[go: up one dir, main page]

JP3486156B2 - Method for producing crystalline barium titanate powder - Google Patents

Method for producing crystalline barium titanate powder

Info

Publication number
JP3486156B2
JP3486156B2 JP2000217759A JP2000217759A JP3486156B2 JP 3486156 B2 JP3486156 B2 JP 3486156B2 JP 2000217759 A JP2000217759 A JP 2000217759A JP 2000217759 A JP2000217759 A JP 2000217759A JP 3486156 B2 JP3486156 B2 JP 3486156B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
barium titanate
titanate powder
producing
barium
solution
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2000217759A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2002029745A (en
Inventor
光眞 崔
庚子 禹
榮祥 趙
相俊 沈
永大 金
相均 李
Original Assignee
コリア インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コリア インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー filed Critical コリア インスティテュート オブ サイエンス アンド テクノロジー
Priority to JP2000217759A priority Critical patent/JP3486156B2/en
Publication of JP2002029745A publication Critical patent/JP2002029745A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3486156B2 publication Critical patent/JP3486156B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
  • Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、次世代超高周波通
信装備に必要なMLCC(multiayer ceramic capacito
r)、フィルターおよびその他の部品の製造に主原料と
して用いるチタン酸バリウムの製造方法に関し、さらに
詳しくは、現在入手可能なチタン酸バリウムの粒径の約
1/10またはそれ以下の、微細で球状の結晶性チタン
酸バリウムの超微細粉末を製造する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an MLCC (multiayer ceramic capacito) required for next-generation ultra high frequency communication equipment.
r), a method for producing barium titanate used as a main raw material for producing filters and other parts, and more specifically, a fine and spherical particle having a particle size of about 1/10 or less of the particle size of barium titanate currently available. And a method for producing an ultrafine powder of crystalline barium titanate.

【0002】[0002]

【従来の技術】化学式BaTiO3で表示されるチタン
酸バリウムは、一般に、ペロブスカイト構造を有する強
誘電体の1種であって、誘電率が極めて大きく、価額が
比較的低廉で、熱安定性に優れるため、MLCC、フィ
ルタ、サーミスタ、バリスタなどの主原料として使用さ
れている。
2. Description of the Related Art Barium titanate represented by the chemical formula BaTiO 3 is generally one kind of ferroelectric substance having a perovskite structure and has a very large dielectric constant, a relatively low price, and a thermal stability. Since it is excellent, it is used as a main raw material for MLCCs, filters, thermistors, varistors and the like.

【0003】近来、電気回路、および該電気回路の設計
に基づいて作製される素子は、多様化・高密度化されつ
つある一方、製品のサイズは極めて小型化されるため、
優れた結晶性および純度を維持しつつ、極小粒径の粉末
を製造する技術が、産業的に非常に要求されている。
Recently, electric circuits and elements manufactured based on the design of the electric circuits are being diversified and highly densified, while the size of products is extremely miniaturized.
There is a great industrial demand for a technique for producing a powder having an extremely small particle size while maintaining excellent crystallinity and purity.

【0004】たとえば、粒径の小さいチタン酸バリウム
を用いて製造された部品は、不良率が大幅に減少し、焼
結体の粒径が小さいことによって誘電率が増加するた
め、必要な層の数を減らすことができ、使用原料の収率
が向上する。また、焼結温度が低下して、エネルギー消
耗費が節減される。さらに、超微細粉末から製造される
MLCC、フィルター、サーミスタその他の性能は、将
来の通信産業の主要な媒体を構成する超高周波帯域にお
いても、優れた性能を表すものと期待される。
For example, in the case of parts manufactured using barium titanate having a small particle size, the defective rate is greatly reduced, and the dielectric constant is increased due to the small particle size of the sintered body. The number can be reduced and the yield of the used raw material is improved. Also, the sintering temperature is lowered, and the energy consumption cost is reduced. Furthermore, the performances of MLCCs, filters, thermistors, and the like manufactured from ultrafine powders are expected to exhibit excellent performances even in the ultrahigh frequency band that will be a major medium in the telecommunications industry in the future.

【0005】従来、チタン酸バリウム粉末の製造方法と
しては、固相反応法およびシュウ酸塩沈殿合成法が使用
されている。固相反応法は、酸化チタニウムと炭酸バリ
ウムの粉末を混合した後、1,000℃以上の高温で反
応させて、チタン酸バリウムの粉末を製造する方法であ
って、チタン酸バリウム粉末の生産単価が低いという利
点を有するため、全世界的に広用されている方法であ
る。
Conventionally, the solid-phase reaction method and the oxalate precipitation synthesis method have been used as methods for producing barium titanate powder. The solid-state reaction method is a method for producing barium titanate powder by mixing titanium oxide and barium carbonate powder and then reacting them at a high temperature of 1,000 ° C. or higher. Is a method that is widely used all over the world because it has the advantage of low.

【0006】また、シュウ酸塩沈殿合成法は、最近、米
国を中心に徐々に生産が進められつつある方法であっ
て、化学的合成法の中でも比較的簡単で、歩留まりが高
いという利点がある。
[0006] The oxalate precipitation synthesis method is a method in which production has been gradually advanced mainly in the United States recently, and it has an advantage that it is a relatively simple chemical synthesis method and has a high yield. .

【0007】しかしながら、このような従来のチタン酸
バリウム粉末の製造方法においては、それぞれに不都合
な点がある。すなわち、固相反応法では、高温による固
相反応を用いるため、製造される粉末の最小粒径は1μ
m前後であり、粒子の形状も非常に不規則的である。そ
のため、厳しい仕様が要求される製品、および小型化さ
れた製品の原料としては、不適当である。
However, each of the conventional methods for producing barium titanate powder has disadvantages. That is, since the solid-phase reaction method uses a high-temperature solid-state reaction, the minimum particle size of the produced powder is 1 μm.
It is around m and the shape of the particles is also very irregular. Therefore, it is unsuitable as a raw material for products requiring strict specifications and miniaturized products.

【0008】一方、シュウ酸塩沈殿合成法は、粒子の大
きさおよび粒子のからみ合いを調節することが容易でな
く、バリウム/チタンシュウ酸塩の安定性が高いため、
結晶性の高いチタン酸バリウム粉末を製造するには、高
温による熱処理が必要である。したがって、最終的に生
産される粉末の平均粒径は、約0.5μm未満にはでき
ない。
On the other hand, in the oxalate precipitation synthesis method, it is not easy to control the particle size and the entanglement of particles, and the stability of barium / titanium oxalate is high.
In order to produce barium titanate powder with high crystallinity, heat treatment at high temperature is necessary. Therefore, the average particle size of the finally produced powder cannot be less than about 0.5 μm.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、このような
従来の方法の欠点を解決するためになされたもので、粒
径が、従来のものより約1/10またはそれ以下であ
り、球状を示し、かつ高い結晶性を有する粉末を得て、
チタン酸バリウム粉末自体の品質はもとより、該チタン
酸バリウム粉末を利用して製造される電子部品および通
信部品の品質を向上し得る、結晶性チタン酸バリウム粉
末の製造方法を提供することを目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the drawbacks of the conventional method, and has a particle size of about 1/10 or less than that of the conventional method and has a spherical shape. And a powder having high crystallinity is obtained,
It is an object of the present invention to provide a method for producing a crystalline barium titanate powder, which can improve not only the quality of the barium titanate powder itself but also the quality of electronic components and communication components produced using the barium titanate powder. To do.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の結晶性チタン酸バリウム粉末の製造方法に
おいては、部分アシルオキシ化チタンアルコキシドとバ
リウム化合物とを使用してゾル前駆体を製造し、該ゾル
前駆体を強アルカリ溶液に噴射して共沈させた後、沈殿
分散溶液からチタン酸バリウム粉末を結晶化させ、水洗
工程を行って精製することを特徴とする。
In order to achieve the above object, in the method for producing a crystalline barium titanate powder of the present invention, a sol precursor is produced using a partially acyloxylated titanium alkoxide and a barium compound. Then, the sol precursor is sprayed into a strong alkaline solution to coprecipitate, and then barium titanate powder is crystallized from the precipitation dispersion solution and purified by performing a water washing step.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】結晶化は、通常の水熱反応を行
い、たとえば加熱もしくはマイクロ波を利用してエネル
ギーを加える水熱反応を行うか、または前記共沈段階の
条件を変化させて、共沈と同時に結晶化させることによ
って行う。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Crystallization is carried out by a usual hydrothermal reaction, for example, a hydrothermal reaction in which energy is applied by using heating or microwaves, or the conditions of the coprecipitation step are changed, It is performed by co-precipitation and crystallization at the same time.

【0012】すなわち、本発明に係る結晶性チタン酸バ
リウム粉末の製造方法においては、部分アシルオキシ化
チタンアルコキシドおよびバリウム化合物を使用してゾ
ル前駆体を製造し、該ゾル前駆体を強アルカリ溶液に噴
射して共沈させることによって、水熱反応を経由する
か、もしくは別途の水熱反応を経由することなく、直接
に、平均粒径が20〜50nm程度に微細で、かつ球形で
あり、結晶性に優れたチタン酸バリウム粉末を製造する
ことができる。
That is, in the method for producing a crystalline barium titanate powder according to the present invention, a sol precursor is produced using a partially acyloxylated titanium alkoxide and a barium compound, and the sol precursor is injected into a strong alkaline solution. By co-precipitating it, the average particle size is fine and spherical with a hydrothermal reaction or without a separate hydrothermal reaction. It is possible to produce a barium titanate powder having excellent properties.

【0013】また、本発明に用いられる部分アシルオキ
シ化チタンアルコキシドは、チタンアルコキシドを原料
として用い、製造されるゾル前駆体の混合溶液が、ゾル
の状態で安定化するために、水溶液の状態における加水
分解速度を適正水準に維持するように調節して、製造す
ることができる。すなわち、チタンアルコキシド自体は
水溶液の状態でゲルを形成するので、これを直接に用い
て、優れたチタン酸バリウム粉末を製造することはでき
ない。そこで、本発明においては、チタンアルコキシド
をカルボン酸と反応させて、その非置換またはアルコキ
シ置換のアルコキシ基の一部を、アシルオキシ基、たと
えばアセトキシ基に置換することによって、水溶液の状
態における加水分解速度を適正水準に調節することがで
き、その結果、精製されたゾル溶液は、ゲル化されずに
安定化される。
The partially acyloxylated titanium alkoxide used in the present invention is prepared by using titanium alkoxide as a raw material, and the mixed solution of the sol precursor produced is stabilized in the state of an aqueous solution in order to stabilize in a sol state. It can be manufactured by adjusting the decomposition rate to maintain an appropriate level. That is, since the titanium alkoxide itself forms a gel in the state of an aqueous solution, it is not possible to directly use it to produce an excellent barium titanate powder. Therefore, in the present invention, a hydrolysis rate in an aqueous solution state is obtained by reacting a titanium alkoxide with a carboxylic acid and substituting a part of the unsubstituted or alkoxy-substituted alkoxy group with an acyloxy group, for example, an acetoxy group. Can be adjusted to an appropriate level so that the purified sol solution is stabilized without gelation.

【0014】チタンアルコキシドとしては、チタン原子
に、同一または相異なる4個の非置換またはアルコキシ
置換のアルコキシ基が結合した化合物であり、該アルコ
キシ基としては、直鎖状または分岐状のメトキシ、エト
キシ、プロポキシ、ブトキシ、ペンチルオキシ、ヘキシ
ルオキシのような非置換アルコキシ基;および2−メト
キシエトキシ、2−エトキシエトキシのようなアルコキ
シ置換アルコキシ基が例示される。合成が容易なことか
ら、同一のアルコキシ基が結合していることが好まし
く、そのようなアルコキシ基としては、炭素原子数1〜
4のものが好ましい。すなわち、好ましいチタンアルコ
キシドとしては、チタンテトラメトキシド、チタンテト
ラエトキシド、チタンテトラプロポキシドおよびチタン
テトラブトキシドを挙げることができる。
The titanium alkoxide is a compound in which four identical or different unsubstituted or alkoxy-substituted alkoxy groups are bonded to a titanium atom, and the alkoxy group is a linear or branched methoxy or ethoxy group. Unsubstituted alkoxy groups such as, propoxy, butoxy, pentyloxy, hexyloxy; and alkoxy-substituted alkoxy groups such as 2-methoxyethoxy, 2-ethoxyethoxy. From the viewpoint of easy synthesis, it is preferable that the same alkoxy group is bonded, and such an alkoxy group has 1 to 1 carbon atoms.
4 is preferable. That is, preferable titanium alkoxides include titanium tetramethoxide, titanium tetraethoxide, titanium tetrapropoxide and titanium tetrabutoxide.

【0015】すべての非置換またはアルコキシ置換のア
ルコキシ基(以下、単にアルコキシ基という)をアシル
オキシ基で置き換えた化合物は、アシルオキシ基の加水
分解性が小さいために、水の添加によってゾルを形成し
にくく、優れた性能のチタン酸バリウム粉末を生成する
ことができない。したがって、ゾル前駆体混合溶液の安
定化を達成するためには、チタンアルコキシド中のアル
コキシ基の一部をアシルオキシ基に置き換えることが必
要であり、チタンアルコキシドの4個のアルコキシ基の
うち、2〜3個をアシルオキシ基で置き換えることが好
ましい。さらに、残余のアルコキシ基が、この交換反応
と同時に加水分解され、部分的に縮合してチタノキサン
結合を形成することが、ゾルを形成して、所望の微細な
粒径を有するチタン酸バリウムを得るために好ましい。
このようにチタンアルコキシドのアルコキシ基の一部が
アシルオキシ基に置き換えられたチタン化合物を、本発
明では部分アシルオキシ化チタンアルコキシドいい、こ
れを本発明のチタン酸バリウム粉末の製造に供する。ア
ルコキシ基のアシルオキシ基との交換の度合は、NMR
による分析などにより、確認することができる。
A compound in which all unsubstituted or alkoxy-substituted alkoxy groups (hereinafter simply referred to as alkoxy groups) are replaced with acyloxy groups is difficult to form a sol by the addition of water because the acyloxy groups have low hydrolyzability. , Unable to produce barium titanate powder with excellent performance. Therefore, in order to achieve the stabilization of the sol precursor mixed solution, it is necessary to replace a part of the alkoxy groups in the titanium alkoxide with an acyloxy group, and among the four alkoxy groups of the titanium alkoxide, 2 to 3 are substituted. It is preferred to replace three with acyloxy groups. Further, the remaining alkoxy groups are hydrolyzed simultaneously with this exchange reaction and partially condensed to form a titanoxane bond, which forms a sol to obtain barium titanate having a desired fine particle size. Preferred for.
The titanium compound in which a part of the alkoxy group of the titanium alkoxide is replaced with an acyloxy group is called a partially acyloxylated titanium alkoxide in the present invention, and this is used for producing the barium titanate powder of the present invention. The degree of exchange of the alkoxy group with the acyloxy group is determined by NMR.
It can be confirmed by analysis etc.

【0016】チタンアルコキシドの部分アシルオキシ化
に用いられるカルボン酸としては、ギ酸、酢酸、プロピ
オン酸、ブタン酸、イソブタン酸のような脂肪酸が例示
される。取扱いが容易で、安定なゾル状を保つ部分アシ
ルオキシ化チタンアルコキシドが得られることから、酢
酸が特に好ましい。酢酸の場合、本発明に適合する部分
アシルオキシ化チタンアルコキシドを製造できることか
ら、チタンアルコキシド1モルあたり4〜10モルを使
用することが好ましく、6.5〜7.5モルを使用する
ことが特に好ましい。用いる酢酸の量が少ないと、アセ
トキシ基への交換反応が充分に行われず、得られた部分
アシルオキシ化チタンアルコキシドに充分な安定性を与
えることができない。なお、このときの反応温度は、3
0〜50℃が好ましく、反応時間は、2〜5時間が好ま
しい。
Examples of the carboxylic acid used for the partial acyloxylation of titanium alkoxide include fatty acids such as formic acid, acetic acid, propionic acid, butanoic acid and isobutanoic acid. Acetic acid is particularly preferable because it is easy to handle and a partially acyloxylated titanium alkoxide that can maintain a stable sol is obtained. In the case of acetic acid, since a partially acyloxylated titanium alkoxide suitable for the present invention can be produced, it is preferable to use 4 to 10 mol, and particularly preferably 6.5 to 7.5 mol, per 1 mol of titanium alkoxide. . When the amount of acetic acid used is small, the exchange reaction to the acetoxy group is not sufficiently performed, and the obtained partially acyloxylated titanium alkoxide cannot be provided with sufficient stability. The reaction temperature at this time is 3
0 to 50 ° C. is preferable, and the reaction time is preferably 2 to 5 hours.

【0017】ゾル前駆体の製造に用いられるバリウム化
合物としては、塩化バリウム、酢酸バリウム、硝酸バリ
ウム、水酸化バリウムなどを使用することができる。部
分アシルオキシ化チタンアルコキシドと異なり、バリウ
ム化合物は加水分解に対して鋭敏でないため、水、また
はアルコールのような適切な有機溶媒を使用して溶液を
製造することが可能であり、該溶液を、前記部分アシル
オキシ化チタンアルコキシド溶液と所定モル比で混合す
ることによって、噴射が容易なゾル前駆体混合溶液を製
造することができる。このとき、バリウム化合物は、部
分アシルオキシ化チタンアルコキシドに対して当量以上
を使用することができる。過剰量のバリウム化合物を使
用することにより、生成したチタン酸バリウムのチタン
とバリウムの原子比を約1:1にすることができるた
め、優れた物性を有するチタン酸バリウムを製造するこ
とができる。
As the barium compound used for producing the sol precursor, barium chloride, barium acetate, barium nitrate, barium hydroxide or the like can be used. Unlike partially acyloxylated titanium alkoxides, barium compounds are not sensitive to hydrolysis, so it is possible to prepare a solution using water or a suitable organic solvent such as an alcohol, which is By mixing with the partially acyloxylated titanium alkoxide solution at a predetermined molar ratio, it is possible to produce a sol precursor mixed solution that is easy to inject. At this time, the barium compound can be used in an equivalent amount or more with respect to the partially acyloxylated titanium alkoxide. By using an excessive amount of barium compound, the atomic ratio of titanium to barium in the produced barium titanate can be set to about 1: 1, so that barium titanate having excellent physical properties can be produced.

【0018】ここで、前記ゾル前駆体混合溶液の噴射
は、ポンプ、噴射ノズルおよび流量調節器を適切に組み
合わせて作製した装置を利用して行う。ポンプおよび流
量調節器は、要求される生産速度に合わせて選択するこ
とが可能である。また、噴射ノズルは、二重(two-flo
w)ノズルが好ましく、ノズルホールの大きさは、一般
に100μm以下であることが好ましい。本発明者らの
研究結果によると、ノズルホールの直径が小さいほど、
微細な粒子が生成される傾向がある。
Here, the injection of the sol precursor mixed solution is performed by using an apparatus produced by appropriately combining a pump, an injection nozzle and a flow rate controller. The pump and flow regulator can be selected to suit the required production rate. In addition, the injection nozzle is a two-flo
w) A nozzle is preferred, and the size of the nozzle hole is generally preferably 100 μm or less. According to the research results of the inventors, the smaller the diameter of the nozzle hole,
Fine particles tend to be produced.

【0019】なお、噴射に必要な圧力を与えるための気
体は、ゾル溶液との反応性が非常に小さいもの、たとえ
ば窒素、アルゴンなどを用いることができる。
As the gas for giving the pressure necessary for injection, a gas having a very low reactivity with the sol solution, such as nitrogen or argon, can be used.

【0020】前記共沈槽の内部には、強アルカリ溶液が
収納される。このとき、アルカリ溶液の成分によって
も、製造するチタン酸バリウム粉末の特性が若干変化す
るが、より重要な因子は、アルカリ溶液のpHである。す
なわち、pHが低すぎると、噴射されたゾル溶液の沈殿効
率が低下するため、pHは、13以上に維持することが好
ましい。特に、共沈液のpHを13.7以上に維持するこ
とにより、沈殿と結晶化が同時に生じるため、別途の水
熱反応を行わなくても、結晶化されたチタン酸バリウム
粉末を得ることができる。このときに使用される共沈槽
は、強アルカリ溶液により腐食などの問題を発生しない
材質を用いて作製することが好ましい。
A strong alkaline solution is stored in the coprecipitation tank. At this time, the characteristics of the barium titanate powder produced also slightly change depending on the components of the alkaline solution, but the more important factor is the pH of the alkaline solution. That is, if the pH is too low, the efficiency of precipitation of the injected sol solution will decrease, so it is preferable to maintain the pH at 13 or higher. In particular, by maintaining the pH of the coprecipitate at 13.7 or higher, precipitation and crystallization occur simultaneously, so that it is possible to obtain crystallized barium titanate powder without separate hydrothermal reaction. it can. The coprecipitation tank used at this time is preferably made of a material that does not cause problems such as corrosion due to the strong alkaline solution.

【0021】なお、本発明において共沈とは、部分アシ
ルオキシ化チタンアルコキシドとバリウム化合物から得
られるゾル前駆体が、強アルカリ溶液と接触して同時に
沈殿する現象を意味する。アルカリ溶液の濃度および体
積、または溶液の温度によって、各前駆体化合物の沈殿
効率が変化するため、所望の効率に応じて、前記条件を
調整する。特に、アルカリ溶液の温度が高温、たとえ
ば、80〜100℃であるときには、沈殿と結晶化が同
時に生じるため、別途の水熱反応工程を行わなくても済
む。さらに、溶液内で沈殿した粒子どうしのからみ合い
を防止して、正常な状態による共沈をもたらすために、
共沈槽溶液を、適切な方法で撹拌することが好ましい。
本発明では、上記の共沈工程を経て得られた沈殿相が溶
液中に分散した混合物を、沈殿分散溶液という。
In the present invention, coprecipitation means a phenomenon in which a sol precursor obtained from a partially acyloxylated titanium alkoxide and a barium compound is brought into contact with a strong alkaline solution to simultaneously precipitate. Since the precipitation efficiency of each precursor compound changes depending on the concentration and volume of the alkaline solution or the temperature of the solution, the above conditions are adjusted according to the desired efficiency. In particular, when the temperature of the alkaline solution is high, for example, 80 to 100 ° C., precipitation and crystallization occur at the same time, and it is not necessary to perform a separate hydrothermal reaction step. Furthermore, in order to prevent the entanglement of particles precipitated in the solution and to bring about coprecipitation under normal conditions,
It is preferred to stir the coprecipitation bath solution in a suitable manner.
In the present invention, the mixture in which the precipitation phase obtained through the above coprecipitation step is dispersed in the solution is referred to as a precipitation dispersion solution.

【0022】このように得られた沈殿分散溶液を、均一
になるまで撹拌した後、耐アルカリ性に優れたオートク
レーブ反応器に移し、適切な条件下で水熱反応を行う。
このとき、水熱反応に要するエネルギーは、多様な形態
で供給することができる。たとえば、電気的加熱または
マイクロ波などを使用して、水熱反応を実施できる。前
記水熱反応は、所望の反応の状態、および粒子のからみ
合いの程度によって、時間、温度などの反応条件を適切
に調節して、実施することが好ましい。
The precipitate-dispersed solution thus obtained is stirred until it becomes uniform, then transferred to an autoclave reactor having excellent alkali resistance, and hydrothermal reaction is carried out under appropriate conditions.
At this time, the energy required for the hydrothermal reaction can be supplied in various forms. For example, electrical heating or microwaves and the like can be used to carry out the hydrothermal reaction. The hydrothermal reaction is preferably carried out by appropriately adjusting reaction conditions such as time and temperature depending on the desired reaction state and the degree of entanglement of particles.

【0023】本発明者らの研究結果によると、電気的加
熱の場合、反応温度は100〜160℃程度、反応時間
は30分〜3時間程度が好ましいが、これとは対照的
に、マイクロ波を利用する水熱反応の場合は、反応時間
は5〜30分程度が好ましく、反応器の材質としては、
マイクロ波の吸収率が非常に小さいものを選択すべきで
ある。すべての場合に、水熱反応によって均一な粉末を
得るためには、反応の過程で激しい撹拌が必要である。
According to the results of the study conducted by the present inventors, it is preferable that the reaction temperature is about 100 to 160 ° C. and the reaction time is about 30 minutes to 3 hours in the case of electric heating. In the case of the hydrothermal reaction utilizing, the reaction time is preferably about 5 to 30 minutes, and as the material of the reactor,
A microwave absorption factor that is extremely low should be selected. In all cases, vigorous stirring is required in the course of the reaction in order to obtain a homogeneous powder by hydrothermal reaction.

【0024】上述したように、ゾル前駆体混合溶液を、
80〜100℃の高温のアルカリ溶液中、またはpHが1
3.7以上の超強アルカリ溶液で共沈させると、別途の
水熱反応を行わずに、常温における共沈工程を行うだけ
で、結晶化度の高いチタン酸バリウム粉末を得ることが
できる。本発明では、このように共沈工程だけで得ら
れ、または共沈工程および水熱反応を経由して得られ
た、チタン酸バリウム粉末が溶液に分散した混合物を、
粉末分散溶液という。
As described above, the sol precursor mixed solution is
In a high temperature alkaline solution of 80 to 100 ℃, or at pH 1
When co-precipitated with a super strong alkaline solution of 3.7 or more, barium titanate powder with high crystallinity can be obtained only by performing the co-precipitation step at room temperature without performing a separate hydrothermal reaction. In the present invention, a mixture of barium titanate powder dispersed in a solution thus obtained only by the coprecipitation step or obtained through the coprecipitation step and the hydrothermal reaction,
It is called a powder dispersion solution.

【0025】このように製造された粉末分散溶液に、遠
心分離法のような適切な方法を施して、粉末を回収する
精製工程を行う。このとき、遠心分離機の回転数は、
3,000〜12,000rpmが好ましい。また、製造
されたチタン酸バリウムに残留している多様な金属イオ
ンおよび水溶性化合物のような不純物を完全に除去する
ために、数回の水洗工程を行う。該水洗工程は、蒸留水
または適切な添加剤を加えた水溶液を使用して行う。こ
こで、添加剤としては、水酸化バリウム水溶液またはア
ンモニア水溶液、特にそれらの希薄溶液のように、溶媒
のpHを10〜11に維持しつつ、全体の組成に影響を与
えない物質を使用することが好ましい。
The powder dispersion solution thus produced is subjected to an appropriate method such as a centrifugal separation method to carry out a purification step of collecting the powder. At this time, the rotation speed of the centrifuge is
3,000 to 12,000 rpm is preferable. In addition, in order to completely remove impurities such as various metal ions and water-soluble compounds remaining in the manufactured barium titanate, several washing steps are performed. The water washing step is performed using distilled water or an aqueous solution containing an appropriate additive. Here, as the additive, use a substance that does not affect the overall composition while maintaining the pH of the solvent at 10 to 11, such as an aqueous barium hydroxide solution or an aqueous ammonia solution, particularly a dilute solution thereof. Is preferred.

【0026】このような精製工程によって得られたチタ
ン酸バリウム粉末から、残留水分を除去するために、粉
末をオーブンに入れて、適切な温度で乾燥させる乾燥工
程を行うことが好ましい。このとき、乾燥温度が低すぎ
ると、水分の除去率が低下するが、反対に乾燥温度が高
すぎると、微細粉末間で焼結現象が生じる。本発明にお
いては、50〜150℃程度の温度で乾燥を行うこと
が、より好ましい。
In order to remove residual moisture from the barium titanate powder obtained by such a purification step, it is preferable to put the powder in an oven and perform a drying step of drying it at an appropriate temperature. At this time, if the drying temperature is too low, the removal rate of water decreases, but if the drying temperature is too high, a sintering phenomenon occurs between the fine powders. In the present invention, it is more preferable to perform drying at a temperature of about 50 to 150 ° C.

【0027】前記乾燥工程を経て最終的に得られたチタ
ン酸バリウム粉末に対し、多様な分析方法を用いて、諸
特性を測定・分析することができる。たとえば、走査型
電子顕微鏡(SEM)、X線回折分析器(XRD)、赤
外線分光器(IR)、BET、ラマン分光器および熱分
析器(TGA)などにより、測定と分析を行うことがで
きる。
Various characteristics of the barium titanate powder finally obtained through the drying step can be measured and analyzed by various analysis methods. For example, the measurement and the analysis can be performed by a scanning electron microscope (SEM), an X-ray diffraction analyzer (XRD), an infrared spectrometer (IR), a BET, a Raman spectrometer and a thermal analyzer (TGA).

【0028】[0028]

【実施例】実施例1 チタンテトライソプロポキシド0.1モルを、7モルの
氷酢酸と混合して、40℃で3時間反応させ、部分アセ
トキシ化チタニウムイソプロポキシド溶液を得た。この
とき、反応の効率を極大にするために、激しく撹拌し
た。
Example 1 0.1 mol of titanium tetraisopropoxide was mixed with 7 mol of glacial acetic acid and reacted at 40 ° C. for 3 hours to obtain a partially acetoxylated titanium isopropoxide solution. At this time, vigorous stirring was performed in order to maximize the reaction efficiency.

【0029】ついで、生成した部分アセトキシ化チタニ
ウムイソプロポキシド溶液に、少量の蒸留水を混合して
若干の加水分解反応を起こした後、安定化のために放置
すると、溶液は、透明に変化した。ついで、酢酸バリウ
ム溶液と混合し、撹拌した後、放置して、ゾル混合溶液
を形成させた。ついで、ノズル寸法が50μmおよび1
00μmのツインノズルを有する噴射装置を用い、形成
されたゾル溶液を、室温で、pH13.5の水酸化カリウ
ム溶液の入っている共沈槽に、アルゴンによって噴射し
た後、沈殿が生成するまで、そのまま放置した。
Then, a small amount of distilled water was mixed with the produced partially acetoxylated titanium isopropoxide solution to cause a slight hydrolysis reaction, and the solution was allowed to stand for stabilization, and the solution became transparent. . Then, it was mixed with a barium acetate solution, stirred, and then left to stand to form a sol mixed solution. Then the nozzle size is 50 μm and 1
Using a spray device having a twin nozzle of 00 μm, the formed sol solution was sprayed with argon at room temperature into a coprecipitation tank containing a potassium hydroxide solution having a pH of 13.5 until a precipitate was formed. I left it as it was.

【0030】ついで、得られた沈殿分散溶液を、ポリテ
トラフルオロエチレンでライニングした水熱合成用反応
器に移した後、電気加熱器および温度調節器を用いて加
熱しながら、120℃で2時間かけて水熱反応させた。
ついで、水熱反応が終了して得られた粉末分散溶液か
ら、遠心分離機を用いて、粉末のみを捕集した。このと
き、遠心分離機の回転数は、8,000rpmが適切であ
った。ついで、数回の洗浄を行って精製した粉末を、1
20℃のオーブンに入れて乾燥した。
Then, the obtained precipitate dispersion solution was transferred to a reactor for hydrothermal synthesis lined with polytetrafluoroethylene, and then heated at 120 ° C. for 2 hours while heating with an electric heater and a temperature controller. A hydrothermal reaction was carried out.
Then, from the powder dispersion solution obtained after completion of the hydrothermal reaction, only the powder was collected using a centrifuge. At this time, the rotation speed of the centrifuge was 8,000 rpm. Then, the powder purified by several washings was
It was placed in an oven at 20 ° C. and dried.

【0031】このように得られたチタン酸バリウムの粒
径を、走査型電子顕微鏡を用いて測定した結果、図1に
示すように、非常に微細な粒子形態を有することがわか
った。参考として、図2は、従来の水熱反応法を利用し
た市販のチタン酸バリウム製品を示す走査型電子顕微鏡
写真である。図1と図2の比較から明らかなように、本
発明の結晶性チタン酸バリウム粉末の製造方法によって
製造された粉末の平均粒径は、20〜30nm程度であっ
て、市販製品の平均粒径(500nm内外)よりも著しく
小さい。さらに、図3に示すX線回折スペクトルから明
らかなように、純粋なチタン酸バリウムの結晶相のみを
含有していた。
The particle size of the barium titanate thus obtained was measured using a scanning electron microscope, and it was found that it had a very fine particle morphology, as shown in FIG. For reference, FIG. 2 is a scanning electron micrograph showing a commercially available barium titanate product using a conventional hydrothermal reaction method. As is clear from the comparison between FIG. 1 and FIG. 2, the average particle size of the powder produced by the method for producing crystalline barium titanate powder of the present invention is about 20 to 30 nm, and the average particle size of commercial products is Remarkably smaller than (inside and outside 500 nm). Further, as is clear from the X-ray diffraction spectrum shown in FIG. 3, it contained only the pure barium titanate crystal phase.

【0032】実施例2 酢酸バリウムを0.15モル使用した以外は、実施例1
と同様な方法により、チタン酸バリウム粉末を製造し、
精製した。
Example 2 Example 1 except that 0.15 mol of barium acetate was used.
A barium titanate powder is produced by the same method as
Purified.

【0033】このようにして得られたチタン酸バリウム
粉末を、走査型電子顕微鏡を用いて測定した結果、実施
例1と同様に、市販の製品よりもはるかに微細な粒径を
有する粉末が得られた。また、図4に示すように、過剰
量のバリウム化合物を投入することによって、粉末の平
均粒径を、わずかではあるが減らすことができた。な
お、X線回折の結果、得られたチタン酸バリウム粉末の
結晶度は非常に高く、他の物質の結晶相は、観察されな
かった。
The barium titanate powder thus obtained was measured using a scanning electron microscope, and as a result, a powder having a much finer particle size than that of a commercially available product was obtained as in Example 1. Was given. Further, as shown in FIG. 4, by adding an excessive amount of barium compound, the average particle diameter of the powder could be slightly reduced. As a result of X-ray diffraction, the crystallinity of the obtained barium titanate powder was very high, and the crystal phases of other substances were not observed.

【0034】本実施例により、チタンに対して過剰量の
バリウム化合物を用いることによって、最終的に得られ
るチタン酸バリウム粉末のバリウム:チタニウムの原子
比を1:1程度となるように、調節し得ることがわかっ
た。
According to the present embodiment, by using an excess amount of barium compound with respect to titanium, the barium: titanium atomic ratio of the finally obtained barium titanate powder is adjusted to be about 1: 1. Turned out to get.

【0035】実施例3 強アルカリ溶液が収納されている共沈槽の温度を100
℃に維持させた状態で、ゾル前駆体混合溶液を噴射して
共沈を行った以外は、実施例1と同様な方法により、共
沈までの工程を実施した。
Example 3 The temperature of the coprecipitation tank containing the strong alkaline solution was set to 100.
The steps up to coprecipitation were carried out in the same manner as in Example 1 except that the sol precursor mixed solution was sprayed to carry out coprecipitation while maintaining the temperature at ℃.

【0036】このことにより、チタン酸バリウムの結晶
化のための反応が、高温に維持されている共沈槽内で共
沈と同時に行われるため、オートクレーブを利用する別
途の水熱反応は、不必要であった。
As a result, the reaction for crystallization of barium titanate is carried out simultaneously with the coprecipitation in the coprecipitation tank maintained at a high temperature, so that a separate hydrothermal reaction utilizing an autoclave is not possible. Was needed.

【0037】その結果、実施例1と同様に、市販の製品
よりも著しく微細な粒径を有する粉末を製造することが
できた。X線回折による分析の結果、得られたチタン酸
バリウム粉末の結晶度は非常に高く、他の物質の結晶相
は、観察されなかった。
As a result, as in the case of Example 1, it was possible to produce a powder having a significantly finer particle size than the commercially available product. As a result of the analysis by X-ray diffraction, the crystallinity of the obtained barium titanate powder was very high, and the crystal phase of other substances was not observed.

【0038】実施例4 pH約14の超強アルカリ溶液が収納された共沈槽を使用
した以外は、実施例1と同様な方法により、共沈までの
工程を実施した。
Example 4 The steps up to coprecipitation were carried out in the same manner as in Example 1 except that a coprecipitation tank containing a super strong alkaline solution having a pH of about 14 was used.

【0039】このようにして得られた粉末分散溶液は、
別途に水熱反応を行っても、結晶性の向上はほとんど観
察されないほどに、共沈槽内の結晶化反応が、共沈と同
時に行われた。したがって、この場合は、共沈槽内で共
沈およびチタン酸バリウムの結晶化が同時に行われるた
め、オートクレーブを利用した別途の水熱反応は必要と
しなかった。
The powder dispersion solution thus obtained is
The crystallization reaction in the coprecipitation tank was carried out at the same time as the coprecipitation so that the improvement of the crystallinity was hardly observed even if the hydrothermal reaction was carried out separately. Therefore, in this case, since coprecipitation and crystallization of barium titanate are simultaneously performed in the coprecipitation tank, a separate hydrothermal reaction utilizing an autoclave is not necessary.

【0040】その結果、実施例1と同様に、市販の製品
よりも著しく微細な粒径を有する粉末を製造することが
できた。X線回折分析の結果、得られたチタン酸バリウ
ム粉末の結晶度は非常に高く、他の物質の結晶相は、観
察されなかった。
As a result, as in Example 1, it was possible to produce a powder having a significantly finer particle size than the commercially available product. As a result of X-ray diffraction analysis, the crystallinity of the obtained barium titanate powder was very high, and the crystal phase of other substances was not observed.

【0041】実施例5 水熱反応のエネルギー源として、周波数2.45GHzの
マイクロ波を利用し、ポリテトラフルオロエチレン製の
反応器を使用した以外は、実施例1と同様な方法によ
り、チタン酸バリウム粉末を製造した。
Example 5 Titanic acid was prepared in the same manner as in Example 1 except that a microwave having a frequency of 2.45 GHz was used as the energy source for the hydrothermal reaction and a reactor made of polytetrafluoroethylene was used. Barium powder was produced.

【0042】図5は、マイクロ波を利用して合成された
チタン酸バリウム粉末の走査型電子顕微鏡写真を示す。
製造された粉末の平均粒径は、約50〜60nmで、球形
に近似した形状を有し、粒径が均一な粉末形状を有して
いた。また、粒子間のからみ合い現象も非常に小さかっ
た。図6に示すように、X線回折分析スペクトルによる
分析の結果、チタン酸バリウム粉末の結晶度は非常に高
く、他の物質の結晶相は、観察されなかった。
FIG. 5 shows a scanning electron micrograph of barium titanate powder synthesized using microwaves.
The produced powder had an average particle size of about 50 to 60 nm, had a shape close to a sphere, and had a powder shape with a uniform particle size. The entanglement phenomenon between particles was also very small. As shown in FIG. 6, as a result of the analysis by X-ray diffraction analysis spectrum, the crystallinity of the barium titanate powder was very high, and the crystal phase of other substances was not observed.

【0043】[0043]

【発明の効果】以上に説明したように、本発明の結晶性
チタン酸バリウム粉末の製造方法により、新規のゾル前
駆体を見出し、該ゾル前駆体を使用する各工程を開発す
ることによって、既存の製品では得られなかった、微細
で球状の粒子形状を有するチタン酸バリウムの粉末を製
造し得るという効果が得られた。
As described above, a new sol precursor was found by the method for producing the crystalline barium titanate powder of the present invention, and each step using the sol precursor was developed to obtain the existing one. The effect of being able to produce a barium titanate powder having a fine and spherical particle shape, which was not obtained with the above product, was obtained.

【0044】このような微細なチタン酸バリウム粉末を
使用することにより、電子および情報通信分野に用いら
れる各種関連部品の品質の向上が得られるうえ、製品の
生産単価を低減し得る。
By using such fine barium titanate powder, the quality of various related parts used in the electronic and information communication fields can be improved, and the unit production cost of the product can be reduced.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の結晶性チタン酸バリウム粉末の製造方
法である、実施例1によって製造されたチタン酸バリウ
ム粉末の、走査型電子顕微鏡(SEM)写真である。
FIG. 1 is a scanning electron microscope (SEM) photograph of the barium titanate powder produced in Example 1, which is a method for producing a crystalline barium titanate powder of the present invention.

【図2】従来の水熱反応法によって製造されたチタン酸
バリウム製品の、走査型電子顕微鏡写真である。
FIG. 2 is a scanning electron micrograph of a barium titanate product manufactured by a conventional hydrothermal reaction method.

【図3】実施例1によって製造されたチタン酸バリウム
粉末の、X線回折スペクトルを示す図である。
FIG. 3 is a view showing an X-ray diffraction spectrum of barium titanate powder produced in Example 1.

【図4】実施例2によって製造されたチタン酸バリウム
粉末の、走査型電子顕微鏡写真である。
4 is a scanning electron micrograph of barium titanate powder produced according to Example 2. FIG.

【図5】マイクロ波を利用して水熱反応を行った、実施
例5によって製造されたチタン酸バリウム粉末の、走査
型電子顕微鏡写真である。
FIG. 5 is a scanning electron micrograph of the barium titanate powder produced in Example 5, which was hydrothermally reacted using microwaves.

【図6】実施例5によって製造されたチタン酸バリウム
粉末の、X線回折スペクトルを示す図である。
6 is a view showing an X-ray diffraction spectrum of barium titanate powder produced according to Example 5. FIG.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 趙 榮祥 大韓民国ソウル特別市東大門区清凉里洞 235−1番地 美住アパート5−1501 (72)発明者 沈 相俊 大韓民国ソウル特別市中浪区上鳳洞41番 地 建榮アパート102−1608 (72)発明者 金 永大 大韓民国ソウル特別市城北区下月谷洞39 −1番地 キストアパートB202 (72)発明者 李 相均 大韓民国京畿道議政府市長巖洞5番地 長巖住公2次アパート207−1103 (56)参考文献 特開 平3−5322(JP,A) 特開 平3−170674(JP,A) 特開 平3−33015(JP,A) 特開 平2−271918(JP,A) 特開 平2−59426(JP,A) 特開 平2−44026(JP,A) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) C01G 1/00 - 25/00 C04B 35/46 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Zhao Eixiang 53-1501, Misumi Apartment, 235-1, Cheonggyeong-ri-dong, Dongdaemun-gu, Seoul, Republic of Korea (72) Inventor Shen Shun, Nam-gu, Seoul, Republic of Korea 41, Feng-dong, Jungli Apartment 102-1608 (72) Inventor, Kim Young Dae, 39-1, Shimogetsu-dani, Seongbuk-gu, Seoul, Republic of Korea, Kist Apartment B202 (72), Inventor, Li Soyang, Mayor of Gyeonggi Province No. 5 in Iwantong Cave Second Apartment of Yanggwa Sumiko 207-1103 (56) Reference JP-A-3-5322 (JP, A) JP-A-3-170674 (JP, A) JP-A-3-33015 (JP, A) ) JP-A-2-271918 (JP, A) JP-A-2-59426 (JP, A) JP-A-2-44026 (JP, A) (58) Fields investigated (Int.Cl. 7 , DB name) C01G 1/00-25/00 C04B 35/46

Claims (13)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 部分アシルオキシ化チタンアルコキシド
とバリウム化合物とを使用してゾル前駆体を製造し、該
ゾル前駆体を強アルカリ溶液に噴射して共沈させた後、
沈殿分散溶液からチタン酸バリウム粉末を結晶化させる
ことを特徴とする、結晶性チタン酸バリウム粉末の製造
方法。
1. A sol precursor is produced using a partially acyloxylated titanium alkoxide and a barium compound, and the sol precursor is sprayed into a strong alkaline solution to coprecipitate,
A method for producing crystalline barium titanate powder, which comprises crystallizing barium titanate powder from a precipitation dispersion solution.
【請求項2】 前記強アルカリ溶液のpHが、13以上で
ある、請求項1記載の結晶性チタン酸バリウム粉末の製
造方法。
2. The method for producing crystalline barium titanate powder according to claim 1, wherein the pH of the strong alkaline solution is 13 or more.
【請求項3】 前記沈殿分散溶液を、オートクレーブ内
で加熱して水熱反応させることにより、前記チタン酸バ
リウム粉末の結晶化を行う、請求項1記載の結晶性チタ
ン酸バリウム粉末の製造方法。
3. The method for producing a crystalline barium titanate powder according to claim 1, wherein the precipitation-dispersed solution is heated in an autoclave for hydrothermal reaction to crystallize the barium titanate powder.
【請求項4】 前記沈殿分散溶液を、マイクロ波を用い
て水熱反応させることをにより、前記チタン酸バリウム
粉末の結晶化を行う、請求項1記載の結晶性チタン酸バ
リウム粉末の製造方法。
4. The method for producing a crystalline barium titanate powder according to claim 1, wherein the precipitation-dispersed solution is subjected to hydrothermal reaction using microwaves to crystallize the barium titanate powder.
【請求項5】 前記強アルカリ溶液のpHが、13.7以
上であって、前記沈殿分散溶液からチタン酸バリウム粉
末の結晶化を直接行う、請求項2記載の結晶性チタン酸
バリウム粉末の製造方法。
5. The production of crystalline barium titanate powder according to claim 2, wherein the strong alkaline solution has a pH of 13.7 or higher, and the barium titanate powder is directly crystallized from the precipitation dispersion solution. Method.
【請求項6】 前記強アルカリ溶液を80〜100℃に
加熱して用い、前記沈殿分散溶液からチタン酸バリウム
粉末の結晶化を直接行う、請求項1または2記載の結晶
性チタン酸バリウム粉末の製造方法。
6. The crystalline barium titanate powder according to claim 1, wherein the strong alkaline solution is heated to 80 to 100 ° C. and used to directly crystallize the barium titanate powder from the precipitation dispersion solution. Production method.
【請求項7】 チタンアルコキシドの、カルボン酸によ
る置換基交換反応によって得られた部分アシルオキシ化
チタンアルコキシドを用いる、請求項1記載の結晶性チ
タン酸バリウム粉末の製造方法。
7. The method for producing a crystalline barium titanate powder according to claim 1, wherein a partially acyloxylated titanium alkoxide obtained by a substituent exchange reaction of a titanium alkoxide with a carboxylic acid is used.
【請求項8】 前記チタンアルコキシドが、チタンテト
ラメトキシド、チタンテトラエトキシド、チタンテトラ
プロポキシドおよびチタンテトラブトキシドからなる群
より選ばれる、請求項7記載の結晶性チタン酸バリウム
粉末の製造方法。
8. The method for producing a crystalline barium titanate powder according to claim 7, wherein the titanium alkoxide is selected from the group consisting of titanium tetramethoxide, titanium tetraethoxide, titanium tetrapropoxide and titanium tetrabutoxide.
【請求項9】 前記カルボン酸が、酢酸である、請求項
7記載の結晶性チタン酸バリウム粉末の製造方法。
9. The method for producing crystalline barium titanate powder according to claim 7, wherein the carboxylic acid is acetic acid.
【請求項10】 前記酢酸を、前記チタンアルコキシド
1モルに対して4〜10モル使用する、請求項9記載の
結晶性チタン酸バリウム粉末の製造方法。
10. The method for producing a crystalline barium titanate powder according to claim 9, wherein 4 to 10 mol of the acetic acid is used with respect to 1 mol of the titanium alkoxide.
【請求項11】 前記バリウム化合物が、塩化バリウ
ム、酢酸バリウム、硝酸バリウムおよび水酸化バリウム
からなる群より選ばれる、請求項1記載の結晶性チタン
酸バリウム粉末の製造方法。
11. The method for producing a crystalline barium titanate powder according to claim 1, wherein the barium compound is selected from the group consisting of barium chloride, barium acetate, barium nitrate and barium hydroxide.
【請求項12】 前記バリウム化合物を、前記部分アシ
ルオキシ化チタンアルコキシドの当量以上を使用する、
請求項1〜11のいずれか1項記載の結晶性チタン酸バ
リウム粉末の製造方法。
12. The barium compound is used in an amount equal to or more than the equivalent of the partially acyloxylated titanium alkoxide,
A method for producing the crystalline barium titanate powder according to claim 1.
【請求項13】 前記結晶化させたチタン酸バリウム粉
末を回収し、次いで、水酸化バリウム水溶液またはアン
モニア水溶液を用いて水洗する、請求項1〜12のいず
れか1項記載の結晶性チタン酸バリウム粉末の製造方
法。
13. The crystalline barium titanate according to claim 1, wherein the crystallized barium titanate powder is recovered and then washed with an aqueous barium hydroxide solution or an aqueous ammonia solution. Powder manufacturing method.
JP2000217759A 2000-07-18 2000-07-18 Method for producing crystalline barium titanate powder Expired - Fee Related JP3486156B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000217759A JP3486156B2 (en) 2000-07-18 2000-07-18 Method for producing crystalline barium titanate powder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000217759A JP3486156B2 (en) 2000-07-18 2000-07-18 Method for producing crystalline barium titanate powder

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002029745A JP2002029745A (en) 2002-01-29
JP3486156B2 true JP3486156B2 (en) 2004-01-13

Family

ID=18712820

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000217759A Expired - Fee Related JP3486156B2 (en) 2000-07-18 2000-07-18 Method for producing crystalline barium titanate powder

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3486156B2 (en)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005247660A (en) * 2004-03-05 2005-09-15 Jsr Corp Composition for forming dielectric film, method for manufacturing composition for forming dielectric film, dielectric film and capacitor including dielectric film
JP4252508B2 (en) * 2004-07-20 2009-04-08 Tdk株式会社 Method for producing barium titanate powder, powder and multilayer ceramic electronic component using the same
JP5216186B2 (en) * 2005-07-22 2013-06-19 株式会社ナード研究所 Method for producing highly crystalline mixed metal oxide fine powder
JP2007320798A (en) * 2006-05-31 2007-12-13 Teijin Ltd Solution for manufacturing ferroelectric thin film and method for preparing it
JP2016041641A (en) * 2014-08-19 2016-03-31 日本化学機械製造株式会社 Fine particle of perovskite type titanium compound and production method of the same
JP6715023B2 (en) * 2015-02-23 2020-07-01 堺化学工業株式会社 Method for producing barium titanate particles

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002029745A (en) 2002-01-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100497938B1 (en) Method for producing complex oxide powder and complex oxide powder
CN102452684B (en) Self-regulating solvothermal one-step synthesis of monodisperse barium titanate nanocrystals
WO2009125681A2 (en) Manufacturing method for barium titanate
JP2002211926A (en) Spherical barium titanate particulate powder and method for producing the same
CN115924963B (en) Preparation method for synthesizing tetragonal phase nano barium titanate by hydrothermal method, tetragonal phase nano barium titanate and application thereof
JP3486156B2 (en) Method for producing crystalline barium titanate powder
US6409983B1 (en) Process for preparing crystalline barium titanate powder
KR102590443B1 (en) Nano barium titanate microcrystals and method for producing the same and barium titanate powder and method for producing the same
JP3314944B2 (en) Sinterable barium titanate fine particle powder and method for producing the same
US20050019248A1 (en) High-gravity reactive precipitation process for the preparation of barium titanate powders
KR100753773B1 (en) Method for producing oxide nanopowder having perovskite structure
JPH06305729A (en) Fine powder of perovskite type compound and its production
CN113292097A (en) Method for preparing high-tetragonality barium titanate powder
JP3198238B2 (en) Fine powder of titanium oxide and method for producing the same
CN109369173B (en) A kind of preparation method and product of tetragonal barium titanate powder
CN115246653B (en) Nanometer dysprosium oxide and preparation method and application thereof
WO2009125680A2 (en) Manufacturing method for dielectric material
TWI730626B (en) Manufacturing method of titanium oxide
JP3708216B2 (en) Titanium oxide fine particles and production method thereof
KR100288502B1 (en) Process for preparaing crystalline barium titanate powder
JPH0239451B2 (en)
CN102786302A (en) Method for producing barium titanate from titaniferous solution as raw material
US20060275201A1 (en) Production of perovskite particles
JPH085667B2 (en) Method for producing divalent cation titanate
CN116022841B (en) Preparation method and application of barium calcium titanate powder

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071024

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20081024

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091024

Year of fee payment: 6

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees