JP3964886B2 - Panel cleaning apparatus and method - Google Patents
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 262
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 9
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 9
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 6
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 6
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 3
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 3
- 239000012209 synthetic fiber Substances 0.000 description 3
- 229920002994 synthetic fiber Polymers 0.000 description 3
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 description 3
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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- B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
- B08B1/20—Cleaning of moving articles, e.g. of moving webs or of objects on a conveyor
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
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Description
本発明は、液晶表示装置の液晶パネルのように、表面に高い清浄性が要求されるパネルをクリーニングするための装置及び方法に関する。 The present invention relates to an apparatus and method for cleaning a panel that requires high cleanliness on the surface, such as a liquid crystal panel of a liquid crystal display device.
液晶パネルは、カラーフィルターや透明電極を設置した二枚のガラス基板の間に液晶を封入したものであり、液晶を封入する際に使用した樹脂の残存物など、製造中に発生した異物が不良品を発生させる主な原因となっているため、液晶パネルの表面に付着している異物を除去するクリーニングが行われている。 A liquid crystal panel is one in which liquid crystal is sealed between two glass substrates on which color filters and transparent electrodes are installed, and there is no foreign matter generated during manufacturing, such as the resin residue used when sealing the liquid crystal. Since it is a main cause of generating non-defective products, cleaning is performed to remove foreign substances adhering to the surface of the liquid crystal panel.
このようなパネルのクリーニングは、クリーニングヘッドを使用して行われている。クリーニングヘッドは、ヘッドの下端にコンタクトローラを配列したものであり、このコンタクトローラを介して、ヘッド内部に収容してあるクリーニングテープやクリーニングベルトがパネルの表面に押し付けられる。 Cleaning of such a panel is performed using a cleaning head. The cleaning head has a contact roller arranged at the lower end of the head, and a cleaning tape and a cleaning belt housed in the head are pressed against the surface of the panel through the contact roller.
パネルは、パネルとほぼ同じ厚さの枠材を使用し、さらにパネルの裏面を真空吸着して、一定の位置に固定されている(例えば、特許文献1及び2を参照)。そして、このパネルのクリーニングは、コンタクトローラの中央を通過し且つパネルの表面に垂直な軸に関してクリーニングヘッドを回転させながら、このコンタクトローラを介して、クリーニングテープやクリーニングベルトをパネルの表面に押し付けることによって行われる。 The panel uses a frame material having substantially the same thickness as that of the panel, and is vacuum-adsorbed on the back surface of the panel, and is fixed at a certain position (for example, see Patent Documents 1 and 2). The panel is cleaned by pressing a cleaning tape or cleaning belt against the panel surface through the contact roller while rotating the cleaning head about an axis that passes through the center of the contact roller and is perpendicular to the panel surface. Is done by.
また、二つのクリーニングヘッドを上下に配列し、これらクリーニングヘッドのコンタクトローラで、搬送されているパネルを挟みながら、上側のコンタクトローラをパネル搬送方向と垂直な方向に往復移動させてパネルの両面が同時にクリーニングされている(例えば、特許文献3を参照)。
しかし、クリーニング中、パネルを一定の位置に固定させるため、パネルの裏面を真空吸着しているので、パネルの裏面に吸着痕が形成され、この吸着痕を容易に消すことができない、という問題がある。 However, since the back surface of the panel is vacuum-sucked in order to fix the panel in a fixed position during cleaning, there is a problem that suction marks are formed on the back surface of the panel and this suction mark cannot be easily erased. is there.
また、上下に配列した二つのクリーニングヘッドのコンタクトローラで、搬送されているパネルを挟みながら両面を同時にクリーニングする場合、パネルが一定の高さに維持されて搬送されているので、このパネルを挟む二つのコンタクトローラの高さを一定に維持させる必要があるが、これら二つのコンタクトローラの高さを位置合わせして一定の高さに高精度に維持させることが難しく、このため、クリーニング中にパネルが湾曲したり、破壊することがある、という問題がある。 In addition, when cleaning both surfaces simultaneously with the contact rollers of the two cleaning heads arranged on the upper and lower sides while sandwiching the transported panel, the panel is transported while being maintained at a constant height. Although it is necessary to keep the height of the two contact rollers constant, it is difficult to align the heights of these two contact rollers and maintain them at a constant height with high accuracy. There is a problem that the panel may bend or break.
したがって、本発明の目的は、吸着痕を形成せずに、パネルを搬送しながらクリーニングできるパネルクリーニング装置及び方法を提供することである。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a panel cleaning apparatus and method capable of cleaning while transporting a panel without forming suction marks.
また、本発明の他の目的は、吸着痕を形成せずに、パネルを搬送しながらパネルの両面をクリーニングできるパネルクリーニング装置及び方法を提供することである。 Another object of the present invention is to provide a panel cleaning apparatus and method capable of cleaning both surfaces of a panel while transporting the panel without forming suction marks.
上記目的を達成する本発明のパネルクリーニング装置は、パネルを搬送しながら、このパネルの表面及び裏面のうちのいずれか一方の面をクリーニングするためのクリーニングユニットを備えたクリーニングセクションを有する。 The panel cleaning apparatus of the present invention that achieves the above object has a cleaning section that includes a cleaning unit for cleaning one of the front and back surfaces of the panel while transporting the panel.
クリーニングユニットは、パネルを搬送する搬送手段、及びパネルの一方の面をクリーニングするクリーニング手段から構成される。 The cleaning unit includes a transport unit that transports the panel and a cleaning unit that cleans one surface of the panel.
搬送手段は、クリーニング中にパネルを保持するパネル保持手段、及びクリーニング中にパネルを搬送するベルトコンベヤーから構成される。 The conveying means includes panel holding means for holding the panel during cleaning and a belt conveyor for conveying the panel during cleaning.
パネル保持手段は、クリーニングセクションにパネルを入力する側に配列され、パネルをその表側と裏側から挟んで保持する少なくとも一対のローラから構成される入力側のニップローラ、及びクリーニングセクションからパネルを出力する側に、入力側のニップローラと平行に配列され、パネルをその表側と裏側から挟んで保持する少なくとも一対のローラから構成される出力側のニップローラから構成される。 The panel holding means is arranged on the side where the panel is input to the cleaning section, and is a nip roller on the input side composed of at least a pair of rollers which hold the panel sandwiched from the front side and the back side, and the side which outputs the panel from the cleaning section And an output side nip roller that is arranged in parallel with the input side nip roller and includes at least a pair of rollers that sandwich and hold the panel from the front side and the back side.
入力側のニップローラと出力側のニップローラとの間の間隔が、パネルの長さよりも短い距離にあり、これにより、クリーニング中、パネルが、入力側及び出力側のニップローラのうちの少なくとも一方のニップローラによって保持される。 The distance between the nip roller on the input side and the nip roller on the output side is a distance shorter than the length of the panel, so that during cleaning, the panel is moved by at least one of the nip rollers on the input side and the output side. Retained.
ベルトコンベヤーは、入力側のニップローラと出力側のニップローラとの間に配列される。ベルトコンベヤーは、クリーニングセクションにパネルを入力する側に、入力側のニップローラと平行に配列した入力側のローラ、クリーニングセクションからパネルを出力する側に、入力側のローラと平行に配列した出力側のローラ、これら入力側及び出力側のローラに掛け回したベルト、及びベルトを駆動する手段から構成される。また、ベルトコンベヤーは、これら入力側及び出力側のローラに掛け回したベルトを緊張させるテンションローラからさらに構成され得る。 The belt conveyor is arranged between the nip roller on the input side and the nip roller on the output side. The belt conveyor has an input side roller arranged in parallel with the input side nip roller on the input side of the panel to the cleaning section, and an output side array arranged in parallel with the input side roller on the output side of the panel from the cleaning section. It comprises a roller, a belt wound around these input side and output side rollers, and means for driving the belt. In addition, the belt conveyor may be further configured from a tension roller that tensions the belt wound around the input side and output side rollers.
ベルトは、パネルの一方の面と反対側の他方の面からパネルを支持する。そして、このベルトに支持されたパネルが真直ぐに搬送されるように、ベルトコンベヤーの入力側及び出力側のローラと、パネル保持手段の入力側及び出力側のニップローラとが配列される。 The belt supports the panel from the other side opposite to the one side of the panel. Then, the input side and output side rollers of the belt conveyor and the input side and output side nip rollers of the panel holding means are arranged so that the panel supported by the belt is conveyed straight.
本発明の一つの態様では、クリーニング手段は、クリーニングテープ又はクリーニングベルトをパネルの一方の面に押し付けるためのコンタクトローラ、及びこのコンタクトローラを介してクリーニングテープ又はクリーニングベルトを走行させる手段から構成されるクリーニングヘッドを有し、このコンタクトローラは、パネルの幅よりも長い長さにあり、クリーニングテープ又はクリーニングベルトは、パネルの幅よりも広い幅にある。そして、この態様では、クリーニング手段は、パネルの一方の面に垂直な軸の方向に沿ってクリーニングヘッドを往復移動させる手段、及びパネルの幅方向に沿ってクリーニングヘッドを往復移動させる手段からさらに構成される。 In one aspect of the present invention, the cleaning means includes a contact roller for pressing the cleaning tape or the cleaning belt against one surface of the panel, and a means for running the cleaning tape or the cleaning belt through the contact roller. The cleaning roller has a length longer than the width of the panel, and the cleaning tape or the cleaning belt is wider than the width of the panel. In this aspect, the cleaning means further comprises means for reciprocating the cleaning head along the direction of the axis perpendicular to one surface of the panel, and means for reciprocating the cleaning head along the width direction of the panel. Is done.
また、本発明の他の態様では、クリーニングテープ又はクリーニングベルトをパネルの一方の面に押し付けるためのコンタクトローラ、及びこのコンタクトローラを介してクリーニングテープ又はクリーニングベルトを走行させる手段から構成されるクリーニングヘッドを有し、このコンタクトローラは、入力側のニップローラと出力側のニップローラとの間の間隔よりも短い長さにある。そして、この態様では、クリーニング手段は、パネルの一方の面に垂直な軸の方向に沿ってクリーニングヘッドを往復移動させる手段、パネルの幅方向に沿ってクリーニングヘッドを往復移動させる手段、及びコンタクトローラの中央を通過し且つパネルの一方の面に垂直な軸に関してクリーニングヘッドを回転させる手段からさらに構成される。 In another aspect of the present invention, a cleaning head comprising a contact roller for pressing the cleaning tape or the cleaning belt against one surface of the panel, and means for running the cleaning tape or the cleaning belt via the contact roller. The contact roller has a length shorter than the distance between the nip roller on the input side and the nip roller on the output side. In this aspect, the cleaning means includes means for reciprocating the cleaning head along an axis direction perpendicular to one surface of the panel, means for reciprocating the cleaning head along the width direction of the panel, and contact roller. Further comprising means for rotating the cleaning head about an axis passing through the center of the panel and perpendicular to one side of the panel.
本発明のその他の態様では、クリーニング手段は、表面にクリーニングパッドを貼り付け、このクリーニングパッドをパネルの一方の面に押し付けるコンタクトディスク、及びコンタクトディスクの中心を通過し且つパネルの一方の面に垂直な軸に関してコンタクトディスクを回転させるための手段から構成されるクリーニングヘッドを有し、このコンタクトディスクの直径は、入力側のニップローラと出力側のニップローラとの間の間隔よりも短い長さにある。そして、この態様では、クリーニング手段は、パネルの一方の面に垂直な軸の方向に沿ってクリーニングヘッドを往復移動させる手段、及びパネルの幅方向に沿ってクリーニングヘッドを往復移動させる手段からさらに構成される。 In another aspect of the present invention, the cleaning means attaches a cleaning pad to the surface, presses the cleaning pad against one surface of the panel, and passes through the center of the contact disk and is perpendicular to the one surface of the panel. Having a cleaning head composed of means for rotating the contact disk about an axis, the diameter of the contact disk being shorter than the distance between the nip roller on the input side and the nip roller on the output side. In this aspect, the cleaning means further comprises means for reciprocating the cleaning head along the direction of the axis perpendicular to one surface of the panel, and means for reciprocating the cleaning head along the width direction of the panel. Is done.
本発明のパネルクリーニング方法は、上記本発明のパネルクリーニング装置を使用して、パネルを搬送しながら、パネルの表面及び裏面のうちのいずれか一方の面をクリーニングするものである。 The panel cleaning method of the present invention uses the panel cleaning device of the present invention to clean one of the front and back surfaces of the panel while transporting the panel.
このパネルの搬送は、ベルトを駆動し、次いで、パネル保持手段の入力側のニップローラでパネルを保持し、ベルトでパネルの他方の面からパネルを支持しながら、パネルを搬送する。そして、このパネルをパネル保持手段の出力側のニップローラで保持させ、さらにパネルを搬送する。 The panel is transported by driving the belt, then holding the panel with the nip roller on the input side of the panel holding means, and transporting the panel while supporting the panel from the other surface of the panel with the belt. Then, this panel is held by the nip roller on the output side of the panel holding means, and the panel is further conveyed.
上記の本発明の一つの態様(パネルの幅よりも長い長さにあるコンタクトローラと、パネルの幅よりも広い幅にあるクリーニングテープ又はクリーニングベルトとを使用する)では、パネルが上記のように搬送されているとき、パネルの一方の面に垂直な軸の方向に沿ってクリーニングヘッドを移動して、このパネルの一方の面にコンタクトローラを介してクリーニングテープ又はクリーニングベルトを押し付け、パネルの幅方向に沿ってクリーニングヘッドを往復移動させることによって、パネルの一方の面がクリーニングされる。 In one aspect of the present invention described above (using a contact roller having a length longer than the width of the panel and a cleaning tape or cleaning belt having a width wider than the width of the panel), the panel is as described above. When being transported, the cleaning head is moved along the direction of the axis perpendicular to one side of the panel, and the cleaning tape or the cleaning belt is pressed against the one side of the panel via the contact roller, and the width of the panel One surface of the panel is cleaned by reciprocating the cleaning head along the direction.
上記の本発明の他の態様(入力側のニップローラと出力側のニップローラとの間の間隔よりも短い長さにあるコンタクトローラと、クリーニングテープ又はクリーニングベルトとを使用する)では、パネルが上記のように搬送されているとき、コンタクトローラの中央を通過し且つパネルの一方の面に垂直な軸に関してクリーニングヘッドを回転させながら、パネルの一方の面に垂直な軸の方向に沿ってクリーニングヘッドを移動して、パネルの一方の面にコンタクトローラを介してクリーニングテープ又はクリーニングベルトを押し付け、パネルの幅方向に沿ってクリーニングヘッドを往復移動させることによって、パネルの一方の面がクリーニングされる。 In another aspect of the present invention described above (using a contact roller having a length shorter than the distance between the input side nip roller and the output side nip roller and a cleaning tape or a cleaning belt), the panel is The cleaning head along the direction of the axis perpendicular to one side of the panel while rotating the cleaning head about an axis that passes through the center of the contact roller and perpendicular to one side of the panel. The cleaning tape or the cleaning belt is pressed against one surface of the panel via a contact roller, and the cleaning head is reciprocated along the width direction of the panel to clean one surface of the panel.
上記の本発明のその他の態様(直径が入力側のニップローラと出力側のニップローラとの間の間隔よりも短い長さにあるコンタクトディスクと、クリーニングパッドとを使用する)では、パネルが上記のように搬送されているとき、コンタクトディスクを回転させながら、パネルの一方の面に垂直な軸の方向に沿ってクリーニングディスクをクリーニングヘッドと一緒に移動して、パネルの一方の面にコンタクトディスクの表面に貼り付けたクリーニングパッドを押し付け、パネルの幅方向に沿ってクリーニングディスクをクリーニングヘッドと一緒に往復移動させることによって、パネルの一方の面がクリーニングされる。 In the other aspect of the present invention described above (using a contact disk having a diameter shorter than the distance between the input side nip roller and the output side nip roller and the cleaning pad), the panel is as described above. While rotating the contact disk, move the cleaning disk along with the cleaning head along the direction of the axis perpendicular to one side of the panel while rotating the contact disk. One surface of the panel is cleaned by pressing the cleaning pad affixed to, and reciprocating the cleaning disk along with the cleaning head along the width direction of the panel.
クリーニング中、パネルを真空吸着させることがなく、パネルをベルトコンベヤーにより搬送するので、パネルに吸着痕を形成せずに、パネルを搬送しながらパネルをクリーニングできる。また、パネルがベルトに支持される(すなわち、パネルの一方の面と反対側の他方の面がベルトの面によって支持される)ので、クリーニング中に、パネルが湾曲したり、破壊されることがない。 During cleaning, the panel is transported by a belt conveyor without being vacuum-sucked, so that the panel can be cleaned while transporting the panel without forming suction marks on the panel. Further, since the panel is supported by the belt (that is, the other surface opposite to the one surface of the panel is supported by the surface of the belt), the panel may be bent or destroyed during cleaning. Absent.
二つのクリーニングユニットを使用し、一方のクリーニングユニットをパネルの一方の面をクリーニングするように配列し、他方のクリーニングユニットをパネルの他方の面をクリーニングするように配列して、パネルを片面ずつクリーニングすることにより、吸着痕を形成せずに、パネルを搬送しながらパネルの両面をクリーニングできる。 Using two cleaning units, one cleaning unit is arranged to clean one side of the panel, the other cleaning unit is arranged to clean the other side of the panel, and the panel is cleaned one by one By doing so, both sides of the panel can be cleaned while transporting the panel without forming suction marks.
図1〜図5に、本発明に従ったパネルクリーニング装置を示す。図示のパネルクリーニング装置10は、パネル12の表面をクリーニングするためのクリーニングユニット50を備えたクリーニングセクション11を有し、パネル12をクリーニングセクション11に入力し、パネル12を矢印Xの方向に搬送しながらパネル12の表面をクリーニングし、このパネル12をクリーニングセクション11から出力するものである。
1 to 5 show a panel cleaning apparatus according to the present invention. The illustrated
図示の例では、代表的にパネル12の表面をクリーニングするが、クリーニングユニット50を、図6に示すクリーニングユニット50´のように、パネル12の裏面をクリーニングするように配列してもよい。また、パネル12は、その表面を水平方向の上向き又は下向きにして搬送してもよいし、また鉛直方向の横向きにして搬送(パネル12は、立てた状態で搬送)してもよい。
In the illustrated example, the surface of the
クリーニングユニット50は、パネル12を矢印Xで示す方向に搬送する搬送手段、及びパネル12の表面をクリーニングするクリーニング手段から構成される。
The
搬送手段は、クリーニング中にパネル12を保持するパネル保持手段40、及びクリーニング中にパネル12を搬送するベルトコンベヤー30から構成される。
The conveying means includes a
パネル保持手段40は、クリーニングセクション11にパネル12を入力する側に配列され、パネル12をその表側と裏側から挟んで保持する一対のローラ41a、41bから構成される入力側のニップローラ41、及びクリーニングセクション11からパネル12を出力する側に、入力側のニップローラ41と平行に配列され、パネル12をその表側と裏側から挟んで保持する一対のローラ42a、42bから構成される出力側のニップローラ42から構成される。これらニップローラ41、42は、それぞれ、図示の例では、一対のローラ(41a、41b、42a、42b)により構成されているが、二対以上のローラで構成されてもよい。
The
入力側のニップローラ41と出力側のニップローラ42との間の間隔が、パネル12の長さよりも短い距離にあり、これにより、クリーニング中、パネルが、入力側及び出力側のニップローラのうちの少なくとも一方のニップローラによって保持される。また、これにより、パネル12を立てた状態で搬送してクリーニングしても、パネル12が落下することがない。
The distance between the input-side nip
ベルトコンベヤー30は、図示のように、入力側のニップローラ41と出力側のニップローラ42との間に配列される。
As shown in the figure, the
パネル12は、モータなどにより駆動される複数のローラを並べた既知の手段(例えば、上記の特許文献2を参照)によりクリーニングセクション11に入力され、パネル12がニップローラ41に保持される。
The
ベルトコンベヤー30は、クリーニングセクション11にパネル12を入力する側に、入力側のニップローラ41と平行に配列した入力側のローラ32、クリーニングセクション11からパネル12を出力する側に、入力側のローラ32と平行に配列した出力側のローラ33、これらローラ32、33に掛け回したベルト31、及びベルト31を矢印Tの方向に駆動するベルト駆動手段(図示せず)から構成される。ベルト31の緊張とローラ32、33への着脱は、入力側と出力側のローラ32、33のうちの少なくとも一方のローラを矢印Xの方向(又はこの方向と逆の方向)に移動できるように構成し、このローラを移動させることにより行える。
The
ベルトコンベヤー30は、ベルト31を緊張させるテンションローラ34からさらに構成される。テンションローラ34は、矢印Sで示す方向に移動させることができる。このテンションローラ34を矢印Sの方向に移動させることにより、ローラ32、33に掛け回したベルト31の緊張力を調節することができる。また、これにより、ベルト31の着脱も行える。
The
好適に、モータ(図示せず)が出力側のローラ33に連結され、このモータを駆動することにより、ローラ33が回転し、ベルト31が矢印Tの方向に駆動される。
Preferably, a motor (not shown) is connected to the output-
ベルト31は、パネル12の裏面からパネル12を支持しながら、矢印Xで示す方向にパネル12を搬送する。
The
入力側のニップローラ41は、パネル12を保持しながら、パネル12をベルト31上に矢印Xの方向に真直ぐに入力できるように配列され、出力側のニップローラ42は、ベルト31によって矢印Xの方向に搬送されているパネル12を保持しながら、パネル12をベルト31から矢印Xの方向に真直ぐに出力できるように配列される。
The
ベルト31は、ゴムからなる。そして、パネル12を支持するベルト31の表面は平坦でよいが、図1Bに示すように、ベルト31には、その長手方向に、パネルの幅又はこの幅よりもやや広めで且つパネルの厚さ又はこの厚さよりもやや浅めの溝31aを形成し、クリーニング中に、ベルト31上でパネル12が容易にズレないようにしてもよい。このような溝31aにパネル12を支持させることにより、パネル12を鉛直方向に立てて搬送しても、クリーニング中に、パネル12が容易に落下することがなく、パネル12の搬送経路を一定に維持できる。
The
クリーニング手段は、上記の搬送手段30、40により矢印Xで示す方向に搬送されているパネル12の表面をクリーニングするためのものである。
The cleaning means is for cleaning the surface of the
クリーニング手段は、図1Aに示すように、クリーニングテープ22をパネル12の表面に押し付けるコンタクトローラ21、及びこのコンタクトローラ21を介してクリーニングテープ22を走行させる手段から構成されるクリーニングヘッド20を有する。
As shown in FIG. 1A, the cleaning unit has a cleaning
このクリーニングヘッド20は、図示のように、未使用のクリーニングテープ22を巻き付けてあるテープローラ25をハウジング内にカードリッジ式に収容し、クリーニングテープ22は、このテープローラ25から送り出され、コンタクトローラ21を介し、巻取りローラ26に巻き取られる。クリーニングテープ22の送出しと巻取りは、テープローラ25と巻取りローラ26に連結したモータ(図示せず)によって行われ、これにより、クリーニングテープ22がコンタクトローラ21を介して走行する。図示のクリーニングヘッド20では、常に、未使用のクリーニングテープをパネル12の表面に押し付けてクリーニングできる。クリーニングテープ22として、合成繊維製の織布又は不織布或いは発泡体からなるテープが使用される。
As shown in the figure, the cleaning
変形的に、クリーニングテープ22を使用するクリーニングヘッド20に代えて、図2Aに示すように、クリーニング中、モータなどの手段により駆動されるクリーニングベルト23を使用するクリーニングヘッド20を使用してもよい。この場合、クリーニングヘッド20をより小型化、軽量化できる。クリーニングベルト23として、合成繊維製の織布又は不織布或いは発泡体からなるベルト(例えば、特開2004−98218を参照)が使用される。
Alternatively, instead of the cleaning
また、上記のクリーニングテープ22やクリーニングベルト23を使用するクリーニングヘッド20に代えて、表面にクリーニングパッド28を貼り付け、このクリーニングパッド28をパネル12の表面に押し付けるコンタクトディスク27、及びコンタクトディスク27の中心を通過し且つパネルの表面に垂直な符号24で示す軸(回転軸)に関してコンタクトディスク27を矢印rの方向に回転させるためのモータ29から構成されるクリーニングヘッド20を使用してもよい。この場合、クリーニングヘッド20をより小型化、軽量化できる。
Further, instead of the cleaning
本発明の一つの態様を図3に示す。図示の態様では、パネル12の表面のクリーニングは、図1A又は図2Aに示すクリーニングヘッド20を使用して行われ、コンタクトローラ21の長さは、パネル12の幅よりも長い長さにあり、クリーニングテープ22又はクリーニングベルト23は、パネル12の幅よりも広い幅にある。
One embodiment of the present invention is shown in FIG. In the illustrated embodiment, the surface of the
この態様では、ベルト31によって矢印Xの方向に搬送されているパネル12の表面にコンタクトローラ21を介してクリーニングテープ22又はクリーニングベルト23を押し付けながら、クリーニングヘッド20をパネル12の幅方向(矢印Yの方向)に沿って往復移動させ、これにより、パネル12の表面がクリーニングされる。
In this embodiment, the cleaning
このY方向の往復移動は、例えば、クリーニングヘッド20を取り付けた保持台(図示せず)をパネル12の幅方向(矢印Yの方向)に伸びるガイドレール上に滑動可能に乗せ、この保持台をクランクシャフト機構により往復移動させるような既知の手段(図示せず)により行える(例えば、特許文献3を参照)。
The reciprocating movement in the Y direction is performed by, for example, placing a holding table (not shown) with the cleaning
また、クリーニングテープ22又はクリーニングベルト23は、クリーニングヘッド20を矢印Zの方向(パネル12の表面に垂直な方向)に往復移動させることによりパネル12の表面に押し付けられる。この往復移動は、サーボモータとボールネジなどを組み合わせて使用して、クリーニングヘッド20を、上記のY方向往復移動手段と一体的に矢印Zの方向に往復移動させるような既知の手段(図示せず)により行える(例えば、特許文献1を参照)。
Further, the cleaning
本発明の他の態様を図4に示す。図示の態様では、パネル12の表面のクリーニングは、パネル12の表面のクリーニングは、図1A又は図2Aに示すクリーニングヘッド20を使用して行われ、コンタクトローラ21は、ニップローラ41、42の間の間隔よりも短い長さにある。
Another embodiment of the present invention is shown in FIG. In the illustrated embodiment, the surface of the
この態様では、ベルト31によって矢印Xの方向に搬送されているパネル12の表面にコンタクトローラ21を介してクリーニングテープ22又はクリーニングベルト23を押し付け、ニップローラ41、42の間で、コンタクトローラ21の中央を通過し且つパネル12の表面に垂直な符号24で示す軸(回転軸)に関してクリーニングヘッド20を矢印Rの方向に回転させながら、クリーニングヘッド20をパネル12の幅方向(矢印Yの方向)に沿って往復移動させ、これにより、パネル12の表面がクリーニングされる。
In this embodiment, the cleaning
このクリーニングヘッド20の回転は、例えば、モータを取り付けた保持台にクリーニングヘッド20を回転可能に取り付け、ベルトなどを使用してこのモータにクリーニングヘッド20を連結した既知の手段(図示せず)により行える(例えば、特許文献1を参照)。
The cleaning
クリーニングヘッド20の回転軸24は、ローラ32、33の間の中央に位置し、クリーニングヘッド20は、これらローラ32、33の間で、パネル12の幅方向(図2に矢印Yで示す方向)に往復移動できる。
The
このY方向の往復移動は、上記のY方向の往復移動と同様に、例えば、パネル12の幅方向(矢印Yの方向)に伸びるガイドレール上に上記の保持台(クリーニングヘッド20が回転可能に取り付けられている)を滑動可能に乗せ、この保持台をクランクシャフト機構やサーボモータとネジなどを使用することにより往復移動させるような既知の手段(図示せず)により行える(例えば、特許文献3、及び特開2003−117796の段落0030、0031に記載の“一方向移動手段”を参照)。
The reciprocating movement in the Y direction is similar to the reciprocating movement in the Y direction. For example, the holding table (the cleaning
クリーニングテープ22又はクリーニングベルト23は、クリーニングヘッド20を矢印Zの方向(パネル12の表面に垂直な方向)に往復移動させることによりパネル12の表面に押し付けられる。この往復移動は、サーボモータとボールネジなどを組み合わせて使用して、クリーニングヘッド20を、上記のヘッド回転手段やY方向往復移動手段と一体的に矢印Zの方向に往復移動させるような既知の手段(図示せず)により行える(例えば、特許文献1を参照)。
The cleaning
図5に本発明のその他の態様を示す。図示の態様では、パネル12の表面のクリーニングは、図2Bに示すクリーニングヘッド20を使用して行われ、コンタクトディスク27の直径は、入力側のニップローラ41と出力側のニップローラ42との間の間隔よりも短い長さにある。
FIG. 5 shows another embodiment of the present invention. In the illustrated embodiment, the surface of the
この態様では、ベルト31によって矢印Xの方向に搬送されているパネル12の表面にコンタクトディスク27を介してクリーニングパッド28を押し付け、コンタクトディスク27の中心を通過し且つパネル12の表面に垂直な矢印24で示す軸(回転軸)に関してコンタクトディスク27を矢印Rの方向に回転させながら、パネル12の幅方向に沿ってクリーニングディスク27をクリーニングヘッド20と一緒に矢印Yの方向に往復移動させ、これにより、パネル12の表面がクリーニングされる。
In this embodiment, the
このクリーニングディスク27は、クリーニングヘッド20のモータ29に連結されており、このモータ29を駆動すると、矢印Rの方向に回転する。
The
クリーニングディスク27の回転軸24は、ローラ32、33の間の中央に位置し、クリーニングディスク27は、クリーニングヘッド20と一体となって、これらローラ32、33の間で、パネル12の幅方向(図5に矢印Yで示す方向)に往復移動できる。
The rotating
このY方向の往復移動は、上記のY方向の往復移動と同様に、例えば、パネル12の幅方向(矢印Yの方向)に伸びるガイドレール上に、クリーニングヘッド20を取り付けている保持台を滑動可能に乗せ、この保持台をクランクシャフト機構やサーボモータとネジなどを使用することにより往復移動させるような既知の手段(図示せず)により行える。
The reciprocating movement in the Y direction is similar to the reciprocating movement in the Y direction described above, for example, by sliding the holding table on which the
クリーニングパッド28は、クリーニングヘッド20を矢印Zの方向(パネル12の表面に垂直な方向)に往復移動させることにより、コンタクトディスク27を介してパネル12の表面に押し付けられる。この往復移動は、サーボモータとボールネジなどを組み合わせて使用して、クリーニングヘッド20を、上記のY方向往復移動手段と一体的に矢印Zの方向に往復移動させるような既知の手段(図示せず)により行える。
The
クリーニングパッド28として、合成繊維製の織布又は不織布或いは発泡体からなるパッドが使用される。
As the
図6に、本発明に従ってパネルの両面をクリーニングするパネルクリーニング装置10を示す。図示のパネルクリーニング装置10は、パネルの表面をクリーニングするクリーニングセクション11と、パネルの裏面をクリーニングするクリーニングセクション11´とを有する。
FIG. 6 shows a
クリーニングセクション11´に備えられるクリーニングユニット50´は、クリーニングセクション11に備えられるクリーニングユニット50と実質的に同一の構成にある。すなわち、クリーニングユニット50´を構成するクリーニングヘッド20´、ベルトコンベヤー30´、パネル保持手段40´は、それぞれ、クリーニングユニット50を構成するクリーニングヘッド20、ベルトコンベヤー30、パネル保持手段40と実質的に同一の構成にあり、クリーニングセクション11´では、これら構成成分20、30、40を、パネル12の真直ぐな搬送経路に関して線対称となるように配列しただけである。
The
図示の例では、クリーニングセクション11でパネル12を矢印Xの方向に搬送しながら、その表面をクリーニングし、さらに搬送して、表面のクリーニングを終えたパネル12をクリーニングセクション11から出力する。これに続けて、クリーニングセクション11´に入力され、クリーニングセクション11´で、クリーニングユニット50´によって、矢印Xの方向にパネルを搬送しながら、その裏面がクリーニングされ、さらに搬送してクリーニングセクション11´から出力する。(ここで、クリーニングセクション11´で矢印Xの方向に搬送されている符号12´で示すパネルは、クリーニングセクション11でその表面が既にクリーニングされ、クリーニングセクション11´でその裏面がクリーニングされているものである。)これにより、パネル12の両面がクリーニングされる。
In the illustrated example, the
このように、二つのクリーニングユニット50、50´を使用し、一方のクリーニングユニット50をパネル12の表面をクリーニングするように配列し、他方のクリーニングユニット50´をパネル12の裏面をクリーニングするように配列して、パネル12を片面ずつクリーニングすることによって、パネル12を搬送しながらパネル12の両面がクリーニングされる。
In this way, two cleaning
なお、図6に示す例では、図1A及び図2Aに示すクリーニングヘッド20、20´が示されているが、このクリーニングヘッドに代えて、図2Bに示すクリーニングヘッド20を使用することができる。また、これら図1A、図1A及び図2Bに示すクリーニングヘッドを組み合わせて配列してもよい。
In the example shown in FIG. 6, the cleaning heads 20 and 20 ′ shown in FIGS. 1A and 2A are shown, but instead of this cleaning head, the cleaning
10・・・パネルクリーニング装置
11、11´・・・クリーニングセクション
12、12´・・・パネル
20、20´・・・クリーニングヘッド
21・・・コンタクトローラ
22・・・クリーニングテープ
23・・・クリーニングベルト
24・・・回転軸
25・・・テープローラ
26・・・巻取りローラ
27・・・コンタクトディスク
28・・・クリーニングパッド
29・・・モータ
30、30´・・・ベルトコンベヤー
31・・・ベルト
32・・・入力側のローラ
33・・・出力側のローラ
34・・・テンションローラ
40、40´・・・パネル保持手段
41、42・・・ニップローラ
41a、41b、42a、42b・・・ローラ
50、50´・・・クリーニングユニット
R・・・ヘッド回転方向
r・・・コンタクトディスク回転方向
S・・・テンションローラ移動方向
T・・・ベルト駆動方向
X・・・パネル搬送方向
Y・・・パネルの幅の方向
Z・・・パネルの表面に垂直な軸の方向
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記クリーニングユニットが、
パネルを搬送する搬送手段、及び
前記パネルの一方の面をクリーニングするクリーニング手段、
から成り、
前記搬送手段が、
(1)クリーニング中にパネルを保持するパネル保持手段であって、
前記クリーニングセクションに前記パネルを入力する側に配列され、パネルをその表側と裏側から挟んで保持する少なくとも一対のローラから成る入力側のニップローラ、及び
前記クリーニングセクションから前記パネルを出力する側に、前記入力側のニップローラと平行に配列され、パネルをその表側と裏側から挟んで保持する少なくとも一対のローラから成る出力側のニップローラ、
から成り、
前記入力側のニップローラと前記出力側のニップローラとの間の間隔が、前記パネルの長さよりも短い距離にあり、クリーニング中、前記パネルが、前記入力側及び出力側のニップローラのうちの少なくとも一方のニップローラによって保持される、
ところのパネル保持手段、及び
(2)前記入力側のニップローラと前記出力側のニップローラとの間に配列され、クリーニング中に前記パネルを搬送するベルトコンベヤーであって、
前記クリーニングセクションに前記パネルを入力する側に、前記入力側のニップローラと平行に配列した入力側のローラ、
前記クリーニングセクションから前記パネルを出力する側に、前記入力側のローラと平行に配列した出力側のローラ、
前記入力側のローラと前記出力側のローラに掛け回したベルト、及び
前記ベルトを駆動する手段、
から成り、
前記ベルトが前記パネルの一方の面と反対側の他方の面から前記パネルを支持し、前記ベルトに支持された前記パネルが真直ぐに搬送されるように、前記ベルトコンベヤーの前記入力側及び出力側のローラと、前記パネル保持手段の前記入力側及び出力側のニップローラとが配列される、
ところのベルトコンベヤー、
から成る、
ところのパネルクリーニング装置。 A panel cleaning device having a cleaning section having a cleaning unit for cleaning either one of the front and back surfaces of the panel while transporting the panel,
The cleaning unit is
A conveying means for conveying the panel; and a cleaning means for cleaning one surface of the panel;
Consisting of
The conveying means is
(1) Panel holding means for holding the panel during cleaning,
A nip roller on the input side, which is arranged on the input side of the panel to the cleaning section, and which holds the panel sandwiched from the front side and the back side thereof, and on the output side of the panel from the cleaning section, An nip roller on the output side, which is arranged in parallel with the nip roller on the input side and comprises at least a pair of rollers that hold the panel sandwiched from the front side and the back side thereof
Consisting of
The distance between the input side nip roller and the output side nip roller is shorter than the length of the panel, and during cleaning, the panel is at least one of the input side and output side nip rollers. Held by nip rollers,
Panel holding means, and (2) a belt conveyor arranged between the input-side nip roller and the output-side nip roller, for conveying the panel during cleaning,
An input side roller arranged in parallel with the input side nip roller on the side of inputting the panel to the cleaning section;
On the output side of the panel from the cleaning section, an output side roller arranged in parallel with the input side roller,
A belt wound around the input side roller and the output side roller, and means for driving the belt;
Consisting of
The input side and the output side of the belt conveyor so that the belt supports the panel from the other side opposite to one side of the panel, and the panel supported by the belt is conveyed straight. And the nip rollers on the input side and output side of the panel holding means are arranged,
The belt conveyor,
Consisting of,
Panel cleaning device.
(1)クリーニングテープ又はクリーニングベルトを前記パネルの一方の面に押し付けるコンタクトローラ、及びこのコンタクトローラを介して前記クリーニングテープ又はクリーニングベルトを走行させる手段から成るクリーニングヘッドであって、
前記コンタクトローラが、前記パネルの幅よりも長い長さにあり、前記クリーニングテープ又はクリーニングベルトが、前記パネルの幅よりも広い幅にある、
ところのクリーニングヘッド、
(2)前記パネルの一方の面に垂直な軸の方向に沿って前記クリーニングヘッドを往復移動させる手段、及び
(3)前記パネルの幅方向に沿って前記クリーニングヘッドを往復移動させる手段、
から成る、
ところの請求項1のパネルクリーニング装置。 The cleaning means
(1) A cleaning head comprising a contact roller for pressing a cleaning tape or a cleaning belt against one surface of the panel, and a means for running the cleaning tape or the cleaning belt through the contact roller,
The contact roller is longer than the width of the panel, and the cleaning tape or cleaning belt is wider than the width of the panel.
The cleaning head,
(2) means for reciprocating the cleaning head along an axis direction perpendicular to one surface of the panel; and (3) means for reciprocating the cleaning head along the width direction of the panel;
Consisting of,
However, the panel cleaning apparatus according to claim 1.
(1)表面にクリーニングパッドを貼り付け、このクリーニングパッドを前記パネルの一方の面に押し付けるコンタクトディスク、及び前記コンタクトディスクの中心を通過し且つ前記パネルの一方の面に垂直な軸に関して前記コンタクトディスクを回転させるための手段から成るクリーニングヘッドであって、
前記コンタクトディスクの直径が、前記入力側のニップローラと前記出力側のニップローラとの間の間隔よりも短い長さにある、
ところのクリーニングヘッド、
(2)前記パネルの一方の面に垂直な軸の方向に沿って前記クリーニングヘッドを往復移動させる手段、及び
(3)前記パネルの幅方向に沿って前記クリーニングヘッドを往復移動させる手段、
から成る、
ところの請求項1のパネルクリーニング装置。 The cleaning means
(1) A contact pad for attaching a cleaning pad to the surface and pressing the cleaning pad against one surface of the panel, and the contact disk with respect to an axis passing through the center of the contact disk and perpendicular to the one surface of the panel A cleaning head comprising means for rotating
The diameter of the contact disk is shorter than the distance between the input side nip roller and the output side nip roller,
The cleaning head,
(2) means for reciprocating the cleaning head along an axis direction perpendicular to one surface of the panel; and (3) means for reciprocating the cleaning head along the width direction of the panel;
Consisting of,
However, the panel cleaning apparatus according to claim 1.
パネルを搬送する搬送工程、及び
前記パネルの表面及び裏面のうちのいずれか一方の面をクリーニングするクリーニング工程、
から成り、
前記搬送工程が、
前記ベルトを駆動する工程、
前記パネル保持手段の前記入力側のニップローラで前記パネルを保持させる工程、
前記ベルトで前記パネルの他方の面から前記パネルを支持しながら、前記パネルを搬送する工程、及び
前記パネル保持手段の前記出力側のニップローラで前記パネルを保持させる工程、
から成る、
ところのパネルクリーニング方法。 A panel cleaning method using the panel cleaning device according to claim 1,
A transporting process for transporting the panel; and a cleaning process for cleaning one of the front surface and the back surface of the panel;
Consisting of
The conveying step is
Driving the belt;
Holding the panel with a nip roller on the input side of the panel holding means;
A step of conveying the panel while supporting the panel from the other surface of the panel by the belt; and a step of holding the panel by a nip roller on the output side of the panel holding means;
Consisting of,
But panel cleaning method.
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004152783A JP3964886B2 (en) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | Panel cleaning apparatus and method |
TW093118648A TW200538211A (en) | 2004-05-24 | 2004-06-25 | Panel cleaning device and method |
KR1020040062659A KR101114726B1 (en) | 2004-05-24 | 2004-08-10 | Apparatus and method of panel cleaning |
CNA2004100576898A CN1701917A (en) | 2004-05-24 | 2004-08-23 | Panel cleaning device and method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004152783A JP3964886B2 (en) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | Panel cleaning apparatus and method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005334684A JP2005334684A (en) | 2005-12-08 |
JP3964886B2 true JP3964886B2 (en) | 2007-08-22 |
Family
ID=35488824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004152783A Expired - Fee Related JP3964886B2 (en) | 2004-05-24 | 2004-05-24 | Panel cleaning apparatus and method |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3964886B2 (en) |
KR (1) | KR101114726B1 (en) |
CN (1) | CN1701917A (en) |
TW (1) | TW200538211A (en) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW200841987A (en) * | 2007-04-16 | 2008-11-01 | Sanshin Co Ltd | Panel grinding device |
KR101270823B1 (en) * | 2011-05-26 | 2013-06-05 | 이진형 | Washing device |
JP6063131B2 (en) * | 2012-02-13 | 2017-01-18 | 日産自動車株式会社 | Battery pressing device and battery pressing method |
JP5855483B2 (en) * | 2012-02-13 | 2016-02-09 | 日産自動車株式会社 | Battery pressing device and battery pressing method |
JP5511880B2 (en) | 2012-04-11 | 2014-06-04 | 株式会社ブルーマウステクノロジー | Power line communication device |
CN102698971A (en) * | 2012-06-04 | 2012-10-03 | 潮州三环(集团)股份有限公司 | Automatic surface cleaning and sweeping device for electronic ceramic sheets |
KR101352387B1 (en) * | 2013-06-12 | 2014-01-16 | 주식회사 코빅 | Dry-type glass panel cleaning apparatus |
CN104415937B (en) * | 2013-08-30 | 2016-08-10 | 温州智创科技有限公司 | A kind of electric coagulation forceps cleans and dries bearing |
KR102272661B1 (en) | 2014-10-02 | 2021-07-06 | 삼성디스플레이 주식회사 | Apparatus for cleaning substrate |
AT516183B1 (en) * | 2014-10-06 | 2016-03-15 | Berndorf Band Gmbh | Method for grinding a weld of a metal strip |
JP6517522B2 (en) * | 2015-01-30 | 2019-05-22 | 株式会社 ハリーズ | Cleaning device and work cleaning system |
CN105921440B (en) * | 2016-07-04 | 2018-01-30 | 国网山东省电力公司莱州市供电公司 | A kind of photovoltaic board cleaning device and its clean method |
CN106733841A (en) * | 2016-12-21 | 2017-05-31 | 重庆天和玻璃有限公司 | Glass bar automatically grinding production line |
CN107262401B (en) * | 2017-06-29 | 2023-05-26 | 芜湖莫森泰克汽车科技股份有限公司 | Automatic cleaning device for edges of automobile panoramic sunroof glass |
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US11155428B2 (en) * | 2018-02-23 | 2021-10-26 | International Test Solutions, Llc | Material and hardware to automatically clean flexible electronic web rolls |
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CN110026388B (en) * | 2019-03-06 | 2021-09-03 | 中义(杭州)医药科技有限公司 | Dust sticking mechanism for cleaning surface of flexible circuit board |
JP7359125B2 (en) * | 2020-10-14 | 2023-10-11 | トヨタ自動車株式会社 | Transfer substrate recycling device and transfer substrate recycling method |
IT202100003830A1 (en) * | 2021-02-19 | 2022-08-19 | Giorgio Petratto | EQUIPMENT FOR CLEANING SHEETS OF PAPER |
KR102541947B1 (en) * | 2021-07-22 | 2023-06-12 | 주식회사 원테크코리아 | A system for multiple bundle packaging of back-packed products using transporting devices of changeable belt type |
KR102575757B1 (en) * | 2021-07-22 | 2023-09-06 | 주식회사 원테크코리아 | A system for bundle packaging of back-packed products using working table of changeable belt type |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3778464B2 (en) | 1997-03-19 | 2006-05-24 | 本田技研工業株式会社 | Blank material cleaning equipment |
JP3618256B2 (en) | 1999-05-28 | 2005-02-09 | 大日本スクリーン製造株式会社 | Rotating substrate processing apparatus and rotating substrate processing method |
JP2003145060A (en) | 2001-11-15 | 2003-05-20 | Shibaura Mechatronics Corp | Cleaning brush and cleaning device |
-
2004
- 2004-05-24 JP JP2004152783A patent/JP3964886B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2004-06-25 TW TW093118648A patent/TW200538211A/en unknown
- 2004-08-10 KR KR1020040062659A patent/KR101114726B1/en not_active IP Right Cessation
- 2004-08-23 CN CNA2004100576898A patent/CN1701917A/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20050112059A (en) | 2005-11-29 |
TW200538211A (en) | 2005-12-01 |
KR101114726B1 (en) | 2012-02-29 |
JP2005334684A (en) | 2005-12-08 |
CN1701917A (en) | 2005-11-30 |
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JPH052169B2 (en) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20061025 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070518 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070524 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100601 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110601 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120601 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120601 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130601 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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