JP2002203315A - Magnetic recording method - Google Patents
Magnetic recording methodInfo
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- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 マスター情報担体を用いたプリフォーマット
記録技術では、将来的な高保磁力媒体に対して記録能力
に欠け、また磁気ディスクとマスター情報担体を接触さ
せるため、異物によって磁気ディスクに欠陥を生じさせ
る可能性があり、信頼性に欠ける。
【解決手段】 予め一様の向きに直流消去された磁気記
録媒体1の表面に、情報信号配列に対応するマスクパタ
ーンが非磁性基体5の表面に形成されたフォトマスク4
を非接触状態に対向配置する。そのフォトマスク4を介
して光を照射し、情報信号配列に対応するマスクパター
ンに応じて磁気記録媒体1の表面の光が照射された部分
をその光エネルギーによって局所的に加熱することによ
り、磁気記録媒体1の表面に情報信号配列に対応する記
録磁化パターンを熱磁気記録する。フォトマスク4と磁
気記録媒体1が非接触であるので、信頼性に優れたプリ
フォーマット記録が可能となる。
(57) [Problem] In a preformat recording technique using a master information carrier, the recording capacity of a future high coercive force medium is lacking, and the magnetic disk is brought into contact with the master information carrier by a foreign substance so that the Possibility of causing defects in the disk and lack of reliability. SOLUTION: A photomask 4 in which a mask pattern corresponding to an information signal array is formed on a surface of a non-magnetic substrate 5 on a surface of a magnetic recording medium 1 which has been DC-erased in a uniform direction in advance.
Are arranged to face each other in a non-contact state. By irradiating light through the photomask 4 and locally heating the irradiated portion of the surface of the magnetic recording medium 1 with the light energy according to the mask pattern corresponding to the information signal arrangement, A recording magnetization pattern corresponding to the information signal arrangement is thermomagnetically recorded on the surface of the recording medium 1. Since the photomask 4 and the magnetic recording medium 1 are not in contact, preformat recording with excellent reliability is possible.
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、ディジタル情報信
号を磁気記録媒体上に安価にかつ生産性良く記録するた
めに用いられる磁気記録方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording method used to record digital information signals on a magnetic recording medium at low cost and with good productivity.
【0002】[0002]
【従来の技術】現在、磁気記録再生装置は、小型でかつ
大容量を実現するために、高記録密度化の傾向にある。
代表的な磁気記録再生装置であるハードディスクドライ
ブの分野においては、すでに面記録密度20Gbit/
in2を超える装置が商品化されており、数年後には、
50Gbit/in2の実用化が議論されるほどの急激
な技術進歩が認められる。2. Description of the Related Art At present, magnetic recording / reproducing apparatuses tend to have a high recording density in order to realize a small size and a large capacity.
In the field of hard disk drives, which are typical magnetic recording / reproducing devices, the areal recording density is already 20 Gbit / s.
More than 2 devices have been commercialized, and a few years later,
The rapid technological progress is so great that practical application of 50 Gbit / in 2 is discussed.
【0003】このような高記録密度化を可能とした技術
的背景としては、磁気記録媒体性能、ヘッド・ディスク
インターフェース性能の向上やパーシャルレスポンス等
の新規な信号処理方式の出現による線記録密度の向上も
大きな要因である。The technical background that has enabled such a high recording density is to improve the magnetic recording medium performance, the head-disk interface performance, and the linear recording density due to the emergence of new signal processing methods such as partial response. Is also a major factor.
【0004】しかしながら、近年では、トラック密度の
増加傾向が線記録密度の増加傾向を大きく上回り、面記
録密度向上のための主たる要因となっている。これは、
従来の誘導型磁気ヘッドに比べてはるかに再生出力性能
に優れた磁気抵抗素子型ヘッドの実用化による寄与であ
る。[0004] In recent years, however, the trend of increasing the track density has greatly exceeded the trend of increasing the linear recording density, which is a major factor for improving the areal recording density. this is,
This is a contribution from the practical use of a magnetoresistive element type head which is much more excellent in reproduction output performance than a conventional induction type magnetic head.
【0005】現在、磁気抵抗素子型ヘッドの実用化によ
り、数μm以下のトラック幅信号をS/N良く再生する
ことが可能となっている。一方、今後さらなるヘッド性
能の向上に伴い、近い将来にはトラックピッチがサブミ
クロン領域に達するものと予想されている。At present, the practical use of a magnetoresistive element type head makes it possible to reproduce a track width signal of several μm or less with good S / N. On the other hand, it is expected that the track pitch will reach the submicron region in the near future with further improvement in head performance in the future.
【0006】さて、ヘッドがこのような狭トラックを正
確に走査し、信号をS/N良く再生するためには、ヘッ
ドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たしてい
る。このようなトラッキングサーボ技術に関しては、現
在のハードディスクドライブでは、ディスクの1周、す
なわち角度にして360度中において、一定の角度間隔
でトラッキング用サーボ信号やアドレス情報信号、クロ
ック信号等が記録された領域を設けている(以下、プリ
フォーマットと称する)。磁気ヘッドは、一定間隔でこ
れらの信号を再生することにより、ヘッドの位置を確
認、修正しながら正確にトラック上を走査することがで
きるのである。For the head to accurately scan such a narrow track and reproduce a signal with good S / N, the tracking servo technique of the head plays an important role. With respect to such tracking servo technology, in a current hard disk drive, a tracking servo signal, an address information signal, a clock signal, and the like are recorded at a constant angular interval in one round of the disk, that is, within 360 degrees in angle. An area is provided (hereinafter, referred to as a preformat). By reproducing these signals at regular intervals, the magnetic head can accurately scan the track while confirming and correcting the position of the head.
【0007】既述のトラッキング用サーボ信号やアドレ
ス情報信号、クロック信号等は、ヘッドが正確にトラッ
ク上を走査するための基準信号となるものであるので、
その記録時には、正確な位置決め精度が要求される。The above-described tracking servo signal, address information signal, clock signal, and the like serve as reference signals for the head to accurately scan the track.
During the recording, accurate positioning accuracy is required.
【0008】現在のハードディスクドライブでは、ディ
スクをドライブに組み込んだ後、専用のサーボ記録装置
を用いて厳密に位置制御された磁気ヘッドによりプリフ
ォーマット記録が行われている。In a current hard disk drive, after a disk is incorporated in the drive, preformat recording is performed by a magnetic head whose position is strictly controlled using a dedicated servo recording device.
【0009】従来より、上記のような専用のサーボ記録
装置を用いた磁気ヘッドによるトラッキングサーボ信号
やアドレス情報信号、クロック信号のプリフォーマット
記録においては、以下のような課題があった。Conventionally, there have been the following problems in preformat recording of a tracking servo signal, an address information signal, and a clock signal by a magnetic head using the above-described dedicated servo recording device.
【0010】まず第一に、磁気ヘッドによる記録は、基
本的にヘッドと磁気記録媒体との相対移動に基づく線記
録である。このため、専用のサーボ記録装置を用いて磁
気ヘッドを厳密に位置制御しながら記録を行う上記の方
法では、プリフォーマット記録に多くの時間を要すると
ともに、専用のサーボ記録装置が相当に高価であること
にも起因して、非常にコスト高となる。First, recording by a magnetic head is basically linear recording based on the relative movement between the head and a magnetic recording medium. Therefore, in the above-described method of performing recording while strictly controlling the position of the magnetic head using a dedicated servo recording device, preformat recording requires a lot of time, and the dedicated servo recording device is considerably expensive. This results in a very high cost.
【0011】第二に、ヘッド・磁気記録媒体間スペーシ
ングや記録ヘッドのポール形状による記録磁界の広がり
のため、プリフォーマット記録されたトラック端部の磁
化遷移が急峻性に欠けるという点がある。現在のトラッ
キングサーボ技術は、ヘッドがトラックを外れて走査し
た際の再生出力の変化量によって、ヘッドの位置検出を
行うものである。したがって、プリフォーマット記録さ
れた信号トラックには、サーボ領域間に記録されたデー
タ情報信号を再生する際のようにヘッドがトラック上を
正確に走査した際のS/Nに優れるだけではなく、ヘッ
ドがトラックを外れて走査した際の再生出力変化量、す
なわちオフトラック特性が急峻であることが要求され
る。Second, the magnetic transition at the end of the track on which preformat recording is performed lacks sharpness due to the expansion of the recording magnetic field due to the spacing between the head and the magnetic recording medium and the pole shape of the recording head. The current tracking servo technology detects the position of the head based on the amount of change in the reproduction output when the head scans off the track. Therefore, the signal track on which the preformat recording is performed is not only excellent in S / N when the head accurately scans the track, such as when reproducing the data information signal recorded between the servo areas, but also in the head. Is required to have a steep reproduction output change amount when scanning off the track, that is, off-track characteristics.
【0012】上記の課題はこの要求に反するものであ
り、今後のサブミクロントラック記録における正確なト
ラッキングサーボ技術の実現を困難なものとしている。The above problem is contrary to this requirement, and makes it difficult to realize an accurate tracking servo technique in future submicron track recording.
【0013】さて、上記のような磁気ヘッドによるプリ
フォーマット記録の課題を解決する手段として本発明者
らは、特開平10−40544号公報開示の明細書にお
いて、基体の表面に情報信号に対応する強磁性薄膜パタ
ーンが形成されたマスター情報担体表面を磁気記録媒体
の表面に接触させることにより、マスター情報担体表面
の強磁性薄膜パターンに対応する磁化パターンを磁気記
録媒体に一括面転写記録することを主旨とするプリフォ
ーマット技術を提案している。As means for solving the problem of preformat recording by a magnetic head as described above, the present inventors have disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544 a specification that corresponds to an information signal on the surface of a base. By bringing the surface of the master information carrier on which the ferromagnetic thin film pattern is formed into contact with the surface of the magnetic recording medium, the magnetization pattern corresponding to the ferromagnetic thin film pattern on the surface of the master information carrier can be batch-transfer-recorded onto the magnetic recording medium. The main pre-formatting technology is proposed.
【0014】特開平10−40544号公報に開示され
た構成においては、一方向に磁化されたマスター情報担
体表面の強磁性薄膜より発生する記録磁界により、磁気
記録媒体にはマスター情報担体の強磁性薄膜パターンに
対応した磁化パターンが転写記録される。すなわち、マ
スター情報担体表面に、トラッキング用サーボ信号やア
ドレス情報信号、クロック信号等に対応する強磁性薄膜
パターンをフォトリソグラフィ技術などによって形成す
ることにより、磁気記録媒体上にはこれらに対応するプ
リフォーマット記録を行うことができる。In the configuration disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544, the magnetic recording medium generates a ferromagnetic thin film on the surface of the master information carrier which is magnetized in one direction, and the magnetic recording medium has a ferromagnetic material. A magnetization pattern corresponding to the thin film pattern is transferred and recorded. That is, a ferromagnetic thin film pattern corresponding to a tracking servo signal, an address information signal, a clock signal, etc. is formed on the surface of the master information carrier by a photolithography technique or the like, and a preformat corresponding to these is formed on a magnetic recording medium. Records can be made.
【0015】従来の磁気ヘッドによる記録が、基本的に
ヘッドと磁気記録媒体との相対移動に基づく動的線記録
であるのに対し、上記構成の特徴は、マスター情報担体
と磁気記録媒体との互いに接触させた状態での相対移動
を伴わない静的な面記録であるということである。この
ような特徴により、特開平10−40544号公報に開
示された技術は、既述のプリフォーマット記録に関わる
課題に対して、下記のような極めて有効な効果を発揮す
ることができる。The recording by the conventional magnetic head is basically a dynamic linear recording based on the relative movement between the head and the magnetic recording medium. That is, it is a static surface record that does not involve relative movement in a state where it is in contact with each other. Due to such features, the technology disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-40544 can exert the following extremely effective effects on the above-described problem relating to preformat recording.
【0016】第一に、面記録(一括面転写記録)である
ため、プリフォーマット記録に要する時間は、従来の磁
気ヘッドによる記録方法に比べて、非常に短い。また、
磁気ヘッドを厳密に位置制御しながら記録を行うための
高価な専用のサーボ記録装置も不要である。したがっ
て、プリフォーマット記録に関わる生産性を大幅に向上
することができるとともに、生産コストに関しても低減
することができる。First, because of surface recording (collective surface transfer recording), the time required for preformat recording is very short as compared with the conventional recording method using a magnetic head. Also,
There is no need for an expensive dedicated servo recording device for performing recording while strictly controlling the position of the magnetic head. Therefore, productivity related to preformat recording can be significantly improved, and production cost can be reduced.
【0017】第二に、マスター情報担体と磁気記録媒体
との相対移動を伴わない静的記録(一括面転写記録)で
あるため、マスター情報担体表面と磁気記録媒体表面を
密着させることにより、記録時の両者間のスペーシング
を最小限にすることができる。さらに、磁気ヘッドによ
る記録のように、記録ヘッドのポール形状による記録磁
界の広がりを生じることもない。このため、プリフォー
マット記録されたトラック端部の磁化遷移は、従来の磁
気ヘッドによる記録に比べて、優れた急峻性を有し、よ
り正確なトラッキングが可能となる。Second, since static recording (collective surface transfer recording) is performed without relative movement between the master information carrier and the magnetic recording medium, recording is performed by bringing the master information carrier surface into close contact with the magnetic recording medium surface. Spacing between the two can be minimized. Furthermore, unlike the recording by the magnetic head, the recording magnetic field does not spread due to the pole shape of the recording head. For this reason, the transition of the magnetization at the end of the track on which the preformat recording is performed has an excellent steepness as compared with the recording by the conventional magnetic head, and more accurate tracking is possible.
【0018】[0018]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
10−40544号公報に開示されたプリフォーマット
技術には、以下のような課題があった。However, the preformatting technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544 has the following problems.
【0019】第1に、特開平10−40544号公報に
開示された技術では、将来的に磁気記録媒体の保磁力が
一定値を超えて大きくなった場合に、十分な記録能力を
発揮できない可能性がある。すなわち、磁気記録媒体は
高密度記録を実現するために急速に高保磁力化していく
傾向にある。本発明者らの検討に依れば、このような高
保磁力媒体に対して十分な記録能力を発揮するために
は、マスター情報担体上の強磁性薄膜において、磁気記
録媒体保磁力の3倍程度以上の飽和磁化を有することが
必要である。例えば、現在、ハードディスクの一般的な
保磁力は300kA/m程度以下であるので、マスター情報担
体上の強磁性薄膜は900kA/m以上の飽和磁化を有するも
のであればよい。First, according to the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-45544, if the coercive force of a magnetic recording medium exceeds a certain value in the future, sufficient recording capability cannot be exhibited. There is. That is, the magnetic recording medium tends to rapidly increase the coercive force in order to realize high-density recording. According to the study of the present inventors, in order to exhibit a sufficient recording capability with respect to such a high coercive force medium, the ferromagnetic thin film on the master information carrier needs to be about three times the coercive force of the magnetic recording medium. It is necessary to have the above saturation magnetization. For example, at present, the general coercive force of a hard disk is about 300 kA / m or less, so that the ferromagnetic thin film on the master information carrier only needs to have a saturation magnetization of 900 kA / m or more.
【0020】ところが、今後、磁気記録媒体のますます
の高保磁力化に対向して、マスター情報担体上の強磁性
薄膜の飽和磁化は無制限に増加できるわけではない。現
存する強磁性材料のうち最も高い飽和磁化を有するもの
は1900kA/m程度である。加えてマスター情報担体用強磁
性薄膜として必要な高透磁率特性や耐食性などを確保す
るために適当な膜組成を選択しなければならないことを
考えると、マスター情報担体用に利用可能な強磁性薄膜
の飽和磁化は、1600kA/m程度が上限であろうと見積もら
れる。In the future, however, the saturation magnetization of the ferromagnetic thin film on the master information carrier cannot be increased indefinitely in response to the increasingly higher coercive force of the magnetic recording medium. Among the existing ferromagnetic materials, those having the highest saturation magnetization are about 1900 kA / m. In addition, considering that it is necessary to select an appropriate film composition to ensure the high magnetic permeability characteristics and corrosion resistance required for the ferromagnetic thin film for the master information carrier, the ferromagnetic thin film that can be used for the master information carrier Is estimated to be about 1600 kA / m as the upper limit.
【0021】従って、磁気記録媒体の保磁力が500kA/m
を超えて大きくなった場合には、特開平10−4054
4号公報に開示された技術を用いては、十分な記録能力
を発揮できないことが予想されるのである。Therefore, the coercive force of the magnetic recording medium is 500 kA / m
In the case where it becomes larger than
It is expected that the technique disclosed in Japanese Patent Application Publication No. 4-4 cannot exert sufficient recording capability.
【0022】第2に特開平10−40544号公報に開
示された技術においては、マスター情報担体表面を磁気
記録媒体表面に接触させることが必要である。Second, in the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544, it is necessary to bring the surface of the master information carrier into contact with the surface of the magnetic recording medium.
【0023】特開平10−40544号公報に開示され
た技術では、マスター情報担体表面と磁気記録媒体表面
を接触させるということが重要なポイントとなってお
り、もし、マスター情報担体表面と磁気記録媒体表面の
両者を接触させずに、一定の間隔を設けて記録を行った
場合には、磁気ヘッドを用いた磁気記録技術の場合と同
様に、スペーシング損失により、信号品質が低下してし
まう。In the technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544, it is important to bring the surface of the master information carrier into contact with the surface of the magnetic recording medium. When recording is performed with a fixed interval provided without contacting both surfaces, signal quality deteriorates due to spacing loss as in the case of magnetic recording technology using a magnetic head.
【0024】さらに、磁気ディスクのような一定の面積
を有する磁気記録媒体全面において、マスター情報担体
との間に一定の微小距離を均一に設けるよう制御するこ
とは、技術的に困難である。Further, it is technically difficult to control so as to uniformly provide a constant minute distance with the master information carrier over the entire surface of a magnetic recording medium having a constant area such as a magnetic disk.
【0025】さて、特開平10−40544号公報に開
示されたプリフォーマット技術では、マスター情報担体
を磁気記録媒体に接触させるので、マスター情報担体上
に何らかの突状欠陥が有った場合や、マスター情報担体
表面と磁気記録媒体表面との間に何らかの異物が介在し
た場合には、磁気記録媒体表面に傷などの欠陥を生じさ
せる恐れがある。磁気記録媒体上にこのような傷を生じ
た場合には、この部分において信号欠陥を生じるという
不具合を生じるばかりでなく、この傷が切っ掛けとなっ
て、磁気ヘッドをもクラッシュさせてしまう恐れがある
ので、もはやドライブに搭載して使用することはできな
い。In the preformat technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544, the master information carrier is brought into contact with the magnetic recording medium. If any foreign matter intervenes between the information carrier surface and the magnetic recording medium surface, there is a possibility that defects such as scratches may occur on the magnetic recording medium surface. When such a scratch is generated on the magnetic recording medium, not only a problem that a signal defect is generated in this portion, but also the scratch may be triggered and the magnetic head may crash. So you can no longer use it mounted on the drive.
【0026】ところで、このような磁気記録媒体の欠陥
検査を行うため、磁気記録媒体をドライブに組み込む前
には、通常、サーティファイ試験というものが行われて
いる。これは、完成した磁気記録媒体全面に磁気ヘッド
を用いて所定の記録再生試験を行うことにより、磁気記
録媒体上の欠陥を検出しようとするものである。By the way, in order to perform such a defect inspection of the magnetic recording medium, a certification test is usually performed before the magnetic recording medium is incorporated in the drive. This is to detect a defect on the magnetic recording medium by performing a predetermined recording / reproducing test using a magnetic head on the entire surface of the completed magnetic recording medium.
【0027】しかしながら、特開平10−40544号
公報に開示されたプリフォーマット技術を用いて信号記
録された磁気記録媒体に対しては、このようなサーティ
ファイ試験を行うことができない。なぜならば、磁気ヘ
ッドを用いた全面記録再生試験によって、折角記録した
プリフォーマット情報信号を消去してしまうことになる
からである。However, such a certify test cannot be performed on a magnetic recording medium on which a signal is recorded using the preformat technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544. This is because the preformatted information signal recorded at an angle is erased by the whole-surface recording / reproducing test using the magnetic head.
【0028】このように、特開平10−40544号公
報に開示されたプリフォーマット技術では、マスター情
報担体との接触によって磁気記録媒体上に欠陥を生じさ
せる可能性が高いという短所を有しながら、この記録操
作によって生じる欠陥を検査する術がないという課題を
有している。As described above, the preformat technique disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544 has a disadvantage that a defect on a magnetic recording medium is likely to be caused by contact with a master information carrier. There is a problem that there is no way to inspect a defect caused by this recording operation.
【0029】以上に述べた第1および第2の課題を解決
するため、特開平10−40544号公報に開示された
プリフォーマット技術と同様の生産性および記録精度を
有し、なおかつ記録能力および磁気記録媒体欠陥の観点
から信頼性に優れた記録技術を早期に確立することが期
待されている。In order to solve the first and second problems described above, the recording medium has the same productivity and recording accuracy as the preformatting technique disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. It is expected that a highly reliable recording technique will be established at an early stage from the viewpoint of recording medium defects.
【0030】本発明は、以上の課題に鑑み、特開平10
−40544号公報に開示されたプリフォーマット技術
と同様の生産性および記録精度を有し、なおかつ、記録
能力および磁気記録媒体欠陥の観点から信頼性に優れた
プリフォーマット記録を実現する手段を提供することを
目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and
A means for realizing preformat recording that has the same productivity and recording accuracy as the preformat technology disclosed in Japanese Patent No. 40544, and is highly reliable from the viewpoint of recording capability and magnetic recording medium defects. The purpose is to:
【0031】[0031]
【課題を解決するための手段】本発明は、次のような手
段を講じることにより、上記の課題を解決するものであ
る。The present invention solves the above-mentioned problems by taking the following measures.
【0032】プリフォーマット情報信号などの情報信号
をプリフォーマット記録によって一括面記録する対象で
ある磁気記録媒体の表面を予め直流消去しておく。プリ
フォーマット記録に用いるフォトマスクは、前記の情報
信号の配列に対応するマスクパターンをもつ。そのフォ
トマスクを磁気記録媒体表面に対して接触もしくは非接
触状態で対向配置する。フォトマスクに関して磁気記録
媒体とは反対側から光を照射する。その照射光は、フォ
トマスクにおけるマスク部では遮られるが、透過部では
透過して磁気記録媒体表面に至り、そこを局所的に加熱
する。その局所的に加熱される部分が被照射部分であ
る。フォトマスクにおいては、マスク部と透過部とが織
りなすパターンであるマスクパターンが情報信号配列に
対応している。The surface of a magnetic recording medium on which information signals such as preformat information signals are to be collectively surface-recorded by preformat recording is DC-erased in advance. A photomask used for preformat recording has a mask pattern corresponding to the arrangement of the information signals. The photomask is arranged so as to be in contact with or not in contact with the surface of the magnetic recording medium. Light is irradiated from the side opposite to the magnetic recording medium with respect to the photomask. The irradiation light is blocked at the mask portion of the photomask, but is transmitted at the transmission portion and reaches the surface of the magnetic recording medium, where it is locally heated. The locally heated portion is the irradiated portion. In the photomask, a mask pattern, which is a pattern formed by weaving a mask portion and a transmission portion, corresponds to an information signal array.
【0033】磁気記録媒体表面の被照射部分では光エネ
ルギーが熱エネルギーに変換され、その被照射部分を局
所的に加熱する。磁気記録媒体表面が、例えば磁性層の
キュリー温度近傍まで加熱されると、加熱部分において
局所的に磁化が消失する。この状態で照射光を遮断する
と、加熱された部分は徐々に自然冷却され、その過程に
おいて隣接する非加熱領域の初期磁化より発生する浮遊
磁界によって初期磁化とは逆極性に磁化することにな
る。これで、反転磁化となる。Light energy is converted into heat energy at the irradiated portion on the surface of the magnetic recording medium, and the irradiated portion is locally heated. When the surface of the magnetic recording medium is heated to, for example, the vicinity of the Curie temperature of the magnetic layer, the magnetization locally disappears in the heated portion. When the irradiation light is cut off in this state, the heated portion is gradually cooled naturally, and in the process, is magnetized to the opposite polarity to the initial magnetization by a floating magnetic field generated from the initial magnetization of the adjacent non-heated region. Thus, the magnetization is reversed.
【0034】なお、垂直磁気記録媒体の場合には、初期
磁化の浮遊磁界のみで反転磁化を生成することができる
が、補助磁界を得るために直流バイアス磁界を印加する
選択肢がある。面内磁気記録媒体の場合には、初期磁化
の浮遊磁界のみでは反転磁化を生成することができない
ので、直流バイアス磁界の印加が必要である。いずれに
しても、その直流バイアス磁界は初期磁化(予めの直流
消去磁界)とは逆方向である。In the case of a perpendicular magnetic recording medium, inversion magnetization can be generated only by a floating magnetic field of initial magnetization, but there is an option of applying a DC bias magnetic field to obtain an auxiliary magnetic field. In the case of an in-plane magnetic recording medium, application of a direct-current bias magnetic field is necessary because inversion magnetization cannot be generated only by the floating magnetic field of the initial magnetization. In any case, the DC bias magnetic field is in a direction opposite to the initial magnetization (preliminary DC erasing magnetic field).
【0035】以上の結果、磁気記録媒体表面には、フォ
トマスクにおけるマスクパターンに対応して、直流消去
に基づく初期磁化と加熱磁化消失後の反転磁化とが交互
に配列した情報信号配列パターンが記録されることにな
る。これが熱磁気記録による情報信号の一括面記録であ
る。As a result, on the surface of the magnetic recording medium, an information signal array pattern in which initial magnetization based on DC erasure and inverted magnetization after heating magnetization disappears are alternately arranged corresponding to the mask pattern in the photomask. Will be done. This is collective surface recording of information signals by thermomagnetic recording.
【0036】この熱磁気記録による情報信号の一括面記
録においては、仮に初期磁化がなくて、反転磁化だけが
あると仮定すると、それは、正方向磁化と負方向磁化と
の交互配列の原則に反するし、浮遊磁界による反転磁化
生成もなくなる。したがって、正方向磁化と負方向磁化
との交互配列の原則のためには、初期磁化が必要であ
り、その初期磁化を確保するために、光照射の前に、予
め磁気記録媒体表面を直流消去しておくのである。In the collective surface recording of information signals by thermomagnetic recording, assuming that there is no initial magnetization but only inversion magnetization, this is contrary to the principle of alternate arrangement of positive direction magnetization and negative direction magnetization. In addition, generation of reversal magnetization due to a stray magnetic field is also eliminated. Therefore, the principle of the alternating arrangement of the positive direction magnetization and the negative direction magnetization requires the initial magnetization, and in order to secure the initial magnetization, the surface of the magnetic recording medium must be DC-erased before light irradiation. I do it.
【0037】上記構成に関して、従来の技術との比較で
は、次のようにいうことができる。従来技術の場合は、
積極的な加熱による一旦の磁化消失を伴わないので、反
転磁化の生成の機能を充分に確保するには、磁気記録媒
体保磁力に対してマスター情報担体上の強磁性薄膜の飽
和磁化を十分に大きくすることが必要であった。すなわ
ち、本発明者らの検討に依れば、磁気記録媒体保磁力の
3倍以上の飽和磁化が必要であった。The above configuration can be described as follows in comparison with the prior art. In the case of the prior art,
Since the magnetization is not temporarily lost due to active heating, the saturation magnetization of the ferromagnetic thin film on the master information carrier must be sufficient for the coercive force of the magnetic recording medium to ensure the function of generating the reversal magnetization. It needed to be bigger. That is, according to the study of the present inventors, it is necessary that the saturation magnetization is at least three times the coercive force of the magnetic recording medium.
【0038】これに対して、本発明では、磁気記録媒体
磁性層をキュリー温度近傍まで加熱し、加熱部分の磁化
を消失させて記録を行う。この状態において加熱部分は
局所的に非磁性状態にあって、保磁力は存在しない。従
って、加熱部分に磁化反転を生じさせるために、マスタ
ー情報担体上の強磁性薄膜において高い飽和磁化を備え
る必要はない。On the other hand, in the present invention, recording is performed by heating the magnetic layer of the magnetic recording medium to the vicinity of the Curie temperature to eliminate the magnetization of the heated portion. In this state, the heated portion is locally in a non-magnetic state and has no coercive force. Therefore, it is not necessary to provide a high saturation magnetization in the ferromagnetic thin film on the master information carrier in order to cause a magnetization reversal in the heated part.
【0039】また本発明の構成では、情報信号の配列に
対応するマスクパターンをもつフォトマスクを磁気記録
媒体表面に対して非接触状態で対向配置することも出来
る。そして、フォトマスクに関して磁気記録媒体とは反
対側から光を照射する。In the configuration of the present invention, a photomask having a mask pattern corresponding to the arrangement of information signals can be arranged so as to face the magnetic recording medium surface in a non-contact state. Then, light is irradiated from the side opposite to the magnetic recording medium with respect to the photomask.
【0040】このような構成に関して、従来の技術との
比較では、次のようにいうことができる。従来技術の場
合は、積極的な加熱による一旦の磁化消失を伴わないの
で、反転磁化の生成の機能を充分に確保するには、磁気
記録媒体表面に対してマスター情報担体を接触させる必
要があった。もし、離した状態にすると、スペーシング
ロスや不均一磁化の問題がある。しかし、接触状態で
は、異物による信号欠落やヘッドクラッシュの問題があ
る。そして、異物による信号欠落など不良の検査のため
のサーティファイ試験については、これを実行すると折
角、一括面記録した情報信号そのものが消去されてしま
うという事態に陥っている。このままであれば、異物に
よる不良についての検査が行えないままとなってしま
う。With respect to such a configuration, the following can be said in comparison with the prior art. In the case of the prior art, since the magnetization is not temporarily lost due to active heating, it is necessary to bring the master information carrier into contact with the surface of the magnetic recording medium in order to ensure the function of generating the reversal magnetization. Was. If they are separated, there are problems of spacing loss and non-uniform magnetization. However, in the contact state, there are problems of signal loss and head crash due to foreign matter. In the case of a certify test for inspecting a defect such as a signal drop due to a foreign substance, when this test is performed, the information signal itself recorded on the entire surface is erased. If the state is left as it is, the inspection for the defect due to the foreign matter cannot be performed.
【0041】これに対して本発明では、上記のような従
来技術における課題を、下記のように有効に解決するこ
とが出来る。On the other hand, according to the present invention, the problems in the prior art as described above can be effectively solved as follows.
【0042】正方向磁化または負方向磁化を単位とする
磁化単位を特定するのが、従来技術のマスター情報担体
にあっては、強磁性薄膜パターンの強磁性薄膜有りまた
は無しであるのに対して、本発明のフォトマスクにあっ
ては、透過部とマスク部である。In the master information carrier of the prior art, the magnetization unit having the unit of the positive direction magnetization or the negative direction magnetization is specified with or without the ferromagnetic thin film of the ferromagnetic thin film pattern. In the photomask of the present invention, it is a transmission portion and a mask portion.
【0043】従来技術にあっては、マスター情報担体の
強磁性薄膜有りの部分が凸になっており、その凸部分が
相手側の磁気記録媒体表面に接触し、凹部分が離間する
ことで、磁気記録媒体表面での正方向磁化と負方向磁化
との隔設を行っている。In the prior art, the portion of the master information carrier having the ferromagnetic thin film is convex, and the convex portion comes into contact with the surface of the other magnetic recording medium and the concave portion is separated. The positive magnetization and the negative magnetization are separated from each other on the surface of the magnetic recording medium.
【0044】これに対して、本発明にあっては、フォト
マスクの透過部では照射光が透過し磁気記録媒体表面で
の被照射部分が加熱により磁化消失され、マスク部では
照射光が遮断されて磁気記録媒体表面での照射されない
部分は磁化消失されないことで、磁気記録媒体表面での
正方向磁化と負方向磁化との隔設を行っている。On the other hand, in the present invention, the irradiation light is transmitted through the transmitting portion of the photomask, the irradiated portion on the surface of the magnetic recording medium is demagnetized by heating, and the irradiation light is blocked at the mask portion. The non-irradiated portion on the surface of the magnetic recording medium is not lost in magnetization, thereby separating the positive direction magnetization and the negative direction magnetization on the surface of the magnetic recording medium.
【0045】従来技術にあっては、強磁性薄膜有りの凸
部分における初期磁化が空間に作る磁界について、凸部
分の外側の磁界の方向と凹部分の外側の磁界の方向とが
互いに逆になっているが、そのようなマスター情報担体
から出ている磁界によって、そのマスター情報担体に磁
気記録媒体表面を接触させることを通じて、マスター情
報担体側の磁界のエネルギーをもって、磁気記録媒体表
面に正方向磁化と負方向磁化とを転写している。In the prior art, the direction of the magnetic field outside the convex portion and the direction of the magnetic field outside the concave portion are opposite to each other with respect to the magnetic field created in the space by the initial magnetization in the convex portion having the ferromagnetic thin film. However, by contacting the surface of the magnetic recording medium with the master information carrier by the magnetic field emitted from such a master information carrier, the energy of the magnetic field on the master information carrier side is applied to the surface of the magnetic recording medium in the forward magnetization. And negative direction magnetization are transferred.
【0046】これに対して、本発明にあっては、磁気記
録媒体表面を正方向磁化と負方向磁化とに区分するもと
になる磁界は、相手側のフォトマスクに存在しているの
ではなく、磁気記録媒体自体に存在している。それが、
磁気記録媒体における直流消去での直流消去磁化による
磁界である。光照射によって加熱した領域で磁化消失が
生じることで、前記の直流消去磁化による磁界が浮遊磁
界となって、その磁化消失部分を反転磁化する。これが
反転磁化である。On the other hand, in the present invention, the magnetic field that causes the surface of the magnetic recording medium to be divided into the positive direction magnetization and the negative direction magnetization is present in the photomask on the other side. Instead, it exists in the magnetic recording medium itself. that is,
This is a magnetic field due to DC erase magnetization in DC erase in a magnetic recording medium. When the magnetization disappears in the region heated by the light irradiation, the magnetic field due to the DC erasing magnetization becomes a floating magnetic field, and reversely magnetizes the portion where the magnetization disappears. This is the reversal magnetization.
【0047】従来技術にあっては、マスター情報担体か
ら磁気記録媒体表面に対して、磁化−磁界−磁化の磁気
的転写を行うので、マスター情報担体と磁気記録媒体表
面との接触が必須の要件となっており、これが異物にか
かわる問題の最大の原因となっている。In the prior art, the magnetic transfer of magnetization-magnetic field-magnetization is performed from the master information carrier to the surface of the magnetic recording medium, so that the contact between the master information carrier and the surface of the magnetic recording medium is essential. This is the biggest cause of foreign matter problems.
【0048】これに対して、本発明にあっては、磁気記
録媒体表面での反転磁化の根源としての磁界が、ほかな
らぬ磁気記録媒体表面そのものに存在している。すなわ
ち、相手側のフォトマスクからその根源の磁界を供給し
てもらうのではなく、磁気記録媒体表面が自前で供給し
ている。したがって、磁気記録媒体表面をフォトマスク
に接触させる必要から束縛を解放されており、磁気記録
媒体表面をフォトマスクから離間させることが許される
ようになっているのである。On the other hand, in the present invention, a magnetic field as a source of the reversal magnetization on the surface of the magnetic recording medium exists on the surface of the magnetic recording medium itself. That is, the magnetic field of the magnetic recording medium is supplied by itself, instead of being supplied with the magnetic field of the source from the photomask on the other side. Therefore, the binding is released from the need to bring the surface of the magnetic recording medium into contact with the photomask, and the surface of the magnetic recording medium is allowed to be separated from the photomask.
【0049】本発明にあっては、磁気記録媒体表面のど
の部分を磁化消失を通じての反転磁化生成となすか、ど
の部分はそうしないか、の平面上の位置を特定するため
の情報をフォトマスクから磁気記録媒体表面に伝達する
のに、照射光を利用しているのである。しかも、その照
射光の光エネルギーをもって、加熱に伴う磁化消失をも
現出させているのである。According to the present invention, information for specifying the position on the plane of which part of the surface of the magnetic recording medium is to be subjected to generation of reversal magnetization through demagnetization and which part is not to be subjected to a photomask. Irradiation light is used to transmit light from the magnetic recording medium to the surface of the magnetic recording medium. Moreover, the light energy of the irradiation light also causes the disappearance of magnetization due to heating.
【0050】比喩的にいうと、従来技術の場合には、マ
スター情報担体における磁化パターンから磁気記録媒体
表面への磁化パターンへの直接的な、磁化パターンとい
う同一物理要素の磁化−磁界−磁化の磁気的転写である
のに対して、本発明にあっては、フォトマスクにおける
平面的位置情報の磁気記録媒体表面への伝達、その伝達
された位置情報に従っての磁化パターンの生成というメ
カニズムになっている。Metaphorically speaking, in the case of the prior art, the magnetization-magnetic field-magnetization of the same physical element called the magnetization pattern directly from the magnetization pattern on the master information carrier to the magnetization pattern on the surface of the magnetic recording medium. In contrast to magnetic transfer, in the present invention, the mechanism is such that planar position information on a photomask is transmitted to the surface of a magnetic recording medium, and a magnetization pattern is generated in accordance with the transmitted position information. I have.
【0051】以上要するに、いずれにしても、本発明
は、磁化パターンのマスター情報担体から磁気記録媒体
表面への同じ物理要素の磁化−磁界−磁化の磁気的転写
といったものではなく、磁気記録媒体表面での直流消
去、フォトマスクと磁気記録媒体表面との非接触、フォ
トマスクを介しての光照射による光透過と光遮断という
平面上位置情報の伝達、照射光の光エネルギーによる加
熱を介しての磁化消失および浮遊磁界の発現による反転
磁化の生成といったきわめて特殊なメカニズムにより、
非接触状態での高精度な記録磁化パターンの熱磁気記録
を実現している。In short, in any case, the present invention is not the magnetic transfer of the magnetization-magnetic field-magnetization of the same physical element from the master information carrier to the surface of the magnetic recording medium. DC erasing, non-contact between the photomask and the surface of the magnetic recording medium, transmission of positional information on a plane such as light transmission and light blocking by light irradiation through the photomask, and heating through the light energy of irradiation light Due to a very special mechanism, such as the generation of reversal magnetization due to the disappearance of the magnetization and the appearance of the stray magnetic field,
This realizes thermomagnetic recording of a highly accurate recording magnetization pattern in a non-contact state.
【0052】本発明にあっては、積極的な加熱による一
旦の磁化消失を伴うので、フォトマスクを磁気記録媒体
表面から離間させておいても、スペーシングロスや不均
一磁化の問題を回避しつつ、反転磁化の生成の機能を充
分に確保することができる。このように磁気記録媒体表
面に対してフォトマスクを非接触の状態とすることが許
される結果、接触が原因となっている異物による信号欠
落やヘッドクラッシュの問題も回避される。したがっ
て、また、異物による信号欠落など不良の検査のための
サーティファイ試験については、これを実行しなければ
ならない必要性から解放される。In the present invention, since magnetization is temporarily lost due to active heating, even if the photomask is separated from the surface of the magnetic recording medium, the problems of spacing loss and uneven magnetization can be avoided. In addition, the function of generating the reversal magnetization can be sufficiently ensured. As described above, the photomask is allowed to be in a non-contact state with respect to the surface of the magnetic recording medium. As a result, the problem of signal loss or head crash due to foreign matter caused by the contact can be avoided. Therefore, a certification test for inspecting a defect such as a signal drop due to a foreign substance is released from the necessity of executing the certification test.
【0053】そして、従来技術と同様に、磁気記録媒体
とフォトマスクとの相対移動を伴うものではなく、被照
射部分においてフォトマスク上のパターンを反映した静
的な一括面記録を行うため、優れた生産性と記録精度を
確保することができる。As in the case of the prior art, the recording does not involve relative movement between the magnetic recording medium and the photomask, but performs static batch recording in which the pattern on the photomask is reflected in the irradiated portion. Productivity and recording accuracy can be ensured.
【0054】以上をまとめると、本発明によれば、その
静的一括面記録ゆえに優れた生産性と記録精度を確保し
ながらも、光照射による積極的な加熱に基づいての一旦
の磁化消失を伴うゆえに、スペーシングロスや不均一磁
化の問題を回避しつつ、将来的な高保磁力磁気記録媒体
に対しても反転磁化の生成の機能を充分に確保し、加え
て、磁気記録媒体表面からのフォトマスクの離間を確保
し、接触が原因となっている異物による信号欠落やヘッ
ドクラッシュの問題を回避してサーティファイ試験を待
つまでもなく、高い信頼性をもたらすことができるに至
ったのである。In summary, according to the present invention, while the excellent productivity and recording accuracy are ensured due to the static batch recording, the disappearance of the magnetization once due to the active heating by light irradiation is prevented. Because of this, while avoiding the problems of spacing loss and non-uniform magnetization, the function of generating reversal magnetization is sufficiently ensured even for future high coercive force magnetic recording media. By ensuring the separation of the photomask and avoiding the problem of signal loss and head crash due to foreign matter caused by the contact, high reliability can be achieved without waiting for a certification test.
【0055】なお、付記すると、上記では、平面上位置
情報の伝達と加熱による磁化消失とを光の照射で兼用し
ているが、これを別々の物理要素で達成することも考え
られ、これは、今後の研究課題となる。さらに将来新し
い材料の開発によって技術が進むと、必ずしも加熱は必
要なくて、加熱を介在させることなく磁化を行えるよう
にすることも予想される。また、平面上位置情報の伝達
に光以外の物理要素を利用することも考えられる。It should be noted that, in the above description, the transmission of position information on a plane and the disappearance of magnetization due to heating are shared by light irradiation. However, it is conceivable that this can be achieved by separate physical elements. This will be a future research topic. Furthermore, as technology advances in the development of new materials in the future, heating is not necessarily required, and it is expected that magnetization can be performed without heating. It is also conceivable to use physical elements other than light for transmitting the planar position information.
【0056】[0056]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を総括
的に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be generally described.
【0057】本願第1の発明の磁気記録方法は、予め直
流消去された磁気記録媒体表面に対して、情報信号配列
に対応するマスクパターンをもつフォトマスクを接触状
態で対向配置し、前記フォトマスクを介して前記磁気記
録媒体表面に照射した光エネルギーによって前記磁気記
録媒体表面の被照射部分を局所的に加熱することによ
り、前記磁気記録媒体表面に前記情報信号配列に対応す
る記録磁化パターンを熱磁気記録することを特徴とす
る。According to the magnetic recording method of the first invention of the present application, a photomask having a mask pattern corresponding to an information signal arrangement is arranged in contact with the surface of a magnetic recording medium which has been DC-erased in advance. By locally heating the irradiated portion of the surface of the magnetic recording medium by light energy radiated to the surface of the magnetic recording medium through the magnetic recording medium, a recording magnetization pattern corresponding to the information signal arrangement is thermally formed on the surface of the magnetic recording medium. It is characterized by magnetic recording.
【0058】本願第2の発明の磁気記録方法は、予め直
流消去された磁気記録媒体表面に対して、情報信号配列
に対応するマスクパターンをもつフォトマスクを非接触
状態で対向配置し、前記フォトマスクを介して前記磁気
記録媒体表面に照射した光エネルギーによって前記磁気
記録媒体表面の被照射部分を局所的に加熱することによ
り、前記磁気記録媒体表面に前記情報信号配列に対応す
る記録磁化パターンを熱磁気記録することを特徴とす
る。According to the magnetic recording method of the second invention of the present application, a photomask having a mask pattern corresponding to an information signal arrangement is arranged in a non-contact state with respect to a surface of a magnetic recording medium which has been DC-erased in advance. By locally heating the irradiated portion of the magnetic recording medium surface with light energy radiated to the magnetic recording medium surface through a mask, a recording magnetization pattern corresponding to the information signal array is formed on the magnetic recording medium surface. It is characterized by performing thermomagnetic recording.
【0059】この第1および第2の発明の構成は、上記
の〔課題を解決するための手段〕の項の構成を別の表現
形態で記述したものに相当し、それによる作用について
は、同じく上記の〔課題を解決するための手段〕の項で
説明したのと実質的に同様のものとなる。すなわち、静
的一括面記録ゆえに優れた生産性と記録精度を確保しな
がらも、光照射による積極的な加熱に基づいての一旦の
磁化消失を伴うゆえに、スペーシングロスや不均一磁化
の問題を回避しつつ、将来的な高保磁力磁気記録媒体に
対しても反転磁化の生成の機能を充分に確保し、加え
て、磁気記録媒体表面からのフォトマスクの離間を確保
し、接触が原因となっている異物による信号欠落やヘッ
ドクラッシュの問題を回避してサーティファイ試験を待
つまでもなく、高い信頼性をもたらすことができる。The structure of the first and second aspects of the invention corresponds to the structure of the above-mentioned [Means for Solving the Problems] section described in another form of expression. This is substantially the same as that described in the above section [Means for Solving the Problems]. In other words, while maintaining excellent productivity and recording accuracy due to static batch recording, the problem of spacing loss and non-uniform magnetization due to the temporary disappearance of magnetization based on active heating by light irradiation is involved. While avoiding it, the function of generating reversal magnetization is sufficiently secured even for future high coercivity magnetic recording media, and in addition, the separation of the photomask from the surface of the magnetic recording medium is ensured, and contact may be caused. High reliability can be achieved without having to wait for a certification test by avoiding the problem of signal loss or head crash due to foreign matter.
【0060】本願第3の発明の磁気記録方法は、上記の
第1および第2の発明において、前記磁気記録媒体表面
の被照射部分を局所的に加熱するに際して、前記磁気記
録媒体の直流消去による初期磁化とは逆極性の直流バイ
アス磁界を印加することを特徴とする。The magnetic recording method according to a third aspect of the present invention is the magnetic recording method according to the first and second aspects, wherein when the irradiated portion of the surface of the magnetic recording medium is locally heated, the magnetic recording medium is subjected to DC erasure. It is characterized in that a DC bias magnetic field having a polarity opposite to that of the initial magnetization is applied.
【0061】この第3の発明による作用は次のとおりで
ある。垂直磁気記録媒体の場合には、初期磁化の浮遊磁
界のみで反転磁化を生成することができるが、反転磁化
生成が不充分となる場合がある。そこで、直流バイアス
磁界を印加して反転磁化生成の補助磁界とすると、初期
磁化の浮遊磁界だけでは反転磁化生成が不充分となる場
合でも、充分な反転磁化生成が可能となる。The operation according to the third aspect of the invention is as follows. In the case of a perpendicular magnetic recording medium, inversion magnetization can be generated only by the floating magnetic field of the initial magnetization, but the generation of inversion magnetization may be insufficient. Therefore, if a DC bias magnetic field is applied to generate an auxiliary magnetic field for inversion magnetization generation, sufficient inversion magnetization can be generated even when the generation of inversion magnetization is insufficient only with the floating magnetic field of the initial magnetization.
【0062】面内磁気記録媒体の場合には、初期磁化の
浮遊磁界のみでは反転磁化を生成することができないの
で、直流バイアス磁界の印加が必要であり、面内磁気記
録媒体に対しても、本発明を実効あるものとすることが
できる。In the case of an in-plane magnetic recording medium, since a reversal magnetization cannot be generated only by the floating magnetic field of the initial magnetization, it is necessary to apply a DC bias magnetic field. The present invention can be made effective.
【0063】本願第4の発明の磁気記録方法は、上記の
第3の発明において、前記直流バイアス磁界の印加にお
いて、前記磁気記録媒体の非加熱領域における保磁力よ
りも小さい直流バイアス磁界を印加することを特徴とす
る。The magnetic recording method according to a fourth aspect of the present invention is the magnetic recording method according to the third aspect, wherein in applying the DC bias magnetic field, a DC bias magnetic field smaller than a coercive force in a non-heating region of the magnetic recording medium is applied. It is characterized by the following.
【0064】この第4の発明による作用は次のとおりで
ある。直流バイアス磁界の大きさは、非加熱領域の保磁
力を超えるほど大きなものであってはならない。非加熱
領域の保磁力を超える大きな直流バイアス磁界を印加し
た場合には、非加熱領域の初期磁化を減磁もしくは消磁
させてしまう恐れがあるからである。上記のように対応
することで、初期磁化の減磁や消磁を伴うことなく、良
好な熱磁気記録が可能となる。The operation according to the fourth aspect of the invention is as follows. The magnitude of the DC bias magnetic field must not be so great as to exceed the coercivity of the unheated area. This is because, when a large DC bias magnetic field exceeding the coercive force of the non-heating area is applied, the initial magnetization of the non-heating area may be demagnetized or demagnetized. By responding as described above, good thermomagnetic recording can be performed without demagnetization or demagnetization of the initial magnetization.
【0065】本願第5の発明の磁気記録方法は、上記の
第1〜第4の発明において、前記磁気記録媒体として、
その磁性層がその磁性層表面の法線方向に磁化容易軸を
有する垂直磁気記録媒体を対象として、前記熱磁気記録
を行うことを特徴とする。According to a fifth aspect of the present invention, there is provided the magnetic recording method according to the first to fourth aspects, wherein the magnetic recording medium is
The thermomagnetic recording is performed on a perpendicular magnetic recording medium whose magnetic layer has an axis of easy magnetization in a direction normal to the surface of the magnetic layer.
【0066】この第5の発明による作用は次のとおりで
ある。周知のとおり、垂直磁気記録媒体は、面内磁気記
録媒体に比べて、その記録密度が遙かに高いものとなっ
ている。そのような高記録密度の垂直磁気記録媒体にあ
っては、異物対策がきわめて重要となる。本発明は、異
物対策として、上記のようなすぐれた機能を発揮するの
で、高記録密度の垂直磁気記録媒体について、優れた生
産性ならびに優れた信頼性を実現することができる。The operation of the fifth invention is as follows. As is well known, a perpendicular magnetic recording medium has a much higher recording density than an in-plane magnetic recording medium. In such a high recording density perpendicular magnetic recording medium, countermeasures against foreign matter are extremely important. Since the present invention exerts the above-described excellent functions as a measure against foreign matter, it is possible to realize excellent productivity and excellent reliability for a perpendicular magnetic recording medium having a high recording density.
【0067】本願第6の発明の磁気記録方法は、上記の
第5の発明において、前記磁気記録媒体は、その磁性層
が希土類と遷移金属を主成分とし、フェリ磁性を有する
アモルファス金属合金製のものであって、前記磁気記録
媒体表面の被照射部分を局所的に加熱するに際しては、
この被照射部分を前記磁性層の補償温度近傍まで加熱す
ることを特徴とする。The magnetic recording method according to a sixth aspect of the present invention is the magnetic recording medium according to the fifth aspect, wherein the magnetic layer is made of an amorphous metal alloy having a ferrimagnetism and a rare earth and a transition metal as main components. When locally heating the irradiated portion of the magnetic recording medium surface,
The irradiated portion is heated to a temperature near the compensation temperature of the magnetic layer.
【0068】この第6の発明による作用は次のとおりで
ある。磁気記録媒体として、希土類と遷移金属を主成分
とするアモルファス合金薄膜よりなる垂直磁気記録媒体
を用いた場合には、直流消去に基づく初期磁化の消失温
度をより低くすることができるため、省エネルギーその
他の面でより好ましい。特にGd(ガドリニウム)、T
b(テルビウム)、Dy(ジスプロシウム)などの重希
土類と遷移金属とを主成分とするアモルファス合金薄膜
の多くは、フェリ磁性を有するため、キュリー温度より
も充分に低い補償温度において磁化を消失させることが
できる。この補償温度は、希土類元素と遷移金属元素の
組成比を制御することにより、垂直磁気記録媒体として
の性能に影響を与えない範囲において、幅広く制御する
ことができる。したがって、実施の形態に応じて、磁気
記録媒体の補償温度を、磁気記録再生装置の動作環境温
度よりもやや高く設定しておくことにより、比較的低パ
ワーの照射光を用いて充分に効率的なプリフォーマット
記録を行うことが可能となる。The operation of the sixth invention is as follows. When a perpendicular magnetic recording medium composed of an amorphous alloy thin film containing a rare earth element and a transition metal as a main component is used as the magnetic recording medium, the temperature at which the initial magnetization disappears due to DC erasure can be lowered, thereby conserving energy. Is more preferable in terms of In particular, Gd (gadolinium), T
Many amorphous alloy thin films mainly composed of heavy rare earths such as b (terbium) and Dy (dysprosium) and transition metals have ferrimagnetism, so that magnetization is lost at a compensation temperature sufficiently lower than the Curie temperature. Can be. By controlling the composition ratio of the rare earth element and the transition metal element, the compensation temperature can be controlled in a wide range as long as the performance of the perpendicular magnetic recording medium is not affected. Therefore, according to the embodiment, by setting the compensation temperature of the magnetic recording medium to be slightly higher than the operating environment temperature of the magnetic recording / reproducing apparatus, it is possible to use a relatively low-power irradiation light to achieve a sufficiently efficient operation. It is possible to perform a preformat recording.
【0069】本願第7の発明の磁気記録方法は、上記の
第1〜第6の発明において、前記磁気記録媒体への光照
射による加熱を、前記フォトマスクの全面に対して一括
して照射される平行光により行うことを特徴とする。平
行光を用いることで、大面積に対して一様(均一)でフ
ォトマスクおよび磁気記録媒体表面に対して垂直な照射
が行え、記録分解能および品質精度を高いものとするこ
とができる。The magnetic recording method according to a seventh aspect of the present invention is the magnetic recording method according to the first to sixth aspects, wherein the magnetic recording medium is heated by irradiating light onto the entire surface of the photomask. It is characterized in that it is performed by parallel light. By using the parallel light, it is possible to irradiate the photomask and the surface of the magnetic recording medium perpendicular to the surface of the magnetic recording medium uniformly (uniformly) over a large area, thereby improving the recording resolution and the quality accuracy.
【0070】本願第8の発明の磁気記録方法は、上記の
第1〜第6の発明において、前記磁気記録媒体への光照
射による加熱を、前記フォトマスクの表面に沿って走査
されるレーザ光により行うことを特徴とする。According to an eighth aspect of the present invention, in the magnetic recording method according to the first to sixth aspects, the magnetic recording medium is heated by irradiating the magnetic recording medium with a laser beam which is scanned along the surface of the photomask. It is characterized by the following.
【0071】この第8の発明による作用は次のとおりで
ある。これは、面照射ではなく、スポット照射について
記述している。レーザ光をフォトマスクの表面に沿って
走査することにより、磁気記録媒体の全面に渡るプリフ
ォーマット記録を完結する。磁気記録媒体の全面に渡っ
て一括面記録することはできないので、若干、プリフォ
ーマット記録に関わる生産性を犠牲にすることになる。
しかしながら、従来の磁気ヘッドを用いた線記録におけ
る最小記録単位(磁気記録媒体に記録される信号のビッ
ト面積)と比べれば、レーザ光のスポットサイズは、少
なくとも108倍以上(ただしこの数値は一例)に大き
くすることができる、したがって、従来の磁気ヘッドを
用いたプリフォーマット記録に比べれば、なお生産性に
関して大きなメリットを有している。レーザ光はパワー
密度が大きく、しかも、コヒーレントな光束であるの
で、磁気記録媒体表面での磁化パターンの生成の信頼性
および精度がきわめて高いものとなる。The operation of the eighth invention is as follows. This describes spot irradiation, not surface irradiation. By scanning the laser beam along the surface of the photomask, preformat recording over the entire surface of the magnetic recording medium is completed. Since batch recording cannot be performed over the entire surface of the magnetic recording medium, productivity associated with preformat recording is slightly sacrificed.
However, compared with the minimum recording unit (bit area of a signal recorded on a magnetic recording medium) in linear recording using a conventional magnetic head, the spot size of the laser beam is at least 108 times or more (however, this numerical value is an example). ), And therefore has a great advantage in terms of productivity as compared with the preformat recording using the conventional magnetic head. Since the laser beam has a large power density and is a coherent light beam, the reliability and accuracy of the generation of the magnetization pattern on the surface of the magnetic recording medium are extremely high.
【0072】本願第9の発明の磁気記録方法は、上記の
第2〜第7の発明において、前記対向配置された前記フ
ォトマスクと前記磁気記録媒体との間にレンズを介在さ
せ、前記レンズを介して照射光を屈折させることによ
り、前記フォトマスク上の前記情報信号配列に対応する
前記マスクパターンを前記磁気記録媒体表面に縮小投影
させることを特徴とする。The magnetic recording method according to a ninth aspect of the present invention is the magnetic recording method according to the second to seventh aspects, wherein a lens is interposed between the photomask and the magnetic recording medium disposed opposite to each other. The mask pattern corresponding to the information signal array on the photomask is reduced and projected on the surface of the magnetic recording medium by refracting the irradiation light through the photomask.
【0073】この第9の発明による作用は次のとおりで
ある。レンズを利用した縮小投影を行うことにより、磁
気記録媒体上に記録される情報信号のビット長が例えば
0.25μm程度の非常に小さい値である場合にも、こ
の情報信号配列に対応するマスクパターンは、その数倍
〜数十倍という比較的大きなサイズでフォトマスク上に
備えればよい。これによって、フォトマスクの製造を容
易化し、またその製造コストを低減することが可能とな
る。このようにレンズをフォトマスクと磁気記録媒体と
の間に介在させることができるのも、本発明の最大のポ
イントである非接触態様としてあることによっており、
本発明はより一層有利な技術的展開をもたらすのであ
る。The operation according to the ninth invention is as follows. By performing reduction projection using a lens, even when the bit length of an information signal recorded on a magnetic recording medium is a very small value of, for example, about 0.25 μm, a mask pattern corresponding to this information signal array is provided. May be provided on the photomask in a relatively large size of several times to several tens of times. This makes it easy to manufacture the photomask and reduces the manufacturing cost. In this way, the lens can be interposed between the photomask and the magnetic recording medium because the non-contact mode is the most important point of the present invention.
The invention provides an even more advantageous technical development.
【0074】(具体的な実施の形態)以下、本発明にか
かわる磁気記録方法の具体的な実施の形態を図面に基づ
いて詳細に説明する。(Specific Embodiment) Hereinafter, a specific embodiment of a magnetic recording method according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
【0075】本発明の実施の形態の磁気記録方法を、垂
直磁気記録媒体への信号記録の場合を例に取って、図1
の断面図を参照して説明する。The magnetic recording method according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
This will be described with reference to the sectional view of FIG.
【0076】まず、図1(a)に示すように、垂直磁気
記録媒体1に直流消去磁界2を印加して、磁気記録媒体
1の膜法線方向に一様に直流消去する。これにより、垂
直磁気記録媒体1には、その全面にわたって一様な直流
消去磁化3が形成されることになる。First, as shown in FIG. 1A, a DC erasing magnetic field 2 is applied to a perpendicular magnetic recording medium 1 so that DC erasure is performed uniformly in the film normal direction of the magnetic recording medium 1. As a result, a uniform DC erase magnetization 3 is formed on the entire surface of the perpendicular magnetic recording medium 1.
【0077】次に、図1(b)に示すように、直流消去
された磁気記録媒体1の表面にフォトマスク4を接触さ
せ、照射光7を照射する。照射光7の照射には、大面積
に均一に平行光を照射可能な紫外線光源やレーザ光を用
いることができる。Next, as shown in FIG. 1B, the photomask 4 is brought into contact with the surface of the magnetic recording medium 1 from which the direct current has been erased, and irradiation light 7 is irradiated. For the irradiation of the irradiation light 7, an ultraviolet light source or a laser light capable of uniformly irradiating parallel light over a large area can be used.
【0078】フォトマスク4は、照射光7を透過するこ
とが可能な非磁性基体5上に、情報信号配列に対応する
マスクパターンが金属マスク膜6により形成されてい
る。照射光7は、金属マスク膜6を透過できないので、
金属マスク膜6が形成されていない部分においてのみ、
局所的に磁気記録媒体1の表面に照射され、この部分に
おいて磁気記録媒体表面を加熱することができる。In the photomask 4, a mask pattern corresponding to an information signal array is formed by a metal mask film 6 on a non-magnetic substrate 5 that can transmit the irradiation light 7. Since the irradiation light 7 cannot pass through the metal mask film 6,
Only in the portion where the metal mask film 6 is not formed,
The surface of the magnetic recording medium 1 is locally irradiated, and the surface of the magnetic recording medium can be heated in this portion.
【0079】磁気記録媒体表面が、例えば磁性層のキュ
リー温度近傍まで加熱されると、加熱部分において局所
的に磁化が消失する。この状態で照射光を遮断すると、
加熱された部分は徐々に自然冷却され、その過程におい
て隣接する非加熱部分の初期磁化3'より発生する浮遊
磁界8により初期磁化3'とは逆極性に磁化される。そ
の結果、磁気記録媒体1には、図1(c)に示すよう
に、フォトマスク4上に形成された金属マスク膜パター
ンに対応して、直流消去に基づく初期磁化3'と反転磁
化9が交互に配列した情報信号配列パターンが記録され
ることになる。When the surface of the magnetic recording medium is heated to, for example, the vicinity of the Curie temperature of the magnetic layer, the magnetization locally disappears in the heated portion. When the irradiation light is blocked in this state,
The heated portion is gradually cooled spontaneously, and is magnetized in the process by the stray magnetic field 8 generated from the initial magnetization 3 ′ of the adjacent non-heated portion to have a polarity opposite to that of the initial magnetization 3 ′. As a result, in the magnetic recording medium 1, as shown in FIG. 1C, the initial magnetization 3 ′ and the reversal magnetization 9 based on the DC erasing correspond to the metal mask film pattern formed on the photomask 4. Information signal arrangement patterns arranged alternately are recorded.
【0080】上記した本実施の形態の磁気記録方法で
は、照射光が照射された部分においてフォトマスク4上
のパターンを反映した静的な一括面記録が行われる。し
たがって、特開平10−40544号公報に開示された
プリフォーマット技術と同様に、優れた生産性と記録精
度を有している。In the magnetic recording method of the present embodiment described above, static batch recording that reflects the pattern on the photomask 4 is performed in the portion irradiated with the irradiation light. Therefore, as with the preformat technology disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-45544, it has excellent productivity and recording accuracy.
【0081】一方で、本実施の形態では、磁化反転を生
じさせたい部分を局所的に加熱して磁化および保磁力を
消失させて記録を行うので、スペーシングロスや不均一
磁化の問題を回避しつつ、将来的な高保磁力磁気記録媒
体に対しても反転磁化の生成の機能を充分に確保するこ
とが可能である。On the other hand, in the present embodiment, the portion where the magnetization reversal is to be caused is locally heated to erase the magnetization and coercive force, and the recording is performed. Therefore, the problems of spacing loss and non-uniform magnetization are avoided. In addition, it is possible to sufficiently secure the function of generating reversal magnetization even in a future high coercivity magnetic recording medium.
【0082】すなわち、本発明の磁気記録方法は、特開
平10−40544号公報に開示されたプリフォーマッ
ト記録方法のように、マスター情報担体の強磁性薄膜に
磁気記録媒体保磁力の3倍以上の飽和磁束密度を備えさ
せる必要はない。従って、将来的な高保磁力磁気記録媒
体に対して十分な記録性能が得られないという従来技術
の課題を解決することが出来る。That is, according to the magnetic recording method of the present invention, as in the preformat recording method disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544, the ferromagnetic thin film of the master information carrier has a coercive force of three times or more of the magnetic recording medium. It is not necessary to provide a saturation magnetic flux density. Therefore, it is possible to solve the problem of the related art that sufficient recording performance cannot be obtained for a high-coercivity magnetic recording medium in the future.
【0083】ここで、フォトマスク4を介して磁気記録
媒体1の表面に照射光を照射する過程、および照射光を
遮断して照射部分を自然冷却する過程においては、図2
(b)に示すように、一定の直流バイアス磁界10を印
加してもよい。この直流バイアス磁界10は、直流消去
磁界2やこれにより残留する直流消去磁化3とは逆極性
に印加され、非加熱部分の初期磁化3'より発生する浮
遊磁界8が充分大きくない場合において、充分な反転磁
化9を生じさせるための補助磁界として作用する。Here, in the process of irradiating the surface of the magnetic recording medium 1 with the irradiation light through the photomask 4 and in the process of blocking the irradiation light and naturally cooling the irradiated portion, FIG.
As shown in (b), a constant DC bias magnetic field 10 may be applied. This DC bias magnetic field 10 is applied with a polarity opposite to that of the DC erasing magnetic field 2 and the remaining DC erasing magnetization 3 and is sufficient when the floating magnetic field 8 generated from the initial magnetization 3 ′ of the non-heated portion is not sufficiently large. It functions as an auxiliary magnetic field for generating a large reverse magnetization 9.
【0084】直流バイアス磁界10の大きさは、非加熱
部分の保磁力を超えるほど大きなものであってはならな
い。非加熱部分の保磁力を超える大きな直流バイアス磁
界10を印加した場合には、非加熱部分の初期磁化3'
を減磁もしくは消磁させてしまう恐れがあるので、実施
の形態に応じて、非加熱部分の保磁力よりも小さな値に
おいて最適値を見出すことが必要である。本発明の磁気
記録方法であって、図1および図2に示した方法とは別
の実施の形態を、垂直磁気記録媒体への信号記録の場合
を例に取って、図3の断面図を参照して説明する。The magnitude of the DC bias magnetic field 10 must not be so large as to exceed the coercive force of the unheated part. When a large DC bias magnetic field 10 exceeding the coercive force of the non-heated portion is applied, the initial magnetization 3 ′ of the non-heated portion is increased.
May be demagnetized or demagnetized, and it is necessary to find an optimum value at a value smaller than the coercive force of the non-heated portion according to the embodiment. FIG. 3 is a cross-sectional view of a magnetic recording method according to another embodiment of the present invention, which is different from the method shown in FIGS. 1 and 2, taking a case of signal recording on a perpendicular magnetic recording medium as an example. It will be described with reference to FIG.
【0085】まず、図3(a)に示すように、垂直磁気
記録媒体1に直流消去磁界2を印加して、磁気記録媒体
1の膜法線方向に一様に直流消去する。これにより、垂
直磁気記録媒体1には、その全面にわたって一様な直流
消去磁化3が形成されることになる。First, as shown in FIG. 3A, a DC erasing magnetic field 2 is applied to the perpendicular magnetic recording medium 1 to perform DC erasing uniformly in the film normal direction of the magnetic recording medium 1. As a result, a uniform DC erase magnetization 3 is formed on the entire surface of the perpendicular magnetic recording medium 1.
【0086】次に、図3(b)に示すように、直流消去
された磁気記録媒体1の表面にフォトマスク4を接触さ
せない非接触の状態で近接させ、照射光7を照射する。
照射光7の照射には、大面積に均一に平行光を照射可能
な紫外線光源やレーザ光を用いることができる。Next, as shown in FIG. 3B, the photomask 4 is brought close to the surface of the DC-erased magnetic recording medium 1 in a non-contact state without contact, and irradiation light 7 is irradiated.
For the irradiation of the irradiation light 7, an ultraviolet light source or a laser light capable of uniformly irradiating parallel light over a large area can be used.
【0087】フォトマスク4は、照射光7を透過するこ
とが可能な非磁性基体5上に、情報信号配列に対応する
マスクパターンが金属マスク膜6により形成されてい
る。照射光7は、金属マスク膜6を透過できないので、
金属マスク膜6が形成されていない部分においてのみ、
局所的に磁気記録媒体1の表面に照射され、この部分に
おいて磁気記録媒体表面を加熱することができる。In the photomask 4, a mask pattern corresponding to the information signal arrangement is formed by a metal mask film 6 on a non-magnetic substrate 5 that can transmit the irradiation light 7. Since the irradiation light 7 cannot pass through the metal mask film 6,
Only in the portion where the metal mask film 6 is not formed,
The surface of the magnetic recording medium 1 is locally irradiated, and the surface of the magnetic recording medium can be heated in this portion.
【0088】磁気記録媒体表面が、例えば磁性層のキュ
リー温度近傍まで加熱されると、加熱部分において局所
的に磁化が消失する。この状態で照射光を遮断すると、
加熱された部分は徐々に自然冷却され、その過程におい
て隣接する非加熱部分の初期磁化3'より発生する浮遊
磁界8により初期磁化3'とは逆極性に磁化される。そ
の結果、磁気記録媒体1には、図1(c)に示すよう
に、フォトマスク4上に形成された金属マスク膜パター
ンに対応して、直流消去に基づく初期磁化3'と反転磁
化9が交互に配列した情報信号配列パターンが記録され
ることになる。When the surface of the magnetic recording medium is heated to, for example, the vicinity of the Curie temperature of the magnetic layer, the magnetization locally disappears at the heated portion. When the irradiation light is blocked in this state,
The heated portion is gradually cooled spontaneously, and is magnetized in the process by the stray magnetic field 8 generated from the initial magnetization 3 ′ of the adjacent non-heated portion to have a polarity opposite to that of the initial magnetization 3 ′. As a result, in the magnetic recording medium 1, as shown in FIG. 1C, the initial magnetization 3 ′ and the reversal magnetization 9 based on the DC erasing correspond to the metal mask film pattern formed on the photomask 4. Information signal arrangement patterns arranged alternately are recorded.
【0089】上記した本実施の形態の磁気記録方法で
は、照射光が照射された部分においてフォトマスク上の
パターンを反映した静的な一括面記録が行われる。した
がって、特開平10−40544号公報に開示されたプ
リフォーマット技術と同様に、優れた生産性と記録精度
を有している。In the magnetic recording method of the present embodiment described above, static batch recording that reflects a pattern on a photomask is performed in a portion irradiated with irradiation light. Therefore, as with the preformat technology disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-45544, it has excellent productivity and recording accuracy.
【0090】一方で、本実施の形態の磁気記録方法で
は、フォトマスクと磁気記録媒体を接触させることがな
いので、両者間に介在する異物によって磁気記録媒体表
面に欠陥を生じさせるということがない。On the other hand, in the magnetic recording method of the present embodiment, since the photomask and the magnetic recording medium do not come into contact with each other, there is no possibility that a defect present on the surface of the magnetic recording medium due to the foreign matter interposed between them. .
【0091】したがって、本発明の磁気記録方法は、特
開平10−40544号公報に開示されたプリフォーマ
ット記録で課題となっていた、信頼性をも向上すること
ができる。異物による不良についてのサーティファイ試
験は不要となる。ここで、フォトマスク4を介して磁気
記録媒体1の表面に照射光を照射する過程、および照射
光を遮断して照射部分を自然冷却する過程においては、
図4(b)に示すように、一定の直流バイアス磁界10
を印加してもよい。この直流バイアス磁界10は、直流
消去磁界2やこれにより残留する直流消去磁化3とは逆
極性に印加され、非加熱部分の初期磁化3'より発生す
る浮遊磁界8が充分大きくない場合において、充分な反
転磁化9を生じさせるための補助磁界として作用する。Therefore, the magnetic recording method of the present invention can also improve the reliability, which has been a problem in the preformat recording disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-45544. A certification test for defects due to foreign matter is not required. Here, in the process of irradiating the irradiation light to the surface of the magnetic recording medium 1 through the photomask 4 and in the process of blocking the irradiation light and naturally cooling the irradiated portion,
As shown in FIG. 4B, a constant DC bias magnetic field 10
May be applied. This DC bias magnetic field 10 is applied with a polarity opposite to that of the DC erasing magnetic field 2 and the remaining DC erasing magnetization 3 and is sufficient when the floating magnetic field 8 generated from the initial magnetization 3 ′ of the non-heated portion is not sufficiently large. It functions as an auxiliary magnetic field for generating a large reverse magnetization 9.
【0092】直流バイアス磁界10の大きさは、非加熱
部分の保磁力を超えるほど大きなものであってはならな
い。非加熱部分の保磁力を超える大きな直流バイアス磁
界10を印加した場合には、非加熱部分の初期磁化3'
を減磁もしくは消磁させてしまう恐れがあるので、実施
の形態に応じて、非加熱部分の保磁力よりも小さな値に
おいて最適値を見出すことが必要である。The magnitude of the DC bias magnetic field 10 must not be so large as to exceed the coercive force of the unheated part. When a large DC bias magnetic field 10 exceeding the coercive force of the non-heated portion is applied, the initial magnetization 3 ′ of the non-heated portion is increased.
May be demagnetized or demagnetized, and it is necessary to find an optimum value at a value smaller than the coercive force of the non-heated portion according to the embodiment.
【0093】図1から図4に示した本実施の形態の磁気
記録方法に適した磁気記録媒体としては、CoとCrを
主成分とする合金薄膜もしくはこれらにPtやTaなど
の元素を添加した合金薄膜よりなる垂直磁気記録媒体、
Pt膜もしくはPd膜とCoとを一定周期で交互に積層
した多層薄膜よりなる垂直磁気記録媒体、バリウムフェ
ライトに代表される酸化鉄系磁性薄膜もしくは磁性塗布
層よりなる垂直磁気記録媒体などを用いることができ
る。これらの磁気記録媒体に記録を行う場合には、照射
光の照射される部分において、磁気記録媒体をそのキュ
リー温度近傍まで加熱することが必要である。As a magnetic recording medium suitable for the magnetic recording method of the present embodiment shown in FIGS. 1 to 4, an alloy thin film containing Co and Cr as main components or an element such as Pt or Ta added thereto. Perpendicular magnetic recording medium comprising an alloy thin film,
Use of a perpendicular magnetic recording medium composed of a multilayer thin film in which a Pt film or a Pd film and Co are alternately laminated at a constant cycle, an iron oxide-based magnetic thin film represented by barium ferrite, or a perpendicular magnetic recording medium composed of a magnetic coating layer. Can be. When recording is performed on these magnetic recording media, it is necessary to heat the magnetic recording medium to a temperature near its Curie temperature in a portion irradiated with irradiation light.
【0094】一般に、上記したような垂直磁気記録媒体
のキュリー温度は、摂氏数百度以上と高いため、照射光
の照射によってキュリー温度まで加熱し、照射部分の磁
化の消失に至らしめることが困難な場合がある。したが
って、照射光は上記観点から、充分なパワーを有するも
のであることが必要である。In general, the Curie temperature of a perpendicular magnetic recording medium as described above is as high as several hundred degrees Celsius or more, so that it is difficult to heat the film to the Curie temperature by irradiating the irradiation light to cause the disappearance of the magnetization in the irradiated portion. There are cases. Therefore, from the above viewpoint, it is necessary that the irradiation light has a sufficient power.
【0095】磁気記録媒体として、希土類と遷移金属を
主成分とするアモルファス合金薄膜よりなる垂直磁気記
録媒体を用いた場合には、直流消去に基づく直流消去磁
化3の消失温度をより低くすることができるため、より
好ましい。When a perpendicular magnetic recording medium composed of an amorphous alloy thin film mainly composed of a rare earth and a transition metal is used as the magnetic recording medium, it is possible to lower the erasing temperature of the DC erase magnetization 3 based on the DC erasing. It is more preferable because it is possible.
【0096】特にGd(ガドリニウム)、Tb(テルビ
ウム)、Dy(ジスプロシウム)などの重希土類と遷移
金属とを主成分とするアモルファス合金薄膜の多くは、
フェリ磁性を有するため、キュリー温度よりも充分に低
い補償温度において磁化を消失させることができる。こ
の補償温度は、希土類元素と遷移金属元素の組成比を制
御することにより、垂直磁気記録媒体としての性能に影
響を与えない範囲において、幅広く制御することができ
る。したがって、実施の形態の例に応じて、磁気記録媒
体の補償温度を、磁気記録再生装置の動作環境温度より
もやや高く設定しておくことにより、比較的低パワーの
照射光を用いて充分に効率的なプリフォーマット記録を
行うことが可能となる。In particular, many amorphous alloy thin films mainly composed of heavy rare earths such as Gd (gadolinium), Tb (terbium), and Dy (dysprosium) and a transition metal are:
Since it has ferrimagnetism, magnetization can be eliminated at a compensation temperature sufficiently lower than the Curie temperature. By controlling the composition ratio of the rare earth element and the transition metal element, the compensation temperature can be controlled in a wide range as long as the performance of the perpendicular magnetic recording medium is not affected. Therefore, according to the example of the embodiment, by setting the compensation temperature of the magnetic recording medium to be slightly higher than the operating environment temperature of the magnetic recording / reproducing apparatus, it is possible to sufficiently use the irradiation light of relatively low power. Efficient preformat recording can be performed.
【0097】一方、本発明の磁気記録方法を、面内磁気
記録媒体への信号記録の場合を例に取って、図5の断面
図を参照して説明する。On the other hand, the magnetic recording method of the present invention will be described with reference to the sectional view of FIG. 5, taking the case of signal recording on an in-plane magnetic recording medium as an example.
【0098】まず、図5(a)に示すように、面内磁気
記録媒体1に直流消去磁界2を印加して、磁気記録媒体
1の膜面方向に一様に直流消去する。これによって、膜
面方向に沿った直流消去磁化3が形成される。First, as shown in FIG. 5A, a DC erasing magnetic field 2 is applied to the in-plane magnetic recording medium 1 to perform DC erasing uniformly in the film surface direction of the magnetic recording medium 1. As a result, a DC erase magnetization 3 is formed along the film surface direction.
【0099】次に、図5(b)に示すように直流消去さ
れた磁気記録媒体1の表面にフォトマスク4を接触させ
ないように近接させ、照射光7を照射する。照射光7の
照射には、大面積に均一に平行光を照射可能な紫外線光
源やレーザ光を用いることができる。Next, as shown in FIG. 5B, the photomask 4 is brought close to the surface of the DC-erased magnetic recording medium 1 so as not to come in contact with the magnetic recording medium 1 and irradiated with irradiation light 7. For the irradiation of the irradiation light 7, an ultraviolet light source or a laser light capable of uniformly irradiating parallel light over a large area can be used.
【0100】なお図5は、磁気記録媒体1の表面にフォ
トマスク4を接触させないように近接させる例を示して
いるが、図1に示した例と同様に、磁気記録媒体1の表
面にフォトマスク4を接触させる構成とすることも出来
る。この場合、磁気記録媒体表面とフォトマスクとが接
触しているので、両者間に介在する異物に起因する媒体
表面欠陥や信号欠落を防止するといった効果は得られな
い。しかしながら、将来的な高保磁力磁気記録媒体に対
しても反転磁化の生成の機能、すなわち記録性能を充分
に確保するという効果は、図5の構成と同様に得ること
ができる。FIG. 5 shows an example in which the photomask 4 is brought close to the surface of the magnetic recording medium 1 so as not to come into contact with the surface. However, as in the example shown in FIG. It is also possible to adopt a configuration in which the mask 4 is brought into contact. In this case, since the surface of the magnetic recording medium and the photomask are in contact with each other, it is not possible to obtain an effect of preventing a medium surface defect or a signal drop due to a foreign substance interposed therebetween. However, the function of generating reversal magnetization, that is, the effect of sufficiently securing the recording performance, can be obtained for the future high coercivity magnetic recording medium as well as the configuration of FIG.
【0101】フォトマスク4は、照射光7を透過するこ
とが可能な非磁性基体5上に、情報信号配列に対応する
マスクパターンが金属マスク膜6により形成されてい
る。照射光7は、金属マスク膜6を透過できないので、
金属マスク膜6が形成されていない部分においてのみ、
局所的に磁気記録媒体1の表面に照射され、この部分に
おいて磁気記録媒体表面を加熱することができる。In the photomask 4, a mask pattern corresponding to an information signal array is formed by a metal mask film 6 on a nonmagnetic substrate 5 that can transmit the irradiation light 7. Since the irradiation light 7 cannot pass through the metal mask film 6,
Only in the portion where the metal mask film 6 is not formed,
The surface of the magnetic recording medium 1 is locally irradiated, and the surface of the magnetic recording medium can be heated in this portion.
【0102】磁気記録媒体表面が、例えば磁性層のキュ
リー温度近傍まで加熱されると、加熱部分において局所
的に磁化が消失する。この状態で直流消去磁界2や初期
磁化3'とは逆極性で直流バイアス磁界10を印加し、
照射光を遮断すると、加熱された部分は徐々に自然冷却
され、その過程において直流バイアス磁界10に基づい
て磁気記録媒体1に印加される記録磁界11により直流
消去磁化3とは逆極性に磁化される。その結果、磁気記
録媒体1には、図5(c)に示すように、フォトマスク
4上に形成された金属マスクパターンに対応して、直流
消去に基づく初期磁化3'と反転磁化9が交互に配列し
た情報信号配列パターンが記録されることになる。When the surface of the magnetic recording medium is heated to, for example, the vicinity of the Curie temperature of the magnetic layer, the magnetization locally disappears at the heated portion. In this state, a DC bias magnetic field 10 having a polarity opposite to that of the DC erasing magnetic field 2 and the initial magnetization 3 ′ is applied,
When the irradiation light is cut off, the heated portion is gradually cooled naturally, and is magnetized in the process by the recording magnetic field 11 applied to the magnetic recording medium 1 based on the DC bias magnetic field 10 to the polarity opposite to the DC erase magnetization 3. You. As a result, in the magnetic recording medium 1, as shown in FIG. 5 (c), the initial magnetization 3 'and the reversal magnetization 9 based on the DC erasing are alternately arranged corresponding to the metal mask pattern formed on the photomask 4. Is recorded.
【0103】図3に例示した垂直磁気記録媒体への記録
方法とは異なり、面内磁気記録媒体への記録方法におい
ては、隣接する非加熱部分の初期磁化3'より発生する
浮遊磁界は、加熱部分への反転磁化9の記録に寄与する
ことができない。したがって、初期磁化3'と反転磁化
9が交互に配列した情報信号配列パターンを記録するた
めには、直流バイアス磁界10の印加が必須である。Unlike the recording method on the perpendicular magnetic recording medium illustrated in FIG. 3, in the recording method on the longitudinal magnetic recording medium, the floating magnetic field generated from the initial magnetization 3 ′ of the adjacent non-heated portion is heated. It cannot contribute to the recording of the reversal magnetization 9 in the portion. Therefore, in order to record an information signal array pattern in which the initial magnetization 3 'and the inversion magnetization 9 are alternately arranged, the application of the DC bias magnetic field 10 is essential.
【0104】図4に示した垂直磁気記録媒体への記録方
法と同様に、直流バイアス磁界10の大きさは、非加熱
部分の保磁力を超えるほど大きなものであってはならな
い。非加熱部分の保磁力を超える大きな直流バイアス磁
界を印加した場合には、非加熱部分の初期磁化3'を減
磁もしくは消磁させてしまう恐れがあるので、実施の形
態に応じて、非加熱部分の保磁力よりも小さな値におい
て最適値を見出すことが必要である。As in the recording method for the perpendicular magnetic recording medium shown in FIG. 4, the magnitude of the DC bias magnetic field 10 must not be so large as to exceed the coercive force of the unheated portion. When a large DC bias magnetic field exceeding the coercive force of the non-heated portion is applied, the initial magnetization 3 ′ of the non-heated portion may be demagnetized or demagnetized. It is necessary to find the optimum value at a value smaller than the coercive force of
【0105】図5に示した本実施の形態の磁気記録方法
に適した磁気記録媒体としては、CoとCrを主成分と
する合金薄膜もしくはこれらにPtやTaなどの元素を
添加した合金薄膜よりなる面内磁気記録媒体、CoとS
iO2もしくはCoとPtとSiO2を主成分とするグラ
ニュラー薄膜よりなる面内磁気記録媒体、Coフェライ
トに代表される酸化鉄系磁性薄膜もしくは磁性塗布層よ
りなる面内磁気記録媒体、CoとOもしくはCoとNi
とOを主成分とする斜方蒸着膜よりなる磁気記録媒体な
どを用いることができる。これらの磁気記録媒体に記録
を行う場合には、照射光の照射される部分において、磁
気記録媒体をそのキュリー温度近傍まで加熱することが
必要である。As a magnetic recording medium suitable for the magnetic recording method of the present embodiment shown in FIG. 5, an alloy thin film containing Co and Cr as main components or an alloy thin film obtained by adding an element such as Pt or Ta to them is used. In-plane magnetic recording medium, Co and S
In-plane magnetic recording medium composed of a granular thin film containing iO 2 or Co, Pt and SiO 2 as main components, iron oxide-based magnetic thin film represented by Co ferrite or in-plane magnetic recording medium composed of a magnetic coating layer, Co and O Or Co and Ni
And a magnetic recording medium composed of an obliquely deposited film containing O as a main component. When recording is performed on these magnetic recording media, it is necessary to heat the magnetic recording medium to a temperature near its Curie temperature in a portion irradiated with irradiation light.
【0106】次に、本発明の磁気記録方法に用いられ
る、情報信号配列に対応するマスクパターンを備えたフ
ォトマスクの外観(概観)の一例を図6に示す。図6に
例示したフォトマスク4は、ハードディスクなどのディ
スク状磁気記録媒体にトラッキング用サーボ信号などの
プリフォーマット情報信号を記録するために用いられる
ものであって、図6においては正方形の平面形状を示し
ているが、本発明の磁気記録方法に用いられるフォトマ
スクはこれに限られたものではなく、円形など、その他
の平面形状をしたものを用いることもできる。Next, FIG. 6 shows an example of the external appearance (outlook) of a photomask having a mask pattern corresponding to the information signal array used in the magnetic recording method of the present invention. The photomask 4 illustrated in FIG. 6 is used for recording a preformat information signal such as a servo signal for tracking on a disk-shaped magnetic recording medium such as a hard disk, and has a square planar shape in FIG. Although shown, the photomask used in the magnetic recording method of the present invention is not limited to this, and a photomask having another planar shape such as a circle can be used.
【0107】フォトマスク4の表面には、磁気記録媒体
に記録される情報信号配列パターンに応じてパターニン
グされた金属マスク膜6が形成されている。図6に例示
したフォトマスク4は、ディスク状磁気記録媒体にトラ
ッキング用サーボ信号などのプリフォーマット情報信号
を記録するために用いられるものであるので、ディスク
の周方向において一定間隔でプリフォーマット情報信号
配列パターン12が設けられた構成となっている。On the surface of the photomask 4, a metal mask film 6 patterned according to an information signal array pattern recorded on a magnetic recording medium is formed. Since the photomask 4 illustrated in FIG. 6 is used for recording a preformat information signal such as a servo signal for tracking on a disk-shaped magnetic recording medium, the preformat information signal is provided at regular intervals in the circumferential direction of the disk. The arrangement pattern 12 is provided.
【0108】金属マスク膜6には、例えば、金属クロム
膜が用いられる。金属マスク膜6は、これが形成された
部分において照射光を透過することのないよう、照射光
の波長や金属マスク膜の透過率を考慮して、充分な膜厚
を有することが必要である。一方、金属マスク膜の膜厚
が、情報信号の最小単位(磁気ディスク媒体に記録され
る信号の場合、ディスク円周方向には記録ビット長、デ
ィスク径方向には記録トラック幅)に比して一定値以上
に大きい場合には、散乱光によって記録時の分解能を低
下させてしまう場合があるので好ましくはない。したが
って、金属マスク膜6の膜厚に関しては、実施の形態の
例に応じて、実験検討に基づく最適化が必要である。For the metal mask film 6, for example, a metal chromium film is used. The metal mask film 6 needs to have a sufficient thickness in consideration of the wavelength of the irradiation light and the transmittance of the metal mask film so as not to transmit the irradiation light in the portion where the metal mask film 6 is formed. On the other hand, the thickness of the metal mask film is smaller than the minimum unit of the information signal (in the case of a signal recorded on a magnetic disk medium, the recording bit length in the disk circumferential direction and the recording track width in the disk radial direction). If the value is larger than a certain value, the resolution at the time of recording may be reduced by scattered light, which is not preferable. Therefore, the thickness of the metal mask film 6 needs to be optimized based on experimental studies according to the example of the embodiment.
【0109】一実施例において、金属マスク膜6として
金属クロム膜を用いたフォトマスク上の情報信号の最小
単位が0.5ミクロン程度であって、可視光もしくは紫
外光を用いてハードディスク用垂直磁気記録媒体に記録
を行った場合、金属クロム膜の膜厚は、200nmから
400nmの範囲が適切であった。In one embodiment, the minimum unit of an information signal on a photomask using a chromium metal film as the metal mask film 6 is about 0.5 μm, and a perpendicular magnetic field for a hard disk using visible light or ultraviolet light is used. When recording was performed on a recording medium, the thickness of the metal chromium film was appropriately in the range of 200 nm to 400 nm.
【0110】なお、金属マスク膜6には、上記金属クロ
ム膜のほか、実施の形態に応じてアルミニウムや銅など
他の金属膜もしくは金属合金膜を用いることもできる。
この金属マスク膜には、リソグラフィ技術を用いて情報
信号配列に対応するパターンを形成することが必要であ
るため、この膜上にレジストパターンを容易に形成でき
るもの、さらには、様々なエッチング手法により除去容
易なものであることが好ましい。The metal mask film 6 may be made of another metal film such as aluminum or copper or a metal alloy film depending on the embodiment, in addition to the above-described metal chromium film.
Since it is necessary to form a pattern corresponding to the information signal array using a lithography technique on this metal mask film, a resist pattern can be easily formed on this film, and further, by various etching methods. Preferably, it is easily removable.
【0111】また、フォトマスク4上には、情報信号配
列パターン12のほかにも、用途に応じて様々なパター
ンを配置することが可能である。例えば、図4に例示し
たフォトマスク4では、磁気記録媒体とフォトマスクと
の位置合わせを行うために用いられるアライメントマー
カ13を金属マスク膜6によって設けている。このよう
なアライメントマーカ13を用いることにより、例えば
ハードディスクのようなディスク状磁気記録媒体の中心
孔を参照して、フォトマスク上の情報信号配列パターン
と磁気記録媒体との中心位置どうしを正確に合わせるこ
とが可能となる。[0111] In addition to the information signal array pattern 12, various patterns can be arranged on the photomask 4 according to the intended use. For example, in the photomask 4 illustrated in FIG. 4, an alignment marker 13 used for aligning the magnetic recording medium with the photomask is provided by the metal mask film 6. By using such an alignment marker 13, the center position between the information signal array pattern on the photomask and the magnetic recording medium is accurately aligned with reference to the center hole of a disk-shaped magnetic recording medium such as a hard disk. It becomes possible.
【0112】図6に示される領域Aにおいてフォトマス
ク4上に形成された情報信号配列パターン12の一構成
例を、図7の拡大平面図に示す。図7は、領域Aにおい
てフォトマスク上に形成された情報信号配列パターンの
一例として、ディスク状磁気記録媒体に記録されるトラ
ッキング用サーボ信号やアドレス情報信号、クロック信
号等のプリフォーマット情報信号配列パターンを示した
ものであって、図の横方向が磁気ディスクの円周方向
(すなわち記録トラック長さ方向)に、縦方向が磁気デ
ィスクの径方向(すなわち記録トラック幅方向)に概略
一致する。An example of the configuration of the information signal array pattern 12 formed on the photomask 4 in the region A shown in FIG. 6 is shown in the enlarged plan view of FIG. FIG. 7 shows an example of an information signal array pattern formed on a photomask in a region A, as a preformat information signal array pattern such as a tracking servo signal, an address information signal, and a clock signal recorded on a disk-shaped magnetic recording medium. The horizontal direction in the figure substantially coincides with the circumferential direction of the magnetic disk (that is, the recording track length direction), and the vertical direction substantially coincides with the radial direction of the magnetic disk (that is, the recording track width direction).
【0113】図中、ハッチングを施した部分は金属マス
ク膜6が形成された部分で、この部分においてフォトマ
スク4に照射された照射光は透過せず、磁気記録媒体に
達することはない。一方、白抜きの部分は金属マスク膜
6が形成されていない部分であって、フォトマスクに照
射された照射光は、この部分を透過して磁気記録媒体表
面に照射される。In the figure, the hatched portion is the portion where the metal mask film 6 is formed, and the irradiation light applied to the photomask 4 in this portion does not transmit and does not reach the magnetic recording medium. On the other hand, the white portion is a portion where the metal mask film 6 is not formed, and the irradiation light applied to the photomask passes through this portion and is applied to the surface of the magnetic recording medium.
【0114】図7の情報信号配列パターンは、ディスク
径方向に概略平行な矩形パターンの集合であって、各々
の矩形パターンのディスク径方向における長さは、概
略、プリフォーマット記録された磁気記録媒体が搭載さ
れる磁気ディスクドライブ装置の記録トラック幅に対応
するよう形成されている。The information signal array pattern shown in FIG. 7 is a set of rectangular patterns substantially parallel to the radial direction of the disk, and the length of each rectangular pattern in the radial direction of the disk is substantially the same as that of the prerecorded magnetic recording medium. Is formed so as to correspond to the recording track width of the magnetic disk drive device on which is mounted.
【0115】本発明の磁気記録方法を用いて図7の情報
信号配列パターンが記録された磁気ディスク媒体を搭載
した磁気ディスクドライブ装置では、磁気ヘッドがトラ
ッキング用サーボ信号を再生する際、ディスク径方向の
微小変位に伴う再生信号振幅の変化を検出して、トラッ
キングサーボ動作を行える構成となっている。In the magnetic disk drive apparatus equipped with the magnetic disk medium on which the information signal array pattern of FIG. 7 is recorded by using the magnetic recording method of the present invention, when the magnetic head reproduces the tracking servo signal, The tracking servo operation can be performed by detecting a change in the amplitude of the reproduction signal due to the minute displacement.
【0116】図6に示される領域Aにおいてフォトマス
ク4上に形成された情報信号配列パターン12の別の一
構成例を、図8の拡大平面図に示す。図8は、図7と同
様に、領域Aにおいてフォトマスク上に形成された情報
信号配列パターンの一例として、ディスク状磁気記録媒
体に記録されるトラッキング用サーボ信号やアドレス情
報信号、クロック信号等のプリフォーマット情報信号配
列パターンを示したものであって、図の横方向が磁気デ
ィスクの円周方向(すなわち記録トラック長さ方向)
に、縦方向が磁気ディスクの径方向(すなわち記録トラ
ック幅方向)に概略一致する。Another example of the configuration of the information signal array pattern 12 formed on the photomask 4 in the region A shown in FIG. 6 is shown in the enlarged plan view of FIG. FIG. 8 shows an example of an information signal array pattern formed on the photomask in the area A, as in FIG. 7, such as a tracking servo signal, an address information signal, and a clock signal recorded on a disk-shaped magnetic recording medium. A preformat information signal array pattern is shown. The horizontal direction of the figure is the circumferential direction of the magnetic disk (that is, the recording track length direction).
The vertical direction substantially coincides with the radial direction of the magnetic disk (that is, the recording track width direction).
【0117】図中、ハッチングを施した部分は金属マス
ク膜6が形成された部分で、この部分においてフォトマ
スクに照射された照射光は透過せず、磁気記録媒体に達
することはない。一方、白抜きの部分は金属マスク膜6
が形成されていない部分であって、フォトマスクに照射
された照射光は、この部分を透過して磁気記録媒体表面
に照射される。In the figure, the hatched portion is the portion where the metal mask film 6 is formed. In this portion, the irradiation light irradiated on the photomask does not pass and does not reach the magnetic recording medium. On the other hand, the white portion is the metal mask film 6
Irradiation light applied to the photomask in a portion where is not formed is transmitted through this portion to irradiate the surface of the magnetic recording medium.
【0118】図7の情報信号配列パターンが、ディスク
径方向に概略平行な矩形パターンの集合であったのに対
して、図8の情報信号配列パターンは、ディスク径方向
に非平行であって、なおかつディスク径方向に連続的に
複数の記録トラックを横断する線状パターンの集合とな
るよう形成されている。While the information signal array pattern of FIG. 7 is a set of rectangular patterns substantially parallel to the disk radial direction, the information signal array pattern of FIG. 8 is non-parallel to the disk radial direction, In addition, it is formed so as to be a set of linear patterns that continuously cross a plurality of recording tracks in the disk radial direction.
【0119】本発明の磁気記録方法を用いて図8の情報
信号配列パターンが記録された磁気ディスク媒体を搭載
した磁気ディスクドライブ装置では、磁気ヘッドがトラ
ッキング用サーボ信号を再生する際、ディスク径方向の
微小変位に伴う再生信号位相の変化を検出して、トラッ
キングサーボ動作を行える構成となっている。In the magnetic disk drive apparatus equipped with the magnetic disk medium on which the information signal arrangement pattern of FIG. 8 is recorded by using the magnetic recording method of the present invention, when the magnetic head reproduces the tracking servo signal, the magnetic head in the disk radial direction The tracking servo operation can be performed by detecting a change in the reproduction signal phase due to the small displacement of the reproduction signal.
【0120】図8に例示されたような再生信号位相を検
出する方式の情報信号配列パターンは、図7に例示され
たような再生信号振幅を検出する方式の情報信号配列パ
ターンに比べて、外乱ノイズの影響を受け難く、より高
精度のトラッキングサーボが可能となるなどの長所を有
する。The information signal array pattern of the system for detecting the reproduction signal phase as illustrated in FIG. 8 has a larger disturbance than the information signal array pattern of the system for detecting the amplitude of the reproduction signal as illustrated in FIG. It has the advantages of being less susceptible to noise and enabling more accurate tracking servo.
【0121】しかしながら、従来の磁気ヘッドを用いた
トラッキング用サーボ信号などのプリフォーマット記録
においては、磁気ヘッドの記録ギャップにおいてディス
ク径方向に有限の記録トラック幅を有しており、なおか
つディスク径方向に対して任意の角度を有することでき
ないという制約があり、図8に例示されたような再生信
号位相を検出する方式の情報信号配列パターンを記録す
ることができなかった。However, in the preformat recording of a tracking servo signal or the like using a conventional magnetic head, the recording gap has a finite recording track width in the disk radial direction in the recording gap of the magnetic head, and also has a finite recording track width in the disk radial direction. On the other hand, there is a restriction that the information signal array pattern cannot have an arbitrary angle, and an information signal array pattern of a method of detecting a reproduction signal phase as illustrated in FIG. 8 cannot be recorded.
【0122】これに対して、本発明の記録方法では、一
括面記録であって、磁気ディスク媒体に記録される情報
信号配列パターンの形状をフォトマスク上で自由に実現
可能であるので、図8に例示されたように、再生信号位
相を検出する方式の情報信号配列パターンや、ディスク
径方向に連続的に記録トラックを横断する線状パターン
を記録することも至極容易である。On the other hand, according to the recording method of the present invention, which is batch recording, the shape of the information signal array pattern recorded on the magnetic disk medium can be freely realized on the photomask. It is extremely easy to record an information signal array pattern of a method of detecting a reproduction signal phase or a linear pattern continuously traversing a recording track in the radial direction of a disc, as exemplified in (1).
【0123】次に、本発明の実施の形態の磁気記録方法
における照射光の照射方法について図9から図10を参
照して説明する。Next, an irradiation method of irradiation light in the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
【0124】図9は、本発明の実施の形態の磁気記録方
法における照射光の照射方法の一構成例を示す断面図で
ある。図9の構成では、ランプ光源14より発する照射
光7が、フォトマスク4の全面に渡って一様に照射され
る構成となっている。フォトマスク4に照射された照射
光7は、フォトマスク4上に形成された金属マスク膜の
パターン形状に応じて一部がフォトマスク4を透過し、
磁気記録媒体1の表面に投影される。ここで、フォトマ
スク4を透過した照射光7が、精度良くフォトマスク4
上のパターンを磁気記録媒体表面に投影するためには、
照射光7がフォトマスク面に一様にかつ垂直に入射する
ことが好ましい。照射光が、ランダムな方向からフォト
マスクに斜方入射する場合には、斜方入射による散乱光
のため、記録分解能を低下させてしまう場合がある。こ
のような観点から、ランプ光源14は、フォトマスク面
に垂直に入射する平行光を発することのできるものであ
ることが好ましい。FIG. 9 is a sectional view showing an example of a configuration of a method of irradiating irradiation light in the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention. In the configuration of FIG. 9, the irradiation light 7 emitted from the lamp light source 14 is uniformly irradiated over the entire surface of the photomask 4. Irradiation light 7 applied to the photomask 4 partially transmits through the photomask 4 according to the pattern shape of the metal mask film formed on the photomask 4,
It is projected on the surface of the magnetic recording medium 1. Here, the irradiation light 7 transmitted through the photomask 4 is accurately transferred to the photomask 4.
To project the above pattern on the surface of the magnetic recording medium,
It is preferable that the irradiation light 7 is uniformly and vertically incident on the photomask surface. When the irradiation light is obliquely incident on the photomask from a random direction, the recording resolution may be reduced due to the scattered light due to the oblique incidence. From such a viewpoint, it is preferable that the lamp light source 14 be capable of emitting parallel light perpendicularly incident on the photomask surface.
【0125】また、本発明の磁気記録方法を用いて磁気
記録媒体に記録することができる情報信号の最小単位
(磁気ディスク媒体に記録される信号の場合、ディスク
円周方向には記録ビット長、ディスク径方向には記録ト
ラック幅)は、照射光7の波長に律速(拘束)される。
例えば、フォトマスク上に線幅1.0μmの情報信号配
列パターンを形成したとしても、照射光7が波長1.5
μm程度の赤外光である場合には、線幅1.0μmの信
号パターンを磁気記録媒体1上に記録することは困難で
ある。このような観点から、ランプ光源14が発する照
射光7の波長は短い方が好ましい。例えば、記録する情
報信号の最小単位が0.5μm程度である場合には、ラ
ンプ光源14として紫外線ランプを用いることが好まし
い。The minimum unit of an information signal that can be recorded on a magnetic recording medium using the magnetic recording method of the present invention (in the case of a signal recorded on a magnetic disk medium, the recording bit length in the disk circumferential direction, The recording track width in the radial direction of the disc) is determined (constrained) by the wavelength of the irradiation light 7.
For example, even if an information signal array pattern having a line width of 1.0 μm is formed on a photomask, the irradiation light 7 has a wavelength of 1.5 μm.
In the case of infrared light of about μm, it is difficult to record a signal pattern having a line width of 1.0 μm on the magnetic recording medium 1. From such a viewpoint, it is preferable that the wavelength of the irradiation light 7 emitted from the lamp light source 14 is short. For example, when the minimum unit of the information signal to be recorded is about 0.5 μm, it is preferable to use an ultraviolet lamp as the lamp light source 14.
【0126】一方、図9に示したようにランプ光源14
を用いて、照射光7をフォトマスク4の全面に渡って一
様に照射する構成とした場合、ランプ光源のパワーはフ
ォトマスク面に分散して投与されることになるので、フ
ォトマスク4の面積や磁気記録媒体1の磁気特性によっ
ては照射部分を充分に加熱して磁化消失に至らしめるこ
とが困難な場合がある。On the other hand, as shown in FIG.
Is used to uniformly irradiate the irradiation light 7 over the entire surface of the photomask 4, the power of the lamp light source is distributed and applied to the photomask surface. Depending on the area and the magnetic characteristics of the magnetic recording medium 1, it may be difficult to sufficiently heat the irradiated portion to cause the magnetization to disappear.
【0127】このような場合には、図10に例示するよ
うに、レーザ光源15を用いて部分的に記録を行い、さ
らにレーザ光をフォトマスク4の表面に沿って走査する
ことにより、磁気記録媒体1の全面に渡るプリフォーマ
ット記録を完結する構成としても良い。In such a case, as shown in FIG. 10, the recording is partially performed by using the laser light source 15, and further, the laser light is scanned along the surface of the photomask 4 to perform the magnetic recording. A configuration in which preformat recording over the entire surface of the medium 1 is completed may be adopted.
【0128】この場合、磁気記録媒体の全面に渡って一
括面記録することはできないので、図9に示した構成に
比べると、若干、プリフォーマット記録に関わる生産性
を犠牲にすることになる。In this case, since it is not possible to perform batch recording over the entire surface of the magnetic recording medium, productivity related to preformat recording is slightly sacrificed as compared with the configuration shown in FIG.
【0129】しかしながら、従来の磁気ヘッドを用いた
線記録における最小記録単位(磁気ディスク媒体に記録
される信号のビット面積)と比べれば、レーザ光のスポ
ットサイズは、少なくとも108倍以上に大きくするこ
とができる、したがって、従来の磁気ヘッドを用いたプ
リフォーマット記録に比べれば、なお生産性に関して大
きなメリットを有している。However, compared with the minimum recording unit (bit area of a signal recorded on a magnetic disk medium) in linear recording using a conventional magnetic head, the spot size of a laser beam is increased to at least 108 times or more. Therefore, compared to the preformat recording using the conventional magnetic head, there is still a great advantage in terms of productivity.
【0130】さて、本発明の磁気記録方法においては、
照射光7の波長を短くすることによって、より微細で高
密度の情報信号パターンを記録することができる。例え
ば、照射光7として波長が0.25μmの深紫外光を用
いた場合には、原理的にはビット長が0.25μm程度
の高密度信号を記録することができる。Now, in the magnetic recording method of the present invention,
By shortening the wavelength of the irradiation light 7, a finer and higher-density information signal pattern can be recorded. For example, when deep ultraviolet light having a wavelength of 0.25 μm is used as the irradiation light 7, a high-density signal having a bit length of about 0.25 μm can be recorded in principle.
【0131】しかしながら、現行の技術を用いては、こ
のような微細な金属マスクパターンをフォトマスク上に
形成すること自体が困難な場合がある。あるいは、技術
的に可能であったとしても、フォトマスクの製造コスト
が莫大なものとなってしまい、プリフォーマット記録に
関わるコストメリットを多少なりとも犠牲にしてしまう
場合がある。However, it is sometimes difficult to form such a fine metal mask pattern on a photomask using the current technology. Alternatively, even if it is technically possible, the manufacturing cost of the photomask may become enormous, and the cost advantage of the preformat recording may be sacrificed to some extent.
【0132】上記のような微細な信号パターン、すなわ
ち高密度の信号パターンを記録する場合には、図11お
よび図12に例示するように、フォトマスク4と磁気記
録媒体1との間にレンズ16を介して照射光7を屈折さ
せることにより、フォトマスク4上に備えられた情報信
号配列に対応するマスクパターンが磁気記録媒体1の表
面に縮小投影される構成とすることもできる。When a fine signal pattern as described above, that is, a high-density signal pattern is recorded, the lens 16 is placed between the photomask 4 and the magnetic recording medium 1 as illustrated in FIGS. By refracting the irradiating light 7 through the mask, the mask pattern corresponding to the information signal array provided on the photomask 4 can be reduced and projected on the surface of the magnetic recording medium 1.
【0133】例えば、レンズ16によってフォトマスク
4上に備えられたマスクパターンが磁気記録媒体1の表
面に5分の1に縮小投影される構成とした場合には、磁
気記録媒体1上に記録される情報信号のビット長が0.
25μmという小さい値である場合にも、この情報信号
配列に対応するマスクパターンは、1.25μm(=
0.25×5)という比較的大きなサイズでフォトマス
ク4上に備えればよい。これによって、フォトマスクの
製造を容易化し、またその製造コストを低減することが
可能となる。For example, if the mask pattern provided on the photomask 4 is projected by the lens 16 on the surface of the magnetic recording medium 1 in a reduced size of 5, the mask pattern is recorded on the magnetic recording medium 1. Bit length of the information signal is 0.
Even when the value is as small as 25 μm, the mask pattern corresponding to this information signal array is 1.25 μm (=
It may be provided on the photomask 4 with a relatively large size of 0.25 × 5). This makes it easy to manufacture the photomask and reduces the manufacturing cost.
【0134】以上、本発明の実施の形態の一例について
記述したが、本発明の構成は、様々な実施形態への応用
が可能である。例えば本願明細書では、主にハードディ
スクドライブ等に搭載される磁気ディスク媒体に応用す
ることに主眼をおいて記述を行ったが、本発明はこれに
限られるものではなく、フレキシブル磁気ディスク、磁
気カードおよび磁気テープ等の磁気記録媒体においても
応用可能であり、上記と同様に発明の効果を得ることが
できる。As described above, an example of the embodiment of the present invention has been described. However, the configuration of the present invention can be applied to various embodiments. For example, in the specification of the present application, the description has been made mainly on application to a magnetic disk medium mounted on a hard disk drive or the like, but the present invention is not limited to this, and a flexible magnetic disk, a magnetic card Also, the present invention can be applied to a magnetic recording medium such as a magnetic tape, and the effects of the invention can be obtained in the same manner as described above.
【0135】また、上記では、磁気記録媒体に記録され
る情報信号に関しては、トラッキング用サーボ信号やア
ドレス情報信号、クロック信号等のプリフォーマット情
報信号に主眼をおいて記述を行ったが、本発明の構成が
応用可能な情報信号も、上記に限られたものではない。
例えば、本発明の構成を用いて様々なデータ信号やオー
ディオ、ビデオ信号の記録を行うことも原理的に可能で
ある。この場合には、本発明のマスター情報担体とこれ
を用いた磁気記録媒体への記録技術によって、ソフトデ
ィスク媒体の大量複写生産を行うことができ、安価に提
供することが可能である。In the above description, the information signal recorded on the magnetic recording medium has been described with a focus on the preformat information signal such as the servo signal for tracking, the address information signal, and the clock signal. The information signal to which the configuration described above can be applied is not limited to the above.
For example, it is possible in principle to record various data signals, audio and video signals using the configuration of the present invention. In this case, the master information carrier of the present invention and the recording technology on the magnetic recording medium using the master information carrier enable mass production of soft disk media to be produced and can be provided at low cost.
【0136】[0136]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、その静
的一括面記録ゆえに優れた生産性と記録精度を確保しな
がらも、光照射による積極的な加熱に基づいての一旦の
磁化消失を伴うゆえに、スペーシングロスや不均一磁化
の問題を回避しつつ、反転磁化の生成の機能を充分に確
保し、加えて、磁気記録媒体表面からのフォトマスクの
離間を確保し、接触が原因となっている異物による信号
欠落やヘッドクラッシュの問題を回避してサーティファ
イ試験を待つまでもなく、高い信頼性をもたらすことが
できるに至ったのである。As described above, according to the present invention, while the excellent productivity and the recording accuracy are ensured due to the static batch recording, once magnetization based on active heating by light irradiation is achieved. Because of the loss, the function of generating reversal magnetization is sufficiently secured while avoiding the problems of spacing loss and non-uniform magnetization, and in addition, the contact of the photomask from the surface of the magnetic recording medium is ensured, High reliability can be achieved without having to wait for a certifying test while avoiding the problem of signal loss or head crash due to the foreign matter causing the problem.
【0137】すなわち、本発明によれば、トラッキング
用サーボ信号やアドレス情報信号、クロック信号等のプ
リフォーマット情報信号の磁気記録媒体への記録におい
て、プリフォーマット情報信号の記録精度に優れ、かつ
生産性と信頼性にも優れた磁気記録方法を提供すること
ができる。これにより、高密度大容量記録が可能な磁気
記録再生装置、とりわけハードディスクドライブに代表
される磁気ディスクドライブ装置を、安価かつ大量に供
給することが可能となる。That is, according to the present invention, in recording a preformat information signal such as a servo signal for tracking, an address information signal, and a clock signal on a magnetic recording medium, the recording accuracy of the preformat information signal is excellent and the productivity is high. And a magnetic recording method excellent in reliability. As a result, it is possible to supply a magnetic recording / reproducing device capable of high-density and large-capacity recording, particularly a magnetic disk drive device represented by a hard disk drive, inexpensively and in large quantities.
【図1】 本発明の実施の形態の磁気記録方法の一構成
例を示す拡大断面図FIG. 1 is an enlarged sectional view showing a configuration example of a magnetic recording method according to an embodiment of the present invention;
【図2】 本発明の実施の形態の磁気記録方法の別の一
構成例を示す拡大断面図FIG. 2 is an enlarged sectional view showing another configuration example of the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention;
【図3】 本発明の実施の形態の磁気記録方法の別の一
構成例を示す拡大断面図FIG. 3 is an enlarged sectional view showing another configuration example of the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention;
【図4】 本発明の実施の形態の磁気記録方法の別の一
構成例を示す拡大断面図FIG. 4 is an enlarged sectional view showing another configuration example of the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention;
【図5】 本発明の実施の形態の磁気記録方法のさらに
別の一構成例を示す拡大断面図FIG. 5 is an enlarged sectional view showing still another configuration example of the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention;
【図6】 本発明の実施の形態の磁気記録方法に用いら
れるフォトマスクの一構成例を示す平面図FIG. 6 is a plan view showing a configuration example of a photomask used in the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention.
【図7】 本発明の実施の形態の磁気記録方法に用いら
れるフォトマスク上の情報信号配列パターンの一構成例
を示す拡大平面図FIG. 7 is an enlarged plan view showing one configuration example of an information signal array pattern on a photomask used in the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention;
【図8】 本発明の実施の形態の磁気記録方法に用いら
れるフォトマスク上の情報信号配列パターンの別の一構
成例を示す拡大平面図FIG. 8 is an enlarged plan view showing another configuration example of the information signal array pattern on the photomask used in the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention;
【図9】 本発明の実施の形態の磁気記録方法における
照射光の照射方法の一構成例を示す断面図FIG. 9 is a sectional view showing a configuration example of an irradiation method of irradiation light in the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention.
【図10】 本発明の実施の形態の磁気記録方法におけ
る照射光の照射方法の別の一構成例を示す断面図FIG. 10 is a sectional view showing another configuration example of the irradiation method of the irradiation light in the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention;
【図11】 本発明の実施の形態の磁気記録方法におけ
る照射光の照射方法のさらに別の一構成例を示す断面図FIG. 11 is a sectional view showing still another configuration example of the irradiation method of the irradiation light in the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention.
【図12】 本発明の実施の形態の磁気記録方法におけ
る照射光の照射方法のさらに別の一構成例を示す断面図FIG. 12 is a sectional view showing still another configuration example of the irradiation method of the irradiation light in the magnetic recording method according to the embodiment of the present invention;
1 磁気記録媒体 2 直流消去磁界 3 直流消去磁化 3'直流消去に基づく初期磁化 4 フォトマスク 5 非磁性基体 6 金属マスク膜 7 照射光 8 浮遊磁界 9 反転磁化 10 直流バイアス磁界 11 記録磁界 12 プリフォーマット情報信号配列パターン 13 アライメントマーカ 14 ランプ光源 15 レーザ光源 16 レンズ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Magnetic recording medium 2 DC erasing magnetic field 3 DC erasing magnetization 3 'Initial magnetization based on DC erasing 4 Photomask 5 Non-magnetic substrate 6 Metal mask film 7 Irradiation light 8 Floating magnetic field 9 Inversion magnetization 10 DC bias magnetic field 11 Recording magnetic field 12 Preformat Information signal array pattern 13 Alignment marker 14 Lamp light source 15 Laser light source 16 Lens
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宮田 敬三 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 古村 展之 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 松岡 薫 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 Fターム(参考) 5D091 AA08 BB07 CC17 CC26 HH20 5D112 DD02 GA19 ──────────────────────────────────────────────────の Continuing on the front page (72) Keizo Miyata 1006 Kadoma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture Inside Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. (72) Inventor Kaoru Matsuoka 1006 Kazuma Kadoma, Kadoma City, Osaka Prefecture F-term in Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 5D091 AA08 BB07 CC17 CC26 HH20 5D112 DD02 GA19
Claims (9)
対して、情報信号配列に対応するマスクパターンをもつ
フォトマスクを接触状態で対向配置し、前記フォトマス
クを介して前記磁気記録媒体表面に照射した光エネルギ
ーによって前記磁気記録媒体表面の被照射部分を局所的
に加熱することにより、前記磁気記録媒体表面に前記情
報信号配列に対応する記録磁化パターンを熱磁気記録す
ることを特徴とする磁気記録方法。1. A photomask having a mask pattern corresponding to an information signal arrangement is disposed in contact with a surface of a magnetic recording medium which has been DC-erased in advance in a contact state, and is disposed on the surface of the magnetic recording medium via the photomask. Magnetically recording a recording magnetization pattern corresponding to the information signal array on the surface of the magnetic recording medium by locally heating an irradiated portion of the surface of the magnetic recording medium with the irradiated light energy; Recording method.
対して、情報信号配列に対応するマスクパターンをもつ
フォトマスクを非接触状態で対向配置し、前記フォトマ
スクを介して前記磁気記録媒体表面に照射した光エネル
ギーによって前記磁気記録媒体表面の被照射部分を局所
的に加熱することにより、前記磁気記録媒体表面に前記
情報信号配列に対応する記録磁化パターンを熱磁気記録
することを特徴とする磁気記録方法。2. A photomask having a mask pattern corresponding to an information signal arrangement is arranged in a non-contact state with respect to a surface of a magnetic recording medium which has been DC-erased in advance, and the surface of the magnetic recording medium is interposed via the photomask. Locally heating an irradiated portion of the surface of the magnetic recording medium with the light energy applied to the magnetic recording medium, thereby thermomagnetically recording a recording magnetization pattern corresponding to the information signal array on the surface of the magnetic recording medium. Magnetic recording method.
所的に加熱するに際して、前記磁気記録媒体の直流消去
による初期磁化とは逆極性の直流バイアス磁界を印加す
ることを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録
方法。3. The method according to claim 1, wherein the step of locally heating the irradiated portion of the surface of the magnetic recording medium includes applying a DC bias magnetic field having a polarity opposite to the initial magnetization of the magnetic recording medium by DC erasing. 3. The magnetic recording method according to 1 or 2.
前記磁気記録媒体の非加熱領域における保磁力よりも小
さい直流バイアス磁界を印加することを特徴とする請求
項3に記載の磁気記録方法。4. The method according to claim 1, wherein in applying the DC bias magnetic field,
4. The magnetic recording method according to claim 3, wherein a DC bias magnetic field smaller than a coercive force in an unheated region of the magnetic recording medium is applied.
その磁性層表面の法線方向に磁化容易軸を有する垂直磁
気記録媒体を対象として、前記熱磁気記録を行うことを
特徴とする請求項1から請求項4までのいずれかに記載
の磁気記録方法。5. The thermomagnetic recording is performed on a perpendicular magnetic recording medium whose magnetic layer has an axis of easy magnetization in a direction normal to the surface of the magnetic layer as the magnetic recording medium. The magnetic recording method according to any one of claims 1 to 4.
類と遷移金属を主成分とし、フェリ磁性を有するアモル
ファス金属合金製のものであって、前記磁気記録媒体表
面の被照射部分を局所的に加熱するに際しては、この被
照射部分を前記磁性層の補償温度近傍まで加熱すること
を特徴とする請求項5に記載の磁気記録方法。6. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic layer is made of an amorphous metal alloy having ferrimagnetism with a rare earth element and a transition metal as main components, and locally irradiating a portion to be irradiated on the surface of the magnetic recording medium. 6. The magnetic recording method according to claim 5, wherein, when heating is performed, the irradiated portion is heated to near a compensation temperature of the magnetic layer.
を、前記フォトマスクの全面に対して一括して照射され
る平行光により行うことを特徴とする請求項1から請求
項6までのいずれかに記載の磁気記録方法。7. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is heated by irradiating the magnetic recording medium with parallel light that is collectively applied to the entire surface of the photomask. The magnetic recording method according to any one of the above.
を、前記フォトマスクの表面に沿って走査されるレーザ
光により行うことを特徴とする請求項1から請求項6ま
でのいずれかに記載の磁気記録方法。8. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic recording medium is heated by irradiating the magnetic recording medium with a laser beam that is scanned along a surface of the photomask. Magnetic recording method.
前記磁気記録媒体との間にレンズを介在させ、前記レン
ズを介して照射光を屈折させることにより、前記フォト
マスク上の前記情報信号配列に対応する前記マスクパタ
ーンを前記磁気記録媒体表面に縮小投影させることを特
徴とする請求項2から請求項8までのいずれかに記載の
磁気記録方法。9. An information signal array on the photomask by interposing a lens between the photomask and the magnetic recording medium disposed opposite to each other, and refracting irradiation light through the lens. 9. The magnetic recording method according to claim 2, wherein the corresponding mask pattern is reduced and projected onto the surface of the magnetic recording medium.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001333177A JP2002203315A (en) | 2000-11-01 | 2001-10-30 | Magnetic recording method |
Applications Claiming Priority (3)
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JP2000-334312 | 2000-11-01 | ||
JP2000334312 | 2000-11-01 | ||
JP2001333177A JP2002203315A (en) | 2000-11-01 | 2001-10-30 | Magnetic recording method |
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JP2002203315A true JP2002203315A (en) | 2002-07-19 |
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ID=26603261
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JP2001333177A Pending JP2002203315A (en) | 2000-11-01 | 2001-10-30 | Magnetic recording method |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2002203315A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1297955C (en) * | 2003-11-20 | 2007-01-31 | 松下电器产业株式会社 | Master information carrier, magnetic recording medium, recording method, and magnetic recording and reproducing apparatus |
-
2001
- 2001-10-30 JP JP2001333177A patent/JP2002203315A/en active Pending
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CN1297955C (en) * | 2003-11-20 | 2007-01-31 | 松下电器产业株式会社 | Master information carrier, magnetic recording medium, recording method, and magnetic recording and reproducing apparatus |
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