JP4926025B2 - ウェーハ搬送装置およびウェーハ搬送方法 - Google Patents

Description

本発明は、特に、裏面研削処理によりその厚みが小さくされたウェーハを搬送するウェーハ搬送方法およびそのような方法を実施するウェーハ搬送装置に関する。

半導体製造工程のうちの多くの工程においては、ウェーハを搬送するために搬送用ハンドが使用される。例えば、搬送用ハンドは複数のウェーハが収納されたカセットから一つのウェーハを取出して所定の処理装置まで搬送する。そして、処理装置における処理が完了すると、搬送用ハンドによってウェーハはカセットまで再び戻される。

そのような搬送用ハンドは、例えば回転機構を組み合わせたスカラ型搬送装置である。特許文献１に開示されるように、スカラ型搬送装置は、隣接するアームの端部に回動可能に取付けられた複数のアームと、ウェーハを吸着するハンドとを有している。スカラ型搬送装置においては、ハンドに吸着されたウェーハは、複数のアームを一直線状に整列させることにより遠方まで搬送されると共に、これらアームを折畳むことによりカセットまで戻される。
特開平０８−２５５８２２号公報

ところで、近年、半導体製造分野においては、実装密度を高めるためにウェーハの裏面を研削するバックグラインド（裏面研削）が行われている。裏面研削の際には、ウェーハの表面に形成された回路パターンは表面保護フィルムにより保護される。そして、裏面研削により、ウェーハの厚さは例えば５０マイクロメートルまで低下する。

このような裏面研削後のウェーハの裏面は搬送用ハンドによって吸着される。そして、ウェーハは他の搬送用ハンドに受け渡される。その後、他の搬送用ハンドがウェーハの表面を吸着することによりウェーハを処理装置まで搬送する。そして、処理装置においては、ウェーハの露出した裏面に所定の処理が施される。その後、ウェーハはさらに別の搬送用ハンドによって別の処理装置まで搬送される。

しかしながら、このような場合には、搬送用ハンドが、所定の処理を受けたウェーハの裏面に接触することになるので、所定の処理が施されたウェーハの裏面が悪影響を受ける可能性がある。さらに、裏面研削後のウェーハはその強度が低下しているので、搬送用ハンドがウェーハの裏面を単に吸着するだけでは、ウェーハにクラックおよび欠けが発生する可能性もある。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、裏面研削後のウェーハの裏面に接触することなしにウェーハを搬送することのできるウェーハ搬送方法およびそのような方法を実施するウェーハ搬送装置を提供することを目的とする。

前述した目的を達成するために１番目の発明によれば、ウェーハの一方の面における中央部を保持していて、半径方向外側に延びる複数の突出部が備えられた第一保持部材と、前記中央部周りに位置する前記ウェーハの外周部の少なくとも一部分を保持していて、前記突出部に係合する複数の凹部が形成された第二保持部材と、前記ウェーハの中心線方向において前記第一保持部材および前記第二保持部材を互いに相対的に移動させる移動手段とを具備するウェーハ搬送装置が提供される。

すなわち１番目の発明においては、ウェーハの一方の面、例えば表面における中央部と外周部とを異なる保持部材により保持し、これらを相対的に移動させることによりウェーハを移動させている。従って、ウェーハの他方の面、例えば裏面に接触することなしにウェーハを搬送することができる。さらに、第一保持部材のみによる保持時にウェーハの外周部が第一保持部材から自重で垂れるのを防止すると共に、第二保持部材のみによる保持時にウェーハが吸着不足により反返るのを防止できる。このことは、裏面研削によりウェーハの厚さが小さくされているときに特に有利である。

２番目の発明によれば、１番目の発明において、前記第一保持部材は前記ウェーハを保持するテーブルであり、前記移動手段はロボットのアームであり、前記第二保持部材は前記アームに取付けられたハンドである。
すなわち２番目の発明においては、比較的簡易な構成により、ウェーハ搬送装置を形成することができる。

３番目の発明によれば、１番目の発明において、前記第二保持部材の前記突出部は前記ウェーハの周方向に等間隔に配置されている。
すなわち３番目の発明においては、ウェーハの局所的な垂れまたは局所的な反返りを生じさせることなしに、ウェーハ全体をほぼ均等に保持できる。

４番目の発明によれば、半径方向外側に延びる複数の突出部が備えられた第一保持部材によりウェーハの中央部を保持し、前記突出部に係合する複数の凹部が形成された第二保持部材によって、前記中央部周りに位置する前記ウェーハの外周部の少なくとも一部分を保持し、前記第一保持部材による前記ウェーハの前記中央部における保持を解除し、前記ウェーハの中心線方向において前記第二保持部材を前記第一保持部材に対して相対的に移動させる、ウェーハ搬送方法が提供される。

すなわち４番目の発明においては、ウェーハの一方の面、例えば表面における中央部と外周部とを異なる保持部材により保持し、これらを相対的に移動させることによりウェーハを移動させている。従って、ウェーハの他方の面、例えば裏面に接触することなしにウェーハを搬送することができる。

５番目の発明によれば、４番目の発明において、さらに、前記ウェーハの外周部の少なくとも一部分を保持する前記第二保持部材を第三保持部材の上方に配置し、前記第二保持部材が前記第三保持部材と同一平面になるまで、前記ウェーハの中心線方向において前記第二保持部材を前記第三保持部材に対して相対的に移動させ、前記第三保持部材により前記ウェーハの前記中央部を保持し、前記第二保持部材による前記ウェーハの前記外周部における保持を解除し、前記ウェーハの中心線方向において前記第二保持部材を前記第三保持部材に対して相対的に移動させる。
すなわち５番目の発明においては、ウェーハを第一保持部材から第二保持部材を介して第三保持部材まで搬送することができる。

６番目の発明によれば、５番目の発明において、さらに、前記第二保持部材により前記ウェーハの前記外周部の少なくとも一部分を保持する前に、前記ウェーハの前記中央部を保持した前記第一保持部材が前記第二保持部材と同一平面になるまで、前記第一保持部材を前記第二保持部材に対して相対的に移動させることを含む。

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を説明する。以下の図面において同様の部材には同様の参照符号が付けられている。理解を容易にするために、これら図面は縮尺を適宜変更している。
図１は本発明に基づくウェーハ搬送装置の一部を示す略図である。図１においては、ウェーハ搬送装置１の第一保持部材１０と第二保持部材２０とが主に示されている。図示されるように、第一保持部材１０の下面は、その中心においてロッド４１に連結されている。このため、第一保持部材１０は、シリンダ４２に流体圧を作用させることによりロッド４１を介して鉛直方向に移動できる。

また、ロッド４１は第一保持部材１０の下面における中心部に連結されているので、第一保持部材１０はロッド４１回りに回転可能である。さらに、図示されるように、第一保持部材１０はレール４６上を摺動するスライダ４５に取付けられている。このため、第一保持部材１０は水平方向にも移動可能である。

また、図１から分かるように、第二保持部材２０は複数のアーム５１、５２を備えた多関節ロボット５０のハンドとして使用される。図１においては、第二保持部材２０は、アーム５２の先端に取付けられている。なお、多関節ロボット５０の胴部５５は鉛直方向に伸縮可能である。このような構成であるので、第二保持部材２０は、多関節ロボット５０によって所望の位置まで移動させられる。

図２（ａ）は本発明の第一の実施形態に基づくウェーハ搬送装置の第一保持部材の頂面図であり、図２（ｂ）は図２（ａ）に示される第一保持部材の断面図である。これら図面に示されるように、第一保持部材１０はベース１１と、ベース１１の上面に埋込まれた保持部１２とを主に含んでいる。これらベース１１および保持部１２は略円形であり、その外径はウェーハＷの直径よりも小さい。例えばウェーハＷの直径が３００ｍｍである場合には、ベース１１の外径は２９４ｍｍであり、保持部１２の外径はそれよりもわずかながら小さい。

多孔質材料から形成される保持部１２は、図２（ａ）に示されるように、外側保持部１２ａと内側保持部１２ｂとから構成される。図２（ｂ）から分かるように、これら外側保持部１２ａおよび内側保持部１２ｂの下方には、周方向に延びる吸引溝１３ａ、１３ｂがそれぞれ形成されている。これら吸引溝１３ａ、１３ｂは、ベース１１の下面に開口する保持通路１５ａ、１５ｂをそれぞれ介して、真空源（図示しない）に接続されている。このような構成であるので、真空源を駆動すると、第一保持部材１０の保持部１２はウェーハＷの中央部を吸引保持するようになる。

図３（ａ）は本発明の第一の実施形態に基づくウェーハ搬送装置の第二保持部材の頂面図であり、図３（ｂ）は図３（ａ）に示される第二保持部材の正面図である。図３（ａ）および図３（ｂ）に示されるように、第二保持部材２０の一端には、ロボットのアーム５２の先端５２ａに連結するための平坦部２６が形成されている。この平坦部２６には、アーム５２の先端に連結するための複数の連結孔２６ａが形成されている。

さらに、平坦部２６の反対側の端部には、切欠部２９が形成されている。このため、第二保持部材２０は全体として略Ｃ字形状をなしている。切欠部２９の幅は、図１に示されるロッド４１またはシリンダ４２の外径よりも大きいものとする。このような構成であるので、多関節ロボット５０を用いて第二保持部材２０を水平方向に移動させることにより、切欠部２９を通じて第二保持部材２０をロッド４１またはシリンダ４２と同心に位置決めできる。

図３（ａ）に示されるように、第二保持部材２０は、略Ｃ字形状の枠体２１と、枠体２１の内周面２１ａに沿って埋込まれた同様な形状の保持部２２とを主に含んでいる。保持部２２は保持部１２と同様な多孔質材料より形成されている。枠体２１の内周面は、ウェーハＷの直径よりも小さく、第一保持部材１０のベース１１の外径よりもわずかながら大きい。

図３（ｃ）は図３（ａ）の線Ａ１−Ａ１に沿ってみた断面図である。図３（ｃ）に示されるように、枠体２１の上面には吸引溝２３ａが形成されており、保持部２２はこの吸引溝２３ａ内に配置されている。例えばウェーハＷの直径が３００ｍｍである場合には、保持部２２の上面２２ａの幅は３ｍｍである。

さらに、図３（ａ）および図３（ｃ）に示されるように、複数の保持通路２５が吸引溝２３ａから枠体２１の外周面まで延びている。これら保持通路２５は他の真空源（図示しない）に接続されている。このような構成であるので、真空源を駆動すると、第二保持部材２０の保持部２２はウェーハＷの外周部を吸引保持するようになる。

さらに、図３（ｃ）に示されるように、吸引溝２３ａの上部には、吸引溝２３ａから枠体２１の半径方向外側に広がる段差部２３ｂが形成されている。そして、蓋部２７が段差部２３ｂに係合すると、保持部２２は吸引溝２３ａの内側に押付けられるようになる。これにより、保持部２２の上面２２ａは枠体２１の上面および蓋部２７の上面と同一平面になる。さらに、この蓋部２７は、真空源（図示しない）からの保持作用が保持通路２５を通じて吸引溝２３ａに生じるときに、空気が段差部２３ｂから漏洩するのを防止する役目を果たす。

図４（ａ）から図４（ｅ）は本発明に基づくウェーハ搬送装置を説明するための図である。以下、これら図面を参照して、本発明のウェーハ搬送装置１の動作を説明する。これら図４（ａ）から図４（ｅ）においては、保持部１２および保持部２２から真空源（図示しない）までそれぞれ延びる通路に開閉弁Ｖ１、Ｖ２がそれぞれ設けられている。これら開閉弁Ｖ１、Ｖ２を開放（図における「ＯＮ」）することにより、真空源からの保持作用が第一保持部材１０の保持部１２および第二保持部材２０の保持部２２のそれぞれに適用されるものとする。

図４（ａ）においては、ウェーハＷがその裏面Ｗ２を上方に向けた状態で第一保持部材１０の保持部１２に同心に吸引保持されている。図４（ａ）から分かるように、このときには、開閉弁Ｖ１は開放しており、開閉弁Ｖ２は閉鎖（図における「ＯＦＦ」）しているものとする。

なお、通常はウェーハＷの表面Ｗ１には表面保護フィルム３が貼付けられており、表面Ｗ１に形成された回路パターンを保護している。ただし、簡潔にする目的で、表面保護フィルムおよび回路パターンは図面には示していない。

また、そのようなウェーハＷは裏面研削部署から所定の搬送装置により第一保持部材１０まで搬送されており、ウェーハＷの厚さは所定の厚さ、例えば５０マイクロメートルまで小さくされているものとする。そのようなウェーハＷは、裏面研削後に所定の面処理を受けてもよい。

また、図４（ａ）においては、第二保持部材２０は第一保持部材１０の下方に同心に配置されている。この第二保持部材２０は、ロッド４１またはシリンダ４２（図４には示さない）が切欠部２９を通るように、多関節ロボット５０により水平方向に移動されることにより、図４（ａ）に示される位置に位置決めされる。

図４（ａ）に示されるように、ウェーハＷの中央部が保持部１２に保持され、ウェーハＷの外周部は保持部１２の縁部から突出する。保持部１２の寸法はウェーハＷを安定して吸引保持するのに十分に大きい。従って、ウェーハＷの突出した外周部が保持部１２の縁部から自重で下方に垂れることはない。

そして、ロッド４１をシリンダ４２内に後退させ、それにより、第一保持部材１０を鉛直方向に下降させて、第二保持部材２０に挿入する。その結果、ウェーハＷの外周部は第二保持部材２０の保持部２２に載置されるようになる（図４（ｂ））。

次いで、図４（ｃ）に示されるように、開閉弁Ｖ１を開放したままで、開閉弁Ｖ２を開放する。これにより、ウェーハＷの表面Ｗ１は、その中央部において保持部１２に保持されると共に、その外周部において保持部２２に保持されるようになる。図４（ｃ）から分かるように、この場合においても、第一保持部材１０および第二保持部材２０はウェーハＷの裏面Ｗ２に接触することはない。

次いで、図４（ｄ）に示されるように、開閉弁Ｖ１を閉鎖する。これにより、ウェーハＷはその外周部においてのみ、第二保持部材２０の保持部２２によって吸引保持される。保持部２２の上面２２ａの幅は、裏面研削後のウェーハＷを安定して保持するのに十分に大きい。このため、第二保持部材２０の保持部２２のみによってウェーハＷを保持する場合であっても、裏面研削後のウェーハＷが反返ることはない。

その後、多関節ロボット５０を用いて、第二保持部材２０をウェーハＷと共に上昇させる。そして、第二保持部材２０の下面が第一保持部材１０の上面から所定の距離だけ離間すると、多関節ロボット５０は第二保持部材２０を水平方向に移動させ、次いで、所望の位置まで第二保持部材２０を搬送する（図４（ｅ）を参照されたい）。

このように本発明においてはウェーハＷの裏面Ｗ２に接触することなしにウェーハＷを搬送することが可能である。このため、裏面研削後においてウェーハＷの裏面Ｗ２に所定の面処理を施した場合であっても、裏面Ｗ２における面処理が第一保持部材１０および／または第二保持部材２０から悪影響を受けることはない。さらに、第二保持部材２０はウェーハＷの外周部のほぼ全体を保持するので、第二保持部材２０がウェーハＷに接触するときにウェーハＷにクラックおよび欠けが発生することも避けられる。

図５は本発明に基づくウェーハ搬送装置の他の一部の側面図である。図５においては、ウェーハ搬送装置１の第二保持部材２０と第三保持部材３０とが示されている。ここで、第三保持部材３０は、図２を参照して説明した第一保持部材１０とほぼ同様な構成であるので、第三保持部材３０についての具体的な説明を省略する。図５に示されるように、多関節ロボット５０は、ウェーハＷを保持した第二保持部材２０を第三保持部材３０の上方まで移動させる。

図５から分かるように、第三保持部材３０は、シリンダ６２から延びるロッド６１の先端に取付けられている。ロッド６１の直径は切欠部２９よりも小さい。ロッド６１およびシリンダ６２はハウジング６５内に配置されており、第三保持部材３０はハウジング６５上方の開口部６７から突出可能に配置されている。さらに、図示されるように、ハウジング６５の開口部６７周りには、マウントフレーム６６が載置されている。

次いで、多関節ロボット５０の胴部５５を利用して、第二保持部材２０を鉛直方向に下降させる。これにより、第二保持部材２０の上面と第三保持部材３０の上面とが同一平面になり、ウェーハＷの中央部は第三保持部材３０の保持部１２に載置されるようになる。

そして、保持部１２によりウェーハＷの中央部を吸引保持した後で、第二保持部材２０によるウェーハＷの外周部での保持を解除する。その後、第二保持部材２０をさらに下方に移動させ、第二保持部材２０の上面が第三保持部材３０の下面から離間すると、多関節ロボット５０により第二保持部材２０を水平方向に移動させる。つまり、図４を参照して説明したのと概ね反対の動作を行えばよい。これにより、ウェーハＷを第一保持部材１０から第二保持部材２０を介して第三保持部材３０まで搬送することが可能となる。同様な構成を用いることにより、ウェーハＷをさらに別の装置まで搬送してもよい。

その後、シリンダ６２における流体圧を調節することによりロッド６１をシリンダ６２に後退させる。これにより、ウェーハＷの裏面Ｗ２がマウントフレーム６６の上面と同一平面になるまで、第三保持部材３０を下降させる。そして、ダイシングフィルム（図示しない）をウェーハＷとマウントフレーム６６とに貼付けて、ウェーハＷとマウントフレーム６６とを一体化させる。最終的に、そのようなウェーハＷはダイシング装置においてダイシングされる。このようなダイシングフィルムの貼付およびダイシング工程は公知であるので、詳細な説明を省略する。

ところで、図２と図３とを比較して分かるように、第二保持部材２０の保持部２２の面積は第一保持部材１０の保持部１２の面積よりも小さい。従って、裏面研削後のウェーハＷを第二保持部材２０の保持部２２のみによって吸引保持するときの保持力は、第一保持部材１０の保持部１２のみによって吸引保持する場合の保持力よりも小さくなる。従って、裏面研削時の残留応力が比較的大きい場合には、第二保持部材２０の保持部２２のみによって保持すると、ウェーハＷが反返って第二保持部材２０から脱落する可能性がある。このことを防止するためには保持部２２における保持圧力または保持部２２の面積を増やせばよい。

しかしながら、保持圧力を増加させるのは限界がある。また、保持部２２の面積を増やしすぎると、第一保持部材１０の保持部１２は相対的に小さくなる。従って、ウェーハＷを第一保持部材１０のみによって保持する際に、第一保持部材１０の縁部から突出するウェーハＷの外周部が自重で垂下がる可能性がある。このため、第二保持部材２０のみで保持するときのウェーハＷの反返し防止と、第一保持部材１０のみで保持するときの外周部の垂れ防止との両方を可能とするウェーハ搬送装置が望まれる。

図６（ａ）はそのようなことを可能とする本発明の第二の実施形態に基づくウェーハ搬送装置の第一保持部材の頂面図であり、図６（ｂ）は図６（ａ）に示される第一保持部材の断面図である。これら図面に示されるように、第二の実施形態における第一保持部材１００はベース１１０と保持部１２０とを主に含んでおり、保持部１２０は外側保持部１２０ａと内側保持部１２０ｂとから構成されている。第一の実施形態の場合と同様に、保持部１２０は多孔質材料から形成されており、真空源（図示しない）に接続されているものとする。

図６（ａ）から分かるように外側保持部１２０ａの外周部には、半径方向外側に延びる複数の突出部１１２が設けられている。これら突出部１１２は外側保持部１２０ａの一部分であり、同様に多孔質材料から形成されている。また、図示されるように突出部１１２は外側保持部１２０ａの周方向において等間隔に配置されているのが好ましい。

図７（ａ）は本発明の第二の実施形態に基づくウェーハ搬送装置の第二保持部材の頂面図であり、図７（ｂ）は図７（ａ）に示される第二保持部材の正面図である。さらに、図７（ｃ）は図７（ａ）の線Ａ２−Ａ２に沿ってみた断面図であり、図７（ｄ）は図７（ａ）の線Ａ３−Ａ３に沿ってみた断面図である。

これら図面に示される第二保持部材２００は略Ｃ字形状の枠体２１０と、枠体２１０の内周面に沿って配置されていて多孔質材料からなる保持部２２０とを主に含んでいる。また、図７（ａ）に示されるように枠体２１０の一端には、多関節ロボット５０のアーム５２に取付けるための平坦部２６０が形成されている。さらに、平坦部２６０の反対側には、切欠部２９と同様な切欠部２９０が形成されている。

そして、図７（ｃ）および図７（ｄ）に示されるように、枠体２１０の上面には段差部２３０ａが形成されており、保持部２２０はこの段差部２３０ａに配置されている。そして、蓋部２７０が保持部２２０の段差部２２０ａに係合すると、保持部２２０は段差部２２０ａの内側に押付けられるようになる。

さらに、図７（ｂ）および図７（ｃ）に示されるように、枠体２１０の下面の一部分には下方ブロック２８０が設けられている。この下方ブロック２８０には、段差部２３０ａに連通する保持通路２５０が形成されていて、真空源（図示しない）に接続されている。蓋部２７０は、真空源（図示しない）からの保持作用が保持通路２５０を通じて生じるときに、空気が段差部２３０ａから漏洩するのを防止する役目を果たす。

第二の実施形態における第一保持部材１００および第二保持部材２００の動作は図４を参照して説明したのと同様であるので再度の説明を省略する。第二の実施形態においても、前述したのと同様な効果が得られることが分かるであろう。

さらに、図７（ａ）に示される第二の実施形態においては、保持部２２０の内周面には複数の凹部２２２が形成されている。これら凹部２２２は第一保持部材１００の突出部１１２に係合可能に配置されている。

このような構成であるので、第二の実施形態においては、第一保持部材１００のみによってウェーハＷを保持するとき（図４（ａ）を参照されたい）には、ウェーハＷの外周部は突出部１１２によって支持される。このため、ウェーハＷの外周部が第一保持部材１００から自重で垂れることはない。

また、図７（ａ）に示されるように、保持部２２０の半径方向の幅は、第一の実施形態における保持部２２の幅よりも大きい。従って、第二保持部材２００のみで保持する場合（図４（ｄ）および図４（ｅ）を参照されたい）であっても、ウェーハＷを安定して保持するのに十分な面積を確保することができる。従って、ウェーハＷが吸着不足により反返って、第二保持部材２００から脱落することはない。このようなことは、裏面研削による残留応力が比較的大きい場合に特に有利であるのが分かるであろう。

さらに、前述したように突出部１１２および凹部２２２は周方向に等間隔で形成されているのが好ましい。これにより、第一保持部材１００によってのみ保持されるときにウェーハＷが局所的に自重で垂れるのを防止すると共に、第二保持部材２００によってのみ保持されるときにウェーハＷが局所的に反返るのを防止することが可能となる。

本発明に基づくウェーハ搬送装置の一部を示す略図である。 （ａ）本発明の第一の実施形態に基づくウェーハ搬送装置の第一保持部材の頂面図である。（ｂ）図２（ａ）に示される第一保持部材の正面図である。 （ａ）本発明の第一の実施形態に基づくウェーハ搬送装置の第二保持部材の頂面図である。（ｂ）図３（ａ）に示される第二保持部材の正面図である。（ｃ）図３（ａ）の線Ａ１−Ａ１に沿ってみた断面図である。 （ａ）〜（ｅ）本発明に基づくウェーハ搬送装置の動作を説明するための図である。 本発明に基づくウェーハ搬送装置の他の一部の側面図である。 （ａ）本発明の第二の実施形態に基づくウェーハ搬送装置の第一保持部材の頂面図である。（ｂ）図６（ａ）に示される第一保持部材の断面図である。 （ａ）本発明の第二の実施形態に基づくウェーハ搬送装置の第二保持部材の頂面図である。（ｂ）図７（ａ）に示される第二保持部材の正面図である。（ｃ）図７（ａ）の線Ａ２−Ａ２に沿ってみた断面図である。（ｄ）図７（ａ）の線Ａ３−Ａ３に沿ってみた断面図である。

符号の説明

１ ウェーハ搬送装置
１０、１００ 第一保持部材
１１ ベース
１２ 保持部
１２ａ 外側保持部
１２ｂ 内側保持部
１３ａ、１３ｂ 吸引溝
１５ａ、１５ｂ 保持通路
２０、２００ 第二保持部材
２１ 枠体
２１ａ 内周面
２２ 保持部
２２ａ 上面
２３ａ 吸引溝
２３ｂ 段差部
２５ 保持通路
２６ 平坦部
２６ａ 連結孔
２７ 蓋部
２９ 切欠部
３０ 第三保持部材
４１ ロッド
４２ シリンダ
５０ 多関節ロボット
５１、５２ アーム
５５ 胴部
６１ ロッド
６２ シリンダ
６５ ハウジング
６６ マウントフレーム
６７ 開口部
１２２ 凹部
２２２ 突出部
Ｖ１、Ｖ２ 開閉弁
Ｗ ウェーハ
Ｗ１ 表面
Ｗ２ 裏面

Claims (6)

1. ウェーハの一方の面における中央部を保持していて、半径方向外側に延びる複数の突出部が備えられた第一保持部材と、
   前記中央部周りに位置する前記ウェーハの外周部の少なくとも一部分を保持していて、前記突出部に係合する複数の凹部が形成された第二保持部材と、
   前記ウェーハの中心線方向において前記第一保持部材および前記第二保持部材を互いに相対的に移動させる移動手段とを具備するウェーハ搬送装置。
2. 前記第一保持部材は前記ウェーハを保持するテーブルであり、前記移動手段はロボットのアームであり、前記第二保持部材は前記アームに取付けられたハンドである請求項１に記載のウェーハ搬送装置。
3. 前記第二保持部材の前記突出部は前記ウェーハの周方向に等間隔に配置されている請求項１に記載のウェーハ搬送装置。
4. 半径方向外側に延びる複数の突出部が備えられた第一保持部材によりウェーハの中央部を保持し、
   前記突出部に係合する複数の凹部が形成された第二保持部材によって、前記中央部周りに位置する前記ウェーハの外周部の少なくとも一部分を保持し、
   前記第一保持部材による前記ウェーハの前記中央部における保持を解除し、
   前記ウェーハの中心線方向において前記第二保持部材を前記第一保持部材に対して相対的に移動させる、ウェーハ搬送方法。
5. さらに、前記ウェーハの外周部の少なくとも一部分を保持する前記第二保持部材を第三保持部材の上方に配置し、
   前記第二保持部材が前記第三保持部材と同一平面になるまで、前記ウェーハの中心線方向において前記第二保持部材を前記第三保持部材に対して相対的に移動させ、
   前記第三保持部材により前記ウェーハの前記中央部を保持し、
   前記第二保持部材による前記ウェーハの前記外周部における保持を解除し、
   前記ウェーハの中心線方向において前記第二保持部材を前記第三保持部材に対して相対的に移動させる、請求項４に記載のウェーハ搬送方法。
6. さらに、前記第二保持部材により前記ウェーハの前記外周部の少なくとも一部分を保持する前に、前記ウェーハの前記中央部を保持した前記第一保持部材が前記第二保持部材と同一平面になるまで、前記第一保持部材を前記第二保持部材に対して相対的に移動させることを含む請求項４に記載のウェーハ搬送方法。

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