとに使用可能な湿式塗布機としては、例えば、ダイコート方式、スクリーン印刷方式、フレキソ印刷方式、インクジェット方式、メイヤーバー方式、キャップコート法、スプレー塗布法、キャスト法、ロールコート法、バーコート法、グラビアコート法等の塗布機の使用が可能である。これらの湿式塗布機の使用は有機化合物層の材料に応じて適宜選択することが可能となっている。   Examples of the wet coater that can be used for the first wet coater 203b and the second wet coater 206b include a die coat method, a screen printing method, a flexographic printing method, an ink jet method, a Mayer bar method, a cap coat method, and a spray. It is possible to use a coating machine such as a coating method, a casting method, a roll coating method, a bar coating method, or a gravure coating method. The use of these wet coating machines can be appropriately selected according to the material of the organic compound layer.

第1乾燥装置401cにおける正孔輸送層の溶媒を除去する乾燥条件としては、乾燥ムラ、塗膜表面の吹き荒れ等を考慮し、吐出口からの乾燥風の吐出風速0.1〜5m/s、幅手方向の風速分布が0.1〜10%の気流乾燥が挙げられる。第2乾燥装置402cにおける発光層の溶媒を除去する乾燥条件は第1乾燥装置401cの条件と同じであってもよい。   As drying conditions for removing the solvent of the hole transport layer in the first drying device 401c, in consideration of drying unevenness, blown rough surface of the coating film, etc., the discharge air speed of the dry air from the discharge port is 0.1 to 5 m / s, Airflow drying in which the wind speed distribution in the width direction is 0.1 to 10% can be mentioned. The drying conditions for removing the solvent of the light emitting layer in the second drying device 402c may be the same as the conditions of the first drying device 401c.

第1加熱処理部401dにおける正孔輸送層の加熱処理条件として、正孔輸送層の平滑性向上、残留溶媒の除去、正孔輸送層の硬化等を考慮し、正孔輸送層のガラス転移温度に対して−30〜+30℃、且つ、正孔輸送層を構成している有機化合物の分解温度を超えない温度で裏面伝熱方式の熱処理を行うことが好ましい。   As a heat treatment condition of the hole transport layer in the first heat treatment unit 401d, the glass transition temperature of the hole transport layer is considered in consideration of improvement in smoothness of the hole transport layer, removal of residual solvent, curing of the hole transport layer, and the like. On the other hand, it is preferable to perform the back-surface heat transfer type heat treatment at −30 to + 30 ° C. and at a temperature not exceeding the decomposition temperature of the organic compound constituting the hole transport layer.

第2加熱処理部502dにおける発光層の加熱処理条件として、発光層の平滑性向上、残留溶媒の除去、発光層の硬化等を考慮し、発光層のガラス転移温度に対して−30〜+30℃、且つ、発光層を構成している有機化合物の分解温度を超えない温度で裏面伝熱方式の熱処理を行うことが好ましい。   As the heat treatment conditions of the light emitting layer in the second heat treatment unit 502d, considering the smoothness improvement of the light emitting layer, the removal of the residual solvent, the curing of the light emitting layer, etc., the glass transition temperature of the light emitting layer is −30 to + 30 ° C. In addition, it is preferable to perform the back surface heat transfer type heat treatment at a temperature not exceeding the decomposition temperature of the organic compound constituting the light emitting layer.

第1湿式塗布機401bで正孔輸送層形成用塗布液を塗布する時の帯状可撓性支持体の搬送速度のバラツキと、第2湿式塗布機502bで発光層形成用塗布液を塗布する時の帯状可撓性支持体の搬送速度のバラツキは、長手方向の塗膜厚みムラに伴う発光輝度ムラ、等を考慮し、平均搬送速度に対して0.2〜10%であることが好ましい。   When the coating liquid for forming the hole transport layer is applied by the first wet coater 401b, the variation in the conveyance speed of the belt-like flexible support, and when the coating liquid for forming the light emitting layer is applied by the second wet coater 502b The variation in the conveyance speed of the belt-like flexible support is preferably 0.2 to 10% with respect to the average conveyance speed in consideration of unevenness in light emission luminance associated with uneven coating thickness in the longitudinal direction.

第1湿式塗布機401で使用する正孔輸送層形成用塗布液、及び第2湿式塗布機502bで使用する発光層形成用塗布液は、少なくとも1種の有機化合物材料と少なくとも1種の溶媒とを有し、塗布時のハジキ、塗布ムラ等を考慮し、表面張力が15×10-3〜55×10-3N/mであることが好ましい。 The hole transport layer forming coating solution used in the first wet coater 401 and the light emitting layer forming coating solution used in the second wet coater 502b include at least one organic compound material and at least one solvent. The surface tension is preferably 15 × 10 −3 to 55 × 10 −3 N / m in consideration of repelling during coating and uneven coating.

本図で示される有機EL素子の構成層である正孔輸送層及び発光層を形成する工程は、正孔輸送層及び発光層の性能維持、異物付着に伴う故障欠陥の防止等を考慮し、露点温度−20℃以下、且つJISB 9920に準拠し、測定した清浄度がクラス5以下で、且つ、第1乾燥部、第2乾燥部を除き10〜45℃の大気圧条件下で形成されることが好ましい。本発明において清浄度がクラス5以下とは、クラス3〜クラス5を示す。   The process of forming the hole transport layer and the light emitting layer, which are the constituent layers of the organic EL element shown in this figure, considers the maintenance of the performance of the hole transport layer and the light emitting layer, the prevention of failure defects due to foreign matter adhesion, Dew point temperature is −20 ° C. or lower, conforms to JISB 9920, measured cleanliness is class 5 or lower, and is formed under atmospheric pressure conditions of 10 to 45 ° C. excluding the first drying section and the second drying section. It is preferable. In the present invention, cleanliness of class 5 or less means class 3 to class 5.

収納期間は、正孔輸送層及び発光層の劣化に起因する酸素や微量水分の除去を考慮し、1時間〜200時間が好ましい。場合によっては加熱環境下で保存してもよい。   The storage period is preferably 1 hour to 200 hours in consideration of the removal of oxygen and trace moisture due to deterioration of the hole transport layer and the light emitting layer. In some cases, it may be stored in a heated environment.

電子注入層形成工程で形成される電子注入層とは、電子を輸送する機能を有する材料からなり広い意味で電子輸送層に含まれる。電子注入層とは、駆動電圧低下や発光輝度向上のために電極と有機層間に設けられる層のことで、「有機EL素子とその工業化最前線(1998年11月30日エヌ・ティー・エス社発行)」の第2編第2章「電極材料」(123〜166頁)に詳細に記載されている。電子注入層(陰極バッファー層)は、特開平6−325871号公報、同9−17574号公報、同10−74586号公報等にもその詳細が記載されており、具体的にはストロンチウムやアルミニウム等に代表される金属バッファー層、フッ化リチウムに代表されるアルカリ金属化合物バッファー層、フッ化マグネシウムに代表されるアルカリ土類金属化合物バッファー層、酸化アルミニウムに代表される酸化物バッファー層等が挙げられる。上記バッファー層(注入層)はごく薄い膜であることが望ましく、素材にもよるがその膜厚は0.1nm〜5μmの範囲が好ましい。   The electron injection layer formed in the electron injection layer forming step is made of a material having a function of transporting electrons and is included in the electron transport layer in a broad sense. The electron injection layer is a layer provided between the electrode and the organic layer for lowering the driving voltage and improving the luminance of the light emission. “Organic EL element and its forefront of industrialization (NST 30, November 30, 1998) Issue) ”, Chapter 2, Chapter 2,“ Electrode Materials ”(pages 123-166). The details of the electron injection layer (cathode buffer layer) are also described in JP-A-6-325871, JP-A-9-17574, JP-A-10-74586, and the like. Specifically, strontium, aluminum, etc. Metal buffer layer typified by lithium, alkali metal compound buffer layer typified by lithium fluoride, alkaline earth metal compound buffer layer typified by magnesium fluoride, oxide buffer layer typified by aluminum oxide, etc. . The buffer layer (injection layer) is preferably a very thin film, and the film thickness is preferably in the range of 0.1 nm to 5 μm although it depends on the material.

他に発光層側に隣接する電子輸送層に用いられる電子輸送材料(正孔阻止材料を兼ねる)としては、陰極より注入された電子を発光層に伝達する機能を有していればよく、その材料としては従来公知の化合物の中から任意のものを選択して用いることが出来、例えば、ニトロ置換フルオレン誘導体、ジフェニルキノン誘導体、チオピランジオキシド誘導体、カルボジイミド、フレオレニリデンメタン誘導体、アントラキノジメタン及びアントロン誘導体、オキサジアゾール誘導体等が挙げられる。更に、上記オキサジアゾール誘導体において、オキサジアゾール環の酸素原子を硫黄原子に置換したチアジアゾール誘導体、電子吸引基として知られているキノキサリン環を有するキノキサリン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来る。更にこれらの材料を高分子鎖に導入した、又はこれらの材料を高分子の主鎖とした高分子材料を用いることも出来る。   In addition, as an electron transport material (also serving as a hole blocking material) used for the electron transport layer adjacent to the light emitting layer side, it is sufficient if it has a function of transmitting electrons injected from the cathode to the light emitting layer. As a material, any one of conventionally known compounds can be selected and used. For example, nitro-substituted fluorene derivatives, diphenylquinone derivatives, thiopyran dioxide derivatives, carbodiimides, fluorenylidenemethane derivatives, anthraquinodisides. Examples include methane and anthrone derivatives, oxadiazole derivatives and the like. Furthermore, in the above oxadiazole derivatives, thiadiazole derivatives in which the oxygen atom of the oxadiazole ring is substituted with a sulfur atom, and quinoxaline derivatives having a quinoxaline ring known as an electron-withdrawing group can also be used as the electron transport material. Furthermore, a polymer material in which these materials are introduced into a polymer chain or these materials are used as a polymer main chain can also be used.

又、8−キノリノール誘導体の金属錯体、例えば、トリス(8−キノリノール)アルミニウム(Alq)、トリス(5,7−ジクロロ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5,7−ジブロモ−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(2−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、トリス(5−メチル−8−キノリノール)アルミニウム、ビス(8−キノリノール)亜鉛(Znq)等、及びこれらの金属錯体の中心金属がIn、Mg、Cu、Ca、Sn、Ga又はPbに置き替わった金属錯体も、電子輸送材料として用いることが出来る。その他、メタルフリーもしくはメタルフタロシアニン、又はそれらの末端がアルキル基やスルホン酸基等で置換されているものも、電子輸送材料として好ましく用いることが出来る。又、ジスチリルピラジン誘導体も、電子輸送材料として用いることが出来るし、正孔注入層、正孔輸送層と同様に、n型−Si、n型−SiC等の無機半導体も電子輸送材料として用いることが出来る。電子輸送層の膜厚については特に制限はないが、通常は5nm〜5μm程度、好ましくは5〜200nmである。電子輸送層は上記材料の1種又は2種以上からなる一層構造であってもよい。   Also, metal complexes of 8-quinolinol derivatives such as tris (8-quinolinol) aluminum (Alq), tris (5,7-dichloro-8-quinolinol) aluminum, tris (5,7-dibromo-8-quinolinol) aluminum. Tris (2-methyl-8-quinolinol) aluminum, tris (5-methyl-8-quinolinol) aluminum, bis (8-quinolinol) zinc (Znq), and the like, and the central metals of these metal complexes are In, Mg, Metal complexes replaced with Cu, Ca, Sn, Ga or Pb can also be used as the electron transport material. In addition, metal-free or metal phthalocyanine, or those having terminal ends substituted with an alkyl group or a sulfonic acid group can be preferably used as the electron transporting material. Distyrylpyrazine derivatives can also be used as electron transport materials, and inorganic semiconductors such as n-type-Si and n-type-SiC are also used as electron transport materials in the same manner as the hole injection layer and hole transport layer. I can do it. Although there is no restriction | limiting in particular about the film thickness of an electron carrying layer, Usually, 5 nm-about 5 micrometers, Preferably it is 5-200 nm. The electron transport layer may have a single layer structure composed of one or more of the above materials.

又、不純物をドープしたn性の高い電子輸送層を用いることも出来る。その例としては、特開平4−297076号公報、特開平10−270172号公報、特開2000−196140号公報、特開2001−102175号公報、J.Appl.Phys.,95,5773(2004)などに記載されたものが挙げられる。この様なn性の高い電子輸送層を用いることがより低消費電力の素子を作製することが出来るため好ましい。電子輸送層は上記電子輸送材料を、例えば、湿式塗布、真空蒸着法等の公知の方法により、薄膜化することにより形成することも出来る。   An electron transport layer having a high n property doped with impurities can also be used. Examples thereof include JP-A-4-297076, JP-A-10-270172, JP-A-2000-196140, JP-A-2001-102175, J. Pat. Appl. Phys. 95, 5773 (2004), and the like. It is preferable to use such an electron transport layer having a high n property because an element with lower power consumption can be manufactured. The electron transport layer can also be formed by thinning the electron transport material by a known method such as wet coating or vacuum deposition.

第2電極としては、仕事関数の小さい(4eV以下)金属(電子注入性金属と称する)、合金、電気伝導性化合物及びこれらの混合物を電極物質とするものが用いられる。この様な電極物質の具体例としては、ナトリウム、ナトリウム−カリウム合金、マグネシウム、リチウム、マグネシウム/銅混合物、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、インジウム、リチウム/アルミニウム混合物、希土類金属等が挙げられる。これらの中で、電子注入性及び酸化等に対する耐久性の点から、電子注入性金属とこれより仕事関数の値が大きく安定な金属である第二金属との混合物、例えば、マグネシウム/銀混合物、マグネシウム/アルミニウム混合物、マグネシウム/インジウム混合物、アルミニウム/酸化アルミニウム(Al23)混合物、リチウム/アルミニウム混合物、アルミニウム等が好適である。陰極はこれらの電極物質を蒸着やスパッタリング等の方法により薄膜を形成させることにより、作製することが出来る。又、陰極としてのシート抵抗は数百Ω/□以下が好ましく、膜厚は通常10nm〜5μm、好ましくは50〜200nmの範囲で選ばれる。尚、発光した光を透過させるため、有機EL素子の第1電極(陽極)又は第2電極(陰極)の何れか一方が、透明又は半透明であれば発光輝度が向上し好都合である。 As the second electrode, a material having a work function (4 eV or less) metal (referred to as an electron injecting metal), an alloy, an electrically conductive compound, and a mixture thereof as an electrode material is used. Specific examples of such electrode materials include sodium, sodium-potassium alloy, magnesium, lithium, magnesium / copper mixture, magnesium / silver mixture, magnesium / aluminum mixture, magnesium / indium mixture, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) Mixtures, indium, lithium / aluminum mixtures, rare earth metals and the like. Among these, from the point of durability against electron injection and oxidation, etc., a mixture of an electron injecting metal and a second metal which is a stable metal having a larger work function than this, for example, a magnesium / silver mixture, Magnesium / aluminum mixtures, magnesium / indium mixtures, aluminum / aluminum oxide (Al 2 O 3 ) mixtures, lithium / aluminum mixtures, aluminum and the like are preferred. The cathode can be produced by forming a thin film of these electrode materials by a method such as vapor deposition or sputtering. The sheet resistance as the cathode is preferably several hundred Ω / □ or less, and the film thickness is usually selected in the range of 10 nm to 5 μm, preferably 50 to 200 nm. In order to transmit the emitted light, if either one of the first electrode (anode) or the second electrode (cathode) of the organic EL element is transparent or translucent, the emission luminance is advantageously improved.

又、第2電極に上記金属を1〜20nmの膜厚で作製した後に、第1電極の説明で挙げた導電性透明材料をその上に作製することで、透明又は半透明の第2電極(陰極)を作製することが出来、これを応用することで第1電極(陽極)と第2電極(陰極)の両方が透過性を有する素子を作製することが出来る。   Moreover, after producing the metal with a thickness of 1 to 20 nm on the second electrode, the conductive transparent material mentioned in the description of the first electrode is produced thereon, so that a transparent or translucent second electrode ( A cathode) can be manufactured, and by applying this, an element in which both the first electrode (anode) and the second electrode (cathode) are transmissive can be manufactured.

使用する封止フィルムとしては、ガスバリア膜と同じ材質のバリアフィルム及び金属膜を使用することが可能である。接着剤として具体的には、アクリル酸系オリゴマー、メタクリル酸系オリゴマーの反応性ビニル基を有する光硬化及び熱硬化型接着剤、2−シアノアクリル酸エステルなどの湿気硬化型等の接着剤、エポキシ系などの熱及び化学硬化型(二液混合)等の接着剤、又、ポリアミド系、ポリエステル系、ポリオレフィン系のホットメルト型接着剤、カチオン硬化タイプの紫外線硬化型エポキシ樹脂接着剤を挙げることが出来る。   As the sealing film to be used, a barrier film and a metal film made of the same material as the gas barrier film can be used. Specific examples of the adhesive include photo-curing and thermosetting adhesives having reactive vinyl groups such as acrylic acid oligomers and methacrylic acid oligomers, moisture-curing adhesives such as 2-cyanoacrylates, and epoxy. Heat- and chemical-curing type (two-component mixed) adhesives, polyamide-based, polyester-based, polyolefin-based hot-melt adhesives, cationic-curing type UV-curable epoxy resin adhesives, etc. I can do it.

尚、素子を構成する有機層が熱処理により劣化する場合があるので、室温から80℃までに接着硬化出来るものが好ましい。又、前記接着剤中に乾燥剤を分散させておいてもよい。封止部分への接着剤の塗布は、市販のディスペンサを使ってもよいし、スクリーン印刷のように印刷してもよい。   In addition, since the organic layer which comprises an element may deteriorate with heat processing, what can be adhesive-hardened from room temperature to 80 degreeC is preferable. A desiccant may be dispersed in the adhesive. Application | coating of the adhesive agent to a sealing part may use commercially available dispenser, and may print it like screen printing.

封止膜を形成する場合は、基板のガスバリア層で記載した材料及び方法を用いることにより第2電極上に形成することが可能である。   When the sealing film is formed, it can be formed on the second electrode by using the materials and methods described in the gas barrier layer of the substrate.

封止部材(図1に示される封止膜、封止フィルム)と有機EL素子の表示領域との間隙には、気相及び液相では、窒素、アルゴン等の不活性気体や、フッ化炭化水素、シリコンオイルのような不活性液体を注入することが好ましい。又、真空とすることも可能である。又、内部に吸湿性化合物を封入することも出来る。吸湿性化合物としては例えば金属酸化物(例えば、酸化ナトリウム、酸化カリウム、酸化カルシウム、酸化バリウム、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム等)、硫酸塩(例えば、硫酸ナトリウム、硫酸カルシウム、硫酸マグネシウム、硫酸コバルト等)、金属ハロゲン化物(例えば、塩化カルシウム、塩化マグネシウム、フッ化セシウム、フッ化タンタル、臭化セリウム、臭化マグネシウム、沃化バリウム、沃化マグネシウム等)、過塩素酸類(例えば過塩素酸バリウム、過塩素酸マグネシウム等)等が挙げられ、硫酸塩、金属ハロゲン化物及び過塩素酸類においては無水塩が好適に用いられる。   In the gap between the sealing member (sealing film and sealing film shown in FIG. 1) and the display area of the organic EL element, in the gas phase and the liquid phase, an inert gas such as nitrogen or argon, or fluorocarbon It is preferable to inject an inert liquid such as hydrogen or silicon oil. A vacuum can also be used. Moreover, a hygroscopic compound can also be enclosed inside. Examples of the hygroscopic compound include metal oxides (eg, sodium oxide, potassium oxide, calcium oxide, barium oxide, magnesium oxide, aluminum oxide), sulfates (eg, sodium sulfate, calcium sulfate, magnesium sulfate, cobalt sulfate, etc.). Metal halides (eg, calcium chloride, magnesium chloride, cesium fluoride, tantalum fluoride, cerium bromide, magnesium bromide, barium iodide, magnesium iodide, etc.), perchloric acids (eg, barium perchlorate, In particular, anhydrous salts are preferably used in sulfates, metal halides and perchloric acids.

本発明の有機EL素子を構成している発光層には、発光層の発光効率を高くするために公知のホスト化合物と公知のリン光性化合物(リン光発光性化合物とも言う)を含有することが好ましい。   The light emitting layer constituting the organic EL device of the present invention contains a known host compound and a known phosphorescent compound (also referred to as a phosphorescent compound) in order to increase the luminous efficiency of the light emitting layer. Is preferred.

ホスト化合物とは、発光層に含有される化合物の内で、その層中での質量比が20%以上であり、且つ室温(25℃)においてリン光発光のリン光量子収率が、0.1未満の化合物と定義される。好ましくはリン光量子収率が0.01未満である。ホスト化合物を複数種併用して用いてもよい。ホスト化合物を複数種用いることで、電荷の移動を調整することが可能であり、有機EL素子を高効率化することが出来る。又、リン光性化合物を複数種用いることで、異なる発光を混ぜることが可能となり、これにより任意の発光色を得ることが出来る。リン光性化合物の種類、ドープ量を調整することで白色発光が可能であり、照明、バックライトへの応用も出来る。   The host compound is a compound contained in the light-emitting layer, the mass ratio in the layer is 20% or more, and the phosphorescence quantum yield of phosphorescence emission is 0.1 at room temperature (25 ° C.). Is defined as less than a compound. The phosphorescence quantum yield is preferably less than 0.01. A plurality of host compounds may be used in combination. By using a plurality of types of host compounds, it is possible to adjust the movement of charges, and the organic EL element can be made highly efficient. In addition, by using a plurality of phosphorescent compounds, it is possible to mix different light emission, thereby obtaining an arbitrary emission color. White light emission is possible by adjusting the kind of phosphorescent compound and the amount of doping, and can also be applied to illumination and backlight.

これらのホスト化合物としては、正孔輸送能、電子輸送能を有しつつ、且つ発光の長波長化を防ぎ、尚且つ高Tg(ガラス転移温度)である化合物が好ましい。公知のホスト化合物としては、例えば、特開2001−257076号公報、同2002−308855号公報、同2001−313179号公報、同2002−319491号公報、同2001−357977号公報、同2002−334786号公報、同2002−8860号公報、同2002−334787号公報、同2002−15871号公報、同2002−334788号公報、同2002−43056号公報、同2002−334789号公報、同2002−75645号公報、同2002−338579号公報、同2002−105445号公報、同2002−343568号公報、同2002−141173号公報、同2002−352957号公報、同2002−203683号公報、同2002−363227号公報、同2002−231453号公報、同2003−3165号公報、同2002−234888号公報、同2003−27048号公報、同2002−255934号公報、同2002−260861号公報、同2002−280183号公報、同2002−299060号公報、同2002−302516号公報、同2002−305083号公報、同2002−305084号公報、同2002−308837号公報等に記載の化合物が挙げられる。   As these host compounds, compounds having a hole transporting ability and an electron transporting ability, preventing emission light from being increased in wavelength, and having a high Tg (glass transition temperature) are preferable. Known host compounds include, for example, JP-A Nos. 2001-257076, 2002-308855, 2001-313179, 2002-319491, 2001-357777, and 2002-334786. Gazette, 2002-8860, 2002-334787, 2002-15871, 2002-334788, 2002-43056, 2002-334789, 2002-75645 2002-338579, 2002-105445, 2002-343568, 2002-141173, 2002-352957, 2002-203683, 2002-363227 2002-231453, 2003-3165, 2002-234888, 2003-27048, 2002-255934, 2002-260861, 2002-280183, Examples thereof include compounds described in 2002-299060, 2002-302516, 2002-305083, 2002-305084, 2002-308837 and the like.

複数の発光層を有する場合、これら各層のホスト化合物の50質量%以上が同一の化合物であることが、有機層全体に渡って均質な膜性状を得やすいことから好ましく、更にはホスト化合物のリン光発光エネルギーが2.9eV以上であることが、ドーパントからのエネルギー移動を効率的に抑制し、高輝度を得る上で有利となることからより好ましい。リン光発光エネルギーとは、ホスト化合物を基板上に100nmの蒸着膜のフォトルミネッセンスを測定し、そのリン光発光の0−0バンドのピークエネルギーを言う。   In the case of having a plurality of light emitting layers, it is preferable that 50% by mass or more of the host compound in each layer is the same compound because it is easy to obtain a uniform film property over the entire organic layer. It is more preferable that the light emission energy is 2.9 eV or more because it is advantageous in efficiently suppressing energy transfer from the dopant and obtaining high luminance. Phosphorescence emission energy means the peak energy of the 0-0 band of phosphorescence emission when the photoluminescence of a deposited film of 100 nm is measured on a substrate with a host compound.

ホスト化合物は、有機EL素子の経時での劣化(輝度低下、膜性状の劣化)、光源としての市場ニーズ等を考慮し、リン光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。即ち、輝度と耐久性の両方を満足するためには、リン光発光エネルギーが2.9eV以上且つTgが90℃以上のものであることが好ましい。Tgは、更に好ましくは100℃以上である。   The host compound has a phosphorescence emission energy of 2.9 eV or more and a Tg of 90 ° C. or more in consideration of deterioration of the organic EL device over time (decrease in luminance and film properties), market needs as a light source, and the like. Preferably there is. That is, in order to satisfy both luminance and durability, it is preferable that phosphorescence emission energy is 2.9 eV or more and Tg is 90 ° C. or more. Tg is more preferably 100 ° C. or higher.

リン光性化合物(リン光発光性化合物)とは、励起三重項からの発光が観測される化合物であり、室温(25℃)にてリン光発光する化合物であり、リン光量子収率が、25℃において0.01以上の化合物である。先に説明したホスト化合物と合わせ使用することで、より発光効率の高い有機EL素子とすることが出来る。   A phosphorescent compound (phosphorescent compound) is a compound in which light emission from an excited triplet is observed, is a compound that emits phosphorescence at room temperature (25 ° C.), and has a phosphorescence quantum yield of 25. The compound is 0.01 or more at ° C. When used in combination with the host compound described above, an organic EL device with higher luminous efficiency can be obtained.

本発明に係るリン光性化合物は、リン光量子収率は好ましくは0.1以上である。上記リン光量子収率は、第4版実験化学講座7の分光IIの398頁(1992年版、丸善)に記載の方法により測定出来る。溶液中でのリン光量子収率は種々の溶媒を用いて測定出来るが、本発明に用いられるリン光性化合物は、任意の溶媒の何れかにおいて上記リン光量子収率が達成されればよい。   The phosphorescent compound according to the present invention preferably has a phosphorescence quantum yield of 0.1 or more. The phosphorescence quantum yield can be measured by the method described in Spectroscopic II, page 398 (1992 edition, Maruzen), 4th edition, Experimental Chemistry Course 7. Although the phosphorescence quantum yield in a solution can be measured using various solvents, the phosphorescence quantum yield used in the present invention only needs to achieve the phosphorescence quantum yield in any solvent.

リン光性化合物の発光は原理としては2種挙げられ、一つはキャリアが輸送されるホスト化合物上出来ャリアの再結合が起こってホスト化合物の励起状態が生成し、このエネルギーをリン光性化合物に移動させることでリン光性化合物からの発光を得るというエネルギー移動型、もう一つはリン光性化合物がキャリアトラップとなり、リン光性化合物上でキャリアの再結合が起こりリン光性化合物からの発光が得られるというキャリアトラップ型であるが、何れの場合においても、リン光性化合物の励起状態のエネルギーはホスト化合物の励起状態のエネルギーよりも低いことが条件である。   There are two types of light emission of the phosphorescent compound in principle. One is the recombination of the carrier on the host compound to which carriers are transported, and an excited state of the host compound is generated, and this energy is generated by the phosphorescent compound. The energy transfer type is to obtain light emission from the phosphorescent compound by moving to the other, and the other is that the phosphorescent compound becomes a carrier trap, and carrier recombination occurs on the phosphorescent compound, and the phosphorescent compound emits light. Although it is a carrier trap type in which light emission can be obtained, in any case, it is a condition that the excited state energy of the phosphorescent compound is lower than the excited state energy of the host compound.

リン光性化合物は、有機EL素子の発光層に使用される公知のものの中から適宜選択して用いることが出来る。リン光性化合物としては、好ましくは元素の周期表で8族−10族の金属を含有する錯体系化合物であり、更に好ましくはイリジウム化合物、オスミウム化合物、又は白金化合物(白金錯体系化合物)、希土類錯体であり、中でも最も好ましいのはイリジウム化合物である。   The phosphorescent compound can be appropriately selected from known compounds used for the light emitting layer of the organic EL device. The phosphorescent compound is preferably a complex compound containing a group 8-10 metal in the periodic table of elements, more preferably an iridium compound, an osmium compound, or a platinum compound (platinum complex compound), rare earth Of these, iridium compounds are the most preferred.

本発明においては、リン光性化合物のリン光発光極大波長としては特に制限されるものではなく、原理的には中心金属、配位子、配位子の置換基等を選択することで得られる発光波長を変化させることが出来る。   In the present invention, the phosphorescence emission maximum wavelength of the phosphorescent compound is not particularly limited, and can be obtained in principle by selecting a central metal, a ligand, a ligand substituent, and the like. The emission wavelength can be changed.

本発明の有機EL素子や本発明に係る化合物の発光する色は、「新編色彩科学ハンドブック」(日本色彩学会編、東京大学出版会、1985)の108頁の図4.16において、分光放射輝度計CS−1000(コニカミノルタセンシング社製)で測定した結果をCIE色度座標に当て嵌めた時の色で決定される。   The light emission color of the organic EL device of the present invention and the compound according to the present invention is shown in FIG. 4.16 on page 108 of “New Color Science Handbook” (edited by the Japan Color Society, University of Tokyo Press, 1985). It is determined by the color when the result measured with the total CS-1000 (manufactured by Konica Minolta Sensing) is applied to the CIE chromaticity coordinates.

本発明で言うところの白色素子とは、2℃視野角正面輝度を上記方法により測定した際に、1000cd/m2でのCIE1931 表色系における色度がX=0.33±0.07、Y=0.33±0.07の領域内にあることを言う。 The white element referred to in the present invention means that the chromaticity in the CIE1931 color system at 1000 cd / m 2 is X = 0.33 ± 0.07 when the front luminance at 2 ° C. viewing angle is measured by the above method. It is in the region of Y = 0.33 ± 0.07.

本発明の有機EL素子の発光の室温における外部取り出し効率は1%以上であることが好ましく、より好ましくは5%以上である。ここに、外部取り出し量子効率(%)=有機EL素子外部に発光した光子数/有機EL素子に流した電子数×100である。   The external extraction efficiency at room temperature of light emission of the organic EL device of the present invention is preferably 1% or more, more preferably 5% or more. Here, the external extraction quantum efficiency (%) = the number of photons emitted to the outside of the organic EL element / the number of electrons sent to the organic EL element × 100.

又、カラーフィルター等の色相改良フィルター等を併用しても、有機EL素子からの発光色を蛍光体を用いて多色へ変換する色変換フィルターを併用してもよい。色変換フィルターを用いる場合においては、有機EL素子の発光のλmaxは480nm以下が好ましい。   In addition, a hue improvement filter such as a color filter may be used in combination, or a color conversion filter that converts the emission color from the organic EL element into multiple colors using a phosphor may be used in combination. In the case of using a color conversion filter, the λmax of light emission of the organic EL element is preferably 480 nm or less.

本発明の有機EL素子は、発光層で発生した光を効率よく取り出すために以下に示す方法を併用することが好ましい。有機EL素子は、空気よりも屈折率の高い(屈折率が1.7〜2.1程度)層の内部で発光し、発光層で発生した光の内15%から20%程度の光しか取り出せないことが一般的に言われている。これは、臨界角以上の角度θで界面(透明基板と空気との界面)に入射する光は、全反射を起こし素子外部に取り出すことが出来ないことや、透明電極ないし発光層と透明基板との間で光が全反射を起こし、光が透明電極ないし発光層を導波し、結果として、光が素子側面方向に逃げるためである。   The organic EL device of the present invention preferably uses the following method in combination in order to efficiently extract light generated in the light emitting layer. The organic EL element emits light inside a layer having a refractive index higher than that of air (refractive index is about 1.7 to 2.1), and only about 15% to 20% of the light generated in the light emitting layer can be extracted. It is generally said that there is no. This is because the light incident on the interface (interface between the transparent substrate and air) at an angle θ greater than the critical angle causes total reflection and cannot be taken out of the element, or the transparent electrode or light emitting layer and the transparent substrate This is because the light undergoes total reflection between them, the light is guided through the transparent electrode or the light emitting layer, and as a result, the light escapes in the direction of the side surface of the device.

この光の取り出しの効率を向上させる手法としては、例えば、透明基板表面に凹凸を形成し、透明基板と空気界面での全反射を防ぐ方法(米国特許第4,774,435)。基板に集光性を持たせることにより効率を向上させる方法(特開昭63−314795号公報)。素子の側面等に反射面を形成する方法(特開平1−220394号公報)。基板と発光体の間に中間の屈折率を持つ平坦層を導入し、反射防止膜を形成する方法(特開昭62−172691号公報)。基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法(特開2001−202827号公報)。基板、透明電極層や発光層の何れかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法(特開平11−283751号公報)などがある。   As a technique for improving the light extraction efficiency, for example, a method of forming irregularities on the surface of the transparent substrate to prevent total reflection at the interface between the transparent substrate and the air (US Pat. No. 4,774,435). A method for improving efficiency by providing a substrate with a light condensing property (JP-A-63-314795). A method of forming a reflective surface on the side surface of an element (Japanese Patent Laid-Open No. 1-220394). A method of forming an antireflection film by introducing a flat layer having an intermediate refractive index between a substrate and a light emitter (Japanese Patent Laid-Open No. 62-172691). A method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the substrate between the substrate and the light emitter (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-202827). There is a method of forming a diffraction grating between any one of a substrate, a transparent electrode layer, and a light emitting layer (including between the substrate and the outside) (Japanese Patent Laid-Open No. 11-283951).

本発明においては、これらの方法を有機EL素子と組み合わせて用いることが出来るが、基板と発光体の間に基板よりも低屈折率を持つ平坦層を導入する方法、或いは基板、透明電極層や発光層の何れかの層間(含む、基板と外界間)に回折格子を形成する方法を好適に用いることが出来る。本発明においては、これらの手段を組み合わせることにより、更に高輝度或いは耐久性に優れた素子を得ることが出来る。   In the present invention, these methods can be used in combination with an organic EL element. However, a method of introducing a flat layer having a lower refractive index than the substrate between the substrate and the light emitter, or a substrate, a transparent electrode layer, A method of forming a diffraction grating between any layers of the light emitting layer (including between the substrate and the outside) can be suitably used. In the present invention, by combining these means, it is possible to obtain an element having higher luminance or durability.

透明電極と透明基板の間に低屈折率の媒質を光の波長よりも長い厚みで形成すると、透明電極から出てきた光は、媒質の屈折率が低いほど、外部への取り出し効率が高くなる。低屈折率層としては、例えば、エアロゲル、多孔質シリカ、フッ化マグネシウム、フッ素系ポリマーなどが挙げられる。透明基板の屈折率は一般に1.5〜1.7程度であるので、低屈折率層は、屈折率がおよそ1.5以下であることが好ましい。又、更に1.35以下であることが好ましい。低屈折率媒質の厚みは、媒質中の波長の2倍以上となるのが望ましい。これは、低屈折率媒質の厚みが、光の波長程度になってエバネッセントで染み出した電磁波が基板内に入り込む膜厚になると、低屈折率層の効果が薄れるからである。全反射を起こす界面もしくは何れかの媒質中に回折格子を導入する方法は、光取り出し効率の向上効果が高いという特徴がある。この方法は、回折格子が1次の回折や、2次の回折といった所謂ブラッグ回折により、光の向きを屈折とは異なる特定の向きに変えることが出来る性質を利用して、発光層から発生した光の内、層間での全反射等により外に出ることが出来ない光を、何れかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)に回折格子を導入することで光を回折させ、光を外に取り出そうとするものである。導入する回折格子は、二次元的な周期屈折率を持っていることが望ましい。これは、発光層で発光する光はあらゆる方向にランダムに発生するので、ある方向にのみ周期的な屈折率分布を持っている一般的な1次元回折格子では、特定の方向に進む光しか回折されず、光の取り出し効率がさほど上がらない。しかしながら、屈折率分布を二次元的な分布にすることにより、あらゆる方向に進む光が回折され、光の取り出し効率が上がる。   When a low refractive index medium is formed between the transparent electrode and the transparent substrate with a thickness longer than the wavelength of light, the light extracted from the transparent electrode has a higher extraction efficiency to the outside as the refractive index of the medium is lower. . Examples of the low refractive index layer include aerogel, porous silica, magnesium fluoride, and a fluorine-based polymer. Since the refractive index of the transparent substrate is generally about 1.5 to 1.7, the low refractive index layer preferably has a refractive index of about 1.5 or less. Further, it is preferably 1.35 or less. The thickness of the low refractive index medium is preferably at least twice the wavelength in the medium. This is because the effect of the low refractive index layer is diminished when the thickness of the low refractive index medium is about the wavelength of light and the electromagnetic wave that has exuded by evanescent enters the substrate. The method of introducing a diffraction grating into an interface or any medium that causes total reflection is characterized by a high effect of improving light extraction efficiency. This method is generated from the light emitting layer by utilizing the property that the diffraction grating can change the direction of light to a specific direction different from refraction by so-called Bragg diffraction such as first-order diffraction and second-order diffraction. Of the light, the light that cannot go out due to total reflection between layers, etc. is diffracted by introducing a diffraction grating into any layer or medium (inside a transparent substrate or transparent electrode) , Trying to extract light out. The introduced diffraction grating desirably has a two-dimensional periodic refractive index. This is because light emitted from the light-emitting layer is randomly generated in all directions, so in a general one-dimensional diffraction grating having a periodic refractive index distribution only in a certain direction, only light traveling in a specific direction is diffracted. The light extraction efficiency does not increase so much. However, by making the refractive index distribution a two-dimensional distribution, light traveling in all directions is diffracted, and light extraction efficiency is increased.

回折格子を導入する位置としては前述のとおり、何れかの層間もしくは、媒質中(透明基板内や透明電極内)でもよいが、光が発生する場所である有機発光層の近傍が望ましい。この時、回折格子の周期は、媒質中の光の波長の約1/2〜3倍程度が好ましい。回折格子の配列は、正方形のラチス状、三角形のラチス状、ハニカムラチス状など、2次元的に配列が繰り返されることが好ましい。   As described above, the position where the diffraction grating is introduced may be in any of the layers or in the medium (in the transparent substrate or the transparent electrode), but is preferably in the vicinity of the organic light emitting layer where light is generated. At this time, the period of the diffraction grating is preferably about 1/2 to 3 times the wavelength of light in the medium. The arrangement of the diffraction gratings is preferably two-dimensionally repeated, such as a square lattice, a triangular lattice, or a honeycomb lattice.

更に、本発明の有機EL素子は、発光層で発生した光を効率よく取り出すために、基板の光取り出し側に、例えばマイクロレンズアレイ上の構造を設けるように加工したり、或いは、所謂集光シートと組み合わせることにより、特定方向、例えば素子発光面に対し正面方向に集光することにより、特定方向上の輝度を高めることが出来る。マイクロレンズアレイの例としては、基板の光取り出し側に一辺が30μmでその頂角が90度となるような四角錐を2次元に配列する。一辺は10μm〜100μmが好ましい。これより小さくなると回折の効果が発生して色付く、大きすぎると厚みが厚くなり好ましくない。   Furthermore, the organic EL device of the present invention is processed so as to provide, for example, a structure on the microlens array on the light extraction side of the substrate in order to efficiently extract light generated in the light emitting layer, or so-called condensing. By combining with the sheet, the luminance in the specific direction can be increased by collecting light in a specific direction, for example, in the front direction with respect to the element light emitting surface. As an example of the microlens array, quadrangular pyramids having a side of 30 μm and an apex angle of 90 degrees are two-dimensionally arranged on the light extraction side of the substrate. One side is preferably 10 μm to 100 μm. If it becomes smaller than this, the effect of diffraction will generate | occur | produce and color, and if too large, thickness will become thick and is not preferable.

集光シートとしては、例えば液晶表示装置のLEDバックライトで実用化されているものを用いることが可能である。この様なシートとして例えば、住友スリーエム社製輝度上昇フィルム(BEF)などを用いることが出来る。プリズムシートの形状としては、例えば基材に頂角90度、ピッチ50μmの△状のストライプが形成されたものであってもよいし、頂角が丸みを帯びた形状、ピッチをランダムに変化させた形状、その他の形状であってもよい。又、発光素子からの光放射角を制御するために光拡散板・フィルムを、集光シートと併用してもよい。例えば、(株)きもと製拡散フィルム(ライトアップ)などを用いることが出来る。   As the condensing sheet, for example, a sheet that is put into practical use in an LED backlight of a liquid crystal display device can be used. As such a sheet, for example, a brightness enhancement film (BEF) manufactured by Sumitomo 3M Limited can be used. As the shape of the prism sheet, for example, a substrate may be formed with a Δ-shaped stripe having an apex angle of 90 degrees and a pitch of 50 μm, or the apex angle is rounded and the pitch is changed randomly. Other shapes may be used. Moreover, in order to control the light emission angle from a light emitting element, you may use a light-diffusion plate and a film together with a condensing sheet. For example, a diffusion film (light-up) manufactured by Kimoto Co., Ltd. can be used.

以下、実施例を挙げて本発明の具体的な効果を示すが、本発明の態様はこれに限定されるものではない。   Hereinafter, although an example is given and the concrete effect of the present invention is shown, the mode of the present invention is not limited to this.

実施例1
(巻き取り補助部材の準備)
巻き取り補助部材として表1に示す様に静摩擦係数を変えた厚さ40μmのPETを準備し、巻き取り補助部材No.1−1〜1−11とした。静摩擦係数はPETの表面を機械的に粗面化することで変えた。尚、巻き取り補助部材の幅は有機EL素子を構成する各層を有する帯状可撓性支持体と同じ幅とし、クラーク柔軟度は100であった。尚、静摩擦係数は、JIS P 8147に準じ、新東科学(株)製表面試験器で測定した値を示す。クラーク柔軟度は、JIS P 8143に準じ、熊谷理機工業(株)製自動クラーク剛度試験器で測定した値を示す。
Example 1
(Preparation of winding auxiliary member)
As shown in Table 1, a 40 μm thick PET having a different coefficient of static friction was prepared as a winding auxiliary member. 1-1 to 1-11. The static friction coefficient was changed by mechanically roughening the surface of PET. In addition, the width | variety of the winding assistance member was made into the same width as the strip | belt-shaped flexible support body which has each layer which comprises an organic EL element, and the Clark softness | flexibility was 100. The static friction coefficient is a value measured with a surface tester manufactured by Shinto Kagaku Co., Ltd. according to JIS P 8147. The Clark flexibility indicates a value measured by an automatic Clark stiffness tester manufactured by Kumagaya Riki Kogyo Co., Ltd. according to JIS P 8143.

Figure 0005055711
Figure 0005055711

〈ガスバリア層と第1電極層とをこの順番で有する帯状可撓性支持体の準備〉
厚さ100μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(帝人・デユポン社製フィルム、以下、PETと略記する)を用い、以下に示す方法でガスバリア層と第1電極とを形成し、巻き芯に巻き取りロール状としたガスバリア層と第1電極とをこの順番で有する帯状可撓性支持体を準備した。
<Preparation of strip-shaped flexible support having gas barrier layer and first electrode layer in this order>
Using a polyethylene terephthalate film having a thickness of 100 μm (a film made by Teijin-Deupon, hereinafter abbreviated as PET), a gas barrier layer and a first electrode are formed by the method described below, and a winding roll is formed on the winding core. A belt-like flexible support having a gas barrier layer and a first electrode in this order was prepared.

(透明性ガスバリア層の形成)
準備したPET上に、大気圧プラズマ放電処理法で、厚さ約90nmの透明ガスバリア層を形成した。JISk−7129Bに準拠した方法により水蒸気透過率を測定した結果、10-3g/m2/day以下であった。JISk−7126Bに準拠した方法により酸素透過率を測定した結果、10-3g/m2/day以下であった。
(Formation of a transparent gas barrier layer)
On the prepared PET, a transparent gas barrier layer having a thickness of about 90 nm was formed by an atmospheric pressure plasma discharge treatment method. As a result of measuring the water vapor transmission rate by a method based on JISk-7129B, it was 10 −3 g / m 2 / day or less. As a result of measuring the oxygen transmission rate by a method based on JISk-7126B, it was 10 −3 g / m 2 / day or less.

(第1電極の形成)
形成したバリア層の上に厚さ120nmのITO(インジウムチンオキシド)を蒸着法によりパターニングを行い、第1電極を形成した。
(Formation of the first electrode)
On the barrier layer thus formed, ITO (indium tin oxide) having a thickness of 120 nm was patterned by a vapor deposition method to form a first electrode.

(正孔輸送層、発光層の形成)
図2に示す工程を使用し、準備した巻き芯に巻きりロール状としたガスバリア層と第1電極とをこの順番で有する帯状可撓性支持体の第1電極の上に以下に示す正孔輸送層形成用塗布液をエクストルージョン塗布機を使用した湿式塗布方式により塗布・乾燥した後、帯電処理を行い、引き続き引き正孔輸送層上に、発光層形成用塗布液をエクストルージョン塗布機を使用した湿式塗布方式により塗布・乾燥し発光層を形成した後、帯電処理し、室温と同じ温度になるまで冷却した後、巻き芯に巻き取りロール状とした。尚、搬送速度は、2m/分とした。搬送速度は、三菱電機(株)製 レーザドップラ速度計LV203で測定した。
(Formation of hole transport layer and light emitting layer)
Holes shown below on the first electrode of the strip-shaped flexible support having the gas barrier layer wound around the prepared core and the first electrode in this order using the step shown in FIG. The coating liquid for transport layer formation is applied and dried by a wet coating method using an extrusion coating machine, and then charged, and then the coating liquid for forming the light emitting layer is applied onto the hole transport layer by using an extrusion coating machine. After applying and drying by the wet application method used to form a light emitting layer, it was charged, cooled to the same temperature as room temperature, and then wound around the winding core. The conveyance speed was 2 m / min. The conveyance speed was measured with a laser Doppler velocimeter LV203 manufactured by Mitsubishi Electric Corporation.

正孔輸送層形成用塗布液を塗布する前に、帯状可撓性支持体の洗浄表面改質処理を、波長184.9nmの低圧水銀ランプを使用し、照射強度15mW/cm2、距離10mmで実施した。帯電除去処理は、微弱X線による除電器を使用し行った。 Before applying the coating liquid for forming the hole transport layer, the surface of the belt-like flexible support is subjected to a cleaning surface modification treatment using a low-pressure mercury lamp with a wavelength of 184.9 nm at an irradiation intensity of 15 mW / cm 2 and a distance of 10 mm. Carried out. The charge removal treatment was performed using a static eliminator with weak X-rays.

正孔輸送層形成用塗布液は乾燥後の厚みが50nmになるように塗布した。発光層形成用塗布液は乾燥後の厚みが100nmになるように塗布した。尚、搬送速度は2m/minで実施した。   The coating liquid for forming the hole transport layer was applied so that the thickness after drying was 50 nm. The light emitting layer forming coating solution was applied so that the thickness after drying was 100 nm. The conveyance speed was 2 m / min.

正孔輸送層形成用塗布液の準備
ポリエチレンジオキシチオフェン・ポリスチレンスルホネート(PEDOT/PSS、Bayer社製 Bytron P AI 4083)を純水で65%、メタノール5%で希釈した溶液を正孔輸送層形成用塗布液として準備した。正孔輸送層形成用塗布液の表面張力は40×10-3N/m(協和界面化学社製:表面張力計CBVP−A3)であった。
Preparation of coating solution for forming hole transport layer Polyethylene dioxythiophene / polystyrene sulfonate (PEDOT / PSS, Baytron P AI 4083 manufactured by Bayer) diluted with pure water 65% and methanol 5% to form hole transport layer It was prepared as a coating solution. The surface tension of the coating liquid for forming a hole transport layer was 40 × 10 −3 N / m (manufactured by Kyowa Interface Chemical Co., Ltd .: surface tension meter CBVP-A3).

発光層形成用塗布液の準備
ホスト材のポリビニルカルバゾール(PVK)にドーパント材Ir(ppy)3を5質量%を1,2−ジクロロエタン中に溶解し10%溶液とし発光層形成用塗布液として準備した。発光層形成用塗布液の表面張力は32×10-3N/m(協和界面化学社製:表面張力計CBVP−A3)であった。発光層のガラス転移温度は225℃であった。尚、本例は緑色の発光を有する材料を用いたが、更に青色、赤色及びドーパント材を使用し積層させることで、白色の有機EL素子を作製することが可能である。
Preparation of a coating solution for forming a light emitting layer 5% by mass of a dopant material Ir (ppy) 3 is dissolved in 1,2-dichloroethane in polyvinyl carbazole (PVK) as a host material to prepare a coating solution for forming a light emitting layer. did. The surface tension of the coating solution for forming the light emitting layer was 32 × 10 −3 N / m (manufactured by Kyowa Interface Chemical Co., Ltd .: surface tension meter CBVP-A3). The glass transition temperature of the light emitting layer was 225 degreeC. In addition, although the material which has green light emission was used for this example, it is possible to produce a white organic EL element by laminating | stacking further using blue, red, and a dopant material.

塗布条件
正孔輸送層形成用塗布液の塗布時の温度は、25℃、発光層形成用塗布液の塗布時の温度は、25℃の環境の大気環境下で行った。尚、湿式塗布工程は露点温度−20℃以下且つ清浄度クラス5以下(JIS B 9920)とした。
Coating conditions The temperature at the time of application of the hole transport layer forming coating solution was 25 ° C., and the temperature at the time of coating of the light emitting layer forming coating solution was 25 ° C. in an atmospheric environment. The wet coating process was performed with a dew point temperature of −20 ° C. or lower and a cleanliness class 5 or lower (JIS B 9920).

乾燥及び加熱処理条件
正孔輸送層形成用塗布液を塗布した後、図2示す第1乾燥装置及び第1加熱処理装置を使用し、第1乾燥装置ではスリットノズル形式の吐出口から成膜面に向け高さ100mm、吐出風速1m/s、幅手の風速分布5%、温度100℃で溶媒を除去した後、引き続き、第1加熱処理装置で温度200℃で裏面伝熱方式の熱処理を行い正孔輸送層を形成した。発光層形成用塗布液を塗布した後、図2の(b)に示す第2乾燥装置及び第2加熱処理装置を使用し、第2乾燥装置ではスリットノズル形式の吐出口から成膜面に向け高さ100mm、吐出風速1m/s、幅手の風速分布5%、温度60℃で溶媒を除去した後、引き続き、第2加熱処理装置で温度220℃で加熱処理を行い発光層を形成した。
Drying and Heat Treatment Conditions After coating the hole transport layer forming coating solution, the first drying device and the first heat treatment device shown in FIG. 2 are used. After removing the solvent at a height of 100 mm, a discharge wind speed of 1 m / s, a wide wind speed distribution of 5%, and a temperature of 100 ° C., a backside heat transfer system heat treatment is subsequently performed at a temperature of 200 ° C. in a first heat treatment apparatus. A hole transport layer was formed. After the light emitting layer forming coating solution is applied, the second drying device and the second heat treatment device shown in FIG. 2B are used. In the second drying device, the slit nozzle type discharge port is directed toward the film formation surface. After removing the solvent at a height of 100 mm, a discharge wind speed of 1 m / s, a wide wind speed distribution of 5%, and a temperature of 60 ° C., a heat treatment was subsequently performed at a temperature of 220 ° C. in a second heat treatment apparatus to form a light emitting layer.

(電子注入層、第2電極の形成)
引き続き、形成された発光層の上に図2に示す陰極層形成工程、封止層形成工程を使用し、5×10-4Pa真空下にて厚さ0.5nmのLiF層(電子注入層)を全面蒸着し、マスクを介して第1電極とは直交するように幅50μm、も間隔30μmのパターン形成された厚さ100nmのアルミ層(第2電極)を蒸着方式で形成した後、引き続き封止層の形成を蒸着で行い、室温まで冷却した。
(Formation of electron injection layer and second electrode)
Subsequently, a cathode layer forming step and a sealing layer forming step shown in FIG. 2 are used on the formed light emitting layer, and a LiF layer (electron injection layer) having a thickness of 0.5 nm under 5 × 10 −4 Pa vacuum. ) On the entire surface, and after forming a 100 nm thick aluminum layer (second electrode) with a width of 50 μm and a spacing of 30 μm so as to be orthogonal to the first electrode through a mask, the deposition method is continued. The sealing layer was formed by vapor deposition and cooled to room temperature.

(ロール状有機EL素子の作製)
引き続き、図3に示す巻き取り補助部材重ね合わせ装置を使用し、準備した巻き取り補助部材1−1〜1−11を使用し、巻き芯に巻き取りロール状有機EL素子を作製し試料101〜111とした。尚、巻き取り時の張力は、400〜500N/m幅の範囲で巻き径に応じて可変とし150mを巻き取った。又、巻き取り補助部材を付与し巻き取る際、露点温度−35°、JIS B 9920に準じて測定した清浄度クラスを5の環境条件で行った。
(Production of roll organic EL element)
Subsequently, using the winding assisting member overlapping apparatus shown in FIG. 3, using the prepared winding assisting members 1-1 to 1-11, a winding roll-shaped organic EL element was produced on the winding core, and samples 101 to 111. The tension during winding was variable in accordance with the winding diameter in the range of 400 to 500 N / m width, and 150 m was wound. In addition, when the take-up assisting member was applied and taken up, the cleanliness class measured according to JIS B 9920 was performed at a dew point temperature of −35 ° under 5 environmental conditions.

評価
作製した試料No.101〜109に付き、擦り傷を以下に示す評価方法に従って計測し、以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表2に示す。
Evaluation The produced sample No. Table 2 shows the results obtained by measuring the scratches according to the evaluation methods shown below according to the evaluation methods shown below.

擦り傷の評価方法
巻き始めから10mの箇所から30cm×30cmの試料を10枚サンプリングし、8倍のルーペにより目視で長さ100μmの擦り傷の数を計測した。10枚の擦り傷の数の平均値を計測した。
Evaluation Method of Scratches Ten samples of 30 cm × 30 cm were sampled from a location 10 m from the beginning of winding, and the number of scratches having a length of 100 μm was visually measured with an 8 times loupe. The average number of 10 scratches was measured.

擦り傷の評価ランク
○:擦り傷の数の平均値数が5個未満
△:擦り傷の数の平均値数が5個以上、10個未満
×:擦り傷の数の平均値数が10個以上
Evaluation rank of scratches ○: Average number of scratches is less than 5 Δ: Average number of scratches is 5 or more and less than 10 ×: Average number of scratches is 10 or more

Figure 0005055711
Figure 0005055711

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例2
実施例1で作製した試料No.1−4を作製する時、巻き取り補助部材のクラーク柔軟度を表4に示す様に変えた他は全て同じ条件でロール状有機EL素子を作製し試料201〜206とした。尚、柔軟度は、巻き取り補助部材の厚みを変更することにより変化した。
Example 2
Sample No. 1 prepared in Example 1 was used. When producing 1-4, a roll-shaped organic EL device was produced under the same conditions except that the Clark flexibility of the winding assisting member was changed as shown in Table 4, and used as samples 201-206. Note that the flexibility was changed by changing the thickness of the winding assisting member.

評価
作製した試料No.201〜206に付き、実施例1と同じ評価項目を同じ評価方法で評価し、同じ評価ランクに従って評価した結果を表3に示す。
Evaluation The produced sample No. Table 3 shows the results of evaluation of the same evaluation items as in Example 1 with the same evaluation method, and evaluation according to the same evaluation rank.

Figure 0005055711
Figure 0005055711

試料No.201は擦り傷は問題なかったが、取り扱い性が問題となり実用可に際して何らかの対策が必要とされることが判った。本発明の有効性が確認された。   Sample No. Although 201 had no problem with scratches, it was found that handling was a problem and some countermeasures were required for practical use. The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例3
実施例1で作製した試料No.1−4を作製する時、巻き取り補助部材を低密度ポリエチレンに変え、巻き取り補助部材の有機EL素子の総厚に対する厚さ(%)を表4に示す様に変えた他は全て同じ条件でロール状有機EL素子を作製し試料301〜309とした。
Example 3
Sample No. 1 prepared in Example 1 was used. When producing 1-4, the winding auxiliary member was changed to low density polyethylene, and the thickness (%) with respect to the total thickness of the organic EL element of the winding auxiliary member was changed as shown in Table 4, and all the same conditions. Thus, a roll-shaped organic EL device was prepared as Samples 301 to 309.

評価
作製した試料No.301〜309に付き、実施例1と同じ評価項目を同じ評価方法で評価し、同じ評価ランクに従って評価した結果を表4に示す。
Evaluation The produced sample No. Table 4 shows the results of evaluation of the same evaluation items as in Example 1 with the same evaluation method, and evaluation according to the same evaluation rank.

Figure 0005055711
Figure 0005055711

試料No.301は、擦り傷の発生は認められなかったが、巻き取り補助部材の取り扱い難くなり、何らかの対策が必要とすることを確認した。本発明の有効性が確認された。   Sample No. In No. 301, no generation of scratches was observed, but it became difficult to handle the winding assisting member, and it was confirmed that some measures were required. The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例4
実施例1で作製した試料No.1−4を作製する時、巻き取り補助部材をPEでラミネートしたラミネート紙を使用し、巻き取り補助部材の含水量を表5に示す様に変えた他は全て同じ条件でロール状有機EL素子を作製し試料401〜407とした。尚、含水量は、ラミネート紙を加湿処理又は除湿処理を行うことにより変化した。含水量は、JIS P 8127に準じて測定した値を示す。
Example 4
Sample No. 1 prepared in Example 1 was used. When producing 1-4, a roll-shaped organic EL device was used under the same conditions except that a laminate paper obtained by laminating a winding auxiliary member with PE was used and the water content of the winding auxiliary member was changed as shown in Table 5. Were prepared as Samples 401-407. The water content was changed by performing a humidification process or a dehumidification process on the laminated paper. The water content is a value measured according to JIS P 8127.

評価
作製した試料No.401〜407に付き、ダークスポット(未発光部分)と擦り傷を以下に示す評価方法で計測し、以下に示す評価ランクに従って評価した結果を表5に示す。尚、擦り傷は実施例1と同じ評価方法、同じ評価ランクに従って評価した。
Evaluation The produced sample No. Table 5 shows the results obtained by measuring dark spots (non-light-emitting portions) and scratches with reference to 401 to 407 by the evaluation method shown below and evaluating according to the evaluation rank shown below. The scratches were evaluated according to the same evaluation method and the same evaluation rank as in Example 1.

ダークスポットの評価方法
東洋テクニカ(株)製 ソースメジャーユニット2400型を用いて、直流電圧を有機EL素子に印加し発光させた。この際、100cd/m2で発光させた時のダークスポットの数(1画素(50μm×150μm)当たりの数)を100倍のルーペを使用し目視で計測した。
Dark Spot Evaluation Method Using a source measure unit 2400 type manufactured by Toyo Technica Co., Ltd., a direct current voltage was applied to the organic EL element to emit light. At this time, the number of dark spots (the number per pixel (50 μm × 150 μm)) when light was emitted at 100 cd / m 2 was visually measured using a 100 times magnifier.

ダークスポットの評価ランク
○:ダークスポットが5個未満
△:ダークスポットが5個以上、10個未満
×:ダークスポットが10個以上
Dark spot evaluation rank ○: Less than 5 dark spots △: More than 5 dark spots Less than 10 ×: More than 10 dark spots

Figure 0005055711
Figure 0005055711

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例5
実施例1で作製した試料No.1−4を作製する時、工程の露点温度、清浄度クラスを表6に示す様に変えた他は全て同じ条件でロール状有機EL素子を作製し試料501〜509とした。尚、露点温度は、試料を作製する際、空間の雰囲気ガスに使用する気体(N2を使用)の純度及び乾燥条件によって変化した。清浄度クラスは、大気循環システムのフィルターを替えることにより変化した。
Example 5
Sample No. 1 prepared in Example 1 was used. When producing 1-4, roll organic EL elements were produced under the same conditions except that the dew point temperature and cleanliness class of the process were changed as shown in Table 6 to obtain samples 501 to 509. The dew point temperature varied depending on the purity of the gas used for the atmospheric gas in the space (using N 2 ) and the drying conditions when preparing the sample. The cleanliness class was changed by changing the air circulation system filter.

評価
作製した試料No.501〜509に付き、実施例1と同じ評価項目を同じ評価方法で評価し、同じ評価ランクに従って評価した結果を表6に示す。
Evaluation The produced sample No. Table 6 shows the results of evaluation of the same evaluation items as in Example 1 by the same evaluation method, and evaluation according to the same evaluation rank, in 501 to 509.

Figure 0005055711
Figure 0005055711

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例6
実施例1で作製した試料No.1−4を作製する時、巻き取り張力を表7に示す様に変えた他は全て同じ条件でロール状有機EL素子を作製し試料601〜609とした。尚、巻き取り張力は、巻き取り初期張力に対して150mを巻き取った時の巻き取り張力テーパーが80%となるようにした。巻き取り初期張力とは、巻き取り径がゼロの時の張力を示す。巻き取り張力テーパーとは、150m巻き取った時の巻き取り初期張力との割合を示す。
Example 6
Sample No. 1 prepared in Example 1 was used. When producing 1-4, a roll-shaped organic EL device was produced under the same conditions except that the winding tension was changed as shown in Table 7 to obtain samples 601 to 609. The winding tension was such that the winding tension taper when winding 150 m with respect to the initial winding tension was 80%. The initial winding tension indicates the tension when the winding diameter is zero. The winding tension taper indicates a ratio with the winding initial tension when winding 150 m.

評価
作製した試料No.601〜609に付き、実施例1と同じ評価項目を同じ評価方法で計測し、同じ評価ランクに従って評価した結果を表7に示す。
Evaluation The produced sample No. Table 7 shows the results obtained by measuring the same evaluation items as those of Example 1 with the same evaluation method and evaluating according to the same evaluation rank, with reference to 601 to 609.

Figure 0005055711
Figure 0005055711

試料No.601は擦り傷の発生は認められなかったが、巻きが緩く取り扱いに注意を必要とした。本発明の有効性が確認された。   Sample No. No scratches were observed in 601, but the winding was loose and handling was necessary. The effectiveness of the present invention was confirmed.

実施例7
実施例1で作製した試料No.1−4を表8に示す様に酸素濃度と水分濃度とを変えた保管条件で、3日間保管し試料701〜714とした。尚、酸素濃度及び水分濃度は、閉じた空間を一旦減圧にして真空状態にすることで水分濃度、酸素濃度を十分に下げ、大気に戻す際の雰囲気ガス(N2を使用)の純度により調整した。
酸素濃度、水分濃度は、(株)東京インスツルメンツ製 CIS100型クローズトイオンソースガス分析システムにより測定した値を示す。
Example 7
Sample No. 1 prepared in Example 1 was used. Samples 701 to 714 were stored for 3 days under storage conditions in which the oxygen concentration and water concentration were changed as shown in Table 8 in Table 1-4. The oxygen concentration and water concentration are adjusted according to the purity of the atmospheric gas (using N 2 ) when the closed space is once depressurized and brought into a vacuum state to sufficiently lower the water concentration and oxygen concentration and return to the atmosphere. did.
The oxygen concentration and the water concentration indicate values measured by a CIS100 closed ion source gas analysis system manufactured by Tokyo Instruments Co., Ltd.

評価
作製した試料No.701〜714に付き、実施例5と同じ評価項目を同じ評価方法で計測し、同じ評価ランクに従って評価した結果を表8に示す。
Evaluation The produced sample No. Table 8 shows the results of measuring 701 to 714, measuring the same evaluation items as in Example 5 with the same evaluation method, and evaluating according to the same evaluation rank.

Figure 0005055711
Figure 0005055711

本発明の有効性が確認された。   The effectiveness of the present invention was confirmed.

有機EL素子の層構成の一例を示す概略断面図である。It is a schematic sectional drawing which shows an example of the laminated constitution of an organic EL element. 有機EL素子を作製する製造装置の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows an example of the manufacturing apparatus which produces an organic EL element. 図2のHで示される部分の拡大概略斜視図である。It is an expansion schematic perspective view of the part shown by H of FIG. 有機EL素子を作製する製造装置の他の一例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows another example of the manufacturing apparatus which produces an organic EL element. 図4のIで示される部分の拡大概略斜視図である。It is an expansion schematic perspective view of the part shown by I of FIG. 図5の広幅巻き取り補助部材に代わり、細幅の巻き取り補助部材を両端に巻き込む場合の概略斜視図である。FIG. 6 is a schematic perspective view when a narrow winding auxiliary member is wound around both ends instead of the wide winding auxiliary member of FIG. 5. 図5、図6のロール状帯状可撓性支持体(照明用(面発光)有機EL素子)の拡大概略部分断面図である。It is an expansion schematic fragmentary sectional view of the roll-shaped strip | belt-shaped flexible support body (illumination (surface emission) organic EL element) of FIG. 5, FIG.

符号の説明Explanation of symbols

1a、1b 有機EL素子
101 基材
102 第1電極
103 正孔輸送層
104 発光層
105 電子注入層
106 第2電極
107 封止層
108 接着剤層
109 封止フィルム
2a 製造装置
3 供給工程
4 正孔輸送層形成工程
5 発光層形成工程
502f1 第1巻き取り補助部材供給部
6 電子注入層形成工程
7 第2電極形成工程
703b 第2巻き取り補助部材供給部
8 封止層形成工程
9 回収工程
9a 巻き取り補助部材供給部
902 巻き取り補助部材
9a2、12b2 清掃手段
9a3 第5帯電防止手段
9a31 非接触式帯電防止装置
9a32 接触式帯電防止装置
12b 第3巻き取り補助部材供給部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1a, 1b Organic EL element 101 Base material 102 1st electrode 103 Hole transport layer 104 Light emitting layer 105 Electron injection layer 106 2nd electrode 107 Sealing layer 108 Adhesive layer 109 Sealing film 2a Manufacturing apparatus 3 Supply process 4 Hole Transport layer forming process 5 Light emitting layer forming process 502f1 First winding assisting member supply part 6 Electron injection layer forming process 7 Second electrode forming process 703b Second winding assisting member supplying part 8 Sealing layer forming process 9 Recovery process 9a Winding Winding auxiliary member supply unit 902 Winding auxiliary member 9a2, 12b2 Cleaning unit 9a3 Fifth antistatic unit 9a31 Non-contact type antistatic device 9a32 Contact type antistatic device 12b Third winding auxiliary member supply unit

Claims (8)

帯状可撓性支持体の上に、少なくとも第1電極と、正孔輸送層と、発光層と、電子注入層と、第2電極と、封止層又は封止フィルムをこの順番で有する有機EL素子の製造方法であって、
少なくとも、前記帯状可撓性支持体の供給工程と、
A)前記第1電極を形成する第1電極形成工程と、
B)前記正孔輸送層を形成する正孔輸送層形成工程と、
C)前記発光層を形成する発光層形成工程と、
D)前記電子注入層を形成する電子注入層形成工程と、
E)前記第2電極を形成する第2電極形成工程と、
F)前記封止層を形成する封止層形成工程又は前記封止フィルムを貼着する封止フィルム貼着工程と、
G)前記有機EL素子の回収工程とを有する有機EL素子の製造方法において、
前記A)からG)の何れかの工程のうち、少なくとも一つの工程を経た前記帯状可撓性支持体を巻き取る時、前記帯状可撓性支持体の幅方向の両端に、巻き取り補助部材として所定幅の可撓性高分子フィルムを付与し巻き取ることを特徴とする有機EL素子の製造方法。
An organic EL having at least a first electrode, a hole transport layer, a light emitting layer, an electron injection layer, a second electrode, and a sealing layer or a sealing film in this order on the belt-like flexible support. A method for manufacturing an element, comprising:
At least the step of supplying the strip-shaped flexible support;
A) a first electrode forming step for forming the first electrode;
B) a hole transport layer forming step of forming the hole transport layer;
C) a light emitting layer forming step of forming the light emitting layer;
D) an electron injection layer forming step of forming the electron injection layer;
E) a second electrode forming step for forming the second electrode;
F) a sealing layer forming step for forming the sealing layer or a sealing film attaching step for attaching the sealing film;
G) In the manufacturing method of the organic EL element which has the collection | recovery process of the said organic EL element,
When winding the belt-like flexible support that has undergone at least one of the steps of A) to G), a winding auxiliary member is provided at both ends in the width direction of the belt-like flexible support. A method for producing an organic EL device, wherein a flexible polymer film having a predetermined width is applied and wound.
前記巻き取り補助部材は、清掃手段と帯電防止手段とにより処理されていることを特徴とする請求項1に記載の有機EL素子の製造方法。   The method of manufacturing an organic EL element according to claim 1, wherein the winding assisting member is processed by a cleaning unit and an antistatic unit. 前記帯電防止手段が非接触式帯電防止装置と接触式帯電防止装置とを有していることを特徴とする請求項2に記載の有機EL素子の製造方法。   3. The method of manufacturing an organic EL element according to claim 2, wherein the antistatic means includes a non-contact type antistatic device and a contact type antistatic device. 前記巻き取り補助部材は、JIS P 8127に準じて測定した含水量が1〜10質量%であることを特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法。   The method for manufacturing an organic EL element according to any one of claims 1 to 3, wherein the winding assisting member has a water content measured according to JIS P 8127 of 1 to 10 mass%. 前記巻き取り補助部材は、厚さが有機EL素子の総厚に対して10〜200%であることを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法。   The method for manufacturing an organic EL element according to any one of claims 1 to 4, wherein the winding assisting member has a thickness of 10 to 200% with respect to a total thickness of the organic EL element. 前記巻き取り補助部材を付与し巻き取る際、露点温度−90〜−20、JIS B 9920に準じて測定した清浄度クラスが5以下の環境条件で行われることを特徴とする請求項1〜5の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法。 When taking imparted by winding the winding auxiliary member, according to claim 1, characterized in that the dew point temperature -9 0 to -20 ° C., cleanliness class measured according to JIS B 9920 is performed in 5 following environmental conditions The manufacturing method of the organic EL element of any one of -5. 前記巻き取り補助部材を付与し巻き取られた有機EL素子は、酸素濃度1〜100ppm、水分濃度1〜100ppmの環境下に保管されることを特徴とする請求項1〜6の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法。   The organic EL element wound with the winding assisting member is stored in an environment having an oxygen concentration of 1 to 100 ppm and a water concentration of 1 to 100 ppm. The manufacturing method of the organic EL element of description. 請求項1〜7の何れか1項に記載の有機EL素子の製造方法により製造されたことを特徴とする有機EL素子。   An organic EL device manufactured by the method for manufacturing an organic EL device according to claim 1.
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Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4963419B2 (en) * 2007-01-31 2012-06-27 キヤノン株式会社 Flexible display device
JP5104849B2 (en) * 2007-02-22 2012-12-19 コニカミノルタホールディングス株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescent element, organic electroluminescent element
JP5418505B2 (en) * 2009-02-03 2014-02-19 コニカミノルタ株式会社 Organic electronic device and method for manufacturing the same
US8728950B2 (en) 2009-06-18 2014-05-20 Konica Minolta Holdings, Inc. Coating method, and organic electroluminescence element
WO2011114870A1 (en) * 2010-03-16 2011-09-22 コニカミノルタホールディングス株式会社 Production method for organic electroluminescent element
JP5505054B2 (en) * 2010-04-13 2014-05-28 コニカミノルタ株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescence element
JP2012022884A (en) * 2010-07-14 2012-02-02 Mitsubishi Chemicals Corp Manufacturing method of organic electroluminescent element, organic electroluminescent element, organic el lighting device, and organic el display device
JP2012238555A (en) 2011-05-13 2012-12-06 Nitto Denko Corp Method for manufacturing organic el element, device for manufacturing the organic el element, and organic el element
JPWO2012169368A1 (en) * 2011-06-06 2015-02-23 コニカミノルタ株式会社 Winding device and winding method
JP5949054B2 (en) * 2012-03-30 2016-07-06 大日本印刷株式会社 Flexible substrate roll for organic electroluminescence device formation
JP5862439B2 (en) * 2012-04-26 2016-02-16 コニカミノルタ株式会社 Organic semiconductor device and manufacturing method thereof
JP6384328B2 (en) * 2012-12-26 2018-09-05 コニカミノルタ株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescence panel
JP6213254B2 (en) * 2014-01-20 2017-10-18 コニカミノルタ株式会社 Method for manufacturing organic electroluminescence device
JP6262108B2 (en) * 2014-09-18 2018-01-17 富士フイルム株式会社 Method for producing functional film
JP6660702B2 (en) 2015-10-08 2020-03-11 住友化学株式会社 Method of manufacturing organic electronic device and organic electronic device
JP6796853B2 (en) * 2016-09-28 2020-12-09 国立大学法人山形大学 Manufacturing method of OLED lighting element
JP6576896B2 (en) 2016-09-30 2019-09-18 富士フイルム株式会社 Winding method and winding device
JP6836908B2 (en) 2017-01-10 2021-03-03 住友化学株式会社 Manufacturing method of organic device
JP6375015B1 (en) 2017-04-25 2018-08-15 住友化学株式会社 Method for manufacturing organic electronic device
JP6375016B1 (en) 2017-04-26 2018-08-15 住友化学株式会社 SUBSTRATE WITH ELECTRODE, LAMINATED SUBSTRATE, AND METHOD FOR MANUFACTURING ORGANIC DEVICE
US10698448B2 (en) 2017-09-29 2020-06-30 Sharp Kabushiki Kaisha Elastic support substrate for flexible display, flexible display, and flexible display layered body

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09107116A (en) * 1995-10-11 1997-04-22 Canon Inc Deposition film forming equipment
JPH09116183A (en) * 1995-10-16 1997-05-02 Canon Inc Substrate winding device for deposited film manufacturing equipment
JPH1161063A (en) * 1997-08-20 1999-03-05 Mitsubishi Paper Mills Ltd Cleaning paper for inkjet recording and method of maintaining recording apparatus
US6579422B1 (en) * 1999-07-07 2003-06-17 Sony Corporation Method and apparatus for manufacturing flexible organic EL display
JP4765170B2 (en) * 2001-01-24 2011-09-07 ソニー株式会社 Manufacturing method of display device
JP2004001465A (en) * 2002-04-15 2004-01-08 Fuji Photo Film Co Ltd Method and apparatus for manufacturing pattern member
JP4141263B2 (en) * 2003-01-20 2008-08-27 帝人株式会社 Method for producing polyethylene terephthalate film
JP2004300574A (en) * 2003-03-20 2004-10-28 Canon Inc Substrate processing equipment

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