JP3504164B2

JP3504164B2 - マウントヘッド装置及びマウント方法

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Publication number: JP3504164B2
Application number: JP31133998A
Authority: JP
Inventors: 勉長岡
Original assignee: Sony Chemicals Corp
Current assignee: Dexerials Corp
Priority date: 1998-10-30
Filing date: 1998-10-30
Publication date: 2004-03-08
Anticipated expiration: 2018-10-30
Also published as: US6336492B1; JP2000142651A

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、シート体を吸着し
て被着物の上方に移動するとともに当該被着物上に載置
するマウントヘッド装置及びマウント方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、シート体を被着物上の所定の位
置に位置決めした状態で被着させる際には、いわゆるマ
ウントヘッド装置が用いられる。このマウントヘッド装
置は、例えば、接着剤層と剥離フィルムとからなる接着
シートを液晶パネルとＴＡＢとの接続部位や、異方性導
電性接着剤シートをフレキシブルプリント基板上の所定
の位置に載置する際に使用されている。

【０００３】このマウントヘッド装置は、図８に示すよ
うに、シート体１００を吸着するヘッド部１０１と、こ
のヘッド部１０１を移動させる移動手段（図示せず。）
と、ヘッド部１０１に吸着力を発生させる真空ポンプ１
０２とを備える。また、図示しないが、ヘッド部１０１
には、複数の吸着孔が一方向に並列して形成されてい
る。したがって、このマウントヘッド装置では、真空ポ
ンプ１０２からの吸引力が複数の吸着孔に発生し、シー
ト体１００を吸着することができる。

【０００４】そして、マウントヘッド装置は、ヘッド部
１０１にシート体１００を吸着した状態で、移動手段に
よって被着物１０３上に移動する。また、マウントヘッ
ド装置は、シート体１００が吸着した状態でヘッド部１
０１を被着物１０３に当接させるとともに吸着力を無く
すことによってシート体１００を被着物１０３上に載置
する。

【０００５】例えば、異方性導電性接着剤シートをフレ
キシブルプリント基板上の所定の位置に接着する際に
は、先ず、所定の形状とされた異方性導電性接着剤シー
ト（以下、ＡＣＦと略称する。）を、上述したようなマ
ウントヘッド装置によりフレキシブルプリント基板（以
下、ＦＰＣと略称する。）上に貼り付け（仮圧着）、そ
の後、加熱ヘッド等によりこれらＡＣＦとＦＰＣとを完
全に接着（本圧着）させる。

【０００６】このように構成されたマウントヘッド装置
によれば、所定のシート体１００を被着体１０３上の所
望の位置に容易に載置することができる。このため、上
述したようなシート体１００のマウントに際しては、略
々自動化されているのが現状である。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、現在、電子
機器製品の小型化に伴って用いられるＦＰＣ等も小型化
されている。このため、上述したようなＡＣＦ等のシー
ト体も、小型化された被着体上に非常に正確に載置され
なくてはならない。

【０００８】しかしながら、上述したようなマウントヘ
ッド装置では、一方向に配列した複数の吸着孔に吸引力
が発生しているため、これら複数の吸着孔を全て覆うよ
うな大きさのシート体１００でなければ、シート体１０
０に対する吸着力が低下してしまう。すなわち、シート
体１００を吸着していない吸着孔により負圧効果が損な
われるため、小さなシート体１００に対して吸着力不足
となってしまう。

【０００９】これを防止するため、小さいシート体１０
０に対応したヘッド部１０１に交換するといった手法
や、小さいシート体１００に対応して吸着孔の一部をマ
スキングするといった手法が考えられる。しかしなが
ら、ヘッド部１０１を交換するにしてもマスキングをす
るにしても、非常に煩わしい作業となり、生産性が大幅
に低下してしまう。また、これらいずれの手法でも、小
さいシート体１００に対応した吸着力を発生させること
は可能ではあるが、大きさの異なるシート体１００を交
互に載置するような場合、今度は大きなシート体１００
に対する吸着力が低下してしまうといった不都合が生じ
てしまう。

【００１０】そこで、本発明は、上述したような従来の
マウントヘッド装置及びマウント方法の実情を鑑みて案
出されたものであり、シート体の大きさに拘わらずあら
ゆるシート体を良好に吸着することができ、被着物上の
所望の位置に正確にシート体を載置することができるマ
ウントヘッド装置及びマウント方法を提供することを目
的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上述した目的を達成した
本発明に係るマウントヘッド装置は、シート体を吸着し
て被着物の上方に移動させ、吸着したシート体を当該被
着物上に載置するマウントヘッド装置において、先端部
に穿設された複数の吸着孔を有する吸着部と、上記吸着
部を取り付けるとともに、上記複数の吸着孔の基端部を
連結孔を介して連結する空間部として形成された連結室
と、上記連結室内に当該連結室の長手方向に移動可能に
配設され、当該連結室内を複数に分割するピストンヘッ
ドを備えるピストンと、上記連結室に接続され、当該連
結室内を減圧する減圧手段と、上記吸着部に設けられ、
上記複数の吸着孔の基端部側に、該複数の吸着孔の配列
方向と平行に延設された当該吸着部を加熱する加熱手段
とを備え、上記ピストンが上記連結室内を所定の位置で
分割し、分割された連結室のうち少なくとも一方を上記
減圧手段が減圧することによって、上記複数の吸着孔の
うち所定の領域から吸着力が発生することを特徴とする
ものである。

【００１２】以上のように構成された本発明に係るマウ
ントヘッド装置では、ピストンによって連結室を所望の
位置で分割することができる。そして、このマウントヘ
ッド装置では、分割された連結室のうち少なくとも一方
を減圧して吸着力を発生させる。このとき、マウントヘ
ッド装置では、吸着するシート体の寸法に従ってピスト
ンが連結室内を分割する位置を決定する。これにより、
マウントヘッド装置は、シート体の寸法に応じて、所定
領域に形成された吸着孔からのみ吸着力を発生させるこ
とができ、所定の寸法のシート体を吸着することができ
る。

【００１３】また、上述した目的を達成した本発明に
係るマウント方法は、シート体を吸着して被着物の上方
に移動させ、吸着したシート体を当該被着物上にマウン
トするに際して、先端部に穿設された複数の吸着孔を有
する吸着部と、上記吸着部を取り付けるとともに、上記
複数の吸着孔の基端部を連結孔を介して連結する空間部
として形成された連結室と、上記連結室内に当該連結室
の長手方向に移動可能に配設され、当該連結室内を複数
に分割するピストンヘッドを備えるピストンと、上記連
結室内に接続され、当該連結室内を減圧する減圧手段
と、上記吸着部に設けられ、上記複数の吸着孔の基端部
側に、該複数の吸着孔の配列方向と平行に延設された当
該吸着部を加熱する加熱手段とを有するマウントヘッド
装置を用い、上記ピストンが上記連結室内を所定の位置
で分割し、分割された連結室のうち少なくとも一方を上
記減圧手段が減圧することによって、上記複数の吸着孔
のうち所定の領域から吸着力を発生させ、この吸着力に
よって上記シート体を吸着することを特徴とするもので
ある。

【００１４】以上のように構成された本発明に係るマウ
ント方法では、ピストンによって連結室を所望の位置で
分割し、分割された連結室のうち少なくとも一方を減圧
して所定の吸着孔に吸引力を発生させ、シート体を吸着
している。このため、この手法では、ピストンを調節し
て連結室を分割する位置を制御することにより、複数の
吸着孔のうち所望の領域から吸着力を発生させることが
できる。したがって、この手法によれば、シート体の寸
法に応じて、吸着力を発生させる領域を調節して、当該
シート体を吸着することができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係るマウントヘッ
ド装置及びマウント方法の好適な実施の形態を、図面を
参照して詳細に説明する。

【００１６】本実施の形態では、マウントヘッド装置の
一例として、図１に示すような、異方性導電性接着剤シ
ートをフレキシブルプリント基板上の所定の位置にマウ
ントするマウントヘッド装置１を例示して説明する。し
かしながら、本発明に係るマントヘッド装置及びマウン
ト方法は、これに限定されず、例えば、液晶画像表示装
置を製造する際に、液晶パネルとＴＡＢとの間に、接着
シートを介在させるような場合にも適用される。

【００１７】図１に示すマウントヘッド装置１は、巻出
し用リール２から異方性導電性接着剤シート（以下、Ａ
ＣＦシートと略称する。）１ａを引き出す供給部３と、
この供給部３から供給されたＡＣＦシート１ａを所定の
長さに切断する切断部４と、切断部４で切断されたＡＣ
Ｆシート１ａを保持する仮受部５と、被着体６を固定す
るテーブル７とともにＡＣＦシートマウント装置を構成
している。すなわち、ＡＣＦシートマウント装置は、マ
ウントヘッド装置１と、供給部３と、切断部４と、仮受
部５と、テーブル７とから構成されている。

【００１８】そして、このＡＣＦシートマウント装置１
は、図示しないが、図１中ｘ方向，ｙ方向，ｚ方向とし
て示す方向にマウントヘッド装置１を自在に駆動する駆
動手段８を有している。また、このマウントヘッド装置
１は、図１中矢印ｗで示す回転方向に回動自在とされて
いる。これにより、このＡＣＦシートマウント装置にお
いては、マウントヘッド装置１を所望の位置に自在に移
動させることができる。

【００１９】また、このマウントヘッド装置１は、図２
に示すように、先端部１０に穿設された複数の吸着孔１
０ａを有する吸着部１１と、吸着部１１を取り付けると
ともに複数の吸着孔１０ａの基端部１０ｂを連結する空
間部として形成された連結室１２と、この連結室１２内
に配設され、当該連結室１２内を複数に分割する分割手
段であるピストンヘッド１３とからなるヘッド部１４を
有している。さらに、このマウントヘッド装置１は、ヘ
ッド部１４を取り付ける断熱材１５と、この断熱材１５
とともにヘッド部１４を取り付ける取付部１６と、ｚ方
向に加わる力に対する緩衝作用を発生するダンパー部１
７とを備えている。さらにまた、このマウントヘッド装
置１では、継手１８ａ，１８ｂを介してマウントヘッド
側軸１９と駆動手段側軸２０とを連結している。

【００２０】さらに、このマウントヘッド装置１は、連
結室１２に取り付けられた一対の排気管２１ａ、２１ｂ
と、図示しないが、これら一対の排気管２１ａ、２１ｂ
に接続された減圧手段、例えば、真空ポンプとを備えて
いる。ここで、これら一対の排気管２１ａ，２１ｂに
は、それぞれ異なる真空ポンプが取り付けられているこ
とが好ましい。これにより、連結室１２の内部を、一対
の排気管２１ａ、２１ｂから別個に減圧することができ
る。

【００２１】さらにまた、このマウントヘッド装置１
は、一方端部がピストンヘッド１３に取り付けられたピ
ストン軸２２と、このピストン軸２２の他方端部が取り
付けられるとともにピストン軸２２及びピストンヘッド
１３を一体にピストン運動させる電動ピストン駆動装置
２３とを備えている。

【００２２】このマウントヘッド装置１において、吸着
部１１は、先端部１０と連結室１２との間に配された複
数の隔壁２４を有している。言い換えると、この吸着部
１１には、先端部１０に達する深さに円筒状の連結孔２
５が複数形成され、これら隣り合う連結孔２５間に隔壁
２４が形成されることとなる。このため、これら隔壁２
４が吸着孔１０ａの配列方向と平行に略々等間隔に形成
されるとともに、連結孔２５が先端部１０と連結室１２
との間を連結している。したがって、このように構成さ
れた吸着部１１では、連結孔２５の底面から複数の吸着
孔１０ａが臨むこととなる。

【００２３】そして、この吸着部１１には、図３に示す
ように、吸着孔１０の配列方向と平行に一対のヒータ２
６が配設されている。この一対のヒータ２６によれば、
吸着孔１０ａ周辺、すなわち先端部１０を所望の温度に
加熱することができる。

【００２４】さらにまた、このマウントヘッド装置１に
おいて、連結室１２は、略直方体の金属ブロックの略中
心部を略円筒状に穿設して内部空間２７を形成し、ま
た、金属ブロックの一側面を所定の幅で切削加工して溝
２８を形成して内部空間２７の一部を溝２８から外方へ
露出させることにより形成されている。また、この連結
室１２には、他側面に内部空間２７に達する開口部が一
対穿設されることによって、上述した一対の排気管２１
ａ、２１ｂの連結部１２ａが形成されている。

【００２５】そして、この連結室１２と上述した吸着部
１１とが一体とされることによってヘッド部１４が構成
される。連結室１２と吸着部１１とが一体化されてなる
ヘッド部１４においては、隔壁２４の上端面２４ａが連
結室１２の溝２８内に位置する。これにより、ヘッド部
１４では、内部空間２７と吸着孔１０ａとが連結孔２５
を介して連結されて一体的な空間が形成されている。

【００２６】さらにまた、この連結室１２内には、ピス
トンヘッド１３及びピストン軸２２が配設されている。
このピストンヘッド１３は、図４に示すように、略円筒
状に穿設されてなる内部空間２７の内径よりやや小径と
された柱状体２９と、この柱状体２９の周面に巻回され
た封止材３０とから構成されている。この柱状体２９に
は、その周面に沿って所定の深さを有する外周溝３１が
形成されている。そして、封止材３０は、この柱状体２
９の周面に形成された外周溝３１内に巻回されている。

【００２７】このとき、封止材３０は、例えばゴム等の
弾性材料から形成されることが好ましく、外周溝３１に
巻回された状態で柱状体２９よりも大径となるような厚
みで形成される。このため、封止材３０は、外周溝３１
に巻回されると、柱状体２９の外周側に突出することと
なる。このように、封止材３０を外周溝３１に巻回した
状態では、ピストンヘッド１３の径は、内部空間２７の
内径よりやや大となっている。

【００２８】このため、このピストンヘッド１３は、内
部空間２７内に圧入されることとなる。そして、このピ
ストンヘッド１３は、内部空間２７を構成する側壁と封
止材３０とが密着するとともに、溝２８に臨む隔壁２４
の上端面２４ａと封止材３０とが密着するように配設さ
れる。これにより、内部空間２７内は、ピストンヘッド
１３により２つの空間に分離されることとなる。

【００２９】ところで、このＡＣＦシートマウント装置
に使用されるＡＣＦシート１ａとは、図５に示すよう
に、剥離フィルム３５と接着剤層３６と保護層３７とが
順次積層されてなるものである。そして、このＡＣＦシ
ート１ａは、保護膜３７が除去された状態で所定の長さ
に切断され、フレキシブルプリント基板の所定の位置に
載置される。

【００３０】一方、このＡＣＦシートマウント装置にお
いて、供給部３は、図１に示すように、ＡＣＦシート１
ａが巻回されてなる巻出し用リール２と、この巻出し用
リール２から引き出されたＡＣＦシート１ａが掛け合わ
される複数のガイドローラ３８と、引き出されたＡＣＦ
シート１ａを所定の圧力で挟み込む送りローラ３９及び
加圧ローラ４０と、これら送りローラ３９及び加圧ロー
ラ４０の後段に配されてＡＣＦシート１ａから保護層３
７を除去するセパレータブロック４１と、セパレータブ
ロック４１で剥離された保護層３７を巻き取る巻取りロ
ーラ４２とを備えている。

【００３１】この巻出し用リール２には、ＡＣＦシート
１ａの保護層３７が内周側となるようにＡＣＦシート１
ａが巻回されている。このため、この供給部３では、保
護層３７が下方となるように、ＡＣＦシート１ａがガイ
ドローラ３８等に掛け合わされる。このとき、ＡＦＣシ
ート１ａは、複数のガイドローラ３８に掛け合わされる
ことによって、所望の張力を獲得することになる。

【００３２】また、この供給部３において、送りローラ
３９には、図示しないモータ等の駆動手段が取り付けら
れている。このため、この送りローラ３９は、加圧ロー
ル４０との間にＡＣＦシート１ａを挟み込んだ状態で駆
動されることによって、ＡＣＦシート１ａを巻出し用リ
ール２から引き出すことができる。このとき、送りロー
ラ３９と加圧ローラ４０とのニップを調節することによ
って、ＡＣＦシート１ａの引き出し量を制御することが
できる。

【００３３】さらに、セパレータブロック４１は、送り
ローラ３９及び加圧ローラ４０の後段であって、且つ、
引き出されたＡＣＦシート１ａの保護層３７側に配設さ
れている。このセパレータブロック４１は、走行するＡ
ＣＦシート１ａの保護層３７を剥離させる。そして、剥
離された保護層３７は、巻取りローラ４２に巻き取られ
ることとなる。このとき、巻取りロール４２は、モータ
等の駆動装置が配設されており、駆動されることによっ
て、剥離された保護層３７を確実に巻き取ることができ
る。

【００３４】一方、このＡＣＦシートマウント装置にお
いて、切断部４は、ＡＣＦシート１ａを切断するカッタ
ー４５と、このカッター４５の駆動を制御する制御装置
（図示せず。）とを備えている。この切断部４では、制
御装置によりカッター４５の駆動タイミングが制御され
ているため、ＡＣＦシート１ａを所定の位置で切断する
ことができる。

【００３５】また、仮受部５は、図６に示すように、Ａ
ＣＦシート１ａの幅よりやや大きな幅とされた溝部４６
が形成されてなる仮受台４７を備えている。そして、Ａ
ＣＦシート１ａが仮受部５に供給される際には、ＡＣＦ
シート１ａが溝部４６の底面に沿って挿入される。した
がって、仮受部５において、ＡＣＦシート１ａは、その
幅方向に位置ずれが生じることなく保持されることとな
る。

【００３６】また、この溝部４６は、上述したマウント
ヘッド装置１における先端部１０が嵌入するに足る寸法
とされる。さらに、仮受部５には、ＡＣＦシート１ａの
接着剤層２６にタックが生じない程度に冷却する冷却手
段を設けておくことが好ましい。この仮受台４７の具体
的な冷却方法としては、例えば、仮受台４７内に冷却装
置として空冷装置を組み込み、溝部４６の底壁に矢印の
ように冷気Ａを吹き付けてもよい。吹き付ける冷気の温
度や量は、ヘッド部１４の加熱温度、底壁の厚さ、ＡＣ
Ｆシート１ａの接着材層の種類等にもよるが、通常、仮
受台４７の底面が約１０℃以下となるように設定するこ
とが好ましい。冷却手段としては、空冷装置の他、水冷
式冷却装置や電子式冷却装置等も使用することができ
る。

【００３７】以上のように構成されたＡＣＦシートマウ
ント装置は、巻出し用リール２に巻回されたＡＣＦシー
ト１ａを所定の寸法で切り出すとともに、マウントヘッ
ド装置１により切り出されたＡＣＦシート１ａを被着体
６上にマウントする。

【００３８】このとき、ＡＣＦシート１ａは、先ず、供
給部３において、送りローラ３８と加圧ローラ４０との
間に挟み込まれるとともに、複数のガイドローラ３８に
掛け渡される。そして、ＡＣＦシート１ａは、この状態
で、送りローラ３９が回転駆動することにより巻き出さ
れる。このとき、ＡＣＦシート１ａは、複数のガイドロ
ーラ３８ｎ掛け合わされることにより、所定のテンショ
ンが負荷された状態で走行することができる。

【００３９】そして、ＡＣＦシート１ａは、セパレータ
ブロック４１で保護層３７が剥離されて剥離フィルム３
５と接着剤層３６とが積層された状態となり、仮受部５
に供給される。また、ＡＣＦシート１ａは、供給部３と
仮受部５との間に配設された切断部４で所定の寸法に切
断される。このとき、切断部４では、制御装置により制
御されたカッター４５によって、ＡＣＦシート１ａを所
定の位置で切断する。これにより、ＡＣＦシート１ａ
は、所定の寸法で仮受部５に供給されることとなる。ま
た、仮受部５に供給されるＡＣＦシート１ａは、剥離フ
ィルム３５を上側とし、接着剤層３６が仮受部５側に位
置することとなる。

【００４０】このとき、仮受部５では、図６に示したよ
うに、ＡＣＦシート１ａが溝部４６の底面に沿って挿入
される。したがって、このＡＣＦシート１ａでは、接着
剤層３６と溝部４６の底面とが接触することとなる。す
なわち、このＡＣＦシートマウント装置において、仮受
部５にＡＣＦシート１ａの所定量が送り出されると、送
りローラ３９によるＡＣＦシート１ａの送り出しが停止
し、切断部４のカッター４５が制御装置により駆動され
ＡＣＦシート１ａが切断される。こうして切断された短
冊状のＡＣＦシート１ａは、上述したマウントヘッド装
置１で搬送されるまで、そのまま仮受部５に保持され
る。

【００４１】そして、ＡＣＦシート１ａは、マウントヘ
ッド装置１によって、仮受部５から被着体６上に搬送さ
れる。

【００４２】このとき、マウントヘッド装置１では、先
ず、電動ピストン駆動装置２３によりピストンヘッド１
３を所定の位置に移動させる。具体的には、溝部４６上
に供給されたＡＣＦシート１ａの長さ（図６中Ｈ１で示
す。）と一方の連結室１２ａと連結され、複数の吸着孔
のうちで吸引力を発生する部分の長さ（図４中Ｈ０で示
す。）とを略々同じとしている。

【００４３】また、このマウントヘッド装置１では、一
方の排気管２１ａと接続された真空ポンプのみを駆動さ
せ、この一方の排気管２１ａから真空引きを行い、ピス
トンヘッド１３により分割された一方の連結室１２ａ内
を減圧する。これにより、一方の連結室１２ａと連結し
た複数の吸着孔１０ａからは、吸引力が発生することと
なる。

【００４４】次に、図１中ｘ方向、ｙ方向、ｚ方向及び
ｗ方向にマウントヘッド装置１を適宜駆動し、溝部４６
に挿入されたＡＣＦシート１ａの長手方向と吸着孔１０
ａの配列方向とが平行となるように位置決めされる。そ
して、マウントヘッド装置１ａをｚ方向（下方）に駆動
し、ＡＣＦシート１ａと先端部１０とを接触させる。

【００４５】これにより、マウントヘッド装置１は、吸
着孔１０ａからの吸着力を用いて先端部１０にＡＣＦシ
ート１ａを吸着させる。その後、ＡＣＦシート１ａを吸
着した状態で、マウントヘッド装置１を再び図１中ｘ方
向、ｙ方向、ｚ方向及びｗ方向に駆動し、テーブル７上
に固定された被着体６上に位置させる。そして、マウン
トヘッド装置を、図１中ｚ方向（下方）に移動させ、所
定の圧力でＡＣＦシート１ａを被着体６上にマウントす
る。これにより、被着体６上には、接着剤層３６が接触
するようにＡＣＦシート１ａがマウントされる。具体的
に、マウントヘッド装置１では、一方の排気管２１ａか
らの排気を止めるとともに先端部１０で被着体６を所定
圧力で押圧することによって、ＡＣＦシート１ａが先端
部１０から剥離することができる。

【００４６】このとき、マウントヘッド装置１では、ダ
ンパー部１７が配設されているため、先端部１０の被着
体６に対する接触が所望の圧力で行われることなる。す
なわち、このマウントヘッド装置１では、ダンパー部１
７が過剰な衝撃を吸収することができるため、被着体６
を先端部で損傷してしまうようなことが防止される。

【００４７】また、マウントヘッド装置１では、一対の
ヒータ２６により先端部１０が所定の温度に加熱されて
いる。このため、接着剤層３６の接着力が発生して、Ａ
ＣＦシート１ａは、被着体６の所定の領域に確実に仮止
めされることとなる。

【００４８】このように、ＡＣＦシートマウント装置で
は、マウントヘッド装置１のヘッド部１４を加熱するこ
とにより、被着体６上にＡＣＦシート１ａを加熱圧着し
ている。このとき、具体的には、約４０〜１５０℃程度
に加熱する加熱圧着を行う。また、一対のヒーター２６
を用いて加熱圧着する場合、その作業効率を向上させる
ため、ヒーター２６は加熱圧着時だけでなく、常時オン
状態とすることが好ましい。ヒーター２６を常時オン状
態とすると、仮受部５に保持されているＡＣＦシート１
ａを吸着する際に、その熱がＡＣＦシート１ａに伝搬
し、当該ＡＣＦシート１ａが仮受部５に粘着するおそれ
が生じるが、前述のように仮受部を冷却しておくことに
より、このような問題を解消させることができる。

【００４９】上述したようなマウントヘッド装置１で
は、ピストンヘッド１３の位置を制御することによっ
て、連結室１２内部を所望の位置で分割することができ
る。具体的に、このマウントヘッド装置１では、ピスト
ンヘッド１３の封止材３０が隔壁２４の上端面２４ａと
接触するように位置決めされることによって、連結室１
２内部が２つの空間に分割される。このとき、仮受部５
に保持されたＡＣＦシート１ａの寸法に応じて、連結室
１２の分割位置を決定する。これにより、このマウント
ヘッド装置１では、ＡＣＦシート１ａの寸法に応じた領
域の吸着孔１０ａから吸引力が発生し、ＡＣＦシート１
ａを確実に吸着することができる。

【００５０】特に、このマウントヘッド装置では、吸着
孔１０ａの配列方向の長さに対してＡＣＦシート１ａの
長さが１／４以下であるような場合であっても確実にＡ
ＣＦシート１ａを吸着することができる。これに対し
て、従来の分割手段を有さないマウントヘッド装置で
は、吸着孔１０ａの配列方向の長さに対してＡＣＦシー
ト１ａの長さが１／４以下であるような場合、吸着孔１
０ａのうち３／４以上はＡＣＦシートを吸着せずに吸引
力を発生している。このような場合には、このＡＣＦシ
ート１ａを吸着しない３／４以上の部分で負圧効果が損
なわれることとなり、ＡＣＦシートを吸着するに足る吸
着力が発生しない。

【００５１】しかしながら、本実施の形態に示すマウン
トヘッド装置１では、ＡＣＦシート１ａを吸着しない部
分では吸着力を発生させないようにできるため、従来と
同じ吸引力で非常に小さなＡＣＦシート１ａをも吸着す
ることができる。

【００５２】また、上述したようなマウントヘッド装置
１では、寸法が異なる複数のＡＣＦシート１ａをマウン
トするような場合、ピストンヘッド１３の位置をマウン
トする対象のＡＣＦシート１ａの寸法に応じて順次変化
させることによって、異なる寸法のＡＣＦシート１ａを
確実にマウントすることができる。

【００５３】さらに、一方のＡＣＦシート１ａの長さが
先端部１０の長さと略々同じであり、他方のＡＣＦシー
ト１ａの長さが比較的小である場合には、先ず、他方の
ＡＣＦシート１ａの長さに応じてピストンヘッド１３を
位置決めする。これにより、分割された吸着室１２ａ内
を一方の排気管２１ａから減圧することによって、所定
の吸着孔１０ａから他方のＡＣＦシート１ａを吸着する
に足る吸引力を発生させることができる。また、一対の
排気管２１ａ、２１ｂを用いて減圧することによって、
吸着室１２内全体を減圧することができる。これによ
り、全ての吸着孔１０ａから吸引力を発生させることが
でき、一方のＡＣＦシート１ａを吸着するに足る吸着力
を発生させることができる。

【００５４】このように、マウントヘッド装置１では、
分割された吸着室１２内をそれぞれ異なる排気管２１
ａ、２１ｂにより減圧することができるため、これら排
気管２１ａ、２１ｂの駆動を制御することによって、吸
引力を発生させる領域を順次変化させることができる。
したがって、このマウントヘッド装置１は、ピストンヘ
ッド１３の位置を順次変化させなくとも、分割された吸
着室１２内の減圧を制御することによって、異なる寸法
のＡＣＦシート１ａを確実にマウントすることができ
る。

【００５５】このとき、上述したマウントヘッド装置１
では、ピストンヘッド１３の封止材３０が内部空間２７
の内面及び隔壁２４の上端面２４ａに当接することによ
って、連結室１２を分割している。このため、このマウ
ントヘッド装置１では、複数配列された吸着孔１０ａの
中で、ピストンヘッド１３により閉塞されてしまい吸引
力を発生させることができなくなる虞が防止されてい
る。すなわち、例えば、ピストンヘッド１３を、図７に
示すように、所定の厚みを有する柱状体２９のみからな
るように構成した場合、常に吸引力を発生させることが
できない領域（図７中Ｋで示す領域）を形成してしま
う。この場合、マウントヘッド装置１は、比較的長いＡ
ＣＦシート１ａを、その長手方向の全体に亘って均一に
吸着することができない虞がある。

【００５６】この他、本実施の形態のマウントヘッド装
置１には、ＡＣＦシート１ａの貼り付け作業性を向上さ
せるため、種々の付随的手段例えば、テーブル７に固定
した被着体６の位置を認識するためのカメラ、そのカメ
ラで撮影した映像に基づきマウントヘッド装置１を任意
の位置に移動させ、押圧動作を制御するコンピュータ装
置などを設けることができる。これにより被着体へＡＣ
Ｆシート１ａを貼り付ける全行程や、その後の剥離フィ
ルムの剥離除去に至る工程まで無人化し、完全自動化す
ることができる。

【００５７】また、本実施の形態のマウントヘッド装置
を用いたシート体の貼り付け、あるいは本実施の形態で
説明したマウント方法にしたがうシート体の貼り付け
は、種々のシート状接着材について適用することができ
る。本発明において、シート体を構成する接着材層、剥
離フィルム、保護フィルムの素材、厚さ等について特に
制限はない。例えば、接着材層が厚さ５〜５０μｍ程度
の異方性導電性接着剤からなり、剥離フィルムが厚さ１
０〜１００μｍ程度のテフロン製、剥離処理したＰＥＴ
紙、ポリプロピレンフィルム等からなる異方性導電性接
着剤シートの貼り付けに好適に適用することができる。

【００５８】被着体６についても特に制限はなく、液晶
パネルガラスなどのようにリジッドなものでもよく、Ｔ
ＡＢ等のフィルム基板のようにフレキシブルなものであ
ってもよい。

【００５９】

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明に係
るマウントヘッド装置は、ピストンによって連結室を所
望の位置で分割することができ、分割された連結室のう
ち少なくとも一方を減圧して吸着力を発生させる。これ
により、このマウントヘッド装置は、シート体の寸法に
応じて、所定領域に形成された吸着孔からのみ吸着力を
発生させることができ、所定の寸法のシート体を確実に
吸着することができる。したがって、このマウントヘッ
ド装置は、如何なる寸法のシート体に対しても確実にマ
ウントすることができる。

【００６０】また、本発明に係るマウント方法によれ
ば、ピストンによって連結室を所望の位置で分割し、分
割された連結室のうち少なくとも一方を減圧して所定の
吸着孔に吸引力を発生させ、シート体を吸着している。
したがって、この手法によれば、シート体の寸法に応じ
て、吸着力を発生させる領域を調節して、当該シート体
を確実に吸着することができ、被着体の所定の位置に確
実にマウントすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係るマウントヘッド装置を備えるＡＣ
Ｆシートマウント装置の概略構成図である。

【図２】本発明に係るマウントヘッド装置の要部部分断
面図である。

【図３】マウントヘッド装置を側面からみた要部部分断
面図である。

【図４】ヘッド部の断面図である。

【図５】ＡＣＦシートの要部断面図である。

【図６】ＡＣＦシートマウント装置における仮受部周辺
を拡大して示す斜視図である。

【図７】本発明に係るマウントヘッド装置における他の
ヘッド部の断面図である。

【図８】従来のマウントヘッド装置を示す概略構成図で
ある。

【符号の説明】

１マウントヘッド装置、３供給部、４切断部、５
仮受部、６被着体、８駆動手段、１０ａ吸着
孔、１１吸着部、１２連結室、１３ピストンヘッ
ド、１４ヘッド部

Claims

(57)【特許請求の範囲】

【請求項１】シート体を吸着して被着物の上方に移動
させ、吸着したシート体を当該被着物上に載置するマウ
ントヘッド装置において、先端部に穿設された複数の吸着孔を有する吸着部と、上記吸着部を取り付けるとともに、上記複数の吸着孔の
基端部を連結孔を介して連結する空間部として形成され
た連結室と、上記連結室内に当該連結室の長手方向に移動可能に配設
され、当該連結室内を複数に分割するピストンヘッドを
備えるピストンと、上記連結室に接続され、当該連結室内を減圧する減圧手
段と、上記吸着部に設けられ、上記複数の吸着孔の基端部側
に、該複数の吸着孔の配列方向と平行に延設された当該
吸着部を加熱する加熱手段とを備え、上記ピストンが上記連結室内を所定の位置で分割し、分
割された連結室のうち少なくとも一方を上記減圧手段が
減圧することによって、上記複数の吸着孔のうち所定の
領域から吸着力が発生することを特徴とするマウントヘ
ッド装置。
【請求項２】上記ピストンヘッドを上記連結室の所定
の位置に移動させる駆動手段を有することを特徴とする
請求項１記載のマウントヘッド装置。
【請求項３】上記ピストンヘッドの周面に封止材が巻
回されたことを特徴とする請求項１記載のマウントヘッ
ド装置。
【請求項４】上記減圧手段は、上記ピストンにより分
割された連結室のそれぞれを独立して減圧することを特
徴とする請求項１記載のマウントヘッド装置。
【請求項５】上記吸着部に吸着されたシート体を被着
物上に載置した状態で当該シート体を加圧する加圧手段
を有することを特徴とする請求項１記載のマウントヘッ
ド装置。
【請求項６】上記減圧手段は、上記ピストンにより分
割された連結室のそれぞれに別個に取り付けられたこと
を特徴とする請求項１記載のマウントヘッド装置。
【請求項７】シート体を吸着して被着物の上方に移動
させ、吸着したシート体を当該被着物上にマウントする
に際して、先端部に穿設された複数の吸着孔を有する吸着部と、上
記吸着部を取り付けるとともに、上記複数の吸着孔の基
端部を連結孔を介して連結する空間部として形成された
連結室と、上記連結室内に当該連結室の長手方向に移動
可能に配設され、当該連結室内を複数に分割するピスト
ンヘッドを備えるピストンと、上記連結室内に接続さ
れ、当該連結室内を減圧する減圧手段と、上記吸着部に
設けられ、上記複数の吸着孔の基端部側に、該複数の吸
着孔の配列方向と平行に延設された当該吸着部を加熱す
る加熱手段とを有するマウントヘッド装置を用い、上記ピストンが上記連結室内を所定の位置で分割し、分
割された連結室のうち少なくとも一方を上記減圧手段が
減圧することによって、上記複数の吸着孔のうち所定の
領域から吸着力を発生させ、この吸着力によって上記シ
ート体を吸着することを特徴とするマウント方法。
【請求項８】上記ピストンにより分割された連結室の
それぞれを独立して減圧させ、吸着力を発生させる領域を可変として寸法の異なるシー
ト体をマウントすることを特徴とする請求項７記載のマ
ウント方法。