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JP4442121B2 - 半導体集積回路及び表示装置 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、SRAM(static random access memory:スタティックランダムアクセスメモリ)を内蔵した半導体集積回路に関し、特に、LCD(liquid crystal display:液晶表示パネル)等の表示デバイスを駆動するための半導体集積回路(ドライバIC)に関する。
【0002】
【従来の技術】
LCD等の表示デバイスを駆動するためのドライバICにおいては、MPU(micro processor unit:マイクロプロセッサユニット)から入力される画像データを一時的に記憶するために、SRAMを内蔵したタイプのものが存在する。従来のドライバICにおいて用いられているSRAMのメモリセルについて、図6及び図7を参照しながら説明する。
【0003】
図6は、従来のドライバICにおいて用いられているSRAMのメモリセルの回路構成を示す回路図である。図6に示すように、このメモリセルは、リング状に接続された第1のインバータINV1と第2のインバータINV2とを含んでいる。これらのインバータは、電源電位VDDと電源電位VSSとが供給されて動作する。第1のインバータINV1は、ストアノードN2のレベルを反転してストアノードN1に出力し、第2のインバータINV2は、ストアノードN1のレベルを反転してストアノードN2に出力する。
【0004】
第1のインバータINV1は、PチャネルMOSトランジスタQP1及びNチャネルMOSトランジスタQN1によって構成される。また、第2のインバータINV2は、PチャネルMOSトランジスタQP2及びNチャネルMOSトランジスタQN2によって構成される。
【0005】
さらに、メモリセルは、スイッチング用のNチャネルMOSトランジスタQN3及びQN4を含んでいる。トランジスタQN3及びQN4のゲートは、ワードラインWLに接続されている。トランジスタQN3は、第1のストアノードN1とビットラインBLとの間に接続されたドレイン〜ソース経路を有し、ワードラインWLに印加される信号に従って、第1のストアノードN1をビットラインBLに接続する。トランジスタQN4は、第2のストアノードN2とビットラインBLバーとの間に接続されたドレイン〜ソース経路を有し、ワードラインWLに印加される信号に従って、第2のストアノードN2をビットラインBLバーに接続する。
【0006】
以上において、PチャネルMOSトランジスタQP1〜QP2は、半導体基板内に形成されたNウエルに形成され、NチャネルMOSトランジスタQN1〜QN4は、P型の半導体基板又は半導体基板内に形成されたPウエルに形成される。
【0007】
図7は、図6に示すメモリセル4個分のレイアウトを示す図である。図7に示すように、4個のメモリセルMC00、MC10、MC01、MC11が、2次元マトリクス状に配置されている。
【0008】
メモリセルMC00は、ビットラインBL0及びBL0バーと、ワードラインWL0とに接続され、メモリセルMC10は、ビットラインBL1及びBL1バーと、ワードラインWL0とに接続されている。また、メモリセルMC01は、ビットラインBL0及びBL0バーと、ワードラインWL1とに接続され、メモリセルMC11は、ビットラインBL1及びBL1バーと、ワードラインWL1とに接続されている。
【0009】
ここで、メモリセルMC00及びMC10とメモリセルMC01及びMC11とは、上下対称となるようにレイアウトされている。図7に示すように、半導体基板において、複数のPチャネルトランジスタが形成されるPチャネルトランジスタ形成領域(Nウエル)と、複数のNチャネルトランジスタが形成されるNチャネルトランジスタ形成領域は、X方向に連続して設けられている。なお、詳細なレイアウトは、下記の特許文献1の図11に記載されているものと同様である。
【0010】
【特許文献1】
特開2001−358232号公報 (第7〜8頁、図11)
【0011】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、LCD等の表示デバイスを駆動するためのドライバICにおいては、表示デバイスに一列に設けられた多数の信号電極に表示信号をパラレルに供給するために、X方向のサイズは大きく、Y方向のサイズは小さくなっている。しかしながら、図7に示すようにレイアウトされたSRAMをドライバICに組み込むと、SRAMのY方向のサイズが大きいので、半導体基板(チップ)のY方向(短辺方向)のサイズが大きくなってしまい、回路素子が配置されない不必要な領域が増加してしまうという問題があった。
【0012】
そこで、上記の点に鑑み、本発明は、表示デバイスを駆動するためにMPUから入力される画像データを一時的に記憶するSRAMを内蔵した半導体集積回路において、短辺方向のサイズを小さくしてチップ面積を低減することを目的とする。
【0013】
【課題を解決するための手段】
本発明の半導体集積回路の一態様は、第1辺、第2辺、第3辺、及び第4辺を有する半導体基板に設けられ、表示デバイスに信号を供給するための半導体集積回路であって、
複数の第1の信号を出力する第1の信号出力部と、複数の第2の信号を出力する第2の信号出力部と、画像データを記憶するSRAMと、前記第1の信号出力部、前記第2の信号出力部、及び前記SRAMの制御を行う制御部と、を含み、前記第1辺は、前記第1辺に交差する前記第2辺より長く、前記第1の信号出力部は、前記第1辺に沿って配置され、前記第2の信号出力部は、前記第2辺に沿って配置され、前記SRAMは、前記第1辺が延びる方向の第1の方向とは異なる方向である第2の方向に延びる第2の導電型のウェルと、前記第2の導電型のウェルに形成されるソースとドレインとを有する第1群のトランジスタ、及び、前記半導体基板の第1の導電型の領域に形成されるソースとドレインとを有する第2群のトランジスタにより構成されるメモリセルと、前記メモリセルに接続され、前記第2の方向に延びる1組のビットラインと、前記メモリセルに接続され、前記第2の方向とは異なる方向に延びるワードラインと、を含み、前記第1の信号出力部に対して、前記第1辺に対向する前記第3辺の側に配置されることを特徴とする。
また、複数の第3の信号を出力する第3の信号出力部をさらに含み、前記第3の信号出力部は、前記第2辺に対向する前記第4辺に沿って配置されることを特徴とする。
また、前記複数の第1の信号が供給される複数の第1の電極をさらに含み、前記複数の第1の電極は、前記第1辺に沿って配置されることを特徴とする。
また、前記複数の第2の信号が供給される複数の第2の電極をさらに含み、前記複数の第2の電極は、前記第2辺に沿って配置されることを特徴とする。
また、前記複数の第3の信号が供給される複数の第3の電極をさらに含み、前記複数の第3の電極は、前記第4辺に沿って配置されることを特徴とする。
また、前記制御部に供給する制御信号が入力される第4の電極をさらに含み、前記第4の電極は、前記第3辺に沿って配置されることを特徴とする。
また、本発明の表示装置の一態様は、上記の半導体集積回路と、前記表示デバイスと、を含むことを特徴とする。
また、上記の本発明に係る半導体集積回路は、表示デバイスの一辺に設けられた複数の信号電極に表示信号をパラレルに供給するために、複数の出力端子が第1の方向に並んで設けられた半導体集積回路であって、第1の方向に長手方向を有する第1の導電型の半導体基板と、半導体基板内に形成され、第1の方向とは異なる第2の方向に長手方向を有する第2の導電型のウエルと、第2の導電型のウエル内に形成されたソース・ドレインを有する第1群のトランジスタ、及び、半導体基板又は半導体基板内に形成された第1の導電型のウエル内に形成されたソース・ドレインを有する第2群のトランジスタによって構成される少なくとも1つのメモリセルと、少なくとも1つのメモリセルに接続され、第2の方向に延在する少なくとも1組のビットラインと、少なくとも1つのメモリセルに接続され、第2の方向とは異なる方向に延在する少なくとも1つのワードラインとを具備する。
【0014】
ここで、第2の方向が、第1の方向と直交するようにしても良いし、ワードラインが、ビットラインと直交するようにしても良い。
【0015】
また、メモリセルが、SRAMのメモリセルであって、第1群のトランジスタの内の1つと第2群のトランジスタの内の1つとを含み、第1のストアノードに出力が接続され、第2のストアノードに入力が接続された第1のインバータと、第1群のトランジスタの内の別の1つと第2群のトランジスタの内の別の1つとを含み、第2のストアノードに出力が接続され、第1のストアノードに入力が接続された第2のインバータと、ワードラインに印加される信号に従って第1のストアノードを第1のビットラインに接続する第1のトランジスタと、ワードラインに印加される信号に従って第2のストアノードを第2のビットラインに接続する第2のトランジスタとを含むようにしても良い。
【0016】
さらに、半導体基板に2次元マトリクス状に配置された2行2列の4個のメモリセルを1つの単位領域として、複数の単位領域について同一のレイアウトが施されるようにしても良い。また、各単位領域において隣接する2列のメモリセルの第1及び第2のトランジスタのゲートと2本のワードラインとをそれぞれ電気的に接続するために、それぞれの単位領域における第2の方向に関する中央部分において、所定の層間絶縁膜に2個の開口が形成されるようにしても良い。また、各単位領域において第2の方向に関して中央部分の外側に位置する2つの周辺部分において、第1の導電型の半導体基板に基準電位を供給するためのタップが形成されるようにしても良い。
【0017】
また、所定の配線層において、隣接する2列のメモリセルにそれぞれ接続される2つのビットラインの間に、電源電位又は基準電位に接続される配線が形成されるようにしても良い。
【0018】
本発明によれば、PチャネルトランジスタとNチャネルトランジスタを第1の方向(長手方向)に分散して配置することができるので、第2の方向(短辺方向)のサイズを小さくしてチップ面積を低減することができる。
【0019】
【発明の実施の形態】
以下、図面に基づいて本発明の実施の形態について説明する。なお、同一の構成要素には同一の参照番号を付して、説明を省略する。
図1は、本発明の一実施形態に係る半導体集積回路を用いたLCDモジュールを示す図である。図1に示すように、このLCDモジュールは、ドライバIC10と、上部パネル20と、ガラス基板30とを含んでいる。LCDパネルは、ガラス基板30と上部パネル20との間に、液晶材料を挟み込んで構成される。
【0020】
LCDパネルは、セグメント方向において複数のセグメント領域S1、S2、・・・を有し、コモン方向においても複数のコモン領域C1、C2、・・・を有している。ここで、1つのセグメント領域と1つのコモン領域を特定することにより、1つの画素(ドット)が特定される。一例としては、LCDパネルが、132個のセグメント領域と64個のコモン領域を有する。この場合には、LCDパネルは、132×64個の画素を有することになる。
【0021】
ガラス基板30上には、透明なセグメント配線LS1〜LS132とコモン配線LC1〜LC64とが形成されている。セグメント配線LS1〜LS132の一端は、LCDパネルのセグメント領域S1〜S132に接続され、セグメント配線LS1〜LS132の他端は、ドライバIC10のセグメント信号出力パッドPS1〜PS132を接続するための電極(信号電極)を構成している。同様に、コモン配線LC1〜LC64の一端は、LCDパネルのコモン領域C1〜C64に接続され、コモン配線LC1〜LC64の他端は、ドライバIC10のコモン信号出力パッドPC1〜PC64を接続するための電極(走査電極)を構成している。
【0022】
図1に示すドライバICについて、図2を参照しながら説明する。図2は、本発明の一実施形態に係る半導体集積回路(ドライバIC)を示す図である。なお、図1及び図2においては、ドライバICの表面が示されている。
【0023】
図2に示すように、ドライバIC10を構成するシリコン基板17の長手方向の一辺(図中上側の長辺)に沿って、セグメント信号出力部11が配置されている。また、シリコン基板17の長手方向と直交する二辺(図中左右の短辺)に沿って、コモン信号出力部12及び13が配置されている。さらに、シリコン基板17の長手方向の他辺(図中下側の長辺)に沿って、電源部14、制御部15、SRAM16が配置されている。
【0024】
電源部14は、入出力パッドから電源電圧を供給されてレギュレーションを行い、セグメント信号出力部11、コモン信号出力部12及び13、制御部15、SRAM16に電源を供給する。SRAM16は、外部から供給される画像データを一時的に記憶する。制御部15は、入出力パッドから制御信号を受けて、セグメント信号出力部11、コモン信号出力部12及び13、SRAM16の制御を行う。
【0025】
セグメント信号出力部11、コモン信号出力部12及び13、電源部14、制御部15、SRAM16は、相互に接続されている。また、セグメント信号出力部11は、シリコン基板17の図中上側の長辺に沿って設けられているセグメント信号出力パッドPS1〜PS132に接続されており、セグメント信号出力パッドからセグメント信号(表示信号)を出力する。
【0026】
一方、コモン信号出力部12は、シリコン基板11の図中左側の短辺に沿って設けられているコモン信号出力パッドPC1〜PC32に接続されており、これらのコモン信号出力パッドからコモン信号(走査信号)を出力する。同様に、コモン信号出力部13は、シリコン基板17の図中右側の短辺に沿って設けられているコモン信号出力パッドPC33〜PC64に接続されており、これらのコモン信号出力パッドからコモン信号を出力する。
【0027】
シリコン基板17の図中下側の長辺に沿って、入出力パッドPT1〜PTnが設けられている。これらの入出力パッドを用いて、電源電圧や画像データが入力されたり、制御信号が入出力される。
【0028】
次に、図2に示すSRAMについて説明する。SRAM16に含まれているメモリセルの回路構成は、図6に示すものと同様である。図6に示すように、このメモリセルは、リング状に接続された第1のインバータINV1と第2のインバータINV2とを含んでいる。これらのインバータは、電源電位VDDと電源電位VSS(本実施形態においては、接地電位とする)とが供給されて動作する。第1のインバータINV1は、ストアノードN2のレベルを反転してストアノードN1に出力し、第2のインバータINV2は、ストアノードN1のレベルを反転してストアノードN2に出力する。
【0029】
第1のインバータINV1は、PチャネルMOSトランジスタQP1及びNチャネルMOSトランジスタQN1によって構成される。また、第2のインバータINV2は、PチャネルMOSトランジスタQP2及びNチャネルMOSトランジスタQN2によって構成される。
【0030】
さらに、メモリセルは、スイッチング用のNチャネルMOSトランジスタQN3及びQN4を含んでいる。トランジスタQN3及びQN4のゲートは、ワードラインWLに接続されている。トランジスタQN3は、第1のストアノードN1とビットラインBLとの間に接続されたドレイン〜ソース経路を有し、ワードラインWLに印加される信号に従って、第1のストアノードN1をビットラインBLに接続する。トランジスタQN4は、第2のストアノードN2とビットラインBLバーとの間に接続されたドレイン〜ソース経路を有し、ワードラインWLに印加される信号に従って、第2のストアノードN2をビットラインBLバーに接続する。
【0031】
以上において、PチャネルMOSトランジスタQP1〜QP2は、半導体基板内に形成されたNウエルに形成され、NチャネルMOSトランジスタQN1〜QN4は、P型の半導体基板又は半導体基板内に形成されたPウエルに形成される。
【0032】
図3は、図2に示すSRAMのメモリセル4個分のレイアウトを示す図である。図3に示すように、4個のメモリセルMC00、MC10、MC01、MC11が、2次元マトリクス状に配置されている。
【0033】
メモリセルMC00は、ビットラインBL0及びBL0バーと、ワードラインWL0とに接続され、メモリセルMC10は、ビットラインBL1及びBL1バーと、ワードラインWL0とに接続されている。また、メモリセルMC01は、ビットラインBL0及びBL0バーと、ワードラインWL1とに接続され、メモリセルMC11は、ビットラインBL1及びBL1バーと、ワードラインWL1とに接続されている。
【0034】
ここで、メモリセルMC00及びMC10とメモリセルMC01及びMC11とは、左右対称となるようにレイアウトされている。図3に示すように、半導体基板において、複数のPチャネルトランジスタが形成されるPチャネルトランジスタ形成領域(Nウエル)と、複数のNチャネルトランジスタが形成されるNチャネルトランジスタ形成領域が、Y方向に連続して設けられている。
【0035】
図4及び図5は、図3に示す4個のメモリセルの詳細なレイアウトを示す図である。図4は、不純物拡散領域とポリシリコンと第1配線層のレイアウトを示す図であり、図5は、第1配線層〜第3配線層のレイアウトを示す図である。
【0036】
図4に示すように、P型の半導体基板内に、Y方向が長手方向となるようにNウエルが形成される。Nウエル内には、PチャネルMOSトランジスタQP1〜QP2のソース又はドレインとなるP型の不純物拡散領域と、Nウエルに電源電位VDDを供給するためのNタップが形成される。また、P型の半導体基板内には、NチャネルMOSトランジスタQN1〜QN4のソース又はドレインとなるN型の不純物拡散領域と、P型の半導体基板に電源電位VSSを供給するためのPタップが形成される。なお、半導体基板内にPウエルを形成し、N型の不純物拡散領域とPタップをPウエル内に形成するようにしても良い。
【0037】
半導体基板上には、ゲート絶縁膜を介して、ゲート電極となるポリシリコンが形成される。このようにして、4個のメモリセルの各々において、図6に示すPチャネルMOSトランジスタQP1〜QP2とNチャネルMOSトランジスタQN1〜QN4が形成される。
【0038】
さらにその上に、第1の層間絶縁膜を介して第1層配線が形成される。第1の層間絶縁膜の所定の位置には、コンタクトホール(×印)が設けられており、第1層配線が、コンタクトホールを通して不純物拡散領域に接続される。また、第1の層間絶縁膜の所定の位置にはビアホール(○印)が設けられており、第1層配線が、ビアホールを通してポリシリコンに接続される。
【0039】
図5に示すように、第1層配線上に、第2の層間絶縁膜を介して第2層配線が形成され、さらにその上に、第3の層間絶縁膜を介して第3層配線が形成される。第2の層間絶縁膜の所定の位置にはビアホール(×印)が設けられており、第2層配線がコンタクトホールを通して、第1層配線に接続される。また、第3の層間絶縁膜の所定の位置にはビアホール(○印)が設けられており、第3層配線が、ビアホールを通して第2層配線に接続される。
【0040】
図4及び図5に示すように、本実施形態においては、PチャネルMOSトランジスタとNチャネルMOSトランジスタをX方向(長手方向)に分散して配置することにより、SRAMのY方向(短辺方向)のサイズを小さくして、ドライバICのチップ面積を低減することができる。
【0041】
また、2次元マトリクス状に配置された2行2列の4個のメモリセルを1つの単位領域として、複数の単位領域について同一のレイアウトが施される。本実施形態においては、第2の配線層にワードラインWL0及びWL1が設けられ、第3の配線層にビットラインBL0/BL0バー及びBL1/BL1バーが配置されている。あるいは、これらのワードライン及び/又はビットラインを、他の配線層に配置するようにしても良い。
【0042】
各単位領域において隣接する2列のメモリセルのトランジスタQN3及びQN4のゲートと2本のワードラインWL0及びWL1とをそれぞれ電気的に接続するために、それぞれの単位領域におけるY方向に関する中央部分において、第1の層間絶縁膜に2個の開口H11及びH12が形成され、第2の層間絶縁膜に2個の開口H21及びH22が形成される。
【0043】
さらに、図4に示すように、各単位領域においてY方向に関して中央部分の外側に位置する2つの周辺部分において、P型の半導体基板に基準電位(本実施形態においては接地電位)を供給するためのPタップが形成される。また、各単位領域においてX方向に関して中央部分の外側に位置する2つの周辺部分において、Nウエルに基準電位(本実施形態においては電源電位VDD)を供給するためのNタップが形成される。これにより、従来のドライバICにおいてはメモリセル領域と別個に設けていた基準電位の接続領域が不要となり、小さいサイズの半導体基板を用いながら半導体基板やウエルに基準電位を供給することができる。
【0044】
また、図5に示すように、第3の配線層において、隣接する2列のメモリセルにそれぞれ接続される2つのビットラインの間に、電源電位又は基準電位に接続される配線が形成される。例えば、ビットラインBL0とビットラインBL1との間に、電源電位VSSに接続される電源配線が形成され、ビットラインBL1とビットラインBL0バーとの間に、電源電位VDDに接続される電源配線が形成される。電源配線はインピーダンスが低いので、ビットラインをシールドする役割を果たし、誤動作を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の一実施形態におけるLCDモジュールを示す図。
【図2】 本発明の一実施形態に係る半導体集積回路を示す図。
【図3】 図2に示すSRAMのメモリセル4個分のレイアウトを示す図。
【図4】 メモリセルの不純物拡散領域〜第1配線層のレイアウトを示す図。
【図5】 メモリセルの第1配線層〜第3配線層のレイアウトを示す図。
【図6】 従来のドライバICにおけるSRAMのメモリセルの回路を示す図。
【図7】 図6に示すメモリセル4個分のレイアウトを示す図。
【符号の説明】
10 ドライバIC、 11 セグメント信号出力部、 12、13 コモン信号出力部、 14 電源部、 15 制御部、 16 SRAM、 17 シリコン基板、 20 上部パネル、 30 ガラス基板、 S1、S2、・・・セグメント領域、 C1、C2、・・・ コモン領域、 LS1〜LS132セグメント配線、 LC1〜LC64 コモン配線、 PS1〜PS132 セグメント信号出力パッド、 PC1〜PC32 コモン信号出力パッド、 PT1〜PTn 入出力パッド、 MC00〜MC11 メモリセル、 BL0、BL0バー、BL1、BL1バー ビットライン、 WL0、WL1 ワードライン、 INV1、INV2 インバータ、 QP1〜QP2 PチャネルMOSトランジスタ、 QN1〜QN4 NチャネルMOSトランジスタ

Claims (7)

  1. 第1辺、第2辺、第3辺、及び第4辺を有する半導体基板に設けられ、表示デバイスに信号を供給するための半導体集積回路であって、
    複数の第1の信号を出力する第1の信号出力部と、
    複数の第2の信号を出力する第2の信号出力部と、
    画像データを記憶するSRAMと、
    前記第1の信号出力部、前記第2の信号出力部、及び前記SRAMの制御を行う制御部と、
    を含み、
    前記第1辺は、前記第1辺に交差する前記第2辺より長く、
    前記第1の信号出力部は、前記第1辺に沿って配置され、
    前記第2の信号出力部は、前記第2辺に沿って配置され、
    前記SRAMは、
    前記第1辺が延びる方向の第1の方向とは異なる方向である第2の方向に延びる第2の導電型のウェルと、
    前記第2の導電型のウェルに形成されるソースとドレインとを有する第1群のトランジスタ、及び、前記半導体基板の第1の導電型の領域に形成されるソースとドレインとを有する第2群のトランジスタにより構成されるメモリセルと、
    前記メモリセルに接続され、前記第2の方向に延びる1組のビットラインと、
    前記メモリセルに接続され、前記第2の方向とは異なる方向に延びるワードラインと、
    を含み、
    前記第1の信号出力部に対して、前記第1辺に対向する前記第3辺の側に配置されることを特徴とする半導体集積回路。
  2. 複数の第3の信号を出力する第3の信号出力部をさらに含み、
    前記第3の信号出力部は、前記第2辺に対向する前記第4辺に沿って配置されることを特徴とする請求項1記載の半導体集積回路。
  3. 前記複数の第1の信号が供給される複数の第1の電極をさらに含み、
    前記複数の第1の電極は、前記第1辺に沿って配置されることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体集積回路。
  4. 前記複数の第2の信号が供給される複数の第2の電極をさらに含み、
    前記複数の第2の電極は、前記第2辺に沿って配置されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の半導体集積回路。
  5. 前記複数の第3の信号が供給される複数の第3の電極をさらに含み、
    前記複数の第3の電極は、前記第4辺に沿って配置されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の半導体集積回路。
  6. 前記制御部に供給する制御信号が入力される第4の電極をさらに含み、
    前記第4の電極は、前記第3辺に沿って配置されることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の半導体集積回路。
  7. 請求項1乃至6のいずれかに記載の半導体集積回路と、
    前記表示デバイスと、
    を含むことを特徴とする表示装置。
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