JP4407742B2 - Inspection method of refractive index distribution of glass base material - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば光ファイバ等の製造に用いられるガラス母材の屈折率分布の検査方法に関する。 The present invention relates to a method for inspecting a refractive index distribution of a glass base material used for manufacturing, for example, an optical fiber.
光ファイバ等の製造に用いるガラス母材の製造方法において、ガラス原料ガスを火炎加水分解させてガラス微粒子を生成し、これを出発ガラスロッド等に堆積させてガラス微粒子堆積体とし、これを脱水、焼結して透明ガラス化することが知られている。また、ガラス微粒子堆積体の製造には、VAD法(気相軸付法)、OVD法(外付け気相蒸着法)等が知られている。 In the method of manufacturing a glass base material used for manufacturing an optical fiber or the like, glass raw material gas is flame-hydrolyzed to generate glass fine particles, and this is deposited on a starting glass rod or the like to form a glass fine particle deposit, which is dehydrated, It is known to sinter and form a transparent glass. In addition, a VAD method (vapor phase axis attaching method), an OVD method (external vapor phase vapor deposition method), and the like are known for producing a glass fine particle deposit.
OVD法は、例えば、反応容器内で回転する出発ガラスロッドの外周に、SiCl4等のガラス原料ガスを、H2ガス,O2ガス等の燃焼用ガスとともにバーナで吹き付け、火炎加水分解反応によりガラス微粒子を生成して堆積させ、ガラス微粒子堆積体を作製している。VAD法は、回転する出発ガラスロッドの下方にバーナを配して、ガラス原料ガスと燃焼用ガスを吹き付け、火炎加水分解反応により生成されるガラス微粒子を軸方向に堆積させてガラス微粒子堆積体を作製している。
上記で作成されたガラス微粒子堆積体は、この後、加熱炉内で脱水・焼結されて、透明ガラス体になる(例えば特許文献1参照)。
In the OVD method, for example, a glass raw material gas such as SiCl 4 is blown together with a combustion gas such as H 2 gas and O 2 gas on the outer periphery of a starting glass rod that rotates in a reaction vessel, and a flame hydrolysis reaction is performed. Glass particulates are produced and deposited to produce a glass particulate deposit. In the VAD method, a burner is disposed below a rotating starting glass rod, glass raw material gas and combustion gas are sprayed, and glass fine particles generated by a flame hydrolysis reaction are deposited in the axial direction to form a glass fine particle deposit. I am making it.
Thereafter, the glass fine particle deposit produced as described above is dehydrated and sintered in a heating furnace to become a transparent glass body (see, for example, Patent Document 1).
しかしながら、製造される透明ガラス体は、加熱炉内での脱水・焼結時における加熱ムラ等によって、ガラス母材中心軸方向の屈折率分布の特性にばらつきが生じ、品質が不安定となることがある。 However, the quality of the produced transparent glass body becomes unstable due to variations in the refractive index distribution characteristics in the central axis direction of the glass base material due to uneven heating during dehydration and sintering in the heating furnace. There is.
上記のばらつきを抑制するために、例えば特許文献2では、出発母材の軸方向に光ファイバ多孔質母材を堆積した後、この光ファイバ多孔質母材を所定温度で加熱し、脱水、焼結することで光ファイバ用ガラス母材を製造し、この工程を繰返すようにした製造方法において、製造した光ファイバ用ガラス母材の屈折率(ここでいう屈折率とは、コア部とクラッド部との屈折率差)を測定し、この屈折率と目標の屈折率との差を求めて、この差を光ファイバ多孔質母材の加熱温度の補正値に変換するとともに、次回の製造工程における光ファイバ多孔質母材の加熱温度を前記補正値で補正するようにしたものである。 In order to suppress the above-mentioned variation, for example, in Patent Document 2, after depositing an optical fiber porous preform in the axial direction of the starting preform, the optical fiber porous preform is heated at a predetermined temperature to be dehydrated and baked. In the manufacturing method in which the glass base material for optical fiber is manufactured by repeating and this process is repeated, the refractive index of the manufactured glass base material for optical fiber (the refractive index here is the core portion and the cladding portion) And the difference between this refractive index and the target refractive index is calculated, and this difference is converted into a correction value for the heating temperature of the optical fiber porous preform, and in the next manufacturing process. The heating temperature of the optical fiber porous preform is corrected with the correction value.
また、特許文献3は、ガラス微粒子の堆積に先立って、予めコアロッドの屈折率分布を長手方向に沿って測定し、測定された前記屈折率分布に基づいて波長分散値が長手方向で所定値となるように長手方向で目標J倍率(ガラス母材外径/出発ガラスロッド外径)分布を算出し、目標J倍率となるようにガラス微粒子の堆積量を長手方向で調整するようにしたものである。 Further, Patent Document 3 measures the refractive index distribution of the core rod in advance along the longitudinal direction prior to the deposition of the glass fine particles, and based on the measured refractive index distribution, the chromatic dispersion value is a predetermined value in the longitudinal direction. The target J magnification (glass base material outer diameter / starting glass rod outer diameter) distribution is calculated in the longitudinal direction so that the deposition amount of the glass fine particles is adjusted in the longitudinal direction so as to achieve the target J magnification. is there.
特許文献4は、ガラス微粒子堆積体を真空加熱炉の炉心管内に収納し、焼結して、透明ガラス化するガラス母材の製造方法において、前回ガラス母材製造時に炉心管の側面に設けた開口を通してガラス微粒子堆積体又はガラス母材の母材表面温度と炉心管の温度を測定しておき、今回ガラス母材製造時に、炉心管の温度を制御し目標とする加熱温度と加熱時間とする加熱設定手段の設定を、前回の炉心管の温度と母材表面温度に基づいて変更し加熱温度を制御するものである。
しかしながら、例えば特許文献2のようにガラス母材の屈折率分布を検査する際、測定点を多くとると生産性が落ちてしまう問題があった。したがって、測定点をむやみに増やして生産性を落とすことなく、品質を確実に保証できるガラス母材の屈折率分布の検査方法が望まれていた。 However, for example, when inspecting the refractive index distribution of a glass base material as in Patent Document 2, if a large number of measurement points are taken, there is a problem that productivity is lowered. Therefore, there has been a demand for a method for inspecting the refractive index distribution of a glass base material that can reliably guarantee the quality without unnecessarily increasing the number of measurement points and reducing productivity.
本発明は、上記を鑑みなされたものであって、少ない測定点で品質を確実に保証できるガラス母材の屈折率分布の検査方法を提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a method for inspecting the refractive index distribution of a glass base material that can reliably guarantee the quality with a small number of measurement points.
上記課題を解決することのできる本発明に係るガラス母材の屈折率分布の検査方法は、ガラス微粒子堆積体を加熱によって透明ガラス化してガラス母材とする透明ガラス化工程を行った後、前記透明ガラス化工程におけるガラス微粒子堆積体の中心軸方向の温度分布の極大点および極小点に相当する位置で前記ガラス化後ガラス母材の屈折率分布を測定することを特徴とする。 The method for inspecting the refractive index distribution of the glass base material according to the present invention, which can solve the above-mentioned problems, after performing the transparent vitrification step of converting the glass fine particle deposit into a transparent glass by heating to form a glass base material, The refractive index distribution of the glass base material after vitrification is measured at a position corresponding to the maximum point and the minimum point of the temperature distribution in the central axis direction of the glass fine particle deposit in the transparent vitrification step.
ガラス母材の屈折率分布は、特に、製造時の熱履歴による影響を受け易く、透明ガラス化工程時の加熱炉におけるガラス微粒子堆積体の中心軸方向(以下、「長手方向」ともいう)の温度分布の違いにより長手方向に屈折率分布が変動する。本発明者は、透明ガラス化工程におけるガラス微粒子堆積体長手方向の温度分布の極大点および極小点での屈折率分布において設定値とのずれ量が最大となることを見出し、上記本発明に至ったものである。
即ち、製造されるガラス母材において、透明ガラス化工程時におけるガラス微粒子堆積体長手方向の温度分布の極大点および極小点での屈折率分布を測定すれば、むやみに測定点を増やすことなく、少ない測定点で確実に品質を保証することが可能となる。
The refractive index distribution of the glass base material is particularly susceptible to the thermal history during production, and is in the direction of the central axis (hereinafter also referred to as “longitudinal direction”) of the glass particulate deposit in the heating furnace during the transparent vitrification process. The refractive index distribution varies in the longitudinal direction due to the difference in temperature distribution. The inventor has found that the amount of deviation from the set value is maximized in the refractive index distribution at the maximum point and the minimum point of the temperature distribution in the longitudinal direction of the glass fine particle deposit in the transparent vitrification step, leading to the present invention. It is a thing.
That is, in the manufactured glass base material, if the refractive index distribution at the maximum point and the minimum point of the temperature distribution in the longitudinal direction of the glass fine particle deposit during the transparent vitrification step is measured, without increasing the measurement points unnecessarily, It becomes possible to guarantee the quality reliably with a small number of measurement points.
本発明に係るガラス母材の屈折率分布の検査方法は、光ファイバの製造に用いられるガラス母材であって、中心部のコアガラス(コアガラスはコア部とクラッド部の一部を有してなる)の周囲に多孔質のクラッド部を合成して透明ガラス化したコアクラッドガラスや、その製造過程で製造されるコアガラスの検査等に適用できる。また、光ファイバ用ガラス母材に限らず、屈折率の安定性が要求されるガラス母材の検査にも有効である。 The method for inspecting the refractive index distribution of a glass base material according to the present invention is a glass base material used for manufacturing an optical fiber, which is a core glass in a central part (the core glass has a core part and a part of a clad part. It can be applied to inspection of core clad glass obtained by synthesizing a porous clad portion around a transparent glass, or core glass produced in the production process. Moreover, it is effective not only for inspection of glass base materials for optical fibers but also for inspection of glass base materials that require stability of the refractive index.
更に、本発明に係るガラス母材の屈折率分布の検査方法は、前記透明ガラス化工程が、複数の加熱ゾーンを有する加熱炉でガラス微粒子堆積体を加熱する工程である場合に好適である。即ち、前記透明ガラス化工程におけるガラス母材長手方向の温度分布の極大点および極小点が、それぞれ、前記複数の加熱ゾーンの各加熱ゾーンの中心部および端部に相当するため、測定点である極大点および極小点を特定し易く、屈折率分布の検査がより効率良く可能となる。 Furthermore, the method for inspecting the refractive index distribution of the glass base material according to the present invention is suitable when the transparent vitrification step is a step of heating the glass particulate deposit in a heating furnace having a plurality of heating zones. That is, the maximum point and the minimum point of the temperature distribution in the longitudinal direction of the glass base material in the transparent vitrification step correspond to the center part and the end part of each heating zone of the plurality of heating zones, respectively, and are measurement points. The maximum point and the minimum point can be easily specified, and the refractive index distribution can be inspected more efficiently.
本発明によれば、少ない測定点で品質を確実に保証できるガラス母材の屈折率分布の検査方法を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the inspection method of the refractive index distribution of the glass base material which can ensure quality reliably with few measurement points can be provided.
以下、本発明に係るガラス母材の屈折率分布の検査方法の実施形態の例について図面を参照して説明する。 Hereinafter, an example of an embodiment of an inspection method for a refractive index distribution of a glass base material according to the present invention will be described with reference to the drawings.
以下、透明ガラス化工程について詳細に説明する。
図1は、透明ガラス化工程において、ガラス微粒子堆積体の脱水、焼結を行う加熱炉の概略断面図である。
図1に示すように、加熱炉10は炉体11によって囲われた円筒状の炉心管12を備えている。炉心管12の周囲には、長手方向に配設された複数段の加熱ヒータ13a、13b、13c(総称して加熱ヒータ13ともいう)が設けられている。
本発明においては、個々の加熱ヒータ13によって加熱される領域を、それぞれ「加熱ゾーン」とする。
また、本実施態様では、温度分布の極大点・極小点を「加熱ヒータの温度」から特定するが、温度分布の極大点・極小点は「炉心管内の雰囲気温度」「母材表面温度」のいずれからも特定することができる。
尚、本実施の態様では加熱ヒータを3段としているが、これに限定されるものではない。
Hereinafter, the transparent vitrification step will be described in detail.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a heating furnace that performs dehydration and sintering of a glass particulate deposit in a transparent vitrification step.
As shown in FIG. 1, the
In the present invention, regions heated by the individual heaters 13 are referred to as “heating zones”.
In this embodiment, the maximum point / minimum point of the temperature distribution is specified from the “heater temperature”, and the maximum point / minimum point of the temperature distribution is the “atmosphere temperature in the core tube” or “base material surface temperature”. It can be specified from either.
In this embodiment, the heater is provided in three stages, but the present invention is not limited to this.
ヒータ13は、炉心管12の均熱性を持たせるため、または所望の温度分布を持たせるために、短いものを直列に配設しており、互いに隙間をあけて配置されている。
これら複数段に分けられたヒータ13は、制御装置21に接続されており、この制御装置21によって個別に加熱制御が可能とされている。つまり、制御装置21によって、各ヒータ13単位でオン・オフ及び加熱電力の調整を行なうことが可能とされている。ヒータ13は、例えば、抵抗加熱型のヒータであり、帯状の抵抗材を炉心管12の外周を囲う環状にした形状のものが用いられる。
The heaters 13 are shortly arranged in series in order to provide the thermal uniformity of the
The heaters 13 divided into a plurality of stages are connected to a
炉心管12の上方には、支持装置14が設けられており、この支持装置14によって炉心管12内に、ガラスロッドG1(コア部とクラッド部の一部を有してなるコアガラス)にガラス微粒子を堆積させたガラス微粒子堆積体Gが吊り下げられる。
この加熱炉10は、炉体11で炉心管12を密封封止した真空または減圧加熱炉であり、炉心管12の内側に所望のガスを適宜供給及び排出することが可能であるとともに、加熱処理で使用されるガスが外部に漏出しないように構成されている。
A
The
炉体11の外周側には、上下方向に間隔をあけて配設された複数の温度測定器22が各ヒータ13に向けて配設されている。これらの温度測定器22は、接触式または非接触式の温度センサであり、それぞれ制御装置21に接続され、この制御装置21に測定結果を送信する。
On the outer peripheral side of the
また、制御装置21は各ヒータ13へ供給する電力を調整する給電調整機能を備えており、各温度測定器22からの測定温度に基づいて、各ヒータ13の温度を独立して制御可能である。
Further, the
次に、上記の加熱炉10によってガラス微粒子堆積体Gを焼結して透明ガラス化し、ガラス母材とする場合について説明する。
まず、ガラスロッドG1の周囲にOVD法等によってガラス微粒子を堆積させて形成したガラス微粒子堆積体Gを、図1に示すように、支持装置14によって炉心管12内に吊り下げて鉛直方向に支持する。
炉心管12の温度は、炉心管12内にガラス微粒子堆積体を挿入した後、ヒータ13a〜13cを一斉にオンして、予熱温度(800℃程度)から脱水温度(1250℃程度)になるように加熱して脱水処理を行なう。この後、各ヒータ13a〜13cは、所定の温度(1550℃程度)になるように順次加熱制御され、透明ガラス化される。
Next, the case where the glass particulate deposit G is sintered into a transparent glass by the
First, a glass particulate deposit G formed by depositing glass particulates around the glass rod G1 by an OVD method or the like is suspended in a
The temperature of the
図1において、L1はガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から上部加熱ヒータ13a中心までの距離である。「有効部」とは製品として使用できる部分であり、製品の状態等により任意で決定される。図1では加熱ヒータ13a上端と有効部上端を同位置とし、加熱ヒータ13c下端と有効部下端とを同位置としている。L2はガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から上部加熱ヒータ13aと中部加熱ヒータ13bの境界までの距離である。L3はガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から中部加熱ヒータ13b中心までの距離である。L4はガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から中部加熱ヒータ13bと下部加熱ヒータ13cの境界までの距離である。L5はガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から上部加熱ヒータ13c中心までの距離である。Lwはガラス微粒子堆積体Gの有効部長(有後部上端から有後部下端までの距離)である。
In Figure 1, L 1 is the distance from the effective top end of the soot preform G to the
本実施態様において、加熱ヒータ13bの加熱ゾーンはL4−L2間であり、加熱ゾーンの中心部はL3の位置、端部はL2およびL4の位置である。
また、加熱ヒータ13aの加熱ゾーンは、加熱ヒータ13aの加熱ゾーン内に基点である有効部上端が存在するため、その加熱ゾーンはL2間に相当し、加熱ゾーンの中心部はL1の位置、端部はL2の位置および有効部上端位置である。同様に、13cの加熱ゾーンはLw−L4間に相当し、加熱ゾーンの中心部はL5の位置、端部はL4の位置および有効部下端位置である。
通常、図1の各加熱ゾーンにおいて、加熱ヒータ13a、13b、13cの中心位置であるL1、L3、L5が加熱炉10内の長手方向の温度分布の極大点に相当する。また、各加熱ゾーンの端部、即ち、加熱ヒータ13a、13b、13cの境界位置(L2、L4)および有効部上端および有効部下端位置が、加熱炉10内の長手方向の温度分布の極小点に相当する。
尚、加熱ヒータ13が一体型の場合には加熱ヒータ13上端位置および加熱ヒータ13下端位置が加熱炉10内の長手方向の温度分布の極小点に相当する。
In the present embodiment, the heating zone of the
The heating zone of the
Usually, in each heating zone of FIG. 1, L 1 , L 3 , and L 5 that are the center positions of the
In the case where the heater 13 is an integrated type, the upper end position of the heater 13 and the lower end position of the heater 13 correspond to the minimum points of the temperature distribution in the longitudinal direction in the
図2は、ガラス微粒子堆積体Gの焼結前後の外観を表す模式図であり、図2(a)はガラス微粒子堆積体G、図2(b)は焼結後の透明ガラス体G2を表す。図2(b)において、lwは透明ガラス体G2の有効部長を表す。 2A and 2B are schematic views showing the appearance of the glass fine particle deposit G before and after sintering. FIG. 2A shows the glass fine particle deposit G, and FIG. 2B shows the sintered transparent glass G2. . In FIG.2 (b), lw represents the effective part length of the transparent glass body G2.
本実施態様では、焼結後の透明ガラス体G2の、透明ガラス化工程における前記加熱ヒータ13a、13b、13cの位置によって決定される長手方向の温度分布の極大点L1、L3、L5、極小点L2、L4、有効部上端近傍、有効部下端近傍に相当する位置で屈折率分布を測定する。
即ち、本実施態様では、有効部上端部近傍、L1×lw/Lw、L2×lw/Lw、L3×lw/Lw、L4×lw/Lw、L5×lw/Lw、有効部下端部近傍を測定すればよい。
In this embodiment, the maximum points L 1 , L 3 , L 5 of the longitudinal temperature distribution determined by the positions of the
That is, in the present embodiment, the vicinity of the effective portion upper end, L 1 × lw / Lw, L 2 × lw / Lw, L 3 × lw / Lw, L 4 × lw / Lw, L 5 × lw / Lw, effective portion What is necessary is just to measure the lower end vicinity.
屈折率分布は、屈折率分布測定器で測定することができる。図3に、所定の測定点において屈折率分布測定器で測定した屈折率分布の一例を示す。屈折率分布測定器で測定された屈折率分布によって、コア径、クラッド径、コアクラッド外径比が算出される。図3において、20がコア径、21がクラッド外径を示す。 The refractive index distribution can be measured with a refractive index distribution measuring device. FIG. 3 shows an example of a refractive index distribution measured by a refractive index distribution measuring device at a predetermined measurement point. The core diameter, the cladding diameter, and the core cladding outer diameter ratio are calculated from the refractive index distribution measured by the refractive index distribution measuring device. In FIG. 3, 20 is a core diameter and 21 is a clad outer diameter.
本実施態様では、上記のコアクラッド外径比(コア径/クラッド外径)の測定値と、コアクラッド外径比の設計値との比(コアクラッド外径比の測定値/コアクラッド外径比の設計値)を算出して、製造されたガラス母材と設計値とのずれ量を検査する。係る検査結果に基いて次回のガラス母材の製造時に透明ガラス化工程の温度条件を調整し、より設計値に近いコアクラッド外径比のガラス母材の製造が可能となる。上記の検査方法を用いることで、製造されたガラス母材の特性を効率よく検査でき、測定点をむやみに増やして生産性を落とすことなく、品質を確実に保証できる。 In this embodiment, the ratio between the measured value of the above-mentioned core cladding outer diameter ratio (core diameter / cladding outer diameter) and the design value of the core cladding outer diameter ratio (measured value of the core cladding outer diameter ratio / core cladding outer diameter). (Design value of the ratio) is calculated, and a deviation amount between the manufactured glass base material and the design value is inspected. Based on the inspection result, the temperature condition of the transparent vitrification process is adjusted at the next production of the glass base material, and the glass base material having a core clad outer diameter ratio closer to the design value can be produced. By using the above inspection method, the characteristics of the manufactured glass base material can be efficiently inspected, and the quality can be reliably guaranteed without increasing the measurement points and reducing the productivity.
以上、本発明に係るガラス母材の屈折率分布の検査方法を、ガラス母材が光ファイバの製造等に用いられるコアクラッドガラスである場合を例に説明したが、本発明はこれに限定されるものではない。
本発明に係るガラス母材の屈折率分布の検査方法は、光ファイバ用ガラス母材製造過程で製造されるコアガラス(ガラスロッドG1)の屈折率分布の検査に使用する場合も上記と同様の方法により実施できる。この検査結果に基き、後のクラッド部の合成の際に、コアガラスに堆積させるガラス微粒子堆積量や、加熱炉10の加熱温度を補正することによって、屈折率分布が一定な光ファイバ用ガラス母材を製造することが可能である。
As described above, the method for inspecting the refractive index distribution of the glass base material according to the present invention has been described by taking as an example the case where the glass base material is a core clad glass used for optical fiber production or the like, but the present invention is not limited thereto. It is not something.
The method for inspecting the refractive index distribution of the glass base material according to the present invention is the same as described above when used for the inspection of the refractive index distribution of the core glass (glass rod G1) manufactured in the process of manufacturing the optical fiber glass base material. It can be implemented by a method. Based on the result of this inspection, by correcting the amount of glass fine particles deposited on the core glass and the heating temperature of the
また、本発明に係るガラス母材の屈折率分布の検査方法は、光ファイバ用ガラス母材に限らず、屈折率の安定性が要求されるその他のガラス母材の検査にも有効である。 Moreover, the method for inspecting the refractive index distribution of the glass base material according to the present invention is not limited to the glass base material for optical fibers, but is also effective for inspection of other glass base materials that require stability of the refractive index.
(実施例1)
図1に示したように、長さ方向に3つの加熱ヒータ13(上から13a、13b、13c)を有する加熱炉10において、中心部のコアガラスの周囲に多孔質のクラッド部を合成したガラス微粒子堆積体Gの脱水・焼結を行った。各ヒータ13の長さは500mmであり、隣り合うヒータ13は50mmずつ離れた構成である。ガラス微粒子堆積体Gの有効部長Lwは1500mmであったが、透明ガラス化後の透明ガラス体G2の有効部長lwは1000mmとなった。この透明ガラス体G2について、ガラス微粒子堆積体Gの段階で加熱炉10のヒータ13中心部、および、ヒータ13の繋ぎ目に相当した部位をLwとlwの関係から算出し、その点において屈折率分布を測定した。表1に屈折率分布の各測定位置を示す。尚、本実施例では、測定点1および測定点7を、それぞれ有効部上端、有効部下端から加熱炉10中心部側にそれぞれ10mmずらした位置とした。
Example 1
As shown in FIG. 1, in a
図4に、透明ガラス体G2有効部上端からの距離におけるコアクラッド外径比のずれ量を示す(×印)。
図4におけるコアクラッド外径比のずれ量は、コアクラッド外径比(コア径/クラッド外径)の測定値と設計値とのずれ(コアクラッド外径比の実際の測定値/コアクラッド外径比の設計値)である。ガラス微粒子堆積体Gのガラス化時における温度分布の極大点は1400℃、極小点は1350℃であった。
FIG. 4 shows the shift amount of the core clad outer diameter ratio at a distance from the upper end of the effective portion of the transparent glass body G2 (x mark).
The deviation of the core clad outer diameter ratio in FIG. 4 is the difference between the measured value of the core clad outer diameter ratio (core diameter / cladding outer diameter) and the design value (actual measured value of the core clad outer diameter ratio / core clad outer). Design value of diameter ratio). The maximum point of the temperature distribution during vitrification of the glass particulate deposit G was 1400 ° C., and the minimum point was 1350 ° C.
(比較例1)
上記実施例1に記載した透明ガラス体G2について、有効部の長さ方向に100mm間隔で屈折率分布を測定したところ、図4の○印に示す結果となった。表1に屈折率分布の各測定位置を示す。
(Comparative Example 1)
For the transparent glass body G2 described in Example 1 above, the refractive index distribution was measured at 100 mm intervals in the length direction of the effective portion, and the results indicated by the circles in FIG. 4 were obtained. Table 1 shows each measurement position of the refractive index distribution.
図4に示す通り、上記実施例1で測定した箇所が屈折率分布の変化点となっており、本比較例の測定では、測定点が11点と多いにも関わらず、屈折率分布の変化点(極大・極小値)を捉えられない結果となった。 As shown in FIG. 4, the location measured in Example 1 is a change point of the refractive index distribution. In the measurement of this comparative example, the change in the refractive index distribution was performed although there were as many as 11 measurement points. The result was that the points (maximum and minimum values) could not be captured.
(実施例2)
予め加熱炉10内の温度分布を測定しておき、ガラス微粒子堆積体Gの段階で加熱炉10内の温度分布の極大点、極小点に相当した部位に相当する透明ガラス体G2の長手位置で屈折率分布を測定しても、実施例1と同様の結果を得た。
(Example 2)
The temperature distribution in the
10 加熱炉、11 炉体、12 炉心管、13a、13b、13c 加熱ヒータ、G1 ガラスロッド、G ガラス微粒子堆積体、21 制御装置、14 支持装置、22 温度測定器、L1 ガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から上部加熱ヒータ13a中心までの距離、L2 ガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から上部加熱ヒータ13aと中部加熱ヒータ13bの境界までの距離、L3 ガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から中部加熱ヒータ13b中心までの距離、L4 ガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から中部加熱ヒータ13bと下部加熱ヒータ13cの境界までの距離、L5 ガラス微粒子堆積体Gの有効部上端から上部加熱ヒータ13c中心までの距離、Lw ガラス微粒子堆積体Gの有効部長、lw 透明ガラス体G2の有効部長。
DESCRIPTION OF
Claims (3)
ガラス微粒子堆積体を加熱によって透明ガラス化してガラス母材とする透明ガラス化工程を行った後、
前記透明ガラス化工程における前記ガラス微粒子堆積体の中心軸方向の温度分布の極大点および極小点に相当する位置で前記透明ガラス化後ガラス母材の屈折率分布を測定することを特徴とする、ガラス母材の屈折率分布の検査方法。 A method for inspecting the refractive index distribution of a glass base material,
After carrying out the transparent vitrification process which turns the glass particulate deposits into a transparent glass by heating to make a glass base material,
The refractive index distribution of the glass base material after the transparent vitrification is measured at a position corresponding to the maximum point and the minimum point of the temperature distribution in the central axis direction of the glass fine particle deposit in the transparent vitrification step, Inspection method of refractive index distribution of glass base material.
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