JP3419264B2 - 振動検出装置 - Google Patents
振動検出装置Info
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- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、振動物体に接触さ
せて振動を電気信号に変換し、振動物体の振動状態を検
出する振動検出装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、この種の振動検出装置としては、
実開平１−１４６７６４号公報、実開平４−７５９２３
号公報等に示されるように、振動物体に接触する部分が
バネで付勢された可動部となっており、可動部に振動を
電気信号に変換する圧電素子を設け、可動部を振動物体
に押し当てて使用するものが知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】上記先行技術では、可
動部の軸の回りについての回り止めの処置が特段なされ
ていない。しかし、可動部には振動検出素子が設けられ
ているので、その出力を外部に導くための配線を可動部
と固定部との間に渡すことが必要であり、可動部が軸の
回りに自由に回転できるとすると、この配線が断線して
しまうおそれがある。 【０００４】一般に、振動検出装置の可動部にはその軸
の回りの回転について、以下の特性が要求される。 （１）可動部はその軸の回りに自由に回転できないこ
と。回転できるにしても、可動部と固定部との間に渡さ
れる配線が断線しない範囲にとどめること。 （２）可動部の回り止め手段は固定部に加えられる外部
の振動を可動部に伝えないこと。 （３）可動部の回り止め手段は、たとえ回り止めのため
の力を可動部に加えているときでも、振動物体の振動に
伴う可動部の運動を摩擦等により妨げないこと。 【０００５】上記（２）、（３）に照らして考えると、
可動部と固定部とを直接接触させる方式の回り止め手
段、例えば、軸に垂直な断面が多角形の可動部とそれと
嵌まり合う多角形の開口を有する固定部との組み合わせ
や、可動部の側面に可動方向に沿って設けられた溝とそ
の溝に嵌まり合う固定部から突出したピンとの組み合わ
せなど、は採用できないことがわかる。そこで、本発明
は、これらの特性を備えた回り止めを施された可動部を
有する振動検出装置を提供することを目的とする。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明の振動検出装置
は、固定部と、この固定部に対して可動であって振動検
出時に振動物体に接触して振動する可動部と、この可動
部を固定部に対して該可動部の可動方向に付勢する付勢
手段とを備え、可動部に、振動を電気信号に変換する振
動検出素子を備えた振動検出装置において、付勢手段
は、可動部の可動方向に平行な直線の中から選ばれた１
つの直線を軸とするねじり弾性を有し、付勢手段と固定
部とは、前記選ばれた１つの直線を軸とする回転につい
て回り止めして接続され、付勢手段と可動部とは前記選
ばれた１つの直線を軸とする回転について回り止めして
接続されていることを特徴とする。ここで、上記「選ば
れた１つの直線」は、可動部が円柱形であればその中心
軸と一致するのが一般的である。 【０００７】本発明においては、付勢手段はねじり弾性
を有し、付勢手段と固定部とは回り止めされ、付勢手段
と可動部とは回り止めされているので、可動部は付勢手
段のねじり弾性が働く範囲で回転することができる。可
動部が回転できる範囲は、付勢手段のねじり弾性の強さ
を選ぶことにより、可動部と固定部との間に渡される配
線が断線しない範囲にとどめることができる。可動部と
固定部とは回り止めのために直接接触していないので、
外部の振動が固定部を経由して可動部に伝えられること
がなく、摩擦により可動部の運動を妨げることもない。
さらに、可動部に外部からの力を加えない状態にしたと
きには、可動部は自動的に回転についての中立状態に復
帰するので、回転が累積していくことがない。 【０００８】好ましい実施形態では、前記付勢手段はつ
るまきバネであり、そのバネの線材の両端が折り曲げら
れており、その折り曲げられた部分が固定部及び可動部
に設けられた溝、穴等の係合部に係合する。つるまきバ
ネは適度なねじり弾性を有しており、その線材の両端を
折り曲げることにより、固定部及び可動部と係合して、
これらと回り止めされる接続構造を簡単に実現でき、組
み立ても容易である。 【０００９】 【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を、添付図を参照して具体的に説明する。ここに説明す
るのは、振動を電気信号に変換する機能を有するが、振
動波形信号を分析する手段は内蔵しない振動検出装置で
ある。このような機能から、この実施形態の振動検出装
置をセンサヘッドと称する。 【００１０】図１はセンサヘッド３０の正面図、図２は
その左側面図である。センサヘッド３０は略円柱形をし
ており、図１における右端部からはケーブル１５が引き
出され、左端部からは可動部３１が突出している。ここ
に説明する可動部３１は、振動の測定対象物に押し当て
られる部分であり、その先端に左方向から加えられる力
に応じて右方向に移動する。センサヘッド３０の左端部
に近い領域の外周にはネジが刻まれている。このネジと
２つのナット２３とは、センサヘッド３０を支持する図
示しない構造物（例えばロボットアーム）にセンサヘッ
ドを固定するために用いられる。 【００１１】図３は図２のＡ−Ａ線断面図、図４は図２
のＢ−Ｂ線断面図である。センサヘッド３０の内部構造
を説明すると、固定部は、ハウジング３及びそれに固定
されている部分である。可動部３１は、ベース５、ヘッ
ドチップ１、バネ座７等からなる。可動部３１は、付勢
手段であるバネ８を圧縮することによって左方向の力を
受けつつハウジング３の軸方向に移動可能に設けられて
いる。可動部３１のベース５には、圧電素子とその出力
信号の増幅回路を搭載したプリント回路基板１６がコネ
ジ１７とリベット２０によって取り付けられている。ヘ
ッドチップ１は、ステンレス鋼製で、アルミニウム製の
ベース５に圧入固定されている。アセタール樹脂製のバ
ネ座７は、ベース５に嵌め合わされた後、ピン２２によ
って回り止めされている。バネ８の一端は可動部３１の
バネ座７に接し、他端はバネ座９に接している。バネ座
９は、ハウジング３の内面の段差とハウジング３にねじ
込み固定されるキャップ１１とに挟まれてハウジングに
対して固定され、ピン２２によって回り止めされてい
る。 【００１２】ベース５とハウジング３との間にはリング
状のゴムダンパー４、６が設けられている。ゴムダンパ
ー４、６は、可動部３１がハウジング３の軸方向以外へ
移動することを規制するとともに、ハウジング３に外部
から振動が加えられた場合に、その振動が圧電素子に伝
わることを防止している。ゴムダンパー４はハウジング
３の内面の段差とハウジングに圧入されるキャップ２と
の間に挟まれて固定され、ベース５が左方向に移動して
きたときに、ベース５の段差面に当たってベース５が停
止するときの衝撃を緩和する。ゴムダンパー６はベース
５の段差部とバネ座７とに挟まれて固定され、可動部の
一部を構成する。 【００１３】フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＷＢ
という。）２１は、可動部３１のプリント回路基板１６
とケーブル１５とを電気的に接続する。ＦＰＷＢ２１の
一端はプリント回路基板１６に半田付けされると共にリ
ベット２０によりベース５に圧着固定され、他端はケー
ブル１５の端に取り付けられたコネクタ１０に半田付け
されている。コネクタ１０は、バネ座９に設けられた溝
に嵌め込まれ、押さえゴム２５によってバネ座９に固定
されている。ケーブル１５は、ブッシュ１３及び締め付
け金具１４を介してキャップ１１に貫通固定されてい
る。 【００１４】図５は、プリント回路基板１６に搭載され
る圧電素子及び増幅回路の等価回路を示す。圧電素子に
は力が加えられると電荷がチャージされ、この電荷を一
種の積分器であるチャージアンプで電圧に変換する。図
５で−Aはオペアンプの増幅度（A≫１）、Cdは圧電素子
の静電容量、Ccは回路の浮遊容量、Cfはフィードバック
容量、Rfはフィードバック抵抗、qdは圧電素子が発生す
る電荷、qfはCfに貯えられる電荷、q0はCd及びCcに貯え
られる電荷を表す。このとき、 e0=−(qf/Cf)・(A/(1+A))≒−qf/Cf≒−qd/Cf の関係が成立し、圧電素子が発生する電荷qdに比例した
出力電圧e0が得られる。 【００１５】このセンサヘッド３０を用いて製品検査を
行う際は、前述のようにハウジング３の外周のネジ部を
利用してセンサヘッド３０をロボットアーム等の支持構
造物に取り付け、可動部３１の先端（ヘッドチップ１）
を検査対象製品に押し当てたり離したりできるようにす
る。検査対象製品は、例えばレーザビームプリンタであ
り、センサヘッド３０は、そのレーザビームプリンタの
内部のポリゴンミラーの回転が発生する振動を分析し
て、その製品が正常か異常かを判別するための振動検出
に用いられる。検査対象製品が所定の検査位置に搬送さ
れてくると、その製品の振動を検出するのに適した場所
にセンサヘッド３０の可動部３１の先端が押し当てら
れ、振動が検出される。振動検出が完了すると、その製
品からセンサヘッド３０が離され、その後、センサヘッ
ド３０は次の検査対象製品が搬送されてくるまで待機す
る。 【００１６】次に、センサヘッド３０による振動検出動
作を説明する。可動部３１の先端が検査対象製品に押し
当てられると、可動部３１は図３において右方向に移動
する。その移動できる限界はバネ座７とバネ座９とが接
触するまでである。振動検出時に可動部３１がこの移動
可能な距離のほぼ中間まで移動するように、検査対象製
品に対するセンサヘッド３０の押し当て量が決められ
る。振動検出時には、検査対象製品の振動がヘッドチッ
プ１、ベース５、プリント回路基板１６を介して圧電素
子に伝達され、ここで電荷量に変換される。この振動に
対応する電荷量は前記チャージアンプで電圧に変換さ
れ、この電圧信号はＦＰＷＢ２１、ケーブル１５を経
て、図示しない振動を分析するための装置に提供され
る。なお、プリント回路基板１６上の回路が動作するた
めに必要な電源は、振動を分析するための装置からケー
ブル１５、ＦＰＷＢ２１を経て供給される。 【００１７】図６は、バネ座７、９及びバネ８の組み立
てを示している。バネ座７、９は図４と同様の断面図で
ある。バネ８はその線材の両端がバネ８の中心軸と平行
に折り曲げられている。この折り曲げられた部分は、バ
ネ座７に設けられた溝７ａ及びバネ座９に設けれた穴９
ａと係合する。このようにして、バネ８とバネ座７及び
９とは回り止めされ、可動部３１は固定部に対してバネ
８のねじり弾性の範囲で回転することができる。可動部
３１の回転に伴ってＦＰＷＢ２１がねじられるが、バネ
８のねじり弾性の強さは、ＦＰＷＢ２１を容易には（可
動部３１を手で持って回した程度では）断線又はねじり
破断させることができない程度に選ばれる。可動部３１
と固定部とはゴムダンパー４、６を介して接触している
が、ゴムダンパー４、６は回り止めとしては働かないの
で、強い力でハウジング３（ゴムダンパー６の場合）又
はベース５（ゴムダンパー４の場合）に接触させられる
ことがないため、外部の振動がハウジング１を経由して
可動部３１に伝えられることがなく、ゴムダンパー４、
６が摩擦により可動部３１の運動を妨げることもない。 【００１８】以上説明した本発明の実施形態は種々の変
形が可能である。例えば、固定部に対して可動部を付勢
する手段は、バネ８のようなつるまきバネ以外にも種々
の弾性構造を利用しうる。また、振動検出素子の出力信
号の増幅回路は固定部側に設けてもよい。また、振動波
形信号を分析するマイクロコンピュータシステム等の手
段をセンサヘッドに内蔵してもよい。
せて振動を電気信号に変換し、振動物体の振動状態を検
出する振動検出装置に関する。 【０００２】 【従来の技術】従来、この種の振動検出装置としては、
実開平１−１４６７６４号公報、実開平４−７５９２３
号公報等に示されるように、振動物体に接触する部分が
バネで付勢された可動部となっており、可動部に振動を
電気信号に変換する圧電素子を設け、可動部を振動物体
に押し当てて使用するものが知られている。 【０００３】 【発明が解決しようとする課題】上記先行技術では、可
動部の軸の回りについての回り止めの処置が特段なされ
ていない。しかし、可動部には振動検出素子が設けられ
ているので、その出力を外部に導くための配線を可動部
と固定部との間に渡すことが必要であり、可動部が軸の
回りに自由に回転できるとすると、この配線が断線して
しまうおそれがある。 【０００４】一般に、振動検出装置の可動部にはその軸
の回りの回転について、以下の特性が要求される。 （１）可動部はその軸の回りに自由に回転できないこ
と。回転できるにしても、可動部と固定部との間に渡さ
れる配線が断線しない範囲にとどめること。 （２）可動部の回り止め手段は固定部に加えられる外部
の振動を可動部に伝えないこと。 （３）可動部の回り止め手段は、たとえ回り止めのため
の力を可動部に加えているときでも、振動物体の振動に
伴う可動部の運動を摩擦等により妨げないこと。 【０００５】上記（２）、（３）に照らして考えると、
可動部と固定部とを直接接触させる方式の回り止め手
段、例えば、軸に垂直な断面が多角形の可動部とそれと
嵌まり合う多角形の開口を有する固定部との組み合わせ
や、可動部の側面に可動方向に沿って設けられた溝とそ
の溝に嵌まり合う固定部から突出したピンとの組み合わ
せなど、は採用できないことがわかる。そこで、本発明
は、これらの特性を備えた回り止めを施された可動部を
有する振動検出装置を提供することを目的とする。 【０００６】 【課題を解決するための手段】本発明の振動検出装置
は、固定部と、この固定部に対して可動であって振動検
出時に振動物体に接触して振動する可動部と、この可動
部を固定部に対して該可動部の可動方向に付勢する付勢
手段とを備え、可動部に、振動を電気信号に変換する振
動検出素子を備えた振動検出装置において、付勢手段
は、可動部の可動方向に平行な直線の中から選ばれた１
つの直線を軸とするねじり弾性を有し、付勢手段と固定
部とは、前記選ばれた１つの直線を軸とする回転につい
て回り止めして接続され、付勢手段と可動部とは前記選
ばれた１つの直線を軸とする回転について回り止めして
接続されていることを特徴とする。ここで、上記「選ば
れた１つの直線」は、可動部が円柱形であればその中心
軸と一致するのが一般的である。 【０００７】本発明においては、付勢手段はねじり弾性
を有し、付勢手段と固定部とは回り止めされ、付勢手段
と可動部とは回り止めされているので、可動部は付勢手
段のねじり弾性が働く範囲で回転することができる。可
動部が回転できる範囲は、付勢手段のねじり弾性の強さ
を選ぶことにより、可動部と固定部との間に渡される配
線が断線しない範囲にとどめることができる。可動部と
固定部とは回り止めのために直接接触していないので、
外部の振動が固定部を経由して可動部に伝えられること
がなく、摩擦により可動部の運動を妨げることもない。
さらに、可動部に外部からの力を加えない状態にしたと
きには、可動部は自動的に回転についての中立状態に復
帰するので、回転が累積していくことがない。 【０００８】好ましい実施形態では、前記付勢手段はつ
るまきバネであり、そのバネの線材の両端が折り曲げら
れており、その折り曲げられた部分が固定部及び可動部
に設けられた溝、穴等の係合部に係合する。つるまきバ
ネは適度なねじり弾性を有しており、その線材の両端を
折り曲げることにより、固定部及び可動部と係合して、
これらと回り止めされる接続構造を簡単に実現でき、組
み立ても容易である。 【０００９】 【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施形態
を、添付図を参照して具体的に説明する。ここに説明す
るのは、振動を電気信号に変換する機能を有するが、振
動波形信号を分析する手段は内蔵しない振動検出装置で
ある。このような機能から、この実施形態の振動検出装
置をセンサヘッドと称する。 【００１０】図１はセンサヘッド３０の正面図、図２は
その左側面図である。センサヘッド３０は略円柱形をし
ており、図１における右端部からはケーブル１５が引き
出され、左端部からは可動部３１が突出している。ここ
に説明する可動部３１は、振動の測定対象物に押し当て
られる部分であり、その先端に左方向から加えられる力
に応じて右方向に移動する。センサヘッド３０の左端部
に近い領域の外周にはネジが刻まれている。このネジと
２つのナット２３とは、センサヘッド３０を支持する図
示しない構造物（例えばロボットアーム）にセンサヘッ
ドを固定するために用いられる。 【００１１】図３は図２のＡ−Ａ線断面図、図４は図２
のＢ−Ｂ線断面図である。センサヘッド３０の内部構造
を説明すると、固定部は、ハウジング３及びそれに固定
されている部分である。可動部３１は、ベース５、ヘッ
ドチップ１、バネ座７等からなる。可動部３１は、付勢
手段であるバネ８を圧縮することによって左方向の力を
受けつつハウジング３の軸方向に移動可能に設けられて
いる。可動部３１のベース５には、圧電素子とその出力
信号の増幅回路を搭載したプリント回路基板１６がコネ
ジ１７とリベット２０によって取り付けられている。ヘ
ッドチップ１は、ステンレス鋼製で、アルミニウム製の
ベース５に圧入固定されている。アセタール樹脂製のバ
ネ座７は、ベース５に嵌め合わされた後、ピン２２によ
って回り止めされている。バネ８の一端は可動部３１の
バネ座７に接し、他端はバネ座９に接している。バネ座
９は、ハウジング３の内面の段差とハウジング３にねじ
込み固定されるキャップ１１とに挟まれてハウジングに
対して固定され、ピン２２によって回り止めされてい
る。 【００１２】ベース５とハウジング３との間にはリング
状のゴムダンパー４、６が設けられている。ゴムダンパ
ー４、６は、可動部３１がハウジング３の軸方向以外へ
移動することを規制するとともに、ハウジング３に外部
から振動が加えられた場合に、その振動が圧電素子に伝
わることを防止している。ゴムダンパー４はハウジング
３の内面の段差とハウジングに圧入されるキャップ２と
の間に挟まれて固定され、ベース５が左方向に移動して
きたときに、ベース５の段差面に当たってベース５が停
止するときの衝撃を緩和する。ゴムダンパー６はベース
５の段差部とバネ座７とに挟まれて固定され、可動部の
一部を構成する。 【００１３】フレキシブルプリント配線基板（ＦＰＷＢ
という。）２１は、可動部３１のプリント回路基板１６
とケーブル１５とを電気的に接続する。ＦＰＷＢ２１の
一端はプリント回路基板１６に半田付けされると共にリ
ベット２０によりベース５に圧着固定され、他端はケー
ブル１５の端に取り付けられたコネクタ１０に半田付け
されている。コネクタ１０は、バネ座９に設けられた溝
に嵌め込まれ、押さえゴム２５によってバネ座９に固定
されている。ケーブル１５は、ブッシュ１３及び締め付
け金具１４を介してキャップ１１に貫通固定されてい
る。 【００１４】図５は、プリント回路基板１６に搭載され
る圧電素子及び増幅回路の等価回路を示す。圧電素子に
は力が加えられると電荷がチャージされ、この電荷を一
種の積分器であるチャージアンプで電圧に変換する。図
５で−Aはオペアンプの増幅度（A≫１）、Cdは圧電素子
の静電容量、Ccは回路の浮遊容量、Cfはフィードバック
容量、Rfはフィードバック抵抗、qdは圧電素子が発生す
る電荷、qfはCfに貯えられる電荷、q0はCd及びCcに貯え
られる電荷を表す。このとき、 e0=−(qf/Cf)・(A/(1+A))≒−qf/Cf≒−qd/Cf の関係が成立し、圧電素子が発生する電荷qdに比例した
出力電圧e0が得られる。 【００１５】このセンサヘッド３０を用いて製品検査を
行う際は、前述のようにハウジング３の外周のネジ部を
利用してセンサヘッド３０をロボットアーム等の支持構
造物に取り付け、可動部３１の先端（ヘッドチップ１）
を検査対象製品に押し当てたり離したりできるようにす
る。検査対象製品は、例えばレーザビームプリンタであ
り、センサヘッド３０は、そのレーザビームプリンタの
内部のポリゴンミラーの回転が発生する振動を分析し
て、その製品が正常か異常かを判別するための振動検出
に用いられる。検査対象製品が所定の検査位置に搬送さ
れてくると、その製品の振動を検出するのに適した場所
にセンサヘッド３０の可動部３１の先端が押し当てら
れ、振動が検出される。振動検出が完了すると、その製
品からセンサヘッド３０が離され、その後、センサヘッ
ド３０は次の検査対象製品が搬送されてくるまで待機す
る。 【００１６】次に、センサヘッド３０による振動検出動
作を説明する。可動部３１の先端が検査対象製品に押し
当てられると、可動部３１は図３において右方向に移動
する。その移動できる限界はバネ座７とバネ座９とが接
触するまでである。振動検出時に可動部３１がこの移動
可能な距離のほぼ中間まで移動するように、検査対象製
品に対するセンサヘッド３０の押し当て量が決められ
る。振動検出時には、検査対象製品の振動がヘッドチッ
プ１、ベース５、プリント回路基板１６を介して圧電素
子に伝達され、ここで電荷量に変換される。この振動に
対応する電荷量は前記チャージアンプで電圧に変換さ
れ、この電圧信号はＦＰＷＢ２１、ケーブル１５を経
て、図示しない振動を分析するための装置に提供され
る。なお、プリント回路基板１６上の回路が動作するた
めに必要な電源は、振動を分析するための装置からケー
ブル１５、ＦＰＷＢ２１を経て供給される。 【００１７】図６は、バネ座７、９及びバネ８の組み立
てを示している。バネ座７、９は図４と同様の断面図で
ある。バネ８はその線材の両端がバネ８の中心軸と平行
に折り曲げられている。この折り曲げられた部分は、バ
ネ座７に設けられた溝７ａ及びバネ座９に設けれた穴９
ａと係合する。このようにして、バネ８とバネ座７及び
９とは回り止めされ、可動部３１は固定部に対してバネ
８のねじり弾性の範囲で回転することができる。可動部
３１の回転に伴ってＦＰＷＢ２１がねじられるが、バネ
８のねじり弾性の強さは、ＦＰＷＢ２１を容易には（可
動部３１を手で持って回した程度では）断線又はねじり
破断させることができない程度に選ばれる。可動部３１
と固定部とはゴムダンパー４、６を介して接触している
が、ゴムダンパー４、６は回り止めとしては働かないの
で、強い力でハウジング３（ゴムダンパー６の場合）又
はベース５（ゴムダンパー４の場合）に接触させられる
ことがないため、外部の振動がハウジング１を経由して
可動部３１に伝えられることがなく、ゴムダンパー４、
６が摩擦により可動部３１の運動を妨げることもない。 【００１８】以上説明した本発明の実施形態は種々の変
形が可能である。例えば、固定部に対して可動部を付勢
する手段は、バネ８のようなつるまきバネ以外にも種々
の弾性構造を利用しうる。また、振動検出素子の出力信
号の増幅回路は固定部側に設けてもよい。また、振動波
形信号を分析するマイクロコンピュータシステム等の手
段をセンサヘッドに内蔵してもよい。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施形態による振動検出装置（セン
サヘッド）の正面図である。 【図２】同左側面図である。 【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。 【図４】図２のＢ−Ｂ線断面図である。 【図５】プリント回路基板に搭載される圧電素子及び増
幅回路の等価回路図である。 【図６】バネ座及びバネの組み立て構造を示す断面図で
ある。 【符号の説明】 １ ヘッドチップ（可動部） ３ ハウジング（固定部） ５ ベース（可動部） ７ バネ座 ７ａ 溝 ８ バネ（付勢手段） ９ バネ座 ９ａ 穴 １６ プリント回路基板（振動検出素子が搭載されてい
る） ３０ センサヘッド ３１ 可動部
サヘッド）の正面図である。 【図２】同左側面図である。 【図３】図２のＡ−Ａ線断面図である。 【図４】図２のＢ−Ｂ線断面図である。 【図５】プリント回路基板に搭載される圧電素子及び増
幅回路の等価回路図である。 【図６】バネ座及びバネの組み立て構造を示す断面図で
ある。 【符号の説明】 １ ヘッドチップ（可動部） ３ ハウジング（固定部） ５ ベース（可動部） ７ バネ座 ７ａ 溝 ８ バネ（付勢手段） ９ バネ座 ９ａ 穴 １６ プリント回路基板（振動検出素子が搭載されてい
る） ３０ センサヘッド ３１ 可動部
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(56)参考文献 特開 昭59−124581（ＪＰ，Ａ)
特開 平８−201159（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−284756（ＪＰ，Ａ)
実開 平１−146764（ＪＰ，Ｕ)
実開 平４−75923（ＪＰ，Ｕ)
実開 平７−8732（ＪＰ，Ｕ)
特表 平11−502626（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G01H 11/08
G01H 1/00
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 固定部と、この固定部に対して可動であ
って振動検出時に振動物体に接触して振動する可動部
と、この可動部を前記固定部に対して該可動部の可動方
向に付勢する付勢手段とを備え、前記可動部に、振動を
電気信号に変換する振動検出素子を備えた振動検出装置
において、 前記付勢手段は、前記可動部の可動方向に平行な直線の
中から選ばれた１つの直線を軸とするねじり弾性を有
し、 前記付勢手段と前記固定部とは、前記選ばれた１つの直
線を軸とする回転について回り止めして接続され、 前記付勢手段と前記可動部とは、前記選ばれた１つの直
線を軸とする回転について回り止めして接続されている
ことを特徴とする振動検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23132997A JP3419264B2 (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 振動検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23132997A JP3419264B2 (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 振動検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1164095A JPH1164095A (ja) | 1999-03-05 |
| JP3419264B2 true JP3419264B2 (ja) | 2003-06-23 |
Family
ID=16921936
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23132997A Expired - Fee Related JP3419264B2 (ja) | 1997-08-27 | 1997-08-27 | 振動検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3419264B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US8800373B2 (en) * | 2011-02-14 | 2014-08-12 | Rosemount Inc. | Acoustic transducer assembly for a pressure vessel |
-
1997
- 1997-08-27 JP JP23132997A patent/JP3419264B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH1164095A (ja) | 1999-03-05 |
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