JP4248257B2

JP4248257B2 - Ultrasonic cleaning equipment

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Publication number: JP4248257B2
Application number: JP2003007201A
Authority: JP
Inventors: 英紀園川
Original assignee: Tokyo Electron Ltd
Current assignee: Tokyo Electron Ltd
Priority date: 2003-01-15
Filing date: 2003-01-15
Publication date: 2009-04-02
Anticipated expiration: 2023-01-15
Also published as: JP2004221343A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は超音波洗浄装置に関するもので、更に詳細には、例えば半導体ウエハやＬＣＤ用ガラス基板等の被処理体を、超音波を利用して洗浄する超音波洗浄装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、半導体製造装置の製造工程においては、半導体ウエハやＬＣＤ用ガラス基板等を薬液やリンス液等の洗浄液が貯留された洗浄槽に順次浸漬して洗浄を行う洗浄処理方法が広く採用されている。
【０００３】
このような洗浄処理方法を実施する洗浄処理装置の一例として、超音波洗浄装置が使用されている。従来の超音波洗浄装置は、被処理体例えば半導体ウエハ（以下にウエハという）を浸漬する洗浄液例えば薬液を貯留する石英製の洗浄槽と、この洗浄槽の底部に設けられた排液口を開閉可能な開閉手段を有する排液機構と、ウエハを保持して洗浄槽内に配置する保持手段例えばウエハガイドと、洗浄槽内の洗浄液に超音波を照射する超音波発振手段とで主に構成されている（例えば、特許文献１）。
【０００４】
【特許文献１】
特開平１１−３１６７６号公報（段落番号００３０〜００３６，００５０，００５１、図３、図６、図８）
上記のように構成される超音波洗浄装置によれば、薬液を貯留した洗浄槽内に、ウエハをウエハガイドで保持した状態で浸漬し、超音波発振手段の超音波振動素子に適当な周波数の高周波電圧を印可して励振することにより、超音波振動が発生し、その超音波振動が洗浄槽内の洗浄液に照射されて、ウエハに付着したパーティクル等を除去することができる。そして、所定の時間が経過し洗浄処理が終了すると、排液機構が作動し、開閉弁が排液口を開放して、洗浄槽内の洗浄液を排液する。
【０００５】
そのため、従来では、洗浄槽内の洗浄液を大流量で排液可能とするために、洗浄槽の底部に比較的面積の大きな排液口を設け、この排液口に設けられた弁座に就座する弁体を有する急速排液可能な排液機構が使用されている。この排液機構の開閉弁は、接液側の弁体には耐熱性、耐薬品性に富む材質であるフッ素樹脂製材料例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）｛融点：３２７℃｝が使用され、弁体以外の構成部材、例えば弁体に連結する弁軸、弁座及び弁筐体等にはＰＴＦＥに比べて成形性に富むＰＰ（ポリプロピレン）｛融点：１７６℃｝が使用されている。
【０００６】
また、洗浄の目的に応じて洗浄液に、純水、脱気水（酸素濃度５ｐｐｂ以下）、薬液例えばアンモニア過水｛ＮＨ4ＯＨ／Ｈ2Ｏ2／Ｈ2Ｏ}（ＳＣ１），塩酸過水｛ＨＣｌ／Ｈ2Ｏ2／Ｈ2Ｏ}（ＳＣ２）あるいは希フッ酸（ＤＨＦ）等が使用されている。
【０００７】
更には、洗浄処理効率の向上を図るために、洗浄槽内に貯留された洗浄液を排液した後、新規の洗浄液に交換するなどしている。
【０００８】
上記のように構成される超音波洗浄装置において、洗浄液中に超音波を照射すると、洗浄液は静圧の１気圧を中心に変動し、圧力が０気圧以下（真空状態）になったとき、洗浄液中の溶存酸素などの微小な気泡が核となり、無数の真空に近い微小空洞（キャビテーション）が発生し、超音波のプラス圧力のときにそのキャビテーションが、断熱圧縮状態となり、押し潰される瞬間に発生する強力な衝撃波によってウエハに付着するパーティクルをウエハから剥離することで、パーティクルを除去している。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、洗浄液の種類や温度あるいは水位状態等によって、洗浄液の液面にさざ波現象が生じることが目視により確認されている。このようなさざ波現象は、超音波の照射により散乱した超音波が、石英製の洗浄槽の側壁に衝突し、これが乱反射｛図７（ａ）参照｝して生じるものと推測される。このようなさざ波現象により、洗浄槽における超音波照射領域外の音圧が上昇すると共に、温度上昇を招く虞があった。また、洗浄槽の底部には、洗浄液の排液性を良好にするために傾斜状の底面が形成され、その最下部に排液口が設けられる場合が多く、この場合には、排液口に超音波が集中する現象が起こり、この超音波集中によって温度上昇を招く虞があった。
【００１０】
上記のように、超音波の散乱・乱反射が生じると、その振動・衝撃波によって、ウエハにダメージを与えるばかりか、洗浄装置の構成部品、例えば洗浄槽、ウエハボート等に損傷を与えるという問題があった。また、超音波の散乱・乱反射や超音波の集中照射等による温度上昇によって洗浄装置の構成部品、例えば洗浄槽、ウエハボートや排液機構の開閉手段である開閉弁が変形したり、破損するなどの問題もあった。特に、超音波の集中による温度上昇は、開閉弁の弁体と弁軸の連結部に集中するため、ＰＴＦＥ製の弁体に比べて融点の低いＰＰ製の弁軸が溶融することがあり、これにより弁機能が低下するという問題があった。
【００１１】
この発明は上記事情に鑑みなされたもので、超音波の散乱・乱反射や集中による温度上昇を抑制して被処理体及び装置構成部品へのダメージの抑制を図れるようにした超音波洗浄装置を提供することを目的とするものである。
【００１２】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、この発明の超音波洗浄装置は、被処理体の洗浄液を貯留する洗浄槽と、上記洗浄槽の底部に設けられた排液口を開閉可能な開閉手段を有する排液機構と、上記被処理体を保持して上記洗浄槽内に配置する保持手段と、上記洗浄槽内の洗浄液に超音波を照射する超音波発振手段と、を具備する超音波洗浄装置において、上記洗浄槽の側壁における上記洗浄液の液面近傍の接液部、上記開閉手段における上記洗浄液の接液部又は上記保持手段における上記洗浄液の液面近傍の接液部の少なくとも１つに、上記超音波の散乱・乱反射あるいは超音波の集中が起因する温度上昇を抑制する温度上昇抑制手段を具備してなり、上記開閉手段は、排液口に連通する連通口に設けられた弁座と、この弁座に接離可能に就座する弁体とを具備し、上記弁体における上記連通口と対向する面の内側に、超音波集中による温度上昇を抑制する空気層を形成してなる、ことを特徴とする。
【００１３】
この発明において、上記温度上昇抑制手段を、洗浄槽の側壁の少なくとも一箇所の内側面又は外側面に装着される超音波を吸収可能なパネルにて形成する方が好ましい（請求項２）。この場合、超音波を吸収可能なパネルとして、例えばフッ素樹脂製パネルを使用することができる。また、上記温度上昇抑制手段を、洗浄槽の側壁の外側面に被着される超音波を吸収可能なシートにて形成することも可能である（請求項３）。この場合、超音波を吸収可能なシートとして、例えばフッ素樹脂製シートを使用することができる。また、上記温度上昇抑制手段を、洗浄槽の側壁の外側面に被着される音響吸収物質シートにて形成することも可能である（請求項４）。
【００１４】
また、この発明の超音波洗浄装置において、上記保持手段に、被処理体を垂直状に保持する保持部と、この保持部から垂直状に延在する垂直部とを具備し、上記垂直部における上記被処理体と対向する上記洗浄液の液面近傍面に、超音波を吸収可能なパネルを装着してもよい（請求項５）。
【００１５】
加えて、この発明の超音波洗浄装置において、上記弁体における連通口と対向する面に、凹所を設けると共に、この凹所にシール部材を介して石英製の蓋体を固着して蓋体と凹所との間に空気層を形成する方がよい（請求項６）。また、この発明の超音波洗浄装置において、上記洗浄液に脱気水を使用することができる（請求項７）。
【００１６】
請求項１記載の発明によれば、洗浄槽の側壁における洗浄液の液面近傍の接液部、排液口を開閉する開閉手段における洗浄液の接液部又は被処理体を保持する保持手段における洗浄液の液面近傍の接液部の少なくとも１つに、超音波の散乱・乱反射あるいは集中が起因する温度上昇を抑制する温度上昇抑制手段を設けることにより、超音波洗浄中に洗浄に供される超音波の散乱・乱反射あるいは集中による温度上昇を抑制することができる。したがって、被処理体のダメージを抑制すると共に、洗浄装置の構成部品例えば洗浄槽、保持手段あるいは排液機構の開閉手段等の変形や破損を防止することができる。
【００１７】
請求項２記載の発明によれば、温度上昇抑制手段を、洗浄槽の側壁の少なくとも一箇所の内側面又は外側面に装着される超音波を吸収可能なパネルにて形成することにより、散乱して洗浄槽の側壁に衝突する超音波をパネルにて吸収することができるので、超音波の散乱・乱反射を抑制することができると共に、温度上昇を抑制することができる。
【００１８】
請求項３，４記載の発明によれば、温度上昇抑制手段を、洗浄槽の側壁の外側面に被着される超音波を吸収可能なシート、あるいは、音響吸収物質シートにて形成することにより、散乱して洗浄槽の側壁に衝突する超音波をシートにて吸収することができるので、超音波の散乱・乱反射を抑制することができると共に、温度上昇を抑制することができる。
【００１９】
請求項５記載の発明によれば、保持手段に、被処理体を垂直状に保持する保持部と、この保持部から垂直状に延在する垂直部とを具備し、垂直部における被処理体と対向する洗浄液の液面近傍面に、超音波を吸収可能なパネルを装着することにより、散乱して保持手段の垂直部面に衝突する超音波をパネルにて吸収することができるので、被処理体に近接する部位における超音波の散乱・乱反射を抑制することができると共に、温度上昇を抑制することができる。
【００２０】
請求項１，６記載の発明によれば、開閉手段に、排液口に設けられた弁座と、この弁座に接離可能に就座する弁体とを具備し、弁体における連通口と対向する面の内側に、超音波集中による温度上昇を抑制する空気層を形成することにより、超音波集中による温度上昇を空気層によって吸収して弁体に伝達するので、温度上昇による弁体の変形や破損を抑制することができる。
【００２１】
請求項７記載の発明によれば、洗浄液に脱気水（酸素濃度５ｐｐｂ以下）を使用することができるので、脱気水における超音波の散乱・乱反射を抑制し、かつ、温度上昇を抑制して、脱気水の洗浄効率の向上を図ることができる。
【００２２】
【発明の実施の形態】
以下に、この発明に係る超音波洗浄装置の実施形態について添付図面に基づいて詳細に説明する。ここでは、半導体ウエハ用の超音波洗浄装置に適用した場合について説明する。
【００２３】
◎第一実施形態
図１は、この発明に係る超音波洗浄装置の第一実施形態を示す概略断面図、図２は、図１の側断面図、図３は、図１の平面図である。
【００２４】
上記超音波洗浄装置は、被処理体例えば半導体ウエハＷ（以下にウエハＷという）を浸漬する洗浄液例えば薬液Ｌが貯留される洗浄槽１と、複数枚例えば５０枚のウエハＷを垂直状に保持して洗浄槽１内に配置する保持手段であるウエハボート１０と、洗浄槽１内の下部に配設されて洗浄槽１内に洗浄液例えば薬液或いは純水を噴射（供給）する液供給手段例えば洗浄液供給ノズル２０と、洗浄槽１内の薬液Ｌ（洗浄液）に超音波を照射、すなわち超音波振動を与えるための超音波発振手段３０と、洗浄槽１の底部２に設けられた排液口３を開閉する開閉手段すなわち開閉弁４１を有する排液機構である弁機構４０とで主に構成されている。この場合、洗浄槽１の側壁４の外側面４ａと、ウエハボート１０の垂直部１３のウエハＷと対向する垂直面１３ａには、それぞれさざ波現象の原因となる超音波の散乱・乱反射が起因する温度上昇を抑制する温度上昇抑制手段５０，５０Ａが装着されている。また、弁機構４０の開閉弁４１の排液口３と対向する部位には、超音波の集中が起因する温度上昇を抑制する温度上昇抑制手段５０Ｂが設けられている。
【００２５】
上記洗浄槽１は、例えば耐薬品性に富む材料例えば石英製の内槽１ａと、この内槽１ａの上端開口部から溢流（オーバーフロー）する薬液Ｌを受け止める外槽１ｂとで構成されている。なお、内槽１ａの側壁４の上端部には洗浄槽１内から溢流（オーバーフロー）する薬液Ｌを外槽１ｂに案内するための複数のＶ状切欠き１ｃが設けられている。また、洗浄槽１の底部２は、一側から他側に向かって下り勾配の傾斜底面２ａを具備しており、傾斜底面２ａの下端側に隣接する側壁４の下端部に排液口３が設けられている。なお、外槽１ｂの底部には、排液口５が設けられており、この排液口５にドレイン弁６を介して排液管７が接続されている。
【００２６】
上記のように構成される洗浄槽１における内槽１ａの側壁４の外側面には、超音波の散乱・乱反射が起因する温度上昇を抑制する温度上昇抑制手段５０が装着されている。この温度上昇抑制手段５０は、超音波を吸収可能な材質であるフッ素樹脂製パネル、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製パネル５０（以下に、超音波吸収パネル５０という）にて形成されている。この超音波吸収パネル５０は、図示しない耐薬性を有する接着剤あるいは耐薬性を有するねじ等の固定部材によって側壁４の外側面４ａに装着（固着）されている。なお、ここでは、内槽１ａの全ての側壁４の外側面４ａに超音波吸収パネル５０を装着する場合について説明したが、超音波吸収パネル５０は、少なくとも１つの側壁４｛具体的には、ウエハボート１０の垂直部１３が位置する側と反対側の側壁４｝の外側面４ａに装着されていればよく、好ましくは、少なくともこの側壁４及びこれに隣接する側壁４の２箇所以上の外側面４ａに装着されていればよい。
【００２７】
上記ウエハボート１０は、図１及び図２に示すように、複数枚例えば５０枚のウエハＷを水平方向に垂直状に保持すべく複数の保持溝１１を有する互いに平行な３本の保持棒１２（保持部）と、これら保持棒１２の一端から垂直状に起立する垂直部１３とを具備し、垂直部１３を図示しない昇降機構によって昇降させることによって、ウエハボート１０によって保持される複数枚例えば５０枚のウエハＷが洗浄槽１内の薬液に浸漬され、あるいは、洗浄槽１から上方に搬出されるように構成されている。
【００２８】
上記のように構成されるウエハボート１０の垂直部１３におけるウエハＷと対向する垂直面１３ａには、さざ波現象の原因となる超音波の散乱・乱反射が起因する温度上昇を抑制する温度上昇抑制手段５０Ａが装着されている。この温度上昇抑制手段５０Ａは、超音波を吸収可能な材質であるフッ素樹脂製パネル、例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製パネル５０Ａ（以下に、超音波吸収パネル５０Ａという）にて形成されている。この超音波吸収パネル５０Ａは、ウエハボート１０の垂直面１３ａに装着されている。
【００２９】
上記洗浄液供給ノズル２０は、洗浄槽１の下部両側に互いに平行に配設される管状ノズル本体２１と、この管状ノズル本体２１の斜め上部と斜め下部にそれぞれ適宜間隔をおいて穿設される多数のノズル孔２２，２３とを具備してなる。このように構成される洗浄液供給ノズル２０は、開閉弁Ｖを介設した供給管２４を介して純水供給源２５に接続されると共に、供給管２４に介設される切換弁ＣＶ及び薬液供給管２６を介して薬液供給源である薬液タンク２７に接続されている。なお、薬液供給管２６には、薬液を薬液供給管２６に導入するためのポンプＰが介設されている。なお、ポンプＰを用いずに、薬液タンク２７内に例えば窒素（Ｎ2）ガスを供給して薬液供給管２６に導入するようにしてもよい。
【００３０】
なお、図示しないが、外槽１ｂの底部に設けられる排液口５と洗浄液供給ノズル２０とを接続する循環管路に循環ポンプ及びフィルタを介設して洗浄液を循環供給するようにしてもよい。
【００３１】
上記のように構成される洗浄液供給ノズル２０によれば、開閉弁Ｖを開放することによって純水供給源２５から供給される純水がノズル孔２２からウエハＷの中心部側に向かって噴射（供給）され、また、ノズル孔２３から洗浄槽１の底部２中央部に向かって噴射（供給）される。また、切換弁ＣＶを切り換えると共に、ポンプＰを駆動することによって、薬液タンク２７から供給される薬液が純水と混合して混合液がノズル孔２２からウエハＷの中心部側に向かって噴射（供給）され、また、ノズル孔２３から洗浄槽１の底部２中央部に向かって噴射（供給）される。なお、洗浄液供給ノズル２０から洗浄槽１内に噴射（供給）されて貯留された洗浄液（純水、薬液）は、側壁４の上端に設けられた切欠き１ｃに案内されて外槽１ｂにて受け止められるが、外槽１ｂの外方に飛散した洗浄液（純水、薬液）は、洗浄槽１を収容する容器８の底部に配設されたパン（図示せず）によって受け止められた後、図示しないドレンから外部に排出されるようになっている。なお、薬液は１種類に限らず、複数の種類の薬液タンクが同様に洗浄液供給ノズル２０に接続されてもよい。
【００３２】
上記弁機構４０は、図４に示すように、洗浄槽１の排液口３に連通する連通口４２を有する合成樹脂製例えばＰＰ（ポリプロピレン）製の弁筐体４３と、連通口４２に設けられた弁座４４と、この弁座４４に接離可能に就座する合成樹脂製例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製の弁体４５と、この弁体４５にねじ結合により連結され、図示しない作動空気圧のＯＮ，ＯＦＦによって接離方向に移動する合成樹脂製例えばＰＰ（ポリプロピレン）製の弁軸４６とからなる開閉手段である開閉弁４１とを具備している。また、弁体４５における連通口４２と対向する面の内側に、超音波集中による温度上昇を抑制する温度上昇抑制手段である空気層５０Ｂが形成されている。この空気層５０Ｂは、弁体４５における連通口４２と対向する面に設けられた狭隘開口状の凹所５１にＥＰＤＭ（エチレン−プロピレンゴム）製のＯリング５２（シール部材）を介して石英製の蓋体５３を固着、すなわち弁体４５に設けられた雌ねじ部４５ａと、弁軸４６の膨隆先端部４６ａに設けられた雄ねじ部４６ｂとをねじ結合することで、蓋体５３と凹所５１との間に形成される（図４（ｂ）参照）。
【００３３】
一方、超音波発振手段３０は、洗浄槽１の下方に中間槽９を介して設けられている。すなわち、超音波発振手段３０は、洗浄槽１の下部を収容する中間槽９の底部の下面に装着される複数の振動子３１と、これら振動子３１と高周波駆動電源３２との間に介設される超音波発振器３４と、駆動切換手段３３とを具備しており、駆動切換手段３３によって振動子３１の駆動と１又は任意の数の個別駆動とを選択的に行えるように形成されている。この場合、振動子３１は、矩形状に形成された例えば６枚を２列に並列した計１２枚に形成することができ、駆動切換手段３３の切換操作によって１２枚全体の振動子３１が同時に駆動すなわち振動されるか、あるいは１枚あるいは任意の複数枚例えば２枚あるいは４枚の振動子３１が個別に順次振動されるように構成されている。
【００３４】
上記のように構成される超音波発振手段３０の振動子３１が振動すると、この振動が中間槽９内に貯留された純水に伝搬されて洗浄槽１内に貯留された洗浄液に伝搬されるようにして、超音波が照射される。
【００３５】
次に、上記のように構成される超音波洗浄装置の動作態様について説明する。まず、純水供給源２５から洗浄槽１内に純水を供給してウエハＷが浸漬できるように貯留しておく。次に、洗浄槽１内にウエハＷを浸漬し、洗浄するための薬液を薬液タンク２７から随時供給し続け、上端開口縁付近まで予め貯留しておく。
【００３６】
次に、図示しないウエハ搬送手段によって保持された複数例えば５０枚のウエハＷを、ウエハボート１０に受け渡して、ウエハＷを薬液に浸漬する。その後、超音波発振手段３０の超音波発振器３４を駆動すると共に、駆動切換手段３３を駆動して、全ての振動子３１あるいは任意の振動子３１に高周波電源を印加して励振することにより、振動子３１が超音波振動を発生する。この超音波振動が中間槽９内に貯留された純水に伝搬され、洗浄槽１の底部２を透過して洗浄槽１内に貯留された薬液まで伝わり、この超音波の照射によってウエハＷに付着したパーティクル等が除去されることにより、ウエハＷが超音波洗浄される。この際、散乱して洗浄槽１の側壁４に衝突する超音波によって洗浄液の液面にさざ波が発生するが、このさざ波現象の原因となる超音波は、図７（ｂ）に示すように、超音波吸収パネル５０にて吸収され、また、ウエハボート１０の垂直部１３の垂直面１３ａに衝突する超音波は、超音波吸収パネル５０Ａによって吸収されるので、超音波の散乱・乱反射を抑制することができる。これにより、ウエハＷのダメージを抑制すると共に、超音波の照射領域外の超音波の散乱・乱反射が起因する音圧の上昇及び温度上昇を防止することができる。
【００３７】
また、開閉弁４１の弁体４５における連通口４２と対向する面の内側に、超音波集中による温度上昇を抑制する空気層５０Ｂが形成されているので、超音波集中による温度上昇を空気層５０Ｂにより吸収して弁体４５側に伝達することができる。したがって、超音波集中による温度上昇を抑制することができ、温度が集中する弁体４５と弁軸４６の連結部の過熱を抑制し、温度上昇による開閉弁４１の変形や破損を抑制することができる。
【００３８】
なお、洗浄中においても洗浄液供給ノズル２０によって、洗浄槽１内に薬液を適量ずつ随時供給し続ける。このように、薬液を随時供給することにより、ウエハＷから除去されて液面に浮かんだパーティクル等を、外槽１ｂにオーバーフローする薬液と共に効果的に外部へ流出させることができるので、洗浄槽１内の薬液を清浄な状態に保つことができる。また、洗浄槽１から外部に流出した使用済みの薬液は、容器８の底部に配設されたパン（図示せず）に受け止められ、図示しないドレン管から排液される。なお、外槽１ｂに循環系を設けた場合は、洗浄に供された洗浄液（薬液）を循環濾過して洗浄液供給ノズル２０から洗浄槽１内に循環供給することができる。
【００３９】
上記のようにして所定時間薬液による洗浄処理を行った後、薬液の供給を停止し、薬液に変えて純水供給源から純水を供給してウエハＷのリンス処理を行う。このときも、超音波発振器３４を駆動すると共に、駆動切換手段３３を駆動して、全ての振動子３１あるいは任意の振動子３１に高周波電源を印加して励振することによって超音波振動を純水に伝達する。
【００４０】
上記洗浄処理が完了した後、ウエハボート１０を上昇させてウエハＷを洗浄槽１の上方に搬送させて、図示しない搬送手段にウエハＷを受け渡す。
【００４１】
一方、洗浄槽１内に貯留された薬液、純水を交換する場合には、弁機構４０の開閉弁４１を駆動して、排液口３に連通する連通口４２に設けられた弁座４４に就座する弁体４５を、連通口４２の弁座４４から後退すなわち離隔させて洗浄槽１内の薬液、純水を短時間内に排液することができる。したがって、薬液、純水等の洗浄液の交換時間等の短縮を図ることができる。
【００４２】
◎第二実施形態
図５は、この発明に係る超音波洗浄装置の第二実施形態を示す概略断面図、図６は、図５の側断面図である。
【００４３】
第二実施形態は、上記第一実施形態の洗浄槽１の側壁４の外側面に装着される超音波吸収パネル５０に代えて、洗浄槽１の側壁４の内側面４ｂに超音波吸収パネル５０を装着した場合である。
【００４４】
このように、洗浄槽１の側壁４の内側面４ｂに超音波吸収パネル５０を装着することにより、散乱して洗浄槽１の側壁４に衝突する超音波は、図７（ｃ）に示すように、側壁４に衝突する前に超音波吸収パネル５０に衝突して吸収される。したがって、第一実施形態に比べて更に超音波の照射領域外の超音波の散乱・乱反射が起因する音圧の上昇及び温度上昇を防止することができる。なお、洗浄槽１の側壁４の内側面４ｂに装着される超音波吸収パネル５０は、少なくとも１つの側壁４の内側面４ｂに装着されていればよいが、好ましくは、少なくともこの側壁４及びこれに隣接する側壁４の２箇所以上の内側面４ｂに装着されていればよい。
【００４５】
なお、第二実施形態において、その他の部分は第一実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明は省略する。
【００４６】
◎その他の実施形態
第一実施形態では、洗浄槽１の側壁４の外側面に、ＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製の超音波吸収パネル５０を装着した場合について説明したが、この超音波吸収パネル５０に代えてＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製のソフトシート５０Ｃを被着してもよい（図８参照）。この場合、約４ｍｍの石英製側壁４に対して約６．５ｍｍのソフトシート５０Ｃをシリコンシール５５を介して被着している。
【００４７】
また、上記ソフトシート５０Ｃに代えて音響吸収物質シート５０Ｄを、洗浄槽１の側壁４の外側面に被着してもよい（図９参照）。この場合、約４ｍｍの石英製側壁４に対して約１．４ｍｍの市販の音響吸収物質シート５０Ｄをシリコンシール５５を介して被着している。
【００４８】
上記のように、ソフトシート５０Ｃや音響吸収物質シート５０Ｄを洗浄槽１の側壁４の外側面に被着することにより、上記実施形態と同様に、超音波の散乱・乱反射を抑制することができる。これにより、ウエハＷのダメージを抑制すると共に、超音波の照射領域外の超音波の散乱・乱反射が起因する音圧の上昇及び温度上昇を防止することができる。
【００４９】
なお、図８、図９に示す実施形態において、その他の部分は第一実施形態と同じであるので、説明は省略する。
【００５０】
また、上記実施形態では、洗浄槽１が石英製部材にて形成される場合について説明したが、図１０に示すように、石英に代えて洗浄槽１Ａ全体を、ガラス状カーボンに統一して形成することも可能である。この場合、洗浄槽１Ａの側壁４の外側面に超音波吸収パネル５０を装着する構造を示すが、超音波吸収パネル５０に代えて上記ソフトシート５０Ｃ、あるいは、音響吸収物質シート５０Ｄを被着してもよい。
【００５１】
上記のように構成することにより、さざ波現象の原因となる超音波をソフトシート５０Ｃ、音響吸収物質シート５０Ｄにて吸収することができるので、上記実施形態と同様に、超音波の散乱・乱反射を抑制することができる。これにより、ウエハＷのダメージを抑制すると共に、超音波の照射領域外の超音波の散乱・乱反射が起因する音圧の上昇及び温度上昇を防止することができる。また、ガラス状カーボンは、優れた耐薬品性、耐食性、耐酸化性を示すと共に、高純度の炭素質であるため金属系不純物元素をほとんど有しておらず、メタルコンタミ等が発生するのを抑制することができる点で好ましい。また、黒鉛材と異なり、内部にミクロンオーダーの空孔がほとんど見られない緻密な構造を有し、硬度が高く、粒子の脱落が極めて少ないので、パーティクルの発生を抑制することができる。更に、音波透過性が高いので、洗浄槽１の底部下面に振動子３１を装着することができるので、上記実施形態のように中間槽９を設ける必要がない。したがって、構成部材の削減が図れると共に、装置の小型化が図れ、かつ、効率よく洗浄液に伝達して、洗浄効率の向上を図ることができる。
【００５２】
なお、図１０に示す実施形態においては、洗浄槽１Ａの底面を平坦状に形成するため、排液口３Ａは、洗浄槽１Ａの底部の端部側、すなわち、洗浄槽１の底部２における上記ウエハボート１０の垂直部１３の直下位置に設けられており、この排液口３Ａには、開閉可能な開閉弁４１Ａ（開閉手段）を有する弁機構４０Ａが接続されている。
【００５３】
このように、洗浄槽１の底部２におけるウエハボート１０の垂直部１３の直下位置に排液口３Ａを設け、この排液口３Ａを弁機構４０Ａによって開閉可能にすることにより、超音波発振手段３０による超音波振動に影響を与えることなく薬液又は純水の排液部を形成することができる。また、洗浄槽１の底部２を平坦状にすることができ、後述する超音波発振手段３０の振動子３１を平坦状の底部２外表面に当接又は近接して、超音波振動を効率よく薬液に伝達することができる。したがって、洗浄効率の向上を図ることができる。この場合、弁機構４０Ａの開閉弁４１Ａには、超音波が集中する問題は少ないが、上記第一実施形態と同様に温度上昇抑制手段５０Ｂを設ける方が好ましい。すなわち、弁機構４０Ａは、第一実施形態と同様に、洗浄槽１の排液口３Ａに連通する連通口４２を有する合成樹脂製例えばＰＰ（ポリプロピレン）製の弁筐体４３と、連通口４２に設けられた弁座４４と、この弁座４４に接離可能に就座する合成樹脂製例えばＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロエチレン）製の弁体４５と、この弁体４５にねじ結合により連結され、図示しない作動空気圧のＯＮ，ＯＦＦによって接離方向に移動する合成樹脂製例えばＰＰ（ポリプロピレン）製の弁軸４６とからなる開閉手段である開閉弁４１Ａとを具備している。また、弁体４５における連通口４２と対向する面の内側に、超音波集中による温度上昇を抑制する温度上昇抑制手段である空気層５０Ｂが形成されている。この空気層５０Ｂは、弁体４５における連通口４２と対向する面に設けられた狭隘開口状の凹所５１にＥＰＤＭ（エチレン−プロピレンゴム）製のＯリング５２（シール部材）を介して石英製の蓋体５３を固着、すなわち、図４（ｂ）に示すように弁体４５と弁軸４６とをねじ結合により固着することで、蓋体５３と凹所５１との間に形成される（図１１参照）。
【００５４】
なお、図１０及び図１１に示す実施形態において、その他の部分は、第一実施形態と同じであるので、同一部分には同一符号を付して説明は省略する。
【００５５】
【実施例】
◎実施例１
温度上昇の起因となるさざ波すなわち超音波の散乱、乱反射の状態と、その抑制手段について実験を行った結果について、図１２及び図１３を参照して説明する。
【００５６】
まず、実験に当って、下部に超音波発振手段（図示せず）を設けた石英製の水槽６０と、厚さ２０ｍｍのＰＴＦＥ製の１枚の超音波吸収パネル６１と、厚さ３ｍｍのＰＴＦＥ製の３枚の超音波吸収パネル６２とを用意する。そして、水槽６０における超音波照射領域６３の中心部▲１▼と、水槽６０の超音波照射領域６３から外れた４つの各隅部▲２▼，▲３▼，▲４▼，▲５▼に音圧計をセットして各箇所▲１▼，▲２▼，▲３▼，▲４▼，▲５▼の温度を測定可能にする（図１２参照）。
【００５７】
そして、
（ａ）水槽６０中に純水を貯留させて超音波発振手段駆動して純水中に超音波を照射した状態（図１３（ａ）参照）、
（ｂ）水槽６０中に脱気水を貯留させて超音波発振手段駆動して脱気水中に超音波を照射した状態（図１３（ｂ）参照）、
（ｃ）水槽６０中に脱気水を貯留し、水槽６０内に超音波吸収パネル６１を配設させて超音波発振手段駆動して脱気水中に超音波を照射した状態（図１３（ｃ）参照）、
（ｄ）水槽６０中に脱気水を貯留し、水槽６０内に超音波吸収パネル６２を配設させて超音波発振手段駆動して脱気水中に超音波を照射した状態（図１３（ｄ）参照）、
（ｅ）水槽６０中に脱気水を貯留し、水槽６０内に２枚の超音波吸収パネル６１を隣接状態に配設させて超音波発振手段駆動して脱気水中に超音波を照射した状態（図１３（ｅ）参照）、
（ｆ）水槽６０中に脱気水を貯留し、水槽６０内に３枚の超音波吸収パネル６１を隣接状態に配設させて超音波発振手段駆動して脱気水中に超音波を照射した状態（図１３（ｆ）参照）、
の各測定点▲１▼，▲２▼，▲３▼，▲４▼，▲５▼の音圧を調べたところ、表１に示すような結果が得られた。
【００５８】
【表１】

【００５９】
上記実験の結果、脱気水で超音波を照射した場合（図１３（ｂ）参照）に対して、水槽６０内に１枚の超音波吸収パネル６１を配設した場合（図１３（ｃ）参照）では、測定点▲１▼では音圧が５０ｍＶ低下し、測定点▲２▼，▲３▼，▲４▼，▲５▼では、それぞれ音圧が６０ｍＶ，５０ｍＶ，６０ｍＶ，８０ｍＶ低下した。また、水槽６０内に１枚の超音波吸収パネル６２を配設した場合（図１３（ｄ）参照）では、測定点▲１▼では音圧が５０ｍＶ低下し、測定点▲２▼，▲３▼，▲４▼，▲５▼では、それぞれ音圧が７０ｍＶ，６０ｍＶ，８０ｍＶ，８０ｍＶ低下した。また、水槽６０内に２枚又は３枚の超音波吸収パネル６２を隣接状態で配設した場合（図１３（ｅ），（ｆ）参照）では、測定点▲１▼では音圧が５０ｍＶ低下し、測定点▲２▼，▲３▼，▲４▼，▲５▼では、全て音圧が１１２ｍＶ低下した。
【００６０】
上記実験から、水槽６０内に少なくとも１枚の超音波吸収パネル６１又は６２を配設することにより、超音波照射領域６３の外部の音圧が低下することが判り、水槽６０内に２枚又は３枚の超音波吸収パネル６２を隣接状態に配設することにより、超音波照射領域６３の外部の音圧が著しく低下することが判った。この結果、水槽６０（上記洗浄槽１）内に少なくとも１枚のＰＴＦＥ製超音波吸収パネル６１，６２（上記超音波吸収パネル５０，５０Ａ）、好ましくは、２枚又は３枚のＰＴＦＥ製超音波吸収パネル６２（上記超音波吸収パネル５０）を配設することによって、さざ波現象すなわち超音波の散乱、乱反射による音圧上昇及び温度上昇を抑制することができる。
【００６１】
◎実施例２
上記弁機構４０の開閉弁４１に温度上昇抑制手段である空気層５０Ｂを形成した場合の効果を調べるために、図１４に示すように、純水を貯留する石英製の水槽６０の外周面に上記ＰＴＦＥ製のソフトシート５０Ｃを被着して、空気層５０Ｂを設けない通常の開閉弁を用いた場合と、空気層５０Ｂを設けた開閉弁４１を用いた場合に、それぞれ超音波を照射して、水槽６０内の純水の温度（測定点▲６▼）と、開閉弁４１の温度（測定点▲７▼）の温度変化を調べた結果、図１５（ａ），（ｂ）のような結果が得られた。
【００６２】
上記実験の結果、通常の開閉弁においては、１５０分から１６０分までの１０分間に温度が４℃上昇したが、空気層５０Ｂを設けた開閉弁４１を用いた場合では、１４０分から１６０分までの２０分間に温度が３℃しか上昇しなかった。この結果から、開閉弁４１に空気層５０Ｂ（温度上昇抑制手段）を設ける方が好ましいことが判った。
【００６３】
【発明の効果】
（１）請求項１記載の発明によれば、洗浄槽の側壁における洗浄液の液面近傍の接液部、排液口を開閉する開閉手段における洗浄液の接液部又は被処理体を保持する保持手段における洗浄液の液面近傍の接液部の少なくとも１つに、超音波の散乱・乱反射あるいは集中が起因する温度上昇を抑制する温度上昇抑制手段を設けることにより、超音波洗浄中に洗浄に供される超音波の散乱・乱反射あるいは集中による温度上昇を抑制することができるので、被処理体のダメージを抑制すると共に、洗浄装置の構成部品例えば洗浄槽、保持手段あるいは排液機構の開閉手段等の変形や破損を防止することができる。
【００６４】
（２）請求項２記載の発明によれば、温度上昇抑制手段を、洗浄槽の側壁の少なくとも一箇所の内側面又は外側面に装着される超音波を吸収可能なパネルにて形成することにより、散乱して洗浄槽の側壁に衝突する超音波をパネルにて吸収することができるので、超音波の散乱・乱反射を抑制することができると共に、温度上昇を抑制することができる。
【００６５】
（３）請求項３，４記載の発明によれば、温度上昇抑制手段を、洗浄槽の側壁の外側面に被着される超音波を吸収可能なシート、あるいは、音響吸収物質シートにて形成することにより、散乱して洗浄槽の側壁に衝突する超音波をシートにて吸収することができるので、超音波の散乱・乱反射を抑制することができると共に、温度上昇を抑制することができる。
【００６６】
（４）請求項５記載の発明によれば、保持手段に、被処理体を垂直状に保持する保持部と、この保持部から垂直状に延在する垂直部とを具備し、垂直部における被処理体と対向する洗浄液の液面近傍面に、超音波を吸収可能なパネルを装着することにより、散乱して保持手段の垂直部面に衝突する超音波をパネルにて吸収することができるので、被処理体に近接する部位における超音波の散乱・乱反射を抑制することができると共に、温度上昇を抑制することができる。
【００６７】
（５）請求項１，６記載の発明によれば、開閉手段に、排液口に設けられた弁座と、この弁座に接離可能に就座する弁体とを具備し、弁体における連通口と対向する面の内側に、超音波集中による温度上昇を抑制する空気層を形成することにより、超音波集中による温度上昇を空気層によって吸収して弁体に伝達するので、温度上昇による弁体の変形や破損を抑制することができる。
【００６８】
（６）請求項７記載の発明によれば、洗浄液に脱気水（酸素濃度５ｐｐｂ以下）を使用することができるので、脱気水における超音波の散乱・乱反射を抑制し、かつ、温度上昇を抑制して、脱気水の洗浄効率の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明に係る超音波洗浄装置の第一実施形態を示す概略断面図である。
【図２】図１の側断面図である。
【図３】図１の平面図である。
【図４】この発明における弁機構の取付状態を示す断面図（ａ）及びその要部拡大断面図（ｂ）である。
【図５】この発明に係る超音波洗浄装置の第二実施形態を示す概略断面図である。
【図６】図５の側断面図である。
【図７】石英製側壁における超音波の乱反射の状態を説明する図で、（ａ）は超音波吸収パネルを装着しない状態を示し、（ｂ）は側壁の外側面に超音波吸収パネルを装着した状態、（ｃ）は側壁の内側面に超音波吸収パネルを装着した状態である。
【図８】この発明における温度上昇抑制手段の別の実施形態を示す拡大断面図である。
【図９】この発明における温度上昇抑制手段の更に別の実施形態を示す拡大断面図である。
【図１０】この発明における洗浄槽の別の実施形態を用いた超音波洗浄装置を示す概略断面図である。
【図１１】図１０における弁機構を示す拡大断面図である。
【図１２】この発明における温度上昇抑制手段である超音波吸収パネルの配設状態と音圧との関係を調べるための実験の状態を示す概略構成図である。
【図１３】上記実験における超音波吸収パネルを配設しない状態と、超音波吸収パネルを異なる位置に配設した状態を示す説明図である。
【図１４】この発明における温度上昇抑制手段である空気層を設けた場合と、空気層を設けない場合の温度上昇を調べるための実験の状態を示す概略構成図である。
【図１５】上記実験における温度と時間の関係を示すグラフである。
【符号の説明】
Ｗ半導体ウエハ（被処理体）
１，１Ａ洗浄槽
２底部
３，３Ａ排液口
４側壁
４ａ外側面
４ｂ内側面
１０ウエハボート（保持手段）
１３垂直部
１３ａ垂直面
３０超音波発振手段
４０，４０Ａ弁機構（排液機構）
４１開閉弁
４２連通口
４４弁座
４５弁体
５０，５０Ａ超音波吸収パネル（温度上昇抑制手段）
５０Ｂ空気層（温度上昇抑制手段）
５０Ｃソフトシート（温度上昇抑制手段）
５０Ｄ音響吸収物質シート（温度上昇抑制手段）
５１凹所
５２Ｏリング
５３蓋体[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to an ultrasonic cleaning apparatus, and more particularly to an ultrasonic cleaning apparatus that cleans an object to be processed such as a semiconductor wafer or a glass substrate for LCD using ultrasonic waves.
[0002]
[Prior art]
In general, in a manufacturing process of a semiconductor manufacturing apparatus, a cleaning processing method is widely adopted in which a semiconductor wafer, a glass substrate for LCD, and the like are sequentially immersed in a cleaning tank in which a cleaning solution such as a chemical solution or a rinsing solution is stored for cleaning. .
[0003]
An ultrasonic cleaning apparatus is used as an example of a cleaning processing apparatus that performs such a cleaning processing method. A conventional ultrasonic cleaning apparatus opens and closes a quartz cleaning tank for storing a cleaning liquid, for example, a chemical liquid, for immersing an object to be processed, such as a semiconductor wafer (hereinafter referred to as a wafer), and a drain opening provided at the bottom of the cleaning tank. It is mainly composed of a drainage mechanism having a possible opening / closing means, a holding means for holding the wafer in the cleaning tank, for example, a wafer guide, and an ultrasonic oscillation means for irradiating the cleaning liquid in the cleaning tank with ultrasonic waves. (For example, Patent Document 1).
[0004]
[Patent Document 1]
Japanese Patent Laid-Open No. 11-31676 (paragraph numbers 0030 to 0036, 0050, 0051, FIGS. 3, 6, and 8)
According to the ultrasonic cleaning apparatus configured as described above, the wafer is immersed in the cleaning tank in which the chemical solution is stored while being held by the wafer guide, and the ultrasonic vibration element of the ultrasonic oscillation unit has an appropriate frequency. By applying a high-frequency voltage and exciting it, ultrasonic vibration is generated, and the ultrasonic vibration is applied to the cleaning liquid in the cleaning tank, so that particles attached to the wafer can be removed. When the predetermined time has elapsed and the cleaning process is completed, the drainage mechanism is activated, the open / close valve opens the drainage port, and the cleaning liquid in the cleaning tank is drained.
[0005]
Therefore, conventionally, in order to allow the cleaning liquid in the cleaning tank to be drained at a large flow rate, a relatively large drainage port is provided at the bottom of the cleaning tank, and a valve seat provided at the drainage port is used. A drainage mechanism having a seating valve body capable of rapid drainage is used. The drain valve open / close valve uses a fluororesin material such as PTFE (polytetrafluoroethylene) {melting point: 327 ° C.}, which is a material having high heat resistance and chemical resistance, for the valve body on the liquid contact side. PP (polypropylene) {melting point: 176 ° C.}, which is richer in moldability than PTFE, is used for components other than the valve body, such as a valve shaft, a valve seat, and a valve housing connected to the valve body.
[0006]
Depending on the purpose of cleaning, the cleaning liquid may be pure water, degassed water (oxygen concentration of 5 ppb or less), chemical liquid such as ammonia overwater {NH4OH / H2O2 / H2O} (SC1), hydrochloric acid overwater {HCl / H2O2 / H2O}. (SC2) or dilute hydrofluoric acid (DHF) is used.
[0007]
Furthermore, in order to improve the cleaning processing efficiency, the cleaning liquid stored in the cleaning tank is drained and then replaced with a new cleaning liquid.
[0008]
In the ultrasonic cleaning apparatus configured as described above, when the cleaning liquid is irradiated with ultrasonic waves, the cleaning liquid fluctuates around 1 atm of static pressure, and when the pressure becomes 0 atm or less (vacuum state), the cleaning liquid Microbubbles such as dissolved oxygen in the nucleus become nuclei, generating innumerable micro-cavities (cavitation) close to vacuum, and the cavitation occurs in the adiabatic compression state at the time of ultrasonic plus pressure, and occurs at the moment when it is crushed. The particles are removed by peeling the particles adhering to the wafer from the wafer by the powerful shock wave.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
By the way, it has been visually confirmed that a ripple phenomenon occurs on the liquid surface of the cleaning liquid depending on the type, temperature or water level of the cleaning liquid. Such a ripple phenomenon is presumed to be caused by the ultrasonic wave scattered by the irradiation of the ultrasonic wave colliding with the side wall of the quartz cleaning tank and irregularly reflecting {see FIG. 7 (a)}. Due to such a ripple phenomenon, the sound pressure outside the ultrasonic irradiation region in the cleaning tank increases, and the temperature may increase. In addition, an inclined bottom surface is formed at the bottom of the cleaning tank in order to improve the drainage of the cleaning liquid, and a drainage port is often provided at the lowermost part. In this case, the drainage port There is a possibility that the ultrasonic waves are concentrated on the surface, and the concentration of the ultrasonic waves may cause an increase in temperature.
[0010]
As described above, when scattering and irregular reflection of ultrasonic waves occur, there is a problem that not only the wafer is damaged by the vibration / shock wave, but also the components of the cleaning apparatus, for example, the cleaning tank, the wafer boat and the like are damaged. It was. Also, due to temperature rise due to ultrasonic scattering / diffuse reflection, concentrated irradiation of ultrasonic waves, etc., components of the cleaning device such as cleaning tanks, wafer boats, and opening / closing valves for drainage mechanisms are deformed or damaged. There was also a problem. In particular, the temperature rise due to the concentration of ultrasonic waves concentrates on the connection between the valve body of the on-off valve and the valve shaft, so the PP valve shaft having a lower melting point than the PTFE valve body may melt, As a result, there is a problem that the valve function is lowered.
[0011]
The present invention has been made in view of the above circumstances, and provides an ultrasonic cleaning apparatus capable of suppressing damage to an object to be processed and apparatus components by suppressing temperature rise due to scattering, irregular reflection and concentration of ultrasonic waves. It is intended to do.
[0012]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve the above object, an ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention includes a cleaning tank for storing a cleaning liquid for an object to be processed, and an opening / closing means that can open and close a drain port provided at the bottom of the cleaning tank. In an ultrasonic cleaning apparatus comprising: a liquid mechanism; a holding unit that holds the object to be processed and is disposed in the cleaning tank; and an ultrasonic oscillation unit that irradiates ultrasonic waves to the cleaning liquid in the cleaning tank. At least one of the wetted part near the liquid level of the cleaning liquid on the side wall of the cleaning tank, the wetted part of the cleaning liquid in the opening / closing means, or the wetted part near the liquid level of the cleaning liquid in the holding means, Temperature rise suppression means to suppress temperature rise caused by scattering of sound waves, diffuse reflection, or concentration of ultrasonic waves The opening / closing means comprises A valve seat provided at the communication port communicating with the drainage port, and a valve body seated so as to be able to come into contact with and separate from the valve seat, on the inner side of the surface of the valve body facing the communication port, It is characterized by forming an air layer that suppresses temperature rise due to ultrasonic concentration.
[0013]
In this invention, it is preferable to form the temperature rise suppression means by a panel capable of absorbing ultrasonic waves attached to at least one inner side surface or outer side surface of the side wall of the cleaning tank ( Claim 2 ). In this case, as a panel capable of absorbing ultrasonic waves, for example, a fluororesin panel can be used. Moreover, it is also possible to form the said temperature rise suppression means with the sheet | seat which can absorb the ultrasonic wave adhering to the outer surface of the side wall of a washing tank ( Claim 3 ). In this case, as a sheet capable of absorbing ultrasonic waves, for example, a fluororesin sheet can be used. Moreover, it is also possible to form the said temperature rise suppression means with the acoustic absorption material sheet | seat adhere | attached on the outer surface of the side wall of a washing tank ( Claim 4 ).
[0014]
Further, in the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention, the holding means includes a holding portion that holds the object to be processed vertically, and a vertical portion that extends vertically from the holding portion. A panel capable of absorbing ultrasonic waves may be mounted on the surface near the liquid surface of the cleaning liquid facing the object to be processed ( Claim 5 ).
[0015]
in addition, In the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention, A recess is provided on a surface of the valve body facing the communication port, and a quartz lid is fixed to the recess via a seal member to form an air layer between the lid and the recess. Better ( Claim 6 ). In the ultrasonic cleaning apparatus of the present invention, degassed water can be used as the cleaning liquid ( Claim 7 ).
[0016]

Claim

1 According to the described invention, the liquid contact portion in the vicinity of the liquid surface of the cleaning liquid on the side wall of the cleaning tank, the liquid contact portion of the cleaning liquid in the opening / closing means for opening and closing the liquid discharge port, or the liquid level of the cleaning liquid in the holding means for holding the object to be processed Scattering of ultrasonic waves used for cleaning during ultrasonic cleaning by providing temperature increase suppression means for suppressing temperature increase caused by scattering, irregular reflection or concentration of ultrasonic waves in at least one of the liquid contact parts in the vicinity -Temperature rise due to diffuse reflection or concentration can be suppressed. Accordingly, it is possible to suppress damage to the object to be processed and to prevent deformation and breakage of the components of the cleaning device such as the cleaning tank, the holding unit, or the opening / closing unit of the drainage mechanism.
[0017]

Claim

2 According to the described invention, the temperature rise suppressing means is formed by the panel capable of absorbing ultrasonic waves attached to at least one inner side surface or outer side surface of the side wall of the cleaning tank, thereby scattering and cleaning the cleaning tank. Since the ultrasonic waves that collide with the side walls of the optical fiber can be absorbed by the panel, scattering and irregular reflection of the ultrasonic waves can be suppressed, and an increase in temperature can be suppressed.
[0018]

Claim

3, 4 According to the described invention, the temperature rise suppression means is scattered and cleaned by being formed of a sheet capable of absorbing ultrasonic waves or an acoustic absorbent material sheet that is attached to the outer surface of the side wall of the cleaning tank. Since the ultrasonic wave that collides with the side wall of the tank can be absorbed by the sheet, it is possible to suppress scattering and irregular reflection of the ultrasonic wave and to suppress an increase in temperature.
[0019]
Claim 5 According to the described invention, the holding means includes the holding portion that holds the object to be processed vertically and the vertical portion that extends vertically from the holding portion, and faces the object to be processed in the vertical portion. By attaching a panel that can absorb ultrasonic waves to the surface near the liquid surface of the cleaning liquid, ultrasonic waves that scatter and collide with the vertical surface of the holding means can be absorbed by the panel. It is possible to suppress the scattering and irregular reflection of ultrasonic waves at adjacent sites, and to suppress the temperature rise.
[0020]

Claim

1,6 According to the described invention, the opening / closing means includes a valve seat provided at the drainage port and a valve body seated so as to be able to come in contact with and separate from the valve seat, and a surface of the valve body facing the communication port is provided. By forming an air layer on the inside that suppresses temperature rise due to ultrasonic concentration, the temperature rise due to ultrasonic concentration is absorbed by the air layer and transmitted to the valve body, so deformation and breakage of the valve body due to temperature rise are prevented. Can be suppressed.
[0021]
Claim 7 According to the described invention, degassed water (oxygen concentration of 5 ppb or less) can be used for the cleaning liquid, so that scattering of ultrasonic waves and irregular reflection in the degassed water are suppressed, and temperature rise is suppressed, and degassing is performed. It is possible to improve the cleaning efficiency of air and water.
[0022]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of an ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Here, the case where it applies to the ultrasonic cleaning apparatus for semiconductor wafers is demonstrated.
[0023]
◎ First embodiment
1 is a schematic sectional view showing a first embodiment of an ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention, FIG. 2 is a side sectional view of FIG. 1, and FIG. 3 is a plan view of FIG.
[0024]
The ultrasonic cleaning apparatus holds a cleaning tank 1 in which a cleaning liquid, for example, a chemical liquid L, in which an object to be processed such as a semiconductor wafer W (hereinafter referred to as a wafer W) is immersed, and a plurality of, for example, 50 wafers W in a vertical state. Then, a wafer boat 10 which is a holding means disposed in the cleaning tank 1 and a liquid supply means which is disposed in the lower part of the cleaning tank 1 and injects (supplies) a cleaning liquid such as a chemical liquid or pure water into the cleaning tank 1, for example The cleaning liquid supply nozzle 20, the ultrasonic wave irradiating means 30 for irradiating the chemical liquid L (cleaning liquid) in the cleaning tank 1 with ultrasonic waves, that is, applying ultrasonic vibration, and the drain port provided in the bottom 2 of the cleaning tank 1 And a valve mechanism 40 that is a drainage mechanism having an opening / closing valve 41. In this case, the outer surface 4a of the side wall 4 of the cleaning tank 1 and the vertical surface 13a facing the wafer W of the vertical portion 13 of the wafer boat 10 are each caused by scattering and irregular reflection of ultrasonic waves that cause ripples. The temperature rise suppression means 50, 50A for suppressing the temperature rise is mounted. Further, a temperature rise suppression means 50B that suppresses a temperature rise caused by the concentration of ultrasonic waves is provided at a portion of the valve mechanism 40 that faces the drainage port 3 of the on-off valve 41.
[0025]
The cleaning tank 1 is composed of, for example, an inner tank 1a made of a material having a high chemical resistance, such as quartz, and an outer tank 1b that receives the chemical liquid L that overflows (overflows) from the upper end opening of the inner tank 1a. . A plurality of V-shaped notches 1c are provided at the upper end of the side wall 4 of the inner tank 1a for guiding the chemical liquid L overflowing from the cleaning tank 1 to the outer tank 1b. Moreover, the bottom part 2 of the washing tank 1 has an inclined bottom surface 2a that is inclined downward from one side to the other side, and a drainage port 3 is provided at the lower end portion of the side wall 4 adjacent to the lower end side of the inclined bottom surface 2a. Is provided. A drainage port 5 is provided at the bottom of the outer tub 1 b, and a drainage pipe 7 is connected to the drainage port 5 via a drain valve 6.
[0026]
On the outer surface of the side wall 4 of the inner tank 1a in the cleaning tank 1 configured as described above, a temperature increase suppressing means 50 for suppressing a temperature increase caused by scattering and irregular reflection of ultrasonic waves is mounted. The temperature rise suppression means 50 is formed of a fluororesin panel, which is a material capable of absorbing ultrasonic waves, such as a PTFE (polytetrafluoroethylene) panel 50 (hereinafter referred to as an ultrasonic absorption panel 50). . The ultrasonic absorption panel 50 is attached (fixed) to the outer surface 4a of the side wall 4 by a fixing member such as an adhesive having chemical resistance or a screw having chemical resistance (not shown). In addition, although the case where the ultrasonic absorption panel 50 was mounted | worn with the outer surface 4a of all the side walls 4 of the inner tank 1a was demonstrated here, the ultrasonic absorption panel 50 is the at least 1 side wall 4 {specifically, The wafer boat 10 may be mounted on the outer side surface 4a of the side wall 4} opposite to the side where the vertical portion 13 is located, and preferably at least two or more outsides of the side wall 4 and the side wall 4 adjacent thereto. It only has to be attached to the side surface 4a.
[0027]
As shown in FIGS. 1 and 2, the wafer boat 10 includes a plurality of holding rods 12 which are parallel to each other and have a plurality of holding grooves 11 to hold a plurality of, for example, 50 wafers W vertically in the horizontal direction. (Holding portion) and a vertical portion 13 that rises vertically from one end of the holding rod 12, and a plurality of sheets held by the wafer boat 10 by raising and lowering the vertical portion 13 by a lifting mechanism (not shown), for example Fifty wafers W are immersed in the chemical solution in the cleaning tank 1 or are carried out from the cleaning tank 1 upward.
[0028]
On the vertical surface 13a facing the wafer W in the vertical portion 13 of the wafer boat 10 configured as described above, the temperature rise suppression means for suppressing the temperature rise caused by the scattering and irregular reflection of the ultrasonic waves causing the ripple phenomenon. 50A is installed. This temperature rise suppression means 50A is formed of a fluororesin panel, such as a PTFE (polytetrafluoroethylene) panel 50A (hereinafter referred to as an ultrasonic absorption panel 50A), which is a material capable of absorbing ultrasonic waves. . The ultrasonic absorption panel 50 </ b> A is mounted on the vertical surface 13 a of the wafer boat 10.
[0029]
The cleaning liquid supply nozzle 20 includes a tubular nozzle body 21 disposed in parallel with each other on both sides of the lower portion of the cleaning tank 1, and a plurality of the cleaning liquid supply nozzles 20 formed at appropriate intervals in the upper and lower portions of the tubular nozzle body 21. Nozzle holes 22 and 23. The cleaning liquid supply nozzle 20 configured as described above is connected to a pure water supply source 25 via a supply pipe 24 provided with an on-off valve V, and a switching valve CV and a chemical supply supplied via the supply pipe 24. A chemical liquid tank 27 which is a chemical liquid supply source is connected via a pipe 26. The chemical solution supply pipe 26 is provided with a pump P for introducing the chemical solution into the chemical solution supply pipe 26. Instead of using the pump P, for example, nitrogen (N 2) gas may be supplied into the chemical liquid tank 27 and introduced into the chemical liquid supply pipe 26.
[0030]
Although not shown, the cleaning liquid may be circulated and supplied via a circulation pump and a filter to a circulation line connecting the drain port 5 provided at the bottom of the outer tub 1b and the cleaning liquid supply nozzle 20. .
[0031]
According to the cleaning liquid supply nozzle 20 configured as described above, the pure water supplied from the pure water supply source 25 by opening the on-off valve V is jetted from the nozzle hole 22 toward the center of the wafer W ( And is sprayed (supplied) from the nozzle hole 23 toward the center of the bottom 2 of the cleaning tank 1. Further, by switching the switching valve CV and driving the pump P, the chemical liquid supplied from the chemical liquid tank 27 is mixed with pure water, and the mixed liquid is jetted from the nozzle hole 22 toward the center of the wafer W ( And is sprayed (supplied) from the nozzle hole 23 toward the center of the bottom 2 of the cleaning tank 1. The cleaning liquid (pure water, chemical liquid) sprayed (supplied) into the cleaning tank 1 from the cleaning liquid supply nozzle 20 and stored therein is guided to a notch 1c provided at the upper end of the side wall 4 and is stored in the outer tank 1b. The cleaning liquid (pure water, chemical liquid) splashed outside the outer tank 1b is received by a pan (not shown) disposed at the bottom of the container 8 that houses the cleaning tank 1, and then illustrated. Not drained from the drain. The chemical liquid is not limited to one type, and a plurality of types of chemical liquid tanks may be connected to the cleaning liquid supply nozzle 20 in the same manner.
[0032]
As shown in FIG. 4, the valve mechanism 40 includes a valve housing 43 made of synthetic resin such as PP (polypropylene) having a communication port 42 communicating with the drainage port 3 of the cleaning tank 1, and a communication port 42. And a valve body 45 made of synthetic resin, for example, PTFE (polytetrafluoroethylene), which is slidably contacted with the valve seat 44, and is connected to the valve body 45 by screw connection, not shown. An opening / closing valve 41 is provided as an opening / closing means including a valve shaft 46 made of synthetic resin, for example, PP (polypropylene), which moves in the contact / separation direction according to ON / OFF of the working air pressure. In addition, an air layer 50 </ b> B that is a temperature increase suppression unit that suppresses a temperature increase due to the concentration of ultrasonic waves is formed inside the surface of the valve body 45 that faces the communication port 42. The air layer 50B is made of quartz through an O-ring 52 (seal member) made of EPDM (ethylene-propylene rubber) in a recess 51 having a narrow opening provided on a surface of the valve body 45 facing the communication port 42. The lid 53 is fixed, that is, the female thread 45a provided on the valve body 45 and the male thread 46b provided on the bulging tip 46a of the valve shaft 46 are screwed together, whereby the lid 53 and the recess 51 are connected. (See FIG. 4B).
[0033]
On the other hand, the ultrasonic oscillating means 30 is provided below the cleaning tank 1 via the intermediate tank 9. That is, the ultrasonic oscillating means 30 includes a plurality of vibrators 31 mounted on the lower surface of the bottom of the intermediate tank 9 that houses the lower part of the cleaning tank 1, and is interposed between the vibrators 31 and the high-frequency drive power supply 32. And the drive switching means 33. The drive switching means 33 is configured to selectively drive the vibrator 31 and one or any number of individual drives. . In this case, the vibrators 31 can be formed in a total of 12 pieces, for example, 6 pieces formed in a rectangular shape in parallel in two rows. It is configured to be driven, vibrated, or to vibrate one or any plurality of, for example, two or four vibrators 31 individually and sequentially.
[0034]
When the vibrator 31 of the ultrasonic oscillating means 30 configured as described above vibrates, this vibration is propagated to the pure water stored in the intermediate tank 9 and propagated to the cleaning liquid stored in the cleaning tank 1. Thus, an ultrasonic wave is irradiated.
[0035]
Next, an operation mode of the ultrasonic cleaning apparatus configured as described above will be described. First, pure water is supplied into the cleaning tank 1 from the pure water supply source 25 and stored so that the wafer W can be immersed therein. Next, the wafer W is immersed in the cleaning tank 1, and a chemical solution for cleaning is continuously supplied from the chemical solution tank 27 as needed, and is stored in advance near the upper end opening edge.
[0036]
Next, a plurality of, for example, 50 wafers W held by a wafer transfer means (not shown) are transferred to the wafer boat 10 and the wafers W are immersed in the chemical solution. Thereafter, the ultrasonic oscillator 34 of the ultrasonic oscillating means 30 is driven and the drive switching means 33 is driven to apply vibrations to all the vibrators 31 or arbitrary vibrators 31 by applying a high frequency power source. The child 31 generates ultrasonic vibration. This ultrasonic vibration is propagated to the pure water stored in the intermediate tank 9, transmitted through the bottom 2 of the cleaning tank 1 to the chemical stored in the cleaning tank 1, and applied to the wafer W by this ultrasonic irradiation. By removing the adhered particles and the like, the wafer W is ultrasonically cleaned. At this time, a ripple is generated on the liquid surface of the cleaning liquid due to the ultrasonic wave scattered and colliding with the side wall 4 of the cleaning tank 1, and the ultrasonic wave causing the ripple phenomenon is as shown in FIG. Since the ultrasonic wave absorbed by the ultrasonic absorption panel 50 and colliding with the vertical surface 13a of the vertical portion 13 of the wafer boat 10 is absorbed by the ultrasonic absorption panel 50A, the scattering and irregular reflection of the ultrasonic waves are suppressed. be able to. As a result, damage to the wafer W can be suppressed, and an increase in sound pressure and temperature due to scattering and irregular reflection of ultrasonic waves outside the ultrasonic irradiation region can be prevented.
[0037]
Further, since the air layer 50B that suppresses the temperature rise due to the ultrasonic concentration is formed inside the surface of the valve body 45 of the on-off valve 41 that faces the communication port 42, the temperature increase due to the ultrasonic concentration is suppressed. Can be absorbed and transmitted to the valve body 45 side. Therefore, the temperature rise due to the concentration of ultrasonic waves can be suppressed, the overheating of the connecting portion between the valve body 45 and the valve shaft 46 where the temperature is concentrated can be suppressed, and the deformation and breakage of the on-off valve 41 due to the temperature increase can be suppressed. it can.
[0038]
Even during the cleaning, the cleaning liquid supply nozzle 20 keeps supplying the chemical solution into the cleaning tank 1 at an appropriate amount as needed. As described above, by supplying the chemical liquid as needed, particles or the like that are removed from the wafer W and float on the liquid surface can be effectively discharged to the outside together with the chemical liquid that overflows to the outer tank 1b. The chemicals inside can be kept clean. In addition, the used chemical liquid that has flowed out of the cleaning tank 1 is received by a pan (not shown) disposed at the bottom of the container 8 and drained from a drain pipe (not shown). In addition, when the circulation system is provided in the outer tank 1b, the cleaning liquid (chemical solution) used for cleaning can be circulated and filtered and supplied to the cleaning tank 1 from the cleaning liquid supply nozzle 20.
[0039]
After performing the cleaning process with the chemical solution for a predetermined time as described above, the supply of the chemical solution is stopped, and the wafer W is rinsed by supplying pure water from a pure water supply source instead of the chemical solution. Also at this time, the ultrasonic oscillator 34 is driven and the drive switching means 33 is driven to apply the high frequency power to all the vibrators 31 or arbitrary vibrators 31 to excite the ultrasonic vibrations. To communicate.
[0040]
After the cleaning process is completed, the wafer boat 10 is raised to transfer the wafer W to above the cleaning tank 1 and deliver the wafer W to a transfer means (not shown).
[0041]
On the other hand, when the chemical solution and pure water stored in the cleaning tank 1 are exchanged, the valve seat 44 provided in the communication port 42 communicating with the drainage port 3 by driving the on-off valve 41 of the valve mechanism 40. The valve body 45 that is seated in the position can be retracted from the valve seat 44 of the communication port 42, that is, separated from the valve seat 44, and the chemical solution and pure water in the cleaning tank 1 can be drained within a short time. Accordingly, it is possible to shorten the replacement time of cleaning liquid such as chemical liquid and pure water.
[0042]
◎ Second embodiment
FIG. 5 is a schematic sectional view showing a second embodiment of the ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention, and FIG. 6 is a side sectional view of FIG.
[0043]
2nd embodiment replaces with the ultrasonic absorption panel 50 with which the outer surface of the side wall 4 of the cleaning tank 1 of said 1st embodiment is mounted | worn, and the ultrasonic absorption panel 50 is provided in the inner surface 4b of the side wall 4 of the cleaning tank 1. FIG. This is the case when wearing.
[0044]
Thus, by attaching the ultrasonic absorption panel 50 to the inner side surface 4b of the side wall 4 of the cleaning tank 1, the ultrasonic waves scattered and colliding with the side wall 4 of the cleaning tank 1 are as shown in FIG. In addition, before colliding with the side wall 4, it collides with the ultrasonic absorption panel 50 and is absorbed. Therefore, as compared with the first embodiment, it is possible to further prevent an increase in sound pressure and temperature due to scattering and irregular reflection of ultrasonic waves outside the ultrasonic irradiation region. The ultrasonic absorption panel 50 attached to the inner side surface 4b of the side wall 4 of the cleaning tank 1 may be attached to the inner side surface 4b of at least one side wall 4, but preferably at least the side wall 4 and the side wall 4 What is necessary is just to mount | wear to the two or more inner side surfaces 4b of the side wall 4 adjacent to.
[0045]
In the second embodiment, the other parts are the same as those in the first embodiment, so the same parts are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted.
[0046]
◎ Other embodiments
In the first embodiment, the case where the ultrasonic absorption panel 50 made of PTFE (polytetrafluoroethylene) is mounted on the outer surface of the side wall 4 of the cleaning tank 1 has been described. However, instead of the ultrasonic absorption panel 50, PTFE is used. A soft sheet 50C made of (polytetrafluoroethylene) may be attached (see FIG. 8). In this case, a soft sheet 50 </ b> C of about 6.5 mm is attached to the quartz side wall 4 of about 4 mm via a silicon seal 55.
[0047]
Moreover, it may replace with the said soft sheet | seat 50C, and may adhere the acoustic absorption material sheet | seat 50D to the outer surface of the side wall 4 of the washing tank 1 (refer FIG. 9). In this case, a commercially available sound absorbing material sheet 50D having a thickness of about 1.4 mm is attached to the side wall 4 made of quartz having a thickness of about 4 mm via a silicon seal 55.
[0048]
As described above, by attaching the soft sheet 50C and the sound absorbing material sheet 50D to the outer surface of the side wall 4 of the cleaning tank 1, scattering and irregular reflection of ultrasonic waves can be suppressed as in the above embodiment. . As a result, damage to the wafer W can be suppressed, and an increase in sound pressure and temperature due to scattering and irregular reflection of ultrasonic waves outside the ultrasonic irradiation region can be prevented.
[0049]
In addition, in embodiment shown in FIG. 8, FIG. 9, since another part is the same as 1st embodiment, description is abbreviate | omitted.
[0050]
Moreover, although the said embodiment demonstrated the case where the washing tank 1 was formed with the member made from quartz, as shown in FIG. 10, it replaces with quartz and the whole washing tank 1A was unified and formed in glassy carbon. It is also possible to do. In this case, a structure in which the ultrasonic absorption panel 50 is mounted on the outer surface of the side wall 4 of the cleaning tank 1A is shown, but the soft sheet 50C or the acoustic absorption material sheet 50D is attached instead of the ultrasonic absorption panel 50. May be.
[0051]
By configuring as described above, the ultrasonic wave that causes the ripple phenomenon can be absorbed by the soft sheet 50C and the acoustic absorbing material sheet 50D. Can be suppressed. As a result, damage to the wafer W can be suppressed, and an increase in sound pressure and temperature due to scattering and irregular reflection of ultrasonic waves outside the ultrasonic irradiation region can be prevented. In addition, glassy carbon exhibits excellent chemical resistance, corrosion resistance, and oxidation resistance, and since it is high-purity carbonaceous material, it has almost no metallic impurities, and metal contamination and the like are generated. It is preferable in that it can be suppressed. Further, unlike the graphite material, it has a dense structure in which micron-order pores are hardly seen inside, has high hardness, and has very few particles falling off, so that generation of particles can be suppressed. Furthermore, since the sound wave permeability is high, the vibrator 31 can be mounted on the bottom surface of the bottom of the cleaning tank 1, so that it is not necessary to provide the intermediate tank 9 as in the above embodiment. Therefore, the number of constituent members can be reduced, the size of the apparatus can be reduced, and it can be efficiently transmitted to the cleaning liquid to improve the cleaning efficiency.
[0052]
In the embodiment shown in FIG. 10, in order to form the bottom surface of the cleaning tank 1A in a flat shape, the drainage port 3A is provided at the end of the bottom of the cleaning tank 1A, that is, the bottom 2 of the cleaning tank 1 described above. A valve mechanism 40A having an open / close valve 41A (open / close means) that can be opened and closed is connected to the drain port 3A.
[0053]
In this way, the drainage port 3A is provided in the bottom portion 2 of the cleaning tank 1 immediately below the vertical portion 13 of the wafer boat 10, and the drainage port 3A can be opened and closed by the valve mechanism 40A, so that the ultrasonic oscillation means is provided. The drainage part of the chemical solution or pure water can be formed without affecting the ultrasonic vibration by 30. Further, the bottom 2 of the cleaning tank 1 can be flattened, and an ultrasonic vibration can be efficiently performed by bringing a vibrator 31 of the ultrasonic wave oscillating means 30 described later into contact with or close to the outer surface of the flat bottom 2. Can be transmitted to chemicals. Therefore, it is possible to improve the cleaning efficiency. In this case, the on / off valve 41A of the valve mechanism 40A is less likely to concentrate the ultrasonic wave, but it is preferable to provide the temperature rise suppression means 50B as in the first embodiment. That is, the valve mechanism 40A has a valve housing 43 made of a synthetic resin, for example, PP (polypropylene), and a communication port 42 having a communication port 42 communicating with the drainage port 3A of the cleaning tank 1 as in the first embodiment. And a valve body 45 made of synthetic resin, for example, PTFE (polytetrafluoroethylene), which is detachably seated on the valve seat 44, and is connected to the valve body 45 by screw connection. An opening / closing valve 41A, which is an opening / closing means composed of a valve shaft 46 made of synthetic resin, for example, PP (polypropylene), which moves in the contact / separation direction according to ON / OFF of an operating air pressure (not shown). In addition, an air layer 50 </ b> B that is a temperature increase suppression unit that suppresses a temperature increase due to the concentration of ultrasonic waves is formed inside the surface of the valve body 45 that faces the communication port 42. The air layer 50B is made of quartz through an O-ring 52 (seal member) made of EPDM (ethylene-propylene rubber) in a recess 51 having a narrow opening provided on a surface of the valve body 45 facing the communication port 42. The lid body 53 is fixed, that is, as shown in FIG. 4B, the valve body 45 and the valve shaft 46 are fixed by screw connection, so that the lid body 53 and the recess 51 are formed ( FIG. 11).
[0054]
In addition, in embodiment shown in FIG.10 and FIG.11, since another part is the same as 1st embodiment, the same code | symbol is attached | subjected to the same part and description is abbreviate | omitted.
[0055]
【Example】
Example 1
The results of experiments on ripples that cause temperature rise, that is, the scattering and scattering of ultrasonic waves, and the suppression means thereof will be described with reference to FIGS.
[0056]
First, in the experiment, a quartz water tank 60 provided with ultrasonic oscillating means (not shown) in the lower part, a single ultrasonic absorption panel 61 made of PTFE having a thickness of 20 mm, and PTFE having a thickness of 3 mm. Three manufactured ultrasonic absorption panels 62 are prepared. Then, in the central portion (1) of the ultrasonic irradiation region 63 in the water tank 60 and the four corner portions (2), (3), (4), and (5) that are out of the ultrasonic irradiation region 63 of the water tank 60. A sound pressure gauge is set to measure the temperature at each point (1), (2), (3), (4), (5) (see FIG. 12).
[0057]
And
(A) A state in which pure water is stored in the water tank 60 and the ultrasonic oscillation means is driven to irradiate the pure water with ultrasonic waves (see FIG. 13A).
(B) A state where deaerated water is stored in the water tank 60 and ultrasonic oscillation means is driven to irradiate the deaerated water with ultrasonic waves (see FIG. 13B).
(C) A state where deaerated water is stored in the water tank 60, an ultrasonic absorption panel 61 is disposed in the water tank 60, and the ultrasonic wave oscillation means is driven to irradiate the deaerated water with ultrasonic waves (FIG. 13 (c). )reference),
(D) A state where deaerated water is stored in the water tank 60, an ultrasonic absorption panel 62 is disposed in the water tank 60, and the ultrasonic wave oscillation means is driven to irradiate the deaerated water with ultrasonic waves (FIG. 13 (d) )reference),
(E) Deaerated water is stored in the water tank 60, and two ultrasonic absorption panels 61 are disposed adjacent to each other in the water tank 60, and the ultrasonic wave is driven to irradiate the deaerated water with ultrasonic waves. State (see FIG. 13E),
(F) Deaerated water is stored in the water tank 60, and three ultrasonic absorption panels 61 are disposed in the water tank 60 adjacent to each other, and ultrasonic waves are driven to irradiate the deaerated water with ultrasonic waves. State (see FIG. 13F),
When the sound pressures at the measurement points {circle around (1)}, {circle around (2)}, {circle around (3)}, {circle around (4)}, {circle around (5)} were examined, the results shown in Table 1 were obtained.
[0058]
[Table 1]

[0059]
As a result of the above experiment, when one ultrasonic absorption panel 61 is disposed in the water tank 60 as compared with the case where ultrasonic waves are irradiated with deaerated water (see FIG. 13B) (FIG. 13C). At the measurement point (1), the sound pressure decreased by 50 mV, and at the measurement points (2), (3), (4), and (5), the sound pressure decreased by 60 mV, 50 mV, 60 mV, and 80 mV, respectively. When one ultrasonic absorption panel 62 is disposed in the water tank 60 (see FIG. 13D), the sound pressure is reduced by 50 mV at the measurement point (1), and the measurement points (2) and (3). In ▼, (4), and (5), the sound pressure decreased by 70 mV, 60 mV, 80 mV, and 80 mV, respectively. Further, when two or three ultrasonic absorption panels 62 are disposed adjacent to each other in the water tank 60 (see FIGS. 13 (e) and 13 (f)), the sound pressure is reduced by 50 mV at the measurement point (1). At the measurement points (2), (3), (4), and (5), the sound pressure decreased by 112 mV.
[0060]
From the above experiment, it can be seen that by disposing at least one

ultrasonic absorption panel

61 or 62 in the water tank 60, the sound pressure outside the ultrasonic irradiation region 63 is reduced. It has been found that the sound pressure outside the ultrasonic irradiation region 63 is remarkably reduced by arranging the three ultrasonic absorption panels 62 adjacent to each other. As a result, at least one PTFE ultrasonic absorption panel 61, 62 (the

ultrasonic absorption panel

50, 50A), preferably two or three PTFE ultrasonic waves in the water tank 60 (the cleaning tank 1). By arranging the absorption panel 62 (the ultrasonic absorption panel 50), it is possible to suppress the ripple phenomenon, that is, the scattering of ultrasonic waves, the increase in sound pressure and the temperature increase due to irregular reflection.
[0061]
Example 2
In order to investigate the effect of forming an air layer 50B as temperature rise suppression means on the on-off valve 41 of the valve mechanism 40, as shown in FIG. 14, the outer peripheral surface of a quartz water tank 60 storing pure water is used. When the normal on-off valve without the air layer 50B is used by attaching the PTFE soft sheet 50C, and when the on-off valve 41 with the air layer 50B is used, ultrasonic waves are irradiated. As a result of examining the temperature change of the temperature of pure water in the water tank 60 (measurement point {circle around (6)}) and the temperature of the on-off valve 41 (measurement point {circle around (7)}), as shown in FIGS. Results were obtained.
[0062]
As a result of the above experiment, in the normal on-off valve, the temperature increased by 4 ° C. in 10 minutes from 150 minutes to 160 minutes, but in the case of using the on-off valve 41 provided with the air layer 50B, from 140 minutes to 160 minutes. The temperature rose only 3 ° C in 20 minutes. From this result, it was found that it is preferable to provide the on / off valve 41 with an air layer 50B (temperature rise suppression means).
[0063]
【The invention's effect】
(1) Claim 1 According to the described invention, the liquid contact portion in the vicinity of the liquid surface of the cleaning liquid on the side wall of the cleaning tank, the liquid contact portion of the cleaning liquid in the opening / closing means for opening and closing the liquid discharge port, or the liquid level of the cleaning liquid in the holding means for holding the object to be processed Scattering of ultrasonic waves used for cleaning during ultrasonic cleaning by providing temperature increase suppression means for suppressing temperature increase caused by scattering, irregular reflection or concentration of ultrasonic waves in at least one of the liquid contact parts in the vicinity・ Temperature rise due to diffuse reflection or concentration can be suppressed, preventing damage to the object to be processed and preventing deformation and breakage of components of the cleaning device such as the cleaning tank, holding means or drainage mechanism opening / closing means can do.
[0064]
(2) Claim 2 According to the described invention, the temperature rise suppressing means is formed by the panel capable of absorbing ultrasonic waves attached to at least one inner side surface or outer side surface of the side wall of the cleaning tank, thereby scattering and cleaning the cleaning tank. Since the ultrasonic waves that collide with the side walls of the optical fiber can be absorbed by the panel, scattering and irregular reflection of the ultrasonic waves can be suppressed, and an increase in temperature can be suppressed.
[0065]
(3)

Claim

3, 4 According to the described invention, the temperature rise suppression means is scattered and cleaned by being formed of a sheet capable of absorbing ultrasonic waves or an acoustic absorbent material sheet that is attached to the outer surface of the side wall of the cleaning tank. Since the ultrasonic wave that collides with the side wall of the tank can be absorbed by the sheet, it is possible to suppress scattering and irregular reflection of the ultrasonic wave and to suppress an increase in temperature.
[0066]
(4) Claim 5 According to the described invention, the holding means includes the holding portion that holds the object to be processed vertically and the vertical portion that extends vertically from the holding portion, and faces the object to be processed in the vertical portion. By attaching a panel that can absorb ultrasonic waves to the surface near the liquid surface of the cleaning liquid, ultrasonic waves that scatter and collide with the vertical surface of the holding means can be absorbed by the panel. It is possible to suppress the scattering and irregular reflection of ultrasonic waves at adjacent sites, and to suppress the temperature rise.
[0067]
(5)

Claim

1,6 According to the described invention, the opening / closing means includes a valve seat provided at the drainage port and a valve body seated so as to be able to come in contact with and separate from the valve seat, and a surface of the valve body facing the communication port is provided. By forming an air layer on the inside that suppresses temperature rise due to ultrasonic concentration, the temperature rise due to ultrasonic concentration is absorbed by the air layer and transmitted to the valve body, so deformation and breakage of the valve body due to temperature rise are prevented. Can be suppressed.
[0068]
(6) Claim 7 According to the described invention, degassed water (oxygen concentration of 5 ppb or less) can be used for the cleaning liquid, so that scattering of ultrasonic waves and irregular reflection in the degassed water are suppressed, and temperature rise is suppressed, and degassing is performed. It is possible to improve the cleaning efficiency of air and water.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a first embodiment of an ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention.
FIG. 2 is a side sectional view of FIG.
FIG. 3 is a plan view of FIG. 1;
FIG. 4 is a cross-sectional view (a) showing an attached state of the valve mechanism according to the present invention and an enlarged cross-sectional view (b) thereof.
FIG. 5 is a schematic cross-sectional view showing a second embodiment of the ultrasonic cleaning apparatus according to the present invention.
6 is a side sectional view of FIG. 5. FIG.
FIGS. 7A and 7B are diagrams for explaining a state of irregular reflection of ultrasonic waves on a quartz side wall, in which FIG. 7A shows a state in which an ultrasonic absorption panel is not installed, and FIG. 7B shows that an ultrasonic absorption panel is installed on the outer surface of the side wall; (C) is a state in which an ultrasonic absorption panel is mounted on the inner surface of the side wall.
FIG. 8 is an enlarged sectional view showing another embodiment of the temperature rise suppressing means in the present invention.
FIG. 9 is an enlarged sectional view showing still another embodiment of the temperature rise suppressing means in the present invention.
FIG. 10 is a schematic sectional view showing an ultrasonic cleaning apparatus using another embodiment of the cleaning tank in the present invention.
11 is an enlarged cross-sectional view showing the valve mechanism in FIG.
FIG. 12 is a schematic configuration diagram showing a state of an experiment for examining a relationship between an arrangement state of an ultrasonic absorption panel which is a temperature rise suppressing means and a sound pressure in the present invention.
FIG. 13 is an explanatory diagram showing a state in which the ultrasonic absorption panel is not disposed in the experiment and a state in which the ultrasonic absorption panel is disposed at different positions.
FIG. 14 is a schematic configuration diagram showing a state of an experiment for investigating a temperature rise when an air layer is provided as temperature rise suppression means in the present invention and when no air layer is provided.
FIG. 15 is a graph showing the relationship between temperature and time in the experiment.
[Explanation of symbols]
W Semiconductor wafer (object to be processed)
1,1A Washing tank
2 Bottom
3,3A drainage port
4 Side walls
4a outer surface
4b Inside surface
10 Wafer boat (holding means)
13 Vertical section
13a Vertical plane
30 Ultrasonic oscillation means
40,40A Valve mechanism (drainage mechanism)
41 On-off valve
42 Communication port
44 Valve seat
45 Disc
50, 50A Ultrasonic absorption panel (temperature rise suppression means)
50B Air layer (temperature rise suppression means)
50C soft sheet (temperature rise suppression means)
50D sound absorbing material sheet (temperature rise suppression means)
51 recess
52 O-ring
53 lid

Claims

A cleaning tank for storing the cleaning liquid of the object to be processed, a drainage mechanism having an opening / closing means capable of opening and closing a drainage port provided at the bottom of the cleaning tank, and holding the target object in the cleaning tank. In an ultrasonic cleaning apparatus comprising: a holding unit to be disposed; and an ultrasonic oscillation unit that irradiates ultrasonic waves to the cleaning liquid in the cleaning tank.
At least one of the wetted part near the liquid level of the cleaning liquid on the side wall of the cleaning tank, the wetted part of the cleaning liquid in the opening / closing means, or the wetted part near the liquid level of the cleaning liquid in the holding means, Comprising temperature rise suppression means for suppressing temperature rise caused by scattering of sound waves, irregular reflection or concentration of ultrasonic waves,
The opening / closing means includes a valve seat provided at a communication port communicating with the drainage port, and a valve body that is detachably seated on the valve seat, the surface of the valve body facing the communication port. An ultrasonic cleaning device, characterized in that an air layer that suppresses temperature rise due to ultrasonic concentration is formed on the inside.

The ultrasonic cleaning apparatus according to claim 1 ,
The ultrasonic cleaning apparatus, wherein the temperature rise suppression means is a panel capable of absorbing ultrasonic waves attached to at least one inner side surface or outer side surface of the side wall of the cleaning tank.

The ultrasonic cleaning apparatus according to claim 1 ,
The ultrasonic cleaning apparatus, wherein the temperature rise suppression means is a sheet capable of absorbing ultrasonic waves applied to the outer surface of the side wall of the cleaning tank.

The ultrasonic cleaning apparatus according to claim 1 ,
The ultrasonic cleaning apparatus, wherein the temperature rise suppression means is a sound absorbing material sheet that is attached to the outer surface of the side wall of the cleaning tank.

The ultrasonic cleaning apparatus according to claim 1 ,
The holding means includes a holding portion that holds the object to be processed vertically and a vertical portion that extends vertically from the holding portion, and the liquid of the cleaning liquid that faces the object to be processed in the vertical portion. An ultrasonic cleaning apparatus, characterized in that a panel capable of absorbing ultrasonic waves is attached to a surface near the surface.

The ultrasonic cleaning apparatus according to claim 1 ,
A recess is provided on the surface of the valve body facing the drainage port, and a quartz lid is fixed to the recess via a seal member to form an air layer between the lid and the recess. An ultrasonic cleaning apparatus characterized by comprising:

The ultrasonic cleaning apparatus according to any one of claims 1 to 6 ,
An ultrasonic cleaning apparatus, wherein the cleaning liquid is deaerated water.