JP4915422B2 - 液滴吐出ヘッドの配線構造 - Google Patents

Description

本発明は、液体を吐出させるための圧電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドに適用される配線構造に関する。

液滴吐出ヘッドの一例として、被記録媒体に画像を記録するインクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドが知られている。インクジェットヘッドでは、ノズル数を増やして記録される画像を高品質にするため、各ノズルに対応して設けられる圧力室の高密化が求められている。圧力室を高密化すると、隣接する圧力室間の距離が短くなるため、圧電アクチュエータを駆動する際の隣接する圧力室への影響、所謂クロストークが生じる。例えば特許文献１のインクジェットヘッドによれば、圧電アクチュエータを構成する圧電層のうち最も圧力室から離れた層に個別電極が形成され、個別電極の両側に溝が形成されている。このため圧電効果による活性部の変形時に、圧力室間の領域の変形をこの溝で吸収可能となる。

特開２００３−３１１９５４号公報

このように個別電極の両側に溝を形成すると、溝を形成しない場合と比べ、活性部の変形が隣接する圧力室に伝播しにくくなり、上記クロストークを抑制することができる。しかし、更なる高品質化の要求により圧力室もより一層高密に配列することが求められており、より優れたクロストークの対策が求められている。

そこで本発明は、圧力室を高密化しても良好にクロストークを抑制可能な液滴吐出ヘッドを提供することを目的とし、このような目的を達成すべく構成された液滴吐出ヘッドに適用するに相応しい配線構造を提供することを目的としている。

上記目的を達成すべく、本発明に係る液滴吐出ヘッドは、複数の圧力室内の液体を選択的に吐出させるための圧電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドであって、前記圧電アクチュエータは、前記圧力室内の液体を選択的に吐出させるために選択的に駆動電圧が付与される個別電極と、第１の定電位が付与される第１定電位電極と、第２の定電位が付与される第２定電位電極とを備えている。この液滴吐出ヘッドによれば、圧電アクチュエータに個別電極と第１定電位電極とにより形成される活性部と、個別電極と第２定電位電極とにより形成される活性部とを設けることができ、２種の活性部の動作により所謂クロストークを良好に抑制可能となる。

本発明に係る液滴吐出ヘッドの配線構造は、このような液滴吐出ヘッドに適用され、前記圧電アクチュエータを駆動するための配線を有した液滴吐出ヘッドの配線構造であって、複数の前記配線が設けられた配線板と、前記配線板上に実装されて前記駆動電圧を選択的に出力するドライバとを有し、前記複数の配線には、前記ドライバに電源供給するための電源線と、前記ドライバをグランド電位とするためのグランド線と、前記第１定電位を前記第１定電位電極に供給するための第１定電位配線と、前記第２定電位を前記第２定電位電極に供給するための第２定電位配線と、前記電源線と前記第１定電位配線とを短絡する第１短絡線と、前記グランド線と前記第２定電位配線とを短絡する第２短絡線とが含まれ、前記配線板において幅方向に対向する２つの外縁において、前記第１及び第２の定電位配線のうちいずれか一方の定電位配線は、前記２つの外縁おいて最外側に配置され、他方の定電位配線は前記２つの外縁のうちの一方の外縁において、前記一方の定電位配線の内側に隣接して配置され、前記ドライバに接続されるグランド線及び電源線のうち前記他方の定電位配線と短絡される配線は、前記一方の外縁において前記他方の定電位配線の内側に隣接して配置され、前記一方の定電位配線と短絡される配線は、前記２つの外縁のうち他方の外縁において前記一方の定電位配線の内側に隣接して配置され、前記第１短絡線と前記第２短絡線が、それぞれが短絡する配線と同じ面上に設けられていることを特徴としている。

このような配線構造により、圧電アクチュエータの各電極に所定の電位を付与することができる。そして、第１及び第２短絡線を含めて配線板の同一の面に複数の配線を設けることができる。そのため、表裏両面に配線を設ける場合と比べ、配線構造の製造コストを低くすることができる。また、アクチュエータの分極工程後に容易に第１及び第２短絡線を容易に接続することができる。

前記配線板は前記圧電アクチュエータに接合される中央部と、前記中央部に対して互いに反対方向に引き延ばされる第１及び第２延在部とを有し、前記中央部には第１の前記ドライバと第２の前記ドライバとが実装され、前記第１延在部には、前記第１ドライバに対応する前記グランド線及び前記電源線が設けられ、前記第２延在部には、前記第２ドライバに対応する前記グランド線及び前記電源線が設けられており、前記第１延在部に設けられている配線が、前記第２延在部に設けられている配線に対して前記中央部を中心にして１８０度回転対称の関係で配置されていてもよい。

前記第２定電位配線が最外側に配置されていてもよい。

前記２つの外縁の各々に沿って一対の前記グランド線が設けられており、前記一対のグランド線が前記ドライバを介して接続されていてもよい。

前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室の中央部に対向する第１活性部と前記複数の圧力室の中央部分よりも外側の部分と対向する第２活性部とが形成されていて、前記個別電極と前記第１定電位電極とで挟まれた領域に形成された第１活性部と、前記個別電極と前記第２定電位電極とで挟まれた領域に形成された第２活性部とを有し、前記第１及び第２活性部はそれぞれ、電圧印加時に圧力室に向かう第１方向に伸長するとともにその第１方向と直交する第２方向に収縮する変形状態となるよう構成され、前記第１活性部への電圧印加時には前記第２活性部に電圧が印加されず、前記第１活性部に電圧を印加しないときには前記第２活性部に電圧が印加される構成であってもよい。

本発明によると、圧力室を高密化しても良好にクロストークを抑制可能な液滴吐出ヘッドを提供することができ、このような作用効果を奏する液滴吐出ヘッドに適した配線構造を提供することができるとともに、この配線構造の製造コストを下げることができる。

本発明の第１実施形態に係るインクジェットヘッドの分解斜視図である。 図１に示すインクジェットヘッドの部分縦断面図である。 図１に示すインクジェットヘッドの部分横断面図である。 図１に示すインクジェットヘッドに適用される配線構造の平面図である。 図１乃至図４に示す圧電アクチュエータ及び配線構造の電気的構成を示す電気回路図である。 図４に示す本発明の第１実施形態に係る配線構造と対比される別構成の配線構造の説明図であって、（ａ）がその平面図、（ｂ）がその背面図である。 図１乃至図３に示す圧電アクチュエータの分極工程の説明図である。 本発明の第２実施形態に係る配線構造の平面図である。

これら図面を参照しながら、本発明の実施形態について説明する。ここでは、本発明に係る液滴吐出ヘッドをインクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドに適用した場合を例示し、該ヘッドよりインクが吐出する方向を下方として説明する。

図１乃至図３に示すインクジェットヘッド１は、流路ユニット２の上側から圧電アクチュエータ３を重ねて接合して構成される。両部品２，３は平面視略矩形状であり、便宜的にその長辺方向を「縦方向」、短辺方向を「横方向」とする。

図３には一部のみ示すが、流路ユニット２の下面にはノズル４が開口し、上面にはノズル４に連通する圧力室孔５が開口している。図１を参照すると、圧力室孔５は、横方向に長い略矩形状で、多数の圧力室孔５が流路ユニット２の上面に高密に配列されている。これら圧力室孔５は縦方向に略一定ピッチで並設されて複数の列をなし、横方向には千鳥状に配置されている。なお、各圧力室孔５は対応する１つのノズル４と連通し、流路ユニット２の下面には多数のノズル４が圧力室孔５と略同パターンで配列される。図３に戻り、これら圧力室孔５が圧電アクチュエータ３の下面で閉鎖されることによりインクジェットヘッド１に多数の圧力室６が形成される。流路ユニット２には、外部のインク供給源からのインクをその種類毎に貯留する共通インク室７が形成され、各圧力室６はこの共通インク室７の何れか１つと連通している。図１にはインクを流路ユニット２に導入するインク供給口４７を示しており、流路ユニット２内には、該インク供給口４７から共通インク室７及び各圧力室６を介して各ノズル４にインクを供給するためのインク流路が形成されている。

図２及び図３に示すように、圧電アクチュエータ３は、振動板であるボトム層８上に２つの圧電層９，１０を積層してなる。ここでは、これら圧電層のうち下側を「中間層９」、上側を「トップ層１０」と呼ぶ。ボトム層８は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との混晶であるチタン酸ジルコン酸鉛を主成分とする圧電材料からなり、複数の圧力室６を覆うように、流路ユニット２の上面に配置されている。また、ボトム層８の厚みは２０μｍ程度となっている。なお、ボトム層８の材料は、圧電材料には限られない。圧電層９，１０は、ボトム層８と同様の圧電材料からなり、互いに積層されてボトム層８の上面に配置されている。この厚みも各２０μｍ程度となっている。トップ層１０の上部側には各圧力室６に対応し、各圧力室６の面積のほぼ全域と対向するように配置された略矩形状の個別電極１１が設けられている。中間層９とトップ層１０との間には各圧力室６に対応する上部定電位電極１２が設けられ、ボトム層８と中間層９との間には多数の圧力室６に共通する下部定電位電極１３が設けられている。

図２に示すように、個別電極１１及び上部定電位電極１２は互いの縦方向中心が略一致し、個別電極１１の縦方向寸法は上部定電位電極１２のそれよりも長い。そのため、個別電極１１の縦方向中央部は上部定電位電極１２と平面視で重なり、縦方向両端部は下部定電位電極１３と平面視で重なっている。個別電極１１の縦方向中央部と上部定電位電極１２とで挟まれた部分は、これら電極１１，１２間で分極された第１活性部１４をなす。また、個別電極１１の縦方向各端部と下部定電位電極１２とで挟まれた部分は、これら電極１１，１３間で分極された第２活性部１５をなす。つまり、第１活性部１４は圧力室６の中央部に対応して配置され、第２活性部１５はこの第１活性部１４の外側であって圧力室６の中央部の外側の部分に対応して配置される。

図１，図３に示すように、各個別電極１１は、横方向に関してノズル４と反対側の端縁から、圧力室６と対向しない領域にまで横方向に突出するよう延びる部分を有し、この部分に端子部１７が一体的に設けられている。上下の定電位電極１２，１３（図２及び図３参照）はそれぞれ、図示しない領域を上下に貫通するスルーホールを介し、トップ層１０の上面に設けられた端子部１８，１９と電気的に導通している。このトップ層１０の上面側には配線板２０が重ねて設けられる。配線板２０の下面側には、端子部１７〜１９と対応する接続端子が設けられており、配線板２０は、これら接続端子が金属などの導電性材料からなる図示しないバンプ等を介して対応する端子部１７〜１９のそれぞれと電気的に導通するようにして、圧電アクチュエータ３に接合される。

図２及び図３を参照し、各個別電極１１に付与される電位は、配線板２０に実装されたドライバ２３によって高電位とグランド電位との間で切り替えられるようになっている。対応する圧力室６の容積を変動させる駆動時には、個別電極１１には例えば２０Ｖ程度の高電位（以下「第１電位」と呼ぶ）が選択的に付与され、その後グランド電位（以下「第２電位」と呼ぶ）が付与される。一方、インクの吐出を要しない待機時には第２電位が付与される。また、配線板２０を通じて上部定電位電極１２には第１電位が常時付与され、下部定電位電極１３には第２電位が常時付与される。このため、第１活性部１４は、待機時に印加される電圧の方向と同方向に分極されて活性化され、第２活性部１５は、駆動時に印加される電圧の方向と同方向に分極されて活性化されている。これら活性部を形成する一対の電極間に電位差が生じると、これら電極に挟まれた圧電層に電圧が印加されることとなり、積層方向の電界が生じる。圧電層の分極方向と電界方向とが同じ場合には逆圧電効果が生じ、圧電層９，１０はその分極方向である積層方向に伸長し、該積層方向に直交する方向である水平方向に収縮する。

従って、待機時には、逆圧電効果の発揮に有効となる電圧が印加されていない第２活性部１５は変形せず、有効となる電圧が印加されている第１活性部１４は積層方向に伸張して水平方向に収縮する。このとき、中間層９はボトム層８に接合されているので、トップ層１０と中間層９との間で水平方向への歪みに差が生じる。これによりボトム層８及び圧電層９，１０は、圧力室６に向かう積層方向に突出変形する。駆動時は、逆圧電効果の発揮に有効となる電圧が印加されていない第１活性部１４は変形から回復する。他方、有効となる電圧が印加された第２活性部１５は積層方向に伸長して水平方向に収縮しようとするので、第２活性部１５が圧力室６から離れる方向に反るように変形する。これら活性部１４，１５の変形の複合により圧力室６の容積が増大し、共通インク室７から圧力室６へとインクが供給されることとなる。そして、個別電極１１の電位を下部定電位電極１３と同電位にすると、上記同様ボトム層８及び圧電層９，１０が圧力室６に向かうようにして積層方向に突出変形して圧力室６の容積が瞬時に減少する。これにより、この圧力室６内のインクがノズル４より下方に吐出される。

このように本インクジェットヘッド１においては、第１活性部１４に対する電圧の印加と非印加との切替によって第１活性部１４が変形する。これと同時に、第２活性部１５に対する電圧の印加と非印加との切替が行われるが、この切替によって第２活性部１５は、第１活性部１４の変形が隣接する圧力室６に伝播するのを抑制するようにして変形する。このため、多数の圧力室６を高密化しても良好にクロストークを抑制することができる。

なお、本発明に係る液滴吐出ヘッド１の圧電アクチュエータ３の構成は上記のものに限られない。圧電アクチュエータが、各圧力室に対し２種の定電位電極と、１種の個別電極とを有し、これら３種の電極によって圧力室の中央部に対応する第１活性部と、この中央部よりも外側の部分に対応する第２活性部とが形成されていれば、どのように構成されていてもよい。なお、第２活性部１５は圧力室６の外周縁よりも内側の領域を含んでいてもよい。これにより、第１活性部１４だけでなく第２活性部１５も圧力室６の容積変化に貢献することとなり、第１活性部１４だけによる場合と比べ、圧力室６の容積変動量が大きくなる。

この圧電アクチュエータ３の製造時には、まずボトム層８、中間層９、トップ層１０および各電極１１〜１３を前述した位置関係になるように互いに積層する。次に、この圧電アクチュエータ３の第１及び第２活性部１４，１５を分極するための分極工程を行うことにより、前述したようにインクを吐出するよう動作可能な圧電アクチュエータ３が作成される。この分極工程の詳細については後述する。

次に、図１を参照しつつ図４及び図５に基づき、圧電アクチュエータ３に電圧を印加するための配線構造について説明する。図４に示すように本配線構造は前述した配線板２０を備えている。配線板２０には、圧電アクチュエータ３に上側から重ねられて圧電アクチュエータ３の上部側に接合される矩形状のＣＯＦ部２１と、このＣＯＦ部２１の一端縁に接合された帯状の第１ＦＰＣ部２２と、ＣＯＦ部２１の他端縁に接合された帯状の第２ＦＰＣ部７２とが含まれている。

ＣＯＦ部２１を圧電アクチュエータ３に接合した状態において、第１ＦＰＣ部２２は圧電アクチュエータ３から外側へと一方向に引き出されるように設けられる。第２ＦＰＣ部７２は圧電アクチュエータ３から外側へと第１ＦＰＣ部２２とは反対の方向に引き出されるように設けられる。ＣＯＦ部２１及び各ＦＰＣ部２２，７２は何れも公知のフレキシブル配線板である。各ＦＰＣ部２２，７２は例えばハンダ付けによってＣＯＦ部２１の端縁に接合され、この接合によって両部２１，２２，７２に設けられている配線が電気的に導通し合う。なお、各ＦＰＣ部２２，７２には、ＣＯＦ部２１との接合部分とは反対側の端縁において、各配線のコンタクトが設けられている。これらコンタクトはインクジェットプリンタの所定箇所に配設された基板上に実装されているレセプタクルコネクタに接続され得る。

配線板２０のＣＯＦ部２１には、各個別電極１１に印加する電圧を選択的に出力する２つのドライバ２３，７３が実装されている。図中左側に配置された第１ドライバ２３は第１ＦＰＣ部２２に設けられた配線に対応して設けられたものであり、図中右側に配置された第２ドライバ７３は第２ＦＰＣ部７２に設けられた配線に対応して設けられたものである。また、配線板２０には、多数の個別配線２４，７４、電源線（ＶＤＤ２）２５，１２５，７５，１７５、グランド線（ＶＳＳ２）２６，１７６、上部定電位配線（ＶＣＯＭ）１２７，７７、下部定電位配線（ＣＯＭ）２８，１２８，７８，１７８、第１短絡線２９，７９、及び第２短絡線３０，８０が設けられている。なお、図示しないが配線板２０の各ＦＰＣ部２２，７２には、その他に、圧電アクチュエータ３の駆動態様を指定する波形信号線、ドライバ２３，７３から個別電極１１へ出力される駆動信号をチャンネルごと指示する印字データ線、クロック信号等を出力するための複数の制御信号線、ドライバ２３，７３自体の電源電圧線（ＶＤＤ１）（例えば３．３Ｖ）及び接地電圧線（ＶＳＳ１）（例えば０Ｖ）等が設けられており、これら配線がドライバ２３，７３に接続されている。

各個別配線２４，７４は、各個別電極１１に対応して設けられ、各個別電極１１に第１及び第２の電位をインクの吐出タイミングに応じて付与するための配線である。各個別配線２４，７４は、対応するドライバ２３，７３から各個別電極１１の端子部１７に対応する配線板２０上の接続端子に向けて延びている。

電源線（ＶＤＤ２）２５，１２５，７５，１７５は、対応するドライバ２３，７３に電源供給するための配線であり、ドライバ２３，７３に接続されている。グランド線（ＶＳＳ２）２６，１７６は対応するドライバ２３，７３をグランド電位に接続するための配線であり、ドライバ２３，７３に接続されている。

上部定電位配線（ＶＣＯＭ）１２７，７７は、上部定電位電極１２に高電位である第１電位を常時付与するための配線であり、上部定電位電極１２の端子部１８に対応する配線板２０上の接続端子に向けて延びている。下部定電位配線（ＣＯＭ）２８，１２８，７８，１７８は、下部定電位電極１３にグランド電位である第２電位を常時付与するための配線であり、下部定電位電極１３の端子部１９に対応する配線板２０上の接続端子に向けて延びている。

第１短絡線２９，７９は、電源線１２５，７５と上部定電位配線１２７，７７とを接続する配線であり、第２短絡線３０，８０は、グランド線２６，１７６と下部定電位配線２８，１７８とを接続する配線である。なお、第１短絡線２９，７９および第２短絡線３０，８０は、圧電アクチュエータ３の作製工程において、後述する圧電アクチュエータ３の分極工程が終了した後に設けられる。

図５は上記圧電アクチュエータ３及び配線構造の電気的構成を説明する電気回路が示されている。但し、図５には第１ドライバ２３に関連する構成のみを示している。図５に示すように、第１及び第２活性部１４，１５は、各電極１１〜１３を極板とする第１及び第２コンデンサ３１，３２とそれぞれ等価である。上部定電位配線（ＶＣＯＭ）１２７と下部定電位配線（ＣＯＭ）２８，１２８とはこれらコンデンサ３１，３２を介して接続され、第１コンデンサ３１が高電位側に位置する。コンデンサ３１，３２の充電時にはこれと等価の活性部１４，１５が変形し、コンデンサ３１，３２の放電時にはこれと等価の活性部１４，１５が変形状態から回復する。

ドライバ２３は、第１コンデンサ３１の充電／放電の状態と第２コンデンサ３２の充電／放電の状態とが互いに逆の関係となるようにして、両コンデンサ３１，３２の状態を切り替える回路と等価であり、該回路は例えば電源線（ＶＤＤ２）２５，１２５とグランド線（ＶＳＳ２）２６との間に直列的に介在する２つのトランジスタ３４，３５より構成される。つまり、電源線２５，１２５が第１トランジスタ３４のコレクタに接続され、第１トランジスタ３４のエミッタが第２トランジスタ３５のコレクタに接続され、第２トランジスタ３５のエミッタがグランド線２６に接続される。そして個別配線２４が、両トランジスタ３４，３５間を結ぶ配線と個別電極１１との間を接続する。個別電極１１は、第１活性部１４と等価である第１コンデンサ３１の低電位側極板として機能し、第２活性部１５と等価である第２コンデンサ３２の高電位側極板としても機能する。

前述したようにインクの吐出に際しては、個別電極１１の電位をグランド電位である第２電位から高電位である第１電位へと立ち上げ、その後第１電位から第２電位へと立ち下げるという手順がとられる。また、待機時は個別電極１１に第２電位が印加される。

個別電極１１の電位の立ち上げは、第１トランジスタ３４をＯＮにして第２トランジスタ３５をＯＦＦにすることと等価である。このとき、電源線２５，１２５が、第１トランジスタ３４及び第２コンデンサ３２を介して下部定電位配線２８，１２８と接続され、第２コンデンサ３２が充電される。個別電極１１の電位の立ち下げは、第１トランジスタ３４をＯＦＦにして第２トランジスタ３５をＯＮにすることと等価である。このとき、上部定電位配線１２７が第１コンデンサ３１及び第２トランジスタ３５を介してグランド線２６と接続され、第１コンデンサ３１が充電される。また、立ち上げ時に充電された第２コンデンサ３２が個別配線２４、グランド線２６、第２短絡線３０及び下部定電位配線２８，１２８により構成される閉回路上にあり、第２コンデンサ３２に貯められた電荷が放電される。このときの各トランジスタ３４，３５のＯＮ／ＯＦＦ設定は待機時にも維持される。そのため、個別電極１１の電位の立ち上げ時を再び考慮すると、待機時に充電された第１コンデンサ３１が上部定電位配線１２７、第１短絡線２９及び個別配線２４により構成される閉回路上にあり、第１コンデンサ３１に貯められた電荷が放電される。

本配線構造には、個別配線２４（７４）、電源線２５，１２５（７５、１７５）、グランド線２６（１７６）、上部定電位配線１２７（７７）及び下部定電位配線２８，１２８（７８，１７８）と共に２本の短絡線２９，３０（７９，８０）が設けられているため、３種の電極１１〜１３に第１及び／又は第２電位を付与することができ、これら３種の電極１１〜１３によって構成される２種の活性部１４，１５を、クロストークが抑制されるようにして動作させることができる。

ここで、本実施形態に係る配線構造の特徴を明確にするために示す別構成の配線構造について図６を参照して説明する。図６に示す配線構造の配線板９２０においては、そのＣＯＦ部９２１において第１及び第２ドライバ９２３，９７３が実装され、各ドライバに対応する配線を設けた２つのＦＰＣ部９２２，９７２がＣＯＦ部９２１に接合されている。各ＦＰＣ部９２２，９２７の構成は互いに同じである。即ち、何れのＦＰＣ部９２２，９７２においても、対応するドライバ９２３，９７３に接続される電源線９２５，９７５及びグランド線９２６，９２７と、圧電アクチュエータ３に所定の電位を付与するための上部定電位配線９２７，９７７及び下部定電位配線９２８，９７８と、電源線９２５，９７５及び上部定電位配線９２７，９７７を短絡する第１短絡線９２９，９７９と、グランド線９２６，９７６及び下部定電位配線９２８，９７８を短絡する第２短絡線９３０，９８０とが設けられている。以下では、第１ＦＰＣ部９２２にのみ着目して説明し、第２ＦＰＣ部９２７についての説明を省略する。

第１ＦＰＣ部９２２には電源線９２５、グランド線９２６、上部定電位配線９２７及び下部定電位配線９２８の４つの配線からなる配線群が２群設けられており、各配線９２５〜９２８はＦＰＣ部９２２の延在方向と互いに平行に延在している。各配線群においては、下部定電位配線９２８、上部定電位配線９２７、グランド線９２６、電源線９２５が外縁側から中央側へとこの順で並んで設けられている。２つの定電位配線９２７，９２８は第１ドライバ９２３の外縁側領域を通過させて圧電アクチュエータ３側と接続させる必要があるという観点と、高電位側よりもグランド側を外側に配置したほうがショートなど、電気的な不具合を防ぎ易いという観点とに基づいて、４つの配線９２５〜９２８がこのようにして並べられている。従って、第１短絡線９２９は電源線９２５と上部定電位配線９２７とを接続するため、これら配線９２５，９２７間に介在するグランド線９２６と干渉しないよう配置され、第２短絡線９３０はグランド線９２６と下部定電位配線９２８とを接続するため、これら配線９２６，９２８間に介在する上部定電位配線９２７と干渉しないよう配置される必要がある。また、配線群が配線板９２０の外縁に２群設けられているのは、たとえば、どちらか一方の外縁のみに配線群が設けられた場合、各配線９２５〜９２８，９７５〜９７８が接続されるドライバ９２３，９７３および圧電アクチュエータ３の長手方向に対して、一方側からのみ電圧が供給されることとなり、ドライバ９２３，９７３及び圧電アクチュエータ３の長手方向他方側に対して内部で電圧降下が発生して、吐出特性のばらつきを呈することがある。そのため、配線群は、ドライバ９２３，９７３及び圧電アクチュエータ３の長手方向の両方側から電圧を供給することで、電圧降下が起こらないようにしている。また、各配線群の間には、図示しない複数の制御信号線や接地電圧線（ＶＳＳ１）、電源電圧線（ＶＤＤ１）がＦＰＣ部９２２，９７２の延在方向と平行に延在している。

この場合、第１及び第２短絡線９２９，９３０は、基板部の裏面に設けたジャンパ線９３７，９３８によって実現することができる。本実施形態では、両面フレキシブルプリント基板を用いている。ジャンパ線９３７，９３８は、例えば、汎用のジャンパーケーブルで接続したり、ジャンパチップを設けて接続することで、両面フレキシブルプりんと基板を用いなくても、配線が表面のみにある片面フレキシブルプリント基板で行なうことも可能である。しかし、短絡させる配線が高密度に形成されていて、ジャンパーケーブルでの接続は、接続工程において作業困難で製造しにくく、また、ジャンパチップを設ける場合、ジャンパ線を流れる放電電流が大きいため、チップの定格電流を超えてしまうことがあり、チップが壊れやすい。このような構造でジャンパ線を設けることで、上記問題なくジャンパ構造をとることができる。これにより基板部の表側面において第１及び第２短絡線９２９，９３０が、グランド線９２６又は上部定電位配線９２７を物理的に跨ぎ越すような架橋構造になるのを避けることができ、本配線構造が配線板９２０の厚さ方向に大型になるのを避けることができる。しかし、この構成によれば、第１ＦＰＣ部９２２の表裏両面に配線が印刷形成されている必要があり、第１ＦＰＣ部９２２の製造コストが嵩む。所謂両側引き出し方式の配線構造においては、２つのＦＰＣ部９２２の製造コストがかさむこととなり、配線構造のコストが全体的に大きくなってしまう。

図４に戻ると、本実施形態では、第１ドライバ２３はＣＯＦ部２１の上面側に実装され、第１ＦＰＣ部２２との接合部となる端縁に近接して配置されている。第１ドライバ２３は平面視矩形状のＩＣチップの形態をなし、その長手方向が端縁の延在方向と平行となるようにして配置されている。第１ドライバ２３に対応する各個別配線２４は、ＣＯＦ部２１上にて、このように配置されるドライバ２３から概ね反対側の端縁に向けて延在している。第２ドライバ７３及びこれに対応する各個別配線７４も同様の構成となっている。

第１ＦＰＣ部２２は略矩形帯状に形成され、その延在方向に延びる一対の外縁のそれぞれに近接する２つの配線群が設けられている。図中上側の外縁に近接して設けられた第１配線群は、第１ドライバ２３に対応する電源線２５、グランド線２６及び下部定電位配線２８の３つの配線からなり、図中下側の外縁に近接して設けられた第２の配線群は、第１ドライバ２３に対応する電源線１２５、上部定電位配線１２７、及び下部定電位配線１２８の３つの配線からなる。つまり、第１配線群は、第２短絡線３０により接続される２つの配線２６，２８が含まれており、図６に示す別構成においてはこれら２つの配線の間に挟まれるようにして配置されていた上部定電位配線が省略されている。同様に、第２配線群には、第１短絡線２９により接続される２つの配線１２５，１２７が含まれており、図６に示す別構成においてはこれら２つの配線の間に挟まれるようにして配置されていたグランド線が省略されている。

言い換えると、第１配線群は、第２短絡線３０で接続されるべき２つの配線２６，２８が隣り合うようにして配置されている。そのため、第１ＦＰＣ部２２の基板部の表側面上にて、これら２つの配線２６，２８に跨るようにしてハンダ等の導電材を設置するだけで、該２つの配線２６，２８を互いに電気的に導通させることができる。同様に、第２配線群は、第１短絡線２９で接続されるべき２つの配線１２５，１２７が隣り合うようにして配置されている。そのため、第１ＦＰＣ部２２の基板部の表側面上にて、これら２つの配線１２５，１２７に跨るようにしてハンダ等の導電材を設置するだけで、これら２つの配線１２５，１２７を互いに電気的に導通させることができる。

このように本配線構造の第１ＦＰＣ部２２においては、第１及び第２短絡線２９，３０で短絡されるべき配線が互いに隣り合うようにして設けられるようにしている。このため、第１及び第２短絡線２９，３０を設ける面と該短絡線２９，３０で短絡される４種の配線２５〜２８を設ける面とを同一にしつつ、短絡されるべき配線上に導電材を設置するだけで該短絡線２９，３０を構成することができる。従って、第１ＦＰＣ部２２の基板部の裏側面に配線を印刷形成する必要がなくなり、配線板２０の製造コストを下げることができる。また、表側面に短絡用の架橋構造を設ける必要がなく、配線板２０が厚み方向に大型化して屈曲性が損なわれるのを避けることができる。

なお、第１ＦＰＣ部２２の上面には、例えば抵抗器やコンデンサ等の複数の電子素子３６が実装されている。ここでは該電子素子３６による電気的な作用について詳細に説明しないが、図４に示すように、第１短絡線２９及び第２短絡線３０を構成する導電材の設置箇所は、これら電子素子３６の実装箇所と、第１ＦＰＣ部２２の延在方向と直交する方向に略一直線状に並んで設けられている。即ち、短絡線２９，３０を構成する導電材及び電子素子３６が、第１ＦＰＣ部２２の延在方向に関して略同位置に設けられている。

ここで、第１ＦＰＣ部２２に電子素子３６が実装されたり導電材が設置されたりすると、その箇所において第１ＦＰＣ部２２を自在に曲げにくくなってしまう。そこでこれら導電材及び電子素子３６を第１ＦＰＣ部２２の延在方向に関して略同位置に配置したことにより、自在に曲げにくくなる箇所を極力減らし、第１ＦＰＣ部２２の取り回し易さや屈曲性が極力損なわれないようにしている。

また、第１及び第２短絡線２９，３０は、電子素子３６と共に、第１ＦＰＣ部２２上において、なるべくＣＯＦ部２１との接合部分に近接して配置されている。これにより、第１及び第２活性部１４，１５から第１及び第２短絡線２９，３０までの配線長をなるべく短くすることができ、第１ドライバ２３に入力する電圧の電圧降下をなるべく小さくすることができ、第１ドライバ２３に付与可能な最大定格電圧（ＶＤＤ１＋ＶＤＤ２の合計）に対して電圧降下分が加わることで、ドライバ２３の破壊されることを防止できる。また、活性部１４，１５における電圧変動をなるべく小さくすることができ、圧電アクチュエータ３を安定して動作させることができるようになる。

ここで、ＣＯＦ部２１の一対の外縁にはそれぞれ、下部定電位電極１３の端子部１９と平面視で重なるよう配置されて該端子部１９と導通される下部用接続端子６０，１６０と、上部定電位電極１２の端子部１８と平面視で重なるよう配置されて該端子部１８と導通される上部用接続端子６１，１６１とが設けられている。図中下側の外縁に沿って設けられた下部用接続端子１６０は、ＣＯＦ部２１と第１ＦＰＣ部２２との接合により、第１ＦＰＣ部２２の第２配線群を構成する下部定電位配線１２８と導通され、上部用接続端子１６１は、同上部定電位配線１２７と導通される。また、図中上側の外縁に沿って設けられる上部用接続端子６０は、第１ＦＰＣ部２２の第１配線群を構成する上部定電位配線２８と導通される。但し、下部用接続端子６１は、第１配線群から下部定電位配線２７を省略しているために、第１ＦＰＣ部２２に設けられた配線とは電気的に導通されていない。この下部用接続端子６１は、第２ＦＰＣ部７２に設けた下部定電位配線７７と導通されている。

第２ＦＰＣ部７２における配線のレイアウトは、第１ＦＰＣ部２２における配線のレイアウトと、ＣＯＦ部２１の中央部を中心にして１８０度回転対称の関係にある。そのため、前述した第１ＦＰＣ部２２の配線レイアウトに基づく、電圧降下の低減や屈曲性の確保等の作用効果は、第２ＦＰＣ部７２においても同様にして得られる。

つまり、第２ＦＰＣ部７２には、その延在方向に延びる一対の外縁のそれぞれに近接して２つの配線群が設けられている。図中上側の外縁に近接して設けられた第１配線群は、第１ＦＰＣ部２２の第２配線群と同様、第２ドライバ７３に対応する電源線７５、上部定電位配線７７及び下部定電位配線７８の３つの配線からなり、図中下側の外縁に近接して設けられた第２配線群は、第１ＦＰＣ部２２の第１配線群と同様、第２ドライバ７３に対応する電源線１７５、グランド線１７６、及び下部定電位配線１７８の３つの配線からなる。

そして、第２ＦＰＣ部７２の第１短絡線７９は、第１配線群において隣り合うようにして配置された電源線７５と上部定電位配線７７とに跨るようにして設置された、ハンダ等の導電材によって構成されている。第２短絡線８０は、第３配線群において隣り合うようにして配置されたグランド線１７６と下部定電位配線１７８とに跨るようにして設置された、ハンダ等の導電材によって構成されている。

そして、第２ＦＰＣ部７２においては、図中上側の第１配線群に上部定電位配線７７が含まれており、この上部定電位配線７７がＣＯＦ部２１の図中上側の外縁に沿って設けられた上部用接続端子６１に接続されている。逆に、図中下側の第２配線群には上部定電位配線が含まれていないため、ＣＯＦ部２１の図中下側の外縁に沿って設けられた上部用接続端子１６１は第２ＦＰＣ部７２に設けられた配線とは電気的に導通していない。但し、前述したように該接続端子１６１への第１電位の付与は、第１ＦＰＣ部２２により行われており、本配線構造では、２つの上部用接続端子６１，１６１への第１電位の付与を、２つのＦＰＣ部２２，７２のそれぞれが分担して行う構成となっている。これにより、圧電アクチュエータ３の長手方向に対して上部定電位電極１２に両側から第１電位を付与可能となるため、圧電アクチュエータ３内部での電圧降下が小さくて済むようになり、インクの吐出特性への影響が小さくなる。

このように本配線構造においては、それぞれ２つの配線群を有した各ＦＰＣ２２，７２において、一方の配線群からグランド線が省略されている。そのため、ドライバ２３，７３においては、グランド線が接続されている側から延びる個別配線２４，７４に出力される電位と、グランド線が接続されていない側から延びる個別配線２４，７４に出力される電位との間でばらつきが生じる可能性がある。このばらつきがあると、インクの吐出特性が圧力室毎に相違することとなり、高品質の画像を得るための安定したインク吐出制御が難しくなる。

ここで、図１を参照すると、本配線構造が適用されるインクジェットヘッド１の流路ユニット２の上面には、４個のインク導入口４７が開口している。各インク導入口４７は、外部のインク供給源から互いに種類の異なるインクを導入するよう構成されると共に、互いに独立した共通インク室７（図３参照）に連通している。そのため、本インクジェットヘッド１は互いに色の異なる複数種類のインクを選択的に吐出可能になっている。つまり、圧電アクチュエータ３の上面には、４種類のインクの各々に対応して複数の個別電極１１が設けられており、第１及び／又は第２電位が付与される個別電極１１の選択によって吐出されるインクの種類が決まる構成となっている。以下では説明の便宜のため、これら４種類のインクが、互いに色の異なるブラックインク、シアンインク、イエローインク及びマゼンタインクであるとしている。

図４に戻ると、配線板２０には、第１及び第２ドライバ２３，７３の何れかに接続された多数の個別配線２４，７４が設けられているが、これら多数の個別配線２４，７４は、対応するインクの色毎に固めて配置されている。本実施形態では、例えばブラックインクの吐出に利用される個別電極１１と導通されるブラック用配線群４８と、同様のシアン用配線群４９は、全て第１ドライバ２３に接続されている。そして、ブラック用配線群４８はグランド線が接続されている側に固めて配置され、シアン用配線群４９はその反対側に固めて配置されている。他方、イエロー用配線群５０、及びマゼンタ用配線群５１は第２ドライバ７３に接続されており、イエロー用配線群５０はグランド線が接続されていない側に固めて配置され、マゼンタ用配線群５１がその反対側に固めて配置されている。

このように、各ドライバ２３，７３に対して接続された箇所に応じてインク吐出特性が相違する可能性がある場合において、インクの色毎に個別配線を固めて配置することにより、異なるインク間では互いの吐出特性に違いが残るかもしれないものの、配線群４８〜５１の一つに着目すると、当該配線群を構成する複数の個別配線に関しては互いのインクの吐出特性を均一にすることができる。

ここで、本インクジェットヘッド１及び配線構造の製造手順について説明する。まず未分極状態の圧電アクチュエータ３が、流路ユニット２と積層接合されると共に、各ＦＰＣ部２２，７２とは未接合状態のＣＯＦ部２１と接合される。その後、ＣＯＦ部２１に各ＦＰＣ部２２，７２が接合され、圧電アクチュエータ３の分極工程が行われる。なお、この段階において各短絡線２９，３０，７９，８０は設けられていない。

分極工程においては、このような組立体を約１００度の雰囲気下におき、各ＦＰＣ部２２，７２の端部を分極装置に接続する。そして、個別配線２４，７４、上部定電位配線１２７，７７及び下部定電位配線２８，１２８，７８，１７８を介し、圧電アクチュエータ３の各電極１１〜１３間で高電位差を生じさせることにより、第１及び第２活性部１４，１５を分極させる。

例えば、図７（ａ）では、上部定電位電極１２には３６Ｖ、個別電極１１には０Ｖの電位を付与することにより、第１活性部１４には、高電圧が付与されて第１活性部１４が上向きに分極される。そして、図７（ｂ）では、例えば、上部低電位電極１２には２８Ｖ、下部定電位電極１３には−６０Ｖ、個別電極１１には２８Ｖの電位をそれぞれ付与することにより、第２活性部１５と、第１及び第２定電位電極１２，１３に挟まれた部分とが下向きに分極させる。

この後、第１ＦＰＣ部２２が分極装置から取り外されて第１及び第２短絡線２９，３０が設けられ、第２ＦＰＣ部７２が分極装置から取り外されて第１及び第２短絡線７９，８０が設けられる。

このように、本インクジェットヘッド１及び配線構造においては、分極工程を行っているときには、各短絡線２９，３０，７９，８０が設けられていない。逆に設けた上で分極工程を行うと、例えば図７（ａ）に示す場合においては、電源線と上部定電位配線とが同電位となるため、電源線を介して各ドライバ２３，７３に３６Ｖの高電位が付与される。各ドライバ２３，７３は、主に各ドライバ２３，７３自体の電源電圧（例えば３．３Ｖ）と駆動用の電源電圧（例えば２８Ｖ）とによる電圧値が最大定格電圧として規定されているため、このような状態で分極行程が行われると、この最大定格電圧を超える高電位が各ドライバ２３，７３に付与されてしまい、各ドライバ２３，７３の破壊を招く。同様に図７（ｂ）に示す場合においても、グランド線と下部定電位配線とが同電位となるため、グランド線を介して６０Ｖの高電位が各ドライバ２３，７３に付与されてしまい、各ドライバ２３，７３の破壊を招く。このため、本配線構造においては、圧電アクチュエータ３の分極工程を終了した後に、各短絡線２９，３０，７９，８０が設けられるが、基板部の表側面に各短絡線２９，３０，７９，８０が配置されるため、圧電アクチュエータ２の分極工程が終了した後であっても容易に設けることができる。

図８は本発明の第２実施形態に係る配線構造を示す平面図である。この配線構造の配線板２２０も、第１及び第２ドライバ２２３，２７３が実装されたＣＯＦ部２２１の各端縁に、各ドライバ２２３，２７３に対応する配線が設けられた第１ＦＰＣ部２２２及び第２ＦＰＣ部２７２がそれぞれ接合されている。

第１ＦＰＣ部２２２においては、図中上側の外縁に近接して、下部定電位配線（ＣＯＭ）２２８、下部定電位配線（ＶＣＯＭ）２２７、電源線（ＶＤＤ２）及びグランド線（ＶＳＳ２）の４つの配線からなる第１配線群が、外縁側からこの順で並んで設けられている。図中下側の外縁に近接して、下部定電位配線（ＣＯＭ）３２８及びグランド線（ＶＳＳ２）３２６の２つの配線からなる第２配線群が、外縁側からこの順で並んで設けられている。

第１配線群に設けられたグランド線２２６と、第２配線群に設けられたグランド線３２６とは、第１ドライバ２２３を介して互いに接続されており、第１ＦＰＣ部２２２においてループ状に配置されている。このようにループ状に接続することにより、第１ドライバ２２３の内部の電圧降下が起こらないので動作が安定するとともに、電源線をループ状に接続した場合と比べ、グランド線をループ状に接続した方が第１ドライバ２２３の動作を安定させることができるようになる。

第１配線群においては、第１短絡線２２９によって短絡されるべき上部定電位配線２２７と電源線２２５とが互いに隣り合うようにして配置されている。従って、第１実施形態と同様にして、これら２つの配線２２５，２２７を跨ぐようにしてハンダ等の導電材を第１ＦＰＣ部２２２の基板部の表側面に設置するだけで、これら２つの配線２２５，２２７を短絡する配線を構成することができる。また、第２配線群は、第２短絡線２３０によって短絡されるべき下部定電位配線２２８とグランド線２２６のみで構成されている。従って、第１実施形態と同様にしてこれら２つの配線２２６，２２８を跨ぐようにしてハンダ等の導電材を第１ＦＰＣ部２２２の基板部の表側面に設置するだけで、圧電アクチュエータ３の分極工程後にこれら２つの配線を容易に短絡する配線を構成することができる。

第２ＦＰＣ部２７２の配線レイアウトは、第１ＦＰＣ部２２２の配線レイアウトと、ＣＯＦ部２２１の中央部を中心にした１８０度回転対称の関係にある。つまり、図中上側の外縁に近接して、下部定電位配線２７８及びグランド線２７６の２つの配線からなる第１配線群が、外縁側からこの順で並んで設けられている。図中下側の外縁に近接して、下部定電位配線３７８、上部定電位配線３７６、電源線３７５及びグランド線３７６の４つの配線からなる第２配線群が、外縁側からこの順で並んで設けられている。第１及び第２短絡線２７９，２８０はそれぞれ、第２ＦＰＣ部２７２の基板部の表側面に設置されたバンプ等の導電材によって構成され、第１短絡線２７９は第２配線群側に設けられ、第２短絡線２８０は第１配線群側に設けられている。

ＣＯＦ部２２１の一対の外縁にはそれぞれ、第１実施形態と同様にして、下部用接続端子２６０，３６０と上部用接続端子２６１，３６１とが設けられている。本実施形態においても、各ＦＰＣ部において、第１及び第２短絡線を表側面に設けるために２つの配線群のうち一方の配線群において上部定電位配線を省略しているが、各ＦＰＣ部の配線レイアウトが互いに１８０度回転対称の関係となっているため、各外縁に設けられた上部用接続端子には、第１及び第２ＦＰＣ部の何れか一方に設けられた上部定電位配線と接続可能となる。

このようにして本実施形態においても、第１実施形態と同様の作用効果を奏する。

これまで本発明の実施形態について説明したが、上記構成は本発明の範囲内で適宜変更可能である。

例えば、第１実施形態の各配線群において、上部定電位配線（ＣＯＭ）と下部定電位配線（ＶＣＯＭ）の配置を入れ替えると共に、電源線（ＶＤＤ２）とグランド線（ＶＳＳ２）の配置を入れ替えたとしても、第１実施形態と同様の作用効果を奏する。さらには、グランド線がループ状に設けられることとなるため、ドライバの動作をより安定させることができるようになる。

また、「第１電位」が高電位、「第２電位」がグランド電位であるとしたが、この関係は逆となっていても圧電アクチュエータ３を同様にして動作させることができる。その場合、第１短絡線は、高電位を付与する側となる下部定電位配線と電源線とを短絡する配線となっていればよく、第２短絡線は、グランド電位を付与する側となる上部定電位配線とグランド線とを短絡する配線となっていればよい。

本配線構造は、インクジェットプリンタに搭載されるインクジェットヘッドに限られず、インク以外の液体、例えば着色液を吐出して液晶表示装置のカラーフィルタを製造する装置や、導電液を吐出して電気配線を形成する装置等に使用する液体吐出装置に搭載される液体吐出ヘッドに対しても好適に適用することができる。

本発明は、圧力室を高密化しても良好にクロストークを抑制可能な液滴吐出ヘッドを提供することができ、且つクロストーク抑制のために３種の電極より形成された２種の活性部を夫々安定して動作させることができるという作用効果を奏し、被記録媒体にインクを着弾させることによって該媒体に画像を記録するインクジェットプリンタのインクジェットヘッドに適用すると有益である。

１ インクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）
３ 圧電アクチュエータ
６ 圧力室
１１ 個別電極
１２ 上部定電位電極（第１定電位電極）
１３ 下部定電位電極（第２定電位電極）
１４ 第１活性部
１５ 第２活性部
２０ 配線板
２１ ＣＯＦ部（中央部）
２２，７２ ＦＰＣ部（延在部）
２３，７３ ドライバ
２４，７４ 個別配線
２５，１２５，７５，１７５ 電源線
２６，１７６ グランド線
１２７，７７ 上部低電位配線（第１定電位配線）
２８，１２８，７８，１７８ 下部定電位配線（第２定電位配線）
２９，７９ 第１短絡線
３０，８０ 第２短絡線

Claims (5)

1. 複数のノズルより液体を選択的に吐出させるよう動作する圧電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドに適用され、前記圧電アクチュエータを駆動するための配線を有した液滴吐出ヘッドの配線構造であって、
   前記圧電アクチュエータは、前記ノズルより液体を吐出させるために選択的に駆動電圧が供給される複数の個別電極と、第１の定電位が供給される第１定電位電極と、第２の定電位が供給される第２定電位電極とを有し、
   前記配線構造は、複数の前記配線が設けられた配線板と、前記配線板上に実装されて前記駆動電圧を選択的に出力するドライバとを有し、
   前記複数の配線には、前記ドライバに電源供給するための電源線と、前記ドライバをグランド電位とするためのグランド線と、前記第１定電位を前記第１定電位電極に供給するための第１定電位配線と、前記第２定電位を前記第２定電位電極に供給するための第２定電位配線と、前記電源線と前記第１定電位配線とを短絡する第１短絡線と、前記グランド線と前記第２定電位配線とを短絡する第２短絡線とが含まれ、
   前記配線板において幅方向に対向する２つの外縁において、前記第１及び第２の定電位配線のうちいずれか一方の定電位配線は、前記２つの外縁おいて最外側に配置され、他方の定電位配線は前記２つの外縁のうちの一方の外縁において、前記一方の定電位配線の内側に隣接して配置され、
   前記ドライバに接続されるグランド線及び電源線のうち前記他方の定電位配線と短絡される配線は、前記一方の外縁において前記他方の定電位配線の内側に隣接して配置され、前記一方の定電位配線と短絡される配線は、前記２つの外縁のうち他方の外縁において前記一方の定電位配線の内側に隣接して配置され、
   前記第１短絡線と前記第２短絡線が、それぞれが短絡する配線と同じ面上に設けられていることを特徴とする液滴吐出ヘッドの配線構造。
2. 前記配線板は前記圧電アクチュエータに接合される中央部と、前記中央部に対して互いに反対方向に引き延ばされる第１及び第２延在部とを有し、前記中央部には第１の前記ドライバと第２の前記ドライバとが実装され、
   前記第１延在部には、前記第１ドライバに対応する前記グランド線及び前記電源線が設けられ、前記第２延在部には、前記第２ドライバに対応する前記グランド線及び前記電源線が設けられており、
   前記第１延在部に設けられている配線が、前記第２延在部に設けられている配線に対して前記中央部を中心にして１８０度回転対称の関係で配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッドの配線構造。
3. 前記第２定電位配線が最外側に配置されることを特徴とする請求項１又は２に記載の液滴吐出ヘッドの配線構造。
4. 前記２つの外縁の各々に沿って一対の前記グランド線が設けられており、前記一対のグランド線が前記ドライバを介して接続されていることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの配線構造。
5. 前記圧電アクチュエータは、前記複数の圧力室の中央部に対向する第１活性部と前記複数の圧力室の中央部分よりも外側の部分と対向する第２活性部とが形成されていて、
   前記個別電極と前記第１定電位電極とで挟まれた領域に形成された第１活性部と、前記個別電極と前記第２定電位電極とで挟まれた領域に形成された第２活性部とを有し、
   前記第１及び第２活性部はそれぞれ、電圧印加時に圧力室に向かう第１方向に伸長するとともにその第１方向と直交する第２方向に収縮する変形状態となるよう構成され、前記第１活性部への電圧印加時には前記第２活性部に電圧が印加されず、前記第１活性部に電圧を印加しないときには前記第２活性部に電圧が印加される構成であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液滴吐出ヘッドの配線構造。

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