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JP4132003B2 - Solid-state imaging device - Google Patents

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JP4132003B2
JP4132003B2 JP27340899A JP27340899A JP4132003B2 JP 4132003 B2 JP4132003 B2 JP 4132003B2 JP 27340899 A JP27340899 A JP 27340899A JP 27340899 A JP27340899 A JP 27340899A JP 4132003 B2 JP4132003 B2 JP 4132003B2
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Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、エリア・イメージセンサとして利用される固体撮像装置およびその駆動方法に係り、特に、複数の光電変換素子列と複数の垂直転送ＣＣＤとを備えたインターライン転送型の固体撮像装置およびその駆動方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
ＣＣＤ（電荷結合素子）の量産技術が確立されて以来、ＣＣＤ型の固体撮像装置をエリア・イメージセンサとして利用したビデオカメラ、電子スチルカメラ等が急速に普及している。ＣＣＤ型の固体撮像装置は、その構造により何種類かに分類されるが、その一つに、インターライン転送型の固体撮像装置（以下、この固体撮像装置を「ＩＴ−ＣＣＤ」と略記する。）がある。
【０００３】
ＩＴ−ＣＣＤは、半導体基板の表面に一定のピッチで複数列、複数行に亘って配列された多数個の光電変換素子を有する。各光電変換素子列は複数個の光電変換素子によって構成され、各光電変換素子行も複数個の光電変換素子によって構成される。各光電変換素子は、通常、フォトダイオードによって構成される。
【０００４】
ｐｎフォトダイオードからなる多数個の光電変換素子は、例えば半導体基板の所望面側にｐ型ウェルを形成し、所望形状のｎ型領域を目的とする光電変換素子の数と同じ数だけ前記のｐ型ウェル中に形成することによって作製される。このとき、必要に応じて、各ｎ型領域上にｐ+ 型領域が形成される。信号電荷は、前記のｎ型領域のそれぞれに蓄積される。すなわち、前記のｎ型領域のそれぞれは、信号電荷蓄積領域として機能する。
【０００５】
以下、本明細書において「光電変換素子」の用語は、信号電荷蓄積領域のみを指す場合もある。また、本明細書でいう「光電変換素子に近接する」あるいは「光電変換素子に隣接する」とは、「光電変換素子を構成している信号電荷蓄積領域に近接する」こと、あるいは、「光電変換素子を構成している信号電荷蓄積領域に隣接する」ことを意味するものとする。
【０００６】
光電変換素子列の１列毎に、当該光電変換素子列に近接して、１本の電荷転送チャネルが形成される。したがって、ＩＴ−ＣＣＤは複数本の電荷転送チャネルを有する。１本の電荷転送チャネルは、当該電荷転送チャネルに近接している光電変換素子列における全ての光電変換素子に蓄積された信号電荷を転送するための電荷転送チャネルとして利用される。
【０００７】
電荷転送チャネルの各々を平面視上横断する複数本の転送電極が、前記の半導体基板表面上に電気絶縁膜を介して形成される。各転送電極と各電荷転送チャネルとの平面視上の交差部それぞれは、１つの電荷転送段として機能する。すなわち、１本の電荷転送チャネルと前記の複数本の転送電極とによって、１本の垂直転送ＣＣＤが形成される。
【０００８】
本明細書においては、垂直転送ＣＣＤを構成する複数本の転送電極それぞれにおいて上記の電荷転送段を構成する領域を、「転送路形成部」という。
【０００９】
インターレース駆動型のＩＴ−ＣＣＤにおける個々の垂直転送ＣＣＤは、通常、１つの光電変換素子に対して２つの電荷転送段を有する。全画素読み出し型のＩＴ−ＣＣＤにおける個々の垂直転送ＣＣＤは、通常、１つの光電変換素子に対して３つまたは４つの電荷転送段を有する。
【００１０】
前述した光電変換素子の各々が光電変換することにより、当該光電変換素子に信号電荷が蓄積される。各光電変換素子に蓄積された信号電荷は、それぞれ、対応する電荷転送チャネルへ所定の時期に読み出される。
【００１１】
光電変換素子から電荷転送チャネルへの信号電荷の読み出しを制御するために、光電変換素子の１個毎に当該光電変換素子に隣接して、読み出しゲート領域が前記の半導体基板表面に形成される。この読み出しゲート領域は、通常、信号電荷に対してポテンシャルバリアを形成するように、光電変換素子および電荷転送チャネルと逆導電型の領域で構成される。各読み出しゲート領域は、所定の電荷転送チャネルにおける所定の区域にも隣接する。
【００１２】
また、読み出しゲート領域それぞれの上に、読み出しゲート電極部が形成される。読み出しゲート電極部の各々は、通常、垂直転送ＣＣＤを構成する所定の転送電極における転送路形成部の一部の領域からなる。読み出しゲート電極に読み出しゲート領域のポテンシャルバリアを消滅させる高い電圧を印加することにより、光電変換素子に蓄積された信号電荷を電荷転送チャネルに読み出すことができる。
【００１３】
各電荷転送チャネルに読み出された信号電荷は、当該電荷転送チャネルを含んで構成される各垂直転送ＣＣＤによって、出力転送路へ転送される。この出力転送路は、通常、ＣＣＤによって形成される（以下、このＣＣＤを「水平転送ＣＣＤ」ということがある。）。
【００１４】
水平転送ＣＣＤからなる出力転送路は、１つの垂直転送ＣＣＤに対してＮ個の電荷転送段を有する。１つの電荷転送段は、通常、１つのポテンシャルバリア部と、１つのポテンシャルウェル部とを有し、前記の「Ｎ」は２である。１電荷転送段が均一なポテンシャルを有する場合、前記の「Ｎ」は３以上である。
【００１５】
出力転送路は、受け取った信号電荷を前記光電変換素子行の長手方向（以下、この方向を単に「行方向」という。）に順次転送して、出力部に送る。垂直転送ＣＣＤと同様に、出力転送路も前記の半導体基板上に形成される。
【００１６】
垂直転送ＣＣＤや水平転送ＣＣＤは、フォトダイオードと同様に光電変換能を有している。このため、当該垂直転送ＣＣＤや水平転送ＣＣＤによって無用の光電変換が行われないように、光遮蔽膜が形成される。光遮蔽膜は、光電変換素子（フォトダイオード）それぞれの上に所定形状の開口部を有する。１個の光電変換素子に対して１個の開口部が形成される。この開口部は、通常、光電変換素子の信号電荷蓄積領域を平面視したときの縁より内側において開口する。
【００１７】
１つの光電変換素子と、当該光電変換素子に隣接して形成された１つの読み出しゲート領域と、当該読み出しゲート領域を平面視上覆う読み出しゲート電極部と、前記１つの光電変換素子に対応する２〜４つの電荷転送段（垂直転送ＣＣＤにおける２〜４つの電荷転送段）とによって、１つの画素が構成される。そして、個々の光電変換素子の表面のうちで上記の開口部から平面視上露出している部分が、１つの画素における受光部として機能する。
【００１８】
したがって、ＩＴ−ＣＣＤにおいては、光遮蔽膜に形成されている開口部それぞれの平面視上の形状および当該開口部の平面視上の面積によって、個々の画素における受光部の形状および面積が実質的に決まる。
【００１９】
ところで、ＩＴ−ＣＣＤの普及の拡大に伴い、その性能、例えば解像度や感度の更なる向上が求められている。
【００２０】
ＩＴ−ＣＣＤの解像度は、当該ＩＴ−ＣＣＤにおける画素密度（集積度）に大きく依存する。画素密度（集積度）が高いほど、解像度を高めやすい。一方、ＩＴ−ＣＣＤの感度は、個々の画素における受光部の面積に大きく依存する。個々の画素における受光部の面積が広いほど、感度を高めやすい。
【００２１】
特許第２８２５７０２号公報に記載されているＩＴ−ＣＣＤ（同公報では「固体撮像素子」と称されているが、本明細書では「ＩＴ−ＣＣＤ」と表記する。）は、個々の画素における受光部の面積の低下を抑制しつつ画素密度を向上させることを可能にしたＩＴ−ＣＣＤとして知られている。
【００２２】
このＩＴ−ＣＣＤでは、多数個の光電変換素子が一定のピッチで複数列、複数行に亘って配列されており、１つの光電変換素子列および１つの光電変換素子行は、それぞれ複数個の光電変換素子を含んでいる。偶数列を構成している前記複数個の光電変換素子の各々は、奇数列を構成している前記複数個の光電変換素子に対し、各光電変換素子列内での光電変換素子同士のピッチの約１／２、列方向にずれている。同様に、偶数行を構成する前記複数個の光電変換素子の各々は、奇数行を構成する前記複数個の光電変換素子に対し、各光電変換素子行内での光電変換素子同士のピッチの約１／２、行方向にずれている。光電変換素子列の各々は、奇数行または偶数行の光電変換素子のみを含んでいる。
【００２３】
各光電変換素子に蓄積された信号電荷を転送するために、複数本の垂直転送ＣＣＤが形成されており、各垂直転送ＣＣＤは、蛇行しつつ、所定方向に信号電荷を転送する。
【００２４】
各垂直転送ＣＣＤは複数本の転送電極を含んで構成され、これら複数本の転送電極はハニカム状に配設されている。そして、複数本の転送電極をハニカム状に配設することによって生じる六角形の隙間それぞれに、上記の光電変換素子の各々が平面視上位置している。
【００２５】
奇数列の光電変換素子それぞれに蓄積された信号電荷は、平面視上、上記六角形の領域における左下斜辺の内側に隣接して形成された読み出しゲート領域を介して垂直転送ＣＣＤに読み出される。一方、偶数列の光電変換素子それぞれに蓄積された信号電荷は、平面視上、上記六角形の領域における左上斜辺の内側に隣接して形成された読み出しゲート領域を介して垂直転送ＣＣＤに読み出される。
【００２６】
上記公報に記載されているＩＴ−ＣＣＤでは、多数個の光電変換素子および複数本の転送電極（垂直転送ＣＣＤ用の複数本の転送電極）をこのように配設することにより、個々の画素における受光部の面積低下を抑制しつつ画素密度を向上させることを可能にしている。
【００２７】
なお、本明細書においては、上述した多数個の光電変換素子の配置を、以下、「画素ずらし配置」と称する。
【００２８】
【発明が解決しようとする課題】
ＩＴ−ＣＣＤにおいては、一般に個々の光電変換素子毎に、当該光電変換素子の上方に１個のマイクロレンズが形成されている。物体からの光は撮像レンズ光学系によって集光された後にマイクロレンズによってさらに集光されて、光電変換素子上に結像する。
【００２９】
このとき、光電変換素子列の列方向上部においてマイクロレンズに入射する光束の入射角と、列方向下部においてマイクロレンズに入射する光束の入射角とは、上記撮像レンズの光軸を挟んで上下逆になる。そのため、マイクロレンズによって光電変換素子上に形成される像点の位置も、マイクロレンズの光軸を基準にして見ると、光電変換素子列の列方向上部と列方向下部とで上下逆になる。
【００３０】
図２０は、マイクロレンズによって光電変換素子上に形成される像点の位置を説明するための断面図である。同図に示した光電変換素子２０１は、半導体基板２０２上に形成されており、マイクロレンズ２０３は焦点調節層２０４を介して光電変換素子２０１上に形成されている。この図２０においては、図中の左右方向が光電変換素子列の上下方向に相当する。
【００３１】
光電変換素子２０１が光電変換素子列の列方向上部にあった場合、マイクロレンズ２０３の光軸２０３ａを光電変換素子列の列中央部側から列方向上部へ向かって斜めに横切る光束２０５が当該マイクロレンズ２０３に入射する。この光束２０５は、マイクロレンズ２０３の光軸２０３ａよりも上（光電変換素子列の列方向上部側）にずれた点２０５ａにおいて結像する。
【００３２】
一方、光電変換素子２０１が光電変換素子列の列方向下部にあった場合、マイクロレンズ２０３の光軸２０３ａを光電変換素子列の列中央部側から列方向下部へ向かって斜めに横切る光束２０６が当該マイクロレンズ２０３に入射する。この光束２０６は、マイクロレンズ２０３の光軸２０３ａよりも下（光電変換素子列の列方向下部側）にずれた点２０６ｂにおいて結像する。
【００３３】
点２０５ａのマイクロレンズ２０３の光軸２０３ａからの変位量は、マイクロレンズ２０３の位置が光電変換素子列の列方向中央から離れるに従って大きくなる。点２０６ｂのマイクロレンズ２０３の光軸２０３ａからの変位量についても同様である。
【００３４】
このため、画素が正方格子状に配置されているＩＴ−ＣＣＤおよび画素ずらし配置が行われているＩＴ−ＣＣＤのいずれにおいても、下記(A) 〜(C) の場合には、相隣る２つの画素行同士の間で、画素の集光効率や感度に差が生じることがある。
【００３５】
(A) 個々の画素における受光部の形状が異なる場合。
(B) 個々の画素における受光部の形状は同じであるものの、その大きさが異なる場合。
(C) 個々の画素における受光部の形状および大きさは同じであるものの、その向きが異なる場合。
【００３６】
相隣る２つの画素行同士の間で、画素の集光効率や感度に差が生じると、例えばカラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤにおいては、当該ＩＴ−ＣＣＤからの出力信号の色バランスが崩れて再生画像に色シェーディングが生じる。また、白黒撮像用のＩＴ−ＣＣＤにおいては、素地むらが生じて再生画像の画質が低下する。
【００３７】
例えば前述した特許第２８２５７０２号公報に記載されているＩＴ−ＣＣＤでは、複数本の転送電極をハニカム状に配設することによって生じた六角形の隙間の平面視上の向きが、奇数行の隙間と偶数行の隙間とで互いに１８０°ずれている。このため、当該ＩＴ−ＣＣＤにおいては、個々の画素における受光部の形状および大きさを上記六角形の隙間をそのまま縮小した相似形にすると、相隣る２つの画素行同士の間で、画素の集光効率や感度に差が生じやすくなる。その結果として、当該ＩＴ−ＣＣＤでは、色シェーディングあるいは素地むらが生じやすくなる。
【００３８】
なお、上記の「奇数行の隙間」および「偶数行の隙間」とは、光電変換素子列の長手方向を列方向とし、光電変換素子行の長手方向を行方向として前記の隙間の配置を行列に見なしたときの「奇数行の隙間」および「偶数行の隙間」を意味する。
【００３９】
また、上記のＩＴ−ＣＣＤでは、相隣る２つの画素行同士の間で個々の画素における受光部の形状、大きさおよび向きを同じにしようとすると、当該受光部の面積が上記六角形の隙間より更に狭くなる。すなわち、受光部として使用できない領域が増加する。その結果として、個々の画素における受光部の面積の低下を抑制しつつ画素密度を向上させることが困難になる。
【００４０】
勿論、個々の画素における受光部の形状は、前述したように、光遮蔽膜に形成される開口部の平面視上の形状によって決まる。しかしながら、前記の開口部は、通常、光電変換素子を平面視したときの縁より内側に形成される。このため画素における受光部の面積を、当該画素を構成している光電変換素子の面積より広くすることはできない。
【００４１】
したがって、光電変換素子の面積が低下すれば、これに伴って画素の受光部の面積も通常は低下する。
【００４２】
本発明の目的は、画素ずらし配置が行われているにも拘わらず相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じることを容易に防止することができ、かつ、個々の画素における受光部の面積の低下を抑制しつつ画素密度を向上させやすいＩＴ−ＣＣＤおよびその駆動方法を提供することにある。
【００４３】
本発明の一観点によれば、半導体基板の表面に一定のピッチで複数列、複数行に亘って配列された、それぞれの平面視上の形状、大きさおよび向きが同じである多数個の光電変換素子であって、１つの光電変換素子列および１つの光電変換素子行がそれぞれ複数個の光電変換素子によって構成され、奇数列を構成する前記複数個の光電変換素子に対し、偶数列を構成する前記複数個の光電変換素子の各々は各光電変換素子列内での光電変換素子同士のピッチの約１／２、列方向にずれており、奇数行を構成する前記複数個の光電変換素子に対し、偶数行を構成する前記複数個の光電変換素子の各々は各光電変換素子行内での光電変換素子同士のピッチの約１／２、行方向にずれており、前記光電変換素子列の各々が奇数行または偶数行の光電変換素子のみを含む多数個の光電変換素子と、前記複数の光電変換素子列の１列毎に該光電変換素子列に近接して前記半導体基板表面に形成され、全体として前記光電変換素子列の長手方向に連なった蛇行形状を呈する複数本の電荷転送チャネルであって、各々の電荷転送チャネルには、前記光電変換素子行の長手方向の一方側に傾き、チャネル幅の狭い部分を備える第１の区間と、他方側に傾いた第２の区間とが繰り返し交互に形成され、相隣る２つの電荷転送チャネルを、前記光電変換素子行の長手方向に沿って見たとき、一方が前記第１の区間で他方が前記第２の区間であるように形成された電荷転送チャネルと、前記複数本の電荷転送チャネルそれぞれを平面視上横断するようにして前記半導体基板表面上に交互に複数本ずつ形成された第１および第２の転送電極であって、各々が前記複数本の電荷転送チャネルの数と同じ数の複数個の転送路形成部を有し、該複数個の転送路形成部それぞれは前記複数本の電荷転送チャネルそれぞれの上において前記第１または第２の区間の１つを平面視上覆うように形成され、該転送路形成部とそれに覆われた該第１または第２の区間とが１つの電荷転送段を構成し、しかも、相隣る第１および第２の転送電極が平面視上離合を繰り返しながら、かつ、前記複数の光電変換素子列の１列おきに該光電変換素子列を構成している前記奇数行または偶数行の光電変換素子の１つを平面視上取り囲んで１つの光電変換素子領域を画定しながら、全体として前記光電変換素子行の長手方向に延びている複数本の第１および第２の転送電極と、前記多数個の光電変換素子の１個毎に該光電変換素子に隣接して、かつ、前記複数本の電荷転送チャネルそれぞれが有している複数の前記第１の区間のチャネル幅の狭い部分に隣接して、前記半導体基板表面に形成された複数個の読み出しゲート領域であって、前記複数本の電荷転送チャネルのうちの奇数番目の電荷転送チャネルに隣接する前記読み出しゲート領域の各々が、前記第１および第２の転送電極のうちの一方の転送電極の前記転送路形成部によって平面視上覆われる前記第１の区間のチャネル幅の狭い部分に隣接して形成され、偶数番目の電荷転送チャネルに隣接する前記読み出しゲート領域の各々が、前記第１および第２の転送電極のうちの他方の転送電極の前記転送路形成部によって平面視上覆われる前記第１の区間のチャネル幅の狭い部分に隣接して形成された複数の読み出しゲート領域とを具備した固体撮像装置が提供される。
【００４４】
また、本発明の他の観点によれば、上記の固体撮像装置の駆動方法であって、１つの垂直ブランキング期間において、所定の光電変換素子行を構成する光電変換素子の各々に蓄積された信号電荷を該光電変換素子に隣接する前記読み出しゲート領域を介して該読み出しゲート領域に隣接する前記電荷転送チャネルに読み出す信号電荷読み出し工程と、前記１つの垂直ブランキング期間から次の垂直ブランキング期間までの間に、前記電荷転送チャネルに読み出された前記信号電荷の各々を画像信号に変換して出力する画像信号出力工程とを含む固体撮像装置の駆動方法が提供される。
【００４５】
上記の固体撮像装置では、読み出しゲート領域の各々を上述のように形成しているので、画素ずらし配置が行われているものの、光電変換素子と当該光電変換素子に隣接する読み出しゲート領域との相対的な位置関係を、全ての画素において一定にすることが容易である。光電変換素子と当該光電変換素子に隣接する読み出しゲート領域との相対的な位置関係が全ての画素において同じであれば、個々の画素における受光部の形状、大きさおよび向きを、容易に同じにすることができる。
【００４６】
ただし、奇数行の光電変換素子と偶数行の光電変換素子とに対する信号電荷の読み出しは、第１および第２の転送電極の両方を用いて行われる。
【００４７】
例えば、平面視上の形状が六角形である光電変換素子の左下斜辺に読み出しゲート領域が隣接するようにして、所定個の光電変換素子と所定個の読み出しゲート領域を形成する。このとき、個々の光電変換素子の平面視上の形状、大きさおよび向きは、揃えておく。このようにして光電変換素子および読み出しゲート領域を形成することにより、個々の画素における受光部の平面視上の形状を同じ大きさの六角形とし、かつ、これらの受光部の向きを容易に揃えることができる。
【００４８】
その結果として、個々の画素における受光部の面積の低下を抑制しつつ、相隣る２つの画素行同士の間で画素の受光部の形状、大きさおよび向きを容易に同じにすることができる。
【００４９】
したがって、上記の固体撮像装置は、画素ずらし配置が行われているにも拘わらず相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じることを容易に防止することができ、かつ、個々の画素における受光部の面積の低下を抑制しつつ画素密度を向上させやすい固体撮像装置である。
【００５０】
【発明の実施の形態】
以下、図面に示した実施例に基づいて本発明を詳細に説明する。図１は、第１の実施例のＩＴ−ＣＣＤを概略的に示す平面図である。ただし、同図は、多数個の画素が画素ずらし配置されているインターレース駆動型のＩＴ−ＣＣＤの略図である。
【００５１】
図示の構成においては、簡略化された計３２個の光電変換素子２２が８行×８列に亘って画素ずらし配置されている。奇数番目の光電変換素子列２０は奇数行の光電変換素子２２のみを含み、偶数番目の光電変換素子列２０は偶数行の光電変換素子２２のみを含む。
【００５２】
実際のＩＴ−ＣＣＤでは、画素数が数１０万〜数１００万に達する。このような構成においても、奇数番目の光電変換素子列２０が奇数行の光電変換素子２２のみを含み、偶数番目の光電変換素子列２０が偶数行の光電変換素子２２のみを含むようにして画素ずらし配置される。また、図中の左端から数えて第１番目の光電変換素子列２０を省略すると、奇数番目の光電変換素子列２０が偶数行の光電変換素子２２のみを含み、偶数番目の光電変換素子列２０が奇数行の光電変換素子２２のみを含むようになる。
【００５３】
図示のＩＴ−ＣＣＤ１００は、半導体基板１の表面に設定された感光部１０と、当該感光部１０の外側に形成された調整部６０と、当該調整部６０の外側に形成された出力転送路７０と、当該出力転送路７０の一端に連接された出力部８０とを具備している。
【００５４】
８つの光電変換素子列２０と、８つの光電変換素子行２１と、８本の垂直転送ＣＣＤ３０と、３２個の読み出しゲート領域４０とが、感光部１０における半導体基板１の表面に形成されている。
【００５５】
個々の光電変換素子列２０は、ｐ型ウェル内のｎ型領域で構成された４つの光電変換素子２２によって構成され、個々の光電変換素子行２１も、４つの光電変換素子２２によって構成されている。
【００５６】
個々の垂直転送ＣＣＤ３０は、半導体基板１の表面に形成されたｐ型ウェル内のｎ型領域で構成された１本の電荷転送チャネル（図１においては図示せず。）と、当該電荷転送チャネルを平面視上横断するようにして半導体基板１上に電気絶縁膜（図１においては図示せず。）を介して形成された５本の転送電極３２と、前記の電荷転送チャネルを平面視上横断するようにして半導体基板１上に電気絶縁膜（図１においては図示せず。）を介して形成された４本の転送電極３３とを含んで構成されている。転送電極３２は、例えば第１ポリシリコン層によって構成される。転送電極３３は、例えば第２ポリシリコン層によって構成される。これらの転送電極３２、３３は、交互に形成されている。
【００５７】
読み出しゲート領域４０のそれぞれは、所定の光電変換素子２２と、対応する垂直転送ＣＣＤ３０を構成している上記の電荷転送チャネルにおける所定の区間との両方に隣接している。
【００５８】
調整部６０は、各垂直転送ＣＣＤ３０を構成している上記の電荷転送チャネルそれぞれの一端に接続して形成された計２４個の電荷転送段からなる。個々の電荷転送段は、前記の電荷転送チャネルに続く調整部用電荷転送チャネル（図示せず。）と、当該調整部用電荷転送チャネルを平面視上横断するようにして半導体基板１上に形成された３本の転送電極６１、６２、６３のいずれかとを含んで構成されている。各調整部用電荷転送チャネルと転送電極６１、６２、６３との平面視上の交差部それぞれに、１つの電荷転送段が形成される。
【００５９】
転送電極６１は、調整部用電荷転送チャネルの各々と平面視上交差する箇所それぞれに転送路形成部６１Ｔを有しており、これらの転送路形成部６１Ｔは接続部６１Ｃを介して互いに繋がっている。転送電極６２は、調整部用電荷転送チャネルの各々と平面視上交差する箇所それぞれに転送路形成部６２Ｔを有しており、これらの転送路形成部６２Ｔは接続部６２Ｃを介して互いに繋がっている。転送電極６３は、調整部用電荷転送チャネルの各々と平面視上交差する箇所それぞれに転送路形成部６３Ｔを有しており、これらの転送路形成部６３Ｔは接続部６３Ｃを介して互いに繋がっている。後述するように、感光部１０に形成されている転送電極３２、３３も同様である。
【００６０】
調整部用電荷転送チャネルの各々は、当該調整部用電荷転送チャネルと平面視上交差している転送路形成部６１Ｔ、６２Ｔ、６３Ｔそれぞれを平面視上縦断する方向に延びている。
【００６１】
なお、図１においては、調整部６０に最も近い転送電極３２、転送電極６１、転送電極６２および転送電極６３を区別しやすくするために、これらを離隔して描いてある。しかしながら、実際には、調整部６０に最も近い転送電極３２と転送電極６１とは、少なくとも転送路形成部３２Ｔにおける下流側（出力転送路７０側）の縁部と転送路形成部６２Ｔにおける上流側（感光部１０側）の縁部とが平面視上互いに重なる。転送電極６１と転送電極６２、および、転送電極６２と転送電極６３においても同様である。これらの転送電極は、電気絶縁膜によって互いに絶縁されている。
【００６２】
調整部６０は、各垂直転送ＣＣＤ３０によって転送されてきた信号電荷の転送方向を変化させると共に、電荷転送路の横方向（行方向）ピッチを一定値に調整する。
【００６３】
出力転送路７０は、垂直転送ＣＣＤ３０の各々から調整部６０を介して送られてきた信号電荷を受け取り、当該信号電荷を行方向に順次転送して、出力部８０に送る。
【００６４】
出力部８０は、出力転送路７０から送られてきた信号電荷をフローティング容量（図示せず。）によって信号電圧に変換し、当該信号電圧をソースホロワ回路（図示せず。）等を利用して増幅する。検出（変換）された後の電荷は、図示を省略したリセットトランジスタを介して電源（図示せず。）に吸収される。
【００６５】
各転送電極３２、各転送電極３３および転送電極６１、６２、６３に所定の駆動パルスを供給するために、４つのパルス供給用端子８５ａ、８５ｂ、８５ｃ、８５ｄが感光部１０の外側に配設されている。
【００６６】
個々のパルス供給用端子８５ａ、８５ｂ、８５ｃ、８５ｄは、感光部１０の上端側（出力転送路７０から最も遠い側を意味する。以下同じ。）から調整部６０の下端側（出力転送路７０側）にかけて形成されている転送電極３２、３３、６１、６２、６３に４つ毎に電気的に接続され、４相駆動パルスを供給する。
【００６７】
また、出力転送路７０に所定の駆動パルスを供給するための２つのパルス供給用端子８８ａ、８８ｂが、感光部１０の外側に配設されている。
【００６８】
なお、図１中の符号５１は、後述する光遮蔽膜５０に形成される開口部を示している。
【００６９】
以下、ｐ型ウェルを備えたｎ型シリコン基板からなる半導体基板１を用いた場合を例にとり、図２、図３（ａ）、図３（ｂ）、図４、図５、図６（ａ）および図６（ｂ）を用いて感光部１０の構造について説明するが、本発明は下記の例に限定されるものではない。
【００７０】
図２は、図１に示した感光部１０の一部を拡大して示す平面図である。また、図３（ａ）は、図２に示した電荷転送チャネル３１ａを概略的に示す平面図であり、図３（ｂ）は、図２に示した電荷転送チャネル３１ｂを概略的に示す平面図である。図４は転送電極３２の１本を概略的に示す平面図であり、図５は転送電極３３の１本を概略的に示す平面図である。そして、図６（ａ）は図２に示したＡ−Ａ線断面の概略図であり、図６（ｂ）は図２に示したＢ−Ｂ線断面の概略図である。
【００７１】
図２に示したように、感光部１０に形成されている光電変換素子列２０の各々においては、所定個の光電変換素子２２（信号電荷蓄積領域）が所定方向ＤV （図２中に矢印で示す。）に一定のピッチＰ1 で形成されている。また、光電変換素子行２１の各々においては、所定個の光電変換素子２２（信号電荷蓄積領域）が所定方向ＤH （図２中に矢印で示す。）に一定のピッチＰ2 で形成されている。
【００７２】
偶数番目の光電変換素子列２０を構成する光電変換素子２２（信号電荷蓄積領域）の各々は、奇数番目の光電変換素子列２０を構成する所定個の光電変換素子２２（信号電荷蓄積領域）に対し、前記ピッチＰ1 の約１／２、列方向（方向ＤV ）にずれている（図２参照）。同様に、偶数番目の光電変換素子行２１を構成する光電変換素子２２（信号電荷蓄積領域）の各々は、奇数番目の光電変換素子行２１を構成する所定個の光電変換素子２２（信号電荷蓄積領域）に対し、前記ピッチＰ2 の約１／２、行方向（方向ＤH ）にずれている（図２参照）。
【００７３】
ここで、本明細書でいう「ピッチＰ1 の約１／２」とは、Ｐ1／２を含む他に、製造誤差、設計上もしくはマスク製作上起こる画素位置の丸め誤差等の要因によってＰ1 ／２からはずれてはいるものの、得られるＩＴ−ＣＣＤの性能およびその画像の画質からみて実質的にＰ1／２と同等とみなすことができる値をも含むものとする。本明細書でいう「ピッチＰ2 の約１／２」についても同様である。
【００７４】
光電変換素子２２それぞれの平面視上の形状は実質的に六角形であり、個々の光電変換素子２２の平面視上の大きさおよび向きは、実質的に同一である。
【００７５】
２種類の電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂが、方向ＤH に交互に４本ずつ形成されている（図２参照）。２種類の電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂは、平面視上の形状が互いにほぼ線対称になっている。右端（図１中での右端）の光電変換素子列２０を除き、１つの光電変換素子列２０が、相隣る２本の電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂの間に形成されている。
【００７６】
図２、図３（ａ）および図３（ｂ）に示したように、電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂの各々は、複数の区間が区間同士の境界部で向きを変えながら全体として方向ＤV に連なった蛇行形状を呈する。図３（ａ）、図３（ｂ）中の符号Ｒ1 、Ｒ2 、Ｒ3 、……Ｒ6 は、それぞれ、電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂにおける１つの区間を指している。
【００７７】
電荷転送チャネル３１ａの各々においては、感光部１０の上端側から数えて偶数番目の区間それぞれの右隣に、読み出しゲート領域４０が隣接配置されている。一方、電荷転送チャネル３１ｂの各々においては、感光部１０の上端側から数えて奇数番目の区間（ただし、１番目の区間を除く。）それぞれの右隣に、読み出しゲート領域４０が隣接配置されている。読み出しゲート領域４０の各々は、所定の光電変換素子２２とも隣接している。
【００７８】
２種類の転送電極３２、３３が、それぞれ、各電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂを平面視上横断するようにして、形成されている（図２参照）。
【００７９】
図４に示したように、転送電極３２の各々は、所定個の転送路形成部３２Ｔ1 、３２Ｔ2 を有している。また、転送電極３２の各々は、前記の方向ＤH に延びる２種類の接続部３２Ｃ1 、３２Ｃ2 をそれぞれ所定個ずつ有している。
【００８０】
接続部３２Ｃ1 の左端（図２および図４中での左端）には転送路形成部３２Ｔ1 が続いており、接続部３２Ｃ1 の右端（図２および図４中での右端）には転送路形成部３２Ｔ2 が続いている。したがって、接続部３２Ｃ2 の左端（図２および図４中での左端）には転送路形成部３２Ｔ2 が続いており、接続部３２Ｃ2 の右端（図２および図４中での右端）には転送路形成部３２Ｔ1 が続いている。
【００８１】
感光部１０の最も上端に形成されている転送電極３２を除き、転送電極３２の各々における接続部３２Ｃ1 は接続部３２Ｃ2 よりわずかに長い。感光部１０の最も上端に形成されている転送電極３２では、接続部３２Ｃ1 の長さと接続部３２Ｃ2 の長さとが実質的に等しくなっている。各転送電極３２においては、接続部３２Ｃ1 、３２Ｃ2 のみに着目したときに、接続部３２Ｃ1 と３２Ｃ2 とが交互に形成されている。
【００８２】
１本の転送電極３２における転送路形成部３２Ｔ1 、３２Ｔ2 の総数は、感光部１０に形成されている電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂの総数と同じである。個々の転送路形成部３２Ｔ1 、３２Ｔ2 は、図２に示したように、電荷転送チャネル３１ａまたは３１ｂにおける１つの区間を平面視上覆って、当該区間とともに１つの電荷転送段を構成する。また、転送路形成部３２Ｔ2 の各々は、感光部１０の最も上端に形成されている転送電極３２における各転送路形成部３２Ｔ2 を除いて、それぞれ別個に、１つの読み出しゲート領域４０をも平面視上覆う。このため、当該転送路形成部３２Ｔ2 の幅は転送路形成部３２Ｔ1 の幅より広い。個々の転送路形成部３２Ｔ2 において読み出しゲート領域４０を平面視上覆う部分は、光電変換素子２２から信号電荷を読み出すための読み出しゲート電極部３２Ｇ（図４参照）として機能する。
【００８３】
図５に示したように、転送電極３３の各々は、所定個の転送路形成部３３Ｔ1 、３３Ｔ2 を有している。また、転送電極３３の各々は、前記の方向ＤH に延びる２種類の接続部３３Ｃ1 、３３Ｃ2 をそれぞれ所定個ずつ有している。
【００８４】
接続部３３Ｃ1 の左端（図２および図５中での左端）には転送路形成部３３Ｔ1 が続いており、接続部３３Ｃ1 の右端（図２および図５中での右端）には転送路形成部３３Ｔ2 が続いている。したがって、接続部３３Ｃ2 の左端（図２および図５中での左端）には転送路形成部３３Ｔ2 が続いており、接続部３３Ｃ2 の右端（図２および図５中での右端）には転送路形成部３３Ｔ1 が続いている。接続部３３Ｃ2 は接続部３３Ｃ1 よりわずかに長い。接続部３３Ｃ1 と接続部３３Ｃ2 とは、当該接続部３３Ｃ1 、３３Ｃ2 のみに着目したときに、交互に形成されている。
【００８５】
１本の転送電極３３における転送路形成部３３Ｔ1 、３３Ｔ2 の総数は、感光部１０に形成されている電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂの総数と同じである。個々の転送路形成部３３Ｔ1 、３３Ｔ2 は、図２に示したように、電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂにおける１つの区間を平面視上覆って、当該区間とともに１つの電荷転送段を構成する。また、転送路形成部３３Ｔ1 の各々は、それぞれ別個に、１つの読み出しゲート領域４０をも平面視上覆う。このため、当該転送路形成部３３Ｔ1 の幅は転送路形成部３３Ｔ2 の幅より広い。個々の転送路形成部３３Ｔ1 において読み出しゲート領域４０を平面視上覆う部分は、光電変換素子２２から信号電荷を読み出すための読み出しゲート電極部３３Ｇ（図２および図５参照）として機能する。
【００８６】
転送路形成部３２Ｔ1 を含んで構成される電荷転送段と転送路形成部３３Ｔ1 を含んで構成される電荷転送段とは交互に連なって、１本の垂直転送ＣＣＤ３０を形成する（図２参照）。この垂直転送ＣＣＤ３０における電荷転送段の各々は、電荷転送段同士の境界部で向きを変えつつ連なって、全体としては前記の方向ＤV に延びている（図２参照）。当該垂直転送ＣＣＤ３０は、その右（図１または図２での右）に近接して形成されている光電変換素子列２０（奇数列の光電変換素子列２０）を構成している光電変換素子２２の各々に蓄積された信号電荷を前記の方向ＤV に転送する。
【００８７】
また、転送路形成部３２Ｔ2 を含んで構成される電荷転送段と転送路形成部３３Ｔ2 を含んで構成される電荷転送段も交互に連なって、１本の垂直転送ＣＣＤ３０を形成する（図２参照）。この垂直転送ＣＣＤ３０における電荷転送段の各々も、電荷転送段同士の境界部で向きを変えつつ連なって、全体としては前記の方向ＤV に延びている（図２参照）。当該垂直転送ＣＣＤ３０は、その右（図１または図２での右）に近接して形成されている光電変換素子列２０（偶数列の光電変換素子列２０）を構成している光電変換素子２２の各々に蓄積された信号電荷を前記の方向ＤV に転送する。
【００８８】
相隣る２本の転送電極３２、３３は、ある１つの光電変換素子列２０を横切るときには、接続部３２Ｃ1 、３３Ｃ1 または接続部３２Ｃ2 、３３Ｃ2 において重なる。また、前記の光電変換素子列２０の隣の光電変換素子列２０を横切るときには互いに離隔して、当該光電変換素子列２０を構成している光電変換素子２２の１つを平面視上取り囲む。相隣る２本の転送電極３２、３３は、上記の離合を繰り返しながら、全体として前記の方向ＤH に延びている（図２参照）。
【００８９】
図１の構成において、相隣る２本の転送電極が、感光部１０の上端側からみて転送電極３２と転送電極３３とであった場合、当該相隣る２本の転送電極３２、３３は、奇数行の光電変換素子２２の各々を平面視上取り囲む。一方、相隣る２本の転送電極が、感光部１０の上端側からみて転送電極３３と転送電極３２とであった場合、当該相隣る２本の転送電極３３、３２は、偶数行の光電変換素子２２の各々を平面視上取り囲む。
【００９０】
これら相隣る２本の転送電極３２、３３は、互いに離隔している箇所それぞれにおいて光電変換素子２２の１つを平面視上取り囲んで、ここに六角形もしくは実質的に六角形の光電変換素子領域を１つ画定している。これらの光電変換素子領域の形状、大きさおよび向きは、実質的に同じである。すなわち、各転送電極３２、３３は、ハニカム状に形成されている（図２参照）。
【００９１】
図１での左端から数えて奇数番目の光電変換素子列２０における光電変換素子領域の各々は、１つの接続部３２Ｃ1 と当該接続部３２Ｃ1 を介して相隣る２つの転送路形成部３２Ｔ1 、３２Ｔ2 、ならびに、１つの接続部３３Ｃ1 と当該接続部３３Ｃ1 を介して相隣る２つの転送路形成部３３Ｔ1 、３３Ｔ2 によって、平面視上、画定される。
【００９２】
一方、図１での左端から数えて偶数番目の光電変換素子列２０における光電変換素子領域の各々は、１つの接続部３２Ｃ2 と当該接続部３２Ｃ2 を介して相隣る２つの転送路形成部３２Ｔ2 、３２Ｔ1 、ならびに、１つの接続部３３Ｃ2 と当該接続部３３Ｃ2 を介して相隣る２つの転送路形成部３３Ｔ2 、３３Ｔ1 によって、平面視上、画定される。
【００９３】
なお、図１においては、転送電極３２と転送電極３３とを区別しやすくするために、当該転送電極３２、３３を互いに離隔して描いている。しかしながら、これらの転送電極３２、３３は、図２に示したように、接続部３２Ｃ1 、３３Ｃ1 、接続部３２Ｃ2 、３３Ｃ2 、転送路形成部３２Ｔ1、３３Ｔ1 転送路形成部３２Ｔ2 、３３Ｔ2 において重なっている。
【００９４】
また、感光部１０における左端（図１中での左端）の光電変換素子列２０の左側に垂直転送ＣＣＤ３０を設けない場合、当該左端の光電変換素子列２０を構成している各光電変換素子２２については、相隣る２本の転送電極３２、３３によって平面視上取り囲まれていなくてもよい。すなわち、左端の光電変換素子列２０を構成している各光電変換素子２２を平面視上取り囲むうえで必要となる左端の転送路形成部３２Ｔ1 および３３Ｔ1 をそれぞれ省略することができる。さらには、左端の接続部３２Ｃ1 および３３Ｃ1 をも省略することができる。感光部１０における右端の光電変換素子列２０の右側に垂直転送ＣＣＤ３０を設けない場合についても、同様である（図１参照）。
【００９５】
図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、上述した光電変換素子２２は、例えば半導体基板１の一表面側に形成されたｐ型ウェル２中の所定領域と、当該所定領域の上に設けられたｎ型領域３と、ｎ型領域３上に設けられた埋込み用ｐ+ 型層４とによって構成された埋込型のフォトダイオードからなる。ｎ型領域３は、信号電荷蓄積領域として機能する。電気絶縁膜（シリコン酸化膜）５が、ｐ+ 型層４上に形成されている。前記の方向ＤV に沿って相隣る２つの光電変換素子２２、２２は、例えばｐ+ 型層からなるチャネルストップ領域２５（図６（ａ）参照）によって分離されている。
【００９６】
電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂは、例えば、半導体基板１の一表面側に形成されたｐ型ウェル２の所定箇所にｎ型領域を形成することによって得られる。電荷転送チャネル３１ａ、３１ｂと光電変換素子２２とは、読み出しゲート領域４０が形成される部分を除いて、例えばｐ+ 型層からなるチャネルストップ領域３５（図６（ｂ）参照）によって分離されている。
【００９７】
転送電極３２は、例えば、電気絶縁膜（シリコン酸化膜）５を介して半導体基板１上に形成されたポリシリコン層からなる。各転送電極３２は、シリコン酸化膜等からなる電気絶縁層によって覆われている。
【００９８】
転送電極３３も、例えばポリシリコン層からなる。各転送電極３３は、後述するように、電気絶縁層によって覆われている。図６（ａ）および図６（ｂ）においては、図面を見やすくするために、転送電極３２、３３を覆っている電気絶縁層を１つの電気絶縁層３４で表している。
【００９９】
個々の読み出しゲート領域４０（図６（ｂ）参照）は、例えば、半導体基板１の一表面側に形成されているｐ型ウェル２の所定箇所からなる。読み出しゲート電極部３２Ｇ、３３Ｇは、電気絶縁膜（シリコン酸化膜）５を介して、読み出しゲート領域４０の上に形成されている（図２参照）。
【０１００】
なお、図６（ａ）および図６（ｂ）中の符号５０は、後述する光遮蔽膜を示している。また、図１、図２、図６（ａ）および図６（ｂ）中の符号５１は、光遮蔽膜５０に形成される開口部を示している。
【０１０１】
上述した感光部１０を有するＩＴ−ＣＣＤ１００においては、(a) １つの光電変換素子２２、(b) この光電変換素子２２に近接して図２中での左側に形成されている垂直転送ＣＣＤ３０における２つの電荷転送段、すなわち、転送路形成部３２Ｔ1 、３３Ｔ1 を含んで構成される２つの電荷転送段または転送路形成部３２Ｔ2 、３３Ｔ2 を含んで構成される２つの電荷転送段、および、(c) 転送路形成部３２Ｔ2 もしくは３３Ｔ1 を含んで構成される前記の電荷転送段と光電変換素子２２との間に形成されている１つの読み出しゲート領域４０、によって、１つの画素が構成される。
【０１０２】
前述したように、ＩＴ−ＣＣＤにおいては、各垂直転送ＣＣＤ３０によって無用の光電変換が行われるのを防止するために、感光部１０から出力転送路７０に亘る領域を平面視上覆う光遮蔽膜が形成される。
【０１０３】
図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、光遮蔽膜５０は、感光部１０上においては、光電変換素子２２それぞれの上に所定形状の開口部５１を有する。１個の光電変換素子２２に対して１個の開口部５１が形成される。各開口部５１は、平面視上、光電変換素子２２における信号電荷蓄積領域（ｎ型領域３）の平面視上の縁より内側において開口している。１つの光電変換素子２２のうちで上記の開口部５１から平面視上露出している部分が、個々の画素における受光部（以下、この受光部を「受光部５１」ということがある。）として機能する。
【０１０４】
上記の光遮蔽膜５０は、例えばアルミニウム、クロム、タングステン、チタンまたはモリブデンからなる金属薄膜や、これらの金属の２種以上からなる合金薄膜、あるいは、前記の金属同士または前記の金属と前記の合金とを組み合わせた多層金属薄膜等によって形成される。
【０１０５】
開口部（受光部）５１のそれぞれは、平面視上、六角形を呈する。これらの開口部（受光部）５１の形状、大きさおよび向きは、実質的に同じである。
【０１０６】
開口部（受光部）５１から光電変換素子２２に入射した光は、当該光電変換素子２２によって光電変換されて信号電荷となる。この信号電荷は、光電変換素子２２の信号電荷蓄積領域であるｎ型領域３から当該光電変換素子２２に隣接する読み出しゲート領域４０を介して垂直転送ＣＣＤ３０に読み出される。このとき、所定のフィールドシフトパルスが転送電極３２（読み出しゲート電極部３２Ｇ）または転送電極３３（読み出しゲート電極部３３Ｇ）に印加される。
【０１０７】
垂直転送ＣＣＤ３０に読み出された信号電荷は、当該垂直転送ＣＣＤ３０内の電荷転送段を順々に転送されて、やがて、調整部６０を介して出力転送路７０に達する（図１参照）。
【０１０８】
図７は、出力転送路７０の一例を概略的に示す断面図である。同図に示した出力転送路７０は、２層ポリシリコン構造の２相駆動型ＣＣＤからなる。図７に示した構成部分のうち、図６に示した構成部分と同じものについては、図６で用いた符号と同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１０９】
図７に示した出力転送路（水平転送ＣＣＤ）７０は、半導体基板１に形成された１本の電荷転送チャネル７１と、電気絶縁膜（シリコン酸化膜）５を介して半導体基板１上に形成された複数本の転送電極７２、７３と、これらの転送電極７２、７３上に形成された電気絶縁膜７４と、この電気絶縁膜７４上に形成された光遮蔽膜５０とを有している。
【０１１０】
電荷転送チャネル７１は、半導体基板１の一表面側に形成されたｐ型ウェル２の所定箇所にｎ型不純物を高濃度に含むｎ+ 型領域７１ａとｎ型不純物を低濃度に含むｎ型領域７１ｂとを交互に所定数形成することによって作製されている。この電荷転送チャネル７１は、前記の方向ＤH に延びている。
【０１１１】
転送電極７２の各々は、ポリシリコン層からなる。これらの転送電極７２の表面には、シリコン酸化膜７５が設けられている。各転送電極７２は、ｎ+ 型領域７１ａそれぞれの上に形成されている。また、転送電極７３の各々も、ポリシリコン層からなる。これらの転送電極７３は、ｎ型領域７１ｂそれぞれの上に形成されている。
【０１１２】
各転送電極７２、７３は、電荷転送チャネル７１を横断するようにして形成されている。転送電極７３それぞれにおける転送電極７２側の縁部は、転送電極７２上に覆い被さっている。すなわち、転送電極７２、７３は、いわゆる重ね合わせ転送電極構造となっている。
【０１１３】
ｎ+ 型領域７１ａの１つと、当該ｎ+ 型領域７１ａ上に電気絶縁膜（シリコン酸化膜）５を介して形成されている１本の転送電極７２とによって、１つのポテンシャルウェル領域が構成される。同様に、ｎ型領域７１ｂの１つと、当該ｎ型領域７１ｂ上に電気絶縁膜（シリコン酸化膜）５を介して形成されている１本の転送電極７３とによって、１つのポテンシャルバリア領域が構成される。
【０１１４】
１つのポテンシャルバリア領域を構成する転送電極７３と、前記のポテンシャルバリアの直ぐ下流側（出力部８０側を意味する。）に形成されている１つのポテンシャルウェル領域を構成する転送電極７２との両方に所定レベルの電圧を同時に印加することによって、１つの電荷転送段が形成される。
【０１１５】
出力転送路７０においては、１本の垂直転送ＣＣＤ３０に対して２つの電荷転送段が備えられている。したがって、出力転送路７０では、当該出力転送路７０における１つの電荷転送段おきに、１本の垂直転送ＣＣＤ３０が調整部６０を介して接続されている。
【０１１６】
垂直転送ＣＣＤ３０から調整部６０を介して転送されてきた信号電荷は、出力転送路７０における上記のウェル領域において、当該出力転送路７０に受け取られる。
【０１１７】
電気絶縁膜７４は、転送電極７２、７３を保護し、光遮蔽膜５０を電気的に絶縁する。当該電気絶縁膜７４は、例えば、シリコン酸化膜、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜との２層膜、シリコン酸化膜とシリコン窒化膜とシリコン酸化膜との３層膜等によって形成される。
【０１１８】
光遮蔽膜５０は、出力転送路７０等において無用の光電変換が行われないよう、当該出力転送路７０等への光の入射を防止する。
【０１１９】
出力転送路７０内を順次転送されてきた信号電荷は、やがて出力部８０（図１参照）に転送され、当該出力部８０において信号電圧に変換されると共に増幅される。増幅された信号電圧は、所定の回路に出力される。
【０１２０】
以上説明したＩＴ−ＣＣＤ１００においては、光電変換素子２２と当該光電変換素子２２に隣接する読み出しゲート領域４０との相対的な位置関係が、全ての画素において一定である。すなわち、全ての画素において、読み出しゲート領域４０が、平面視上、光電変換素子２２の左下斜辺に隣接している。
【０１２１】
このため、個々の画素における受光部５１の大きさを光電変換素子２２の大きさより大幅に小さくしなくても、これらの受光部５１の形状、大きさおよび向きを容易に同じにすることができる。その結果として、個々の画素における受光部５１の面積の低下を抑制しつつ、相隣る２つの画素行同士の間で受光部５１の形状、大きさおよび向きを容易に同じにすることができる。
【０１２２】
したがって、上記のＩＴ−ＣＣＤ１００は、画素ずらし配置が行われているにも拘わらず、相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じることを容易に防止することができる。また、個々の開口部（受光部）５１の面積の低下を抑制しつつ画素密度を容易に向上させることができる。
【０１２３】
このＩＴ−ＣＣＤ１００を駆動させるためには、各転送電極３２、各転送電極３３、および転送電極６１、６２、６３、ならびに出力転送路７０に所定の駆動パルスを供給するための駆動パルス供給手段が用いられる。
【０１２４】
以下、ＩＴ−ＣＣＤ１００をインターレース駆動させる場合を例にとり、その駆動方法の一例を説明する。以下の例は、１フレームを第１フィールドと第２フィールドの計２つのフィールドに分けてインターレース駆動する際の一例である。
【０１２５】
図８に示すように、ＩＴ−ＣＣＤ１００をインターレース駆動させる際の駆動パルス供給手段１０５は、例えば、同期信号発生器１０１、タイミング発生器１０２、垂直駆動回路１０３および水平駆動回路１０４を含んで構成される。
【０１２６】
同期信号発生器１０１は、垂直同期パルス、水平同期パルス等、信号処理に必要な各種のパルスを作る。タイミング発生器１０２は、垂直転送ＣＣＤ３０の駆動に必要な４相の垂直パルス信号、光電変換素子２２からの信号電荷の読み出しに必要なフィールドシフトパルス、出力転送路７０の駆動に必要な２相の水平パルス信号等のためのタイミング信号を作る。
【０１２７】
垂直駆動回路１０３は、上記のタイミング信号に基づいて垂直パルス信号を発生し、パルス供給用端子８５ａ、８５ｂ、８５ｃ、８５ｄを介して、所定の転送電極３２、３３、６１、６２または６３に印加する。水平駆動回路１０４は、上記のタイミング信号に基づいて水平パルス信号を発生し、パルス供給用端子８８ａ、８８ｂを介して出力転送路７０に印加する。
【０１２８】
以下、パルス供給用端子８５ａに印加される垂直パルス信号をＶa 、パルス供給用端子８５ｂに印加される垂直パルス信号をＶb 、パルス供給用端子８５ｃに印加される垂直パルス信号をＶc 、パルス供給用端子８５ｄに印加される垂直パルス信号をＶd と表記する。また、パルス供給用端子８８ａに加えられる水平パルス信号をＨa と表記し、パルス供給用端子８８ｂに加えられる水平パルス信号をＨb と表記する。Ｈa の位相とＨb の位相とは、互いにπずれている。
【０１２９】
ブランキングパルスによって規定される第１の垂直ブランキング期間の適当な時期に、低レベルの垂直パルスＶL がパルス供給用端子８５ａ、８５ｂに印加されると共に、高レベルの垂直パルスＶH がパルス供給用端子８５ｃ、８５ｄに印加される。そして、これらの垂直パルスＶL 、ＶH が印加されているときに、さらに高レベルのフィールドシフトパルスＶR がパルス供給用端子８５ｃ、８５ｄに印加される。フィールドシフトパルスＶR は、パルス供給用端子８５ｃ、８５ｄに同時に印加してもよいし、別々に印加してもよい。
【０１３０】
図９（ａ）は、フィールドシフトパルスＶR をパルス供給用端子８５ｃ、８５ｄに同時に印加する場合の当該フィールドシフトパルスＶR の波形を示している。また、図９（ｂ）は、フィールドシフトパルスＶR をパルス供給用端子８５ｄに印加した後、所定の間隔をあけて、フィールドシフトパルスＶR をパルス供給用端子８５ｃに印加する場合におけるこれらのフィールドシフトパルスＶR の波形を示している。
【０１３１】
フィールドシフトパルスＶR をパルス供給用端子８５ｃ、８５ｄに印加することにより、第１、２、５、６画素行の各光電変換素子２２に蓄積されていた信号電荷がそれぞれ対応する垂直転送ＣＣＤ３０に読み出される（信号電荷読み出し工程）。
【０１３２】
ここで、「画素行」とは、前述した行方向に沿って直列に並んでいる画素群を意味し、出力転送路７０に近い順に、第１画素行、第２画素行、……第ｎ画素行（ｎは正の整数）と呼ぶものとする（他の実施例においても同じ。）。１つの画素行は、１つの光電変換素子行２１（図１参照）を含んでいる。ＩＴ−ＣＣＤ１００には計８つの画素行、第１画素行〜第８画素行がある。
【０１３３】
フィールドシフトパルスＶR が印加された後には、所定波形の垂直パルス信号Ｖa 、Ｖb 、Ｖc 、Ｖd がパルス供給用端子８５ａ、８５ｂ、８５ｃ、８５ｄの各々に加えられる。これにより、垂直転送ＣＣＤ３０に読み出された信号電荷は、出力転送路７０へ向けて順次転送される。
【０１３４】
第１、２画素行の各光電変換素子２２から読み出された信号電荷は、上記の垂直ブランキング期間に続く第１の水平ブランキング期間に、出力転送路７０に転送される。これらの信号電荷は、第１の水平ブランキング期間に続く第１の有効信号期間に、出力部８０から順次出力される。このとき、第２画素行の画像信号出力と第１画素行の画像信号出力とは、画素単位で交互に出力される（画像信号出力工程）。
【０１３５】
第５、６画素行の各光電変換素子２２から読み出された信号電荷は、第１の有効信号期間に続く第２の水平ブランキング期間に、出力転送路７０に転送される。これらの信号電荷は、第２の水平ブランキング期間に続く第２の有効信号期間に、出力部８０から順次出力される。このとき、第６画素行の画像信号出力と第５画素行の画像信号出力とは、画素単位で交互に出力される（画像信号出力工程）。
【０１３６】
第２の有効信号期間が終了した後にブランキングパルスによって規定される第２の垂直ブランキング期間の適当な時期に、高レベルの垂直パルスＶH がパルス供給用端子８５ａ、８５ｂに印加されると共に、低レベルの垂直パルスＶL がパルス供給用端子８５ｃ、８５ｄに印加される。そして、これらの垂直パルスＶH 、ＶL が印加されているときに、フィールドシフトパルスＶR がパルス供給用端子８５ａ、８５ｂに印加される。当該フィールドシフトパルスＶR の印加により、第３、４、７、８画素行の各光電変換素子２２に蓄積されていた信号電荷がそれぞれ対応する垂直転送ＣＣＤ３０に読み出される（信号電荷読み出し工程）。
【０１３７】
第３、４画素行の各光電変換素子２２から読み出された信号電荷は、第２の垂直ブランキング期間に続く第３の水平ブランキング期間に、出力転送路７０に転送される。これらの信号電荷は、第３の水平ブランキング期間に続く第３の有効信号期間に、出力部８０から順次出力される。このとき、第４画素行の画像信号出力と第３画素行の画像信号出力とは、画素単位で交互に出力される（画像信号出力工程）。
【０１３８】
第７、８画素行の各光電変換素子２２から読み出された信号電荷は、第３の有効信号期間に続く第４の水平ブランキング期間に、出力転送路７０に転送される。これらの信号電荷は、第４の水平ブランキング期間に続く第４の有効信号期間に、出力部８０から順次出力される。このとき、第８画素行の画像信号出力と第７画素行の画像信号出力とは、画素単位で交互に出力される（画像信号出力工程）。
【０１３９】
第１の垂直ブランキング期間から第４の有効信号期間までの間に行われる上記の動作を繰り返すことにより、インターレースされた画像出力信号、すなわち、各フィールドの画像出力信号が出力部８０から次々と出力される。
【０１４０】
ＩＴ−ＣＣＤ１００に色フィルタアレイを設けることにより、カラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤを得ることができる。フィールド毎のカラー画像信号を必要とするカメラでは、出力部８０から出力されたフィールド画像出力信号毎に色信号処理を施して、各フィールドのカラー画像信号を得る。
【０１４１】
また、フレームのカラー画像信号を必要とするカメラでは、連続する２つのフィールド画像出力信号をフレームメモリに一旦蓄積した後、１フレーム分の画像出力信号毎に色信号処理を施して、フレームのカラー画像信号を得る。この場合、フィールド毎に感光時刻がずれてしまうのを防止するために、メカニカルシャッタを使用することが好ましい。第１の垂直ブランキング期間が終了した後、第２の垂直ブランキング期間が開始するまでの間、各画素に光学像が入射しないようにメカニカルシャッタを閉じておく。これにより、第１フィールドおよび第２フィールドのそれぞれについて、同一時刻のフィールド画像出力信号が得られる。フレームの白黒画像信号を必要とするカメラにおいても同じである。また、１枚のみのフレーム画像が必要なカメラでは、第１の垂直ブランキング期間が終了した後にメカニカルシャッタを閉じておく。これにより、第２フィールドの画像にスミアが生じることを抑制できる。
【０１４２】
以上説明した第１の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１００は、ＩＴ−ＣＣＤとしては簡単な構造のＩＴ−ＣＣＤである。実際のＩＴ−ＣＣＤでは、通常、光電変換素子２２での光電変換効率を高めるために、マイクロレンズアレイが配設される。また、カラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤでは色フィルタアレイが配設される。
【０１４３】
上記のマイクロレンズを設けるにあたっては、まず、感光部１０上に平坦化膜が形成される。この平坦化膜は焦点調節層としても利用される。そして、白黒撮像用のＩＴ−ＣＣＤにおいては、前記の平坦化膜の表面に所定個のマイクロレンズからなるマイクロレンズアレイが配設される。一方、カラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤにおいては、上記の平坦化膜の上に色フィルタアレイが形成される。このため、マイクロレンズアレイは、前記の色フィルタアレイ上に更に第２の平坦化膜を設けた後、当該第２の平坦化膜の表面に形成される。白黒撮像用およびカラー撮像用のいずれのＩＴ−ＣＣＤにおいても、個々のマイクロレンズは、それぞれ別個に、画素の受光部を平面視上覆うようにして形成される。
【０１４４】
図１０（ａ）および図１０（ｂ）は、第２の実施例によるＩＴ−ＣＣＤ１１０の部分断面図であり、これらの図はＩＴ−ＣＣＤ１１０における感光部の断面の一部を示している。ＩＴ−ＣＣＤ１１０は、第１の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１００に色フィルタアレイとマイクロレンズアレイとを増設したものである。すなわち、ＩＴ−ＣＣＤ１１０は、カラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤである。
【０１４５】
なお、図１０（ａ）または図１０（ｂ）に示した構成部分のうち、図６（ａ）または図６（ｂ）に示した構成部分と共通するものについては、図６（ａ）または図６（ｂ）で用いた符号と同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１４６】
上記のＩＴ−ＣＣＤ１１０においては、感光部上に形成された光遮蔽膜５０および個々の画素の受光部５１をそれぞれ覆うようにして、第１の平坦化膜９０が形成されている。色フィルタアレイ９１が第１の平坦化膜９０の表面に設けられている。また、第２の平坦化膜９２が色フィルタアレイ９１上に形成されている。そして、所定個のマイクロレンズ９３からなるマイクロレンズアレイが第２の平坦化膜９２の表面に形成されている。
【０１４７】
第１の平坦化膜９０は、例えばフォトレジスト等の透明樹脂を例えばスピンコート法によって所望の厚さに塗布することによって形成される。
【０１４８】
色フィルタアレイ９１は、例えば赤色フィルタ９１Ｒ、緑色フィルタ９１Ｇおよび青色フィルタ９１Ｂを所定のパターンで形成したものである。当該色フィルタアレイ９１は、例えば、フォトリソグラフィ法等の方法によって、所望色の顔料もしくは染料を分散させた樹脂（カラーレジン）の層を所定箇所に形成することによって作製することができる。
【０１４９】
第１の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１００についての説明の中で述べたように、各転送電極３２、３３はハニカム状に形成されている。光電変換素子２２のそれぞれは、相隣る２本の転送電極３２、３３によって光電変換素子列の１列おきに画定される光電変換素子領域内に平面視上位置している。このため、色フィルタアレイ９１においては、赤色フィルタ９１Ｒ、緑色フィルタ９１Ｇおよび青色フィルタ９１Ｂが亀甲形に配置されている。
【０１５０】
色フィルタアレイ９１における各色フィルタの配置パターンは、次のようにして選定される。すなわち、当該色フィルタアレイ９１が設けられたＩＴ−ＣＣＤにおける所定の２画素行、例えば相隣る２つの画素行の各光電変換素子に蓄積された信号電荷を用いて、加色法または減色法によりフルカラー情報が得られるように選定される。
【０１５１】
図１１は、上記の色フィルタアレイ９１の一例を部分的に示す平面図である。同図に示した色フィルタアレイ９１では、緑色フィルタ９１Ｇのみからなる色フィルタ列と、青色フィルタ９１Ｂと赤色フィルタ９１Ｒとが交互に配設されている色フィルタ列とが、交互に形成されている。
【０１５２】
各色フィルタ９１Ｒ、９１Ｇ、９１Ｂは、個々の画素の受光部５１を平面視上覆うようにして形成される。なお、図１１に示した各色フィルタ中のアルファベットＲ、Ｇ、Ｂは、それぞれ、その色フィルタの色を表している。
【０１５３】
図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示した第２の平坦化膜９２は、例えばフォトレジスト等の透明樹脂を例えばスピンコート法によって所望の厚さに塗布することによって形成される。
【０１５４】
図１０（ａ）および図１０（ｂ）に示したマイクロレンズ９３の各々は、１つの画素の受光部５１を平面視上覆うようにして形成されている。これらのマイクロレンズ９３は、例えば、屈折率が概ね１．３〜２．０の透明樹脂（フォトレジストを含む。）からなる層をフォトリソグラフィ法等によって亀甲状に区画した後、熱処理によって各区画の透明樹脂層を溶融させ、表面張力によって角部を丸め込ませた後に冷却することによって得られる。
【０１５５】
上述した色フィルタアレイ９１およびマイクロレンズアレイを有するＩＴ−ＣＣＤ１１０は、前述した実施例１のＩＴ−ＣＣＤ１００と同様に、出力転送路を有している。この出力転送路では、通常、図７に示した出力転送路７０における光遮蔽膜５０上に第１の平坦化膜９０が形成され、当該第１の平坦化膜９０上に第２の平坦化膜９２が形成される。
【０１５６】
図１２は、ＩＴ−ＣＣＤ１１０における出力転送路７０ａを概略的に示す部分断面図である。図１２に示した構成部分のうち、図７または図１０に示した構成部分と共通するものについては、図７または図１０で用いた符号と同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１５７】
同図に示した第１の平坦化膜９０は、感光部１０の上方に前述した第１の平坦化膜９０（図１０参照）を形成する際に一緒に形成されたものである。また、同図に示した第２の平坦化膜９２は、前述した色フィルタアレイ９１上に第２の平坦化膜９２（図１０参照）を形成する際に一緒に形成されたものである。
【０１５８】
図１１に示した色フィルタアレイ９１を有するＩＴ−ＣＣＤ１１０では、相隣る２つの画素行のうちの一方の光電変換素子２２それぞれの上方に緑色フィルタ９１Ｇが設けられている。また、他方の画素行では、光電変換素子２２それぞれの上方に青色フィルタ９１Ｂまたは赤色フィルタ９１Ｒが設けられている。当該他の画素行においては、青色フィルタ９１Ｂと赤色フィルタ９１Ｒとがこの順で、または、この順とは逆の順で、交互に設けられている。
【０１５９】
フルカラー情報は、緑色フィルタ９１Ｇのみが設けられている画素行の各光電変換素子２２からの信号電荷と、青色フィルタ９１Ｂと赤色フィルタ９１Ｒとが交互に設けられている画素行の各光電変換素子２２からの信号電荷とに基づいて、生成される。
【０１６０】
相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差があると、緑色フィルタ９１Ｇのみが設けられている画素行と、青色フィルタ９１Ｂと赤色フィルタ９１Ｒとが交互に設けられている画素行との対比においても、これらの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じる。その結果として、これらの画素行の各光電変換素子２２に蓄積された信号電荷を基にして得られる赤信号出力と緑信号出力との比、および、青信号出力と緑信号出力との比に差が生じる。このことは、ＩＴ−ＣＣＤ１１０からの出力信号の色バランスが崩れることを意味する。出力信号の色バランスが崩れると、再生画像に色シェーディングが生じる。
【０１６１】
しかしながら、ＩＴ−ＣＣＤ１１０における感光部は、第１の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１００における感光部１０と同じである。すなわち、全ての画素において、読み出しゲート領域４０が、平面視上、光電変換素子２２の左下斜辺に隣接している。
【０１６２】
このため、個々の画素における受光部５１の大きさを光電変換素子２２の大きさより大幅に小さくしなくても、これらの受光部５１の形状、大きさおよび向きを容易に同じにすることができる。その結果として、個々の画素における受光部５１の面積の低下を抑制しつつ、相隣る２つの画素行同士の間で受光部５１の形状、大きさおよび向きを容易に同じにすることができる。
【０１６３】
したがって、ＩＴ−ＣＣＤ１１０では、画素ずらし配置が行われているにも拘わらず、相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じることを容易に防止することができる。その結果として、色シェーディングも生じにくい。また、個々の開口部（受光部）５１の面積の低下を抑制しつつ画素密度を容易に向上させることができる。
【０１６４】
次に、本発明の第３の実施例によるＩＴ−ＣＣＤについて、図１３を用いて説明する。図１３は、第３の実施例によるＩＴ−ＣＣＤ１２０を概略的に示す平面図である。
【０１６５】
同図に示したＩＴ−ＣＣＤ１２０は、(i) 個々の画素における受光部の形状、(ii)各転送電極３２、各転送電極３３および転送電極６１、６２、６３に所定の駆動パルスを供給するためのパルス供給用端子の数、ならびに、(iii) 前記のパルス供給用端子と転送電極３２、３３、６１、６２または６３との結線の仕様、を除いて、前述したＩＴ−ＣＣＤ１００と同じ構造を有する。なお、図１３に示した構成部分のうち、図１に示した構成部分と共通するものについては、図１で用いた符号と同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１６６】
図１３に示したように、ＩＴ−ＣＣＤ１２０においては、画素の受光部５１ａの形状が、長い方の対角線が前記の方向ＤV と実質的に平行で、短い方の対角線が前記の方向ＤH と実質的に平行な菱形となっている。
【０１６７】
また、各転送電極３２、各転送電極３３および転送電極６１、６２、６３に所定の駆動パルスを供給するために、６つのパルス供給用端子８５ａ、８５ｂ、８５ｃ1 、８５ｃ2 、８５ｄ1 、８５ｄ2 が設けられている。
【０１６８】
パルス供給用端子８５ｃ1 、８５ｃ2 は、図１に示したパルス供給用端子８５ｃを２つに分けたものである。また、パルス供給用端子８５ｄ1 、８５ｄ2 は、図１に示したパルス供給用端子８５ｄを２つに分けたものである。
【０１６９】
これらのパルス供給用端子８５ａ、８５ｂ、８５ｃ1 、８５ｃ2 、８５ｄ1 、８５ｄ2 は、それぞれ所定の転送電極３２、３３、６１、６２または６３に電気的に接続されている。
【０１７０】
ＩＴ−ＣＣＤ１２０においても、読み出しゲート領域４０の各々は、いずれも、六角形を呈する光電変換素子２２の左下斜辺に隣接して形成されている。そして、個々の画素における受光部５１ａの形状、大きさおよび向きは、実質的に同じである。このため、第１の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１００における理由と同じ理由から、当該ＩＴ−ＣＣＤ１２０では、受光部５１ａの大きさを光電変換素子２２の大きさより大幅に小さくしなくても、相隣る２つの画素行同士の間で当該受光部５１の形状、大きさおよび向きを容易に同じにすることができる。
【０１７１】
したがって、ＩＴ−ＣＣＤ１２０では、画素ずらし配置が行われているにも拘わらず、相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じることを容易に防止することができる。また、個々の開口部（受光部）５１ａの面積の低下を抑制しつつ画素密度を容易に向上させることができる。
【０１７２】
ＩＴ−ＣＣＤ１２０に色フィルタアレイを設けることにより、カラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤを得ることができる。色フィルタアレイは、例えば前述した第２の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１１０を得る際の色フィルタアレイの形成手順に準じて形成することができる。
【０１７３】
ＩＴ−ＣＣＤ１２０をカラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤにした場合には、第２の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１１０における理由と同じ理由から、色シェージングが生じにくい。
【０１７４】
当該ＩＴ−ＣＣＤ１２０は、前述したＩＴ−ＣＣＤ１００と同様にして、インターレース駆動させることができる。このとき、垂直パルス信号Ｖa がパルス供給用端子８５ａに印加され、垂直パルス信号Ｖb がパルス供給用端子８５ｂに印加される。また、垂直パルス信号Ｖc がパルス供給用端子８５ｃ1 とパルス供給用端子８５ｃ2 とに印加され、垂直パルス信号Ｖd がパルス供給用端子８５ｄ1 とパルス供給用端子８５ｄ2 とに印加される。そして、水平パルス信号Ｈa がパルス供給用端子８８ａに印加され、水平パルス信号Ｈb がパルス供給用端子８８ｂに印加される。
【０１７５】
これにより、前述した第１の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１００と同様に、１フレームが第１フィールドおよび第２フィールドの計２つのフィールドに分割される。個々のフィールドの画像信号出力は、第１の実施例と同様の動作により、得ることができる。そして、当該動作を第１フィールドから第２フィードまで行うことにより、１フレームの画像出力信号を得ることができる。
【０１７６】
また、ＩＴ−ＣＣＤ１２０は、信号電荷が読み出される画素行の数を全画素行数の１／４に間引きながら駆動させることができる。この間引き駆動の際には、ブランキングパルスによって規定される第１の垂直ブランキング期間の適当な時期に、例えば、低レベルの垂直パルスＶL がパルス供給用端子８５ａ、８５ｂに印加されると共に、高レベルの垂直パルスＶH がパルス供給用端子８５ｃ1 、８５ｃ2 、８５ｄ1 、８５ｄ2 に印加される。そして、これらの垂直パルスＶL 、ＶH が印加されているときに、フィールドシフトパルスＶR がパルス供給用端子８５ｃ2 、８５ｄ2に印加される。当該フィールドシフトパルスＶR の印加により、第１、２画素行の各光電変換素子２２に蓄積されていた信号電荷がそれぞれ対応する垂直転送ＣＣＤ３０に読み出される（信号電荷読み出し工程）。
【０１７７】
以下、上記読み出された信号電荷を通常のインターレース駆動における信号電荷の処理と同様に処理することにより、１／４に間引きされたフィールド画像信号、あるいは、１／４に間引きされたフレーム画像信号を得ることができる。
【０１７８】
勿論、上記の間引き動作に準じて、任意の２画素行を対象にして１／４間引き動作を行うことができる。どの画素行を対象にして１／４間引き動作を行うかは、適宜選択可能である。１／４間引き動作の対象をどの画素行にするかに応じて、パルス供給用端子８５ａ、８５ｂ、８５ｃ1 、８５ｃ2 、８５ｄ1 、８５ｄ2 と各転送電極３２、各転送電極３３および転送電極６１、６２、６３との結線の仕様が選定される。ＩＴ−ＣＣＤ１２０がカラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤである場合には、配設されている色フィルタアレイにおける色フィルタの配列パターンも勘案して、どの画素行を対象にして間引き動作を行うかが選定される。
【０１７９】
上述した間引きは、全画素の信号電荷を読み出すことが目的ではなく、常に１／４の行数（画素行の数）に間引かれた画像信号を得ることを目的とするものである。図示したＩＴ−ＣＣＤ１２０には８つの画素行しかないため、１／４に間引く動作は１回の水平読み出しで終了となる。しかしながら、実際の画素行数は、例えば６００行以上である。
【０１８０】
図１３に示した感光部１０が前記の方向ＤV にｎ段連接された構造のＩＴ−ＣＣＤについて上記の間引き動作を行って、１／４に間引きされたフレーム画像信号を得る場合には、上述した間引き動作を第１段から第ｎ段まで行う。このとき、所望の画素行の各光電変換素子２２から垂直転送ＣＣＤ３０への信号電荷の読み出しは、各段とも同時に行われる。各段から読み出された信号電荷の各々は、垂直転送ＣＣＤ３０の各々によって出力転送路７０へ順次転送され、当該出力転送路７０内を転送されて、出力部８０から順次出力される。
【０１８１】
例えばデジタルスチルカメラにおいて露光条件（シャッタ時間や絞り）の最適設定、焦点調整、モニタ画像の表示等を行うためには、３０フレーム／秒程度の高フレーム周波数で画像出力信号を得ることが必要である。
【０１８２】
その一方で、高解像度のデジタルスチルカメラを得ようとする場合には、当該デジタルスチルカメラ用のＩＴ−ＣＣＤとして画素数が１００万を超えるＩＴ−ＣＣＤを用いることが望まれる。
【０１８３】
しかしながら、ＩＴ−ＣＣＤの画素数が１００万を超えると、１フレームの画像信号出力を得る際に例えば数フレーム／秒という非常に長い時間を要するようになる。その結果として、露光条件の最適設定、焦点調整、モニタ画像の表示等を行うことができなくなる。
【０１８４】
したがって、高解像度のデジタルスチルカメラを得るうえからは、シャッタが押されたときに記録される静止画像の読み出し以外の動作を高フレーム周波数の下に行うことができるＩＴ−ＣＣＤを用いることが望ましい。
【０１８５】
上述したＩＴ−ＣＣＤ１２０は、通常のインターレース駆動と、画素行を１／４に間引きながらの駆動とを行うことができ、間引き駆動の際のフレーム周波数は通常のインターレース駆動の際のフレーム周波数の４倍となる。したがって、当該ＩＴ−ＣＣＤ１２０は、高フレーム周波数の画像信号を得るうえで好適な構造を有するＩＴ−ＣＣＤである。
【０１８６】
次に、本発明の第４の実施例によるＩＴ−ＣＣＤについて、図１４を用いて説明する。図１４は、第４の実施例によるＩＴ−ＣＣＤ１３０を概略的に示す平面図である。
【０１８７】
同図に示したＩＴ−ＣＣＤ１３０は、(i) 各転送電極３２、各転送電極３３および転送電極６１、６２、６３に所定の駆動パルスを供給するためのパルス供給用端子の数、および、(ii)前記のパルス供給用端子と転送電極３２、３３、６１、６２または６３との結線の仕様、を除いて、前述したＩＴ−ＣＣＤ１２０と同じ構造を有する。なお、図１４に示した構成部分のうち、図１３に示した構成部分と共通するものについては、図１３で用いた符号と同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０１８８】
図１４に示したように、ＩＴ−ＣＣＤ１３０は、各転送電極３２、各転送電極３３および転送電極６１、６２、６３に所定の駆動パルスを供給するために、８つのパルス供給用端子８６ａ、８６ｂ、８６ｃ、８６ｄ、８６ｅ、８６ｆ、８６ｇ、８６ｈを有している。
【０１８９】
これらのパルス供給用端子８６ａ、８６ｂ、８６ｃ、８６ｄ、８６ｅ、８６ｆ、８６ｇ、８６ｈは、それぞれ所定の転送電極３２、３３、６１、６２または６３に電気的に接続されている。
【０１９０】
図１４に示したＩＴ−ＣＣＤ１３０では、第３の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１２０における理由と同じ理由から、受光部５１ａの大きさを光電変換素子２２の大きさより大幅に小さくしなくても、相隣る２つの画素行同士の間で受光部５１の形状、大きさおよび向きを容易に同じにすることができる。
【０１９１】
したがって、ＩＴ−ＣＣＤ１３０では、画素ずらし配置が行われているにも拘わらず、相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じることを容易に防止することができる。また、個々の開口部（受光部）５１ａの面積の低下を抑制しつつ画素密度を容易に向上させることができる。
【０１９２】
さらに、ＩＴ−ＣＣＤ１３０をカラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤにした場合には、第３の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１２０における理由と同じ理由から、色シェージングが生じにくい。
【０１９３】
ＩＴ−ＣＣＤ１３０をインターレース駆動させる場合には、パルス供給用端子８６ａ、８６ｂ、８６ｃ、８６ｄ、８６ｅ、８６ｆ、８６ｇ、８６ｈのそれぞれに所定の垂直パルス信号が印加される。水平パルス信号Ｈa がパルス供給用端子８８ａに印加され、水平パルス信号Ｈb がパルス供給用端子８８ｂに印加される。
【０１９４】
これにより、１フレームを４つのフィールド、すなわち、第１画素行と第２画素行とからなる第１フィールド、第３画素行と第４画素行とからなる第２フィールド、第５画素行と第６画素行とからなる第３フィールド、および、第７画素行と第８画素行とからなる第４フィールド、に分割することが可能になる。
【０１９５】
個々のフィールドの画像信号出力は、１フレームを２つのフィールドに分割してインターレース駆動させる場合に１フィールドの画像信号出力を得るときの動作（第１の実施例参照）と同様の動作により、得ることができる。そして、当該動作を第１フィールドから第４フィードまで行うことにより、１フレームの画像出力信号を得ることができる。
【０１９６】
また、常に同一フィールドについてのみ画像信号出力を得るようにすれば、１／４の間引き動作も可能である。図１４に示した感光部１０が前記の方向ＤV にｎ段連接された構造のＩＴ−ＣＣＤについて上記の間引き動作を行って、１／４に間引きされたフレーム画像信号を得る場合には、上述した間引き動作を第１段から第ｎ段まで順次行う。このとき、所望の画素行の各光電変換素子２２から垂直転送ＣＣＤ３０への信号電荷の読み出しは、各段とも同時に行われる。各段から読み出された信号電荷の各々は、垂直転送ＣＣＤ３０の各々によって出力転送路７０へ順次転送され、当該出力転送路７０内を転送されて、出力部８０から順次出力される。
【０１９７】
ＩＴ−ＣＣＤ１３０においては、各垂直転送ＣＣＤ３０を８相駆動させることができる。８相駆動型のＣＣＤにおいては、連続する６〜７つの電荷転送段に亘って１つのポテンシャルウェルを形成し、ここに蓄積された信号電荷を転送することが可能である。一方、４相駆動型のＣＣＤでは、連続する２〜３つの電荷転送段に亘って１つのポテンシャルウェルを形成し、ここに蓄積された信号電荷を転送することが可能である。
【０１９８】
したがって、各転送電極３２、３３の設計パターンが同じであった場合、８相駆動型の垂直転送ＣＣＤは、４相駆動型の垂直転送ＣＣＤのおよそ２〜３倍の信号電荷を転送することが可能である。
【０１９９】
その結果として、ＩＴ−ＣＣＤ１３０においては、個々の垂直転送ＣＣＤ３０について電荷転送チャネルのチャネル幅を狭めて、その分、光電変換素子２２および画素の受光部５１ａそれぞれの面積を増やすことが可能になる。これに伴って、感度および飽和出力の増大ならびにダイナミックレンジの拡大がそれぞれ可能になる。
【０２００】
ＩＴ−ＣＣＤ１３０に色フィルタアレイを設けることにより、カラー撮像用のＩＴ−ＣＣＤを得ることができる。色フィルタアレイは、例えば前述した第２の実施例のＩＴ−ＣＣＤ１１０を得る際の色フィルタアレイの形成手順に準じて形成することができる。
【０２０１】
フィールド毎のカラー画像信号を必要とするカメラでは、出力部８０から出力されたフィールド画像出力信号毎に色信号処理を施して、各フィールドのカラー画像信号を得る。
【０２０２】
また、フレームのカラー画像信号を必要とするカメラでは、連続する４つのフィールド画像出力信号をフレームメモリに一旦蓄積した後、１フレーム分の画像出力信号毎に色信号処理を施して、各フレームのカラー画像信号を得る。この場合、フィールド毎に感光時刻がずれてしまうのを防止するために、メカニカルシャッタを使用することが好ましい。第１フィールド用の垂直ブランキング期間が終了した後、第４フィールド用の垂直ブランキング期間が開始するまでの間、各画素に光学像が入射しないようにメカニカルシャッタを閉じておく。これにより、第１フィールド〜第４フィールドのそれぞれについて、同一時刻のフィールド画像出力信号が得られる。フレームの白黒画像信号を必要とするカメラにおいても同じである。また、１枚のみのフレーム画像が必要なカメラでは、第１フィールド用の垂直ブランキング期間が終了した後にメカニカルシャッタを閉じておく。これにより、第２フィールド〜第４フィールドそれぞれの画像にスミアが生じることを抑制できる。
【０２０３】
次に、本発明の第５の実施例によるＩＴ−ＣＣＤについて、図１５および図１６を用いて説明する。図１５は、第５の実施例によるＩＴ−ＣＣＤ１４０における感光部１０ａを拡大して示す平面図である。また、図１６は、図１５に示した電荷転送チャネル３１ｃを概略的に示す平面図である。
【０２０４】
なお、ＩＴ−ＣＣＤ１４０は、前述した実施例１のＩＴ−ＣＣＤ１００における感光部１０を図示の感光部１０ａに変更した以外は、ＩＴ−ＣＣＤ１００と同じ構造を有する。図１５および図１６に示した構成部分のうち、図２に示した構成部分と同じものについては図２で用いた符号と同じ符号を付し、その説明を一部省略する。
【０２０５】
ＩＴ−ＣＣＤ１４０においては、特異の形状を有する所定本数の電荷転送チャネル３１ｃが感光部１０ａに形成されている。これらの電荷転送チャネル３１ａでは、読み出しゲート領域４０に隣接する箇所のチャンネル幅が他の箇所のチャネル幅よりも狭くなっている（図６参照）。相隣る２本の電荷転送チャネル３１ｃは、前記の方向ＤV に１電荷転送段分ずれた形状を有する。
【０２０６】
電荷転送チャネル３１ｃにおけるチャネル幅を上述のように選定することにより、次の利点が得られる。すなわち、転送電極３２の転送路形成部のうちで読み出しゲート電極部を含んでいる転送路形成部を形成するにあたって、当該転送路形成部の幅を他の転送路形成部の幅より別段広くしなくても、所望の読み出しゲート領域４０を半導体基板１に形成することができる。転送電極３３について同様の利点が得られる。
【０２０７】
その結果として、光電変換素子２２の表面のうちで画素の受光部５１として使用できない領域が前記読み出しゲート領域４０の形成に伴って増加することを容易に抑制できる。同時に、相隣る２つの画素行同士の間で受光部の形状、大きさおよび向きを同じにすることも更に容易になる。
【０２０８】
したがって、図示のＩＴ−ＣＣＤ１４０においては、相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じることを防止することが他の実施例のＩＴ−ＣＣＤに比べて更に容易になる。また、個々の画素における受光部５１（または５１ａ）の面積の低下を抑制しつつ画素密度を向上させることも、他の実施例のＩＴ−ＣＣＤに比べて更に容易になる。
【０２０９】
なお、図１５に示した感光部１０ａを有するＩＴ−ＣＣＤ１４０においては、個々の電荷転送チャネル３１ｃが有している複数の区間の１つおきに、当該区間に隣接して読み出しゲート領域４０が形成されている。すなわち、個々の電荷転送チャネル３１ｃにおいてチャネル幅が狭くなっている領域は、１電荷転送段おきに形成されている。このため、電荷転送チャネル３１ｃのチャネル幅が狭くなっている電荷転送段は、１電荷転送段分の信号電荷を短時間蓄積し、かつ、当該信号電荷を次の電荷転送段に転送できればよい。
【０２１０】
電荷転送チャネル３１ｃと読み出しゲート領域４０とが上記のように形成されていれば、読み出しゲート領域４０が隣接していない部分でのチャネル幅を従来と同じに保ったままでも、従来と同程度の転送効率を得ることが可能である。
【０２１１】
ただし、読み出しゲート領域４０が隣接している部分でのチャネル幅をあまりに狭くすると、当該電荷転送段に１電荷転送段分の信号電荷を蓄積させることが困難になる。読み出しゲート領域４０が隣接している部分でのチャネル幅は、読み出しゲート領域４０が隣接していない部分でのチャネル幅の概ね５０〜９５％とすることが好ましく、概ね６０〜８０％とすることが特に好ましい。
【０２１２】
次に、本発明の第６の実施例によるＩＴ−ＣＣＤについて、図１７を用いて説明する。図１７は、本発明の第６の実施例によるＩＴ−ＣＣＤ１５０における出力転送路７０ｂの一例を概略的に示す部分断面図である。同図に示した出力転送路７０ｂは、３層ポリシリコン電極構造の２相駆動型ＣＣＤからなる。
【０２１３】
なお、ＩＴ−ＣＣＤ１５０は、前述した実施例１のＩＴ−ＣＣＤ１００における出力転送路７０を図示の出力転送路７０ｂに変更した以外は、ＩＴ−ＣＣＤ１００と同じ構造を有する。図１７に示した構成部分のうち、図１２に示した出力転送路７０ａの構成部分と機能的に同じものについては、図１２で用いた符号と同じ符号を付し、その説明を省略する。
【０２１４】
出力転送路７０ｂは、図１２に示したＩＴ−ＣＣＤ１１０の出力転送路７０ａと同様に、電荷転送チャネル７１を有している。この電荷転送チャネル７１は、半導体基板１の一表面側に形成されたｐ型ウェル２の所定箇所に、ｎ型不純物を高濃度に含むｎ+ 型領域７１ａとｎ型不純物を低濃度に含むｎ型領域７１ｂとを前記の方向ＤH に沿って交互に所定数形成することによって作製される。ｎ+ 型領域７１ａの幅はｎ型領域７１ｂの幅より広い。電荷転送チャネル７１は、前記の方向ＤH に延びている。
【０２１５】
また、出力転送路７０ｂは、ポリシリコン層からなる３種類の転送電極７２、７３、７７をそれぞれ所定個有している。転送電極７２の各々は、ｎ+ 型領域７１ａそれぞれの上に形成されている。転送電極７３の各々と転送電極７７の各々とは、ｎ型領域７１ｂそれぞれの上に交互に形成されている。
【０２１６】
これらの転送電極７２、７３、７７は、電荷転送チャネル７１を横断するようにして形成されている。転送電極７３における転送電極７２側の縁部は、転送電極７２上に覆い被さっている。転送電極７７における転送電極７３側の縁部は、転送電極７３上に覆い被さっている。すなわち、転送電極７２、７３、７７は、いわゆる重ね合わせ転送電極構造となっている。
【０２１７】
ｎ+ 型領域７１ａの１つと、当該ｎ+ 型領域７１ａ上に形成されている１本の転送電極７２とによって、１つのポテンシャルウェル領域が構成される。同様に、ｎ型領域７１ｂの１つと、当該ｎ型領域７１ｂ上に形成されている１本の転送電極７３もしくは１本の転送電極７７とによって、１つのポテンシャルバリア領域が構成される。
【０２１８】
１つのポテンシャルバリア領域を構成する転送電極７３もしくは７７と、前記のポテンシャルバリアの直ぐ下流側（出力部８０側を意味する。以下同じ。）に形成されている１つのポテンシャルウェル領域を構成する転送電極７２との両方に所定レベルの電圧を同時に印加することによって、１つの電荷転送段が形成される。
【０２１９】
なお、各転送電極７２、７３、７７上には、それぞれ電気絶縁膜が形成されている。図１７においては、図面を判りやすくするために、前記の電気絶縁膜を１つの電気絶縁膜７４ａとして示してある。
【０２２０】
出力転送路７０ｂに所定の駆動パルスを供給するために使用されるパルス供給用端子の数は、図１に示した出力転送路７０と同様に２である。転送電極７２と当該転送電極７２の直ぐ下流に形成されている転送電極７３もしくは７７とは、同じパルス供給用端子に電気的に接続される。また、転送電極７３もしくは転送電極７７を介して相隣る２本の転送電極７２は、それぞれ異なるパルス供給用端子に電気的に接続される。
【０２２１】
３層ポリシリコン電極構造の２相駆動型ＣＣＤからなる出力転送路は、２層ポリシリコン電極構造の２相駆動型ＣＣＤからなる出力転送路に比べて、デザインルールが比較的緩やかであるという利点を有する。例えば、２層ポリシリコン電極構造の２相駆動型ＣＣＤを図７あるいは図１２に示したいわゆる重ね合わせ転送電極構造とする場合、転送電極７３同士のギャップは転送電極７２同士のギャップと同程度以下にする必要がある。このような転送電極７３の形成は、デザインルール的に厳しい。
【０２２２】
一方、図１７に示した３層ポリシリコン電極構造の２相駆動型ＣＣＤ７０ｂでは、転送電極７３を形成するにあたって上記のような厳しい制限はない。
【０２２３】
したがって、光電変換素子行方向（前記の方向ＤH ）における画素ピッチ（光電変換素子のピッチＰ2 ）を微細にしてＩＴ−ＣＣＤを得る場合に３層ポリシリコン電極構造の２相駆動型ＣＣＤからなる出力転送路を用いると、目的とするＩＴ−ＣＣＤを得やすい。ポリシリコン以外の材料を用いて電極を形成する場合も、同様である。
【０２２４】
以上、実施例を挙げて本発明のＩＴ−ＣＣＤを説明したが、本発明は上述した実施例に限定されるものではない。種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。
【０２２５】
例えば、各実施例のＩＴ−ＣＣＤは、ｐ型ウェルを備えたｎ型半導体基板に光電変換素子（フォトダイオード）、垂直転送ＣＣＤ、出力転送路等を形成したものであるが、ｐ型半導体基板に光電変換素子（フォトダイオード）、垂直転送ＣＣＤ、出力転送等を形成しても、ＩＴ−ＣＣＤを得ることができる。また、サファイア基板等の表面に所望の半導体層を形成し、当該半導体層に光電変換素子（フォトダイオード）、垂直転送ＣＣＤ、出力転送路等を形成してＩＴ−ＣＣＤを得ることもできる。本明細書においては、半導体以外の材料からなる基板の一面に光電変換素子（フォトダイオード）、垂直転送ＣＣＤ、出力転送路等を形成するための半導体層を設けたものも、「半導体基板」に含まれるものとする。
【０２２６】
光電変換素子の平面視上の形状は、矩形（菱形を含む。）、全ての内角が鈍角となっている五角形以上の多角形、内角に鋭角と鈍角とが含まれる五角形以上の多角形、これらの角部に丸みを付けた形状等、適宜選択可能である。
【０２２７】
垂直転送ＣＣＤの電荷転送チャネルにおける個々の区間の平面視上の形状は、直線状の他に、曲線状であってもよいし、曲線と直線とが繋がった形状であってもよい。
【０２２８】
垂直転送ＣＣＤを構成する各転送電極の形状は、実施例で例示したように、前記の方向ＤH に対して斜行する２つの転送路形成部が前記の方向ＤH に延びる接続部を介して繋がった形状（以下、この形状を「形状Ａ」という。）にすることができる。また、各転送電極の形状は、前記の方向ＤH に対して斜行する２つの転送路形成部が前記の接続部を介さずに直接繋がった形状（以下、この形状を「形状Ｂ」という。）にすることもできる。各転送電極の形状を前記の形状Ａにする場合、接続部と転送路形成部とが互いに鈍角をなして連なるように、あるいは、接続部と転送路形成部とが滑らかに連なるように、当該転送電極の形状を選定することが好ましい。
【０２２９】
垂直転送ＣＣＤにおいて相隣る２本の転送電極の材質は異なっていてもよい。個々の転送電極は、ポリシリコン以外に、アルミニウム、タングステンまたはモリブデン等の金属、これらの金属の２種以上からなる合金等によって形成することができる。
【０２３０】
相隣る２本の転送電極は、当該２本の転送電極が隣接する領域において、その接続部同士を図６（ａ）に示したように完全に重ねていてもよいし、一方の転送電極の接続部における幅方向の縁部のみを他方の転送電極の接続部上に重ねていてもよい。さらには、接続部同士を重ねることなく単に隣接させていてもよい。
【０２３１】
相隣る２本の転送電極が光電変換素子列の１列おきに画定する光電変換素子領域の平面視上の形状（相隣る２本の転送電極が１つの光電変換素子を平面視上取り囲んでいる部分の内縁の輪郭）は、矩形（菱形を含む。）、全ての内角が鈍角となっている五角形以上の多角形、内角に鋭角と鈍角とが含まれる五角形以上の多角形、これらの角部に丸みを付けた形状等、適宜選択可能である。
【０２３２】
同様に、個々の画素における受光部の形状も、矩形（菱形を含む。）、全ての内角が鈍角となっている五角形以上の多角形、内角に鋭角と鈍角とが含まれる五角形以上の多角形、さらには、これらの角部に丸みを付けた形状等、適宜選択可能である。相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じることを防止するうえからは、個々の画素における受光部の形状を、前記の方向ＤV および前記の方向ＤH のいずれについても線対称な形状とすることが好ましい。
【０２３３】
読み出しゲート電極部は、読み出しゲート領域の全体を平面視上必ず覆わなければならないというものではない。読み出しゲート領域は、平面視上、読み出しゲート電極部から例えば光電変換素子側へはみ出していてもよい。
【０２３４】
垂直転送ＣＣＤの駆動方法は、実施例として挙げた駆動方法に限定されるものではなく、目的とするＩＴ−ＣＣＤの用途等に応じて適宜変更可能である。これに伴って、各転送電極に所定の駆動パルスを供給するためのパルス供給用端子の数、および、当該パルス供給用端子と各転送電極との結線の仕様も、目的とするＩＴ−ＣＣＤにおける垂直転送ＣＣＤの駆動方法に応じて適宜変更可能である。出力転送路についても同様である。
【０２３５】
出力転送路として２相駆動型ＣＣＤを用いる場合、当該２相駆動型ＣＣＤにおいて相隣る２本の転送電極の材質は異なっていてもよい。転送電極は、ポリシリコン以外に、アルミニウム、タングステンまたはモリブデン等の金属、これらの金属の２種以上からなる合金等によって形成することができる。
【０２３６】
調整部は、必須の構成要件ではない。垂直転送ＣＣＤは、感光部を出た後直ちに水平転送ＣＣＤに接続されていてもよい。また、調整部に代えて１フレーム分のＣＣＤ蓄積部を設けてもよい。
【０２３７】
各画素の受光部を平面視上覆うようにしてこれらの受光部の上方にマイクロレンズを１個ずつ設ける場合、個々のマイクロレンズの平面視上の形状は、矩形、当該矩形の角部に丸みを付けた形状、全ての内角が鈍角となっている五角形以上の多角形、当該多角形の角部に丸みを付けた形状、円形、楕円形等、適宜選択可能である。マイクロレンズの平面視上の形状は、個々の画素における受光部の形状に応じて、適宜選定できる。さらに、少なくとも１個のインナーレンズを含む複数個の集光レンズを画素の受光部上に積み重ねることによって、当該受光部上にマイクロレンズ構造を形成してもよい。
【０２３８】
これらのマイクロレンズにおける前記の方向ＤV のピッチは、当該方向ＤV における光電変換素子のピッチＰ1 と同じであってもよいし、わずかに異なっていてもよい。前記の方向ＤV についてのマイクロレンズのピッチを前記のピッチＰ1 と異ならせる場合、個々のマイクロレンズは、例えば次の観点の下に移動される。
【０２３９】
すなわち、受光部内の位置の変化に応じた入射光線の入射方向の変化に対応させて、マイクロレンズによる結像位置が画素の受光部における所望箇所、例えば所望の感度あるいは解像度を得るうえでより有利となる箇所に変位するように、移動される。画素の感度あるいは解像度を高めるうえからは、マイクロレンズによる結像位置周辺のできるだけ広範囲に亘って光電変換領域が存在していることが好ましい。
【０２４０】
同様の理由から、上記のマイクロレンズそれぞれにおける前記の方向ＤH のピッチは、当該方向ＤH における光電変換素子のピッチＰ2 と同じであってもよいし、わずかに異なっていてもよい。
【０２４１】
光電変換素子とマイクロレンズとの相対的な位置関係が全ての画素において実質的に同じであった場合には、マイクロレンズによって光電変換素子上に形成される像点の位置が、図２０に示したように、光電変換素子列の中央部と列方向上部または下部とで異なる。マイクロレンズによって光電変換素子上に形成される像点の位置が所望の位置からずれるのを抑制するうえからは、例えば下記(1) 〜(3) のように、マイクロレンズをずらすことが好ましい。
【０２４２】
(1) 図１８（ａ）に模式的に示すように、個々の光電変換素子列２０における列方向上部および列方向下部それぞれでのマイクロレンズ９３の位置を、光電変換素子列２０の列中央部から離れるに従って、列中央部側にずらす。図中の矢印は、マイクロレンズ９３をずらす方向を示している。
【０２４３】
(2) 図１８（ｂ）に模式的に示すように、個々の光電変換素子行２１における行方向端部でのマイクロレンズ９３の位置を、感光部１０の中央から離れるに従って、前記の方向ＤH に沿って、感光部１０の中央側にずらす。図中の矢印は、マイクロレンズ９３をずらす方向を示している。
【０２４４】
(3) 図１８（ｃ）に模式的に示すように、マイクロレンズ９３を、感光部１０の中央から離れるに従って、前記の方向ＤH および前記の方向ＤV に沿って、感光部１０の中央側にずらす。図中の矢印は、マイクロレンズ９３をずらす方向を示している。
【０２４５】
上記(1) 〜(3) のようにマイクロレンズをずらすことにより、輝度シェーディングを改善することも可能である。
【０２４６】
ＩＴ−ＣＣＤに色フィルタアレイを設ける場合、当該色フィルタアレイは、カラー撮像を可能にする色フィルタによって構成されていればよい。このような色フィルタアレイとしては、実施例で挙げた３原色（赤、緑、青）系の色フィルタアレイの他に、いわゆる補色タイプの色フィルタアレイがある。
【０２４７】
補色タイプの色フィルタアレイは、例えば(i) 緑（Ｇ）、シアン（Ｃｙ）および黄（Ｙｅ）の各色フィルタ、(ii)シアン（Ｃｙ）、黄（Ｙｅ）および白もしくは無色（Ｗ）の各色フィルタ、(iii) シアン（Ｃｙ）、マゼンダ（Ｍｇ）、黄（Ｙｅ）および緑（Ｇ）の各色フィルタ、または、(iv)シアン（Ｃｙ）、黄（Ｙｅ）、緑（Ｇ）および白もしくは無色（Ｗ）の各色フィルタ、等によって構成することができる。
【０２４８】
図１９（ａ）は上記(i) の補色タイプの色フィルタアレイ９１ａの一例を示す平面図であり、図１９（ｂ）は上記(ii)の補色タイプの色フィルタアレイ９１ｂの一例を示す平面図である。図１９（ｃ）は上記(iii) の補色タイプの色フィルタアレイ９１ｃの一例を示す平面図であり、図１９（ｄ）は上記(iii) の補色タイプの色フィルタアレイ９１ｃの他の一例を示す平面図であり、図１９（ｅ）は上記(iv)の補色タイプの色フィルタアレイ９１ｄの一例を示す平面図である。
【０２４９】
図１９（ａ）〜図１９（ｅ）のそれぞれにおいては、図中のアルファベットＧ、Ｃｙ、Ｙｅ、Ｗ、Ｍｇを囲んでいる各六角形が１つの色フィルタを示している。図中のアルファベットＧ、Ｃｙ、Ｙｅ、Ｗ、Ｍｇは、個々の色フィルタの色を表している。
【０２５０】
３原色系の色フィルタアレイにおける色フィルタの配置パターンは、図１０に示したパターンに限定されるものではない。同様に、補色系の色フィルタアレイにおける色フィルタの配置パターンは、図１９（ａ）〜図１９（ｅ）に示したパターンに限定されるものではない。
【０２５１】
各実施例のＩＴ−ＣＣＤにおいては、ｎ型半導体基板１に形成されたｐ型ウェル２上に光電変換素子（フォトダイオード）２２が形成されている。したがって、これらのＩＴ−ＣＣＤでは縦型オーバーフロードレイン構造を付設することができる。これに伴って、電子シャッタを付設することができる。各実施例のＩＴ−ＣＣＤに縦型オーバーフロードレイン構造を付設するためには、ｐ型ウェル２とｎ型半導体基板１の下部（ｐ型ウェル２より下の領域）とに逆バイアスを印加できる構造を付加する。また、縦型オーバーフロードレイン構造に代えて横型オーバーフロードレイン構造を付設してもよい。縦型または横型のオーバーフロードレイン構造を付設することにより、ブルーミングを抑制することが容易になる。
【０２５２】
ＩＴ−ＣＣＤの駆動方法は、適宜選択可能である。これに伴って、垂直転送ＣＣＤ（垂直転送ＣＣＤを構成している転送電極）および出力転送部（出力転送部を構成している転送電極）のそれぞれに所定の駆動パルスを供給する駆動パルス供給手段の構成も、適宜選択可能である。
【０２５３】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明のＩＴ−ＣＣＤにおいては、相隣る２つの画素行同士の間で画素の集光効率や感度に差が生じることを防止しやすく、かつ、個々の画素における受光部の面積の低下を抑制しつつ画素密度を向上させやすい。
【０２５４】
したがって、本発明によれば、再生画像の画質が高いＩＴ−ＣＣＤを得ることが容易になる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の第１の実施例によるＩＴ−ＣＣＤを概略的に示す平面図である。
【図２】図１に示したＩＴ−ＣＣＤにおける感光部の一部を拡大して示す平面図である。
【図３】図３（ａ）は、図２に示した電荷転送チャネル３１ａの１本を概略的に示す平面図であり、図３（ｂ）は、図２に示した電荷転送チャネル３１ｂの１本を概略的に示す平面図である。
【図４】図２に示した転送電極３２の１本を概略的に示す平面図である。
【図５】図２に示した転送電極３３の１本を概略的に示す平面図である。
【図６】図３（ａ）は図２に示したＡ−Ａ線断面の概略図であり、図３（ｂ）は図２に示したＢ−Ｂ線断面の概略図である。
【図７】第１の実施例のＩＴ−ＣＣＤにおける出力転送路の一例を概略的に示す断面図である。
【図８】図１に示したＩＴ−ＣＣＤをインターレース駆動させる場合に使用される駆動パルス供給手段と前記のＩＴ−ＣＣＤとの関係を示す図である。
【図９】図１に示したＩＴ−ＣＣＤをインターレース駆動させる場合にパルス供給用端子８５ｃ、８５ｄに印加されるフィールドシフトパルスの波形を示す図である。
【図１０】図１０（ａ）および図１０（ｂ）は、本発明の第２の実施例によるＩＴ−ＣＣＤを概略的に示す部分断面図である。
【図１１】色フィルタアレイの一例を示す平面図である。
【図１２】第２の実施例のＩＴ−ＣＣＤにおける出力転送路を概略的に示す部分断面図である。
【図１３】本発明の第３の実施例によるＩＴ−ＣＣＤを概略的に示す平面図である。
【図１４】本発明の第４の実施例によるＩＴ−ＣＣＤを概略的に示す平面図である。
【図１５】本発明の第５の実施例によるＩＴ−ＣＣＤにおける感光部を概略的に示す平面図である。
【図１６】図１５に示した電荷転送チャネル３１ｃの１本を概略的に示す平面図である。
【図１７】本発明の第６の実施例によるＩＴ−ＣＣＤにおける３層ポリシリコン電極構造のＣＣＤからなる出力転送路の一例を概略的に示す断面図である。
【図１８】図１８（ａ）、図１８（ｂ）および図１８（ｃ）は、それぞれ、マイクロレンズをずらして形成するにあたって当該マイクロレンズをずらす方向を説明するための図である。
【図１９】図１９（ａ）、図１９（ｂ）、図１９（ｃ）、図１９（ｄ）および図１９（ｅ）は、それぞれ、補色タイプの色フィルタアレイの一例を示す平面図である。
【図２０】マイクロレンズによって光電変換素子上に形成される像点の位置を説明するための図である。
【符号の説明の】
１…半導体基板、 ２…ｐ型ウェル、 １０、１０ａ…感光部、 ２０…光電変換素子列、 ２１…光電変換素子行、 ２２…光電変換素子（フォトダイオード）、 ３０…垂直転送ＣＣＤ、 ３１ａ、３１ｂ、３１ｃ…電荷転送チャネル、 ３２、３３…転送電極、 ３２Ｔ1 、３２Ｔ2 、３３Ｔ1 、３３Ｔ2 …転送路形成部、 ３２Ｃ1 、３２Ｃ2 、３３Ｃ1 、３３Ｃ2 …接続部、 ３２Ｇ、３３Ｇ…読み出しゲート電極部、 ４０…読み出しゲート領域、 ５０…光遮蔽膜、 ５１…開口部（受光部）、 ６０…調整部、 ７０、７０ａ、７０ｂ…出力転送路（水平転送ＣＣＤ）、 ７１…電荷転送チャネル、 ７２、７３、７７…転送電極、 ９１、９１ａ、９１ｂ、９１ｃ、９１ｄ…色フィルタアレイ、 ９１Ｒ、９１Ｇ、９１Ｂ…色フィルタ、 ９３…マイクロレンズ、 １００、１１０、１２０、１３０、１４０、１５０…ＩＴ−ＣＣＤ、 １０５…駆動パルス供給手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a solid-state imaging device used as an area image sensor and a driving method thereof, and more particularly, to an interline transfer type solid-state imaging device including a plurality of photoelectric conversion element arrays and a plurality of vertical transfer CCDs, and the same. The present invention relates to a driving method.
[0002]
[Prior art]
Since the mass production technology of CCD (Charge Coupled Device) has been established, video cameras, electronic still cameras, etc. that use CCD type solid-state imaging devices as area image sensors have been rapidly spread. CCD type solid-state imaging devices are classified into several types according to their structures. One of them is an interline transfer type solid-state imaging device (hereinafter, this solid-state imaging device is abbreviated as “IT-CCD”). )
[0003]
The IT-CCD has a large number of photoelectric conversion elements arranged in a plurality of columns and a plurality of rows at a constant pitch on the surface of a semiconductor substrate. Each photoelectric conversion element row is composed of a plurality of photoelectric conversion elements, and each photoelectric conversion element row is also composed of a plurality of photoelectric conversion elements. Each photoelectric conversion element is usually constituted by a photodiode.
[0004]
A large number of photoelectric conversion elements composed of pn photodiodes, for example, have a p-type well formed on a desired surface side of a semiconductor substrate, and the same number of p-type conversion elements as the number of photoelectric conversion elements intended for an n-type region of a desired shape. It is produced by forming in a mold well. At this time, if necessary, p on each n-type region. + A mold region is formed. Signal charges are accumulated in each of the n-type regions. That is, each of the n-type regions functions as a signal charge storage region.
[0005]
Hereinafter, the term “photoelectric conversion element” in this specification may refer only to a signal charge accumulation region. Further, in this specification, “adjacent to the photoelectric conversion element” or “adjacent to the photoelectric conversion element” means “adjacent to the signal charge storage region constituting the photoelectric conversion element” or “photoelectric conversion element”. "Adjacent to the signal charge storage region constituting the conversion element".
[0006]
For each one of the photoelectric conversion element arrays, one charge transfer channel is formed in the vicinity of the photoelectric conversion element array. Therefore, the IT-CCD has a plurality of charge transfer channels. One charge transfer channel is used as a charge transfer channel for transferring the signal charges accumulated in all the photoelectric conversion elements in the photoelectric conversion element array adjacent to the charge transfer channel.
[0007]
A plurality of transfer electrodes that cross each of the charge transfer channels in plan view are formed on the surface of the semiconductor substrate via an electrical insulating film. Each intersection in plan view between each transfer electrode and each charge transfer channel functions as one charge transfer stage. That is, one vertical transfer CCD is formed by one charge transfer channel and the plurality of transfer electrodes.
[0008]
In the present specification, a region constituting the charge transfer stage in each of a plurality of transfer electrodes constituting the vertical transfer CCD is referred to as a “transfer path forming portion”.
[0009]
Each vertical transfer CCD in an interlaced IT-CCD usually has two charge transfer stages for one photoelectric conversion element. Each vertical transfer CCD in an all-pixel readout type IT-CCD usually has three or four charge transfer stages for one photoelectric conversion element.
[0010]
As each of the photoelectric conversion elements described above performs photoelectric conversion, signal charges are accumulated in the photoelectric conversion elements. The signal charge accumulated in each photoelectric conversion element is read to the corresponding charge transfer channel at a predetermined time.
[0011]
In order to control reading of signal charges from the photoelectric conversion element to the charge transfer channel, a read gate region is formed on the surface of the semiconductor substrate adjacent to the photoelectric conversion element for each photoelectric conversion element. This read gate region is usually composed of a region having a conductivity type opposite to that of the photoelectric conversion element and the charge transfer channel so as to form a potential barrier with respect to the signal charge. Each read gate region is also adjacent to a predetermined area in a predetermined charge transfer channel.
[0012]
A read gate electrode portion is formed on each read gate region. Each of the read gate electrode portions is usually composed of a partial region of a transfer path forming portion in a predetermined transfer electrode constituting the vertical transfer CCD. By applying a high voltage that eliminates the potential barrier in the readout gate region to the readout gate electrode, the signal charge accumulated in the photoelectric conversion element can be read out to the charge transfer channel.
[0013]
The signal charge read out to each charge transfer channel is transferred to the output transfer path by each vertical transfer CCD including the charge transfer channel. This output transfer path is usually formed by a CCD (hereinafter, this CCD may be referred to as a “horizontal transfer CCD”).
[0014]
The output transfer path composed of the horizontal transfer CCD has N charge transfer stages for one vertical transfer CCD. One charge transfer stage usually has one potential barrier portion and one potential well portion, and the “N” is 2. In the case where one charge transfer stage has a uniform potential, the “N” is 3 or more.
[0015]
The output transfer path sequentially transfers the received signal charges in the longitudinal direction of the photoelectric conversion element row (hereinafter, this direction is simply referred to as “row direction”), and sends it to the output unit. Similar to the vertical transfer CCD, an output transfer path is also formed on the semiconductor substrate.
[0016]
The vertical transfer CCD and the horizontal transfer CCD have a photoelectric conversion ability like a photodiode. For this reason, the light shielding film is formed so that unnecessary photoelectric conversion is not performed by the vertical transfer CCD or the horizontal transfer CCD. The light shielding film has an opening having a predetermined shape on each of the photoelectric conversion elements (photodiodes). One opening is formed for one photoelectric conversion element. This opening usually opens inside the edge when the signal charge accumulation region of the photoelectric conversion element is viewed in plan.
[0017]
One photoelectric conversion element, one read gate region formed adjacent to the photoelectric conversion element, a read gate electrode portion covering the read gate region in plan view, and 2 corresponding to the one photoelectric conversion element One pixel is constituted by ˜4 charge transfer stages (2 to 4 charge transfer stages in the vertical transfer CCD). And the part exposed in planar view from said opening part among the surfaces of each photoelectric conversion element functions as a light-receiving part in one pixel.
[0018]
Therefore, in the IT-CCD, the shape and area of the light receiving portion in each pixel are substantially different depending on the shape of each opening formed in the light shielding film in plan view and the area in plan view of the opening. It is decided.
[0019]
By the way, with the widespread use of IT-CCD, further improvement in its performance, for example, resolution and sensitivity is required.
[0020]
The resolution of the IT-CCD greatly depends on the pixel density (integration degree) in the IT-CCD. The higher the pixel density (integration degree), the easier it is to increase the resolution. On the other hand, the sensitivity of the IT-CCD greatly depends on the area of the light receiving portion in each pixel. The larger the area of the light receiving part in each pixel, the higher the sensitivity.
[0021]
The IT-CCD described in Japanese Patent No. 2825702 (referred to as “solid-state imaging device” in the same publication but referred to as “IT-CCD” in this specification) is used for light reception in individual pixels. It is known as an IT-CCD that makes it possible to improve the pixel density while suppressing a decrease in the area of the part.
[0022]
In this IT-CCD, a large number of photoelectric conversion elements are arranged in a plurality of columns and a plurality of rows at a constant pitch, and one photoelectric conversion element column and one photoelectric conversion element row each include a plurality of photoelectric conversion elements. A conversion element is included. Each of the plurality of photoelectric conversion elements constituting the even-numbered column has a pitch between the photoelectric conversion elements in each photoelectric conversion element row with respect to the plurality of photoelectric conversion elements constituting the odd-numbered column. About ½, shifted in the column direction. Similarly, each of the plurality of photoelectric conversion elements constituting the even-numbered row has a pitch of about 1 of the photoelectric conversion elements in each photoelectric conversion element row with respect to the plurality of photoelectric conversion elements constituting the odd-numbered row. / 2, shifted in the row direction. Each of the photoelectric conversion element columns includes only odd-numbered or even-numbered photoelectric conversion elements.
[0023]
In order to transfer the signal charge accumulated in each photoelectric conversion element, a plurality of vertical transfer CCDs are formed, and each vertical transfer CCD transfers signal charges in a predetermined direction while meandering.
[0024]
Each vertical transfer CCD includes a plurality of transfer electrodes, and the plurality of transfer electrodes are arranged in a honeycomb shape. Each of the photoelectric conversion elements is positioned in a plan view in each of hexagonal gaps generated by arranging a plurality of transfer electrodes in a honeycomb shape.
[0025]
The signal charges accumulated in each of the odd-numbered photoelectric conversion elements are read out to the vertical transfer CCD through a read gate region formed adjacent to the inside of the lower left oblique side in the hexagonal region in plan view. On the other hand, the signal charges accumulated in each of the even number of photoelectric conversion elements are read to the vertical transfer CCD through a read gate region formed adjacent to the inside of the upper left oblique side in the hexagonal region in plan view. .
[0026]
In the IT-CCD described in the above publication, a large number of photoelectric conversion elements and a plurality of transfer electrodes (a plurality of transfer electrodes for a vertical transfer CCD) are arranged in this way, so It is possible to improve the pixel density while suppressing the area reduction of the light receiving portion.
[0027]
In the present specification, the arrangement of the large number of photoelectric conversion elements described above is hereinafter referred to as “pixel shifting arrangement”.
[0028]
[Problems to be solved by the invention]
In the IT-CCD, one microlens is generally formed above each photoelectric conversion element for each photoelectric conversion element. The light from the object is condensed by the imaging lens optical system and then further condensed by the microlens, and forms an image on the photoelectric conversion element.
[0029]
At this time, the incident angle of the light beam incident on the micro lens in the upper column direction of the photoelectric conversion element array and the incident angle of the light beam incident on the micro lens in the lower column direction are upside down across the optical axis of the imaging lens. become. For this reason, the position of the image point formed on the photoelectric conversion element by the microlens is also reversed upside down between the upper column direction and the lower column direction of the photoelectric conversion element column when viewed with reference to the optical axis of the microlens.
[0030]
FIG. 20 is a cross-sectional view for explaining the position of an image point formed on a photoelectric conversion element by a microlens. The photoelectric conversion element 201 shown in the figure is formed on the semiconductor substrate 202, and the microlens 203 is formed on the photoelectric conversion element 201 via the focus adjustment layer 204. In FIG. 20, the horizontal direction in the figure corresponds to the vertical direction of the photoelectric conversion element array.
[0031]
When the photoelectric conversion element 201 is at the upper part in the column direction of the photoelectric conversion element column, the light beam 205 that obliquely crosses the optical axis 203a of the microlens 203 from the column center side of the photoelectric conversion element column to the upper side in the column direction. The light enters the lens 203. The light beam 205 forms an image at a point 205 a that is shifted above the optical axis 203 a of the microlens 203 (upward in the column direction of the photoelectric conversion element array).
[0032]
On the other hand, when the photoelectric conversion element 201 is at the lower part in the column direction of the photoelectric conversion element column, a light beam 206 that obliquely crosses the optical axis 203a of the microlens 203 from the column center side of the photoelectric conversion element column to the lower side in the column direction. The light enters the micro lens 203. This light beam 206 forms an image at a point 206 b that is shifted below the optical axis 203 a of the microlens 203 (lower side in the column direction of the photoelectric conversion element array).
[0033]
The amount of displacement of the point 205a from the optical axis 203a of the microlens 203 increases as the position of the microlens 203 moves away from the center of the photoelectric conversion element array in the column direction. The same applies to the amount of displacement of the point 206b from the optical axis 203a of the microlens 203.
[0034]
For this reason, in both the IT-CCD in which the pixels are arranged in a square lattice pattern and the IT-CCD in which the pixel shift arrangement is performed, in the following cases (A) to (C), 2 adjacent to each other. There may be a difference in the light collection efficiency and sensitivity between the two pixel rows.
[0035]
(A) When the shape of the light receiving part in each pixel is different.
(B) The shape of the light receiving part in each pixel is the same, but the size is different.
(C) The shape and size of the light-receiving part in each pixel is the same, but the direction is different.
[0036]
If there is a difference in the light collection efficiency and sensitivity between two adjacent pixel rows, for example, in an IT-CCD for color imaging, the color balance of the output signal from the IT-CCD is lost. Color shading occurs in the reproduced image. In addition, in an IT-CCD for monochrome imaging, unevenness of the substrate occurs and the quality of the reproduced image is degraded.
[0037]
For example, in the IT-CCD described in the above-mentioned Japanese Patent No. 2825702, the hexagonal gap formed by arranging a plurality of transfer electrodes in a honeycomb shape has an odd-numbered gap. And the even-line gaps are shifted from each other by 180 °. For this reason, in the IT-CCD, if the shape and size of the light receiving portion in each pixel is made similar to the hexagonal gap as it is, the size of the pixel between two adjacent pixel rows is reduced. Differences in light collection efficiency and sensitivity are likely to occur. As a result, in the IT-CCD, color shading or uneven background tends to occur.
[0038]
The above-mentioned “odd row gap” and “even row gap” mean that the longitudinal direction of the photoelectric conversion element column is the column direction, and the longitudinal direction of the photoelectric conversion element row is the row direction. Means an “odd row gap” and an “even row gap”.
[0039]
In the IT-CCD, if the shape, size, and direction of the light receiving portion in each pixel are the same between two adjacent pixel rows, the area of the light receiving portion is the hexagonal shape. Narrower than the gap. That is, the area that cannot be used as the light receiving portion increases. As a result, it is difficult to improve the pixel density while suppressing a decrease in the area of the light receiving portion in each pixel.
[0040]
Of course, as described above, the shape of the light receiving portion in each pixel is determined by the shape of the opening formed in the light shielding film in plan view. However, the said opening part is normally formed inside the edge when planarly viewing a photoelectric conversion element. For this reason, the area of the light receiving part in the pixel cannot be made larger than the area of the photoelectric conversion element constituting the pixel.
[0041]
Therefore, if the area of the photoelectric conversion element is reduced, the area of the light receiving portion of the pixel is usually reduced accordingly.
[0042]
The object of the present invention can easily prevent a difference in the light collection efficiency and sensitivity of the pixels between two adjacent pixel rows despite the pixel shifting arrangement being performed, It is another object of the present invention to provide an IT-CCD and its driving method that can easily improve the pixel density while suppressing a decrease in the area of the light receiving portion in each pixel.
[0043]
According to one aspect of the present invention, a plurality of columns and rows are arranged at a constant pitch on the surface of a semiconductor substrate. , The shape, size and direction of each plan view are the same It is a large number of photoelectric conversion elements, one photoelectric conversion element column and one photoelectric conversion element row are each constituted by a plurality of photoelectric conversion elements, for the plurality of photoelectric conversion elements constituting an odd number column, Each of the plurality of photoelectric conversion elements constituting the even-numbered columns is shifted in the column direction by about 1/2 of the pitch of the photoelectric conversion elements in each photoelectric conversion element column, and the plurality of photoelectric conversion elements constituting the odd-numbered rows For each of the photoelectric conversion elements, each of the plurality of photoelectric conversion elements constituting an even-numbered row is shifted in the row direction by about ½ of the pitch of the photoelectric conversion elements in each photoelectric conversion element row. A plurality of photoelectric conversion elements each including only odd-numbered or even-numbered photoelectric conversion elements, and the semiconductor substrate adjacent to the photoelectric conversion element columns for each of the plurality of photoelectric conversion element columns Formed on the surface and as a whole before A plurality of charge transfer channel exhibiting a serpentine shape continuous in the longitudinal direction of the photoelectric conversion element array Each charge transfer channel has a first section inclined to one side in the longitudinal direction of the photoelectric conversion element row and having a narrow channel width, and a second section inclined to the other side. When two adjacent charge transfer channels formed alternately are viewed along the longitudinal direction of the photoelectric conversion element row, one is the first section and the other is the second section. A formed charge transfer channel; A plurality of first and second transfer electrodes alternately formed on the surface of the semiconductor substrate so as to traverse each of the plurality of charge transfer channels in a plan view, each of the plurality of charge transfer channels A plurality of transfer path forming units having the same number as the number of transfer channels, and the plurality of transfer path forming units Each On each of the plurality of charge transfer channels One of the first or second sections is formed so as to cover in plan view, and the transfer path forming portion and the first or second section covered by the transfer section form one charge transfer stage, Moreover, the odd-numbered rows or the odd-numbered rows or the odd-numbered rows that constitute the photoelectric conversion element rows every other column of the plurality of photoelectric conversion element rows while the adjacent first and second transfer electrodes repeat separation in plan view. A plurality of first and second transfers extending in the longitudinal direction of the photoelectric conversion element row as a whole while surrounding one of the photoelectric conversion elements in the even-numbered line in plan view to define one photoelectric conversion element region. Each of the plurality of charge transfer channels has an electrode and each of the plurality of photoelectric conversion elements adjacent to the photoelectric conversion element. A plurality of portions having a narrow channel width in the first section A plurality of read gate regions formed on the surface of the semiconductor substrate, each of the read gate regions adjacent to odd-numbered charge transfer channels of the plurality of charge transfer channels, Covered in plan view by the transfer path forming portion of one of the first and second transfer electrodes. Narrow channel width portion of the first section Each of the read gate regions adjacent to the even-numbered charge transfer channel is formed in plan view by the transfer path forming portion of the other transfer electrode of the first and second transfer electrodes. Covered Narrow channel width portion of the first section And a plurality of readout gate regions formed adjacent to each other.
[0044]
According to another aspect of the present invention, there is provided a method for driving the solid-state imaging device, wherein each of the photoelectric conversion elements constituting a predetermined photoelectric conversion element row is accumulated in one vertical blanking period. A signal charge reading step of reading signal charges to the charge transfer channel adjacent to the read gate region through the read gate region adjacent to the photoelectric conversion element, and from one vertical blanking period to the next vertical blanking period In the meantime, there is provided a method for driving a solid-state imaging device, including an image signal output step of converting each of the signal charges read to the charge transfer channel into an image signal and outputting the image signal.
[0045]
In the above-described solid-state imaging device, each of the readout gate regions is formed as described above. Therefore, although the pixel shift arrangement is performed, the relative relationship between the photoelectric conversion element and the readout gate region adjacent to the photoelectric conversion element is It is easy to make the general positional relationship constant for all pixels. If the relative positional relationship between the photoelectric conversion element and the readout gate region adjacent to the photoelectric conversion element is the same in all pixels, the shape, size, and orientation of the light receiving portion in each pixel can be easily made the same. can do.
[0046]
However, signal charges are read from the odd-numbered photoelectric conversion elements and the even-numbered photoelectric conversion elements by using both the first and second transfer electrodes.
[0047]
For example, the predetermined number of photoelectric conversion elements and the predetermined number of read gate regions are formed so that the read gate region is adjacent to the lower left oblique side of the photoelectric conversion element having a hexagonal shape in plan view. At this time, the shape, size, and direction of each photoelectric conversion element in plan view are aligned. By forming the photoelectric conversion element and the readout gate region in this way, the shape of the light receiving portion in each pixel in a plan view is the same size hexagon, and the directions of these light receiving portions are easily aligned. be able to.
[0048]
As a result, it is possible to easily make the shape, size, and orientation of the light receiving portion of the pixel between two adjacent pixel rows while suppressing a decrease in the area of the light receiving portion in each pixel. .
[0049]
Therefore, the above-described solid-state imaging device can easily prevent a difference in pixel light collection efficiency and sensitivity between two adjacent pixel rows despite the pixel shifting arrangement. This is a solid-state imaging device that can easily improve the pixel density while suppressing a decrease in the area of the light receiving portion in each pixel.
[0050]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments shown in the drawings. FIG. 1 is a plan view schematically showing the IT-CCD of the first embodiment. However, this figure is a schematic diagram of an interlace drive type IT-CCD in which a large number of pixels are arranged in a shifted manner.
[0051]
In the configuration shown in the drawing, a total of 32 simplified photoelectric conversion elements 22 are arranged so as to be shifted in pixels over 8 rows × 8 columns. The odd-numbered photoelectric conversion element array 20 includes only odd-numbered photoelectric conversion elements 22, and the even-numbered photoelectric conversion element array 20 includes only even-numbered photoelectric conversion elements 22.
[0052]
In an actual IT-CCD, the number of pixels reaches several hundred thousand to several million. Also in such a configuration, the odd-numbered photoelectric conversion element columns 20 include only the odd-numbered photoelectric conversion elements 22 and the even-numbered photoelectric conversion element columns 20 include only the even-numbered photoelectric conversion elements 22. Is done. Further, when the first photoelectric conversion element array 20 counted from the left end in the figure is omitted, the odd-numbered photoelectric conversion element array 20 includes only the even-numbered photoelectric conversion elements 22 and the even-numbered photoelectric conversion element array 20. Includes only the photoelectric conversion elements 22 in the odd-numbered rows.
[0053]
The IT-CCD 100 shown in the figure includes a photosensitive unit 10 set on the surface of the semiconductor substrate 1, an adjusting unit 60 formed outside the photosensitive unit 10, and an output transfer path 70 formed outside the adjusting unit 60. And an output unit 80 connected to one end of the output transfer path 70.
[0054]
Eight photoelectric conversion element rows 20, eight photoelectric conversion element rows 21, eight vertical transfer CCDs 30, and 32 readout gate regions 40 are formed on the surface of the semiconductor substrate 1 in the photosensitive portion 10. .
[0055]
Each photoelectric conversion element array 20 is configured by four photoelectric conversion elements 22 configured by an n-type region in a p-type well, and each photoelectric conversion element row 21 is also configured by four photoelectric conversion elements 22. Yes.
[0056]
Each vertical transfer CCD 30 includes one charge transfer channel (not shown in FIG. 1) configured by an n-type region in a p-type well formed on the surface of the semiconductor substrate 1, and the charge transfer channel. The five transfer electrodes 32 formed on the semiconductor substrate 1 via an electrical insulating film (not shown in FIG. 1) and the charge transfer channel in plan view It includes four transfer electrodes 33 formed on the semiconductor substrate 1 through an electric insulating film (not shown in FIG. 1) so as to traverse. The transfer electrode 32 is composed of, for example, a first polysilicon layer. The transfer electrode 33 is composed of, for example, a second polysilicon layer. These transfer electrodes 32 and 33 are formed alternately.
[0057]
Each of the read gate regions 40 is adjacent to both a predetermined photoelectric conversion element 22 and a predetermined section in the charge transfer channel constituting the corresponding vertical transfer CCD 30.
[0058]
The adjustment unit 60 is composed of a total of 24 charge transfer stages formed to be connected to one end of each of the charge transfer channels constituting each vertical transfer CCD 30. Each charge transfer stage is formed on the semiconductor substrate 1 so as to cross the charge transfer channel for adjustment unit (not shown) following the charge transfer channel and the charge transfer channel for adjustment unit in plan view. One of the three transfer electrodes 61, 62, 63 formed is included. One charge transfer stage is formed at each crossing portion of each adjustment unit charge transfer channel and the transfer electrodes 61, 62, 63 in plan view.
[0059]
The transfer electrode 61 has a transfer path forming portion 61T at each position where it intersects with each of the charge transfer channels for adjusting section in plan view, and these transfer path forming portions 61T are connected to each other via a connecting portion 61C. Yes. The transfer electrode 62 has a transfer path forming part 62T at each position where it intersects with each of the charge transfer channels for adjustment section in plan view, and these transfer path forming parts 62T are connected to each other via a connecting part 62C. Yes. The transfer electrode 63 has a transfer path forming portion 63T at each position where it intersects with each of the charge transfer channels for adjustment section in plan view, and these transfer path forming portions 63T are connected to each other via a connecting portion 63C. Yes. As will be described later, the same applies to the transfer electrodes 32 and 33 formed on the photosensitive portion 10.
[0060]
Each of the adjustment unit charge transfer channels extends in a direction that vertically crosses each of the transfer path forming units 61T, 62T, and 63T intersecting with the adjustment unit charge transfer channel in plan view.
[0061]
In FIG. 1, the transfer electrode 32, the transfer electrode 61, the transfer electrode 62, and the transfer electrode 63 that are closest to the adjustment unit 60 are drawn apart from each other for easy identification. However, in reality, the transfer electrode 32 and the transfer electrode 61 that are closest to the adjustment unit 60 are at least the downstream side (output transfer path 70 side) edge of the transfer path forming unit 32T and the upstream side of the transfer path forming unit 62T. The edge on the (photosensitive part 10 side) overlaps with each other in plan view. The same applies to the transfer electrode 61 and the transfer electrode 62, and the transfer electrode 62 and the transfer electrode 63. These transfer electrodes are insulated from each other by an electrical insulating film.
[0062]
The adjusting unit 60 changes the transfer direction of the signal charge transferred by each vertical transfer CCD 30 and adjusts the horizontal (row direction) pitch of the charge transfer path to a constant value.
[0063]
The output transfer path 70 receives signal charges sent from each of the vertical transfer CCDs 30 via the adjustment unit 60, sequentially transfers the signal charges in the row direction, and sends them to the output unit 80.
[0064]
The output unit 80 converts the signal charge sent from the output transfer path 70 into a signal voltage by a floating capacitor (not shown), and amplifies the signal voltage using a source follower circuit (not shown) or the like. To do. The electric charge after being detected (converted) is absorbed by a power source (not shown) through a reset transistor (not shown).
[0065]
Four pulse supply terminals 85 a, 85 b, 85 c, 85 d are arranged outside the photosensitive unit 10 in order to supply predetermined drive pulses to the transfer electrodes 32, the transfer electrodes 33, and the transfer electrodes 61, 62, 63. Has been.
[0066]
The individual pulse supply terminals 85a, 85b, 85c, and 85d are from the upper end side of the photosensitive section 10 (meaning the side farthest from the output transfer path 70; the same applies hereinafter) to the lower end side of the adjustment section 60 (output transfer path 70). And four transfer electrodes 32, 33, 61, 62, 63 that are formed on the side) are electrically connected to supply four-phase drive pulses.
[0067]
In addition, two pulse supply terminals 88 a and 88 b for supplying a predetermined drive pulse to the output transfer path 70 are disposed outside the photosensitive portion 10.
[0068]
In addition, the code | symbol 51 in FIG. 1 has shown the opening part formed in the light shielding film 50 mentioned later.
[0069]
Hereinafter, taking as an example the case where the semiconductor substrate 1 made of an n-type silicon substrate having a p-type well is used, FIG. 2, FIG. 3 (a), FIG. 3 (b), FIG. 4, FIG. ) And FIG. 6B, the structure of the photosensitive portion 10 will be described. However, the present invention is not limited to the following example.
[0070]
FIG. 2 is an enlarged plan view showing a part of the photosensitive portion 10 shown in FIG. 3A is a plan view schematically showing the charge transfer channel 31a shown in FIG. 2, and FIG. 3B is a plan view schematically showing the charge transfer channel 31b shown in FIG. FIG. FIG. 4 is a plan view schematically showing one of the transfer electrodes 32, and FIG. 5 is a plan view schematically showing one of the transfer electrodes 33. 6A is a schematic view of the cross section taken along the line AA shown in FIG. 2, and FIG. 6B is a schematic view of the cross section taken along the line BB shown in FIG.
[0071]
As shown in FIG. 2, in each of the photoelectric conversion element arrays 20 formed in the photosensitive portion 10, a predetermined number of photoelectric conversion elements 22 (signal charge accumulation regions) are in a predetermined direction D. V A constant pitch P (indicated by an arrow in FIG. 2) 1 It is formed with. In each of the photoelectric conversion element rows 21, a predetermined number of photoelectric conversion elements 22 (signal charge storage regions) are in a predetermined direction D. H A constant pitch P (indicated by an arrow in FIG. 2) 2 It is formed with.
[0072]
Each of the photoelectric conversion elements 22 (signal charge storage regions) constituting the even-numbered photoelectric conversion element array 20 is connected to a predetermined number of photoelectric conversion elements 22 (signal charge storage areas) constituting the odd-numbered photoelectric conversion element array 20. On the other hand, the pitch P 1 About 1/2 of the column direction (direction D V (See FIG. 2). Similarly, each of the photoelectric conversion elements 22 (signal charge storage regions) constituting the even-numbered photoelectric conversion element rows 21 has a predetermined number of photoelectric conversion elements 22 (signal charge storage areas) constituting the odd-numbered photoelectric conversion element rows 21. Area)), the pitch P 2 About 1/2 of the row direction (direction D H (See FIG. 2).
[0073]
Here, “pitch P” in this specification 1 About 1/2 "means P 1 In addition to / 2, P may be caused by factors such as manufacturing errors, pixel position rounding errors that occur in design or mask fabrication, and the like. 1 Although it is deviated from / 2, it is substantially P in view of the performance of the obtained IT-CCD and the image quality of the image. 1 It also includes values that can be considered equivalent to / 2. In this specification, “pitch P 2 The same applies to about ½ ".
[0074]
The shape of each photoelectric conversion element 22 in plan view is substantially hexagonal, and the size and direction of each photoelectric conversion element 22 in plan view are substantially the same.
[0075]
Two types of charge transfer channels 31a and 31b are formed in the direction D H 4 are alternately formed (see FIG. 2). The two types of charge transfer channels 31a and 31b are substantially line symmetrical with respect to each other in plan view. Except for the photoelectric conversion element array 20 at the right end (right end in FIG. 1), one photoelectric conversion element array 20 is formed between two adjacent charge transfer channels 31a and 31b.
[0076]
As shown in FIG. 2, FIG. 3A and FIG. 3B, each of the charge transfer channels 31a and 31b has a direction D as a whole while changing the direction of the plurality of sections at the boundary between the sections. V It presents a meandering shape connected to Symbol R in FIGS. 3A and 3B 1 , R 2 , R Three ・ ・ ・ …… R 6 Respectively indicate one section in the charge transfer channels 31a and 31b.
[0077]
In each of the charge transfer channels 31 a, a read gate region 40 is adjacently arranged on the right side of each even-numbered section counted from the upper end side of the photosensitive portion 10. On the other hand, in each of the charge transfer channels 31b, a read gate region 40 is arranged adjacent to the right of each odd-numbered section (except for the first section) counted from the upper end side of the photosensitive portion 10. Yes. Each of the read gate regions 40 is also adjacent to a predetermined photoelectric conversion element 22.
[0078]
Two types of transfer electrodes 32 and 33 are formed so as to cross the charge transfer channels 31a and 31b in plan view, respectively (see FIG. 2).
[0079]
As shown in FIG. 4, each of the transfer electrodes 32 includes a predetermined number of transfer path forming portions 32T. 1 , 32T 2 have. In addition, each of the transfer electrodes 32 has the direction D described above. H Types of connecting portions 32C extending to 1 , 32C 2 Each has a predetermined number.
[0080]
Connection part 32C 1 At the left end (left end in FIGS. 2 and 4) of the transfer path forming portion 32T 1 Followed by the connection 32C 1 At the right end (right end in FIGS. 2 and 4) of the transfer path forming portion 32T 2 It is continuing. Therefore, the connecting portion 32C 2 At the left end (left end in FIGS. 2 and 4) of the transfer path forming portion 32T 2 Followed by the connection 32C 2 At the right end (right end in FIGS. 2 and 4) of the transfer path forming portion 32T 1 It is continuing.
[0081]
Except for the transfer electrode 32 formed at the uppermost end of the photosensitive portion 10, the connection portion 32 </ b> C in each of the transfer electrodes 32. 1 Is the connection part 32C 2 Slightly longer. In the transfer electrode 32 formed at the uppermost end of the photosensitive portion 10, the connection portion 32C 1 Length and connection part 32C 2 Are substantially equal to each other. In each transfer electrode 32, a connection portion 32C. 1 , 32C 2 When focusing only on the connection part 32C 1 And 32C 2 And are formed alternately.
[0082]
Transfer path forming portion 32T in one transfer electrode 32 1 , 32T 2 Is the same as the total number of charge transfer channels 31 a and 31 b formed in the photosensitive portion 10. Individual transfer path forming unit 32T 1 , 32T 2 As shown in FIG. 2, one section of the charge transfer channel 31a or 31b is covered in plan view, and constitutes one charge transfer stage together with the section. The transfer path forming unit 32T 2 Each of the transfer path forming portions 32T in the transfer electrode 32 formed at the uppermost end of the photosensitive portion 10. 2 Except for, one read gate region 40 is also covered separately in plan view. Therefore, the transfer path forming unit 32T 2 The width of the transfer path forming unit 32T 1 Wider than. Individual transfer path forming unit 32T 2 The portion that covers the read gate region 40 in plan view functions as a read gate electrode portion 32G (see FIG. 4) for reading signal charges from the photoelectric conversion element 22.
[0083]
As shown in FIG. 5, each of the transfer electrodes 33 includes a predetermined number of transfer path forming portions 33T. 1 33T 2 have. Further, each of the transfer electrodes 33 has the direction D described above. H Types of connecting portions 33C extending to 1 33C 2 Each has a predetermined number.
[0084]
Connection part 33C 1 At the left end (left end in FIGS. 2 and 5) of the transfer path forming portion 33T 1 Followed by the connection 33C 1 At the right end (right end in FIGS. 2 and 5) of the transfer path forming portion 33T 2 It is continuing. Therefore, the connecting portion 33C 2 At the left end (left end in FIGS. 2 and 5) of the transfer path forming portion 33T 2 Followed by the connection 33C 2 At the right end (right end in FIGS. 2 and 5) of the transfer path forming portion 33T 1 It is continuing. Connection part 33C 2 Is the connection 33C 1 Slightly longer. Connection part 33C 1 And connection part 33C 2 Is the connection 33C 1 33C 2 When only the focus is on, they are formed alternately.
[0085]
Transfer path forming portion 33T in one transfer electrode 33 1 33T 2 Is the same as the total number of charge transfer channels 31 a and 31 b formed in the photosensitive portion 10. Individual transfer path forming unit 33T 1 33T 2 As shown in FIG. 2, one section of the charge transfer channels 31a and 31b is covered in plan view, and constitutes one charge transfer stage together with the section. The transfer path forming unit 33T 1 Each separately covers one read gate region 40 in plan view. Therefore, the transfer path forming unit 33T 1 The width of the transfer path forming unit 33T 2 Wider than. Individual transfer path forming unit 33T 1 The portion that covers the read gate region 40 in plan view functions as a read gate electrode portion 33G (see FIGS. 2 and 5) for reading signal charges from the photoelectric conversion element 22.
[0086]
Transfer path forming unit 32T 1 Charge transfer stage including transfer path and transfer path forming unit 33T 1 Are alternately connected to the charge transfer stage configured to form one vertical transfer CCD 30 (see FIG. 2). Each of the charge transfer stages in the vertical transfer CCD 30 continues to change direction at the boundary between the charge transfer stages, and as a whole, the direction D V (See FIG. 2). The vertical transfer CCD 30 has a photoelectric conversion element 22 constituting a photoelectric conversion element array 20 (an odd-numbered photoelectric conversion element array 20) formed close to the right (right in FIG. 1 or FIG. 2). The signal charges accumulated in each of the direction D V Forward to.
[0087]
The transfer path forming unit 32T 2 Charge transfer stage including transfer path and transfer path forming unit 33T 2 The charge transfer stages configured to include alternating one another to form one vertical transfer CCD 30 (see FIG. 2). Each of the charge transfer stages in the vertical transfer CCD 30 is also connected while changing the direction at the boundary between the charge transfer stages, and as a whole, the direction D V (See FIG. 2). The vertical transfer CCD 30 has a photoelectric conversion element 22 constituting a photoelectric conversion element array 20 (even-numbered photoelectric conversion element array 20) formed close to the right (right in FIG. 1 or FIG. 2). The signal charges accumulated in each of the direction D V Forward to.
[0088]
When two adjacent transfer electrodes 32 and 33 cross one photoelectric conversion element array 20, the connection portion 32 </ b> C 1 33C 1 Or connection part 32C 2 33C 2 Overlap. Further, when crossing the photoelectric conversion element row 20 adjacent to the photoelectric conversion element row 20, the photoelectric conversion element rows 20 are separated from each other and surround one of the photoelectric conversion elements 22 constituting the photoelectric conversion element row 20 in a plan view. The two transfer electrodes 32 and 33 adjacent to each other repeat the above separation, and as a whole, the direction D H (See FIG. 2).
[0089]
In the configuration of FIG. 1, when the two adjacent transfer electrodes are the transfer electrode 32 and the transfer electrode 33 when viewed from the upper end side of the photosensitive portion 10, the two adjacent transfer electrodes 32 and 33 are Each of the odd-numbered photoelectric conversion elements 22 is surrounded in a plan view. On the other hand, when the two adjacent transfer electrodes are the transfer electrode 33 and the transfer electrode 32 when viewed from the upper end side of the photosensitive portion 10, the two adjacent transfer electrodes 33 and 32 are arranged in even rows. Each of the photoelectric conversion elements 22 is surrounded in plan view.
[0090]
The two transfer electrodes 32 and 33 adjacent to each other surround one of the photoelectric conversion elements 22 in a plan view at positions separated from each other, and a hexagonal or substantially hexagonal photoelectric conversion element is surrounded here. One area is defined. The shape, size and direction of these photoelectric conversion element regions are substantially the same. That is, the transfer electrodes 32 and 33 are formed in a honeycomb shape (see FIG. 2).
[0091]
Each of the photoelectric conversion element regions in the odd-numbered photoelectric conversion element rows 20 counted from the left end in FIG. 1 And the connection part 32C 1 Two transfer path forming units 32T adjacent to each other via 1 , 32T 2 , And one connecting portion 33C 1 And the connecting portion 33C 1 Two transfer path forming units 33T adjacent to each other via 1 33T 2 Is defined in plan view.
[0092]
On the other hand, each of the photoelectric conversion element regions in the even-numbered photoelectric conversion element rows 20 counted from the left end in FIG. 2 And the connection part 32C 2 Two transfer path forming units 32T adjacent to each other via 2 , 32T 1 , And one connecting portion 33C 2 And the connecting portion 33C 2 Two transfer path forming units 33T adjacent to each other via 2 33T 1 Is defined in plan view.
[0093]
In FIG. 1, the transfer electrodes 32 and 33 are drawn apart from each other in order to easily distinguish the transfer electrode 32 and the transfer electrode 33. However, the transfer electrodes 32 and 33 are connected to the connection portion 32C as shown in FIG. 1 33C 1 , Connection part 32C 2 33C 2 , Transfer path forming unit 32T 1 33T 1 Transfer path forming unit 32T 2 33T 2 Are overlapping.
[0094]
Further, when the vertical transfer CCD 30 is not provided on the left side of the photoelectric conversion element array 20 at the left end (left end in FIG. 1) in the photosensitive unit 10, each photoelectric conversion element 22 constituting the leftmost photoelectric conversion element array 20. With respect to, the two transfer electrodes 32 and 33 adjacent to each other need not be surrounded in plan view. That is, the leftmost transfer path forming unit 32T necessary for surrounding each photoelectric conversion element 22 constituting the leftmost photoelectric conversion element array 20 in plan view. 1 And 33T 1 Can be omitted. Furthermore, the leftmost connection portion 32C 1 And 33C 1 Can also be omitted. The same applies to the case where the vertical transfer CCD 30 is not provided on the right side of the photoelectric conversion element array 20 at the right end in the photosensitive unit 10 (see FIG. 1).
[0095]
6A and 6B, the photoelectric conversion element 22 described above includes, for example, a predetermined region in a p-type well 2 formed on one surface side of the semiconductor substrate 1, and the predetermined region. N-type region 3 provided above, and p for burying provided on n-type region 3 + It consists of a buried photodiode constituted by the mold layer 4. The n-type region 3 functions as a signal charge accumulation region. Electrical insulating film (silicon oxide film) 5 is p + It is formed on the mold layer 4. Said direction D V The two photoelectric conversion elements 22 adjacent to each other along the line + They are separated by a channel stop region 25 (see FIG. 6A) made of a mold layer.
[0096]
The charge transfer channels 31a and 31b are obtained, for example, by forming an n-type region at a predetermined location of the p-type well 2 formed on one surface side of the semiconductor substrate 1. The charge transfer channels 31a and 31b and the photoelectric conversion element 22 are, for example, p except for the portion where the read gate region 40 is formed. + They are separated by a channel stop region 35 (see FIG. 6B) made of a mold layer.
[0097]
The transfer electrode 32 is made of, for example, a polysilicon layer formed on the semiconductor substrate 1 with an electric insulating film (silicon oxide film) 5 interposed therebetween. Each transfer electrode 32 is covered with an electrical insulating layer made of a silicon oxide film or the like.
[0098]
The transfer electrode 33 is also made of a polysilicon layer, for example. Each transfer electrode 33 is covered with an electrical insulating layer, as will be described later. In FIG. 6A and FIG. 6B, the electric insulating layer covering the transfer electrodes 32 and 33 is represented by one electric insulating layer 34 for easy viewing of the drawings.
[0099]
Each read gate region 40 (see FIG. 6B) is formed of a predetermined portion of the p-type well 2 formed on one surface side of the semiconductor substrate 1, for example. The read gate electrode portions 32G and 33G are formed on the read gate region 40 via the electric insulating film (silicon oxide film) 5 (see FIG. 2).
[0100]
In addition, the code | symbol 50 in Fig.6 (a) and FIG.6 (b) has shown the light shielding film mentioned later. 1, 2, 6 (a), and 6 (b), reference numeral 51 denotes an opening formed in the light shielding film 50.
[0101]
In the IT-CCD 100 having the photosensitive portion 10 described above, (a) one photoelectric conversion element 22 and (b) a vertical transfer CCD 30 formed on the left side in FIG. Two charge transfer stages, that is, transfer path forming part 32T 1 33T 1 Two charge transfer stages or transfer path forming units 32T configured to include 2 33T 2 And two charge transfer stages configured to include (c) a transfer path forming unit 32T 2 Or 33T 1 One pixel is configured by one readout gate region 40 formed between the charge transfer stage including the above and the photoelectric conversion element 22.
[0102]
As described above, in the IT-CCD, in order to prevent unnecessary photoelectric conversion from being performed by each vertical transfer CCD 30, a light shielding film that covers the region from the photosensitive unit 10 to the output transfer path 70 in plan view is provided. It is formed.
[0103]
As shown in FIGS. 6A and 6B, the light shielding film 50 has an opening 51 having a predetermined shape on each of the photoelectric conversion elements 22 on the photosensitive portion 10. One opening 51 is formed for one photoelectric conversion element 22. Each opening 51 is open inside the edge of the signal charge storage region (n-type region 3) of the photoelectric conversion element 22 in plan view in plan view. A portion of one photoelectric conversion element 22 exposed from the opening 51 in plan view is a light receiving portion in each pixel (hereinafter, this light receiving portion may be referred to as “light receiving portion 51”). Function.
[0104]
The light shielding film 50 is, for example, a metal thin film made of aluminum, chromium, tungsten, titanium, or molybdenum, an alloy thin film made of two or more of these metals, or the above metals or the above metal and the above alloy. Are formed by a multilayer metal thin film or the like.
[0105]
Each of the openings (light receiving parts) 51 has a hexagonal shape in plan view. The shape, size, and orientation of these openings (light receiving parts) 51 are substantially the same.
[0106]
Light incident on the photoelectric conversion element 22 from the opening (light receiving part) 51 is photoelectrically converted by the photoelectric conversion element 22 to become signal charges. This signal charge is read out from the n-type region 3, which is a signal charge storage region of the photoelectric conversion element 22, to the vertical transfer CCD 30 through the read gate region 40 adjacent to the photoelectric conversion element 22. At this time, a predetermined field shift pulse is applied to the transfer electrode 32 (read gate electrode portion 32G) or the transfer electrode 33 (read gate electrode portion 33G).
[0107]
The signal charges read to the vertical transfer CCD 30 are sequentially transferred through the charge transfer stages in the vertical transfer CCD 30 and eventually reach the output transfer path 70 via the adjustment unit 60 (see FIG. 1).
[0108]
FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing an example of the output transfer path 70. The output transfer path 70 shown in the figure is composed of a two-phase driving CCD having a two-layer polysilicon structure. 7 that are the same as those shown in FIG. 6 are assigned the same reference numerals as those used in FIG. 6 and descriptions thereof are omitted.
[0109]
An output transfer path (horizontal transfer CCD) 70 shown in FIG. 7 is formed on the semiconductor substrate 1 via one charge transfer channel 71 formed on the semiconductor substrate 1 and an electrical insulating film (silicon oxide film) 5. A plurality of transfer electrodes 72 and 73, an electric insulating film 74 formed on the transfer electrodes 72 and 73, and a light shielding film 50 formed on the electric insulating film 74. .
[0110]
The charge transfer channel 71 includes an n-type impurity at a high concentration at a predetermined position of the p-type well 2 formed on one surface side of the semiconductor substrate 1. + It is fabricated by alternately forming a predetermined number of type regions 71a and n-type regions 71b containing n-type impurities at a low concentration. The charge transfer channel 71 has the direction D described above. H It extends to.
[0111]
Each of the transfer electrodes 72 is made of a polysilicon layer. A silicon oxide film 75 is provided on the surfaces of these transfer electrodes 72. Each transfer electrode 72 has n + It is formed on each mold region 71a. Each of the transfer electrodes 73 is also made of a polysilicon layer. These transfer electrodes 73 are formed on each of the n-type regions 71b.
[0112]
Each transfer electrode 72 and 73 is formed so as to cross the charge transfer channel 71. The edge of each transfer electrode 73 on the transfer electrode 72 side covers the transfer electrode 72. That is, the transfer electrodes 72 and 73 have a so-called superimposed transfer electrode structure.
[0113]
n + One of the mold regions 71a and the n + One potential well region is constituted by one transfer electrode 72 formed on the mold region 71a via an electric insulating film (silicon oxide film) 5. Similarly, one potential barrier region is configured by one of the n-type regions 71b and one transfer electrode 73 formed on the n-type region 71b via an electric insulating film (silicon oxide film) 5. Is done.
[0114]
Both the transfer electrode 73 constituting one potential barrier region and the transfer electrode 72 constituting one potential well region formed immediately downstream (meaning the output unit 80 side) of the potential barrier. By simultaneously applying a predetermined level of voltage to one, one charge transfer stage is formed.
[0115]
In the output transfer path 70, two charge transfer stages are provided for one vertical transfer CCD 30. Therefore, in the output transfer path 70, one vertical transfer CCD 30 is connected via the adjustment unit 60 every other charge transfer stage in the output transfer path 70.
[0116]
The signal charge transferred from the vertical transfer CCD 30 via the adjustment unit 60 is received by the output transfer path 70 in the well region in the output transfer path 70.
[0117]
The electrical insulating film 74 protects the transfer electrodes 72 and 73 and electrically insulates the light shielding film 50. The electrical insulating film 74 is formed of, for example, a silicon oxide film, a two-layer film including a silicon oxide film and a silicon nitride film, a three-layer film including a silicon oxide film, a silicon nitride film, and a silicon oxide film.
[0118]
The light shielding film 50 prevents light from entering the output transfer path 70 and the like so that unnecessary photoelectric conversion is not performed in the output transfer path 70 and the like.
[0119]
The signal charges sequentially transferred in the output transfer path 70 are eventually transferred to the output unit 80 (see FIG. 1), where they are converted into signal voltages and amplified. The amplified signal voltage is output to a predetermined circuit.
[0120]
In the IT-CCD 100 described above, the relative positional relationship between the photoelectric conversion element 22 and the readout gate region 40 adjacent to the photoelectric conversion element 22 is constant in all pixels. That is, in all the pixels, the readout gate region 40 is adjacent to the lower left oblique side of the photoelectric conversion element 22 in plan view.
[0121]
For this reason, even if the size of the light receiving portion 51 in each pixel is not significantly smaller than the size of the photoelectric conversion element 22, the shape, size, and orientation of these light receiving portions 51 can be easily made the same. . As a result, it is possible to easily make the shape, size, and orientation of the light receiving portion 51 the same between two adjacent pixel rows while suppressing a decrease in the area of the light receiving portion 51 in each pixel. .
[0122]
Therefore, the IT-CCD 100 can easily prevent a difference in the light collection efficiency and sensitivity of the pixels between two adjacent pixel rows despite the pixel shifting arrangement. be able to. Further, it is possible to easily improve the pixel density while suppressing a decrease in the area of each opening (light receiving portion) 51.
[0123]
In order to drive the IT-CCD 100, drive pulse supply means for supplying a predetermined drive pulse to each transfer electrode 32, each transfer electrode 33, the transfer electrodes 61, 62, 63, and the output transfer path 70 is provided. Used.
[0124]
Hereinafter, an example of the driving method will be described by taking the case where the IT-CCD 100 is interlaced as an example. The following example is an example in which one frame is divided into two fields, a first field and a second field, for interlace driving.
[0125]
As shown in FIG. 8, the drive pulse supply means 105 for interlaced driving the IT-CCD 100 includes, for example, a synchronization signal generator 101, a timing generator 102, a vertical drive circuit 103, and a horizontal drive circuit 104. The
[0126]
The synchronization signal generator 101 generates various pulses necessary for signal processing, such as a vertical synchronization pulse and a horizontal synchronization pulse. The timing generator 102 is a four-phase vertical pulse signal necessary for driving the vertical transfer CCD 30, a field shift pulse necessary for reading signal charges from the photoelectric conversion element 22, and a two-phase necessary for driving the output transfer path 70. Create a timing signal for a horizontal pulse signal.
[0127]
The vertical drive circuit 103 generates a vertical pulse signal based on the timing signal and applies it to a predetermined transfer electrode 32, 33, 61, 62 or 63 via the pulse supply terminals 85a, 85b, 85c, 85d. To do. The horizontal drive circuit 104 generates a horizontal pulse signal based on the timing signal and applies it to the output transfer path 70 via the pulse supply terminals 88a and 88b.
[0128]
Hereinafter, the vertical pulse signal applied to the pulse supply terminal 85a is expressed as V. a The vertical pulse signal applied to the pulse supply terminal 85b is V b The vertical pulse signal applied to the pulse supply terminal 85c is V c The vertical pulse signal applied to the pulse supply terminal 85d is V d Is written. The horizontal pulse signal applied to the pulse supply terminal 88a is H a And the horizontal pulse signal applied to the pulse supply terminal 88b is H. b Is written. H a Phase and H b Are shifted from each other by π.
[0129]
At an appropriate time during the first vertical blanking period defined by the blanking pulse, the low level vertical pulse V L Is applied to the pulse supply terminals 85a and 85b and the high level vertical pulse V H Is applied to the pulse supply terminals 85c and 85d. And these vertical pulses V L , V H Is applied, the higher level field shift pulse V R Is applied to the pulse supply terminals 85c and 85d. Field shift pulse V R May be applied simultaneously to the pulse supply terminals 85c and 85d, or may be applied separately.
[0130]
FIG. 9A shows the field shift pulse V R Is applied to the pulse supply terminals 85c and 85d at the same time. R The waveform is shown. FIG. 9B shows the field shift pulse V R Is applied to the pulse supply terminal 85d, and then the field shift pulse V is spaced at a predetermined interval. R Are applied to the pulse supply terminal 85c when these field shift pulses V are applied. R The waveform is shown.
[0131]
Field shift pulse V R Is applied to the pulse supply terminals 85c and 85d, the signal charges accumulated in the photoelectric conversion elements 22 in the first, second, fifth, and sixth pixel rows are read out to the corresponding vertical transfer CCDs 30 (signal charges). Reading step).
[0132]
Here, the “pixel row” means a group of pixels arranged in series along the above-described row direction, and the first pixel row, the second pixel row,. It is assumed to be called a pixel row (n is a positive integer) (the same applies to other embodiments). One pixel row includes one photoelectric conversion element row 21 (see FIG. 1). The IT-CCD 100 has a total of eight pixel rows, a first pixel row to an eighth pixel row.
[0133]
Field shift pulse V R Is applied, the vertical pulse signal V having a predetermined waveform is applied. a , V b , V c , V d Is added to each of the pulse supply terminals 85a, 85b, 85c, 85d. As a result, the signal charges read to the vertical transfer CCD 30 are sequentially transferred toward the output transfer path 70.
[0134]
The signal charges read from the photoelectric conversion elements 22 in the first and second pixel rows are transferred to the output transfer path 70 in the first horizontal blanking period following the vertical blanking period. These signal charges are sequentially output from the output unit 80 in the first effective signal period following the first horizontal blanking period. At this time, the image signal output of the second pixel row and the image signal output of the first pixel row are alternately output in units of pixels (image signal output step).
[0135]
The signal charges read from the photoelectric conversion elements 22 in the fifth and sixth pixel rows are transferred to the output transfer path 70 in the second horizontal blanking period following the first effective signal period. These signal charges are sequentially output from the output unit 80 in the second effective signal period following the second horizontal blanking period. At this time, the image signal output of the sixth pixel row and the image signal output of the fifth pixel row are alternately output in units of pixels (image signal output step).
[0136]
At the appropriate time of the second vertical blanking period defined by the blanking pulse after the end of the second valid signal period, the high level vertical pulse V H Is applied to the pulse supply terminals 85a and 85b and the low level vertical pulse V is applied. L Is applied to the pulse supply terminals 85c and 85d. And these vertical pulses V H , V L Is applied, the field shift pulse V R Is applied to the pulse supply terminals 85a and 85b. Field shift pulse V R Is read out to the corresponding vertical transfer CCDs 30 (signal charge reading step). The signal charges stored in the photoelectric conversion elements 22 in the third, fourth, seventh, and eighth pixel rows are read out.
[0137]
The signal charges read from the photoelectric conversion elements 22 in the third and fourth pixel rows are transferred to the output transfer path 70 in the third horizontal blanking period following the second vertical blanking period. These signal charges are sequentially output from the output unit 80 in the third effective signal period following the third horizontal blanking period. At this time, the image signal output of the fourth pixel row and the image signal output of the third pixel row are alternately output in units of pixels (image signal output step).
[0138]
The signal charges read from the photoelectric conversion elements 22 in the seventh and eighth pixel rows are transferred to the output transfer path 70 in the fourth horizontal blanking period following the third effective signal period. These signal charges are sequentially output from the output unit 80 in the fourth effective signal period following the fourth horizontal blanking period. At this time, the image signal output of the eighth pixel row and the image signal output of the seventh pixel row are alternately output in units of pixels (image signal output step).
[0139]
By repeating the above operation performed during the period from the first vertical blanking period to the fourth effective signal period, interlaced image output signals, that is, image output signals for each field are successively output from the output unit 80. Is output.
[0140]
By providing the IT-CCD 100 with a color filter array, an IT-CCD for color imaging can be obtained. In a camera that requires a color image signal for each field, color signal processing is performed for each field image output signal output from the output unit 80 to obtain a color image signal for each field.
[0141]
In addition, in a camera that requires a color image signal of a frame, two continuous field image output signals are temporarily stored in the frame memory, and then color signal processing is performed for each image output signal for one frame to obtain the color of the frame. An image signal is obtained. In this case, it is preferable to use a mechanical shutter in order to prevent the exposure time from deviating from field to field. After the first vertical blanking period ends, the mechanical shutter is closed so that the optical image does not enter each pixel until the second vertical blanking period starts. Thereby, the field image output signal of the same time is obtained for each of the first field and the second field. The same applies to a camera that requires a monochrome image signal of a frame. Further, in a camera that requires only one frame image, the mechanical shutter is closed after the first vertical blanking period ends. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of smear in the image of the second field.
[0142]
The IT-CCD 100 of the first embodiment described above is an IT-CCD having a simple structure as an IT-CCD. In an actual IT-CCD, a microlens array is usually provided to increase the photoelectric conversion efficiency in the photoelectric conversion element 22. In addition, a color filter array is disposed in an IT-CCD for color imaging.
[0143]
In providing the microlens, first, a planarizing film is formed on the photosensitive portion 10. This planarization film is also used as a focus adjustment layer. In the IT-CCD for monochrome imaging, a microlens array including a predetermined number of microlenses is disposed on the surface of the flattening film. On the other hand, in an IT-CCD for color imaging, a color filter array is formed on the flattening film. For this reason, the microlens array is formed on the surface of the second planarization film after further providing a second planarization film on the color filter array. In both the monochrome imaging and the color imaging IT-CCD, each microlens is separately formed so as to cover the light receiving portion of the pixel in plan view.
[0144]
FIGS. 10A and 10B are partial cross-sectional views of the IT-CCD 110 according to the second embodiment, and these drawings show a part of the cross-section of the photosensitive portion in the IT-CCD 110. The IT-CCD 110 is obtained by adding a color filter array and a microlens array to the IT-CCD 100 of the first embodiment. That is, the IT-CCD 110 is an IT-CCD for color imaging.
[0145]
Of the components shown in FIG. 10 (a) or FIG. 10 (b), those common to the components shown in FIG. 6 (a) or FIG. 6 (b) are the same as those shown in FIG. The same reference numerals as those used in FIG. 6B are attached, and the description thereof is omitted.
[0146]
In the IT-CCD 110 described above, the first planarizing film 90 is formed so as to cover the light shielding film 50 formed on the photosensitive portion and the light receiving portions 51 of the individual pixels. A color filter array 91 is provided on the surface of the first planarization film 90. A second planarizing film 92 is formed on the color filter array 91. A microlens array including a predetermined number of microlenses 93 is formed on the surface of the second planarization film 92.
[0147]
The first planarizing film 90 is formed by applying a transparent resin such as a photoresist to a desired thickness by, for example, a spin coating method.
[0148]
In the color filter array 91, for example, a red filter 91R, a green filter 91G, and a blue filter 91B are formed in a predetermined pattern. The color filter array 91 can be produced, for example, by forming a resin (color resin) layer in which a pigment or dye of a desired color is dispersed at a predetermined position by a method such as photolithography.
[0149]
As described in the description of the IT-CCD 100 of the first embodiment, the transfer electrodes 32 and 33 are formed in a honeycomb shape. Each of the photoelectric conversion elements 22 is located in a plan view in a photoelectric conversion element region defined by every other transfer photoelectric element array by two adjacent transfer electrodes 32 and 33. For this reason, in the color filter array 91, the red filter 91R, the green filter 91G, and the blue filter 91B are arranged in a tortoiseshell shape.
[0150]
The arrangement pattern of each color filter in the color filter array 91 is selected as follows. That is, a color addition method or a color reduction method using signal charges stored in each photoelectric conversion element of a predetermined two pixel rows, for example, two adjacent pixel rows, in the IT-CCD provided with the color filter array 91. To select full color information.
[0151]
FIG. 11 is a plan view partially showing an example of the color filter array 91 described above. In the color filter array 91 shown in the figure, a color filter row composed of only the green filter 91G and a color filter row in which the blue filter 91B and the red filter 91R are alternately arranged are alternately formed. .
[0152]
Each color filter 91R, 91G, 91B is formed so as to cover the light receiving portion 51 of each pixel in plan view. Note that the alphabets R, G, and B in each color filter shown in FIG. 11 represent the color of the color filter.
[0153]
The second planarization film 92 shown in FIGS. 10A and 10B is formed by applying a transparent resin such as a photoresist to a desired thickness by, for example, a spin coating method.
[0154]
Each of the microlenses 93 shown in FIG. 10A and FIG. 10B is formed so as to cover the light receiving portion 51 of one pixel in plan view. For example, these microlenses 93 are formed by dividing a layer made of a transparent resin (including a photoresist) having a refractive index of approximately 1.3 to 2.0 into a turtle shell shape by a photolithography method or the like, and then performing heat treatment to each of the sections. The transparent resin layer is melted, and the corners are rounded by surface tension, followed by cooling.
[0155]
The IT-CCD 110 having the color filter array 91 and the microlens array described above has an output transfer path, similar to the IT-CCD 100 of the first embodiment. In this output transfer path, normally, a first planarization film 90 is formed on the light shielding film 50 in the output transfer path 70 shown in FIG. 7, and a second planarization film is formed on the first planarization film 90. A film 92 is formed.
[0156]
FIG. 12 is a partial sectional view schematically showing an output transfer path 70a in the IT-CCD 110. As shown in FIG. Of the constituent parts shown in FIG. 12, those common to the constituent parts shown in FIG. 7 or FIG. 10 are given the same reference numerals as those used in FIG. 7 or FIG.
[0157]
The first planarization film 90 shown in the figure is formed together when the above-described first planarization film 90 (see FIG. 10) is formed above the photosensitive portion 10. The second planarizing film 92 shown in the figure is formed together when the second planarizing film 92 (see FIG. 10) is formed on the color filter array 91 described above.
[0158]
In the IT-CCD 110 having the color filter array 91 shown in FIG. 11, a green filter 91G is provided above each one of the photoelectric conversion elements 22 in two adjacent pixel rows. In the other pixel row, a blue filter 91 </ b> B or a red filter 91 </ b> R is provided above each photoelectric conversion element 22. In the other pixel rows, the blue filter 91B and the red filter 91R are alternately provided in this order or in the reverse order.
[0159]
The full color information includes signal charges from the photoelectric conversion elements 22 in the pixel row in which only the green filter 91G is provided, and photoelectric conversion elements 22 in the pixel row in which the blue filter 91B and the red filter 91R are alternately provided. Is generated based on the signal charge from.
[0160]
If there is a difference in the light collection efficiency or sensitivity between two adjacent pixel rows, a pixel row in which only the green filter 91G is provided, and a blue filter 91B and a red filter 91R are alternately provided. In contrast to the pixel rows, there is a difference in the light collection efficiency and sensitivity of the pixels between these pixel rows. As a result, there is a difference in the ratio between the red signal output and the green signal output obtained based on the signal charges accumulated in the photoelectric conversion elements 22 in these pixel rows, and the ratio between the blue signal output and the green signal output. Occurs. This means that the color balance of the output signal from the IT-CCD 110 is lost. When the color balance of the output signal is lost, color shading occurs in the reproduced image.
[0161]
However, the photosensitive part in the IT-CCD 110 is the same as the photosensitive part 10 in the IT-CCD 100 of the first embodiment. That is, in all the pixels, the readout gate region 40 is adjacent to the lower left oblique side of the photoelectric conversion element 22 in plan view.
[0162]
For this reason, even if the size of the light receiving portion 51 in each pixel is not significantly smaller than the size of the photoelectric conversion element 22, the shape, size, and orientation of these light receiving portions 51 can be easily made the same. . As a result, it is possible to easily make the shape, size, and orientation of the light receiving portion 51 the same between two adjacent pixel rows while suppressing a decrease in the area of the light receiving portion 51 in each pixel. .
[0163]
Therefore, in the IT-CCD 110, it is possible to easily prevent a difference in the light collection efficiency and sensitivity of pixels between two adjacent pixel rows despite the pixel shifting arrangement. it can. As a result, color shading is less likely to occur. Further, it is possible to easily improve the pixel density while suppressing a decrease in the area of each opening (light receiving portion) 51.
[0164]
Next, an IT-CCD according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 13 is a plan view schematically showing an IT-CCD 120 according to the third embodiment.
[0165]
The IT-CCD 120 shown in the figure supplies (i) the shape of the light receiving portion in each pixel, and (ii) supplies a predetermined drive pulse to each transfer electrode 32, each transfer electrode 33, and the transfer electrodes 61, 62, 63. The same structure as the IT-CCD 100 described above except for the number of pulse supply terminals and (iii) the specification of the connection between the pulse supply terminals and the transfer electrodes 32, 33, 61, 62 or 63. Have 13 that are the same as those shown in FIG. 1 are assigned the same reference numerals as those used in FIG. 1, and descriptions thereof are omitted.
[0166]
As shown in FIG. 13, in the IT-CCD 120, the shape of the light receiving portion 51a of the pixel is such that the longer diagonal line is in the direction D. V And the shorter diagonal is the direction D described above. H It is a rhombus substantially parallel to.
[0167]
In addition, in order to supply a predetermined drive pulse to each transfer electrode 32, each transfer electrode 33 and each transfer electrode 61, 62, 63, six pulse supply terminals 85a, 85b, 85c are provided. 1 85c 2 85d 1 85d 2 Is provided.
[0168]
Pulse supply terminal 85c 1 85c 2 1 is obtained by dividing the pulse supply terminal 85c shown in FIG. 1 into two. Also, a pulse supply terminal 85d 1 85d 2 1 is obtained by dividing the pulse supply terminal 85d shown in FIG. 1 into two.
[0169]
These pulse supply terminals 85a, 85b, 85c 1 85c 2 85d 1 85d 2 Are electrically connected to predetermined transfer electrodes 32, 33, 61, 62 or 63, respectively.
[0170]
Also in the IT-CCD 120, each of the readout gate regions 40 is formed adjacent to the lower left oblique side of the photoelectric conversion element 22 having a hexagonal shape. The shape, size, and orientation of the light receiving portion 51a in each pixel are substantially the same. For this reason, for the same reason as that in the IT-CCD 100 of the first embodiment, the IT-CCD 120 is adjacent even if the size of the light receiving portion 51a is not significantly smaller than the size of the photoelectric conversion element 22. The shape, size, and orientation of the light receiving portion 51 can be easily made the same between the two pixel rows.
[0171]
Therefore, in the IT-CCD 120, it is possible to easily prevent a difference in the light collection efficiency and sensitivity of the pixels between two adjacent pixel rows despite the pixel shifting arrangement. it can. In addition, the pixel density can be easily improved while suppressing a decrease in the area of each opening (light receiving portion) 51a.
[0172]
By providing the IT-CCD 120 with a color filter array, an IT-CCD for color imaging can be obtained. The color filter array can be formed, for example, according to the color filter array forming procedure when obtaining the IT-CCD 110 of the second embodiment described above.
[0173]
When the IT-CCD 120 is replaced with an IT-CCD for color imaging, color shading is unlikely to occur for the same reason as in the IT-CCD 110 of the second embodiment.
[0174]
The IT-CCD 120 can be interlaced in the same manner as the IT-CCD 100 described above. At this time, the vertical pulse signal V a Is applied to the pulse supply terminal 85a and the vertical pulse signal V b Is applied to the pulse supply terminal 85b. Also, the vertical pulse signal V c Is the pulse supply terminal 85c. 1 And pulse supply terminal 85c 2 Applied to the vertical pulse signal V d Is the pulse supply terminal 85d. 1 And pulse supply terminal 85d 2 And applied. And the horizontal pulse signal H a Is applied to the pulse supply terminal 88a and the horizontal pulse signal H b Is applied to the pulse supply terminal 88b.
[0175]
Thereby, like the IT-CCD 100 of the first embodiment described above, one frame is divided into a total of two fields, a first field and a second field. The image signal output of each field can be obtained by the same operation as in the first embodiment. Then, by performing this operation from the first field to the second feed, an image output signal of one frame can be obtained.
[0176]
Further, the IT-CCD 120 can be driven while thinning out the number of pixel rows from which signal charges are read out to ¼ of the total number of pixel rows. In this thinning drive, for example, a low level vertical pulse V is applied at an appropriate time in the first vertical blanking period defined by the blanking pulse. L Is applied to the pulse supply terminals 85a and 85b and the high level vertical pulse V H Is the pulse supply terminal 85c. 1 85c 2 85d 1 85d 2 To be applied. And these vertical pulses V L , V H Is applied, the field shift pulse V R Is the pulse supply terminal 85c. 2 85d 2 To be applied. Field shift pulse V R Is read out to the corresponding vertical transfer CCDs 30 (signal charge reading step).
[0177]
Hereinafter, the read signal charges are processed in the same manner as the signal charge processing in the normal interlace driving, so that the field image signal thinned to ¼ or the frame image signal thinned to ¼. Can be obtained.
[0178]
Of course, in accordance with the thinning-out operation described above, a 1/4 thinning-out operation can be performed for any two pixel rows. It is possible to appropriately select which pixel row is to be subjected to the 1/4 thinning-out operation. The pulse supply terminals 85a, 85b, 85c are selected according to which pixel row is the target of the 1/4 thinning-out operation. 1 85c 2 85d 1 85d 2 And the connection specifications of the transfer electrodes 32, the transfer electrodes 33, and the transfer electrodes 61, 62, 63 are selected. When the IT-CCD 120 is an IT-CCD for color imaging, it is selected which pixel row is to be thinned out in consideration of the arrangement pattern of the color filters in the arranged color filter array. Is done.
[0179]
The above-described thinning is not intended to read out signal charges of all pixels, but is intended to obtain an image signal that is always thinned to ¼ rows (number of pixel rows). Since the IT-CCD 120 shown in the figure has only eight pixel rows, the operation of thinning out to ¼ is completed with one horizontal readout. However, the actual number of pixel rows is, for example, 600 rows or more.
[0180]
The photosensitive part 10 shown in FIG. V When the above-described thinning operation is performed on an IT-CCD having a structure connected in n stages to obtain a frame image signal thinned to ¼, the above-described thinning operation is performed from the first stage to the n-th stage. . At this time, signal charges are read from each photoelectric conversion element 22 in a desired pixel row to the vertical transfer CCD 30 at the same time in each stage. Each of the signal charges read from each stage is sequentially transferred to the output transfer path 70 by each of the vertical transfer CCDs 30, transferred in the output transfer path 70, and sequentially output from the output unit 80.
[0181]
For example, in order to perform optimal setting of exposure conditions (shutter time and aperture), focus adjustment, monitor image display, etc. in a digital still camera, it is necessary to obtain an image output signal at a high frame frequency of about 30 frames / second. is there.
[0182]
On the other hand, in order to obtain a high-resolution digital still camera, it is desirable to use an IT-CCD having more than 1 million pixels as the IT-CCD for the digital still camera.
[0183]
However, when the number of pixels of the IT-CCD exceeds 1 million, it takes a very long time of several frames / second, for example, to obtain an image signal output of one frame. As a result, it becomes impossible to perform optimal setting of exposure conditions, focus adjustment, display of a monitor image, and the like.
[0184]
Therefore, in order to obtain a high-resolution digital still camera, it is desirable to use an IT-CCD that can perform operations other than reading a still image recorded when the shutter is pressed at a high frame frequency. .
[0185]
The IT-CCD 120 described above can perform normal interlace driving and driving while thinning out pixel rows to ¼. The frame frequency during thinning driving is 4 of the frame frequency during normal interlace driving. Doubled. Therefore, the IT-CCD 120 is an IT-CCD having a structure suitable for obtaining an image signal having a high frame frequency.
[0186]
Next, an IT-CCD according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 14 is a plan view schematically showing an IT-CCD 130 according to the fourth embodiment.
[0187]
The IT-CCD 130 shown in the figure includes (i) the number of pulse supply terminals for supplying a predetermined drive pulse to each transfer electrode 32, each transfer electrode 33 and each transfer electrode 61, 62, 63, and ( ii) It has the same structure as the IT-CCD 120 described above, except for the connection specifications between the pulse supply terminal and the transfer electrodes 32, 33, 61, 62 or 63. 14 that are the same as those shown in FIG. 13 are assigned the same reference numerals as those used in FIG. 13, and descriptions thereof are omitted.
[0188]
As shown in FIG. 14, the IT-CCD 130 has eight pulse supply terminals 86a and 86b for supplying predetermined drive pulses to the transfer electrodes 32, the transfer electrodes 33, and the transfer electrodes 61, 62, and 63. , 86c, 86d, 86e, 86f, 86g, 86h.
[0189]
These pulse supply terminals 86a, 86b, 86c, 86d, 86e, 86f, 86g, and 86h are electrically connected to predetermined transfer electrodes 32, 33, 61, 62, and 63, respectively.
[0190]
In the IT-CCD 130 shown in FIG. 14, for the same reason as in the IT-CCD 120 of the third embodiment, even if the size of the light receiving portion 51a is not significantly smaller than the size of the photoelectric conversion element 22, The shape, size, and orientation of the light receiving portion 51 can be easily made the same between the two pixel rows.
[0191]
Therefore, in the IT-CCD 130, it is possible to easily prevent a difference in the light collection efficiency and sensitivity of the pixels between two adjacent pixel rows despite the pixel shifting arrangement. it can. In addition, the pixel density can be easily improved while suppressing a decrease in the area of each opening (light receiving portion) 51a.
[0192]
Further, when the IT-CCD 130 is an IT-CCD for color imaging, color shading is unlikely to occur for the same reason as in the IT-CCD 120 of the third embodiment.
[0193]
When the IT-CCD 130 is driven in an interlaced manner, predetermined vertical pulse signals are applied to the pulse supply terminals 86a, 86b, 86c, 86d, 86e, 86f, 86g, and 86h, respectively. Horizontal pulse signal H a Is applied to the pulse supply terminal 88a and the horizontal pulse signal H b Is applied to the pulse supply terminal 88b.
[0194]
Thus, one frame is divided into four fields, that is, a first field composed of a first pixel row and a second pixel row, a second field composed of a third pixel row and a fourth pixel row, a fifth pixel row and a first pixel row. It becomes possible to divide into the 3rd field which consists of 6 pixel rows, and the 4th field which consists of 7th pixel rows and 8th pixel rows.
[0195]
The image signal output of each field is obtained by the same operation as the operation (see the first embodiment) for obtaining the image signal output of one field when one frame is divided into two fields and interlaced driving is performed. be able to. Then, by performing the operation from the first field to the fourth feed, an image output signal of one frame can be obtained.
[0196]
Further, if an image signal output is always obtained only for the same field, a ¼ decimation operation is also possible. The photosensitive portion 10 shown in FIG. V When the above-described thinning operation is performed on an IT-CCD having a structure connected in n stages to obtain a frame image signal thinned to ¼, the above-described thinning operation is sequentially performed from the first stage to the n-th stage. Do. At this time, signal charges are read from each photoelectric conversion element 22 in a desired pixel row to the vertical transfer CCD 30 at the same time in each stage. Each of the signal charges read from each stage is sequentially transferred to the output transfer path 70 by each of the vertical transfer CCDs 30, transferred in the output transfer path 70, and sequentially output from the output unit 80.
[0197]
In the IT-CCD 130, each vertical transfer CCD 30 can be driven in eight phases. In an 8-phase drive type CCD, it is possible to form one potential well over 6 to 7 consecutive charge transfer stages and transfer the signal charge accumulated therein. On the other hand, in a four-phase drive type CCD, it is possible to form one potential well over two to three consecutive charge transfer stages and transfer the signal charge accumulated therein.
[0198]
Therefore, when the design patterns of the transfer electrodes 32 and 33 are the same, the 8-phase drive type vertical transfer CCD can transfer signal charges of about 2 to 3 times that of the 4-phase drive type vertical transfer CCD. Is possible.
[0199]
As a result, in the IT-CCD 130, the channel width of the charge transfer channel is narrowed for each vertical transfer CCD 30, and the areas of the photoelectric conversion element 22 and the light receiving part 51a of the pixel can be increased accordingly. As a result, it is possible to increase the sensitivity and saturation output and to expand the dynamic range.
[0200]
By providing the IT-CCD 130 with a color filter array, an IT-CCD for color imaging can be obtained. The color filter array can be formed, for example, according to the color filter array forming procedure when obtaining the IT-CCD 110 of the second embodiment described above.
[0201]
In a camera that requires a color image signal for each field, color signal processing is performed for each field image output signal output from the output unit 80 to obtain a color image signal for each field.
[0202]
In a camera that requires a color image signal of a frame, four continuous field image output signals are temporarily stored in a frame memory, and then color signal processing is performed for each image output signal for one frame to A color image signal is obtained. In this case, it is preferable to use a mechanical shutter in order to prevent the exposure time from deviating from field to field. After the vertical blanking period for the first field ends, the mechanical shutter is closed so that the optical image does not enter each pixel until the vertical blanking period for the fourth field starts. Thereby, a field image output signal at the same time is obtained for each of the first field to the fourth field. The same applies to a camera that requires a monochrome image signal of a frame. In a camera that requires only one frame image, the mechanical shutter is closed after the vertical blanking period for the first field ends. Thereby, it is possible to suppress the occurrence of smear in the images of the second field to the fourth field.
[0203]
Next, an IT-CCD according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 15 is an enlarged plan view showing the photosensitive portion 10a in the IT-CCD 140 according to the fifth embodiment. FIG. 16 is a plan view schematically showing the charge transfer channel 31c shown in FIG.
[0204]
The IT-CCD 140 has the same structure as the IT-CCD 100 except that the photosensitive unit 10 in the IT-CCD 100 of Example 1 described above is changed to the illustrated photosensitive unit 10a. Of the components shown in FIGS. 15 and 16, the same components as those shown in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals as those used in FIG.
[0205]
In the IT-CCD 140, a predetermined number of charge transfer channels 31c having a specific shape are formed in the photosensitive portion 10a. In these charge transfer channels 31a, the channel width at a location adjacent to the read gate region 40 is narrower than the channel width at other locations (see FIG. 6). Two adjacent charge transfer channels 31c are arranged in the direction D V Have a shape shifted by one charge transfer stage.
[0206]
By selecting the channel width in the charge transfer channel 31c as described above, the following advantages can be obtained. That is, when forming the transfer path forming part including the read gate electrode part among the transfer path forming parts of the transfer electrode 32, the width of the transfer path forming part is made wider than the width of other transfer path forming parts. Even without this, a desired read gate region 40 can be formed in the semiconductor substrate 1. Similar advantages are obtained for the transfer electrode 33.
[0207]
As a result, it is possible to easily suppress an increase in the area that cannot be used as the light receiving portion 51 of the pixel on the surface of the photoelectric conversion element 22 as the read gate area 40 is formed. At the same time, it becomes easier to make the shape, size and direction of the light receiving section the same between two adjacent pixel rows.
[0208]
Therefore, in the illustrated IT-CCD 140, it is further possible to prevent a difference in the light collection efficiency and sensitivity of the pixels between two adjacent pixel rows as compared with the IT-CCD of the other embodiments. It becomes easy. In addition, it is easier to improve the pixel density while suppressing the reduction of the area of the light receiving portion 51 (or 51a) in each pixel as compared with the IT-CCD of other embodiments.
[0209]
In the IT-CCD 140 having the photosensitive portion 10a shown in FIG. 15, the readout gate region 40 is formed adjacent to each of the plurality of sections included in each charge transfer channel 31c. Has been. That is, the region where the channel width is narrowed in each charge transfer channel 31c is formed every other charge transfer stage. For this reason, the charge transfer stage in which the channel width of the charge transfer channel 31c is narrowed only needs to accumulate the signal charge for one charge transfer stage for a short time and transfer the signal charge to the next charge transfer stage.
[0210]
If the charge transfer channel 31c and the read gate region 40 are formed as described above, even if the channel width in the portion where the read gate region 40 is not adjacent is kept the same as the conventional one, it is the same as the conventional one. It is possible to obtain transfer efficiency.
[0211]
However, if the channel width in the portion where the read gate region 40 is adjacent is too narrow, it becomes difficult to accumulate signal charges for one charge transfer stage in the charge transfer stage. The channel width in the portion where the read gate region 40 is adjacent is preferably approximately 50 to 95%, and preferably approximately 60 to 80% of the channel width in the portion where the read gate region 40 is not adjacent. Is particularly preferred.
[0212]
Next, an IT-CCD according to a sixth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 17 is a partial sectional view schematically showing an example of the output transfer path 70b in the IT-CCD 150 according to the sixth embodiment of the present invention. The output transfer path 70b shown in the figure is composed of a two-phase drive type CCD having a three-layer polysilicon electrode structure.
[0213]
The IT-CCD 150 has the same structure as the IT-CCD 100 except that the output transfer path 70 in the IT-CCD 100 of the first embodiment is changed to the output transfer path 70b shown in the drawing. 17 that are functionally the same as those of the output transfer path 70a illustrated in FIG. 12 are denoted by the same reference numerals as those used in FIG. 12, and description thereof is omitted.
[0214]
The output transfer path 70b has a charge transfer channel 71, similar to the output transfer path 70a of the IT-CCD 110 shown in FIG. The charge transfer channel 71 includes an n-type impurity at a high concentration at a predetermined position of the p-type well 2 formed on one surface side of the semiconductor substrate 1. + The type region 71a and the n-type region 71b containing an n-type impurity at a low concentration are arranged in the direction D H Are formed by alternately forming a predetermined number along the surface. n + The width of the mold region 71a is wider than the width of the n-type region 71b. The charge transfer channel 71 has the direction D described above. H It extends to.
[0215]
The output transfer path 70b has a predetermined number of three types of transfer electrodes 72, 73, 77 made of polysilicon layers. Each of the transfer electrodes 72 has n + It is formed on each mold region 71a. Each of the transfer electrodes 73 and each of the transfer electrodes 77 are alternately formed on each of the n-type regions 71b.
[0216]
These transfer electrodes 72, 73 and 77 are formed so as to cross the charge transfer channel 71. An edge portion of the transfer electrode 73 on the transfer electrode 72 side covers the transfer electrode 72. The edge of the transfer electrode 77 on the transfer electrode 73 side covers the transfer electrode 73. That is, the transfer electrodes 72, 73, 77 have a so-called superimposed transfer electrode structure.
[0217]
n + One of the mold regions 71a and the n + One potential well region is constituted by one transfer electrode 72 formed on the mold region 71a. Similarly, one potential barrier region is constituted by one n-type region 71b and one transfer electrode 73 or one transfer electrode 77 formed on the n-type region 71b.
[0218]
Transfer electrode 73 or 77 constituting one potential barrier region, and transfer constituting one potential well region formed immediately downstream of the potential barrier (meaning the output unit 80 side, the same applies hereinafter). By applying a predetermined level of voltage to both electrodes 72 simultaneously, one charge transfer stage is formed.
[0219]
An electrical insulating film is formed on each transfer electrode 72, 73, 77. In FIG. 17, the electric insulating film is shown as one electric insulating film 74 a for easy understanding of the drawing.
[0220]
The number of pulse supply terminals used to supply a predetermined drive pulse to the output transfer path 70b is two as in the output transfer path 70 shown in FIG. The transfer electrode 72 and the transfer electrode 73 or 77 formed immediately downstream of the transfer electrode 72 are electrically connected to the same pulse supply terminal. The two transfer electrodes 72 adjacent to each other via the transfer electrode 73 or the transfer electrode 77 are electrically connected to different pulse supply terminals.
[0221]
The advantage is that the output transfer path composed of a two-phase drive CCD having a three-layer polysilicon electrode structure has a relatively lenient design rule compared to the output transfer path composed of a two-phase drive CCD having a two-layer polysilicon electrode structure. Have For example, when a two-phase drive type CCD having a two-layer polysilicon electrode structure has the so-called superposition transfer electrode structure shown in FIG. 7 or FIG. It is necessary to. The formation of such a transfer electrode 73 is strict in terms of design rules.
[0222]
On the other hand, in the two-phase drive type CCD 70b having the three-layer polysilicon electrode structure shown in FIG.
[0223]
Therefore, the photoelectric conversion element row direction (the direction D described above) H ) Pixel pitch (pitch P of the photoelectric conversion element) 2 ) To obtain an IT-CCD, an output transfer path composed of a two-phase drive CCD having a three-layer polysilicon electrode structure is used to easily obtain the target IT-CCD. The same applies to the case where the electrode is formed using a material other than polysilicon.
[0224]
Although the IT-CCD of the present invention has been described with reference to the embodiments, the present invention is not limited to the above-described embodiments. It will be apparent to those skilled in the art that various modifications, improvements, combinations, and the like can be made.
[0225]
For example, the IT-CCD of each embodiment is an n-type semiconductor substrate having a p-type well formed with a photoelectric conversion element (photodiode), a vertical transfer CCD, an output transfer path, etc. An IT-CCD can also be obtained by forming a photoelectric conversion element (photodiode), vertical transfer CCD, output transfer, and the like. An IT-CCD can also be obtained by forming a desired semiconductor layer on the surface of a sapphire substrate or the like and forming a photoelectric conversion element (photodiode), a vertical transfer CCD, an output transfer path, or the like on the semiconductor layer. In the present specification, a “semiconductor substrate” includes a semiconductor layer for forming a photoelectric conversion element (photodiode), a vertical transfer CCD, an output transfer path, etc. on one surface of a substrate made of a material other than a semiconductor. Shall be included.
[0226]
The shape of the photoelectric conversion element in plan view is a rectangle (including rhombus), a pentagon or more polygon in which all internal angles are obtuse, a pentagon or more polygon in which acute angles and obtuse angles are included in the inner angles, and these A shape with rounded corners can be selected as appropriate.
[0227]
The shape of each section in the charge transfer channel of the vertical transfer CCD in plan view may be a curved shape in addition to a linear shape, or a shape in which a curved line and a straight line are connected.
[0228]
As illustrated in the embodiment, the shape of each transfer electrode constituting the vertical transfer CCD is the direction D described above. H The two transfer path forming sections that are inclined with respect to the direction D H (Hereinafter, this shape is referred to as “shape A”). The shape of each transfer electrode is the direction D described above. H However, it is also possible to form a shape in which two transfer path forming portions that are obliquely connected to each other are directly connected without passing through the connecting portion (hereinafter, this shape is referred to as “shape B”). When the shape of each transfer electrode is the shape A, the connection portion and the transfer path forming portion are connected to each other at an obtuse angle, or the connection portion and the transfer path forming portion are connected to each other smoothly. It is preferable to select the shape of the transfer electrode.
[0229]
In the vertical transfer CCD, the materials of the two adjacent transfer electrodes may be different. Each transfer electrode can be formed of a metal such as aluminum, tungsten, or molybdenum, an alloy composed of two or more of these metals, in addition to polysilicon.
[0230]
Two transfer electrodes adjacent to each other may be completely overlapped with each other in the region where the two transfer electrodes are adjacent, as shown in FIG. Only the edge in the width direction of the connecting portion may be overlaid on the connecting portion of the other transfer electrode. Furthermore, you may just adjoin, without overlapping connection parts.
[0231]
The shape in plan view of a photoelectric conversion element region in which two adjacent transfer electrodes define every other row of photoelectric conversion element rows (two adjacent transfer electrodes surround one photoelectric conversion element in plan view) The outline of the inner edge of the projecting part is a rectangle (including rhombus), a pentagon or more polygon with all interior angles being obtuse, a pentagon or more polygon with an acute angle and an obtuse angle in the interior angle, A shape with rounded corners can be selected as appropriate.
[0232]
Similarly, the shape of the light receiving portion in each pixel is also a rectangle (including rhombus), a pentagon or more polygon in which all inner angles are obtuse angles, and a pentagon or more polygon in which acute angles and obtuse angles are included in the inner angles. Furthermore, a shape with rounded corners can be selected as appropriate. In order to prevent a difference in the light collection efficiency and sensitivity between the two adjacent pixel rows, the shape of the light receiving portion in each pixel is changed to the direction D. V And said direction D H In any case, it is preferable to have a line-symmetric shape.
[0233]
The read gate electrode portion does not necessarily have to cover the entire read gate region in plan view. The read gate region may protrude from the read gate electrode portion to, for example, the photoelectric conversion element side in plan view.
[0234]
The driving method of the vertical transfer CCD is not limited to the driving method described in the embodiment, and can be appropriately changed according to the intended use of the IT-CCD. Accordingly, the number of pulse supply terminals for supplying a predetermined drive pulse to each transfer electrode and the specification of the connection between the pulse supply terminal and each transfer electrode are also the same in the target IT-CCD. It can be appropriately changed according to the driving method of the vertical transfer CCD. The same applies to the output transfer path.
[0235]
When a two-phase drive type CCD is used as an output transfer path, the materials of two adjacent transfer electrodes in the two-phase drive type CCD may be different. In addition to polysilicon, the transfer electrode can be formed of a metal such as aluminum, tungsten, or molybdenum, or an alloy composed of two or more of these metals.
[0236]
The adjustment unit is not an essential component. The vertical transfer CCD may be connected to the horizontal transfer CCD immediately after leaving the photosensitive portion. Further, instead of the adjustment unit, a CCD storage unit for one frame may be provided.
[0237]
When one microlens is provided above each light-receiving unit so as to cover the light-receiving unit of each pixel in plan view, the shape of each microlens in plan view is a rectangle and rounded corners of the rectangle. Can be selected as appropriate, such as a shape with a circle, a pentagon or more polygon with all interior angles being obtuse, a shape with rounded corners of the polygon, a circle, an ellipse, and the like. The shape of the microlens in plan view can be appropriately selected according to the shape of the light receiving portion in each pixel. Furthermore, a microlens structure may be formed on the light receiving part by stacking a plurality of condensing lenses including at least one inner lens on the light receiving part of the pixel.
[0238]
The direction D in these microlenses V The pitch of the direction D V Pitch P of photoelectric conversion element in 1 May be the same or slightly different. Said direction D V The pitch of the microlens with respect to the pitch P 1 For example, the individual microlenses are moved under the following viewpoint.
[0239]
That is, the image forming position by the microlens is more advantageous in obtaining a desired location in the light receiving portion of the pixel, for example, a desired sensitivity or resolution, corresponding to the change in the incident direction of the incident light according to the change in the position in the light receiving portion. It moves so that it may be displaced to the location. In order to increase the sensitivity or resolution of the pixel, it is preferable that the photoelectric conversion region exists over the widest possible range around the image forming position by the microlens.
[0240]
For the same reason, the direction D in each of the above microlenses. H The pitch of the direction D H Pitch P of photoelectric conversion element in 2 May be the same or slightly different.
[0241]
When the relative positional relationship between the photoelectric conversion element and the microlens is substantially the same in all the pixels, the position of the image point formed on the photoelectric conversion element by the microlens is shown in FIG. As described above, the central portion of the photoelectric conversion element array is different from the upper or lower portion in the column direction. In order to prevent the position of the image point formed on the photoelectric conversion element by the microlens from deviating from a desired position, it is preferable to shift the microlens, for example, as in the following (1) to (3).
[0242]
(1) As schematically shown in FIG. 18A, the position of the microlens 93 at each of the upper column direction and the lower column direction of each photoelectric conversion element row 20 is defined as the column center portion of the photoelectric conversion element row 20. Move away from the center of the column. The arrow in the figure indicates the direction in which the microlens 93 is shifted.
[0243]
(2) As schematically shown in FIG. 18B, as the position of the microlens 93 at the end in the row direction in each photoelectric conversion element row 21 increases from the center of the photosensitive portion 10, the direction D H Along the center of the photosensitive portion 10. The arrow in the figure indicates the direction in which the microlens 93 is shifted.
[0244]
(3) As schematically shown in FIG. 18C, the direction D is increased as the microlens 93 is moved away from the center of the photosensitive portion 10. H And said direction D V Along the center of the photosensitive portion 10. The arrow in the figure indicates the direction in which the microlens 93 is shifted.
[0245]
Luminance shading can be improved by shifting the microlenses as described in (1) to (3) above.
[0246]
When providing a color filter array in the IT-CCD, the color filter array only needs to be configured by a color filter that enables color imaging. As such a color filter array, there is a so-called complementary color filter array in addition to the three primary color (red, green, blue) color filter arrays mentioned in the embodiments.
[0247]
Complementary color filter arrays include, for example, (i) green (G), cyan (Cy) and yellow (Ye) color filters, (ii) cyan (Cy), yellow (Ye) and white or colorless (W) Each color filter, (iii) Cyan (Cy), magenta (Mg), yellow (Ye) and green (G) color filters, or (iv) cyan (Cy), yellow (Ye), green (G) and white Alternatively, it can be constituted by colorless (W) color filters or the like.
[0248]
FIG. 19A is a plan view showing an example of the complementary color type color filter array 91a of (i), and FIG. 19B is a plan view showing an example of the complementary color type color filter array 91b of (ii). FIG. FIG. 19C is a plan view showing an example of the color filter array 91c of the complementary color type (iii), and FIG. 19D is another example of the color filter array 91c of the complementary color type (iii). FIG. 19E is a plan view showing an example of the color filter array 91d of the complementary color type (iv).
[0249]
In each of FIGS. 19A to 19E, each hexagon surrounding the alphabets G, Cy, Ye, W, and Mg in the drawing represents one color filter. Alphabets G, Cy, Ye, W, and Mg in the drawing represent colors of individual color filters.
[0250]
The arrangement pattern of the color filters in the three-primary color filter array is not limited to the pattern shown in FIG. Similarly, the arrangement pattern of the color filters in the complementary color filter array is not limited to the patterns shown in FIGS. 19 (a) to 19 (e).
[0251]
In the IT-CCD of each embodiment, a photoelectric conversion element (photodiode) 22 is formed on a p-type well 2 formed on an n-type semiconductor substrate 1. Therefore, these IT-CCDs can be provided with a vertical overflow drain structure. Along with this, an electronic shutter can be attached. In order to attach a vertical overflow drain structure to the IT-CCD of each embodiment, a structure in which a reverse bias can be applied to the p-type well 2 and the lower part of the n-type semiconductor substrate 1 (a region below the p-type well 2). Is added. Further, a horizontal overflow drain structure may be provided instead of the vertical overflow drain structure. By adding a vertical or horizontal overflow drain structure, blooming can be easily suppressed.
[0252]
The driving method of the IT-CCD can be selected as appropriate. Accordingly, drive pulse supply means for supplying a predetermined drive pulse to each of the vertical transfer CCD (transfer electrode constituting the vertical transfer CCD) and the output transfer portion (transfer electrode constituting the output transfer portion). These configurations can also be selected as appropriate.
[0253]
【The invention's effect】
As described above, in the IT-CCD of the present invention, it is easy to prevent a difference in the light collection efficiency and sensitivity of pixels between two adjacent pixel rows, and light reception in each pixel. It is easy to improve the pixel density while suppressing a decrease in the area of the part.
[0254]
Therefore, according to the present invention, it becomes easy to obtain an IT-CCD with high quality of reproduced images.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a plan view schematically showing an IT-CCD according to a first embodiment of the present invention.
2 is an enlarged plan view showing a part of a photosensitive portion in the IT-CCD shown in FIG. 1. FIG.
3A is a plan view schematically showing one of the charge transfer channels 31a shown in FIG. 2, and FIG. 3B is a plan view of the charge transfer channel 31b shown in FIG. It is a top view which shows one schematically.
4 is a plan view schematically showing one transfer electrode 32 shown in FIG. 2; FIG.
5 is a plan view schematically showing one transfer electrode 33 shown in FIG. 2; FIG.
6A is a schematic diagram of a cross section taken along line AA shown in FIG. 2, and FIG. 3B is a schematic diagram of a cross section taken along line BB shown in FIG.
FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing an example of an output transfer path in the IT-CCD of the first embodiment.
FIG. 8 is a diagram showing a relationship between a driving pulse supply means used when the IT-CCD shown in FIG. 1 is interlaced and the IT-CCD.
9 is a diagram showing the waveform of a field shift pulse applied to pulse supply terminals 85c and 85d when the IT-CCD shown in FIG. 1 is interlaced.
FIGS. 10A and 10B are partial cross-sectional views schematically showing an IT-CCD according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 11 is a plan view showing an example of a color filter array.
FIG. 12 is a partial sectional view schematically showing an output transfer path in the IT-CCD of the second embodiment.
FIG. 13 is a plan view schematically showing an IT-CCD according to a third embodiment of the present invention.
FIG. 14 is a plan view schematically showing an IT-CCD according to a fourth embodiment of the present invention.
FIG. 15 is a plan view schematically showing a photosensitive portion in an IT-CCD according to a fifth embodiment of the present invention.
16 is a plan view schematically showing one of the charge transfer channels 31c shown in FIG. 15. FIG.
FIG. 17 is a sectional view schematically showing an example of an output transfer path composed of a CCD having a three-layer polysilicon electrode structure in an IT-CCD according to a sixth embodiment of the present invention.
FIGS. 18A, 18B, and 18C are diagrams for explaining a direction in which the microlens is shifted when the microlens is shifted. FIG.
FIG. 19A, FIG. 19B, FIG. 19C, FIG. 19D, and FIG. 19E are plan views showing examples of complementary color type color filter arrays, respectively. is there.
FIG. 20 is a diagram for explaining the position of an image point formed on a photoelectric conversion element by a microlens.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Semiconductor substrate, 2 ... p-type well 10, 10a ... Photosensitive part, 20 ... Photoelectric conversion element row | line | column, 21 ... Photoelectric conversion element row, 22 ... Photoelectric conversion element (photodiode), 30 ... Vertical transfer CCD, 31a, 31b, 31c ... charge transfer channel, 32, 33 ... transfer electrode, 32T 1 , 32T 2 33T 1 33T 2 ... Transfer path forming unit, 32C 1 , 32C 2 33C 1 33C 2 ... Connection part, 32G, 33G ... Reading gate electrode part, 40 ... Reading gate region, 50 ... Light shielding film, 51 ... Opening part (light receiving part), 60 ... Adjusting part, 70, 70a, 70b ... Output transfer path (horizontal) (Transfer CCD), 71 ... charge transfer channel, 72, 73, 77 ... transfer electrode, 91, 91a, 91b, 91c, 91d ... color filter array, 91R, 91G, 91B ... color filter, 93 ... micro lens, 100, 110 , 120, 130, 140, 150 ... IT-CCD, 105 ... drive pulse supply means

Claims (12)

半導体基板の表面に一定のピッチで複数列、複数行に亘って配列された、それぞれの平面視上の形状、大きさおよび向きが同じである多数個の光電変換素子であって、１つの光電変換素子列および１つの光電変換素子行がそれぞれ複数個の光電変換素子によって構成され、奇数列を構成する前記複数個の光電変換素子に対し、偶数列を構成する前記複数個の光電変換素子の各々は各光電変換素子列内での光電変換素子同士のピッチの約１／２、列方向にずれており、奇数行を構成する前記複数個の光電変換素子に対し、偶数行を構成する前記複数個の光電変換素子の各々は各光電変換素子行内での光電変換素子同士のピッチの約１／２、行方向にずれており、前記光電変換素子列の各々が奇数行または偶数行の光電変換素子のみを含む多数個の光電変換素子と、
前記複数の光電変換素子列の１列毎に該光電変換素子列に近接して前記半導体基板表面に形成され、全体として前記光電変換素子列の長手方向に連なった蛇行形状を呈する複数本の電荷転送チャネルであって、各々の電荷転送チャネルには、前記光電変換素子行の長手方向の一方側に傾き、チャネル幅の狭い部分を備える第１の区間と、他方側に傾いた第２の区間とが繰り返し交互に形成され、相隣る２つの電荷転送チャネルを、前記光電変換素子行の長手方向に沿って見たとき、一方が前記第１の区間で他方が前記第２の区間であるように形成された電荷転送チャネルと、
前記複数本の電荷転送チャネルそれぞれを平面視上横断するようにして前記半導体基板表面上に交互に複数本ずつ形成された第１および第２の転送電極であって、各々が前記複数本の電荷転送チャネルの数と同じ数の複数個の転送路形成部を有し、該複数個の転送路形成部それぞれは前記複数本の電荷転送チャネルそれぞれの上において前記第１または第２の区間の１つを平面視上覆うように形成され、該転送路形成部とそれに覆われた該第１または第２の区間とが１つの電荷転送段を構成し、しかも、相隣る第１および第２の転送電極が平面視上離合を繰り返しながら、かつ、前記複数の光電変換素子列の１列おきに該光電変換素子列を構成している前記奇数行または偶数行の光電変換素子の１つを平面視上取り囲んで１つの光電変換素子領域を画定しながら、全体として前記光電変換素子行の長手方向に延びている複数本の第１および第２の転送電極と、
前記多数個の光電変換素子の１個毎に該光電変換素子に隣接して、かつ、前記複数本の電荷転送チャネルそれぞれが有している複数の前記第１の区間のチャネル幅の狭い部分に隣接して、前記半導体基板表面に形成された複数個の読み出しゲート領域であって、前記複数本の電荷転送チャネルのうちの奇数番目の電荷転送チャネルに隣接する前記読み出しゲート領域の各々が、前記第１および第２の転送電極のうちの一方の転送電極の前記転送路形成部によって平面視上覆われる前記第１の区間のチャネル幅の狭い部分に隣接して形成され、偶数番目の電荷転送チャネルに隣接する前記読み出しゲート領域の各々が、前記第１および第２の転送電極のうちの他方の転送電極の前記転送路形成部によって平面視上覆われる前記第１の区間のチャネル幅の狭い部分に隣接して形成された複数の読み出しゲート領域と
を具備した固体撮像装置。A plurality of photoelectric conversion elements arranged in a plurality of columns and rows at a constant pitch on the surface of a semiconductor substrate and having the same shape, size, and orientation in plan view, The conversion element column and one photoelectric conversion element row are each configured by a plurality of photoelectric conversion elements, and the plurality of photoelectric conversion elements forming the even number columns are different from the plurality of photoelectric conversion elements forming the odd number columns. Each of the photoelectric conversion elements in each photoelectric conversion element column is about ½ of the pitch between the photoelectric conversion elements, and is shifted in the column direction. Each of the plurality of photoelectric conversion elements is shifted in the row direction by about ½ of the pitch between the photoelectric conversion elements in each photoelectric conversion element row, and each of the photoelectric conversion element columns is in an odd row or even row photoelectric conversion. Many including only conversion elements A photoelectric conversion element,
Each of the plurality of photoelectric conversion element arrays is formed on the surface of the semiconductor substrate in the vicinity of the photoelectric conversion element array, and as a whole, a plurality of electric charges having a meandering shape continuous in the longitudinal direction of the photoelectric conversion element array Each of the charge transfer channels includes a first section having a narrow portion with a narrow channel width and a second section tilted to the other side. When two adjacent charge transfer channels are viewed along the longitudinal direction of the photoelectric conversion element row, one is the first section and the other is the second section. A charge transfer channel formed as follows:
A plurality of first and second transfer electrodes formed alternately on the surface of the semiconductor substrate so as to traverse each of the plurality of charge transfer channels in plan view, each of the plurality of charge transfer channels has a number a plurality of transfer path forming section of the same number of transfer channels, of each of several transfer path forming section plurality the plurality of the first or second section at on the charge transfer channels each 1 The transfer path forming part and the first or second section covered by the transfer path forming portion constitute one charge transfer stage, and the first and second adjacent ones are formed . Of the odd-numbered or even-numbered photoelectric conversion elements constituting the photoelectric conversion element array every other column of the plurality of photoelectric conversion element arrays One photoelectric conversion element surrounded by a plan view While defining the range, and the first and second transfer electrodes of the plurality of which extends in the longitudinal direction of the photoelectric conversion element row as a whole,
Each of the plurality of photoelectric conversion elements is adjacent to the photoelectric conversion element, and each of the plurality of charge transfer channels has a plurality of first section narrow channel width portions . Adjacently, a plurality of read gate regions formed on the surface of the semiconductor substrate, each of the read gate regions adjacent to an odd-numbered charge transfer channel among the plurality of charge transfer channels, Even-numbered charge transfer formed adjacent to a narrow channel width portion of the first section covered in plan view by the transfer path forming portion of one of the first and second transfer electrodes. each said readout gate region adjacent to the channel, tea of the first and second of said first section to be covered in a plan view by said transfer path forming section of the other transfer electrodes of the transfer electrodes Solid-state imaging device and a plurality of readout gate region formed adjacent to the narrow portion of Le width. さらに、前記複数個の読み出しゲート領域それぞれの上に形成され、該読み出しゲート領域を平面視上覆う複数の読み出しゲート電極部を具備し、前記複数の読み出しゲート電極部のそれぞれが、対応する前記読み出しゲート領域に隣接した前記第１の区間を平面視上覆う前記転送路形成部の一部からなる請求項１に記載の固体撮像装置。And a plurality of read gate electrode portions formed on the plurality of read gate regions and covering the read gate region in plan view, wherein each of the plurality of read gate electrode portions corresponds to the corresponding read out. The solid-state imaging device according to claim 1, comprising a part of the transfer path forming portion that covers the first section adjacent to the gate region in plan view. 前記相隣る第１および第２の転送電極によって画定される前記光電変換素子領域の平面視上の形状が、六角形である請求項１または請求項２に記載の固体撮像装置。 3. The solid-state imaging device according to claim 1 , wherein a shape of the photoelectric conversion element region defined by the adjacent first and second transfer electrodes in a plan view is a hexagon. 4. さらに、前記半導体基板の上方に配置され、前記多数個の光電変換素子の１個当たり１個の開口部を有する光遮蔽膜を具備した請求項１〜請求項３のいずれか１項に記載の固体撮像装置。4. The light-shielding film according to claim 1 , further comprising a light shielding film disposed above the semiconductor substrate and having one opening per one of the plurality of photoelectric conversion elements. 5. Solid-state imaging device. 前記開口部それぞれの平面視上の形状、大きさおよび向きが同じである請求項４に記載の固体撮像装置。The solid-state imaging device according to claim 4, wherein each of the openings has the same shape, size, and direction in plan view. 前記開口部それぞれの平面視上の形状が、四角形、五角形または六角形である請求項４または請求項５に記載の固体撮像装置。6. The solid-state imaging device according to claim 4, wherein a shape of each of the openings in a plan view is a quadrangle, a pentagon, or a hexagon. さらに、前記開口部それぞれの上方に、該開口部を平面視上覆うマイクロレンズが設けられている請求項４〜請求項６のいずれか１項に記載の固体撮像装置。Furthermore, the solid-state imaging device of any one of Claims 4-6 in which the micro lens which covers this opening part by planar view is provided above each said opening part. さらに、前記開口部の各々と対応する前記マイクロレンズとの間に配置され、前記開口部を平面視上覆う色フィルタを有する請求項７に記載の固体撮像装置。The solid-state imaging device according to claim 7, further comprising a color filter that is disposed between each of the openings and the corresponding microlens and covers the opening in plan view. さらに、前記第１および第２の転送電極それぞれにフィールドシフトパルスを印加することのできる駆動回路を有する請求項１〜請求項８のいずれか１項に記載の固体撮像装置。The solid-state imaging device according to any one of claims 1 to 8, further comprising a drive circuit capable of applying a field shift pulse to each of the first and second transfer electrodes. さらに、２層電極構造の２相駆動型ＣＣＤまたは３層電極構造の２相駆動型ＣＣＤからなり、前記光電変換素子の各々が光電変換することによって該光電変換素子に蓄積された信号電荷を前記電荷転送チャネルを介して受け取り、該信号電荷を所定の方向に転送する出力転送路を有する請求項１〜請求項９のいずれか１項に記載の固体撮像装置。Further, it comprises a two-phase drive type CCD having a two-layer electrode structure or a two-phase drive type CCD having a three-layer electrode structure. 10. The solid-state imaging device according to claim 1, further comprising an output transfer path that receives the charge via a charge transfer channel and transfers the signal charge in a predetermined direction. さらに、前記複数の電荷転送チャネルそれぞれの一端に接続され、前記出力転送路に前記信号電荷が転送される前に該信号電荷の転送方向を変化させると共に横方向ピッチを一定値に調整する調整部を有する請求項１０に記載の固体撮像装置。Further, an adjustment unit that is connected to one end of each of the plurality of charge transfer channels and changes a transfer direction of the signal charges and adjusts a lateral pitch to a constant value before the signal charges are transferred to the output transfer path. The solid-state imaging device according to claim 10 . 請求項１〜請求項１１のいずれか１項に記載の固体撮像装置の駆動方法であって、１つの垂直ブランキング期間において、少なくとも一部の光電変換素子行を構成する光電変換素子の各々に蓄積された信号電荷を該光電変換素子に隣接する前記読み出しゲート領域を介して該読み出しゲート領域に隣接する前記電荷転送チャネルに読み出す信号電荷読み出し工程と、前記１つの垂直ブランキング期間から次の垂直ブランキング期間までの間に、前記電荷転送チャネルに読み出された前記信号電荷の各々を画像信号に変換して出力する画像信号出力工程とを含む固体撮像装置の駆動方法。 12. The driving method of the solid-state imaging device according to claim 1, wherein, in one vertical blanking period, each of the photoelectric conversion elements constituting at least a part of the photoelectric conversion element rows is provided. A signal charge reading step of reading the accumulated signal charge to the charge transfer channel adjacent to the read gate region through the read gate region adjacent to the photoelectric conversion element, and the next vertical from the one vertical blanking period. An image signal output step of converting each of the signal charges read out to the charge transfer channel into an image signal and outputting the image signal before the blanking period.
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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4251313B2 (en) * 2002-07-12 2009-04-08 富士フイルム株式会社 Solid-state imaging device
KR100674925B1 (en) * 2004-12-07 2007-01-26 삼성전자주식회사 Honeycomb Active Pixel Sensor
JP4691438B2 (en) * 2005-11-28 2011-06-01 富士フイルム株式会社 Solid-state imaging device and driving method of solid-state imaging device
JP5738422B2 (en) 2011-10-14 2015-06-24 三菱電機株式会社 TDI linear image sensor

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001168315A (en) * 1999-09-27 2001-06-22 Fuji Film Microdevices Co Ltd Solid-state imaging device
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