JP3734010B2

JP3734010B2 - Confocal light scanner

Info

Publication number: JP3734010B2
Application number: JP18145599A
Authority: JP
Inventors: 健雄田名網
Original assignee: Yokogawa Electric Corp
Current assignee: Yokogawa Electric Corp
Priority date: 1999-06-28
Filing date: 1999-06-28
Publication date: 2006-01-11
Anticipated expiration: 2019-06-28
Also published as: JP2001013445A

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、スリットを通過した光で試料を走査して共焦点画像を得る共焦点光スキャナに関し、特に高速、高分解能及びローコストである共焦点光スキャナに関する。
【０００２】
【従来の技術】
共焦点光スキャナは開口部であるスリットを通過した光の光路をガルバノミラー等で変化させて試料上を走査させ、試料からの蛍光をスリットを介して取り出すことにより共焦点画像を得るものである。
【０００３】
図７はこのような従来の共焦点光スキャナの一例を示す斜視図である。図７において１はレーザ光源、２及び８はスリット、３はダイクロイックミラー、４，９，１１及び１２はミラー、５及び１０はガルバノミラー、６は対物レンズ、７は試料である。また、ガルバノミラー５及び１０は図示しない駆動手段により駆動される。
【０００４】
レーザ光源１のレーザ光はスリット２を通過してダイクロイックミラー３で反射されてミラー４に入射される。ミラー４で反射されたレーザ光はガルバノミラー５を介して再びミラー４に入射され、この反射光が対物レンズ６を介して試料７に照射される。
【０００５】
レーザ光の照射により試料７で発生した蛍光は対物レンズ６を介してミラー４に入射される。ミラー４で反射された蛍光はガルバノミラー５を介して再びミラー４に入射されて反射される。
【０００６】
この反射光はダイクロイックミラー３を透過し、スリット８を通過してミラー９に入射される。ミラー９で反射された蛍光はガルバノミラー１０を介して再びミラー９に入射され、この反射光がミラー１１及び１２を介して観察される。
【０００７】
ここで、図７に示す従来例の動作を説明する。スリット２を通過したレーザ光はガルバノミラー５の動作により一軸方向に走査されて試料７上に照射される。この試料７からの蛍光はガルバノミラー５に戻ってきてスリット像になる。
【０００８】
このスリット像がスリット８を通過することにより共焦点効果が生じ、このスリット像をガルバノミラー１０で走査することにより２次元のスライス画像になり肉眼若しくはカメラ等によって観察される。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、図７に示す従来例ではレーザ光及び発生した蛍光を走査するためにそれぞれガルバノミラー５及び１０を設けており、構成が複雑であると言った問題点があった。また、温度変化や振動等の影響により２つのガルバノミラーを同期させて動作させることが困難であると言った問題点があった。
【００１０】
また、スリットが１本だけであるので試料７の全体を走査するのに時間がかかってしまうと言った問題点があった。特に、ＤＮＡチップ等の低倍率で高視野、高分解能が要求される用途にあっては測定に大きな時間がかかってしまうと言った問題点があった。
従って本発明が解決しようとする課題は、高速、高分解能及びローコストである共焦点光スキャナを実現することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項１記載の発明は、
スリットを通過した光で試料を走査して共焦点画像を得る共焦点光スキャナにおいて、
光源と、この光源の出力光を平行光にする第１のレンズと、前記平行光を反射若しくは透過させる光分岐手段と、この光分岐手段からの反射光若しくは透過光が照射される複数本のスリットがそれぞれ平行になるように形成されたスリットアレイと、このスリットアレイを構成する前記各スリットを通過した光を集光すると共に前記試料からの戻り光を前記各スリットに集光する対物レンズと、前記各スリットを通過し前記光分岐手段を透過若しくは反射した前記戻り光を光検出器に集光する第２のレンズと、前記スリットアレイを前記各スリットに対する直角方向に往復運動するように駆動する駆動手段とを備えたことにより、単純な構成で高速に共焦点画像を得ることができる。
【００１２】
請求項２記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記スリットアレイが、
前記試料と共役な位置に配置されたことにより、単純な構成で高速に共焦点画像を得ることができる。
【００１３】
請求項３記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記駆動手段が、
前記各スリットのピッチの整数倍のストロークで前記スリットアレイを駆動することにより、更なる高速化が駆動周波数を高くするのに比較して容易に実現できる。
【００１４】
請求項４記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記駆動手段が、
前記各スリットが隣接するスリットまで移動する時間が前記光検出器の一画面の撮影時間の整数分の１倍となるように駆動することにより、画面の走査が終了して得られた画面に縞が生じることを防止できる。
【００１５】
請求項５記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
ケーラー照明により前記出力光を前記スリットアレイに対して照射することにより、スリットアレイに対してフィラメント像が決像されることなく均一な照射が可能になるので高品質の共焦点画像を得ることが可能になる。
【００１６】
請求項６記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記スリットアレイの光源側に前記各スリットと同数の集光手段を設けたことにより、集光手段により集光された光はスリットアレイのスリットを効率よく通過するので、照射効率が向上する。
【００１７】
請求項７記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記スリットアレイの光源側には前記光分岐手段が配置され、前記光分岐手段の光源側には前記各スリットと同数の集光手段が形成された固定手段が配置され、この固定手段の一端を前記はスリットアレイに固定すると共に前記スリットアレイと一体に前記駆動手段により駆動されることにより、集光手段により集光された光はスリットアレイのスリットを効率よく通過するので、照射効率が向上する。更に、分解能が向上する。
【００１８】
請求項８記載の発明は、
請求項６及び請求項７記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記集光手段が、
シリンドリカルレンズであることにより、シリンドリカルレンズにより集光された光はスリットアレイのスリットを効率よく通過するので、照射効率が向上する。
【００１９】
請求項９記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記スリットアレイ上に複数種類のパターンのスリットアレイを形成し、必要に応じてパターンの異なるスリットアレイを選択することにより、対物レンズの倍率等に応じて適切なスリットアレイを選択することが可能になる。
【００２０】
請求項１０記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記対物レンズと前記スリットアレイとの間にリレー光学系を設けたことにより、対物レンズから見たスリット幅を変化させることが可能になる。
【００２１】
請求項１１記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記駆動手段が、
電磁式、圧電素子式若しくは共振型であることにより、高速駆動が容易であったり、小さなストロークを正確に駆動することが可能になる。
【００２２】
請求項１２記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記スリットアレイの支持手段が、
軸受け若しくは板バネであることにより、高速化が容易であり、耐久性も向上する。
【００２３】
請求項１３記載の発明は、
請求項１記載の発明である共焦点光スキャナにおいて、
前記駆動手段によるストロークの検出器と、
この検出器の出力に基づき前記駆動手段を制御するサーボ手段を備えたことにより、スリットアレイを正確に駆動することが可能になり、耐振動性が向上する。
【００２４】
【発明の実施の形態】
以下本発明を図面を用いて詳細に説明する。図１は本発明に係る共焦点光スキャナの一実施例を示す構成ブロック図である。図１において１３はレーザ光源や白色光源等の光源、１４及び２０はレンズ、１５はダイクロイックミラーや偏光ビームスプリッタ（Polarize Beam Splitter）等の光分岐手段、１６はスリットアレイ、１７は駆動手段、１８は対物レンズ、１９は試料、２１はＣＣＤカメラ等の光検出器である。
【００２５】
光源１３の出力光はレンズ１４で平行光になり光分岐手段１５で反射されてスリットアレイ１６に入射される。スリットアレイ１６を構成する各スリットを通過した出力光は対物レンズ１８により試料１９上に集光されてスリット像を形成する。
【００２６】
試料１９からの反射光や出力光の照射により生じた蛍光等の戻り光は再び同一のスリットを通過し、光分岐手段１５を透過しレンズ２０で集光されて光検出器２１に入射される。
【００２７】
また、スリットアレイ１６は試料１９と共役な位置に配置されると共に駆動手段１７に接続され図１中”ＤＤ０１”に示す方向に往復運動するように駆動される。
【００２８】
ここで、図１に示す実施例の動作を図２を用いて説明する。図２はスリットアレイ１６及び駆動手段１７の詳細を示す平面図である。
【００２９】
スリットアレイ１６には図２中”ＳＬ０１”、”ＳＬ０２”及び”ＳＬ０３”に示すような複数本のスリットがそれぞれ平行になるように形成され、各スリットに対する直角方向である図２中”ＤＤ１１”に示す方向に往復運動するように駆動手段１７により駆動される。
【００３０】
このように駆動されている複数本の各スリットを通過した出力光に起因する戻り光は再び同一のスリットを通過して共焦点効果を生じ、また、スリットアレイ１６の往復運動により試料１９上が走査されるので対物レンズ１８の焦点位置における２次元のスライス画像（以下、共焦点画像と呼ぶ。）として光検出器２１において撮影される。
【００３１】
また、図２中”Ｐ”は各スリットのピッチ、図２中”Ｗ”は各スリットの幅、そして、図２中”Ｓ”は往復運動のストロークである。このとき、ストローク”Ｓ”はピッチ”Ｐ”の整数倍であり、各スリットが隣接するスリットまで移動する時間は光検出器２１の一画面の撮影時間の整数分の１倍である。
【００３２】
但し、整数分の１でない場合は隣接するスリットの途中までしか走査されないため光量のむらが発生して画像としては縞となる。
【００３３】
このような条件を満たすことにより画面の走査が終了して得られた画面に縞が生じることを防止できる。
【００３４】
この結果、複数本のスリットがそれぞれ平行になるように形成されたスリットアレイ１６を試料１９と共役な位置に配置して各スリットに対する直角方向に往復運動するように駆動手段１７で駆動することにより、高速に共焦点画像を得ることができる。また、駆動部分が１つになるので従来例と比較して構成が単純になるのでローコストになる。
【００３５】
すなわち、スリットアレイ１６を用いることにより往復運動のストロークは１スリットの場合と比較した短くすることが可能になるので高速になる。例えば、ストロークを図２中”Ｐ”に示すピッチ分だけ移動させれば、１画面の共焦点画像を得ることができるので従来例と比較して高速になる。
【００３６】
逆に、図２中”Ｐ”に示すピッチだけスリットを移動させることにより１画面の共焦点画像を得ることができるので、同じ時間内でストロークをピッチの２倍以上（但し、整数倍。）に大きくとることにより更に高速になる。
【００３７】
スリットアレイ１６の変位を”ｘ”、スリットアレイ１６が移動する速度を”ｖ＝ｄｘ／ｄｔ”、スリットアレイ１６が受ける加速度を”α＝ｄ²ｘ／ｄｔ²”、ストロークを”Ｓ”、駆動する周波数を”ω”とすれば、
ｘ＝Ｓ・sinωｔ（１）
ｖ＝ｄｘ／ｄｔ＝−Ｓ・ω・cosωｔ（２）
α＝ｄ²ｘ／ｄｔ²＝Ｓ・ω²・sinωｔ（３）
となる。
【００３８】
また、力”Ｆ”はスリットアレイ１６の質量を”ｍ”とすれば、

となる。
【００３９】
ここで、ストローク”Ｓ”若しくは駆動周波数”ω”の何れか一方を２倍にすれば１回の駆動で撮影できる共焦点画像は２倍に高速になる。
【００４０】
但し、式（４）から分かるように力”Ｆ”に対してストローク”Ｓ”は１乗であるのに対して駆動周波数”ω”は２乗である。言い換えれば、高速化を図るためにストローク”Ｓ”を２倍にすると２倍の力”Ｆ”であるのに対して、駆動周波数”ω”を２倍にすると４倍の力”Ｆ”が必要になってしまい駆動手段１７が大型化したり構成が複雑になってしまう。
【００４１】
この結果、ストローク”Ｓ”をピッチ”Ｐ”の整数倍にすることによる更なる高速化の方が駆動周波数”ω”を高くするのに比較して容易に実現できる。
【００４２】
例えば、図３は往復運動のストロークの違いによる運動速度の変化を示す特性曲線図であり、図３（ａ）はストローク”Ｓ”がピッチ”Ｐ”の８倍の場合の速度変化を示し、図３（ｂ）はストローク”Ｓ”がピッチ”Ｐ”の１倍の場合の速度変化を示している。
【００４３】
図３（ｂ）の場合は画面の取得毎にピッチ”Ｐ”の間で図３中”ＡＣ０１”に示す加速動作及び図３中”ＡＣ０２”に示す減速動作とういう加速度運動をさせる必要があるに対して、図３（ａ）の場合には図３中”ＵＶ０１”に示す等速動作と共に一度だけ図３中”ＡＣ０３”に示す加速動作及び図３中”ＡＣ０４”に示す減速動作が存在する。
【００４４】
画面取得を高速にさせる場合には図３（ｂ）では駆動周波数”ω”を大きくする必要があり、力”Ｆ”はその２乗で増加する。これに対して図３（ａ）では等速動作の領域をストローク”Ｓ”を大きくすることにより高速化できる。この場合、力”Ｆ”は１乗の増加のみでよくなる。
【００４５】
従って、駆動手段１７の負荷も駆動周波数”ω”を高くすることと比較して低減されるので高速化を図る場合にはストローク”Ｓ”を大きくすることが有効であることが分かる。
【００４６】
なお、図１においては光分岐手段１５で出力光が反射され、試料１７から戻り光が透過しているが、勿論、その逆で光分岐手段１５で出力光が透過し、試料１７から戻り光が反射されても構わない。
【００４７】
また、図１において光源１３がランプ等の大きな面積を持つ光源の場合にはケーラー照明にすることにより、スリットアレイ１６に対してフィラメント像が決像されることなく均一な照射が可能になるので高品質の共焦点画像を得ることが可能になる。
【００４８】
また、光源１３がレーザ光源の場合にはスリットアレイ１６の光源側に集光手段であるシリンドリカルレンズをアレイ状に配置しても良い。図４及び図５はこのようなシリンドリカルレンズ・アレイを用いた共焦点光スキャナの一実施例を示す部分構成ブロック図である。
【００４９】
図４において１６ａはスリットアレイ、１７ａは駆動手段、２２はシリンドリカルレンズである。シリンドリカルレンズ２２はスリットアレイ１６ａ上であって光源側にスリットアレイ１６ａに形成されているスリットと同数だけアレイ状に形成される。
【００５０】
図４に示すような構成にすることにより、形成されたアレイ状のシリンドリカルレンズ２２により集光されたレーザ光はスリットアレイ１７ａのスリットを効率よく通過するので、照射効率が向上する。
【００５１】
また、図５において１６ｂはスリットアレイ、１７ｂは駆動手段、２３はシリンドリカルレンズ、２４は光分岐手段、２５は固定手段である。
【００５２】
スリットアレイ１６ｂの光源側には光分岐手段２４が配置され、光分岐手段２４の更に光源側にはスリットアレイ１６ｂに形成されているスリットと同数のシリンドリカルレンズ２３がアレイ状に形成された固定手段２５が配置される。
【００５３】
また、この固定手段２５の一端はスリットアレイ１６ｂに固定され、スリットアレイ１６ｂと一体になって駆動手段１７ｂにより往復運動するように駆動される。但し、光分岐手段２４は固定である。
【００５４】
図５に示すような構成でも、固定手段２５に形成されたアレイ状のシリンドリカルレンズ２３により集光されたレーザ光はスリットアレイ１７ｂのスリットを効率よく通過するので、照射効率が向上する。更に、スリットアレイ１７ｂの像をマイクロレンズを介さずに観察できるので分解能が向上する。
【００５５】
図４に示す構成ではスリットアレイ１６ａを構成するマイクロレンズの幅、言い換えれば、各スリットのピッチ”Ｐ”によりその分解能が決まるのに対して、図５に示す構成では各スリットの幅”Ｗ”により分解能が決まる。そして、共焦点効果を得るためには”Ｐ＞Ｗ”である必要があり（Ｐ：Ｗ＝５：１〜２０：１程度）、このため、図５に示す構成の方が図４に示す構成よりも分解能が向上する。
【００５６】
また、最適なスリットの幅”Ｗ”は対物レンズ１８の倍率等で決まる。例えば、対物レンズ１８の倍率を”１倍”、波長”λ”が”０．５μｍ”、開口数”ＮＡ”が”０．５”の場合、

となる。
【００５７】
また、例えば、対物レンズ１８の倍率を”１００倍”、波長”λ”が”０．５μｍ”、開口数”ＮＡ”が”１．３”の場合、

となる。
【００５８】
このように、対物レンズ１８の倍率等を変化させるとスリットの幅も変化させる必要がある。図６はこのようなスリットの幅を変化させることが可能な共焦点光スキャナの一実施例を示す構成図ブロック図である。
【００５９】
図６において１３〜１５及び１８〜２１は図１と同一符号を付してあり、１６ｃはスリットアレイ、１７ｃは駆動手段である。光路や接続関係等に関しては図１に示す実施例と同様であるので説明は省略する。
【００６０】
スリットアレイ１６ｃには図６中”ＳＡ０１”、”ＳＡ０２”及び”ＳＡ０３”に示すようなスリットの幅の異なる複数のスリットアレイが形成されており、図１に示す実施例と同様に図６中”ＤＤ２１”に示す各スリットに対して直角方向に往復運動するように駆動手段１７ｃにより駆動される。
【００６１】
図６に示す状態では図６中”ＳＡ０１”に示すスリットアレイが選択されており、対物レンズ１８の倍率を変更する場合には、図６中”ＳＥ２１”に示す方向にスリットアレイ１６ｃをスライドさせて適切なスリットアレイ、例えば、図６中”ＳＡ０３”に示すスリットアレイを選択する。
【００６２】
この結果、複数種類のパターンのスリットアレイが形成されたスリットアレイ１６ｃを設けて必要に応じてパターンの異なるスリットアレイを選択することにより、対物レンズ１８の倍率等に応じて適切なスリットアレイを選択することが可能になる。
【００６３】
また、図１に示す実施例では対物レンズ１８の中間画像の位置にスリットアレイ１６を配置しているが、試料１９と共役な位置であれば構わない。すなわち、スリットアレイのと対物レンズ１８との間にリレー光学系を入れても構わない。この場合には、対物レンズから見たスリット幅を変化させることが可能になる。
【００６４】
また、駆動手段１７等としては電磁式、圧電素子式若しくは共振型等であれば良い。この場合、共振型では高速駆動が容易であり、圧電素子式では小さなストロークを正確に駆動することが可能になる。
【００６５】
また、スリットアレイ１６等を支持する支持手段としては軸受け若しくは板バネ等であれば良い。板バネの場合には摩擦がないので高速化が容易であり、耐久性も向上する。
【００６６】
また、駆動手段１７等によるストロークを検出する検出器を設け、この検出器の出力に基づいて駆動手段１７等を制御するサーボ手段を設けることにより、よりスリットアレイ１６等を正確に駆動することが可能になり、耐振動性が向上する。
【００６７】
【発明の効果】
以上説明したことから明らかなように、本発明によれば次のような効果がある。
請求項１及び請求項２の発明によれば、複数本のスリットがそれぞれ平行になるように形成されたスリットアレイを試料と共役な位置に配置して各スリットに対する直角方向に往復運動するように駆動手段で駆動することにより、単純な構成で高速に共焦点画像を得ることができる。
【００６８】
また、請求項３の発明によれば、各スリットのピッチの整数倍のストロークでスリットアレイを駆動することにより、更なる高速化が駆動周波数を高くするのに比較して容易に実現できる。
【００６９】
また、請求項４の発明によれば、各スリットが隣接するスリットまで移動する時間が光検出器の一画面の撮影時間の整数分の１倍となるように駆動することにより、画面の走査が終了して得られた画面に縞が生じることを防止できる。
【００７０】
また、請求項５の発明によれば、ケーラー照明により出力光をスリットアレイに対して照射することにより、スリットアレイに対してフィラメント像が決像されることなく均一な照射が可能になるので高品質の共焦点画像を得ることが可能になる。
【００７１】
また、請求項６及び請求項８の発明によれば、スリットアレイの光源側に各スリットと同数の集光手段を設けたことにより、集光手段により集光された光はスリットアレイのスリットを効率よく通過するので、照射効率が向上する。
【００７２】
また、請求項７の発明によれば、スリットアレイの光源側に光分岐手段が配置され、光分岐手段の光源側には各スリットと同数の集光手段が形成された固定手段が配置され、この固定手段の一端を前記はスリットアレイに固定すると共にスリットアレイと一体に駆動することにより、集光手段により集光された光はスリットアレイのスリットを効率よく通過するので、照射効率が向上する。更に、分解能が向上する。
【００７３】
また、請求項９の発明によれば、スリットアレイ上に複数種類のパターンのスリットアレイを形成し、必要に応じてパターンの異なるスリットアレイを選択することにより、対物レンズの倍率等に応じて適切なスリットアレイを選択することが可能になる。
【００７４】
また、請求項１０の発明によれば、対物レンズとスリットアレイとの間にリレー光学系を設けたことにより、対物レンズから見たスリット幅を変化させることが可能になる。
【００７５】
また、請求項１１の発明によれば、駆動手段が電磁式、圧電素子式若しくは共振型であることにより、高速駆動が容易であったり、小さなストロークを正確に駆動することが可能になる。
【００７６】
また、請求項１２の発明によれば、スリットアレイの支持手段が、軸受け若しくは板バネであることにより、高速化が容易であり、耐久性も向上する。
【００７７】
また、請求項１３の発明によれば、駆動手段によるストロークの検出器と、この検出器の出力に基づき駆動手段を制御するサーボ手段を備えたことにより、スリットアレイを正確に駆動することが可能になり、耐振動性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明に係る共焦点光スキャナの一実施例を示す構成ブロック図である。
【図２】スリットアレイ及び駆動手段の詳細を示す平面図である。
【図３】往復運動のストロークの違いによる運動速度の変化を示す特性曲線図である。
【図４】シリンドリカルレンズ・アレイを用いた共焦点光スキャナの一実施例を示す部分構成ブロック図である。
【図５】シリンドリカルレンズ・アレイを用いた共焦点光スキャナの一実施例を示す部分構成ブロック図である。
【図６】スリットの幅を変化させることが可能な共焦点光スキャナの一実施例を示す構成図ロック図である。
【図７】従来の共焦点光スキャナの一例を示す斜視図である。
【符号の説明】
１レーザ光源
２，８スリット
３ダイクロイックミラー
４，９，１１，１２ミラー
５，１０ガルバノミラー
６，１８対物レンズ
７，１９試料
１３光源
１４，２０レンズ
１５，２４光分岐手段
１６，１６ａ，１６ｂ，１６ｃスリットアレイ
１７，１７ａ，１７ｂ，１７ｃ駆動手段
２１光検出器
２２，２３シリンドリカルレンズ
２５固定手段[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a confocal optical scanner that obtains a confocal image by scanning a sample with light that has passed through a slit, and more particularly to a confocal optical scanner that has high speed, high resolution, and low cost.
[0002]
[Prior art]
The confocal scanner scans the sample by changing the optical path of the light that has passed through the slit, which is an opening, with a galvanometer mirror, and obtains a confocal image by taking out the fluorescence from the sample through the slit. .
[0003]
FIG. 7 is a perspective view showing an example of such a conventional confocal optical scanner. In FIG. 7, 1 is a laser light source, 2 and 8 are slits, 3 is a dichroic mirror, 4, 9, 11 and 12 are mirrors, 5 and 10 are galvanometer mirrors, 6 is an objective lens, and 7 is a sample. The galvanometer mirrors 5 and 10 are driven by a driving means (not shown).
[0004]
The laser light from the laser light source 1 passes through the slit 2, is reflected by the dichroic mirror 3, and enters the mirror 4. The laser light reflected by the mirror 4 is incident on the mirror 4 again via the galvano mirror 5, and this reflected light is irradiated on the sample 7 via the objective lens 6.
[0005]
The fluorescence generated in the sample 7 by the laser light irradiation is incident on the mirror 4 through the objective lens 6. The fluorescence reflected by the mirror 4 is incident on the mirror 4 again via the galvanometer mirror 5 and reflected.
[0006]
This reflected light passes through the dichroic mirror 3, passes through the slit 8, and enters the mirror 9. The fluorescence reflected by the mirror 9 is incident again on the mirror 9 via the galvanometer mirror 10, and this reflected light is observed via the mirrors 11 and 12.
[0007]
Here, the operation of the conventional example shown in FIG. 7 will be described. The laser beam that has passed through the slit 2 is scanned in a uniaxial direction by the operation of the galvanometer mirror 5 and irradiated onto the sample 7. The fluorescence from the sample 7 returns to the galvanometer mirror 5 and becomes a slit image.
[0008]
The slit image passes through the slit 8 to produce a confocal effect. By scanning the slit image with the galvanometer mirror 10, it becomes a two-dimensional slice image and is observed with the naked eye or a camera.
[0009]
[Problems to be solved by the invention]
However, the conventional example shown in FIG. 7 has a problem that the galvanometer mirrors 5 and 10 are provided for scanning the laser beam and the generated fluorescence, respectively, and the configuration is complicated. In addition, there is a problem that it is difficult to operate the two galvanometer mirrors synchronously due to the influence of temperature change or vibration.
[0010]
Further, since there is only one slit, there is a problem that it takes time to scan the entire sample 7. In particular, there is a problem that it takes a long time for measurement in an application that requires a high field of view and a high resolution at a low magnification such as a DNA chip.
Therefore, the problem to be solved by the present invention is to realize a confocal optical scanner which is high speed, high resolution and low cost.
[0011]
[Means for Solving the Problems]
In order to achieve such a problem, the invention according to claim 1 of the present invention is:
In a confocal optical scanner that scans a sample with light passing through a slit to obtain a confocal image,
A light source, a first lens that collimates the output light of the light source, a light branching unit that reflects or transmits the parallel light, and a plurality of light beams that are irradiated with reflected or transmitted light from the light branching unit A slit array formed so that the slits are parallel to each other, and an objective lens that condenses the light that has passed through each of the slits constituting the slit array and condenses the return light from the sample onto the slits A second lens for condensing the return light that has passed through the slits and transmitted or reflected by the light branching means to a photodetector, and is driven to reciprocate the slit array in a direction perpendicular to the slits. By providing the driving means, a confocal image can be obtained at high speed with a simple configuration.
[0012]
The invention according to claim 2
In the confocal optical scanner according to claim 1,
The slit array is
By arranging at a position conjugate with the sample, a confocal image can be obtained at high speed with a simple configuration.
[0013]
The invention described in claim 3
In the confocal optical scanner according to claim 1,
The drive means
By driving the slit array with a stroke that is an integral multiple of the pitch of each of the slits, a further increase in speed can be realized more easily than when the drive frequency is increased.
[0014]
The invention according to claim 4
In the confocal optical scanner according to claim 1,
The drive means
By driving so that the time required for each slit to move to the adjacent slit is 1 / integer of the imaging time of one screen of the photodetector, the screen is striped on the screen obtained by scanning. Can be prevented.
[0015]
The invention according to claim 5
In the confocal optical scanner according to claim 1,
By irradiating the output light to the slit array by Koehler illumination, it becomes possible to perform uniform irradiation without determining a filament image on the slit array, so that a high-quality confocal image can be obtained. It becomes possible.
[0016]
The invention described in claim 6
In the confocal optical scanner according to claim 1,
By providing the same number of light collecting means as the slits on the light source side of the slit array, the light condensed by the light collecting means efficiently passes through the slits of the slit array, so that the irradiation efficiency is improved.
[0017]
The invention described in claim 7
In the confocal optical scanner according to claim 1,
The light branching means is arranged on the light source side of the slit array, and fixing means on which the same number of light collecting means as the slits are formed are arranged on the light source side of the light branching means. The above is fixed to the slit array and driven by the driving means integrally with the slit array, so that the light condensed by the light collecting means efficiently passes through the slits of the slit array, so that the irradiation efficiency is improved. . Furthermore, the resolution is improved.
[0018]
The invention described in claim 8
In the confocal optical scanner which is the invention according to claim 6 and claim 7,
The light collecting means is
By using the cylindrical lens, the light collected by the cylindrical lens efficiently passes through the slits of the slit array, so that the irradiation efficiency is improved.
[0019]
The invention according to claim 9
In the confocal optical scanner according to claim 1,
It is possible to select an appropriate slit array according to the magnification of the objective lens, etc. by forming a slit array of a plurality of types of patterns on the slit array and selecting a slit array having a different pattern as required. Become.
[0020]
The invention according to claim 10 is:
In the confocal optical scanner according to claim 1,
By providing a relay optical system between the objective lens and the slit array, the slit width viewed from the objective lens can be changed.
[0021]
The invention according to claim 11
In the confocal optical scanner according to claim 1,
The drive means
By being an electromagnetic type, a piezoelectric element type, or a resonance type, it is easy to drive at high speed, or a small stroke can be accurately driven.
[0022]
The invention according to claim 12
In the confocal optical scanner according to claim 1,
Support means for the slit array,
By using a bearing or a leaf spring, speeding up is easy, and durability is improved.
[0023]
The invention according to claim 13
In the confocal optical scanner according to claim 1,
A stroke detector by the drive means;
By providing servo means for controlling the drive means based on the output of the detector, the slit array can be driven accurately, and vibration resistance is improved.
[0024]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a confocal optical scanner according to the present invention. In FIG. 1, 13 is a light source such as a laser light source or a white light source, 14 and 20 are lenses, 15 is a light branching means such as a dichroic mirror or a polarization beam splitter, 16 is a slit array, 17 is a driving means, 18 Is an objective lens, 19 is a sample, and 21 is a photodetector such as a CCD camera.
[0025]
The output light of the light source 13 becomes parallel light by the lens 14, is reflected by the light branching means 15, and enters the slit array 16. The output light that has passed through each slit constituting the slit array 16 is condensed on the sample 19 by the objective lens 18 to form a slit image.
[0026]
Return light such as fluorescent light generated by irradiation of reflected light or output light from the sample 19 passes through the same slit again, passes through the light branching means 15, is collected by the lens 20, and enters the photodetector 21. .
[0027]
The slit array 16 is arranged at a position conjugate with the sample 19 and is connected to the driving means 17 so as to be reciprocated in the direction indicated by “DD01” in FIG.
[0028]
Here, the operation of the embodiment shown in FIG. 1 will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a plan view showing details of the slit array 16 and the driving means 17.
[0029]
A plurality of slits as shown by “SL01”, “SL02” and “SL03” in FIG. 2 are formed in the slit array 16 in parallel, and “DD11” in FIG. It is driven by the driving means 17 so as to reciprocate in the direction shown in FIG.
[0030]
The return light resulting from the output light that has passed through each of the plurality of slits driven in this way again passes through the same slit and produces a confocal effect. Since it is scanned, it is photographed by the photodetector 21 as a two-dimensional slice image (hereinafter referred to as a confocal image) at the focal position of the objective lens 18.
[0031]
Further, “P” in FIG. 2 is the pitch of each slit, “W” in FIG. 2 is the width of each slit, and “S” in FIG. 2 is the stroke of the reciprocating motion. At this time, the stroke “S” is an integral multiple of the pitch “P”, and the time for each slit to move to the adjacent slit is one times the integral time of the imaging time of one screen of the photodetector 21.
[0032]
However, when it is not a fraction of an integer, scanning is performed only halfway between adjacent slits, so that unevenness in the amount of light occurs and the image becomes a stripe.
[0033]
By satisfying such a condition, it is possible to prevent stripes from being generated on the screen obtained after the scanning of the screen is completed.
[0034]
As a result, the slit array 16 formed so that the plurality of slits are parallel to each other is arranged at a position conjugate with the sample 19 and is driven by the driving means 17 so as to reciprocate in the direction perpendicular to the respective slits. Confocal images can be obtained at high speed. In addition, since the number of driving parts is one, the configuration is simpler than that of the conventional example, so that the cost is low.
[0035]
That is, by using the slit array 16, the stroke of the reciprocating motion can be shortened as compared with the case of one slit, so that the speed is increased. For example, if the stroke is moved by the pitch indicated by “P” in FIG. 2, a confocal image of one screen can be obtained, which is faster than the conventional example.
[0036]
Conversely, a confocal image of one screen can be obtained by moving the slit by the pitch indicated by “P” in FIG. 2, so that the stroke is twice or more the pitch within the same time (however, it is an integral multiple). The larger the speed, the higher the speed.
[0037]
The displacement of the slit array 16 is “x”, the moving speed of the slit array 16 is “v = dx / dt”, the acceleration received by the slit array 16 is “α = d ² x / dt ² ”, the stroke is “S”, If the driving frequency is “ω”,
x = S · sinωt (1)
v = dx / dt = −S · ω · cosωt (2)
α = d ² x / dt ² = S · ω ² · sin ωt (3)
It becomes.
[0038]
Also, the force “F” can be calculated by assuming that the mass of the slit array 16 is “m”.

It becomes.
[0039]
Here, if either one of the stroke “S” or the drive frequency “ω” is doubled, the confocal image that can be photographed by one drive becomes twice as fast.
[0040]
However, as can be seen from the equation (4), the stroke “S” is the first power with respect to the force “F”, while the driving frequency “ω” is the second power. In other words, if the stroke “S” is doubled to increase the speed, the force “F” is doubled, whereas if the drive frequency “ω” is doubled, the force “F” is quadrupled. As a result, the driving means 17 becomes larger and the configuration becomes complicated.
[0041]
As a result, a further increase in speed by making the stroke “S” an integral multiple of the pitch “P” can be realized more easily than when the drive frequency “ω” is increased.
[0042]
For example, FIG. 3 is a characteristic curve diagram showing a change in motion speed due to a difference in reciprocating stroke. FIG. 3A shows a speed change when the stroke “S” is 8 times the pitch “P”. FIG. 3B shows a speed change when the stroke “S” is one time the pitch “P”.
[0043]
In the case of FIG. 3 (b), it is necessary to perform acceleration motion such as acceleration operation indicated by “AC01” in FIG. 3 and deceleration operation indicated by “AC02” in FIG. On the other hand, in the case of FIG. 3A, there is an acceleration operation indicated by “AC03” in FIG. 3 and a deceleration operation indicated by “AC04” in FIG. 3 only once with the constant speed operation indicated by “UV01” in FIG. To do.
[0044]
In order to increase the screen acquisition speed, it is necessary to increase the driving frequency “ω” in FIG. 3B, and the force “F” increases by the square thereof. On the other hand, in FIG. 3A, the speed of the constant speed operation region can be increased by increasing the stroke “S”. In this case, the force “F” only needs to be increased to the first power.
[0045]
Accordingly, the load on the driving means 17 is also reduced as compared with increasing the driving frequency “ω”. Therefore, it can be seen that increasing the stroke “S” is effective in increasing the speed.
[0046]
In FIG. 1, the output light is reflected by the light branching means 15 and the return light is transmitted from the sample 17. Of course, the output light is transmitted by the light branching means 15 and the return light is transmitted from the sample 17. May be reflected.
[0047]
In addition, when the light source 13 in FIG. 1 is a light source having a large area such as a lamp, by using Koehler illumination, it becomes possible to irradiate the slit array 16 uniformly without a filament image being determined. A high-quality confocal image can be obtained.
[0048]
In addition, when the light source 13 is a laser light source, a cylindrical lens as a condensing unit may be arranged in an array on the light source side of the slit array 16. FIG. 4 and FIG. 5 are partial block diagrams showing an embodiment of a confocal optical scanner using such a cylindrical lens array.
[0049]
In FIG. 4, 16a is a slit array, 17a is a driving means, and 22 is a cylindrical lens. The cylindrical lenses 22 are formed in an array on the slit array 16a and on the light source side by the same number as the slits formed in the slit array 16a.
[0050]
With the configuration shown in FIG. 4, the laser light collected by the formed arrayed cylindrical lens 22 efficiently passes through the slits of the slit array 17a, so that the irradiation efficiency is improved.
[0051]
In FIG. 5, 16b is a slit array, 17b is a driving means, 23 is a cylindrical lens, 24 is an optical branching means, and 25 is a fixing means.
[0052]
The light branching means 24 is disposed on the light source side of the slit array 16b, and the fixing means in which the same number of cylindrical lenses 23 as the slits formed in the slit array 16b are formed in an array on the light source side of the light branching means 24. 25 is arranged.
[0053]
One end of the fixing means 25 is fixed to the slit array 16b, and is driven to reciprocate by the driving means 17b integrally with the slit array 16b. However, the light branching means 24 is fixed.
[0054]
Even in the configuration as shown in FIG. 5, the laser light condensed by the arrayed cylindrical lens 23 formed on the fixing means 25 efficiently passes through the slits of the slit array 17b, so that the irradiation efficiency is improved. Furthermore, since the image of the slit array 17b can be observed without using a microlens, the resolution is improved.
[0055]
In the configuration shown in FIG. 4, the resolution is determined by the width of the microlens constituting the slit array 16a, in other words, the pitch “P” of each slit, whereas in the configuration shown in FIG. 5, the width “W” of each slit is determined. Determines the resolution. In order to obtain the confocal effect, it is necessary to satisfy “P> W” (P: W = about 5: 1 to 20: 1). Therefore, the configuration shown in FIG. 5 is shown in FIG. The resolution is improved compared to the configuration.
[0056]
The optimum slit width “W” is determined by the magnification of the objective lens 18 and the like. For example, when the magnification of the objective lens 18 is “1 ×”, the wavelength “λ” is “0.5 μm”, and the numerical aperture “NA” is “0.5”,

It becomes.
[0057]
For example, when the magnification of the objective lens 18 is “100 times”, the wavelength “λ” is “0.5 μm”, and the numerical aperture “NA” is “1.3”,

It becomes.
[0058]
Thus, when the magnification of the objective lens 18 is changed, the width of the slit needs to be changed. FIG. 6 is a block diagram showing the construction of an embodiment of a confocal optical scanner capable of changing the width of such a slit.
[0059]
In FIG. 6, reference numerals 13 to 15 and 18 to 21 denote the same reference numerals as those in FIG. 1, 16c denotes a slit array, and 17c denotes a driving means. Since the optical path, connection relationship, and the like are the same as those in the embodiment shown in FIG.
[0060]
A plurality of slit arrays having different slit widths as shown by “SA01”, “SA02”, and “SA03” in FIG. 6 are formed in the slit array 16c, as in the embodiment shown in FIG. It is driven by the driving means 17c so as to reciprocate in the direction perpendicular to the respective slits indicated by "DD21".
[0061]
In the state shown in FIG. 6, the slit array indicated by “SA01” in FIG. 6 is selected, and when changing the magnification of the objective lens 18, the slit array 16c is slid in the direction indicated by “SE21” in FIG. Then, an appropriate slit array, for example, a slit array indicated by “SA03” in FIG. 6 is selected.
[0062]
As a result, a slit array 16c formed with a plurality of types of slit arrays is provided, and a slit array with a different pattern is selected as necessary, so that an appropriate slit array is selected according to the magnification of the objective lens 18 and the like. It becomes possible to do.
[0063]
In the embodiment shown in FIG. 1, the slit array 16 is arranged at the position of the intermediate image of the objective lens 18. That is, a relay optical system may be inserted between the slit array and the objective lens 18. In this case, the slit width viewed from the objective lens can be changed.
[0064]
Further, the driving means 17 or the like may be an electromagnetic type, a piezoelectric element type, a resonance type, or the like. In this case, the resonance type can be easily driven at a high speed, and the piezoelectric element type can accurately drive a small stroke.
[0065]
Further, the support means for supporting the slit array 16 or the like may be a bearing or a leaf spring. In the case of a leaf spring, since there is no friction, speeding up is easy and durability is also improved.
[0066]
Further, by providing a detector for detecting the stroke by the driving means 17 and the like, and providing a servo means for controlling the driving means 17 and the like based on the output of the detector, the slit array 16 and the like can be driven more accurately. It becomes possible and vibration resistance improves.
[0067]
【The invention's effect】
As is apparent from the above description, the present invention has the following effects.
According to the first and second aspects of the present invention, the slit array formed so that the plurality of slits are parallel to each other is arranged at a position conjugate with the sample so as to reciprocate in the direction perpendicular to the respective slits. By driving with the driving means, a confocal image can be obtained at high speed with a simple configuration.
[0068]
According to the invention of claim 3, by driving the slit array with a stroke that is an integral multiple of the pitch of each slit, a further increase in speed can be easily realized as compared with a case where the drive frequency is increased.
[0069]
According to the invention of claim 4, the scanning of the screen is performed by driving so that the time for each slit to move to the adjacent slit is an integral number of the photographing time of one screen of the photodetector. It is possible to prevent stripes from being generated on the screen obtained after the completion.
[0070]
Further, according to the invention of claim 5, by irradiating the slit array with the output light by Koehler illumination, it becomes possible to irradiate the slit array uniformly without the filament image being determined. A quality confocal image can be obtained.
[0071]
Further, according to the invention of claim 6 and claim 8, by providing the same number of condensing means as the slits on the light source side of the slit array, the light condensed by the condensing means passes through the slits of the slit array. Since it passes efficiently, the irradiation efficiency is improved.
[0072]
Further, according to the invention of claim 7, the light branching means is disposed on the light source side of the slit array, and the fixing means on which the same number of light collecting means as each slit is formed is disposed on the light source side of the light branching means, By fixing one end of the fixing means to the slit array and driving integrally with the slit array, the light condensed by the light collecting means efficiently passes through the slits of the slit array, so that the irradiation efficiency is improved. . Furthermore, the resolution is improved.
[0073]
According to the ninth aspect of the present invention, a slit array having a plurality of types of patterns is formed on the slit array, and a slit array having a different pattern is selected as necessary. It becomes possible to select a simple slit array.
[0074]
According to the invention of claim 10, by providing the relay optical system between the objective lens and the slit array, the slit width as viewed from the objective lens can be changed.
[0075]
According to the invention of claim 11, since the driving means is of an electromagnetic type, a piezoelectric element type, or a resonance type, high-speed driving is easy or a small stroke can be accurately driven.
[0076]
According to the invention of claim 12, since the support means of the slit array is a bearing or a leaf spring, speeding up is easy and durability is improved.
[0077]
According to the invention of claim 13, the slit array can be accurately driven by providing the stroke detector by the driving means and the servo means for controlling the driving means based on the output of the detector. And vibration resistance is improved.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a configuration block diagram showing an embodiment of a confocal optical scanner according to the present invention.
FIG. 2 is a plan view showing details of a slit array and driving means.
FIG. 3 is a characteristic curve diagram showing a change in motion speed due to a difference in stroke between reciprocating motions.
FIG. 4 is a partial configuration block diagram showing an embodiment of a confocal optical scanner using a cylindrical lens array.
FIG. 5 is a partial configuration block diagram showing an embodiment of a confocal optical scanner using a cylindrical lens array.
FIG. 6 is a block diagram showing the configuration of an embodiment of a confocal optical scanner capable of changing the width of a slit.
FIG. 7 is a perspective view showing an example of a conventional confocal optical scanner.
[Explanation of symbols]
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Laser

light source

2,8 Slit 3

Dichroic mirror

4,9,11,12 Mirror 5,10 Galvano mirror 6,18

Objective lens

7,19 Sample 13 Light source 14,20 Lens 15,24 Optical branching means 16,16a, 16b, 16c Slit array 17, 17a, 17b, 17c Driving means 21 Photo detector 22, 23 Cylindrical lens 25 Fixing means

Claims

In a confocal optical scanner that scans a sample with light passing through a slit to obtain a confocal image,
A light source;
A first lens that collimates the output light of the light source;
A light branching means for reflecting or transmitting the parallel light;
A slit array formed such that a plurality of slits irradiated with reflected light or transmitted light from the light branching means are parallel to each other;
An objective lens for condensing the light that has passed through each of the slits constituting the slit array and condensing the return light from the sample on the slits;
A second lens that condenses the return light that has passed through each of the slits and transmitted or reflected by the light branching means to a photodetector;
A confocal optical scanner, comprising: a driving unit that drives the slit array to reciprocate in a direction perpendicular to the slits.

The slit array is
The confocal light scanner according to claim 1, wherein the confocal light scanner is disposed at a position conjugate with the sample.

The drive means
2. The confocal optical scanner according to claim 1, wherein the slit array is driven with a stroke that is an integral multiple of the pitch of each slit.

The drive means
The confocal optical scanner according to claim 1, wherein each of the slits is driven so that a time required for moving each slit to an adjacent slit is 1 / integer times an imaging time of one screen of the photodetector.

The confocal light scanner according to claim 1, wherein the output light is irradiated to the slit array by Koehler illumination.

2. The confocal optical scanner according to claim 1, wherein the same number of condensing means as the slits are provided on the light source side of the slit array.

The light branching means is disposed on the light source side of the slit array,
On the light source side of the light branching means, a fixing means in which the same number of light collecting means as the slits are formed is arranged,
2. The confocal optical scanner according to claim 1, wherein one end of the fixing means is fixed to the slit array and is driven by the driving means integrally with the slit array.

The light collecting means is
8. The confocal optical scanner according to claim 6, wherein the confocal optical scanner is a cylindrical lens.

2. The confocal optical scanner according to claim 1, wherein a slit array having a plurality of types of patterns is formed on the slit array, and slit arrays having different patterns are selected as necessary.

The confocal optical scanner according to claim 1, wherein a relay optical system is provided between the objective lens and the slit array.

The drive means
2. The confocal light scanner according to claim 1, wherein the confocal light scanner is of an electromagnetic type, a piezoelectric element type, or a resonance type.

Support means for the slit array,
2. The confocal optical scanner according to claim 1, wherein the confocal optical scanner is a bearing or a leaf spring.

A stroke detector by the drive means;
2. The confocal optical scanner according to claim 1, further comprising servo means for controlling the driving means based on the output of the detector.