JP4207954B2 - 金属粉末製造装置 - Google Patents

Description

本発明は、溶融金属から金属粉末を製造する金属粉末製造装置に関する。

従来、金属粉末を製造するには、溶融金属をアトマイズ法により粉末化する金属粉末製造装置（アトマイザ）が用いられている。この金属粉末製造装置としては、例えば、特許文献１に記載された「溶融金属の噴霧微粉化装置」が知られている。
この溶融金属の噴霧微粉化装置は、溶湯（溶融金属）を下方に向けて吐出する溶湯ノズルと、溶湯ノズルから吐出された溶湯が通過する流路と該流路に開口するスリットとを有するノズルとを備えている。このノズルのスリットからは、水が噴射される。特許文献１の装置は、スリットから噴射された水に、流路を通過する溶湯を衝突させることにより、当該溶湯を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造するよう構成されている。

しかしながら、特許文献１の装置は、スリットを通過する水の圧力により、当該スリットの間隔が過剰に拡大してしまい、結果、スリットから噴射される水の流速が過剰に低下するという問題があった。水圧低下により当然吐出水の流速低下が生じ、高速水の粉砕能力が低下することで、生成する金属粉末の微細化が阻害され、目的とする粒度の微細粉末が得られない。

特公平３−５５５２２号公報

本発明の目的は、オリフィスから噴射される流体の流速を確実にほぼ一定に維持することができる金属粉末製造装置を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の金属粉末製造装置は、溶融金属を供給する供給部と、
前記供給部の下方に設置され、該供給部から供給された溶融金属が通過可能であり、内径が下方に向って漸減する内径漸減部を有する流路と、該流路の下端部に開口し、前記流路に流体を噴射するオリフィスと、流体を一時的に貯留する貯留部と、該貯留部から前記オリフィスに流体を導入する導入路とが形成されたノズルとを有し、
前記オリフィスから噴射された流体に前記流路を通過する溶融金属を接触させることにより、該溶融金属を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造する金属粉末製造装置であって、
前記ノズルは、前記オリフィス、前記貯留部および前記導入路を画成する、第１の部材と、該第１の部材の下方に間隙を介して設置された第２の部材とを備え、
前記第１の部材の前記内径漸減部には、前記流路を通過する溶融金属からの輻射熱を遮断する断熱層が形成されており、
前記ノズルは、前記断熱層の作用により、前記溶融金属の輻射熱による前記内径漸減部の熱変形を防止するとともに、前記第１の部材の前記オリフィス付近が前記溶融金属の輻射熱を吸熱して、前記オリフィスが縮小する方向に熱変形し、これにより、前記オリフィスを通過する流体の圧力による前記オリフィスの拡大が規制されるよう構成されていることを特徴とする。
これにより、オリフィスから噴射される流体の流速を確実にほぼ一定に維持することができる。
本発明の金属粉末製造装置では、前記断熱層は、セラミックスを主材料として構成されていることが好ましい。
これにより、内径漸減部のオリフィスの吐出口を除く部位に対して、輻射熱を確実に遮断することができる。

本発明の金属粉末製造装置は、溶融金属を供給する供給部と、
前記供給部の下方に設置され、該供給部から供給された溶融金属が通過可能であり、内径が下方に向って漸減する内径漸減部を有する流路と、該流路の下端部に開口し、前記流路に流体を噴射するオリフィスと、流体を一時的に貯留する貯留部と、該貯留部から前記オリフィスに流体を導入する導入路とが形成されたノズルとを有し、
前記オリフィスから噴射された流体に前記流路を通過する溶融金属を接触させることにより、該溶融金属を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造する金属粉末製造装置であって、
前記ノズルは、前記オリフィス、前記貯留部および前記導入路を画成する、第１の部材と、該第１の部材の下方に間隙を介して設置された第２の部材とを備え、
前記第１の部材の前記内径漸減部の内側には、前記流路を通過する溶融金属からの輻射熱を遮断する、パイプ状の断熱部材が設置されており、
前記ノズルは、前記断熱部材の作用により、前記溶融金属の輻射熱による前記内径漸減部の熱変形を防止するとともに、前記第１の部材の前記オリフィス付近が前記溶融金属の輻射熱を吸熱して、前記オリフィスが縮小する方向に熱変形し、これにより、前記オリフィスを通過する流体の圧力による前記オリフィスの拡大が規制されるよう構成されていることを特徴とする。
これにより、オリフィスから噴射される流体の流速を確実にほぼ一定に維持することができる。

本発明の金属粉末製造装置は、溶融金属を供給する供給部と、
前記供給部の下方に設置され、該供給部から供給された溶融金属が通過可能であり、内径が下方に向って漸減する内径漸減部を有する流路と、該流路の下端部に開口し、前記流路に流体を噴射するオリフィスと、流体を一時的に貯留する貯留部と、該貯留部から前記オリフィスに流体を導入する導入路とが形成されたノズルとを有し、
前記オリフィスから噴射された流体に前記流路を通過する溶融金属を接触させることにより、該溶融金属を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造する金属粉末製造装置であって、
前記ノズルは、前記オリフィス、前記貯留部および前記導入路を画成する、第１の部材と、該第１の部材の下方に間隙を介して設置された第２の部材とを備え、
前記内径漸減部の前記オリフィスの吐出口付近を除く部位を冷却する冷却手段が設置されており、
前記ノズルは、前記冷却手段の作用により、前記溶融金属の輻射熱による前記内径漸減部の前記部位の熱変形を防止するとともに、前記第１の部材の前記オリフィス付近が前記溶融金属の輻射熱を吸熱して、前記オリフィスが縮小する方向に熱変形し、これにより、前記オリフィスを通過する流体の圧力による前記オリフィスの拡大が規制されるよう構成されていることを特徴とする。
これにより、オリフィスから噴射される流体の流速を確実にほぼ一定に維持することができる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記冷却手段は、前記第１の部材に埋設されていることが好ましい。
これにより、オリフィスから噴射される流体の流速をより確実にほぼ一定に維持することができる。
本発明の金属粉末製造装置では、前記冷却手段は、前記導入路の上方に位置していることが好ましい。
これにより、冷却手段が第１の部材のオリフィス付近から十分に離間することとなり、よって、当該オリフィス付近が冷却手段により冷却されるのを確実に防止することができる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記オリフィスは、前記流路の内周面の全周にわたって、スリット状に開口したものであることが好ましい。
これにより、流体は、その外形形状が、確実に、頂部が下方に位置するほぼ円錐形状をなすように噴射される。
本発明の金属粉末製造装置では、前記オリフィスは、その内周面が前記第１の部材で画成され、外周面が前記第２の部材で画成されていることが好ましい。
これにより、オリフィスを容易かつ確実に形成することができ、また、間隙の大きさに応じてオリフィスの大きさを適宜設定することができる。
本発明の金属粉末製造装置では、前記オリフィスは、流体を、その外形形状が、頂部が下方に位置するほぼ円錐形状をなすように噴射するよう構成されていることが好ましい。
これにより、外形形状が円錐形状をなすように噴射された流体の内側で、溶融金属が飛散されて、確実に微細な多数の液滴となる。

本発明の金属粉末製造装置では、前記導入路は、その縦断面形状がくさび状をなすものであることが好ましい。
これにより、流体の流速を徐々に高めることができ、また、この流速が高まった状態の流体をオリフィスから安定して噴射することができる。
本発明の金属粉末製造装置では、前記内径漸減部は、収斂形状をなしていることが好ましい。
これにより、オリフィスから噴射した流体の流れにより、ノズルの上方の気体が内径漸減部に流れ込み（引き込まれ）、当該流れ込んだ空気は、内径漸減部の内径が最小径となる部分付近で流速が最大となる。この流速が最大となった空気により、溶融金属が飛散されて、確実に微細な多数の液滴となる。

以下、本発明の金属粉末製造装置を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の金属粉末製造装置の第１実施形態を示す縦断面図、図２は、図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ａ］の拡大詳細図である。
なお、以下では、説明の都合上、図１および図２中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。

図１に示す金属粉末製造装置（アトマイザ）１Ａは、溶融金属Ｑをアトマイズ法により粉末化して、多数の金属粉末Ｒを得るものである。この金属粉末製造装置１Ａは、溶融金属Ｑを供給する供給部２と、供給部２の下方に設置されたノズル３と、ノズル３（第１の部材４）に形成された断熱層６と、ノズル３（第２の部材５）の下端面５１に設置されたカバー７とを備えている。
なお、本実施形態では、金属粉末製造装置１Ａが、ステンレス鋼（例えば、３０４Ｌ、３１６Ｌ、１７−４ＰＨ、４４０Ｃ等）やＦｅ−Ｓｉ系磁性粉末からなる金属粉末Ｒを製造する場合を例にする。

以下、各部の構成について説明する。
図１に示すように、供給部２は、有底筒状をなす部分を有している。この供給部２の内部空間（内腔部）２２には、所定のモル比（例えば１：２のモル比）でＣｏ単体とＳｎ単体とを混合・溶融した溶融金属Ｑ（溶融物）が一時的に収納される。
また、供給部２の底部２１の中央部には、吐出口２３が設けられている。この吐出口２３からは、内部空間２２内の溶融金属Ｑが下方に向って吐出される。
供給部２の下方には、ノズル３が設置されている。ノズル３には、供給部２から供給された（吐出された）溶融金属Ｑが通過する第１の流路（流路）３１と、流体（本実施形態では、水（液体）Ｓ）を供給する給水源（図示せず）からの水Ｓが通過する第２の流路３２とが形成されている。

第１の流路３１は、横断面形状が円形をなしており、ノズル３の中央部に、鉛直方向に沿って形成されている。
この第１の流路３１は、ノズル３（第１の部材４）の上端面４１から内径が下方に向って漸減する、すなわち、収斂形状をなす内径漸減部３３を有している。
これにより、後述するオリフィス３４から噴射した水Ｓ（流体）の流れにより、ノズル３の上方の空気（気体）Ｇが内径漸減部３３（第１の流路３１）に流れ込み（引き込まれ）、当該流れ込んだ空気Ｇは、内径漸減部３３の内径が最小径となる部分３３１（オリフィス３４が開口する部分）付近で流速が最大となる。この流速が最大となった空気Ｇにより、溶融金属Ｑが飛散されて、確実に微細な多数の液滴Ｑ１となる。

図２に示すように、第２の流路３２は、第１の流路３１の下端部（部分３３１近傍）に開口するオリフィス３４と、水Ｓを一時的に貯留する貯留部３５と、貯留部３５からオリフィス３４に水Ｓを導入する導入路（中継路）３６とで構成されている。
貯留部３５は、前記給水源に接続され、当該給水源から水Ｓが供給される部位である。
この貯留部３５は、導入路３６を介して、オリフィス３４と連通している。
また、貯留部３５の縦断面形状は、長方形（または正方形）をなしている。

導入路３６は、その縦断面形状がくさび状をなす部位である。これにより、貯留部３５から流入した水Ｓの流速を徐々に高めることができ、また、この流速が高まった状態の水Ｓをオリフィス３４から安定して噴射することができる。
オリフィス３４は、貯留部３５、導入路３６を順に通過した水Ｓを第１の流路３１に噴射（噴出）する部位である。

このオリフィス３４は、第１の流路３１の内周面の全周にわたってスリット状に開口している。また、オリフィス３４は、第１の流路３１の中心軸Ｏに対して傾斜する方向に開口している。
このように形成されたオリフィス３４により、水Ｓは、その外形形状が、確実に、頂部Ｓ２が下方に位置するほぼ円錐形状をなすような液体ジェットＳ１として噴射される（図１参照）。これにより、液体ジェットＳ１およびその内側で、溶融金属Ｑが飛散されて、確実に微細な多数の液滴Ｑ１となる。

また、前述したように、内径漸減部３３の内径が最小径となる部分３３１付近で流速が最大となった空気Ｇにより、溶融金属Ｑが飛散されて、確実に微細な多数の液滴Ｑ１となる。これによる相乗効果で、溶融金属Ｑが確実に飛散されて、より確実に微細な多数の液滴Ｑ１となる。
また、多数の液滴Ｑ１となった溶融金属Ｑは、液体ジェットＳ１に接触して、冷却固化される。これにより、多数の金属粉末Ｒが製造される。このように製造された多数の金属粉末Ｒは、金属粉末製造装置１Ａの下部に設置された容器（図示せず）に収納される。

このような第１の流路３１および第２の流路３２が形成されたノズル３は、円盤状（リング状）の第１の部材４と、第１の部材４と同心的に設置された円盤状（リング状）の第２の部材５とで構成されている（図１および図２参照）。第２の部材５は、第１の部材４の下方に間隙３７を介して設置されている。
このように配置された第１の部材４と第２の部材５とにより、オリフィス３４、導入路３６および貯留部３５がそれぞれ画成される。すなわち、第１の部材４と第２の部材５との間に形成された間隙３７により、第２の流路３２が構成される。

図２に示すように、オリフィス３４は、その内周面３４１が第１の部材４の下部４２により画成され、外周面３４２が第２の部材５の上部５２により画成されている。
また、導入路３６は、その上面３６１が第１の部材４の下部４２により画成され、下面３６２が第２の部材５の上部５２により画成されている。
また、貯留部３５は、その上面３５１および導入路３６より上方の内周面３５２が第１の部材４の下部４２により画成され、下面３５３および導入路３６より下方の内周面３５４が第２の部材５の上部５２により画成されている。
このように、オリフィス３４、導入路３６および貯留部３５がそれぞれ画成されていることにより、オリフィス３４、導入路３６および貯留部３５をそれぞれノズル３に容易かつ確実に形成することができる。また、間隙３７の大きさに応じて、オリフィス３４、導入路３６および貯留部３５の大きさを適宜設定することができる。

なお、第１の部材４および第２の部材５の構成材料としては、特に限定されないが、例えば、各種金属材料を用いることができ、特に、ステンレス鋼を用いるのが好ましい。
図１に示すように、第２の部材５の下端面５１には、筒体で構成されたカバー７が固定されている。このカバー７は、第１の流路３１と同心的に設けられている。
このカバー７により、下方に落下する金属粉末Ｒの飛散を防止することができ、よって、金属粉末Ｒを前記容器に確実に収納することができる。

さて、図２（図１も同様）に示すように、第１の部材の内径漸減部３３には、断熱層６が形成（接合）されている。
断熱層６は、内径漸減部３３のオリフィス３４の吐出口３４３付近を除く部位３３３の内周面３３２に、その全周にわたって、厚さｔが均一となるように形成されている。
このような断熱層６は、部位３３３に対して、第１の流路３１を通過する溶融金属Ｑからの輻射熱Ｈを遮断する。これにより、溶融金属Ｑの輻射熱Ｈによる、内径漸減部３３の部位３３３の熱変形（熱膨張）を確実に防止することができる。

以上のような構成の金属粉末製造装置１Ａでは、オリフィス３４から水Ｓが噴射されたとき、当該オリフィス３４を通過する水Ｓの圧力により、内周面３４１および外周面３４２が互いに離間する方向、すなわち、図２（図３も同様）中の矢印ＡおよびＡ’方向へ押圧される。このため、オリフィス３４は、拡大しようとする。
しかしながら、前述したように内径漸減部３３の部位３３３が断熱されて熱変形が防止されているため、第１の部材４のオリフィス３４付近（以下、「部位４３」という）が溶融金属Ｑの輻射熱Ｈを吸熱して、当該部位４３が優先的に（選択的に）オリフィス３４が縮小する方向、すなわち、図２（図３も同様）中の矢印Ｂ方向に変位（熱変形）する。部位４３の矢印Ｂ方向への変位と、外周面３４２の矢印Ａ’方向への変位とが相殺し、これにより、オリフィス３４の拡大が規制される。
従って、オリフィス３４の大きさを一定に維持することができ、よって、オリフィス３４から噴射される水Ｓの流速を確実に一定に維持することができる。

また、断熱層６は、特に限定されないが、例えば、セラミックスを主材料として構成されているのが好ましい。
これにより、部位３３３に対して輻射熱Ｈを確実に遮断することができる。
また、断熱層６は、内径漸減部３３の内周面３３２に、その全周にわたって形成されているが、これに限定されず、例えば、内径漸減部３３の内周面３３２に、その周方向に沿って間欠的に複数設けられていてもよい。

また、断熱層６は、内径漸減部３３のオリフィス３４の吐出口３４３付近を除く部位３３３の内周面３３２に形成されているが、これに限定されず、内径漸減部３３の内周面３３２の全体に形成されていてもよい。内径漸減部３３の内周面３３２の全体に形成されている場合でも、金属粉末製造装置１Ａ全体の熱変形（熱膨張）が防止されて、オリフィス３４の拡大が規制される。

また、内径漸減部３３の内周面３３２への断熱層６の形成方法としては、特に限定されないが、例えば、溶融した断熱層６の構成材料を内周面３３２に溶射により吹き付け、この吹き付けられた構成材料を固化することにより形成することができる。また、前記溶射による吹き付けの他に、内径漸減部３３の内周面３３２とほぼ同一形状、すなわち、パイプ状の金属製カバーを間隙を介して設けたり、前記金属製カバーにセラミックを塗布したものを設けてもよい。この前記金属製カバーにセラミックを塗布したものは、断熱部材ということができる。

＜第２実施形態＞
図３は、本発明の金属粉末製造装置の第２実施形態を示す縦断面図である。なお、以下では、説明の都合上、図３中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。
以下、この図を参照して本発明の金属粉末製造装置の第２実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
本実施形態は、冷却手段が設置されていること以外は前記第１実施形態とほぼ同様である。

図３に示す金属粉末製造装置１Ｂの第１の部材４（内径漸減部３３）の部位３３３には、当該部位３３３を冷却する冷却手段８が埋設されている。
冷却手段８は、内径漸減部３３の周方向に沿った環状をなす管体８１と、管体８１内に充填された冷媒８２とで構成されている。
このような構成の金属粉末製造装置１Ｂでは、冷却手段８の作用により内径漸減部３３の部位３３３が冷却されて熱変形が防止されているため、前記第１実施形態の金属粉末製造装置１Ａとほぼ同様に、第１の部材４の部位４３が溶融金属Ｑの輻射熱Ｈを吸熱して、当該部位４３が優先的に（選択的に）オリフィス３４が縮小する方向、すなわち、図３中の矢印Ｂ方向に変位（熱変形）する。部位４３の矢印Ｂ方向への変位と、外周面３４２の図３中の矢印Ａ’方向への変位とが相殺し、これにより、オリフィス３４の拡大が規制される。
従って、オリフィス３４の大きさを一定に維持することができ、よって、オリフィス３４から噴射される水Ｓの流速を確実に一定に維持することができる。

また、図３に示すように、冷却手段８は、導入路３６の上方に位置しているの好ましい。これにより、冷却手段８が第１の部材４の部位４３から十分に離間することとなり、よって、当該部位４３が冷却手段８により冷却されるのを確実に防止することができる。
また、冷却手段８は、本実施形態では、第１の部材４のみを冷却するよう構成されているが、これに限定されず、第２の部材５も同様に冷却するよう構成されていてもよい。冷却手段８が第２の部材５も同様に冷却する場合、第２の部材５の熱膨張も規制することができる。

また、冷却手段８は、第１の部材４に設置されているが、これに限定されず、例えば、第２の部材５に設置されていてもよい。
また、冷却手段８では、冷媒８２を強制的に循環させるのが好ましい。これにより、金属粉末製造装置１Ｂ全体の熱膨張を規制することができる。
また、管体８１の設置数は、図３の構成では１つであるが、これに限定されず、複数でもよい。
また、冷媒８２としては、特に限定されないが、例えば、水、ポリエチレングリコールを用いることができる。
また、冷却手段８は、図３の構成では管体８１と冷媒８２とで構成されたものであるが、これに限定されず、例えば、ペルチェ素子を有するものであってもよい。

以上、本発明の金属粉末製造装置を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、金属粉末製造装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、ノズルから噴出するもの（液体）は、水であるが、これに限定されず、例えば、油脂類や溶媒であってもよい。

本発明の金属粉末製造装置の第１実施形態を示す縦断面図である。 図１中の一点鎖線で囲まれた領域［Ａ］の拡大詳細図である。 本発明の金属粉末製造装置の第２実施形態を示す縦断面図である。

符号の説明

１Ａ、１Ｂ……金属粉末製造装置（アトマイザ） ２……供給部 ２１……底部 ２２……内部空間（内腔部） ２３……吐出口 ３……ノズル ３１……第１の流路 ３２……第２の流路 ３３……内径漸減部 ３３１……部分 ３３２……内周面 ３３３……部位 ３４……オリフィス ３４１……内周面 ３４２……外周面 ３４３……吐出口 ３５……貯留部 ３５１……上面 ３５２……内周面 ３５３……下面 ３５４……内周面 ３６……導入路（中継路） ３６１……上面 ３６２……下面 ３７……間隙 ４……第１の部材 ４１……上端面 ４２……下部 ４３……部位 ５……第２の部材 ５１……下端面 ５２……上部 ６……断熱層 ７……カバー ８……冷却手段 ８１……管体 ８２……冷媒 Ｇ……空気（気体） Ｈ……輻射熱 Ｏ……中心軸 Ｑ……溶融金属 Ｑ１……液滴 Ｒ……金属粉末 Ｓ……水（液体） Ｓ１……液体ジェット Ｓ２……頂部 ｔ……厚さ

Claims (11)

1. 溶融金属を供給する供給部と、
   前記供給部の下方に設置され、該供給部から供給された溶融金属が通過可能であり、内径が下方に向って漸減する内径漸減部を有する流路と、該流路の下端部に開口し、前記流路に流体を噴射するオリフィスと、流体を一時的に貯留する貯留部と、該貯留部から前記オリフィスに流体を導入する導入路とが形成されたノズルとを有し、
   前記オリフィスから噴射された流体に前記流路を通過する溶融金属を接触させることにより、該溶融金属を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造する金属粉末製造装置であって、
   前記ノズルは、前記オリフィス、前記貯留部および前記導入路を画成する、第１の部材と、該第１の部材の下方に間隙を介して設置された第２の部材とを備え、
   前記第１の部材の前記内径漸減部には、前記流路を通過する溶融金属からの輻射熱を遮断する断熱層が形成されており、
   前記ノズルは、前記断熱層の作用により、前記溶融金属の輻射熱による前記内径漸減部の熱変形を防止するとともに、前記第１の部材の前記オリフィス付近が前記溶融金属の輻射熱を吸熱して、前記オリフィスが縮小する方向に熱変形し、これにより、前記オリフィスを通過する流体の圧力による前記オリフィスの拡大が規制されるよう構成されていることを特徴とする金属粉末製造装置。
2. 前記断熱層は、セラミックスを主材料として構成されている請求項１に記載の金属粉末製造装置。
3. 溶融金属を供給する供給部と、
   前記供給部の下方に設置され、該供給部から供給された溶融金属が通過可能であり、内径が下方に向って漸減する内径漸減部を有する流路と、該流路の下端部に開口し、前記流路に流体を噴射するオリフィスと、流体を一時的に貯留する貯留部と、該貯留部から前記オリフィスに流体を導入する導入路とが形成されたノズルとを有し、
   前記オリフィスから噴射された流体に前記流路を通過する溶融金属を接触させることにより、該溶融金属を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造する金属粉末製造装置であって、
   前記ノズルは、前記オリフィス、前記貯留部および前記導入路を画成する、第１の部材と、該第１の部材の下方に間隙を介して設置された第２の部材とを備え、
   前記第１の部材の前記内径漸減部の内側には、前記流路を通過する溶融金属からの輻射熱を遮断する、パイプ状の断熱部材が設置されており、
   前記ノズルは、前記断熱部材の作用により、前記溶融金属の輻射熱による前記内径漸減部の熱変形を防止するとともに、前記第１の部材の前記オリフィス付近が前記溶融金属の輻射熱を吸熱して、前記オリフィスが縮小する方向に熱変形し、これにより、前記オリフィスを通過する流体の圧力による前記オリフィスの拡大が規制されるよう構成されていることを特徴とする金属粉末製造装置。
4. 溶融金属を供給する供給部と、
   前記供給部の下方に設置され、該供給部から供給された溶融金属が通過可能であり、内径が下方に向って漸減する内径漸減部を有する流路と、該流路の下端部に開口し、前記流路に流体を噴射するオリフィスと、流体を一時的に貯留する貯留部と、該貯留部から前記オリフィスに流体を導入する導入路とが形成されたノズルとを有し、
   前記オリフィスから噴射された流体に前記流路を通過する溶融金属を接触させることにより、該溶融金属を飛散させて微細な多数の液滴にするとともに、該多数の液滴を冷却固化させ、これにより、金属粉末を製造する金属粉末製造装置であって、
   前記ノズルは、前記オリフィス、前記貯留部および前記導入路を画成する、第１の部材と、該第１の部材の下方に間隙を介して設置された第２の部材とを備え、
   前記内径漸減部の前記オリフィスの吐出口付近を除く部位を冷却する冷却手段が設置されており、
   前記ノズルは、前記冷却手段の作用により、前記溶融金属の輻射熱による前記内径漸減部の前記部位の熱変形を防止するとともに、前記第１の部材の前記オリフィス付近が前記溶融金属の輻射熱を吸熱して、前記オリフィスが縮小する方向に熱変形し、これにより、前記オリフィスを通過する流体の圧力による前記オリフィスの拡大が規制されるよう構成されていることを特徴とする金属粉末製造装置。
5. 前記冷却手段は、前記第１の部材に埋設されている請求項４に記載の金属粉末製造装置。
6. 前記冷却手段は、前記導入路の上方に位置している請求項４または５に記載の金属粉末製造装置。
7. 前記オリフィスは、前記流路の内周面の全周にわたって、スリット状に開口したものである請求項１ないし６のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
8. 前記オリフィスは、その内周面が前記第１の部材で画成され、外周面が前記第２の部材で画成されている請求項７に記載の金属粉末製造装置。
9. 前記オリフィスは、流体を、その外形形状が、頂部が下方に位置するほぼ円錐形状をなすように噴射するよう構成されている請求項１ないし８のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
10. 前記導入路は、その縦断面形状がくさび状をなすものである請求項１ないし９のいずれかに記載の金属粉末製造装置。
11. 前記内径漸減部は、収斂形状をなしている請求項１ないし１０のいずれかに記載の金属粉末製造装置。

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