JP3480364B2 - ショートアーク型放電ランプ - Google Patents
ショートアーク型放電ランプInfo
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- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/02—Details
- H01J61/36—Seals between parts of vessels; Seals for leading-in conductors; Leading-in conductors
- H01J61/366—Seals for leading-in conductors
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- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70008—Production of exposure light, i.e. light sources
- G03F7/70016—Production of exposure light, i.e. light sources by discharge lamps
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J61/00—Gas-discharge or vapour-discharge lamps
- H01J61/84—Lamps with discharge constricted by high pressure
- H01J61/86—Lamps with discharge constricted by high pressure with discharge additionally constricted by close spacing of electrodes, e.g. for optical projection
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プロジェクター
用、半導体露光用、紫外線硬化用の光源などに利用され
るショートアーク型放電ランプに関するものである。
用、半導体露光用、紫外線硬化用の光源などに利用され
るショートアーク型放電ランプに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、プロジェクターなどの投影機器
の光源装置の光源としては、例えばショートアーク型放
電ランプが使用されているが、かかるショートアーク型
放電ランプにおいては、石英ガラスよりなるバルブ内
に、陰極および陽極が対向配置されると共に、例えばキ
セノンガスが封入されている。
の光源装置の光源としては、例えばショートアーク型放
電ランプが使用されているが、かかるショートアーク型
放電ランプにおいては、石英ガラスよりなるバルブ内
に、陰極および陽極が対向配置されると共に、例えばキ
セノンガスが封入されている。
【０００３】図５は、従来におけるショートアーク型放
電ランプの一例を示す説明用断面図である。このショー
トアーク型放電ランプのバルブ３０は、球形または楕円
球形の発光管部３１と、その両端に外方に伸びるよう連
設された封止管部３２とよりなり、発光管部３１に続く
封止管部３２の発光管部３１に接近した個所に、当該封
止管部３２の一部を構成する絞り込み部３２ａが形成さ
れている。発光管部３１内には、陰極３３および陽極３
４が対向配置され、当該陰極３３または陽極３４を先端
に有する電極棒３５は、例えば石英ガラスよりなるスリ
ーブ部材３６に挿通されて、その外端が封止管部３２よ
り外方に突出するよう配置されており、当該電極棒３５
が封止管部３２の外端部に溶着されることにより、気密
シール部３７が形成されている。そして、スリーブ部材
３６は、絞り込み部３２ａに一体的に溶着されて保持さ
れており、電極棒３５がスリーブ部材３６と、封止管部
３２の外端部により保持されている。
電ランプの一例を示す説明用断面図である。このショー
トアーク型放電ランプのバルブ３０は、球形または楕円
球形の発光管部３１と、その両端に外方に伸びるよう連
設された封止管部３２とよりなり、発光管部３１に続く
封止管部３２の発光管部３１に接近した個所に、当該封
止管部３２の一部を構成する絞り込み部３２ａが形成さ
れている。発光管部３１内には、陰極３３および陽極３
４が対向配置され、当該陰極３３または陽極３４を先端
に有する電極棒３５は、例えば石英ガラスよりなるスリ
ーブ部材３６に挿通されて、その外端が封止管部３２よ
り外方に突出するよう配置されており、当該電極棒３５
が封止管部３２の外端部に溶着されることにより、気密
シール部３７が形成されている。そして、スリーブ部材
３６は、絞り込み部３２ａに一体的に溶着されて保持さ
れており、電極棒３５がスリーブ部材３６と、封止管部
３２の外端部により保持されている。
【０００４】図６は、図５に示すショートアーク型放電
ランプの要部の説明用断面図である。この図において、
３８は、封止管部３２の絞り込み部３２ａを形成する際
に、スリーブ部材３６の発光管部３１側の端面の近傍
に、封止管部３２の内周面の全周にわたって形成された
垂れ下がり部であり、この垂れ下がり部３８と、スリー
ブ部材３６の発光管部３１側の端面との間には、断面形
状が楔状の楔状間隙３９が形成されている。ここに、封
止管部３２の絞り込み部３２ａは、バルブ内を例えば１
×１０-3〜１×１０-4Ｔｏｒｒに減圧させた状態で、封
止管部３２の一部の外周面を加熱することにより、封止
管部３２が縮径されて形成される。
ランプの要部の説明用断面図である。この図において、
３８は、封止管部３２の絞り込み部３２ａを形成する際
に、スリーブ部材３６の発光管部３１側の端面の近傍
に、封止管部３２の内周面の全周にわたって形成された
垂れ下がり部であり、この垂れ下がり部３８と、スリー
ブ部材３６の発光管部３１側の端面との間には、断面形
状が楔状の楔状間隙３９が形成されている。ここに、封
止管部３２の絞り込み部３２ａは、バルブ内を例えば１
×１０-3〜１×１０-4Ｔｏｒｒに減圧させた状態で、封
止管部３２の一部の外周面を加熱することにより、封止
管部３２が縮径されて形成される。
【０００５】而して、近年、このようなショートアーク
型放電ランプにおいては、発光出力の大きいものが要求
されており、これを達成するために、発光管部３１内に
封入される封入ガスの量を多くすることが必要とされて
いる。
型放電ランプにおいては、発光出力の大きいものが要求
されており、これを達成するために、発光管部３１内に
封入される封入ガスの量を多くすることが必要とされて
いる。
【０００６】しかしながら、上記のようなショートアー
ク型放電ランプにおいては、発光管部３１内の封入ガス
の量を多くすると、点灯時の発光管部３１内の封入ガス
の圧力が例えば７５００Ｔｏｒｒ以上もの高圧になり、
しかもスリーブ部材３６と絞り込み部３２ａとが一体的
に溶着されており、この楔状間隙３９に応力が集中して
絞り込み部３２ａにクラックが発生するようになり、点
灯および消灯動作を繰り返して行った場合には、クラッ
クが進行して遂には封止管部３２を破損させる、という
問題がある。
ク型放電ランプにおいては、発光管部３１内の封入ガス
の量を多くすると、点灯時の発光管部３１内の封入ガス
の圧力が例えば７５００Ｔｏｒｒ以上もの高圧になり、
しかもスリーブ部材３６と絞り込み部３２ａとが一体的
に溶着されており、この楔状間隙３９に応力が集中して
絞り込み部３２ａにクラックが発生するようになり、点
灯および消灯動作を繰り返して行った場合には、クラッ
クが進行して遂には封止管部３２を破損させる、という
問題がある。
【０００７】そして、このようにして封止管部３２にク
ラックが発生することを防止するため、スリーブ部材３
６と封止管部３２の絞り込み部３２ａとの間にモリブデ
ン箔を配置することにより、スリーブ部材３６と絞り込
み部３２ａとが一体的に溶着することを防止しながら、
スリーブ部材３６を固定する構成が提案されたが、この
ような構成であっても、上記のような問題を完全に解決
することはできず、点灯および消灯動作を繰り返して行
った場合には、絞り込み部３２ａにクラックが生ずる場
合があることが判明した。
ラックが発生することを防止するため、スリーブ部材３
６と封止管部３２の絞り込み部３２ａとの間にモリブデ
ン箔を配置することにより、スリーブ部材３６と絞り込
み部３２ａとが一体的に溶着することを防止しながら、
スリーブ部材３６を固定する構成が提案されたが、この
ような構成であっても、上記のような問題を完全に解決
することはできず、点灯および消灯動作を繰り返して行
った場合には、絞り込み部３２ａにクラックが生ずる場
合があることが判明した。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な問題の原因を究明するための研究を重ねた結果完成さ
れたものであり、その目的は、封止管部にクラックが発
生することが確実に防止され、従って、使用寿命が長い
ショートアーク型放電ランプを提供することにある。
な問題の原因を究明するための研究を重ねた結果完成さ
れたものであり、その目的は、封止管部にクラックが発
生することが確実に防止され、従って、使用寿命が長い
ショートアーク型放電ランプを提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のショートアーク
型放電ランプは、発光管部と、当該発光管部の両端に連
設された封止管部とよりなるバルブを具え、発光管部内
には陰極および陽極が互いに対向配置され、当該陰極ま
たは陽極を先端に有する電極棒がスリーブ部材に挿通さ
れると共に、当該スリーブ部材が前記封止管部の一部で
ある絞り込み部により支持されてなるショートアーク型
放電ランプにおいて、スリーブ部材の外周面にモリブデ
ン箔が巻装されて配置されており、前記絞り込み部の内
周面と接するモリブデン箔の外表面が、耐酸化性を有す
る高融点金属により表面処理されていることを特徴とす
る。
型放電ランプは、発光管部と、当該発光管部の両端に連
設された封止管部とよりなるバルブを具え、発光管部内
には陰極および陽極が互いに対向配置され、当該陰極ま
たは陽極を先端に有する電極棒がスリーブ部材に挿通さ
れると共に、当該スリーブ部材が前記封止管部の一部で
ある絞り込み部により支持されてなるショートアーク型
放電ランプにおいて、スリーブ部材の外周面にモリブデ
ン箔が巻装されて配置されており、前記絞り込み部の内
周面と接するモリブデン箔の外表面が、耐酸化性を有す
る高融点金属により表面処理されていることを特徴とす
る。
【００１０】上記のショートアーク型放電ランプにおい
ては、前記高融点金属が、タングステン、レニウム、タ
ンタル、ロジウムまたは白金のいずれかであることが好
ましい。
ては、前記高融点金属が、タングステン、レニウム、タ
ンタル、ロジウムまたは白金のいずれかであることが好
ましい。
【００１１】
【作用】上記の構成によれば、スリーブ部材と封止管部
との間にモリブデン箔が配置され、当該モリブデン箔の
封止管部側の外表面が、耐酸化性を有する高融点金属に
より表面処理されていることにより、モリブデン箔が封
止管部と一体的に溶着することがないので、封止管部に
クラックが発生することを防止することができ、従っ
て、使用寿命が長いショートアーク型放電ランプを得る
ことができる。
との間にモリブデン箔が配置され、当該モリブデン箔の
封止管部側の外表面が、耐酸化性を有する高融点金属に
より表面処理されていることにより、モリブデン箔が封
止管部と一体的に溶着することがないので、封止管部に
クラックが発生することを防止することができ、従っ
て、使用寿命が長いショートアーク型放電ランプを得る
ことができる。
【００１２】また、モリブデン箔を表面処理するための
高融点金属は、タングステン、レニウム、タンタル、ロ
ジウムまたは白金のいずれかであることが好ましい。
高融点金属は、タングステン、レニウム、タンタル、ロ
ジウムまたは白金のいずれかであることが好ましい。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
ついて詳細に説明する。図１は、本発明のショートアー
ク型放電ランプの構成の一例を示す説明用断面図であ
り、図２は、図１のショートアーク型放電ランプの要部
の説明用の断面図であり、図３は、図２において破線で
囲まれた部分Ｃの拡大図であり、図４は、図２における
Ａ−Ａ断面図である。この例のショートアーク型放電ラ
ンプを構成するバルブ１０は、石英ガラスにより形成さ
れ、楕円球形の発光管部１１と、この発光管部１１の両
端から外方に伸びるよう連設された筒状の封止管部１２
とよりなり、当該発光管部１１に続く封止管部１２の発
光管部１１に接近した個所に、封止管部１２の一部が縮
径された状態の絞り込み部１２ａが形成されている。
ついて詳細に説明する。図１は、本発明のショートアー
ク型放電ランプの構成の一例を示す説明用断面図であ
り、図２は、図１のショートアーク型放電ランプの要部
の説明用の断面図であり、図３は、図２において破線で
囲まれた部分Ｃの拡大図であり、図４は、図２における
Ａ−Ａ断面図である。この例のショートアーク型放電ラ
ンプを構成するバルブ１０は、石英ガラスにより形成さ
れ、楕円球形の発光管部１１と、この発光管部１１の両
端から外方に伸びるよう連設された筒状の封止管部１２
とよりなり、当該発光管部１１に続く封止管部１２の発
光管部１１に接近した個所に、封止管部１２の一部が縮
径された状態の絞り込み部１２ａが形成されている。
【００１４】バルブ１０の発光管部１１内には、陰極１
３および陽極１４が互いに対向配置されており、その各
々は、例えばタングステン棒からなる電極棒１５の先端
に固定されて保持されている。電極棒１５は、封止管部
１２内を管軸に沿って伸び、その後端が封止管部１２よ
り突出する状態で設けられており、封止管部１２の外端
部において、当該封止管部１２と電極棒１５とが溶着さ
れて、気密シール部１７が形成されている。
３および陽極１４が互いに対向配置されており、その各
々は、例えばタングステン棒からなる電極棒１５の先端
に固定されて保持されている。電極棒１５は、封止管部
１２内を管軸に沿って伸び、その後端が封止管部１２よ
り突出する状態で設けられており、封止管部１２の外端
部において、当該封止管部１２と電極棒１５とが溶着さ
れて、気密シール部１７が形成されている。
【００１５】バルブ１０の発光管部１１内には、キセノ
ン、アルゴン、クリプトン等の希ガス若しくはこれらの
混合物よりなる封入ガス、および必要に応じて用いられ
る水銀などの発光物質が封入されている。点灯時におけ
る封入ガスの圧力は、例えば７５００Ｔｏｒｒ以上とさ
れ、１５０００Ｔｏｒｒ以上とされることが好ましい。
ン、アルゴン、クリプトン等の希ガス若しくはこれらの
混合物よりなる封入ガス、および必要に応じて用いられ
る水銀などの発光物質が封入されている。点灯時におけ
る封入ガスの圧力は、例えば７５００Ｔｏｒｒ以上とさ
れ、１５０００Ｔｏｒｒ以上とされることが好ましい。
【００１６】封止管部１２内においては、電極棒１５の
外径に適合する貫通孔１９を有する石英ガラスよりなる
スリーブ部材１６が、電極棒１５が挿通された状態で配
置されており、このスリーブ部材１６は、封止管部１２
の一部である絞り込み部１２ａにより支持されている。
２１は垂れ下がり部、２２は楔状間隙である。
外径に適合する貫通孔１９を有する石英ガラスよりなる
スリーブ部材１６が、電極棒１５が挿通された状態で配
置されており、このスリーブ部材１６は、封止管部１２
の一部である絞り込み部１２ａにより支持されている。
２１は垂れ下がり部、２２は楔状間隙である。
【００１７】スリーブ部材１６の外周面と、封止管部１
２の一部である絞り込み部１２ａの内周面との間には、
例えばスリーブ部材１６の外周面に巻装されたモリブデ
ン箔１８が配置されており、当該モリブデン箔１８の封
止管部１２の一部である絞り込み部１２ａの内周面と接
する外表面は、耐酸化性を有する高融点金属により表面
処理されて薄膜２０が形成されている。モリブデン箔１
８の表面に形成された薄膜２０の厚さは、例えば０．１
〜５μｍであることが好ましく、その全体の厚さは例え
ば２０μｍ以下であることが好ましい。この厚さが２０
μｍより大きい場合には、表面処理されたモリブデン箔
１８の剛性が過大となって、スリーブ部材１６の外周面
に巻き付ける際にスプリングバックが生じて巻き付けが
困難となる場合がある。
２の一部である絞り込み部１２ａの内周面との間には、
例えばスリーブ部材１６の外周面に巻装されたモリブデ
ン箔１８が配置されており、当該モリブデン箔１８の封
止管部１２の一部である絞り込み部１２ａの内周面と接
する外表面は、耐酸化性を有する高融点金属により表面
処理されて薄膜２０が形成されている。モリブデン箔１
８の表面に形成された薄膜２０の厚さは、例えば０．１
〜５μｍであることが好ましく、その全体の厚さは例え
ば２０μｍ以下であることが好ましい。この厚さが２０
μｍより大きい場合には、表面処理されたモリブデン箔
１８の剛性が過大となって、スリーブ部材１６の外周面
に巻き付ける際にスプリングバックが生じて巻き付けが
困難となる場合がある。
【００１８】モリブデン箔１８の表面処理に用いられる
耐酸化性を有する高融点金属の具体例としては、例えば
タングステン、レニウム、タンタル、ロジウムまたは白
金を挙げることができ、モリブデン箔１８の表面処理の
方法としては、例えばメッキ、蒸着、溶射などが利用さ
れる。
耐酸化性を有する高融点金属の具体例としては、例えば
タングステン、レニウム、タンタル、ロジウムまたは白
金を挙げることができ、モリブデン箔１８の表面処理の
方法としては、例えばメッキ、蒸着、溶射などが利用さ
れる。
【００１９】以上の構成を有するショートアーク型放電
ランプによれば、スリーブ部材１６と、封止管部１２の
一部である絞り込み部１２ａとの間にモリブデン箔１８
が配置され、しかも、絞り込み部１２ａの内周面と接す
るモリブデン箔１８の外表面が、耐酸化性を有する高融
点金属により表面処理されていることにより、発光管部
１１内の封入ガスの圧力が高い場合であっても、絞り込
み部１２ａにクラックが発生することがない。
ランプによれば、スリーブ部材１６と、封止管部１２の
一部である絞り込み部１２ａとの間にモリブデン箔１８
が配置され、しかも、絞り込み部１２ａの内周面と接す
るモリブデン箔１８の外表面が、耐酸化性を有する高融
点金属により表面処理されていることにより、発光管部
１１内の封入ガスの圧力が高い場合であっても、絞り込
み部１２ａにクラックが発生することがない。
【００２０】この理由は、モリブデン箔１８が耐酸化性
を有する高融点金属によって表面処理されていることに
より、モリブデン箔１８の外表面に石英ガラスに対する
親和性が高いモリブデンの酸化物が存在しなくなり、封
止管部１２の一部を縮径して絞り込み部１２ａを形成す
る際に、モリブデン箔１８が封止管部１２に一体的に溶
着することが防止され、これにより、モリブデン箔１８
と封止管部１２との溶着に起因する大きな応力が生じな
いので、絞り込み部１２ａにクラックが発生することが
確実に防止されるからであると考えられる。すなわち、
スリーブ部材１６と封止管部１２との間に表面処理がさ
れていないモリブデン箔を介在させた構成の放電ランプ
においては、絞り込み部１２ａを形成するために封止管
部１２を加熱したときに、当該封止管部１２を構成する
石英ガラスと、モリブデン箔１８の外表面とが、当該外
表面にモリブデンの酸化物が形成されているために一体
的に溶着され、その結果、絞り込み部１２ａが冷却され
ると大きな応力が残留するようになって、絞り込み部１
２ａにクラックが発生するものと考えられる。
を有する高融点金属によって表面処理されていることに
より、モリブデン箔１８の外表面に石英ガラスに対する
親和性が高いモリブデンの酸化物が存在しなくなり、封
止管部１２の一部を縮径して絞り込み部１２ａを形成す
る際に、モリブデン箔１８が封止管部１２に一体的に溶
着することが防止され、これにより、モリブデン箔１８
と封止管部１２との溶着に起因する大きな応力が生じな
いので、絞り込み部１２ａにクラックが発生することが
確実に防止されるからであると考えられる。すなわち、
スリーブ部材１６と封止管部１２との間に表面処理がさ
れていないモリブデン箔を介在させた構成の放電ランプ
においては、絞り込み部１２ａを形成するために封止管
部１２を加熱したときに、当該封止管部１２を構成する
石英ガラスと、モリブデン箔１８の外表面とが、当該外
表面にモリブデンの酸化物が形成されているために一体
的に溶着され、その結果、絞り込み部１２ａが冷却され
ると大きな応力が残留するようになって、絞り込み部１
２ａにクラックが発生するものと考えられる。
【００２１】然るに、モリブデン箔１８が上記のような
耐酸化性を有する高融点金属により表面処理されている
ことにより、当該モリブデン箔１８の表面にはモリブデ
ンの酸化物が形成されることがなく、仮に高融点金属の
酸化物が形成された場合であっても、その酸化物は絞り
込み部１２ａを構成する石英ガラスに対する親和性が低
いので、絞り込み部１２ａと一体的に溶着されることが
ない。
耐酸化性を有する高融点金属により表面処理されている
ことにより、当該モリブデン箔１８の表面にはモリブデ
ンの酸化物が形成されることがなく、仮に高融点金属の
酸化物が形成された場合であっても、その酸化物は絞り
込み部１２ａを構成する石英ガラスに対する親和性が低
いので、絞り込み部１２ａと一体的に溶着されることが
ない。
【００２２】以上のように、本発明のショートアーク型
放電ランプは、点灯時における封入ガスの圧力が高い場
合であっても、封止構造が損なわれることがなくて、長
い使用寿命を有するものとなる。このような効果は、点
灯時における封入ガスの圧力が例えば１５０００Ｔｏｒ
ｒ以上となる放電ランプにおいて特に有効に発現され、
従って、発光出力の大きいショートアーク型放電ランプ
とすることができる。
放電ランプは、点灯時における封入ガスの圧力が高い場
合であっても、封止構造が損なわれることがなくて、長
い使用寿命を有するものとなる。このような効果は、点
灯時における封入ガスの圧力が例えば１５０００Ｔｏｒ
ｒ以上となる放電ランプにおいて特に有効に発現され、
従って、発光出力の大きいショートアーク型放電ランプ
とすることができる。
【００２３】以下、本発明についての実験例について説
明する。 ＜実験例１＞図１の構成に従い、定格ランプ電力が２ｋ
Ｗのキセノンショートアーク型放電ランプを作製した。
この放電ランプのバルブ（１０）は、発光管部（１１）
の最大外径が４２ｍｍ、内容積が５３ｃｍ3 、封止管部
（１２）の外径が２２．５ｍｍ、内径が１７．５ｍｍ、
長さが４０ｍｍであり、絞り込み部（１２ａ）の外径が
２０ｍｍ、内径が１２ｍｍ、長さが３０ｍｍである。電
極棒（１５）は直径が４ｍｍのタングステン棒からな
り、陰極（１３）は最大外径が８．０ｍｍ、長さが９．
０ｍｍ、陽極（１４）は最大外径が１０．３ｍｍ、長さ
が１２ｍｍであり、陰極（１３）と陽極（１４）との離
間距離は３．５ｍｍである。バルブ（１０）内には、キ
セノンガス１５０００Ｔｏｒｒが封入されている。スリ
ーブ部材（１６）は石英ガラスからなり、外径が１２ｍ
ｍ、内径が６ｍｍ、長さが３０ｍｍである。モリブデン
箔（１８）の厚さは１５μｍであって、その表面の一面
が、ロジウムによりメッキされて０．５μｍの薄膜（２
０）が形成されたものであり、スリーブ部材（１６）の
外周面に１．５ターン程度巻き付けられている。
明する。 ＜実験例１＞図１の構成に従い、定格ランプ電力が２ｋ
Ｗのキセノンショートアーク型放電ランプを作製した。
この放電ランプのバルブ（１０）は、発光管部（１１）
の最大外径が４２ｍｍ、内容積が５３ｃｍ3 、封止管部
（１２）の外径が２２．５ｍｍ、内径が１７．５ｍｍ、
長さが４０ｍｍであり、絞り込み部（１２ａ）の外径が
２０ｍｍ、内径が１２ｍｍ、長さが３０ｍｍである。電
極棒（１５）は直径が４ｍｍのタングステン棒からな
り、陰極（１３）は最大外径が８．０ｍｍ、長さが９．
０ｍｍ、陽極（１４）は最大外径が１０．３ｍｍ、長さ
が１２ｍｍであり、陰極（１３）と陽極（１４）との離
間距離は３．５ｍｍである。バルブ（１０）内には、キ
セノンガス１５０００Ｔｏｒｒが封入されている。スリ
ーブ部材（１６）は石英ガラスからなり、外径が１２ｍ
ｍ、内径が６ｍｍ、長さが３０ｍｍである。モリブデン
箔（１８）の厚さは１５μｍであって、その表面の一面
が、ロジウムによりメッキされて０．５μｍの薄膜（２
０）が形成されたものであり、スリーブ部材（１６）の
外周面に１．５ターン程度巻き付けられている。
【００２４】このようにして作製された放電ランプ１０
本について、点滅点灯テストを行ったところ、いずれの
ものも、通算点灯時間が３０００時間を超えても絞り込
み部（１２ａ）にクラックが発生することがなく、安定
な点灯状態が維持され、長い使用寿命を有することが確
認された。
本について、点滅点灯テストを行ったところ、いずれの
ものも、通算点灯時間が３０００時間を超えても絞り込
み部（１２ａ）にクラックが発生することがなく、安定
な点灯状態が維持され、長い使用寿命を有することが確
認された。
【００２５】＜比較実験例１＞ロジウムにより表面処理
を行わないモリブデン箔を使用したこと以外は、実験例
１と同様にしてキセノンショートアーク型放電ランプを
作製した。このようにして作製された放電ランプ１０本
について、実験例１と同様のテストを行ったところ、７
本の放電ランプについては、通算点灯時間が約２０００
時間経過した時点で、絞り込み部にクラックが発生して
いることが確認された。
を行わないモリブデン箔を使用したこと以外は、実験例
１と同様にしてキセノンショートアーク型放電ランプを
作製した。このようにして作製された放電ランプ１０本
について、実験例１と同様のテストを行ったところ、７
本の放電ランプについては、通算点灯時間が約２０００
時間経過した時点で、絞り込み部にクラックが発生して
いることが確認された。
【００２６】本明細書の実施例において、絞り込み部
は、封止管部の一部が縮径されることにより形成されて
いるが、スリーブ部材を保持するために封止管部が縮径
されることが必要でない場合があり、この場合であって
も、本発明の効果が損なわれるものではない。
は、封止管部の一部が縮径されることにより形成されて
いるが、スリーブ部材を保持するために封止管部が縮径
されることが必要でない場合があり、この場合であって
も、本発明の効果が損なわれるものではない。
【００２７】
【発明の効果】本発明のショートアーク型放電ランプに
よれば、スリーブ部材と封止管部との間にモリブデン箔
が配置され、当該モリブデン箔の封止管部側の表面が、
耐酸化性を有する高融点金属により表面処理されている
ことにより、封止管部にクラックが発生することを防止
することができ、従って、使用寿命が長いショートアー
ク型放電ランプを得ることができる。
よれば、スリーブ部材と封止管部との間にモリブデン箔
が配置され、当該モリブデン箔の封止管部側の表面が、
耐酸化性を有する高融点金属により表面処理されている
ことにより、封止管部にクラックが発生することを防止
することができ、従って、使用寿命が長いショートアー
ク型放電ランプを得ることができる。
【図１】本発明のショートアーク型放電ランプの構成の
一例を示す説明用断面図である。
一例を示す説明用断面図である。
【図２】図１に示すショートアーク型放電ランプの要部
の説明用断面図である。
の説明用断面図である。
【図３】図２における破線で囲まれた範囲部分の拡大図
である。
である。
【図４】図２におけるＡ−Ａ断面図である。
【図５】従来におけるショートアーク型放電ランプの構
成の一例を示す説明用断面図である。
成の一例を示す説明用断面図である。
【図６】図５に示すショートアーク型放電ランプの要部
の説明用断面図である。
の説明用断面図である。
１０ バルブ
１１ 発光管部
１２ 封止管部
１２ａ 絞り込み部
１３ 陰極
１４ 陽極
１５ 電極棒
１６ スリーブ部材
１７ 気密シール部
１８ モリブデン箔
１９ 貫通孔
２０ 薄膜
２１ 垂れ下がり部
２２ 楔状間隙
３０ バルブ
３１ 発光管部
３２ 封止管部
３２ａ 絞り込み部
３３ 陰極
３４ 陽極
３５ 電極棒
３６ スリーブ部材
３７ 気密シール部
３８ 垂れ下がり部
３９ 楔状間隙
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平２−170339（ＪＰ，Ａ)
実開 平４−99663（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭49−35181（ＪＰ，Ｕ)
実開 昭57−119455（ＪＰ，Ｕ)
特公 昭40−892（ＪＰ，Ｂ１)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H01J 61/36
H01J 61/86
Claims (2)
- 【請求項１】 発光管部と、当該発光管部の両端に連設
された封止管部とよりなるバルブを具え、発光管部内に
は陰極および陽極が互いに対向配置され、当該陰極また
は陽極を先端に有する電極棒がスリーブ部材に挿通され
ると共に、当該スリーブ部材が前記封止管部の一部であ
る絞り込み部により支持されてなるショートアーク型放
電ランプにおいて、スリーブ部材の外周面にモリブデン箔が巻装されて配置
されており、前記絞り込み部の内周面と接するモリブデ
ン箔の外表面 が、耐酸化性を有する高融点金属により表
面処理されていることを特徴とするショートアーク型放
電ランプ。 - 【請求項２】 前記高融点金属が、タングステン、レニ
ウム、タンタル、ロジウムまたは白金のいずれかである
ことを特徴とする請求項１に記載のショートアーク型放
電ランプ。
Priority Applications (4)
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|---|---|---|---|
| JP11682599A JP3480364B2 (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | ショートアーク型放電ランプ |
| DE60038407T DE60038407T2 (de) | 1999-04-23 | 2000-04-17 | Kurzbogen-Entladungslampe |
| EP00108395A EP1047111B1 (en) | 1999-04-23 | 2000-04-17 | Short-arc discharge lamp |
| US09/552,674 US6433479B1 (en) | 1999-04-23 | 2000-04-19 | Short-arc discharge lamp |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11682599A JP3480364B2 (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | ショートアーク型放電ランプ |
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| JP2000306549A JP2000306549A (ja) | 2000-11-02 |
| JP3480364B2 true JP3480364B2 (ja) | 2003-12-15 |
Family
ID=14696569
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11682599A Expired - Lifetime JP3480364B2 (ja) | 1999-04-23 | 1999-04-23 | ショートアーク型放電ランプ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6433479B1 (ja) |
| EP (1) | EP1047111B1 (ja) |
| JP (1) | JP3480364B2 (ja) |
| DE (1) | DE60038407T2 (ja) |
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| DE102018207236A1 (de) * | 2018-05-09 | 2019-11-14 | Osram Gmbh | Lagerungselement mit flächig ausgebildeter schicht |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL7506655A (nl) * | 1975-06-05 | 1976-12-07 | Philips Nv | Korte-boog ontladingslamp. |
| HU185198B (en) * | 1982-01-28 | 1984-12-28 | Egyesuelt Izzolampa | Current inlet particularly for vacuumtechnical devices |
| USRE31519E (en) * | 1982-11-12 | 1984-02-07 | General Electric Company | Lead-in seal and lamp utilizing same |
| JPH02170338A (ja) * | 1988-12-23 | 1990-07-02 | Ushio Inc | 電極組立体 |
| DE9013735U1 (de) * | 1990-10-02 | 1992-02-06 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH, 8000 München | Hochdruckentladungslampe |
| JP3166526B2 (ja) * | 1994-12-22 | 2001-05-14 | ウシオ電機株式会社 | ショートアーク型放電ランプ |
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-
1999
- 1999-04-23 JP JP11682599A patent/JP3480364B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2000
- 2000-04-17 EP EP00108395A patent/EP1047111B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2000-04-17 DE DE60038407T patent/DE60038407T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2000-04-19 US US09/552,674 patent/US6433479B1/en not_active Expired - Lifetime
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|---|---|
| EP1047111B1 (en) | 2008-03-26 |
| EP1047111A3 (en) | 2004-07-28 |
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