JP3521417B2 - 露光装置及び露光方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えばカラーブラ
ウン管の色選別用のマスク（アパーチャーグリルあるい
はシャドウマスク）等を形成するのに適した露光装置及
び露光方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】カラーブラウン管では、赤，緑，青の蛍
光体を光らせる３つの電子ビームを、それぞれ決められ
た蛍光体に正しく向くようにしないと、美しいカラー画
像が再現できない。このため、この機構として色選別機
構が設けられており、トリニトロン管タイプのカラーブ
ラウン管ではアパーチャーグリル、シャドウマスク管タ
イプのカラーブラウン管ではシャドウマスクと言い、蛍
光面のすぐ後ろに設けられている。これらアパーチャー
グリル及びシャドウマスクは、シート状（カットあるい
はロール状に連続しているのを含む）をした鉄板の表面
に感光材を塗布して成るレジスト付き鉄板（以下、これ
を「被露光物」と言う）に光を照射して露光し、その
後、現像、エッチング処理等されて作られる。

【０００３】図１９及び図２０は従来の露光装置におけ
る要部構造の一例を模式的に示すもので、図１９は被露
光物を位置決めする前の状態で示す模式図、図２０は被
露光物を位置決めした状態で示す模式図である。

【０００４】図１９及び図２０において、符号５０はア
パーチャーグリルの原材料となるシート状をした被露光
物である。５２，５３は被露光物５０を上下で挟んで保
持する上側ガラス版と下側ガラス版である。また、上側
ガラス版５２の側部には先端に球体６０を有した位置決
め用のピン６１が下方に向かって形成されている。一
方、下側ガラス版５３の側部には球体６０と共に位置決
めピン６１を受け入れるための位置決め穴６２（図２１
参照）を有した位置決め片６３が形成されている。そし
て、下側ガラス版５３上に被露光物５０を載せた状態
で、位置決めピン６１を位置決め穴６２に挿入させて上
側ガラス版５２を下側ガラス版５３上に載せると、間に
被露光物５０を挟んで上側ガラス版５２と下側ガラス版
５３が重ねられて位置決めさせることができる。なお、
ここでの位置決めピン６１及び位置決め穴６２は、通常
は複数対設けられる。

【０００５】５４は下側ガラス版５３の下面を受けて保
持する下側ガラス版密着用フレームであり、この下側ガ
ラス版密着用フレーム５４は中央が露光用に開口されて
枠状に形成されている。また、下側ガラス版密着用フレ
ーム５４の上面で、下側ガラス版５３の外周部分を受け
る位置には、真空吸着用のパッドを形成している下側ガ
ラス版位置決め用パッキン５５が下側ガラス版密着用フ
レーム５４の開口を一周囲む状態にして設けられてい
る。さらに、下側ガラス版密着用フレーム５４の上面
で、下側ガラス版５３の外周部分の外側に位置する部分
には、密着用下側パッキン半体５６が下側ガラス版位置
決め用パッキン５５の外側を一周囲む状態にして設けら
れている。加えて、下側ガラス版位置決め用パッキン５
５内及び密着用下側パッキン半体５６で囲まれている領
域内には、この領域内のエアを抜いて真空吸着するため
の図示せぬ真空吸着穴が形成されている。

【０００６】５７は上側ガラス版５２の上面を受けて保
持する上側ガラス版密着用フレームであり、この上側ガ
ラス版密着用フレーム５７も下側ガラス版密着用フレー
ム５４と同様に中央が露光用に開口されて枠状に形成さ
れている。また、上側ガラス版密着用フレーム５７の下
面で、上側ガラス版５２の外周部分と当接される位置に
は、真空吸着用のパッドを形成している上側ガラス版吸
着保持用パッキン５８が上側ガラス版密着用フレーム５
７の開口を一周囲む状態にして設けられている。さら
に、上側ガラス版密着用フレーム５７の下面で、上側ガ
ラス版５２の外周部分の外側に位置する部分には、密着
用下側パッキン半体５６に対応して密着用上側パッキン
半体５９が上側ガラス版位置決め用パッキン５８の外側
を一周囲む状態にして設けられている。加えて、上側ガ
ラス版位置決め用パッキン５８で囲まれている領域内に
は、この領域内のエアを抜いて真空吸着するための図示
せぬ真空吸着穴が形成されている。そして、この上側ガ
ラス版密着用フレーム５７と下側ガラス版密着用フレー
ム５４とが互いに近づき合わされると、密着用上側パッ
キン半体５９と密着用下側パッキン半体５６とが密着さ
れる構造になっている。

【０００７】次に、この露光装置の動作を説明する。被
露光物５０は、上側ガラス版５２と下側ガラス版５３と
が離れている状態で、上側ガラス版５２と下側ガラス版
５３との間に通される。図１９はこの状態を示してい
る。すなわち、下側ガラス版５３は下側ガラス版位置決
め用パッキン５５上に載せられて真空吸着され、この下
側ガラス版位置決め用パッキン５５を介して下側ガラス
版密着用フレーム５４に保持されている。一方、上側ガ
ラス版５２は上側ガラス版位置決め用パッキン５８で真
空吸着されて上側ガラス版密着用フレーム５７と共に上
方に移動されて下側ガラス版５３より大きく離されてい
る。そして、被露光物５０は、この状態で上側ガラス版
５２と下側ガラス版５３との間に通され、下側ガラス版
５３上に配置される。

【０００８】次いで、上側ガラス版密着用フレーム５７
が上側ガラス版５２と共に下降される。また、所定の位
置まで下降されると、位置決めピン６１が位置決め穴６
２内に挿入されながら上側ガラス版５２が下側ガラス版
５３の上に被露光物５０を介して重ねられ、被露光物５
０が上側ガラス版５２と下側ガラス版５３とで挟まれ
る。これと同時に、密着用下側パッキン半体５６と密着
用上側パッキン半体５９が互いに密着し、上下のガラス
版５２，５３の外側に空洞部６４（図２１参照）が形成
される。次に、空洞部６４内のエアを抜く。すると、こ
の空洞部６４内に通じている上側ガラス版５２と下側ガ
ラス版５３との間に存在する空気も同時に抜かれなが
ら、上側ガラス版５２と下側ガラス版５３との間に上側
ガラス版密着用フレーム５７及び下側ガラス版密着用フ
レーム５４からの押力を受け、上側ガラス版５２と下側
ガラス版５３との間が被露光物５０を挟んで密着され
る。また、被露光物５０が上下のガラス版５２，５３で
挟まれた後からは、図示せぬ光源が点灯され、ガラス版
５２，５３の上下方向より露光用の光が当てられ、ガラ
ス版５２，５３を通して被露光物５０が露光される。

【０００９】こうして、被露光物５０に対する露光が終
了すると、空洞部６４内の真空吸着が解除されるととも
に、上側ガラス版密着用フレーム５７が上側ガラス版５
２と共に上昇され、上側ガラス版５２と下側ガラス版５
３との間が離される。また、上側ガラス版５２と下側ガ
ラス版５３との間を離した後からは、露光済みの被露光
物５０が取り除かれ、その後に再び未露光の被露光物５
０がセットされて同じ動作が繰り返される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来構造の露光装置では、上側ガラス版吸着保持用パ
ッキン５８と密着用上側パッキン半体５９とが上側ガラ
ス版密着用フレーム５７に取り付けられているので、図
２１に要部拡大断面図として示すように、上側ガラス版
５２を下降させて下側ガラス版５３に載せる過程で、位
置決めピン６１の位置決め穴６２に対するはめ合いが進
行しつつ密着用上側パッキン半体５９が密着用下側パッ
キン半体５６と接触を開始し、さらに位置決めピン６１
が位置決め穴６２にはめ合いつつ、上側ガラス片５２と
下側ガラス片５３との間の水平移動を強制されることに
なる。

【００１１】このため、次の（１）〜（６）に述べるよ
うな問題点が発生していた。 （１）上側ガラス版吸着保持用パッキン５８と密着用上
側パッキン半体５９等の磨耗及び変形によって応力が発
生し、位置決めピン６１及びガラス版５２，５３の変形
を来して精度が悪化する原因となっていた。 （２）位置決めピン６１と位置決め穴６２とのはめ合い
クリアランスの値よりも大幅に精度を落としてしまう。 （３）上記の発生する応力によって製品の精度が悪化
し、バラツキも増える。そのため、より高精度を要求さ
れる業務用ブラウン管のアパーチャーグリルやシャドウ
マスク（以下、このアパーチャーグリルとシャドウマス
クを総称して単に「マスク」と言う）の生産には不向き
であった。 （４）上記（３）の問題を回避するのに、画像認識等の
位置微調整機構等を採用することも考えられるが、この
位置微調整機構等を採用すると設備コストが著しく高く
なる。 （５）上記の発生する応力によって位置決めピン６１及
びガラス版５２，５３の破損を来すことがあり、寿命の
短縮になる。 （６）また、ガラス版５２，５３が破損すれば設備をメ
ンテナンスする必要が生じ、設備稼働率の低下にもつな
がる。

【００１２】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、その目的は露光位置精度を向上させて高品質
を保つことができる露光装置及び露光方法を提供するこ
とにある。本発明の他の目的は、ガラス版の寿命を向上
させてランニングコストを抑えるとともに、設備稼働率
を向上させて安価に提供することができる露光装置及び
露光方法を提供することにある。本発明のさらに他の目
的は、以下に説明する内容の中で順次明らかにして行
く。

【００１３】

【課題を解決するための手段】この目的は、本発明にあ
っては、ピンと穴とのはめ合いにより位置決めされる上
下一対のガラス版の間に被露光物を密着させて配置し、
上下方向より光を照射して露光する露光装置において、
前記下側ガラス版の外周内側部分を一周囲む状態にして
設けられて前記下側ガラス版の下面を受けるための下側
ガラス版位置決め用パッキン及び前記下側ガラス版の外
周外側を一周囲む状態にして配置された密着用下側パッ
キン半体とを有する下側ガラス版密着用フレームと、前
記上側ガラス版を真空吸着して前記下側ガラス版上まで
移動させ、その後、吸着を解除可能な移動用パッキンを
有する上側ガラス版移動用フレームと、前記下側ガラス
版密着用フレームと対抗している位置に配設されている
とともに、前記上側ガラス版の外周部分の一部を重複さ
せて前記上側ガラス版の外側を一周囲む状態にして配置
され、前記下側ガラス版密着用フレームと近づき合うと
前記密着用下側パッキン半体と密着されて前記上下一対
のガラス版の外周部分を内側に配置させて該外周部分を
一回り囲った空洞部分を画成するための密着用上側パッ
キン半体を有している上側ガラス版密着用フレームと、
前記空洞部分内のエアを抜くための手段とを備えてなる
構成としたものである。

【００１４】これによれば、移動用パッキンを介して上
側ガラス版を保持している上側ガラス版移動用フレーム
の上下移動によって上側ガラス版を下降させ、この上側
ガラス版が下側ガラス版に載ったら上記移動用パッキン
による上側ガラス版の真空保持を解除し、次いで上側ガ
ラス版移動用フレームだけを上昇させると、上側ガラス
版は下側ガラス版に載った状態のまま残され、位置決め
ピンと位置決め穴とのはめ合い係合が上側ガラス版の自
重でなされる。したがって、この状態では各ガラス版と
の間に外力が発生しないで位置決めが完了することにな
る。次に、上側ガラス版密着用フレームを下降させる
と、この上側ガラス版密着用フレームに取り付けられて
いる密着上側パッキン半体が密着用下側パッキン半体に
当接される。同時に、密着用上側パッキン半体と密着用
下側パッキン半体とで上下一対のガラス版の外周部分を
内側に配置させて該外周部分を一回り囲った空洞部分が
形成される。次いで、この空洞部分内のエアを抜くと上
下一対のガラス版にそれぞれ互いに押し付け合う力が加
えられ、被露光物を挟んで上下一対のガラス版が密着さ
れる。したがって、この状態で露光を行うとピンボケの
無い鮮明な露光が実現する。

【００１５】

【発明の実施の形態】図２は本発明に係る露光装置の一
実施の形態例を模式的に示すもので、その装置の内部構
成配置図である。図２において、符号１は装置本体で、
この装置本体１の中間部分には被露光物２が水平方向に
通る通路（不図示）が設けられている。この被露光物２
は、ここではカラーブラウン管用のマスク（アパーチャ
ーグリルまたはシャドウマスク）を作るためのものであ
り、例えば鉄板の表面に感光剤を塗布して成るレジスト
付き鉄板である。

【００１６】３，４は被露光物２を上下で挟んで保持す
る上側ガラス版と下側ガラス版である。この上下のガラ
ス版３，４には、それぞれ形成すべきブラウン管のマス
クのパターンが予め設けられている。ここでは上下のガ
ラス版３，４が１セットとなって１つのマスクとなる。
また、上側ガラス版３と下側ガラス版４の各側部には位
置決めブラケット部５が、図３に示すように被露光物２
の通路を挟んで対抗した側にそれぞれ１つづ設けられて
いる。なお、この位置決めブラケット部５は、２つ以上
であっても差し支えないものである。

【００１７】また、各位置決めブラケット部５の細部構
造は、図４及び図５に示している。すなわち、図４は位
置決めブラケット部５の平面図、図５は図４のＡ−Ａ線
に沿う概略破断図である。図４及び図５に示すように、
上側ガラス版３側に取り付けられている位置決めブラケ
ット半体５Ａは先端に球体６を有した位置決めピン７を
有し、下側ガラス版４側に取り付けられている位置決め
ブラケット半体５Ｂは位置決めピン７を球体６と共に受
け入れるための位置決め穴８が設けられている。そし
て、位置決め穴８に位置決めピン７をはめ合い係合させ
ると、このはめ合い係合で上下のガラス版３，４との間
の水平方向の位置決めがなされる構造になっている。な
お、この位置決めブラケット半体５Ａと５Ｂは逆の位
置、すなわち位置決めブラケット半体５Ａが下側ガラス
版４に取り付けられ、位置決めブラケット半体５Ｂが上
側ガラス半体３に取り付けられた構造であっても良いも
のである。さらには、例えば図６に示すように、位置決
めピン７の先端に形成している球体６を無くして、位置
決めピン７だけの構造にしても差し支えないものであ
る。

【００１８】９は下側ガラス版４の下面を受けて保持す
る下側ガラス版密着用フレームであり、中央が露光用に
開口されて枠状に形成されている。そして、この下側ガ
ラス版密着用フレーム９は軸受１０及びロッド１１を介
して、装置本体１に上下方向移動自在に取り付けられて
いる。また、下側ガラス版密着用フレーム９には、この
上面で、かつ下側ガラス版４の外周部分を受ける位置
に、真空吸着用のパッドを形成している下側ガラス版位
置決め用パッキン１２が、下側ガラス版密着用フレーム
９の開口を一周囲む状態にして設けられている。さら
に、下側ガラス版密着用フレーム９の上面で、かつ下側
ガラス版４の外周部分の外側に位置する部分には、密着
用下側パッキン半体１３が下側ガラス版位置決め用パッ
キン１２の外側を一周囲む状態にして設けられている。
加えて、下側ガラス版位置決め用パッキン１２で囲まれ
ている領域内には、この領域内のエアを抜いて吸着する
ための真空吸着穴１４が設けられているとともに、密着
用下側パッキン半体１３で囲まれている領域内には、こ
の領域内のエアを抜いて吸着するための真空吸着穴１５
が形成されている。

【００１９】１６は上側ガラス版３の上面を受けて保持
する上側ガラス版移動用フレームであり、この上側ガラ
ス版移動用フレーム１６も下側ガラス版密着用フレーム
９と同様に中央が露光用に開口されて枠状に形成されて
いる。そして、この上側ガラス版密着用フレーム１６は
軸受１７及びロッド１８を介して、装置本体１に上下方
向移動自在に取り付けられている。また、上側ガラス版
移動用フレーム１６の下面で、上側ガラス版３の外周部
分と当接される位置には、真空吸着用のパッドを形成し
ている上側ガラス版移動用パッキン１９が上側ガラス版
密着用フレーム１６の開口を一周囲む状態にして設けら
れている。なお、このようなパッキン１９は一枚ものと
して一体に形成される以外に、分割片で構成してもよ
い。さらに、上側ガラス版移動用パッキン１９で囲まれ
ている領域内には、この領域内のエアを抜いて吸着する
ための真空吸着穴２０が形成されている。

【００２０】２１は上側ガラス移動用フレーム１６の外
側を囲って配置される上側ガラス版密着用フレームであ
る。この上側ガラス版密着用フレーム２１は軸受２６及
びロッド２７を介して、装置本体１に上下方向移動自在
に取り付けられている。また、上側ガラス版密着用フレ
ーム２１の下面で、上側ガラス版３の外周部分の外側に
位置する部分には、密着用下側パッキン半体１３及び上
側ガラス版３にそれぞれ対応して密着用上側パッキン半
体２２が上側ガラス版移動用パッキン１９の外側を一周
囲む状態にして設けられている。そして、上側ガラス版
密着用フレーム２１が下方に移動されると、密着用上側
パッキン半体２２は下側ガラス版密着フレーム９の密着
用下側パッキン半体１３に密着されて、上下のガラス版
３，４との外側に空洞部分３０（図１参照）を形成する
ことができる構造になっている。加えて、密着用上側パ
ッキン半体２２で囲まれている領域内には、この領域内
のエアを抜いて真空吸着するための真空吸着穴２３が形
成されている。

【００２１】なお、下側ガラス版位置決め用パッキン１
２，密着用下側パッキン半体１３，上側ガラス版移動用
パッキン１９，密着用下側パッキン半体２２の各縦断面
形状は、図７に示すように、基板部ａから連続して舌片
ｂを延ばした状態の形状になっているが、これ以外にも
密着性が得られるものであれば例えば図８，図９，図１
０，図１１，図１２，図１３，図１４，図１５，図１
６，図１７，図１８等に示す断面形状のようにしたもの
を使用しても差し支えないものである。

【００２２】２４は上側ガラス版３の上側から露光用の
光を当てるための光源で、２５は下側ガラス版４の下側
から露光用の光を当てるための光源である。

【００２３】図１は図２に示した露光装置の位置決め部
分における動作状態図である。そこで、次に図２に示し
た露光装置の動作を図１の動作（ａ）〜動作（ｄ）の順
で説明する。

【００２４】動作（ａ）では、下側ガラス版密着用フレ
ーム９は軸受１０及びロッド１１の案内で下方に移動さ
れているとともに、上側ガラス版移動用フレーム１６は
軸受１７及びロッド１８の案内で上方に移動され、上側
ガラス版密着用フレーム２１も軸受２６及びロッド２７
を介し上方に移動されている。また、このとき上側ガラ
ス版移動用パッキン１９は真空吸着穴２０を通してエア
抜きされて真空吸着状態にされ、上側ガラス版３を真空
吸着したままの状態で、この上側ガラス版３と共に上方
に移動され、下側ガラス版密着用フレーム９上に載せら
れた下側ガラス版４との間に大きな隙間が作られた状態
になっている。一方、下側ガラス版位置決め用パッキン
１２も真空吸着穴１４を通してエア抜きされて真空吸着
状態にされていて、これにより下側ガラス版密着用フレ
ーム９上に載せられた下側ガラス版４も下側ガラス版位
置決め用パッキン１２の真空吸着によって保持されてい
る。そして、この状態において上側ガラス版３と下側ガ
ラス版４との間に被露光物２が通されて配置される。図
２は、この状態を示している。

【００２５】動作（ｂ）では、下側ガラス版密着用フレ
ーム９の高さを調節し、露光に適した位置に下側ガラス
版密着用フレーム９を配置する。次いで、上側ガラス版
移動用フレーム１６が上側ガラス版３と共に下降され、
位置決めピン７を位置決め穴８に挿入係合させる。する
と、上側ガラス版３と下側ガラス版４との相対位置が決
定される。また、上側ガラス版３が下側ガラス版４に載
った時点で、上側ガラス版移動用パッキン１９の真空吸
着を解除する。

【００２６】動作（ｃ）では、上側ガラス版移動用フレ
ーム１６を上昇させる。すると、上側ガラス版３は下側
ガラス版４に載ったまま残され、上側ガラス版移動用フ
レーム１６だけが上昇する。

【００２７】動作（ｄ）では、上側ガラス版密着用フレ
ーム２１だけを下降させる。上側ガラス版密着用フレー
ム２１が所定の位置まで下降されると、密着用下側パッ
キン半体１３に密着用上側パッキン半体２２が密着さ
れ、上下一対のガラス版３，４の外周部分を内側に配置
させて、この外周部分を一回り囲った空洞部分３０が形
成される。次いで、真空吸着穴１５，２３を通してエア
抜きをする。すると、空洞部分３０内と上下のガラス版
３，４との間に存在しているエアが抜かれるとともに、
上下一対のガラス版３，４にそれぞれに互いに押し付け
合う力が加えられ、ガラス版３，４及び被露光物２との
間が完全に密着する。そして、この状態で光源２４，２
５より露光用の光源２４，２５を点灯させて露光する
と、ピンボケの無い鮮明な露光が実現する。

【００２８】露光が完了したら、次に空洞部分３０の真
空抜きを解除するとともに、上側ガラス版移動用フレー
ム１６を下降させ、上側ガラス版移動用パッキン１９を
上側ガラス版３に当接させる。また、当接されたら上側
ガラス版移動用パッキン１９の真空抜きを行って上側ガ
ラス版３を真空吸着し、そのままの状態で上側ガラス移
動用フレーム１６を上側ガラス版３と共に上方に移動さ
せる。一方、下側ガラス版密着用フレーム２１も初期レ
ベル位置まで下降させる。次いで、被露光物２を取り出
すか、または搬送し、その後同じ動作が繰り返し行われ
る。

【００２９】したがって、本実施の形態例における露光
装置によれば、まず下側ガラス版密着用フレーム９の高
さ調整によって下側ガラス版３の高さをレベル出しして
被露光物２を位置決めさせ、次に移動用パッキン１９を
介して上側ガラス版３を保持している上側ガラス版移動
用フレーム１６の移動によって上側ガラス版３を下降さ
せ、この上側ガラス版３が下側ガラス版４に載ったら上
側ガラス版移動用パッキン１９の真空吸着を解き、次に
上側ガラス版移動用フレーム１６だけを上昇させて、上
側ガラス版３が下側ガラス版４に載った状態にさせ、位
置決めピン７と位置決め穴８とのはめ合い係合を上側ガ
ラス版３の自重で行わせるので、はめ合いによる水平移
動を強制することがほぼ無くなるか、激減する。このた
め、位置決めピン７と位置決め穴８のはめ合いクリアラ
ンスの値での精度が実現でき、露光位置精度が良くな
る。また、ノンコンスーマ用のマスクは高精度が要求さ
れるが、ピン方式での対応が可能となり、設備コストを
低く抑えることができる。また、各パッキン１２，１
３，１９，２２の摩擦及び変形によって発生する応力を
無くすことができる。これにより、露光位置精度の変動
が小さくなり、品質を向上させることができる。さら
に、各ガラス版３，４の寿命が長くなり、ランニングコ
ストを低くでき、設備稼働率を向上させることができ
る。

【００３０】なお、本実施の形態例では、カラーブラウ
ン管用のマスク（アパーチャーグリルまたはシャドウマ
スク）を作る場合について説明したが、本発明はこれに
限ることなく、例えば半導体製造工程における露光装置
としても広く適用できるものである。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したとおり、本発明に係る露光
装置及び露光方法によれば、露光位置精度を向上させて
高品質の露光が得られるとともに、コストを抑えて安価
に提供することができる等の効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例として示す露光装置の動作説
明図である。

【図２】本発明装置の内部構成配置図である。

【図３】本発明装置の要部平面図である。

【図４】本発明装置のブラケット部の平面図である。

【図５】図４のＡ−Ａ線に沿う概略破断図である。

【図６】ブラケット部の一変形例を示す概略破断図であ
る。

【図７】本発明装置で使用するパッキンの形状を示す縦
断端面図である。

【図８】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を示
す縦断端面図である。

【図９】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を示
す縦断端面図である。

【図１０】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を
示す縦断端面図である。

【図１１】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を
示す縦断端面図である。

【図１２】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を
示す縦断端面図である。

【図１３】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を
示す縦断端面図である。

【図１４】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を
示す縦断端面図である。

【図１５】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を
示す縦断端面図である。

【図１６】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を
示す縦断端面図である。

【図１７】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を
示す縦断端面図である。

【図１８】本発明装置で使用するパッキンの他の形状を
示す縦断端面図である。

【図１９】従来装置の動作説明図である。

【図２０】従来装置の動作説明図である。

【図２１】従来装置の要部拡大断面図である。

【符号の説明】

１ 装置本体 ２ 被露光物 ３ 上側ガラス版 ４ 下側ガラス版 ５ 位置決めブラケット ７ 位置決めピン ８ 位置決め穴 ９ 下側ガラス版密着用フレーム １２ 下側ガラス版位置決め用パッキン １３ 密着用下側パッキン半体 １６ 上側ガラス版密着用フレーム １９ 上側ガラス版移動用パッキン ２１ 上側ガラス版密着用フレーム ２２ 密着用下側パッキン半体 ３０ 空洞部分

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G03F 7/20 - 7/24 G03F 9/00 - 9/02 H01J 9/00 - 9/18 G03F 1/00 - 1/16

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ピンと穴とのはめ合いにより位置決めさ
   れる上下一対のガラス版の間に被露光物を密着させて配
   置し、上下方向より光を照射して露光する露光装置にお
   いて、 前記下側ガラス版の外周内側部分を一周囲む状態にして
   設けられて前記下側ガラス版の下面を受ける下側ガラス
   版位置決め用パッキン及び前記下側ガラス版の外周外側
   を一周囲む状態にして配置された密着用下側パッキン半
   体とを有する下側ガラス版密着用フレームと、 前記上側ガラス版を真空吸着して前記下側ガラス版上ま
   で移動させ、その後、前記真空吸着を解除可能な移動用
   パッキンを有する上側ガラス版移動用フレームと、 前記下側ガラス版密着用フレームと対抗している位置に
   配設されているとともに、前記上側ガラス版の外周部分
   の一部を重複させて前記上側ガラス版の外側を一周囲む
   状態にして配置され、前記下側ガラス版密着用フレーム
   と近づき合うと前記密着用下側パッキン半体と密着され
   て前記上下一対のガラス版の外周部分を内側に配置させ
   て該外周部分を一回り囲った空洞部分を画成するための
   密着用上側パッキン半体を有している上側ガラス版密着
   用フレームと、 前記空洞部分内のエアを抜くための手段、 とを備えたことを特徴とする露光装置。
2. 【請求項２】 ピンと穴とのはめ合いにより位置決めさ
   れる上下一対のガラス版の間にシート状をした被露光物
   を密着させて配置し、上下方向より光を照射させて露光
   し、カラーブラウン管の色選別用マスクを形成するため
   の露光装置において、 前記下側ガラス版の外周内側部分を一周囲む状態にして
   設けられて前記下側ガラス版の下面を受けるための下側
   ガラス版位置決め用パッキン及び前記下側ガラス版の外
   周外側を一周囲む状態にして配置された密着用下側パッ
   キン半体とを有する下側ガラス版密着用フレームと、 前記上側ガラス版を真空吸着して前記下側ガラス版上ま
   で移動させ、その後、吸着を解除可能な移動用パッキン
   を有する上側ガラス版移動用フレームと、 前記下側ガラス版密着用フレームと対抗している位置に
   配設されているとともに、前記上側ガラス版の外周部分
   の一部を重複させて前記上側ガラス版の外側を一周囲む
   状態にして配置され、前記下側ガラス版密着用フレーム
   と近づき合うと前記密着用下側パッキン半体と密着され
   て前記上下一対のガラス版の外周部分を内側に配置させ
   て該外周部分を一回り囲った空洞部分を画成するための
   密着用上側パッキン半体を有している上側ガラス版密着
   用フレームと、 前記空洞部分内のエアを抜くための手段、 とを備えたことを特徴とする露光装置。
3. 【請求項３】 ピンと穴とのはめ合いにより位置決めさ
   れる上下一対のガラス版の間に被露光物を密着させて配
   置し、上下方向より光を照射して露光する露光方法にお
   いて、 前記上側ガラス版を真空吸着して前記下側ガラス版上ま
   で移動させ、その後、真空吸着を解除して前記上側ガラ
   ス版を前記被露光物を介して前記下側ガラス版上に配置
   する工程と、 前記上下一対のガラス版の外周部分を内側に配置させて
   該外周部分を一回り囲み、前記一対のガラス版の隙間に
   通じている空洞部分を形成する工程と、 前記密着用上側パッキン半体と前記密着用下側パッキン
   半体とで形成された前記空洞部分内のエアを抜くための
   工程と、 前記上下一対のガラス版を通して前記被露光物に光を照
   射して露光する工程とを順に経て処理するようにしたこ
   とを特徴とする露光方法。
4. 【請求項４】 ピンと穴とのはめ合いにより位置決めさ
   れる上下一対のガラス版の間にシート状をした被露光物
   を密着させて配置し、上下方向より光を照射させて露光
   し、カラーブラウン管の色選別用マスクを形成するため
   の露光方法において、 前記下側ガラス版の高さを調節して位置決めするための
   工程と、 前記上側ガラス版を真空吸着して前記下側ガラス版上ま
   で移動させ、その後、真空吸着を解除して前記上側ガラ
   ス版を前記被露光物を介して前記下側ガラス版上に配置
   する工程と、 前記上下一対のガラス版の外周部分を内側に配置させて
   該外周部分を一回り囲み、前記一対のガラス版の隙間に
   通じている空洞部分を形成する工程と、 前記密着用上側パッキン半体と前記密着用下側パッキン
   半体とで形成された前記空洞部分内のエアを抜くための
   工程と、 前記上下一対のガラス版を通して前記被露光物に光を照
   射して露光する工程とを順に経て処理するようにしたこ
   とを特徴とする露光方法。