JP4601767B2 - Air shower equipment - Google Patents
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Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、半導体用のクリーンルーム、病院手術室、食品・バイオ等の施設において、清浄室と前室との間に設置され、入室者や製品等の物品をジェットエアで清浄化するエアシャワー装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のエアシャワー装置は、クリーンルーム室(CR室)へ人が前室側ドアを開けてエアシャワー室へ入室すると、この入室状況をセンサーが検知し、CR室側の扉を施錠する。そして、ファンが作動してジェットノズルよりジェットエアが一定時間吹き出され、その後CR室側の扉が開錠され、人はCR室へ入室できる。従来のエアシャワー装置では、このような一連の動作をリレー方式で制御していた。
最近では、製品の外観向上やコストダウンの観点から、リレー方式に代わり集積回路方式が採用され始めた。ところが、集積回路を用いた場合には、電磁波等の影響により、誤動作を起こす可能性があり、誤動作した場合は入室者が室内に閉じこめられてしまうという問題も予想される。
また、扉の開閉信号のみで動作を制御する場合は、「前室側ドアを開閉したが、エアシャワー内に入室しなかった」等、通常の行動パターンと異なる動作パターンによって、その後誤動作を繰り返してしまうという問題が予想される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
上記問題の回避方法としては、集積回路の状態を初期化する方法がある。しかし、初期化手段は主電源を落とすしかなかった。そして、主電源は通常、側面送風部内部に配設され、入室者は室内側から側壁を取り外して主電源を落とすため、復帰させるための動作が面倒であった。
【0004】
そこで本発明は、誤動作した場合、又は誤動作を生じる可能性がある場合に、自動又は手動で回避できるエアシャワー装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
請求項1記載の本発明のエアシャワー装置は、ジェットエアを吹き出すためのファンと、前室側に設けられる第1の扉と、清浄室側に設けられる第2の扉と、前記ファンの運転停止、前記第1の扉、及び前記第2の扉のドアロックを、前記第1の扉又は前記第2の扉の開閉状態を検出して制御する制御手段とを備え、前記第1の扉又は前記第2の扉の開閉状態が所定時間継続して検出されない場合に、前記制御手段の制御状態をリセットするリセット機能を設けたことを特徴とする。
請求項2記載の本発明のエアシャワー装置は、前記制御手段の制御状態をリセットするリセットスイッチを操作パネルに設けたことを特徴とする。
請求項3記載の本発明のエアシャワー装置の制御方法は、ジェットエアを吹き出すためのファンと、前室側に設けられる第1の扉と、清浄室側に設けられる第2の扉とを備え、前記ファンの運転停止、前記第1の扉、及び前記第2の扉のドアロックを、前記第1の扉又は前記第2の扉の開閉状態を検出して制御するエアシャワー装置の制御方法であって、前記第1の扉の開閉状態を検出し前記第1の扉が開状態にあるときは前記第2の扉をドアロックする第1のステップと、前記第1の扉の開状態及び閉状態を検出した後に前記ファンの運転を開始するとともに前記第1の扉及び前記第2の扉をドアロックする第2のステップと、前記ファンの運転を開始してから所定時間経過後に前記ファンの運転を停止する第3のステップと、前記ファンの運転停止後に前記第2の扉の開閉状態を検出し前記第2の扉が開状態にあるときは前記第1の扉をドアロックする第4のステップとを有し、前記第4のステップで前記第2の扉の開閉状態が所定時間内に検出されなかったときに制御状態をリセットして前記第1のステップ前の状態とすることを特徴とする。
【0006】
【発明の実施の形態】
本発明の実施の形態によるエアシャワー装置は、第1の扉又は第2の扉の開閉状態が所定時間継続して検出されない場合に、制御手段の制御状態をリセットするリセット機能を設けたことを特徴とするもので、仮にイレギュラーな動作が行われた場合にも、その後に誤動作が継続されることを防止することができる。
【0007】
また、本発明の実施の形態によるエアシャワー装置は、制御手段の制御状態をリセットするリセットスイッチを操作パネルに設けたことを特徴とするもので、例えば電磁波の影響によって誤動作を起こした場合であっても人為的にリセットすることができ、シャワー室内に閉じこめられる等の不都合を回避することができる。
【0008】
また、本発明の実施の形態によるエアシャワー装置の制御方法は、第1の扉の開閉状態を検出し第1の扉が開状態にあるときは第2の扉をドアロックする第1のステップと、第1の扉の開状態及び閉状態を検出した後にファンの運転を開始するとともに第1の扉及び第2の扉をドアロックする第2のステップと、ファンの運転を開始してから所定時間経過後にファンの運転を停止する第3のステップと、ファンの運転停止後に第2の扉の開閉状態を検出し第2の扉が開状態にあるときは第1の扉をドアロックする第4のステップとを有し、第4のステップで第2の扉の開閉状態が所定時間内に検出されなかったときに制御状態をリセットして第1のステップ前の状態とすることを特徴とするもので、仮にイレギュラーな動作が行われた場合にも、その後に誤動作が継続されることを防止することができる。
【0009】
【実施例】
以下に本発明の一実施例によるエアシャワー装置について図面を用いて説明する。
図1は本実施例によるエアシャワー装置の斜視図、図2は図1のA−A矢視図、図3は同装置に用いるシートスイッチの正面図、図4は同装置の動作を示すフローチャート図、図5は同装置を機能実現手段で示すブロック図である。
図1及び図2に示すように、シャワー室1内には、人体や物体等を通過させる通路2が設けられている。シャワー室1は、前室側とCR側にそれぞれ扉2aと扉2bが設けられている。通路2の側部には側面送風部3aと側面部3bが設置され、側面送風部3aには複数の側部ジェット気流噴出口4aが設けられ、下部にはリターン用の空気吸込口5が設けられている。側面送風部3aの内部には、図示しないが例えばジェットファン等のファン、フィルタ、圧力室等が配備されている。側面送風部3a内部には、扉2aや扉2bをドアロックする電磁ロック6が設けられている。又側面送風部3aの上方部にはパネル7が設けられ、パネル7にはシートスイッチからなるコントロールパネル8が設けられている。パネル7を外した側面送風部3a内部にはブレーカ9が設置されている。通路2の天井には天井ユニット10が設けられ、天井ユニット10の両端は側面送風部3a及び側面部3bに連結されている。また通路2には床ユニット11が設けられ、床ユニット11の両端は側面送風部3a及び側面部3bに連結されている。
【0010】
次に、図3を用いてコントロールパネル8について説明する。
コントロールパネル8には、ファンの運転を手動と自動に切り替えるスイッチ8aと、シャワー室1内の空気を循環させる循環ファンを運転停止するスイッチ8bと、シャワー室1内の照明を入り切りするスイッチ8cと、側部ジェット気流噴出口4aから空気を吹き出すファンの運転時間を表示する表示部8dと、このファンの運転時間を変更するスイッチ8eと、電磁ロック6やファンの作動を停止させて制御状態を初期設定に戻すリセットスイッチ8fとを備えている。
【0011】
次に、図4及び図5を用いて本実施例によるエアシャワー装置の動作について説明する。
まず、初期状態(S1)において作業者が扉2aを開けてシャワー室1内に入室する場合、第1の扉開閉検出手段21によって扉2aの開閉状態を検出する(S2)。この第1の扉開閉検出手段21によって扉2aが開放されていることを検出すると、制御手段23によって電磁ロック6を動作させてCR側の扉2bをドアロックする(S3)。
次に、第1の扉開閉検出手段21によって扉2aが閉じられたことを検出すると(S4)、制御手段23によってファン24の運転が開始され、側部ジェット気流噴出口4aから空気が吹き出される(S5)。このときファン24の残存運転時間が表示部8dに表示される。またファン24の運転時間はスイッチ8eによって変更することも可能である。ファン24の運転が開始されると(S5)、制御手段23によって電磁ロック6を動作させて扉2a及び扉2bをドアロックする(S6)。ファン24の運転が開始されると(S5)、制御手段23内のタイマー手段によって運転時間が計測され、設定時間に達したか否かが判断される(S7)。設定時間が経過するとファン24の運転が停止される(S8)。このときファン24の運転停止とともに扉2a及び扉2bのドアロックを解除する。ファン24の運転の停止後に、扉2bの開閉状態を第2の扉開閉検出手段22によって検出する(S9)。第2の扉開閉検出手段22によって扉2bが開かれたことを検出すると、制御手段23によって電磁ロック6を動作させて扉2aをドアロックする(S10)。扉2bが開放されている間は、扉2aはドアロックされている。そして、扉2bの開閉状態を第2の扉開閉検出手段22によって検出し(S11)、扉2bが閉じられたことを検出すると、扉2aのドアロックを解除する(S12)。この扉2aのドアロック解除(S12)によって制御手段23の制御状態を初期状態に戻す(S1)。
上記のステップ9において、第2の扉開閉検出手段22によって扉2bが開かれたことを検出できないとき、第1の扉開閉検出手段21によって扉2aの開閉状態を検出し(S13)、扉2aが開かれたことを検出すると、扉2bをドアロックする(S14)。そして、扉2aの開閉状態を第1の扉開閉検出手段21によって検出し(S15)、扉2aが閉じられたことを検出すると、扉2bのドアロックを解除する(S16)。この扉2bのドアロック解除(S16)によって初期状態に戻る(S1)。
上記のステップ13において、第1の扉開閉検出手段21によって扉2aが開かれたことを検出できないとき、ファンの運転停止(S8)から所定時間(例えば1分間)経過したか否かを判断し(S17)、所定時間経過した場合には制御手段23の制御状態を初期状態に戻す(S1)。このように制御手段23には、制御状態をリセットして初期状態(S1)に戻すリセット機能を備えている。
【0012】
上記のように本実施例によれば、ファンの運転終了後1分間、扉2a及び扉2bの開閉動作が無い場合は、自動的に初期状態にリセットすることで誤動作を回避することができる。
すなわち、従来では扉2aの開閉を行っても作業者がシャワー室1内に入室しなかった場合は、ファンの運転が終了した時点で次の予定された動作の待ち状態が維持される。この状態の時に、扉2bからシャワー室1内に作業者が入室してくると、シャワー室1の制御上「ジェットを浴びた作業者が扉2bを開いてCR室側へ通り抜けた」と判断して初期状態に戻る。更に、CR室側からの入室者が扉2aを開閉して前室へ通り抜けると、シャワー室1は「前室より新しい入室者があった」と判断し、無人のままファンの運転を開始する。このように従来では、1回のイレギュラー動作の為に誤動作が延々と続く可能性があるが、本実施例によればこのような不都合を有効に防止することができる。
【0013】
なお、本実施例では扉2a及び扉2bの開閉動作が無い場合に初期状態にリセットしたが、扉2a又は扉2bのいずれかの開閉動作が無い場合に初期状態にリセットするものであってもよい。
また、本実施例では、パネル7を外してブレーカ9を遮断することなく、コントロールパネル8のリセットスイッチ8fを押すだけで制御を初期状態に戻し、電磁ロック6を解除することができる。
従って、シャワー室1内に人が入室し、扉2aと扉2bに対し電磁ロック6が作動した状態で制御に誤動作が生じ、ファンが停止した後も電磁ロック6が作動し続けた場合、入室者はシャワー室1内に閉じ込められてしまった場合にも容易に対処することができる。
【0014】
【発明の効果】
以上の説明から明らかなように、本発明によれば仮にイレギュラーな動作が行われた場合にも、その後に誤動作が継続されることを防止することができる。
また、本発明によれば、例えば電磁波の影響によって誤動作を起こした場合であっても人為的にリセットすることができ、シャワー室内に閉じこめられる等の不都合を回避することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例によるエアシャワー装置の斜視図
【図2】図1のA−A矢視図
【図3】同装置に用いるシートスイッチの正面図
【図4】同装置の動作を示すフローチャート図
【図5】同装置を機能実現手段で示すブロック図
【符号の説明】
1 シャワー室
2a 扉
2b 扉
8 コントロールパネル
8f リセットスイッチ
21 第1の扉開閉検出手段
22 第2の扉開閉検出手段
23 制御手段
24 ファン[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention is an air shower device that is installed between a clean room and an anterior room in a clean room for a semiconductor, a hospital operating room, a food or bio facility, etc., and cleans articles such as occupants and products with jet air. About.
[0002]
[Prior art]
In a conventional air shower apparatus, when a person opens a front room side door and enters the air shower room into a clean room room (CR room), a sensor detects this room entry state and locks the door on the CR room side. Then, the fan is activated and jet air is blown out from the jet nozzle for a certain period of time, after which the door on the CR chamber side is unlocked and a person can enter the CR chamber. In a conventional air shower device, such a series of operations is controlled by a relay system.
Recently, an integrated circuit system has begun to be used in place of the relay system from the viewpoint of improving the appearance of products and reducing costs. However, when an integrated circuit is used, a malfunction may occur due to the influence of an electromagnetic wave or the like. If malfunction occurs, a problem that a person entering the room is confined in the room is also expected.
In addition, when controlling the operation using only the door opening / closing signal, repeated malfunctions afterwards due to an operation pattern different from the normal action pattern, such as "The door on the front room side was opened and closed, but the room did not enter the air shower." The problem that it ends up is expected.
[0003]
[Problems to be solved by the invention]
As a method for avoiding the above problem, there is a method for initializing the state of the integrated circuit. However, the initialization means had to turn off the main power. And since the main power supply is usually disposed inside the side air blower, and the occupant removes the side wall from the room side and turns off the main power supply, the operation for returning is troublesome.
[0004]
Therefore, an object of the present invention is to provide an air shower device that can be avoided automatically or manually when a malfunction occurs or when a malfunction may occur.
[0005]
[Means for Solving the Problems]
An air shower apparatus according to a first aspect of the present invention includes a fan for blowing jet air, a first door provided on the front chamber side, a second door provided on the clean room side, and operation of the fan. Control means for detecting and controlling the stop, the first door, and the door lock of the second door by detecting the open / closed state of the first door or the second door, and the first door Alternatively, a reset function is provided for resetting the control state of the control means when the open / closed state of the second door is not detected for a predetermined time.
Air shower apparatus of the present invention according to
A control method for an air shower apparatus according to a third aspect of the present invention includes a fan for blowing jet air, a first door provided on the front chamber side, and a second door provided on the clean room side. The control method of the air shower apparatus which controls the operation stop of the fan, the door lock of the first door, and the second door by detecting the open / closed state of the first door or the second door A first step of detecting an open / closed state of the first door and locking the second door when the first door is in an open state; and an open state of the first door. And a second step of starting the operation of the fan after detecting the closed state and locking the first door and the second door, and after a predetermined time has elapsed since the start of the operation of the fan. A third step of stopping operation of the fan, and the fan A fourth step of detecting an open / closed state of the second door after the operation is stopped and locking the first door when the second door is in an open state; The control state is reset to the state before the first step when the open / close state of the second door is not detected within a predetermined time.
[0006]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
The air shower device according to the embodiment of the present invention is provided with a reset function for resetting the control state of the control means when the open / close state of the first door or the second door is not continuously detected for a predetermined time. This is a feature, and even if an irregular operation is performed, it is possible to prevent a malfunction from continuing thereafter.
[0007]
In addition, the air shower apparatus according to the embodiment of the present invention is characterized in that a reset switch for resetting the control state of the control means is provided on the operation panel. For example, when an erroneous operation occurs due to the influence of electromagnetic waves. However, it can be reset artificially, and inconveniences such as being trapped in the shower room can be avoided.
[0008]
Moreover, the control method of the air shower apparatus by embodiment of this invention detects the opening / closing state of a 1st door, and when the 1st door is an open state, the 1st step which door-locks a 2nd door And the second step of starting the operation of the fan after detecting the open state and the closed state of the first door and locking the first door and the second door, and starting the operation of the fan. A third step of stopping the operation of the fan after a lapse of a predetermined time, and detecting the open / closed state of the second door after the operation of the fan is stopped and locking the first door when the second door is open And a control step is reset to a state before the first step when the opening / closing state of the second door is not detected within a predetermined time in the fourth step. If an irregular operation is performed, , It is possible to prevent the subsequent malfunction is continued.
[0009]
【Example】
Hereinafter, an air shower according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
1 is a perspective view of an air shower device according to the present embodiment, FIG. 2 is a view taken along the line AA of FIG. 1, FIG. 3 is a front view of a seat switch used in the device, and FIG. 4 is a flowchart showing the operation of the device. FIG. 5 and FIG. 5 are block diagrams showing the apparatus as function realizing means.
As shown in FIGS. 1 and 2, a
[0010]
Next, the
The
[0011]
Next, the operation of the air shower apparatus according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
First, when the operator opens the
Next, when it is detected by the first door opening / closing detection means 21 that the
When the second door opening / closing detection means 22 cannot detect that the
In the above step 13, when the first door opening / closing detection means 21 cannot detect that the
[0012]
As described above, according to this embodiment, when there is no opening / closing operation of the
That is, conventionally, when the operator does not enter the
[0013]
In this embodiment, the
In this embodiment, the control can be returned to the initial state and the
Therefore, if a person enters the
[0014]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, according to the present invention, even if an irregular operation is performed, it is possible to prevent a malfunction from being continued thereafter.
Further, according to the present invention, for example, even if a malfunction occurs due to the influence of electromagnetic waves, it can be reset artificially, and inconveniences such as being trapped in the shower room can be avoided.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a perspective view of an air shower device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a view taken along the line AA in FIG. 1. FIG. 3 is a front view of a seat switch used in the device. Flowchart showing the operation [FIG. 5] Block diagram showing the apparatus as a function realization means [Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF
Claims (3)
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