JP4205704B2 - 撮像偏光計測方法 - Google Patents
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Description
S0 : 全強度
S1 : 方位0°、90°直線偏光成分強度の差
S2 : 方位±45°直線偏光成分強度の差
S3 : 左右円偏光成分強度の差
偏光度 = (原点から点(S1,S2,S3)までの距離)/S0
= (S1 2+S2 2+S3 2)1/2/S0
機械的若しくは能動的な偏光制御素子が必要であるために、[1]振動や発熱等の問題が避けられないこと、[2]機械素子等に容積が必要で小型化にも限界があること、[3]電力を消費する駆動装置が必要不可欠であること、[4]メンテナンスが必要で煩雑であること、等の問題点がある。
偏光変調(制御)素子の条件を変えながら、複数の光強度分布を繰り返し測定しなければならないため、[1]測定時間が比較的に長くかかること、[2]測定中は測定対象を安定させておかねばならないこと、等の問題点がある。
金子敏章、岡和彦、「複屈折ウェッジを用いた偏光状態の空間2次元分布計測」、第49回応用物理学関係連合講演会講演予稿集、(応用物理学会、平塚、2002)page977 K.Oka and T.Kaneko, "Compact complete imaging polarimeter using birefringent wedge prisms," Opt. Express, Vol.11, No.13, pp.1510-1519, 2003
複屈折プリズムペアのリタデーションは温度変化や圧力変化に起因して敏感に変動する結果、図22に示されるように、撮像素子で検出される光強度分布の位相は温度変化や圧力変化に起因して変動する。その結果、図23に示されるように、光強度分布から得られるストークスパラメータの計測値は、温度変化や圧力変化により誤差を生ずる。なお、図22および23においては、図の都合上、x断面のみ示しているが、y方向も同様である。
複屈折プリズムペアと撮像素子の間にリレーレンズが挿入されているような系においては、両者の間の相対的な位置ずれが大きな誤差要因となる。もし、測定のたびに、振動などを原因として撮像素子の各画素がサンプルする複屈折プリズムペア上の座標がずれると、図24に示されるように、複屈折プリズムペアのリタデーションが変動した場合と等価な状態が出現することとなり、結果として、光強度分布から得られるストークスパラメータの計測値に誤差を生ずる。なお、図24においては、図の都合上、x断面のみ示しているが、y方向も同様である。
1.1 複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計測法の原理
複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計測法に使用される、複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計の基本構成が図1に示されている。この撮像偏光計は、結像レンズ102、2組の複屈折プリズムペア103(BPP1とBPP2)、検光子A、および撮像素子104によって構成されている。なお、撮像素子104を用いる代わりに、測定物体を走査することもできる。
φj(x,y)=2π(Ujxx+Ujyy)+Φj(x,y) (1.1)
ただし
γ1x≠γ2x (1.3a)
γ1y≠γ2y (1.3b)
のすくなくとも一方は成立している必要がある。たとえば、BPP1の接合面がy方向のみ、BPP2の接合面はx方向のみにそれぞれ傾いているとすると、(すなわち、図1右下囲みのようなときは、)
γ1x=0 (1.4a)
γ1y≠0 (1.4b)
γ2x≠0 (1.4c)
γ2y=0 (1.4d)
となる。
図1に示される「複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計」において、撮像素子104で取得される光強度分布は次式により表わされる。
S23(x,y)=S2(x,y)+iS3(x,y) (1.6)
となる。ここで、m0(x,y),m−(x,y),m2(x,y),m+(x,y)は、撮像素子が光強度分布の細かい振動成分に十分追随できないことによる振幅減衰率を示す。この式の性質を理解するために、式(1.1)を代入すると、
U−x=U2x−U1x (1.8a)
U−y=U2y−U1y (1.8b)
U+x=U2x+U1x (1.8c)
U+y=U2y+U1y (1.8d)
Φ-(x,y)=Φ2(x,y)−Φ1(x,y) (1.8e)
Φ+(x,y)=Φ2(x,y)+Φ1(x,y) (1.8f)
となっていることがわかる。
次に、素子間の交差角が45°以外の場合に、撮像素子104で取得される光強度分布について説明する。
・空間座標(x,y)に対して緩やかに変動する成分が、S0(x,y)のみならずS1(x,y)にも依存するようになる。
・位相φ1(x,y)によって疑似正弦的に振動する成分、すなわち中心空間周波数(U1x,U1y)で振動する成分が加わる。なお、この成分も(φ2(x,y)−φ1(x,y)およびφ2(x,y)+φ1(x,y)に従って振動する2つの成分と同様に、)S23(x,y)の情報を持っている。すなわち、この項は、S23を含む他の2項と同様に扱えることを意味している。
ストークスパラメータの2次元空間分布を復調するための具体的な手順について、図5を参照しつつ、以下説明する。大まかな流れは、次の通りになる。
Step1:撮像素子から得られた光強度分布I(x,y)から、各項を分離する。
Step2:各々の成分の振幅と位相を求める。
(あるいは、同値な量、例えば複素表示した際の実部と虚部を求める。)
Step3:各振動成分の振幅と位相に含まれる
[Step1]
前節で述べたように、撮像素子から得られた光強度分布I(x,y)には4つの成分が含まれている。各々を信号処理により取り出す作業をする。この作業で利用するのは、各々の成分が異なる周期(周波数)で振動していることである。通信工学や信号解析などの分野で広く用いられている様々な周波数フィルタリングの技法(のどれか一つ)を用いれば、各々を分離することができる。
Step1で分離された各成分それぞれについて、図6に示されるように、その「振幅と位相の組」ないし「複素表示」を求める。この作業にも、Step1同様、通信工学や信号解析などの分野で一般的な様々な復調法を利用して容易に実現できる。例えば、
振幅復調:整流検波法、包絡線検波法など
位相復調:周波数弁別器法、ゼロクロス法など
複素表示の復調:フーリエ変換法(後述)、同期検波法など
が挙げられる。
a(x,y)cosδ(x,y) (1.11)
の形を取っている。このa(x,y)とδ(x,y)それぞれを、その振動成分の「振幅」および「位相」と呼ぶ。なお、ここで成分[1]についても、位相がδ0(x,y)=0である(すなわちcosδ0(x,y)=1である)と見なせば、この成分についても振幅を定義することができる。
最後に、先のStep2で求めた「振幅」と「位相」、もしくは「複素表示」から、空間座標(x,y)の関数としてのストークスパラメータの2次元空間分布S0(x,y),S1(x,y),S2(x,y),S3(x,y)を決定する。
・S0(x,y)は、「成分[1]」から
・S2(x,y)とS3(x,y)は、「成分[2]」もしくは「成分[4]」(いずれか一方)から
・S1(x,y)は「成分[3]」から
が、それぞれ決定できることとなる。
・S0(x,y)は、「成分[1]」から
・S2(x,y)とS3(x,y)は、「成分[2]」もしくは「成分[4]」(いずれか一方)から
・S1(x,y)は「成分[3]」から
が、それぞれ決定できることとなる。
・S2(x,y)とS3(x,y)は、「成分[2]」、「成分[4]」、「成分[5]」のうちの一つから
と書き換えられることとなる。
前節で述べたように、撮像素子から得られる光強度分布から被測定光の偏光状態の2次元空間分布(ストークスパラメータの2次元空間分布)を決定する際には、Step3において、偏光計自体の特性のみで決まるパラメータ、すなわち、
「基準振幅関数」m0(x,y),m−(x,y),m2(x,y),m+(x,y)
および「基準位相関数」φ2(x,y),φ1(x,y)
あるいは
「基準複素関数」K0(x,y),K−(x,y),K2(x,y),K+(x,y)
を予め決定しておく必要がある。前者(「基準振幅関数」及び「基準位相関数」)と後者(「基準複素関数」)は、それぞれ、各振動成分の「振幅・位相」あるいは「複素表示」からストークスパラメータの2次元空間分布を求める場合に必要となる。これらは、被測定光によらない関数であるので、すくなくとも測定前に較正をしておくことが望ましい。
・『方法1』:光学系に用いる各素子の特性から、基準位相関数や基準振幅関数を較正する方法
・『方法2』:既知の偏光状態を持つ光を用いて、基準位相関数や基準振幅関数を較正する方法
の2通りがある。
光学系に用いる各素子の特性から、基準位相関数や基準振幅関数を較正する方法
基準位相関数や基準振幅関数は、複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計に用いる素子によって基本的にその特性が決まる。従って、個々の素子の光学特性を実験もしくは計算などで調べて、それらを積み重ねてパラメータの較正が行える。
既知の偏光状態を持つ光を用いて、基準位相関数や基準振幅関数を較正する方法
基準位相関数や基準振幅関数は、「複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計」の特性だけで決まる量であり、「被測定光の偏光状態」にはよらない。そこで、「偏光状態が既知の光(測定結果が分かっているもの)」を偏光計に入力し、その結果を用いて、基準位相関数や基準振幅関数を逆算することができる。
・「偏光状態が既知の光」としては、「一種類だけ」でもOKである。
・その「一種類」の光には、「直線偏光」が使える。
がある。
・各振動成分の「振幅と位相」から偏光状態を求める場合には「基準振幅関数」と「基準位相関数」が、
・各振動成分の「複素表示」から偏光状態を求める場合には「基準複素関数」が、
それぞれ必要となる。
この較正では、まず初めに、「何らかの既知の偏光状態を持った光」を用意し、それを複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計に入射する。その既知の光のストークスパラメータの2次元空間分布をS0 (0)(x,y),S1 (0)(x,y),S2 (0)(x,y)、およびS3 (0)(x,y)とする。この光について、先に示した復調手段を施すと、Step2で求められた振幅と位相は、式(1.15a)〜(1.15d)より
S23 (0)(x,y)
=S2 (0)(x,y)+iS3 (0)(x,y) (1.24)
となる。なお、これは、S0(x,y)〜S3(x,y)をS0 (0)(x,y)〜S3 (0)(x,y)に置き換えただけである。
S0 (0)(x,y)=I(0)(x,y) (1.26a)
S1 (0)(x,y)=I(0)(x,y)cos2θ (1.26b)
S2 (0)(x,y)=I(0)(x,y)sin2θ (1.26c)
S3 (0)(x,y)=0 (1.26d)
となる。ここでI(0)(x,y)は較正光の光強度分布である。この場合には、上記式(1.25a)〜(1.25g)は
上記に述べた方法は、各振動成分の「振幅」と「位相」を分離して計算する方法であった。しかし、場合によっては、各振動成分の「複素表示」として計算する方が都合が(効率が)良い場合もある。一例としては、先に図7に示したフーリエ変換法のように、直接「複素表示」(式(1.17a)〜式(1.17d))が求まる場合が挙げられる。この様な場合には、いちいち「振幅」や「位相」に分離しないで、「複素表示」のまま較正を行ってしまうのが効率良い。
F0 (0)(x,y)=K0(x,y)S0 (0)(x,y) (1.28a)
F− (0)(x,y)=K−(x,y)S23 (0)(x,y) (1.28b)
F2 (0)(x,y)=K2(x,y)S1 (0)(x,y) (1.28c)
F+ (0)(x,y)=K+(x,y)S23 (0)*(x,y) (1.28d)
となる。
1.4節のStep3に述べたように、測定された光強度分布I(x,y)からストークスパラメータの2次元空間分布S0(x,y),S1(x,y),S2(x,y),S3(x,y)を復調するためには、
2.1.1 温度変化
基準位相関数φ1(x,y)とφ2(x,y)は撮像偏光計中の複屈折プリズムペアBPP1とBPP2によって決まる量(リタデーション)である。このリタデーションは温度に対して敏感に変化するという性質を持つ。そのため、温度変化により光強度分布の位相がずれる(図22参照)。その結果、温度上昇により、測定値がずれて、誤差を生ずる(図23参照)。また、圧力変化に対しても同様の変化が起きる。
複屈折プリズムペアと撮像素子の間の相対的な位置がずれると、基準位相関数のゆらぎと「等価な」問題が生ずる。リレーレンズが挿入されているような系において、両者の間の相対的な位置がずれると、光強度分布が横ずれしたのと同様の効果になる。これは等価的な位相のずれとなる(図24参照)。特に、リモートセンシングやロボットビジョンなど、移動体上に偏光計を備え付ける必要のある応用分野においては,振動が不可避なため、複屈折プリズムペアと撮像素子の間の相対的な位置ずれが生じやすい。
各振動成分の基準位相関数が変動しないように、ゆらぎの原因を安定化させることが考えられるが、これはなかなか容易なことではない。例えば、温度変動についてみると、光エレクトロニクス機器の検査で、楕円率角や方位角の2次元空間分布に求められる精度は0.1°程度以下とされ、そのためには、温度変動を0.5℃以下程度に抑えなければいけない。これには、温度安定化に大きな装置が必要となり、複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計の様々な利点(小型化、能動素子を含まない、など)が失われる。
撮像素子から得られる光強度分布中に含まれる各振動成分の基準位相関数φ1(x,y)とφ2(x,y)(被測定光によらない、偏光計のパラメータのみに依存する)が、様々な要因で変動し、それが誤差の大きな要因となる。この点に鑑み、本実施形態では、測定中に(測定と並行して)、各振動成分の基準位相関数φ1(x,y)とφ2(x,y)を較正できる機能を複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計にもたせるようにしている(図9〜図11参照)。なお、図11においては、図の都合上、x断面のみ示しているが、y方向も同様である。
1.5節で述べた較正方法は、「測定の事前に」較正する方法であった。それに対して、以下の節では、「測定中に」較正できる方法を示す。これらが「発明の主要部」についての実施形態になる。
いま、測定中に(偏光状態が未知の光が複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計に入っている場合に、)第1章のStep2で求められた振幅と位相を再掲すると、下記のようになる。
・成分[1]の[振幅]→S0(x,y)
・成分[2]と成分[4]の一方の[振幅]と[位相]→S2(x,y)とS3(x,y)
・成分[3]の[振幅]→S1(x,y)
のみであることがわかる。残る
・成分[3]の[位相]
・成分[2]と成分[4]の中で残った方の[振幅]と[位相]
は、ストークスパラメータの2次元空間分布の復調には使われていないことがわかる。
この「測定中の計測法」を使うには、下記の前準備が必要となる。
以下の方法は、基準位相関数のみしか有効でないため、基準振幅関数に関しては、1.5節に述べたいずれかの方法でおこなうこととする。なお、基準振幅関数の測定中のゆらぎの大きさは、一般にかなり小さく、多くの場合無視できる。すなわち、基準位相関数とは異なり、基準振幅関数を測定中に再較正する必要性は、一般的には、ほとんどない。
以下、φ1(x,y)とφ2(x,y)の関係を求めるための具体的な例を示す。
例1:複屈折プリズムペアBPP1とBPP2が同じ媒質で作られていて、さらに非線形項Φ1(x,y)とΦ2(x,y)が無視できるとする。
このとき、φ1(x,y)とφ2(x,y)を決める係数U1x、U1y、U2x、U2yの比は、接合面の傾き角の比から決まる。従って、φ2(x,y)がわかれば、それからU2x、U2yが決まり、比例計算でU1x、U1yを求められる。
例2:例1同様、複屈折プリズムペアBPP1とBPP2が同じ媒質で作られていて、さらに非線形項Φ1(x,y)とΦ2(x,y)が無視できるとする。
この場合には、基準位相関数も事前較正すれば、U1x、U1y、U2x、U2yの比が決まる。
以下に、この考えに基づき、実際に較正する方法について説明する。
A.振動成分[3]より基準位相関数φ 2 (x,y)を求める方法
振動成分[3]のみに注目してその振幅と位相を再掲すると、
この関係式は、被測定光の偏光状態によらず常に成り立つため、どのような被測定光からでも、測定値から直ちに基準位相関数の一方が求められることを意味している。これは、測定中に完全に並行して行える較正の方法であり、「既知偏光を利用した」場合(1.5節)のような「測定の事前で行う、もしくは測定を中断して行う」必要性は全くない。ただし、この際に、成分[3]が十分なSN比で観測されているという条件を満たしている必要はあることを注意しておく(後述のC参照)。
δ2(x,y)=arg[F2(x,y)] (3.4)
なる関係を有している。従って、基準位相関数φ2(x,y)は、成分[3]の複素表示から
φ2(x,y)=arg[F2(x,y)] (3.5)
とすれば求められることができる。なお、複素表示の時に必要なのは、基準位相関数φ2(x,y)ではなく、基準複素関数K2(x,y)になる。両者の間には式(1.18c)の関係があるから、φ2(x,y)が決まればK2(x,y)も求められることとなる(詳しくは、後述のFにて述べる)。
振動成分[2]と[4]各々の成分の位相を再掲すると、
成分[2]の位相:
δ−(x,y)=φ2(x,y)−φ1(x,y)
+arg{S23(x,y)} (3.6a)
成分[4]の位相:
δ+(x,y)=φ2(x,y)+φ1(x,y)
−arg{S23(x,y)}+π (3.6b)
となる。この両者の位相を加えると、φ1(x,y)とarg{S23(x,y)}がうち消され、φ2(x,y)に依存する項のみが残る。これより、
δ−(x,y)=arg[F−(x,y)] (3.8a)
δ+(x,y)=arg[F+(x,y)] (3.8b)
なる関係を有している。
以上までに述べた2つの方法(方法Aと方法B)は、いずれも測定中に完全に並行して基準位相関数の一方φ2(x,y)の較正ができる方法である。ただし、2つの方法では、用いられている振動成分が異なっている。ここで注意すべきは、方法Aで利用される振動成分[3]の振幅はS1(x,y)に比例し、一方、方法Bで利用される振動成分[2]と[4]の両方の振幅は
AとBを効率よく組み合わせるための考え方の一つを下記に示す。これは、特別な場合分けなどをせずに、直接的に計算できる方法である。なお、この部分(方法D)では、振動成分[2]〜[4]の複素表示F−(x,y),F2(x,y),F+(x,y)の3者を用いて計算を行う。各振動成分の「振幅と位相の組」から計算する際には、これらを式(1.13)を使って一旦「複素表示」に直してから以下の計算手順に従えばよい。
2φ2(x,y)=arg[F2 2(x,y)] (3.11)
が得られる。一方、式(3.10)の両辺を2倍すれば
2φ2(x,y)=arg[−F−(x,y)F+(x,y)] (3.12)
が得られる。この両式を見比べれば、各々の右辺の大括弧の中の複素関数は、同じ偏角2φ2(x,y)を持つことがわかる。さらに、各々の式で、大カッコの中に入ってる複素関数の絶対値を調べると、
[D−1] α(x,y)=β(x,y)=1
重み関数の最も簡単な選び方は、両者を同じ定数(1)にしてしまうことである。この場合には、基準位相関数φ2(x,y)を求めるための式は、
φ1(x,y)については、φ2(x,y)と同様の揺らぎをしていると考えられるため、φ2(x,y)の測定値から比例計算など(φ2(x,y)とφ1(x,y)の関係)を使って求めることができる。
1.4節「ストークスパラメータの2次元空間分布復調の手順」のStep2での復調において、(「振幅と位相の組」ではなく)「複素表示」を求めた場合には、最終的にストークスパラメータの2次元空間分布を求めるためのStep3の作業の際に必要となるのは、基準位相関数φ1(x,y),φ2(x,y)ではなく、基準複素関数K0(x,y),K−(x,y),K2(x,y),K+(x,y)になる。しかし、これらも、上記Eまでの手順で基準位相関数φ1(x,y),φ2(x,y)が求まっていれば、式(1.18a)〜(1.18d)の関係を利用して直ちに求められる。
3.2.1 基本的な考え方
前節3.1で述べたのと同じ考え方で、基準位相関数の「変化量のみ」を求めることもできる。以下、便宜上「事前較正」、「初期値」という用語を用いるが、較正の時期は被測定光の測定よりも時間的に前であることは必要ではない。したがって、基準位相関数の初期値は、より一般的には基準位相関数の較正用基準値として把握される。また、基準位相関数の較正用基準値として、実測値ではない適当な値を使用することもできる。
・撮像素子や信号処理系などの特性などによってつくかもしれない若干の付加的な位相ずれの部分が、取り除ける。
・面倒な位相アンラッピングが不要となる。
・位相の変動量自体が小さいため、計算のダイナミックレンジを小さくできる。また、この結果として、多くの場合、計算誤差を相対的に小さくできる。
などがある。
従って、「基準位相関数の変化量のみを求めること」は、意味がある。
この「測定中の計測法」を使うには、「基準振幅関数」と「基準位相関数」の両者とも事前較正しておくことが前提となる。なお、位相に関しては、変動分−誤差分−を後に補正できるため、それほど精度良く求めておく必要はない。
・例1:φ1(x,y)とφ2(x,y)の関係をそのまま使う。
・例2:実際に揺らぎ(例えば温度変化)を与えて、それでΔφ1(x,y)とΔφ2(x,y)の関係を求める。
のようないくつかの手がある。
較正方法の基本的な考え方は、3.1節と全く同じである。従って、3.1.3節で述べたA〜Eの全てに対応する計算方法が存在する。そこで以下では、考え方は違いのみ示し、計算式の列挙を中心に述べることとなる。
へと変化したとする。以下、この基準位相関数の変化量Δφ1(x,y),Δφ2(x,y)、あるいは、それに相当する基準複素関数の変化を求める方法について説明する。
前節の方法Aで述べたように、成分[3]の位相は
δ2(x,y)=φ2(x,y)
=φ2 (i)(x,y)+δφ2(x,y) (3.21)
となる。そこで、φ2(x,y)の変化量は
Δφ2(x,y)=δ2(x,y)−φ2 (i)(x,y) (3.22)
として求められる。すなわち、成分[3]の位相δ2(x,y)が測定されれば、基準位相関数の一方の変化量δφ2(x,y)が直ちに決められることを意味している。
前節で述べた場合と同様に、基準位相関数の「変化量」のみを求める場合でも、方法AとBの適応的な組み合わせは効果的である。なお、内容は前節と全く同じなので省略する。
変化量のみを求める場合の計算式として望ましいものの一つは、
Δφ1(x,y)については、Δφ2(x,y)と同様の揺らぎをしていると考えられるため、Δφ2(x,y)の測定値から比例計算など(Δφ2(x,y)とΔφ1(x,y)の関係)を使って求めることができる。
各振動成分をStep2で復調する際に「振幅と位相の組」ではなく、「複素表示」を求めた場合に、最終的にストークスパラメータの2次元空間分布を求める(Step3の作業)の際に必要となるのは、基準位相関数φ1(x,y),φ2(x,y)ではなく、基準複素関数K0(x,y),K−(x,y),K2(x,y),K+(x,y)になる。
前章で説明した様に、複屈折プリズムペアを用いた撮像偏光計測法では、「測定中に(測定と並行して)」基準位相関数、もしくはその変化量を較正(あるいは補正)することができる。ただし前章の説明では、周波数フィルタリングを使った信号処理法を利用すること、すなわち撮像素子から得られた光強度分布より異なる周期で振動する擬似正弦的な成分を分離することをその前提としていた。ところがこの周波数フィルタリングは、「測定中の較正」の実現において、実は必須なステップではない。発明者らは、ほかの復調法、すなわちほかの信号処理法においても、測定中の基準位相関数の較正が可能であることを見いだした。
まず始めに、撮像素子から得られる光強度分布と基準位相関数の関係を、干渉の考え方を使って説明する。図25の下方において、平行に走る上下2本の線は、それぞれ、互いに直交する直線偏光成分の経路を表す。ただし、複屈折プリズムペアBPP1とBPP2の中での各々の直線偏光の方向は、それぞれの素子の主軸の方向に沿って取るものとする。複屈折プリズムペアBPP1に左から入った光は、x,y各偏光成分Ex(x,y),Ey(x,y)に分かれて、それぞれBPP1の方位0°方向と90°方向を向く2つの主軸に沿った成分として伝搬する。BPP1を射出した2つの直線偏光成分は、BPP2入射前に主軸方位が45°回転され、この際に偏光成分の一部が交換される。この光は、BPP2の45°方向と135°方向を向く2つの主軸に沿った成分に再配分され、BPP2を透過する。BPP2を射出した2つの成分は、検光子Aにおいて重ね合わされ、撮像素子に入射する。
・Ex(x,y)→BPP10°方向の主軸→BPP245°方向の主軸→撮像素子
・Ex(x,y)→BPP10°方向の主軸→BPP2135°方向の主軸→撮像素子
・Ey(x,y)→BPP190°方向の主軸→BPP245°方向の主軸→撮像素子
・Ey(x,y)→BPP190°方向の主軸→BPP2135°方向の主軸→撮像素子
撮像素子では、この4つの成分が重ね合わされ、互いに干渉する。干渉項の位相は、これらの4成分間から取り出した任意の2成分間の位相差から決まる。その可能な組を全て列挙すると、
0
φ2(x,y)
{φ1(x,y)−δ(x,y)}
φ2(x,y)−{φ1(x,y)−δ(x,y)}
φ2(x,y)+{φ1(x,y)−δ(x,y)}
となる。ただし、δ(x,y)は、被測定光のx,y偏光成分間の位相差、すなわち
δ(x,y)=arg[Ey(x,y)]−arg[Ex(x,y)]
=arg[S23(x,y)] (4.1)
である。撮像素子で発生される光強度分布には、結果として上記5通りの位相差に対応した振動成分が含まれることとなる。(ただし、1.2節で述べたように、BPP2とAの交差角が45°となっている場合には、{φ1(x,y)−δ(x,y)}に依存する項はうち消されるので、光強度分布の中には生じない。)
・適当な信号処理を施せば、撮像素子から得られる光強度分布よりφ2(x,y)を、被測定光の偏光状態に無関係に、すなわち被測定光の偏光状態に関する先見情報を用いることなく復調できる。
・φ2(x,y)とφ1(x,y)の関係を利用すれば、間接的にではあるが、φ1(x,y)も被測定光の偏光状態によらずに復調できる。
前節では、基準位相関数φ2(x,y)が、被測定光の偏光状態によらずに求められることを示した。ここでこの原理は、φ2(x,y)そのものを直接求めねばならないことを意味しているのではない。たとえば、初期値φ2 (i)(x,y)がわかっているときに、それからの変化量Δφ2(x,y)を求めることも同様に含まれる。あるいは、基準位相関数φ2(x,y)などを含む量、たとえばK2(x,y),cosφ2(x,y),cosΔφ2(x,y)なども、測定中に求めることができる。
本章では、周波数フィルタリングを使わない、すなわち、撮像素子で得られた光強度分布からの擬似正弦的な振動成分の分離を行わない、位相属性関数の測定中較正ならびにストークスパラメータの2次元空間分布の復調法の具体例の一つとして、一般化逆行列を用いる方法を示す。
いま、何らかの事前較正によって求まる基準位相関数を、φ1 (i)(x,y)およびφ2 (i)(x,y)とする。測定中に基準位相関数が
φ1(x,y)=φ1 (i)(x,y)+Δφ1(x,y) (5.1a)
φ2(x,y)=φ2 (i)(x,y)+Δφ2(x,y) (5.1b)
へと変化したとする。以下、この基準位相関数の変化量Δφ1(x,y),Δφ2(x,y)、あるいは、それに相当する基準複素関数の変化を求める方法について説明する。
P=RQ (5.6)
Pl=I(xm,yn) (5.7a)
Q(7l−6)=p0(xm,yn) (5.7b)
Q(7l−5)=pc(xm,yn) (5.7c)
Q(7l−4)=ps(xm,yn) (5.7d)
Q(7l−3)=qss(xm,yn) (5.7e)
Q(7l−2)=qcc(xm,yn) (5.7f)
Q(7l−1)=qsc(xm,yn) (5.7g)
Q(7l)=qcs(xm,yn) (5.7h)
となり、一方行列R(MN行7MN列)の要素は、m=1…M,n=1…Nにおいて
Rl(7l−6)=1 (5.8a)
Rl(7l−5)=cos[φ2 (i)(xm,yn)] (5.8b)
Rl(7l−4)=sin[φ2 (i)(xm,yn)] (5.8c)
Rl(7l−3)
=sin[φ2 (i)(xm,yn)]sin[φ1 (i)(xm,yn)] (5.8d)
Rl(7l−2)
=cos[φ2 (i)(xm,yn)]cos[φ1 (i)(xm,yn)] (5.8e)
Rl(7l−1)
=sin[φ2 (i)(xm,yn)]cos[φ1 (i)(xm,yn)] (5.8f)
Rl(7l)=cos[φ2 (i)(xm,yn)]sin[φ1 (i)(xm,yn)] (5.8g)
のみ値を持ち、残りの要素は0である。なお、この選び方では、全ての要素が実数となっていることを注意しておく。
条件1 左辺の列ベクトル(上記の例ではP)は、撮像素子で得られた光強度の2次元空間分布に関する情報を列挙したものであること。
条件2 右辺の列ベクトル(上記の例ではQ)は、被測定光のストークスパラメータの2次元空間分布、ならびに測定系の位相属性関数などを含む情報を列挙したものであること。
条件3 右辺の行列(上記の例ではR)は、左辺と右辺の列ベクトルの関係を完全に関係づける線形和となっており、かつその全ての要素は、復調前に確定していること。(仮の較正値などを使っていても良い。)なお、上記の例では、一つのPの要素に関連づけられたQの要素は、他のPの要素には関係しないこととなっているが、これは必須ではない。むしろ、光学系の構成や理論式の近似の取り方などによっては、こうならない場合、すなわち、ある一つの座標(x,y)での光強度分布が、他の(その回りの)座標のストークスパラメータの2次元空間分布などと関係を持つ場合もあり得る。
上記の議論からわかるように、式(5.6)は、線形連立方程式をあらわしている。なぜなら、左辺の列ベクトルPは、光強度分布の測定で決まり、一方右辺の行列Rは、測定前に確定しているからである。この線形連立方程式を解けば、右辺の列ベクトルQ(未知)を決めることができる。ただし、一般に、Pの要素の数に比べて、Qの要素はかなり多い。(上記の例では7倍である。)このため、行列Rは、逆行列を持たない。
RXR=R (5.9a)
XRX=X (5.9b)
(RX)*=RX (5.9c)
(XR)*=XR (5.9d)
ただし、行列に付けられた上付き添え字*は、共役転置行列を表す。なお、このようなXはどのようなRに対しても必ず存在し、しかもRに対し一意に定まる。なお、具体的にRからR+を算出する数値計算の方法は、種々の方法が提案されている。(参考文献:戸川隼人、「マトリクスの数値計算」、オーム社、1971年、page 46)
Q=R+P (5.10)
これはすなわち、ストークスパラメータの2次元空間分布と基準位相関数の変化量を含む変数群p0(xm,yn),pc(xm,yn),ps(xm,yn),qss(xm,yn),qcc(xm,yn),qsc(xm,yn),qcs(xm,yn)(ただし、m=1…M,n=1…N)が求められることを意味する。
次に、列ベクトルQの要素から、位相属性関数を求める。
前章に一般論として述べたように、
・撮像素子から得られた光強度分布の中に含まれている情報から、φ2(x,y)(あるいはそれによって決まる関数)が被測定光の偏光状態とは無関係に求められる。
・φ2(x,y)とφ1(x,y)の関係(先見情報)を使えば、φ2(x,y)のみならずφ1(x,y)が、さらには両者に関連する関数が、被測定光の偏光状態とは無関係に求められる。
列ベクトルQのうち、pc(x,y)とps(x,y)は、
列ベクトルQの成分のうち、上記A.で使わなかったものからも、
3章で述べた場合(周波数フィルタリングを用いる場合)と同様に、方法AとBの適応的な組み合わせは効果的である。なお、処理は前と全く同じなので省略する。
列ベクトルQに含まれる要素の、さらに別の組み合わせより、
Δφ1(x,y)については、Δφ2(x,y)と同様の揺らぎをしていると考えられるため、Δφ2(x,y)の測定値から比例計算など(Δφ2(x,y)とΔφ1(x,y)の関係)を使って求めることができる。
2 コリメータレンズ
3 ピンホール
4 コリメータレンズ
5 偏光子
6 ツイストネマティック液晶
7 測定系
8 結像レンズ
9 CCD撮像素子
10 コンピュータ
BPP1 複屈折プリズムペア
BPP2 複屈折プリズムペア
A 検光子
101 測定対象物
102 結像レンズ
103 複屈折プリズムペア
104 撮像素子
200 投光側ユニット
201 電源
202 光源
203 ピンホール板
204 コリメートレンズ
205 シャッタ
206 偏光子
300 受光側ユニット
301 結像レンズ
302a 複屈折プリズムペア
302b 複屈折プリズムペア
303 検光子
304 撮像素子
305 A/D変換器
306 コンピュータ
306a 演算処理部
306b メモリ部
306c 測定結果出力部
307 ガラス板
308 スペーサ
309 カバーガラス
310 偏光撮像装置
400 試料
Claims (17)
- 被測定光が順に透過する第1の複屈折プリズムペア、第2の複屈折プリズムペア及び検光子と、前記検光子を透過した光の2次元光強度分布を求める手段とを備え、
前記各複屈折プリズムペアは、互いに頂角が等しいくさび状の2つの移相子が接合されて平行平板状となっており、かつ、接合された2つの移相子の速軸の方向が互いに直交している光学素子であり、
第2の複屈折プリズムペアは、その主軸の方向と第1の複屈折プリズムペアの主軸の方向とが不一致となるように配置され、
検光子は、その透過軸の方向と第2の複屈折プリズムペアの主軸の方向とが不一致となるように配置された、偏光撮像装置を用意するステップと、
偏光撮像装置に被測定光を入射させて2次元光強度分布を求めるステップと、
求められた光強度分布を用いて、測定系の位相属性関数の組を求めるとともに被測定光の偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求める演算ステップとを備えた撮像偏光計測方法であって、
前記位相属性関数の組は、偏光撮像装置の特性によって規定される関数の組であって、第1の複屈折プリズムペアのリタデーションである第1の基準位相関数(φ1(x,y))に少なくとも依存する関数及び第2の複屈折プリズムペアのリタデーションである第2の基準位相関数(φ2(x,y))に少なくとも依存する関数を含み、それ自身のみで被測定光の偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるのに十分であるような関数の組である、又はそれ自身と偏光撮像装置の特性によって規定される他の関数とを組み合わせると被測定光の偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるのに十分な関数の組が得られるような関数の組である、撮像偏光計測方法。 - 前記検光子は、その透過軸の方向が第2の複屈折プリズムペアの主軸の方向に対して45°となるように配置されたものである、請求項1に記載の撮像偏光計測方法。
- 前記演算ステップにおいて、
前記位相属性関数の組は、第1の基準位相関数及び第2の基準位相関数であり、
第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との間の関係を示すデータが利用可能とされており、
前記演算ステップは、
求められた光強度分布を用いて、位置変化に対して非周期振動性の第1の光強度分布成分及び位置変化に対して第2の基準位相関数に依存し第1の基準位相関数に依存しない周波数で振動する第3の光強度分布成分を求め、かつ、位置変化に対して第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との差に依存する周波数で振動する第2の光強度分布成分、位置変化に対して第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との和に依存する周波数で振動する第4の光強度分布成分及び位置変化に対して第1の基準位相関数に依存し第2の基準位相関数に依存しない周波数で振動する第5の光強度分布成分のうち少なくとも1つを求め、
第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との間の関係を示すデータ及び求めた各光強度分布成分を用いて、第1の基準位相関数及び第2の基準位相関数を求めるとともに偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるものである、請求項1に記載の撮像偏光計測方法。 - 前記演算ステップにおいて、
前記位相属性関数の組は、第1の基準位相関数の較正用基準値からの第1の基準位相関数の変化量(Δφ1(x,y))並びに第2の基準位相関数の較正用基準値からの第2の基準位相関数の変化量(Δφ2(x,y))であり、
第1の基準位相関数の較正用基準値(φ1 (i)(x,y))及び第2の基準位相関数の較正用基準値(φ2 (i)(x,y))、並びに第1の基準位相関数の変化量と第2の基準位相関数の変化量との間の関係を示すデータが利用可能とされており、
前記演算ステップは、
求められた光強度分布を用いて、位置変化に対して非周期振動性の第1の光強度分布成分及び位置変化に対して第2の基準位相関数に依存し第1の基準位相関数に依存しない周波数で振動する第3の光強度分布成分を求め、かつ、位置変化に対して第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との差に依存する周波数で振動する第2の光強度分布成分、位置変化に対して第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との和に依存する周波数で振動する第4の光強度分布成分及び位置変化に対して第1の基準位相関数に依存し第2の基準位相関数に依存しない周波数で振動する第5の光強度分布成分のうち少なくとも1つを求め、
第1の基準位相関数の較正用基準値、第2の基準位相関数の較正用基準値、第1の基準位相関数の変化量と第2の基準位相関数の変化量との間の関係を示すデータ及び求めた各光強度分布成分を用いて、第1の基準位相関数の変化量及び第2の基準位相関数の変化量を求めるとともに偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるものである、請求項1に記載の撮像偏光計測方法。 - さらに、偏光撮像装置に偏光状態の2次元空間分布を示す各パラメータが既知である較正用の光を入射させて較正用の2次元光強度分布を求め、較正用の光の偏光状態の2次元空間分布を示す各パラメータ及び求めた較正用の光強度分布を用いて第1の基準位相関数の較正用基準値(φ1 (i)(x,y))及び第2の基準位相関数の較正用基準値(φ2 (i)(x,y))を求めるステップを備え、それによりこれらの較正用基準値が利用可能とされる、請求項4に記載の撮像偏光計測方法。
- さらに、偏光撮像装置に偏光状態の2次元空間分布を示す各パラメータが既知である較正用の光を入射させて較正用の2次元光強度分布を求め、較正用の光の偏光状態の2次元空間分布を示す各パラメータ及び求めた較正用の光強度分布を用いて、第1の基準位相関数の較正用基準値(φ1 (i)(x,y))、第2の基準位相関数の較正用基準値(φ2 (i)(x,y))及び第1の基準位相関数の変化量と第2の基準位相関数の変化量との間の関係を示すデータを求めるステップを備え、それによりこれらの値が利用可能とされる、請求項4に記載の撮像偏光計測方法。
- さらに、偏光撮像装置に偏光状態の2次元空間分布を示す各パラメータが既知である較正用の光を入射させて較正用の2次元光強度分布を求め、較正用の光の偏光状態の2次元空間分布を示す各パラメータ及び求めた較正用の光強度分布を用いて第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との間の関係を示すデータを求めるステップを備え、それにより第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との間の関係を示すデータが利用可能とされる、請求項3に記載の撮像偏光計測方法。
- 前記較正用の光は直線偏光である、請求項5に記載の撮像偏光計測方法。
- 前記較正用の光は直線偏光である、請求項7に記載の撮像偏光計測方法。
- 前記演算ステップにおいて、
2次元光強度分布に関する情報を含む第1のベクトルが、行列と、被測定光の偏光状態の2次元空間分布に関する情報及び前記位相属性関数の組に関する情報を含む第2のベクトルとの積によって表される関係が成り立つような前記行列の一般化逆行列の各要素の値が利用可能とされており、
前記演算ステップは、
求められた光強度分布を用いて第1のベクトルの各要素の値を特定し、
前記一般化逆行列と第1のベクトルとの積演算により第2のベクトルの各要素の値を求め、
第2のベクトルに含まれる要素の値を用いて前記位相属性関数の組を求めるとともに被測定光の偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるものである、請求項1に記載の撮像偏光計測方法。 - 前記演算ステップにおいて、
前記位相属性関数の組は、第1の基準位相関数の較正用基準値からの第1の基準位相関数の変化量(Δφ1(x,y))並びに第2の基準位相関数の較正用基準値からの第2の基準位相関数の変化量(Δφ2(x,y))であり、
第1の基準位相関数の変化量と第2の基準位相関数の変化量との間の関係を示すデータが利用可能とされており、
さらに、第1の基準位相関数の較正用基準値(φ1 (i)(x,y))及び第2の基準位相関数の較正用基準値(φ2 (i)(x,y))から求められた前記行列の一般化逆行列が利用可能とされており、
前記演算ステップは、
求められた光強度分布を用いて第1のベクトルの各要素の値を特定し、
前記一般化逆行列と第1のベクトルとの積演算により第2のベクトルの各要素の値を求め、
第2のベクトルに含まれる要素の値及び第1の基準位相関数の変化量と第2の基準位相関数の変化量との間の関係を示すデータを用いて、第1の基準位相関数の変化量及び第2の基準位相関数の変化量を求めるとともに偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるものである、請求項10に記載の撮像偏光計測方法。 - 被測定光が順に透過する第1の複屈折プリズムペア、第2の複屈折プリズムペア及び検光子と、前記検光子を透過した光の2次元光強度分布を求める手段とを備え、
前記各複屈折プリズムペアは、互いに頂角が等しいくさび状の2つの移相子が接合されて平行平板状となっており、かつ、接合された2つの移相子の速軸の方向が互いに直交している光学素子であり、
第2の複屈折プリズムペアは、その主軸の方向と第1の複屈折プリズムペアの主軸の方向とが不一致となるように配置され、
検光子は、その透過軸の方向と第2の複屈折プリズムペアの主軸の方向とが不一致となるように配置された、偏光撮像装置と、
偏光撮像装置に被測定光を入射させて求められた2次元光強度分布を用いて、測定系の位相属性関数の組を求めるとともに被測定光の偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求める演算装置とを備えた撮像偏光計測装置であって、
前記位相属性関数の組は、偏光撮像装置の特性によって規定される関数の組であって、第1の複屈折プリズムペアのリタデーションである第1の基準位相関数(φ1(x,y))に少なくとも依存する関数及び第2の複屈折プリズムペアのリタデーションである第2の基準位相関数(φ2(x,y))に少なくとも依存する関数を含み、それ自身のみで被測定光の偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるのに十分であるような関数の組である、又はそれ自身と偏光撮像装置の特性によって規定される他の関数とを組み合わせると被測定光の偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるのに十分な関数の組が得られるような関数の組である、撮像偏光計測装置。 - 前記検光子は、その透過軸の方向が第2の複屈折プリズムペアの主軸の方向に対して45°となるように配置されたものである、請求項12に記載の撮像偏光計測装置。
- 前記演算装置において、
前記位相属性関数の組は、第1の基準位相関数及び第2の基準位相関数であり、
第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との間の関係を示すデータが利用可能とされており、
前記演算装置は、
偏光撮像装置に被測定光を入射させて求められた2次元光強度分布を用いて、位置変化に対して非周期振動性の第1の光強度分布成分及び位置変化に対して第2の基準位相関数に依存し第1の基準位相関数に依存しない周波数で振動する第3の光強度分布成分を求め、かつ、位置変化に対して第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との差に依存する周波数で振動する第2の光強度分布成分、位置変化に対して第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との和に依存する周波数で振動する第4の光強度分布成分及び位置変化に対して第1の基準位相関数に依存し第2の基準位相関数に依存しない周波数で振動する第5の光強度分布成分のうち少なくとも1つを求め、
第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との間の関係を示すデータ及び求めた各光強度分布成分を用いて、第1の基準位相関数及び第2の基準位相関数を求めるとともに偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるものである、請求項12に記載の撮像偏光計測装置。 - 前記演算装置において、
前記位相属性関数の組は、第1の基準位相関数の較正用基準値からの第1の基準位相関数の変化量(Δφ1(x,y))並びに第2の基準位相関数の較正用基準値からの第2の基準位相関数の変化量(Δφ2(x,y))であり、
第1の基準位相関数の較正用基準値(φ1 (i)(x,y))及び第2の基準位相関数の較正用基準値(φ2 (i)(x,y))、並びに第1の基準位相関数の変化量と第2の基準位相関数の変化量との間の関係を示すデータが利用可能とされており、
前記演算装置は、
偏光撮像装置に被測定光を入射させて求められた2次元光強度分布を用いて、位置変化に対して非周期振動性の第1の光強度分布成分及び位置変化に対して第2の基準位相関数に依存し第1の基準位相関数に依存しない周波数で振動する第3の光強度分布成分を求め、かつ、位置変化に対して第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との差に依存する周波数で振動する第2の光強度分布成分、位置変化に対して第1の基準位相関数と第2の基準位相関数との和に依存する周波数で振動する第4の光強度分布成分及び位置変化に対して第1の基準位相関数に依存し第2の基準位相関数に依存しない周波数で振動する第5の光強度分布成分のうち少なくとも1つを求め、
第1の基準位相関数の較正用基準値、第2の基準位相関数の較正用基準値、第1の基準位相関数の変化量と第2の基準位相関数の変化量との間の関係を示すデータ及び求めた各光強度分布成分を用いて、第1の基準位相関数の変化量及び第2の基準位相関数の変化量を求めるとともに偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるものである、請求項12に記載の撮像偏光計測装置。 - 前記演算装置において、
2次元光強度分布に関する情報を含む第1のベクトルが、行列と、被測定光の偏光状態の2次元空間分布に関する情報及び前記位相属性関数の組に関する情報を含む第2のベクトルとの積によって表される関係が成り立つような前記行列の一般化逆行列の各要素の値が利用可能とされており、
前記演算装置は、
偏光撮像装置に被測定光を入射させて求められた2次元光強度分布を用いて第1のベクトルの各要素の値を特定し、
前記一般化逆行列と第1のベクトルとの積演算により第2のベクトルの各要素の値を求め、
第2のベクトルに含まれる要素の値を用いて前記位相属性関数の組を求めるとともに被測定光の偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるものである、請求項12に記載の撮像偏光計測装置。 - 前記演算装置において、
前記位相属性関数の組は、第1の基準位相関数の較正用基準値からの第1の基準位相関数の変化量(Δφ1(x,y))並びに第2の基準位相関数の較正用基準値からの第2の基準位相関数の変化量(Δφ2(x,y))であり、
第1の基準位相関数の変化量と第2の基準位相関数の変化量との間の関係を示すデータが利用可能とされており、
さらに、第1の基準位相関数の較正用基準値(φ1 (i)(x,y))及び第2の基準位相関数の較正用基準値(φ2 (i)(x,y))から求められた前記行列の一般化逆行列が利用可能とされており、
前記演算装置は、
偏光撮像装置に被測定光を入射させて求められた2次元光強度分布を用いて第1のベクトルの各要素の値を特定し、
前記一般化逆行列と第1のベクトルとの積演算により第2のベクトルの各要素の値を求め、
第2のベクトルに含まれる要素の値及び第1の基準位相関数の変化量と第2の基準位相関数の変化量との間の関係を示すデータを用いて、第1の基準位相関数の変化量及び第2の基準位相関数の変化量を求めるとともに偏光状態の2次元空間分布を示すパラメータを求めるものである、請求項16に記載の撮像偏光計測装置。
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