JP4316573B2 - Degaussing mask medium and perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization method - Google Patents
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Description
本発明は消磁マスク用媒体及び垂直記録媒体磁気転写/消磁方法に関するものであり、特に、垂直磁気記録媒体にサーボ情報を一括して記録する磁気転写方式におけるデータ領域の初期消磁方法のための構成に特徴のある消磁マスク用媒体及び垂直記録媒体磁気転写/消磁方法に関するものである。 The present invention relates to a demagnetization mask medium and a perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization method, and more particularly, to a configuration for an initial demagnetization method of a data area in a magnetic transfer system in which servo information is recorded collectively on a perpendicular magnetic recording medium. The present invention relates to a degaussing mask medium and a perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization method.
近年、磁気記録装置における高記録密度化が進むにつれ、従来のヘッド記録によるサーボ情報記録では、サーボライト時間の増大やサーボ記録精度劣化が懸念されている。 In recent years, as the recording density of magnetic recording devices has increased, there is a concern about the increase in servo write time and the deterioration of servo recording accuracy in servo information recording by conventional head recording.
そこで、あらかじめサーボ情報がパターニングされているマスク媒体を用いて、一括してサーボ情報を記録する磁気転写方式が注目されている。
この磁気転写方式によれば、一括記録のため時間コストを大幅に削減できるとともに、静的な記録であるため高精度なサーボ記録を期待することができる。
Thus, a magnetic transfer system that records servo information in a batch using a mask medium on which servo information has been patterned in advance has attracted attention.
According to this magnetic transfer system, time cost can be greatly reduced because of batch recording, and high-precision servo recording can be expected because of static recording.
一方、磁気記録媒体に関しては、従来の面内記録媒体に代わり垂直記録化が進んでおり、磁気転写方式も媒体に水平に磁界を印加する方式、垂直に印加する方式が存在する。 On the other hand, with respect to the magnetic recording medium, perpendicular recording is progressing in place of the conventional in-plane recording medium, and there are a magnetic transfer system in which a magnetic field is applied horizontally to the medium and a perpendicular application system.
垂直に磁界を印加する転写方式は、初期化磁界を媒体面垂直方向に印加後、マスク媒体を密着させ初期化と逆方向に磁界を印加してサーボパターンを転写する方式である。 The transfer method in which a magnetic field is applied vertically is a method in which an initializing magnetic field is applied in a direction perpendicular to the medium surface, and then a mask medium is brought into close contact, and a magnetic field is applied in a direction opposite to the initialization to transfer a servo pattern.
このとき転写部分以外の領域は広範囲に渡り、初期化磁界方向または転写磁界方向に磁化が一様に残留する。言い換えるとサーボ領域は所望のサーボパターンが転写されるが、データ領域はDC消磁(DCイレーズ)された状態になる。 At this time, the region other than the transfer portion covers a wide range, and the magnetization remains uniformly in the initialization magnetic field direction or the transfer magnetic field direction. In other words, a desired servo pattern is transferred to the servo area, but the data area is DC demagnetized (DC erased).
このDCイレーズ部が広範囲に集中して存在すると、その部分から垂直方向に強力な磁場が発生し、一般に垂直記録磁気ディスク装置において、ヘッドでデータを記録する時にその磁場の悪影響を受け、記録精度が劣化することが課題となっている。 If this DC erase portion is concentrated in a wide area, a strong magnetic field is generated from the portion in the vertical direction. Generally, in a perpendicular recording magnetic disk apparatus, when recording data with a head, the magnetic field is adversely affected. It has become a problem to deteriorate.
そのため、データ部は一方向の磁場が集中しないよう、ACイレーズされていることが望ましい。
例えば、従来のヘッド記録によるサーボ情報記録方式においては、垂直記録媒体において、サーボパターン転写部の間のデータ領域に対してライトヘッドを用いてACイレーズを行っている(例えば、特許文献1参照)。
For example, in a conventional servo information recording method using head recording, AC erase is performed using a write head on a data area between servo pattern transfer portions in a vertical recording medium (see, for example, Patent Document 1). .
しかし、垂直磁気記録媒体が殆ど市販されていない現状では、市販されている垂直磁気記録装置に搭載されている垂直磁気記録媒体の消磁方法が不明であり、また、文献上も磁気転写方式において、適当な消磁方法が提案されていないという問題がある。 However, in the present situation where almost no perpendicular magnetic recording medium is commercially available, the demagnetization method of the perpendicular magnetic recording medium mounted on the commercially available perpendicular magnetic recording apparatus is unknown, and in the magnetic transfer system also in the literature, There is a problem that an appropriate demagnetization method has not been proposed.
仮に、磁気転写方式においてもライトヘッドを用いてサーボパターン転写部の間のデータ領域に対してACイレーズを行った場合には、磁気転写方式の特徴である時間コストの大幅な削減という特長が失われてしまうという問題がある。 Even in the magnetic transfer method, if the write erase is used to perform the AC erase on the data area between the servo pattern transfer portions, the feature of the magnetic transfer method, which is a significant reduction in time cost, is lost. There is a problem of being broken.
したがって、本発明は、サーボパターン転写部の間のデータ領域に対する消磁を簡単な構成により一括して行うことを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to collectively perform degaussing on a data area between servo pattern transfer portions with a simple configuration.
図1は本発明の原理的構成図であり、ここで図1を参照して、本発明における課題を解決するための手段を説明する。
図1参照
上記課題を解決するために、本発明は、消磁マスク用媒体3において、基材4が消磁に使用するレーザ光に対して透明な透過性部材からなり、且つ、垂直記録媒体1のサーボパターン転写部2を完全に覆うマスク部5が磁性膜からなるとともに、前記垂直記録媒体1のユーザデータ部には磁性膜が存在しないことを特徴とする。
FIG. 1 is a diagram illustrating the basic configuration of the present invention. Means for solving the problems in the present invention will be described with reference to FIG.
In order to solve the above-described problem, the present invention provides a
このように、垂直記録媒体1のサーボパターン転写部2を完全に覆うマスク部5を磁性膜から構成することによって、サーボパターン転写部2を磁気的にシールドすることができ、従って、磁場を一括して印加してデータ部を消磁してもサーボパターン転写部2の転写データが消磁されることはないので、消磁工程を短時間で低コストで行うことが可能になる。
In this way, by configuring the
また、この場合の消磁マスク用媒体3を構成する基材4として透過性部材を用いているので、後述のレーザ照射による消磁と磁場印加による消磁を合わせて行うことができ、より、AC消磁に近い状態を実現することができる。
Further, since a transparent member is used as the base material 4 constituting the
また、サーボパターン転写部2を完全に覆うマスク部5は、サーボパターンデータから自動生成されたマスクデータを用いて作成することによりマスク部5の作成工程が簡単になり、それによって、サーボパターン転写部2の輪郭部の内部を塗り潰すベタパターンが構成される。
Further, the
この場合、マスク部5は、マスク部5の両端に各々サーボパターン転写部2の輪郭部の最短幅の10%以下のマージン部を有するように構成しても良く、それによって、サーボパターン転写部2のサーボ情報がマスク合わせ誤差により誤って消去されることがない。
In this case, the
また、垂直記録媒体磁気転写/消磁方法としては、予めサーボ情報がパターニングされているマスク媒体を用いて、垂直記録媒体1に密着させた状態で磁界印加することで垂直記録媒体1の媒体面垂直方向にサーボパターンを転写した後、上述の消磁マスク用媒体3を用い、消磁マスク用媒体3のマスク部5と転写パターン部との位置合わせを行なって密着または近接させた状態で、垂直記録媒体1の媒体水平方向に磁界を印加するとともに媒体面垂直方向に前記消磁マスク用媒体側からレーザ光を照射し、垂直記録媒体1におけるユーザデータ部における垂直上下方向の磁化を消磁すれば良い。
Further, as a perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization method, a perpendicular magnetic surface of the perpendicular recording medium 1 is perpendicularly applied by applying a magnetic field in a state of being in close contact with the perpendicular recording medium 1 using a mask medium on which servo information is previously patterned. After the servo pattern is transferred in the direction, the perpendicular recording medium is used in the state where the
この場合、サーボ情報を転写する前に、垂直記録媒体1の磁化方向がサーボパターン転写部2の磁化方向と反対になるように初期化することが望ましく、それによって、サーボ情報の磁気的なコントラストを向上することができる。
In this case, it is desirable that initialization is performed so that the magnetization direction of the perpendicular recording medium 1 is opposite to the magnetization direction of the servo
この場合、磁界印加とレーザ照射は同時に行っても良いし、或いは、一方を先に行い他方を次いで行う逐次方式で行っても良い。 In this case, the magnetic field application and the laser irradiation may be performed simultaneously, or may be performed by a sequential method in which one is performed first and the other is performed subsequently.
上述の垂直記録媒体磁気転写/消磁方法により、サーボパターンが記録されるとともに、データ部の垂直上下方向の磁化が消磁された垂直記録媒体1を構成することによって、安価な垂直記録媒体1を提供することができる。 By providing the perpendicular recording medium 1 in which the servo pattern is recorded by the above-described perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization method and the vertical and vertical magnetizations of the data portion are demagnetized, an inexpensive perpendicular recording medium 1 is provided. can do.
また、このような垂直記録媒体1を搭載することによって、高記録密度の磁気ディスク装置を安価で提供することができる。 In addition, by mounting such a perpendicular recording medium 1, a magnetic disk device having a high recording density can be provided at a low cost.
本発明によれば、サーボパターン転写部間のデータ領域の消磁を一括して行うことができるので、磁気転写方式の利点を十分生かしたサーボパターン転写が可能になり、それによって、高密度記録が可能な垂直記録媒体或いはそれを搭載した磁気ディスク装置を安価に提供することができる。 According to the present invention, since the degaussing of the data area between the servo pattern transfer portions can be performed at once, the servo pattern transfer that makes full use of the advantages of the magnetic transfer method becomes possible, thereby enabling high density recording. A possible perpendicular recording medium or a magnetic disk device equipped with the perpendicular recording medium can be provided at low cost.
本発明は、予めサーボ情報がパターニングされているマスク媒体を用いて、垂直記録媒体1に密着させた状態で磁界印加することで垂直記録媒体の媒体面垂直方向にサーボパターンを転写した後、サーボパターン転写部を完全に覆うマスク部が磁性膜からなる消磁マスク用媒体を用い、消磁マスク用媒体のマスク部と転写パターン部との位置合わせを行なって密着または近接させた状態で、垂直記録媒体の媒体水平方向に磁界を印加するとともに媒体面垂直方向に前記消磁マスク用媒体側からレーザ光を照射し、垂直記録媒体におけるユーザデータ部における垂直上下方向の磁化を消磁するものである。 In the present invention, a servo pattern is transferred in the direction perpendicular to the medium surface of the perpendicular recording medium by applying a magnetic field in a state of being in close contact with the perpendicular recording medium 1 using a mask medium in which servo information is patterned in advance, and then the servo is transferred. Using a demagnetization mask medium whose mask part completely covers the pattern transfer part is made of a magnetic film, aligning the mask part of the demagnetization mask medium and the transfer pattern part and bringing them into close contact or in close proximity with each other, the perpendicular recording medium A magnetic field is applied in the medium horizontal direction and laser light is irradiated from the demagnetization mask medium side in the medium surface vertical direction to demagnetize the vertical vertical magnetization in the user data portion of the perpendicular recording medium.
この場合、サーボ情報を転写する前に、垂直記録媒体の磁化方向がサーボパターン転写部2の磁化方向と反対になるように初期化することが望ましい。
In this case, it is desirable that initialization is performed so that the magnetization direction of the perpendicular recording medium is opposite to the magnetization direction of the servo
また、サーボパターン転写部を完全に覆うマスク部は、サーボパターンデータから自動生成されたマスクデータを用いて作成することが好ましく、このように作成したサーボパターン転写部の輪郭部の内部を塗り潰すベタパターン、特に、マスク部の両端に各々サーボパターン転写部の輪郭部の最短幅の10%以下のマージン部を有するように構成したベタパターンを用いる。 The mask part that completely covers the servo pattern transfer part is preferably created using mask data automatically generated from the servo pattern data, and the inside of the contour part of the servo pattern transfer part thus created is filled. A solid pattern, in particular, a solid pattern configured to have a margin portion of 10% or less of the shortest width of the contour portion of the servo pattern transfer portion at both ends of the mask portion is used.
ここで、図2及び図6を参照して、本発明の前提となる参考例1の垂直記録媒体磁気転写/消磁方法を説明する。
図2参照
図2は、サーボ記録用マスク媒体の構成説明図であり、上図は概略的平面図であり、下図は概略的要部断面図である。
このサーボ記録用マスク媒体10は、シリコン基板11にレジストパターン(図示を省略)を利用してサーボパターン12を形成するための深さが数100nmの溝13を形成したのち、高透磁率の磁性体膜、例えば、CoFe膜14をスパッタして堆積したのち、不要部分をリフトオフにより除去して、溝13にCoFe膜14を埋め込んで形成したものである。
Here, with reference to FIG. 2 and FIG. 6, the perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization method of Reference Example 1 , which is a premise of the present invention, will be described.
FIG. 2 is an explanatory diagram of the configuration of the servo recording mask medium, in which the upper diagram is a schematic plan view and the lower diagram is a schematic sectional view of the main part.
In this servo
このサーボパターン12はサーボセクタに対応する弧を連ねて描くように配置されており、各弧は微細なサーボデータパターン15から構成されており、予め作成したサーボデータを反転したデータパターンをレジスト上に露光してレジストパターンが形成される。
The
図3参照
図3は、サーボ部マスク用媒体の構成説明図であり、上図は概略的平面図であり、下図は概略的要部断面図である。
このサーボ部マスク用媒体20は、シリコン基板21にレジストパターン(図示を省略)を利用してサーボパターン12をマスクする位置に深さが数100nmの溝23を形成したのち、高透磁率の磁性体膜、例えば、CoFe膜24をスパッタして堆積したのち、不要部分をリフトオフにより除去して、溝23にCoFe膜24を埋め込んでマスクパターン22を形成したものである。
FIG. 3 is an explanatory diagram of the configuration of the servo unit mask medium. The upper diagram is a schematic plan view, and the lower diagram is a schematic sectional view of the main part.
In the servo
この場合のCoFe膜24の厚さは磁気シールド効果のためには厚ければ厚いほうが良いが、厚すぎると表面の平坦性が失われて、垂直磁気記録媒体に密着させることが困難になるので、これらのバランスにより消磁条件が最適化される深さとする。
In this case, the thickness of the CoFe
このマスクパターン22は、サーボデータの外輪郭に沿うマスクデータパターンから構成されるものであり、必要に応じてマスク領域25の両脇に各々マスク領域25の幅の10%以下のマージン領域26を設ける。
The
即ち、サーボ部ではパターン密集度が高く、データ部では基本的にゼロであるので、この特徴を利用して、サーボパターン部の開始位置および終了位置をサーチすることにより全描画データ上でマスクすべき領域(弧状の帯範囲)自動認識し、マスクデータを自動で生成すれば良い。 That is, since the pattern density is high in the servo part and is basically zero in the data part, this feature is used to mask all the drawing data by searching the start position and end position of the servo pattern part. It is only necessary to automatically recognize the power region (arc-shaped band range) and automatically generate mask data.
次に、上述のサーボ記録用マスク媒体及びサーボ部マスク用媒体を用いた垂直記録媒体磁気転写/消磁工程を説明する。
図4参照
まず、スピンドルモータ31に固定した垂直磁気記録媒体40に対して、垂直磁気記録媒体40の面に垂直方向の磁界を印加するための電磁石32,33を設けて、垂直磁気記録媒体40の磁気記録層41の保磁力Hcの2倍以上の磁界を印加して磁気記録層41を垂直方向(図においては上向)に初期化する。
Next, a perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization process using the above-described servo recording mask medium and servo section mask medium will be described.
4 First,
図5参照
次いで、磁気記録層41の初期化面に上述のサーボ記録用マスク媒体10のCoFe膜24を設けた側が接するように密着させたのち、電磁石32,33に流す電流を反転させて初期化方向とは反対方向の磁界を印加して磁気記録層41にサーボパターン12を転写してサーボパターン書込領域42を形成する。
この場合の磁界強度は、例えば、磁気記録層41の保磁力Hc と同じにする。
Next, after the
In this case, the magnetic field strength is set to be the same as the coercive force Hc of the
図6参照
次いで、磁気記録層41のサーボパターン書込領域42に対してサーボ部マスク用媒体20に設けたマスクパターン22がサーボパターン書込領域42を完全に覆うように位置合わせして密着させたのち、垂直磁気記録媒体を低速度で回転させながら電磁石34を用いて媒体面水平方向に磁界を印加してデータ部43の磁界をACイレーズに近いランダムな状態として消磁を行う。
Next, the
この場合の磁界強度は、例えば、磁気記録層41の保磁力Hc の1〜2倍とする。
なお、この場合の位置合わせは、磁気記録層41とサーボ部マスク用媒体20との双方に位置合わせ用マークを設けておき、光学的に確認しながら位置合わせを行う。
The magnetic field strength in this case is, for example, 1 to 2 times the coercive force Hc of the
The alignment in this case is performed by providing alignment marks on both the
この消磁工程においては、サーボパターン書込領域42はサーボパターン書込領域42に密着するマスクパターン22によって磁気的にシールドされるので、サーボパターン書込領域42の情報が消磁されることはない。
In this demagnetization process, the servo
なお、図においては、図示の都合上、電磁石34を一本のサーボパターン書込領域42の一部を覆う大きさにしているが、全体を覆う大きさにしても良いし、或いは、小さな電磁石34を垂直磁気記録媒体40の放射方向に移動させながら消磁しても良い。
In the figure, for the sake of illustration, the
このように、本発明の参考例1においては、マスクパターン22を有するサーボ部マスク用媒体20を用いて一括消磁しているので、従来のドライブ磁気ヘッドにてデータ部を消磁する方法に比べ、転写工程の簡潔な延長で済み、時間的コスト削減が可能になる。
Thus, in the reference example 1 of the present invention, since the demagnetization is performed collectively using the servo unit mask medium 20 having the
次に、図7及び図8を参照して、本発明の前提となる参考例2の垂直記録媒体磁気転写/消磁方法を説明する。
図7参照
図7は、参考例2に用いるサーボ部マスク用媒体の構成説明図であり、上図は概略的平面図であり、下図は概略的要部断面図である。
このサーボ部マスク用媒体50は、透明ガラス基板51にフォトレジストを塗布し、予めサーボパターンから自動的に生成したサーボデータの外輪郭に沿うデータパターンを露光・現像して遮光性のマスクパターン52としたものであり、必要に応じてマスク領域53の両脇に各々マスク領域53の幅の10%以下のマージン領域54を設ける。
Next, a perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization method according to Reference Example 2 , which is a premise of the present invention, will be described with reference to FIGS.
FIG. 7 is an explanatory diagram of the configuration of the servo unit mask medium used in Reference Example 2. The upper diagram is a schematic plan view, and the lower diagram is a schematic sectional view of an essential part.
The servo unit mask medium 50 is formed by applying a photoresist to a
次に、上述のサーボ記録用マスク媒体及びサーボ部マスク用媒体を用いた垂直記録媒体磁気転写/消磁工程を説明する。
まず、上述の参考例1と全く同様に、スピンドルモータ31に固定した垂直磁気記録媒体40に対して、垂直磁気記録媒体40の面に垂直方向の磁界を印加するための電磁石を設けて、垂直磁気記録媒体40の磁気記録層41の保磁力Hcの2倍以上の磁界を印加して磁気記録層41を垂直方向に初期化する。
Next, a perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization process using the above-described servo recording mask medium and servo section mask medium will be described.
First, in exactly the same manner as in Reference Example 1 described above, an electromagnet for applying a perpendicular magnetic field to the surface of the perpendicular
次いで、磁気記録層41の初期化面に上述のサーボ記録用マスク媒体のCoFe膜を設けた側が接するように密着させたのち、電磁石に流す電流を反転させて初期化方向とは反対方向の磁界を印加して磁気記録層41にサーボパターンを転写してサーボパターン書込領域42を形成する。
この場合の磁界強度は、例えば、磁気記録層41の保磁力Hcと同じにする。
Next, after the
Magnetic field strength in this case is, for example, be the same as the coercive force H c of the
図8参照
次いで、磁気記録層41のサーボパターン書込領域42に対してサーボ部マスク用媒体50に設けたマスクパターン52がサーボパターン書込領域42を完全に覆うように位置合わせしたのち、垂直磁気記録媒体を低速度で回転させながらレーザ光35を照射してデータ部43の磁界をACイレーズに近いランダムな状態として消磁を行う。
なお、この場合の位置合わせは、磁気記録層41とサーボ部マスク用媒体20との双方に位置合わせ用マークを設けておき、光学的に確認しながら位置合わせを行う。
Next, the
The alignment in this case is performed by providing alignment marks on both the
この消磁工程においては、パルスレーザを用いて85mJ/cm2 以上のレーザパワーを照射する。
使用するレーザは、YAGレーザの第2高調波、第3高調波、或いは、エキシマレーザ、Arレーザ、ルビーレーザ等の各種のレーザを用いることができる。
In this demagnetization process, a laser power of 85 mJ / cm 2 or more is irradiated using a pulse laser.
As the laser to be used, the second harmonic, the third harmonic of the YAG laser, or various lasers such as an excimer laser, an Ar laser, and a ruby laser can be used.
この消磁工程においては、マスクパターン52で覆われているサーボパターン書込領域42はレーザ光35が遮光されるため、先に転写したサーボパターンはそのまま保持される。
一方遮光部が存在しないデータ部43にはレーザ光35が照射されるため、その部分に熱が印加され、磁気記録層41を構成する磁性膜がキュリー点に達することにより、ACイレーズに近い媒体磁化状態になる。
In this demagnetization process, the servo
On the other hand, since the
以上を前提として、次に、図9及び図10を参照して、本発明の実施例1の垂直記録媒体磁気転写/消磁方法を説明する。
図9参照
図9は、実施例1に用いるサーボ部マスク用媒体の構成説明図であり、上図は概略的平面図であり、下図は概略的要部断面図である。
このサーボ部マスク用媒体60は、透明ガラス基板61に予めサーボパターンから自動的に生成したサーボデータの外輪郭に沿うデータパターンを反転させたパターンを露光・現像してレジストパターン(図示を省略)とし、このレジストパターンを利用してマスクパターン62を形成するための深さが数100nmの溝63を形成したのち、高透磁率の磁性体膜、例えば、CoFe膜64をスパッタして堆積したのち、不要部分をリフトオフにより除去して、溝63にCoFe膜64を埋め込んで形成したものである。
なお、この場合も、必要に応じてマスク領域65の両脇に各々マスク領域65の幅の10%以下のマージン領域66を設ける。
Based on the above, the perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization method according to the first embodiment of the present invention will now be described with reference to FIGS.
9. FIG. 9 is an explanatory diagram of the configuration of the servo unit mask medium used in Example 1. The upper diagram is a schematic plan view, and the lower diagram is a schematic sectional view of the main part.
The servo unit mask medium 60 is a resist pattern (not shown) by exposing and developing a pattern obtained by inverting the data pattern along the outer contour of the servo data automatically generated from the servo pattern in advance on the
In this case as well,
次に、上述のサーボ記録用マスク媒体及びサーボ部マスク用媒体を用いた垂直記録媒体磁気転写/消磁工程を説明する。
まず、上述の参考例1と全く同様に、スピンドルモータ31に固定した垂直磁気記録媒体40に対して、垂直磁気記録媒体40の面に垂直方向の磁界を印加するための電磁石を設けて、垂直磁気記録媒体40の磁気記録層41の保磁力Hcの2倍以上の磁界を印加して磁気記録層41を垂直方向に初期化する。
Next, a perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization process using the above-described servo recording mask medium and servo section mask medium will be described.
First, in exactly the same manner as in Reference Example 1 described above, an electromagnet for applying a perpendicular magnetic field to the surface of the perpendicular
次いで、磁気記録層41の初期化面に上述のサーボ記録用マスク媒体のCoFe膜を設けた側が接するように密着させたのち、電磁石に流す電流を反転させて初期化方向とは反対方向の磁界を印加して磁気記録層41にサーボパターンを転写してサーボパターン書込領域42を形成する。
この場合の磁界強度は、例えば、磁気記録層41の保磁力Hc と同じにする。
Next, after the
In this case, the magnetic field strength is set to be the same as the coercive force Hc of the
図10参照
次いで、磁気記録層41のサーボパターン書込領域42に対してサーボ部マスク用媒体60に設けたマスクパターン62がサーボパターン書込領域42を完全に覆うように位置合わせして密着させたのち、垂直磁気記録媒体を低速度で回転させながら電磁石34を用いて媒体面水平方向に磁界を印加するとともに、レーザ光35を照射してデータ部43の磁界をACイレーズに近いランダムな状態として消磁を行う。
Next, the
なお、この場合の位置合わせは、磁気記録層41とサーボ部マスク用媒体20との双方に位置合わせ用マークを設けておき、光学的に確認しながら位置合わせを行う。
また、この場合の磁界強度は、例えば、磁気記録層41の保磁力Hcの1〜2倍とするとともに、パルスレーザを用いて85mJ/cm2 以上のレーザパワーを照射する。
The alignment in this case is performed by providing alignment marks on both the
Further, the magnetic field strength in this case is, for example, with a 1 to 2 times the coercive force H c of the
この消磁工程においては、遮光性で且つ磁性膜からなるマスクパターン62で覆われているサーボパターン書込領域42はレーザ光35が遮光されるとともに磁気的にもシールドされているので、先に転写したサーボパターンはそのまま保持される。
一方、遮光部及び磁気シールド部が存在しないデータ部43にはレーザ光35が照射されるとともに、水平方向の磁界が印加されるため、より短時間の消磁工程でACイレーズに近い媒体磁化状態になる。
In this demagnetization process, the servo
On the other hand, since the
次に、図11を参照して、本発明の実施例2の磁気デイスク装置を説明する。
図11参照
図11は、本発明の実施例2の磁気ディスク装置の概念的平面図であり、上記の実施例1乃至実施例3のいずれかの垂直記録媒体磁気転写/消磁方法でサーボパターンが転写された垂直磁気記録媒体40は、スピンドルモータ71の回転軸に取り付けられるとともに、ディスククランプリング72によって固定される。
Next, a magnetic disk device according to a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 11 is a conceptual plan view of the magnetic disk apparatus according to the second embodiment of the present invention. A servo pattern is formed by the perpendicular recording medium magnetic transfer / demagnetization method according to any of the first to third embodiments. The transferred perpendicular
また、ヘッドアーム73の先端部にはサスペンション74を介して磁気センサを備えたスライダー75が取付けられており、垂直磁気記録媒体40の放射方向にシーキング動作を行う。
A
以上、本発明の各実施例を説明してきたが、本発明は各実施例に記載された構成・条件等に限られるものではなく各種の変更が可能であり、例えば、各実施例においてはマスクパターンにマージン領域を設けているが、位置合わせを高精度で行えば、必ずしも必要がないものである。 Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the configurations and conditions described in the embodiments, and various modifications are possible. For example, in each embodiment, a mask is used. Although a margin area is provided in the pattern, it is not always necessary if alignment is performed with high accuracy.
また、上記の各実施例においては、サーボパターンのコントラストを明瞭にするために初期化処理をしているが、この初期化処理は必ずしも必要がないものである。 In each of the above embodiments, the initialization process is performed in order to clarify the contrast of the servo pattern, but this initialization process is not necessarily required.
また、上記の実施例1においては、マスクパターンを磁性膜を埋め込んで形成しているが、参考例2と同様に、リフトオフを利用して基板上に堆積させたものでも良い。 Further, Oite in Example 1 above, although the mask pattern is formed by burying a magnetic film, in the same manner as in Reference Example 2, it may be one deposited on a substrate using a lift-off.
また、上記の実施例1においては、磁界印加とレーザ照射を同時に行っているが、必ずしも同時である必要はなく、先に磁界印加したのちレーザ照射しても良いし、或いは、レーザ照射したのち磁界印加しても良いものである。 In the first embodiment, the magnetic field application and the laser irradiation are performed at the same time. However, the magnetic field application is not necessarily performed at the same time. The laser irradiation may be performed after the magnetic field is applied first, or after the laser irradiation. A magnetic field may be applied.
1 垂直記録媒体
2 サーボパターン転写部
3 消磁マスク用媒体
4 基材
5 マスク部
10 サーボ記録用マスク媒体
11 シリコン基板
12 サーボパターン
13 溝
14 CoFe膜
15 サーボデータパターン
20 サーボ部マスク用媒体
21 シリコン基板
22 マスクパターン
23 溝
24 CoFe膜
25 マスク領域
26 マージン領域
31 スピンドルモータ
32 電磁石
33 電磁石
34 電磁石
35 レーザ光
40 垂直磁気記録媒体
41 磁気記録層
42 サーボパターン書込領域
43 データ部
50 サーボ部マスク用媒体
51 透明ガラス基板
52 マスクパターン
53 マスク領域
54 マージン領域
60 サーボ部マスク用媒体
61 透明ガラス基板
62 マスクパターン
63 溝
64 CoFe膜
65 マスク領域
66 マージン領域
71 スピンドルモータ
72 ディスククランプリング
73 ヘッドアーム
74 サスペンション
75 スライダー
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