JP4304416B2 - 光ファイバフィルタおよびその製造方法 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、光フィルタに関し、特に、光ファイバの一部にフィルタ機能を果たすグレーティングが設けられた光ファイバフィルタに関する。
【０００２】
【従来の技術】
光ファイバフィルタの分野では、フィルタ機能を果たす領域としてグレーティングが光ファイバ中に設けられた光フィルタが良く知られている。このグレーティングは、特定の波長を中心とした波長域の光を反射する。これにより、グレーティングを内蔵する光ファイバは、特定波長域の伝搬光を遮断する損失フィルタとして機能する。
【０００３】
グレーティングは、光ファイバ中で周期的な屈折率分布を有する領域である。この領域では、屈折率がある方向に沿って所定の周期で空間的に変化する。ファイバグレーティングの構造は、光ファイバを横断する一定の屈折率を有する面が周期的に配列されたものと考えられる。この面を等屈折率面と呼ぶことにする。等屈折率面の間隔がグレーティングの周期である。グレーティングは、感光性の光ファイバ（例えば、感光材である酸化ゲルマニウムが添加された石英系ガラス）に屈折率変化を誘起させる光（例えば、酸化ゲルマニウムが添加された石英系ガラスに対しては紫外光）を照射して形成することができる。
【０００４】
グレーティングを備える光ファイバフィルタは、波長多重伝送システムにおいて、合分波器や光増幅器の利得等化器として利用されている。光増幅器の利得を等化するためには、光フィルタの損失スペクトルを精密に制御する必要がある。光フィルタの損失帯域が狭いほど、過剰損失の少ない利得等化を行える。
【０００５】
光ファイバの軸線に対して直交する等屈折率面から構成されるグレーティングを備えた光ファイバフィルタは、狭い損失帯域を有することが知られている。しかしながら、直交グレーティングは光ファイバの軸線に沿って光を反射する。このような反射光は、光増幅器の出力光と干渉するので、好ましくない。
【０００６】
そこで、コアの軸線に対して傾斜した等屈折率面から構成されるグレーティングを備えた光ファイバフィルタが考えられた。等屈折率面が傾斜しているため、グレーティングでの反射光がコアの軸線から逸れ、クラッドに放射されやすくなる。これにより、反射光を低減することができる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、このような傾斜グレーティングを備える光ファイバフィルタは、グレーティングの傾斜角度が大きいと、反射は抑えられるが、帯域幅が広くなる。逆に、傾斜角度が小さいと、帯域幅は狭いが、反射が顕著になる。このため、狭帯域と低反射の双方を兼ね備える光ファイバフィルタが要望されている。
【０００８】
そこで、本発明は、狭帯域かつ低反射の光ファイバフィルタ、およびその製造方法を提供することを課題とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】
本発明の光ファイバフィルタは、コアと、コアを取り囲み、コアより低い屈折率を有するクラッドとを備えている。コアにはグレーティングが形成されており、該グレーティングにより特定の波長を中心とした波長域の光を反射し、これにより特定波長域の伝搬光を遮断する損失フィルタとして機能する。このグレーティングは、コアの軸線に対して傾斜した等屈折率面が周期的に配列された構造を有している。このグレーティングは、コアのうち比屈折率差が０．１％未満であり、モードフィールド径が１５μｍ以上であり、規格化周波数が１．５以上２．６以下である領域に形成されている。また、グレーティングの等屈折率面の傾斜角度は、コアの軸線と直交する面に対して０．５°以上４°未満である。コアの屈折率をｎ１、クラッドの屈折率をｎ２と表すと、比屈折率差ΔｎはΔｎ＝（ｎ１−ｎ２）／ｎ１と表される。
【００１０】
コアを伝搬する光のうち傾斜したグレーティングで反射される光は、コアの軸線からずれた方向に進む。０．１％未満という比屈折率差の小さい領域では、コアに光を閉じこめる作用が弱い。このため、反射光はコアからクラッドに放射されやすい。これにより、グレーティングの傾斜角度が小さくても反射を十分に抑えられる。グレーティングの傾斜角度を小さくすれば、損失帯域は狭くなる。したがって、本発明の光ファイバフィルタは、狭い損失帯域と低反射の双方を備えることができる。
【００１２】
１５μｍ以上というモードフィールド径は、１２μｍ以下という、一般的なシングルモード光ファイバのモードフィールド径よりも大きい。したがって、グレーティングが形成された領域に隣接してモードフィールド径を１２μｍ以下まで縮小するモードフィールド径変換部が設けられているとよい。これにより、本発明の光ファイバフィルタを一般的な光ファイバと容易に接続できるようになる。
【００１３】
このようなモードフィールド径が一部で拡大した光ファイバフィルタは、次のような方法により製造できる。まず、コアに屈折率上昇性ドーパントが添加された光ファイバを用意する。次に、コアの一部を加熱して屈折率上昇性ドーパントを拡散させ、モードフィールド径が拡大した領域を形成する。この後、この領域にグレーティングを形成する。このグレーティングは、コアの軸線に対して傾斜した等屈折率面が周期的に配列された構造を有している。
【００１４】
石英ガラス光ファイバ用の屈折率上昇性ドーパントとしては、ＧｅＯ₂がよく使用される。このＧｅＯ₂は、光誘起屈折率変化を生じさせる感光材でもある。グレーティングは、多くの場合、ＧｅＯ₂が添加された石英ガラスに紫外光を照射して形成される。
【００１５】
上述の製造方法では、ＧｅＯ₂を屈折率上昇性ドーパント兼グレーティング形成用の感光材として使用した場合、熱拡散によりコアのＧｅＯ₂濃度が低下する。ＧｅＯ₂濃度が十分でないと、グレーティングを適切に形成することは難しい。
【００１６】
この問題を解決するため、本発明者らは、第１の光ファイバと第２の光ファイバを接続して、グレーティングにより特定の波長を中心とした波長域の光を反射し、これにより特定波長域の伝搬光を遮断する損失フィルタとして機能する光ファイバフィルタを製造する方法を考えた。ここで、第１光ファイバは、その比屈折率差Δｎ＝（ｎ１−ｎ２）／ｎ１が０．１％未満であり、規格化周波数が１．５以上２．６以下であり、１５μｍ以上である長手方向に沿って一様なモードフィールド径Ｄ１を有している。第２光ファイバは、その一端においてモードフィールド径Ｄ１を有し、このモードフィールド径Ｄ１がＤ１より小さいＤ２まで長手方向に沿って変化するモードフィールド径変換端部を有している。この方法は、モードフィールド径変換端部を介して第２光ファイバを第１光ファイバに接続する工程と、この接続の前または後に第１光ファイバにグレーティングを形成する工程を備えている。このグレーティングは、第１光ファイバのコアの軸線と直交する面に対して０．５°以上４°未満傾斜した等屈折率面が周期的に配列された構造を有している。
【００１７】
グレーティングが形成される第１光ファイバは、一様なモードフィールド径Ｄ１を有しているので、屈折率上昇性ドーパントを熱拡散させずに製造できる。したがって、ＧｅＯ₂を屈折率上昇性ドーパント兼グレーティング形成用の感光材として使用する場合にも、グレーティングを良好に形成できる。
【００１８】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照しながら本発明の実施形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。また、図示の便宜上、図面の寸法比率が説明のものと一致しない場合がある。
【００１９】
図１は、本実施形態の光ファイバフィルタ１の構造を示す側面図である。光ファイバフィルタ１は、シングルモード光ファイバの一部にフィルタ機能を果たすグレーティング３０が形成されたものである。
【００２０】
光ファイバフィルタ１は、柱状のコア１０と、コア１０を取り囲む管状のクラッド２０を有している。コア１０は円形の横断面を有している。クラッド２０は、コア１０の側面に密着し、コア１０の側面を同心に包囲する。クラッド２０は円筒形の外側面を有している。コア１０およびクラッド２０は、いずれも石英（ＳｉＯ₂）ガラスから構成されている。コア１０には、ＧｅＯ₂およびＢ₂Ｏ₃が添加されている。ＧｅＯ₂は石英ガラスの屈折率を上昇させ、Ｂ₂Ｏ₃は石英ガラスの屈折率を下降させる。クラッド２０は、実質的に純粋な石英ガラスである。コア１０はクラッド２０よりも高い屈折率を有している。
【００２１】
ＧｅＯ₂は、周知の通り、波長２４８ｎｍ又は１９３ｎｍ付近の紫外光に対する感光材として機能する。すなわち、ＧｅＯ₂が添加された石英ガラスは、この波長の紫外光が照射されると屈折率が上昇するという性質を持つようになる。ＧｅＯ₂の添加量や照射光の強度が大きいほど、屈折率上昇量も大きくなる。このような光誘起屈折率変化をもたらすＧｅＯ₂の性質を利用して、コア１０にはグレーティング３０が形成されている。グレーティング３０の構造は後述する。
【００２２】
コア１０は、幾つかの部位１１〜１５から構成されている。これらの部位は、図１において破線で仕切られて表示されている。
【００２３】
円柱状の部位１１は、長手方向に沿って一様な直径を有している。以下では、この直径をｄ１と表す。グレーティング３０は部位１１に形成されている。したがって、以下では、部位１１をグレーティング部と呼ぶ。
【００２４】
グレーティング部１１の両端には、長手方向に沿って直径が変化する部位１２および１３が隣接している。部位１２のうちグレーティング部１１と隣接する端面は、ｄ１の直径を有している。部位１２の反対側の端面は、ｄ１よりも小さい直径ｄ２を有している。部位１２の直径は、グレーティング部１１から遠ざかるにつれて、ｄ１からｄ２まで連続的かつ単調に減少する。部位１３も部位１２と同様である。つまり、部位１３のうちグレーティング部１１と隣接する端面はｄ１の直径を有し、部位１３の反対側の端面はｄ１よりも小さい直径ｄ２を有する。部位１３の直径は、グレーティング部１１から遠ざかるにつれて、ｄ１からｄ２まで連続的かつ単調に減少する。
【００２５】
部位１２のうちグレーティング部１１と反対側の端部には、部位１４が隣接している。部位１４は、長手方向に沿って一様な直径ｄ２を有している。同様に、部位１３のうちグレーティング部１１と反対側の端部には、部位１５が隣接している。部位１５は、長手方向に沿って一様な直径ｄ２を有している。
【００２６】
これらの各部位は、その直径に応じたモードフィールド径を有している。以下では、グレーティング部１１のモードフィールド径をＤ１、部位１４および１５のモードフィールド径をＤ２と表す。Ｄ２はＤ１よりも小さい。部位１２および部位１３は、モードフィールド径をＤ１からＤ２に変換する。そこで、部位１２および部位１３をモードフィールド径変換部と呼ぶことにする。
【００２７】
グレーティング部１１に含まれるグレーティング３０は、屈折率が周期的に分布した領域である。この領域では、屈折率がある方向に沿って所定の周期で空間的に変化する。
【００２８】
図１に示されるように、グレーティング３０の構造は、コア１０を横断する一定の屈折率を有する面３２がある方向に沿って周期的に配列されたものと考えられる。この面３２は等屈折率面と呼ばれる。グレーティング３０の等屈折率面３２は、コア１０の軸線５と直交せず、軸線５に対して傾斜している。その傾斜角度θは、軸線５と直交する平面６と等屈折率面３２との間の角度である。
【００２９】
グレーティング３０が傾斜した等屈折率面３２を有しているため、グレーティング３０での反射光はコア１０の軸線から逸れ、クラッド２０に放射されやすくなる。これにより、反射光を低減することができる。しかしながら、グレーティング３０の傾斜角度が大きいと、反射は抑えられるが、光ファイバフィルタ１の損失帯域が広くなる。逆に、傾斜角度が小さいと、損失帯域は狭いが、反射の低減が不十分になる。
【００３０】
そこで、本実施形態では、狭帯域かつ低反射の光ファイバフィルタを実現するため、グレーティング３０が形成されているグレーティング部１１の比屈折率差Δｎを０．１％未満とした。
【００３１】
一般に、比屈折率差Δｎは、コア１０のグレーティング部１１の屈折率をｎ１、クラッド２０の屈折率をｎ２とすると、
Δｎ＝（ｎ１−ｎ２）／ｎ１
のように表される。このように、比屈折率差Δｎは、コア１０とクラッド２０との屈折率差を反映している。したがって、比屈折率差が小さいと、コア内に光を閉じ込める作用が弱くなる。
【００３２】
本発明者らは、この点に着目し、グレーティング３０が形成されるグレーティング部１１の比屈折率差を抑えることで、グレーティング３０で反射されるコア伝搬光がクラッド２０に放射されやすいようにした。そして、本発明者らは、グレーティング部１１の比屈折率差が０．１％未満であると、グレーティング３０の傾斜角度が小さくても、反射を十分に抑えられることを見出した。したがって、光ファイバフィルタ１は、狭い損失帯域と低い反射という優れた特性を兼ね備えている。
【００３３】
本実施形態の光ファイバフィルタにおいて、グレーティング３０の傾斜角度は０．５°以上４°未満であることが好ましい。傾斜角度が０．５°未満だと、反射があまりに大きくなる。また、傾斜角度が４°以上だと、偏波特性の悪化が目立つようになる。いずれにせよ、グレーティング３０の傾斜角度が４°未満と小さくても反射を十分に抑えられることは、本発明の長所である。
【００３４】
また、グレーティング３０が形成されている領域は、１５μｍ以上のモードフィールド径を有し、かつ１．５以上２．６以下の規格化周波数（Ｖ値）を有することが好ましい。モードフィールド径が１５μｍ未満だと、反射が過度に大きくなる。規格化周波数が１．５未満だと、フィルタの光遮断性能が不十分になる。規格化周波数が２．６を超えると、光ファイバフィルタが実質的に他モード化する。これにより生じる２次モード光がグレーティング３０で反射され、新たな損失帯域を作る。これは好ましくない。
【００３５】
部位１４および部位１５のモードフィールド径は、それぞれ１２μｍ以下であることが好ましい。１２μｍ以下という数値は、一般的なシングルモード光ファイバのモードフィールド径である。したがって、本実施形態の光ファイバフィルタ１は、一般的なシングルモード光ファイバと容易に接続できる。
【００３６】
本発明者らは、本実施形態の光ファイバフィルタを実際に製造し、その損失スペクトラムおよび反射スペクトラムを測定した。測定に使用した光ファイバフィルタでは、グレーティング部１１の比屈折率差Δｎが０．０５％であり、グレーティング部１１の直径ｄ１は２５μｍである。また、グレーティング３０の屈折率変化（すなわち、最大屈折率と最小屈折率との差）は０．００１であり、グレーティング３０の長さは１０ｍｍである。グレーティング３０の傾斜角度θは２°である。
【００３７】
図２は、この測定結果を示している。図２に実線で示されるグラフが損失スペクトラムであり、破線で示されるグラフが反射スペクトラムである。図２に示されるように、この光ファイバフィルタは、波長１５５０ｎｍ付近に損失ピークを有している。この損失ピークは、半値幅が約１３ｎｍと十分に狭帯域である。また、反射は最大で約−３５ｄＢであり、低く抑えられている。このように、この光ファイバフィルタは、狭帯域と低反射という二つの優れた特性を兼ね備えていた。
【００３８】
以下では、光ファイバフィルタ１の製造方法を説明する。光ファイバフィルタ１は、コア１０の形状を特徴の一つとしている。このような形状のコア１０は、ドーパントの熱拡散により形成できる。すなわち、ＧｅＯ₂が添加され直径が一様にｄ２のコアを有する光ファイバを用意し、その一部を加熱する。これによりＧｅＯ₂を拡散させてコア径の一部を拡大させると、図１に示されるような形状のコア１０が得られる。その後、位相マスク法などの公知の方法によりコア径が拡大した部分に紫外光を照射すれば、グレーティング３０を形成できる。
【００３９】
この製造方法には、モードフィールド径の拡大を低損失で行えるという利点がある。しかしながら、熱拡散によりＧｅＯ₂の濃度が低下するため、紫外光照射によるグレーティングの形成が困難となる可能性がある。単にコアのＧｅＯ₂濃度を高くするだけでは、純石英ガラスのクラッドとの間で０．１％という低い比屈折率差を実現できない。
【００４０】
この問題を回避するためには、コアのＧｅＯ₂濃度を高くするとともに、屈折率低下性ドーパントをコアに添加して比屈折率差を調節すればよい。屈折率低下性ドーパントとしてはＢ₂Ｏ₃やＦが挙げられる。これらの少なくとも一つをＧｅＯ₂とともにコアに添加することで、０．１％未満の比屈折率差を実現しつつＧｅＯ₂濃度を高め、グレーティングを適切に形成することができる。
【００４１】
また、本発明者らは、グレーティング形成領域のＧｅＯ₂を熱拡散させない製造方法も考えた。図３は、この製造方法を示している。この方法では、光ファイバ２の両端に光ファイバ３および４を互いの端面同士を突き合わせて接続し、光ファイバフィルタ１を得る。光ファイバ２〜４は、光ファイバフィルタ１をその軸線に対して垂直に３分割した各部分に当たる。
【００４２】
光ファイバ２のコア４０は、光ファイバフィルタ１のコア１０のうちグレーティング形成部１１に当たる。光ファイバ２のクラッド５０は、光ファイバフィルタ１のクラッド２０のうち、グレーティング形成部１１の側面を包囲する円筒形部分に当たる。光ファイバ２の比屈折率差は０．１％未満であり、そのモードフィールド径は長手方向に沿って一様にＤ１である。また、コア４０には、傾斜グレーティング３０が形成されている。
【００４３】
一様なモードフィールド径を有する光ファイバは、ＧｅＯ₂を熱拡散させずに製造できる。このような光ファイバにグレーティング３０を形成すれば、光ファイバ２を得ることができる。ＧｅＯ₂を熱拡散させないので、グレーティング３０を良好に形成できる。
【００４４】
光ファイバ３のコア４１は、隣接する二つの部位４２および４４からなる。光ファイバ３の一方の端部である部位４２は、光ファイバフィルタ１のコア１０のうちモードフィールド径変換部１２に当たる。部位４４は、光ファイバフィルタ１のコア１０のうち部位１４に当たる。光ファイバ３のクラッド５１は、光ファイバフィルタ１のクラッド２０のうち、モードフィールド径変換部１２および部位１４の側面を包囲する部分に当たる。
【００４５】
コア４１の部位４４は、Ｄ１より小さいＤ２のモードフィールド径を長手方向に沿って一様に有する。コア４１の部位４２は、モードフィールド径を長手方向に沿ってＤ２からＤ１に変換する。以下では、部位４２をモードフィールド径変換端部と呼ぶ。モードフィールド径変換端部４２では、末端に近づくにつれてモードフィールド径が連続的かつ単調に増加する。言い換えると、モードフィールド径変換端部４２は、光ファイバ３の一端のモードフィールド径Ｄ１を長手方向に沿ってＤ２まで縮小する。
【００４６】
光ファイバ４の構造は光ファイバ３と同様である。光ファイバ４のコア４６は、隣接する二つの部位４３および４５からなる。光ファイバ４の一方の端部である部位４３は、光ファイバフィルタ１のコア１０のうちモードフィールド径変換部１３に当たる。部位４５は、光ファイバフィルタ１のコア１０のうち部位１５に当たる。光ファイバ４のクラッド５２は、光ファイバフィルタ１のクラッド２０のうちモードフィールド径変換部１３および部位１５の側面を包囲する部分に当たる。
【００４７】
コア４６の部位４５は、Ｄ１より小さいＤ２のモードフィールド径を長手方向に沿って一様に有する。コア４６の部位４３は、モードフィールド径を長手方向に沿ってＤ２からＤ１に変換するモードフィールド径変換端部である。モードフィールド径変換端部４３では、末端に近づくにつれてモードフィールド径が連続的かつ単調に増加する。言い換えると、モードフィールド径変換端部４３は、光ファイバ４の一端のモードフィールド径Ｄ１を長手方向に沿ってＤ２まで縮小する。
【００４８】
モードフィールド径変換端部４２および４３は、屈折率上昇性ドーパントの熱拡散により形成できる。したがって、長手方向に沿って一様にＤ２のモードフィールド径を有し、コアにＧｅＯ₂が添加された光ファイバを用意し、その端部を加熱処理すれば、光ファイバ３、４を製造できる。
【００４９】
光ファイバ２の両端にモードフィールド変換端部４２および４３を介して光ファイバ３および４をそれぞれ接続すると、光ファイバフィルタ１が得られる。光ファイバ２〜４は、例えば、融着接続してもよいし、光コネクタを用いて接続してもよい。
【００５０】
なお、この方法では、光ファイバ２と光ファイバ３、４との接続の前に光ファイバ２にグレーティング３０を形成するが、接続後にグレーティング３０を形成してもよい。
【００５１】
ここまで、本発明をその実施形態に基づいて具体的に説明してきた。しかし、本発明は上記の実施形態に限定されるものではない。本発明は、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変形を加えることができる。
【００５２】
例えば、上記実施形態のグレーティングは一定の周期を有しているが、本発明の光ファイバフィルタのグレーティングは、長手方向に沿って周期および／または強度が変化していてもよい。このようなグレーティングは、光ファイバフィルタの損失スペクトルの形状を調整するために有効である。なお、グレーティングの強度とは、グレーティングの屈折率変化の大きさを意味する。
【００５３】
また、上記実施形態ではコアにのみグレーティングが形成されているが、本発明の光ファイバフィルタのグレーティングは、コアだけでなくクラッドにも広がるように形成してもよい。
【００５４】
【発明の効果】
本発明の光ファイバフィルタは、比屈折率差が０．１％未満の領域に傾斜グレーティングが形成されているので、グレーティングでの反射光がクラッドに放射されやすい。これにより、グレーティングの傾斜角度が小さくても反射を十分に抑えられる。したがって、本発明の光ファイバフィルタは、狭い損失帯域と低反射という優れた特性を兼ね備えることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本実施形態の光ファイバフィルタ１の構造を示す側面図である。
【図２】光ファイバフィルタ１の損失スペクトラムおよび反射スペクトラムを示す図である。
【図３】光ファイバフィルタ１の製造方法を示す図である。
【符号の説明】
１…光ファイバフィルタ、５…コアの軸線、１０…コア、１１…グレーティング部、１２および１３…モードフィールド径変換部、２０…クラッド、３０…グレーティング、３２…等屈折率面。

Claims (8)

1. 屈折率ｎ１を有するコアと、前記コアを取り囲み、ｎ１より小さい屈折率ｎ２を有するクラッドとを備え、
   前記コアの軸線に対して傾斜した等屈折率面が周期的に配列された構造のグレーティングが前記コアに形成されており、該グレーティングにより特定の波長を中心とした波長域の光を反射し、これにより特定波長域の伝搬光を遮断する損失フィルタとして機能する光ファイバフィルタであって、
   前記グレーティングは、前記コアのうち比屈折率差Δｎ＝（ｎ１−ｎ２）／ｎ１が０．１％未満であり、モードフィールド径が１５μｍ以上であり、規格化周波数が１．５以上２．６以下である領域に形成され、
   前記グレーティングの等屈折率面の傾斜角度が、前記コアの軸線と直交する面に対して０．５°以上４°未満である、光ファイバフィルタ。
2. 前記グレーティングが形成された領域に隣接してモードフィールド径を１２μｍ以下まで縮小するモードフィールド径変換部が設けられている請求項１記載の光ファイバフィルタ。
3. 前記グレーティングが形成された領域を含み、長手方向に沿って一様な１５μｍ以上のモードフィールド径を有する第１の光ファイバと、前記モードフィールド径変換部を端部に備え、前記モードフィールド径変換部を介して前記第１光ファイバに接続された第２の光ファイバと、を備える請求項２記載の光ファイバフィルタ。
4. 前記第１光ファイバのコアにＧｅＯ_２が添加され、さらにＢ_２Ｏ_３およびＦの少なくとも一方が添加されている請求項３記載の光ファイバフィルタ。
5. 前記グレーティングの周期が長手方向に沿って変化している請求項１記載の光ファイバフィルタ。
6. 前記グレーティングの強度が長手方向に沿って変化している請求項１または５記載の光ファイバフィルタ。
7. 第１の光ファイバと第２の光ファイバを接続してグレーティングにより特定の波長を中心とした波長域の光を反射し、これにより特定波長域の伝搬光を遮断する損失フィルタとして機能する光ファイバフィルタを製造する方法であって、
   前記第１光ファイバは、その比屈折率差Δｎ＝（ｎ１−ｎ２）／ｎ１が０．１％未満であり、規格化周波数が１．５以上２．６以下であり、１５μｍ以上である長手方向に沿って一様なモードフィールド径Ｄ１を有しており、
   前記第２光ファイバは、その一端においてモードフィールド径Ｄ１を有し、このモードフィールド径Ｄ１がＤ１より小さいＤ２まで長手方向に沿って変化するモードフィールド径変換端部を有しており、
   前記モードフィールド径変換端部を介して前記第２光ファイバを前記第１光ファイバに接続する工程と、
   この接続の前または後に、前記第１光ファイバにグレーティングを形成する工程と、を備え、
   前記グレーティングは、前記第１光ファイバのコアの軸線と直交する面に対して０．５°以上４°未満傾斜した等屈折率面が周期的に配列された構造を有している光ファイバフィルタの製造方法。
8. 前記モードフィールド径Ｄ２が１２μｍ以下である請求項７記載の光ファイバフィルタの製造方法。

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