JP4051987B2

JP4051987B2 - Thin sheet cutting method

Info

Publication number: JP4051987B2
Application number: JP2002105022A
Authority: JP
Inventors: 國義桝本
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2002-04-08
Filing date: 2002-04-08
Publication date: 2008-02-27
Anticipated expiration: 2022-04-08
Also published as: JP2003300190A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、キャリアフィルムとグリーンシートとを貼合わせてなる薄物シートの切断方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
例えば、多層，積層型の電子部品を製造する場合、セラミックからなるグリーンシートにキャリアフィルムを貼合わせて薄物シートを形成し、該薄物シートを所定寸法に切断して部品素子を形成し、しかる後、部品素子を焼成する方法が一般的である。
【０００３】
このような薄物シートの切断方法として、従来、図９（ａ）に示すように、固定刃２０と可動刃２１との間に薄物シートＳを配置し、該可動刃２１を昇降させることにより上記薄物シートＳを切断したり、あるいは図９（ｂ）に示すように、裁断台２２の一辺に固定刃２３を固定し、可動刃２４を昇降させることにより裁断台２２に配置した薄物シートＳを切断したりする方法がある。
【０００４】
また、図１０（ａ）に示すように、Ｖ字状の溝２５ａが形成された裁断台２５の上方に切断刃２６を昇降可能に配設し、切断刃２６を下降させて溝２５ａ内に入り込むようにして薄物シートＳを切断したり、さらには図１０（ｂ）に示すように、回転刃２７を回転しつつ溝２５ａ内に入り込むようにして薄物シートＳを切断したりする方法がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記従来の固定刃２０，２３と可動刃２１，２４とで発生する剪断力で薄物シートＳを切断する場合には、図１１（ａ）に示すように、薄物シートＳの切断部分が切断方向に変形し易く、キャリアフィルムＳ１とグリーンシートＳ２との層間剥離３０が発生するおそれがあり、製品の品質に悪影響を与えるという問題がある。
【０００６】
また、上記従来の切断刃２６と溝２５ａの縁２５ｂとの剪断力で薄物シートＳを切断する場合には、図１１（ｂ）に示すように、薄物シートＳの切断部分が溝２５ａ内に大きく変形し、キャリアフィルムＳ１とグリーンシートＳ２との層間剥離３０が発生するおそれがある。さらに上記従来の回転刃２７で切断方向に順次剪断力で切断する場合にも、薄物シートＳの切断部分に変形が生じ易く、上記同様に層間剥離が発生するという問題がある。
【０００７】
このような層間剥離３０は、材質の異なるキャリアフィルムＳ１とグリーンシートＳ２とを貼合わせてなる薄物シートＳを切断する場合に顕著であり、この点での対策が要請されている。
【０００８】
一方、上記従来の固定刃２０と可動刃２１とで切断する構造の場合には、両者の微小隙間ｔの調整に時間がかかり（図１２（ａ）参照）、また両者２０，２１の刃先の間から細かい切断片，いわゆる切断ひげ３１が発生する場合があり、品質に悪影響を与えるという問題がある（図１１（ａ），図１２（ｂ）参照）。
【０００９】
本発明は、上記従来の実情に鑑みてなされたもので、切断時のキャリアフィルムとグリーンシートとの層間剥離を防止できるとともに、切断ひげの発生を防止できる薄物シートの切断方法を提供することを目的としている。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
請求項１の発明は、裁断台の載置面上に切断刃が進入できる硬さを有するアンダシートを配設し、該アンダシート上にキャリアフィルムとグリーンシートとを貼合わせてなる薄物シートを載置した状態で、上記裁断台の上方に配設された切断刃を、上記キャリアフィルムを圧縮しつつ切断し、続いて上記グリーンシートを圧縮しつつ切断し、さらに上記アンダシートに食い込むまで下降させることにより上記薄物シートを所定寸法に切断することを特徴とする薄物シートの切断方法である。
【００１１】
請求項２の発明は、請求項１において、切断回数に応じて上記切断刃が食い込む上記アンダシートの位置を変化させるように構成されていることを特徴としている。
【００１２】
ここで、切断刃の食い込み位置を変化させるとは、切断刃又はアンダーシートのいずれか一方を食い込み位置が変化するよう移動させることである。
【００１３】
請求項３の発明は、請求項１又は２において、上記アンダシートは通気性を有するものからなり、上記裁断台には載置面に連通する吸引孔が形成され、該吸引孔には真空発生源が接続されており、上記薄物シートがアンダシート上に吸引固定されていることを特徴としている。
【００１４】
請求項４の発明は、請求項１ないし３の何れかにおいて、上記アンダーシートが樹脂含浸紙材であることを特徴としている。
【００１５】
請求項５の発明は、請求項１又は２において、上記薄物シートは、挟持具により挟持されて上記アンダシート上に固定されていることを特徴としている。
【００１６】
請求項６の発明は、請求項１又は２において、上記薄物シートは、真空発生源に接続された吸引具により吸引保持されて上記アンダシート上に固定されていることを特徴としている。
【００１７】
【発明の作用効果】
請求項１の発明に係る切断方法では、切断刃が進入できる硬さを有するアンダシートを介在させて切断刃により薄物シートを切断するようにしたので、アンダシートが薄物シートの切断部分での変形を抑制することとなり、キャリアフィルムとグリーンシートとの層間剥離の問題を解消でき、品質に対する信頼性を高めることができる。
【００１８】
また切断刃による圧縮力が薄物シートの切断刃当接部のみ作用することから、切断ひげの発生を防止でき、この点からも品質に対する信頼性を高めることができる。さらに１枚の切断刃で切断するので、従来の固定刃と可動刃との隙間調整を不要にでき、構造を簡略化できるとともにコストを低減できる。
【００１９】
請求項２の発明では、切断回数に応じてアンダシートの切断刃が食い込む位置を変化させるようにしたので、切断刃又はアンダーシートのいずれか一方を移動させることにより、アンダシートの交換頻度を少なくすることができ、コストの低減が可能となる。即ち、アンダシートの同じ位置に切断刃が繰り返し食い込むと、アンダシートの切り屑が発生し、該切り屑が薄物シートに付着したり、あるいはアンダシートに生じた切断痕により薄物シートが傷ついたりするおそれがある。このような切り屑の付着や傷つきを防止するにはアンダシートを頻繁に交換する必要があり、それだけコストが上昇するという問題がある。
【００２０】
請求項３の発明では、裁断台に形成された吸引孔により通気性を有するアンダシートを介して薄物シートを吸引固定したので、切断時に薄物シートの切断部分が変形するのを抑えることができ、キャリアフィルムとグリーンシートとの層間剥離をより確実に防止できる。また薄物シートをアンダシートに固定した状態で切断するので、切断時の寸法精度のばらつきを防止できる。
【００２１】
請求項４の発明では、アンダーシートに樹脂含浸紙材を採用したので、切断刃の切り込みによる繊維の飛散を抑えることができ、異物の混入を防止できる。ちなみに、普通紙を用いた場合には切り込みにより繊維が飛散しやすい。
【００２２】
請求項５の発明では、薄物シートを挟持具で挟持した状態でアンダシートに固定したので、切断時に薄物シートの切断部分が変形するのを抑えることができ、キャリアフィルムとグリーンシートとの層間剥離をより確実に防止できるとともに、寸法精度のばらつきを防止でき、請求項３と同様の効果が得られる。
【００２３】
請求項６の発明では、薄物シートを吸引具で吸引保持した状態でアンダシートに固定したので、切断時に薄物シートの切断部分が変形するのを抑えることができ、キャリアフィルムとグリーンシートとの層間剥離をより確実に防止できるとともに、寸法精度のばらつきを防止でき、請求項３と同様の効果が得られる。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
【００２５】
図１ないし図５は、請求項１，２，３の発明の一実施形態による薄物シートの切断方法を説明するための図であり、図１はその切断装置の概略構成図、図２，図３，図４はそれぞれ切断装置の要部の概略図、図５は切断刃の食い込み状態を模式的に示す図である。
【００２６】
図において、１は切断装置を示しており、これは上面に載置面２ａが形成された裁断台２の上方に切断刃３を昇降可能に配設して構成されている。この切断刃３は保持部材４により支持されており、該支持部材４には昇降駆動部５が接続されている。
【００２７】
上記切断刃３は薄物平板状のものであるが、これの刃先３ａは僅かながらうねりを有し、また取付け角度に僅かながら傾きが生じる。この取付け傾きとうねりによる刃先３ａの先端と裁断台２の載置面２ａとの距離Ａのばらつきが１００μｍ以下となるように構成されている。また上記載置面２ａの表面粗さＢは５０μｍ以下に設定されている。
【００２８】
上記切断刃３は、表１に示すように、１３Ｃｒ系ステンレス製で、厚み０．２５±０．００９ｍｍ、幅２２．２±０．１ｍｍ、長さ１５５±０．３ｍｍ、硬度７７０IIＶ以上、刃先角度２３±１度、刃先の鋭角部分の高さ１．０±０．１０ｍｍのものである。
【００２９】
【表１】

【００３０】
上記切断刃３にはストッパ機構（不図示）が設けられている。このストッパ機構は切断刃３の切断時の下死点位置を規制するものであり、繰り返しの切断動作による上記切断刃３の下死点と裁断台２の載置面２ａとの距離Ｃのばらつきが常時５０μｍ以下になるように設定されている。
【００３１】
上記裁断台２には載置面２ａに連通する多数の吸引孔２ｂが形成されており、各吸引孔２ｂは共通の吸引口２ｃに連通接続されており、該吸引口２ｃには不図示の真空発生源が接続されている。
【００３２】
上記裁断台２には裁断台駆動機構６が接続されている。この裁断台駆動部６は切断回数に応じて裁断台２を所定ピッチ移動させるように構成されている。具体的には、切断回数が１００回に達した時点で裁断台２を１ｍｍ程度移動するようになっている。
【００３３】
そして上記載置面２ａにはアンダシート８が配置されている。このアンダシート８は厚みが０．２３〜０．３２ｍｍからなり、かつその厚みのバラツキが５０μｍ以下からなる上質紙により構成されている。
【００３４】
この上質紙は通気性を有しており、その物性値試験例によれば、表２に示すように、坪量２０９．３ｇ／ｍ² 、厚さ０．２３４ｍｍ、密度０．８９４ｇ／ｃｍ³ 、表の平滑度４５ｓ、裏の平滑度３６ｓ、縦の引張り強度１１．０８ｋＮ／ｍ、横の引張り強度６．００ｋＮ／ｍを有している。
【００３５】
次に上記切断装置１による薄物シートＳの切断方法について説明する。
【００３６】
【表２】

【００３７】
本実施形態の薄物シートＳは、多層，積層型の電子部品に採用され、セラミックからなるグリーンシートＳ２にキャリアフィルムＳ１を貼合わせてなり、これを単層の状態で，もしくは複数層重ね合わせた状態で所定寸法に切断することにより部品素子を構成するものである。
【００３８】
まず、薄物シートＳを裁断台２のアンダシート８の上面に配置し、この状態で真空発生源によりアンダシート８を介して薄物シートＳを吸引し、該アンダシート８上面に固定する。
【００３９】
この状態にて切断刃３を下降させる。すると切断刃３の刃先３ａが薄物シートＳのキャリアフィルムＳ１を圧縮して切断し、続いてグリーンシートＳ２を圧縮して切断し、アンダシート８に食い込むように進入する。この場合、上記刃先３ａの圧縮力によるキャリアフィルムＳ１，グリーンシートＳ２の変形はアンダシート８により抑制されることとなる。このようにして薄物シートＳが切断される。
【００４０】
次いで切断刃３が上昇するとともに、予め設定された切断寸法に応じたピッチだけ移動し、再度下降して上記同様に薄物シートＳを切断する。このような動作を繰り返すことによって所定寸法からなる多数の部品素子を形成する。ここで、上記切断刃３による切断回数が例えば１００回を越えると裁断台駆動機構６が裁断台２を１ｍｍ移動させる。これによりアンダシート８に食い込む切断刃３の位置がずれることとなる。
【００４１】
このように本実施形態によれば、上質紙からなるアンダシート８を介在させて薄物シートＳを切断したので、該アンダシート８が薄物シートＳの切断部での変形を抑制することとなり、キャリアフィルムＳ１とグリーンシートＳ２との層間剥離を防止でき、品質に対する信頼性を向上できる。
【００４２】
また上記切断刃３による圧縮力が薄物シートＳの一線上にのみ作用することから、切断ひげの発生を防止でき、この点からも品質に対する信頼性を向上できる。さらに１枚の切断刃３で切断するので、従来の固定刃と可動刃との隙間調整を不要にでき、構造を簡略化できるとともにコストを低減できる。
【００４３】
本実施形態では、切断回数が例えば１００回を越えた時点でアンダシート８を移動させて切断刃３の食い込み位置を変えるようにしたので、薄物シートＳにアンダシート８の切り屑が付着したり，切断痕による傷がついたりするのを防止でき、またアンダシート８の交換頻度を少なくすることができ、コストの低減が可能となる。
【００４４】
本実施形態では、裁断台２に形成された吸引孔２ｂにより通気性を有するアンダシート８を介して薄物シートＳを吸引固定したので、切断時に薄物シートＳの切断部分が変形するのを抑えることができ、キャリアフィルムＳ１とグリーンシートＳ２との層間剥離をより確実に防止できる。また薄物シートＳをアンダシート８に固定した状態で切断するので、切断時の寸法精度のばらつきを防止できる。
【００４５】
なお、上記実施形態では、アンダシート８に上質紙を採用した場合を例に説明したが、本発明のアンダシートはこれに限られるものではなく、例えば、パルプ中にアクリル系の樹脂を含浸させた樹脂含浸紙材を採用してもよく、このようにしたのが請求項４の発明である。この樹脂含浸紙材を用いた場合には、切断刃の切り込みによる繊維の飛散を抑えることができ、異物の混入を防止できる。また、アンダシートとしては多孔質シート，あるいはスポンジ，ゴム等を採用してもよい。
【００４６】
表３は、樹脂含浸紙材の物性値試験例を示しており、坪量１７７．６ｇ／ｍ² 、厚さ０．２６１ｍｍ、密度０．６８０ｇ／ｃｍ³ 、表の平滑度５ｓ、裏の平滑度５ｓ、縦の引張り強度２１．４５ｋＮ／ｍ、横の引張り強度１１．４５ｋＮ／ｍを有している。また、樹脂含浸紙製品の規格例としては、表４に示すように、坪量１７５±１０ｇ／ｍ² 、厚さ０．２６±０．０３ｍｍ程度のものが好ましい。
【００４７】
【表３】

【００４８】
【表４】

【００４９】
また、上記実施形態では、裁断台２に真空発生源に接続された吸引孔２ｂを形成し、該吸引孔２ｂによりアンダシート８を介して薄物シートＳを吸引固定した場合を説明したが、本発明では、図６に示すように、一対の挟持具１０により薄物シートＳの両面を挟持し、これによりアンダシート８に固定してもよく、このようにしたのが請求項５の発明である。このようにした場合には、切断時に薄物シートＳの切断部が変形するのを抑えることができ、キャリアフィルムＳ１とグリーンシートＳ２との層間剥離をより確実に防止できるとともに、寸法精度のばらつきを防止でき、上記実施形態と同様の効果が得られる。
【００５０】
さらに、図７に示すように、真空源に連通接続された吸引孔１１ａが形成された吸引具１１により薄物シートＳの下面を吸引保持することによりアンダシート８に固定してもよく、このようにしたのが請求項６の発明である。この場合においても、切断時に薄物シートＳの切断部が変形するのを抑えることができ、キャリアフィルムＳ１とグリーンシートＳ２との層間剥離をより確実に防止でき、上記実施形態と同様の効果が得られる。
【００５１】
上記実施形態では、アンダシート８を裁断台２に配置したが、本発明では、図８に示すように、アンダシートと裁断台とを一体化したアンダブロック１３を採用することも可能である。この場合には、裁断台を不要にできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】請求項１，２，３の発明の一実施形態による薄物シートの切断方法を説明するための切断装置の概略構成図である。
【図２】上記切断装置の切断刃の要部を示す概略図である。
【図３】上記切断装置の裁断台の載置面の要部を示す概略図である。
【図４】上記切断装置のアンダシートの要部を示す概略図である。
【図５】上記切断刃の食い込み状態を模式的に示す図である。
【図６】請求項５の発明の一実施形態による切断方法を示す概略構成図である。
【図７】請求項６の発明の一実施形態による切断方法を示す概略構成図である。
【図８】上記アンダシートの変形例を示す概略構成図である。
【図９】従来の一般的な切断方法を示す図である。
【図１０】従来の一般的な切断方法を示す図である。
【図１１】従来方法の問題点を示す図である。
【図１２】従来方法の問題点を示す図である。
【符号の説明】
２裁断台
２ａ載置面
２ｂ吸引孔
３切断刃
３ａ刃先
８アンダシート
１０挟持具
１１吸引具
１３アンダブロック
Ｓ薄物シート
Ｓ１キャリアフィルム
Ｓ２グリーンシート[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a method for cutting a thin sheet formed by laminating a carrier film and a green sheet.
[0002]
[Prior art]
For example, in the case of manufacturing a multilayer or multilayer electronic component, a carrier sheet is bonded to a ceramic green sheet to form a thin sheet, and the thin sheet is cut into a predetermined dimension to form a component element. A method for firing component elements is common.
[0003]
As a method for cutting such a thin sheet, conventionally, as shown in FIG. 9A, the thin sheet S is disposed between the fixed blade 20 and the movable blade 21, and the movable blade 21 is moved up and down. The thin sheet S is disposed on the cutting table 22 by cutting the thin sheet S or fixing the fixed blade 23 to one side of the cutting table 22 and moving the movable blade 24 up and down as shown in FIG. 9B. There is a way to cut.
[0004]
Further, as shown in FIG. 10A, a cutting blade 26 is disposed so as to be movable up and down above the cutting table 25 in which a V-shaped groove 25a is formed, and the cutting blade 26 is lowered to enter the groove 25a. There is a method in which the thin sheet S is cut so as to enter, or as shown in FIG. 10B, the thin sheet S is cut so as to enter the groove 25a while rotating the rotary blade 27. .
[0005]
[Problems to be solved by the invention]
However, when the thin sheet S is cut by the shearing force generated by the conventional

fixed blades

20 and 23 and the

movable blades

21 and 24, as shown in FIG. There is a problem that the film is easily deformed in the cutting direction, and the delamination 30 between the carrier film S1 and the green sheet S2 may occur, which adversely affects the quality of the product.
[0006]
When the thin sheet S is cut by the shearing force between the conventional cutting blade 26 and the edge 25b of the groove 25a, as shown in FIG. 11B, the cut portion of the thin sheet S is in the groove 25a. There is a risk of delamination 30 between the carrier film S1 and the green sheet S2 due to significant deformation. Further, even when the conventional rotary blade 27 sequentially cuts in the cutting direction with a shearing force, the cut portion of the thin sheet S is likely to be deformed, and there is a problem that delamination occurs as described above.
[0007]
Such delamination 30 is conspicuous when cutting a thin sheet S formed by laminating a carrier film S1 and a green sheet S2 of different materials, and countermeasures in this respect are required.
[0008]
On the other hand, in the case of the structure in which the conventional fixed blade 20 and the movable blade 21 are used for cutting, it takes time to adjust the minute gap t between the two (see FIG. Fine cut pieces, so-called cut whiskers 31 may occur from the beginning, and there is a problem that the quality is adversely affected (see FIGS. 11A and 12B).
[0009]
The present invention has been made in view of the above-described conventional situation, and provides a thin sheet cutting method that can prevent delamination between a carrier film and a green sheet at the time of cutting and can prevent generation of a cutting whisker. It is aimed.
[0010]
[Means for Solving the Problems]
According to the first aspect of the present invention, there is provided a thin sheet formed by disposing an undersheet having a hardness with which a cutting blade can enter on a mounting surface of a cutting table, and laminating a carrier film and a green sheet on the undersheet. In a mounted state, the cutting blade disposed above the cutting table is cut while compressing the carrier film, then cutting while compressing the green sheet, and further lowered until it bites into the undersheet By cutting the thin sheet, the thin sheet is cut into a predetermined size.
[0011]
The invention of claim 2 is characterized in that, in claim 1, the position of the undersheet into which the cutting blade bites is changed according to the number of times of cutting.
[0012]
Here, changing the biting position of the cutting blade means moving either the cutting blade or the undersheet so that the biting position changes.
[0013]
According to a third aspect of the present invention, in the first or second aspect, the undersheet is made of air permeable material, and the cutting table is formed with a suction hole communicating with the mounting surface, and a vacuum is generated in the suction hole. A source is connected, and the thin sheet is sucked and fixed onto the undersheet.
[0014]
According to a fourth aspect of the present invention, in any one of the first to third aspects, the undersheet is a resin-impregnated paper material.
[0015]
According to a fifth aspect of the present invention, in the first or second aspect, the thin sheet is clamped by a clamping tool and fixed on the undersheet.
[0016]
A sixth aspect of the invention is characterized in that, in the first or second aspect, the thin sheet is sucked and held by a suction tool connected to a vacuum generation source and fixed on the undersheet.
[0017]
[Effects of the invention]
In the cutting method according to the first aspect of the present invention, since the thin sheet is cut by the cutting blade with the undersheet having a hardness that allows the cutting blade to enter, the undersheet is deformed at the cut portion of the thin sheet. As a result, the problem of delamination between the carrier film and the green sheet can be solved, and the reliability of quality can be improved.
[0018]
Further, since the compressive force of the cutting blade acts only on the cutting blade contact portion of the thin sheet, the generation of cutting whiskers can be prevented, and the reliability with respect to quality can be improved also in this respect. Further, since the cutting is performed with one cutting blade, it is unnecessary to adjust the gap between the conventional fixed blade and the movable blade, the structure can be simplified and the cost can be reduced.
[0019]
In the invention of claim 2, since the position where the cutting blade of the undersheet bites is changed according to the number of times of cutting, the replacement frequency of the undersheet is reduced by moving either the cutting blade or the undersheet. This can reduce the cost. That is, if the cutting blade repeatedly bites into the same position of the undersheet, undersheet chips are generated and the chips adhere to the thin sheet, or the thin sheet is damaged by the cut marks generated in the undersheet. There is a fear. In order to prevent such chip adhesion and damage, it is necessary to frequently replace the undersheet, which increases the cost.
[0020]
In the invention of claim 3, since the thin sheet is sucked and fixed through the undersheet having air permeability by the suction hole formed in the cutting table, it is possible to suppress deformation of the cut portion of the thin sheet at the time of cutting, The delamination between the carrier film and the green sheet can be prevented more reliably. In addition, since the thin sheet is cut while being fixed to the under sheet, variation in dimensional accuracy during cutting can be prevented.
[0021]
In the invention of claim 4, since the resin-impregnated paper material is used for the undersheet, it is possible to suppress the scattering of the fibers due to the cutting of the cutting blade, and to prevent foreign matters from being mixed. By the way, when plain paper is used, the fibers are easily scattered by cutting.
[0022]
In the invention of claim 5, since the thin sheet is fixed to the under sheet in a state of being sandwiched by a sandwiching tool, it is possible to suppress deformation of the cut portion of the thin sheet during cutting, and delamination between the carrier film and the green sheet Can be prevented more reliably, and variations in dimensional accuracy can be prevented, and the same effect as in the third aspect can be obtained.
[0023]
In the invention of claim 6, since the thin sheet is fixed to the under sheet while being sucked and held by the suction tool, deformation of the cut portion of the thin sheet at the time of cutting can be suppressed, and the interlayer between the carrier film and the green sheet can be suppressed. While peeling can be prevented more reliably, variation in dimensional accuracy can be prevented, and the same effect as in the third aspect can be obtained.
[0024]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.
[0025]
FIGS. 1 to 5 are views for explaining a thin sheet cutting method according to an embodiment of the first, second, and third aspects of the invention. FIG. 1 is a schematic configuration diagram of the cutting device, and FIGS. 3 and 4 are schematic views of the main part of the cutting device, respectively, and FIG. 5 is a view schematically showing the cutting blade biting state.
[0026]
In the figure, reference numeral 1 denotes a cutting device, which is configured by disposing a cutting blade 3 so as to be movable up and down above a cutting table 2 having a mounting surface 2a formed on the upper surface. The cutting blade 3 is supported by a holding member 4, and an elevating drive unit 5 is connected to the support member 4.
[0027]
The cutting blade 3 has a thin flat plate shape, but its blade edge 3a has a slight waviness and a slight inclination in the mounting angle. Variations in the distance A between the tip of the blade edge 3a and the mounting surface 2a of the cutting table 2 due to the mounting inclination and undulation are configured to be 100 μm or less. The surface roughness B of the placement surface 2a is set to 50 μm or less.
[0028]
As shown in Table 1, the cutting blade 3 is made of 13Cr stainless steel, has a thickness of 0.25 ± 0.009 mm, a width of 22.2 ± 0.1 mm, a length of 155 ± 0.3 mm, a hardness of 770 IIV or more, and a cutting edge. The angle is 23 ± 1 degree, and the height of the acute angle portion of the blade edge is 1.0 ± 0.10 mm.
[0029]
[Table 1]

[0030]
The cutting blade 3 is provided with a stopper mechanism (not shown). This stopper mechanism regulates the bottom dead center position when the cutting blade 3 is cut, and the variation in the distance C between the bottom dead center of the cutting blade 3 and the mounting surface 2a of the cutting table 2 due to repeated cutting operations. Is always set to 50 μm or less.
[0031]
The cutting table 2 has a plurality of suction holes 2b communicating with the mounting surface 2a. Each suction hole 2b is connected to a common suction port 2c, and the suction port 2c is not shown. A vacuum source is connected.
[0032]
A cutting table driving mechanism 6 is connected to the cutting table 2. The cutting table drive unit 6 is configured to move the cutting table 2 by a predetermined pitch according to the number of times of cutting. Specifically, when the number of times of cutting reaches 100 times, the cutting table 2 is moved about 1 mm.
[0033]
An undersheet 8 is disposed on the placement surface 2a. The undersheet 8 is made of high-quality paper having a thickness of 0.23 to 0.32 mm and a thickness variation of 50 μm or less.
[0034]
This high quality paper has air permeability. According to the physical property value test example, as shown in Table 2, the basis weight is 209.3 g / m ² , the thickness is 0.234 mm, and the density is 0.894 g / cm ^3. The front surface has a smoothness of 45 s, the back surface has a smoothness of 36 s, a longitudinal tensile strength of 11.08 kN / m, and a lateral tensile strength of 6.00 kN / m.
[0035]
Next, a method for cutting the thin sheet S by the cutting apparatus 1 will be described.
[0036]
[Table 2]

[0037]
The thin sheet S of this embodiment is employed in multilayer and multilayer electronic components, and is formed by laminating a carrier film S1 on a green sheet S2 made of ceramic, and this is laminated in a single layer or in a plurality of layers. The component element is configured by cutting into a predetermined dimension in the state.
[0038]
First, the thin sheet S is arranged on the upper surface of the under sheet 8 of the cutting table 2, and in this state, the thin sheet S is sucked through the under sheet 8 by a vacuum generation source and fixed to the upper surface of the under sheet 8.
[0039]
In this state, the cutting blade 3 is lowered. Then, the cutting edge 3a of the cutting blade 3 compresses and cuts the carrier film S1 of the thin sheet S, then compresses and cuts the green sheet S2, and enters the undersheet 8 so as to bite. In this case, the deformation of the carrier film S1 and the green sheet S2 due to the compressive force of the cutting edge 3a is suppressed by the undersheet 8. In this way, the thin sheet S is cut.
[0040]
Next, the cutting blade 3 moves up, moves by a pitch corresponding to a preset cutting dimension, descends again, and cuts the thin sheet S in the same manner as described above. By repeating such an operation, a large number of component elements having predetermined dimensions are formed. Here, when the number of times of cutting by the cutting blade 3 exceeds, for example, 100 times, the cutting table driving mechanism 6 moves the cutting table 2 by 1 mm. Thereby, the position of the cutting blade 3 which bites into the undersheet 8 will shift | deviate.
[0041]
Thus, according to the present embodiment, since the thin sheet S is cut with the undersheet 8 made of high-quality paper interposed, the undersheet 8 suppresses deformation at the cutting portion of the thin sheet S, and the carrier The delamination between the film S1 and the green sheet S2 can be prevented, and the reliability with respect to quality can be improved.
[0042]
Moreover, since the compressive force by the said cutting blade 3 acts only on one line of the thin sheet S, generation | occurrence | production of a cutting whisker can be prevented and the reliability with respect to quality can be improved also from this point. Further, since the cutting is performed with one cutting blade 3, it is unnecessary to adjust the gap between the conventional fixed blade and the movable blade, the structure can be simplified and the cost can be reduced.
[0043]
In this embodiment, since the undersheet 8 is moved to change the biting position of the cutting blade 3 when the number of times of cutting exceeds 100, for example, chips of the undersheet 8 adhere to the thin sheet S. , It is possible to prevent scratches due to cutting marks, and to reduce the frequency of replacement of the undersheet 8, which makes it possible to reduce costs.
[0044]
In the present embodiment, since the thin sheet S is sucked and fixed through the underflow sheet 8 having air permeability by the suction holes 2b formed in the cutting table 2, it is possible to suppress deformation of the cut portion of the thin sheet S during cutting. And delamination between the carrier film S1 and the green sheet S2 can be more reliably prevented. Further, since the thin sheet S is cut in a state where it is fixed to the under sheet 8, variation in dimensional accuracy during cutting can be prevented.
[0045]
In the above-described embodiment, the case where high-quality paper is used for the undersheet 8 has been described as an example. However, the undersheet of the present invention is not limited to this. For example, the pulp is impregnated with an acrylic resin. Alternatively, a resin-impregnated paper material may be employed, and this is the invention of claim 4. When this resin-impregnated paper material is used, the scattering of fibers due to the cutting of the cutting blade can be suppressed, and foreign matters can be prevented from being mixed. Further, as the undersheet, a porous sheet, sponge, rubber or the like may be employed.
[0046]
Table 3 shows physical property value test examples of the resin-impregnated paper material. Basis weight is 177.6 g / m ² , thickness is 0.261 mm, density is 0.680 g / cm ³ , front smoothness is 5 s, back smoothness is shown. It has a degree of 5 s, a longitudinal tensile strength of 21.45 kN / m, and a lateral tensile strength of 11.45 kN / m. Moreover, as a standard example of the resin-impregnated paper product, as shown in Table 4, those having a basis weight of 175 ± 10 g / m ² and a thickness of about 0.26 ± 0.03 mm are preferable.
[0047]
[Table 3]

[0048]
[Table 4]

[0049]
In the above embodiment, the suction hole 2b connected to the vacuum generation source is formed in the cutting table 2, and the thin sheet S is sucked and fixed through the undersheet 8 by the suction hole 2b. In the invention, as shown in FIG. 6, both surfaces of the thin sheet S may be clamped by a pair of clamps 10 and fixed to the undersheet 8 by this, and this is the invention of claim 5. . In this case, it is possible to suppress deformation of the cut portion of the thin sheet S at the time of cutting, and more reliably prevent delamination between the carrier film S1 and the green sheet S2, and variation in dimensional accuracy. The same effect as the above embodiment can be obtained.
[0050]
Further, as shown in FIG. 7, the lower surface of the thin sheet S may be sucked and held by the suction tool 11 in which the suction hole 11a connected to the vacuum source is formed. This is the invention of claim 6. Even in this case, deformation of the cut portion of the thin sheet S during cutting can be suppressed, and delamination between the carrier film S1 and the green sheet S2 can be more reliably prevented, and the same effect as in the above embodiment can be obtained. It is done.
[0051]
In the above embodiment, the undersheet 8 is arranged on the cutting table 2. However, in the present invention, as shown in FIG. 8, an underblock 13 in which the undersheet and the cutting table are integrated may be employed. In this case, a cutting table can be dispensed with.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a cutting apparatus for explaining a thin sheet cutting method according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic view showing a main part of a cutting blade of the cutting apparatus.
FIG. 3 is a schematic view showing a main part of a mounting surface of a cutting table of the cutting apparatus.
FIG. 4 is a schematic view showing a main part of an undersheet of the cutting apparatus.
FIG. 5 is a diagram schematically showing a state in which the cutting blade bites.
6 is a schematic configuration diagram showing a cutting method according to an embodiment of the invention of claim 5. FIG.
7 is a schematic configuration diagram showing a cutting method according to an embodiment of the invention of claim 6. FIG.
FIG. 8 is a schematic configuration diagram showing a modified example of the undersheet.
FIG. 9 is a diagram showing a conventional general cutting method.
FIG. 10 is a diagram showing a conventional general cutting method.
FIG. 11 is a diagram showing a problem of a conventional method.
FIG. 12 is a diagram showing a problem of a conventional method.
[Explanation of symbols]
2 Cutting base

2a Placement surface

2b Suction hole 3 Cutting blade 3a Cutting edge 8 Under sheet 10 Holding tool 11 Suction tool 13 Under block S Thin sheet S1 Carrier film S2 Green sheet

Claims

An undersheet having a hardness that allows a cutting blade to enter on the placement surface of the cutting table is disposed, and a thin sheet formed by laminating a carrier film and a green sheet is placed on the undersheet, and the above Cutting the thin blade by disposing the cutting blade disposed above the cutting table while compressing the carrier film, subsequently cutting the green sheet while compressing, and further lowering the green sheet into the under sheet. A thin sheet cutting method characterized by cutting to a predetermined dimension.

The thin sheet cutting method according to claim 1, wherein the undersheet is cut into a position where the cutting blade bites in accordance with the number of times of cutting.

The undersheet according to claim 1 or 2, wherein the undersheet is air permeable, a suction hole communicating with the mounting surface is formed in the cutting table, and a vacuum generation source is connected to the suction hole, A thin sheet cutting method, wherein the thin sheet is suction-fixed on an under sheet.

4. The thin sheet cutting method according to claim 1, wherein the undersheet is a resin-impregnated paper material.

The thin sheet cutting method according to claim 1 or 2, wherein the thin sheet is clamped by a clamping tool and fixed on the under sheet.

The thin sheet cutting method according to claim 1 or 2, wherein the thin sheet is sucked and held by a suction tool connected to a vacuum generation source and fixed on the under sheet.