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JP4930897B2 - Bi2O3−B2O3系封着材料 - Google Patents

Bi2O3−B2O3系封着材料 Download PDF

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Description

本発明は、電子部品の封着に好適なB−B系封着材料に関するものである。
従来から電子部品の接着材料や封着材料として、また、電子部品に形成された電極や抵抗体の保護や絶縁のための被覆材料としてガラスが用いられている。
これらのガラスは、その用途に応じて化学耐久性、機械的強度、流動性、電気絶縁性等様々な特性が要求されるが、何れの用途にも共通する特性として、低温で焼成可能であることが挙げられる。それゆえ何れの用途においても、ガラスの軟化点を下げる効果が極めて大きいPbOを多量に含有する低融点ガラス(例えば、特許文献1参照。)が広く用いられてきている。
ところが最近、PbOを含有する低融点ガラスに対して環境上の問題が指摘されており、PbOを含まない低融点ガラスに置き換えることが望まれている。
そのため、PbO含有ガラスの代替品として、様々な低融点ガラスが開発されている。その中でも、Bi23−B23系低融点ガラス(例えば、特許文献2参照。)は、化学耐久性や機械的強度においてPbO含有ガラスと比較して同等の特性を有するため、PbO含有ガラスの代替候補として期待されている。
特開昭63−315536号公報 特開2000−128574号公報
特許文献2には、電子部品の接着、封着、封止、被覆等の用途に使用可能なビスマス系低融点ガラス組成物が例示されている。しかし、このビスマス系低融点ガラス(Bi23−B23系ガラス)組成物は、PbOを含有するガラスと比較して軟化点が高く、流動性に乏しいため、焼成温度が高くなる。
軟化点を低くするためには、主要成分であるBi23の含有量を多くする必要があるが、Bi23の含有量が多くすると、Bi23を構成成分とする結晶が焼成時に析出しやすく流動性が損なわれやすい。そのため、Bi23の含有量を多くするだけでは流動性が高くなりにくい。
本発明の目的は、PbOを実質的に含有せず、PbO含有ガラスと同等の480℃以下の温度で焼成が可能であるB−B系封着材料を提供することである。
本発明者等は、Bi23−B23系ガラス組成物に0.1〜5モル%のIn23および/またはGa23を添加することによって、軟化点を下げる成分であるBi23の含有量を多くしても、焼成中における結晶の析出が抑制されて、PbO含有ガラスと同等に焼成温度が達成できることを見いだし、本発明として提案するものである。
発明のBi−B系封着材料は、B−B系ガラス組成物からなるガラス粉末と耐火性フィラー粉末とを混合した封着材料であって、その混合割合は体積%表示で、ガラス粉末が40〜90%、耐火性フィラー粉末が60〜10%であり、且つBi −B 系ガラス組成物が、モル%表示で、Bi 35〜47.7%、B 10〜35%、In +Ga 0.1〜5%を含有することを特徴とする。
本発明のBi−B封着材料は、Bi −B 系ガラス組成物中にInおよび/またはGaの合量を0.1〜5%を含む。これにより、ガラスの軟化点を低くする成分であるBiの含有量を多くしても、焼成時における結晶の析出を抑制できる。そのため、流動性に優れ、PbOを実質的に含有しないにもかかわらず、PbO含有ガラスと同等の480℃以下の温度で焼成することができる。
本発明に係るBi−B系ガラス組成物の組成を上記のように限定した理由は次のとおりである。
Biは、ガラスの軟化点を低くするための主要成分であり、その含有量は35〜47.7%、好ましくは36〜47.7%、より好ましくは37〜47.7%である。Biの含有量が35%より少ないと、ガラスの軟化点が高くなり過ぎて480℃以下の温度で焼成できにくくなり、47.7%より多いと、失透しやすくなる。
は、ガラス形成成分として必須な成分であり、その含有量は10〜35%、好ましくは15〜30%、さらに好ましくは18〜28%である。Bの含有量が10%よりも少ないと、ガラスネットワークが充分に形成されにくいため、失透しやすくなる。そのため、充分に封着を行なうために必要な流動性が得られない場合がある。一方、35%より多いと、ガラスの粘性が高くなる傾向があり、480℃以下の温度で焼成が困難となる場合がある。
In23およびGa23は、焼成時に結晶が析出して流動性が損なわれることを防止するために添加される成分であり、必須成分である。また、封着部を再加熱して再封着しても失透を防止することができる。In23およびGa23の合量は、0.1〜5%、好ましくは0.1〜3%である。軟化点を低くするためには、主要成分であるBi23の含有量を多くする必要があるが、Bi23の含有量を多くすると、焼成時にBi23を結晶構成成分とする結晶が析出しやすくなり、流動性が損なわれやすい。特にモル%表示でBi23が35%以上になるとその傾向が顕著になる。この原因としては、焼成時にビスマス酸化物単独で形成する結晶物であるBi23(ビスマイト)と、Bi23とB23とからなる2Bi23・B23または12Bi23・B23が結晶として析出するためであると考えられる。この結晶が析出すると流動性が損なわれてしまうが、In23やGa23は、上記した結晶が析出する前にBi23と選択的に結合して、結晶の析出を抑制する働きがある。特に、In23はこの効果においてGa23よりも優れる。しかし、In23およびGa23の合量を5%よりも多く添加すると、逆に焼成時に結晶が析出しやすくなるため好ましくない。
本発明に係るBi−B系ガラス組成物は、上記した成分以外に以下の成分を含有しても良い。
BaO、SrO、MgOおよびCaOは、ガラスの溶融時に失透することを抑制する効果があり、必須成分である。これらの含有量は合量で1〜15%、好ましくは3〜10%である。これらの成分の合量が1%より少ないと上記の効果が得られにくく、15%より多くなると転移点が高くなる傾向がある。なお、BaOの含有量は1〜10%、特に2〜10%であることが好ましい。また、SrO、MgO、CaOの含有量については、各々0〜5%、特に各々0.5〜3%であることが好ましい。
ZnOは、ガラス溶融時の失透を抑制する効果があり、その含有量は5〜30%、好ましくは10〜20%である。その含有量が5%より小さく、また30%よりも大きくなると焼成時にガラスが結晶化しやすくなって流動性が悪くなる。
CuOは、ガラス溶融時の失透を抑制する成分であり、その含有量は0〜15%、好ましくは2〜10%である。CuOが15%よりも多いと焼成時に結晶が極めて析出しやすくなって流動性が悪くなる傾向がある。
Fe23は、ガラス溶融時の失透を抑制する成分であり、その含有量は0〜5%、好ましくは0.1〜2%である。Fe23が5%よりも多いと、溶融時に分相してガラス化しない傾向がある。
また、ガラス溶融時の失透を抑制する成分であるAl23を添加すると、焼成時においても、結晶の析出をより抑制することができるため好ましい。その含有量は、0〜5%、好ましくは0.1〜3%である。添加量が5%よりも多いと、ガラスの軟化点が高くなり、480℃以下の温度で焼成しにくくなる。
SiO2は、耐候性を高める目的で1%まで添加することができる。1%よりも多いと、ガラスの軟化点が高くなり、480℃以下の温度で焼成しにくくなる。
Li、Na、KおよびCsの酸化物は、ガラスの軟化点を低くする成分であるが、溶融時にガラスの失透を促進する作用を有するため合量で2%以下である事が好ましい。
25は、溶融時の失透を抑制する成分であるが、添加量が1%よりも多いと溶融時にガラスが分相しやすいため好ましくない。
MoO3、La23、Y25およびCeO2は、溶融時にガラスの分相を抑制する成分であるが、これらの合量が3%よりも多いとガラスの軟化点が高くなり、480℃以下の温度で焼成しにくくなる。
PbOは、環境上の理由から実質的に含有しないことが好ましい。なお、低融点ガラスにPbOを含有すると、絶縁体として使用したときガラス中にPb2+が拡散して電気絶縁性を低下させる場合がある。
以上の組成を有するBi−B系ガラス組成物は、480℃以下の温度で良好な流動性を示す非結晶性のガラスであり、30〜300℃における熱膨張係数が約110〜120×10−7/℃である
一方、Bi−B系ガラス組成物と熱膨張係数の適合しない材料、例えばアルミナ(70×10−7/℃)、高歪点ガラス(85×10−7/℃)、ソーダ板ガラス(90×10−7/℃)等の封着を行う場合、Bi−B系ガラス組成物からなるガラス粉末と耐火性フィラー粉末とを混合して封着材料とすべきである。封着材料の熱膨張係数は、被封着物に対して10〜30×10−7/℃程度低く設計することが重要である。これは、封着後に封着材料にかかる歪をコンプレッション(圧縮)側にして封着材料の破壊を防ぐためである。なお、熱膨張係数の調整以外にも、例えば機械的強度の向上のために耐火性フィラー粉末を添加することができる。
耐火性フィラー粉末を混合する場合、その混合割合は、Bi−B系ガラス組成物からなるガラス粉末が40〜90体積%、耐火性フィラー粉末60〜10体積%である両者の割合をこのように規定した理由は、耐火性フィラー粉末が10体積%よりも少ないと上記した効果が得られにくくなり、60体積%より多くなると流動性が悪くなる傾向がある。
耐火性フィラー粉末としては、ウイレマイト、コーディエライト、β−ユークリプタイト、ジルコン、酸化スズ、ムライト、石英ガラス、アルミナ等の粉末を単独で、または、複数種組み合わせて使用することができる。
特に、ウイレマイトやコーディエライトは、熱膨張係数が小さく、Bi23−B23系ガラスと反応しにくいため好ましい。
また、耐火性フィラー粉末は、アルミナ、酸化亜鉛、ジルコン、チタニア、ジルコニア等によって被覆されているとガラスと耐火性フィラー粉末との間での反応を抑制できるため好ましい。特に、アルミナは融点が高く、ガラスと反応しにくいため好ましい。
なお、本発明のBi−B 系封着材料の具体的な用途としては、(1)プラズマディスプレイパネル(PDP)の封着材料、(2)蛍光表示管(VFD)用パッケージの封着材料、(3)磁気ヘッドとコアまたはコアとスライダーの封着材料等が挙げられる。
Bi23−B23系ガラス組成物からなるガラス粉末と耐火性フィラー粉末とを混合した封着材料は、粉末のまま封着材料として使用しても良いが、封着材料とビークルとを均一に混練してペーストとして使用すると取り扱いやすい。
ビークルは、主に溶媒と樹脂とからなり、樹脂はペーストの粘性を調整する目的で添加される。
溶媒としては、N、N’−ジメチルホルムアミド(DMF)、α−ターピネオール、高級アルコール、γ−ブチロラクトン(γ−BL)、テトラリン、ブチルカルビトールアセテート、酢酸エチル、酢酸イソアミル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ベンジルアルコール、トルエン、3−メトキシ−3−メチルブタノール、水、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノブチルエーテル、トリプロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレングリコールモノブチルエーテル、プロピレンカーボネート、ジメチルスルホキシド(DMSO)、N−メチル−2−ピロリドン等が使用可能である。
樹脂としては、エチルセルロ−ス、ポリエチレングリコール誘導体、ニトロセルロース、ポリメチルスチレン、ポリエチレンカーボネート、メタクリル酸エステル等が使用可能である。
以下、実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。
表1〜3は、実施例(試料a〜m)および比較例(試料n〜o)のガラス組成物を示すものである。なお、試料hは参考例である。
Figure 0004930897
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表1〜3に記載の各試料は次のようにして調製した。
まず、表に示したガラス組成となるように各種酸化物、炭酸塩等の原料を調合したガラスバッチを準備し、これを白金坩堝に入れて900〜1000℃で2時間溶融した。
次に、溶融ガラスの一部を熱膨張係数測定用サンプルとしてステンレス製の金型に流し出し、その他の溶融ガラスは、水冷ローラーにより、薄片状に成形した。
最後に、薄片状のガラスをボールミルにて粉砕後、目開き105μmの篩いを通過させて、平均粒径約10μmの各試料を得た。
以上の試料を用いてガラス転移点、軟化点、熱膨張係数、焼成温度および光沢を評価した。
ガラス転移点、軟化点は、示差熱分析装置(DTA)により求めた。
熱膨張係数は、押棒式熱膨張測定装置により求めた。
焼成温度は、以下のようにして評価した。
まず、各試料の真比重に相当する質量の試料を金型に投入して外径20mm、高さ約5mmのボタン状に加圧成形した。次いで、このボタンを板ガラスの上に載せて電気炉に入れ、10℃/分の速度で昇温し、種々の温度で30分間保持した。ボタンの外径が21〜22mmの範囲にあるボタンのうち、最も低温で焼成されたボタンの焼成温度を試料の焼成温度とした。
結晶化は、上記ボタンを焼成温度において30分間保持した後、光学顕微鏡用いてボタン中を観察し結晶の有無を評価した。
表1〜3から明らかなように、本発明の実施例である試料a〜mは、ガラス転移点が328〜365℃、軟化点が395〜435℃、30〜300℃における熱膨張係数が105〜119×10-7/℃であり、焼成温度が470℃以下であった。また、焼成状態は、試料a〜mのすべてにおいて結晶が析出せず、表面は光沢を有していた。
一方、比較例である試料o、pは、焼成温度は470℃以下であったが、結晶が析出し、表面は光沢を有していなかった。
表4〜6は、封着材料を示すものである。なお、表中のフィラーの欄において、Aはウイレマイト、Bはコーディエライトを指す。
Figure 0004930897
Figure 0004930897
Figure 0004930897
次に、表4〜6に示す割合で試料a〜mと耐火性フィラー粉末とを混合し、封着材料粉末(試料1〜15)を作製した。試料No.1〜7、9〜13は本発明の実施例を、試料No.14、15は比較例をそれぞれ示している。なお、試料No.8は参考例である。
試料1〜4はVFD用の封着材料であり、2枚のソーダガラス板(熱膨張係数90×10-7/℃)を封着する材料である。また、試料5〜15はPDP用の封着材料であり、2枚の高歪点ガラス板(熱膨張係数85×10-7/℃)同士を封着する材料である。
また、耐火性フィラー粉末には、ウイレマイトまたはコーディエライトを用いた。
なお、ウイレマイトは、亜鉛華、光学石粉、酸化アルミニウムを質量%でZnO 70%、SiO2 25%、Al23 5%の組成になるように調合し、混合後、1440℃で15時間焼成し、次いでこの焼成物を粉砕し、250メッシュのステンレス製篩を通過させ、平均粒径10μmの粉末としたものを使用した。また、コーディエライトは、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、光学石粉を2MgO・2Al23・5SiO2の割合になるように調合し、混合後、1400℃で10時間焼成し、次いでこの焼成物を粉砕し、250メッシュのステンレス製篩を通過させ、平均粒径10μmとしたものを使用した。
以上の試料を用いて熱膨張係数、流動径、結晶化および再封着性を評価した。
流動径は、封着材料粉末の真比重に相当する重量の粉末を金型により外径20mmのボタン状にプレスし、空気中で10℃/分の速度で昇温して表中記載の温度で10分間保持した時のボタンの直径を測定し、評価した。なお、流動径が、21mm以上であると流動性が優れることを意味する。
再封着性は、次のようにして評価した。
まず、各試料とアクリル樹脂含有α−ターピネオールとを均一に混練してそれぞれペースト化した後、各試料の被封着物と同材質の基板(100×100×3mm)の端部に線状(80×3×3mm)に塗布し、120℃で15分乾燥させた。次に、基板を、表中に記載の焼成温度より10℃高い温度で、表中に記載の時間保持した後、室内に放置して基板を冷却した。続いて、150μm厚のガラス板を基板の真ん中に設置し、同じ寸法の基板を上から被せた後、両基板をクリップにより固定し、再び表中に記載の条件で焼成した。
焼成により再流動して基板間の間隔が150μmになっているものを「○」、十分に再度軟化流動せず、基板間の間隔が150μmより大きくなったものを「×」として評価した。なお、この評価で「○」であったものは、脱バインダー時の熱処理において失透が生じなかったものと考えられる。
表4〜6から明らかなように、試料1〜13は、30〜300℃における熱膨張係数が70.6〜79.4×10-7/℃であった。また、表中に示した焼成条件で21.0〜21.9mmの流動径を示し、良好な流動性を有していた。また、結晶も析出せず、再封着性に優れていた。
一方、試料14、15は、結晶が析出しており、再封着性が悪かった。
試料14、15において、再封着性が良好でなかった理由として、最初の焼成時にすでに結晶が析出していたため、2回目の焼成時に、その結晶が成長し、ガラスの軟化流動を妨げたものと考えられる。
本発明のBi−B封着材料は、電子部品の封着、具体的にはPDP、フィールドエミッションディスプレイ(FED)、表面電界ディスプレイ(SED)、VFD、陰極線管(CRT)等の表示管の封着用途、磁気ヘッド−コア同士またはコアとスライダーの封着用途等に好適である。

Claims (6)

  1. Bi −B 系ガラス組成物からなるガラス粉末と耐火性フィラー粉末とを混合した封着材料であって、その混合割合は体積%表示で、ガラス粉末が40〜90%、耐火性フィラー粉末が60〜10%であり、且つBi −B 系ガラス組成物が、モル%表示で、Bi 35〜47.7%、B 10〜35%、In+Ga 0.1〜5%を含有することを特徴とするBi−B封着材料
  2. Bi −B 系ガラス組成物が、モル%表示で、BaO+SrO+MgO+CaO 1〜15%含有することを特徴とする請求項1に記載のBi−B封着材料
  3. Bi −B 系ガラス組成物が、モル%表示で、ZnO 5〜30%、CuO 0〜15%、Fe 0〜5%含有することを特徴とする請求項1または2に記載のBi−B封着材料
  4. Bi −B 系ガラス組成物が、実質的にPbOを含有しないことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のBi−B封着材料
  5. 耐火性フィラー粉末が、ウイレマイト、コーディエライト、β−ユークリプタイト、酸化スズ、ムライト、石英ガラスおよびアルミナからなる群より選ばれた一種または二種以上のフィラー粉末であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のBi−B系封着材料。
  6. 蛍光表示管またはプラズマディスプレイパネルの封着に使用することを特徴とする請求項のいずれかに記載のBi−B系封着材料。
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