JP4472626B2 - 露光装置 - Google Patents

Description

本発明は、マスクフィルムを介して基板を露光する露光装置に係り、特に、露光室内におけるエアー循環環境に優れた露光装置に関する。

従来、露光装置で使用される基板は、例えば、電子回路基板用の０．０５ｍｍ程度の薄いものが使用され、回路パターンも微細化の方向にシフトしている。また、露光装置では、その作業動作において、回路パターンを形成したマスクフィルムと基板とを密着した状態で、所定波長の紫外線を含む光が照射さることで、正確にマスクフィルムの回路パターンを基板に露光することが行われている。

ここで、露光装置の従来の構成について図７を参照して説明する。図７は、従来の露光装置の露光室内を模式的に示す側面図である。図７に示すように、露光装置５０は、基板Ｗを載置する露光テーブル５１と、この露光テーブル５１に対面する側にマスクフィルムＭを保持する保持枠５２と、この保持枠５２の上方から図示しない反射光学系を介して所定波長の紫外線を含む光を照射する光源を有する光学系５３と、基板ＷおよびマスクフィルムＭ側に冷却空気を送風する送風機構５４とを主に備えている。

露光装置５０は、送風機構５４により一定に温度管理された冷却空気がマスクフィルムＭおよび基板Ｗに送風されることになるため、基板ＷおよびマスクフィルムＭが光を照射されたときに熱により伸びることを防止するようにしている。
特許第３０９９８４１号公報（段落００１１，００１２、図１）

しかしながら、従来の露光装置における送風機構では、以下に示すような問題点が存在していた。
従来の露光装置では、光を照射されることで熱による影響を受けやすいマスクフィルムと、当該マスクフィルムに比較して光の照射による熱の影響の受け方が異なる基板とに、同じ条件の温度および湿度のエアーが、直接的に送風機構から送風されている。そのため、マスクフィルムと基板との温度および湿度による伸縮状態の調整が、微細化された回路パターンの要求される露光装置では、対応しきれなかった。また、マスクフィルムは、その上面が透光板を介して冷却され、その下面が直接送風されてエアーの影響を受けることになる。そのため、マスクフィルムの伸縮に影響するエアーの送風状態が不適切となり、微細化された回路パターンの要求される露光装置では、対応できず改善が望まれていた。

さらに、従来の露光装置では、露光室内に送風機構により温度湿度管理されたエアーを送風しているが送風する側の構成についてのみ考慮されているため、送風されたエアーが露光室内から排出されるまでの環境については配慮されていない。そのため、回路パターンの微細化が進んでいる基板では、露光室内において照射される光等により暖められた空気が効率よく換気されずに滞留する場合もあり、マスクフィルムおよび基板の熱による伸縮状態の影響を調整することが困難であった。

本発明は、前記した問題点に鑑み創案されたものであり、マスクフィルムおよび基板に対するエアーの送風状態を適切とし、かつ、露光室内においてマスクフィルムおよび基板に送風するエアーの流体環境を適切にすることができる露光装置を提供することを目的とする。

前記課題を解決するため、請求項１に係る露光装置は、基板を載置する載置テーブルとマスクフィルムを支持する支持枠とを内部に収納する露光室を備え、前記基板および前記マスクフィルムを当接または近接させ、所定波長の紫外線を含む光を照射して前記基板を露光する露光装置において、前記露光室内の一側壁に設けられ、前記支持枠の光照射側となる面に沿って、予め設定された温度および湿度のエアーを供給する供給口と、前記供給口の下方に設けられ、前記支持枠と前記載置テーブルとの間を通って送られて来るエアーおよび前記露光室内のエアーを排出するための側壁面排出口と、前記露光室の他側壁に設けられ、かつ、前記供給口から送られて来たエアーの送風方向を、少なくとも前記支持枠および載置テーブルの間を通って、前記側壁面排出口に向かうように変える送風方向変更手段と、前記露光室外に設けられ、前記側壁面排出口から排出されるエアーを、フィルタを介して取り込むとともに、予め設定された温度および湿度に調整して前記供給口に送り出す温度湿度調整手段と、を備える構成とした。

このように構成した露光装置では、供給口から供給され予め設定された温度および湿度のエアーを、マスクフィルムを支持している支持枠の光照射される側の面に沿って、露光室内の一側壁から他側壁に向かって送風する。そして、供給口からエアーが送風されて来ると、露光室内の他側壁に配置された送風方向変更手段により支持枠と載置テーブルの間に向かってエアーの方向を変えて、当該エアーを側壁面排出口に向かって導く。さらに、側壁面排出口から排出されたエアーは、フィルタを介して回収され温度湿度調整手段により予め設定された温度湿度に調整されて供給口から再び露光室内に供給される。

請求項２に係る露光装置は、送風方向変更手段が、エアーの吸入口と、この吸入口からエアーを吸入するための回転羽と、この回転羽を回転させる駆動手段と、前記回転羽を介して吸入したエアーを、前記側壁面排出口に向かって送り出す送風口とを備える構成とした。

このように構成した露光装置は、支持枠の上面に沿って送られて来たエアーが、送風方向変更手段の駆動手段を介して回転する回転羽により強制的に吸入口から取り込まれ、送風口から支持枠と載置テーブルの間に向かって強制的に送り出され、側壁面排出口から排出される。

請求項３に係る露光装置は、前記送風方向変更手段が、前記供給口に対面する位置で供給されたエアーを受けて方向を変える変更板と、この変更板に沿って送られるエアーを前記支持枠および載置テーブルの間から前記側壁面排出口に向かうように、当該エアーを導く導出板と、を備える構成とした。

このように構成した露光装置は、支持枠の上面に沿って送られて来たエアーが、変更板により当該変更板に沿って導かれ、導出板から支持枠と載置テーブルの間に向かって送り出され、側壁面排出口から排出される。

請求項４に係る露光装置は、前記載置テーブルが設置される前記露光室内の設置面の少なくとも一部に設けられ、前記露光室のエアーを排気する排気孔を複数有する排気床面を備える構成とした。

このように構成した露光装置では、供給口から送風方向変更手段を介して側壁面排出口に向かうエアーの流路に与える影響を最小限にして、送風変更手段で方向を変更しきれなかったエアー、あるいは、側壁面排出口から回収できなかった露光室内のエアーに対して、設置面の排気孔により装置外に排気している。

本発明に係る露光装置によれば、以下に示すように優れた効果を奏するものである。
露光装置は、マスクフィルムの上面側に温度湿度調整手段により調整したエアーを供給口から供給して、光の照射による熱の影響を一番受けるマスクフィルムに対して適切な温度および湿度の調整をして、マスクフィルムの伸縮を抑えると共に、送風方向変更手段により支持枠と載置テーブルの間に送風されるエアーにより、基板およびマスクフィルムに対して温度および湿度の調整をしている。
そのため、露光装置は、光の照射による熱の影響が異なるマスクフィルムおよび基板の伸縮を適正に制御できるように、露光室内におけるエアーの循環を維持することができ、回路パターンが微細な露光作業に対応することができる。

露光装置は、供給口から送られてきたエアーを、送風方向変更手段により強制的に吸引して支持枠と載置テーブルの間に向かって送出することにより、露光室内における温度および湿度を調整したエアーの循環を確実にしているため、回路パターンが微細な露光作業に安定して対応することができる。

露光装置は、供給口から送られてきたエアーを、簡易な構成の送風方向変更手段である変更板および導出板により送風方向を変えて支持枠と載置テーブルの間に向かって送出することにより、露光室内における温度および湿度を調整したエアーの循環を行っているため、回路パターンが微細な露光作業に対応することができる。

露光装置は、マスクフィルムの供給口から送られてきたエアーを、送風方向変更手段により支持枠と載置テーブルの間に向かって送出することにより、露光室内における温度および湿度を調整したエアーの循環を確実に行い、かつ、設置面の排気孔を有する排気床面から下方に流れてくるエアーを排気するので、マスクフィルムの周りに形成されるエアーの流路を維持して余計なエアーの滞留を排除することができる。そのため、露光装置は、回路パターンが微細な露光作業に安定して対応することができる。

次に、本発明に係る露光装置の最良の形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。
図１は露光装置の一部を切欠いて全体を模式的に示す側断面図、図２は露光装置の露光室内におけるエアーの流れを模式的に示した斜視図である。

図１に示すように、露光装置１は、光源１０と、光学系２０と、載置テーブル３０と、エアーの供給口３と、送風方向変更手段としてのサーキュレータ４と、側壁面排出口５と、排気孔７ａを有する排気床７と、を筐体６内に備えている。この筐体６は光源室Ｒ１と露光室Ｒ２とに仕切られている。さらに、この露光装置１は、筐体６に隣接して側壁面排出口５を介して露光室Ｒ２外に排出したエアーを調整して供給口３に循環させる温度湿度調整手段としての空調装置２を備えている。

光源１０は、例えば、水銀ショートアークランプ１１と、集光ミラー１２とを備えている。水銀ショートアークランプ１１は、所定波長の紫外線を含む光を照射するものであり、露光作業中は常に点灯させ光路中に設置したシャッタ機構２５を擬似光源として、このシャッタ機構２５の開閉により基板Ｗに光を照射している。集光ミラー１２は、前記水銀ショートアークランプ１１から照射された光を反射して、後記する第１平面鏡２１側に向かって集光させるものである。

光学系２０は、ここでは、第１平面鏡２１と、フライアイレンズ２２と、第２平面鏡２３と、凹面鏡２４とを備えおり、あらかじめ設定された光路を光が反射されるように配置されている。第１平面鏡２１は、板状の鏡であり、例えば、コールドミラーである。この第１平面鏡２１は、光源１０からの光を所定方向に反射するように、光源１０の直上に配置されている。

フライアイレンズ２２は、複数の凸レンズを縦横に配列したものであり、第１平面鏡２１が反射した光を第２平面鏡２３に一様な照度分布で照射するように、第１平面鏡２１と第２平面鏡２３との間の光路中に配置されている。フライアイレンズ２２の第１平面鏡２１側には、第１平面鏡２１が反射した光を遮断して、ワーク(基板)Ｗへの照射を制御するシャッタ機構２５が配置されている。

凹面鏡２４は、その表面形状が放物曲面の鏡で、第２平面鏡２３からの反射光を平行光としてマスクフィルムＭに反射するものであり、例えば、コリメーションミラーである。この凹面鏡２４は、第２平面鏡２３で反射した光を後記するマスクフィルムＭに平行光として照射するように、マスクフィルムＭと対向した状態で、後記する載置テーブル３０の直上に配置されている。前記した光学系２０のうち、第１平面鏡２１とフライアイレンズ２２は、光源室Ｒ１に設置されている。また、第２平面鏡２３と凹面鏡２４は、露光室Ｒ２に設置されている。

載置テーブル３０は、基板Ｗを整合移動させる機能を備えており、載置面において平行方向でＸ方向、Ｙ方向に整合移動でき、かつ、垂直軸回りのθ方向に整合回動できるとと
もに、基板ＷをマスクフィルムＭに当接させるために垂直方向に移動できるように構成されている。載置テーブル３０の直上には、所望の回路パターンが形成されたマスクフィルムＭを支持する支持枠であるマスクフレーム３１が配置されている。

空調装置２は、露光室Ｒ２外に設けられ、所定の温度湿度にエアーを調整するものである。この空調装置２は、後記する露光室Ｒ２内に配置した供給口３に予め設定された温度と湿度とに調整したエアーを供給し、かつ、後記する露光室Ｒ２内に配置した側壁面排出口５から排出されるエアーを回収して再び温度および湿度を調整して供給するように、供給口３および側壁面排出口５がダクト２ａ，２ｂで接続されている。この空調装置２は、図示しない温度調整機構および湿度調整機構をその内部に備えている。

供給口３は、空調装置２で温度と湿度を調整されたエアーを、マスクフィルムＭを支持しているマスクフレーム３１の上面に沿って供給するためのものである。そして、この供給口３から供給されるエアーにより、露光室Ｒ２内では、当該供給口３からマスクフレーム３１の上面（光照射側となる面）および露光室Ｒ２の他側壁までの流路が形成されている。供給口３は、空気浄化フィルタ３ａを開口部に設置している。ここで使用される空気浄化フィルタ３ａは、埃や塵などの浮遊物を吸着して除去するペーパフィルタであり、望ましくは、微粒子または二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質を吸着して除去するＨＥＰＡフィルタ、または中性能フィルタである。

なお、ここでは、供給口３は、マスクフレーム３１に支持されるマスクフィルムＭの有効面積（パターン形成領域）に対応した横幅に形成されおり、かつ、マスクフレーム３１に向くように傾斜した状態で設けられている。この供給口３の傾斜角度は、図３（ａ）に示すように、供給したエアーがマスクフレーム３１の上面に沿ってサーキュレータ４側に送風される傾斜角度θ１であることが望ましく、ここでは、マスクフレーム３１の上面側を基準面としたときに、その基準面に対して９０度以下、４５度以上の範囲である傾斜角度θ１となることが好ましい。すなわち、供給口３から供給されるエアーの送風方向が基準面に対して平行ないし４５度となるように送風される範囲である。この供給口３は、供給されるエアーにより供給口３からマスクフレーム３１の上面に沿ってサーキュレータ４までの流路を形成している。

図２に示すように、サーキュレータ４は、供給口３から送風されて来たエアーの送風方向を、マスクフレーム３１および載置テーブル３０の間から側壁面排出口５に向かって変更するものである。このサーキュレータ４は、供給口３の設置された位置とは反対側となる露光室Ｒ２の他壁面に設けられ、ここでは、供給口３および側壁面排出口５に対向する位置に設置されている。サーキュレータ４は、露光室Ｒ２の他壁面に設置したケース４ａと、このケース４ａの一面側に設けた吸入口４ｂからエアーを吸入して、ケース４ａの他面側に設けた送風口４ｄからエアーを送風する回転羽４ｃと、この回転羽４ｃを回転駆動する駆動モータ４ｅと、駆動モータ４ｅにより回転する回転羽４ｃを回動自在に支持する軸受け４ｆと、を備えている。

なお、吸入口４ｂおよび送風口４ｄには、前記したものと同じ空気浄化フィルタ３ａを取り付けるようにしても構わない。このサーキュレータ４は、露光室Ｒ２の他側壁からマスクフレーム３１および載置テーブル３０の間を通って側壁面排出口５に向かうエアーの流路を形成している。

側壁面排出口５は、露光室Ｒ２内のエアーを排出するためのものであり、かつ、サーキュレータ４から送風されて来るエアーを排出するものである。この側壁面排出口５は、供給口３の下方で、載置テーブル３０およびマスクフレーム３１の間に対向する位置に設置されており、開口部に前記したものと同じ空気浄化フィルタ５ａをここでは設置している。この側壁面排出口５が露光室Ｒ２内のエアーを排出する流れを形成することで、サーキュレータ４からの流路の形成をより確実にしている。

この側壁面排出口５は、マスクフィルムＭの有効面積に対応した横幅に形成されており、かつ、前記した基準面に対して垂直（９０度）状態となるように設置されている。なお、図３（ｂ）に示すように、側壁面排出口５は、供給口３の開口位置より後退する位置に配置される構成であると、供給口から供給されるエアーの流れに対して影響を小さくすることができ、望ましい。また、図３（ｂ）に示すように、側壁面排出口５は、供給口３とは反対となる傾斜角度の範囲で設置される構成であってもよい。すなわち、側壁面排出口５は、前記した基準面に対して４５度から１３５度、より好ましくは９０度から１３５度の範囲で傾斜させた状態で設置しても構わない。傾斜角度が４５度から１３５度の範囲から外れるとサーキュレータ４からのエアーに対して排気口面の向きが適切にならず、また、流路の流れを乱す原因になる可能性がある。

排気孔７ａを備える排気床７は、露光室Ｒ２内のエアーを露光室Ｒ２外に排気するものであり、露光室Ｒ２と露光室外との気圧差により排気している。また、排気孔７ａは、サーキュレータ４により送風され、側壁面排出口から排出されなかったエアーの流れが、供給口３、サーキュレータ４および側壁面排出口５により形成される流路に影響を与えないように、露光室Ｒ２内のエアーを排出している。この排気孔７ａは、載置テーブル３０が設置された床面に網目状あるいはパンチングメタル状に形成され、その床面の少なくとも一部あるいは全部に形成されている。

なお、前記した各構成要素は、光源室Ｒ１と露光室Ｒ２とに仕切られた筐体６内に設置されている。光源室Ｒ１は、密閉された箱状の空間である。露光室Ｒ２は、側壁面に基板Ｗの搬入および搬出を行う図示しない基板Ｗ搬出入口を有する箱状の空間である。なお、排気孔７ａの開口面積は、基板Ｗ搬出入口面積に比べて広く設定されている。

つぎに、露光装置の動作について説明する。
露光装置１は、基板Ｗを載置テーブル３０に図示しないハンドラ等の搬送手段により基板Ｗを搬送して載置し、基板Ｗを載置した載置テーブル３０は、上昇してマスクフレーム３１に支持されているマスクフィルムＭに基板Ｗを近接あるいは当接する状態とする動作を行う。露光装置１は、基板Ｗの搬入を開始するときには、空調装置２から予め設定された温度湿度に調整されたエアーが、供給口３から露光室Ｒ２内に供給されているとともに、サーキュレータ４によりエアーの向きを変えて側壁面排出口５から排出される状態になっている。

すなわち、供給口３から供給されたエアーは、マスクフレーム３１の上面に沿ってサーキュレータ４側に送られ、サーキュレータ４によりマスクフレーム３１と載置テーブル３０の間を介して側壁面排出口までの流路、つまり、マスクフィルムＭの表裏をエアーが往復する流路を形成する。このとき、エアーは、マスクフィルムの上面側となる透光板を介して、往路となる流路にマスクフィルムＭの上面側から、さらに、復路となる流路にマスクフィルムＭの下面から、当該マスクフィルムＭの温度湿度を一定に保つように働く。なお、エアーは、復路となる流路により載置テーブル上に基板Ｗが載置されている場合は、基板Ｗに対しても温度湿度を一定に保つように作用する。

露光装置１は、動作中において、光源１０から光学系２０を介してマスクフィルムＭおよび基板Ｗ等に、所定波長の紫外線を含む光を照射しているため、光が照射されている間において、マスクフィルムＭ、マスクフレーム３１、透光板、基板Ｗ等、光が照射される部材に熱が加えられることになり、特に、凹面鏡２４に近い側の部材ほどその熱の影響が現れやすい状態となる。したがって、マスクフィルムＭは、基板Ｗと比較すると常に熱の影響が大きく、さらに、基板Ｗが一度の露光作業による光の照射における熱の影響を受けるだけであるのに対して、何度も繰り返し光による熱の影響を受けることになる。

そのため、露光装置１は、マスクフィルムＭに対して温度湿度が調整されたエアーの往復の流路により熱の影響を最小限としているとともに、マスクフィルムＭに対してエアーを直接送風することがなく、往路では、透光板を介して、また、復路では、一度、露光室Ｒ２で他側壁まで送付されサーキュレータ４で方向変換されたエアーの流路により、マスクフィルムＭにエアーの温度湿度を反映させている。

露光装置１は、エアーの往復の流路が、マスクフィルムＭの表裏に対して供給されるエアーの影響において、ほぼ同等になるように形成されているため、バランスよくマスクフィルムＭの伸縮状態を維持することができる。

また、図２のようにエアーの流路が形成れるため、感光性樹脂層から揮発した二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質および露光室Ｒ２内を漂う埃や塵などの浮遊物は、エアーにより、載置テーブル３０を設置する床面の排気孔７ａ、あるいは、側壁面排出口５から露光室Ｒ２の外に排出される。そのため、感光性樹脂層から揮発する二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質および露光室Ｒ２内を漂う埃や塵などの浮遊物が、凹面鏡２４の表面、マスクフィルムＭ等に付着することを防止できる。

さらに、送風の経路に空気浄化フィルタ３ａを備えるため、送風口４ｄは、空気浄化フィルタ３ａを通過した清浄なエアーを、マスクフレーム３１、マスクフィルムＭ、基板Ｗ、載置テーブル３０に沿って送風できるので、埃や塵などの浮遊物が付着することをより効果的に防止できる。さらに、空調装置２で温度と湿度を制御したエアーを露光室Ｒ２内に供給することで、露光室Ｒ２内、特に、マスクフィルムＭの周囲の温度と湿度を一定に保つことができる。そのため、露光装置１は、微細化された回路パターンの要求に対応することが可能となる。なお、ここでは、空調装置２は、一例として、温度を２２〜２３℃に、湿度を５５〜６０％に制御したエアーを供給している。また、一例として、供給口３からの送風速度は、１．５ｍ／ｓｅｃであり、サーキュレータ４から送られる送風速度は、通過時には１．５ｍ／ｓｅｃである。

なお、以上説明した露光装置１は、送風方向変更手段としてサーキュレータ４を一例として説明したが、図４に示すような構成としても構わない。図４（ａ）、（ｂ）は、送風方向変更手段の他の形態を露光装置の一部を切欠いて模式的に示す斜視図、側断面図である。なお、すでに説明した構成で同じものは同じ符号を付して説明を省略する。

図４に示すように、送風変更手段としての導風板１４は、マスクフィルムＭのパターン領域に対応する横幅に形成され、変更板としての湾曲板１４ａと、導出板１４ｂとを備えている。この導風板１４は、湾曲板１４ａと導出板１４ｂが連続して一体に形成されるものや、あるいは、湾曲板１４ａと導出板１４ｂとを独立して形成しても構わない。
導風板１４の湾曲板１４ａは、マスクフレーム３１の上面より高い位置で、供給口３からマスクフレーム３１に沿って送られて来るエアーを受けて、導出板１４ｂ側に導くためのものである。この湾曲板１４ａは、湾曲面を備えていることが好ましいが、変更板として平板を所定角度に傾斜させて形成しても構わない。

導出板１４ｂは、マスクフィルムＭのパターン領域に対応する横幅に形成され、湾曲板１４ａに沿って送られてくるエアーを、載置テーブル３０およびマスクフレーム３１の間に向かって送り出すためのものである。この導出板１４ｂは、載置テーブル３０の上面よりも高い位置で、かつ、マスクフレーム３１の下面より低い位置の間となるように配置されている。

このように構成された導風板１４は、供給口３からエアーがマスクフレーム３１に沿って送風されると、湾曲板１４ａに沿ってエアーが導出板１４ｂ側に送られ、導出板１４ｂにより載置テーブル３０およびマスクフレーム３１の間にエアーを送風することができる。

なお、導風板１４は、図５に示すような構成としても構わない。図５は、送風方向変更手段の他の形態を模式的に示す側面図である。
図５に示すように、導風板４４は、変更板としての湾曲板４４ａと、この湾曲板４４ａに沿って来るエアーを、マスクフレーム３１および載置テーブル３０の間に向かって送風できるように導く導出板４４ｂと、湾曲板４４ａおよび導出板４４ｂの設置角度を調整するための調整部４４ｃ，４４ｄと、この調整部４４ｃ，４４ｄを介して湾曲板４４ａおよび導出板４４ｂを支持する支持部４４ｅとを備えている。なお、支持部４４ｅは、筐体６内の内壁面に取り付ける取付部４４ｆを有している。

このように構成した導風板４４は、調整部４４ｃ，４４ｄを緩めて湾曲板４４ａ，導出板４４ｂの設置角度を調整し、ふたたび調整部４４ｃ，４４ｄを締め付けて所定位置に湾曲板４４ａ，導出板４４ｂを位置決めする。図５に示すように、（適宜図２のサーキュレータ４を置き換えて参照）露光装置１が作動すると、供給口３からエアーがマスクフレーム３１の上面に沿って送られてくると、導風板４４の湾曲板４４ａに沿って導出板４４ｂにエアーが導かれ、その導出板４４ｂによりマスクフレーム３１および載置テーブル３０の間にエアーが送り出される。このとき、導風板４４は、自在に湾曲板４４ａおよび導出板４４ｂとの設置角度が自在に調整できるため、メンテナンスあるいは設定が容易となる。

また、図６に示すような露光装置１Ａの構成としても構わない。図６は、露光装置の一部を切欠いて全体を模式的に示す側断面図である。なお、すでに説明した構成は、同じ符号を付して説明を省略する。
送風口４０は、空調装置２で温度湿度を予め設定した条件に調整したエアーを、ダクト２ｃを介して、凹面鏡２４の凹面に沿って送風するように、凹面鏡２４の近傍に配置されている。この送風の経路には、凹面鏡２４の凹面に沿って清浄なエアーを供給するために、前記したものと同じ構成である空気浄化フィルタ４２を備えている。この空気浄化フィルタ４２は、ここでは、送風口４０の開口面に設けられている。この送風口４０は、第２平面鏡２３から凹面鏡２４に向けて反射する光の光路に重なることなく、凹面鏡２４の近くに設置できるように、所定角度を備えている。

風案内板４５は、曲面状の板であり、凹面鏡２４と同じ幅以上に形成されている。この風案内板４５は、送風口４０から送風されて凹面鏡２４の凹面を通過したエアーが、後記する排気孔７ａから露光室Ｒ２の外に排気されるように、凹面鏡２４の下方であって、凹面鏡２４を介して送風口４０と対向する、いわゆる風下に位置する露光室Ｒ２の壁面に設けられている。なお、風案内板４５を露光室Ｒ２の壁面に装着する他にも、露光室Ｒ２の壁面６ａを空気の流れが円滑になるように曲面状に形成してもよい。

このように構成した露光装置１Ａは、送風口４０からエアーが送風されると、凹面鏡２４の凹面に沿ってさらに風案内板４５側に送られ、サーキュレータ４により方向を変えられて載置テーブル３０およびマスクフレーム３１の間に向かって送り出される。あるいは、送風口４０からのエアーは、サーキュレータ４を通り越し、排気孔７ａから装置外に排気されることになる。そのため、露光装置１Ａでは、感光性樹脂層から揮発した二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質および露光室Ｒ２内を漂う埃や塵などの浮遊物は、エアーにより、載置テーブル３０を設置する床面の排気孔７ａ、あるいは、側壁面排出口５から露光室Ｒ２の外に排出される。そのため、感光性樹脂層から揮発する二酸化ケイ素やシロキサンなどの揮発物質および露光室Ｒ２内を漂う埃や塵などの浮遊物が、凹面鏡２４の表面、マスクフィルムＭ等に付着することを防止できる。

また、露光装置１Ａは、供給口３からサーキュレータ４および側壁面排出口５のエアーの流路を維持した状態で、送風口４０から風案内板４５を介して送風される流路を形成できる。そのため、露光装置１Ａは、露光室Ｒ２のエアーの循環状態が滞留することなく流れて、凹面鏡２４、マスクフィルムＭおよび基板Ｗの温度湿度を制御して、特にマスクフィルムＭの伸縮状態を安定させることができ、微細化された回路パターンの要求に対応することが可能となる。

以上のように構成した露光装置１Ａにおいて、送風口４０から送風されるエアーの送風速度は、露光室Ｒ２内に乱流を発生させない程度が望ましく、ここでは、一例として、送風口４０で１．５ｍ／ｓｅｃであり、風案内板４５通過時には１．２ｍ／ｓｅｃである。また、風速などの制御は、図示しない制御弁で行われている。なお、露光室Ｒ２内への送風は、露光装置の作業中には常時行われるものである。

さらに、風案内板４５を設けたことで、凹面鏡２４の凹面を通過したエアーが、露光室Ｒ２の壁面に衝突して露光室Ｒ２内に乱流が発生することを防止できる。また、露光室Ｒ２内に吹きだまりが発生することも防止できる。このように、エアーの流れを円滑にすることで、揮発物質などを露光室Ｒ２から効率的に排出できるとともに、露光室Ｒ２内の温度と湿度を効率的に保つことができる。

本発明に係る露光装置の第１実施形態であって一部を切欠いて全体を模式的に示す側断面図である。 本発明に係る露光装置の露光室内におけるエアーの流れを模式的に示す斜視図である。 （ａ）、（ｂ）本発明に係る露光装置において供給口の配置を模式的に示す側面図である。 本発明に係る露光装置の第２実施形態であって（ａ）、（ｂ）は送風方向変更手段の他の形態を露光装置の一部を切欠いて模式的に示す斜視図、側断面図である。 本発明の露光装置の送風変更手段の他の形態を模式的に示す側面図である。 本発明に係る露光装置の第３の実施形態であって、露光装置の一部を切欠いて全体を模式的に示す側断面図である。 従来の露光装置の構成を模式的に示す模式図である。

符号の説明

１，１Ａ 露光装置
２ 空調装置
２ａ，２ｂ，２ｃ ダクト
３ 供給口
３ａ 空気浄化フィルタ
４ サーキュレータ
４ａ ケース
４ｂ 吸入口
４ｃ 回転羽
４ｄ 送風口
４ｅ 駆動モータ
５ 側壁面排出口
５ａ 空気浄化フィルタ
６ 筐体
６ａ 壁面
７ 排気床
７ａ 排気孔
１０ 光源
１１ 水銀ショートアークランプ
１２ 集光ミラー
１４ 導風板
１４ａ 湾曲板
１４ｂ 導出板
２０ 光学系
２１ 第１平面鏡
２２ フライアイレンズ
２３ 第２平面鏡
２４ 凹面鏡
２５ シャッタ機構
３０ 載置テーブル
３１ 支持枠
４０ 送風口
４２ 空気浄化フィルタ
４４ 導風板
４４ａ 湾曲板
４４ｂ 導出板
４４ｃ 調整部
４４ｅ 支持部
４４ｆ 取付部
４５ 風案内板
Ｍ マスクフィルム
Ｍ マスク
Ｒ１ 光源室
Ｒ２ 露光室
Ｗ 基板

Claims (4)

1. 基板を載置する載置テーブルとマスクフィルムを支持する支持枠とを内部に収納する露光室を備え、前記基板および前記マスクフィルムを当接または近接させ、所定波長の紫外線を含む光を照射して前記基板を露光する露光装置において、
   前記露光室内の一側壁に設けられ、前記支持枠の光照射側となる面に沿って、予め設定された温度および湿度のエアーを供給する供給口と、
   前記供給口の下方に設けられ、前記支持枠と前記載置テーブルとの間を通って送られて来るエアーおよび前記露光室内のエアーを排出するための側壁面排出口と、
   前記露光室の他側壁に設けられ、かつ、前記供給口から送られて来たエアーの送風方向を、少なくとも前記支持枠および載置テーブルの間を通って、前記側壁面排出口に向かうように変える送風方向変更手段と、
   前記露光室外に設けられ、前記側壁面排出口から排出されるエアーを、フィルタを介して取り込むとともに、予め設定された温度および湿度に調整して前記供給口に送り出す温度湿度調整手段と、
   を備えることを特徴とする露光装置。
2. 前記送風方向変更手段は、エアーの吸入口と、この吸入口からエアーを吸入するための回転羽と、この回転羽を回転させる駆動手段と、前記回転羽を介して吸入したエアーを、前記側面排出口に向かって送り出す送風口とを備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
3. 前記送風方向変更手段は、前記供給口に対面する位置で供給されたエアーを受けて方向を変える変更板と、この変更板に沿って送られるエアーを前記支持枠および載置テーブルの間から前記側面排出口に向かうように、当該エアーを導く導出板と、を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。
4. 前記載置テーブルが設置される前記露光室内の設置面の少なくとも一部に設けられ、前記露光室のエアーを排気する排気孔を複数有する排気床面を備えることを特徴とする請求項１に記載の露光装置。

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