JP4753816B2 - Solar cell and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
本発明は半導体基板に形成される太陽電池セルとその製造方法に関し、特に、薄くて割れ易い半導体基板に形成される太陽電池セルとその製造方法の改善に関するものである。 The present invention relates to a solar cell formed on a semiconductor substrate and a manufacturing method thereof, and more particularly to an improvement of a solar cell formed on a thin and easily broken semiconductor substrate and a manufacturing method thereof.
太陽電池セル用の半導体シリコン基板は、内周刃スライサ、外周刃スライサまたはワイヤーソーなどを用いて、単結晶または多結晶の半導体インゴットから300〜350μm程度の厚さに切り出される。太陽電池セルの製造においては、光電変換を生じさせるpn接合をシリコン基板内に形成し、その基板内への光の入射を増大させる反射防止膜や光電変換電流を効率良く取り出すための電極などが形成される。 A semiconductor silicon substrate for a solar battery cell is cut from a single crystal or polycrystalline semiconductor ingot to a thickness of about 300 to 350 μm using an inner peripheral slicer, an outer peripheral slicer, a wire saw, or the like. In the manufacture of solar cells, a pn junction that causes photoelectric conversion is formed in a silicon substrate, an antireflection film that increases the incidence of light into the substrate, an electrode for efficiently extracting photoelectric conversion current, and the like. It is formed.
図25においては従来の太陽電池セルの一例が示されており、(a)はそのセルの受光面である表面、(b)はセルの裏面、そして(c)は(a)中の線25X−25Xに沿った断面を表している。このような従来の太陽電池セル1の作製に際しては、まずアルカリエッチングによって、シリコンウエハ1aのスライス時に導入されたダメージ層を除去する。次に、シリコン基板1aの表面にn型の不純物を塗布し、熱拡散によってpn接合を受光面側近くに形成する。基板1aの受光面側にはプラズマCVDによって反射防止膜(図示せず)が形成され、裏面上にはアルミペーストをスクリーン法で印刷して焼成することによって裏面集電電極1cが形成される。また、銀ペーストをスクリーン法で印刷して焼成する方法によって、基板1aの受光面側にくし状の集電電極1bを形成するとともに、裏面上に接続用電極1dが形成される。そして、はんだディップを行うことによって、焼成銀からなる電極1b、1dの表面がはんだ層1eで被覆される。
FIG. 25 shows an example of a conventional solar cell, in which (a) is a surface that is a light receiving surface of the cell, (b) is a back surface of the cell, and (c) is a
さらに、導電性の金属帯からなるインターコネクタを太陽電池セル間に接続し、数十枚の太陽電池セルを含む太陽電池モジュールが製造される。太陽電池モジュールにおいては、アレイ状に配列された数十枚の太陽電池セルの表側にガラス板が透明樹脂で接合されていて、その裏側には絶縁フィルムや防湿フィルムなどが付与されており、太陽電池セル回路の両端から外部に電流を取り出すための端子が引出されている。 Furthermore, an interconnector made of a conductive metal band is connected between solar cells, and a solar cell module including several tens of solar cells is manufactured. In the solar cell module, a glass plate is joined with a transparent resin on the front side of several tens of solar cells arranged in an array, and an insulating film, a moisture-proof film, etc. are provided on the back side of the solar cell module. Terminals for extracting current from both ends of the battery cell circuit are drawn out.
このような太陽電池モジュールのコスト低減を図るには、そのコストの大きい部分を占める半導体シリコン基板を薄くして、高価なシリコン材料の使用量を削減する必要がある。しかし、シリコン基板を薄くすれば、太陽電池セルおよびモジュールの製造工程中で太陽電池セルの割れが多くなって生産歩留が低下し、必ずしもコスト低減に繋がらない。また、太陽電池セルを薄くすれば、完成品の太陽電池モジュールの使用中に受ける温度サイクルなどによって太陽電池セルの割れが発生しやすくなり、そのモジュールの品質や信頼性の低下が懸念される。したがって、従来の量産太陽電池セルのシリコン基板は300〜350μm程度の厚さが一般的である。 In order to reduce the cost of such a solar cell module, it is necessary to reduce the amount of expensive silicon material used by thinning the semiconductor silicon substrate that occupies a large part of the cost. However, if the silicon substrate is made thin, the solar cells are cracked during the manufacturing process of the solar cells and modules, the production yield is lowered, and the cost is not necessarily reduced. Further, if the solar cell is made thin, the solar cell is likely to be cracked due to a temperature cycle received during use of the finished solar cell module, and there is a concern that the quality and reliability of the module may be reduced. Therefore, the silicon substrate of the conventional mass-produced solar cell is generally about 300 to 350 μm thick.
すなわち、シリコンインゴットから切り出されるシリコンウエハを薄くすれば、シリコン基板、太陽電池セル、さらには太陽電池モジュールの製造工程中で、そのシリコン基板のエッジ部において目に見えない小さな亀裂、傷、欠けなどが生じやすくなり、それらの欠陥を起点に大きなひびや割れに発展する確率が大きくなる。製造工程中のシリコン基板の割れは、基板材料の損失、割れた基板の取替え、割れた破片を製造装置から取り除くための追加的作業の必要性などを生じさせ、太陽電池セルやモジュールのコストを上昇させる原因となる。特に、太陽電池モジュールの製造中に太陽電池セル基板(ウエハ)が割れた場合、そのモジュール全体が不良品となり、損失が大きくなる。また、完成直後の太陽電池モジュールに異常がなくても、太陽電池セル基板が薄ければ、そのモジュール使用中の温度サイクルなどによってセルに割れが発生しやすくなる懸念がある。 That is, if the silicon wafer cut out from the silicon ingot is thinned, in the manufacturing process of the silicon substrate, the solar battery cell, and further the solar battery module, small cracks, scratches, chips, etc. that are not visible at the edge of the silicon substrate. The probability of developing into large cracks and cracks starting from these defects increases. Cracking of the silicon substrate during the manufacturing process causes loss of substrate material, replacement of the broken substrate, and the need for additional work to remove the broken pieces from the manufacturing equipment, thereby reducing the cost of solar cells and modules. Causes it to rise. In particular, when the solar cell substrate (wafer) is cracked during the production of the solar cell module, the entire module becomes a defective product and the loss increases. Moreover, even if there is no abnormality in the solar cell module immediately after completion, if the solar cell substrate is thin, there is a concern that the cell is likely to be cracked due to a temperature cycle during use of the module.
以上のような従来技術における課題に鑑み、本発明は、太陽電池セルに用いられる半導体基板を薄くしても太陽電池セルおよびモジュールの製造工程におけるセル割れを低減することによって、信頼性を低下させることなく製造コストを下げ得る太陽電池セルおよびその製造方法を提供することを目的としている。そして、本発明によって提供される太陽電池セルを用いて製造される最終製品の太陽電池モジュールも、その品質や信頼性を低下させることなく製造コストが改善されることになる。 In view of the problems in the conventional technology as described above, the present invention reduces reliability by reducing cell cracks in the manufacturing process of solar cells and modules even if the semiconductor substrate used in the solar cells is thinned. It aims at providing the photovoltaic cell which can reduce manufacturing cost, and its manufacturing method. And the manufacturing cost of the solar cell module of the final product manufactured using the solar cell provided by the present invention is also improved without deteriorating its quality and reliability.
本発明による太陽電池セルは、その裏面周辺の少なくとも一部に焼成銀から成る補強材が付与されていることを特徴としている。なお、太陽電池セルの表面における集電電極および裏面におけるの接続用電極も焼成銀で形成されていることが好ましい。 The solar battery cell according to the present invention is characterized in that a reinforcing material made of baked silver is applied to at least a part of the periphery of the back surface. In addition, it is preferable that the current collection electrode in the surface of a photovoltaic cell and the connection electrode in a back surface are also formed with baked silver.
一般には太陽電池セルの裏面においてその周縁部を残して焼成Al集電電極が形成されており、焼成銀の補強材はその焼成Al集電電極の周縁部上に形成されていることが好ましい。焼成銀補強材は、シリコンからなるセル基板の裏面の周縁部上にも伸びて形成されていることがさらに好ましい。 In general, a sintered Al current collecting electrode is formed on the back surface of the solar cell while leaving its peripheral edge, and the sintered silver reinforcing material is preferably formed on the peripheral edge of the sintered Al current collecting electrode. More preferably, the baked silver reinforcing material is formed so as to extend on the peripheral edge of the back surface of the cell substrate made of silicon.
焼成銀補強材は必ずしも太陽電池セルの全周に沿って設けられる必要はなく、インターコネクタで接続される方向と交差する2辺のみの近傍に沿って形成されていてもよい。 The fired silver reinforcing material does not necessarily have to be provided along the entire circumference of the solar battery cell, and may be formed along only the vicinity of two sides that intersect the direction connected by the interconnector.
焼成銀補強材の幅は、4mm以内であることが好ましい。また、焼成銀補強材は太陽電池セルの周辺端縁から0.5mm以上離れて形成されていることが好ましい。 The width of the baked silver reinforcing material is preferably within 4 mm. Moreover, it is preferable that the baked silver reinforcing material is formed 0.5 mm or more away from the peripheral edge of the solar battery cell.
インターコネクタは、セルの裏面の接続用電極と焼成銀補強材との両方に接続されることが好ましい。焼成銀補強材は、インターコネクタが接続される領域においてその幅が拡大されていることが好ましい。 The interconnector is preferably connected to both the connection electrode on the back surface of the cell and the sintered silver reinforcing material. It is preferable that the width | variety of the baking silver reinforcing material is expanded in the area | region where an interconnector is connected.
焼成銀補強材は太陽電池セルの裏面の全周に沿って連続しないように、少なくとも一つの中断部が設けられていることが好ましい。その場合、太陽電池セルの一側辺の両端部において焼成銀補強材の中断部が設けられていることが好ましい。焼成銀補強材の中断部は、セルの一側辺に対して斜めに形成されていることが好ましい。焼成銀補強材は、くし歯状のパターンを含んでいることも好ましい。 It is preferable that at least one interruption part is provided so that a baked silver reinforcement material may not continue along the perimeter of the back surface of a photovoltaic cell. In that case, it is preferable that the interruption part of a baked silver reinforcement material is provided in the both ends of the one side of a photovoltaic cell. The interrupted portion of the baked silver reinforcing material is preferably formed obliquely with respect to one side of the cell. It is also preferable that the baked silver reinforcing material includes a comb-like pattern.
太陽電池セルを製造する際には、そのセルの裏面における焼成銀補強材と焼成銀の接続用電極とが同時に形成されることが好ましい。また、太陽電池セルを製造する際に、実質的に矩形のセルの表面の集電電極、その裏面の接続用電極、および焼成銀補強材をはんだ層で被覆するためのはんだディップのときに、その矩形のセルを概略その対角線に沿った方向に引き上げることが好ましい。 When manufacturing a solar cell, it is preferable that the baked silver reinforcing material and the connection electrode of baked silver are formed simultaneously on the back surface of the cell. Further, when manufacturing a solar battery cell, a current collecting electrode on the surface of a substantially rectangular cell, a connection electrode on the back surface thereof, and a solder dip for covering the fired silver reinforcing material with a solder layer, The rectangular cell is preferably lifted in a direction substantially along the diagonal.
以上のような本発明によれば、太陽電池セル基板を補強することによって、外力負荷によるセル割れの発生を低下させることができる。これにより、太陽電池セルの生産工程におけるセル割れの発生率を低下させ、製造装置の稼動率の向上、セル割れ発生による装置の清掃作業の低減、さらには材料歩留まりの向上による太陽電池セルとモジュールのコスト低減が可能になる。また、完成された太陽電池モジュールの性能と信頼性を向上させることができる。 According to the present invention as described above, the occurrence of cell cracking due to an external force load can be reduced by reinforcing the solar cell substrate. This reduces the rate of cell cracking in the production process of solar cells, improves the operating rate of manufacturing equipment, reduces the cleaning work of equipment due to the occurrence of cell cracking, and further improves the yield of materials. Cost reduction. Moreover, the performance and reliability of the completed solar cell module can be improved.
シリコンウエハまたは太陽電池セルにおける割れ発生のメカニズムは、以下のようであると考えられる。すなわち、シリコンウエハ、太陽電池セル、および太陽電池モジュールの製造工程においてシリコンウエハエッジ部に小さな亀裂、傷、欠けなどが発生し、製造工程中でのウエハまたはセルの各種処理過程において、それらの欠陥部分に過大な応力がかかって割れに発展する。特に、太陽電池モジュールの製造工程では、太陽電池セルと熱膨張係数が大きく異なる金属製のインターコネクタのはんだ付けにより、セルエッジ部は大きなストレス(特に面外せん断応力)を受ける。このとき、セルに微小な亀裂などがあれば、その局部に応力が集中して亀裂が進展し、ひいてはセル割れに至ることになる。 It is considered that the mechanism of crack generation in the silicon wafer or solar cell is as follows. That is, in the manufacturing process of silicon wafers, solar cells, and solar cell modules, small cracks, scratches, chips, etc. occur at the silicon wafer edge, and these defects occur in various processing processes of the wafer or cell during the manufacturing process. The part develops cracks due to excessive stress. In particular, in the manufacturing process of the solar cell module, the cell edge portion receives a large stress (particularly an out-of-plane shear stress) due to the soldering of a metal interconnector having a thermal expansion coefficient significantly different from that of the solar cell. At this time, if there is a minute crack or the like in the cell, the stress concentrates on the local area and the crack progresses, and eventually leads to cell cracking.
このような場合、セルエッジを補強材により強化することにより、これら局部への応力集中を緩和することができる。したがって、補強材としては、セルエッジの微小な亀裂などを固めてその亀裂に面外せん断応力がかかり難くする性質が要求され、接着強度が大きくて縦弾性係数の大きい強靭な材質が望まれる。また、このような補強材の付与は、コストの観点からも、できるだけ太陽電池セルの製造工程を増やすことなく行えることが望ましい。具体的な補強方法としては、たとえば下記の方法が考えられる。 In such a case, the stress concentration on these local parts can be alleviated by reinforcing the cell edge with the reinforcing material. Therefore, the reinforcing material is required to have a property that hardens small cracks at the cell edge and makes it difficult to apply an out-of-plane shear stress to the cracks, and a tough material having a high adhesive strength and a large longitudinal elastic modulus is desired. Moreover, it is desirable that such a reinforcing material can be applied without increasing the number of manufacturing steps of the solar battery cell as much as possible from the viewpoint of cost. As a concrete reinforcing method, for example, the following method can be considered.
1.太陽電池ウエハの光電変換に寄与しない裏面側に樹脂を用いて補強し、そのウエハの取り扱い時に負荷が加わっても補強材に荷重を受け持たせることによって、太陽電池ウエハが割れないようにする。 1. The back surface side of the solar cell wafer that does not contribute to photoelectric conversion is reinforced with resin, and the load is applied to the reinforcing material even when a load is applied during handling of the wafer so that the solar cell wafer is not cracked.
2.生産工程中の取り扱い時に負荷が太陽電池ウエハに直接加わらないようにそのウエハの側面部に緩衝材を設けることによって、太陽電池ウエハが割れないようにする。 2. The solar cell wafer is prevented from cracking by providing a cushioning material on the side surface of the wafer so that a load is not directly applied to the solar cell wafer during handling during the production process.
3.太陽電池ウエハの周辺部に存在する傷やひびの隙間に密着強度の高い樹脂を注入することによって、これらの傷やひびが割れに進展しないようにする。 3. By injecting a resin having high adhesion strength into the gap between the scratches and cracks existing around the solar cell wafer, these scratches and cracks are prevented from progressing into cracks.
以下において、図面を参照しつつ、本発明に密接に関連する参考例とともに、本発明の実施の形態がより具体的に説明される。なお、本願の各図において、同一の参照符号は同一部分または相当部分を表している。また、図面の明瞭化と簡略化のために、本願の各図において長さや厚さなどの寸法関係は適宜に変更されており、実際の寸法関係を表してはいない。 In the following, embodiments of the present invention will be described more specifically with reference examples closely related to the present invention with reference to the drawings. In each figure of the present application, the same reference numerals represent the same or corresponding parts. For clarity and simplification of the drawings, the dimensional relationships such as length and thickness are appropriately changed in each drawing of the present application and do not represent actual dimensional relationships.
図1において、本発明に密接に関連する一参考例による太陽電池セルが概略的に示されている。図1の(a)は太陽電池セルの表面、(b)はセルの側面、そして(c)はセルの裏面を表している。すなわち、太陽電池セル1はシリコン基板1aを含み、その表面には慣用的な電流収集用のくし型銀電極1bが形成されている。また、太陽電池セル1の裏面は、裏面アルミ電極1cによって覆われている。そして、太陽電池セル1の裏面における周辺部が樹脂2によって補強されている。
In FIG. 1, a solar cell according to a reference example closely related to the present invention is schematically shown. 1A shows the surface of the solar battery cell, FIG. 1B shows the side surface of the cell, and FIG. 1C shows the back surface of the cell. That is, the
通常は太陽電池セルの厚さは350μm程度であるが、インゴットからのセル基板1aの取れ数を増やしてコスト低減を図るために、さらに太陽電池セルの薄型化が望まれている。しかし、インゴットからのウエハの取れ数を増やすために太陽電池セルの薄型化が行われる場合、350μm程度の厚さのセル基板1aでは製造工程中のセル割れがさほど問題とならなかったが、さらなる薄型化と共に急激に割れの発生率が高まる。そこで、本発明に密接に関連する本参考例では、特に薄型の太陽電池セルほど効果が大きくなると期待される。
Usually, the thickness of the solar battery cell is about 350 μm. However, in order to increase the number of
また、太陽電池セルの主面の大きさは、通常は約10cm角以上である。このセル主面寸法の大型化を図ることによっても、太陽電池セルの低コスト化を図ることができる。しかし、太陽電池セルの厚さが薄くなればなるほど、またその主面の面積が大きくなればなるほど、太陽電池セルが割れ易くなる。 Further, the size of the main surface of the solar battery cell is usually about 10 cm square or more. A reduction in the cost of the solar battery cell can also be achieved by increasing the size of the cell main surface. However, the thinner the solar cell is and the larger the area of the main surface is, the more easily the solar cell is cracked.
図1では、太陽電池セル1の裏面からそのセルを樹脂2で補強しており、太陽電池モジュールの製造工程中にセルにかかる熱応力や機械的外力に対して、セル強度を増強させる効果を生じ得る。また、太陽電池セル1の裏面側では透光性を必要としないことから不透明な樹脂2で補強することも可能であり、作業性やコスト面から補強用樹脂の種類を選定することができる。太陽電池セル1に外力が加わった場合に補強材2の受け持つ荷重はそれが硬い材質であるほど大きくなるので、補強材2には硬い材質(高弾性率)のものが望まれる。また、硬い材質の補強材ほど、それを薄くしても補強の効果が得られ易い。なお、太陽電池セル1の裏面において、図1に示されているより広い範囲またはその裏面全体に補強材2が付与されてもよいことは言うまでもない。
In FIG. 1, the cell is reinforced with the
図2においては、本発明に密接に関連する他の参考例による太陽電池セル1の裏面が示されており、樹脂補強部分2aがセル裏面の互いに対向する2辺近傍に限られている。太陽電池セルおよび太陽電池モジュールの製造工程においてセルに外力がかかる部分は通常は対向2辺になるので、図1の場合のようにセル裏面の全周縁近傍を補強するまでに至らなくても、外力のかかり易い2辺近傍を補強することによって同様の効果が得られる。また、太陽電池モジュールの製造工程における太陽電池セルの位置決めや取り扱いなどにおいて、そのセルが治具と接する部分に補強材を付与する場合でも効果が期待できる。
In FIG. 2, the back surface of the
図1と図2の場合において、樹脂補強材2,2aの強度を増して高弾性率を得るために、その樹脂中にガラス繊維または炭素繊維などが混入されてもよい。補強材としては高弾性率の材料を選んだ方がセル割れ防止の高い効果が期待できるが、樹脂だけでは高弾性を得られ難い場合に強化繊維の添加による効果向上が特に期待され得る。また、耐熱性の向上に関しても、添加する強化繊維材料の種類によって期待することができる。
In the case of FIG. 1 and FIG. 2, in order to increase the strength of the
すなわち、ガラス繊維や炭素繊維はシリコンに比べても弾性率が高いので、太陽電池セルに外力が加わった場合にそれらの強化繊維が受け持つ応力が大きくなってセルに負荷がかかり難くなる効果を期待でき、セル補強の効果の向上がはかれる。また、耐熱性の高い繊維材料を補強材に混入させれば、太陽電池セルおよびモジュールの製造工程における高温環境においても、セル補強の効果を維持または向上させることができる。 In other words, glass fiber and carbon fiber have a higher elastic modulus than silicon, so when an external force is applied to the solar battery cell, the stress that those reinforcing fibers bear increases and it is expected that the cell will not be easily loaded. The effect of cell reinforcement can be improved. In addition, if a fiber material having high heat resistance is mixed in the reinforcing material, the effect of cell reinforcement can be maintained or improved even in a high-temperature environment in the manufacturing process of solar cells and modules.
図3の参考例においては、透明の補強材3が太陽電池セル1の表側の周縁近傍に付与されている。透明の樹脂やガラスなどの補強材の場合、太陽電池セル1の裏面側に限定されず、表面側における補強が可能となる。ただし、図3に示されているようなセル表面側の補強に加えて、図1や図2に示されているような裏面側の補強が併用されてもよいことは言うまでもない。
In the reference example of FIG. 3, a transparent reinforcing material 3 is provided in the vicinity of the peripheral edge on the front side of the
図4はさらに他の参考例を示し、(a)は太陽電池セルの表面、(b)はセルの側面、そして(c)はセルの裏面を表している。この参考例では、太陽電池セル1の側面部に緩衝材4がを設けられている。太陽電池セル1の側面部に緩衝材4を設けた場合、太陽電池モジュールの製造工程におけるセルの位置決めや搬送時に、外力がセルの一点に集中してシリコン基板1aに損傷を与えることを防ぐことが可能となる。すなわち、緩衝材4として柔軟な材料を用いることによって、外力が太陽電池セル1の一点にかかっても緩衝材4がその外力を分散させるように作用し、太陽電池セル1が割れにくくなる効果が得られる。
FIG. 4 shows still another reference example, where (a) represents the surface of the solar battery cell, (b) represents the side surface of the cell, and (c) represents the back surface of the cell. In this reference example, the buffer material 4 is provided on the side surface portion of the
図5はさらに他の参考例を示し、(a)は太陽電池セルの裏面、(b)は(a)中の円領域5Bの拡大図を表している。この参考例においては、太陽電池セル1の周縁における傷またはひびの部分5に液状の補強材5aが浸透させられてその後に硬化させられており、その傷またはひび5が接合されて補強されている。傷やひび5内に補強材5aを浸透させて接合した場合、その補強の効果は接着強度によるものであって補強材5a自体の強度に影響されないので、補強材5aの厚さ自体には大きな意味がなくて薄くても補強の効果が得られる。
FIG. 5 shows still another reference example, where (a) shows the back surface of the solar battery cell, and (b) shows an enlarged view of the
また、この場合の補強材5aは厚さを必要としないので、シリコンや太陽電池モジュールを構成している他の材料に対する補強材5a自体の熱膨張係数のミスマッチによる熱応力の発生を殆ど無視することができる。さらに、傷やひび5が小さくて目視で判別できない場合でも、液状補強材がその濡れ性と表面張力によって小さい隙間に入り易い特性を生かし、太陽電池セル全体を補強するのではなくてその弱い部分を重点的に補強することができる。したがって、この用途の補強においては、硬化前の粘度が小さくて流動的で小さい隙間に浸透し易い材質で、かつ密着強度の高い補強材料5aによって高い効果を得る事ができる。
Further, since the reinforcing
図6はさらに他の参考例を示し、(a)は太陽電池セルの表面、(b)はセルの側面、そして(c)はセルの裏面を表している。この参考例においては、太陽電池セル1の表裏両方の周縁部近傍に補強材2bが付与されており、高温や低温の温度環境においてもセルの反りが大きくなることがない。すなわち、図6の参考例では、太陽電池セルの裏面と表面のいずれか一方のみに補強材を付与した場合に比べれば、太陽電池セルと補強材との熱膨張係数の差によるセルの反りを小さくすることができる。
FIG. 6 shows still another reference example, where (a) represents the surface of the solar battery cell, (b) represents the side surface of the cell, and (c) represents the back surface of the cell. In this reference example, the reinforcing
図7の参考例においては、図2の場合に類似して、太陽電池セル1の裏面における対向2辺の近傍に補強材2cが付与されている。しかし、この参考例においては、太陽電池セル1と補強材2cとの熱膨張特性の違いによる熱ストレスが小さくなるように、セル裏面上の補強材領域2cがパターニングされている。すなわち、セル1と補強材2cとの熱膨張特性の違いによる熱ストレスは補強材領域の長さが長いほど大きくなるので、その熱ストレスを低減しつつ補強効果を損なわないように補強材領域2cをパターニングすることができる。
In the reference example of FIG. 7, similar to the case of FIG. 2, the reinforcing
図8はさらに他の参考例を示しており、(a)は太陽電池セルの表面、(b)は側面、そして(c)は裏面を表している。この参考例では、太陽電池セル1の裏面における対向2辺の近傍に、アルミ板またはセラミックス板など6が樹脂など2dによって接合されて補強されている。なお、このような補強板6は太陽電池セル1の対向2辺から少しはみ出して接合されてもよく、その場合には、太陽電池のセルやモジュールの製造工程中で治具とセル1が直接当らないようにして割れの発生を防ぐ効果を得ることができる。
FIG. 8 shows still another reference example, where (a) represents the front surface of the solar battery cell, (b) represents the side surface, and (c) represents the back surface. In this reference example, an aluminum plate or a
すなわち、図8の参考例では、樹脂2dによる補強に加えてアルミ板またはセラミックス板など6による補強を追加することによって、太陽電池セル補強の効果を向上させる事ができる。また、セル基板1aの対向2辺から補強板6のエッジ部を少しはみださせて接合することによって、太陽電池モジュールの製造工程におけるセル1の位置決めなどの際に治具がセル基板1aに直接ではなくて補強板6に当ることになって、太陽電池セル1の割れを低減させることができる。さらに、導電性の樹脂2dと金属補強板6を用いた場合には、太陽電池セル1の裏面電極の電気抵抗を小さくする効果も得られ、太陽電池モジュールの電気出力の向上を図ることができる。
That is, in the reference example of FIG. 8, the effect of solar cell reinforcement can be improved by adding reinforcement by 6 such as an aluminum plate or a ceramic plate in addition to reinforcement by
図9はさらに他の参考例を示しており、(a)は太陽電池セルの側面を表し、(b)は裏面を表している。この参考例では、太陽電池セル1の裏面における対向2辺近傍が導電性樹脂2eとそれで接合された金属板7とによって補強されており、この金属板7ははんだ付可能な補強板である。そして、このように補強された太陽電池セル1の複数を含む太陽電池モジュールにおいて隣接するセル間は、インターコネクタ8によって電気的に接続されている。すなわち、一つの太陽電池セル1の金属補強板7にはんだ付けされたインターコネクタ8は、隣接する太陽電池セル1の表側のくし型電極に接続されている。
FIG. 9 shows still another reference example, (a) shows the side surface of the solar battery cell, and (b) shows the back surface. In this reference example, the vicinity of two opposing sides on the back surface of the
従来では、銅帯からなるインターコネクタ8の接続部において、その銅帯8とはんだ9とシリコン基板1aとのそれぞれの間の熱膨張係数差による熱応力、および太陽電池モジュールの構成材料と太陽電池セルとの熱膨張係数差によって、その接続部にかかる熱応力が太陽電池セルの割れを生じることがあった。しかし、本参考例ではそのインターコネクタ接続部に導電性の補強材2e,7が用いられているので、そのようなセル割れを防ぐことができる。
Conventionally, in the connection portion of the
図10の参考例においては、太陽電池セル1の裏面の周縁近傍が銀電極10によって補強されている。インターコネクタは、その銀電極領域10中の接続領域10aにはんだ付けされて接続される。銀電極領域10は電気抵抗が小さくかつその表面をはんだメッキし得るので、裏面電極の抵抗を低減する効果を生じ、太陽電池モジュールの電気特性の向上も同時に期待することができる。
In the reference example of FIG. 10, the vicinity of the periphery of the back surface of the
図11の参考例においては、図10の参考例に加えて、太陽電池セルの裏面の周縁部が金属補強板11によってさらに補強されている。すなわち、この金属補強板11は、はんだによって銀電極領域10に接続されている。このような補強板は、太陽電池セル1の裏面全体に設けられてもよいことは言うまでもない。図11の参考例では金属補強板11にインターコネクタがはんだ付けされるので、はんだ付けの熱ストレスやモジュール構成部からインターコネクタを介する荷重が太陽電池セル基板ヘかからないので、セルの損傷を小さくすることができてその信頼性を向上させることができる。
In the reference example of FIG. 11, in addition to the reference example of FIG. 10, the peripheral edge portion of the back surface of the solar battery cell is further reinforced by the
図12の参考例では、図6の場合において、補強材2bとしてガラス材料が用いられている。この図12では、p型シリコン基板1aにおいてn+領域1nがp+領域1pが形成され、p+領域1p上には焼成アルミ裏面電極1cが形成されている。すなわち、シリコン基板1aにpn接合や裏面電極1cを形成する前の工程でガラス補強材2bを付与することによって、ウエハ周端縁部におけるpn接合の分離が容易になり、太陽電池セル1の電気出力の向上を図ることができる。また、太陽電池セル1の製造工程の初期にこのような補強材2bを導入することによって、そのセル製造工程途中におけるセル割れの発生を低減することが可能となる。
In the reference example of FIG. 12, in the case of FIG. 6, a glass material is used as the reinforcing
また、太陽電池セル1における裏面電極1cの焼成時の熱処理とガラス補強材2bの焼成の熱処理とを同じ工程で実施することによって、セルの製造工程を大幅に増やすことなく、本発明に密接に関連するセル補強効果が得られる。焼成ガラス補強材2bの原料として用い得る粉末ガラスの一例として、日本電気硝子製のGP−5210やGP−1410などがある。
In addition, the heat treatment at the time of firing the
図13はさらに他の参考例を示し、(a)は太陽電池セルの側面を表し、(b)はセルの裏面を表している。この参考例では、セル裏面のアルミ焼成電極1cのほぼ全域を覆う補強板として、アルミ板12が導電性接着剤13を用いて接合されている。このアルミ補強板12上に銀ペーストを印刷して焼成することによって銀電極10bを形成し、この銀電極10bにはんだコーティング9aが付与される。そして、インターコネクタがはんだ接続される銀電極部10bにおいて、アルミ焼成電極1cとアルミ補強板12を流れる電流を収集することができる。
FIG. 13 shows still another reference example, where (a) represents the side surface of the solar battery cell and (b) represents the back surface of the cell. In this reference example, an
図14はさらに他の参考例を示し、(a)は太陽電池セルの側面を表し、(b)はセルの裏面を表している。この参考例においては、アルミ焼成電極1cの周辺部に銀ペーストの印刷と焼成によって銀電極10を形成し、ディップ法により銀電極10にはんだコーティング9aが付与される。補強板13として鋼板が銀電極10にはんだ付けされ、その補強板13にインターコネクタ8が導電性樹脂を用いて接続されている。本参考例では、セル周辺部の銀電極10でセルを補強するとともに、その銀電極10のはんだコーティング9aを用いて補強鋼板13をセルにはんだ付けすることによっても補強されている。また、補強鋼板13を電極として作用させることもできるので、セルの直列抵抗を低減することができ、その出力向上を図ることもできる。
FIG. 14 shows still another reference example, where (a) represents the side surface of the solar battery cell and (b) represents the back surface of the cell. In this reference example, the
図15はさらに他の参考例を示し、(a)は太陽電池セルの側面を表し、(b)はセルの裏面を表している。この参考例では、太陽電池セル基板の裏面にアルミペースト1cを印刷し、その乾燥前にアルミの補強板14をそのアルミペースト1cに貼り合わせ、その後にアルミペースト1cを乾燥して焼成することによってアルミ補強板14とセル基板1aとが接合させられる。さらに導電性樹脂2eを用いてインターコネクタ8がアルミ補強板14に取りつけられている。図15においては、アルミ板14としてメッシュ状のものが用いられている。この場合、アルミペースト1cの乾燥と焼成の際に、ペースト中の溶剤成分の蒸発と樹脂成分の燃焼を充分に行うことによって、セル基板1aとアルミ補強板14との接合性を大きく改善することができる。
FIG. 15 shows still another reference example, where (a) represents the side surface of the solar battery cell and (b) represents the back surface of the cell. In this reference example, an
なお、セル基板1aと補強板14とは溶接により接合されてもよい。すなわち、セル基板1aの裏面にアルミペーストの印刷と焼成により裏面電極1cを形成する代わりに、アルミの薄板(200μm厚程度)14をセル基板1aの裏面のシリコン面と接触させ、YAGレーザーの照射によってそのシリコン面とアルミ補強板14とを直接接合してもよい。
The
また、補強材が非導電体である太陽電池セルは、太陽電池モジュール中で隣接する太陽電池セルとの電気的接触を考えた場合に好ましい。特に太陽電池セル間を電気的に接触させないために通常は0.5〜2mm程度の隙間が得られるように設計されるが、セルの位置制御が困難である場合に、非導電体の補強材や緩衝材を太陽電池セルの側面部に付与すれば、セル同士を互いに突き当てて位置決めする事が可能となり、太陽電池モジュールの製造も容易となる。 Moreover, the photovoltaic cell whose reinforcing material is a non-conductor is preferable when considering electrical contact with the adjacent photovoltaic cells in the photovoltaic module. In particular, it is designed so that a gap of about 0.5 to 2 mm is obtained so as not to make electrical contact between solar cells. However, when it is difficult to control the position of the cell, a non-conductor reinforcing material is used. If the cushioning material is applied to the side surface portion of the solar battery cell, the cells can be brought into contact with each other and positioned, and the solar battery module can be easily manufactured.
図16は本発明による一実施形態を示し、(a)は太陽電池セルの裏面を表し、(b)は(a)中の線16X−16Xに沿った断面を表している。これ以後の実施形態では、基板として、125mm角で厚さ300μmのシリコンウエハが用いられた。図16の太陽電池セル1の裏面周辺には焼成銀のパターン2fが形成されており、これが補強材の役割を果たしている。また、焼成銀の補強材2fははんだディップによって表面が被覆されるので、そのはんだ層1eによって補強材2fがさらに強化されることになる。
FIG. 16 shows an embodiment according to the present invention, in which (a) represents the back surface of the solar cell, and (b) represents a cross section taken along
補強材2fはセル裏面の接続用電極1dと同様に焼成銀で形成されるので、スクリーン法で銀ペーストを同時に印刷して焼成することが可能であり、工程を増やすことなくセル補強の効果を得ることができる。具体的には、補強材パターン2fおよび裏面接続用電極1dは、銀ペーストとSUS165メッシュのスクリーンを用いて約30μm程度の厚さに印刷された。この銀ペースト印刷を約150℃で乾燥した後に約600℃で焼成することによって、焼成銀パターンが形成された。その後、はんだディップを行うことによって、焼成銀表面がはんだ層で被覆された。
Since the reinforcing
図16(b)に示されているように、補強材パターン2fは、焼成アルミで形成された裏面集電電極1cの周縁部に重なるように印刷された。このようにすれば、補強材パターン2fが焼成銀であるので、補強の効果に加えてシリコン基板1aの裏面に平行な方向の電気抵抗を低減する効果をも生じ、複数のセルを直列に接続する場合に、従来に比べて太陽電池の出力特性(特にFF:フィルファクタ)を向上させることができる。
As shown in FIG. 16 (b), the reinforcing
図17の実施形態は図16のものに類似しているが、図17においては補強材パターン2fが裏面集電電極1cの周縁部上のみならずシリコン基板1aの周縁部上にも重ねて形成されていることにおいて異なっている。補強材パターンの焼成銀2fとシリコンウエハ1aの接合部3aは接合強度が高いので、さらに強い補強効果が得られる。
The embodiment of FIG. 17 is similar to that of FIG. 16, but in FIG. 17, the reinforcing
図17において、補強材パターン2fとAl集電電極1cの重なり幅3bが広すぎれば、はんだディップ後に焼成銀2fと焼成アルミ1cとの界面で剥離が生じる。幅3bを8mmにした場合、太陽電池セル10枚中で7枚において焼成銀と焼成アルミの界面での剥離が確認され、幅3bが5mmの場合にセル10枚中で2枚に剥離が確認され、幅3bが4mの場合に全セルにおいて剥離なしとなることが確認された。すなわち、安定した補強効果を得るためには、幅3bを4mm以下にするのが望ましく、本実施形態では1.5mmにされた。この場合、100枚試作した太陽電池セルの内で、剥離を生じたセルは0であった。
In FIG. 17, if the
また、図17において、シリコンウエハ1aの周縁と補強材パターン2fの周縁との距離3cが狭すぎれば、太陽電池セル1の周縁部における漏れ電流が増加しやすくなる。従来の太陽電地セルの漏れ電流Idは約0.1Aであるが、距離3cを0.2mmにした場合にIdは約0.3Aに増加した。また、距離2cを0.5mmにした場合にIdは従来と同様の約0.1Aになった。すなわち、セル特性を低下させずに補強の効果を得るためには、距離3cを0.5mm以上にすることが望ましく、本実施形態では1.0mmにされた。
In FIG. 17, if the
図18においてはさらに他の実施形態による太陽電池セル1の裏面が示されており、焼成銀補強部分2fがセル裏面の互いに対向する2辺近傍に限られている。太陽電池モジュールの製造工程では、太陽電池セルと熱膨張係数が大きく異なる金属製のインターコネクタのはんだ付けに起因してセルエッジ部は大きなストレスを受けるので、セル割れは主にインターコネクタの接続方向に沿って発生しやすい。したがって、図18に示されているように、セル割れが発生しやすい2辺のみに補強材2fを付与しても、十分な補強効果が得られる。この場合は、高価な銀ペーストの使用量が低減し、低コストで補強を付与することができる。
In FIG. 18, the back surface of the
図19(a)の実施形態は図16(a)のものに類似しているが、図19(a)においては太陽電池セルにインターコネクタが付与されている。この場合、インターコネクタ8は、裏面接続用電極1dに接続されるのみならず、補強材パターン2fの接続個所4にも電気的に接続される。焼成銀の補強材パターン2fは集電電極としても作用し得るので、インターコネクタ8をその焼成銀パターン2fにも接続することによって、セルの出力特性(FF)向上が可能となる。
The embodiment of FIG. 19 (a) is similar to that of FIG. 16 (a), but in FIG. 19 (a), an interconnector is added to the solar cell. In this case, the
本実施形態では、補強材パターン2fとインターコネクタ8をはんだ付けすることによって電気的に接続し、54枚のセルが直列接続されたモジュールを作製した。本実施形態と従来の太陽電池セルを用いてモジュールを作製した場合とにおけるセルの割れ率とモジュールの出力特性の比較が、次の表1に示されている。なお、表1において、Iscはモジュールの短絡電流を表し、Vocは開放端電圧を表し、そしてPmは最大出力を表している。
In the present embodiment, the reinforcing
図19(b)の実施形態は図19(a)のものに類似しているが、図19(b)においてはインターコネクタ8を補強材パターン2fに接続する個所4の幅が拡大されている。インターコネクタ8を補強材パターン2fにはんだ付けする場合には、接続個所4に応力が集中するので、そこが起点となってセル割れが発生する場合もある。したがって、図19(b)に示されているように接続個所4を幅広にして応力を分散させることによって、セル割れを防ぎつつインターコネクタ8を接続してモジュール状態での出力特性(FF)を向上きせることができる。
The embodiment of FIG. 19 (b) is similar to that of FIG. 19 (a), but in FIG. 19 (b), the width of the portion 4 connecting the
図20は図16(a)の太陽電池セルに対して行うはんだディップの工程の一例を示している。この太陽電池セルのはんだディップ工程では、一旦はんだ槽15a内の溶融はんだ15b中にセル1を浸漬した後に、矢印16で示された垂直方向にそのセルを引き上げる。焼成銀の補強材パターン2fが付与されたセルでは、このはんだディップの際に、引き上げ方向に対して下辺近傍の補強材2上にはんだ溜まり17が発生しやすい。はんだ溜まり17が発生すれば、それを起点としてセル割れが発生しやすくなる。はんだ溜まり17は、引き上げ方向の上辺部から下辺部へ溶融はんだが多量に流れ込むことによって発生する。
FIG. 20 shows an example of a solder dipping process performed on the solar battery cell of FIG. In this solar cell solder dipping step, the
図21は、さらに他の実施形態による太陽電池セルの裏面を表している。図21(a)においては、補強材パターン2fに一つの中断部18aが設けられており、補強材パターン2fの下辺へのはんだの流れ込みをこの中断部18aによって抑制することができる。その結果、はんだ溜まりの発生を少なくすることが可能となる。
FIG. 21 shows a back surface of a solar battery cell according to still another embodiment. In FIG. 21A, one interrupting
図21(b)においては、補強材パターン2fの下辺の両端部に2つの中断部18bが設けられている。このようにすれば、補強材パターン2fの底辺へのはんだの流れがより少なくなるので、はんだ溜まりがさらに発生しにくくなる。
In FIG. 21B, two interrupting
図21(c)においては、補強材パターン2fの下辺の両端部に2つの中断部18cが、矩形のセル1の対角方向に沿って斜めに形成されている。これによって、はんだ溜まりをさらに効果的に抑制することができる。図22の(a)、(b)、および(c)においては、補強材パターン2fの中断部の他の変形例が示されている。
In FIG. 21C, two
図23は、さらに他の実施形態による太陽電池セルの裏面を表している。図23においては、補強材パターン2fに中断部が設けられる代わりに、そのはんだ溜まりのできやすい辺にくし歯状のパターンを含めることによって、はんだ溜まりの発生が防止される。この場合、焼成銀の補強材パターン2fに中断部を設ける必要がないので、補強効果と抵抗低減効果を減ずることがない。
FIG. 23 shows a back surface of a solar battery cell according to still another embodiment. In FIG. 23, instead of providing the interruption portion in the reinforcing
図24は図16(a)の太陽電池セルに対して行うはんだディップの工程の他の例を示している。図24においては、矩形のセル1をその対角方向に傾けて引き上げることによって、どのような補強材パターン上においても、溶融はんだをそのセルの角に集めることができる。セルの角では集まったはんだが溜まりにくいので、補強材パターン2f上のはんだ溜まりを抑制することが可能となる。
FIG. 24 shows another example of the solder dipping process performed on the solar battery cell of FIG. In FIG. 24, the molten solder can be collected at the corner of the cell on any reinforcing material pattern by pulling the
以上のように、本発明によれば、太陽電池セル基板を補強することによって、外力負荷によるセル割れの発生を低下させることができる。これにより、太陽電池セルの生産工程におけるセル割れの発生率を低下させ、製造装置の稼動率の向上、セル割れ発生による装置の清掃作業の低減、さらには材料歩留まりの向上による太陽電池セルとモジュールのコスト低減が可能になる。また、完成された太陽電池モジュールの性能と信頼性を向上させることができる。 As described above, according to the present invention, the occurrence of cell cracking due to an external force load can be reduced by reinforcing the solar cell substrate. This reduces the rate of cell cracking in the production process of solar cells, improves the operating rate of manufacturing equipment, reduces the cleaning work of equipment due to the occurrence of cell cracking, and further improves the yield of materials. Cost reduction. Moreover, the performance and reliability of the completed solar cell module can be improved.
1 太陽電池セル、1a セル基板、1b くし型銀電極、1c 焼成アルミ裏面電極、1d 接続用裏面電極、1e はんだ層、1n n+層、1p p+層、2,2a 補強材、2b 透明の補強材、2c 緩衝材、2e 導電性樹脂、2f 焼成銀、3a 焼成銀補強材とシリコン基板との接合部、3b 焼成銀補強際と焼成アルミ電極との接合部、1c シリコン基板の周縁と補強材パターンの周縁との距離、4 焼成銀補強材パターン上のインターコネクタ接続個所、5 ひび、6 アルミ板やセラミックス板などの補強板、8 インターコネクタ、9,9a はんだ、10,10a 銀電極部、11 金属補強板、12 アルミ補強板、13 補強鋼板、14 アルミ補強板、15a はんだ槽、15b 溶融はんだ、16 セルの引き上げ方向、17 はんだ溜まり、18 補強材パターンの中断部。
1 solar cell, 1a cell substrate, 1b comb-shaped silver electrode, 1c fired aluminum back electrode, 1d back electrode for connection, 1e solder layer, 1n n + layer, 1pp + layer, 2, 2a reinforcing material, 2b transparent Reinforcing material, 2c buffer material, 2e conductive resin, 2f baked silver, 3a bonded portion between baked silver reinforcing material and silicon substrate, 3b bonded portion between baked silver reinforcement and baked aluminum electrode, 1c peripheral edge and reinforcement of silicon substrate Distance from the periphery of the material pattern, 4 Interconnector connection points on the fired silver reinforcement material pattern, 5 cracks, 6 Reinforcement plate such as aluminum plate or ceramic plate, 8 Interconnector, 9, 9a Solder, 10, 10a
Claims (13)
太陽電池セルの表面における集電電極および裏面における接続用電極も焼成銀で形成されていることを特徴とする太陽電池セル。 It is a solar cell, and a reinforcing material made of baked silver is applied to at least a part of the back surface in the vicinity of the peripheral edge of the back surface,
A solar battery cell, wherein the collector electrode on the front surface of the solar battery cell and the connection electrode on the back surface are also formed of sintered silver.
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