JP4852516B2 - Substrate inspection method and substrate inspection apparatus - Google Patents
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Description
本発明は、複数台のカメラを用いてはんだの印刷状態等を含む基板上の部品の実装状態を検査する方法に関する。 The present invention relates to a method for inspecting a mounting state of a component on a substrate including a printed state of solder using a plurality of cameras.
外観検査機は、部品実装機により基板上に実装された部品をカメラで撮像し、得られた画像を画像処理することにより、はんだの印刷状態、部品の実装位置および実装状態を検査する装置である。 An appearance inspection machine is a device that inspects the printed state of solder, the mounting position and mounting state of a component by imaging the component mounted on the substrate by the component mounting machine and processing the obtained image. is there.
図10(a)は、従来の1ヘッド検査機の平面図である。検査機900は、下部にカメラが取り付けられたヘッド1を有している。ヘッド1は、X及びY方向に移動可能に構成されている。部品が実装された基板20は、カメラの撮像可能な位置にコンベアレール902で搬送され、検査が終了するまで一時停止される。カメラの視野は限られているため、基板が停止している間、ヘッド1が基板20上を移動しながら、ヘッド1に取り付けられたカメラで基板20上に実装された部品の状態を撮像する。
FIG. 10A is a plan view of a conventional one-head inspection machine. The
図10(b)は、従来の検査機が基板上の部品を検査する際の撮像順序の一例を示す図である。図10(b)に示すように、従来の外観検査では、基板20上の部品の実装状態をより効率よく撮像及び検査するために、基板20上の検査領域をカメラの視野の大きさの区画(ID1〜ID6)に分割し、その区画に沿ってカメラの視野をX方向に移動させて(ID1→ID2→ID3)撮像する。このとき、部品が存在しない区画はスキップし、部品が存在する区画は視野の中に最大限の部品を包含するように視野の位置を再設定する。このように設定した視野の移動順は、X方向に移動した行き止まりでY方向に一区画移動し(ID3→ID4)、次にX方向に逆順に移動させ(ID4→ID5→ID6)、最短経路で移動させるものである(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、このような外観検査では、部品の撮像を正確に行なう必要があるが、サイズが小さな部品や、リード(電極)の間隔が小さい部品などが増加しており、このような部品は高解像度での撮像が必要となる。しかし、部品が存在する区画は視野の中に最大限の部品を包含するように視野の位置が設定されており、しかも高解像度で撮像された基板20の画像データを、カメラを移動させて視野ごとに撮像、画像処理、検査を繰り返す場合には、CPUによる画像処理能力が追いつかなくなりつつある。この結果、画像データのメモリストックが一杯になり、画像処理が終了するまで撮像を停止せざるをえなくなり、そのためタクトロスを生じるという問題がある。なお、メモリストックとは、画像メモリ内に格納されている未処理の画像データをいう。
However, in such an appearance inspection, it is necessary to accurately image components, but there are an increasing number of components with small sizes and components with small intervals between leads (electrodes), and such components have high resolution. Imaging is required. However, the position of the field of view of the section where the part is present is set so that the maximum number of parts are included in the field of view, and the image data of the
図11(a)は、図10(b)に示した順で基板上の区画を撮像したときの各タクトと画像データのメモリストック量との関係の一例を示す図である。図11(b)は、図10(b)に示した順で基板上の区画を撮像したときの検査機のタイミングチャートの一例である。例えば、カメラがID1の区画を撮像して得られた画像データを画像メモリに格納するのに要する時間は5秒であり、このときのメモリストックは50%となる。次に、ID2の区画を撮像するのに要する時間は3秒であり、この時点でメモリストックは80%になる。さらに、続けてID3の区画を撮像するのに要する時間は3秒であり、メモリストックは100%となる。メモリストックが100%になると、これ以上撮像しても画像データを格納することができないので、ヘッド1はメモリストックがなくなるまでCPUによる画像処理を待つことになる。この待ち時間である3秒が検査機のタクトロスになる。この待ち時間の後、メモリストックが0%になるので、ID4及びID5の区画を撮像すると、CPUの画像処理が間に合わないために、再びメモリストックが100%になる。ここで、再びCPUの画像処理を待つ待ち時間3秒が生じ、3秒後にはメモリストックが0%になるが、この3秒が検査機のタクトロスになる。最後にID6の区画を撮像するのに5秒を要する。この結果、検査機ではID1からID6までの区画に分割された基板の検査を完了するまでに30秒を要することになる。
FIG. 11A is a diagram showing an example of the relationship between each tact and the amount of memory stock of image data when the sections on the substrate are imaged in the order shown in FIG. FIG. 11B is an example of a timing chart of the inspection machine when the sections on the substrate are imaged in the order shown in FIG. For example, the time required for the camera to store the image data obtained by imaging the section ID1 in the image memory is 5 seconds, and the memory stock at this time is 50%. Next, the time required to image the section of ID2 is 3 seconds, and the memory stock becomes 80% at this point. Further, it takes 3 seconds to continuously capture the ID3 section, and the memory stock is 100%. When the memory stock reaches 100%, the image data cannot be stored even if more images are taken, so the
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、カメラで部品の撮像を行なう外観検査機において、CPUの画像処理能力の上限に起因するタクトロスを低減することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problem, and an object of the present invention is to reduce tact loss caused by the upper limit of the image processing capability of a CPU in an appearance inspection machine that captures images of parts with a camera.
上記目的を達成するために、本発明の一形態である基板の検査方法は、カメラが装着された検査ヘッドで基板を撮像し、撮像された画像を解析することによって、部品の実装状態またははんだの印刷状態を含む基板の表面状態を検査する基板の検査方法であって、それぞれに基板を撮像するための1つのカメラを有する複数の検査ヘッドで、前記基板上にあらかじめ定められた領域を交互に撮像し、撮像処理と撮像された画像の画像処理とを並行して行い、前記領域を撮像することにより生成される画像データを前記検査ヘッドごとに蓄積し、撮像中の前記検査ヘッドにつき蓄積された前記画像データの量に応じて、前記検査ヘッドが撮像を中断する必要があるか否かを判断し、中断する必要があると判断した場合、他の検査ヘッドに撮像を交替して、蓄積された前記画像データの画像処理を行うことを特徴とする。
また、本発明の他の形態である基板の検査方法は、カメラが装着された検査ヘッドで基板を撮像し、撮像された画像を解析することによって、部品の実装状態及びはんだの印刷状態を含む基板の表面状態を検査する基板の検査方法であって、複数の検査ヘッドで交互に基板を撮像して前記検査を行うことを特徴とする。
In order to achieve the above object, a method for inspecting a substrate according to an aspect of the present invention includes imaging a substrate with an inspection head equipped with a camera, and analyzing the captured image to detect whether a component is mounted or soldered. A substrate inspection method for inspecting a surface state of a substrate including a printed state of a plurality of inspection heads each having one camera for imaging a substrate, wherein predetermined regions are alternately arranged on the substrate. The image processing is performed in parallel, the image processing and the image processing of the captured image are performed in parallel, and the image data generated by imaging the region is accumulated for each inspection head, and is accumulated for the inspection head being imaged. In accordance with the amount of the image data that has been determined, it is determined whether or not the inspection head needs to interrupt imaging. And replacement, and performs image processing of storing said image data.
In addition, the substrate inspection method according to another aspect of the present invention includes the component mounting state and the solder printing state by imaging the substrate with an inspection head equipped with a camera and analyzing the captured image. A substrate inspection method for inspecting a surface state of a substrate, wherein the inspection is performed by alternately imaging the substrate with a plurality of inspection heads.
これにより、1つのヘッドのメモリストックが閾値を超えると、別のヘッドに交替して基板の撮像を行うことができるので、前記1つのヘッドによるメモリストックの画像処理を実行しながら、別のヘッドによる基板の撮像を並行して行うことができ、タクトロスを最小限に抑えることができるという効果がある。 As a result, when the memory stock of one head exceeds the threshold value, it is possible to take an image of the substrate by switching to another head, so that another head can be used while performing image processing of the memory stock by the one head. The substrate can be imaged in parallel, and tact loss can be minimized.
本発明は、上述したような特徴的なステップを備える基板の検査方法として実現することができるだけでなく、基板の検査方法が備えるステップを実行する処理部を備える基板の検査装置として実現することができる。また、上述したような特徴的なステップを備えるヘッド切り替え決定方法として実現することができるだけでなく、ヘッド切り替え決定方法に含まれる特徴的なステップをコンピュータに実行させるプログラムとして実現したりすることもできる。そして、そのようなプログラムは、CD−ROM(Compact Disc-Read Only Memory)等の記録媒体やインターネット等の通信ネットワークを介して流通させることができるのは言うまでもない。 The present invention can be realized not only as a substrate inspection method including the characteristic steps as described above, but also as a substrate inspection apparatus including a processing unit that executes the steps included in the substrate inspection method. it can. Moreover, not only can it be realized as a head switching determination method including the characteristic steps as described above, but it can also be realized as a program that causes a computer to execute the characteristic steps included in the head switching determination method. . Needless to say, such a program can be distributed via a recording medium such as a CD-ROM (Compact Disc-Read Only Memory) or a communication network such as the Internet.
以上のように本発明によれば、一方の検査ヘッドによる撮像が待ち状態になったとき、撮像を他の検査ヘッドと交替して、他のヘッドによる基板撮像動作中に撮像済みの画像データについて画像処理を続行することができるので、基板検査のタクトロスを最小限に抑えることができるという効果がある。 As described above, according to the present invention, when imaging by one inspection head enters a waiting state, the imaging is replaced with another inspection head, and image data that has been captured during the substrate imaging operation by the other head. Since image processing can be continued, there is an effect that tact loss in substrate inspection can be minimized.
以下、本発明の実施の形態に係る検査機について説明する。
図1は、本発明の実施の形態に係る検査機100を備えた部品実装システムの構成を示す外観図である。図1(a)は本実施の形態の検査機100を含む部品実装システムの外観を示す図である。図1(b)は、図1(a)に示した部品実装システムの平面図である。
Hereinafter, an inspection machine according to an embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is an external view showing a configuration of a component mounting system including an
図1(a)に示すように、本実施の形態の部品実装システムは、複数の実装機と1台の検査機100を備える。複数の実装機は、上流(図1に向かって左手側)から下流(図1に向かって右手側)に向けて基板20を送りながら、実装ヘッドにより部品カセットから部品を吸着して基板上に電子部品を実装する。この後、最下流に位置する検査機100で基板20の表面状態を検査する。それぞれの実装機は、お互いが協調して、交互動作を行なう2つの実装ヘッドを備えている。同様に、検査機100もまた、互いが強調して、交互動作を行う2つの検査ヘッドを備えている。
As shown in FIG. 1A, the component mounting system according to the present embodiment includes a plurality of mounting machines and one
図2は、検査機100の平面図及び基板の表面状態の検査方法を示す図である。図2の左図は検査機100の平面図である。図2の右図は基板20上で認識の単位となる区画を示す図である。基板20上の小さい四角形は、実装された電子部品を示している。
FIG. 2 is a plan view of the
まず、検査機100は、2つの検査ヘッドであるヘッド1、ヘッド2を備えている。検査機100の中央部にはコンベアレール902によってX方向に上流の実装機から部品の実装が完了した基板20が搬送されてくる。ヘッド1は長手方向がX方向になるように取り付けられたビーム903に、ヘッド2は同じく長手方向がX方向になるように取り付けられたビーム904に、それぞれ装着される。それぞれのビーム903、ビーム904は個別にY方向にスライド可能であり、ヘッドはそれぞれが装着されているビームに沿って個別にX方向にスライド可能である。これにより、ヘッド1およびヘッド2は、基板20上の任意の位置に移動することができる。検査機100の平面図では、ヘッド1が基板20上に進入してカメラ104で基板20の表面状態を検査しているところを示している。ヘッド1及びヘッド2のカメラ104は、例えば、右図のように、基板20上を大視野(例えば、基板20上のハッチング部分)で概要検査を行い、その結果、CPUの画像処理によって問題のありそうな部品や部品の欠落などを発見した場合には、小視野(例えば、基板20上のハッチング部分の中の白抜き部分)での詳細検査を行うことも可能である。
First, the
図3は、検査機100がヘッド1による撮像の後、ヘッド2に交替して撮像を行う一例を示すである。図3(a)は、ヘッド1が基板20を撮像している間、ヘッド2が基板20上から退避している状態を示す図である。図3(b)は、ヘッド1が基板20上から退避した後、ヘッド2がヘッド1と交替して基板20を撮像する状態を示す図である。図3(a)に示すように、例えば、ヘッド1が基板20上で撮像を行っている間、他方のヘッド2は基板20上から退避して静止している。次いで、ヘッド1の撮像による画像データで画像処理が終わっていない画像データの量が一定量以上になり、ヘッド1が撮像処理を続行できなくなると、ビーム903がY方向の負の方向にスライドし、ヘッド1を基板20上から退避させる。これに合わせて、ビーム904がY方向の負の方向にスライドし、ヘッド2を基板20上の位置に移動させる。これにより、図3(b)に示すように、ヘッド1は基板20上から退避して静止し、ヘッド2が基板20上の認識領域を移動して撮像を行う。
FIG. 3 shows an example in which the
図4は、検査機100が備える構成を示すブロック図である。
検査機100は、カメラが装着された検査ヘッドで基板を撮像し、撮像された画像を解析することによって、部品の実装状態及びはんだの印刷状態を含む基板の表面状態を検査する基板の検査装置であって、複数の前記検査ヘッドを備え、複数の前記検査ヘッドで交互に基板を撮像して前記検査を行う基板の検査装置の一例である。検査機100は、表示部102と、入力部103と、機構部120と、機構制御部111と、記憶部114と、通信I/F部115と、カメラ切替タイミング決定部116とを備える。機構制御部111とカメラ切替タイミング決定部116とは、CPU(Central Processing Unit)150によって実現される。
FIG. 4 is a block diagram illustrating a configuration of the
The
入力部103は、キーボード、タッチパネル、マウスなど、後述する実装データやカメラ104の切り替えタイミングなどを入力したり変更したりするためのインタフェースである。上述の実装データとは、基板20上のどの部分にどのような部品が実装されるかなどを示すデータである。
The
記憶部114は、基板20に実装される部品に関する情報を含む実装データ114aや、カメラ104の撮像領域などを記憶する記憶媒体である。上述の撮像領域とは所定の区画に区切られた基板上の領域をいう。記憶部114は、さらに、カメラ104の撮像によって生成される画像データを格納するための記憶領域である画像メモリをヘッドごとに備える。
The
機構部120は、上述のヘッド1、ヘッド2と、ヘッド1およびヘッド2をY方向に移動させるビーム903、ビーム904と、ヘッド1およびヘッド2をそれぞれビーム903、ビーム904に沿ってX方向に駆動するモータなどを有する。2つの検査ヘッドは、それぞれ、1台のカメラ104を備える。
The
表示部102は、検査機100のヘッド1、ヘッド2が基板20の表面状態を検査した結果などを表示する。
The
カメラ104は、所定の大きさに区切られた区画ごとに基板の表面状態を撮像する。カメラ104は、ヘッドの軽量化を図るために、1つのヘッドに1台備えられることとし、1台のカメラ104で撮像する画素数を多くしている。これにより、1つの検査ヘッドに視野の異なるカメラを複数備えたりズーム機能を備えたりすることなく、大視野における概要検査と小視野における詳細検査とをヘッド1、ヘッド2のいずれか一方だけで実行することができる。例えば、このようなカメラ104を用いて、機構制御部111は、画素間引きなどによる低解像度で大視野における概要検査を行い、その中で特に詳細検査を要する部分については本来の解像度で詳細検査を行う。
The
機構制御部111は、検査機100を制御する処理部であり、例えば、CPUなどである。機構制御部111は、記憶部114が記憶している情報を参照し、機構部120を制御し、ヘッド1、ヘッド2に部品実装後の基板20の表面状態を検査させる。機構制御部111は、ヘッド1とヘッド2との撮像処理および画像処理など、それぞれのヘッドのアプリケーションをタイムシェアリングなどにより並行して実行する。機構制御部111は、カメラ104によって撮像された画像データの画像処理を行う。さらに、機構制御部111は、画像メモリに格納された画像データを画像処理して部品の実装の不具合(実装部品の間違い、実装の位置ずれ、はんだのずれ・かすみ・にじみ、部品の実装漏れなど)がないか否かを判定する。機構制御部111は、画像メモリ内に格納されている画像データの画像処理を終了すると、画像処理済の画像データを消去するか、または上書き可能とする。機構制御部111は、基板20上への部品の実装の不具合や、あらかじめ詳細検査を指定された特定の部品などがあることを判定すると、該当する部分の画像をバックアップしておき、後に表示部102に表示することなどにより操作者に通知する。
The
通信I/F(インタフェース)部115は、実装基板生産システムを構成する他の機械やホストコンピュータ(図示せず)などと通信するためのインタフェースであり、例えば、LAN(Local Area Network)アダプタなどである。
The communication I / F (interface)
カメラ切替タイミング決定部116は、撮像中のヘッドに割り当てられた画像メモリ内に、機構制御部111による画像処理が終わっていない未処理の画像データが一定量以上蓄積されると、当該ヘッドを基板上から退避させ、退避したヘッドに対応する画像データの画像処理を機構制御部111に続行させる決定を行う。同時に、退避したヘッドと交替に、他方のヘッドを基板20上に進入させ、撮像を開始させる。カメラ切替タイミング決定部116は、基板20上の区画ごとに、撮像中のヘッドの画像メモリに未処理の画像データが一定量以上蓄積されているか否かを判定し、上述の決定を行う。
When the unprocessed image data that has not been subjected to image processing by the
図5(a)は、検査機100におけるヘッド1とヘッド2との交互動作を示す図である。図5(b)は、ヘッド1とヘッド2とで交互検査を行う場合のカメラ104の撮像の単位となる区画の一例を示す図である。図6は、図5(b)に示した基板20の区画を、ヘッド1とヘッド2との交互検査により効率よく認識する手順を示す図である。図6(a)は、図5(b)に示した区画を順次、撮像する場合におけるヘッド1、ヘッド2の交替のタイミングと画像メモリ内のメモリストック量との関係を示す表である。図6(b)は、図5(b)に示した区画を順次、撮像する場合におけるヘッド1、ヘッド2の交替のタイミングを示すタイミングチャートである。
FIG. 5A is a diagram showing an alternating operation of the
図5(a)に示すように、例えば、ヘッド1が基板20上に進入して表面状態の検査をする場合、ヘッド1のカメラ104の撮像により得られた画像データを画像処理する必要がある。そのため画像処理は、カメラ104による撮像が実行された後、これに引き続いて機構制御部111により実行される。機構制御部111は、退避させたヘッドの画像処理を撮像に引き続いて実行しながら、これと並行して、他のカメラを制御して次の区画の撮像を順次実行させる。このため、画像メモリに順次蓄積される画像データは、機構制御部111による画像処理が終わるまで、ヘッドごとに画像メモリに蓄積しておく必要がある。しかし、画像メモリの記憶容量には限りがあるので、画像データの蓄積量が限界に近くなると、これ以上撮像して画像データを取り込むことができなくなる。すなわち、蓄積した画像データの画像処理がすべて終了するまで、撮像することができなくなる。このため、カメラ切替タイミング決定部116は、ヘッド1を基板20上から退避させ、機構制御部111にヘッド1の画像データの画像処理を続行させる。それと同時に、機構制御部111にヘッド2を基板20上に進入させるよう制御させ、基板20の表面状態の撮像を開始させる。
As shown in FIG. 5A, for example, when the
例えば、図5(b)に示すように、あらかじめ基板20には、検査を行う単位となる区画が定められている。すなわち、ID1からID6までの区画が定められている。ここで、2つのヘッド1、ヘッド2が上記各区画の認識を行う順序は、図10(b)を用いて説明した順序と同じである。すなわち、基板20上の検査領域をカメラの視野の大きさの区画(ID1〜ID6)に分割し、その区画に沿ってカメラの視野をX方向に移動させて(ID1→ID2→ID3)撮像する。このとき、部品が存在しない区画はスキップし、部品が存在する区画は視野の中に最大限の部品を包含するように視野の位置を再設定する。このように設定した視野の移動順は、X方向に移動した行き止まりでY方向に一区画移動し(ID3→ID4)、次にX方向に逆順に移動させ(ID4→ID5→ID6)、最短経路で移動させる。
For example, as shown in FIG. 5 (b), the
このようにして、まずヘッド1がID1の区画から順次、IDに付された番号の昇順に各区画の撮像を行う。図6(a)に示すように、ヘッド1のカメラ104がID1の区画を撮像するのに要する時間は5秒であり、このときのメモリストックは画像メモリの50%の容量となる(ヘッド1の動作(1))。次に、ID2の区画を撮像するのに要する時間は3秒であり、メモリストックは80%になる(ヘッド1の動作(2))。さらに、続けてID3の区画を撮像するのに要する時間は3秒であり、この結果、画像メモリに格納されるメモリストックは100%となる(ヘッド1の動作(3))。このため、ヘッド1はこれ以上撮像を続けることができなくなり、待ち状態となる(ヘッド1の動作(4))。この時点で、CPUが画像メモリ内のメモリストックをすべて画像処理するのに要する時間は3秒である。
In this manner, the
そこで、本実施の形態では、ヘッド1の画像メモリに蓄積された画像データ(メモリストック)の量が所定の閾値(ここでは100%)を超えると、カメラ切替タイミング決定部116は、ヘッド1を基板20上から退避させることを決定する。この決定に従って機構制御部111はヘッド1を基板20上から退避させ、ヘッド1を基板20上から退避させた位置で画像処理を続行する。同時に、機構制御部111は、ヘッド2を基板20上に進入させる。
Therefore, in the present embodiment, when the amount of image data (memory stock) accumulated in the image memory of the
ヘッド2は、ヘッド1によって撮像が完了したID3の次の区画から撮像を開始する。図6(a)に示すように、ヘッド2のカメラ104がID4の区画を撮像するのに要する時間は5秒であり、このときのメモリストックはヘッド2の画像メモリの20%の容量となる(ヘッド2の動作(5))。次に、ID5の区画を撮像するのに要する時間は3秒であり、メモリストックは100%になる(ヘッド2の動作(6))。
The
この時点で、ヘッド2は撮像を続けることができなくなるので、カメラ切替タイミング決定部116は、ヘッド2を基板20上から退避させることを決定する。この時点で、機構制御部111は、ヘッド2を基板20上から退避させ、ヘッド1を基板上に進入させる。機構制御部111は、ヘッド2を基板20上から退避させた位置で、メモリストックの画像処理を続行する。この時点でヘッド1の画像処理はすでに終わっているので、ヘッド1は次のID6の区画を撮像する。このときのメモリストックは60%であり、ID6の撮像に要する時間は5秒である。
At this point, since the
この場合、図11に示した従来の1ヘッドで検査を行う場合と比較すると、同じ基板を検査するのに従来では区画ID1、ID2、ID3を撮像するために5+3+3=11(秒)、メモリストックの画像処理待ちに3(秒)、ID4、ID5を撮像するために5+3=8(秒)、メモリストックの画像処理待ちに3(秒)、およびID6の撮像に5(秒)を要する。すなわち、基板20の検査開始から終了まででは、合計30(秒)を要する。これに比べ、本実施の形態の検査機100では区画ID1、ID2、ID3を撮像するために5+3+3=11(秒)を要するが、ヘッド1のメモリストックの画像処理と並行してヘッド2によりID4、ID5の撮像を同時に行うことができるので、検査機100全体として撮像のための待ち時間を生じない。
In this case, in comparison with the case where the conventional inspection is performed with one head shown in FIG. 11, in order to inspect the same substrate, in the conventional case, 5 + 3 + 3 = 11 (seconds) for imaging the sections ID1, ID2, and ID3, the memory stock It takes 3 (seconds) to wait for image processing, 5 + 3 = 8 (seconds) to image ID4 and ID5, 3 (seconds) to wait for image processing of memory stock, and 5 (seconds) to image ID6. That is, a total of 30 (seconds) is required from the start to the end of the inspection of the
また、ヘッド2のメモリストックの画像処理と並行してヘッド1によりID6の撮像を行うことができるので、ヘッド2のメモリストックが100%となっても検査機100全体としては待ち時間を生じない。ヘッド1がID6を撮像している5秒の間、ヘッド2では3秒間でメモリストックの画像処理装置を完了しているからである。また、ヘッド1では、ID6の撮像により60%のメモリストックを発生しているが、基板20の検査はここで終了し、検査が終了した基板20は検査機100から搬出される。この搬出動作と並行して、ID6の撮像により発生した画像データの画像処理は、引き続き機構制御部111によって実行される。従って、ID6の撮像による画像データの画像処理のための所要時間がタクトロスになることがなく、本実施の形態の検査機100では、基板20の検査開始から終了まで、合計24(秒)で検査を完了することができる。すなわち、従来ではメモリストックの画像処理待ち(3秒×2回)によるタクトロスがあったのに対し、本実施の形態の検査機100ではこれをなくしたことにより、同じ基板の検査に要する時間を6秒短縮することができている。
Further, since
このように、本実施の形態の検査機100によれば、ヘッド1のメモリストックが閾値を超えると、ヘッド2に交替して基板20の撮像を行うことができるので、ヘッド1によるメモリストックの画像処理を、ヘッド2による基板20の撮像と並行して行うことができ、タクトロスを最小限に抑えることができるという効果がある。
As described above, according to the
図7は、ヘッド1とヘッド2との交互動作を説明するフローチャートである。カメラ切替タイミング決定部116は、基板20上に進入してもよいヘッド1、ヘッド2を制御する共有メモリ60を備えている。共有メモリ60は、MOVEという値を保持する。カメラ切替タイミング決定部116及び機構制御部111は、MOVE=1のとき、ヘッド2が基板20上にある場合はヘッド2を基板20上から退避させるとともに、ヘッド1を基板20上に進入させて基板20を撮像させる。一方、MOVE=2のとき、ヘッド1が基板20上にある場合はヘッド1を基板20上から退避させるとともに、ヘッド2を基板20上に進入させて基板20を撮像させる。
FIG. 7 is a flowchart for explaining the alternating operation of the
まず、カメラ切替タイミング決定部116は、基板20の検査が終了したか否かを判定し(S101、S201)、検査が終了していればヘッド1及びヘッド2を基板20上から退避させ、ヘッド1及びヘッド2の動作を終了させる。カメラ切替タイミング決定部116は、基板20の検査が終了していなければ、共有メモリ60に記憶されているMOVEがMOVE=1か否かを判断する(S102、S202)。ヘッド1については、MOVE=1でなければ(MOVE=2であれば)ステップS101の処理に戻り、基板20の検査が終了しているか否かを判断する。ヘッド1はステップS101とステップS102との処理を繰り返すことにより、MOVEがMOVE=1になるまで待機状態となる。このとき、ヘッド2については、MOVE=2であるので(S202でYES)、カメラ切替タイミング決定部116は、ヘッド2のメモリストックが100%になったか否かを調べる(S203)。ヘッド2のメモリストックが100%になっていれば(S203でYES)、カメラ切替タイミング決定部116は、共有メモリ60内のMOVEの値をMOVE=1にするとともに(S204)、機構制御部111によりヘッド2を基板20上から退避させ、ヘッド1を基板20上に進入させる。ヘッド2は基板20上から退避した位置で、画像処理を続行し(S205)、ヘッド2の画像処理が完了すると、カメラ切替タイミング決定部116はステップS201の処理に戻る。ステップS203でヘッド2のメモリストックが100%になっていなければ、機構制御部111は、ヘッド2を制御して、基板20上の区画のIDに付された番号の昇順で今回検査対象となる区画内につき、実装された部品の状態及びはんだの印刷状態などの基板20の表面状態の撮像処理をヘッド2に実行させる(S206)。ヘッド2によるこの区画内の撮像処理が終了すると、カメラ切替タイミング決定部116はステップS201の処理に戻る。
First, the camera switching
ヘッド1について、ステップS102でMOVE=1であれば、カメラ切替タイミング決定部116は、ヘッド1のメモリストックが100%になったか否かを調べる(S103)。このとき、ヘッド2については、ステップS202でMOVE=2ではないので、カメラ切替タイミング決定部116はステップS201の処理に戻り、基板20の検査が終了しているか否かを調べる。ヘッド2はステップS201とステップS202との処理を繰り返すことにより、MOVEがMOVE=2になるまで待機状態となる。ヘッド1については、カメラ切替タイミング決定部116は、メモリストックが100%になっていれば(S103でYES)、共有メモリ60内のMOVEの値をMOVE=2にするとともに(S104)、機構制御部111によりヘッド1を基板20上から退避させ、ヘッド2を基板20上に進入させる。ヘッド1は基板20上から退避した位置で、画像処理を続行し(S105)、ヘッド1の画像処理が完了すると、カメラ切替タイミング決定部116はステップS101の処理に戻る。ステップS103でヘッド1のメモリストックが100%になっていなければ、機構制御部111はヘッド1を制御して、基板20上の区画のIDに付された番号の昇順で今回検査対象となる区画内につき、実装された部品の状態及びはんだの印刷状態などの基板20の表面状態の撮像処理をヘッド1に実行させる(S106)。ヘッド1による区画内の撮像処理が終了すると、カメラ切替タイミング決定部116はステップS101の処理に戻る。
If MOVE = 1 in step S102 for the
以上のように、ヘッド1とヘッド2の動作を制御することにより、ヘッド1の認識によるメモリストックが100%になると、ヘッド1を基板20上から退避させて画像処理を続行させるとともに、ヘッド2を基板20上に進入させ基板20の表面状態の認識処理を並行して実行させることができるので、メモリストックを画像処理する間のヘッドの待ち時間の発生を抑制し、検査機100のタクトロスを低減することができる。
As described above, by controlling the operations of the
図8(a)は、図6(a)の例とは異なる基板をヘッド1とヘッド2とで検査する場合におけるヘッド1、ヘッド2の交替のタイミングと画像メモリ内のメモリストック量との関係を示す表である。図8(b)は、図6(b)の例とは異なる基板をヘッド1とヘッド2とで検査する場合におけるヘッド1、ヘッド2の交替のタイミングを示すタイミングチャートである。
FIG. 8A shows the relationship between the replacement timing of the
ここでは、図6(a)及び図6(b)で検査例を示した基板20とは実装状態が異なる基板の表面状態を検査する場合について説明する。図8(a)に示すように、この基板ではID1、ID2、ID3の区画内に、例えば、サイズが小さな部品や、リード(電極)の間隔が小さい部品などが集中しており、画像処理に長い時間を要するものとする。
Here, a case will be described in which a surface state of a substrate having a mounting state different from that of the
図6(a)及び図6(b)を用いて説明したように、ヘッド1はID1からID3までの区画を撮像し、撮像によって得られた画像データを画像メモリに格納する(図8(a)のヘッド1の動作(1)から(3))。ID3の区画を撮像した後、メモリストックがヘッド1の画像メモリの100%となるので、機構制御部111はヘッド1を基板上から退避させ、退避した位置で画像処理を続行する(図8(a)のヘッド1の動作(4))。
As described with reference to FIGS. 6A and 6B, the
ヘッド1が基板上から退避すると同時に、ヘッド2が基板上に進入し、次の区画であるID4及びID5の区画を撮像し、画像データを画像メモリに格納する(図8(a)のヘッド2の動作(5)、(6))。この時点で、ヘッド2のメモリストックは画像メモリの100%となる。ヘッド1の動作(4)では、メモリストックの量が図6(a)の場合と同様に、画像メモリの100%となっているが、これを画像処理するために11秒の時間を要している。このため、ヘッド2のメモリストックが100%になっても、すぐにヘッド1と撮像を交替することができず、ヘッド1の画像処理が完了するまでの間、3秒間の待ち状態を生じている。ヘッド2の動作(7)では、メモリストックの画像処理に3秒を要するので、ヘッド1の待ち状態とヘッド2の待ち状態が終了するタイミングは同じとなる。ヘッド2のメモリストックが100%になった場合、次の撮像動作はヘッド1に交替するので、次の検査対象の区画ID6はヘッド1が撮像を行う(ヘッド1の動作(8))。図6(a)及び(b)で示した例と同様に、ヘッド1では、ID6の撮像により60%のメモリストックを発生しているが、基板20の検査はここで終了し、検査が終了した基板20は検査機100から搬出される。この搬出動作と並行して、ID6の撮像により発生した画像データの画像処理は、引き続き機構制御部111によって実行される。従って、この場合でも、ID6の撮像による画像データの画像処理のための所要時間がタクトロスになることがない。
At the same time as the
しかし、この場合でも、従来のように1ヘッドで検査する場合と比較すると、同じ基板を検査するのに従来では区画ID1、ID2、ID3を撮像するために5+3+3=11(秒)、メモリストックの画像処理待ちに11(秒)、ID4、ID5を撮像するために5+3=8(秒)、メモリストックの画像処理待ちに3(秒)、およびID6の撮像に5(秒)を要する。すなわち、基板20の検査開始から終了まででは、合計38(秒)を要する。これに比べ、本実施の形態の検査機100では区画ID1、ID2、ID3を撮像するために5+3+3=11(秒)を要するが、ヘッド1のメモリストックの画像処理と並行してヘッド2によりID4、ID5の撮像を同時に行うことができる。ただし、ID4、ID5の撮像にかかる所要時間が5+3=8(秒)であることから、ヘッド1の画像処理の方が長時間を用し、ヘッド1及びヘッド2の両方とも画像処理の待ち時間3(秒)を生じてしまう。この後、ヘッド1によるID6の撮像に5(秒)を要するが、それでもなお、本実施の形態の検査機100では合計27(秒)で検査を完了することができている。
However, even in this case, compared with the case of inspecting with one head as in the prior art, in order to inspect the same substrate, in the past, 5 + 3 + 3 = 11 (seconds) for imaging the sections ID1, ID2, and ID3, It takes 11 (seconds) to wait for image processing, 5 + 3 = 8 (seconds) to capture ID4 and ID5, 3 (seconds) to wait for image processing of memory stock, and 5 (seconds) to capture ID6. That is, a total of 38 (seconds) is required from the start to the end of the inspection of the
なお、上記の例では、ヘッドの切り替えを決定するための閾値を、メモリストックが画像メモリの100%となったときとしていたが、認識の対象となる一部の区間で画像処理に長い時間を要するときには、いずれのヘッドでも撮像を行うことができなくなり、待ち時間を生じていた。そのため以下では、ヘッドの切り替えを決定するための閾値を低めに設定することによって、同時に両方のヘッドに待ち時間が発生することを防止する一例について説明する。 In the above example, the threshold for determining the switching of the head is set when the memory stock becomes 100% of the image memory. However, a long time is required for image processing in a part of the recognition target section. When necessary, it is impossible to perform imaging with any of the heads, resulting in a waiting time. Therefore, in the following, an example will be described in which a low threshold is set for determining the switching of the heads, thereby preventing waiting time from occurring at both heads simultaneously.
図9(a)は、各区画にどのような部品が実装されているかを示す実装データを基に、ヘッド1、ヘッド2の交替のタイミングを早めに設定して待ち時間がなくなるように調整した場合の交替のタイミングと画像メモリ内のメモリストック量との関係を示す表である。図9(b)は、ヘッド1、ヘッド2の交替のタイミングを早めに設定した場合におけるヘッド1、ヘッド2の交替のタイミングを示すタイミングチャートである。
In FIG. 9A, based on the mounting data indicating what parts are mounted in each section, the timing of changing the
図9(a)に示すように、まず、ヘッド1はID1とID2の区画を撮像し、撮像により得られた画像データを画像メモリに格納する(ヘッド1の動作(1)、(2))。このときヘッド1のメモリストックは画像メモリの80%であるが、カメラ切替タイミング決定部116は、画像メモリの80%をカメラ切り替えの閾値として、メモリストックが100%になるのを待たずにヘッド1を基板上から退避させる。ヘッド1は退避した位置で画像処理を続行する(ヘッド1の動作(3))。カメラ切替タイミング決定部116及び機構制御部111は、ヘッド1を基板上から退避させると同時にヘッド2を基板上に進入させ、ヘッド2による基板の撮像及び認識を開始させる。
As shown in FIG. 9A, first, the
ヘッド2は、ID3とID4の区画を撮像し、撮像により得られた画像データを画像メモリに格納する(ヘッド2の動作(4)、(5))。この時点で、ヘッド2のメモリストックは画像メモリの40%に過ぎない。しかし、カメラ切替タイミング決定部116は、実装データ114aから、ID5の区画にサイズが小さな部品や、リード(電極)の間隔が小さい部品などが集中していることを判断し、ヘッド2を基板上から退避させるとともに退避後の位置で画像処理を続行させる(ヘッド2の動作(6))。そして、メモリストックの画像処理が完了しているヘッド1を基板上に進入させる。
The
これにより、ヘッド1はID5の区画を撮像し、画像データを画像メモリに格納する(ヘッド1の動作(7))。この結果、ヘッド1のメモリストックは画像メモリの80%となる。この場合も、また、カメラ切替タイミング決定部116及び機構制御部111は、実装データ114aから、ID6の区画にサイズが小さな部品や、リード(電極)の間隔が小さい部品などが集中していることが分かる。この時点で、ヘッド1のメモリストックは閾値に達しており、ヘッド2では、画像メモリの40%を占めるメモリストックの画像処理を完了しているので、カメラ切替タイミング決定部116はヘッド1、ヘッド2の切り替えを決定し、ヘッド1を基板上から退避させ(ヘッド1の動作(8))、ヘッド2を基板上に進入させる。これにより、ヘッド2は待ち状態になることなくID6の区画を撮像することができる(ヘッド2の動作(9))。この結果、従来のように、1ヘッドで検査を行う場合と比較すると、同じ基板を検査するのに従来では区画ID1、ID2を撮像し、そのメモリストックを画像処理するために5+3+8=16(秒)、ID3、ID4を撮像して、そのメモリストックを画像処理するために3+5+3=11(秒)、ID5を撮像してメモリストック画像処理するために3+1=4(秒)、ID6を撮像するために5(秒)を要する。この結果、従来の検査機では1枚の基板20を検査するために合計36(秒)を要するのに比べ、本実施の形態の検査機100では、ヘッド1が区画ID1、ID2を撮像するために5+3=8(秒)を要するが、区画ID1、ID2の撮像による画像データを画像処理している間にヘッド2がID3及びID4の撮像を完了することができる。ID3及びID4の撮像に要する時間は3+5=8(秒)である。さらに、ID3及びID4の撮像によるメモリストックの画像処理をしている間に、ヘッド1がID5を撮像する。ID5の撮像に要する時間は3(秒)である。ID5の撮像によるメモリストックの画像処理をしている間にヘッド2がID6を5(秒)で撮像する。このように、この例では、ヘッド1もヘッド2も両方がメモリストックの画像処理を行っているというタクトロスが0(秒)となり、合計24(秒)で検査を完了することができる。
As a result, the
このように、実装データ114aに基づいて、高解像度の画像データを処理する必要がある場合には、動作中のヘッドの画像メモリが100%に達するよりも早めに、撮像を行うヘッド1、ヘッド2を切り替えることによってタクトロスを最小限に抑えることが可能になる。
As described above, when it is necessary to process high-resolution image data based on the mounting
なお、上記実施の形態では、ヘッド1、ヘッド2を切り替えるときの基準となる閾値を、画像メモリの100%として説明したが、本発明はこれに限定されず、80%または60%などのもっと低い値に定めてもよい。
In the above-described embodiment, the reference threshold value when switching between the
なお、上記実施の形態では、カメラ切替タイミング決定部116が、動的に、各ヘッド1、ヘッド2の画像メモリに格納されたメモリストックの量を監視して閾値と比較したり、実装データに基づいて次の区画での画像データの発生量を予測したりして、ヘッド1、ヘッド2を切り替えるタイミングを決定する場合について説明した。しかし、本発明はこれに限定されず、カメラ切替タイミング決定部116があらかじめ定められた切り替えタイミングを記憶しておき、読み出した切り替えタイミングに従って、ヘッド1、ヘッド2を切り替えるとしてもよい。
In the above-described embodiment, the camera switching
すなわち、各基板上のどの区画にどのような部品を実装するかはあらかじめ分かっていることなので、その実装データに従ってシミュレーションなどを行い、あらかじめヘッド1、ヘッド2の切り替えタイミングを決定しておくことができる。従って、カメラ切替タイミング決定部116が、ヘッド1、ヘッド2を切り替えるタイミングを示すあらかじめ作成されたデータを記憶しておき、そのデータに従って、ヘッド1、ヘッド2を切り替えるとしてもよい。この場合、ヘッド1、ヘッド2を実際に切り替える方法は、ヘッド1を退避させヘッド2を基板上に進入させる場合には、共有メモリ60にMOVE=2をセットし、ヘッド2を退避させヘッド1を基板上に進入させる場合には、共有メモリ60にMOVE=1をセットすることにより実行できる。このように、あらかじめ作成された切り替えタイミングを示すデータに従ってヘッド1、ヘッド2の動作を切り替えることによって、カメラ切替タイミング決定部116を実現するためのCPUの演算量を低減し、検査機100のコストを抑えることができるという効果がある。
That is, since it is known in advance which components are to be mounted in which section on each board, it is possible to determine the switching timing of the
なお、上記実施の形態では、基板への部品の実装後に、部品の実装状態およびはんだの印刷状態などを検査する検査機について説明したが、本発明の検査機は部品実装後の状態のみを検査する場合に限定されず、例えば、基板への部品の実装前に、クリームはんだの印刷状態を検査するものであってもよい。 In the above embodiment, the inspection machine that inspects the mounting state of the component and the printed state of the solder after mounting the component on the board has been described. However, the inspection machine of the present invention inspects only the state after mounting the component. For example, the printed state of the cream solder may be inspected before mounting the component on the board.
また、本実施の形態では、ヘッドが2つの場合についてのみ説明したが、ヘッドの数は2つに限らず、3つ以上であってもよい。 In this embodiment, only two heads have been described. However, the number of heads is not limited to two, and may be three or more.
また、上記実施の形態では、片方のヘッドが基板20上で認識を行っている間は、他方のヘッドは基板20上から退避していると説明したが、認識中のヘッドの動作の邪魔にならない位置であれば基板20上であってもよい。
In the above embodiment, while one head is performing recognition on the
なお、ここでの画像メモリは、同じ記憶部114内の記憶領域が割り当てられるので、実際に記憶領域を割り当てるのでなく、記憶容量の上限、すなわち、画像データのデータ量の上限をヘッド1とヘッド2のそれぞれに割り当てるとしてもよい。
Here, since the storage areas in the
以上、本発明の基板の検査方法について、実施の形態に基づいて説明したが、本発明は、この実施の形態に限定されるものではない。本発明の趣旨を逸脱しない限り、当業者が思いつく各種変形を本実施の形態に施したものや、異なる実施の形態における構成要素を組み合わせて構築される形態も、本発明の範囲内に含まれる。 Although the substrate inspection method of the present invention has been described based on the embodiment, the present invention is not limited to this embodiment. Unless it deviates from the meaning of this invention, the form which carried out the various deformation | transformation which those skilled in the art can think to this embodiment, and the structure constructed | assembled combining the component in different embodiment is also contained in the scope of the present invention. .
なお、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
本発明は、部品実装機による部品の実装を検査する基板検査機に適用でき、特に、複数の検査ヘッドにより交互に基板に対して処理を行なう検査機等に適用できる。 The present invention can be applied to a board inspection machine that inspects mounting of components by a component mounting machine, and in particular, to an inspection machine that performs processing on a substrate alternately by a plurality of inspection heads.
1、2 ヘッド
20 基板
60 共有メモリ
100、900 検査機
102 表示部
103 入力部
104 カメラ
111 機構制御部
114 記憶部
114a 実装データ
115 通信I/F部
116 カメラ切替タイミング決定部
120 機構部
902 コンベアレール
903、904 ビーム
DESCRIPTION OF
Claims (5)
それぞれに基板を撮像するための1つのカメラを有する複数の検査ヘッドで、前記基板上にあらかじめ定められた領域を交互に撮像し、撮像処理と撮像された画像の画像処理とを並行して行い、
前記領域を撮像することにより生成される画像データを前記検査ヘッドごとに蓄積し、
撮像中の前記検査ヘッドにつき蓄積された前記画像データの量に応じて、前記検査ヘッドが撮像を中断する必要があるか否かを判断し、中断する必要があると判断した場合、他の検査ヘッドに撮像を交替して、蓄積された前記画像データの画像処理を行う
ことを特徴とする基板の検査方法。 A board inspection method for inspecting a surface state of a board including a component mounting state or a solder printing state by imaging the board with an inspection head equipped with a camera and analyzing the captured image,
A plurality of test heads having one camera for imaging the substrate, respectively, a predetermined region on the substrate and the image shooting alternately, in parallel with the image processing of the image processing and image taken Done
Accumulating image data generated by imaging the area for each inspection head;
Depending on the amount of the image data accumulated for the inspection head being imaged, the inspection head determines whether or not it is necessary to interrupt imaging, and if it is determined that it is necessary to interrupt other inspection A method for inspecting a substrate, wherein imaging is performed on a head and image processing of the accumulated image data is performed .
それぞれに基板を撮像するための1つのカメラを有する複数の検査ヘッドで、前記基板上にあらかじめ定められた領域を交互に撮像し、撮像処理と撮像された画像の画像処理とを並行して行い、
前記各検査ヘッドには、各前記カメラの撮像により生成される前記画像データを格納するための記憶領域である画像メモリと、前記画像メモリ内の画像データを画像処理するCPUの機能とが割り当てられ、
1つの前記検査ヘッドの前記カメラが前記基板を撮像し、前記検査ヘッドに割り当てられた前記CPUの機能が前記撮像により生成された前記画像データを画像処理し、
前記1つの検査ヘッドに割り当てられた前記画像メモリ内に、画像処理が完了していない画像データが所定量以上に格納されているか否かを判定し、格納されていると判定したときには当該検査ヘッドを基板上から退避させて撮像を停止させるとともに、前記CPUの機能に当該検査ヘッドに割り当てられた前記画像メモリ内の前記画像データの前記画像処理を続行させ、他の前記検査ヘッドの1つを前記基板上に進入させて撮像を開始させる
ことを特徴とする基板の検査方法。 A board inspection method for inspecting a surface state of a board including a component mounting state or a solder printing state by imaging the board with an inspection head equipped with a camera and analyzing the captured image,
A plurality of inspection heads each having one camera for imaging a substrate are used to alternately image a predetermined area on the substrate, and imaging processing and image processing of the captured image are performed in parallel. ,
Each inspection head is assigned an image memory, which is a storage area for storing the image data generated by imaging by each camera, and a CPU function for image processing the image data in the image memory. ,
The camera of one inspection head images the substrate, and the function of the CPU assigned to the inspection head performs image processing on the image data generated by the imaging,
It is determined whether or not image data that has not undergone image processing is stored in a predetermined amount or more in the image memory assigned to the one inspection head. Is removed from the substrate to stop imaging, and the CPU function is allowed to continue the image processing of the image data in the image memory assigned to the inspection head, and one of the other inspection heads is method of inspecting board characterized in that to start imaging by entering on the substrate.
基板上のどの位置にどんな部品が実装されているかまたは基板上のどの位置にどのようなはんだ印刷がされているかを少なくとも示す実装データをあらかじめメモリに保持し、
前記1つの検査ヘッドに割り当てられた前記画像メモリ内に格納されている、画像処理が完了していない画像データの量が前記所定量に満たないと判定した場合であっても、前記実装データを参照して、撮像対象の領域を撮像することにより画像処理が完了していない画像データの量が前記所定量を超えるか又は撮像により生成される画像データの画像処理にあらかじめ定めた時間より長い時間を要すると判定すると、当該検査ヘッドを基板上から退避させて撮像を停止させ、他の前記検査ヘッドの1つを前記基板上に進入させて撮像を開始させる
ことを特徴とする請求項2記載の基板の検査方法。 The substrate inspection method includes:
Pre-installed data is stored in advance in the memory to indicate at least what part is mounted on the board and what kind of solder is printed on which position on the board.
Even when it is determined that the amount of image data that has not been subjected to image processing and is stored in the image memory allocated to the one inspection head is less than the predetermined amount, the mounting data is Referring to the amount of image data for which image processing has not been completed by imaging a region to be imaged exceeds the predetermined amount or is longer than a predetermined time for image processing of image data generated by imaging 3. The method according to claim 2 , wherein if it is determined that the inspection is required, the inspection head is retracted from the substrate to stop imaging, and one of the other inspection heads enters the substrate to start imaging. Board inspection method.
それぞれに基板を撮像するための1つのカメラを有する複数の前記検査ヘッドを備え、複数の前記検査ヘッドで、前記基板上にあらかじめ定められた領域を交互に撮像し、撮像処理と撮像された画像の画像処理とを並行して行い、
前記各検査ヘッドは、前記領域を撮像することにより生成される画像データを前記検査ヘッドごとに蓄積し、
前記各検査ヘッドは、撮像中の前記検査ヘッドにつき蓄積された前記画像データの量に応じて、前記検査ヘッドが撮像を中断する必要があるか否かを判断し、中断する必要があると判断した場合、他の検査ヘッドに撮像を交替して、蓄積された前記画像データの画像処理を行う
ことを特徴とする基板の検査装置。 A board inspection apparatus for inspecting a surface state of a board including a component mounting state or a solder printing state by imaging the board with an inspection head equipped with a camera and analyzing the captured image,
Each comprising a plurality of said testing head having one camera for imaging a substrate, a plurality of the inspection head, and an image shooting a predetermined region on the substrate alternately imaged processed and imaging Perform image processing in parallel with the image,
Each inspection head accumulates image data generated by imaging the area for each inspection head;
Each inspection head determines whether or not the inspection head needs to interrupt imaging according to the amount of the image data accumulated for the inspection head being imaged, and determines that it is necessary to interrupt In this case, the substrate inspection apparatus is characterized in that the image processing is performed on the stored image data by changing the imaging to another inspection head .
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Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP5786261B2 (en) * | 2011-04-26 | 2015-09-30 | Jukiオートメーションシステムズ株式会社 | Mounting system, electronic component mounting method, board manufacturing method, and program |
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WO2014041624A1 (en) * | 2012-09-12 | 2014-03-20 | 富士機械製造株式会社 | Work system for substrate, work-sequence-optimizing program, and workbench-quantity-determining program |
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Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2775500B2 (en) * | 1990-01-12 | 1998-07-16 | 松下電器産業株式会社 | Board inspection screen position determination method |
JP2701653B2 (en) * | 1992-04-10 | 1998-01-21 | 松下電器産業株式会社 | Mounting board appearance inspection device |
JP3620068B2 (en) * | 1994-07-08 | 2005-02-16 | セイコーエプソン株式会社 | Information input device and information input method |
JP2001028500A (en) * | 1999-07-15 | 2001-01-30 | Juki Corp | Electronic component mounting equipment |
JP3958604B2 (en) * | 2002-02-22 | 2007-08-15 | 松下電器産業株式会社 | Recognition processing apparatus, recognition processing method, and component mounting apparatus including the recognition processing apparatus |
JP2006269686A (en) * | 2005-03-23 | 2006-10-05 | Yamaha Motor Co Ltd | Image recognizing device, surface mounter, substrate inspection device, and printer |
JP2006301404A (en) * | 2005-04-22 | 2006-11-02 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | Developer composition and method for manufacturing the same, and method for forming resist pattern |
JP4869776B2 (en) * | 2006-04-28 | 2012-02-08 | ヤマハ発動機株式会社 | Printing inspection apparatus and printing apparatus |
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