JP4828870B2 - 評価パタンの作成方法およびプログラム - Google Patents

Description

本発明は、光近接効果補正（ＯＰＣ：Optical Proximity Correction）の検証に使用される評価パタンの作成方法およびプログラムに関する。

近年の半導体製造技術の進歩は非常に目覚ましく、最小加工寸法７０ｎｍサイズの半導体デバイスが量産されている。半導体デバイスの微細化は、マスクプロセス技術、光リソグラフィ技術およびエッチング技術等の微細パタン形成技術の飛躍的な進歩により、実現されている。

パタンサイズが十分大きい時代には、ウェハ上に形成したい集積回路のパタンの平面形状をそのままマスクパタンの設計パタンとして描き、その設計パタンに忠実なマスクパタンを作成し、そのマスクパタンを投影光学系によってウェハ上に転写し、下地をエッチングすることによって、ほぼ設計パタン通りのパタンをウェハ上に形成できていた。

しかし、半導体デバイスの微細化が進み、集積回路の高集積化が進むにつれて、各プロセスでパタンを忠実に形成することが困難になってきており、最終的な仕上がり寸法が設計パタン通りにならないという問題が生じてきている。

このような問題を解決するため、フォトマスク上に形成されたパタンをウェハ上に転写した際に所望パターンが得られるように、設計データのパターンを変形するという補正が一般的に実施されている（特許文献１）。この種の補正は光近接効果補正（以下、ＯＰＣと略す。）と呼ばれ、これまでに様々な手法が提案され、実施されている。

ＯＰＣを用いる場合、補正の正しさを評価する技術が必要となる。ＯＰＣの正しさを検証する方法の一つとして、評価パタンを用いた方法がある。

評価パタンを作成するための専用のソフトウエア（プログラム）は今のところない。そのため、汎用のプログラム言語を用いて評価パタンは作成されている。検証精度はパタン形状のバリエーションが多いほど高くなる。しかしながら、パタン形状のバリエーションは人によって考えられているので、豊富なパタンバリエーションを容易に作成することは困難な状況にある。
特開平０９−１８６０５８号公報

本発明の目的は、豊富なパタンバリエーションを容易に作成できる評価パタンの作成方法およびプログラムを提供することにある。

本発明に係る評価パタンの作成方法は、複数種の種パタンを含む種パタン群と単位枠とに基づいて、複数種のユニットパタンを作成する工程であって、前記複数種のユニットパタンの各々は、前記単位枠内に前記種パタンに対応したパタンが配置されてなるものである前記工程と、前記複数種のユニットパタンと、前記単位枠のＮ倍（Ｎは正の整数）のサイズを有する配置枠とに基づいて、光近接効果補正（ＯＰＣ：Optical Proximity Correction）の検証に使用される複数種の評価パタンを作成する工程であって、前記複数種の評価パタンの各々は、前記配置枠内が前記複数種の前記ユニットパタンで敷き詰められるように、前記配置枠内に前記複数種のユニットパタンを配置したものである前記工程とを含むことを特徴とする。

本発明に係るプログラムは、複数種の種パタンを含む種パタン群と単位枠とに基づいて、複数種のユニットパタンを作成させる手順であって、前記複数種のユニットパタンの各々は、前記単位枠内に前記種パタンに対応したパタンが配置されてなるものである前記手順と、前記複数種のユニットパタンと、前記単位枠のＮ倍（Ｎは正の整数）のサイズを有する配置枠とに基づいて、光近接効果補正（ＯＰＣ：Optical Proximity Correction）の検証に使用される複数種の評価パタンを作成させる手順であって、前記複数種の評価パタンの各々は、前記配置枠内が前記複数種の前記ユニットパタンで敷き詰められるように、前記配置枠内に前記複数種のユニットパタンを配置したものである前記手順とをコンピュータに実行させるためのである。

本発明によれば、豊富なパタンバリエーションを容易に作成できる評価パタンの作成方法およびプログラムを実現できるようになる。

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。

（第１の実施形態）
図１は、第１の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

まず、複数種の種パタンを含む種パタン群Ｄ１および単位枠Ｄ２を入力データに用いて複数種のユニットパタンＤ３（出力データ）が作成される（ステップＳ１）。

図２（ａ）−２（ｆ）に、種パタン群Ｄ１の例を示す。

図２（ａ）−２（ｆ）において、ＳＰは種パタン、ＳＦは種パタン枠を示している。種パタン枠ＳＦは、種パタンＳＰの枠である。種パタン枠ＳＦ内の白い領域はスペース、斜め線の領域はパタンを示している。ここでは、種パタン枠ＳＦの形状は正方形である。

図２（ａ）には、種パタン枠ＳＦ内の全体がスペースである種パタンＳＰが示されている。図２（ｂ）には、四分割された種パタン枠ＳＦ内の左上の矩形領域だけにパタンがある種パタンＳＰが示されている。図２（ｃ）には、種パタン枠ＳＦ内の左半分の領域だけにパタンがある種パタンＳＰが示されている。図２（ｄ）には、四分割された種パタン枠ＳＦ内の右上の領域だけにスペースがある種パタンＳＰが示されている。図２（ｅ）には、種パタン枠ＳＦ内の全体がパタンである種パタンＳＰが示されている。そして、図２（ｆ）には、種パタン枠ＳＦ内の両サイドにパタンがある種パタンＳＰが示されている。

図３（ａ）−３（ｈ）に、他の種パタン群Ｄ１の例を示す。図２（ａ）−２（ｆ）と同様に、図３（ａ）−３（ｈ）においても、種パタン枠ＳＦは正方形であり、種パタン枠ＳＦ内の白い領域はスペース、斜め線の領域はパタンを示している。

図２および図３に示されるように、種パタンＳＰには単純な形状を持つパタンが選ばれている。したがって、種パタンＳＰの作成は容易である。種パタンＳＰの作成はソフトウエア（プログラム）および人間のいずれの側で行っても構わない。

図４は、種パタン群Ｄ１および単位枠Ｄ２から複数種のユニットパタンＤ３を作成する方法を示している。

単位枠Ｄ２の縦および横の辺の長さ（単位枠サイズ）Ｌ１は、種パタン枠ＳＦの縦および横の辺をそれぞれ等倍に拡大したものである。単位枠Ｄ２の形状は正方形となる。種パタン枠ＳＦの縦および横の辺の拡大に伴って、種パタンＳＰも同様に拡大される。この拡大されたものがユニットパタンＤ３である。

したがって、種パタンＳＰが指定された種パタン枠ＳＦの一辺の長さを、単位枠サイズＬ１に対応した分だけ拡大（変更）することにより、ユニットパタンＤ３が得られる。例えば、種パタン枠ＳＦの一辺の長さがＬ１／４の場合、種パタンＳＰが指定された種パタン枠ＳＦの一辺の長さＬ１／４をＬ（指定サイズ）に変更することにより、ユニットパタンＤ３が得られる。よって、複数種のユニットパタンＤ３は、指定サイズＬを指定し、各種パタンＳＰが指定された種パタン枠Ｓの一辺の長さＬ１／４をＬに変更することにより得られる。

次に、複数種のユニットパタンＤ３および配置枠Ｄ４を入力データに用いてユニットパタンの配置が行われ（ステップＳ２）、複数種の評価パタンＤ５が作成される。

図５は、ユニットパタンＤ３および配置枠Ｄ４から評価パタンＤ５を作成する方法を示している。図５の二種類の評価パタンＤ５は、配線パタン用の評価パタンである。配置枠Ｄ４の形状は正方形である。図５では、配置枠Ｄ４の一辺の長さＬ２をＯＰＣの光学半径の二倍とし、図２に示した６種類のユニットパタンＤ３を用いている。

図５に示すように、各評価パタンＤ５は、配置枠Ｄ４内が複数種のユニットパタンＤ３で敷き詰められるように、配置枠Ｄ４内に複数種のユニットパタンＤ３を配置したものである。

複数のユニットパタンＤ３の配置を変えることにより、必要な数の評価パタンＤ５を得ることができる。ここでは、全ての配置バリエーションを作成する。

ユニットパタンＤ３の種類の総数Ｍは、評価パタンＤ５を構成するのに必要なユニットパタンＤ３の数（Ｎ）よりも少ない（Ｍ＜Ｎ）。そのため、評価パタンＤ５を構成するＮ個のユニットパタンＤ３中には、同種のユニットパタンＤ３が存在する。

ユニットパタンＤ３の種類の総数Ｍが、評価パタンＤ５を構成するのに必要なユニットパタンＤ３よりも多い場合または同じ場合（Ｍ≧Ｎ）、使用されないユニットパタンＤ３が生じる場合もある。

図２５に、比較例の評価パタンの作成方法のフローチャートを示す。

まず、基本パタンを表現する座標点Ｄ１０１を入力データに用いて基本パタンが作成され（ステップＳ１０１）、基本ユニットＤ１０２（出力データ）が作成される。

図２６（ａ）に、基本パタンの一例を示す。基本パタンは一筆書きできるパタンである必要がある。その理由は、比較例の評価パタンの作成方法に使用されるプログラム言語が、そのような仕様（一筆書き）になっているからである。図２６（ｂ）に、基本パタンを表現する座標点（黒丸）を示す
次に、基本パタン中の値（サイズ）を振りたい箇所（振り箇所）およびその値（振り値）Ｄ１０３を入力データに用いて基本パタンの値振りが行われ（ステップＳ１０２）、評価パタンＤ１０４が作成される。

図２６（ｃ）に、図２６（ａ）に示した基本パタンにおける振り箇所の例を示す。

比較例の場合、基本パタンを作成し、さらに、その振り箇所および振り値をかえることにより、必要な数の評価パタンを得ることになる。

上述した比較例には、三つの問題がある。

まず、第１の問題は、パタン形状のバリエーション（基本パタンの形状、振り箇所、振り値）を人間側で考えなくてはならない点である。そのため、豊富なパタンバリエーションを実現することが困難になる。

第２の問題は、基本パタンは一筆書きで実現できるパタンしか扱えない点である。これも、豊富なバリエーションの実現を困難にする。

第３の問題は、必要な数の評価パタンを生成する手間がかかる点である。すなわち、基本パタンを作成する毎に、座標点を入力しなければならず、大変な手間がかかる。

これに対して本実施形態の場合、単純な形状を持つ種パタン群Ｄ１および単位枠Ｄ２をソフトウエア（プログラム）または人間側で作成すれば済むので、第１の問題はない。

第２の問題については、本実施形態の場合、比較例で作成するような基本パタンを用いないので、第２の問題はない。また、本実施形態によれば、図５に示されるように、一筆書きで実現されない評価パタンＤ５も作成される。

本実施形態の場合、ステップＳ１，Ｓ２をコンピュータ等の情報処理装置により実行させることにより、多種類の評価パタンを容易に作成できるので、第３の問題もない。

したがって、本実施形態によれば、豊富なパタンバリエーションを容易に作成することができるようになる。

（第２の実施形態）
図６は、第２の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。なお、以下の図において、既出の図と対応する部分には既出の図と同一符号を付してあり、詳細な説明は省略する。

本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、種パタン群Ｄ１および単位枠Ｄ２に加え、描画グリッド（設計グリッド）Ｄｇも入力データに用いて、ユニットパタンの作成を行うことにある（ステップＳ１）。

したがって、ユニットパタンＤ３は、図７に示すように、描画グリッドＤｇを単位にして作成される。描画グリッドＤｇをユニットパタンＤ３の単位に選ぶことにより、パタンバリエーションが増える。

本実施形態でも第１の同様の効果が得られる。さらに、本実施形態によれば、ＯＰＣの検証に必要な全てのバリエーションを網羅した評価パタンを作成することができ、その結果として、比較例のＯＰＣの検証方法で実施していた中規模・大規模データ検証を、完全に省略することが可能になる。このＯＰＣの検証方法については、第１２の実施形態でさらに詳説する。

（第３の実施形態）
図８は、第３の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

本実施形態では、ユニットパタンの配置工程（ステップＳ２）にて作成された複数の評価パタンをそれぞれ評価パターン候補Ｄ５ｃとする。これらの評価パターン候補Ｄ５ｃをデザインルールＤＲを用いたデザインルールチェックによりチェックし、デザインルールと適合するものを抽出する（ステップＳ３）。抽出した評価パターン候補Ｄ５ｃを評価パタンＤ５とする。図９に、デザインルールチェックによりチェックし、デザインルールと適合した評価パターン候補Ｄ５ｃ、つまり、評価パターンの一例を示す。

本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果に加えて、膨大化する可能性のある評価パタン数を抑制できるという効果も得られる。

（第４の実施形態）
図１０は、第４の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、ユニットパタンの配置工程（ステップＳ２）において、全ての配置バリエーションを作成するのではなく、ユニットパタンＤ３をランダムに配置することにある。ユニットパタンＤ３をランダムに配置する方法としては、例えば、モンテカルロ法を用いた方法があげられる。

本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果に加えて、膨大化する可能性のある評価パタン数を現実的な数に抑制できるという効果も得られる。

なお、モンテカルロ法を用いて、ユニットパタンＤ３をランダムに配置する代わりに、ユニットパタンＤ３の発生確率を変えて、ユニットパタンＤ３を配置しても構わない。

モンテカルロ法を用いた場合、図２（ａ）〜（ｆ）の種パタン群Ｄ１に対応したユニットパタンＤ３の発生確率は全て１／６であるが、例えば、図２（a）種パタン群Ｄ１に対応したユニットパタンＤ３の発生確率を１／２、その他の発生確率を１／１２としても構わない。

このような配置方法は、モンテカルロ法を用いた方法において、あるユニットパタンＤ３の発生確率が他のユニットパタンＤ３の発生確率とは異なるように修正を加えることにより実施できる。

（第５の実施形態）
図１１は、第５の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、ユニットパタンの配置工程（ステップＳ２）において、接続するユニットパタンＤ３同士の間に、点で接続する箇所が発生しないように、配置バリエーションを作成することにある。

本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態によれば、点接を禁止してユニットパタンＤ３を配置することにより、膨大化する可能性のある評価パタン数を現実的な数に抑制できるという効果も得られる。さらに、点接する箇所はウェハ上に実現されない可能性が高いので、無駄な評価パタンを作成せずに済む。

（第６の実施形態）
図１２は、第６の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、ユニットパタンの配置工程（ステップＳ２）において、ユニットパタンＤ３を配置した後に、図１３に示すように、スペースとパタンとの境界線（水平線）Ｌｈを上または下に移動させるか、もしくは、スペースとパタンとの境界線（垂直線）Ｌｖを右または左に移動させることにより、スペースの幅またはラインの幅の値を振る工程と、スペースの幅またはラインの幅の値を振って得られたパタンを評価パタンＤ５に追加する工程とを含む。

本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態によれば、スペースの幅またはラインの幅の値を振って得られたパタンも評価パタンＤ５として利用することにより、評価パタンのバリエーションをより豊富にすることが可能となる。

（第７の実施形態）
図１４は、第７の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、ユニットパタンの作成工程（ステップＳ１）において、ユニットパタンＤ３を作成した後に、図１５に示すように、作成したユニットパタンＤ３（回転角度θ＝０度）を回転（θ＝９０度，１８０度，２７０度）させる工程と、ユニットパタンＤ３を回転させて得られたパタンをユニットパタンＤ３に追加する工程とを含む。

本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態によれば、ユニットパタンＤ３を回転させて得られたパタンもユニットパタンＤ３として利用することにより、評価パタンのバリエーションを効率よく増やすことが可能になる。

（第８の実施形態）
図１６は、第８の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

本実施形態が第２の実施形態と異なる点は、ユニットパタンの作成工程（ステップＳ１）において、ユニットパタンＤ３を作成した後に、図１７に示すように、作成したユニットパタンＤ３を一方向のみに拡大または縮小する工程と、このユニットパタンＤ３を一方向のみに拡大または縮小することにより得られたパタンを、ユニットパタンＤ３に追加する工程とを含む。

本実施形態によれば、第２の実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態によれば、ユニットパタンＤ３を一方向のみに拡大または縮小させることにより得られたパタンのみを追加のユニットパタンＤ３として利用することにより、膨大化する評価パタン数を効果的に抑制することが可能になる。

（第９の実施形態）
図１８は、第９の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、ユニットパタンの作成工程（ステップＳ１）において、ユニットパタンＤ３を作成した後に、作成したユニットパタンＤ３をシュリンクする工程と、このシュリンクしたユニットパタンＤ３をユニットパタンＤ３に追加する工程とを含む。上記シュリンクとは、ある世代のパタンをスケーリング則に従ってより微細な世代のパタンに変換することをいう。

本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態によれば、ユニットパタンＤ３をシュリンクして得られたパタンもユニットパタンＤ３として利用することにより、異なる世代の評価パタンも得られるので、評価パタンのバリエーションをより豊富にすることが可能となる。

（第１０の実施形態）
図１９は、第１０の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

本実施形態が第１の実施形態と異なる点は、単位枠Ｄ２として、予め用意された単位枠（図１の単位枠Ｄ２）のサイズ（単位枠サイズＬ）が調整されたものを使用することにある。

本実施形態によれば、第１の実施形態と同様の効果が得られる。さらに、本実施形態によれば、サイズが大きくなるように調整された単位枠を用いることにより、膨大化する評価パタン数を抑制することが可能になり、逆に、サイズが小さくなるように調整された単位枠を用いることにより、評価パタンのバリエーションを増やすことが可能になる。

なお、予め用意された単位枠（図１の単位枠Ｄ２）のサイズを調整するステップを追加すれば、サイズを調整した単位枠は予め用意する必要はない。

（第１１の実施形態）
図２０は、第１１の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャートである。

本実施形態が第２の実施形態と異なる点は、描画グリッドＤｇを粗くすることにより、膨大化する評価パタン数を抑制することにある。

（第１２の実施形態）
図２１は、第１２の実施形態のＯＰＣの検証方法を示すフローチャートである。

まず、第１−第１１の実施形態のいずれかの方法で作成された評価パタン（小規模データ）Ｄ５と、検証の対象であるＯＰＣプログラムＤ１１を入力データに用いて、ＯＰＣプログラムを検証するための検証プログラムによって、ＯＰＣプログラムの第１の検証が行われる（ステップＳ１１）。第１の検証（ステップＳ１１）は、後述する比較例の小規模データ検証に対応する。

次に、第１の検証の結果に基づいて、ＯＰＣプログラムにエラーがあるか否かが判断される（ステップＳ１２）。

エラーがある場合には、ＯＰＣプログラムＤ１１のチューニングが行われる（ステップＳ１３）。その後、再び、第１の検証が行われる。ステップＳ１１−Ｓ１３のループは、例えば、予め決められた回数に達したら終了し、無限ループにならないようにする。

エラーがない場合には、実際の製品の設計パタンデータ（大規模データ）Ｄ１２を入力データに用いて、ＯＰＣプログラムを検証するための検証プログラムによって、ＯＰＣプログラムの第２の検証が行われる（ステップＳ１４）。第２の検証（ステップＳ１４）は、後述する比較例の大規模データ検証に対応する。

設計パタンデータＤ１２のデータ量は、一般には、評価パタンＤ５のデータ量よりも多い。ここで、本実施形態の場合、評価パタンＤ５のパタンバリエーションが豊富なので、第２の検証（ステップＳ１４）を省くことが可能である。すなわち、評価パタンＤ５は、第２の検証（ステップＳ１４）で使用されるデータも含んでいる場合もある
次に、第２の検証の結果に基づいて、ＯＰＣプログラムにエラーがあるか否かが判断される（ステップＳ１５）。

エラーがある場合には、ＯＰＣプログラムＤ１１のチューニングが行われる（ステップＳ１６）。その後、再び、第１の検証処理が行われる。ステップＳ１４−Ｓ１６のループは、例えば、予め決められた回数に達したら終了するようになっている。

エラーがない場合には、実際の製品としてリリースできるＯＰＣプログラムと認定される（ステップＳ１７）が行われる。

図２２に、比較例のＯＰＣの検証方法のフローチャートを示す。

比較例のＯＰＣの検証方法は、三つの検証工程（小規模データ検証Ｓ２１、中規模データ検証Ｓ２３、大規模データ検証２５）および三つの判断工程Ｓ２２，Ｓ２４，Ｓ２６を有する。

これに対して本実施形態の場合、多くても二つの検証ステップＳ１１，Ｓ１４および二つの判断ステップＳ１２，Ｓ１５で済む。したがって、本実施形態によれば、比較例に比べて、短時間でＯＰＣの検証を行える。

比較例のＯＰＣの検証方法は、小規模データＤ２１として、標準パタン、過去に問題が起こったパタンおよび自動発生で作成したパタンを用意する必要がある。さらに、比較例の場合、本実施形態では使用されない中規模データ２２も用意する必要がある。したがって、比較例は、ＯＰＣ検証用のデータの準備に時間がかかる。これに対して本実施形態の場合、中規模データＤ２２は不要であり、そして、小規模データＤ２１に相当する評価パタンＤ５は容易に作成できるので、比較例に比べて、データの準備に時間はかからない。

図２３に、本実施形態のＯＰＣの検証方法によりエラーなしと判断されたＯＰＣプログラムを用いたＯＰＣ処理のフローチャートを示す。

ＯＰＣプログラムＤ１１と製品の設計パタンデータＤ１２を用いてＯＰＣ処理（ステップＳ３１）が行われる。必要に応じて、検証プログラムＤ３２を用いてＯＰＣ処理の検証および確認（ステップＳ３２，Ｓ３３）が行われる。

本実施形態のＯＰＣプログラムＤ１１は、パタンバリエーションが豊富な評価パタンＤ５を用いて作成されたものである。そのため、実施形態の評価パタンＤ５は、ＯＰＣ処理で発生するあらゆるパタン（付加パタン、変形パタン）を含んでいると推定される。したがって、本実施形態のＯＰＣ処理は、基本的には、検証および確認（ステップＳ３２，Ｓ３３）は不要となる。

図２４に、比較例のＯＰＣの検証方法によりエラーなしと判断されたＯＰＣプログラムを用いたＯＰＣ処理のフローチャートを示す。

ＯＰＣプログラムＤ３１と製品の設計パタンデータＤ１２を用いてＯＰＣ処理が行われる（ステップＳ４１）。

次に、検証プログラムＤ３２を用いてＯＰＣ処理の検証が行われる（ステップＳ４２）。

検証の結果、ＯＰＣ処理にエラーがある場合には、ＯＰＣプログラムのチューニングおよび設計データの修正が行われ、さらに、エラーとなったパタン（想定外パタン）は小規模検証用パタンとして登録される（ステップＳ４４）。

比較例のＯＰＣプログラムＤ３１は、パタンバリエーションに欠けた評価パタンを用いて作成されたものである。そのため、比較例の評価パタンは、ＯＰＣ処理で発生するパタン（付加パタン、変形パタン）を含んでいる保証はない。したがって、比較例のＯＰＣ処理は、検証が必須となる。

以上述べた実施形態の評価パタンの作成方法は、プログラムとしても実施できる。すなわち、実施形態の評価パタンの作成方法に係るプログラムは、上述した実施形態のステップＳ１，Ｓ２またはステップＳ１−Ｓ３に相当するステップ（手順）を含むステップ（手順）をコンピュータに実行させるためのものである。

上記プログラムは、コンピュータ内のＣＰＵおよびメモリ（外部メモリを併用することもある。）等のハードウエハ資源を用いて実施される。ＣＰＵは、メモリ内から必要なデータを読み込み、該データに対して上記ステップ（手順）を行う。各ステップ（手順）の結果は、必要に応じてメモリ内に一時的に保存され、他のステップ（手順）で必要になったときに読み出される。

なお、本発明は上記実施形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上記実施形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより、種々の発明を形成できる。例えば、実施形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除してもよい。さらに、異なる実施形態にわたる構成要素を適宜組み合わせてもよい。

その他、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施できる。

第１の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 種パタン群の例を示す図。 他の種パタン群の例を示す図。 ユニットパタンの作成方法を説明するための図。 評価パタンの作成方法を説明するための図。 第２の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 描画グリッドを単位にして作成されるユニットパタンを示す図。 本発明の第３の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 デザインルールと適合した評価パターン候補の例を示す図。 第４の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 第５の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 第６の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 第６の実施形態のユニットパタンの配置工程を説明するための図。 第７の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 第７の実施形態のユニットパタンの作成工程を説明するための図。 第８の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 第８の実施形態のユニットパタンの作成工程を説明するための図。 第９の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 第１０の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 第１１の実施形態の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 第１２の実施形態のＯＰＣの検証方法を示すフローチャート。 比較例のＯＰＣの検証方法を示すフローチャート。 実施形態のＯＰＣプログラムを用いたＯＰＣ処理を示すフローチャート。 比較例のＯＰＣプログラムを用いたＯＰＣ処理のフローチャート。 比較例の評価パタンの作成方法を示すフローチャート。 基本パタンの一例を示す図。

符号の説明

Ｄ１…種パタン群、Ｄ２…単位枠、Ｄ３…ユニットパタン、Ｄ４…配置枠、Ｄ５…評価パタン、Ｄ５ｃ…評価パタン候補、Ｄｇ…描画グリッド、ＤＲ…デザインルール、Ｓ１…ユニットパタンの作成工程、Ｓ２…ユニットパタンの配置工程、Ｓ３…デザインルールに適合した評価パタン候補の抽出工程、ＳＰ…種パタン、ＳＦ…種パタン枠。

Claims (5)

1. 複数種の種パタンを含む種パタン群と単位枠とに基づいて、複数種のユニットパタンを作成する工程であって、前記複数種のユニットパタンの各々は、前記単位枠内に前記種パタンに対応したパタンが配置されてなるものである前記工程と、
   前記複数種のユニットパタンと、前記単位枠のＮ倍（Ｎは正の整数）のサイズを有する配置枠とに基づいて、光近接効果補正（ＯＰＣ：Optical Proximity Correction）の検証に使用される複数種の評価パタンを作成する工程であって、前記複数種の評価パタンの各々は、前記配置枠内が前記複数種の前記ユニットパタンで敷き詰められるように、前記配置枠内に前記複数種の評価ユニットパタンを配置したものである前記工程と
   を含むことを特徴とする評価パタンの作成方法。
2. 前記複数種の種パタンを含む種パタン群と単位枠とに基づいて、複数種のユニットパタンを作成する工程において、前記種パタン群と前記単位枠とに加えて描画グリッドを用いて、描画グリッドが守られた複数種のユニットパタンを作成することを特徴とする請求項１に記載の評価パタンの作成方法。
3. 前記複数種の種パタンを含む種パタン群と単位枠とに基づいて、複数種のユニットパタンを作成する工程において、前記種パタン群と前記単位枠とに加えてデザインルールを用いて、デザインルールが守られた複数種のユニットパタンを作成することを特徴とする請求項１に記載の評価パタンの作成方法。
4. 前記複数種の評価パタンを作成する工程において、前記配置枠内に前記複数種の評価ユニットパタンをモンテカルロ法によりランダムに配置することを特徴とする請求項１に記載の評価パタンの作成方法。
5. 複数種の種パタンを含む種パタン群と単位枠とに基づいて、複数種のユニットパタンを作成させる手順であって、前記複数種のユニットパタンの各々は、前記単位枠内に前記種パタンに対応したパタンが配置されてなるものである前記手順と、
   前記複数種のユニットパタンと、前記単位枠のＮ倍（Ｎは正の整数）のサイズを有する配置枠とに基づいて、光近接効果補正（ＯＰＣ：Optical Proximity Correction）の検証に使用される複数種の評価パタンを作成させる手順であって、前記複数種の評価パタンの各々は、前記配置枠内が前記複数種の前記ユニットパタンで敷き詰められるように、前記配置枠内に前記複数種のユニットパタンを配置したものである前記手順と
   をコンピュータに実行させるためのプログラム。

Images