JP4715778B2

JP4715778B2 - Inkjet head manufacturing method

Info

Publication number: JP4715778B2
Application number: JP2007058003A
Authority: JP
Inventors: 守正梶浦; 心津村
Original assignee: Brother Industries Ltd
Current assignee: Brother Industries Ltd
Priority date: 2007-03-08
Filing date: 2007-03-08
Publication date: 2011-07-06
Anticipated expiration: 2027-03-08
Also published as: JP2008213431A

Description

本発明は、インク滴を吐出して印刷を行うインクジェットヘッドの製造方法に関する。 The present invention relates to a method of manufacturing an inkjet head that performs printing by discharging ink droplets.

印刷用紙等の被記録媒体にインク滴を吐出するインクジェットヘッドとしては、インク滴を吐出するノズル及びノズルに連通した圧力室を含む多数の個別インク流路を備えた流路ユニットと、各圧力室内のインクに吐出エネルギーを付与するアクチュエータとを有するものがある。このアクチュエータは、圧力室の容積を変化させることにより圧力室に圧力を付加するものであり、多数の圧力室に跨る圧電シートと、圧電シートの表面において各圧力室と対向するように配置された多数の個別電極と、圧電シートを介して多数の個別電極と対向するように配置された共通電極とを有するものが知られている（例えば、特許文献１参照）。このアクチュエータの表面には、個別電極や共通電極の接続ランドが配置されており、これら接続ランドがフラットケーブルの一方端部近傍に配置された多数の端子に接合されている。フラットケーブルは内部配線に接続された端子を介してアクチュエータに駆動信号を供給するものである。アクチュエータは、フラットケーブルを介して各個別電極にパルス状の駆動信号が供給されることによって、当該個別電極と共通電極との間に挟まれた圧電シートの部分に対してその厚み方向に電界が作用し、この部分の圧電シートを厚み方向に伸長させる。このとき、圧力室の容積が変化して圧力室内のインクに圧力が付与される。 As an inkjet head for ejecting ink droplets onto a recording medium such as printing paper, a flow path unit having a number of individual ink flow paths including a nozzle for ejecting ink droplets and a pressure chamber communicating with the nozzle, and each pressure chamber And an actuator for applying ejection energy to the ink. This actuator applies pressure to the pressure chamber by changing the volume of the pressure chamber, and is arranged so as to oppose each pressure chamber on the surface of the piezoelectric sheet across the many pressure chambers and the piezoelectric sheet. One having a large number of individual electrodes and a common electrode arranged to face the large number of individual electrodes via a piezoelectric sheet is known (for example, see Patent Document 1). On the surface of this actuator, connection lands for individual electrodes and common electrodes are arranged, and these connection lands are joined to a large number of terminals arranged in the vicinity of one end of the flat cable. The flat cable supplies a drive signal to the actuator via a terminal connected to the internal wiring. The actuator is supplied with a pulsed drive signal to each individual electrode via a flat cable, so that an electric field is applied in the thickness direction to the portion of the piezoelectric sheet sandwiched between the individual electrode and the common electrode. It acts, and the piezoelectric sheet of this part is extended in the thickness direction. At this time, the volume of the pressure chamber changes and pressure is applied to the ink in the pressure chamber.

特開２００２−３６５６８号公報（図１）Japanese Patent Laid-Open No. 2002-36568 (FIG. 1)

このようなインクジェットヘッドの製造工程においては、流路ユニットに接着されたアクチュエータにフラットケーブルを接合する。このとき、流路ユニットに接着されたアクチュエータ上にフラットケーブルを配置した状態で、これらを２つのヒータで挟持し、各ヒータから同じ加熱温度で加熱することにより、フラットケーブルの端子とアクチュエータの接続ランドとが接合される。このとき、加熱時間を短くするため、各ヒータの加熱温度を高くすると、時間の経過とともにアクチュエータの温度が急激に上昇し、アクチュエータが熱破壊されることがある。 In the manufacturing process of such an inkjet head, a flat cable is joined to the actuator bonded to the flow path unit. At this time, in a state where the flat cable is arranged on the actuator bonded to the flow path unit, these are sandwiched by two heaters and heated from each heater at the same heating temperature, thereby connecting the terminal of the flat cable and the actuator. The land is joined. At this time, if the heating temperature of each heater is increased in order to shorten the heating time, the temperature of the actuator rapidly increases with time, and the actuator may be thermally destroyed.

そこで、本発明の目的は、アクチュエータと平型柔軟基板とを接合するための加熱時間を短くしつつアクチュエータが熱破壊されるのを防止するインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing an ink jet head that prevents the actuator from being thermally destroyed while shortening the heating time for joining the actuator and the flat flexible substrate.

本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、圧力室を介してノズルに至る複数の個別インク流路が形成された金属部材からなる流路ユニットの一方の面に固定されているとともに、前記複数の圧力室と対向する複数の個別電極、共通電極、前記複数の個別電極と前記共通電極との間に配置された圧電層、及び、前記複数の個別電極と電気的に接続された複数の個別ランドを有する前記金属部材よりも線膨張係数の小さいアクチュエータと、複数の出力端子を有する平型柔軟基板と、第１及び第２ヒータとを、前記複数の出力端子と前記複数の個別ランドとがそれぞれ接しつつ、前記平型柔軟基板側に配置された前記第１ヒータと、前記流路ユニット側に配置された前記第２ヒータとが、前記平型柔軟基板、前記アクチュエータ及び前記流路ユニットを挟持するように配置する配置工程と、前記アクチュエータの温度が、前記出力端子と前記個別ランドとの接合温度であって前記アクチュエータが熱破壊される温度以下となるように、前記第１ヒータが前記平型柔軟基板を加熱し、且つ、前記第２ヒータが前記流路ユニットを加熱することによって、前記複数の出力端子と前記複数の個別ランドとをそれぞれ接合する接合工程とを備えている。前記配置工程において、前記個別ランドに対する前記出力端子の位置合わせが、予め前記第２ヒータの加熱温度に保温された前記第２ヒータ上で行われ、前記接合工程においては、前記第２ヒータの加熱温度を、前記第１ヒータの加熱温度より低くすると共に、加熱時間が経過するに伴って前記第１ヒータの加熱温度を徐々に低くする。 The inkjet head manufacturing method of the present invention is fixed to one surface of a flow path unit made of a metal member in which a plurality of individual ink flow paths reaching a nozzle through a pressure chamber is formed, and the plurality of pressures A plurality of individual electrodes opposed to the chamber, a common electrode, a piezoelectric layer disposed between the plurality of individual electrodes and the common electrode, and a plurality of individual lands electrically connected to the plurality of individual electrodes. The actuator having a smaller linear expansion coefficient than the metal member, the flat flexible substrate having a plurality of output terminals, the first and second heaters, and the plurality of output terminals and the plurality of individual lands are in contact with each other. However, the first heater disposed on the flat flexible substrate side and the second heater disposed on the flow path unit side include the flat flexible substrate, the actuator, and the flow path. An arrangement step of arranging so as to sandwich the knitting, so that the temperature of said actuator, said actuator is below the temperature at which the thermal breakdown a joining temperature between the individual lands and said output terminal, said first heater Heating the flat flexible substrate, and the second heater heats the flow path unit to join the plurality of output terminals and the plurality of individual lands, respectively. . In the arranging step, the output terminal is aligned with the individual land on the second heater that is preliminarily kept at the heating temperature of the second heater. In the joining step, the heating of the second heater is performed. The temperature is made lower than the heating temperature of the first heater, and the heating temperature of the first heater is gradually lowered as the heating time elapses .

本発明によると、第２ヒータの加熱温度が第１ヒータの加熱温度よりも低くなるため、アクチュエータの温度が急激に上昇してアクチュエータが熱破壊されるのを防止することができる。さらに、流路ユニットの温度が、アクチュエータの温度よりも低くなるため、流路ユニットがアクチュエータよりも大きく伸びるのを抑制することができる。これにより、アクチュエータが流路ユニットから剥離したり、クラックが生じたりするのを防止することができる。また、加熱時間が経過するに伴って前記第１ヒータの加熱温度を徐々に低くするため、アクチュエータの温度が所定温度以上に上昇するのを確実に抑制することができる。 According to the present invention, since the heating temperature of the second heater becomes lower than the heating temperature of the first heater, it is possible to prevent the actuator temperature from rapidly rising and the actuator from being thermally destroyed. Furthermore, since the temperature of the flow path unit is lower than the temperature of the actuator, it is possible to suppress the flow path unit from extending more than the actuator. Thereby, it can prevent that an actuator peels from a flow path unit or a crack arises. Further, since the heating temperature of the first heater is gradually lowered as the heating time elapses, it is possible to reliably suppress the temperature of the actuator from rising above a predetermined temperature.

本発明では、前記接合工程において、前記第１及び第２ヒータに挟持される前記平型柔軟基板に係る前記複数の出力端子が配置される領域に、未硬化の熱硬化性樹脂からなる樹脂層が形成されていることが好ましい。さらに、本発明では、前記接合工程において、前記第１ヒータに通電している間は、前記第２ヒータを前記第２ヒータの加熱温度に維持することが好ましい。 In the present invention, in the bonding step, a resin layer made of an uncured thermosetting resin in a region where the plurality of output terminals related to the flat flexible substrate sandwiched between the first and second heaters are disposed. Is preferably formed . Et al is, in the present invention, in the bonding step, while energizing the first heater, it is preferred to maintain the second heater on the heating temperature of the second heater.

以下、本発明の好適な実施の形態について、図面を参照しつつ説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１は、本発明に係る実施形態であるインクジェットプリンタの全体的な構成を示す概略側面図である。図１に示すように、インクジェットプリンタ１０１は、４つのインクジェットヘッド１を有するカラーインクジェットプリンタである。このインクジェットプリンタ１０１には、図中左方に給紙部１１が、図中右方に排紙部１２がそれぞれ構成されている。 FIG. 1 is a schematic side view showing the overall configuration of an inkjet printer according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the inkjet printer 101 is a color inkjet printer having four inkjet heads 1. The inkjet printer 101 includes a paper feeding unit 11 on the left side in the drawing and a paper discharge unit 12 on the right side in the drawing.

インクジェットプリンタ１０１の内部には、給紙部１１から排紙部１２に向かって用紙（被記録媒体）Ｐが搬送される用紙搬送経路が形成されている。給紙部１１のすぐ下流側には、用紙を狭持搬送する一対の送りローラ５ａ、５ｂが配置されている。一対の送りローラ５ａ、５ｂは、用紙Ｐを給紙部１１から図中右方に送り出すためのものである。用紙搬送経路の中間部には、２つのベルトローラ６、７と、両ローラ６、７の間に架け渡されるように巻き回されたエンドレスの搬送ベルト８と、搬送ベルト８によって囲まれた領域内においてインクジェットヘッド１と対向する位置に配置されたプラテン１５とを含むベルト搬送機構１３が設けられている。プラテン１５は、インクジェットヘッド１と対向する領域において搬送ベルト８が下方に撓まないように搬送ベルト８を支持するものである。ベルトローラ７と対向する位置には、ニップローラ４が配置されている。ニップローラ４は、給紙部１１から送りローラ５ａ、５ｂによって送り出された用紙Ｐを搬送ベルト８の外周面８ａに押さえ付けるものである。図示しない搬送モータがベルトローラ６を回転させることによって、搬送ベルト８が駆動される。これにより、搬送ベルト８が、ニップローラ４によって外周面８ａに押さえ付けられた用紙Ｐを粘着保持しつつ排紙部１２に向けて搬送する。用紙搬送経路に沿って搬送ベルト８のすぐ下流側には、剥離機構１４が設けられている。剥離機構１４は、搬送ベルト８の外周面８ａに粘着されている用紙Ｐを外周面８ａから剥離して、図中左方の右方の排紙部１２に向けて送るように構成されている。 Inside the ink jet printer 101, a paper transport path is formed through which paper (recording medium) P is transported from the paper supply unit 11 toward the paper discharge unit 12. A pair of feed rollers 5a and 5b for nipping and conveying the paper are arranged immediately downstream of the paper supply unit 11. The pair of feed rollers 5a and 5b are for feeding the paper P from the paper feeding unit 11 to the right in the drawing. In an intermediate portion of the paper conveyance path, two belt rollers 6 and 7, an endless conveyance belt 8 wound around the rollers 6 and 7, and an area surrounded by the conveyance belt 8 A belt conveyance mechanism 13 including a platen 15 disposed in a position facing the inkjet head 1 is provided. The platen 15 supports the conveyance belt 8 so that the conveyance belt 8 does not bend downward in a region facing the inkjet head 1. A nip roller 4 is disposed at a position facing the belt roller 7. The nip roller 4 presses the sheet P fed from the sheet feeding unit 11 by the feed rollers 5 a and 5 b against the outer peripheral surface 8 a of the transport belt 8. The conveyor belt 8 is driven by a conveyor motor (not shown) rotating the belt roller 6. Thereby, the conveyance belt 8 conveys the paper P pressed against the outer peripheral surface 8 a by the nip roller 4 toward the paper discharge unit 12 while being adhesively held. A peeling mechanism 14 is provided immediately downstream of the conveying belt 8 along the sheet conveying path. The peeling mechanism 14 is configured to peel the paper P adhered to the outer peripheral surface 8a of the conveyor belt 8 from the outer peripheral surface 8a and send it to the right paper discharge unit 12 on the left side in the drawing. .

４つのインクジェットヘッド１は、４色のインク（マゼンタ、イエロー、シアン、ブラック）に対応して、用紙Ｐの搬送方向に沿って４つ並べて設けられている。つまり、このインクジェットプリンタ１０１は、ライン式プリンタである。４つのインクジェットヘッド１は、その下端にヘッド本体２をそれぞれ有している。ヘッド本体２は、搬送方向に直交した方向に長尺な細長い直方体形状となっている。また、ヘッド本体２の底面が搬送ベルト８の外周面８ａに対向するインク吐出面２ａとなっている。搬送ベルト８によって搬送される用紙Ｐが４つのヘッド本体２のすぐ下方側を順に通過する際に、この用紙Ｐの上面すなわち印刷面の印刷領域に向けてインク吐出面２ａから各色のインク滴が吐出される。これにより、用紙Ｐの印刷領域に所望のカラー画像を形成できるようになっている。 The four inkjet heads 1 are provided side by side along the transport direction of the paper P, corresponding to four colors of ink (magenta, yellow, cyan, and black). That is, the ink jet printer 101 is a line printer. Each of the four inkjet heads 1 has a head body 2 at the lower end thereof. The head main body 2 has an elongated rectangular parallelepiped shape that is long in a direction orthogonal to the transport direction. Further, the bottom surface of the head body 2 is an ink ejection surface 2 a that faces the outer peripheral surface 8 a of the transport belt 8. When the paper P transported by the transport belt 8 sequentially passes immediately below the four head bodies 2, ink droplets of each color are ejected from the ink ejection surface 2a toward the upper surface of the paper P, that is, the printing area of the printing surface. Discharged. Thereby, a desired color image can be formed in the print area of the paper P.

次に、図２を参照しつつインクジェットヘッド１について詳細に説明する。図２は、インクジェットヘッド１の短手方向に沿った断面図である。図２に示すように、インクジェットヘッド１は、流路ユニット９とアクチュエータユニット２１とを含むヘッド本体２、ヘッド本体２の上面に配置されていると共にヘッド本体２にインクを供給するリザーバユニット７１、アクチュエータユニット２１を駆動させる駆動信号を生成するドライバＩＣ５２が表面に実装されたＣＯＦ（Chip On Film）５０、ＣＯＦ５０と電気的に接続された基板５４、並びに、アクチュエータユニット２１、リザーバユニット７１、ＣＯＦ５０及び基板５４を覆いつつ、外部からインクやインクミストが浸入するのを防ぐためのサイドカバー５３及びヘッドカバー５５を有している。 Next, the inkjet head 1 will be described in detail with reference to FIG. FIG. 2 is a cross-sectional view of the inkjet head 1 along the short direction. As shown in FIG. 2, the inkjet head 1 includes a head body 2 including a flow path unit 9 and an actuator unit 21, a reservoir unit 71 that is disposed on the upper surface of the head body 2 and supplies ink to the head body 2, A driver IC 52 that generates a drive signal for driving the actuator unit 21 is mounted on a COF (Chip On Film) 50 mounted on the surface, a substrate 54 electrically connected to the COF 50, the actuator unit 21, the reservoir unit 71, the COF 50, and A side cover 53 and a head cover 55 are provided to cover the substrate 54 and prevent ink and ink mist from entering from the outside.

リザーバユニット７１は、プレート９１〜９４の４枚の金属製のプレートが互いに位置合わせされて積層されたものであり、その内部に、図示しないインク流入流路、インクリザーバ６１、及び、１０個のインク流出流路６２が互いに連通するように形成されている。なお、図２においては、１つのインク流出流路６２のみが表れている。インクリザーバ６１に貯留されたインクがインク流出流路６２を通過し、インク供給口（図示せず）を介して流路ユニット９に供給される。また、プレート９４には、凹部９４ａが形成されている。プレート９４の凹部９４ａが形成された部分では、流路ユニット９との間に空隙を形成しており、この空隙内に、流路ユニット９上のアクチュエータユニット２１が配置されている。 The reservoir unit 71 is formed by aligning and laminating four metal plates 91 to 94, and an ink inflow channel (not shown), an ink reservoir 61, and 10 The ink outflow channels 62 are formed so as to communicate with each other. In FIG. 2, only one ink outflow channel 62 appears. The ink stored in the ink reservoir 61 passes through the ink outflow channel 62 and is supplied to the channel unit 9 via an ink supply port (not shown). Further, the plate 94 has a recess 94a. In the portion of the plate 94 where the concave portion 94a is formed, a gap is formed between the plate unit 94 and the flow path unit 9, and the actuator unit 21 on the flow path unit 9 is disposed in this gap.

ＣＯＦ５０には、その表面に、図示しない多数の配線（図示せず）と、各配線の一方端部に接続された多数の出力端子５０ａ（図６参照）とが形成されている。そして、ＣＯＦ５０の端部近傍がアクチュエータユニット２１の上面に配置された状態で、出力端子５０ａと後述する個別電極１３５に接続されたランド１３６（図４及び図６参照）とが接合されている。 On the surface of the COF 50, a large number of wirings (not shown) (not shown) and a large number of output terminals 50a (see FIG. 6) connected to one end of each wiring are formed. The output terminal 50a and a land 136 (see FIGS. 4 and 6) connected to the individual electrode 135 described later are joined in a state where the vicinity of the end of the COF 50 is disposed on the upper surface of the actuator unit 21.

さらに、ＣＯＦ５０は、アクチュエータユニット２１の上面からサイドカバー５３とリザーバユニット７１との間を通過するように上方に引き出されており、他方端部がコネクタ５４ａを介して基板５４に接続されている。このとき、ＣＯＦ５０のドライバＩＣ５２が、リザーバユニット７１の側面に貼り付けられたスポンジ８２によってサイドカバー５３に付勢されている。ドライバＩＣ５２は、放熱シート８１を介してサイドカバー５３の内側面と密着することによってサイドカバー５３と熱的に結合されている。これにより、ドライバＩＣ５２からの熱がサイドカバー５３を介して外部に放熱される。基板５４は、図示しない上位の制御装置からの制御信号を、ＣＯＦ５０のドライバＩＣ５２に出力するものである。 Further, the COF 50 is drawn upward from the upper surface of the actuator unit 21 so as to pass between the side cover 53 and the reservoir unit 71, and the other end thereof is connected to the substrate 54 via the connector 54a. At this time, the driver IC 52 of the COF 50 is urged toward the side cover 53 by the sponge 82 attached to the side surface of the reservoir unit 71. The driver IC 52 is thermally coupled to the side cover 53 by being in close contact with the inner surface of the side cover 53 via the heat dissipation sheet 81. Thereby, heat from the driver IC 52 is radiated to the outside through the side cover 53. The substrate 54 outputs a control signal from a host control device (not shown) to the driver IC 52 of the COF 50.

次に、図３及び図４をさらに参照しつつ、ヘッド本体２について説明する。図３は、流路ユニット９の部分断面図である。図４はアクチュエータユニット２１の拡大断面図である。 Next, the head body 2 will be described with further reference to FIGS. 3 and 4. FIG. 3 is a partial cross-sectional view of the flow path unit 9. FIG. 4 is an enlarged sectional view of the actuator unit 21.

図２に示すように、ヘッド本体２は、流路ユニット９、及び、流路ユニット９の上面９ａに接着層を介して固定された４つのアクチュエータユニット２１を含んでいる（なお、図２においては、４つのアクチュエータのうち１つのみが示されている）。図３及び図４に示すように、アクチュエータユニット２１は、流路ユニット９に形成された圧力室１１０に対向して設けられた複数のアクチュエータを含んでおり、圧力室１１０内のインクに選択的に吐出エネルギーを付与する機能を有する。 As shown in FIG. 2, the head body 2 includes a flow path unit 9 and four actuator units 21 fixed to the upper surface 9a of the flow path unit 9 via an adhesive layer (in FIG. 2). Only one of the four actuators is shown). As shown in FIGS. 3 and 4, the actuator unit 21 includes a plurality of actuators provided to face the pressure chamber 110 formed in the flow path unit 9, and is selective to the ink in the pressure chamber 110. Has a function of imparting discharge energy to the.

流路ユニット９は、上から順に、キャビティプレート１２２、ベースプレート１２３、アパーチャプレート１２４、サプライプレート１２５、マニホールドプレート１２６、１２７、１２８、カバープレート１２９、及び、ノズルプレート１３０、という９枚のステンレス鋼等の金属プレートから構成されている。これらプレート１２２〜１３０を互いに位置合わせしつつ積層することによって、流路ユニット９内に、マニホールド流路１０５から副マニホールド流路１０５ａ、そして副マニホールド流路１０５ａの出口から圧力室１１０を経てノズル１０８に至る多数の個別インク流路１３２が形成される。なお、流路ユニット９の表面には、マニホールド流路１０５の開口端でもあるインク供給口が形成されている。１０個のインク供給口が、インク流出流路６２にそれぞれ対応して配設されている。 The flow path unit 9 includes nine stainless steel plates such as a cavity plate 122, a base plate 123, an aperture plate 124, a supply plate 125, manifold plates 126, 127, and 128, a cover plate 129, and a nozzle plate 130 in order from the top. It consists of a metal plate. By laminating these plates 122 to 130 while being aligned with each other, the nozzle 108 in the flow path unit 9 passes from the manifold flow path 105 to the sub manifold flow path 105a and from the outlet of the sub manifold flow path 105a through the pressure chamber 110. A large number of individual ink channels 132 are formed. An ink supply port that is also an open end of the manifold channel 105 is formed on the surface of the channel unit 9. Ten ink supply ports are respectively arranged corresponding to the ink outflow channels 62.

アクチュエータユニット２１について説明する。アクチュエータユニット２１は、強誘電性を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセラミックス材料からなる３枚の圧電シート（圧電層）１４１〜１４３から構成されている。最上層の圧電シート１４１上における圧力室１１０に対向する位置には、個別電極１３５が形成されている。個別電極１３５は、図４に示すように、圧力室１１０に対向して配置された電極部と、圧力室１１０に対向する領域の外にまで引き出された延出部とを有し、この延出部上にランド（個別ランド）１３６が配設されている。ランド１３６は、Ａｇ系の導電材料からなり、印刷法により形成される。最上層の圧電シート１４１とその下側の圧電シート１４２との間にはシート全面に形成された共通電極１３４が介在している。 The actuator unit 21 will be described. The actuator unit 21 includes three piezoelectric sheets (piezoelectric layers) 141 to 143 made of a lead zirconate titanate (PZT) ceramic material having ferroelectricity. An individual electrode 135 is formed at a position facing the pressure chamber 110 on the uppermost piezoelectric sheet 141. As shown in FIG. 4, the individual electrode 135 has an electrode portion disposed so as to face the pressure chamber 110 and an extending portion drawn out to a region facing the pressure chamber 110. A land (individual land) 136 is disposed on the protruding portion. The land 136 is made of an Ag-based conductive material and is formed by a printing method. A common electrode 134 formed on the entire surface of the sheet is interposed between the uppermost piezoelectric sheet 141 and the lower piezoelectric sheet 142.

共通電極１３４はすべての圧力室１１０に対応する領域において等しく基準電位が付与されるようにグランドに接続されている。一方、個別電極１３５は、各ランド１３６及びＣＯＦ５０の内部配線を介してドライバＩＣ５２と電気的に接続されており、ドライバＩＣ５２からの駆動信号が選択的に入力されるようになっている。つまり、アクチュエータユニット２１において、個別電極１３５と圧力室１１０とで挟まれた部分が、個別のアクチュエータとして働き、圧力室１１０の数に対応した複数のアクチュエータが作り込まれている。 The common electrode 134 is connected to the ground so that the reference potential is equally applied in the region corresponding to all the pressure chambers 110. On the other hand, the individual electrode 135 is electrically connected to the driver IC 52 via each land 136 and the internal wiring of the COF 50, and a drive signal from the driver IC 52 is selectively input. That is, in the actuator unit 21, a portion sandwiched between the individual electrode 135 and the pressure chamber 110 functions as an individual actuator, and a plurality of actuators corresponding to the number of pressure chambers 110 are formed.

ここで、アクチュエータユニット２１の駆動方法について述べる。圧電シート１４１はその厚み方向に分極されており、個別電極１３５を共通電極１３４と異なる電位にして圧電シート１４１に対してその分極方向に電界を印加すると、圧電シート１４１における電界印加部分が圧電効果により歪む活性部として働く。この活性部は、電界と分極の方向とが同じときには、厚み方向に伸張し面方向に収縮する。このときの伸張及び収縮に伴う変位量は、厚み方向より面方向の方が大きい。つまり、アクチュエータユニット２１は、圧力室１１０から離れた上側１枚の圧電シート１４１を、活性部を含む層とし且つ圧力室１１０に近い下側２枚の圧電シート１４２、１４３を非活性層とした、いわゆるユニモルフタイプである。図４に示すように、圧電シート１４１〜１４３は圧力室１１０を区画するキャビティプレート１２２の上面に固定されている。ここで、圧電シート１４１における電界印加部分とその下方の圧電シート１４２、１４３との間で平面方向への歪みに差が生じると、圧電シート１４１〜１４３全体が圧力室１１０側へ凸になるように変形（ユニモルフ変形）する。これにより圧力室１１０内のインクに圧力（吐出エネルギー）が付与され、圧力室１１０内に圧力波が発生する。そして、発生した圧力波が圧力室１１０からノズル１０８まで伝播することによってノズル１０８からインク滴が吐出される。 Here, a driving method of the actuator unit 21 will be described. The piezoelectric sheet 141 is polarized in the thickness direction. When an electric field is applied to the piezoelectric sheet 141 by setting the individual electrode 135 to a potential different from that of the common electrode 134, the electric field application portion of the piezoelectric sheet 141 has a piezoelectric effect. Acts as an active part that is distorted by When the electric field and the polarization direction are the same, the active portion expands in the thickness direction and contracts in the surface direction. At this time, the amount of displacement accompanying expansion and contraction is larger in the surface direction than in the thickness direction. That is, the actuator unit 21 uses the upper one piezoelectric sheet 141 away from the pressure chamber 110 as a layer including an active portion and the lower two piezoelectric sheets 142 and 143 close to the pressure chamber 110 as inactive layers. The so-called unimorph type. As shown in FIG. 4, the piezoelectric sheets 141 to 143 are fixed to the upper surface of the cavity plate 122 that partitions the pressure chamber 110. Here, if there is a difference in distortion in the plane direction between the electric field application portion of the piezoelectric sheet 141 and the piezoelectric sheets 142 and 143 below the portion, the entire piezoelectric sheets 141 to 143 become convex toward the pressure chamber 110 side. (Unimorph deformation). As a result, pressure (discharge energy) is applied to the ink in the pressure chamber 110, and a pressure wave is generated in the pressure chamber 110. Then, the generated pressure wave propagates from the pressure chamber 110 to the nozzle 108, whereby an ink droplet is ejected from the nozzle 108.

なお、本実施形態においては、予め個別電極１３５に所定の電位を付与しておき、吐出要求があるごとに一旦個別電極１３５にグランド電位を付与し、その後所定のタイミングにて再び所定の電位を個別電極１３５に付与するような駆動信号をドライバＩＣ５２から出力させる。この場合、個別電極１３５がグランド電位になるタイミングで、圧力室１１０内のインクの圧力が降下して副マニホールド流路１０５ａから個別インク流路１３２へとインクが吸い込まれる。その後、再び個別電極１３５を所定の電位にしたタイミングで、圧力室１１０内のインクの圧力が上昇し、ノズル１０８からインク滴が吐出される。つまり、個別電極１３５に矩形波のパルスを付与する。このパルス幅は、圧力室１１０内において圧力波が副マニホールド流路１０５ａの出口からノズル１０８の先端まで伝播する時間長さであるＡＬ（Acoustic Length）であり、圧力室１１０内のインクが負圧状態から正圧状態に反転するときに両者の圧力が合わさるため、強い圧力でインク滴をノズル１０８から吐出させることができる。 In this embodiment, a predetermined potential is applied to the individual electrode 135 in advance, and a ground potential is once applied to the individual electrode 135 every time there is a discharge request, and then the predetermined potential is applied again at a predetermined timing. A drive signal to be applied to the individual electrode 135 is output from the driver IC 52. In this case, at the timing when the individual electrode 135 becomes the ground potential, the pressure of the ink in the pressure chamber 110 drops and the ink is sucked from the sub manifold channel 105 a into the individual ink channel 132. Thereafter, the ink pressure in the pressure chamber 110 rises at the timing when the individual electrode 135 is set to a predetermined potential again, and ink droplets are ejected from the nozzles 108. That is, a rectangular wave pulse is applied to the individual electrode 135. This pulse width is AL (Acoustic Length), which is the length of time during which the pressure wave propagates from the outlet of the sub-manifold channel 105a to the tip of the nozzle 108 in the pressure chamber 110, and the ink in the pressure chamber 110 is negative pressure. Since both pressures are combined when the state is reversed from the positive pressure state, the ink droplets can be ejected from the nozzles 108 with a strong pressure.

次に、図５〜図７を参照しつつ、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。なお、以下、アクチュエータユニット２１にＣＯＦ５０を接合する工程を中心に説明する。図５は、アクチュエータユニット２１にＣＯＦ５０を接合するときの工程図である。図６は、図５に示す配置工程におけるインクジェットヘッド１の部分断面図である。なお、図６においては、説明の都合上、各部材における上下方向の縮尺を異ならせている。図７は、図５に示す接合工程における上側ヒータ１６及び下側ヒータ１７の加熱温度の変化を示すグラフである。 Next, a method for manufacturing the inkjet head 1 will be described with reference to FIGS. In the following description, the process of joining the COF 50 to the actuator unit 21 will be mainly described. FIG. 5 is a process diagram when the COF 50 is joined to the actuator unit 21. FIG. 6 is a partial cross-sectional view of the inkjet head 1 in the arrangement step shown in FIG. In FIG. 6, the vertical scale of each member is varied for convenience of explanation. FIG. 7 is a graph showing changes in the heating temperature of the upper heater 16 and the lower heater 17 in the joining step shown in FIG.

図５に示すように、アクチュエータユニット２１にＣＯＦ５０を接合する工程は、配置工程と、接合工程とを有している。図６に示すように、配置工程においては、ＣＯＦ５０の出力端子５０ａが配置された領域に樹脂剤を塗布することによって樹脂層６０を形成する。この樹脂層６０は、未硬化の熱硬化性樹脂からなり、少なくとも出力端子５０ａを被覆している。そして、流路ユニット９の上面９ａ（一方の面）に、接着層（図示せず）を介してアクチュエータユニット２１を固定する。 As shown in FIG. 5, the process of bonding the COF 50 to the actuator unit 21 includes an arrangement process and a bonding process. As shown in FIG. 6, in the placement step, the resin layer 60 is formed by applying a resin agent to the region where the output terminal 50 a of the COF 50 is placed. The resin layer 60 is made of an uncured thermosetting resin and covers at least the output terminal 50a. Then, the actuator unit 21 is fixed to the upper surface 9a (one surface) of the flow path unit 9 via an adhesive layer (not shown).

そして、流路ユニット９に固定されたアクチュエータユニット２１及びＣＯＦ５０を、各出力端子５０ａとこれに対応するランド１３６とがそれぞれ対向するように配置する。出力端子５ａとランド１３６との位置合わせ作業は、下側ヒータ１７（第２ヒータ）上で行ってもよいし、それ以外の他所で行ってもよい。下側ヒータ１７上で位置合わせをすれば、他所から下側ヒータ１７への位置合わせされたものの移動時間を削除できるし、移動中に起こりがちな位置ずれも回避できる。さらに、下側ヒータ１７上で位置合わせ作業を行う場合に、下側ヒータ１７の加熱を開始してもよいし、作業時間中に樹脂層６０が硬化しなければ、予め所定の温度、例えば、６０℃に保温しておいてもよい。作業時間の短縮という観点から、予め保温されている下側ヒータ１７上で位置合わせ作業を行うとよい。しかし、本実施形態では、他所にて位置合わせ作業を行っている。また、下側ヒータ１７は６０℃に保温されている。 Then, the actuator unit 21 and the COF 50 fixed to the flow path unit 9 are arranged so that each output terminal 50a and the land 136 corresponding thereto correspond to each other. The alignment operation between the output terminal 5a and the land 136 may be performed on the lower heater 17 (second heater) or may be performed elsewhere. If alignment is performed on the lower heater 17, the movement time of the alignment from the other place to the lower heater 17 can be deleted, and misalignment that tends to occur during movement can be avoided. Furthermore, when performing the alignment operation on the lower heater 17, heating of the lower heater 17 may be started. If the resin layer 60 is not cured during the operation time, a predetermined temperature, for example, It may be kept at 60 ° C. From the viewpoint of shortening the work time, it is preferable to perform the alignment work on the lower heater 17 that is kept warm in advance. However, in this embodiment, the alignment work is performed elsewhere. The lower heater 17 is kept at 60 ° C.

さらに、上側ヒータ（第１ヒータ）１６をＣＯＦ５０の表面と接触するように配置し、上側ヒータ１６及び下側ヒータ１７にＣＯＦ５０と流路ユニット９付きのアクチュエータユニット２１との積層体を挟持させる。上側ヒータ１６及び下側ヒータ１７は、ヒータ制御装置１８にそれぞれ接続されており、加熱温度が制御可能となっている。そして、上側ヒータ１６及び下側ヒータ１７でインクジェットヘッド１を加圧する。これにより、アクチュエータユニット２１のランド１３６が樹脂層６０に食い込んだり、これを突き破ってＣＯＦ５０の出力端子５０ａと接触する。 Further, the upper heater (first heater) 16 is disposed so as to contact the surface of the COF 50, and the upper heater 16 and the lower heater 17 sandwich the laminate of the COF 50 and the actuator unit 21 with the flow path unit 9. The upper heater 16 and the lower heater 17 are respectively connected to the heater control device 18 so that the heating temperature can be controlled. Then, the inkjet head 1 is pressurized by the upper heater 16 and the lower heater 17. As a result, the land 136 of the actuator unit 21 bites into the resin layer 60 or breaks through and comes into contact with the output terminal 50a of the COF 50.

次に、接合工程においては、ヒータ制御装置１８に制御されて、上側ヒータ１６がＣＯＦ５０を加熱し、下側ヒータ１７が流路ユニット９を加熱する。樹脂層６０は昇温によって一時的に軟化し、ランド１３６が樹脂層６０を完全に貫通して出力端子５０ａと接触する。このとき、図６に示すように、出力端子５０ａ周辺にあった樹脂層６０は、ランド１３６の外周面を被覆しながらアクチュエータユニット２１の表面に達する。その後、樹脂層６０は、時間とともに硬化反応が進行して、最終的に固化する。これにより、各出力端子５０ａとこれに接するランド１３６とがそれぞれ接合される。この接合工程においては、ヒータ制御装置１８が、アクチュエータユニット２１の温度が、アクチュエータユニット２１が熱破壊される温度である危険温度１８０℃より低い温度で一定になるように上側ヒータ１６及び下側ヒータ１７の加熱温度を制御する。 Next, in the joining process, the heater controller 18 controls the upper heater 16 to heat the COF 50 and the lower heater 17 heats the flow path unit 9. The resin layer 60 is temporarily softened by the temperature rise, and the land 136 completely penetrates the resin layer 60 and comes into contact with the output terminal 50a. At this time, as shown in FIG. 6, the resin layer 60 around the output terminal 50 a reaches the surface of the actuator unit 21 while covering the outer peripheral surface of the land 136. Thereafter, the resin layer 60 undergoes a curing reaction with time and finally solidifies. Thereby, each output terminal 50a and the land 136 which contacts this are joined, respectively. In this joining step, the heater control device 18 causes the upper heater 16 and the lower heater so that the temperature of the actuator unit 21 is constant at a temperature lower than a dangerous temperature of 180 ° C., which is a temperature at which the actuator unit 21 is thermally destroyed. The heating temperature of 17 is controlled.

ここで、ヒータ制御装置１８による上側ヒータ１６及び下側ヒータ１７の制御方法の一例について説明する。図７に示すように、ヒータ制御装置１８は、上側ヒータ１６の加熱温度を、加熱を開始してから時刻ｔ１までに２１０℃に上昇させる。そして、時刻ｔ１〜ｔ２までの期間は、上側ヒータ１６の加熱温度を、２１０℃から２００℃まで徐々に低下させる。時刻ｔ２を超えると、上側ヒータ１６への通電を停止する。同時に、ヒータ制御装置１８は、下側ヒータ１７の加熱温度を、上述のように、全ての期間において６０℃に維持する。このとき、アクチュエータユニット２１の温度が、上側ヒータ１６の加熱を開始してから時刻ｔ１までに１６０℃に上昇し、そして、時刻ｔ１〜ｔ２までの期間は、１６０℃で一定となる。したがって、アクチュエータユニット２１が危険温度１８０℃を超えることがない。これにより、アクチュエータユニット２１が熱破壊されることなく、出力端子５０ａとランド１３６とが加熱され、両者が接合される。 Here, an example of a method for controlling the upper heater 16 and the lower heater 17 by the heater control device 18 will be described. As shown in FIG. 7, the heater control device 18 raises the heating temperature of the upper heater 16 to 210 ° C. from the start of heating to time t <b> 1. In the period from time t1 to time t2, the heating temperature of the upper heater 16 is gradually decreased from 210 ° C. to 200 ° C. When the time t2 is exceeded, energization to the upper heater 16 is stopped. At the same time, the heater control device 18 maintains the heating temperature of the lower heater 17 at 60 ° C. in all periods as described above. At this time, the temperature of the actuator unit 21 rises to 160 ° C. by the time t1 after the heating of the upper heater 16 is started, and the period from the time t1 to t2 becomes constant at 160 ° C. Therefore, the actuator unit 21 does not exceed the dangerous temperature of 180 ° C. As a result, the output terminal 50a and the land 136 are heated and the two are joined without the actuator unit 21 being thermally destroyed.

また、接合工程において、下側ヒータ１７の加熱温度が、上側ヒータ１６の加熱温度より常に低くなっている。これにより、下側ヒータ１７に加熱される流路ユニット９の温度が、上側ヒータ１６にＣＯＦ５０を介して加熱されるアクチュエータユニット２１の温度よりも低くなる。上述したように、流路ユニット９は、金属製のプレート１２２〜１３０が積層されたものであり、アクチュエータユニット２１はセラミックス材料からなる圧電シート１４１〜１４３を含んでいる。このため、流路ユニット９の線膨張係数が、アクチュエータユニット２１の線膨張係数よりも大きくなっているが、流路ユニット９の温度が、アクチュエータユニット２１の温度よりも低くなるため、流路ユニット９とアクチュエータユニット２１との伸びの差を小さくすることができる。なお、本実施形態では、アクチュエータユニット（ＰＺＴ）２１の線膨張係数は約７×１０^−６／℃であり、金属製のプレート１２２〜１３０は線膨張係数が１１〜１６×１０^−６／℃のステンレス製薄板を用いている。 In the joining process, the heating temperature of the lower heater 17 is always lower than the heating temperature of the upper heater 16. As a result, the temperature of the flow path unit 9 heated by the lower heater 17 becomes lower than the temperature of the actuator unit 21 heated by the upper heater 16 via the COF 50. As described above, the flow path unit 9 is a laminate of metal plates 122 to 130, and the actuator unit 21 includes piezoelectric sheets 141 to 143 made of a ceramic material. For this reason, the linear expansion coefficient of the flow path unit 9 is larger than the linear expansion coefficient of the actuator unit 21, but the temperature of the flow path unit 9 is lower than the temperature of the actuator unit 21. 9 and the difference in elongation between the actuator unit 21 can be reduced. In this embodiment, the linear expansion coefficient of the actuator unit (PZT) 21 is about 7 × 10 ⁻⁶ / ° C., and the metal plates 122 to 130 have a linear expansion coefficient of 11 to 16 × 10 ⁻⁶ / ° C. The stainless steel thin plate is used.

以上、説明した本実施形態によると、接合工程において、アクチュエータユニット２１の温度が一定になるように上側ヒータ１６及び下側ヒータ１７の加熱温度が制御されるため、温度が急激に上昇してアクチュエータユニット２１が熱破壊されるのを防止することができる。さらに、加熱開始時において、アクチュエータユニット２１の加熱温度を危険温度より低い温度まで素早く上昇させることができるため、接合工程における加熱時間を短くすることができる。 As described above, according to the present embodiment described above, in the joining process, the heating temperatures of the upper heater 16 and the lower heater 17 are controlled so that the temperature of the actuator unit 21 becomes constant. It is possible to prevent the unit 21 from being thermally destroyed. Furthermore, since the heating temperature of the actuator unit 21 can be quickly raised to a temperature lower than the dangerous temperature at the start of heating, the heating time in the joining process can be shortened.

このとき、接合工程において、ヒータ制御装置１８が、時刻ｔ１〜ｔ２までの期間において、上側ヒータ１６の加熱温度を、２１０℃から２００℃まで徐々に低下させるため、アクチュエータユニット２１の温度が所定温度以上に上昇するのを確実に防止することができる。本実施形態では、アクチュエータユニット２１の温度が１６０℃のほぼ一定温度に保持される。 At this time, in the joining process, the heater control device 18 gradually decreases the heating temperature of the upper heater 16 from 210 ° C. to 200 ° C. during the period from time t1 to time t2, so that the temperature of the actuator unit 21 is a predetermined temperature. It is possible to reliably prevent the increase. In the present embodiment, the temperature of the actuator unit 21 is maintained at a substantially constant temperature of 160 ° C.

また、接合工程において、流路ユニット９の温度が、アクチュエータユニット２１の温度よりも低くなるように、上側ヒータ１６及び下側ヒータ１７の加熱温度が制御されるため、流路ユニット９とアクチュエータユニット２１との伸びの差が小さくなり、流路ユニット９がアクチュエータユニット２１よりも大きく膨張するのが抑制され、アクチュエータユニット２１が流路ユニット９から剥離したり、クラックが生じたりするのを防止することができる。 Further, in the joining step, the heating temperatures of the upper heater 16 and the lower heater 17 are controlled so that the temperature of the flow path unit 9 is lower than the temperature of the actuator unit 21. Thus, the difference in elongation from the flow path unit 9 is reduced, the flow path unit 9 is restrained from expanding more than the actuator unit 21, and the actuator unit 21 is prevented from being peeled off from the flow path unit 9 or from being cracked. be able to.

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上述の実施形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々な変更が可能なものである。例えば、上述した実施形態においては、ヒータ制御装置１８が、下側ヒータ１７の加熱温度を一定にした状態で、上側ヒータ１６の加熱温度を変化させることによって、アクチュエータユニット２１の温度を一定にする構成であるが、ヒータ制御装置１８が、上側ヒータ１６の加熱温度を一定にした状態で、下側ヒータ１７の加熱温度を変化させることによって、アクチュエータユニット２１の温度を一定にする構成であってもよいし、上側ヒータ１６及び下側ヒータ１７の加熱温度を共に変化させることによって、アクチュエータユニット２１の温度を一定にする構成であってもよい。 The preferred embodiments of the present invention have been described above. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made as long as they are described in the claims. For example, in the above-described embodiment, the heater control device 18 changes the heating temperature of the upper heater 16 while keeping the heating temperature of the lower heater 17 constant, thereby making the temperature of the actuator unit 21 constant. In the configuration, the heater control device 18 is configured to keep the temperature of the actuator unit 21 constant by changing the heating temperature of the lower heater 17 while keeping the heating temperature of the upper heater 16 constant. Alternatively, the temperature of the actuator unit 21 may be made constant by changing both the heating temperatures of the upper heater 16 and the lower heater 17.

また、上述の実施形態においては、ヒータ制御装置１８が、時刻ｔ１〜ｔ２までの期間において、上側ヒータ１６の加熱温度を徐々に低下させる構成であるが、上側ヒータ１６の加熱温度は任意のパターンで変化させる構成であってもよい。例えば、ヒータ制御装置１８が、時刻ｔ１〜ｔ２までの期間において、上側ヒータ１６の加熱温度をステップ状に変化させる構成であってもよい。 In the above-described embodiment, the heater control device 18 is configured to gradually lower the heating temperature of the upper heater 16 during the period from time t1 to time t2. However, the heating temperature of the upper heater 16 is an arbitrary pattern. The configuration may be changed at For example, the heater control device 18 may be configured to change the heating temperature of the upper heater 16 in steps during the period from time t1 to time t2.

本発明の実施形態に係るインクジェットヘッドの外観側面図である。1 is an external side view of an inkjet head according to an embodiment of the present invention. 図１に示すインクジェットヘッドの短手方向に沿った断面図である。It is sectional drawing along the transversal direction of the inkjet head shown in FIG. 図２に示す流路ユニットの部分断面図である。FIG. 3 is a partial cross-sectional view of the flow path unit shown in FIG. 2. 図２に示すアクチュエータユニットの拡大図である。FIG. 3 is an enlarged view of the actuator unit shown in FIG. 2. 図２に示すアクチュエータユニットにＣＯＦを接合する方法を示す工程図である。It is process drawing which shows the method of joining COF to the actuator unit shown in FIG. 図５に示す配置工程におけるインクジェットヘッドの部分断面図である。It is a fragmentary sectional view of the ink jet head in the arrangement process shown in FIG. 図５に示す接合工程における各ヒータの加熱温度の変化を示すグラフである。It is a graph which shows the change of the heating temperature of each heater in the joining process shown in FIG.

Explanation of symbols

１インクジェットヘッド
２ヘッド本体
２ａインク吐出面
９流路ユニット
９ａ上面
１６上側ヒータ
１７下側ヒータ
１８ヒータ制御装置
２１アクチュエータユニット
５０ＣＯＦ
５０ａ出力端子
６０樹脂層
１０１インクジェットプリンタ
１０８ノズル
１１０圧力室
１３４共通電極
１３５個別電極
１３６ランド
１４１〜１４３圧電シート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet head 2 Head main body 2a Ink discharge surface 9 Flow path unit 9a Upper surface 16 Upper heater 17 Lower heater 18 Heater control device 21 Actuator unit 50 COF
50a Output terminal 60 Resin layer 101 Inkjet printer 108 Nozzle 110 Pressure chamber 134 Common electrode 135 Individual electrode 136 Lands 141 to 143 Piezoelectric sheet

Claims

A plurality of individual electrodes fixed to one surface of a flow path unit made of a metal member in which a plurality of individual ink flow paths leading to the nozzles through the pressure chambers are formed, and facing the plurality of pressure chambers, common Linear expansion coefficient than the metal member having an electrode, a piezoelectric layer disposed between the plurality of individual electrodes and the common electrode, and a plurality of individual lands electrically connected to the plurality of individual electrodes. A small actuator, a flat flexible substrate having a plurality of output terminals, and first and second heaters are arranged on the flat flexible substrate side while the plurality of output terminals and the plurality of individual lands are in contact with each other. An arrangement step in which the first heater and the second heater arranged on the channel unit side are arranged so as to sandwich the flat flexible substrate, the actuator, and the channel unit;
The first heater heats the flat flexible substrate so that the temperature of the actuator is equal to or lower than the temperature at which the actuator is thermally destroyed at the junction temperature between the output terminal and the individual land ; and A step of joining the plurality of output terminals and the plurality of individual lands by heating the flow path unit with the second heater,
In the arranging step, the positioning of the output terminal with respect to the individual land is performed on the second heater that has been kept at the heating temperature of the second heater in advance.
In the joining step, the heating temperature of the second heater is made lower than the heating temperature of the first heater, and the heating temperature of the first heater is gradually lowered as the heating time elapses. A method for manufacturing an inkjet head.

In the joining step, a resin layer made of uncured thermosetting resin is formed in a region where the plurality of output terminals related to the flat flexible substrate sandwiched between the first and second heaters are disposed. The method of manufacturing an inkjet head according to claim 1, wherein

3. The method of manufacturing an ink jet head according to claim 1, wherein in the joining step, the second heater is maintained at a heating temperature of the second heater while the first heater is energized. .